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JP2016006562A - Conductive laminate for touch panel and transparent conductive film for touch panel - Google Patents

Conductive laminate for touch panel and transparent conductive film for touch panel Download PDF

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JP2016006562A
JP2016006562A JP2014126908A JP2014126908A JP2016006562A JP 2016006562 A JP2016006562 A JP 2016006562A JP 2014126908 A JP2014126908 A JP 2014126908A JP 2014126908 A JP2014126908 A JP 2014126908A JP 2016006562 A JP2016006562 A JP 2016006562A
Authority
JP
Japan
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touch panel
layer
conductive
copper
film
Prior art date
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Pending
Application number
JP2014126908A
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Japanese (ja)
Inventor
權壽 土屋
Noritoshi Tsuchiya
權壽 土屋
雅樹 土屋
Masaki Tsuchiya
雅樹 土屋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinwa Industry Co Ltd
Original Assignee
Shinwa Industry Co Ltd
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Publication date
Application filed by Shinwa Industry Co Ltd filed Critical Shinwa Industry Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a conductive laminate for a touch panel and a transparent conductive film for a touch panel, which can give a touch panel having an image with excellent patterning property and visibility while showing high transparency and conductivity.SOLUTION: The conductive laminate for a touch panel includes a pale color layer, an electrode layer, and a photosensitive layer, successively formed on a transparent plastic film substrate. The transparent conductive film for a touch panel is produced by processing the conductive layer into mesh-like copper wiring lines by photolithography.

Description

本発明は高い透明性と導電性を発現しつつもパターニング性と視認性に優れた画像のタッチパネルセンサーを提供するタッチパネル用導電性積層体およびタッチパネル用透明導電性フィルムに関する。   The present invention relates to a conductive laminate for a touch panel and a transparent conductive film for a touch panel, which provide an image touch panel sensor that exhibits high transparency and conductivity while having excellent patternability and visibility.

近年、電子ペーパー、液晶ディスプレー、有機ELディスプレーなどの表示装置にタッチパネルが搭載される例が増加している。タッチパネルは入力が容易かつ感覚的にできるためであり、現在多くの製品に搭載されるようになっており、その大部分は静電容量式タッチパネルである。静電容量式タッチパネルには表面型と投影型の2つがある。両型とも指先とタッチパネルの電極層との間での静電容量の変化をとらえて位置を検出するものである。投影型の静電容量方式は多点検出が可能であり、電極層とICを搭載している基板を透明性樹脂で被覆された構成となっている。 In recent years, an example in which a touch panel is mounted on a display device such as an electronic paper, a liquid crystal display, and an organic EL display is increasing. This is because touch panels can be input easily and sensuously, and are currently installed in many products, most of which are capacitive touch panels. There are two types of capacitive touch panels: surface type and projection type. Both types detect the position by detecting the change in capacitance between the fingertip and the electrode layer of the touch panel. The projected capacitance method can detect multiple points and has a configuration in which a substrate on which an electrode layer and an IC are mounted is covered with a transparent resin.

タッチパネルの入力動作を検出する電極部を有するセンサーはガラスやプラスチックフィルムなど透明性基材の上に、主に透明導電性材料であるインジウム−錫複合酸化物(ITO)を用いてX軸電極とY軸電極の縦横一組からなるモザイク状電極が成膜されている。 A sensor having an electrode part for detecting an input operation of a touch panel is composed of an indium-tin composite oxide (ITO), which is mainly a transparent conductive material, on a transparent substrate such as glass or plastic film, and an X-axis electrode. Mosaic electrodes composed of a set of Y-axis electrodes are formed.

従来は携帯電話、スマートフォン、携帯情報端末など比較的小型の電子機器に使用されてきたが、最近ではカーナビゲーション、医療用表示機器、飲料自動販売機など中大型のディスプレーへの採用が進みつつある。また、需要の拡大に伴ってセンサーの低価格化への要望が高まっており、このためガラス基材から安価で生産性に優れた透明プラスチックフィルム基材への置き換えも行われている。 Conventionally, it has been used for relatively small electronic devices such as mobile phones, smartphones, personal digital assistants, etc., but recently it has been adopted for medium and large displays such as car navigation systems, medical display devices, and beverage vending machines. . In addition, as demand increases, there is an increasing demand for lower prices of sensors. For this reason, replacement of glass substrates with transparent plastic film substrates that are inexpensive and excellent in productivity is also being carried out.

ITOはそのシート抵抗値が約100Ω/□と比較的高い。小型の電子機器に用いられる場合には支障は少ないが、中大型になるとシート抵抗値が高いために応答速度が遅くなることや誤動作が多発するなどの不具合が生じる。ガラス基板の場合は焼成温度を上げて抵抗値を低下させることが行われているが、耐熱性が低いプラスチック基材の場合は熱処理温度の上限が100〜180℃であり、シート抵抗を下げることは容易ではない。   ITO has a relatively high sheet resistance value of about 100Ω / □. When used in a small electronic device, there are few troubles. However, when the medium and large size is used, the sheet resistance value is high, resulting in problems such as a slow response speed and frequent malfunctions. In the case of a glass substrate, the firing temperature is raised to lower the resistance value, but in the case of a plastic substrate having low heat resistance, the upper limit of the heat treatment temperature is 100 to 180 ° C., and the sheet resistance is lowered. Is not easy.

このため、最近ではITOに替る透明導電材料として導電性金属の微細ワイヤ、銀塩や導電性高分子を用いたものが提案されている。   For this reason, recently, a conductive metal fine wire, a silver salt, or a conductive polymer has been proposed as a transparent conductive material replacing ITO.

特許文献1にはトリアセチルセルロース(TAC)フィルム上に、金属ナノワイヤを樹脂マトリックス内に分散させて、ナノワイヤがネットワーク構造を有する導電層を形成する方法が提案されている。特許文献2には支持基板上に銀塩乳化剤層を有する感光性材料を塗工、露光、現像処理して金属銀による導電パターンを形成することが示されている。特許文献3にはポリチオフェンなどの導電性高分子を含む透明導電膜と紫外線遮断層を積層する方法が述べられている。また。特許文献4はフォトリソグラフィー法による金属細線をメッシュ構造にすることを特徴とする透明フィルム基材の作製方法が提案されている。 Patent Document 1 proposes a method in which metal nanowires are dispersed in a resin matrix on a triacetylcellulose (TAC) film to form a conductive layer in which the nanowires have a network structure. Patent Document 2 discloses that a photosensitive material having a silver salt emulsifier layer is coated, exposed and developed on a support substrate to form a conductive pattern of metallic silver. Patent Document 3 describes a method of laminating a transparent conductive film containing a conductive polymer such as polythiophene and an ultraviolet blocking layer. Also. Patent Document 4 proposes a method for producing a transparent film substrate, which is characterized in that fine metal wires are formed into a mesh structure by a photolithography method.

