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JP2016002604A - Chuck device - Google Patents

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JP2016002604A
JP2016002604A JP2014122263A JP2014122263A JP2016002604A JP 2016002604 A JP2016002604 A JP 2016002604A JP 2014122263 A JP2014122263 A JP 2014122263A JP 2014122263 A JP2014122263 A JP 2014122263A JP 2016002604 A JP2016002604 A JP 2016002604A
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JP
Japan
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opening
claw member
air passage
clamping
chuck device
Prior art date
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Pending
Application number
JP2014122263A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
慎一郎 廣瀬
Shinichiro Hirose
慎一郎 廣瀬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To execute and release decompression operation and holding operation in a chuck device in the proper timing.SOLUTION: A chuck device comprises a first claw member having a first holding part for holding an object and forming a first air passage whose one end is a first opening for opening on a holding surface of the first holding part and the other end is a second opening of becoming a decompression device side opening, a second claw member having a second holding part for holding the object by cooperating with the first holding part and oppositely arranged to the first claw member, an opening-closing driving part for opening-closing the first holding part and the second holding part and a decompression adjustment part for putting the inside of the first air passage in a decompression state when closing the first holding part and the second holding part by the opening-closing driving part and releasing the decompression state by opening the first air passage when opening the first holding part and the second holding part.

Description

本発明は、チャック装置に関する。   The present invention relates to a chuck device.

従来、各種製品の組み立てに用いられる種々の産業用ロボットが提案されており、対象物を把持する把持装置も知られている(例えば、特許文献1)。ところで、各種製品の組み立て工程では、例えば、シールやフィルム等、薄いシート状で柔軟性に富んだ部品を把持することもある。このようなシート状の部品は挟む位置が安定せず、また、表面が滑りやすい材質であることが多い。このため、対象物を挟持しただけでは対象物がずれることがあり、対象物を挟持する形式の把持装置では、対象物の安定した把持が困難であった。これに対し、対象物の挟持とともに真空吸着を利用する提案が知られている(例えば、特許文献2)。真空吸着を利用することにより、対象物のずれが抑制され、対象物の安定した把持状態が期待される。   Conventionally, various industrial robots used for assembling various products have been proposed, and a gripping device for gripping an object is also known (for example, Patent Document 1). By the way, in the assembly process of various products, for example, a thin sheet-like component having high flexibility such as a seal or a film may be gripped. Such a sheet-like component is often made of a material in which the sandwiched position is not stable and the surface is slippery. For this reason, there is a case where the object is displaced only by sandwiching the object, and it is difficult to stably grasp the object with the gripping device of the type that sandwiches the object. On the other hand, the proposal which utilizes vacuum suction with clamping of a target object is known (for example, patent document 2). By using vacuum suction, the displacement of the object is suppressed, and a stable gripping state of the object is expected.

特開平5−285877号公報JP-A-5-285877 特開2010−158754号公報JP 2010-158754 A

しかしながら、前記特許文献2に開示された提案のように、対象物の挟持と併せて真空吸着する場合、真空状態を解除するタイミングと、対象物の挟持を解除するタイミングとが適切でないと、挟持した対象物を適切に開放することができない可能性がある。これを解消するためには、挟持動作と吸着動作(減圧動作)をそれぞれ行うためのシーケンス制御が別途必要になる等、装置が複雑になる。   However, as in the proposal disclosed in Patent Document 2, when vacuum suction is performed together with object clamping, if the timing for releasing the vacuum state and the timing for releasing the object clamping are not appropriate, It may not be possible to properly open the target. In order to eliminate this, the apparatus becomes complicated, such as separately requiring sequence control for performing the sandwiching operation and the suction operation (decompression operation).

1つの側面では、本明細書開示のチャック装置は、減圧動作及び挟持動作の実行と解除とを適切なタイミングで行うことを課題とする。   In one aspect, an object of the chuck device disclosed in the present specification is to perform the decompression operation and the clamping operation and release at appropriate timing.

本明細書開示のチャック装置は、対象物を挟持する第1の挟持部を備えるとともに、一端が前記第1の挟持部の挟持面に開口する第1の開口であり、他端が減圧装置側の開口となる第2の開口である第1の空気通路が形成された第1の爪部材と、前記第1の挟持部と共働して対象物を挟持する第2の挟持部を備えるとともに、前記第1の爪部材と対向配置された第2の爪部材と、前記第1の挟持部と前記第2の挟持部とを開閉させる開閉駆動部と、前記開閉駆動部により前記第1の挟持部と前記第2の挟持部とを閉じる際に前記第1の空気通路内を減圧状態とするとともに、前記第1の挟持部と前記第2の挟持部とを開く際に前記第1の空気通路を開放して減圧状態を解消する減圧調整部と、を備える。   The chuck device disclosed in the present specification includes a first clamping unit that clamps an object, one end is a first opening that opens on the clamping surface of the first clamping unit, and the other end is on the decompression device side. A first claw member in which a first air passage is formed as a second opening, and a second clamping unit that cooperates with the first clamping unit to clamp an object. A second claw member disposed opposite to the first claw member, an opening / closing drive unit for opening / closing the first clamping unit and the second clamping unit, and the opening / closing drive unit The first air passage is brought into a reduced pressure state when the sandwiching portion and the second sandwiching portion are closed, and the first sandwiching portion and the second sandwiching portion are opened when the first sandwiching portion and the second sandwiching portion are opened. And a decompression adjustment unit that opens the air passage and eliminates the decompressed state.

本明細書開示のチャック装置によれば、減圧動作及び挟持動作の実行と解除とを適切なタイミングで行うことができる。   According to the chuck device disclosed in the present specification, the decompression operation and the clamping operation can be executed and released at appropriate timing.

