JP2016039171A - Conductive wiring manufacturing method and conductive wiring - Google Patents
Conductive wiring manufacturing method and conductive wiring Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016039171A JP2016039171A JP2014159602A JP2014159602A JP2016039171A JP 2016039171 A JP2016039171 A JP 2016039171A JP 2014159602 A JP2014159602 A JP 2014159602A JP 2014159602 A JP2014159602 A JP 2014159602A JP 2016039171 A JP2016039171 A JP 2016039171A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive
- conductive wiring
- insulating substrate
- manufacturing
- conductive powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Non-Insulated Conductors (AREA)
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
【課題】導電ペーストをスクリーン印刷によって絶縁基板に供給することなく、絶縁基板上に所望の特性の導電配線を容易に形成することができる導電配線の製造方法を提供する。
【解決手段】導電配線の製造方法は、絶縁基板1に所定のパターンになるようにインキ2を印刷する工程(S1)と、印刷されたインキ2が乾燥する前に、インキ2(所定のパターンになっている)に導電性粉末3を載置(散布)する工程(S2)と、載置された導電性粉末3を絶縁基板1に押し付けて圧縮する工程(S3)と、圧縮された導電性粉末3を加熱して焼結させる工程(S4)と、を有し、かかる一連の工程(S1〜S4)によって、導電配線20が製造される。
【選択図】図1Provided is a method for manufacturing a conductive wiring, which can easily form a conductive wiring having desired characteristics on an insulating substrate without supplying a conductive paste to the insulating substrate by screen printing.
A method of manufacturing a conductive wiring includes a step (S1) of printing an ink 2 so as to form a predetermined pattern on an insulating substrate 1, and an ink 2 (predetermined pattern) before the printed ink 2 is dried. The step (S2) of placing (spreading) the conductive powder 3 onto the insulating substrate 1, the step of pressing the placed conductive powder 3 against the insulating substrate 1 (S3), and the compressed conductive The conductive powder 3 is heated and sintered (S4), and the conductive wiring 20 is manufactured through the series of steps (S1 to S4).
[Selection] Figure 1
Description
本発明は導電配線の製造方法および導電配線、特に、導電性粉体によって形成された導電配線の製造方法および導電配線に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a conductive wiring and a conductive wiring, and more particularly to a method for manufacturing a conductive wiring and a conductive wiring formed of conductive powder.
従来、絶縁基材上に導電配線を形成する方法として、絶縁基材上に形成された銅箔をエッチングした後に焼結するフォトリソグラフィ工法や、絶縁基材上に導電ペーストをスクリーン印刷した後やインクジェット印刷した後に焼結する印刷工法がある。
そして、フォトリソグラフィ工法では工程数が多いという問題、また、印刷工法では導電ペーストに用いられている金属粒子が表面酸化し易いという問題を共に解消する目的で、ミクロンオーダの粒径を持つ金属材料である金属ミクロン粒子とナノメータオーダの粒径を持つ金属材料である金属ナノ粒子とが含まれた導電ペーストを使用する回路基板の製造方法が開示されている(例えば、特許文献1参照)。
Conventionally, as a method of forming a conductive wiring on an insulating substrate, a photolithography method in which a copper foil formed on an insulating substrate is etched and then sintered, or after a conductive paste is screen printed on an insulating substrate, There is a printing method that sinters after ink jet printing.
A metal material having a particle size on the order of microns for the purpose of solving both the problem that the number of steps in the photolithography method is large and the problem that the metal particles used in the conductive paste are easily oxidized in the printing method. A circuit board manufacturing method using a conductive paste containing metal microparticles and metal nanoparticles having a particle size of nanometer order is disclosed (for example, see Patent Document 1).
