JP2015110769A - 導電性接着剤、導電性接着シート、配線デバイス、および配線デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カルボキシル基を有する熱硬化性樹脂(A)と、エポキシ樹脂(B)と、反応性官能基を有するエラストマー(C)と、導電性フィラー(D)と、硬化剤(E)とを含むことを特徴とする導電性接着剤。なお当該導電性接着剤は、前記カルボキシル基を有する熱硬化性樹脂(A)100重量部に対して、3〜200重量部の前記反応性官能基を有するエラストマー(C)を含むことが好ましい。
【選択図】なし
Description
また、従来の導電性接着剤を用いた場合、仮貼り後に積層体(導電性補強板付FPC)を、所定の形状に打ち抜き加工すると、その際の衝撃で導電性補強板がFPCから脱落したり、積層体を所望の形状に打ち抜けない(打ち抜き加工性が低い)という問題もあった。
飽和または不飽和の低分子ジオール類としては、例えば、エチレングリコール、1,2−プロパンジオール、1,3−プロパンジオール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、ネオペンチルグリコール、ペンタンジオール、3−メチル−1,5−ペンタンジオール、ヘキサンジオール、オクタンジオール、1,4−ブチレンジオール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ジプロピレングリコール、ダイマージオール等が挙げられる。
一方、ジカルボン酸類としては、例えば、アジピン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、マレイン酸、フマル酸、コハク酸、シュウ酸、マロン酸、グルタル酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸等が挙げられる。
また、ジオールとしては、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ブチレングリコール、3−メチル−1,5−ペンタンジオール、2−メチル−1,8−オクタンジオール、3,3’−ジメチロールヘプタン、ポリオキシエチレングリコール、ポリオキシプロピレングリコール、プロパンジオール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、1,9−ノナンジオール、ネオペンチルグリコール、オクタンジオール、ブチルエチルペンタンジオール、2−エチル−1,3−ヘキサンジオール、シクロヘキサンジオール、3,9−ビス(1,1−ジメチル−2−ヒドロキシエチル、2,2,8,10−テトラオキソスピロ〔5.5〕ウンデカン等が挙げられる。
また、ビスフェノールとしては、例えば、ビスフェノールAやビスフェノールF、エチレンオキサイド、プロピレンオキサイドのようなアルキレンオキサイドを付加したビスフェノール類等が挙げられる。
これらのポリオール類の中でも、カルボキシル基を有しないポリオール化合物(b)としては、ポリエステルポリオールが好ましく、ポリエステルジオールがより好ましい。
芳香族ジイソシアネートとしては、例えば、1,5−ナフチレンジイソシアネート、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、4,4’−ジフェニルジメチルメタンジイソシアネート、4,4’−ベンジルイソシアネート、ジアルキルジフェニルメタンジイソシアネート、テトラアルキルジフェニルメタンジイソシアネート、1,3−フェニレンジイソシアネート、1,4−フェニレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等が挙げられる。
なお、アミノ基の当量は、反応停止剤としてアミン類(例えば、ジアルキルアミン類、ジアルカノールアミン類)を使用する場合、ポリアミノ化合物(e)が有するアミノ基と反応停止剤が有するアミノ基との合計当量とされる。
エポキシ樹脂(B)としては、例えば、グリジシルエーテル型エポキシ樹脂、グリジシルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、環状脂肪族(脂環型)エポキシ樹脂等が好ましい。
