JP2015004470A

JP2015004470A - 流体加熱器及び流体加熱装置

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Publication number: JP2015004470A
Application number: JP2013129698A
Authority: JP
Inventors: 隆博木崎; Takahiro Kizaki; 諭安齋; Satoshi Anzai
Original assignee: Shinnetsu Co Ltd
Current assignee: Shinnetsu Co Ltd
Priority date: 2013-06-20
Filing date: 2013-06-20
Publication date: 2015-01-08

Abstract

【課題】高効率で製造が容易である流体加熱器等を提供する。
【解決手段】柱状に形成されたヒータ１０と、ヒータが挿入されるとともにヒータの外周面と間隔を隔てて配置された内周面を有する外筒２０と、ヒータの外周面に巻き回されるとともに被加熱流体が通流される流体加熱管路３０とを備える流体加熱器１を、流体加熱管路は、ヒータの外周面と実質的に面接触する接触面部３１ａを有する構成とする。
【選択図】図２

Description

本発明は、気体や液体等の流体を加熱する流体加熱器及びこのような流体加熱器を複数組み合わせて構成される流体加熱装置に関し、特には高効率で製造が容易であるものに関する。

流体加熱器は、気体、液体等の流体を連続的に通流させながらヒータ等の熱源で加熱するものである。
このような流体加熱器において、流体が通過する管路をスパイラル状（らせん状）に形成して管路長を長くし、加熱器内への流体の滞留時間を長くしてより高温への加熱を可能とすることが提案されている。

例えば、特許文献１には、円柱状の熱源の周囲に流体を通流可能なパイプ状の流通部を巻き付けるとともに、流通部と熱源との間の隙間に銅線等からなる熱伝導材を配置した熱交換器（流体加熱器）が記載されている。

特開２００９− ３４４３２号公報

特許文献１に記載されたように、被加熱流体が通流される加熱パイプを円柱状のヒータに巻きつければ、流体加熱器をコンパクトに形成することが可能である。
しかし、特許文献１に記載された技術においては、パイプは巻き付け時に若干楕円状に変形するものと認められるが、パイプとヒータとの間の接触状態は実質的に線接触となっており、接触面積（接触幅）が小さく実質的に線接触となっている。
特許文献１に記載された技術においては、パイプとヒータとの接触面積が少ないことを補うために隙間に銅線を巻き回して熱通過率を向上しようとしているが、ヒータと銅線、銅線どうし、銅線とパイプとの接触部についても、いずれも実質的に線接触となることから、接触面積を大幅に増大させることはできず、顕著な効率向上は期待できない。
また、このような熱伝導材をパイプとヒータとの隙間に適切に配置するためには、製造時に煩雑かつ熟練を要する作業が必要となって生産性が悪化することが懸念される。
さらに、部品点数や材料費も増大してしまう。

上述した問題に鑑み、本発明の課題は、高効率で製造が容易である流体加熱器、及び、このような流体加熱器を有する流体加熱装置を提供することである。

本発明は、以下のような解決手段により、上述した課題を解決する。
請求項１に係る発明は、柱状に形成されたヒータと、前記ヒータが挿入されるとともに前記ヒータの外周面と間隔を隔てて配置された内周面を有する外筒と、前記ヒータの外周面に巻き回されるとともに被加熱流体が通流される流体加熱管路とを備える流体加熱器であって、前記流体加熱管路は、前記ヒータの外周面と実質的に面接触する接触面部を有することを特徴とする流体加熱器である。
これによれば、流体加熱管路がヒータの外周面と実質的に面接触することによって、接触面積を大きくして効率を向上することができる。
また、流体加熱器の稼動時に各部材が熱膨張した場合であっても、外筒が流体加熱管路の外径側への変形を抑制する箍（たが）として機能することによって、流体加熱管路とヒータとの密着状態を維持して高効率を保つことができる。

請求項２に係る発明は、前記接触面部は、前記ヒータの外周面と前記外筒の内周面との間に配置された前記流体加熱管路の内部に液体を充填して液圧を負荷して前記流体加熱管路を膨張させることによって形成されることを特徴とする請求項１に記載の流体加熱器である。
請求項３に係る発明は、前記接触面部は、前記ヒータの外周面と前記外筒の内周面との間に前記流体加熱管路を配置した状態で前記外筒の外周面を内径側に圧迫して前記流体加熱管路を変形させることによって形成されることを特徴とする請求項１に記載の流体加熱器である。
これらの各発明によれば、比較的熟練度が要求されずかつ簡易な方法によって上述した効果が得られる流体加熱器を製造することができる。