特開2014−17110号公報JP 2014-17110 A 特開2012−146548号公報JP 2012-146548 A 特開2014−71484号公報JP 2014-71484 A 特開2014−29614号公報JP 2014-29614 A

しかしながら、導電性金属の移行による短絡のない耐マイグレーション性、タッチパネル操作の応答速度を高めるための低シート抵抗、メッシュ状配線が目視されにくいことを意味する優れた視認性のすべて満足させるタッチパネル用透明導電性フィルムを得ることは困難である。本発明はこの実情に鑑みてなされたもので、優れた視認性と低シート抵抗値を同時に満足させるタッチパネルセンサーを得ることができるタッチパネル用導電性積層体およびタッチパネル用透明導電性フィルムを提供することを目的とするものである。   However, migration resistance without short circuit due to transition of conductive metal, low sheet resistance to increase the response speed of touch panel operation, transparent for touch panel satisfying all excellent visibility which means that mesh-like wiring is hard to be seen It is difficult to obtain a conductive film. The present invention has been made in view of this situation, and provides a conductive laminate for a touch panel and a transparent conductive film for a touch panel that can obtain a touch panel sensor that simultaneously satisfies excellent visibility and low sheet resistance. It is intended.

視認性とはタッチパネルを操作する人にとって電極部に相当する配線が見えやすいか、見えにくいかを意味するものである。配線が見えやすいと、タッチパネルに表示される画面や文字の鮮明性が低下するため、表示内容が見づらくなり、操作性が低下する。また、操作する人の疲労度も大きくなる。すなわち、本発明で言う視認性が良いとは配線部が認識されにくいことを示すものである。   Visibility means whether the wiring corresponding to the electrode portion is easily visible or difficult for a person operating the touch panel. If the wiring is easy to see, the clarity of the screen and characters displayed on the touch panel is lowered, making it difficult to see the display content and operability. In addition, the fatigue level of the operator is increased. That is, good visibility as used in the present invention indicates that the wiring portion is difficult to be recognized.

配線が見えやすくなる、すなわち、視認性が低下する要因として2点を挙げることができる。一つは配線の幅が太いことである。他方は電極部である配線と配線がない透明性の非導電性部との色相差が大きくなることである。従って、本発明は配線の細線化と、電極部である配線と配線がない透明性の非導電性部との色相差を小さくすることを同時に満たして視認性を向上させるものである。銅配線は赤みがかった色をしており、透明性の非導電性部との色相差が大きいため、配線が見えやすくなる。このため、色相差がより小さな白色ないし銀色又はそれに近い色彩を有する淡色層を形成することが求められる。   Two factors can be cited as factors that make the wiring easier to see, that is, the visibility decreases. One is that the width of the wiring is thick. The other is that the hue difference between the wiring that is the electrode portion and the transparent non-conductive portion without the wiring is increased. Accordingly, the present invention improves the visibility by simultaneously satisfying the thinning of the wiring and the reduction of the hue difference between the wiring that is the electrode portion and the transparent non-conductive portion having no wiring. The copper wiring has a reddish color, and since the hue difference with the transparent non-conductive portion is large, the wiring becomes easy to see. For this reason, it is required to form a light-colored layer having a white or silver color having a smaller hue difference or a color close thereto.

本発明は視認性を向上させるために透明性プラスチックフィルム基材と導電層の間に淡色層を形成し、配線を細線化するためにポジ型感光層を形成したことを特徴とするものである。より詳しくは、本発明は次のタッチパネルセンサー用導電性積層体及びタッチパネルセンサーを提供するものであり、本発明は以下のような構成をなす。
(1)透明性プラスチックフィルム基材、膜厚1〜50nmの淡色層、銅からなる導電層及び乾燥膜厚0.5〜5μmのポジ型感光層がこの順で積層されていることを特徴とするタッチパネル用導電性積層体。
(2)前期淡色層がニッケルまたは窒化銅からなるタッチパネル用導電性積層体。
(3)前期タッチパネル用導電性積層体をパターン露光、現像、エッチング工程からなるフォトリソグラフィー法により、導電層を線幅1〜10μmのメッシュ状電極配線に加工したことを特徴とするタッチパネル用透明導電性フィルム。
The present invention is characterized in that a light-colored layer is formed between a transparent plastic film substrate and a conductive layer in order to improve visibility, and a positive photosensitive layer is formed in order to thin the wiring. . More specifically, the present invention provides the following conductive laminate for touch panel sensor and touch panel sensor, and the present invention has the following configuration.
(1) A transparent plastic film substrate, a light-colored layer having a thickness of 1 to 50 nm, a conductive layer made of copper, and a positive photosensitive layer having a dry thickness of 0.5 to 5 μm are laminated in this order. Conductive laminate for touch panel.
(2) A conductive laminate for a touch panel in which the light-colored layer is made of nickel or copper nitride.
(3) A transparent conductive material for a touch panel, characterized in that the conductive layer is processed into a mesh-like electrode wiring having a line width of 1 to 10 μm by a photolithography method comprising a pattern exposure, development, and etching process for the conductive laminate for the previous touch panel. Sex film.

本発明によれば配線幅が10μm以下の細線化が可能となり、また、色相差が銅層より小さな白色ないし銀色又はそれに近い色彩を有する淡色層を形成することにより高い透明性、低シート抵抗値および優れた視認性を有するタッチパネル用導電性積層体およびタッチパネル用透明導電性フィルムを提供できる。 According to the present invention, the wiring width can be reduced to 10 μm or less, and a high transparency and a low sheet resistance value can be obtained by forming a light-colored layer having a color of white to silver or a color close to that of the copper layer. In addition, a conductive laminate for a touch panel and a transparent conductive film for a touch panel having excellent visibility can be provided.

タッチパネル用導電性積層体の断面図である。It is sectional drawing of the electroconductive laminated body for touchscreens. タッチパネル用透明導電性フィルムの断面図である。It is sectional drawing of the transparent conductive film for touchscreens. タッチパネルセンサーの銅細線配線(メッシュ構造)の上視図である。It is a top view of copper fine wire wiring (mesh structure) of a touch panel sensor.

