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JP2016019447A - Hollow actuator - Google Patents

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JP2016019447A
JP2016019447A JP2014143092A JP2014143092A JP2016019447A JP 2016019447 A JP2016019447 A JP 2016019447A JP 2014143092 A JP2014143092 A JP 2014143092A JP 2014143092 A JP2014143092 A JP 2014143092A JP 2016019447 A JP2016019447 A JP 2016019447A
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JP
Japan
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outer ring
hollow actuator
ultrasonic motor
rolling bearing
ring
Prior art date
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Pending
Application number
JP2014143092A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
高田　声一
Seiichi Takada
声一 高田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NTN Corp
Original Assignee
NTN Corp
NTN Toyo Bearing Co Ltd
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Publication date
Application filed by NTN Corp, NTN Toyo Bearing Co Ltd filed Critical NTN Corp
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C41/00—Other accessories, e.g. devices integrated in the bearing not relating to the bearing function as such
    • F16C41/004—Electro-dynamic machines, e.g. motors, generators, actuators
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
    • F16C19/22—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing rollers essentially of the same size in one or more circular rows, e.g. needle bearings
    • F16C19/34—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing rollers essentially of the same size in one or more circular rows, e.g. needle bearings for both radial and axial load
    • F16C19/36—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing rollers essentially of the same size in one or more circular rows, e.g. needle bearings for both radial and axial load with a single row of rollers
    • F16C19/361—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing rollers essentially of the same size in one or more circular rows, e.g. needle bearings for both radial and axial load with a single row of rollers with cylindrical rollers
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a hollow actuator capable of securing a hollow hole with a large inner diameter by preventing damage of a bearing caused by intrusion of an abrasion powder generated by an ultrasonic motor.SOLUTION: The hollow actuator has such a configuration that an ultrasonic motor 20 is mounted at one end side of an outer ring 11 of a rolling bearing 10, an output plate 40 is mounted at the other side of an inner ring 12, and an abrasion powder generated by the ultrasonic motor 20 is prevented from intruding in the rolling bearing 10.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

この発明は、産業ロボットの関節部等を駆動する中空アクチュエータに関する。   The present invention relates to a hollow actuator that drives a joint portion or the like of an industrial robot.

この種の中空アクチュエータとして、特許文献１および２に記載されたものが従来から知られている。ここで、特許文献１に記載された中空アクチュエータにおいては、円筒状のフランジの内側に電動モータを組み込み、その電動モータのロータの回転を波動歯車装置からなる減速機により減速し、その減速機からの出力により上記フレームと同軸上に配置された出力フランジを減速回転させるようにしている。また、ロータの内側に電磁ブレーキを設け、その電磁ブレーキによって減速機を構成するウェーブジェネレータに制動力を付与するようにしている。   As this type of hollow actuator, those described in Patent Documents 1 and 2 are conventionally known. Here, in the hollow actuator described in Patent Document 1, an electric motor is incorporated inside a cylindrical flange, and the rotation of the rotor of the electric motor is decelerated by a reduction gear composed of a wave gear device. The output flange arranged coaxially with the frame is rotated at a reduced speed by the output of the above. Further, an electromagnetic brake is provided inside the rotor, and a braking force is applied to the wave generator constituting the speed reducer by the electromagnetic brake.

一方、特許文献２に記載された中空アクチュエータにおいては、転がり軸受における一対の軌道輪の一方に超音波モータのステータを取り付け、他方の軌道輪にロータを取り付けて上記ステータに圧接し、そのロータと共に他方の軌道輪を低速回転させるようにしている。   On the other hand, in the hollow actuator described in Patent Document 2, a stator of an ultrasonic motor is attached to one of a pair of bearing rings in a rolling bearing, a rotor is attached to the other bearing ring, and the stator is pressed against the stator. The other race ring is rotated at a low speed.

