JP2015032378A - Discharge lamp - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、例えばエキシマランプといった紫外線ランプ等の放電ランプに関するものである。 The present invention relates to a discharge lamp such as an ultraviolet lamp such as an excimer lamp.
例えばエキシマランプとしては、特許文献１に示すように、断面矩形状の直管状をなす放電管と、この放電管の外面に設けられた一対の電極とを備え、当該一対の電極間にエキシマ放電を生じさせて、例えば波長１７０ｎｍ付近の真空紫外線を照射するものがある。 For example, as an excimer lamp, as shown in Patent Document 1, a discharge tube having a straight tube shape having a rectangular cross section and a pair of electrodes provided on the outer surface of the discharge tube, and excimer discharge is provided between the pair of electrodes. In some cases, for example, a vacuum ultraviolet ray having a wavelength of about 170 nm is irradiated.
そして、前記放電管の内面には、放電管内部で発生した紫外線を反射する紫外線反射膜が形成されている。具体的には、放電管の光射出部を除く部分に紫外線反射膜が形成されている。このように光射出部を除く部分に紫外線反射膜を形成することによって、放電管の内部で発生した紫外線を紫外線反射膜で反射させて、放電管の内部で発生した紫外線を有効に光射出部から外部に射出させることができる。 An ultraviolet reflection film that reflects ultraviolet rays generated inside the discharge tube is formed on the inner surface of the discharge tube. Specifically, an ultraviolet reflecting film is formed on a portion of the discharge tube excluding the light emitting portion. In this way, by forming an ultraviolet reflecting film on the portion excluding the light emitting part, the ultraviolet ray generated inside the discharge tube is reflected by the ultraviolet reflecting film, and the ultraviolet ray generated inside the discharge tube is effectively emitted. Can be injected to the outside.
ここで、前記紫外線反射膜は、図５に示すように、放電管の長手方向において開口幅が一定に形成されている。つまり、紫外線反射膜の周方向における幅寸法が、長手方向において一定幅となるように形成されている。なお、紫外線反射膜は、例えばシリカ粒子により形成されている。 Here, as shown in FIG. 5, the ultraviolet reflecting film has a constant opening width in the longitudinal direction of the discharge tube. That is, the width dimension in the circumferential direction of the ultraviolet reflecting film is formed to be a constant width in the longitudinal direction. The ultraviolet reflecting film is made of, for example, silica particles.
しかしながら、長手方向において一定幅で紫外線反射膜を形成したものでは、紫外線反射膜の長手方向端部において反射又は散乱反射による光量が低下するため、光射出部の長手方向端部から射出される光量も低下してしまう。このため、図６に示すように、被照射面における長手方向における光量分布（光量均斉度）が悪くなってしまう問題がある。つまり、上記のエキシマランプでは、被照射面における長手方向の端部における光量が中央部に比べて小さくなってしまうという問題がある。 However, in the case where an ultraviolet reflecting film is formed with a constant width in the longitudinal direction, the light quantity due to reflection or scattering reflection decreases at the longitudinal end part of the ultraviolet reflecting film, so the light quantity emitted from the longitudinal end part of the light emitting part. Will also decline. For this reason, as shown in FIG. 6, there exists a problem that the light quantity distribution (light quantity uniformity) in the longitudinal direction in a to-be-irradiated surface will worsen. That is, the above-described excimer lamp has a problem that the amount of light at the end in the longitudinal direction on the irradiated surface is smaller than that at the center.
また、図６のように開口部を除く照射面側まで紫外線反射膜を形成した場合には、照射面側まで紫外線反射膜を設けない場合に比べて、つまり照射面側のすべてを開口部とした場合に比べて、被照射面における長手方向端部における光量は極端に小さなものとなってしまい、その部分の紫外線はワークの処理に使えないので、ランプ長を長くしなければならないという問題がある。 Further, when the ultraviolet reflecting film is formed to the irradiation surface side excluding the opening as shown in FIG. 6, compared to the case where the ultraviolet reflecting film is not provided to the irradiation surface side, that is, all of the irradiation surface side is defined as the opening. Compared to the case, the amount of light at the end in the longitudinal direction on the irradiated surface becomes extremely small, and since the ultraviolet rays in that part cannot be used for processing the workpiece, there is a problem that the lamp length must be increased. is there.