これらの中でも、エポキシ樹脂(B)としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、トリス(グリシジルオキシフェニル)メタン、およびテトラキス(グリシジルオキシフェニル)エタンが好ましい。これらのエポキシ樹脂を用いることにより、導電性接着剤の接着強度および硬化後の耐熱性がより向上する。
エチレン系エラストマーとしては、例えば、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−メタクリル酸エステル共重合体、エチレン−アクリル酸エステル共重合体、無定形ポリアルファオレフィン共重合体等が挙げられる。
なお、これらのエラストマーは、カルボキシ変性により、カルボキシル基を有することができる。
ウレタン系エラストマーとしては、例えば、ウレタン−ウレアブロック共重合体、ウレタン−エステルブロック共重合体、ウレタン−アミドブロック共重合体等が挙げられる。
ポリアミド系エラストマーとしては、例えば、ポリエーテルエステル−アミドブロック共重合体、ポリエステル−アミドブロック共重合体等が挙げられる。
スチレンアクリル系エラストマーとしては、例えば、スチレンアクリロニトリル共重合体、スチレンメタクリル酸等が挙げられる。
また、球状の導電性フィラー(D)の長手方向の長さと短手方向の長さとが大きく異なる場合は、長手方向の長さを使用して、導電性フィラー(D)の平均粒子サイズ(平均粒子径)を算出する。さらに、導電性フィラー(D)が球状以外の形状である場合、導電性フィラー(D)の平均粒子サイズは、導電性フィラー(D)の最大長さを使用して算出する。
無機フィラー(F)としては、例えば、シリカ、アルミナ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、酸化チタン、酸化亜鉛、三酸化アンチモン、酸化マグネシウム、タルク、モンモロリナイト、カオリン、ベントナイト等の無機化合物が挙げられる。これらの中でも、無機フィラー(F)としては、シリカ表面のシラノール基とハロゲン化シランとを反応させることにより得られる疎水性シリカが好ましい。疎水性シリカを使用することにより、導電性接着剤の含水率を低減することができる。なお、本発明において、無機フィラー(F)は、導電性フィラー(D)と異なる。
無機フィラー(F)の平均粒子サイズ(平均粒子径)は、0.5〜10μmであることが好ましく,0.7〜8μmであることがより好ましい。無機フィラーの平均粒子サイズが0.5〜10μmであることで、打ち抜き加工性をより向上することができる。なお、無機フィラー(F)の平均粒子サイズも、導電性フィラー(D)と同様の方法で特定することができる。
シランカップリング剤(G)のアルコキシシリル基が架橋反応することで、硬化後の導電性接着剤は、そのハンダリフロー温度での耐熱性をさらに向上することができる。その結果、ハンダリフロー温度においても、導電性接着剤層の硬化物に発泡等が発生し難くなる。
シランカップリング剤(G)としては、例えば、ビニル系シランカップリング剤、エポキシ系シランカップリング剤、アミノ系シランカップリング剤、イソシアネート系シランカップリング剤等が好ましい。
半硬化状態の導電性接着剤層のゲル分率は、60〜95%であることが好ましく、65〜90%であることがより好ましい。ゲル分率がこの範囲にあることで、導電性接着剤層の凝集力が高まり、その仮貼り適正および打ち抜き加工性がより向上する。また、本発明において、シートは、フィルム、テープと同義語である。また、半硬化状態とは、エポキシ樹脂が未反応状態であることを意味するため、導電性接着剤層のゲル分率が0%である場合を排除する意図はない。
導電性接着剤層の厚さは、5〜500μmであることが好ましく、10〜100μmであることがより好ましい。
導電性接着剤層は、その表面に剥離性シートを貼り合わせることで、その取り扱いが容易になる。
かかる配線デバイスは、例えば、配線板と導電性補強板とを半硬化状態の導電性接着剤層を介して仮貼りして積層体を形成した後、この積層体を高温で加熱することで、導電性接着剤層を本硬化することにより接合層を形成して得ることができる。本硬化により優れた接着強度および耐熱性を有する接合層(電電性接着剤層の硬化物)が得られる。