特開２００６−１４９１３９号公報JP 2006-149139 A 特開２００３−２２２１５１号公報JP 2003-222151 A

ところで、特許文献１に記載された中空アクチュエータにおいては、減速機および電磁ブレーキを必要とするため機構が複雑であって大型化し、出力フランジに設けられたケーブル挿入用筒部の内径を大きくできないという不都合がある。   By the way, in the hollow actuator described in patent document 1, since a reduction gear and an electromagnetic brake are required, a mechanism is complicated and it enlarges, and the internal diameter of the cylinder part for cable insertion provided in the output flange cannot be enlarged. There is an inconvenience.

一方、特許文献２に記載された中空アクチュエータにおいては、超音波モータを使用しているため、減速機や電磁ブレーキを不要とし得る分、構成を簡素化し得るが、転がり軸受の内部に超音波モータを組み込むため、超音波モータによって発生する摩耗粉が軸受内部に侵入して軸受を損傷させる可能性がある。また、中空アクチュエータの関節部への組付けに際し、内輪内径部に軸を挿入して組込む必要があるため、ケーブル挿入用の中空孔を大きく採ることができないという不都合もある。   On the other hand, in the hollow actuator described in Patent Document 2, since an ultrasonic motor is used, the configuration can be simplified as much as a reduction gear and an electromagnetic brake can be omitted. Therefore, the wear powder generated by the ultrasonic motor may enter the bearing and damage the bearing. Further, when the hollow actuator is assembled to the joint portion, it is necessary to insert the shaft into the inner ring inner diameter portion, so that there is a disadvantage that a large hollow hole for cable insertion cannot be taken.

この発明の課題は、摩耗粉の侵入による軸受の損傷を防止し、内径の大きな中空孔を確保することができるようにした中空アクチュエータを提供することである。   An object of the present invention is to provide a hollow actuator capable of preventing a bearing from being damaged by intrusion of wear powder and securing a hollow hole having a large inner diameter.

上記の課題を解決するため、この発明においては、外輪と内輪間に転動体が組み込まれた転がり軸受と、前記外輪の一側方に設けられた超音波モータと、前記内輪の他側に取り付けられた環状の出力プレートからなり、前記超音波モータを、前記外輪の一側面に取り付けられた環状のステータと、前記内輪の一側面に取り付けられて前記ステータの外側面に圧接されたロータとで形成した構成を採用したのである。   In order to solve the above-described problems, in the present invention, a rolling bearing in which rolling elements are incorporated between an outer ring and an inner ring, an ultrasonic motor provided on one side of the outer ring, and an outer side attached to the inner ring An annular output plate, and the ultrasonic motor includes an annular stator attached to one side surface of the outer ring, and a rotor attached to one side surface of the inner ring and pressed against the outer side surface of the stator. The formed structure was adopted.

上記のように、転がり軸受の外部に超音波モータを設けることによって、その超音波モータから発生する摩耗粉の転がり軸受内部への侵入を防止することができ、摩耗粉の侵入による転がり軸受の損傷を抑制することができる。   As described above, by providing an ultrasonic motor outside the rolling bearing, it is possible to prevent the wear powder generated from the ultrasonic motor from entering the inside of the rolling bearing, and damage of the rolling bearing due to the penetration of the wear powder. Can be suppressed.

ここで、転がり軸受として、外輪の内径面と内輪の外径面間に形成された軸受空間の両端開口をシールによって密閉したシール付き転がり軸受とすることにより、摩耗粉の軸受内部への侵入を確実に防止することができる。   Here, as the rolling bearing, by making a rolling bearing with a seal in which both end openings of the bearing space formed between the inner diameter surface of the outer ring and the outer diameter surface of the inner ring are sealed with a seal, the invasion of wear powder into the bearing is prevented. It can be surely prevented.

また、出力プレートと外輪の軸方向の対向面間にロータの回転角を検出する位置検出センサを設けておくことにより、中空アクチュエータの機能性の向上を図ることができる。   Further, by providing a position detection sensor that detects the rotation angle of the rotor between the output plate and the outer ring in the axial direction, the functionality of the hollow actuator can be improved.

