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JP2015196279A - Method for manufacturing roll plate for optical member - Google Patents

Method for manufacturing roll plate for optical member Download PDF

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JP2015196279A
JP2015196279A JP2014074252A JP2014074252A JP2015196279A JP 2015196279 A JP2015196279 A JP 2015196279A JP 2014074252 A JP2014074252 A JP 2014074252A JP 2014074252 A JP2014074252 A JP 2014074252A JP 2015196279 A JP2015196279 A JP 2015196279A
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Japan
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layer
sheet
optical member
mold
roll
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JP2014074252A
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Japanese (ja)
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哲弥 貞弘
Tetsuya Sadahiro
哲弥 貞弘
陽祐 青木
Yosuke Aoki
陽祐 青木
啓太 本波
Keita Motonami
啓太 本波
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Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

【課題】平面視で二次元的な形状の凹凸や、複数の種類の凹凸が含まれる光学部材を製造する際に効率を高めつつ精度良いロール版の作製方法を提供する。
【解決手段】型シートは突合せ部23以外に継ぎ目を有することなくロールに巻きつけられ、型シートの表面には、該単位型部22aが複数配列されており、単位型部の凹凸は、平面視で二次元的な形状の凹凸又はパターンが異なる2種類以上の凹凸の少なくとも一方が含まれる形状を有し、型シートの作製は、基板30、エッチング層31、及びレジスト層32を有する型シート作製用積層体33のレジスト層に対して露光し、レジスト層を除去する工程と、エッチング層をエッチングして除去する工程と、残存するレジスト層を除去する工程と、無電解メッキ層35を電鋳により積層する工程と、無電解メッキ層に電解メッキ層36を積層させる工程と、型シート作製用積層体を除去する工程と、を含む。
【選択図】図2
Provided is a method for producing a roll plate with high accuracy while improving efficiency when manufacturing an optical member including a two-dimensional shape of unevenness in a plan view and a plurality of types of unevenness.
A mold sheet is wound around a roll without a seam other than a butting part 23, and a plurality of unit mold parts 22a are arranged on the surface of the mold sheet. A mold sheet having a shape including at least one of two or more types of projections and depressions having a two-dimensional shape or a pattern different from one another in view, and having a substrate 30, an etching layer 31, and a resist layer 32. The resist layer of the production stack 33 is exposed to remove the resist layer, the etching layer is removed by etching, the remaining resist layer is removed, and the electroless plating layer 35 is electrolyzed. A step of laminating by casting, a step of laminating the electroplating layer 36 on the electroless plating layer, and a step of removing the laminate for producing the mold sheet.
[Selection] Figure 2

Description

本発明は、表面に凹凸を有する光学部材を作製するためのロール状の型であるロール版を作製する方法に関し、より詳しくは所定の凹凸のパターンが含まれる光学部材を作製するためのロール版を製造する方法に関する。   The present invention relates to a method for producing a roll plate, which is a roll-shaped mold for producing an optical member having irregularities on the surface, and more specifically, a roll plate for producing an optical member including a predetermined irregular pattern. It relates to a method of manufacturing.

表示装置の多様化によりテレビ等は画面が大きくなる一方、携帯型の端末ではその性質上、画面はある程度の大きさに抑えられる。ただし、小さな画面であっても表示される画像の質は高いものが要求される。そのため、用いられる光学部材にはより微細な凹凸が形成され、その屈折や反射を利用して所望の光が出射され質の向上が図られる。   The screens of televisions and the like become larger due to diversification of display devices, while the screens of portable terminals can be suppressed to a certain size due to their properties. However, a high quality image is required even on a small screen. Therefore, finer irregularities are formed on the optical member used, and desired light is emitted using the refraction and reflection to improve the quality.

このような光学部材を量産する方法の1つとして例えば特許文献1に記載のように、光学部材の凹凸に対応した凹凸を表面に有するロール状の型(ロール版)を用いる形態がある。これはロール版の表面に硬化前の樹脂を供給して硬化させてから離型するというものである。これによりロール版の表面に形成された凹凸が樹脂に反転して転写されて所望の凹凸を得ることができる。   As one of the methods for mass-producing such an optical member, there is a form using a roll-shaped mold (roll plate) having unevenness on the surface corresponding to the unevenness of the optical member as described in Patent Document 1, for example. This is to release the mold after supplying the uncured resin to the surface of the roll plate and curing it. Thereby, the unevenness formed on the surface of the roll plate is inverted and transferred to the resin to obtain the desired unevenness.

また特許文献2には、光学部材の凹凸に対応した凹凸を表面に有するシート状の型を準備し、複数のシート状の型をロールに巻き付け、隣り合うシート状の型同士は接合される形態のロール版が開示されている。ロール版を形成した後は上記と同様にして光学部材を得ることができる。   In Patent Document 2, a sheet-shaped mold having irregularities corresponding to the irregularities of the optical member is prepared, a plurality of sheet-shaped molds are wound around a roll, and adjacent sheet-shaped molds are bonded to each other. A roll version of is disclosed. After forming the roll plate, an optical member can be obtained in the same manner as described above.

特開2012−006177号公報JP 2012-006177 A 特開2008−296466号公報JP 2008-296466 A

上記のように、近年における携帯端末の画面は小さいものの、出射光の質を高める観点から光学部材の表面に形成される凹凸が部位によって異なったり、平面視で二次元的であったりする。また、光学部材自体は小さいので、1つの光学部材に必要は型は小さくなっているが、1つ1つを枚葉で製造していては効率がよくない。そこで、複数の光学部材を連続的に形成することができる型を配置したロール版を用いて光学部材を製造することが望まれる。   As described above, although the screen of a portable terminal in recent years is small, the unevenness formed on the surface of the optical member is different depending on the part or is two-dimensional in plan view from the viewpoint of improving the quality of emitted light. Also, since the optical member itself is small, the mold is small for one optical member, but it is not efficient if each one is manufactured with a single wafer. Therefore, it is desired to manufacture an optical member using a roll plate on which a mold capable of continuously forming a plurality of optical members is arranged.