なお、配線板は、絶縁性基板と、この絶縁性基板上に設けられた信号配線と、この信号配線を覆うように絶縁性基板上に設けられた絶縁性層とを備える。通常、配線デバイスでは、配線板の絶縁性層と補強板とが接合層により接合される。
なお、前記電気的な接続を取る方法としては、絶縁性層に貫通孔を形成し、当該貫通孔内に導電性接着剤を充填する方法、本硬化時の加熱圧着により導電性接着剤層を流動させて貫通孔内に充填する方法等が挙げられる。
なお、例中、「部」は「重量部」を、「%」は「重量%」を表すものとする。また、「Mn」は数平均分子量を、「Mw」は重量平均分子量を表す。
重量平均分子量は、GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)測定で求めたポリスチレン換算の数値である。測定条件は、以下のとおりである。
装置:Shodex GPC System−21(昭和電工社製)
カラム:1本のShodex KF−802(昭和電工社製)と、1本のShodex KF−803L(昭和電工社製)と、1本のShodex KF−805L(昭和電工社製)とを直列に連結した連結カラム
溶媒:テトラヒドロフラン
流速:1.0mL/min
温度:40℃
試料濃度:0.2%
試料注入量:100μL
攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に、Mn2,029のポリオキシテトラメチレングリコール195.0部と、ジメチロールブタン酸6.70部と、イソホロンジイソシアネート40.8部と、トルエン70.0部とを仕込んだ。次いで、これらを窒素雰囲気下90℃で4時間反応させて反応液を得た後、この反応液にトルエン250部を加えた。これにより、Mw22,000のイソシアネート基を有するウレタンプレポリマーを含有する溶液を得た。
次に、イソホロンジアミン6.11部と、ジ−n−ブチルアミン0.59部と、2−プロパノール112.5部と、トルエン184.5部とを混合して混合液を得た。次いで、この混合液に、得られたイソシアネート基を有するウレタンプレポリマーを含有する溶液506.3部を添加し、これらを85℃で4時間反応させた。これにより、Mw105,000、酸価10.2mgKOH/gのポリウレタンウレア樹脂A−1を含有する溶液(不揮発分25%)を得た。
攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に、テレフタル酸とアジピン酸と3−メチル−1,5−ペンタンジオールとを反応させて得られたMn2,040のポリエステルポリオール195.2部と、ジメチロールブタン酸6.67部と、イソホロンジイソシアネート40.7部と、トルエン70.0部とを仕込んだ。次いで、これらを窒素雰囲気下、90℃で4時間反応させて反応液を得た後、この反応液にトルエン250部を加えて、Mw21,000のイソシアネート基を有するウレタンプレポリマーを含有する溶液を得た。
次に、イソホロンジアミン6.08部と、ジ−n−ブチルアミン0.59部と、2−プロパノール112.5部と、トルエン184.5部とを混合して混合液を得た。次いで、この混合液に、得られたイソシアネート基を有するウレタンプレポリマーを含有する溶液506.3部を添加し、これらを85℃で4時間反応させた。これにより、Mw110,000、酸価10.1mgKOH/gのポリウレタンウレア樹脂A−2を含有する溶液(不揮発分25%)を得た。
撹拌機、還流冷却管、窒素導入管、導入管、温度計を備えた4口フラスコに、多塩基酸化合物としてプリオール1009(CRODA社製 水添蒸留ダイマー酸)173.5gと、ポリアミン化合物としてプリアミン1074(CRODA社製 ダイマージアミン)157.9gとを仕込み、発熱の温度が一定になるまで撹拌して混合液を得た。温度が安定したことを確認した後、温度が110℃になるまで混合液を加熱し、脱水反応の開始を確認した。
次いで、30分間かけて温度が120℃になるまで混合液を加熱した。その後、温度が30分間で10℃高くなる速度で混合液を加熱した。温度が230℃に到達した後は、温度を230℃に維持して3時間反応を継続した。その後、4口フラスコ内を約2kPaの真空下まで減圧した状態を1時間保持した後、混合液を冷却した。次いで、混合液に酸化防止剤を添加し、Mw124,000、酸価4mgKOH/g、ガラス転移温度−58℃のポリアミド樹脂エラストマーC−1を得た。