そこで本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであって、放電ランプから照射される光量を長手方向において均一化することをその主たる課題とするものである。 Therefore, the present invention has been made to solve the above-described problems, and its main problem is to make the amount of light irradiated from the discharge lamp uniform in the longitudinal direction.
すなわち本発明に係る放電ランプは、放電管と、前記放電管に設けられた一対の電極と、前記放電管の周方向の一部に長手方向に沿って設けられた反射膜とを備え、前記反射膜の形成領域が、前記長手方向に沿って変化していることを特徴とする。 That is, a discharge lamp according to the present invention includes a discharge tube, a pair of electrodes provided in the discharge tube, and a reflective film provided along a longitudinal direction in a part of a circumferential direction of the discharge tube, A region where the reflective film is formed varies along the longitudinal direction.
このような放電ランプであれば、放電管に設けられた反射膜の形成領域が、放電管の長手方向に沿って変化しているので、放電管から照射される光量を長手方向において変化させることができる。したがって、放電ランプから照射される光量を長手方向において均一化することができる。 In the case of such a discharge lamp, since the formation region of the reflective film provided on the discharge tube changes along the longitudinal direction of the discharge tube, the amount of light irradiated from the discharge tube can be changed in the longitudinal direction. Can do. Therefore, the light quantity irradiated from the discharge lamp can be made uniform in the longitudinal direction.
前記放電管において、前記反射膜の形成領域以外の領域が光射出部とされていることが望ましい。
これならば、反射膜の形成領域が長手方向において変化することによって、放電管に形成される光射出部が長手方向において変化することになる。これにより、光射出部から照射される光量を長手方向において変化させることができ、放電ランプから照射される光量を長手方向において均一化することができる。
In the discharge tube, it is preferable that a region other than a region where the reflective film is formed is a light emitting portion.
If this is the case, the light emitting portion formed in the discharge tube changes in the longitudinal direction by changing the reflective film formation region in the longitudinal direction. Thereby, the light quantity irradiated from a light emission part can be changed in a longitudinal direction, and the light quantity irradiated from a discharge lamp can be equalized in a longitudinal direction.
前記反射膜の形成領域が、長手方向両端部に行くに従って徐々に小さくなることが望ましい。
これならば、光射出部の長手方向両端部を長手方向中央部よりも大きくすることができ、光射出部の長手方向両端部から照射される光量を多くすることができる。これにより、放電ランプから照射される光量を長手方向において均一化することができる。
It is desirable that the formation region of the reflection film is gradually reduced toward both ends in the longitudinal direction.
If it is this, both the longitudinal direction both ends of a light emission part can be made larger than a longitudinal direction center part, and the light quantity irradiated from the longitudinal direction both ends of a light emission part can be increased. Thereby, the light quantity irradiated from the discharge lamp can be made uniform in the longitudinal direction.
前記反射膜の形成領域が、長手方向両端部のみ小さくなることが好ましい。
これならば、光射出部を長手方向両端部のみ長手方向中央部よりも大きくすることができ、光射出部の長手方向両端部から照射される光量を多くすることができる。これにより、放電ランプから照射される光量を長手方向において均一化することができる。
It is preferable that a region where the reflective film is formed becomes small only at both ends in the longitudinal direction.
In this case, only the both ends in the longitudinal direction can be made larger than the central part in the longitudinal direction, and the amount of light emitted from both ends in the longitudinal direction of the light emitting part can be increased. Thereby, the light quantity irradiated from the discharge lamp can be made uniform in the longitudinal direction.
