[go: up one dir, main page]

JP2016031991A - セラミック電子部品およびその製造方法 - Google Patents

セラミック電子部品およびその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2016031991A
JP2016031991A JP2014153091A JP2014153091A JP2016031991A JP 2016031991 A JP2016031991 A JP 2016031991A JP 2014153091 A JP2014153091 A JP 2014153091A JP 2014153091 A JP2014153091 A JP 2014153091A JP 2016031991 A JP2016031991 A JP 2016031991A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic
resin
ceramic element
electronic component
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2014153091A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6252393B2 (ja
Inventor
光典 井上
Mitsunori Inoue
光典 井上
智彦 森
Tomohiko Mori
智彦 森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2014153091A priority Critical patent/JP6252393B2/ja
Priority to US14/804,389 priority patent/US20160027569A1/en
Priority to CN201510441362.9A priority patent/CN105304325B/zh
Priority to KR1020150105972A priority patent/KR101721628B1/ko
Publication of JP2016031991A publication Critical patent/JP2016031991A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6252393B2 publication Critical patent/JP6252393B2/ja
Priority to US15/960,917 priority patent/US11328851B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F17/00Fixed inductances of the signal type
    • H01F17/0006Printed inductances
    • H01F17/0013Printed inductances with stacked layers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F17/00Fixed inductances of the signal type
    • H01F17/04Fixed inductances of the signal type with magnetic core
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F27/00Details of transformers or inductances, in general
    • H01F27/28Coils; Windings; Conductive connections
    • H01F27/29Terminals; Tapping arrangements for signal inductances
    • H01F27/292Surface mounted devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F41/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
    • H01F41/02Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
    • H01F41/04Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
    • H01F41/041Printed circuit coils
    • H01F41/046Printed circuit coils structurally combined with ferromagnetic material
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F41/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
    • H01F41/14Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
    • H01F41/16Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates the magnetic material being applied in the form of particles, e.g. by serigraphy, to form thick magnetic films or precursors therefor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/08Inorganic dielectrics
    • H01G4/12Ceramic dielectrics
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/228Terminals
    • H01G4/232Terminals electrically connecting two or more layers of a stacked or rolled capacitor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/30Stacked capacitors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C7/00Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
    • H01C7/008Thermistors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C7/00Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
    • H01C7/10Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material voltage responsive, i.e. varistors
    • H01C7/102Varistor boundary, e.g. surface layers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Coils Or Transformers For Communication (AREA)
  • Thermistors And Varistors (AREA)

Abstract

【課題】水分などの不純物の内部への入り込みによる特性劣化を防止することができるとともに、体積当たりの特性の低下を抑制することができる、セラミック電子部品およびその製造方法を提供する。
【解決手段】積層コイル10は、セラミック素子1と、セラミック素子1の表面に設けられた外部電極6a,6bと、を備えている。セラミック素子1の空隙1aおよびセラミック素子1と外部電極6a、6bの界面の空隙3a,3bには、樹脂組成物8が充填されている。樹脂組成物8は、セラミック素子1の表面をエッチングしてセラミック素子1の構成元素をイオン化する機能を有する樹脂含有溶液を、積層コイル10に付与することによって形成されている。樹脂組成物8は、樹脂とセラミック素子1からイオン化されて析出したセラミック素子1の構成元素のうちカチオン性の元素とを含む。
【選択図】図1