この発明においては、上記のように、転がり軸受の一側外部に超音波モータを設けたことにより、その超音波モータで発生する摩耗粉の軸受内部への侵入を防止し、転がり軸受が摩耗粉によって損傷するのを防止することができる。   In the present invention, as described above, the ultrasonic motor is provided outside one side of the rolling bearing, so that the wear powder generated by the ultrasonic motor is prevented from entering the inside of the bearing, and the rolling bearing has the wear powder. Can prevent damage.

また、転がり軸受の他側に出力プレートを設け、その出力プレートと外輪の対向部間に回転角を検出する位置検出センサを設けたことにより、内輪の内側にケーブル挿入用としての使用が可能な径の大きな中空孔を確保することができる。   In addition, an output plate is provided on the other side of the rolling bearing, and a position detection sensor that detects a rotation angle between the output plate and the outer ring is provided, so that it can be used for inserting a cable inside the inner ring. A hollow hole having a large diameter can be secured.

この発明に係る中空アクチュエータの実施の形態を示す縦断面図A longitudinal sectional view showing an embodiment of a hollow actuator according to the present invention 図１の一部省略の右側面図Right side view of FIG. 1 partially omitted 図１の一部省略の左側面図Left side view with partial omission of FIG. 中空アクチュエータの使用の一例を示す断面図Sectional view showing an example of the use of a hollow actuator この発明に係る中空アクチュエータの他の実施の形態を示す縦断面図Longitudinal sectional view showing another embodiment of the hollow actuator according to the present invention この発明に係る中空アクチュエータのさらに他の実施の形態を示す縦断面図A longitudinal sectional view showing still another embodiment of the hollow actuator according to the present invention

以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１乃至図３に示すように、中空アクチュエータＡは、転がり軸受１０と、その転がり軸受１０の一側方に設けられた超音波モータ２０と、転がり軸受１０の他側に設けられた出力プレート４０を有している。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1 to 3, the hollow actuator A includes a rolling bearing 10, an ultrasonic motor 20 provided on one side of the rolling bearing 10, and an output plate provided on the other side of the rolling bearing 10. 40.

転がり軸受１０は、外輪１１の内径面と内輪１２の外径面に９０°のＶ溝からなる軌道溝１３、１４を設け、その軌道溝１３、１４間に直交配列された転動体としてのローラ１５を転動自在に組み込み、上記外輪１１の内径面と内輪１２の外径面間に形成された軸受空間１６の両端開口部をシール１７により密閉したシール付きクロスローラ軸受からなっている。   The rolling bearing 10 is provided with raceway grooves 13 and 14 each having a 90-degree V groove on the inner diameter surface of the outer ring 11 and the outer diameter surface of the inner ring 12, and rollers serving as rolling elements arranged orthogonally between the raceway grooves 13 and 14. 15 includes a cross roller bearing with a seal in which both end openings of a bearing space 16 formed between the inner diameter surface of the outer ring 11 and the outer diameter surface of the inner ring 12 are sealed with a seal 17.

外輪１１には一側から他側に貫通する複数のねじ孔１８が周方向に間隔をおいて設けられている。また、内輪１２にも一側から他側に貫通する複数のねじ孔１９が周方向に間隔をおいて設けられている。   The outer ring 11 is provided with a plurality of screw holes 18 penetrating from one side to the other side at intervals in the circumferential direction. The inner ring 12 is also provided with a plurality of screw holes 19 penetrating from one side to the other side at intervals in the circumferential direction.