前記放電管において前記反射膜の周方向両端部の間に形成される開口部が光射出部とされていることが好ましい。
これならば、反射膜の周方向に沿った幅寸法が長手方向において変化することによって、放電管に形成される光射出部の周方向に沿った幅寸法が長手方向において変化することになる。これにより、光射出部から照射される光量を長手方向において変化させることができ、放電ランプから照射される光量を長手方向において均一化することができる。
In the discharge tube, it is preferable that an opening formed between both ends in the circumferential direction of the reflective film is a light emitting portion.
If this is the case, the width dimension along the circumferential direction of the reflective film changes in the longitudinal direction, so that the width dimension along the circumferential direction of the light emitting portion formed in the discharge tube changes in the longitudinal direction. Thereby, the light quantity irradiated from a light emission part can be changed in a longitudinal direction, and the light quantity irradiated from a discharge lamp can be equalized in a longitudinal direction.
前記反射膜の周方向両端部が、前記放電管の長手方向に直交する中心線に対して、対称形状をなすことが望ましい。
これならば、放電ランプから照射される光量分布を、長手方向中心に対して対称にすることができ、光量を長手方向において均一化し易くすることができる。
It is desirable that both end portions in the circumferential direction of the reflective film have a symmetrical shape with respect to a center line orthogonal to the longitudinal direction of the discharge tube.
In this case, the light quantity distribution irradiated from the discharge lamp can be made symmetric with respect to the center in the longitudinal direction, and the light quantity can be easily made uniform in the longitudinal direction.
その他、前記反射膜の周方向両端部が、前記放電管の長手方向に沿った中心軸線に対して、対称形状をなすことが望ましい。 In addition, it is desirable that both end portions in the circumferential direction of the reflective film have a symmetrical shape with respect to the central axis along the longitudinal direction of the discharge tube.
前記放電管の長手方向に垂直な断面が、上壁と下壁と、前記上壁と下壁を繋ぐ一対の側壁からなる矩形状であることが好ましい。
これならば、光射出部の長手方向面及びその垂直方向面が平坦面となるため、放電ランプから照射される光量を長手方向においてさらに均一化することができる。
It is preferable that the cross section perpendicular to the longitudinal direction of the discharge tube is a rectangular shape including an upper wall and a lower wall, and a pair of side walls connecting the upper wall and the lower wall.
In this case, since the longitudinal direction surface and the vertical direction surface of the light emitting portion are flat, the amount of light emitted from the discharge lamp can be made more uniform in the longitudinal direction.
前記一対の側壁は、湾曲していることが好ましい。
これならば、反射膜の反射領域が、長手方向両端部に行くに従って徐々に小さくし、または、長手方向両端部のみ小さくし、側壁に紫外線が直接照射される状態にしても、側壁が湾曲形状のため、放電管の側壁部での亀裂や破損を起こり難くすることができる。
The pair of side walls are preferably curved.
In this case, even if the reflective region of the reflective film is gradually made smaller as it goes to both ends in the longitudinal direction, or only both ends in the longitudinal direction are made smaller and the side walls are directly irradiated with ultraviolet rays, the side walls are curved. For this reason, it is possible to make it difficult to cause cracks or breakage in the side wall of the discharge tube.
前記反射膜の周方向両端部は、前記側壁に形成されていることが好ましい。 It is preferable that both ends in the circumferential direction of the reflective film are formed on the side wall.
前記反射膜の周方向両端部は、前記下壁に形成されていることが好ましい。 It is preferable that both ends in the circumferential direction of the reflective film are formed on the lower wall.
前記放電管の内部にエキシマ発光のための放電用ガスが封入されていることが望ましい。 It is desirable that a discharge gas for excimer light emission be enclosed in the discharge tube.
前記反射膜が、シリカ粒子を含有するものであることが望ましい。
シリカ粒子を用いた反射膜は、放電管の内部で発生した紫外線を散乱反射する機能を有する。そして、このシリカ粒子を用いた反射膜では、特に長手方向両端部での散乱反射により光量が低下するという課題が顕著となるため、反射膜の形成領域を長手方向において変化させる構成による効果が一層顕著となる。
It is desirable that the reflection film contains silica particles.
