JP2015141448A - タッチパネル検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】タッチパネル検査装置において、疑似指がタッチパネルに接触する力を容易かつ柔軟に変化させながら検査できる構成を提供する。
【解決手段】タッチパネル検査装置１は、ワークホルダ５２と、疑似指２１と、ＸＹ移動機構５３と、記憶部１７と、電空レギュレータ４２，４３と、パネル信号取得部１９と、を備える。ワークホルダ５２には、検査対象物であるタッチパネル１００をセット可能である。疑似指２１は、ワークホルダ５２にセットされたタッチパネル１００に接触可能である。ＸＹ移動機構５３は、疑似指２１をタッチパネル１００に対して移動させる。記憶部１７は、疑似指２１の加圧力の設定値を変更可能に記憶する。電空レギュレータ４２，４３は、記憶部１７に記憶された設定値に基づいて、疑似指２１をタッチパネル１００に接触させる加圧力を調整する。パネル信号取得部１９は、タッチパネル１００が出力する電気信号を取得する。
【選択図】図３

Description

本発明は、タッチパネルの検査装置の構成に関する。

近年、スマートフォンやタブレットを始めとした電子機器の急速な普及に伴い、人間の指やスタイラスペンがタッチした位置を検出するタッチパネル装置の需要が特に高まっている。このタッチパネル装置としては、静電容量方式のもの、抵抗膜感圧式等のもの等、種々の方式が知られている。

また、近年は、スタイラスペンに感圧センサを備え、いわゆる筆圧検知機能を実現したものが知られている。この感圧ペンとタッチパネル装置とを組み合わせると、同じところをタッチしても筆圧の強弱により反応を変化させるような処理が可能になり、電子機器のより直感的な操作を実現できる。

ところで、タッチパネル装置の製造者にとって、当該装置（センサパネル）の検査を行うことは、不良品の混入を回避して製品の品質を確保するために極めて重要である。従って、従来から様々なタッチパネル検査装置が提案されている。

例えば、特許文献１は、いわゆる抵抗膜感圧式のタッチパネルについて破壊耐久性能を評価するためのタッチパネル検査装置を開示する。このタッチパネル検査装置は、タッチパネルのパネル面を摺動させるペン部材を備えている。ペン部材のうち、タッチパネルを押圧する端部とは反対側の端部には、所定の重量を有する加重手段である重りが備えられている。

特許文献１はタッチパネルの破壊耐久性を評価するものであって、タッチパネルが良品か不良品かを判定するものではないが、特許文献１はこの構成により、ペン部材がタッチパネルのパネル面を押圧する圧力を任意に設定できるので、さらなる検査態様の多様化を図ることができるとする。

特開２００３−３０３０５１号公報

ところで最近は、スタイラスペン側のセンサで筆圧を感知するのではなく、タッチパネル装置側でタッチの圧力を検知する技術が提案されつつある。例えば、静電容量方式のタッチパネルと圧力センサとを組み合わせる技術や、機械的負荷に応じて特性が変化する材料をタッチパネルに用いたりする技術の可能性が検討されている。

タッチパネル側でタッチ圧力を検知できる技術が実用化すれば、専用のスタイラスペンなしで、指で触れた位置に加えて力の大きさをも感知できるようになるため、ユーザの利便性が一層高まるものと期待される。

このような押圧力感知型のタッチパネルが正しく動作するかを検査するためには、様々な押圧力で疑似指をタッチパネルに押圧し、当該タッチパネルの電気信号を調べることが必要になる。

しかしながら、この検査を仮に上記の特許文献１の検査装置で行うとすると、ペン部材の押圧力を変更する際に重りをその都度変更しなければならず、検査効率が極めて低下してしまう。

また、特許文献１の検査装置では、タッチパネルにペン部材を接触させると、少なくとも、ペン部材や重り、及び、それを支持するアーム部材の自重が作用することになる。このため、押圧力を弱くするといっても限界があり、例えばゼログラム付近のような非常に軽い力で触れた場合の動作を検査したいというニーズに応えることが事実上できない。