図1は第1実施形態のチャック装置を備えたハンド装置のブロック図の一例である。FIG. 1 is an example of a block diagram of a hand device including the chuck device according to the first embodiment. 図2はチャック装置の概略構成を示した説明図である。FIG. 2 is an explanatory view showing a schematic configuration of the chuck device. 図3は駆動連結部を取り外した状態の説明図である。FIG. 3 is an explanatory view showing a state where the drive connecting portion is removed. 図4は駆動連結部を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory view showing the drive connecting portion. 図5(A)は第2の挟持部が対象物に接近する状態を示す説明図であり、図5(B)は第2の挟持部が対象物に接触した状態を示す説明図である。FIG. 5A is an explanatory diagram illustrating a state in which the second clamping unit approaches the object, and FIG. 5B is an explanatory diagram illustrating a state in which the second clamping unit is in contact with the object. 図6はチャック装置100がチャッキングした状態を示す説明図である。FIG. 6 is an explanatory view showing a state where the chuck device 100 is chucked. 図7はチャック装置の動作の一例を示すタームチャートである。FIG. 7 is a term chart showing an example of the operation of the chuck device. 図8(A)は第2実施形態のチャック装置がチャッキングした状態を示す説明図であり、図8(B)は第2実施形態のチャック装置の減圧状態が破壊された状態を示す説明図である。FIG. 8A is an explanatory view showing a state where the chuck device of the second embodiment is chucked, and FIG. 8B is an explanatory view showing a state where the reduced pressure state of the chuck device of the second embodiment is destroyed. It is. 図9は第3実施形態のチャック装置の概略構成を示した説明図である。FIG. 9 is an explanatory view showing a schematic configuration of the chuck device of the third embodiment. 図10は移動部材を示す説明図である。FIG. 10 is an explanatory view showing the moving member. 図11(A)はチャック装置がチャッキングした状態を示す説明図であり、図11(B)は対象物を挟持した状態で減圧状態を破壊した状態を示す説明図であり、図11(C)は挟持していた対象物を開放した状態を示す説明図である。FIG. 11 (A) is an explanatory view showing a state in which the chuck device is chucked, and FIG. 11 (B) is an explanatory view showing a state in which the reduced pressure state is broken while the object is sandwiched, and FIG. ) Is an explanatory view showing a state in which the object that has been sandwiched is opened.

以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。ただし、図面中、各部の寸法、比率等は、実際のものと完全に一致するようには図示されていない場合がある。また、図面によっては、説明の都合上、実際には存在する構成要素が省略されていたり、寸法が実際よりも誇張されて描かれていたりする場合がある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, in the drawings, the dimensions, ratios, and the like of each part may not be shown so as to completely match the actual ones. Further, depending on the drawings, components that are actually present may be omitted for convenience of explanation, or dimensions may be exaggerated from the actual drawing.

(第1実施形態)
まず、図1を参照しつつ、第1実施形態のチャック装置100を備えたハンド装置1の概略構成について説明する。図1は第1実施形態のチャック装置を備えたハンド装置のブロック図の一例である。チャック装置100は、種々の物品、例えば、電子部品であるフレキシブルプリント基板(FPB)等を挟持する対象物50とすることができる。本実施形態のチャック装置100は、フィルム状や、シート状の対象物50に対して適用することができる。ハンド装置1は、制御部2を備える。制御部2には、開閉駆動部3、減圧装置5、移動機構6及び回転機構7が電気的に接続されている。開閉駆動部3は、後に詳述するようにチャック装置100の開閉動作を行う。開閉駆動部3には、駆動連結部4が含まれる。駆動連結部については、後に説明する。減圧装置5は、ハンド装置1により挟持する対象物を吸着するものである。減圧装置5を作動させることにより、減圧装置5の接続先の状態を真空状態に近づけることができる。これにより、対象物50を吸着することができる。移動機構6は、チャック装置100をX方向、Y方向及びZ方向に移動させる。回転機構7は、チャック装置100をZ軸回り(θz)に回転させることができる。なお、回転機構7は、X軸回り(θx)やY軸回り(θy)に回転させる機能を備えていてもよい。
(First embodiment)
First, a schematic configuration of the hand device 1 including the chuck device 100 according to the first embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is an example of a block diagram of a hand device including the chuck device according to the first embodiment. The chuck device 100 can be an object 50 that holds various articles, for example, a flexible printed circuit board (FPB) that is an electronic component. The chuck device 100 of the present embodiment can be applied to a film-like or sheet-like object 50. The hand device 1 includes a control unit 2. The control unit 2 is electrically connected to an opening / closing drive unit 3, a pressure reducing device 5, a moving mechanism 6, and a rotating mechanism 7. The opening / closing drive unit 3 performs an opening / closing operation of the chuck device 100 as will be described in detail later. The opening / closing drive unit 3 includes a drive connecting unit 4. The drive connecting portion will be described later. The decompression device 5 adsorbs an object to be sandwiched by the hand device 1. By operating the decompression device 5, the connection destination of the decompression device 5 can be brought close to a vacuum state. Thereby, the target object 50 can be adsorbed. The moving mechanism 6 moves the chuck device 100 in the X direction, the Y direction, and the Z direction. The rotation mechanism 7 can rotate the chuck device 100 around the Z axis (θz). The rotation mechanism 7 may have a function of rotating around the X axis (θx) or the Y axis (θy).

