JP2015028971A - ウエハ洗浄装置およびウエハ洗浄方法 - Google Patents

Abstract

【課題】予備的洗浄性を向上すること。
【解決手段】洗浄液を貯留する水槽と、スライスベースが複数のウエハが下方になるように、水槽の洗浄液に浸漬するように保持する保持部と、複数の隣接したウエハの隙間に洗浄液を噴出する複数のノズルと、複数のウエハに超音波洗浄処理を施す超音波装置を有する洗浄装置である。特に、複数のノズルは水平方向であって、かつ等間隔に少なくとも一列配置されており、超音波装置から発生される超音波の向きは、複数のノズルから噴出される噴流の向きと平行になるように設置される点に特徴を有する。
【選択図】図８

Description

本発明は、スライスベースに接着剤で接着されたウエハを洗浄するウエハ洗浄装置、およびウエハ洗浄方法に関する。

従来のシリコンウエハなどのウエハの製造工程を説明する。

まず図１（Ａ）に示すように、インゴット１と称される塊状物をスライスベース２と称される保持体に接着剤３を介して固定する。次に図１（Ｂ）に示すように、このスライスベース２に固定されたインゴット１をワイヤソー４などでスライスすることでウエハ状態にする。ワイヤソー４にてスライスする際に、ウエハには切削油やスラッジ（切り屑）が付着するため、図２に示すように、スライスベース２に固定された状態にて、ウエハ５を予備的に洗浄する。

このとき従来の構成では、図２（Ａ）に示すように、まず洗浄液６で満たされた水槽７においてウエハ５をノズル８によりシャワー洗浄する。（このとき必ずしも水槽７は洗浄液６で満たされていなくても良い）次に図２（Ｂ）に示すように、洗浄液６で満たされた水槽７においてウエハ５を超音波装置９により超音波洗浄する。

次に、図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示すように、薬液もしくは熱水１０で満たされた水槽１１にスライスベース２に固定されたウエハ５を浸漬し、ウエハ５をスライスベース２に固定している接着剤３を軟化もしくは溶解させ、ウエハ５をスライスベース２から分離する。

次に、図４（Ａ）および図４（Ｂ）に示すように、スライスベースから分離されたウエハ５はトレイに横方向もしくは縦方向に積層された後、図示されない枚葉装置を用いて一枚ずつ搬送アームを用いて搬送し、洗浄用のカセットに収納する。

更に、洗浄用カセットに収納されたウエハは、仕上げ洗浄、乾燥、ウエハ検査を経て製品ウエハとなる。

また、図５に示されるように、スライスベース２に固定されたウエハ５を予備的に洗浄する他の手法として、水槽７にノズル８および超音波装置９を有した装置であって、ノズル８は水槽７の長軸に平行に且つそれぞれの流れが反対方向になるように配置されており、超音波で緩んだ粒子を洗い流す方法が報告されている（特許文献１参照）。

特許第４７６３０６１号公報

しかしながら、上記従来の構成において、シャワー洗浄だけではウエハ表面に固着したスラッジを除去することができない、また超音波洗浄だけでは隣接したウエハの隙間にばらつきがあり、十分な隙間が生じないウエハ表面のスラッジが除去できないという課題を有していた。

また、特許文献１に記載の構成では、水槽７内において、ノズル８から噴射された洗浄液６の噴流によって波が生じ、この波が超音波の波を減衰させ、十分な超音波洗浄の効果が得られず、ウエハ５表面のスラッジが除去できないという課題を有していた。

上記従来の構成および特許文献１に記載の構成ともに、図６に示すように、特にスライスベース２とウエハ５を固定している側のウエハ５表面（以下、ウエハトップ部という）の洗浄性が低く、ウエハトップ部にはスラッジ１３が固着したまま後工程に流れる。

通常、一本のインゴット１からは１０００枚以上のウエハ５が得られるため、ウエハトップ部に厚み方向２０μｍのスラッジ１３が固着したままになると、２０μｍ×１０００枚×２（表裏）＝４０ｍｍの厚み差が生じることになる。したがって、図７（Ａ）および図７（Ｂ）に示すように、トレイ１２にウエハ５を横方向もしくは縦方向に積層する際、ウエハトップ部のスラッジ１３により、ウエハ５の整列性が悪くなり、枚葉装置で搬送ができない、または、図７（Ｃ）に示すように、積層されたウエハ５の下部に偏荷重が生じ、ウエハ５が割れてしまうなどの品質課題をも有していた（符号Ｘ参照）。さらに、仕上げ洗浄工程においては、スラッジ１３を除去するのに多大な時間を要してしまうなど生産性の低下、または、スラッジ１３を完全には除去できず、ウエハの歩留低下の要因にもなっていた。