しかしながら、特許文献1に開示されたロール版では同じ断面を有して一方向(一次元的)に延びる凹凸には有効であるが、凹凸が平面視で二次元的な形状であったり、部位によって異なる種類の凹凸を形成する必要がある場合にはロール版を作製することが非常に困難であった。   However, the roll plate disclosed in Patent Document 1 is effective for unevenness having the same cross section and extending in one direction (one-dimensionally), but the unevenness has a two-dimensional shape in a plan view. When it is necessary to form different types of irregularities depending on the shape, it is very difficult to produce a roll plate.

一方、特許文献2に記載のように、複数の型をタイルのように配置してその境界部分を連結してシート状を形成し、これをロールに巻くとどうしても複数の型間で「ずれ」が発生し、最終的な製品に不具合を生じてしまう虞があった。   On the other hand, as described in Patent Document 2, a plurality of molds are arranged like tiles, and the boundary portions are connected to form a sheet shape, which is inevitably “displaced” between the plurality of molds when wound around a roll. May occur, and the final product may be defective.

そこで本発明は上記問題を鑑み、平面視で二次元的な形状の凹凸や、パターンが異なる複数の種類の凹凸が含まれる光学部材を製造する際に効率を高めつつも精度も良いロール版を作製する方法を提供することを課題とする。   Therefore, in view of the above problems, the present invention provides a roll plate with high accuracy while improving efficiency when manufacturing an optical member including unevenness having a two-dimensional shape in a plan view and multiple types of unevenness having different patterns. It is an object to provide a manufacturing method.

以下、本発明について説明する。わかりやすさのため、ここでは括弧書きで図面の参照符号を付記するが、本発明はこれに限定されるものではない。   The present invention will be described below. For ease of understanding, reference numerals in the drawings are appended here in parentheses, but the present invention is not limited to this.

請求項1に記載の発明は、ロール(21)に型シート(22)を巻き付けて光学部材用のロール版(20)を製造する方法であって、型シートは端部同士の突合せ部(23)以外に継ぎ目を有することなくロールに巻きつけられ、型シートの表面には、1つの光学部材(10)が具備する凹凸(13)に対応する凹凸を単位型部(22a)としたとき、該単位型部が表面に沿って複数配列されており、単位型部の凹凸は、平面視で二次元的な形状の凹凸又はパターンが異なる2種類以上の凹凸の少なくとも一方が含まれる形状を有しており、型シートの作製は、基板(30)、エッチング層(31)、及びレジスト層(32)を有する型シート作製用積層体(33)のレジスト層に対して凹凸のパターンに基づいて露光し、該露光した部位又は露光しなかった部位におけるレジスト層を除去してエッチング層を露出させる工程と、露出した部位におけるエッチング層をエッチングして除去する工程と、残存するレジスト層を除去する工程と、エッチング層側の面に無電解メッキ層(35)を電鋳により積層する工程と、無電解メッキ層に電解メッキ層(36)を積層させる工程と、型シート作製用積層体を除去する工程と、を含む、光学部材用ロール版の製造方法である。   The invention according to claim 1 is a method of manufacturing a roll plate (20) for an optical member by winding a mold sheet (22) around a roll (21), wherein the mold sheet is a butted portion (23 ) Other than the seam, it is wound around the roll without any seams, and the surface of the mold sheet has unevenness corresponding to the unevenness (13) of one optical member (10) as a unit mold part (22a). A plurality of the unit mold parts are arranged along the surface, and the unevenness of the unit mold parts has a shape including at least one of a two-dimensional unevenness or two or more types of unevenness having different patterns in plan view. The production of the mold sheet is based on the pattern of projections and depressions on the resist layer of the mold sheet production laminate (33) having the substrate (30), the etching layer (31), and the resist layer (32). Exposure, the exposed part or The step of removing the resist layer in the part not exposed to expose the etching layer, the step of etching and removing the etching layer in the exposed part, the step of removing the remaining resist layer, and the surface on the etching layer side A step of laminating the electroless plating layer (35) by electroforming, a step of laminating the electroplating layer (36) on the electroless plating layer, and a step of removing the laminate for producing the mold sheet. It is a manufacturing method of the roll plate for members.

本発明の光学部材用ロール版の製造方法によれば、平面視で二次元的な形状の凹凸又はパターンの異なる複数の種類の凹凸の少なくとも一方を含む光学部材を量産性が高く、精度もよいものとするためのロール版を容易に製造することができる。   According to the method for producing a roll plate for an optical member of the present invention, an optical member including at least one of two-dimensionally shaped unevenness or a plurality of types of unevenness having different patterns in plan view has high mass productivity and good accuracy. A roll plate intended for use can be easily manufactured.

図1(a)は光学部材10の平面図、図1(b)は光学部材10の一部の断面図である。FIG. 1A is a plan view of the optical member 10, and FIG. 1B is a partial cross-sectional view of the optical member 10. ロール版20の斜視図である。2 is a perspective view of a roll plate 20. FIG. 図3(a)は型シート22の平面図、図3(b)はその一部を拡大した図である。3A is a plan view of the mold sheet 22, and FIG. 3B is an enlarged view of a part thereof. 図4(a)〜図4(c)は型シート22を作製する各場面を説明する図である。FIG. 4A to FIG. 4C are views for explaining each scene for producing the mold sheet 22. 図5(a)、図5(b)は型シート22を作製する各場面を説明する図である。FIG. 5A and FIG. 5B are diagrams for explaining each scene for producing the mold sheet 22. 図6(a)〜図6(c)は型シート22を作製する各場面を説明する図である。FIG. 6A to FIG. 6C are diagrams for explaining each scene for producing the mold sheet 22. ロール21に型シート22を巻きつける場面を説明する図である。It is a figure explaining the scene which winds the type | mold sheet | seat 22 around the roll 21. FIG. 賦形シート40を説明する図である。It is a figure explaining the shaping sheet. ロール版20により賦形シート40を作製する過程の一場面を説明する図である。It is a figure explaining one scene of the process which produces the shaping sheet 40 with the roll plate. 賦形シート40を用いて光学部材10を作製する過程の一場面を説明する図である。It is a figure explaining one scene of the process in which the optical member is produced using the shaping sheet. 他の形態の光学部材110を説明する図である。It is a figure explaining the optical member 110 of another form. 光学部材110を作製する過程の一場面を説明する図である。It is a figure explaining one scene of the process in which the optical member 110 is produced.