<タッチパネル用導電性積層体の構造>
タッチパネル用導電性積層体の構造を図1に示す。タッチパネル用導電性積層体はハードコート層1を有する透明性プラスチックフィルム基材2の上に淡色層3、導電層4、ポジ型感光層5をこの順で積層させた構造を有する。
<Structure of conductive laminate for touch panel>
The structure of the conductive laminate for touch panel is shown in FIG. The conductive laminate for a touch panel has a structure in which a light color layer 3, a conductive layer 4, and a positive photosensitive layer 5 are laminated in this order on a transparent plastic film substrate 2 having a hard coat layer 1.

<透明性プラスチックフィルム基材>
本発明のプラスチックフィルム基材は光透過性と透明性に優れた無色のものであることが望ましい。このような基材を構成する樹脂としてトリアセチルアセテート(TAC)、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン、非晶質ポリオレフィン、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)などが挙げられるが、光学特性、機械特性、価格面からPETが好ましい。
<Transparent plastic film substrate>
It is desirable that the plastic film substrate of the present invention is a colorless material excellent in light transmittance and transparency. As a resin constituting such a substrate, triacetyl acetate (TAC), polyamide, polycarbonate, polystyrene, polyethylene, polypropylene, amorphous polyolefin, acrylic resin, methacrylic resin, polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN) However, PET is preferable from the viewpoint of optical properties, mechanical properties, and price.

基材の厚みは使用用途に応じて適宜選択される。一般的には5〜500μmであるが、特に10〜250μmが好ましい。厚みが5μm以下ではフィルム基材の強度および剛性が不足して取扱いが困難となる。また、厚みが500μm以上になるとフィルム基材の剛性が強過ぎて、ロールツーロールでのハンドリングとなる以降の工程での操作が困難となるばかりでなく、コストも高くなる。また、耐擦過性や表面硬度を向上させるために透明性プラスチックフィルム基材の片面にアクリル樹脂やシリコーン樹脂などのハードコート層を形成することが好ましい。   The thickness of the substrate is appropriately selected according to the intended use. Generally, it is 5 to 500 μm, but 10 to 250 μm is particularly preferable. If the thickness is 5 μm or less, the strength and rigidity of the film substrate are insufficient, and handling becomes difficult. On the other hand, when the thickness is 500 μm or more, the rigidity of the film base is too strong, and not only the operations in the subsequent steps, which are roll-to-roll handling, become difficult, but the cost also increases. In order to improve the scratch resistance and surface hardness, it is preferable to form a hard coat layer such as an acrylic resin or a silicone resin on one surface of the transparent plastic film substrate.

<淡色層>
メッシュ状配線構造を有するタッチパネル用透明導電性フィルムの視認性が悪くなる原因は2点が挙げられる。一つは導電機能を発生させる電極部の配線銅メッシュ状パターンの線幅が広いことであり、他方は銅からなる電極部と銅が除去された透明性の非導電性部との色相差が大きいことによる。このメッシュ状配線の視認性の問題を解決するために本発明者が鋭意検討した結果、配線となる銅電極層とプラスチックフィルム基材の間に、非導電層との色相差が銅より小さい淡色層を形成することにより当該問題を解決できることが判明した。淡色層としては、白ないし銀色又はそれに近い色彩を有する物質を用いて形成される。かかる物質としては、ニッケル、窒化銅、銀、アルミニウム、コバルト、クロムなどを挙げることができる。淡色層はタッチパネル用導電性積層体をタッチパネル用透明導電性フィルムに加工する際に、メッシュ状配線部以外の箇所を銅からなる導電層と同様にエッチングにより除去されなければならない。銀、アルミニウム、コバルト、クロムは銅のエッチングと同じ工程で除去することができないため、別途そのためのエッチング工程が必要となり好ましくない。このため特にニッケルと窒化銅が好ましい。
<Light color layer>
There are two reasons why the visibility of the transparent conductive film for a touch panel having a mesh-like wiring structure is deteriorated. One is that the line width of the wiring copper mesh pattern of the electrode part that generates the conductive function is wide, and the other is the hue difference between the electrode part made of copper and the transparent non-conductive part from which copper is removed. Because it ’s big. As a result of intensive studies by the present inventors in order to solve the problem of visibility of the mesh-like wiring, the color difference between the non-conductive layer and the copper electrode layer serving as the wiring is smaller than that of copper. It has been found that the problem can be solved by forming a layer. The light color layer is formed using a material having a color of white to silver or a color close thereto. Examples of such substances include nickel, copper nitride, silver, aluminum, cobalt, and chromium. When processing the conductive laminate for touch panel into a transparent conductive film for touch panel, the light-colored layer must be removed by etching in the same manner as the conductive layer made of copper except for the mesh-like wiring portion. Since silver, aluminum, cobalt, and chromium cannot be removed in the same process as that for copper, an etching process for that purpose is required, which is not preferable. For this reason, nickel and copper nitride are particularly preferred.

<ニッケル層の形成>
透明性プラスチックフィルム基材上にニッケル層を形成する方法としては蒸着やスパッタリングなどの気相法、無電解めっきに代表される液相法などがあげられるが、膜の均一性や密着性、処理温度の観点から蒸着が望ましい。膜厚は1〜50nmが好ましく、2〜20nmが更に好ましい。膜厚が1nm以下では電極部の銅が透けて見えるため、視認性を向上させることができない。膜厚が50nm以上であっても視認性向上効果は十分であるが、成膜やエッチングの処理時間が長くなり、生産性が低下して製造コストが増加する。
<Formation of nickel layer>
Examples of methods for forming a nickel layer on a transparent plastic film substrate include vapor phase methods such as vapor deposition and sputtering, and liquid phase methods such as electroless plating. Vapor deposition is desirable from the viewpoint of temperature. The film thickness is preferably 1 to 50 nm, and more preferably 2 to 20 nm. When the film thickness is 1 nm or less, the copper in the electrode portion can be seen through, and thus visibility cannot be improved. Even if the film thickness is 50 nm or more, the effect of improving the visibility is sufficient, but the processing time for film formation and etching becomes longer, the productivity is lowered, and the manufacturing cost is increased.