Description

本発明は、セラミック電子部品およびその製造方法に関し、特にセラミック素子とセラミック素子表面に設けられた電極とを備えた、例えば積層コイル、積層セラミックコンデンサ、サーミスタ、バリスタ、多層基板などのセラミック電子部品およびその製造方法に関する。
セラミック電子部品は、セラミック素子にクラック(空隙)が生じることがある。また、セラミック素子とその表面に設けられた電極のような異種材料の接合界面に隙間(空隙)が生じやすい。このようなセラミック素子の空隙やセラミック素子と電極の界面の空隙を介して、セラミック電子部品の内部に水分などの不純物が入り込み、特性劣化(絶縁劣化)を引き起こす場合がある。
そこで、この対策として、セラミック電子部品のセラミック素子表面を、特許文献1に示すように樹脂でコーティングする技術が提案されている。
セラミック電子部品のセラミック素子表面をコーティングすることによって、めっき処理時のめっき液や実装時のフラックスによるセラミック素子への化学的浸食の影響を軽減できる。そして、セラミック素子表面をコーティングすることによって、めっき処理時において、セラミック素子表面へのめっき成長が抑制され、電子部品の導電性不具合を低減できる。
さらに、セラミック素子表面をコーティングすることによって、電子部品の内部に水分、めっき液、フラックスなどが浸入することを防止でき、電子部品の信頼性の劣化、あるいは、内部電極へのめっき析出による電気特性劣化を防ぐことができる。
特表2004−500719号公報
しかしながら、特許文献1のように、セラミック電子部品のセラミック素子表面を樹脂でコーティングする場合は、セラミック素子の空隙以外のセラミック電子部品の表面に樹脂が付着することでセラミック電子部品のサイズが大きくなってしまう。これにより、セラミック電子部品の体積当たりの特性が低下してしまう。
なお、特許文献1の先行技術による樹脂コーティングでは、樹脂がセラミック素子に強固に付着しているため、バレル研磨により樹脂(膜)を剥離することができない。また、特許文献1の先行技術では、樹脂を除去する工程があるが、セラミック素子やセラミック素子と電極の界面の空隙に付着した樹脂のみを残してセラミック素子表面に付着した樹脂を選択的に除去することは困難である。
それゆえに、本発明の目的は、水分などの不純物の内部への入り込みによる特性劣化を防止することができるとともに、体積当たりの特性の低下を抑制することができる、セラミック電子部品およびその製造方法を提供することである。
本発明は、
セラミック素子と、セラミック素子表面に設けられた電極と、を備えたセラミック電子部品であって、
セラミック素子およびセラミック素子と電極の界面の空隙の少なくとも一部に、樹脂とセラミック素子の構成元素のうちカチオン性の元素とを含む樹脂組成物を充填したこと、を特徴とする、セラミック電子部品である。
セラミック素子の構成元素のうちカチオン性の元素は、セラミック素子から溶け出して析出された状態で、樹脂組成物に含まれている。そして、セラミック素子の構成元素は、Ba、Ti、Ca、Zr、Fe、Ni、Cu、Zn、Mn、Co、Siのうち少なくとも1種を含む。また、セラミック素子表面に設けられた電極には、めっき皮膜が形成されていてもよい。
本発明のセラミック電子部品は、樹脂の熱分解温度が240℃以上であることが好ましい。そして、樹脂は、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン系樹脂、フッ素系樹脂のうち少なくとも1種を含むことが好ましい。これにより、セラミック電子部品は耐熱性が向上する。
また、本発明のセラミック電子部品は、樹脂組成物が加熱により架橋したものであることが好ましい。これにより、短時間で樹脂組成物を形成することができる。
また、本発明は、
セラミック素子と、セラミック素子表面に設けられた電極と、セラミック素子およびセラミック素子と電極の界面の空隙の少なくとも一部に充填された樹脂組成物と、を備えたセラミック電子部品の製造方法であって、
セラミック素子表面をエッチングしてセラミック素子の構成元素をイオン化する機能を有する樹脂含有溶液を、セラミック素子表面に付与する工程と、
樹脂とセラミック素子からイオン化されて析出したセラミック素子の構成元素のうちカチオン性の元素とを含む樹脂組成物を、セラミック素子およびセラミック素子と電極の界面の空隙の少なくとも一部に形成する工程とを有する、セラミック電子部品の製造方法である。
樹脂含有溶液をセラミック素子表面に付与する方法としては、浸漬や塗布などの方法があるが、好ましくは、セラミック素子を樹脂含有溶液中に入れた状態で、樹脂含有溶液およびセラミック素子の攪拌を行ったり、空隙への樹脂含有溶液の真空/加圧含浸を行ったりする。また、樹脂とは、カルボキシル基やアミノ基などの極性基を有する状態に調整されたものであり、有機物もしくは有機物と無機物の複合物として、水系の溶媒中に溶解可能もしくは分散可能なものを意味する。
本発明の樹脂含有溶液は、樹脂を水系の溶媒に分散したものであり、セラミックをエッチング(溶解)する成分と溶解したセラミックイオンと樹脂成分を反応させる成分を有する。
本発明では、樹脂含有溶液が、セラミック素子表面をエッチングして(溶解して)セラミック素子の構成元素をイオン化する。そして、樹脂含有溶液に溶解(分散)している樹脂成分が、イオン化したセラミック素子の構成元素のうちカチオン性の元素と反応することによって、樹脂成分の電荷が中和される。その結果、樹脂成分が、セラミック素子の構成元素のうちカチオン性の元素と共に沈降する。
具体的には、水系の溶媒に安定に分散しているアニオン性の樹脂成分がセラミック素子の構成元素のうちカチオン性の元素と反応することで、不安定化してセラミック素子表面に沈降する。
イオン化したセラミック素子の構成元素と樹脂含有溶液との反応は、セラミック素子表面において起こり易いため、反応物がセラミック素子表面に固定化されるものと思われる。これに対して、セラミック素子表面に形成された電極ではエッチング反応がほとんど起こらないため、イオン化したセラミック素子の構成元素が少なく、樹脂含有溶液との反応は起こらない。そのため、樹脂組成物はセラミック素子表面のみに選択的に析出する。
本発明において形成される樹脂組成物は、前駆体としてエマルジョンの凝集したゲル状態を経る。そのため、このゲル状態の段階において、セラミック素子表面のセラミック素子およびセラミック素子と電極の界面の空隙以外の部分に析出した反応物を、例えばバレル研磨などにより容易に除去することができる。したがって、本発明では、樹脂組成物を、セラミック素子およびセラミック素子と電極の界面の空隙に部分的に形成することができる。
本発明によれば、樹脂組成物がセラミック素子およびセラミック素子と電極の界面の空隙の少なくとも一部に形成される。そのため、水分などの不純物の内部への入り込みによる特性劣化を防止することができるセラミック電子部品を得ることができる。また、化学的作用により樹脂組成物が形成されるため、複雑な形状の空隙や電極を有しているセラミック電子部品にも適応できる。
さらに、本発明によるセラミック電子部品では、セラミック素子およびセラミック素子と電極の界面の空隙に部分的に樹脂組成物が形成されるので、セラミック電子部品のサイズがほとんど大きくならない。そのため、体積当たりの特性の低下を抑制することができるセラミック電子部品を得ることができる。