特許文献1に開示された発明は、金属ミクロン粒子と金属ナノ粒子とが含まれた導電ペーストを、スクリーン印刷によって絶縁基板に供給し、低酸素雰囲気下で焼成して、金属ナノ粒子を焼結されるものである。このため、スクリーン印刷に好適な流動性の確保と、電気抵抗値の増大の抑制との両方を満足する導電ペーストの選定が困難であるという問題があった。すなわち、金属ミクロン粒子の材質および粒径、金属ナノ粒子の材質および粒径、溶媒の種類、およびそれぞれの量(導電ペーストに占めるそれぞれの割合)を、絶縁基板上に形成される導電配線の特性に応じて設定するには、多数の試験と長い時間とを要していた。
In the invention disclosed in
本発明は上記問題を解消するものであって、導電ペーストをスクリーン印刷によって絶縁基板に供給することなく、絶縁基板上に所望の特性の導電配線を容易に形成することができる導電配線の製造方法、および該導電配線の製造方法によって形成された導電配線を提供することにある。 The present invention solves the above-described problem, and a method of manufacturing a conductive wiring capable of easily forming a conductive wiring having desired characteristics on an insulating substrate without supplying the conductive paste to the insulating substrate by screen printing. And providing a conductive wiring formed by the method of manufacturing the conductive wiring.
(1)本発明に係る導電配線の製造方法は、絶縁基板に所定のパターンになるようにインキを印刷する工程と、前記印刷されたインキが乾燥する前に、前記インキの上に導電性粉末を載置する工程と、前記載置された導電性粉末を前記絶縁基板に押し付けて圧縮する工程と、前記圧縮された導電性粉末を加熱して焼結させる工程と、を有する。
(2)また、前記加熱は、前記圧縮された導電性粉末に向けて紫外線またはレーザ光を照射して行う。
(3)また、前記絶縁基板は白色または透明で、前記レーザ光はYAGレーザ光である。
(4)さらに、本発明に係る導電配線は、前記(1)〜(3)の何れかに記載の導電配線の製造方法によって形成されている。
(1) A method for producing a conductive wiring according to the present invention includes a step of printing ink so as to form a predetermined pattern on an insulating substrate, and a conductive powder on the ink before the printed ink is dried. , A step of pressing the conductive powder placed on the insulating substrate and compressing the conductive powder, and a step of heating and sintering the compressed conductive powder.
(2) Moreover, the said heating is performed by irradiating an ultraviolet-ray or a laser beam toward the said compressed electroconductive powder.
(3) The insulating substrate is white or transparent, and the laser beam is a YAG laser beam.
(4) Furthermore, the conductive wiring which concerns on this invention is formed by the manufacturing method of the conductive wiring in any one of said (1)-(3).
(i)導電ペーストをスクリーン印刷等によって絶縁基板に供給するものでは、インキ内にある導電性粉末が印刷精度を悪化させるし、導電粉末の密度を上げることもできないのに対し、本発明に係る導電配線の製造方法は、所定のパターンの印刷に好適なインキを容易に選定することができるため、印刷精度を上げることができる。また、導電粉末の密度を上げることができ、導電性を良くすることができる上、従来のようなスクリーン印刷性および電気伝導性の両方を満足する導電ペーストを選定する手間がなくなり、作業が迅速になる。
(ii)また、紫外線またはレーザ光の照射によって焼結されるから、導電配線を安価に製造することができる。なお、導電性粉末の材質は限定するものではなく、銅や銅合金、あるいは銀や銀合金等である。
(iii)また、絶縁基板を白色または透明にして、白色または透明の基材を通過する性質を有するYAGレーザ光を、白色または透明の絶縁基板に照射するから、絶縁基板の発熱を抑えることができる。したがって、絶縁基板を、耐熱性を有する材料、例えばセラミック板等に限定する必要がなくなるため、絶縁基板の選択肢が拡がり、安価な絶縁基板を用いることによって、導電配線を安価に製造することができる。
(iv)また、本発明に係る導電配線は、前記(i)〜(iii)の何れかに記載の効果を有する導電配線の製造方法によって形成されているから、良好な導電率を有し、安価である。
(I) In the case where the conductive paste is supplied to the insulating substrate by screen printing or the like, the conductive powder in the ink deteriorates the printing accuracy and cannot increase the density of the conductive powder. Since the method for manufacturing the conductive wiring can easily select an ink suitable for printing a predetermined pattern, the printing accuracy can be increased. In addition, the density of the conductive powder can be increased, the conductivity can be improved, and there is no need to select a conductive paste that satisfies both screen printability and electrical conductivity as in the conventional case, and the work is quick. become.