チャック装置100は、第1の挟持部102を有する第1の爪部材101と、第2の挟持部106を有する第2の爪部材105を備える。第1の爪部材101には、第1の空気通路103と第2の空気通路104が形成されている。第二の爪部材105には、第3の空気通路107が形成されている。以下、第1の爪部材101及び第2の爪部材105について、図2乃至図4を参照しつつ説明する。図2はチャック装置100の概略構成を示した説明図である。図3は駆動連結部4を取り外した状態の説明図である。図4は駆動連結部4を示す説明図である。   The chuck device 100 includes a first claw member 101 having a first clamping part 102 and a second claw member 105 having a second clamping part 106. A first air passage 103 and a second air passage 104 are formed in the first claw member 101. A third air passage 107 is formed in the second claw member 105. Hereinafter, the first claw member 101 and the second claw member 105 will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of the chuck device 100. FIG. 3 is an explanatory view showing a state where the drive connecting portion 4 is removed. FIG. 4 is an explanatory view showing the drive connecting portion 4.

第1の爪部材101は、対象物50を挟持する第1の挟持部102を備える。第1の挟持部102は、第2の爪部材105が備える第2の挟持部106と共働して対象物50を挟持する。第1の爪部材101の内部には、第1の空気通路103が形成されている。第1の空気通路103の一端である第1の開口103aは、第1の挟持部102の挟持面102aに開口している。第1の空気通路103の他端は減圧装置5側の開口である第2の開口103bとなる。第2の開口103bは、第1の爪部材101の後端面101bに開口している。第1の爪部材101には、第1の挟持部102側が低くなった段差部101aが形成されている。この段差部101aの上面は、第2の爪部材105の当接面105aが当接する当接面101a1となる。   The first claw member 101 includes a first clamping unit 102 that clamps the object 50. The first clamping unit 102 clamps the object 50 in cooperation with the second clamping unit 106 included in the second claw member 105. A first air passage 103 is formed inside the first claw member 101. The first opening 103 a that is one end of the first air passage 103 opens in the clamping surface 102 a of the first clamping unit 102. The other end of the first air passage 103 is a second opening 103b which is an opening on the decompression device 5 side. The second opening 103 b is opened on the rear end surface 101 b of the first claw member 101. The first claw member 101 is formed with a stepped portion 101a that is lowered on the first clamping portion 102 side. The upper surface of the stepped portion 101a becomes a contact surface 101a1 with which the contact surface 105a of the second claw member 105 contacts.

第2の爪部材105は、第1の挟持部102と共働して対象物50を挟持する第2の挟持部106を備える。第2の爪部材105は、第1の挟持部102と第2の挟持部106とが向き合うように対向配置されている。第2の爪部材105の第1の爪部材101との対向面は、平滑であり、この対向面の後端側に位置する部分が第1の爪部材101が備える当接面101a1との当接面105aとなっている。第2の挟持部106は、第2の爪部材105の先端側に位置しており、第2の爪部材105の後端側の材質と比較して柔軟性を有する素材で形成されている。具体的に、第2の挟持部106は、シリコンゴム製とされている。これにより、第2の挟持部106は、容易に弾性変形することができる。なお、本実施形態では、第2の挟持部106を、柔軟性を有する素材で形成しているが、第1の挟持部102と第2の挟持部106の少なくとも一方が、柔軟性を有する素材により成形されていることが望ましい。   The second claw member 105 includes a second clamping unit 106 that cooperates with the first clamping unit 102 to clamp the object 50. The 2nd nail | claw member 105 is opposingly arranged so that the 1st clamping part 102 and the 2nd clamping part 106 may face. The surface of the second claw member 105 facing the first claw member 101 is smooth, and the portion located on the rear end side of the facing surface is in contact with the contact surface 101a1 provided in the first claw member 101. It is a contact surface 105a. The second clamping part 106 is located on the front end side of the second claw member 105 and is formed of a material having flexibility as compared with the material on the rear end side of the second claw member 105. Specifically, the second clamping unit 106 is made of silicon rubber. Thereby, the 2nd clamping part 106 can be elastically deformed easily. In the present embodiment, the second holding part 106 is formed of a flexible material, but at least one of the first holding part 102 and the second holding part 106 is a flexible material. It is desirable to be molded by.

第1の爪部材101の内部には、第2の空気通路104が形成されている。第2の空気通路104は、第1の空気通路103から分岐している。第2の空気通路104は、第1の挟持部102と第2の挟持部106とが閉じた際に第2の爪部材105が当接する当接面101a1に開口する第3の開口104aを備えている。   A second air passage 104 is formed inside the first claw member 101. The second air passage 104 is branched from the first air passage 103. The second air passage 104 includes a third opening 104a that opens to the contact surface 101a1 with which the second claw member 105 contacts when the first holding part 102 and the second holding part 106 are closed. ing.

また、第2の爪部材105の内部には、第3の空気通路107が形成されている。第3の空気通路107の一端は、第2の挟持部106の挟持面106aに開口する第4の開口107aである。また、第3の空気通路107の他端は、第1の挟持部102と第2の挟持部106とが閉じた際に第1の爪部材101が当接する当接面105aに開口し、第3の開口104aと接続可能に設けられた第5の開口107bである。   A third air passage 107 is formed in the second claw member 105. One end of the third air passage 107 is a fourth opening 107 a that opens to the clamping surface 106 a of the second clamping unit 106. The other end of the third air passage 107 opens to the contact surface 105a on which the first claw member 101 comes into contact when the first holding unit 102 and the second holding unit 106 are closed. The third opening 104b is provided so as to be connectable to the third opening 104a.