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための形態の説明から一層明らかとなろう。
本発明に係るセラミック電子部品の一実施の形態を示す断面図である。 本発明に係るセラミック電子部品の製造方法の実施の形態を示すフローチャートである。 外部電極の拡大断面図である。 別の外部電極の拡大断面図である。 さらに別の外部電極の拡大断面図である。 本発明に係るセラミック電子部品の別の実施の形態を示す断面図である。
本発明に係るセラミック電子部品およびその製造方法の一実施の形態を説明する。
本発明に係るセラミック電子部品について、積層コイルを例にして説明する。
図1は、本発明に係るセラミック電子部品である積層コイル10を示す断面図である。積層コイル10は、略直方体のセラミック素子1と、セラミック素子1の左右の端部に形成された外部電極6a,6bと、を備えている。
セラミック素子1は、厚み方向において、複数のセラミック層2と、複数の内部電極4a,4b,4cと、を積み重ねた積層体である。
セラミック層2は、Cu−Zn系フェライト、Ni−Zn系フェライトなどの磁性セラミック材料からなる。
内部電極4aは、例えば平面的に見てJ字状に形成され、その端部がセラミック素子1の左端面に引き出され、外部電極6aに電気的に接続されている。内部電極4bは、例えば平面的に見てJ字状に形成され、その端部がセラミック素子1の右端面に引き出され、外部電極6bに電気的に接続されている。複数の内部電極4cは、内部電極4a,4b間において各セラミック層2間に例えば平面的に見てC字状に形成されている。また、内部電極4aと、複数の内部電極4cと、内部電極4bとは、各セラミック層2を貫通する各スルーホール電極によってコイル状にかつ直列に接続されている。そして、外部電極6a,6b間において、コイル機能が発揮される。内部電極4a,4b,4cおよびスルーホール電極は、Ag、Cu、Ni、Pd、または、これら金属の合金などからなる。
外部電極6a,6bは、それぞれ、その表面にめっき皮膜7a,7bが形成されている。めっき皮膜7a,7bは、外部電極6a,6bを保護し、かつ、外部電極6a,6bのはんだ付け性を良好にする。
この積層コイル10では、例えば、セラミック素子1の表面に空隙1aを有するとともに、セラミック素子1と外部電極6a,6bの界面に空隙3a,3bを有する。そのため、セラミック素子1の空隙1aと、セラミック素子1と外部電極6a,6bの界面の空隙3a,3bとには、それぞれ、樹脂組成物8が充填されている。樹脂組成物8は、樹脂と、セラミック素子1の構成元素のうちカチオン性の元素と、を含んでいる。
樹脂組成物8に含まれているセラミック素子1の構成元素のうちカチオン性の元素は、セラミック素子1のセラミック層2の一部が溶け出して析出したものである。より具体的には、セラミック素子1の構成元素のうちカチオン性の元素は、セラミック層2のCu−Zn系フェライト、Ni−Zn系フェライトなどからそれぞれ溶け出して析出したSr、Sn、Fe、Ni、Cu、Zn、Mn、Coなどである。
樹脂組成物8に含まれている樹脂は、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン系樹脂、フッ素系樹脂などである。積層コイル10は、通常、はんだによる実装工程を経るため、樹脂組成物8は高耐熱性(240℃以上)を有することが好ましい。従って、熱分解温度が240℃以上である樹脂が好ましい。ここで、耐熱性は、(ポリ塩化ビニリデン系樹脂、アクリル系樹脂)<エポキシ系樹脂<(ポリイミド系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン系樹脂、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂)の関係になる。
以上の構成からなる積層コイル10は、樹脂組成物8が、樹脂と、セラミック素子1の構成元素のうちカチオン性の元素と、を含んでおり、積層コイル10のセラミック素子1の空隙1aおよびセラミック素子1と外部電極6a,6bの界面の空隙3a,3bに樹脂組成物8が形成される。そのため、水分などの不純物が積層コイル10の内部へ入り込むことによる特性劣化を防止することができる。このようにして、信頼性の改善を図ることができる積層コイル10を得ることができる。また、化学的作用により樹脂組成物8が形成されるため、複雑な形状の空隙や電極を有している積層コイル10にも適応できる。
また、この積層コイル10では、セラミック素子1の空隙1aおよびセラミック素子1と外部電極6a,6bの界面の空隙3a,3bに部分的に樹脂組成物8が形成されるので、積層コイル10のサイズがほとんど大きくならない。そのため、体積当たりの特性の低下を抑制することができる積層コイル10を得ることができる。
次に、本発明に係るセラミック電子部品の製造方法を、積層コイル10を例にして説明する。図2は、積層コイル10の製造方法を示すフローチャートである。
工程S1で、Cu−Zn系フェライト、Ni−Zn系フェライトなどの磁性セラミック材料に、有機バインダ、分散剤および可塑剤などが添加されて、シート成形用スラリーが作製される。
次に、工程S2で、シート成形用スラリーは、ドクターブレード法によりシート状に成形され、矩形のセラミックグリーンシートとされる。
次に、工程S3で、セラミックグリーンシートを厚み方向に貫通するように、Agを含有するスルーホール電極ペーストが周知の方法で塗布され、スルーホール電極となるべき電極ペースト柱が形成された後に、セラミックグリーンシート上に、Agを含有する内部電極ペーストがスクリーン印刷法で塗布され、内部電極4a,4b,4cとなるべき電極ペースト膜が形成される。
次に、工程S4で、電極ペースト膜や電極ペースト柱が形成されたセラミックグリーンシートは、電極ペースト膜および電極ペースト柱が所定の位置になるように複数枚積層され、圧着される。この積層セラミックグリーンシートは、個々のセラミック素子1となるべき寸法に切断され、複数の未焼成のセラミック素子1とされる。
次に、工程S5で、未焼成のセラミック素子1は、400〜500℃の温度で脱バインダ処理される。その後、未焼成のセラミック素子1は、900〜1000℃の温度で2時間焼成され、焼結したセラミック素子1とされる。セラミックグリーンシートと、電極ペースト膜および電極ペースト柱とは同時焼成され、セラミックグリーンシートはセラミック層2となり、電極ペースト膜は内部電極4a,4b,4cとなり、電極ペースト柱はスルーホール電極となる。
そして、この後の工程では、[方法1]〜[方法3]の3種類の製造方法が示されている。
(a)[方法1]の場合
[方法1]の製造方法の場合は、工程S6で、焼結したセラミック素子1の両端部に、外部電極ペースト(AgPd合金ペースト)が塗布される。その後、焼結したセラミック素子1は、900℃の温度で外部電極ペーストが焼き付けられ、内部電極4a,4bにそれぞれ電気的に接続された外部電極6a,6bが形成される。
次に、工程S7で、セラミック素子1には、樹脂含有溶液が浸漬法により付与され、もしくは、スピンコーティングにより塗布される。樹脂含有溶液がセラミック素子1の空隙1aおよびセラミック素子1と外部電極6a,6bの界面の空隙3a,3bに入りやすくするために、セラミック素子1を樹脂含有溶液中に入れた状態で、樹脂含有溶液およびセラミック素子1の攪拌を行ったり、空隙1a,3a,3bへの樹脂含有溶液の真空/加圧含浸を行ったりすることが好ましい。