請求項４に係る発明は、前記ヒータは、前記流体加熱管路の第1の領域を加熱する第1の発熱体と、前記流体加熱管路の前記第1の領域よりも下流側に設けられた第２の領域を加熱する第２の発熱体とを有し、前記ヒータの前記第1の発熱体の発熱量と前記第２の発熱体の発熱量とを独立して制御する発熱制御手段を備えることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか1項に記載の流体加熱器である。
これによれば、流体加熱管路の流体通流方向に沿って複数の発熱体を設けて独立して発熱量を制御することによって、流体加熱器の出口温度の制御性を高めることができる。

請求項５に係る発明は、前記流体加熱管路には水が供給され、前記第1の発熱体は前記水を加熱して飽和水蒸気を発生させ、前記第２の発熱体は、前記飽和水蒸気を加熱して過熱水蒸気を発生させ、前記発熱制御手段は、前記第２の発熱体の発熱量を前記第1の発熱体の発熱量とは独立して複数段階又は無段階に制御可能であることを特徴とする請求項４に記載の流体加熱器である。
これによれば、得られる過熱水蒸気の温度の制御性を高めることができる。

請求項６に係る発明は、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の流体加熱器を複数直列に接続して構成されることを特徴とする流体加熱装置である。
これによれば、複数の流体加熱装置を連結することによって、加熱能力に優れた流体加熱装置を容易に得ることができる。
また、各流体加熱器のヒータ出力を独立して制御することによって、装置出口における被加熱流体の温度の制御性を高めることができる。

請求項７に係る発明は、複数の前記流体加熱器は、水を加熱して飽和水蒸気を発生させる第１の流体加熱器と、前記第１の流体加熱器が発生した飽和水蒸気を加熱して過熱水蒸気を発生させる第２の流体加熱器とを含むことを特徴とする請求項６に記載の流体加熱装置である。
これによれば、得られる過熱水蒸気の温度の制御性を高めることができる。

請求項８に係る発明は、請求項１から請求項４までのいずれか1項に記載の流体加熱器を複数並列に接続して構成されることを特徴とする流体加熱装置である。
これによれば、被加熱流体の流量が変動した場合であっても稼動する流体加熱器の個数を切り替えることによって適切に対応することが可能となる。

以上説明したように、本発明によれば、高効率で製造が容易である流体加熱器、及び、このような流体加熱器を有する流体加熱装置を提供することができる。

本発明の第１実施形態である流体加熱器を示す部分断面側面図である。第１実施形態の流体加熱器の製造方法を示す図である。本発明の比較例と第１実施形態の流体加熱器の加熱パイプとヒータとの接触部を示す図である。本発明の第２実施形態である流体加熱器の製造方法を示す図である。本発明の第３実施形態である流体加熱器のヒータ内部構造を示す模式図である。本発明の第４実施形態である流体加熱装置の構成を示す図である。本発明の第５実施形態である流体加熱装置の構成を示す図である。

＜第１実施形態＞
以下、本発明の第１実施形態である流体加熱器について説明する。
図１は、第１実施形態の流体加熱器の部分断面側面図である。
第１実施形態の流体加熱器１は、気体、液体、気体及び液体の混合物等の流体をヒータによって加熱するものである。
流体加熱器１は、ヒータ１０、外筒２０、加熱パイプ３０等を有して構成されている。
ヒータ１０は、例えばステンレス鋼などによって円筒状に形成されたシースの内部に、例えばＭｇＯ等の絶縁粉末を封入するとともに、絶縁粉末内にスパイラル状に巻かれたニクロム線等の発熱体を埋設したヒータである。

外筒２０は、例えばステンレス鋼などの金属によって形成された円筒状の部材である。
ヒータ１０は、外筒２０の内部に、実質的に同心となるように配置されている。
ヒータ１０の外周面と外筒２０の内周面とは、所定の間隔を隔てて対向して配置されている。

加熱パイプ３０は、被加熱流体が通流される管路を構成している。
加熱パイプ３０は、例えば円形あるいは楕円形、長円形などの断面形状を有するパイプを材料として形成されている。
加熱パイプ３０は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）、銅、アルミニウム系合金などの塑性を有する金属材料によって形成されている。