<窒化銅層の形成>
窒化銅層は、例えば、次の方法により形成できる。例えば、透明性プラスチック基材上に、淡色層を前記厚さとなるように銅薄膜を形成する。次いで、酢酸銅又は蟻酸銅をアンモニア水とアルコールとの混合溶媒に溶解させてなる溶液を、窒素−アンモニア混合ガス雰囲気中で、上記銅薄膜に噴霧等により接触させると、銅表層が窒化銅層となる。上記アンモニア水の濃度は特に限定されないが、一般には、例えば、0.5〜3質量%程度が好ましい。濃度が0.5質量%以下の場合は窒化速度が極端に遅くなり、また、濃度が3質量%以上の場合には蟻酸銅の熱分解が十分でなくなるために好ましくない。上記アルコールとしては、例えば、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、n−ブタノール等の炭素数が1〜4程度の飽和脂肪族アルコールが例示できる。
<Formation of copper nitride layer>
The copper nitride layer can be formed by the following method, for example. For example, a copper thin film is formed on a transparent plastic substrate so that the light-colored layer has the above thickness. Next, when a solution obtained by dissolving copper acetate or copper formate in a mixed solvent of aqueous ammonia and alcohol is brought into contact with the copper thin film by spraying or the like in a nitrogen-ammonia mixed gas atmosphere, the copper surface layer becomes a copper nitride layer. It becomes. The concentration of the ammonia water is not particularly limited, but generally, for example, about 0.5 to 3% by mass is preferable. When the concentration is 0.5% by mass or less, the nitriding rate is extremely slow, and when the concentration is 3% by mass or more, thermal decomposition of copper formate is not sufficient, which is not preferable. Examples of the alcohol include saturated aliphatic alcohols having about 1 to 4 carbon atoms such as methanol, ethanol, isopropyl alcohol, and n-butanol.

一般的な反応性マグネトロンスパッタリング窒化法は処理温度が約500℃と高く、プラスチックフィルム基板には適用できないが、前記のように酢酸銅または蟻酸銅を窒素とアンモニアガス共存下において130〜160℃で1〜2分間処理することにより銅表層を窒化銅層に転化することができる。   A general reactive magnetron sputtering nitriding method has a high processing temperature of about 500 ° C. and cannot be applied to a plastic film substrate. However, as described above, copper acetate or copper formate is added at 130 to 160 ° C. in the presence of nitrogen and ammonia gas. The copper surface layer can be converted into a copper nitride layer by treating for 1 to 2 minutes.

<導電層の形成>
導電層は電極部すなわち配線の基となるものであり、銅、アルミニウムや銀が好適であるが、電気抵抗値、耐マイグレーション性および価格の面から銅が最も好ましい。蒸着、スパッタリング、無電解めっきで銅電極層を得ることができるが、膜の均一性や密着性、処理温度、ピンホールの観点から蒸着が望ましい。銅の膜厚は0.1〜5μmが好ましいが、ピンホールの発生やエッチングによる細線化への適性の面から0.2〜2μmが更に好ましい。膜厚が0.1μm以下の場合はピンホールなどの欠陥が生じやすく、また、タッチパネル用透明導電性フィルムのシート抵抗値が高くなって、中大型表示装置への適用が難しくなる。一般にフォトリソグラフィー法により得られる配線を導電層の膜厚以下にすることは困難であり、膜厚が5μm以上になると線幅が5μm以下の細線にすることが難しくなる。
<Formation of conductive layer>
The conductive layer is a base for the electrode portion, that is, the wiring, and copper, aluminum, and silver are preferable, but copper is most preferable from the viewpoint of electric resistance value, migration resistance, and cost. Although a copper electrode layer can be obtained by vapor deposition, sputtering, and electroless plating, vapor deposition is desirable from the viewpoint of film uniformity and adhesion, processing temperature, and pinholes. The film thickness of copper is preferably 0.1 to 5 μm, but more preferably 0.2 to 2 μm from the viewpoint of suitability for thinning by generation of pinholes and etching. When the film thickness is 0.1 μm or less, defects such as pinholes are likely to occur, and the sheet resistance value of the transparent conductive film for touch panel becomes high, making it difficult to apply to medium and large display devices. In general, it is difficult to make the wiring obtained by photolithography less than the thickness of the conductive layer, and when the thickness becomes 5 μm or more, it becomes difficult to make the line width 5 μm or less.

<感光層の形成>
フォトリソグラフィー法によるパターン形成で電極部を得るために、電極層上に感光層を形成することが必要である。感光層を得るにはアクリル樹脂などのポリマーと感光剤からなるアルカリ水溶液膨潤性のドライフィルムレジストを用いる方法と感光性塗工液を塗布する方法がある。ドライフィルムレジストは最も薄いものでも15μmの厚みがあり、線幅が5μm以下の配線を得ることは困難であり、細線化の観点から好ましくない。また、ドライフィルムレジストはアルカリ水溶液中で膨潤するが、溶解はしないため剥膜しづらい短所があり、薄膜が容易に得られ、アルカリ水溶液に溶解する感光性レジスト塗工液を用いる方法が好ましい。
<Formation of photosensitive layer>
In order to obtain an electrode part by pattern formation by a photolithography method, it is necessary to form a photosensitive layer on the electrode layer. There are two methods for obtaining a photosensitive layer: a method using a dry film resist swellable with an alkaline aqueous solution comprising a polymer such as an acrylic resin and a photosensitizer, and a method of applying a photosensitive coating solution. Even the thinnest dry film resist has a thickness of 15 μm, and it is difficult to obtain a wiring having a line width of 5 μm or less, which is not preferable from the viewpoint of thinning. In addition, the dry film resist swells in an aqueous alkali solution, but does not dissolve, and thus has a disadvantage that it is difficult to peel off, and a method using a photosensitive resist coating solution that can easily obtain a thin film and dissolves in an aqueous alkali solution is preferable.

感光性レジストはネガ型とポジ型に分類されるが、ネガ型は酸素阻害を受けるためレジスト層を薄膜にすると感度が大きく低下する。また、細線を得るに必要な解像度が不足している。更にレジスト塗布後の製品の使用可能期限が短いという短所があり、ポジ型が好ましい。感光性レジストの乾燥膜厚は0.2〜10μmが好ましく、0.5〜3μmが更に好ましい。レジストの膜厚が0.2μm以下の場合、遮光が不十分となり、正確なパターンが得られない。膜厚が10μm以上の場合、大きな光量が必要となり処理時間が長くなるだけでなく、過剰露光による配線の薄肉化や断線が生ずるなどの問題が発生する。   Although the photosensitive resist is classified into a negative type and a positive type, since the negative type is subjected to oxygen inhibition, the sensitivity is greatly lowered when the resist layer is thin. In addition, the resolution required to obtain a fine line is insufficient. Furthermore, there is a disadvantage that the usable period of the product after applying the resist is short, and a positive type is preferable. The dry film thickness of the photosensitive resist is preferably 0.2 to 10 μm, and more preferably 0.5 to 3 μm. When the film thickness of the resist is 0.2 μm or less, light shielding is insufficient and an accurate pattern cannot be obtained. When the film thickness is 10 μm or more, not only a large amount of light is required, but the processing time becomes long, and problems such as thinning of wiring and disconnection due to overexposure occur.

