JP2015033080A - 高周波モジュール - Google Patents
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Abstract
Description
図1に示す高周波モジュール11は、シリーズ接続型の整合回路41,42を備える。なお、整合回路41,42の一方は、省略しても構わない。
図2に示す高周波モジュール12は、シャント接続型の整合回路43,44を備える。なお、整合回路43,44の一方は、省略しても構わない。
図3に示す高周波モジュール13は、シリーズ接続型の整合回路41およびシャント接続型の整合回路44を備える。
図4に示す高周波モジュール14は、シリーズ接続型の整合回路42およびシャント接続型の整合回路43を備える。
図9は、高周波モジュールの主要構造を示す側面概念図である。高周波モジュール101は、積層基板100、フィルタ基板200、カバー層290、側面カバー層291を備える。
図12(A)は、高周波モジュールの主要構造を示す分解斜視図である。図12(B)は、高周波モジュールの主要構造を示す平面概念図である。なお、図12に図示されていない、高周波モジュール101Aのその他の構成は、図9に示したものと同じである。
図13(A)は、高周波モジュールの主要構造を示す分解斜視図である。図13(B)は、高周波モジュールの主要構造を示す平面概念図である。なお、図13に図示されていない、高周波モジュール101Bのその他の構成は、図9に示したものと同じである。
また、上述のように、インダクタ60を構成する線状電極が、平面視して、インダクタ43Lを構成するスパイラル電極を囲むようにして形成されている。このため、第2の構造と同様に、積層基板100のレイアウト領域を効率良く利用することができる。
図15は、高周波モジュールの主要構造を示す側面概念図である。図15に示す高周波モジュール101Cでは、フィルタ部21が、図9に示したWLP構造で実現されず、所謂ベアチップにより実現される。高周波モジュール101Cのその他の構成は、図9に示した高周波モジュール101と同様であり、説明は省略する。
20,21:フィルタ部、
22:第2のフィルタ部
201−208,211−214,221:SAW共振子、
231,232:縦結合型SAW共振子、
41,42:(シリーズ接続型の)整合回路、
43,44:(シャント接続型の)整合回路、
41L,42L,43L,44L:インダクタ、
41C,42C,43C,44C:キャパシタ、
401,402:接続ライン、
50,51,60:インダクタ、
P1:第1外部接続端子、
P2:第2外部接続端子、
P21,P21’:第1シリーズ接続端子、
P22:第2シリーズ接続端子、
P31,P32:第3端子、
P23,P231,P232:第1シャント接続端子、
P24:第2シャント接続端子、
100:積層基板、
101,102,103,104:誘電体層
100S:天面、
100R:底面、
200:フィルタ基板、
283:樹脂層、
290:カバー層、
291:側面カバー層、
292:密閉空間
293:接続電極、
294:実装用電極、
295,296:グランド電極、
431,432,433:線状電極
431V,432V,501V,502V,601V,602V:ビア導体
Claims (18)
- 第1外部接続端子と、
第2外部接続端子と、
前記第1外部接続端子と前記第2外部接続端子との間に接続されたフィルタ部と、
前記第1外部接続端子もしくは前記第2外部接続端子の少なくとも一方と前記フィルタ部との間に接続された整合回路と、
グランドと前記フィルタ部との間に接続されたインダクタと、
を備えた高周波モジュールであって、
積層基板と、
前記フィルタ部を構成するIDT電極が第1主面に形成され、前記第1主面側が前記積層基板の実装面に向くように配置された平板状のフィルタ基板と、
該フィルタ基板の前記第1主面に対して間隔を空けて対向する平板状のカバー層と、
前記第1主面から突出し、前記カバー層を貫通する形状を有し、前記積層基板と前記フィルタ基板とを接続する接続電極と、
を備え、
前記整合回路は前記積層基板または前記カバー層の内部に形成され、
前記インダクタと前記整合回路とが誘導性結合もしくは容量性結合されている、高周波モジュール。 - 第1外部接続端子と、
第2外部接続端子と、
前記第1外部接続端子と前記第2外部接続端子との間に接続されたフィルタ部と、
前記第1外部接続端子もしくは前記第2外部接続端子の少なくとも一方と前記フィルタ部との間に接続された整合回路と、
グランドと前記フィルタ部との間に接続されたインダクタと、
を備えた高周波モジュールであって、
積層基板と、
前記フィルタ部を構成するIDT電極が第1主面に形成され、前記第1主面側が前記積層基板の実装面に対して間隔を空けて対向するように配置された平板状のフィルタ基板と、
前記第1主面から突出する形状を有し、前記積層基板と前記フィルタ基板とを接続する接続電極と、
前記フィルタ基板が配置された前記積層基板の実装面を覆う樹脂層と、
を備え、
前記整合回路は前記積層基板の内部に形成され、
前記インダクタと前記整合回路とが誘導性結合もしくは容量性結合されている、高周波モジュール。 - 前記フィルタ部は、
前記第1外部接続端子に接続する第1シリーズ接続端子と、
前記第2外部接続端子に接続する第2シリーズ接続端子と、
前記インダクタを介してグランドに接続するシャント接続端子と、
前記第1シリーズ接続端子と前記第2シリーズ接続端子との間に、複数の接続ラインにより直列接続された複数のシリーズ接続型のフィルタ素子と、
前記接続ラインに一方端が接続し、前記シャント接続端子に他方端が接続するシャント接続型のフィルタ素子と、を備える、請求項1または請求項2に記載の高周波モジュール。 - 互いに前記誘導性結合もしくは前記容量性結合する前記インダクタと前記整合回路とは、
前記フィルタ部の通過帯域外のインピーダンスが変化するように前記誘導性結合もしくは前記容量性結合されている、請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の高周波モジュール。 - 互いに前記誘導性結合もしくは前記容量性結合する前記インダクタと前記整合回路とは、
前記フィルタ部の通過帯域外の減衰極周波数が変化するように前記誘導性結合もしくは前記容量性結合されている、請求項4に記載の高周波モジュール。 - 前記整合回路は、前記第1外部接続端子と前記第1シリーズ接続端子との間に直列接続されるか、もしくは、前記第2外部接続端子と前記第2シリーズ接続端子との間に直列接続される、シリーズ接続型の整合回路である、
請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の高周波モジュール。 - 前記整合回路は、前記第1外部接続端子と前記第1シリーズ接続端子とを接続する接続ラインとグランドとの間に接続されるか、もしくは、前記第2外部接続端子と前記第2シリーズ接続端子とを接続する接続ラインとグランドとの間に接続される、シャント接続型の整合回路である、
請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の高周波モジュール。 - 前記フィルタ部は、第3端子と、第2のフィルタ部とを備え、
前記第2のフィルタ部は、前記第1シリーズ接続端子および該第1シリーズ接続端子に接続するフィルタ素子を接続する接続ラインと、前記第3端子との間に接続されている、
請求項3乃至請求項7のいずれかに記載の高周波モジュール。 - 前記インダクタは、前記積層基板の実装面または内部に、実装または形成され、
前記インダクタと前記整合回路とは近接して配置されている、
請求項1乃至請求項8に記載の高周波モジュール。 - 前記インダクタは前記カバー層の内部に形成され、
前記インダクタと前記整合回路とは近接して配置されている、
請求項1に記載の高周波モジュール。 - 前記インダクタと前記整合回路とは、共に前記積層基板の内部に形成されているか、または、共に前記カバー層の内部に形成されている、請求項1に記載の高周波モジュール。
- 前記インダクタと前記整合回路とは互いに異なる層に形成されている、請求項11に記載の高周波モジュール。
- 前記インダクタと前記整合回路とは、平面視して少なくとも一部が重なるように配置されている、請求項1に記載の高周波モジュール。
- 前記インダクタと前記整合回路との間に形成されたグランド電極を備える、請求項1に記載の高周波モジュール。
- 前記インダクタと前記整合回路とは、共に前記積層基板の内部に形成されている、請求項2に記載の高周波モジュール。