超音波モータ２０は、外輪１１の一側面に取り付けられた環状のステータ２１と、内輪１２の一側面に取り付けられたロータ２２とを有している。ステータ２１は環状の金属からなる弾性体２３およびその弾性体２３の一側面に接合された圧電素子２４よりなり、上記弾性体２３の他側面における内周部に環状突出部２５が設けられ、その環状突出部２５に径方向に向く多数のスリット２６が放射状に形成されている。   The ultrasonic motor 20 has an annular stator 21 attached to one side surface of the outer ring 11 and a rotor 22 attached to one side surface of the inner ring 12. The stator 21 includes an elastic body 23 made of an annular metal and a piezoelectric element 24 bonded to one side surface of the elastic body 23, and an annular protrusion 25 is provided on the inner peripheral portion of the other side surface of the elastic body 23. A large number of slits 26 that are radially oriented are formed in the annular protrusion 25 in a radial pattern.

また、ステータ２１には、外輪１１に形成されたねじ孔１８と対向して複数のボルト挿入孔２７が設けられ、そのボルト挿入孔２７からねじ孔１８にねじ込まれるボルト２８の締め付けによって外輪１１の一側面にステータ２１が取り付けられている。このとき、ステータ２１は、突出部２５が外側方に位置する取り付けとされる。   The stator 21 is provided with a plurality of bolt insertion holes 27 facing the screw holes 18 formed in the outer ring 11, and the bolts 28 screwed into the screw holes 18 from the bolt insertion holes 27 are tightened. A stator 21 is attached to one side surface. At this time, the stator 21 is attached such that the protruding portion 25 is located outward.

ロータ２２は環状をなし、その内周部には内輪１２のねじ孔１９に対向して複数のボルト挿入孔２９が設けられ、そのボルト挿入孔２９から内輪１２のねじ孔１９にねじ込まれる複数のボルト３０によりロータ２２が転がり軸受１０と同軸上に支持されて、ステータ２１の突出部２５に対向配置される。   The rotor 22 has an annular shape, and a plurality of bolt insertion holes 29 are provided on the inner periphery of the rotor 22 so as to face the screw holes 19 of the inner ring 12. The rotor 22 is supported coaxially with the rolling bearing 10 by the bolts 30 and is disposed to face the protruding portion 25 of the stator 21.

また、複数のボルト３０によってワッシャ３１がロータ２２の外側方において対向配置する取り付けとされ、そのワッシャ３１とロータ２２の対向部間に組み込まれた皿ばね３２によってロータ２２がステータ２１の突出部２５に圧接されている。   Further, the washer 31 is attached so as to be opposed to the outer side of the rotor 22 by a plurality of bolts 30, and the rotor 22 is protruded 25 of the stator 21 by a disc spring 32 incorporated between the washer 31 and the opposed portion of the rotor 22. Is in pressure contact.

上記超音波モータ２０においては、圧電素子２４に超音波領域の周波数の交流電圧を加えることにより、スリット２６を有する突出部２５に超音波振動が生成され、その突出部２５に圧接されたロータ２２が回転するようになっている。   In the ultrasonic motor 20, by applying an alternating voltage having a frequency in the ultrasonic region to the piezoelectric element 24, ultrasonic vibration is generated in the protruding portion 25 having the slit 26, and the rotor 22 press-contacted to the protruding portion 25. Is designed to rotate.

出力プレート４０は環状をなし、その内周部には内輪１２に形成された複数のねじ孔１９のそれぞれに対向してボルト挿入孔４１が形成され、そのボルト挿入孔４１に挿入されて内輪１２のねじ孔１９にねじ込まれる複数のボルト４２の締め付けによって内輪１２の他側面に出力プレート４０が取り付けられている。   The output plate 40 has an annular shape, and a bolt insertion hole 41 is formed on the inner periphery of the output plate 40 so as to face each of the plurality of screw holes 19 formed in the inner ring 12, and is inserted into the bolt insertion hole 41. The output plate 40 is attached to the other side surface of the inner ring 12 by tightening a plurality of bolts 42 screwed into the screw holes 19.

出力プレート４０の上記外輪１１に対する対向面の外周部には環状の凹部４３が形成され、その凹部４３の閉塞端面と外輪１１の他側面間にロータ２２の回転角を検出する位置検出センサ４４が設けられている。   An annular recess 43 is formed in the outer peripheral portion of the output plate 40 facing the outer ring 11, and a position detection sensor 44 that detects the rotation angle of the rotor 22 between the closed end surface of the recess 43 and the other side surface of the outer ring 11. Is provided.