第3の開口104aを備えた第2の空気通路104、第4の開口107a及び第5の開口107bを備えた第3の空気通路107は、減圧調整部として機能する。すなわち、第2の空気通路104及び第3の空気通路107は、第1の挟持部102と第2の挟持部106とが閉じ、対象物50を挟持した状態となると、第1の空気通路103とともに減圧装置5に通じる閉じた経路を形成する。一方、第1の挟持部102と第2の挟持部106とが離れると、減圧状態が保たれていた回路が破壊されることになり、減圧状態が解除される。   The 2nd air passage 104 provided with the 3rd opening 104a, the 3rd air passage 107 provided with the 4th opening 107a and the 5th opening 107b functions as a decompression adjustment part. That is, the second air passage 104 and the third air passage 107 are configured such that the first air passage 103 is in a state where the first holding portion 102 and the second holding portion 106 are closed and the object 50 is held. At the same time, a closed path leading to the decompression device 5 is formed. On the other hand, when the first holding unit 102 and the second holding unit 106 are separated from each other, the circuit in which the reduced pressure state is maintained is destroyed, and the reduced pressure state is released.

対象物50を減圧動作及び挟持動作により、適切に把持及び解放する場合、減圧動作及び挟持動作を実行するタイミングが重要となる。具体的に、対象物50を把持するときは、第1の挟持部102と第2の挟持部106との挟持動作が完了した後に吸着する為の減圧動作が作用するようにする。一方、対処物50を開放するときは、減圧動作による吸着を解除した後に挟持動作を終了する。本実施形態のチャック装置100は、装置の機械的な動作に伴って、上記のようなタイミングで各動作が実施されるようになっている。   When the object 50 is appropriately grasped and released by the decompression operation and the sandwiching operation, the timing for executing the decompression operation and the sandwiching operation becomes important. Specifically, when the object 50 is gripped, a pressure reducing operation for suction is performed after the clamping operation between the first clamping unit 102 and the second clamping unit 106 is completed. On the other hand, when releasing the countermeasure 50, the nipping operation is terminated after releasing the suction by the decompression operation. The chuck device 100 according to the present embodiment is configured to perform each operation at the timing as described above in accordance with the mechanical operation of the device.

上述のように、減圧動作及び挟持動作のタイミングはわずかにずれることが求められる。そこで、本実施形態のチャック装置100は、駆動連結部4を用いて第2の爪部材105の開閉動作を行うことにより、このタイミングのずれを創出している。図2、図4を参照すると、駆動連結部4は、第2の爪部材105を覆うように形成されたフレーム4aとこのフレーム4aに設けられた接続部4a1を備える。接続部4a1は、開閉駆動部3に接続されており、フレーム4a、ひいては、第2の爪部材105を昇降させる。フレーム4には、回転支持部4bとスライダ部4cが設けられている。回転支持部4bとスライダ部4cは、いずれも棒状の部材である。図3を参照すると、第2の爪部材105には、軸部105bが形成されている。軸部105bは、貫通孔であり、この軸部105bには、駆動連結部4が備える回転支持部4bが挿通される。第2の爪部材105には、軸部105bよりも先端側に設けられ、先端側に向かうに従って下り傾斜となったガイド部105cが形成されている。ガイド部105cには、スライダ部4cが係合する。このような駆動連結部4を備えることにより、第2の爪部材105を移動させるときに、回転動作と直線動作が実現される。回転動作は、第2の挟持部106を支点として行われる。これにより、第1の挟持部102と第2の挟持部106による挟持動作を継続しつつ、第3の開口104aと第5の開口107bとの接続を解除することにより減圧状態を破壊し、減圧動作を終了させることができる。   As described above, the timing of the decompression operation and the clamping operation is required to be slightly shifted. Therefore, the chuck device 100 of the present embodiment creates this timing shift by performing the opening / closing operation of the second claw member 105 using the drive connecting portion 4. 2 and 4, the drive connecting portion 4 includes a frame 4 a formed so as to cover the second claw member 105 and a connection portion 4 a 1 provided on the frame 4 a. The connection part 4a1 is connected to the opening / closing drive part 3, and raises / lowers the frame 4a, and consequently the second claw member 105. The frame 4 is provided with a rotation support portion 4b and a slider portion 4c. The rotation support portion 4b and the slider portion 4c are both rod-shaped members. Referring to FIG. 3, the second claw member 105 has a shaft portion 105 b. The shaft portion 105b is a through hole, and the rotation support portion 4b included in the drive connecting portion 4 is inserted into the shaft portion 105b. The second claw member 105 is formed with a guide portion 105c that is provided on the distal end side with respect to the shaft portion 105b and that is inclined downward toward the distal end side. The slider portion 4c is engaged with the guide portion 105c. By providing such a drive connecting portion 4, when the second claw member 105 is moved, a rotating operation and a linear operation are realized. The rotation operation is performed using the second clamping unit 106 as a fulcrum. As a result, the decompression state is destroyed by releasing the connection between the third opening 104a and the fifth opening 107b while continuing the sandwiching operation by the first sandwiching section 102 and the second sandwiching section 106. The operation can be terminated.

つぎに、図5乃至図7を参照しつつ、チャック装置100の動作につき説明する。図5(A)は第2の挟持部が対象物に接近する状態を示す説明図である。図5(B)は第2の挟持部が対象物に接触した状態を示す説明図である。図6はチャック装置100がチャッキングした状態を示す説明図である。図7はチャック装置100の動作の一例を示すタームチャートである。なお、チャック装置100は、移動機構6により把持する対象物50の位置まで移動する。   Next, the operation of the chuck device 100 will be described with reference to FIGS. FIG. 5A is an explanatory diagram showing a state in which the second clamping unit approaches the object. FIG. 5B is an explanatory diagram showing a state in which the second clamping unit is in contact with the object. FIG. 6 is an explanatory view showing a state where the chuck device 100 is chucked. FIG. 7 is a term chart showing an example of the operation of the chuck device 100. Note that the chuck device 100 moves to the position of the object 50 to be gripped by the moving mechanism 6.