本発明の上記した作用及び利得は、次に説明する発明を実施するための形態から明らかにされる。以下、本発明を図面に示す実施形態に基づき説明する。ただし、本発明はこれら実施形態に限定されるものではない。なお、以下に示す図面では分かりやすさのため部材の大きさや比率を変更または誇張して記載することがある。また、見やすさのため繰り返しとなる符号は省略することがある。   The above-described operation and gain of the present invention will be clarified from embodiments for carrying out the invention described below. Hereinafter, the present invention will be described based on embodiments shown in the drawings. However, the present invention is not limited to these embodiments. In the drawings shown below, the size and ratio of members may be changed or exaggerated for easy understanding. Moreover, the code | symbol which becomes repeated may be abbreviate | omitted for legibility.

初めに、光学部材10について説明する。光学部材10は後述するロール版20により製造される光学部材であり、シート状の光学部材である。ここで光学部材としては例えば導光板、プリズムシート、レンズシート、回折構造体、モスアイ構造体等、表面に形成された凹凸により光を制御する光学部材全般を対象することができる。
図1(a)は光学シート10の平面図、図1(b)は図1(a)にIa−Iaで示した矢視断面図である。
First, the optical member 10 will be described. The optical member 10 is an optical member manufactured by a roll plate 20 described later, and is a sheet-like optical member. Here, as the optical member, for example, a general optical member that controls light by unevenness formed on the surface, such as a light guide plate, a prism sheet, a lens sheet, a diffractive structure, and a moth-eye structure can be used.
1A is a plan view of the optical sheet 10, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line Ia-Ia in FIG.

光学部材10は光制御層12を有している。   The optical member 10 has a light control layer 12.

光制御層12は光透過性を有するシート状の部材であり、少なくとも一方の面に凹凸が形成された凹凸部13を有している。   The light control layer 12 is a light-transmitting sheet-like member, and has a concavo-convex portion 13 having concavo-convex portions formed on at least one surface.

本例の凹凸部13は、図1(a)からわかるように、区画された複数の単位凹凸部14、15、16、17、18が配列されている。各単位凹凸部14、15、16、17、18では、それぞれの態様で凹凸が繰り返されている。例えば、図1(a)、図1(b)に示したように、単位凹凸部16では矩形断面の凸部16aと矩形断面の凹部16bとが長手方向に繰り返され、この断面を維持して幅方向に一次元的に延びている。この凹凸は微細に形成されており、凹部の深さは0.5μm以上3.0μm以下に形成されている。凹部の底幅及び凸部の頂部幅は1μm以上30μm以下の範囲とされる。例えば凸形状の場合には凹部の底幅は5μm以上30μm以下、凸部の頂部幅は1μm以上10μm以下に形成され、凹形状の場合には凸部の頂部幅が5μm以上30μm以下、凹部の底幅は1μm以上10μm以下に形成される。   As can be seen from FIG. 1A, the uneven portion 13 of this example has a plurality of partitioned unit uneven portions 14, 15, 16, 17, and 18 arranged therein. In each unit uneven | corrugated | grooved part 14, 15, 16, 17, 18, the unevenness | corrugation is repeated in each aspect. For example, as shown in FIGS. 1A and 1B, in the unit concavo-convex portion 16, a convex portion 16a having a rectangular cross section and a concave portion 16b having a rectangular cross section are repeated in the longitudinal direction, and this cross section is maintained. It extends one-dimensionally in the width direction. The unevenness is finely formed, and the depth of the recess is formed to be 0.5 μm or more and 3.0 μm or less. The bottom width of the concave portion and the top width of the convex portion are in the range of 1 μm to 30 μm. For example, in the case of a convex shape, the bottom width of the concave portion is 5 μm to 30 μm and the top width of the convex portion is 1 μm to 10 μm. In the case of the concave shape, the top width of the convex portion is 5 μm to 30 μm. The bottom width is formed to be 1 μm or more and 10 μm or less.

他の単位凹凸部14、15、17、18もその断面において矩形の凸部と矩形の凹部とが繰り返されているが、それぞれ次のような特徴を有している。
単位凹凸部14は、単位凹凸部16よりも凹凸のピッチが小さいとともに、幅方向の長さが半分程度である。そして単位凹凸部14は光制御層12の幅方向の一方側に寄せられて配置されている例である。
単位凹凸部15は、単位凹凸部14と同様の形態を有しているが、光制御層12の幅方向他方側に、単位凹凸部14に所定の間隔を有して並べて配置されている例である。
単位凹凸部17は幅方向に対して斜めになるように延びており、幅方向一方と他方とてその傾きが異なる例である。すなわち、単位凹凸部16が平面視で一方向(一次元的)に単調に延びる形態であることに対し、単位凹凸部17は平面視で二次元的に延びる形態の凹凸となっている。
単位凹凸部18は平面視で一次元的に幅方向に延び、長手方向に凹凸が繰り返される凹凸であるが、凹凸のピッチが変化する例である。
The other unit irregularities 14, 15, 17, 18 also have a rectangular convex portion and a rectangular concave portion in its cross section, and each has the following characteristics.
The unit concavo-convex portion 14 has a concavo-convex pitch smaller than that of the unit concavo-convex portion 16 and has a length in the width direction of about half. And the unit uneven | corrugated | grooved part 14 is an example arrange | positioned near to the one side of the width direction of the light control layer 12. FIG.
The unit concavo-convex portion 15 has the same form as the unit concavo-convex portion 14, but an example in which the unit concavo-convex portion 14 is arranged side by side with a predetermined interval on the other side in the width direction of the light control layer 12. It is.
The unit concavo-convex part 17 extends so as to be inclined with respect to the width direction, and is an example in which the inclination differs between one side and the other side in the width direction. That is, the unit uneven portion 16 has a shape that monotonically extends in one direction (one-dimensionally) in plan view, whereas the unit uneven portion 17 has an uneven shape that extends in two dimensions in plan view.
The unit concavo-convex portion 18 is an concavo-convex portion that extends one-dimensionally in the width direction in plan view and has concavo-convex portions in the longitudinal direction, but the pitch of the concavo-convex portion is an example.