樹脂含有溶液は、セラミック素子1の表面をエッチングして、セラミック素子1の構成元素をイオン化する機能を有し、かつ、水系の溶媒に溶解もしくは分散した樹脂成分を含む。さらに、樹脂含有溶液は、樹脂成分を溶解もしくは分散するための中和剤および必要に応じて溶解したセラミック素子の構成元素のうちカチオン性の元素と反応させるための界面活性剤などを含む。
従って、樹脂含有溶液は、セラミック素子1の表面をエッチングして(溶解して)セラミック素子1の構成元素をイオン化する。樹脂含有溶液のエッチング(溶解)作用は、積層コイル10の場合、イオン性の高い金属元素を含むため、エッチング促進成分を添加しなくても、樹脂含有溶液の構成成分だけで、エッチング(溶解)反応を起こすことができる。すなわち、樹脂含有溶液のpHが、イオン性の高い金属元素がイオンとして安定に存在するpH領域(pH<5、pH>11)に設定されることにより、エッチング(溶解)反応は進行する。
そして、樹脂含有溶液に溶解(分散)している樹脂成分が、イオン化したセラミック素子1の構成元素のうちカチオン性の元素と反応することによって、樹脂成分の電荷が中和される。その結果、樹脂成分が、セラミック素子1の構成元素のうちカチオン性の元素と共に沈降し、セラミック素子表面に析出する。従って、析出した樹脂成分には、溶解してイオン化したセラミック素子1の構成元素のうちカチオン性の元素が取り込まれている。
形成される樹脂組成物8は、前駆体としてエマルジョンの凝集したゲル状態を経る。そのため、このゲル状態の段階において、セラミック素子表面のセラミック素子1の空隙1aおよびセラミック素子1と外部電極6a,6bの界面の空隙3a,3b以外の部分に析出した反応物を、例えばバレル研磨などにより容易に除去することができる。したがって、樹脂組成物8を、セラミック素子1の空隙1aおよびセラミック素子1と外部電極6a,6bの界面の空隙3a,3bに部分的に形成することができる。なお、その後、セラミック素子1は、必要に応じて純水などの極性溶媒により洗浄されてもよい。
樹脂含有溶液に含まれる樹脂は、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン系樹脂、フッ素系樹脂などであるけれども、基本的には本処理によって析出する樹脂であればよく、その種類は問わない。
こうして、セラミック素子1からイオン化されて析出したセラミック素子1の構成元素のうちカチオン性の元素と樹脂とを含む樹脂組成物8が、セラミック素子1の空隙1aおよびセラミック素子1と外部電極6a,6bの界面の空隙3a,3bとに形成される。その後、樹脂組成物8は加熱処理がされる。加熱処理は、析出した樹脂含有溶液の樹脂成分同士の架橋反応を促進するためであり、樹脂成分の種類によって加熱条件は異なる。一般的に、架橋反応は高温下で進行し易い。しかし、高温になり過ぎると、樹脂成分の分解反応が大きくなってしまう。従って、樹脂成分に合わせて、最適な温度と時間を設定する必要がある。
次に、工程S8で、めっき皮膜7a,7bが、電解または無電解めっき法により、外部電極6a,6bの上に形成される。めっき皮膜7a,7bは、例えば、下層のNiめっき膜と上層のSnめっき膜とで構成された2重構造を採用している。図3は、[方法1]の製造方法によって外部電極6bが形成されている部分の拡大断面図である。
(b)[方法2]の場合
[方法2]の製造方法の場合は、工程S9で、セラミック素子1には、樹脂含有溶液が浸漬法により付与され、もしくは、スピンコーティングにより塗布され、好ましくは、攪拌を行ったり、真空/加圧含浸を行ったりして付与ないしは塗布される。樹脂含有溶液は、セラミック素子1の表面をエッチングして(溶解して)セラミック素子1の構成元素をイオン化する。そして、樹脂含有溶液に溶解(分散)している樹脂成分が、イオン化したセラミック素子1の構成元素のうちカチオン性の元素と反応することによって、樹脂成分の電荷が中和される。その結果、樹脂成分が、セラミック素子1の構成元素のうちカチオン性の元素と共に沈降し、セラミック素子1の略全表面に析出する。従って、析出した樹脂成分には、溶解してイオン化したセラミック素子1の構成元素のうちカチオン性の元素が取り込まれている。なお、樹脂含有溶液が付与された後、セラミック素子1は、必要に応じて純水などの極性溶媒により洗浄されてもよい。
こうして、セラミック素子1からイオン化されて析出したセラミック素子1の構成元素のうちカチオン性の元素と樹脂とを含む樹脂組成物8が、セラミック素子1の空隙1aに形成される。その後、樹脂組成物8は加熱処理がされる。
次に、工程S10で、セラミック素子1の両端部に、外部電極ペーストが塗布される。その後、セラミック素子1は、樹脂組成物8が熱分解しない温度で、内部電極4a,4bにそれぞれ電気的に接続された外部電極6a,6bが形成される。
次に、工程S11で、めっき皮膜7a,7bが、電解または無電解めっき法により、外部電極6a,6bの上に形成される。図4は、[方法2]の製造方法によって外部電極6bが形成されている部分の拡大断面図である。
(c)[方法3]の場合
[方法3]の製造方法の場合は、工程S12で、セラミック素子1の両端部に、外部電極ペーストが塗布される。その後、セラミック素子1は、900℃の温度で外部電極ペーストが焼き付けられ、内部電極4a,4bにそれぞれ電気的に接続された外部電極6a,6bが形成される。
次に、工程S13で、めっき皮膜7a,7bが、電解または無電解めっき法により、外部電極6a,6bの上に形成される。
次に、工程S14で、セラミック素子1は、樹脂含有溶液が浸漬法により付与され、もしくは、スピンコーティングにより塗布され、好ましくは、攪拌を行ったり、真空/加圧含浸を行ったりして付与ないしは塗布される。樹脂含有溶液は、セラミック素子1の表面をエッチングして(溶解して)セラミック素子1の構成元素をイオン化する。そして、樹脂含有溶液に溶解(分散)している樹脂成分が、イオン化したセラミック素子1の構成元素のうちカチオン性の元素と反応することによって、樹脂成分の電荷が中和される。その結果、樹脂成分が、セラミック素子1の構成元素のうちカチオン性の元素と共に沈降し、セラミック素子表面に析出する。従って、析出した樹脂成分には、溶解してイオン化したセラミック素子1の構成元素のうちカチオン性の元素が取り込まれている。なお、樹脂含有溶液が付与された後、セラミック素子1は、必要に応じて純水などの極性溶媒により洗浄されてもよい。
こうして、セラミック素子1からイオン化されて析出したセラミック素子1の構成元素のうちカチオン性の元素と樹脂とを含む樹脂組成物8が、セラミック素子1の空隙1aおよびセラミック素子1と外部電極6a,6bの界面の空隙3a,3bに形成される。その後、樹脂組成物8は加熱処理がされる。図5は、[方法3]の製造方法によって外部電極6bが形成されている部分の拡大断面図である。
次に、本発明に係るセラミック電子部品について、積層コイル以外の例として、積層セラミックコンデンサを説明する。
図6は、本発明に係るセラミック電子部品である積層セラミックコンデンサ30を示す断面図である。積層セラミックコンデンサ30は、略直方体のセラミック素子21と、セラミック素子21の左右の端部に形成された外部電極26a,26bと、を備えている。
セラミック素子21は、厚み方向において、複数のセラミック層22と、セラミック層22を介して互いに対向している複数対の内部電極24a,24bと、を積み重ねた積層体である。