本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その目的は、タッチパネル検査装置において、疑似指がタッチパネルに接触する力を容易かつ柔軟に変化させながら検査できる構成を提供することにある。

課題を解決するための手段及び効果

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。

本発明の観点によれば、以下の構成のタッチパネル検査装置が提供される。即ち、このタッチパネル検査装置は、保持部と、疑似指と、接触位置変更部と、加圧力設定記憶部と、加圧力調整部と、取得部と、を備える。前記保持部には、検査対象物であるタッチパネルをセット可能である。前記疑似指は、前記保持部にセットされたタッチパネルに接触可能である。前記接触位置変更部は、前記疑似指を前記タッチパネルに対して相対的に移動させることで、前記疑似指が前記タッチパネルに接触する位置を変更する。前記加圧力設定記憶部は、前記疑似指の加圧力の設定値を変更可能に記憶する。前記加圧力調整部は、前記加圧力設定記憶部に記憶された設定値に基づいて、前記疑似指を前記タッチパネルに接触させる加圧力を調整する。前記取得部は、前記タッチパネルが出力する電気信号を取得する。

これにより、圧力設定記憶部に記憶された設定値を変更することで、疑似指がタッチパネルに接触する力を容易かつ柔軟に変化させながら、取得部にて電気信号を検査することができる。従って、検査対象のタッチパネルの変更や検査条件の変更等に対しても機動的に対応できるので、検査の効率を大幅に向上させることができる。

前記のタッチパネル検査装置においては、前記疑似指を前記タッチパネルから離れさせる方向の力を当該疑似指に加える重量キャンセル部を備えることが好ましい。

これにより、疑似指を、その自重より軽い力でタッチパネルに接触させることができる。従って、より幅広い条件でのタッチパネルの検査が可能になる。

前記のタッチパネル検査装置においては、前記加圧力設定記憶部は、前記疑似指の加圧力ゼロに相当する設定値を記憶可能であることが好ましい。

これにより、疑似指がタッチパネルに加圧力ゼロで接触する状態を作り出すことができる。従って、タッチパネルに加わる機械的負荷を実質的に無くした特別な状態で当該タッチパネルを検査することができる。

前記のタッチパネル検査装置においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、このタッチパネル検査装置は、ハウジングと、軸受用気体経路と、推力気体経路と、キャンセル気体経路と、を備える。前記ハウジングは、前記疑似指を収容する収容室を形成するとともに、前記疑似指を直線移動可能に支持する。前記軸受用気体経路は、前記ハウジングと前記疑似指との間に静圧気体軸受を形成するために供給される圧縮気体の経路である。前記推力気体経路は、前記疑似指を前記タッチパネルに近づける方向の力を当該疑似指に作用させるために供給される圧縮気体の経路である。前記キャンセル気体経路は、前記疑似指を前記タッチパネルから離れさせる方向の力を当該疑似指に作用させるために供給される圧縮気体の経路である。前記加圧力調整部は、前記推力気体経路に供給する圧縮気体の圧力と、前記キャンセル気体経路に供給する圧縮気体の圧力と、のうち少なくとも何れかを制御することにより、前記疑似指を前記タッチパネルに接触させる加圧力を調整する。

このように、静圧気体軸受を形成して疑似指の摺動抵抗を実質ゼロとし、かつ、推力気体経路／キャンセル気体経路の気体圧力を制御することで、疑似指の加圧力を容易かつ柔軟に調整することができる。また、推力気体経路の圧力と、キャンセル気体経路の圧力と、を用いて差動的に制御することで、疑似指が極めて弱い加圧力（あるいは、加圧力ゼロ）でタッチパネルに接触する状態を容易に作り出すことができる。