加熱パイプ３０は、中間部３１、第１端部３２、第２端部３３等を有して構成されている。
中間部３１は、ヒータ１０の外周面にスパイラル状に巻き回されている。
中間部３１においては、加熱パイプ３０は、ヒータ１０の径方向に沿った平面で切って見た断面形状が後述するハイドロフォーミングによって長円状に形成されている。
中間部３１のヒータ１０との接触部には、ヒータ１０の外周面と実質的に面接触し密着する接触面部３１ａが形成されている。

第１端部３２、第２端部３３は、被加熱流体が導入される入口、及び、被加熱流体が排出される出口として機能する部分であって、中間部３１の両端部に、中間部３１と一体に形成されている。
第１端部３２、第２端部３３は、一方を入口、他方を出口として用いられる。
第１端部３２、第２端部３３には、それぞれ外部配管との接続に用いられる図示しない継ぎ手が設けられる。
第１端部３２は、外筒２０の一方の端部から、外筒２０の外径側に突き出して形成されている。
第２端部３３は、外筒２０の第１端部３２側とは反対側の端部における端面から、外筒２０の軸方向に沿って突き出して形成されている。

次に、第１実施形態の流体加熱器１の製造方法について説明する。
先ずヒータ１０の外周面に加熱パイプ３０を構成するステンレス鋼（一例としてＳＵＳ３０４）製のパイプを巻き回して中間部３１をスパイラル状に形成する。
この時点では、中間部３１は、未だヒータ１０の外周面とは隙間を隔てて対向しているか、あるいは接触していたとしても線接触である。
その後、加熱パイプ３０が巻かれた状態のヒータ１０を、外筒２０の内径側に挿入する。
図２は、第１実施形態の流体加熱器の製造方法を示す図である。
図２（ａ）は、ヒータ１０及び加熱パイプ３０を外筒２０に挿入した際の状態を示す図である。
この状態においては、加熱パイプ３０の断面形状は、ヒータ１０の軸方向と実質的に平行な長辺方向を有する長円状に形成されている。
加熱パイプ３０は、ヒータ１０の外周面、及び、外筒２０の内周面からともに離間している。

その後、加熱パイプ３０の内部に水、油などの液体を封入し、圧力を負荷する。
加熱パイプ３０は、液圧を負荷されることによって膨張、拡径し、ヒータ１０の外周面と外筒２０の内周面との間に挟持された状態となる。
この状態からさらに膨張することによって、加熱パイプ３０におけるヒータ１０との接触部には、ヒータ１０の外周面と実質的に面接触により密着する接触面部３１ａがハイドロフォーミング（液圧成型）によって形成される。
このような加熱パイプ３０の変形は、材料の塑性によって、液圧を除去した後も維持されるようになっている。
図２（ｂ）は、液圧除去後の状態を示す図である。

以下、上述した第１実施形態の効果について説明する。
図３は、本発明の比較例である流体加熱器と、第１実施形態の流体加熱器におけるヒータと加熱パイプとの接触部を示す図である。
図３において、図３（ａ）が比較例、図３（ｂ）が第1実施形態を示している。
比較例の流体加熱器は、ヒータ１０の外周面に加熱パイプ３０を巻き回して構成されている点は第１実施形態と同様であるが、液圧負荷により加熱パイプ３０がヒータ１０の外周面に面接触するように変形させていない点で相違する。
このように加熱パイプ３０をヒータ１０に巻いただけでは、加熱パイプ３０は多少扁平に変形はするものの、ヒータ１０との接触幅Ｂ１は、第１実施形態における接触幅Ｂ２に対して小さく（実質的に線接触）なる。

ここで、ヒータ１０から加熱パイプ３０内の流体への伝熱量Ｑは、以下の式１、式２から求められる。

Ｑ＝Ｋ・Ａ（θ_１−θ_２）・・・（式１）
Ｋ＝（１／α）＋（ｈ／λ）・・・（式２）

θ_１：ヒータ表面温度（℃）
θ_２：加熱パイプ内流体温度（℃）
α：加熱パイプから流体への熱伝達率（Ｗ／ｍ^２・Ｋ）
ｈ：加熱パイプ厚さ（ｍ）
λ：加熱パイプ材質の熱伝導率（Ｗ／ｍ・Ｋ）
Ａ：ヒータと加熱パイプとの接触面積（ｍ^２）
Ｋ：ヒータ表面からの加熱パイプ内流体への熱通過率（Ｗ／ｍ^２・Ｋ）