<ポジ型レジスト剤>
ポジ型レジスト剤はアルカリ水溶液可溶性ノボラック樹脂、アルカリ水溶液可溶性アクリル樹脂および感光剤で構成される。
<Positive resist agent>
The positive resist agent is composed of an alkali aqueous solution-soluble novolak resin, an alkaline aqueous solution-soluble acrylic resin, and a photosensitive agent.

<アルカリ水溶液可溶性ノボラック樹脂>
アルカリ水溶液可溶性ノボラック樹脂は特に限定されるものではないが、フェノール性水酸基を有する芳香族化合物とアルデヒド類とを酸触媒下で付加縮合させることにより得られるものが好ましい。
<Alkaline aqueous soluble novolak resin>
The alkali aqueous solution-soluble novolak resin is not particularly limited, but is preferably one obtained by addition condensation of an aromatic compound having a phenolic hydroxyl group and an aldehyde under an acid catalyst.

上記フェノール類としては例えば、フェノール、m−クレゾール、o−クレゾール、p−クレゾールなどのクレゾール類の他、アルキルフェノール類、多価フェノール類、アルキル多価フェノール類などを挙げることができる。これらのフェノール類は単独または2種以上を組み合わせて使うことができる。   Examples of the phenols include alkylphenols, polyhydric phenols, alkyl polyhydric phenols, and the like, in addition to cresols such as phenol, m-cresol, o-cresol, and p-cresol. These phenols can be used alone or in combination of two or more.

上記アルデヒド類としては例えば、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、ベンスアルデヒド、パラホルムアルデヒドなどを挙げることができる。これらのアルデヒド類は単独または2種以上を組み合わせて使うことができる。   Examples of the aldehydes include formaldehyde, acetaldehyde, benzaldehyde, and paraformaldehyde. These aldehydes can be used alone or in combination of two or more.

<酸触媒>
上記酸触媒としては例えば、塩酸、硝酸、硫酸、リン酸などの無機酸類、ギ酸、酢酸、シュウ酸などの有機酸類を挙げることができる。これらの酸類は単独または2種以上を組み合わせて使うことができる。
<Acid catalyst>
Examples of the acid catalyst include inorganic acids such as hydrochloric acid, nitric acid, sulfuric acid, and phosphoric acid, and organic acids such as formic acid, acetic acid, and oxalic acid. These acids can be used alone or in combination of two or more.

<アルカリ水溶液可溶性アクリル樹脂>
アルカリ水溶液可溶性アクリル樹脂は下記一般式1で表わされる構成単位を有する。

Figure 2016006562

一般式1中、Raは水素原子またはメチル基を示し、Rbはカルボキシル基、アミノ基、水酸基などの置換基を有してもよい炭素数4以上(好ましくは、炭素数4〜??)の直鎖状または分岐鎖状のアルキル基を示す。 <Alkaline aqueous solution-soluble acrylic resin>
The aqueous alkaline solution-soluble acrylic resin has a structural unit represented by the following general formula 1.
Figure 2016006562

In general formula 1, Ra represents a hydrogen atom or a methyl group, and Rb has 4 or more carbon atoms (preferably 4 to ??) that may have a substituent such as a carboxyl group, an amino group, or a hydroxyl group. A linear or branched alkyl group is shown.

<感光剤>
感光剤成分としては特に限定されるものではないが、キノンジアジド基含有化合物が望ましい。例えば、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン、2,4,6−トリヒドロキシベンゾフェノンなどのポリヒドロキシベンゾフェノン類、ビス(2,4−ジヒドロキシフェニル)メタンなどのビス[(ポリ)ヒドロキシフェニル」アルカン類などが挙げられる。これらの感光剤は単独または2種以上を組み合わせて使うことができる。
<Photosensitive agent>
Although it does not specifically limit as a photosensitive agent component, A quinonediazide group containing compound is desirable. For example, polyhydroxybenzophenones such as 2,3,4-trihydroxybenzophenone and 2,4,6-trihydroxybenzophenone, and bis [(poly) hydroxyphenyl] alkanes such as bis (2,4-dihydroxyphenyl) methane Etc. These photosensitizers can be used alone or in combination of two or more.

<感光層の形成>
感光層を形成しない場合、導電層の銅が大気中で酸化されて表面に黒みがかった酸化銅が生成するため、非導電性層との色相差がより大きくなり、視認性が低下する。このため、酸化銅が生成する前に感光層を形成して導電層の酸化を防ぐことが重要である。感光層を形成する方法としてはキャスト、スピンコート、ディップコート、バーコート、スプレー、ブレードコート、グラビアコート、ロールコートなど一般的方法を挙げることができる。なかでも膜厚の均一性や生産性、片面塗布が必要なことからロールコートが望ましい。
以上の操作により、本発明のタッチパネル用導電性積層体が得られる。
<Formation of photosensitive layer>
In the case where the photosensitive layer is not formed, copper in the conductive layer is oxidized in the air to produce blackened copper oxide on the surface, so that the hue difference from the nonconductive layer becomes larger and visibility is lowered. For this reason, it is important to form a photosensitive layer and prevent oxidation of the conductive layer before copper oxide is formed. Examples of the method for forming the photosensitive layer include general methods such as casting, spin coating, dip coating, bar coating, spraying, blade coating, gravure coating, and roll coating. Among these, roll coating is desirable because of uniformity of film thickness, productivity, and single-sided coating.
By the above operation, the conductive laminate for a touch panel of the present invention is obtained.

本発明では、タッチパネル用導電性積層体をパターン露光、現像、エッチング工程からなるフォトリソグラフィー法により、導電層を線幅1〜10μmのメッシュ状電極配線に加工したタッチパネル用透明導電性フィルムを得ることができる。   In this invention, the transparent conductive film for touch panels which processed the conductive layer into the mesh-shaped electrode wiring of 1-10 micrometers in line width by the photolithographic method which consists of pattern exposure, image development, and an etching process for the conductive laminated body for touch panels is obtained. Can do.

<タッチパネル用透明導電性フィルム>
本発明におけるタッチパネル用透明導電性フィルムの構造を図2に示す。タッチパネル用透明導電性フィルムは図1のタッチパネル用導電性積層体をパターン露光、現像、エッチング工程からなるフォトリソグラフィー法により得ることができる。ハードコート層1が施された透明性プラスチックフィルム基材2上に、淡色部3を介して電極部4がメッシュ状に構成された構造である。
<Transparent conductive film for touch panel>
The structure of the transparent conductive film for touch panels in this invention is shown in FIG. The transparent conductive film for a touch panel can be obtained from the conductive laminate for a touch panel of FIG. 1 by a photolithography method comprising pattern exposure, development, and etching processes. On the transparent plastic film base material 2 to which the hard coat layer 1 is applied, the electrode part 4 is structured in a mesh shape with a light color part 3 interposed therebetween.