位置検出センサ４４は、凹部４３の閉塞端面に取り付けられた磁気エンコーダ４５と、外輪１１の他側面に取り付けられた位置検出基板４６とからなり、出力プレート４０の回転に伴う磁束の変化からロータ２２の回転方向と回転角とを検出する構成とされている。   The position detection sensor 44 includes a magnetic encoder 45 attached to the closed end face of the recess 43 and a position detection board 46 attached to the other side surface of the outer ring 11, and the rotor 22 is detected from changes in magnetic flux accompanying rotation of the output plate 40. The rotation direction and the rotation angle are detected.

図４は、図１に示す中空アクチュエータＡの使用の一例を示す。その使用例においては、固定配置のハウジング５０の内部に図１に示す中空アクチュエータＡを、超音波モータ２０を先にして挿入し、ハウジング５０の内周に設けられたフランジ５１を貫通して外輪１１のねじ孔１８にねじ込まれるボルト５２の締め付けにより上記フランジ５１に中空アクチュエータＡを固定している。   FIG. 4 shows an example of the use of the hollow actuator A shown in FIG. In the use example, the hollow actuator A shown in FIG. 1 is inserted into the fixedly arranged housing 50 with the ultrasonic motor 20 first, and passes through the flange 51 provided on the inner periphery of the housing 50 to form the outer ring. The hollow actuator A is fixed to the flange 51 by tightening a bolt 52 screwed into the 11 screw hole 18.

また、中空アクチュエータＡの出力プレート４０に、内輪１２のねじ孔１９にねじ込まれるボルト５３を介してロボットアーム５４の一端部を連結し、そのロボットアーム５４の他端部に設けられた筒部５５内に別体の中空アクチュエータＡを、超音波モータ２０を先にして挿入し、上記筒部５５の内周に形成されたフランジ５６を貫通して外輪１１のねじ孔１８にねじ込まれるボルト５７の締め付けにより別体の中空アクチュエータＡを固定している。   Also, one end of the robot arm 54 is connected to the output plate 40 of the hollow actuator A via a bolt 53 screwed into the screw hole 19 of the inner ring 12, and a cylindrical portion 55 provided at the other end of the robot arm 54. A separate hollow actuator A is inserted inside the ultrasonic motor 20 first, and a bolt 57 is inserted into the screw hole 18 of the outer ring 11 through the flange 56 formed on the inner periphery of the cylindrical portion 55. A separate hollow actuator A is fixed by tightening.

上記のような中空アクチュエータＡの使用において、ハウジング５０内に組み込まれた中空アクチュエータＡの超音波モータ２０を駆動すると、その中空アクチュエータＡの軸心を中心にロボットアーム５４が揺動する。   In the use of the hollow actuator A as described above, when the ultrasonic motor 20 of the hollow actuator A incorporated in the housing 50 is driven, the robot arm 54 swings around the axis of the hollow actuator A.

また、ロボットアーム５４の他端の筒部５５内に組み込まれた中空アクチュエータＡの出力プレート４０に作業用治具を取り付ける状態で、中空アクチュエータＡの超音波モータ２０を駆動すると、中空アクチュエータＡの軸心を中心に作業用治具を回転させることができる。   Further, when the ultrasonic motor 20 of the hollow actuator A is driven with the work jig attached to the output plate 40 of the hollow actuator A incorporated in the cylindrical portion 55 at the other end of the robot arm 54, The work jig can be rotated around the axis.

上記のような中空アクチュエータＡの使用においては、その中空アクチュエータＡの中心部に形成される中空孔ＢにケーブルＣを挿入して、ロボットアーム５４の揺動や作業用治具の回転が阻害されないようにしておく。   In the use of the hollow actuator A as described above, the cable C is inserted into the hollow hole B formed at the center of the hollow actuator A so that the swing of the robot arm 54 and the rotation of the work jig are not hindered. Keep it like that.