The reflective film using silica particles has a function of scattering and reflecting ultraviolet rays generated inside the discharge tube. And in the reflective film using this silica particle, since the subject that a light quantity falls especially by the scattering reflection in a longitudinal direction both ends becomes remarkable, the effect by the structure which changes the formation area of a reflective film in a longitudinal direction is further. Become prominent.
前記放電管は、直管状をなすことが好ましい。 The discharge tube preferably has a straight tubular shape.
前記反射膜は、貫通孔を有することが好ましい。
これならば、反射膜の周方向に沿った幅寸法を長手方向において変化させることなく、貫通孔を有する反射膜の形成領域を長手方向において変化させるだけで、放電ランプから照射される光量を長手方向において均一化することができる。
The reflective film preferably has a through hole.
If this is the case, the amount of light irradiated from the discharge lamp can be increased by simply changing the formation region of the reflection film having the through holes in the longitudinal direction without changing the width dimension along the circumferential direction of the reflection film in the longitudinal direction. Uniform in direction.
このように構成した本発明によれば、反射膜の形成領域が、長手方向において変化しているので、放電管から照射される光量を長手方向において変化させることができ、放電ランプから照射される光量を長手方向において均一化することができる。 According to the present invention configured as described above, since the reflective film formation region is changed in the longitudinal direction, the amount of light emitted from the discharge tube can be changed in the longitudinal direction, and is emitted from the discharge lamp. The amount of light can be made uniform in the longitudinal direction.
以下、本発明に係る放電ランプの一実施形態について図面を参照して説明する。 Hereinafter, an embodiment of a discharge lamp according to the present invention will be described with reference to the drawings.
本実施形態に係る放電ランプ１００は、図１〜図３に示すように、直管状の放電管２及びこの放電管２の長手方向に沿って対向して設けられた一対の外部電極３１、３２を有する誘電体バリア放電ランプである。なお、以下の説明において、放電管２の長手方向を左右方向とし、前記放電管２の長手方向に直交する２方向を前後方向及び左右方向とする。 As shown in FIGS. 1 to 3, the discharge lamp 100 according to the present embodiment includes a straight tubular discharge tube 2 and a pair of external electrodes 31 and 32 provided facing each other along the longitudinal direction of the discharge tube 2. A dielectric barrier discharge lamp having In the following description, the longitudinal direction of the discharge tube 2 is defined as the left-right direction, and the two directions orthogonal to the longitudinal direction of the discharge tube 2 are defined as the front-rear direction and the left-right direction.
放電管２は、合成石英ガラス製のものであり、上下に対向する一対の平坦な上壁部２１及び下壁部２２を有する長尺状をなすものである。本実施形態の放電管２は、前記上壁部２１及び前記下壁部２２とともに、前記上壁部２１及び前記下壁部２２の前端部に連続する湾曲状の前壁部２３と、前記上壁部２１及び前記下壁部２２の後端部に連続する湾曲状の後壁部２４とからなる断面概略トラック状をなすものである。また、放電管２の長手方向の両端部は、左壁部２５及び右壁部２６により閉塞されている。 The discharge tube 2 is made of synthetic quartz glass and has a long shape having a pair of flat upper wall portion 21 and lower wall portion 22 that are opposed to each other in the vertical direction. The discharge tube 2 according to this embodiment includes the upper wall portion 21 and the lower wall portion 22, the curved front wall portion 23 continuous with the front end portions of the upper wall portion 21 and the lower wall portion 22, and the upper wall portion 21 and the lower wall portion 22. The cross-section is generally in the form of a track comprising a wall 21 and a curved rear wall 24 continuous with the rear end of the lower wall 22. Further, both ends in the longitudinal direction of the discharge tube 2 are closed by the left wall portion 25 and the right wall portion 26.