対象物を把持するとき、制御部2は、まずタイムチャートにおける(a)のタイミングでチャック動作信号として閉信号を送る。これにより、図5(A)で示すように、駆動連結部4を介して第2の爪部材105が下降する。このとき、第2の爪部材105は、回転支持部4bによって回転し、スライダ部4cが、ガイド部105cの上端縁に接触した状態となっている。これにより、第2の爪部材105は、先端側である第2の挟持部106が下がって状態となっている。なお、減圧装置5は動作を継続している。しかしながら、減圧装置5が接続された第1の空気通路103は、第1の空気通路103から分岐した第2の空気通路104が第3の開口104aで開放された状態となっているため、いずれの箇所においても吸着作用は発揮されていない状態となっている。この状態で駆動連結部4が下降すると、(b)のタイミングで第2の挟持部106が対象物50に接触する。これにより、図5(B)に示すように第1の挟持部102と第2の挟持部106とによる挟持動作が開始される。このタイミングでは、上述のように減圧作用が効いていないため、対象物が空気の動きによって吹き飛ばされてしまうことはない。   When gripping an object, the control unit 2 first sends a closing signal as a chuck operation signal at the timing (a) in the time chart. Thereby, as shown in FIG. 5A, the second claw member 105 is lowered via the drive connecting portion 4. At this time, the second claw member 105 is rotated by the rotation support portion 4b, and the slider portion 4c is in contact with the upper end edge of the guide portion 105c. Thereby, the 2nd nail | claw member 105 is the state which the 2nd clamping part 106 which is a front end side falls. The decompression device 5 continues to operate. However, the first air passage 103 connected to the decompression device 5 is in a state where the second air passage 104 branched from the first air passage 103 is opened by the third opening 104a. Also in this part, the adsorption action is not exhibited. When the drive connecting portion 4 is lowered in this state, the second holding portion 106 contacts the object 50 at the timing (b). As a result, as shown in FIG. 5B, the clamping operation by the first clamping unit 102 and the second clamping unit 106 is started. At this timing, since the pressure reducing action is not effective as described above, the object is not blown away by the movement of air.

挟持動作が開始された後も駆動連結部4の下降が継続されると、第2の爪部材105の後端側が図中、反時計回りに回転する。これは、スライダ部4cがガイド部105cに沿って相対的に移動することができることから、第2の爪部材105の軸部105bを回転軸とした回転が許容されるためである。これにより、第2の爪部材105は恰も第2の挟持部106を支点とした回転動作を行い第3の開口104aと第5の開口107bとが接近する。このとき、第2の挟持部106は、柔軟なシリコンゴム製であることから、対象物50に押し付けられることにより、容易に変形する。この結果、第4の開口107aの周囲が密閉された状態となる。駆動連結部4の下降が継続されると、(c)で示すタイミングで、図6に示すように第3の開口104aと第5の開口107bとが接続された状態となる。これにより、第1の空気通路103、第2の空気通路104及び第3の空気通路107が閉じた回路を形成する。この結果、これらの空気通路が減圧状態となり、対象物50は、第1の開口103a及び第4の開口107aによって吸着される。   When the drive connecting portion 4 continues to descend even after the clamping operation is started, the rear end side of the second claw member 105 rotates counterclockwise in the drawing. This is because the slider part 4c can move relatively along the guide part 105c, so that rotation about the shaft part 105b of the second claw member 105 as the rotation axis is allowed. As a result, the second claw member 105 performs a rotation operation with the second clamping portion 106 as a fulcrum, and the third opening 104a and the fifth opening 107b approach each other. At this time, since the second clamping unit 106 is made of flexible silicon rubber, it is easily deformed when pressed against the object 50. As a result, the periphery of the fourth opening 107a is sealed. If the descent of the drive connecting portion 4 is continued, the third opening 104a and the fifth opening 107b are connected at the timing shown in FIG. 6C as shown in FIG. As a result, the first air passage 103, the second air passage 104, and the third air passage 107 form a closed circuit. As a result, these air passages are in a decompressed state, and the object 50 is adsorbed by the first opening 103a and the fourth opening 107a.

このように、挟持動作後に、減圧動作を実行することにより、挟持した対象物50の滑りを抑制することができる。   Thus, slipping of the clamped object 50 can be suppressed by executing the pressure reducing operation after the clamping operation.

把持した対象物50を開放するときは、これと逆の動作を辿ることとなる。すなわち、図7中、(d)のタイミングでチャック動作信号として開信号が送られると、駆動連結部4が上昇を開始する。これにより、第2の爪部材105は、軸部105bを支点として回転し、後端側が持ち上げられた状態となる。この結果、図7中、(e)のタイミングで第3の開口104aと第5の開口107bとが離れ、減圧状態が破壊される。そして、駆動連結部4がさらに上昇すると、スライダ部がガイド部105cの上端縁に接触するため、第2の爪部材105の回転が停止し、以後は、その姿勢を維持したまま第2の爪部材105が引き上げられる。この結果、(f)のタイミングで第1の挟持部102と第2の挟持部106による挟持動作が終了する。   When opening the grasped object 50, the reverse operation is followed. That is, in FIG. 7, when an open signal is sent as a chuck operation signal at the timing (d), the drive connecting portion 4 starts to rise. As a result, the second claw member 105 rotates with the shaft portion 105b as a fulcrum, and the rear end side is lifted. As a result, in FIG. 7, the third opening 104a and the fifth opening 107b are separated at the timing (e), and the reduced pressure state is destroyed. When the drive connecting portion 4 is further raised, the slider portion comes into contact with the upper end edge of the guide portion 105c, so that the rotation of the second claw member 105 is stopped. Thereafter, the second claw is maintained while maintaining its posture. The member 105 is pulled up. As a result, the clamping operation by the first clamping unit 102 and the second clamping unit 106 ends at the timing (f).