- 前記インダクタと前記整合回路とは互いに異なる層に形成されている、請求項15に記載の高周波モジュール。
- 前記インダクタと前記整合回路とは、平面視して少なくとも一部が重なるように配置されている、請求項2に記載の高周波モジュール。
- 前記インダクタと前記整合回路との間に形成されたグランド電極を備える、請求項2に記載の高周波モジュール。
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Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016136413A1 (ja) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | 株式会社村田製作所 | 高周波モジュール |
| WO2016181701A1 (ja) * | 2015-05-08 | 2016-11-17 | 株式会社村田製作所 | 高周波モジュール |
| JP2017521007A (ja) * | 2014-06-30 | 2017-07-27 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag | RFフィルタ回路、減衰が改善されたrfフィルタおよび分離度が改善されたデュプレクサ |
| WO2017221548A1 (ja) * | 2016-06-24 | 2017-12-28 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置 |
| WO2018052073A1 (ja) * | 2016-09-16 | 2018-03-22 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置、マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
| JP2018050108A (ja) * | 2016-09-20 | 2018-03-29 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
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| KR20200095402A (ko) | 2019-01-31 | 2020-08-10 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 멀티플렉서 및 통신 장치 |
| US10749500B2 (en) | 2015-12-25 | 2020-08-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | High-frequency module |
| JPWO2019244938A1 (ja) * | 2018-06-21 | 2021-02-15 | 株式会社村田製作所 | フィルタおよびマルチプレクサ |
| JPWO2021039495A1 (ja) * | 2019-08-30 | 2021-03-04 |
Families Citing this family (131)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6183462B2 (ja) * | 2013-08-06 | 2017-08-23 | 株式会社村田製作所 | 高周波モジュール |
| WO2016056377A1 (ja) * | 2014-10-10 | 2016-04-14 | 株式会社村田製作所 | 分波装置 |
| WO2016158094A1 (ja) * | 2015-04-01 | 2016-10-06 | 株式会社村田製作所 | デュプレクサ |
| JP6358238B2 (ja) * | 2015-11-18 | 2018-07-18 | 株式会社村田製作所 | 高周波モジュール及び通信装置 |
| KR102116677B1 (ko) * | 2016-03-08 | 2020-05-29 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
| JP6635193B2 (ja) * | 2016-05-19 | 2020-01-22 | 株式会社村田製作所 | フィルタ装置 |
| CN109478879B (zh) * | 2016-07-15 | 2022-08-23 | 株式会社村田制作所 | 梯型频率可变滤波器、多工器、高频前端电路以及通信终端 |
| DE102017113152B3 (de) * | 2017-06-14 | 2018-10-11 | RF360 Europe GmbH | Elektroakustisches HF-Filter mit einer erhöhten Flankensteilheit, Multiplexer und Verfahren zum Auslegen eines elektroakustischen HF-Filters |
| US10560069B2 (en) * | 2017-06-26 | 2020-02-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave apparatus |
| US11929731B2 (en) | 2018-02-18 | 2024-03-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with optimized electrode mark, and pitch |
| US11509279B2 (en) | 2020-07-18 | 2022-11-22 | Resonant Inc. | Acoustic resonators and filters with reduced temperature coefficient of frequency |
| US11146232B2 (en) | 2018-06-15 | 2021-10-12 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with reduced spurious modes |
| US10601392B2 (en) | 2018-06-15 | 2020-03-24 | Resonant Inc. | Solidly-mounted transversely-excited film bulk acoustic resonator |
| US12040779B2 (en) | 2020-04-20 | 2024-07-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Small transversely-excited film bulk acoustic resonators with enhanced Q-factor |
| US12088281B2 (en) | 2021-02-03 | 2024-09-10 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with multi-mark interdigital transducer |
| US11323096B2 (en) | 2018-06-15 | 2022-05-03 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with periodic etched holes |
| US11206009B2 (en) | 2019-08-28 | 2021-12-21 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with interdigital transducer with varied mark and pitch |
| US10756697B2 (en) | 2018-06-15 | 2020-08-25 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator |
| US11936358B2 (en) | 2020-11-11 | 2024-03-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with low thermal impedance |
| US10637438B2 (en) | 2018-06-15 | 2020-04-28 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators for high power applications |