セラミック層22は、主成分のPb(Mg,Nb)O3−PbTiO3−Pb(Cu,W)−ZnO−MnO2に、還元防止剤のLi2O−BaO−B23−SiO2を混合したセラミック材料や、CaZrO3−CaTiO3を主成分とするセラミック材料などからなる。
内部電極24aは、例えば平面的に見て略矩形状に形成され、その端部がセラミック素子21の左端面に引き出され、外部電極26aに電気的に接続されている。内部電極24bは、例えば平面的に見て略矩形状に形成され、その端部がセラミック素子21の右端面に引き出され、外部電極26bに電気的に接続されている。そして、内部電極24a,24bの対向している部分にて、コンデンサ機能が発揮される。内部電極24a,24bは、Ag、Cu、Ni、Pd、または、これら金属の合金などからなる。
外部電極26a,26bは、それぞれ、その表面にめっき皮膜27a,27bが形成されている。めっき皮膜27a,27bは、外部電極26a,26bを保護し、かつ、外部電極26a,26bのはんだ付け性を良好にする。
この積層セラミックコンデンサ30では、例えば、セラミック素子21の表面側に空隙21aを有するとともに、セラミック素子21と外部電極26a,26bの界面に空隙23a,23bを有する。そのため、セラミック素子21の空隙21aと、セラミック素子21と外部電極26a,26bの界面の空隙23a,23bとには、それぞれ、積層コイル10の場合と同様に、樹脂組成物28が充填されている。樹脂組成物28は、樹脂と、セラミック素子21の構成元素のうちカチオン性の元素と、を含んでいる。
樹脂組成物28に含まれているセラミック素子21の構成元素のうちカチオン性の元素は、セラミック素子21のセラミック層22の一部が溶け出して析出したものである。より具体的には、セラミック素子21の構成元素のうちカチオン性の元素は、セラミック層のPb(Mg,Nb)O3−PbTiO3−Pb(Cu,W)−ZnO−MnO2、Li2O−BaO−B23−SiO2、CaZrO3−CaTiO3などからそれぞれ溶け出して析出したPb、Mg、Nb、Ti、Ba、Li、Zn、Mn、Si、Ca、Zrなどである。
1.実施例および比較例
実施例および比較例の各セラミック電子部品(積層コイル、積層セラミックコンデンサ)が作製され、特性評価が行われた。
2.実施例および比較例の作製
(a)実施例1〜実施例3
表1に示すように、前記実施の形態の[方法1]の製造方法によって、樹脂組成物8をセラミック素子1の空隙1aおよびセラミック素子1と外部電極6a,6bの界面の空隙3a,3bに充填した積層コイル10(図1参照)を作製した。
樹脂含有溶液としては、樹脂成分が水系の溶媒に分散した市販のラテックスに、エッチング促進成分と界面活性剤を添加したものが使用された。
実施例1の樹脂含有溶液は、樹脂成分としてのアクリル系樹脂(商品名:Nipol LX814A(日本ゼオン製))に、エッチング促進成分としての硫酸を添加して、pHを3.0に調整したものを用いた。これに界面活性剤としてニューレックス(登録商標、日油製)を1vol%添加した。樹脂含有溶液は固形分濃度が10wt%になるように調整した。
実施例2の樹脂含有溶液は、樹脂成分としてのシリコーン系樹脂(商品名:POLON−MF−56(信越化学工業製))に、エッチング促進成分としての硫酸を添加して、pHを3.0に調整したものを用いた。これに界面活性剤としてニューレックス(登録商標、日油製)を1vol%添加した。樹脂含有溶液は固形分濃度が10wt%になるように調整した。
実施例3の樹脂含有溶液は、樹脂成分としてのエポキシ系樹脂(商品名:モデピクス302(荒川化学工業製))に、エッチング促進成分としての硫酸を添加して、pHを3.0に調整したものを用いた。これに界面活性剤としてニューレックス(登録商標、日油製)を1vol%添加した。樹脂含有溶液は固形分濃度が10wt%になるように調整した。
(b)実施例4
表2に示すように、前記実施の形態の[方法1]の製造方法によって、樹脂組成物28をセラミック素子21の空隙21aおよびセラミック素子21と外部電極26a,26bの界面の空隙23a,23bに充填した積層セラミックコンデンサ30(図6参照)が作製された。
実施例4の樹脂含有溶液は、樹脂成分としてのアクリル系樹脂(商品名:Nipol LX814A(日本ゼオン製))に、エッチング促進成分としての硫酸を添加して、pHを3.0に調整したものを用いた。これに界面活性剤としてニューレックス(登録商標、日油製)を1vol%添加した。樹脂含有溶液は固形分濃度が10wt%になるように調整した。
(c)比較例1,2
表1および表2に示すように、図2に示す樹脂組成物形成処理を実施していない、積層コイル(比較例1)および積層セラミックコンデンサ(比較例2)が作製された。
3.実施例および比較例における特性評価および評価方法
作製された実施例1〜3および比較例1の積層コイルと実施例4および比較例2の積層セラミックコンデンサとに対して、以下の恒温恒湿試験による特性変化の評価が行なわれた。
(a)恒温恒湿試験によるインピーダンスの変化
実施例1〜3および比較例1の積層コイルについて、それぞれ、温度85℃、湿度85%において試料20個を定格電流2Aで100時間の恒温恒湿試験によるインピーダンスの変化を調べた。この場合、特に、恒温恒湿試験前のインピーダンスを基準として恒温恒湿試験後のインピーダンスの変化率を調べた。また、インピーダンスの変化率は、試料20個の平均値とした。
(b)恒温恒湿試験による絶縁抵抗の変化
実施例4および比較例2の積層セラミックコンデンサについて、それぞれ、温度85℃、湿度85%に設定した恒温恒湿槽中に試料20個を2000時間放置した後の絶縁抵抗を測定した。そして、絶縁抵抗が107Ω(10MΩ)以下のものをNG(不良)と判定して、絶縁抵抗の不良発生率を調べた。なお、それらの積層セラミックコンデンサは、それぞれ、恒温恒湿試験前には、絶縁抵抗が107Ω(10MΩ)を超えており、不良ではなかった。
4.実施例および比較例における特性評価結果
表1は実施例1〜3および比較例1の特性評価の結果を示す。
表2は実施例4および比較例2の特性評価の結果を示す。
表1の結果より、インピーダンスの変化は、未処理品(比較例1)ではマイグレーションの発生により−50%であったのに対して、本実施例の構成(実施例1〜3)では0%であった。
また、表2の結果より、絶縁抵抗の不良発生率は、未処理品(比較例2)では10%であったのに対して、本実施例の構成(実施例4)では0%であった。
なお、この発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々に変形される。
この発明にかかるセラミック電子部品は、特に小型化や軽量化が求められる例えば携帯通信機器などの携帯用機器の部品などとして好適に用いられる。
1 セラミック素子
1a セラミック素子の空隙
2 セラミック層
3a,3b セラミック素子と外部電極の界面の空隙
4a,4b,4c 内部電極
6a,6b 外部電極
7a,7b めっき皮膜
8 樹脂組成物
10 積層コイル
21 セラミック素子
21a セラミック素子の空隙
22 セラミック層
23a,23b セラミック素子と外部電極の界面の空隙
24a,24b 内部電極
26a,26b 外部電極
27a,27b めっき皮膜
28 樹脂組成物
30 積層セラミックコンデンサ