このように、挟持動作を終了するときに、減圧動作はすでに終了した状態となっているので、対象物を減圧作用による空気の動きにより吹き飛ばしてしまうことがない。   As described above, when the clamping operation is finished, the pressure reducing operation has already been finished, so that the object is not blown away by the movement of air due to the pressure reducing action.

このように、本実施形態のチャック装置100によれば、減圧動作及び挟持動作の実行と解除とを適切なタイミングで行うことができる。   As described above, according to the chuck device 100 of the present embodiment, the decompression operation and the clamping operation can be executed and released at appropriate timing.

(第2実施形態)
つぎに、図8を参照しつつ、第2実施形態のチャック装置200について説明する。図8(A)は第2実施形態のチャック装置200がチャッキングした状態を示す説明図であり、図8(B)は第2実施形態のチャック装置200の減圧状態が破壊された状態を示す説明図である。
(Second Embodiment)
Next, the chuck device 200 of the second embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 8A is an explanatory view showing a state where the chuck device 200 of the second embodiment is chucked, and FIG. 8B shows a state where the reduced pressure state of the chuck device 200 of the second embodiment is destroyed. It is explanatory drawing.

第2実施形態のチャック装置200が第1実施形態のチャック装置100と異なる点は、第2実施形態のチャック装置200が、第3の空気通路107を備えていない点であり、装置の動作も共通する。従って、共通する構成要素については、図面中、同一の参照番号を付し、その詳細な説明は省略する。   The chuck device 200 according to the second embodiment is different from the chuck device 100 according to the first embodiment in that the chuck device 200 according to the second embodiment does not include the third air passage 107, and the operation of the device is also different. Common. Accordingly, common components are denoted by the same reference numerals in the drawings, and detailed description thereof is omitted.

第2実施形態において、減圧調整部として機能するのは、第2の空気通路104と、第2の爪部材105が備える当接面105aである。当接面105aは、第1の挟持部102と第2の挟持部106とが閉じた際に第1の爪部材101が当接する面である。第1実施形態では、第2の空気通路104の第3の開口104aと第3の空気通路107の第5の開口107bとが接続し、また、離れることにより減圧動作が実施され、また、終了した。これに対し、第2実施形態では、当接面105aが第2の空気通路104の第3の開口104aを閉塞するか、開放するかによって減圧動作が実施され、また、終了する。このように、第2実施形態のチャック装置200においても、減圧動作及び挟持動作の実行と解除とを適切なタイミングで行うことができる。   In the second embodiment, the second air passage 104 and the contact surface 105 a included in the second claw member 105 function as the decompression adjusting unit. The abutting surface 105a is a surface on which the first claw member 101 abuts when the first clamping unit 102 and the second clamping unit 106 are closed. In the first embodiment, the third opening 104a of the second air passage 104 and the fifth opening 107b of the third air passage 107 are connected to each other, and the pressure reducing operation is performed by leaving, and the end. did. On the other hand, in the second embodiment, the pressure reducing operation is performed depending on whether the contact surface 105a closes or opens the third opening 104a of the second air passage 104, and ends. Thus, also in the chuck apparatus 200 of 2nd Embodiment, execution and cancellation | release of pressure reduction operation | movement and clamping operation | movement can be performed at an appropriate timing.

(第3実施形態)
つぎに、第3実施形態のチャック装置300について、図9乃至図11を参照しつつ説明する。図9は第3実施形態のチャック装置300の概略構成を示した説明図である。図10は移動部材207を示す説明図である。図11(A)はチャック装置300がチャッキングした状態を示す説明図であり、図11(B)は対象物50を挟持した状態で減圧状態を破壊した状態を示す説明図であり、図11(C)は挟持していた対象物50を開放した状態を示す説明図である。
(Third embodiment)
Next, a chuck device 300 according to a third embodiment will be described with reference to FIGS. 9 to 11. FIG. 9 is an explanatory view showing a schematic configuration of the chuck device 300 of the third embodiment. FIG. 10 is an explanatory view showing the moving member 207. FIG. 11A is an explanatory view showing a state in which the chuck device 300 is chucked, and FIG. 11B is an explanatory view showing a state in which the reduced pressure state is broken while the object 50 is sandwiched. (C) is explanatory drawing which shows the state which open | released the target object 50 clamped.

チャック装置300は、第1の爪部材201と第2の爪部材205を備える。第1の爪部材201は、先端部に第1の挟持部202を備える。第1の爪部材201が第2の爪部材205と対向する面は、平滑面となっている。第1の爪部材201の内部には、第1実施形態の第1の爪部材101と同様に内部に第1の空気通路203が形成されており、第1の開口203aが挟持面202aに開口している。そして、第2の開口203bが第2の爪部材205との対向面に開口している。この点、第1実施形態と異なっている。また、本実施形態の第1の爪部材201は、第1実施形態と異なり第2の空気通路を備えていない。   The chuck device 300 includes a first claw member 201 and a second claw member 205. The 1st nail | claw member 201 is provided with the 1st clamping part 202 in the front-end | tip part. The surface where the first claw member 201 faces the second claw member 205 is a smooth surface. A first air passage 203 is formed inside the first claw member 201 as in the first claw member 101 of the first embodiment, and the first opening 203a is opened on the clamping surface 202a. doing. The second opening 203b opens on the surface facing the second claw member 205. This is different from the first embodiment. Further, unlike the first embodiment, the first claw member 201 of the present embodiment does not include the second air passage.