| US12237826B2 (en) | 2018-06-15 | 2025-02-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with optimized electrode thickness, mark, and pitch |
| US11323089B2 (en) | 2018-06-15 | 2022-05-03 | Resonant Inc. | Filter using piezoelectric film bonded to high resistivity silicon substrate with trap-rich layer |
| US11323090B2 (en) | 2018-06-15 | 2022-05-03 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator using Y-X-cut lithium niobate for high power applications |
| WO2019167416A1 (ja) * | 2018-03-01 | 2019-09-06 | 株式会社村田製作所 | 高周波モジュール及び通信装置 |
| US11894322B2 (en) | 2018-05-29 | 2024-02-06 | Analog Devices, Inc. | Launch structures for radio frequency integrated device packages |
| US11424196B2 (en) | 2018-06-01 | 2022-08-23 | Analog Devices, Inc. | Matching circuit for integrated circuit die |
| US11349450B2 (en) | 2018-06-15 | 2022-05-31 | Resonant Inc. | Symmetric transversely-excited film bulk acoustic resonators with reduced spurious modes |
| US11949402B2 (en) | 2020-08-31 | 2024-04-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Resonators with different membrane thicknesses on the same die |
| US12119808B2 (en) | 2018-06-15 | 2024-10-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator package |
| US11876498B2 (en) | 2018-06-15 | 2024-01-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with multiple diaphragm thicknesses and fabrication method |
| US12113512B2 (en) | 2021-03-29 | 2024-10-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Layout of XBARs with multiple sub-resonators in parallel |
| US12009798B2 (en) | 2018-06-15 | 2024-06-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators with electrodes having irregular hexagon cross-sectional shapes |
| US12081187B2 (en) | 2018-06-15 | 2024-09-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator |
| US11329628B2 (en) | 2020-06-17 | 2022-05-10 | Resonant Inc. | Filter using lithium niobate and lithium tantalate transversely-excited film bulk acoustic resonators |
| US11323091B2 (en) | 2018-06-15 | 2022-05-03 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with diaphragm support pedestals |
| US11888463B2 (en) | 2018-06-15 | 2024-01-30 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Multi-port filter using transversely-excited film bulk acoustic resonators |
| US12237827B2 (en) | 2018-06-15 | 2025-02-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Solidly-mounted transversely-excited film bulk acoustic filters with multiple piezoelectric plate thicknesses |
| US11909381B2 (en) | 2018-06-15 | 2024-02-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators with two-layer electrodes having a narrower top layer |
| US11146238B2 (en) | 2018-06-15 | 2021-10-12 | Resonant Inc. | Film bulk acoustic resonator fabrication method |
| US12191837B2 (en) | 2018-06-15 | 2025-01-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Solidly-mounted transversely-excited film bulk acoustic device |
| US11228296B2 (en) | 2018-06-15 | 2022-01-18 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with a cavity having a curved perimeter |
| US12184261B2 (en) | 2018-06-15 | 2024-12-31 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with a cavity having round end zones |
| US12149227B2 (en) | 2018-06-15 | 2024-11-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator package |
| US12155371B2 (en) | 2021-03-29 | 2024-11-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Layout of xbars with multiple sub-resonators in series |
| US11323095B2 (en) | 2018-06-15 | 2022-05-03 | Resonant Inc. | Rotation in XY plane to suppress spurious modes in XBAR devices |
| US12119805B2 (en) | 2018-06-15 | 2024-10-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Substrate processing and membrane release of transversely-excited film bulk acoustic resonator using a sacrificial tub |