図１乃至図３に示す中空アクチュエータＡにおいては、転がり軸受１０の外部に超音波モータ２０が設けられ、しかも、転がり軸受１０はシール１７によって軸受空間１６が密閉されたものであるため、超音波モータ２０から摩耗粉が発生しても、その摩耗粉は転がり軸受１０内に侵入することはなく、転がり軸受１０が摩耗粉の侵入によって損傷するようなことはない。   In the hollow actuator A shown in FIGS. 1 to 3, the ultrasonic motor 20 is provided outside the rolling bearing 10, and the rolling bearing 10 has a bearing space 16 sealed by a seal 17. Even if abrasion powder is generated from the motor 20, the abrasion powder does not enter the rolling bearing 10, and the rolling bearing 10 is not damaged by the penetration of the abrasion powder.

また、超音波モータ２０を転がり軸受１０の一端側に設け、その転がり軸受１０の他端側に環状の出力プレート４０を設けることによって、内輪１２の内側にケーブル挿入用としての使用が可能な径の大きな中空孔Ｂを確保することができる。   Further, by providing the ultrasonic motor 20 on one end side of the rolling bearing 10 and providing an annular output plate 40 on the other end side of the rolling bearing 10, a diameter that can be used for inserting a cable inside the inner ring 12. Large hollow hole B can be secured.

図１に示す中空アクチュエータＡにおいては、外輪１１に形成されたねじ孔１８を利用して中空アクチュエータＡのハウジングへの取り付けとし、また、内輪１２に形成されたねじ孔１９を利用して出力プレート４０の取り付けとしたが、中空アクチュエータＡの取り付け、出力プレート４０の取り付けはこれに限定されるものではない。   In the hollow actuator A shown in FIG. 1, the screw hole 18 formed in the outer ring 11 is used to attach the hollow actuator A to the housing, and the screw plate 19 formed in the inner ring 12 is used to output the output plate. However, the mounting of the hollow actuator A and the mounting of the output plate 40 are not limited to this.

図５に示す例においては、転がり軸受１０における外輪１１の外側に環状の外輪ホルダ６０を嵌合し、その外輪ホルダ６０の一端部内周に形成された内向きフランジ６１を外輪１１の一側面に衝合し、外輪１１の他側面に挟持リング６２を衝合し、ステータ２１のボルト挿入孔２７から外輪ホルダ６０を貫通して挟持リング６２に形成されたねじ孔６３にねじ込まれるボルト２８により外輪ホルダ６０を外輪１１に取り付け、その外輪ホルダ６０の外周部に設けられたねじ孔６４を利用して中空アクチュエータＡのロボットアーム等の取付け対象への取り付けとしている。   In the example shown in FIG. 5, an annular outer ring holder 60 is fitted to the outer side of the outer ring 11 in the rolling bearing 10, and an inward flange 61 formed on the inner periphery of one end of the outer ring holder 60 is provided on one side of the outer ring 11. The retaining ring 62 is abutted against the other side surface of the outer ring 11, and the outer ring is fastened by a bolt 28 that passes through the outer ring holder 60 from the bolt insertion hole 27 of the stator 21 and is screwed into a screw hole 63 formed in the retaining ring 62. The holder 60 is attached to the outer ring 11, and the screw hole 64 provided in the outer peripheral portion of the outer ring holder 60 is used to attach the hollow actuator A to an attachment target such as a robot arm.

また、内輪１２の内側に内輪ホルダ６５を嵌合し、その内輪ホルダ６５の一端部外周に形成された外向きフランジ６６を内輪１２の一端面に衝合し、上記内輪ホルダ６５の内周部に形成された複数のねじ孔６７を介して出力プレート４０およびロータ２２の取り付けとしている。   Further, an inner ring holder 65 is fitted inside the inner ring 12, an outward flange 66 formed on one end outer periphery of the inner ring holder 65 is abutted against one end surface of the inner ring 12, and the inner peripheral portion of the inner ring holder 65 is The output plate 40 and the rotor 22 are attached through a plurality of screw holes 67 formed in the above.