(Ii) Moreover, since it sinters by irradiation of an ultraviolet-ray or a laser beam, a conductive wiring can be manufactured cheaply. The material of the conductive powder is not limited and is copper, copper alloy, silver, silver alloy, or the like.
(Iii) Since the insulating substrate is white or transparent and the white or transparent insulating substrate is irradiated with YAG laser light having a property of passing through the white or transparent base material, heat generation of the insulating substrate can be suppressed. it can. Therefore, it is not necessary to limit the insulating substrate to a heat-resistant material such as a ceramic plate, so that options for the insulating substrate are expanded, and the conductive wiring can be manufactured at low cost by using an inexpensive insulating substrate. .
(Iv) Moreover, since the conductive wiring according to the present invention is formed by the method for manufacturing a conductive wiring having the effect described in any one of (i) to (iii), the conductive wiring has good conductivity, Inexpensive.
[実施の形態1]
図1および図2は本発明の実施の形態1に係る導電配線の製造方法と、かかる導電配線の製造方法によって製造された導電配線とを説明するものであって、図1はフローチャート、図2の(a)〜(e)は各工程を模式的に示す側面視の断面図である。なお、図2は、模式的に一部を誇張して示すものであって、本発明は、図示された形態(大きさや数量)に限定するものではない。
[Embodiment 1]
1 and 2 illustrate a method for manufacturing a conductive wiring according to
図1および図2において、導電配線の製造方法は、絶縁基板1に所定のパターンになるようにインキ2を印刷する工程(S1)と、印刷されたインキ2が乾燥する前に、インキ2(所定のパターンになっている)に導電性粉末3を載置(散布)する工程(S2)と、載置された導電性粉末3を絶縁基板1に押し付けて圧縮する工程(S3)と、圧縮された導電性粉末3を加熱して焼結させる工程(S4)と、を有し、かかる一連の工程(S1〜S4)によって、導電配線20が製造される。
なお、本発明は、圧縮する工程(S3)と加熱して焼結させる工程(S4)とは、連続して行うものに限定するものではなく、同時に行ってもよい。
1 and 2, the conductive wiring manufacturing method includes a step (S1) of printing the
In the present invention, the compressing step (S3) and the heating and sintering step (S4) are not limited to those performed continuously, and may be performed simultaneously.
このとき、導電性粉末3は、例えば、銅や銅合金の細粒であって、例えば、平均粒径が1〜200μmであるが、本発明は導電性粉末3の平均粒径の範囲を限定するものではない。
そして、印刷されたインキ2が乾燥する前に、絶縁基板1に導電性粉末3を散布するから、導電性粉末3は乾燥する前のインキ2(単斜線にて示す)に付着し、インキ2に付着した導電性粉末3は所定のパターンを描くことになる。
また、前記加熱は、圧縮された導電性粉末3に向けてレーザ光(例えば、YAGレーザ光)30を照射して行う。
なお、レーザ光照射の前に、インキ2に付着した導電性粉末3は圧縮される(インキ2および導電性粉末3をまとめて複斜線にて示す)から、導電性粉末3同士の間隔(正確には、空孔(ポアー)の大きさ)が小さくなって密度が上がることによって、焼結が促進され、より低温でより迅速に加熱作業を実施することができる(焼結後の導電性粉末3を塗りつぶしにて示す)。なお、加熱は、レーザ光30に代えて、紫外線(キャノン光)を照射してもよい。
At this time, the
Since the
The heating is performed by irradiating the compressed
In addition, since the
すなわち、導電配線の製造方法は、導電ペーストをスクリーン印刷等によって絶縁基板1に供給するものではないから、所定のパターンの印刷に好適なインキ2を容易に選定することができ、また、導電配線の特性に応じた導電性粉末3を容易に選定することができるため、印刷精度を上げ、導電粉末の密度を上げることができ、導電性を良くすることができる。また、従来のようなスクリーン印刷性および電気伝導性の両方を満足する導電ペーストを選定する手間がなくなり、作業が迅速になる。
また、導電性粉末3は細粒であって、紫外線またはレーザ光の照射によって焼結されるから、導電配線を安価に製造することができる。
In other words, the method for producing a conductive wiring does not supply the conductive paste to the
Further, since the
このとき、絶縁基板1を白色または透明にして、レーザ光としてYAGレーザ光を照射すれば、YAGレーザ光は白色または透明の基材を通過する性質を有することから、絶縁基板1の発熱を抑えることができる。したがって、絶縁基板1を、耐熱性を有する材料、例えばセラミック板等に限定する必要がなくなることから、絶縁基板の選択肢が拡がり、安価な絶縁基板を用いることによって、導電配線20を安価に製造することができる。
なお、図2の(d)において、複斜線を付した部分(インキ2および導電性粉末3)の上に、粒状の導電性粉末3が付着し、それぞれの厚さが略同じになっているが、本発明はこれに限定されるものではなく、それぞれの厚さは何れか厚くてもよく、また、複斜線を付した部分の上に付着した導電性粉末3は一層に限定されるものではない。さらに、複斜線を付した部分の上に付着した導電性粉末3がなく、複斜線を付した部分のみであってもよい。
At this time, if the
In FIG. 2 (d), the granular
[実施の形態2]
図3は本発明の実施の形態2に係る導電配線を示す側面視の断面図である。なお、図2と同じ部分には同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
図3において、導電配線20は、絶縁基板1上に焼結した導電性粉末3によって描かれた所定のパターンを呈している。このとき、導電配線20は、導電配線の製造方法によって形成されたものであるから、良好な導電率を有し、安価である。