本願は、上記従来の課題を解決するものであり、ウエハの品質向上と、後工程の生産性及び歩留を向上することが可能な、ウエハ洗浄装置およびウエハ洗浄方法を提供することを目的とする。

本発明は、以下に示すスライスベースに固定されたウエハの予備的洗浄を実施するウエハ洗浄装置およびウエハ洗浄方法に関する。

本発明のウエハ洗浄装置は、スライスベースに接着剤で接着された複数のウエハを、洗浄する洗浄装置であり、以下のような構成である。

〔１〕洗浄液を貯留する水槽。

〔２〕スライスベースが複数のウエハが下方になるように、水槽の前記洗浄液に浸漬するように保持する保持部。

〔３〕複数の隣接したウエハの隙間に洗浄液を噴出する複数のノズル。

〔４〕複数のウエハに超音波洗浄処理を実施する超音波装置。

このような構成において、複数のノズルは水平方向であって、かつ等間隔に少なくとも一列配置されており、超音波装置から発生される超音波の向きは、複数のノズルから噴出される噴流の向きと平行になるように設置されている。

また、本発明のウエハ洗浄方法は、スライスベースに接着剤で接着された複数のウエハを、洗浄液を貯留する水槽に浸漬した状態において、超音波を用いて洗浄する洗浄方法であり、以下のような肯定を有する。

〔１〕複数のウエハの中央よりも上側で、かつ前記複数の隣接したウエハの隙間に向かって、前記洗浄液を複数のノズルより水平方向に噴出する工程。

〔２〕前記複数の隣接したウエハの隙間を広げるとともに、前記複数のウエハの表面を前記複数のノズルより噴出される噴流と平行な向きの前記超音波を用いて洗浄する工程。

〔３〕前記複数のウエハの中央よりも下側で、かつ前記複数の隣接したウエハの隙間に向かって、前記洗浄液を複数のノズルより水平方向に噴出する工程。

〔４〕前記複数の隣接したウエハの隙間を広げるとともに、前記複数のウエハの表面を前記複数のノズルより噴出される噴流と平行な向きの前記超音波を用いて洗浄する工程。

以上のように、本発明のウエハ洗浄装置および洗浄方法によれば、スライス後のウエハに付着したスラッジを十分に除去することができ、ウエハの品質を向上するとともに後工程の生産性および歩留を向上することができる。

従来のウエハ製造工程の概要を示す図 従来のウエハ製造工程の概要を示す図 従来のウエハ製造工程の概要を示す図 従来のウエハ製造工程の概要を示す図 特許文献１記載の従来のウエハ洗浄装置を示す図 従来のウエハ洗浄状態およびトレイ積層状態を示す図 従来のウエハ洗浄状態およびトレイ積層状態を示す図 実施の形態１の洗浄装置を示す図 実施の形態１の吸水機構を示す図 実施の形態１の保持部の傾斜機構を示す図 実施の形態１のノズルの噴流と超音波の向きが同じ形態のものを示す図 実施の形態２の洗浄装置を示す図

以下、本発明の実施の形態について、図８から図１２を用いて説明する。

（実施の形態１）
図８（Ａ）および図８（Ｂ）に示すように、本発明の実施の形態１における洗浄装置は、スライスベース２に接着剤３で接着された複数のウエハ５を、洗浄する洗浄装置である。

本実施の形態に係る洗浄装置は、洗浄液６を貯留する水槽７と、スライスベース２が複数のウエハ５が下方となり水槽７の洗浄液６に浸漬するように保持する保持部１４と、複数の隣接したウエハ５の隙間に洗浄液６を噴出する複数のノズル８と、複数のウエハ５に超音波洗浄処理を実施する超音波装置９とを有する。

このとき、複数のノズル８は水平方向であって、かつ等間隔に一列配置されており、超音波装置９から発生される超音波の向きは、複数のノズル８から噴出される噴流の向きと平行かつ逆方向になるように設置されている。更に、複数のウエハ５、は複数のノズル８と超音波装置９の間に位置するように配置されている。