Claims (7)

  1. セラミック素子と、前記セラミック素子表面に設けられた電極と、を備えたセラミック電子部品であって、
    前記セラミック素子および前記セラミック素子と前記電極の界面の空隙の少なくとも一部に、樹脂と前記セラミック素子の構成元素のうちカチオン性の元素とを含む樹脂組成物を充填したこと、を特徴とする、セラミック電子部品。
  2. 前記セラミック素子の構成元素は、Ba、Ti、Ca、Zr、Fe、Ni、Cu、Zn、Mn、Co、Siのうち少なくとも1種を含むこと、を特徴とする、請求項1に記載のセラミック電子部品。
  3. 前記樹脂の熱分解温度が240℃以上であること、を特徴とする、請求項1または請求項2に記載のセラミック電子部品。
  4. 前記樹脂が、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン系樹脂、フッ素系樹脂のうち少なくとも1種を含むこと、を特徴とする、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のセラミック電子部品。
  5. 前記樹脂組成物が加熱により架橋したものであること、を特徴とする、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のセラミック電子部品。
  6. 前記電極にめっき皮膜が形成されていること、を特徴とする、請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のセラミック電子部品。
  7. セラミック素子と、前記セラミック素子表面に設けられた電極と、前記セラミック素子および前記セラミック素子と前記電極の界面の空隙の少なくとも一部に充填された樹脂組成物と、を備えたセラミック電子部品の製造方法であって、
    前記セラミック素子表面をエッチングして前記セラミック素子の構成元素をイオン化する機能を有する樹脂含有溶液を、前記セラミック素子表面に付与する工程と、
    樹脂と前記セラミック素子からイオン化されて析出したセラミック素子の構成元素のうちカチオン性の元素とを含む樹脂組成物を、前記セラミック素子および前記セラミック素子と前記電極の界面の空隙の少なくとも一部に形成する工程とを有する、セラミック電子部品の製造方法。
JP2014153091A 2014-07-28 2014-07-28 セラミック電子部品およびその製造方法 Active JP6252393B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014153091A JP6252393B2 (ja) 2014-07-28 2014-07-28 セラミック電子部品およびその製造方法
US14/804,389 US20160027569A1 (en) 2014-07-28 2015-07-21 Ceramic electronic component and manufacturing method therefor
CN201510441362.9A CN105304325B (zh) 2014-07-28 2015-07-24 陶瓷电子部件及其制造方法
KR1020150105972A KR101721628B1 (ko) 2014-07-28 2015-07-27 세라믹 전자 부품 및 그 제조 방법
US15/960,917 US11328851B2 (en) 2014-07-28 2018-04-24 Ceramic electronic component and manufacturing method therefor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014153091A JP6252393B2 (ja) 2014-07-28 2014-07-28 セラミック電子部品およびその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016031991A true JP2016031991A (ja) 2016-03-07
JP6252393B2 JP6252393B2 (ja) 2017-12-27