なお、絶縁基板1は平面に限定されるものではなく、曲面であってもよい。また、導電性粉末3によって描かれたパターンは限定されるものではなく、導電性粉末3の材質(成分)も限定するものではない。
[Embodiment 2]
FIG. 3 is a side sectional view showing the conductive wiring according to the second embodiment of the present invention. The same parts as those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals, and a part of the description is omitted.
In FIG. 3, the
The
本発明によれば、所望のパターンの導電配線を容易かつ安価に製造することができるから、様々な形状の絶縁基板上に導電配線を製造する方法として広く利用することができる。 According to the present invention, since a conductive wiring having a desired pattern can be easily and inexpensively manufactured, it can be widely used as a method for manufacturing a conductive wiring on various shapes of insulating substrates.
1 絶縁基板
2 インキ
3 導電性粉末
20 導電配線
30 レーザ光
1
Claims (4)
前記印刷されたインキが乾燥する前に、前記インキの上に導電性粉末を載置する工程と、
前記載置された導電性粉末を前記絶縁基板に押し付けて圧縮する工程と、
前記圧縮された導電性粉末を加熱して焼結させる工程と、
を有することを特徴とする導電配線の製造方法。 A step of printing ink so as to form a predetermined pattern on the insulating substrate;
Placing the conductive powder on the ink before the printed ink is dried; and
Pressing the conductive powder placed on the insulating substrate and compressing the conductive powder;
Heating and sintering the compressed conductive powder; and
A method for producing a conductive wiring, comprising:
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014159602A JP2016039171A (en) | 2014-08-05 | 2014-08-05 | Conductive wiring manufacturing method and conductive wiring |
| CN201480033522.XA CN105393650B (en) | 2014-03-28 | 2014-10-24 | The manufacture method and conducting wiring of conducting wiring |
| US14/897,862 US9585251B2 (en) | 2014-03-28 | 2014-10-24 | Method of manufacturing conductive wiring and conductive wiring |
| PCT/JP2014/078381 WO2015145848A1 (en) | 2014-03-28 | 2014-10-24 | Method for manufacturing conductive line and conductive line |
| EP14887505.7A EP2991463B1 (en) | 2014-03-28 | 2014-10-24 | Method for manufacturing conductive line and conductive line |
| KR1020157032601A KR20150143742A (en) | 2014-03-28 | 2014-10-24 | Method for manufacturing conductive line and conductive line |
| TW103137773A TWI578867B (en) | 2014-03-28 | 2014-10-31 | Method for manufacturing conductive wire, and conductive wire |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014159602A JP2016039171A (en) | 2014-08-05 | 2014-08-05 | Conductive wiring manufacturing method and conductive wiring |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016039171A true JP2016039171A (en) | 2016-03-22 |
Family
ID=55530043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014159602A Pending JP2016039171A (en) | 2014-03-28 | 2014-08-05 | Conductive wiring manufacturing method and conductive wiring |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2016039171A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021019188A (en) * | 2019-07-17 | 2021-02-15 | ゼロックス コーポレイションXerox Corporation | System, apparatus and method for producing printed electrically conductive lines |
| JP2022057920A (en) * | 2020-09-30 | 2022-04-11 | 日亜化学工業株式会社 | Method for manufacturing circuit board and circuit board, and light emitting device |
Citations (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS511968A (en) * | 1974-06-24 | 1976-01-09 | Nobuyoshi Akaba | Doofunmatsunyoru kairokiban |
| JPS55162293A (en) * | 1976-07-21 | 1980-12-17 | Shipley Co | Method of manufacturing printed board* material and device |
| US4327124A (en) * | 1978-07-28 | 1982-04-27 | Desmarais Jr Raymond C | Method for manufacturing printed circuits comprising printing conductive ink on dielectric surface |