| US12191838B2 (en) | 2018-06-15 | 2025-01-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Solidly-mounted transversely-excited film bulk acoustic device and method |
| US11264966B2 (en) | 2018-06-15 | 2022-03-01 | Resonant Inc. | Solidly-mounted transversely-excited film bulk acoustic resonator with diamond layers in Bragg reflector stack |
| US12224732B2 (en) | 2018-06-15 | 2025-02-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Solidly-mounted transversely-excited film bulk acoustic resonators and filters for 27 GHz communications bands |
| US11171629B2 (en) | 2018-06-15 | 2021-11-09 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator using pre-formed cavities |
| US11728785B2 (en) | 2018-06-15 | 2023-08-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator using pre-formed cavities |
| US11967945B2 (en) | 2018-06-15 | 2024-04-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversly-excited film bulk acoustic resonators and filters |
| US12155374B2 (en) | 2021-04-02 | 2024-11-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Tiled transversely-excited film bulk acoustic resonator high power filters |
| US11374549B2 (en) | 2018-06-15 | 2022-06-28 | Resonant Inc. | Filter using transversely-excited film bulk acoustic resonators with divided frequency-setting dielectric layers |
| US12463619B2 (en) | 2018-06-15 | 2025-11-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Filter device |
| US11201601B2 (en) | 2018-06-15 | 2021-12-14 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with multiple diaphragm thicknesses and fabrication method |
| US11996822B2 (en) | 2018-06-15 | 2024-05-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Wide bandwidth time division duplex transceiver |
| US10917072B2 (en) | 2019-06-24 | 2021-02-09 | Resonant Inc. | Split ladder acoustic wave filters |
| US10826462B2 (en) | 2018-06-15 | 2020-11-03 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators with molybdenum conductors |
| US12040781B2 (en) | 2018-06-15 | 2024-07-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator package |
| US11901878B2 (en) | 2018-06-15 | 2024-02-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators with two-layer electrodes with a wider top layer |
| US11916539B2 (en) | 2020-02-28 | 2024-02-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Split-ladder band N77 filter using transversely-excited film bulk acoustic resonators |
| US11349452B2 (en) | 2018-06-15 | 2022-05-31 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic filters with symmetric layout |
| US12212306B2 (en) | 2018-06-15 | 2025-01-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with multiple diaphragm thicknesses and fabrication method |
| US11417615B2 (en) * | 2018-11-27 | 2022-08-16 | Analog Devices, Inc. | Transition circuitry for integrated circuit die |
| US11901873B2 (en) | 2019-03-14 | 2024-02-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with partial BRAGG reflectors |
| DE112020001227T5 (de) | 2019-03-14 | 2022-02-10 | Resonant Inc. | Transversal angeregter akustischer Filmresonator mit Lambda-Halbe-Dielektrikumschicht |
| US11271541B2 (en) | 2019-03-15 | 2022-03-08 | Resonant Inc. | Microwave duplexer using coupled inductors to improve isolation |
| CN118316415A (zh) | 2019-04-05 | 2024-07-09 | 株式会社村田制作所 | 横向激励薄膜体声波谐振器封装和方法 |
| US10911021B2 (en) | 2019-06-27 | 2021-02-02 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with lateral etch stop |
| US12034423B2 (en) | 2019-06-27 | 2024-07-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd | XBAR frontside etch process using polysilicon sacrificial layer |
| CN110492206B (zh) * | 2019-08-09 | 2021-09-21 | 天津大学 | 一种双工器 |