Family

ID=55167265

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014153091A Active JP6252393B2 (ja) 2014-07-28 2014-07-28 セラミック電子部品およびその製造方法

Country Status (4)

Country Link
US (2) US20160027569A1 (ja)
JP (1) JP6252393B2 (ja)
KR (1) KR101721628B1 (ja)
CN (1) CN105304325B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017217469A1 (ja) * 2016-06-16 2017-12-21 株式会社村田製作所 電子部品の製造方法

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017108011A (ja) * 2015-12-10 2017-06-15 株式会社村田製作所 セラミックコンデンサ及びその製造方法
WO2018030194A1 (ja) * 2016-08-10 2018-02-15 株式会社村田製作所 セラミック電子部品
JP6978834B2 (ja) * 2016-12-22 2021-12-08 太陽誘電株式会社 積層セラミック電子部品
JP6575773B2 (ja) * 2017-01-31 2019-09-18 株式会社村田製作所 コイル部品、及び該コイル部品の製造方法
KR102029598B1 (ko) * 2018-09-06 2019-10-08 삼성전기주식회사 세라믹 전자 부품
KR102070235B1 (ko) * 2018-10-29 2020-01-28 삼성전기주식회사 커패시터 부품
US10937596B2 (en) * 2019-02-06 2021-03-02 Tdk Corporation Electronic component
JP7402627B2 (ja) * 2019-07-18 2023-12-21 株式会社村田製作所 基体
CN110931225A (zh) * 2019-12-04 2020-03-27 西安西电变压器有限责任公司 一种聚合物材料在气体绝缘变压器上的应用