これら単位凹凸部14〜18の凹凸の形態は例示であるが、凹凸部にはこの他にも、複数の錐状の凸部が平面視で縦横に配列されるような二次元的な形状を有する凹凸等も考えられる。これにより凹凸部で屈折や反射する光を制御して所望の態様で出光させることができる。   The irregularities of these unit irregularities 14 to 18 are examples, but the irregularities also have a two-dimensional shape in which a plurality of cone-shaped irregularities are arranged vertically and horizontally in plan view. Concavities and convexities, etc., are also conceivable. Thereby, the light refracted or reflected by the concavo-convex portion can be controlled to emit light in a desired manner.

光制御層12を構成する材料としては種々の材料を使用することができる。ただし、光学部材用の材料として広く使用され、優れた機械的特性、光学特性、安定性および加工性等を有するとともに安価に入手可能な材料を用いることができる。これには例えば脂環式構造を有する重合体樹脂、メタクリル樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、アクリロニトリル−スチレン共重合体、メタクリル酸メチル−スチレン共重合体、ABS樹脂、ポリエーテルスルホン等の熱可塑性樹脂や、エポキシアクリレートやウレタンアクリレート系の反応性樹脂(電離放射線硬化型樹脂等)等を挙げることができる。   Various materials can be used as the material constituting the light control layer 12. However, a material that is widely used as a material for an optical member and has excellent mechanical properties, optical properties, stability, workability, and the like and can be obtained at low cost can be used. For example, a polymer resin having an alicyclic structure, a methacrylic resin, a polycarbonate, a polystyrene, an acrylonitrile-styrene copolymer, a methyl methacrylate-styrene copolymer, an ABS resin, a polyethersulfone, or a thermoplastic resin, Examples thereof include epoxy acrylate and urethane acrylate-based reactive resins (ionizing radiation curable resins and the like).

次に以上のような光学部材10を形成する際に用いる賦形シート40を作製するためのロール版20について説明する。図2はロール版20の外観を概略的に示した斜視図である。また、図3(a)はロール版20に備えられる型シート22の平面図、図3(b)はその一部を拡大して表した図である。
図2からわかるように、ロール版20は、ロール21及び型シート22を有して構成されている。
Next, the roll plate 20 for producing the shaping sheet 40 used when forming the optical member 10 as described above will be described. FIG. 2 is a perspective view schematically showing the appearance of the roll plate 20. 3A is a plan view of the mold sheet 22 provided in the roll plate 20, and FIG. 3B is an enlarged view of a part thereof.
As can be seen from FIG. 2, the roll plate 20 has a roll 21 and a mold sheet 22.

ロール21は円柱状のロール本体21a及びロール本体21aの端面から軸線に沿って突出する回転軸21bを有している。これによりロール21は、回転軸21bが支持されて、該回転軸21bを中心に回動するように構成されている。
ロール本体21aは、剛性を確保するための部位で、ロール版20の大部分を構成している。かかる観点からロール本体21aは、機械構造用の鉄系材料が用いられることが好ましい。また、必要な剛性を確保しつつも軽量化をする観点から、ロール本体21aは両側が有底である円筒状であってもよい。また、ロール本体21aの表面の温度調節ができるようにロール本体内部に冷水や温水、蒸気または高温の油を循環できるように2重構造にするのが一般的である。
The roll 21 has a cylindrical roll body 21a and a rotating shaft 21b that protrudes along the axis from the end surface of the roll body 21a. Thus, the roll 21 is configured to support the rotating shaft 21b and rotate around the rotating shaft 21b.
The roll body 21a is a part for securing rigidity, and constitutes most of the roll plate 20. From this point of view, the roll body 21a is preferably made of an iron-based material for machine structure. Further, from the viewpoint of reducing the weight while ensuring the necessary rigidity, the roll body 21a may be cylindrical with both sides being bottomed. Moreover, it is common to make a double structure so that cold water, warm water, steam or high-temperature oil can be circulated inside the roll body so that the temperature of the surface of the roll body 21a can be adjusted.

型シート22は、賦形シート40に対して光学部材10の凹凸部13に対応する凹凸形状を転写する型として機能するシート状の部材である。図3(a)には型シート22をロール本体21aから外して展開した平面図を示した。また、図3(b)には図3(a)にVbで示した部分を拡大して表した。   The mold sheet 22 is a sheet-like member that functions as a mold for transferring the uneven shape corresponding to the uneven portion 13 of the optical member 10 to the shaped sheet 40. FIG. 3A shows a plan view in which the mold sheet 22 is removed from the roll body 21a and developed. FIG. 3B is an enlarged view of the portion indicated by Vb in FIG.