撹拌機、還流冷却管、窒素導入管、導入管、温度計を備えた4口フラスコに、多塩基酸化合物としてセバシン酸60.60gと、ポリアミン化合物としてイソホロンジアミン40.86gと、イオン交換水50gとを仕込み、発熱の温度が一定になるまで撹拌して混合液を得た。温度が安定してから、混合液の加熱を開始し、水が除去されたことを確認した。その後、さらに温度が110℃になるまで混合液を加熱し、脱水反応の開始を確認した。
次いで、30分間かけて温度が120℃になるまで混合液を加熱した。その後、温度が30分間で10℃高くなる速度で混合液を加熱した。温度が230℃に到達した後は、温度を230℃に維持して3時間反応を継続した。その後、4口フラスコ内を約2kPaの真空下まで減圧した状態を1時間保持した後、混合液を冷却した。
混合液の温度が150℃まで低下した後、混合液にさらにMn650のポリテトラメチレンエーテルグリコール38.92gと、テトラブチルオルソチタネート0.14gとを添加した。次いで、再度、温度が230℃になるまで混合液を加熱し、4口フラスコ内を約2kPaの真空下で1時間、さらに約1kPaの真空下で2〜3時間保持し、反応を進行させた。最後に、混合液に酸化防止剤を添加し、Mw85,000、酸価3.5mgKOH/g、ガラス転移温度−58℃のポリアミド樹脂エラストマーC−2を得た。
ポリウレタンウレア樹脂A−1を含有する溶液中のポリウレタンウレア樹脂A−1 100部と、エポキシ当量190g/eqのビスフェノールAタイプエポキシ(「アデカレジンEP−4100」、ADEKA社製)30部と、エラストマーとしてポリアミド樹脂C−1(ガラス転移温度−58℃、25℃における貯蔵弾性率45MPa、酸価4mgKOH/g、引張弾性率11MPa)75部と、導電性フィラーとして平均粒子径(D50)12.7μmの銀コート銅粒子350部と、硬化剤として2−メチルイミダゾール2部と、無機フィラーとして平均粒子径1.2μmの疎水性シリカ25部と、シランカップリング剤としてn−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン3部とを混合し、導電性接着剤を得た。
この導電性接着剤を剥離性シートに塗工した後、100℃で2分間乾燥させ、厚さ40μmの導電性接着剤層を形成し、導電性接着シートを得た。なお、前記導電性接着剤層のゲル分率を後述する方法に従って求めたところ80%であった。
各成分およびその配合量を表1に示すように変更した以外は、実施例1と同様にして、導電性接着剤および導電性接着シートを作成した。
エポキシ樹脂B−1:エポキシ当量190g/eqのビスフェノールAタイプエポキシ(「アデカレジンEP−4100」、ADEKA社製)
エポキシ樹脂B−2:エポキシ当量150g/eqの3官能反応型エポキシ(「ED−505」、ADEKA社製)
エラストマーC−3:ガラス転移温度4℃、酸価9mgKOH/gのアクリル酸エステル共重合体(「テイサンレジンシリーズ SG−708−6」、ナガセケムテックス社製)
エラストマーC−4:ガラス転移温度45℃、酸価を有さない水添スチレン系熱可塑性エラストマー(「ハイトレル 2521」、東レ・デュポン社製)
導電性フィラーD−1:平均粒子径(D50)12.7μmの市販銀コート銅粒子
導電性フィラーD−2:平均粒子径(D50)12μmの市販銀コート銅粒子
硬化剤E−1:2−メチルイミダゾール
硬化剤E−2:トリメチロールプロパン−トリ−β−アジリジニルプロピオネート
無機フィラーF−1:平均粒子径1.2μmの市販疎水性シリカ
無機フィラーF−2:平均粒子径3.8μmの市販超微粒子タルク
シランカップリング剤G−1:n−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン
シランカップリング剤G−2:3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン
エラストマー20部と、トルエン40部と、イソプロピルアルコール40部とを配合し、エラストマーが溶解するまで攪拌してエラストマー溶液を得た。このエラストマー溶液を、剥離性シートに乾燥後の厚さが40μmになるように塗工して塗膜を得た後、塗膜を乾燥した。この乾燥後の塗膜を幅10mm×長さ100mmの大きさに切断し、剥離性シートを剥がして測定試料とした。
動的弾性率測定装置DVA−200(アイティー計測制御社製)を用いて、測定試料に対して変形様式「引張り」、周波数10Hz、昇温速度10℃/分、測定温度範囲−50〜300℃の条件での測定を行い、ガラス転移温度と、25℃における貯蔵弾性率とを求めた。
100メッシュのステンレス金網を幅30mm×長さ100mmに切断し、その重量(W1)を測定した。続いて、導電性接着シートを幅10mm×長さ80mmの大きさに切断した後、剥離性シートを剥がして導電性接着剤層を得た。この導電性接着剤層を前記ステンレス金網で見えないように包んで試験片とし、その重量(W2)を測定した。作製した試験片を室温(25℃)でメチルエチルケトン(MEK)中に浸漬し、1時間放置した。次いで、試験片をMEKから取り出し、150℃で10分間乾燥した後、その重量(W3)を測定した。そして、下記計算式(1)を用いて、導電性接着剤層のゲル分率を算出した。
(W3−W1)/(W2−W1)×100[%]・・・計算式(1)
導電性接着シートを幅25mm×長さ100mmの大きさに切断した後、剥離性シートを剥がして導電性接着剤層を得た。この導電性接着剤層を、厚さ40μmの銅張積層板(「エスパーフレックス」、住友金属鉱山社製)のポリイミド面と、厚さ200μmのステンレス板(SUS304)との間に挟んで積層体を形成した。その後、得られた積層体を170℃、2MPa、5分の条件で圧着した後、160℃の電気オーブンで60分間加熱した。これにより、「銅張積層板/導電性接着剤層の硬化物/SUS板」の積層体を得た。この積層体に対して、23℃、相対湿度50%の雰囲気下、引っ張り速度50mm/minでTピール剥離試験を行い、その接着強度(N/cm)を測定した。
前記と同様にして得られた積層体を、そのSUS面を下にして、260℃の溶融ハンダに1分間浮かべた。その後、積層体を溶融ハンダから取り出し、その導電性接着剤層の硬化物の外観を目視で確認し、次の基準に従って評価した。なお、評価は、5つの積層体について行った。
A:5つの積層体のいずれにおいても、導電性接着剤層の硬化物に気泡が発生せず、接着状態に異常が無かった。すなわち、導電性接着剤層の硬化物は、ハンダ耐熱性に優れており、導電性接着剤は、実用において何ら問題がない。
B:3〜4つの積層体において、導電性接着剤層の硬化物に気泡が発生せず、接着状態に異常が無かった。すなわち、導電性接着剤層の硬化物は、ハンダ耐熱性が若干劣るものの、導電性接着剤は、実用可能である。
C:2つ以下の積層体においてのみ、導電性接着剤層の硬化物に気泡が発生せず、接着状態に異常が無かった。すなわち、導電性接着剤層の硬化物は、ハンダ耐熱性が劣り、導電性接着剤は、実用不可能である。
導電性接着シートを幅25mm×長さ100mmの大きさに切断し、その導電性接着剤層が幅30mm×長さ150mmのSUS板に接触するように、導電性接着シートをSUS板に重ねた。次いで、これらをロールラミネートした後、導電性接着剤層から剥離性シートを剥がして導電性接着剤層付SUS板を得た。
別途、幅30mm×長さ200mmに切断した銅張積層板のポリイミド面に、導電性接着剤層が接触するように、電性接着剤層付SUS板を銅張積層板に重ねて積層体を得た。その後、表面温度を200℃に設定した市販アイロンを使用して、積層体を3秒間加熱プレスした。次いで、この積層体に対して、引張試験機を使用して、引っ張り速度50mm/minで、Tピール剥離試験を行い、接着強度を測定した。
A:接着強度が0.5N/cm以上である。すなわち、導電性接着剤は、仮貼り性に優れており、実用において何ら問題がない。
B:接着強度が0.3〜0.5N/cmである。すなわち、導電性接着剤は、仮貼り性が若干劣るものの、実用可能である。
C:接着強度が0.3N/cm未満である。すなわち、導電性接着剤は、仮貼り性が劣り、実用不可能である。