また、複数のノズル８は、水平方向に揺動する機構（図８（Ｃ））と、縦方向に揺動する機構（図８（Ｄ））を有している。なお、複数のノズル８は上下方向に２列以上あってもよい。

次に、本発明の実施の形態１における洗浄装置を用いた洗浄方法について説明する。

まず、スライスベース２に固定された複数のウエハ５を、洗浄液６で満たされた水槽７に完全に浸漬させる。このとき複数のノズル８の上下方向の位置は、複数のウエハ５の中央よりも上側に配置されている。

次いで、複数のウエハ５に向かって、複数のノズル８より洗浄液６を噴出するともに、超音波装置９より超音波を発振する。ここで、複数のノズル８より噴出される洗浄液６の流量は、特に限定はされないものの、例えば、それぞれ１．５から３．０Ｌ／分であると良い。また、超音波装置９の周波数においても、特に限定されないものの、例えば、４０ｋＨｚや１００ｋＨｚであるとよい。

これにより複数のノズル８より噴出された洗浄液６の噴流により、複数の隣接したウエハ５の隙間が広げられ、かつ複数のウエハ５の中央より下側には、洗浄液６の噴流が当たらないため、超音波装置９より発せられる超音波が減衰することなく効率よく伝達される。よって、複数のウエハ５の中央より下側であって、表面に付着したスラッジを効率よく除去することができる。

このとき、図８（Ｃ）に示すように、複数のノズル８を水平方向に揺動することで、複数の隣接したウエハ５の隙間を満遍なく広げ、洗浄性を向上することができる。また、複数のノズル８が水平方向に揺動する速度は、複数の隣接したウエハ５を一枚ずつ確実に洗浄させるため、低速であるほうが好ましく、特に限定されないものの、０．３から３．０ｍｍ／秒であることが望ましい。

次に、複数のノズル８を複数のウエハ５の中央よりも下側に移動させる。従って、超音波装置９より発振された超音波は、複数のノズル８により噴出された前記洗浄液６の噴流により広げられた複数のウエハ５の表面であって、複数のウエハ５の中央より上側に付着したスラッジを効率よく除去することができる。

このとき図８（Ｃ）に示すように、複数のノズル８を水平方向に揺動することで、複数の隣接したウエハ５の隙間を満遍なく広げ、洗浄性を向上することができる。

ここで複数のノズル８の縦方向の位置は、必ずしも複数のウエハ５の中央よりも上側に位置する工程が先である必要はなく、複数のウエハ５の中央よりも上側である工程と複数のウエハ５の中央よりも下側である工程を有することが重要である。これにより、複数のウエハ５の中央より上側および下側に付着したスラッジを効率よく除去することができる。

更には、複数のノズル８が複数のウエハ５の中央よりも上側にある工程と、複数のウエハの下側にある工程とを数回繰り返す方がより好ましい。これは複数のノズル８より噴出される洗浄液６の噴流は、複数の隣接したウエハ５の隙間を広げる機能だけではなく、複数のウエハ５の表面に付着したスラッジを前記超音波装置９より発される超音波により除去した後、複数の隣接したウエハ５の隙間より排出する機能を有しているためである。

また、図９に示す洗浄装置は、複数のノズル８と対向する位置に、複数のノズル８から噴出される洗浄液６の噴流を吸引する吸水機構１５を有し、複数のウエハ５は、複数のノズル８と吸水機構１５の間に位置している。吸水機構１５により、複数のノズル８より噴出される洗浄液６の噴流は、複数の隣接したウエハ５の隙間において整流され、直進性が向上する（符号Ｙ参照）。

従って、複数のノズル８が複数のウエハ５の中央より下側にある工程では、複数のウエハ５の中央よりも上側の複数のウエハ５の表面への超音波の伝達性を向上し、また複数のノズル８が複数のウエハ５の中央よりも上側にある工程では、複数のウエハ５の中央よりも下側の複数のウエハ５の表面への超音波の伝達性を向上することができる。すなわち、複数のウエハ５の洗浄性をさらに向上することができる。吸水機構は複数のノズル８と連動して水平方向もしくは縦方向に揺動してもよい。