型シート22にはこれら図からわかるように、その表面に縦横に複数の単位型部22aが配列され、これらは継ぎ目なく並べられている。図には隣り合う単位型部22aの境界を点線で表したが、これは理解しやすくするためのものであり、継ぎ目ではない。すなわち型シート22は接合部を有さずに一体である一枚のシートである。従って隣あう単位型部22a間には段差や意図しない位置ずれが生じることがなく、単位型部22aの正確な配置ができる。そして型シート22の大きさはその一辺が800mm以上1500mm以下であることが好ましい。これにより、1つの型シートに多くの単位型部22aを含ませることができるとともに、ロール21の外周を一周させることができる。   As can be seen from these drawings, the mold sheet 22 has a plurality of unit mold portions 22a arranged vertically and horizontally on the surface thereof, which are arranged seamlessly. In the drawing, the boundary between adjacent unit mold portions 22a is indicated by a dotted line, but this is for easy understanding and is not a joint. In other words, the mold sheet 22 is a single sheet that is integral with no joint. Therefore, there is no step or unintended displacement between the adjacent unit mold parts 22a, and the unit mold parts 22a can be accurately arranged. And as for the magnitude | size of the type | mold sheet | seat 22, it is preferable that the one side is 800 mm or more and 1500 mm or less. Thereby, many unit mold | type parts 22a can be included in one type | mold sheet | seat, and the outer periphery of the roll 21 can be made to make one round.

各単位型部22aには、図3(b)からわかるように、光学部材10の凹凸部13の形状に対応した凹凸が形成されている。   As can be seen from FIG. 3 (b), each unit mold portion 22 a is provided with unevenness corresponding to the shape of the uneven portion 13 of the optical member 10.

このような型シート22は電鋳板により構成することができる。詳しくは後でその作製方法を説明するが、電解ニッケルメッキ層上に無電解ニッケルメッキ層が形成された積層体により構成されており、無電解ニッケルメッキ層の表面に凹凸が形成されている。ここではニッケルによる電解メッキ層及び無電解メッキ層で説明するが、他の材料によるものであってもよい。
なお、型シート22には位置決めのためのアライメントを設けておくことが好ましい。このアライメントも転写されて、光学部材10の打ち抜きの際の位置決めの基準となる。
Such a mold sheet 22 can be composed of an electroformed plate. Although the production method will be described in detail later, it is composed of a laminate in which an electroless nickel plating layer is formed on an electrolytic nickel plating layer, and irregularities are formed on the surface of the electroless nickel plating layer. Here, the electroplating layer and the electroless plating layer made of nickel will be described, but they may be made of other materials.
The mold sheet 22 is preferably provided with alignment for positioning. This alignment is also transferred and becomes a reference for positioning when the optical member 10 is punched.

そしてロール21の外周面に型シート22を巻きつけて固定することによりロール版20となる。上記のように型シート22には継ぎ目が存在しないので、ロール版20とされたときには図2に示したように継ぎ目は端部同士が突き合わされた突き合わせ部23が唯一の継ぎ目となる。   Then, the roll sheet 20 is obtained by winding and fixing the mold sheet 22 around the outer peripheral surface of the roll 21. As described above, since there is no seam in the mold sheet 22, when the roll plate 20 is formed, as shown in FIG. 2, the abutting part 23 where the end parts abut each other becomes the only seam.

次に型シート22の作製方法について説明する。図4(a)〜図6(c)に作製の順を追った図を表した。
初めに、図4(a)に示したように、ガラス、金属、セラミック、合成石英、プラスチック等により構成された、必要な強度、面精度を有する基板30上に、表面低反射クロム等により形成されたエッチング層31(以下、「クロム層31」と記載することがある。)を積層したフォトマスクブランク板を準備する。そしてそのクロム層31の上に、レジスト層32を薄膜状に形成する。レジストとしては公知のものを用いることができるが、例えばナガセケムテックス株式会社製のGRX−M220やGRX−M100が挙げられる。この基板30、エッチング層31、及びレジスト層32による積層体を型シート作製用積層体33とする。
Next, a method for producing the mold sheet 22 will be described. The figure which followed the order of preparation to FIG.4 (a)-FIG.6 (c) was represented.
First, as shown in FIG. 4 (a), formed on a substrate 30 made of glass, metal, ceramic, synthetic quartz, plastic, etc., having the required strength and surface accuracy, with low-reflection chrome or the like on the surface. The photomask blank board which laminated | stacked the etched layer 31 (it may be described as "the chrome layer 31" hereafter) was prepared. Then, a resist layer 32 is formed on the chromium layer 31 in a thin film shape. Known resists can be used, and examples thereof include GRX-M220 and GRX-M100 manufactured by Nagase ChemteX Corporation. A laminate of the substrate 30, the etching layer 31, and the resist layer 32 is referred to as a mold sheet manufacturing laminate 33.

次に図4(b)に示したように、レジスト層32に対して光学部材10の凹凸部13に基づいたパターンで露光する。この露光方法は特に限定されないが、本形態ではレーザービームLの走査により露光を行っている。この他電子線の走査をしてもよい。この露光によりレジスト層32を構成するレジスト樹脂が硬化した易溶化部分32aと、未露光部分32bとが形成される。そして図4(c)のように現像液を噴霧して行なうスプレー現像等によって、現像して易溶化部分32aを除去し、未露光部分32bによりパターン化されたレジストパターンを得る。   Next, as shown in FIG. 4B, the resist layer 32 is exposed with a pattern based on the uneven portion 13 of the optical member 10. Although this exposure method is not particularly limited, in this embodiment, exposure is performed by scanning with a laser beam L. In addition, scanning with an electron beam may be performed. By this exposure, an easily soluble portion 32a in which the resist resin constituting the resist layer 32 is cured and an unexposed portion 32b are formed. Then, as shown in FIG. 4C, development is performed by spray development performed by spraying a developing solution to remove the easily soluble portion 32a, and a resist pattern patterned by the unexposed portion 32b is obtained.