| JP2021082898A (ja) * | 2019-11-15 | 2021-05-27 | 株式会社村田製作所 | 高周波モジュール及び通信装置 |
| WO2021124691A1 (ja) * | 2019-12-20 | 2021-06-24 | 株式会社村田製作所 | 高周波モジュール及び通信装置 |
| US12255625B2 (en) | 2020-02-28 | 2025-03-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Filter using transversely-excited film bulk acoustic resonators with inductively coupled sub-resonators |
| US12506462B2 (en) | 2020-02-28 | 2025-12-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with multi-pitch interdigital transducer |
| JP2021164142A (ja) * | 2020-04-03 | 2021-10-11 | 株式会社村田製作所 | 高周波モジュール、高周波回路及び通信装置 |
| US12278617B2 (en) | 2020-04-20 | 2025-04-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | High Q solidly-mounted transversely-excited film bulk acoustic resonators |
| US12341493B2 (en) | 2020-04-20 | 2025-06-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Low loss transversely-excited film bulk acoustic resonators and filters |
| US12341490B2 (en) | 2020-04-20 | 2025-06-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Low loss transversely-excited film bulk acoustic resonators and filters |
| US11811391B2 (en) | 2020-05-04 | 2023-11-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with etched conductor patterns |
| US11469733B2 (en) | 2020-05-06 | 2022-10-11 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators with interdigital transducer configured to reduce diaphragm stress |
| US12074584B2 (en) | 2020-05-28 | 2024-08-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators with two-layer electrodes |
| US12267062B2 (en) | 2020-06-17 | 2025-04-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators with three-layer electrodes |
| US11817845B2 (en) | 2020-07-09 | 2023-11-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for making transversely-excited film bulk acoustic resonators with piezoelectric diaphragm supported by piezoelectric substrate |
| US11264969B1 (en) | 2020-08-06 | 2022-03-01 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator comprising small cells |
| US11671070B2 (en) | 2020-08-19 | 2023-06-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators using multiple dielectric layer thicknesses to suppress spurious modes |
| US11271539B1 (en) | 2020-08-19 | 2022-03-08 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with tether-supported diaphragm |
| US11894835B2 (en) | 2020-09-21 | 2024-02-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Sandwiched XBAR for third harmonic operation |
| US11658639B2 (en) | 2020-10-05 | 2023-05-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator matrix filters with noncontiguous passband |
| US11476834B2 (en) | 2020-10-05 | 2022-10-18 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator matrix filters with switches in parallel with sub-filter shunt capacitors |
| US11929733B2 (en) | 2020-10-05 | 2024-03-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator matrix filters with input and output impedances matched to radio frequency front end elements |
| US11405017B2 (en) | 2020-10-05 | 2022-08-02 | Resonant Inc. | Acoustic matrix filters and radios using acoustic matrix filters |
| US11728784B2 (en) | 2020-10-05 | 2023-08-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator matrix filters with split die sub-filters |
| US12119806B2 (en) | 2020-10-30 | 2024-10-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with spiral interdigitated transducer fingers |
| US12003226B2 (en) | 2020-11-11 | 2024-06-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with low thermal impedance |
| US12255617B2 (en) | 2020-11-11 | 2025-03-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Solidly-mounted transversely-excited film bulk acoustic resonators with low thermal impedance |
| US12431856B2 (en) | 2020-11-12 | 2025-09-30 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with reduced loss in the aperture direction |