また、図１０に示す洗浄装置は、スライスベース２を保持する保持部１４が、複数のノズル８から噴出される洗浄液６の噴流の進行方向に対し、下がる方向に傾斜する機構を有する。複数のノズル８より噴出される洗浄液６の噴流の向きは少なからず下方へ下がってしまうため、特にスライスベース２と複数のウエハ５が固定されている上端部に滞在しているスラッジの排出が困難である。しかしスライスベース２を保持する保持部１４を噴流の下がる向きと同じく傾斜させることで、スライスベース２と複数のウエハ５を固定している上端部のスラッジを効率よく排出し、複数のウエハ５の洗浄性を向上することができる。

また、図１１に示すように、超音波装置９から発生される超音波の向きは、複数のノズル８から噴出される洗浄液６の噴流の向きと同じ方向であって、複数のノズル８は超音波装置９と複数のウエハ５の間に位置した場合においても同様の効果が得られる。

以上のように、本発明の実施の形態１における洗浄装置を用いた洗浄方法によれば、複数のウエハ５の表面に付着したスラッジを効率よく除去でき、製品ウエハの品質を向上するとともに、後工程の生産性を向上することができる。

（実施の形態２）
図１２（Ａ）に示すように、本発明の実施の形態２における洗浄装置は、スライスベース２に固定された複数のウエハ５を、洗浄する洗浄装置である。

本実施の形態に係る洗浄装置は、洗浄液６を貯留する第１の水槽７ａと、洗浄液６を貯留する第２の水槽７ｂと、スライスベース２に固定された複数のウエハ５を第１の水槽７ａから第２の水槽７ｂに搬送する搬送機構とを有する（符号Ｔ参照）。

第１の水槽７ａと第２の水槽７ｂは、それぞれ、スライスベース２を複数のウエハ５が下方になるように保持する第１の保持部１４ａ及び第２の保持部１４ｂと、複数の隣接したウエハ５の隙間に洗浄液６を噴出する複数のノズル８ａ及び複数のノズル８ｂと、複数のウエハ５に超音波処理を実施する超音波装置９ａ、超音波装置９ｂを有している。このとき、複数のノズル８ａおよび複数のノズル８ｂは水平方向であって、かつ等間隔に一列配置されている。また、複数のノズル８ａの縦方向の設置位置は、複数のウエハ５の中央よりも下側であり、複数のノズル８ｂの縦方向の設置位置は、複数のウエハ５の中央よりも上側である。

また、超音波装置９ａおよび超音波装置９ｂから発生される超音波の向きは、それぞれ複数のノズル８ａと複数のノズル８ｂから噴出される噴流の向きと、平行かつ逆方向になるように設置されており、複数のウエハ５は、それぞれ複数のノズル８ａと超音波装置９ａの間に、複数のノズル８ｂと超音波装置９ｂの間に位置するように配置されている。

なお、複数のノズル８ａおよび複数のノズル８ｂは、上下方向に２列以上あってもよい。

次に、本発明の実施の形態２における洗浄装置を用いた洗浄方法について説明する。

まず、スライスベース２に固定された複数のウエハ５を洗浄液６で満たされた第１の水槽７ａに完全に浸漬させる。

次に、複数のウエハ５に向かって、複数のノズル８ａより洗浄液６を噴出するとともに超音波装置９ａより超音波を発振する。ここで、複数のノズル８ａより噴出される洗浄液６の流量は、特に限定されないものの、例えば１．５から３．０Ｌ／分である。また、超音波装置９ａの周波数においても、特に限定されないものの、例えば、４０ｋＨｚや１００ｋＨｚである。

これにより、複数のノズル８ａより噴出された洗浄液６の噴流により、複数の隣接したウエハ５の隙間が広げられ、かつ複数のウエハ５の中央より上側には、洗浄液６の噴流があたっていないため、超音波装置９ａより発せられる超音波が減衰することなく効率よく伝達される。よって、複数のウエハ５の中央よりも上側であって、表面に付着したスラッジを効率よく除去することができる。このとき、複数のノズル８ａを水平方向に揺動することで、複数の隣接したウエハ５の隙間を満遍なく広げ、洗浄性を向上することができる。

なお、複数のノズル８ａの水平方向に揺動する速度は、複数のウエハ５を一枚ずつ確実に洗浄させるため低速であるほうが好ましく、特に限定はされないものの、例えば、０．３から３．０ｍｍ／秒である。