前記のタッチパネル検査装置においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記疑似指は複数備えられる。前記加圧力調整部は、前記疑似指を前記タッチパネルに接触させる加圧力を、それぞれの前記疑似指について調整可能である。

これにより、複数の疑似指をタッチパネルに接触させて同時に検査することが可能になるので、検査作業の効率化を図ることができる。

本発明の一実施形態に係るタッチパネル検査装置の全体的な構成を示す模式斜視図。 疑似指機構の構成を示す概念図及びブロック図。 タッチパネル検査装置の機能ブロック図。

次に、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１は本発明の一実施形態に係るタッチパネル検査装置１の全体的な構成を示す模式斜視図である。

図１に示すタッチパネル検査装置１は、水平なベース板９０の上に設置されて用いられるものである。このタッチパネル検査装置１は、基台５１と、ワークホルダ（保持部）５２と、ＸＹ移動機構５３と、Ｚ移動機構５４と、疑似指機構５５と、を備えている。

基台５１の上面は水平に形成されており、この面に平行な面内において、互いに直交するＸ軸とＹ軸がそれぞれ定義されている。また、ＸＹ平面に垂直な向きにＺ軸が定義されている。

基台５１の上面にはワークホルダ（保持部）５２が固定されている。ワークホルダ５２は水平な平板状に形成されている。このワークホルダ５２は図示しない吸着テーブルを備えており、検査対象物である平板状のタッチパネル１００を、その表面を上に向けた状態で動かないように保持することができる。タッチパネル１００は矩形状であり、互いに隣り合う２辺のうち１辺がＸ軸と、残りの１辺がＹ軸と、それぞれ平行となるように、ワークホルダ５２にセットされる。

基台５１上には、２つのリニアガイドを組み合わせた２軸平面移動機構であるＸＹ移動機構５３が配置されている。このＸＹ移動機構５３は、基台５１の面（後述するタッチパネル１００の面）に平行なＸＹ平面内で、検査ヘッドとしての疑似指機構５５を移動させることができる。これにより、疑似指機構５５が有する疑似指２１がタッチパネル１００に接触する位置を任意に変更することができる。

ＸＹ移動機構５３は、リニアガイド６１と、ガイドレール６２と、第１キャリッジ６３と、第２キャリッジ６５と、を備えている。

リニアガイド６１及びガイドレール６２は、それぞれＹ軸に平行な向きに配置されている。リニアガイド６１とガイドレール６２は、平面視で基台５１を挟むようにして互いに反対側に配置されている。

そして、リニアガイド６１及びガイドレール６２に跨るようにして、第１キャリッジ６３が配置される。第１キャリッジ６３はＸ軸に平行な向きに配置され、リニアガイド６１及びガイドレール６２によって、Ｙ軸方向に直線移動可能に案内される。リニアガイド６１にはＹ軸駆動モータ６４が取り付けられており、このＹ軸駆動モータ６４を駆動することで、第１キャリッジ６３をＹ軸方向で任意に変位させることができる。

第１キャリッジ６３には第２キャリッジ６５が支持されている。第１キャリッジ６３にはリニアガイドが構成されており、第２キャリッジ６５は、第１キャリッジ６３の長手方向であるＸ軸方向に直線移動可能に案内される。第１キャリッジ６３にはＸ軸駆動モータ６６が取り付けられており、このＸ軸駆動モータ６６を駆動することで、第２キャリッジ６５をＸ軸方向で任意に変位させることができる。

第２キャリッジ６５には、ブラケット６７が支持されている。第２キャリッジ６５は図示しないネジ送り機構を備えており、これによりブラケット６７は、上下方向であるＺ軸方向に直線移動可能に案内される。第２キャリッジ６５にはＺ軸駆動モータ６８が取り付けられており、このＺ軸駆動モータ６８を駆動することで、ブラケット６７をＺ軸方向で任意に変位させることができる。このネジ送り機構等により、疑似指機構５５をＺ軸方向に移動させることが可能なＺ移動機構５４が構成されている。