形成されたレジストパターンを利用して、図5(a)に示したようにエッチングにより、レジストの未露光部分32bが存在せず、レジストで被覆されていない部分のクロム層31のクロムを除去する。これにより、除去した部分において、下層の基板30が露出する。
この後、図5(b)に示したようにレジストの未露光部分32bを溶解等により除去し、クロム層31によりパターン化されたクロムパターン31aを得る。そして当該基板30及び該基板30の一方の面に形成されたクロムパターン31aから型シート22を作製する。
Using the formed resist pattern, the chrome layer 31 is removed by etching as shown in FIG. 5A, where the unexposed portion 32b of the resist does not exist and is not covered with the resist. . Thereby, the underlying substrate 30 is exposed in the removed portion.
Thereafter, as shown in FIG. 5B, the unexposed portion 32b of the resist is removed by dissolution or the like to obtain a chromium pattern 31a patterned by the chromium layer 31. Then, the mold sheet 22 is produced from the substrate 30 and the chromium pattern 31 a formed on one surface of the substrate 30.

なお、ここまでの説明では露光された部分が除去される、いわゆるポジレジストによる過程を説明したが、レジスト材料を変更することにより、露光された部分が残り、露光されなかった部分が除去されるネガレジストによる過程が採用されてもよい。   In the above description, the process using a so-called positive resist is described in which the exposed portion is removed. However, by changing the resist material, the exposed portion remains and the unexposed portion is removed. A process using a negative resist may be employed.

ここまでの過程は、いわゆるラージスケールフォトマスク(LSPM)による微細形状形成により行われる。   The process so far is performed by forming a fine shape using a so-called large scale photomask (LSPM).

次に得られた基板30及びここに積層されたクロムパターン31a(型シート作製用積層体33)を用いて電鋳により型シート22を作製する。
初めに図6(a)に示したように、基板30のうち、クロムパターン31aが形成された側に無電解ニッケルメッキ層35を電鋳により形成する。このとき無電解ニッケルメッキ層35は10nm以上1μm以下の厚みがよい。
次いで図6(b)に示したように、無電解ニッケルメッキ層35の上に電解ニッケルメッキ層36を電鋳により形成する。このとき電解ニッケルメッキ層36により、無電解ニッケルメッキ層35と電解ニッケルメッキ層36との総厚みが0.3mm程度となるように電解ニッケルメッキ層36を形成する。
そして、図6(c)に示したように、型シート作製用積層体33を剥離することにより型シート22を得る。
Next, the mold sheet 22 is produced by electroforming using the obtained substrate 30 and the chromium pattern 31a (molded sheet production laminate 33) laminated thereon.
First, as shown in FIG. 6A, an electroless nickel plating layer 35 is formed by electroforming on the side of the substrate 30 on which the chromium pattern 31a is formed. At this time, the electroless nickel plating layer 35 has a thickness of 10 nm or more and 1 μm or less.
Next, as shown in FIG. 6B, an electrolytic nickel plating layer 36 is formed on the electroless nickel plating layer 35 by electroforming. At this time, the electrolytic nickel plating layer 36 is formed by the electrolytic nickel plating layer 36 so that the total thickness of the electroless nickel plating layer 35 and the electrolytic nickel plating layer 36 is about 0.3 mm.
Then, as shown in FIG. 6C, the mold sheet 22 is obtained by peeling the mold sheet manufacturing laminate 33.

以上示した型シート22の作製方法によれば、単位型部22aを縦横に複数配列して形成しても、単位型部22a間に継ぎ目が形成されず、段差やずれが発生しない型シート22を容易に確実に作製することができる。そして大量の光学部材を高い精度で効率よく製造することが可能である。   According to the method for producing the mold sheet 22 described above, even if the unit mold portions 22a are formed by arranging a plurality of unit mold portions 22a vertically and horizontally, a seam is not formed between the unit mold portions 22a, and no step or deviation occurs. Can be easily and reliably produced. And it is possible to manufacture a lot of optical members efficiently with high accuracy.

以上のように作製された型シート22は、図7に示したようにロール本体21aに巻き付けられ、ロール版20(図2参照)とされる。   The mold sheet 22 produced as described above is wound around the roll body 21a as shown in FIG. 7 to form a roll plate 20 (see FIG. 2).

次に、上記ロール版20を用いて、光学部材10を製造する方法を説明する。
図8〜図10に説明のための図を示した。本形態では、押し出し法により光学部材10を製作するに先立ち、凹凸部13の形状を賦形できる賦形シート40を作製する。図8に賦形シート40の形態を概念的な斜視図で示した。
Next, a method for manufacturing the optical member 10 using the roll plate 20 will be described.
FIGS. 8 to 10 show diagrams for explanation. In this embodiment, prior to manufacturing the optical member 10 by the extrusion method, the shaping sheet 40 capable of shaping the shape of the uneven portion 13 is produced. The form of the shaping sheet 40 was shown with the conceptual perspective view in FIG.

賦形シート40は上記のように光学部材10の凹凸部13の形状を賦形できる帯状のシートである。賦形シート40は透光性を有する基材41、及び基材41の一方の面に積層された型部42を有して構成されている。そして型部42には、光学部材10の1つの凹凸部13を形成するための単位型部42aが複数縦横に配列されている。   The shaping sheet 40 is a belt-like sheet that can shape the shape of the uneven portion 13 of the optical member 10 as described above. The shaped sheet 40 is configured to have a base material 41 having translucency and a mold part 42 laminated on one surface of the base material 41. In the mold part 42, a plurality of unit mold parts 42a for forming one uneven part 13 of the optical member 10 are arranged vertically and horizontally.