| JPS60130887A (en) * | 1983-12-19 | 1985-07-12 | アルプス電気株式会社 | Method of forming circuit pattern on board |
| JPS60182191A (en) * | 1984-02-29 | 1985-09-17 | キヤノン株式会社 | Printed wiring board for laser soldering |
| JPS60245193A (en) * | 1984-05-18 | 1985-12-04 | アルプス電気株式会社 | Method of forming circuit of circuit board |
| JPH02180089A (en) * | 1988-12-30 | 1990-07-12 | Canon Inc | Forming method for conductive circuit |
| JPH0389591A (en) * | 1989-08-21 | 1991-04-15 | Hewlett Packard Co <Hp> | Circuit manufacture |
| JPH03179794A (en) * | 1989-10-30 | 1991-08-05 | Tokuyama Soda Co Ltd | Manufacture of conductive printed board |
| JPH0548260A (en) * | 1991-08-07 | 1993-02-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Printed board |
| JPH11307910A (en) * | 1998-04-21 | 1999-11-05 | Mitsumura Printing Co Ltd | Conductive pattern and forming method therefor |
| JP2000349416A (en) * | 1999-06-08 | 2000-12-15 | Sony Corp | Substrate processing method |
| JP2001007484A (en) * | 1999-06-21 | 2001-01-12 | Fujitsu Ltd | Method of forming conductor pattern |
| JP2002033566A (en) * | 2000-07-18 | 2002-01-31 | Oki Electric Ind Co Ltd | Method for forming wiring pattern of printed wiring board |
| JP2006032916A (en) * | 2004-06-14 | 2006-02-02 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Wiring substrate, semiconductor device, and manufacturing method thereof |
| JP2010529667A (en) * | 2007-06-07 | 2010-08-26 | フィニッシュ・エンヴァイアメント・テクノロジー・オーイュー | Circuit board manufacturing method |
| JP2015195329A (en) * | 2014-03-28 | 2015-11-05 | 株式会社秀峰 | Conductive wiring manufacturing method and conductive wiring |
-
2014
- 2014-08-05 JP JP2014159602A patent/JP2016039171A/en active Pending
Patent Citations (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS511968A (en) * | 1974-06-24 | 1976-01-09 | Nobuyoshi Akaba | Doofunmatsunyoru kairokiban |
| JPS55162293A (en) * | 1976-07-21 | 1980-12-17 | Shipley Co | Method of manufacturing printed board* material and device |
| US4327124A (en) * | 1978-07-28 | 1982-04-27 | Desmarais Jr Raymond C | Method for manufacturing printed circuits comprising printing conductive ink on dielectric surface |
| JPS60130887A (en) * | 1983-12-19 | 1985-07-12 | アルプス電気株式会社 | Method of forming circuit pattern on board |
| JPS60182191A (en) * | 1984-02-29 | 1985-09-17 | キヤノン株式会社 | Printed wiring board for laser soldering |
| JPS60245193A (en) * | 1984-05-18 | 1985-12-04 | アルプス電気株式会社 | Method of forming circuit of circuit board |
| JPH02180089A (en) * | 1988-12-30 | 1990-07-12 | Canon Inc | Forming method for conductive circuit |
| JPH0389591A (en) * | 1989-08-21 | 1991-04-15 | Hewlett Packard Co <Hp> | Circuit manufacture |
| JPH03179794A (en) * | 1989-10-30 | 1991-08-05 | Tokuyama Soda Co Ltd | Manufacture of conductive printed board |
| JPH0548260A (en) * | 1991-08-07 | 1993-02-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Printed board |
| JPH11307910A (en) * | 1998-04-21 | 1999-11-05 | Mitsumura Printing Co Ltd | Conductive pattern and forming method therefor |
| JP2000349416A (en) * | 1999-06-08 | 2000-12-15 | Sony Corp | Substrate processing method |
| JP2001007484A (en) * | 1999-06-21 | 2001-01-12 | Fujitsu Ltd | Method of forming conductor pattern |
| JP2002033566A (en) * | 2000-07-18 | 2002-01-31 | Oki Electric Ind Co Ltd | Method for forming wiring pattern of printed wiring board |