また、放電管２の内部に形成された放電空間には誘電体バリア放電用ガスが充填されている。なお、誘電体バリア放電用ガスとしては、キセノン（Ｘｅ）、アルゴン（Ａｒ）又はクリプトン（Ｋｒ）等の希ガス、或いは、フッ素（Ｆ２）又は塩素（Ｃｌ２）等のハロゲンガス等を用いることができる。放電ランプ２は、ガスの種類に応じて異なる波長（１７２ｎｍ、２２２ｎｍ、３０８ｎｍ等）のエキシマ光を発光する。例えば有機化合物を分解するためには、放電用ガスとしてキセノン（Ｘｅ）を用いて、１７２ｎｍを中心波長とするエキシマ光を発光する誘電体バリア放電ランプとする。 The discharge space formed inside the discharge tube 2 is filled with a dielectric barrier discharge gas. As the dielectric barrier discharge gas, a rare gas such as xenon (Xe), argon (Ar), or krypton (Kr), or a halogen gas such as fluorine (F 2 ) or chlorine (Cl 2 ) is used. be able to. The discharge lamp 2 emits excimer light having different wavelengths (172 nm, 222 nm, 308 nm, etc.) depending on the type of gas. For example, in order to decompose an organic compound, a dielectric barrier discharge lamp that emits excimer light having a center wavelength of 172 nm is used by using xenon (Xe) as a discharge gas.
一対の外部電極３１、３２は、放電管２の放電空間と略同等の長さを有する膜状をなすものであり、放電管２の放電空間を上下方向から挟んだ位置、つまり、上壁部２１及び下壁部２２に設けられている。この外部電極３１、３２は、アルミニウム、アルミ合金、ステンレス等の導電性材料から形成されており、例えばメッキ、溶射、蒸着又はスパッタにより放電管２の側周面上に形成した薄膜電極である。上壁部２１に設けられた外部電極３１は、ベタ電極である。また、下壁部２１に設けられた外部電極３２は、メッシュ状をなすメッシュ電極である。そして、この下壁部２１に設けられた外部電極３２からエキシマ光が射出される。 The pair of external electrodes 31, 32 are formed in a film shape having a length substantially equal to the discharge space of the discharge tube 2, and are located between the discharge space of the discharge tube 2 from above and below, that is, the upper wall portion 21 and the lower wall portion 22. The external electrodes 31 and 32 are formed of a conductive material such as aluminum, aluminum alloy, and stainless steel, and are thin film electrodes formed on the side peripheral surface of the discharge tube 2 by, for example, plating, spraying, vapor deposition, or sputtering. The external electrode 31 provided on the upper wall portion 21 is a solid electrode. The external electrode 32 provided on the lower wall portion 21 is a mesh electrode having a mesh shape. Then, excimer light is emitted from the external electrode 32 provided on the lower wall portion 21.
本実施形態の放電管２の内面には、放電管２の内部で生じたエキシマ光を反射する反射膜４が形成されている。 On the inner surface of the discharge tube 2 of the present embodiment, a reflective film 4 that reflects excimer light generated inside the discharge tube 2 is formed.
この反射膜４は、放電管２の内面において、放電管２の周方向の一部に長手方向に沿って設けられている。具体的には、放電管２の上壁部２１と、前壁部２３と、後壁部２４とに亘って設けられている。なお、反射膜４の一部が下壁部２２に亘って形成されていても良い。このように反射膜４が設けられているため、放電管２において反射膜４の周方向両端部４ａ、４ｂの間に形成される開口部５が光射出部となる。本実施形態では、光射出部である開口部５が、放電管２の下壁部２１の全部又は一部に設定されるように、反射膜４の周方向両端部４ａ、４ｂの位置が設定されている。 The reflection film 4 is provided on the inner surface of the discharge tube 2 along a longitudinal direction at a part of the discharge tube 2 in the circumferential direction. Specifically, it is provided across the upper wall portion 21, the front wall portion 23, and the rear wall portion 24 of the discharge tube 2. A part of the reflective film 4 may be formed over the lower wall portion 22. Since the reflective film 4 is thus provided, the opening 5 formed between the circumferential ends 4a and 4b of the reflective film 4 in the discharge tube 2 serves as a light emitting part. In the present embodiment, the positions of the circumferential end portions 4a and 4b of the reflective film 4 are set so that the opening 5 which is a light emitting portion is set to all or a part of the lower wall portion 21 of the discharge tube 2. Has been.