このような賦形シート40は次のように作製される。図9に説明のための図を示した。図9に示したように、準備されたロール版20と金型ニップロール45との間に、図9に矢印IXで示したように基材41を送り出す。そして基材41上に硬化する前の紫外線硬化樹脂組成物42’をノズル46から供給する。これにより基材41とロール版20との間に硬化前の紫外線硬化樹脂42’が充填される。これにより硬化前の紫外線硬化樹脂組成物42’がロール版20の型シート22に形成された凹凸に充填される。
このように充填された状態で、紫外線照射装置47から紫外線が照射され、紫外線硬化樹脂組成物が硬化して型部42となる。その後、剥離ロール48により離型して賦形シート40を得る。得られた賦形シート40は巻き取られてロール状とされる。
Such a shaped sheet 40 is produced as follows. FIG. 9 shows an explanatory diagram. As shown in FIG. 9, the base material 41 is sent out between the prepared roll plate 20 and the mold nip roll 45 as indicated by an arrow IX in FIG. 9. Then, the ultraviolet curable resin composition 42 ′ before being cured on the base material 41 is supplied from the nozzle 46. Thereby, the ultraviolet curing resin 42 ′ before curing is filled between the base material 41 and the roll plate 20. Thereby, the ultraviolet curable resin composition 42 ′ before curing is filled in the unevenness formed on the mold sheet 22 of the roll plate 20.
In such a state of being filled, ultraviolet rays are irradiated from the ultraviolet irradiation device 47 and the ultraviolet curable resin composition is cured to form the mold part 42. Then, it molds with the peeling roll 48 and the shaping sheet 40 is obtained. The obtained shaped sheet 40 is wound up into a roll shape.

次に、賦形シート40を用いて押し出し法により光学部材10を得る。図10に説明のための図を示した。
第一ロール51と、該第一ロール51に対して所定の間隙を有して配置される第二ロール52との間に図10に矢印Xで示したように賦形シート40を順次送り出し、賦形シート40と第二ロール52との間に溶融した熱可塑性樹脂組成物55をノズル56から流入させる。ここで賦形シート40の送り方向は帯状である賦形シート40の長手方向である。また、流入される熱可塑性樹脂組成物55は第二ロール52及び賦形シート40の幅方向大きさと同程度の大きさ(幅)を有する帯状であることが好ましい。これにより幅方向に均一な材料供給が可能である。
Next, the optical member 10 is obtained by an extrusion method using the shaping sheet 40. FIG. 10 shows a diagram for explanation.
As shown by the arrow X in FIG. 10, the shaped sheet 40 is sequentially sent out between the first roll 51 and the second roll 52 arranged with a predetermined gap with respect to the first roll 51. A melted thermoplastic resin composition 55 is caused to flow from the nozzle 56 between the shaping sheet 40 and the second roll 52. Here, the feeding direction of the shaped sheet 40 is the longitudinal direction of the shaped sheet 40 having a strip shape. Moreover, it is preferable that the thermoplastic resin composition 55 to be introduced has a belt-like shape having a size (width) that is approximately the same as the size in the width direction of the second roll 52 and the shaped sheet 40. Thereby, uniform material supply in the width direction is possible.

供給された熱可塑性樹脂は第二ロール52と賦形シート40との間に所定の圧力を具備しつつ流入する。これにより熱可塑性樹脂が賦形シート40の型部42の表面に形成された凹凸に充填され、熱可塑性樹脂組成物55がこの凹凸に沿った形状となる。そして第三ロール53、及び第四ロール54を経て冷却され、最終的に熱可塑性樹脂組成物55が硬化して形状が固定される。これにより光学部材10が縦横に継ぎ目なく配列された光学部材用帯状シート10’を得る。そして剥離ロール57により光学部材用帯状シート10’と賦形シート40とが分離される。
この状態では光学部材用帯状シート10’にはアライメントも含まれていることが好ましい。
The supplied thermoplastic resin flows in between the second roll 52 and the shaping sheet 40 with a predetermined pressure. Thereby, the thermoplastic resin is filled in the unevenness formed on the surface of the mold part 42 of the shaped sheet 40, and the thermoplastic resin composition 55 has a shape along the unevenness. And it cools through the 3rd roll 53 and the 4th roll 54, and finally the thermoplastic resin composition 55 hardens | cures and a shape is fixed. As a result, an optical member belt-like sheet 10 ′ in which the optical members 10 are seamlessly arranged vertically and horizontally is obtained. And the strip | belt-shaped sheet | seat 10 'for optical members and the shaping sheet 40 are isolate | separated by the peeling roll 57. FIG.
In this state, it is preferable that alignment is included in the belt-like sheet 10 ′ for optical members.

最終的に光学部材用帯状シート10’の打ち抜きや切断により光学部材10を得ることができる。その際にはアライメントが位置決めの基準となる。   Finally, the optical member 10 can be obtained by punching or cutting the optical member strip 10 '. In that case, alignment becomes a reference for positioning.

このようにして作製された光学部材10はその凹凸の位置精度が高く、所望の光制御を精度良く行うことができる。   The optical member 10 manufactured in this way has high positional accuracy of the unevenness, and can perform desired light control with high accuracy.

図11には他の形態の光学部材110を示した。図11は図1(b)と同じ視点による図である。光学部材110は、上記説明した光制御層12が基材11の一方の面に積層された2層の構造となっている。光制御層12の構造は上記の通りである。   FIG. 11 shows another form of the optical member 110. FIG. 11 is a view from the same viewpoint as FIG. The optical member 110 has a two-layer structure in which the light control layer 12 described above is laminated on one surface of the substrate 11. The structure of the light control layer 12 is as described above.

基材11は、該基材11の一方の面に光制御層12を形成するための基材となる光透過性を有するシート状の部材である。このような基材11を構成する材料としては、ポリカーボネート(PC)樹脂、ポリエチレンテレフタレート(PET)樹脂、メタクリル酸メチル・ブタジエン・スチレン(MBS)樹脂、メタクリル酸メチル・スチレン(MS)樹脂、アクリル・スチレン(AS)樹脂、及びアクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂(ABS)等が挙げられる。   The base material 11 is a sheet-like member having light transmissivity to be a base material for forming the light control layer 12 on one surface of the base material 11. Examples of the material constituting the substrate 11 include polycarbonate (PC) resin, polyethylene terephthalate (PET) resin, methyl methacrylate / butadiene / styrene (MBS) resin, methyl methacrylate / styrene (MS) resin, acrylic Examples include styrene (AS) resin, acrylonitrile / butadiene / styrene resin (ABS), and the like.