第2の爪部材205は、後端部に一段高くなった段差部205aを備える。段差部205aには、貫通孔205a1が設けられている。段差部205aにおいて第1の爪部材201と対向する面は、後に詳述する係合部207bが係合する係合面205bを形成している。貫通孔205a1には、移動部材207が摺動自在に装着されている。   The second claw member 205 includes a stepped portion 205a that is raised one step at the rear end. A through hole 205a1 is provided in the stepped portion 205a. The surface of the stepped portion 205a that faces the first claw member 201 forms an engaging surface 205b that engages with an engaging portion 207b that will be described in detail later. A moving member 207 is slidably mounted in the through hole 205a1.

移動部材207は、減圧調整部として機能する。移動部材207は、第2の爪部材205に設けられ、開閉駆動部3により第1の爪部材201に対して離接可能とされている。また、移動部材207は、第1の挟持部202と第2の挟持部206とが閉じた際に第2の開口203bに接続される第4の空気通路208が形成されている。第4の空気通路208は、減圧装置5に接続されている。すなわち、第3実施形態では、第4の空気通路208を介して第1の空気通路203が減圧装置5に接続された状態となる。移動部材207は、筒状部207aとこれに連接された鍔状の係合部207bを備える。筒状部207aは、貫通孔205a1に摺動自在に嵌め込まれる。係合部207bは、段差部205aが設けられることにより段差部205aの下側に形成された空間に配置される。係合部207bは、開閉駆動部3により引き上げられることにより、第1の爪部材201から離れつつ第2の爪部材205、より具体的には、係合面205bに係合して第2の爪部材205を第1の爪部材201から離す。   The moving member 207 functions as a decompression adjustment unit. The moving member 207 is provided on the second claw member 205, and can be separated from and connected to the first claw member 201 by the opening / closing drive unit 3. Further, the moving member 207 is formed with a fourth air passage 208 that is connected to the second opening 203b when the first clamping unit 202 and the second clamping unit 206 are closed. The fourth air passage 208 is connected to the decompression device 5. That is, in the third embodiment, the first air passage 203 is connected to the decompression device 5 through the fourth air passage 208. The moving member 207 includes a cylindrical portion 207a and a hook-shaped engaging portion 207b connected to the cylindrical portion 207a. The cylindrical portion 207a is slidably fitted into the through hole 205a1. The engaging portion 207b is disposed in a space formed below the step portion 205a by providing the step portion 205a. The engaging portion 207 b is pulled up by the opening / closing drive portion 3, thereby engaging with the second claw member 205, more specifically with the engaging surface 205 b while being separated from the first claw member 201. The claw member 205 is separated from the first claw member 201.

図11(A)に示す状態では、第1の挟持部202と第2の挟持部206とのよって対象物50が挟持されているとともに、第4の空気通路208が第2の開口203bと接続された状態なっている。すなわち、挟持動作と減圧動作が行われる状態となっている。この状態から、図11(B)に示すように、移動部材207を上方に引き上げると、第4の空気通路208と第2の開口203bとの接続状態が解消され、減圧状態が破壊される。そして、図11(C)で示すように、移動部材207がさらに引き上げられ、係合部207bが係合面205bと係合すると、以後、第2の爪部材205が引き上げられ、第1の爪部材201から離れる。   In the state shown in FIG. 11A, the object 50 is held by the first holding unit 202 and the second holding unit 206, and the fourth air passage 208 is connected to the second opening 203b. It is in a state that has been. That is, the sandwiching operation and the decompression operation are performed. From this state, as shown in FIG. 11B, when the moving member 207 is pulled upward, the connection state between the fourth air passage 208 and the second opening 203b is canceled, and the reduced pressure state is destroyed. Then, as shown in FIG. 11C, when the moving member 207 is further lifted and the engaging portion 207b is engaged with the engaging surface 205b, the second claw member 205 is then lifted and the first claw is moved. It leaves | separates from the member 201.

このような第3実施形態のチャック装置300であっても、第1実施形態のチャック装置100や第2実施形態のチャック装置200と同様に、減圧動作及び挟持動作の実行と解除とを適切なタイミングで行うことができる。   Even in the chuck device 300 according to the third embodiment, the decompression operation and the clamping operation are appropriately performed and released as in the chuck device 100 according to the first embodiment and the chuck device 200 according to the second embodiment. Can be done at the timing.

以上本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。   Although the preferred embodiment of the present invention has been described in detail above, the present invention is not limited to the specific embodiment, and various modifications, within the scope of the gist of the present invention described in the claims, It can be changed.

1 ハンド装置
2 制御部
3 開閉駆動部
4 駆動連結部
4a フレーム
4a1 接続部
4b 回転支持部
4c スライダ部
5 減圧装置
100、200、300 チャック装置
101、201 第1の爪部材
101a 段差部
101a1 当接面
101b、201a 後端面
102、202 第1の挟持部
102a、202a 挟持面
103、203 第1の空気通路
103a、203a 第1の開口
103b、203b 第2の開口
104 第2の空気通路
104a 第3の開口
105、205 第2の爪部材
105a 当接面
105b 軸部
105cガイド部
106、206 第2の挟持部
107 第3の空気通路
107a 第4の開口
205b 係合面
207 移動部材
207a 筒状部
207b 係合部
208 第4の空気通路
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Hand apparatus 2 Control part 3 Opening / closing drive part 4 Drive connection part 4a Frame 4a1 Connection part 4b Rotation support part 4c Slider part 5 Pressure reducing device 100, 200, 300 Chuck apparatus 101, 201 First claw member 101a Step part 101a1 Contact Surface 101b, 201a Rear end surface 102, 202 First clamping portion 102a, 202a Holding surface 103, 203 First air passage 103a, 203a First opening 103b, 203b Second opening 104 Second air passage 104a Third Opening 105, 205 second claw member 105a contact surface 105b shaft portion 105c guide portion 106, 206 second clamping portion 107 third air passage 107a fourth opening 205b engagement surface 207 moving member 207a cylindrical portion 207b engagement portion 208 fourth air passage