次に、スライスベース２に固定された複数のウエハ５を、搬送機構（符号Ｔ参照）を用いて、洗浄液６で満たされた第２の水槽７ｂに完全に浸漬させる。

次に、複数のウエハ５に向かって、複数のノズル８ｂより洗浄液６を噴出すると共に、超音波装置９ｂより超音波を発振する。ここで、複数のノズル８ｂより噴出される洗浄液６の流量は、特に限定されないものの、例えば１．５から３．０Ｌ／分であると良い。また、超音波装置９ｂの周波数においても、特に限定されないものの、例えば、４０ｋＨｚや１００ｋＨｚであると良い。

これにより、複数のノズル８ｂより噴出された洗浄液６の噴流により、複数の隣接したウエハ５の隙間が広げられ、かつ複数のウエハ５の中央より下側には、洗浄液６の噴流があたっていないため、超音波装置９ｂより発せられる超音波が減衰することなく効率よく伝達される。よって、複数のウエハ５の中央よりも下側であって、表面に付着したスラッジを効率よく除去することができる。

このとき、複数のノズル８ｂを水平方向に揺動することで、複数の隣接したウエハ５の隙間を満遍なく広げ、洗浄性を向上することができる。複数のノズル８ｂの水平方向に揺動する速度は、複数のウエハ５を一枚ずつ確実に洗浄させるため低速であるほうが好ましく、特に限定はされないものの、例えば、０．３から３．０ｍｍ／秒であることが望ましい。

以上のように、第１の水槽７ａおよび第２の水槽７ｂにおける洗浄により、複数のウエハ５の全体のスラッジを効率よく、除去することができる。

また、第１の水槽７ａと第２の水槽７ｂの二つの槽を有することで、サイクルタイムを早くすることが可能となり、生産性も向上する効果が得られる。

更に、図１２（Ｂ）に示すように、洗浄液６を貯留する第１の水槽７１と第２の水槽７２と第３の水槽７３と第４の水槽７４を有し、スライスベース２に固定された複数のウエハ５を水槽７１から水槽７２へ、水槽７２から水槽７３へ、水槽７３から水槽７４へ搬送する搬送機構を有する（符号Ｔ参照）。それぞれ第１の水槽７１は、第１の保持部１４１を、第２の水槽７２は、第２の保持部１４２を、第３の水槽７３は、第３の保持部１４３を、第４の水槽７４は、第４の保持部１４４を有する洗浄装置を示す。

第１の水槽７１と第２の水槽７２において、複数のノズル８１と複数のノズル８２は、複数のウエハ５の中央より下側で、かつ洗浄液６を噴出する向きが逆の方向であり、また超音波装置９１と超音波装置９２より超音波を発する向きは、それぞれ、複数のノズル８１および複数のノズル８２より噴出される洗浄液６の向きと平行で、かつ逆向きに設置されている。

また、第３の水槽７３と第４の水槽７４において、複数のノズル８３と複数のノズル８４は、複数のウエハ５の中央より上側で、かつ洗浄液６を噴出する向きが逆の方向であり、また超音波装置９３と超音波装置９４より超音波を発する向きは、それぞれ、複数のノズル８３および複数のノズル８４より噴出される洗浄液の向きと平行で、かつ逆向きに設置されている。

以上のように、第１の水槽７１および第２の水槽７２により、複数のウエハ５の上方であり、かつ超音波が複数のウエハ５の両側より伝達するため、より効率よくスラッジを除去できる。また第３の水槽７３および第４の水槽７４により、複数のウエハ５の下方であり、かつ超音波が複数のウエハ５の両側より伝達するため、より効率よくスラッジを除去できると共に、サイクルタイムを早くすることができ、生産性をさらに向上することができる。

更に、本発明の実施の形態２における洗浄装置の各水槽において、図９に示す吸水機構１５の設置、図１０に示す保持部１４の傾斜機構の設置により、さらに洗浄性を向上することができる。

また、図１１に示すように複数のノズル８から噴出される噴流の向きと、超音波装置９より発生される超音波の向きが平行であって、かつ同じ向きであっても同様の効果が得られる。

以上のように、本発明の実施の形態２における洗浄装置を用いた洗浄方法によれば、複数のウエハ５の表面に付着したスラッジを効率よく除去でき、製品ウエハの品質を向上するとともに、予備的洗浄工程および後工程の生産性を向上することができる。