そして、本実施形態の反射膜４においては、特に図２及び図３に示すように、その周方向に沿った幅寸法が、放電管２の長手方向に沿って変化するように構成されている。ここで、反射膜４の周方向に沿った幅寸法とは、反射膜４において周方向一端部４ａから周方向他端部４ｂまでの周方向に沿った距離のことである。 And in the reflective film 4 of this embodiment, especially as shown in FIG.2 and FIG.3, the width dimension along the circumferential direction is comprised so that it may change along the longitudinal direction of the discharge tube 2. FIG. . Here, the width dimension along the circumferential direction of the reflective film 4 is a distance along the circumferential direction from the circumferential one end 4a to the circumferential other end 4b in the reflective film 4.
具体的には、反射膜４の周方向に沿った幅寸法が、長手方向両端に行くに従って徐々に小さくなるように構成されている。より詳細には、図２に示すように、反射膜４の周方向に沿った幅寸法が、放電管２の長手方向中心を含む所定範囲である長手方向内側部分ＰＡにおいて一定であり、放電管２の長手方向内側部分ＰＡよりも外側の長手方向外側部分ＰＢにおいて長手方向両端に行くに従って徐々に小さくなるように構成されている。ここで、反射膜４の周方向に沿った幅寸法は、長手方向外側部分ＰＢにおいて長手方向両端に行くに従って連続的に小さくなるように構成されている。本実施形態では、長手方向外側部分ＰＢにおいて、反射膜４の周方向端部４ａ、４ｂの輪郭が、湾曲した曲線形状をなしている。 Specifically, the width dimension along the circumferential direction of the reflective film 4 is configured to gradually decrease toward both ends in the longitudinal direction. More specifically, as shown in FIG. 2, the width dimension along the circumferential direction of the reflecting film 4, is constant in the longitudinal direction inner portion P A is a predetermined range including the longitudinal center of the discharge tube 2, the discharge It is configured to gradually decrease toward the longitudinal ends on the outside of the outer longitudinal portion P B than the longitudinal inner portion P a of the tube 2. Here, the width dimension along the circumferential direction of the reflecting film 4 is configured to be continuously reduced toward the longitudinal end in the longitudinal direction outside portion P B. In the present embodiment, in the longitudinal direction outside portion P B, the circumferential end portion 4a of the reflecting film 4, the contour of the 4b is formed into a curved curve shape.
つまり、光射出部である開口部５について言えば、開口部５の開口幅が、前記長手方向内側部分ＰＡにおいて一定であり、前記長手方向外側部分ＰＢにおいて長手方向両端に行くに従って徐々に大きくなるように構成されている。ここで、開口部５の開口幅は、長手方向外側部分ＰＢにおいて長手方向両端に行くに従って連続的に大きくなるように構成されている。 That is, speaking the opening 5 is a light exit portion, the opening width of the opening portion 5 is constant in the longitudinal direction inner portion P A, gradually toward the longitudinal ends in the longitudinal direction outside portion P B It is configured to be large. Here, the opening width of the opening 5 is configured to continuously increase toward the longitudinal ends in the longitudinal direction outside portion P B.