Claims (6)

対象物を挟持する第1の挟持部を備えるとともに、一端が前記第1の挟持部の挟持面に開口する第1の開口であり、他端が減圧装置側の開口となる第2の開口である第1の空気通路が形成された第1の爪部材と、
前記第1の挟持部と共働して対象物を挟持する第2の挟持部を備えるとともに、前記第1の爪部材と対向配置された第2の爪部材と、
前記第1の挟持部と前記第2の挟持部とを開閉させる開閉駆動部と、
前記開閉駆動部により前記第1の挟持部と前記第2の挟持部とを閉じる際に前記第1の空気通路内を減圧状態とするとともに、前記第1の挟持部と前記第2の挟持部とを開く際に前記第1の空気通路を開放して減圧状態を解消する減圧調整部と、
を備えたチャック装置。
A first opening that includes a first holding portion that holds the object, one end being a first opening that opens to the holding surface of the first holding portion, and the other end being a second opening that is an opening on the decompression device side. A first claw member formed with a first air passage;
A second nail member provided in cooperation with the first nipping unit to sandwich the object and having a second nail member disposed opposite to the first nail member;
An opening / closing drive part for opening and closing the first clamping part and the second clamping part;
When the first and second clamping parts are closed by the opening / closing drive part, the inside of the first air passage is brought into a reduced pressure state, and the first and second clamping parts are And a decompression adjustment unit that opens the first air passage to eliminate the decompression state when opening
A chuck device comprising:
前記減圧調整部は、
前記第1の空気通路から分岐し、前記第1の挟持部と前記第2の挟持部とが閉じた際に前記第2の爪部材が当接する当接面に開口する第3の開口を備えた第2の空気通路と、
一端が前記第2の挟持部の挟持面に開口する第4の開口であり、他端が前記第1の挟持部と前記第2の挟持部とが閉じた際に前記第1の爪部材が当接する当接面に開口し、前記第3の開口と接続可能に設けられた第5の開口である第3の空気通路と、
を含む請求項1に記載のチャック装置。
The decompression adjustment unit includes:
A third opening that branches from the first air passage and opens to a contact surface with which the second claw member comes into contact when the first holding portion and the second holding portion are closed; A second air passage,
One end is a fourth opening that opens to the clamping surface of the second clamping part, and the other claw member is closed when the first clamping part and the second clamping part are closed. A third air passage that is a fifth opening that opens to a contact surface that contacts the third opening and is connectable to the third opening;
The chuck device according to claim 1, comprising:
前記減圧調整部は、
前記第1の空気通路から分岐し、前記第1の挟持部と前記第2の挟持部とが閉じた際に前記第2の爪部が当接する当接面に開口する第3の開口を備えた第2の空気通路と、
前記第1の挟持部と前記第2の挟持部とが閉じた際に前記第1の爪部材が当接する当接面と、
を含む請求項1に記載のチャック装置。
The decompression adjustment unit includes:
A third opening that branches off from the first air passage and opens to a contact surface with which the second claw portion comes into contact when the first holding portion and the second holding portion are closed; A second air passage,
An abutting surface with which the first claw member abuts when the first clamping part and the second clamping part are closed;
The chuck device according to claim 1, comprising:
前記開閉駆動部は、
前記第2の爪部材に設けられた軸部に係合する回転支持部と、
前記第2の爪部材の前記軸部よりも先端側に設けられ、先端側に向かうに従って下り傾斜となったガイド部に係合するスライダ部と、を有する駆動連結部を含む請求項1乃至3のいずれか1項に記載のチャック装置。
The opening / closing drive unit is
A rotation support portion engaged with a shaft portion provided on the second claw member;
4. A drive coupling portion comprising: a slider portion that is provided on a distal end side of the shaft portion of the second claw member and engages with a guide portion that is inclined downward toward the distal end side. The chuck device according to any one of the above.
前記減圧調整部は、
前記第2の爪部材に設けられ、前記開閉駆動部により前記第1の爪部材に対して離接可能であり、前記第1の挟持部と前記第2の挟持部とが閉じた際に前記第2の開口に接続される第4の空気通路が形成されるとともに、前記開閉駆動部により前記第1の爪部材から離れつつ前記第2の爪部材に係合して前記第2の爪部材を前記第1の爪部材から離す係合部を有する移動部材を含む請求項1に記載のチャック装置。
The decompression adjustment unit includes:
The second claw member is provided on the second claw member and can be separated from and connected to the first claw member by the opening / closing drive unit, and when the first clamping unit and the second clamping unit are closed, A fourth air passage connected to the second opening is formed, and the second claw member is engaged with the second claw member while being separated from the first claw member by the opening / closing drive unit. The chuck device according to claim 1, further comprising a moving member having an engaging portion that separates the first claw member from the first claw member.
前記第1の挟持部と前記第2の挟持部の少なくとも一方は、柔軟性を有する素材により成形された請求項1乃至5のいずれか1項に記載のチャック装置。   The chuck device according to any one of claims 1 to 5, wherein at least one of the first clamping unit and the second clamping unit is formed of a flexible material.
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