ブラケット６７の下部には疑似指機構５５が支持されている。この疑似指機構５５は、本実施形態のタッチパネル検査装置１における検査ヘッドを構成するものであり、上下方向に細長い３本（複数）の疑似指（可動部材、可動子、接触部材）６９を備えている。３本の疑似指２１は、直線状に等間隔に並べて配置されている（図１では、Ｘ軸方向に並んだ状態が示されている）。疑似指機構５５は３本の疑似指２１を、タッチパネル１００に対し、予め設定された大きさの力で押圧させることができる。

疑似指機構５５は、垂直方向に向けられた旋回軸７０を介して、ブラケット６７に支持されている。従って、疑似指機構５５は、この旋回軸７０を中心として回転することができる。ブラケット６７の上部には旋回モータ７１が設けられており、この旋回モータ７１を駆動することで、疑似指機構５５の角度（言い換えれば、３本の疑似指機構５５が並ぶ角度）を変更することができる。

次に、前記疑似指機構５５の詳細な構成について、図２を参照して説明する。図２は、疑似指機構５５の構成を示す概念図及びブロック図である。

疑似指機構５５は、前記した疑似指２１と、この疑似指２１を収容するハウジング２２と、を備える。

疑似指機構５５は静圧式のエア軸受アクチュエータ（気体軸受アクチュエータ）として構成されており、ロッド状の部材である疑似指２１をエア軸受（気体軸受）によって非接触で支持することができる。

ハウジング２２の内部には、疑似指２１を収容することが可能な収容室２４が形成されている。疑似指２１は上下方向に細長い丸棒状に形成されており、上側の部分は収容室２４に差し込まれるとともに、下端部（先端部）はハウジング２２から突出している。疑似指２１は上下方向に変位できるようにハウジング２２に対して支持されている。この構成で、疑似指２１を下方に変位させることで、疑似指２１の下端部を前記タッチパネル１００に接触させることができる。

収容室２４には、多孔質材で形成された円筒状のブッシュ２５が設けられており、このブッシュ２５の内側に疑似指２１が挿入された状態で配置されている。ブッシュ２５と疑似指２１との間には径方向の小さな隙間が形成されている。また、ハウジング２２には軸受用エア経路（軸受用気体経路）３１が形成されており、この軸受用エア経路３１に供給された圧縮空気（圧縮気体）が、多孔質材のブッシュ２５に形成された多数の微細な孔を通過して、ブッシュ２５と疑似指２１の間の隙間に均等に噴出するように構成されている。こうして形成されるエア軸受により疑似指２１が非接触で保持される結果、疑似指２１がハウジング２２に対して上下動するときの摺動抵抗を、無視できるほど小さくすることができる。

軸受用エア経路３１の一端は前記収容室２４に開口を形成し、他端はハウジング２２の外面に開口（軸受ポート３６）を形成している。この軸受ポート３６は、圧空源（圧縮気体の供給源）５に対し、適宜の配管を介して接続される。

疑似指機構５５のハウジング２２には、推力エア経路（推力気体経路）３２が形成されている。この推力エア経路３２の一端は前記収容室２４に開口を形成し、他端はハウジング２２の外面に開口（推力ポート３７）を形成している。この推力ポート３７は、圧空源５から供給される圧縮空気の圧力を調整する電空レギュレータ４２に対し、適宜の配管を介して接続される。

更に、疑似指機構５５のハウジング２２には、キャンセルエア経路（重量キャンセル部、キャンセル気体経路）３３が形成されている。このキャンセルエア経路３３の一端は前記収容室２４に開口を形成し、他端はハウジング２２の外面に開口（キャンセルポート３８）を形成している。このキャンセルポート３８は、圧空源５から供給される圧縮空気の圧力を調整する電空レギュレータ４３に対し、適宜の配管を介して接続される。