また、反射膜４の周方向両端部４ａ、４ｂは、放電管２を下面から見たときに、放電管２の長手方向に直交する中心線ＣＸに対して、対称形状をなしている（図２参照）。このように対称形状にすることで、放電ランプ１００から照射される光量分布を、長手方向中心（中心線ＣＸ）に対して対称にすることができ、光量を長手方向において均一化し易くすることができる。 Further, both end portions 4a and 4b in the circumferential direction of the reflection film 4 are symmetrical with respect to a center line CX orthogonal to the longitudinal direction of the discharge tube 2 when the discharge tube 2 is viewed from the lower surface (see FIG. 2). By making such a symmetrical shape, the light quantity distribution irradiated from the discharge lamp 100 can be made symmetric with respect to the center in the longitudinal direction (center line CX), and the light quantity can be easily made uniform in the longitudinal direction. it can.
さらに、反射膜４の周方向両端部４ａ、４ｂは、放電管２を下面から見たときに、放電管２の長手方向に沿った中心軸線ＣＹに対して、対称形状をなしている（図２参照）。 Further, both end portions 4a and 4b in the circumferential direction of the reflective film 4 are symmetrical with respect to the central axis CY along the longitudinal direction of the discharge tube 2 when the discharge tube 2 is viewed from the lower surface (see FIG. 2).
このように構成された反射膜４は、シリカ粒子を含むものである。また、反射膜４の形成方法は、シリカ粉末を所定の溶媒と混合、攪拌してスラリーを作製する。このスラリーを放電管２を構成するガラス管の所定部分に塗布して乾燥する。なお、前記スラリーをガラス管の所定部位に塗布する場合には、反射膜４を形成しない部分（具体的には光射出部となる開口部等）には、マスキングテープ等のマスクによりマスキングしておく。そして、スラリーを乾燥させた後に、マスクを剥がして、ガラス管を例えば１０００℃で所定時間焼成することで、前記反射膜４が形成される。 The reflection film 4 thus configured contains silica particles. Moreover, the formation method of the reflecting film 4 mixes and stirs silica powder with a predetermined solvent, and produces a slurry. This slurry is applied to a predetermined portion of the glass tube constituting the discharge tube 2 and dried. Note that when the slurry is applied to a predetermined portion of the glass tube, a portion where the reflective film 4 is not formed (specifically, an opening serving as a light emitting portion) is masked with a mask such as a masking tape. deep. Then, after drying the slurry, the mask is peeled off, and the glass tube is baked at, for example, 1000 ° C. for a predetermined time, whereby the reflective film 4 is formed.
このように構成した放電ランプ１００の長手方向における光量分布を図４に示す。この図４に示すように、反射膜４の周方向両端部４ａ、４ｂの周方向に沿った幅寸法を、長手方向両端部において小さくすることにより、放電ランプ１００の長手方向における光量が均一となる領域が広くなり、放電ランプから照射される光量を長手方向において均一化できることが分かる。 FIG. 4 shows a light amount distribution in the longitudinal direction of the discharge lamp 100 configured as described above. As shown in FIG. 4, the light quantity in the longitudinal direction of the discharge lamp 100 is made uniform by reducing the width dimension along the circumferential direction of the circumferential both ends 4a and 4b of the reflective film 4 at both longitudinal ends. It can be seen that the area becomes wider and the amount of light emitted from the discharge lamp can be made uniform in the longitudinal direction.
このように構成した本実施形態に係る放電ランプ１００によれば、放電管２に設けられた反射膜４の周方向に沿った幅寸法が、放電管２の長手方向に沿って変化しているので、放電管２から照射される光量を長手方向において変化させることができる。したがって、放電ランプ１００から照射される光量を長手方向において均一化することができる。 According to the discharge lamp 100 according to the present embodiment configured as described above, the width dimension along the circumferential direction of the reflective film 4 provided on the discharge tube 2 changes along the longitudinal direction of the discharge tube 2. Therefore, the light quantity irradiated from the discharge tube 2 can be changed in the longitudinal direction. Therefore, the light quantity irradiated from the discharge lamp 100 can be made uniform in the longitudinal direction.