導電性接着シートを幅50mm×長さ80mmの大きさに切断した後、その導電性接着剤層に剥離性シートを貼着した。これを2枚の厚さ125μmのポリイミドフィルム(東レ・デュポン(株)「カプトン500H」)で挟みこみ、「ポリイミドフィルム/剥離性シート/導電性接着剤層/剥離性シート/ポリイミドフィルム」の積層体を得た。この積層体を170℃、2MPa、5分の条件で圧着した後、160℃の電気オーブンで60分間加熱した。得られた導電接着剤層の硬化物について、抵抗率計(三菱化学(株)「ロレスターGP MCP−T600」)を用い、4端子法で表面抵抗値を測定した。
導電性接着シートを幅10mm×長さ60mmの大きさに切断し、その導電性接着剤層が厚さ50μmのポリイミドフィルム(東レ・デュポン社製「カプトン200EN」)に接触するように、導電性接着シートをポリイミドフィルムに重ねた。その後、穴あけ機で導電性接着シートの中心付近に直径5mmの孔を貫通させた。
次いで、剥離性シートを導電性接着剤層から剥がした後、この導電性接着剤層付ポリイミドフィルムを、導電性接着剤層が接触するように、別途準備したポリイミドフィルムに100℃で熱ラミネートして積層体を得た。続いて、積層体を170℃、2.0MPa、5分間の条件で圧着した。こうして得られた「ポリイミドフィルム(孔有り)/導電性接着剤層の硬化物(孔有り)/ポリイミドフィルム」の積層体について、導電性接着剤層の硬化物の孔を、拡大鏡を用いて観察し、孔内にはみ出した導電性接着剤の量(フロー量)を測定した。
A:フロー量が0.15mm未満である。すなわち、導電性接着剤は、フロー量が十分に少なく、実用において何ら問題がない。
B:フロー量が0.15mm程度である。すなわち、導電性接着剤は、フロー量が若干多いものの、実用可能である。
C:フロー量が0.15mm超である。すなわち、導電性接着剤は、フロー量が多過ぎ、実用不可能である。
導電性接着シートを幅200mm×長さ600mmの大きさに切断した後、導電性接着剤層から剥離性シートを剥がして測定試料とした。測定試料について小型卓上試験機EZ−TEST(島津製作所社製)を用いて、温度25℃、相対湿度50%の条件下で引っ張り試験(試験速度50mm/min)を実施した。得られたS−S曲線(Stress−Strain曲線)から導電性接着剤層の伸び率(%)を算出した。
Claims (9)
- カルボキシル基を有する熱硬化性樹脂(A)と、
エポキシ樹脂(B)と、
反応性官能基を有するエラストマー(C)と、
導電性フィラー(D)と、
硬化剤(E)とを含むことを特徴とする導電性接着剤。 - 当該導電性接着剤は、前記カルボキシル基を有する熱硬化性樹脂(A)100重量部に対して、3〜200重量部の前記反応性官能基を有するエラストマー(C)を含む請求項1に記載の導電性接着剤。
- 剥離性シートと、
該剥離性シートの一方の面側に設けられ、請求項1または2に記載の導電性接着剤から形成した導電性接着剤層とを備えることを特徴とする導電性接着シート。 - 前記導電性接着剤層のゲル分率は、60〜95%である請求項3に記載の導電性接着シート。
- 信号配線を備える配線板と、
該配線板の一方の面側に設けられた補強板と、
前記配線板と前記補強板との間に設けられ、これらを接合する接合層であって、請求項1または2に記載の導電性接着剤から形成した導電性接着剤層の硬化物で構成された接合層とを備えることを特徴とする配線デバイス。 - 前記補強板は、導電性を有し、
前記配線板は、さらに、前記補強板に接続されたグランド配線を備える請求項5に記載の配線デバイス。 - 前記配線板は、フレキシブルプリント配線板である請求項5または6に記載の配線デバイス。
- 請求項5〜7に記載の配線デバイスの製造方法であって、
前記配線板と、前記導電性接着剤層と、前記補強板とを用意する工程と、
前記導電性接着剤層を介して前記配線板と前記補強板とを積層して、積層体を得る工程と、
該積層体を130〜210℃で加熱して、前記導電性接着剤層を硬化させることにより前記接合層を形成し、前記配線デバイスを得る工程とを備えることを特徴とする配線デバイスの製造方法。 - 前記積層体を加熱する工程において、前記積層体を0.2〜12MPaで加圧する請求項8に記載の配線デバイスの製造方法。
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