なお、図示しないが、ハウジング２２には、軸受用エア経路３１、推力エア経路３２、キャンセルエア経路３３に供給された圧縮空気を外部に逃がすための排気経路が適宜形成されている。

２つの電空レギュレータ（気体圧力調整器）４２，４３のそれぞれは、タッチパネル検査装置１の動作を制御するための制御コンピュータ１５に対し、電気的に接続されている。

電空レギュレータ４２は、推力ポート３７に供給される圧縮空気の圧力を、制御コンピュータ１５からの電気信号に応じた圧力となるように調整する。同様に、電空レギュレータ４３は、キャンセルポート３８に供給される圧縮空気の圧力を、制御コンピュータ１５からの電気信号に応じた圧力となるように調整する。これにより、疑似指２１を、タッチパネル１００に近づく方向／離れる方向に直線移動させることができる。また、詳細は後述するが、この圧力の制御により、疑似指２１のタッチパネル１００に対する加圧力を調整することができる。

２つの電空レギュレータ４２，４３は高分解能のものが用いられており、これにより、推力ポート３７及びキャンセルポート３８の圧力をそれぞれキメ細かく調整することができる。

また、図１に示すように、疑似指機構５５を支持する第２キャリッジ６５には、荷重センサであるロードセル７２が配置されている。このロードセル７２は、疑似指２１の押圧反力を計測して出力することができるように構成されており、この押圧反力の計測値は、例えば、タッチパネル検査装置１における疑似指２１の押圧力のキャリブレーションのために用いられる。これにより、疑似指２１の押圧力制御の精度を高めることができる。

なお、図２においては疑似指２１が代表して１つのみ描かれているが、実際には疑似指２１は水平に３本並べて備えられており、１本の疑似指２１ごとに収容室２４及びエア軸受が形成されている。また、１本の疑似指２１ごとに電空レギュレータ４２，４３が２つずつ備えられている。従って、３本の疑似指２１は独立して上下方向に変位できるとともに、タッチパネル１００に対する押圧力も互いに独立に調整することができる。

次に、タッチパネル検査装置１の電気的構成について、図３を参照して説明する。図３は、タッチパネル検査装置１の機能ブロック図である。

上述した制御コンピュータ１５は、タッチパネル１００の検査を行うために、タッチパネル検査装置１を構成する各機器との間で信号をやり取りすることができる。制御コンピュータ１５は、Ｘ軸駆動モータ６６、Ｙ軸駆動モータ６４、Ｚ軸駆動モータ６８、旋回モータ７１、電空レギュレータ４２，４３に対して信号を送って制御したり、ロードセル７２からの信号を取得したりすることができる。

また、制御コンピュータ１５はパネル信号取得部１９に対して電気的に接続されており、タッチパネル１００が疑似指２１の接触位置や押圧力を検出した結果をパネル信号取得部１９から取得することができる。

本実施形態では制御コンピュータ１５はパーソナルコンピュータとして構成されており、タッチパネル検査装置１の動作を設定するためのマウス及びキーボード等（操作部１６）や、各種設定事項を記憶するためのＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ等の記憶装置（記憶部１７）を備えている。ユーザは、操作部１６を操作することで、タッチパネル検査装置１で検査を行うにあたって必要になる様々なパラメータを設定することができる。設定されたパラメータは、制御コンピュータ１５が備える記憶部１７に記憶される。

記憶部１７に記憶可能なパラメータとしては、検査対象のタッチパネルの縦横の寸法、当該タッチパネルにおいて縦横に配置される電極の本数、縦横それぞれの電極間のピッチ等を挙げることができるが、これらに限られない。

また、制御コンピュータ１５の操作によってユーザが設定できるパラメータの１つに、疑似指２１がタッチパネル１００を加圧する加圧力の大きさがある。即ち、ユーザは操作部１６を操作することで、疑似指２１がタッチパネル１００に押し付けられる力（加圧力）の強さを、所定の範囲内で入力して設定し、記憶部１７に記憶させることができる。また、加圧力を変更したい場合、ユーザは操作部１６を操作することで新しい加圧力の設定値を入力し、記憶部１７に再記憶させることができる。従って、記憶部１７は、加圧力設定記憶部であるということができる。