本発明のウエハ洗浄装置およびウエハ洗浄方法によれば、ウエハの洗浄性が高く、生産性、ウエハ品質および歩留が良好である。そのため本発明のウエハ洗浄装置およびウエハ洗浄方法は、例えば太陽電池などのウエハ製造に好適に用いられる。

２ スライスベース
５ ウエハ
６ 洗浄液
７，７ａ，７ｂ，１１，７１，７２，７３，７４ 水槽
８，８ａ，８ｂ，８１，８２，８３，８４ ノズル
９，９ａ，９ｂ，９１，９２，９３，９４ 超音波装置
１４，１４ａ，１４ｂ，１４１，１４２，１４３，１４４ 保持部

Claims (10)

1. スライスベースに接着剤で接着された複数のウエハを洗浄するウエハ洗浄装置において、
   洗浄液を貯留する水槽と、
   前記スライスベース及び前記複数のウエハを前記水槽の前記洗浄液に浸漬させ、前記複数のウエハが下方になるように前記スライスベースを保持する保持部と、
   前記複数のウエハのうち隣接するウエハの隙間に前記洗浄液を噴出する複数のノズルと、
   前記複数のウエハに超音波洗浄処理を施す超音波装置と、を備え、
   前記複数のノズルは、水平、かつ等間隔に少なくとも一列配置されており、
   前記超音波装置は、超音波の向きと、前記複数のノズルから噴出される噴流の向きとが平行になるように設置されている、ウエハ洗浄装置。
2. 前記超音波装置から発生される超音波の向きは、前記複数のノズルから噴出される噴流の向きと逆方向であり、
   前記複数のウエハは、前記複数のノズルと前記超音波装置の間に配置されている、請求項１記載のウエハ洗浄装置。
3. 前記複数のノズルは、水平方向に揺動する機構を有している、請求項１または２に記載のウエハ洗浄装置。
4. 前記複数のノズルは、縦方向に揺動する機構を有している、請求項１〜３の何れか一項に記載のウエハ洗浄装置。
5. 前記複数のノズルと対向する位置に，前記複数のノズルから噴出される噴流を吸引する吸水機構を更に備え、
   前記複数のウエハは前記複数のノズルと前記吸水機構の間に位置する、請求項１〜４の何れか一項に記載のウエハ洗浄装置。
6. 前記吸水機構は、前記複数のノズルと連動して水平方向もしくは縦方向に揺動する、請求項５記載のウエハ洗浄装置。
7. 前記保持部は、前記複数のノズルから噴出される噴流の進行方向に対し、下がる方向に傾斜する機構を有する、請求項１〜６の何れか一項に記載のウエハ洗浄装置。
8. 前記超音波装置から発生される超音波の向きは、前記複数のノズルから噴出される噴流の向きと同じ方向であり、
   前記複数のノズルは、前記超音波装置と前記複数のウエハの間に位置する、請求項１記載のウエハ洗浄装置。
9. 前記水槽は少なくとも２槽有し、前記複数のノズルの高さ方向の設置位置は、前記複数のウエハの中央よりも上側、もしくは中央よりも下側を任意に選択可能であり、
   かつ前記複数のノズルの高さ方向の設置位置が、前記複数のウエハの中央よりも上側と前記複数のウエハの中央よりも下側の両方を必ず有している、請求項１記載のウエハ洗浄装置。
10. スライスベースに接着剤で接着された複数のウエハを、洗浄液を貯留する水槽に浸漬した状態で超音波を用いて洗浄するウエハ洗浄方法であって、
    前記複数のウエハの中央よりも上側で、かつ前記複数の隣接したウエハの隙間に向かって、前記洗浄液を複数のノズルより水平方向に噴出することで、前記複数の隣接したウエハの隙間を広げるとともに、
    前記複数のウエハの表面を前記複数のノズルより噴出される噴流と平行な向きの前記超音波を用いて洗浄する工程と、
    前記複数のウエハの中央よりも下側で、かつ前記複数の隣接したウエハの隙間に向かって、前記洗浄液を複数のノズルより水平方向に噴出することで、前記複数の隣接したウエハの隙間を広げるとともに、
    前記複数のウエハの表面を前記複数のノズルより噴出される噴流と平行な向きの前記超音波を用いて洗浄する工程と、
    を有する、ウエハ洗浄方法。

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