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
例えば、前記実施形態では、反射膜の周方向に沿った幅寸法が、長手方向両端部において変化するように構成されているが、これに限られず、長手方向両端部以外の部分において変化するように構成しても良いし、長手方向全体において変化するように構成しても良い。
The present invention is not limited to the above embodiment.
For example, in the above-described embodiment, the width dimension along the circumferential direction of the reflective film is configured to change at both ends in the longitudinal direction, but is not limited thereto, and changes at portions other than both ends in the longitudinal direction. You may comprise so that it may change in the whole longitudinal direction.
また、反射膜は、貫通孔を有するものであり、この反射膜の形成領域が長手方向において変化するように構成しても良い。
つまり、反射膜の開口率を長手方向において変化するように構成しても良い。
Further, the reflection film has a through hole, and the formation area of the reflection film may be changed in the longitudinal direction.
That is, you may comprise so that the aperture ratio of a reflecting film may change in a longitudinal direction.
また、前記実施形態の反射膜の周方向に沿った幅寸法は、長手方向両端部において連続的に変化するものであったが、段階的に変化するものであっても良い。 Moreover, although the width dimension along the circumferential direction of the reflective film of the said embodiment changed continuously in the longitudinal direction both ends, it may change in steps.
さらに、前記実施形態の反射膜は、シリカ粒子からなるものであったが、シリカ微粒子に加えてアルミナ粒子を含むものであっても良い。 Furthermore, although the reflective film of the said embodiment consisted of silica particles, it may contain alumina particles in addition to silica fine particles.
紫外線ランプは誘電体バリア放電ランプの他、波長１８５ｎｍ、２５４ｎｍ等の低圧水銀ランプであっても良い。また、ランプ形状は、断面トラック状をなす扁平管の他、断面円形状をなす丸管又は断面矩形状をなす角管であっても良いし、二重管構造のものであっても良い。 The ultraviolet lamp may be a low-pressure mercury lamp having a wavelength of 185 nm, 254 nm or the like in addition to the dielectric barrier discharge lamp. The ramp shape may be a round tube having a circular cross section, a square tube having a rectangular cross section, or a double tube structure, in addition to a flat tube having a cross-sectional track shape.
特に、本実施形態の図２に示すような、長手方向両端部において、反射膜の周方向に沿った幅寸法を小さくした場合には、断面矩形状をなす角管は、ランプ角部で亀裂や割れが発生し易いので、断面円形状をなす丸管や断面トラック状をなす扁平管を用いることが好ましい。 In particular, as shown in FIG. 2 of the present embodiment, when the width dimension along the circumferential direction of the reflective film is reduced at both ends in the longitudinal direction, the rectangular tube having a rectangular cross section is cracked at the lamp corner. Therefore, it is preferable to use a round tube having a circular cross section or a flat tube having a track shape.
さらには、長手方向の光量を均一にする点においては、断面円形状をなす丸管より、照射面が水平となる断面トラック状をなす扁平管を用いることが好ましい。 Furthermore, in terms of making the amount of light in the longitudinal direction uniform, it is preferable to use a flat tube having a cross-sectional track shape in which the irradiation surface is horizontal rather than a circular tube having a circular cross-section.
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。 In addition, it goes without saying that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
１００・・・放電ランプ
２・・・放電管
３１、３２・・・一対の電極
４・・・反射膜
４ａ、４ｂ・・・周方向両端部
５・・・開口部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Discharge lamp 2 ... Discharge tube 31, 32 ... Pair of electrode 4 ... Reflective film 4a, 4b ... Both ends of circumferential direction 5 ... Opening part
Claims (15)
前記放電管に設けられた一対の電極と、
前記放電管の周方向の一部に長手方向に沿って設けられた反射膜とを備え、
前記反射膜の形成領域が、前記長手方向に沿って変化している放電ランプ。 A discharge tube;
A pair of electrodes provided in the discharge tube;
A reflective film provided along the longitudinal direction in a part of the circumferential direction of the discharge tube;
A discharge lamp in which a formation region of the reflective film changes along the longitudinal direction.
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