ここで、本実施形態のタッチパネル検査装置１においては、ユーザが設定できる加圧力の範囲がゼロを含んでいる。具体的な加圧力の範囲は、例えば、下限が０ｇｆ、上限が３ｋｇｆとすることができる。加圧力として０ｇｆが設定された場合、制御コンピュータ１５は、推力ポート３７に供給される圧縮空気によって疑似指２１が下向きに押される力と、疑似指２１の自重と、キャンセルポート３８に供給される圧縮空気によって疑似指２１が上向きに押される力と、が釣り合うように、２つの電空レギュレータ４２，４３を制御する。

ここで、疑似指２１は軽量の材料を用いて構成されており、また、前述のエア軸受によって摺動抵抗が実質ゼロになっている。また、疑似指２１の自重は、キャンセルポート３８への圧力空気の供給によってキャンセルすることができる。更に言えば、疑似指２１において発生する加圧力は、推力ポート３７及びキャンセルポート３８への供給圧力によって言わば差動的に制御され、その圧力を制御する電空レギュレータ４２，４３も高分解能のものが用いられている。以上により、タッチパネル検査装置１は、疑似指２１がタッチパネル１００に接触しているものの、実質的に疑似指２１がタッチパネル１００に押し付けられない状態を作り出すことができる。

このように加圧力ゼロで接触している状態は、「究極のソフトタッチ」と表現することができ、従来では考えられなかった様々な場面で活用が可能である。一例としては、機械的負荷が加わると特性が変化する特徴を有するタッチパネルを検査する場合に、機械的負荷を実質的に排除した状態で検査を行うことができ、有利である。このように、本実施形態のタッチパネル検査装置１によれば、疑似指２１による加圧力の設定下限値を大幅に拡大することができる。

また、本実施形態のタッチパネル検査装置１では、タッチパネル１００を疑似指２１が押圧する力の大きさを、ユーザが設定値の形で指示することで、指示どおりの押圧力で疑似指２１にタッチパネル１００を押させることができる。従って、様々な力でタッチパネル１００に触れた場合を想定した検査を、極めて効率良く行うことができる。

検査対象のタッチパネル１００は、マイクロコンピュータ等からなるパネル信号取得部１９に対し、コネクタや電線を介して電気的に接続される。パネル信号取得部１９は、タッチパネル１００からの信号に基づいて計算することで、タッチパネル１００のどの箇所がどの程度の力で押されたかの情報を取得する。こうして得られた情報は制御コンピュータ１５に送信される。

制御コンピュータ１５は、装置を制御することによって疑似指２１でタッチパネル１００を押圧した位置及びその押圧力と、パネル信号取得部１９を介してタッチパネル１００から取得した疑似指２１のタッチ位置及び押圧力の検出結果と、を照合することで、タッチパネル１００に異常があるか否かを判定する。これにより、タッチパネルの不良を確実に検出することができる。

なお、図１では、タッチパネル検査装置１が有する３本の疑似指２１がＸ軸と平行になった状態が描かれている。しかしながら、３本の疑似指２１を同時にタッチパネル１００に接触させて検査する場合は、疑似指２１が並ぶ方向をＸ軸からもＹ軸からも傾けることが好ましい。更に言えば、検査対象のタッチパネル１００について、タッチパネル１００が有する縦横それぞれの透明電極間のピッチを記憶部１７から読み出した上で、疑似指２１が並ぶ方向が、縦横の電極がなす格子の対角線と平行になるように旋回モータ７１を制御すると、縦横で検査の偏りが出ない点で好ましい。