| US11496113B2 (en) | 2020-11-13 | 2022-11-08 | Resonant Inc. | XBAR devices with excess piezoelectric material removed |
| US12255626B2 (en) | 2020-11-13 | 2025-03-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Solidly-mounted transversely-excited film bulk acoustic filters with excess piezoelectric material removed |
| US11405020B2 (en) | 2020-11-26 | 2022-08-02 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators with structures to reduce acoustic energy leakage |
| US12126318B2 (en) | 2021-01-15 | 2024-10-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Filters using decoupled transversely-excited film bulk acoustic resonators |
| US11239816B1 (en) | 2021-01-15 | 2022-02-01 | Resonant Inc. | Decoupled transversely-excited film bulk acoustic resonators |
| US12463615B2 (en) | 2021-01-21 | 2025-11-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Transversely-excited film bulk acoustic resonators with improved coupling and reduced energy leakage |
| US12113510B2 (en) | 2021-02-03 | 2024-10-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators with multiple piezoelectric membrane thicknesses on the same chip |
| US12308826B2 (en) | 2021-02-03 | 2025-05-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Bandpass filters using transversely-excited film bulk acoustic resonators |
| US12308825B2 (en) | 2021-02-12 | 2025-05-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Transversely-excited film bulk acoustic resonators with narrow gaps between busbars and ends of interdigital transducer fingers |
| US12348216B2 (en) | 2021-03-24 | 2025-07-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic filters with shared acoustic tracks and cascaded series resonators |
| US12126328B2 (en) | 2021-03-24 | 2024-10-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic filters with shared acoustic tracks |
| US12355426B2 (en) | 2021-03-24 | 2025-07-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic filters with shared acoustic tracks |
| US12107568B2 (en) | 2021-03-24 | 2024-10-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Composite transversely-excited film bulk acoustic resonator circuits having a capacitor for improved rejection |
| US12289099B2 (en) | 2021-03-24 | 2025-04-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic filters with shared acoustic tracks for series and shunt resonators |
| US12341492B2 (en) | 2021-03-29 | 2025-06-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators with busbar side edges that form angles with a perimeter of the cavity |
| US12224735B2 (en) | 2021-03-30 | 2025-02-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Diplexer using decoupled transversely-excited film bulk acoustic resonators |
| WO2022212569A1 (en) | 2021-03-30 | 2022-10-06 | Resonant Inc. | Filter for 6 ghz wi-fi using transversely-excited film bulk acoustic resonators |
| US12249971B2 (en) | 2021-04-02 | 2025-03-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators with solidly mounted resonator (SMR) pedestals |
| US12237823B2 (en) | 2021-04-02 | 2025-02-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators with solidly mounted resonator (SMR) pedestals |
| US12126316B2 (en) | 2021-04-16 | 2024-10-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Transversely-excited film bulk acoustic resonator |
| US12255633B2 (en) | 2021-04-16 | 2025-03-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Filter using transversely-excited film bulk acoustic resonators |
| US12255607B2 (en) | 2021-04-30 | 2025-03-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with buried oxide strip acoustic confinement structures |
| US12160220B2 (en) | 2021-04-30 | 2024-12-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with oxide strip acoustic confinement structures |