光学部材110は次のように製造することができる。すなわち、上記したロール版20と同じ要領により、直接光学部材110の凹凸部13を形成できる凹凸を有するロール版120を作製する。そして当該ロール版120を用いて図12に示したように基材11上に光制御層12を積層する。   The optical member 110 can be manufactured as follows. That is, in the same manner as the roll plate 20 described above, the roll plate 120 having unevenness that can directly form the uneven portion 13 of the optical member 110 is produced. And the light control layer 12 is laminated | stacked on the base material 11 as shown in FIG.

すなわち、図12に示したように、準備されたロール版120と金型ニップロール45との間に、図12に矢印XIIで示したように基材11を送り出す。そして基材11上に硬化する前の紫外線硬化樹脂組成物12’をノズル46から供給する。これにより基材11とロール版120との間に硬化前の紫外線硬化樹脂12’が充填される。これにより硬化前の紫外線硬化樹脂組成物12’がロール版20に形成された凹凸に充填される。
このように充填された状態で、紫外線照射装置47から紫外線が照射され、紫外線硬化樹脂組成物が硬化して光制御層12となる。その後、剥離ロール48により離型する。これにより光学部材110が縦横に継ぎ目なく配列された光学部材用帯状シート110’を得る。
この状態では光学部材用帯状シート110’にはアライメントも含まれていることが好ましい。
That is, as shown in FIG. 12, the base material 11 is sent out between the prepared roll plate 120 and the mold nip roll 45 as shown by an arrow XII in FIG. Then, the ultraviolet curable resin composition 12 ′ before being cured on the substrate 11 is supplied from the nozzle 46. Thus, the ultraviolet curable resin 12 ′ before curing is filled between the base material 11 and the roll plate 120. As a result, the ultraviolet curable resin composition 12 ′ before curing is filled in the unevenness formed on the roll plate 20.
In this filled state, ultraviolet rays are irradiated from the ultraviolet irradiation device 47, and the ultraviolet curable resin composition is cured to form the light control layer 12. Thereafter, the mold is released by the peeling roll 48. As a result, an optical member belt-like sheet 110 ′ in which the optical members 110 are seamlessly arranged vertically and horizontally is obtained.
In this state, it is preferable that the belt-shaped sheet 110 ′ for optical members includes alignment.

最終的に光学部材用帯状シート110’の打ち抜きや切断により光学部材110を得ることができる。その際にはアライメントが位置決めの基準となる。   Finally, the optical member 110 can be obtained by punching or cutting the optical member strip 110 '. In that case, alignment becomes a reference for positioning.

10 光学部材
11 基材
12 光制御層
13 凹凸部
20 ロール版
21 ロール
22 型シート
30 基板
31 クロム層(エッチング層)
32 レジスト層
33 型シート作製用積層体
35 無電解ニッケルメッキ層(無電解メッキ層)
36 電解ニッケルメッキ層(電解メッキ層)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Optical member 11 Base material 12 Light control layer 13 Concavity and convexity 20 Roll plate 21 Roll 22 Type sheet 30 Substrate 31 Chromium layer (etching layer)
32 Resist layer 33 Type sheet laminate 35 Electroless nickel plating layer (electroless plating layer)
36 Electrolytic nickel plating layer (electrolytic plating layer)

Claims (1)

ロールに型シートを巻き付けて光学部材用のロール版を製造する方法であって、
前記型シートは端部同士の突合せ部以外に継ぎ目を有することなく前記ロールに巻きつけられ、
前記型シートの表面には、1つの前記光学部材が具備する凹凸に対応する凹凸を単位型部としたとき、該単位型部が前記表面に沿って複数配列されており、
前記単位型部の前記凹凸は、平面視で二次元的な形状の凹凸又はパターンが異なる2種類以上の凹凸の少なくとも一方が含まれる形状を有しており、
前記型シートの作製は、
基板、エッチング層、及びレジスト層を有する型シート作製用積層体の前記レジスト層に対して前記凹凸のパターンに基づいて露光し、該露光した部位又は露光しなかった部位におけるレジスト層を除去して前記エッチング層を露出させる工程と、
露出した部位における前記エッチング層をエッチングして除去する工程と、
残存する前記レジスト層を除去する工程と、
前記エッチング層側の面に無電解メッキ層を電鋳により積層する工程と、
前記無電解メッキ層に電解メッキ層を積層させる工程と、
前記型シート作製用積層体を除去する工程と、を含む、光学部材用ロール版の製造方法。
A method for producing a roll plate for an optical member by winding a mold sheet around a roll,
The mold sheet is wound around the roll without having a seam other than the butt portion between the ends,
On the surface of the mold sheet, when the projections and depressions corresponding to the projections and depressions of one optical member are unit mold parts, a plurality of the unit mold parts are arranged along the surface,
The unevenness of the unit mold part has a shape including at least one of unevenness of a two-dimensional shape in a plan view or two or more types of unevenness having different patterns,
Production of the mold sheet is as follows:
Exposing the resist layer of the laminate for producing a mold sheet having a substrate, an etching layer, and a resist layer on the basis of the uneven pattern, and removing the resist layer in the exposed portion or the unexposed portion Exposing the etching layer;
Etching and removing the etching layer at the exposed site;
Removing the remaining resist layer;
A step of laminating an electroless plating layer on the surface on the etching layer side by electroforming;
Laminating an electroplating layer on the electroless plating layer;
Removing the laminate for producing a mold sheet, and a method for producing a roll plate for an optical member.
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