以上に説明したように、本実施形態のタッチパネル検査装置１は、ワークホルダ５２と、疑似指２１と、ＸＹ移動機構５３と、記憶部１７と、電空レギュレータ４２，４３と、パネル信号取得部１９と、を備える。ワークホルダ５２は、検査対象物であるタッチパネル１００をセット可能である。疑似指２１は、ワークホルダ５２にセットされたタッチパネル１００に接触可能である。ＸＹ移動機構５３は、疑似指２１をタッチパネル１００に対して移動させることが可能である。記憶部１７は、疑似指２１の加圧力の設定値を変更可能に記憶する。電空レギュレータ４２，４３は、記憶部１７に記憶された設定値に基づいて、疑似指２１をタッチパネル１００に接触させる加圧力を調整する。パネル信号取得部１９は、タッチパネル１００が出力する電気信号を取得する。

これにより、記憶部１７に記憶された設定値を変更することで、疑似指がタッチパネルに接触する力を容易かつ柔軟に変化させながら検査することができる。従って、対象のタッチパネルの変更や検査条件の変更等に対しても機動的に対応できるので、検査の効率を大幅に向上させることができる。

また、本実施形態のタッチパネル検査装置１は、疑似指２１をタッチパネル１００から離れさせる方向の力を当該疑似指２１に加えるキャンセルエア経路３３を備える。

これにより、疑似指２１を、その自重より軽い力でタッチパネル１００に接触させることができる。従って、より幅広い条件でのタッチパネルの検査が可能になる。

また、本実施形態のタッチパネル検査装置１において、記憶部１７は、疑似指２１の加圧力ゼロに相当する設定値を記憶可能である。

これにより、疑似指２１の加圧力をゼロに設定することで、疑似指２１がタッチパネル１００に加圧力ゼロで接触する状態を作り出すことができる。従って、タッチパネル１００に加わる機械的負荷を実質的に無くした特別な状態で当該タッチパネルを検査することができる。

また、本実施形態のタッチパネル検査装置１は、ハウジング２２と、軸受用エア経路３１と、推力エア経路３２と、キャンセルエア経路３３と、を備える。ハウジング２２は、疑似指２１を収容する収容室２４を形成するとともに、疑似指２１を直線移動可能に支持する。軸受用エア経路３１は、ハウジング２２と疑似指２１との間に静圧エア軸受を形成するために供給される圧縮空気の経路である。推力エア経路３２は、疑似指２１をタッチパネル１００に近づける方向の力を当該疑似指２１に作用させるために供給される圧縮空気の経路である。キャンセルエア経路３３は、疑似指２１をタッチパネル１００から離れさせる方向の力を当該疑似指２１に作用させるために供給される圧縮空気の経路である。電空レギュレータ４２，４３は、推力エア経路３２に供給する圧縮空気の圧力と、キャンセルエア経路３３に供給する圧縮空気の圧力と、のうち少なくとも何れかを制御することにより、疑似指２１をタッチパネル１００に接触させる加圧力を調整する。

このように、静圧エア軸受を形成して疑似指２１の摺動抵抗を実質ゼロとし、かつ、推力エア経路／キャンセルエア経路の気体圧力を制御することで、疑似指２１の加圧力を容易かつ柔軟に調整することができる。また、推力エア経路３２の圧力と、キャンセルエア経路３３の圧力と、を用いて差動的に制御することで、疑似指２１が極めて弱い加圧力（あるいは、加圧力ゼロ）でタッチパネル１００に接触する状態を容易に作り出すことができる。

また、本実施形態のタッチパネル検査装置１において、疑似指２１は複数備えられる。電空レギュレータ４２，４３は、疑似指２１をタッチパネル１００に接触させる加圧力を、それぞれの疑似指２１について調整可能である。

これにより、複数の疑似指２１をタッチパネル１００に接触させて同時に検査することが可能になるので、検査作業の効率化を図ることができる。

以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。

疑似指２１をタッチパネル１００に直接接触させる上記の実施形態に代えて、疑似指２１に例えば検査プローブ、接触センサ等の別の部材を固定し、あるいは別の部品を保持し、その部材／部品をタッチパネル１００に接触させるように構成しても良い。