| US12075700B2 (en) | 2021-05-07 | 2024-08-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator fabrication using polysilicon pillars |
| US12057823B2 (en) | 2021-05-07 | 2024-08-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with concentric interdigitated transducer fingers |
| US12170513B2 (en) | 2021-06-30 | 2024-12-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with reduced substrate to contact bump thermal resistance |
| CN113411091B (zh) * | 2021-07-30 | 2022-06-24 | 广州慧智微电子有限公司 | 一种信号接收装置、方法及存储介质 |
| CN113810020A (zh) * | 2021-08-27 | 2021-12-17 | 日月光半导体制造股份有限公司 | 滤波器结构 |
| US12456962B2 (en) | 2021-09-24 | 2025-10-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators wafer-level packaging using a dielectric cover |
| US12225387B2 (en) | 2021-09-29 | 2025-02-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Communications device with concurrent operation in 5GHZ and 6GHZ U-NII frequency ranges |
| US12451864B2 (en) | 2021-09-29 | 2025-10-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators with curved shaped ends of fingers or opposing busbars |
| US12407326B2 (en) | 2021-11-04 | 2025-09-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Stacked die transversely-excited film bulk acoustic resonator (XBAR) filters |
| US11744021B2 (en) | 2022-01-21 | 2023-08-29 | Analog Devices, Inc. | Electronic assembly |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0818393A (ja) * | 1994-07-01 | 1996-01-19 | Fujitsu Ltd | 分波器パッケージ |
| JP2004328676A (ja) * | 2003-04-28 | 2004-11-18 | Fujitsu Media Device Kk | 分波器及び電子装置 |
| WO2007102560A1 (ja) * | 2006-03-08 | 2007-09-13 | Kyocera Corporation | 分波器および通信装置 |
| WO2010125873A1 (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-04 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置及びその製造方法 |
| WO2013008435A1 (ja) * | 2011-07-08 | 2013-01-17 | 株式会社村田製作所 | 回路モジュール |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0758506A (ja) * | 1993-08-09 | 1995-03-03 | Oki Electric Ind Co Ltd | Lc型誘電体フィルタ、およびこれを用いた空中線共用器 |
| KR100760780B1 (ko) * | 2004-09-28 | 2007-09-21 | 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 | 분파기 |
| EP2501039B1 (en) * | 2006-01-18 | 2015-04-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and boundary acoustic wave device |
| JP2011188255A (ja) * | 2010-03-09 | 2011-09-22 | Panasonic Corp | 弾性波素子 |
| JP5588838B2 (ja) | 2010-11-17 | 2014-09-10 | 太陽誘電株式会社 | フィルタ回路、分波器およびrfモジュール |
-
2013
- 2013-08-06 JP JP2013163267A patent/JP5817795B2/ja active Active
-
2014
- 2014-07-29 US US14/445,431 patent/US9413335B2/en active Active
- 2014-08-05 CN CN201410381293.2A patent/CN104348442B/zh active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0818393A (ja) * | 1994-07-01 | 1996-01-19 | Fujitsu Ltd | 分波器パッケージ |
| JP2004328676A (ja) * | 2003-04-28 | 2004-11-18 | Fujitsu Media Device Kk | 分波器及び電子装置 |
| WO2007102560A1 (ja) * | 2006-03-08 | 2007-09-13 | Kyocera Corporation | 分波器および通信装置 |
| WO2010125873A1 (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-04 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置及びその製造方法 |
| WO2013008435A1 (ja) * | 2011-07-08 | 2013-01-17 | 株式会社村田製作所 | 回路モジュール |
Cited By (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017521007A (ja) * | 2014-06-30 | 2017-07-27 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag | RFフィルタ回路、減衰が改善されたrfフィルタおよび分離度が改善されたデュプレクサ |
| US9923543B2 (en) | 2015-02-25 | 2018-03-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Radio frequency module |
| JP6020780B1 (ja) * | 2015-02-25 | 2016-11-02 | 株式会社村田製作所 | 高周波モジュール |
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| US10340883B2 (en) | 2015-12-25 | 2019-07-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | High-frequency module |
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