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10208907A (ja) * 1997-01-28 1998-08-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品とその製造方法
JP2004500719A (ja) * 2000-03-30 2004-01-08 エイブイエックス コーポレイション 電子デバイス及び電子デバイスの作製方法

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3081525A (en) * 1959-09-03 1963-03-19 Gen Am Transport Methods of making printed electric circuits
DE1223212B (de) 1962-09-29 1966-08-18 Johannes Erhard Dichtung fuer Absperrschieber
US3228881A (en) * 1963-01-04 1966-01-11 Chevron Res Dispersions of discrete particles of ferromagnetic metals
JP2002033237A (ja) * 2000-07-14 2002-01-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd セラミック電子部品およびその製造方法
CN100454454C (zh) * 2002-01-11 2009-01-21 松下电器产业株式会社 陶瓷电子部件及其制造方法
US7345868B2 (en) * 2002-10-07 2008-03-18 Presidio Components, Inc. Multilayer ceramic capacitor with terminal formed by electroless plating
US9058912B2 (en) * 2003-04-04 2015-06-16 Toray Industries, Inc. Paste composition and dielectric composition using the same
JP2005133060A (ja) * 2003-10-29 2005-05-26 Rohm & Haas Electronic Materials Llc 多孔性材料
JP2005159224A (ja) * 2003-11-28 2005-06-16 Tdk Corp 積層セラミックコンデンサ
JP2005228904A (ja) 2004-02-13 2005-08-25 Murata Mfg Co Ltd 積層セラミックコンデンサ
US8052954B2 (en) * 2004-08-27 2011-11-08 Showa Denko K.K. Barium calcium titanate, production process thereof and capacitor
US8475985B2 (en) * 2005-04-28 2013-07-02 Xerox Corporation Magnetic compositions
JP5528115B2 (ja) * 2006-12-01 2014-06-25 日本パーカライジング株式会社 高過酸化物自己析出浴
JP4854690B2 (ja) * 2007-09-21 2012-01-18 ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社 磁性シート及びその製造方法
JP5211970B2 (ja) * 2008-09-17 2013-06-12 株式会社村田製作所 セラミック電子部品の製造方法
KR101072784B1 (ko) * 2009-05-01 2011-10-14 (주)창성 자성시트를 이용한 적층형 인덕터 및 그 제조방법
KR101141442B1 (ko) * 2009-12-30 2012-05-03 삼성전기주식회사 내부전극용 도전성 페이스트 조성물 및 이를 이용한 적층 세라믹 커패시터의제조방법
US9236171B2 (en) * 2010-10-21 2016-01-12 Tdk Corporation Coil component and method for producing same
JP2013069713A (ja) 2011-09-20 2013-04-18 Tdk Corp チップ型電子部品及びチップ型電子部品の製造方法
KR101376828B1 (ko) * 2012-03-20 2014-03-20 삼성전기주식회사 적층 세라믹 전자부품 및 그 제조방법

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10208907A (ja) * 1997-01-28 1998-08-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品とその製造方法
JP2004500719A (ja) * 2000-03-30 2004-01-08 エイブイエックス コーポレイション 電子デバイス及び電子デバイスの作製方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017217469A1 (ja) * 2016-06-16 2017-12-21 株式会社村田製作所 電子部品の製造方法
JPWO2017217469A1 (ja) * 2016-06-16 2019-02-28 株式会社村田製作所 電子部品の製造方法
US11309124B2 (en) 2016-06-16 2022-04-19 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method for producing electronic component

Also Published As

Publication number Publication date
CN105304325B (zh) 2019-03-15
JP6252393B2 (ja) 2017-12-27
KR20160013823A (ko) 2016-02-05
US11328851B2 (en) 2022-05-10
CN105304325A (zh) 2016-02-03
KR101721628B1 (ko) 2017-03-30
US20160027569A1 (en) 2016-01-28
US20180240584A1 (en) 2018-08-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6252393B2 (ja) セラミック電子部品およびその製造方法
JP6015779B2 (ja) セラミック電子部品およびその製造方法
JP6274044B2 (ja) セラミック電子部品
US9595391B2 (en) Ceramic electronic component and manufacturing method therefor
JP6060945B2 (ja) セラミック電子部品およびその製造方法
JP5835357B2 (ja) 電子部品及びその製造方法
US20200303123A1 (en) Capacitor component
JP6020503B2 (ja) 積層セラミック電子部品
JP6020502B2 (ja) 積層セラミック電子部品
JP2019220602A (ja) 電子部品および電子部品の製造方法
US11264177B2 (en) Method of manufacturing multilayer ceramic capacitor and multilayer ceramic capacitor
KR20160069816A (ko) 적층 세라믹 커패시터 및 그의 제조 방법
JP2005086073A (ja) セラミック電子部品の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160202

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20161214

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170110

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170815

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20171010

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20171031

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20171113

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6252393

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150