上記実施形態では、加圧力ゼロを実現するために、制御コンピュータ１５は、推力エア経路３２及びキャンセルエア経路３３の両方の圧力を制御している。しかしながらこれに代えて、一方の圧力を一定にして他方の圧力のみを制御し、これにより加圧力ゼロを実現しても良い。

疑似指２１は３本に限らず、２本であってもよいし、４本以上であってもよい。また、疑似指２１を１本にしても良い。疑似指２１が１本の場合は、疑似指機構５５を旋回させる必要がなくなるので、旋回モータ７１等の構成を省略することができる。

ＸＹ移動機構５３は、疑似指２１を相対的に移動できれば良い。従って、疑似指２１の代わりにタッチパネル１００側を移動させ、これによりタッチ位置の相対移動を実現しても良い。

１ タッチパネル検査装置
１７ 記憶部（加圧力設定記憶部）
１９ パネル信号取得部（取得部）
２１ 疑似指
３３ キャンセルエア経路（重量キャンセル部、キャンセル気体経路）
４２，４３ 電空レギュレータ（加圧力調整部）
５２ ワークホルダ（保持部）
５３ ＸＹ移動機構（接触位置変更部）
１００ タッチパネル

Claims (5)

1. 検査対象物であるタッチパネルをセット可能な保持部と、
   前記保持部にセットされたタッチパネルに接触可能な疑似指と、
   前記疑似指を前記タッチパネルに対して相対的に移動させることで、前記疑似指が前記タッチパネルに接触する位置を変更する接触位置変更部と、
   前記疑似指の加圧力の設定値を変更可能に記憶する加圧力設定記憶部と、
   前記加圧力設定記憶部に記憶された設定値に基づいて、前記疑似指を前記タッチパネルに接触させる加圧力を調整する加圧力調整部と、
   前記タッチパネルが出力する電気信号を取得する取得部と、
   を備えることを特徴とするタッチパネル検査装置。
2. 請求項１に記載のタッチパネル検査装置であって、
   前記疑似指を前記タッチパネルから離れさせる方向の力を当該疑似指に加える重量キャンセル部を備えることを特徴とするタッチパネル検査装置。
3. 請求項１又は２に記載のタッチパネル検査装置であって、
   前記加圧力設定記憶部は、前記疑似指の加圧力ゼロに相当する設定値を記憶可能であることを特徴とするタッチパネル検査装置。
4. 請求項１から３までの何れか一項に記載のタッチパネル検査装置であって、
   請求項１から３までの何れか一項に記載のタッチパネル検査装置であって、
   前記疑似指を収容する収容室を形成するとともに、前記疑似指を直線移動可能に支持するハウジングと、
   前記ハウジングと前記疑似指との間に静圧気体軸受を形成するために供給される圧縮気体の経路である軸受用気体経路と、
   前記疑似指を前記タッチパネルに近づける方向の力を当該疑似指に作用させるために供給される圧縮気体の経路である推力気体経路と、
   前記疑似指を前記タッチパネルから離れさせる方向の力を当該疑似指に作用させるために供給される圧縮気体の経路であるキャンセル気体経路と、
   を備え、
   前記加圧力調整部は、前記推力気体経路に供給する圧縮気体の圧力と、前記キャンセル気体経路に供給する圧縮気体の圧力と、のうち少なくとも何れかを制御することにより、前記疑似指を前記タッチパネルに接触させる加圧力を調整することを特徴とするタッチパネル検査装置。
5. 請求項１から４までの何れか一項に記載のタッチパネル検査装置であって、
   前記疑似指は複数備えられ、
   前記加圧力調整部は、前記疑似指を前記タッチパネルに接触させる加圧力を、それぞれの前記疑似指について調整可能であることを特徴とするタッチパネル検査装置。

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