図６に示す例においては、外輪１１の外側に外輪ホルダ７０を嵌合し、その外輪ホルダ７０の一端部内周に形成された内向きフランジ７１を外輪１１の一端面に衝合し、その内向きフランジ７１に衝合されたロータ２１のボルト挿入孔２７に挿入され、内向きフランジ７１を貫通して外輪１１のねじ孔１８にねじ込まれるボルト２８の締め付けで外輪ホルダ７０を外輪１１に取り付け、その外輪ホルダ７０の外周部に形成された複数のねじ孔７２を利用して中空アクチュエータＡのロボットアーム等の取付け対象への取り付けとしている。   In the example shown in FIG. 6, an outer ring holder 70 is fitted to the outer side of the outer ring 11, an inward flange 71 formed on the inner periphery of one end of the outer ring holder 70 is abutted against one end surface of the outer ring 11, The outer ring holder 70 is attached to the outer ring 11 by tightening a bolt 28 that is inserted into the bolt insertion hole 27 of the rotor 21 abutted with the direction flange 71 and passes through the inward flange 71 and is screwed into the screw hole 18 of the outer ring 11. The hollow actuator A is attached to an attachment target such as a robot arm using a plurality of screw holes 72 formed in the outer peripheral portion of the outer ring holder 70.

１０ 転がり軸受
１１ 外輪
１２ 内輪
１５ ローラ（転動体）
１６ 軸受空間
１７ シール
２０ 超音波モータ
２１ ステータ
２２ ロータ
４０ 出力プレート
４４ 位置検出センサ 10 Rolling bearing 11 Outer ring 12 Inner ring 15 Roller (rolling element)
16 Bearing space 17 Seal 20 Ultrasonic motor 21 Stator 22 Rotor 40 Output plate 44 Position detection sensor

Claims (3)

外輪（１１）と内輪（１２）間に転動体が組み込まれた転がり軸受（１０）と、前記外輪（１１）の一側方に設けられた超音波モータ（２０）と、前記内輪（１２）の他側に取り付けられた環状の出力プレート（４０）からなり、
前記超音波モータ（２０）が、前記外輪（１１）の一側面に取り付けられた環状のステータ（２１）と、前記内輪（１２）の一側面に取り付けられて前記ステータ（２１）の外側面に圧接されたロータ（２２）を有してなる中空アクチュエータ。 A rolling bearing (10) incorporating rolling elements between an outer ring (11) and an inner ring (12), an ultrasonic motor (20) provided on one side of the outer ring (11), and the inner ring (12) Consisting of an annular output plate (40) attached to the other side,
The ultrasonic motor (20) is attached to one side of the outer ring (11) and an annular stator (21), and is attached to one side of the inner ring (12) to the outer side of the stator (21). A hollow actuator having a rotor (22) in pressure contact. 前記転がり軸受（１０）が、外輪（１１）の内径面と内輪（１２）の外径面間に形成された軸受空間（１６）の両端開口がシール（１７）によって密閉されたシール付き軸受とされた請求項１に記載の中空アクチュエータ。   The rolling bearing (10) is a bearing with a seal in which both end openings of a bearing space (16) formed between the inner diameter surface of the outer ring (11) and the outer diameter surface of the inner ring (12) are sealed by a seal (17). The hollow actuator according to claim 1. 前記出力プレート（４０）と前記外輪（１１）の軸方向の対向面間に前記ロータ（２２）の回転角を検出する位置検出センサ（４４）を設けた請求項１又は２に記載の中空アクチュエータ。   The hollow actuator according to claim 1 or 2, wherein a position detection sensor (44) for detecting a rotation angle of the rotor (22) is provided between axial faces of the output plate (40) and the outer ring (11). .
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