<メッシュ状銅配線の形状>
図3に電極部分の銅配線(メッシュ構造)の上視図を示す。以下、銅配線の幅をD、非導電部に相当する上下方向のピッチをP1、左右方向のピッチをP2と称する。なお、メッシュ状銅配線の形状は開口部がP1とP2の長さが同一である正方形である必要はなく、長方形や平行四辺形であっても構わない。Dの値は視認性の観点から小さいほど好ましく、断線などの欠陥がない限り1〜10μmが好ましく、特に1〜5μmが好ましい。P1およびP2については特に限定されるものではないが、通常は1〜100mmである。
<Shape of mesh copper wiring>
FIG. 3 shows a top view of the copper wiring (mesh structure) of the electrode portion. Hereinafter, the width of the copper wiring is referred to as D, the vertical pitch corresponding to the non-conductive portion is referred to as P1, and the horizontal pitch is referred to as P2. Note that the shape of the mesh-like copper wiring does not have to be a square in which the opening portions have the same length of P1 and P2, and may be a rectangle or a parallelogram. The value of D is preferably as small as possible from the viewpoint of visibility, and is preferably 1 to 10 μm, particularly preferably 1 to 5 μm, as long as there is no defect such as disconnection. Although it does not specifically limit about P1 and P2, Usually, it is 1-100 mm.

<透明導電性プラスチックフィルムの形成>
メッシュ状銅配線構造を有する透明導電性プラスチックフィルムは導電性積層体を露光、現像、エッチング工程からなるフォトリソグラフィー法で処理することで得られる。配線幅が広いとメッシュ状配線が目視で容易に認識される。このため、配線の幅は1〜10μmが好ましく、1〜5μmが特に好ましい。1μm以下では断線が起こりやすく、製品の歩留まりが大幅に低下する。10μm以上であればメッシュ状パターンの配線が見えやすくなり、視認性が大きく低下する。
<Formation of transparent conductive plastic film>
A transparent conductive plastic film having a mesh-like copper wiring structure can be obtained by processing a conductive laminate by a photolithography method comprising exposure, development and etching processes. When the wiring width is wide, the mesh wiring is easily recognized visually. For this reason, 1-10 micrometers is preferable and, as for the width | variety of wiring, 1-5 micrometers is especially preferable. If the thickness is 1 μm or less, disconnection is likely to occur, and the yield of the product is greatly reduced. If it is 10 μm or more, the wiring in the mesh pattern becomes easy to see, and the visibility is greatly reduced.

<露光工程>
透明導電性積層体上に図3のパターンが得られる石英製またはガラス製マスクを接触させ、中心波長が350nmの光源を持つメタルハライドランプや高圧水銀灯などを照射して感光層にアルカリ水溶液溶解部と非溶解部を形成する。照射光量は感光層の膜厚にも依存するが30〜200mJ/cm2が好ましい。照射光量が30mJ/cm2以下では露光が十分でないため、アルカリ水溶液への溶解性が大きく低下して非電極部のエッチング除去が不可能となる。また、照射光量が200mJ/cm2を超えると、前記マスクで被覆された部分の一部にまで露光されるため、電極配線の幅が所定の幅より細くなり、断線が生じやすくなるために好ましくない。
<Exposure process>
A quartz or glass mask capable of obtaining the pattern of FIG. 3 is brought into contact with the transparent conductive laminate, and irradiated with a metal halide lamp or a high-pressure mercury lamp having a light source having a central wavelength of 350 nm, and the alkaline aqueous solution dissolving portion is formed on the photosensitive layer. A non-dissolved part is formed. The amount of irradiation light depends on the film thickness of the photosensitive layer, but is preferably 30 to 200 mJ / cm 2. When the irradiation light quantity is 30 mJ / cm 2 or less, the exposure is not sufficient, so that the solubility in the alkaline aqueous solution is greatly reduced, and the non-electrode portion cannot be removed by etching. In addition, if the amount of irradiation light exceeds 200 mJ / cm 2, it is not preferable because the part of the portion covered with the mask is exposed to light, so that the width of the electrode wiring becomes smaller than a predetermined width and disconnection is likely to occur. .

<現像工程>
露光工程終了後、濃度が1〜5質量%の水酸化ナトリウムまたは水酸化カリウム水溶液に浸漬またはシャワーすることにより現像が行われる。処理温度は10〜50℃が好ましく、20〜40℃がさらに好ましい。温度が10℃以下では現像に要する時間が極端に長くなり、50℃以上では現像が早く進行しすぎるために均一な現像を行うことが難しくなる。アルカリ水溶液と接触している時間は感光層の膜厚にも依存するが20秒〜3分が一般的である。現像工程終了後に水で十分に洗浄して残渣を除去することが望ましい。
<Development process>
After the exposure step, development is performed by dipping or showering in a sodium hydroxide or potassium hydroxide aqueous solution having a concentration of 1 to 5% by mass. The treatment temperature is preferably 10 to 50 ° C, more preferably 20 to 40 ° C. When the temperature is 10 ° C. or lower, the time required for development becomes extremely long. When the temperature is 50 ° C. or higher, the development proceeds too quickly, making it difficult to perform uniform development. The time of contact with the aqueous alkali solution is generally 20 seconds to 3 minutes, although it depends on the film thickness of the photosensitive layer. It is desirable to remove the residue by thoroughly washing with water after completion of the development process.

<エッチング工程>
エッチング液としては通常用いられている銅層のエッチング液、例えば塩化第二銅水溶液、塩化第二鉄水溶液、またはアルカリ性水溶液などが用いられるが、この中でも塩化第二銅水溶液を主成分とするエッチング液が好ましい。
上記のようなフォトリソグラフィー法を行うことにより、メッシュ状銅配線が形成され、本発明のタッチパネル用透明導電性フィルムが得られる。
<Etching process>
As the etchant, a commonly used copper layer etchant such as a cupric chloride aqueous solution, a ferric chloride aqueous solution, or an alkaline aqueous solution is used. Liquid is preferred.
By performing the photolithography method as described above, a mesh-like copper wiring is formed, and the transparent conductive film for a touch panel of the present invention is obtained.

以下、本発明の実施例を説明するが、本発明はこれらの実施例に何ら限定されるものではない。   Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these examples.

<透明性プラスチックフィルム基材>
片面にアクリル樹脂製ハードコート処理が施され、全光線透過率が93%であり、厚みが100μmのPETフィルム(名阪真空工業(株)製MSK−SHS100)を透明性プラスチックフィルム基材とした。
<Transparent plastic film substrate>
A hard coating treatment made of acrylic resin is performed on one side, a total light transmittance is 93%, and a PET film having a thickness of 100 μm (MSK-SHS100 manufactured by Nasaka Vacuum Industry Co., Ltd.) is used as a transparent plastic film substrate. .