| JP2006032916A (en) * | 2004-06-14 | 2006-02-02 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Wiring substrate, semiconductor device, and manufacturing method thereof |
| JP2010529667A (en) * | 2007-06-07 | 2010-08-26 | フィニッシュ・エンヴァイアメント・テクノロジー・オーイュー | Circuit board manufacturing method |
| JP2015195329A (en) * | 2014-03-28 | 2015-11-05 | 株式会社秀峰 | Conductive wiring manufacturing method and conductive wiring |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021019188A (en) * | 2019-07-17 | 2021-02-15 | ゼロックス コーポレイションXerox Corporation | System, apparatus and method for producing printed electrically conductive lines |
| JP2022057920A (en) * | 2020-09-30 | 2022-04-11 | 日亜化学工業株式会社 | Method for manufacturing circuit board and circuit board, and light emitting device |
| JP7640828B2 (en) | 2020-09-30 | 2025-03-06 | 日亜化学工業株式会社 | Circuit board manufacturing method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101693974B1 (en) | Method for preparing multi-layer printed circuit board using conductive copper ink and light sintering, and the multi-layer printed circuit board prepared therefrom | |
| JP2007053212A (en) | Circuit board manufacturing method | |
| TWI665332B (en) | Dispersion,method for manufacturing structure with conductive pattern using the same,and structure with conductive pattern | |
| CN101711488A (en) | Method in manufacturing of circuit boards | |
| JP2013120864A (en) | Method of forming conductor pattern and substrate equipped with conductor pattern | |
| CN102271456A (en) | Heat-conduction ceramic-based printed circuit board (PCB) and manufacture method thereof | |
| JP6170045B2 (en) | Bonding substrate and manufacturing method thereof, semiconductor module using bonding substrate, and manufacturing method thereof | |
| JP2016039171A (en) | Conductive wiring manufacturing method and conductive wiring | |
| WO2015145848A1 (en) | Method for manufacturing conductive line and conductive line | |
| CN108155103A (en) | A kind of aluminum nitride ceramic copper-clad substrate and preparation method thereof | |
| JP2015195329A (en) | Conductive wiring manufacturing method and conductive wiring | |
| JP5582069B2 (en) | Ceramic multilayer substrate | |
| CN108002865B (en) | Functional ceramic element and method for forming electrodes on functional ceramic layer | |
| JP2016086013A (en) | Film-like printed circuit board and method for manufacturing the same | |
| JP2010034311A (en) | Member for multilayer wiring board, and method of manufacturing multilayer wiring board | |
| JP2008192565A (en) | Conductive paste and conductive coating film | |
| JP2016103562A (en) | Method of manufacturing printed circuit board and printed circuit board | |
| JP6420088B2 (en) | Manufacturing method of ceramic multilayer wiring board | |
| JP2010272835A5 (en) | ||
| CN118043913A (en) | Conductive paste, substrate with conductive film, and method for producing substrate with conductive film | |
| JP5018759B2 (en) | Wiring board manufacturing method | |
| JP2022153704A (en) | Power semiconductor substrate manufacturing method and heat-resistant glass substrate | |
| JP2006100499A (en) | Sheet for forming conductor, method for forming conductor, and method for manufacturing electronic component | |
| JPWO2014027486A1 (en) | Electronic component and manufacturing method thereof | |
| JP2007123677A (en) | Manufacturing method of multilayer ceramic substrate |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170619 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180327 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20181016 |