(導電性積層体1)
透明プラスチックフィルム基材のハードコート層が形成されていない面に真空蒸着法により厚さ2nmのニッケル層を成膜した。その上に真空蒸着法により0.5μmの銅導電層を形成し、更にその上にロールコート方式によりナガセケムテックス(株)製ポジ型レジスト塗工液AFR−Exp−800を乾燥膜厚が2μmとなるように塗布して、本発明のタッチパネル用導電性積層体を得た。これを導電性積層体1とした。
(Conductive laminate 1)
A nickel layer having a thickness of 2 nm was formed on the surface of the transparent plastic film substrate on which the hard coat layer was not formed, by vacuum deposition. A 0.5 μm copper conductive layer is formed thereon by vacuum deposition, and then a positive resist coating solution AFR-Exp-800 manufactured by Nagase Chemtex Co., Ltd. is applied thereon by a roll coating method to a dry film thickness of 2 μm. It apply | coated so that it might become, The conductive laminated body for touchscreens of this invention was obtained. This was designated as conductive laminate 1.

(導電性積層体2)
ポジ型レジスト塗工液を東京応化工業(株)製PMER−R−PCとした以外は導電性積層体1と同様に行ったものを導電性積層体2とした。
(Conductive laminate 2)
A conductive laminate 2 was prepared in the same manner as the conductive laminate 1 except that the positive resist coating solution was PMER-R-PC manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.

(導電性積層体3)
該プラスチックフィルム基材のハードコート層が形成されていない面に真空蒸着法により厚さ10nmの銅層を成膜し、基材表面温度を150℃に昇温し、アンモニアガス濃度が1.2容量%である窒素−アンモニア混合ガス雰囲気内で、蟻酸銅をアンモニア水とアルコール溶液の混合溶液に溶解させた溶液を銅層に噴霧しながら1分間処理して銅表面および裏面に視認性向上層である窒化銅(Cu3N)膜を得た。この窒化銅膜上に真空蒸着法により厚さが1μmの銅層を形成した。更に銅層の上にナガセケムテックス(株)製ポジ型レジスト塗工液AFR−Exp.800をロールコーター方式にて乾燥膜厚が2μmになるように塗布したものを導電性積層体3とした。
(Conductive laminate 3)
A copper layer having a thickness of 10 nm is formed on the surface of the plastic film substrate on which the hard coat layer is not formed by vacuum deposition, the substrate surface temperature is raised to 150 ° C., and the ammonia gas concentration is 1.2. In a nitrogen-ammonia mixed gas atmosphere having a capacity of%, the visibility improving layer is formed on the copper surface and back surface by treating for 1 minute while spraying a solution obtained by dissolving copper formate in a mixed solution of ammonia water and an alcohol solution on the copper layer. A copper nitride (Cu3N) film was obtained. A copper layer having a thickness of 1 μm was formed on the copper nitride film by vacuum deposition. Further, on the copper layer, a positive resist coating solution AFR-Exp. Manufactured by Nagase ChemteX Corporation. A conductive laminate 3 was prepared by coating 800 with a roll coater method so that the dry film thickness was 2 μm.

(導電性積層体4)
レジストを互応化学工業(株)製ネガ型レジスト感光液PWP−502とした以外は導電性積層体1と同様に行ったものを導電性積層体4とした
(Conductive laminate 4)
A conductive laminate 4 was prepared in the same manner as the conductive laminate 1 except that the resist was a negative resist sensitizing solution PWP-502 manufactured by Kyodo Chemical Industry Co., Ltd.

(導電性積層体5)
レジストを旭化成イーマテリアルズ(株)製の膜厚15μmのドライフィルムレジストフィルム「サンフォートUFG158T」にした以外は導電性積層体1と同様に行ったものを導電性積層体5とした。
(Conductive laminate 5)
The conductive laminate 5 was the same as the conductive laminate 1 except that the resist was a dry film resist film “Sunfort UFG158T” with a film thickness of 15 μm manufactured by Asahi Kasei E-Materials Co., Ltd.

(導電性積層体6)
ニッケル層を形成しない以外は実施例1と同様に行ったものを導電性積層体6とした。
(Conductive laminate 6)
A conductive laminate 6 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the nickel layer was not formed.

実施例1〜3及び比較例1〜3(タッチパネル用透明導電性フィルムの作成)
導電性積層体1〜6を各々200mm×300mmの大きさにカットした後、P1およびP2を10mmと一定とし、Dが2μm、3μm、5μm、7μm、10μmおよび20μmの6パターンが得られるマスクを装着し、照射光量が100mJ/cm2となるよう高圧水銀灯を照射し、水酸化ナトリウム水溶液による現像、塩化第二銅を主成分とする液中でのエッチング、水洗を行ってタッチパネル用透明導電性フィルムを得た。
Examples 1-3 and Comparative Examples 1-3 (Creation of transparent conductive film for touch panel)
After the conductive laminates 1 to 6 are cut into a size of 200 mm × 300 mm, P1 and P2 are made constant at 10 mm, and a mask from which 6 patterns with D of 2 μm, 3 μm, 5 μm, 7 μm, 10 μm, and 20 μm can be obtained A transparent conductive film for a touch panel that is mounted, irradiated with a high-pressure mercury lamp so that the amount of irradiation light is 100 mJ / cm2, developed with an aqueous sodium hydroxide solution, etched in a liquid containing cupric chloride as a main component, and washed with water. Got.

タッチパネル用導電性積層体1から得られたタッチパネル用透明導電性フィルムを実施例1、タッチパネル用導電性積層体2から得られたタッチパネル用透明導電性フィルムを実施例2、タッチパネル用導電性積層体3から得られたタッチパネル用透明導電性フィルムを実施例3とした。 Example 1 shows a transparent conductive film for a touch panel obtained from the conductive laminate 1 for a touch panel, Example 2 shows a transparent conductive film for a touch panel obtained from the conductive laminate 2 for a touch panel, and Example 2 shows a conductive laminate for a touch panel. The transparent conductive film for a touch panel obtained from 3 was taken as Example 3.

タッチパネル用導電性積層体4から得られたタッチパネル用透明導電性フィルムを比較例1、タッチパネル用導電性積層体5から得られたタッチパネル用透明導電性フィルムを比較例2、タッチパネル用導電性積層体6から得られたタッチパネル用透明導電性フィルムを比較例3とした。   The transparent conductive film for touch panel obtained from the conductive laminate 4 for touch panel is Comparative Example 1, the transparent conductive film for touch panel obtained from the conductive laminate 5 for touch panel is Comparative Example 2, the conductive laminate for touch panel The transparent conductive film for touch panels obtained from 6 was designated as Comparative Example 3.

<銅配線の精細度の判定>
得られたタッチパネル用透明導電性フィルム10枚を検査し、配線の断線が1枚も観察されないDの最小幅の値を銅配線の精細度と判定した。
<Determination of the fineness of copper wiring>
Ten obtained transparent conductive films for a touch panel were inspected, and the value of the minimum width of D in which no disconnection of the wiring was observed was determined as the fineness of the copper wiring.

<視認性の判定>
配線の断線が1枚も観察されないDの最小幅のタッチパネル用透明導電性フィルムを100×100mmにカットし、メッシュ状銅配線を上に向けた状態で水平な台に置いた。次に三波長蛍光体をタッチパネル用透明導電性フィルムと50cmの距離で導電積層体の真上に来るように設置した。タッチパネル用透明導電性フィルムを45度の角度から観察し、銅配線が視認できるものを視認性が悪いと判定した。5人の観察者のうち、2人以上が視認したものを×、まったく視認できなかったものを○とした。
<Visibility determination>
A transparent conductive film for a touch panel with a minimum width of D in which no disconnection of wiring was observed was cut to 100 × 100 mm, and placed on a horizontal base with the mesh-shaped copper wiring facing up. Next, the three-wavelength phosphor was placed at a distance of 50 cm from the transparent conductive film for a touch panel so as to be directly above the conductive laminate. The transparent conductive film for a touch panel was observed from an angle of 45 degrees, and it was determined that the visibility was poor when the copper wiring was visible. Among the five observers, those that were visually recognized by two or more people were indicated as x, and those that were not visible at all were indicated as ◯.

<全光線透過率>
濁度計NDH2000(日本電色工業(株)製)を用いて、JIS K7361−1(1997)に基づいて、100×100mmにカットしたタッチパネル用透明導電性フィルムの厚み方向の全光線透過率を、メッシュ状銅配線側から光を入射させて測定した。3サンプルについて測定し平均値を算出した。
<Total light transmittance>
Using a turbidimeter NDH2000 (manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.), based on JIS K7361-1 (1997), the total light transmittance in the thickness direction of the transparent conductive film for a touch panel cut to 100 × 100 mm is obtained. The measurement was performed by making light incident from the mesh copper wiring side. Three samples were measured and the average value was calculated.

<シート抵抗値>
得られたタッチパネル用透明導電性フィルムのシート抵抗値は、非接触式抵抗率計((株)三菱化学アナリテック製ロレスタ−AX)を用いて100×100mmにカットしたタッチパネル用透明導電性フィルムの中央部を測定した。3サンプルについて測定し平均値を算出した。
<Sheet resistance value>
The sheet resistance value of the obtained transparent conductive film for touch panel is that of the transparent conductive film for touch panel cut to 100 × 100 mm using a non-contact type resistivity meter (Loresta-AX manufactured by Mitsubishi Chemical Analytech Co., Ltd.). The middle part was measured. Three samples were measured and the average value was calculated.

表1に得られた実施例1〜3および比較例1〜3のタッチパネル用透明導電性フィルムの評価結果を示す。

Figure 2016006562
The evaluation result of the transparent conductive film for Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 3 obtained in Table 1 is shown.
Figure 2016006562

本発明のタッチパネル用導電性積層体およびタッチパネル用透明導電性フィルムは、高い透明性と導電性を発現しつつもパターニング性と視認性に優れた画像のタッチパネルセンサーに適用できる。   The conductive laminate for a touch panel and the transparent conductive film for a touch panel according to the present invention can be applied to an image touch panel sensor having excellent patternability and visibility while exhibiting high transparency and conductivity.

1 ハードコート層
2 透明プラスチックフィルム基材
3 淡色層
4 導電層
5 感光層
30 淡色部
40 電極部
P1 上下方向のピッチ
P2 左右方向のピッチ
D 銅配線の幅
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Hard coat layer 2 Transparent plastic film base material 3 Light color layer 4 Conductive layer 5 Photosensitive layer 30 Light color part 40 Electrode part P1 Vertical pitch P2 Horizontal pitch D Copper wiring width

Claims (4)

透明性プラスチックフィルム基材、膜厚1〜50nmの淡色層、銅からなる導電層、及び乾燥膜厚0.5〜5μmのポジ型感光層がこの順で積層されていることを特徴とするタッチパネル用導電性積層体。 A touch panel comprising: a transparent plastic film substrate; a light-colored layer having a thickness of 1 to 50 nm; a conductive layer made of copper; and a positive photosensitive layer having a dry thickness of 0.5 to 5 μm. Conductive laminate. 前記淡色層がニッケルからなる請求項1に記載のタッチパネル用導電性積層体。 The conductive laminate for a touch panel according to claim 1, wherein the light color layer is made of nickel. 前記淡色層が窒化銅からなる請求項1に記載のタッチパネル用導電性積層体。 The conductive laminate for a touch panel according to claim 1, wherein the light-colored layer is made of copper nitride. 請求項1〜3のいずれかに記載のタッチパネル用導電性積層体をパターン露光、現像、エッチング工程からなるフォトリソグラフィー法により、導電層を線幅1〜10μmのメッシュ状電極配線に加工したことを特徴とするタッチパネル用透明導電性フィルム。   The conductive laminate for a touch panel according to any one of claims 1 to 3 is processed into a mesh electrode wiring having a line width of 1 to 10 μm by a photolithography method including pattern exposure, development, and etching processes. A transparent conductive film for touch panels.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017182285A (en) * 2016-03-29 2017-10-05 富士フイルム株式会社 Conductive film, touch panel, and electronic device
JP2018155727A (en) * 2017-03-17 2018-10-04 巨擘科技股▲ふん▼有限公司 Input device and manufacturing method thereof
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017182285A (en) * 2016-03-29 2017-10-05 富士フイルム株式会社 Conductive film, touch panel, and electronic device
JP2018155727A (en) * 2017-03-17 2018-10-04 巨擘科技股▲ふん▼有限公司 Input device and manufacturing method thereof
KR20240020042A (en) * 2022-08-05 2024-02-14 충남대학교산학협력단 Copolymer for photoresist capable of realizing ultra-high resolution and water-soluble photoresist composition comprising the same
KR102721796B1 (en) 2022-08-05 2024-10-25 충남대학교산학협력단 Copolymer for photoresist capable of realizing ultra-high resolution and water-soluble photoresist composition comprising the same

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