式１から明らかなように、伝熱量Ｑは、接触面積Ａに比例し、接触面積Ａは、接触幅Ｂ１（比較例）又はＢ２（第１実施形態）と、中間部３１の管路長との積となる。
加熱パイプ３０には例えばステンレス鋼（一例としてＳＵＳ３０４）、銅などの金属材料が用いられる。
これらの熱伝導率λは、ＳＵＳ３０４で約１６Ｗ／ｍ・Ｋ、銅で約４００Ｗ／ｍ・Ｋであり、２５倍程度の大きな差があるが、管路の厚さを例えばｈ＝０．５ｍｍとして熱通過率Ｋを試算すると、ＳＵＳ３０４では４９０Ｗ／ｍ^２・Ｋ、銅では５００Ｗ／ｍ^２・Ｋとなり、その差は２％程度に過ぎない。
このように、加熱パイプに金属材料を使用する場合の材質の違いによる伝熱の違いはきわめて小さい。
したがって、熱を効果的に伝えるためには、加熱パイプ３０とヒータ１０との接触面積を増加させることが最も重要である。

比較例のように単に加熱パイプをヒータに巻きつけただけでは、加熱パイプは扁平にはなるものの、ヒータとの接触幅Ｂ１はきわめて狭い（実質的に線接触）。
これに対し、第１実施形態においては、加熱パイプ３０内部に液圧を負荷してヒータ１０の外周面に面接触する形状にハイドロフォーミングすることによって、接触幅Ｂ２及び接触面積Ａを飛躍的に大きくすることができる。
これによって、比較例と第１実施形態とで伝熱量を同じとするのであれば、ヒータ温度θ_１を低くして消費電力を低下させるとともに、ヒータ１０の耐久性を向上することができる。
また、ヒータ１０の使用限界温度が一定である場合には、比較例に対して第１実施形態のほうが被加熱流体をより高温に加熱することができる。

また、第１実施形態によれば、作業者に比較的熟練を要求されない容易な手法である液圧成型によって加熱パイプ３０をヒータ１０に密着させており、加熱パイプ３０とヒータ１０との間に伝熱材などを設けるといった煩雑な工程を行うことなく加熱時の効率を向上できる。
これによって、部品点数の低減、製造工程の簡素化、生産性の向上などを図りつつ高性能な流体加熱器を得ることができる。

以上説明したように、第１実施形態によれば、高効率な流体加熱器を、比較的熟練を要しない簡易な製法によって得ることができる。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態である流体加熱器について説明する。
なお、以下説明する各実施形態において、従前の実施形態と実質的に共通する箇所については同じ符号を付して説明を省略し、主に相違点について説明する。
第２実施形態の流体加熱器は、第１実施形態において液圧を負荷したことに代えて、外筒２０を外径側から圧迫して減径することによって、加熱パイプ３０の接触面部３１ａをヒータ１０の外周面に密着させたものである。

図４は、第２実施形態の流体加熱器の製造方法を示す図である。
第２実施形態においては、外筒２０の材料として、製品時の径よりも径が大きい円筒状の部材を用いる。
図４（ａ）は、ヒータ１０及び加熱パイプ３０を外筒２０に挿入した際の状態を示す図である。
この状態においては、加熱パイプ３０の中間部３１と外筒２０の内周面とは間隔を隔てて対向して配置されている。

その後、外筒２０を、スウェージング、型プレス等によって外径側から圧迫して減径し、製品時の外径とする。
このとき、中間部３１はヒータ１０の外周面と外筒２０の内周面との間で挟まれて変形し、第１実施形態と実質的に同様の接触面部３１ａが形成される。
以上説明した第２実施形態においても、上述した第１実施形態の効果と実質的に同様の効果を得ることができる。

＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態である流体加熱器について説明する。
第３実施形態の流体加熱器１は、ヒータ１０の内部に複数の発熱体を有することを特徴とする。
図５は、第３実施形態の流体加熱器のヒータ内部構造を示す模式図である。
ヒータ１０は、円筒状のシース１１の内部に、絶縁粉末１２を充填し、絶縁粉末１２の内部に、発熱体１３、１４を埋設して構成されている。
発熱体１３、１４は、それぞれスパイラル状に巻き回されたニクロム線を有する独立した回路として構成され、その両端部は、シース１１の一方の端部から引き出されて、図示しない電源に接続されている。
電源は、発熱体１３、１４のオンオフ及び供給電力を個別に制御して、これらの発熱量を独立して調節可能な発熱制御手段となっている。
電源は、発熱体１３、１４の発熱量を、複数段階又は無段階に調節可能となっている。
発熱体１３、１４の主発熱部（スパイラル状の部分）は、シース１１の軸方向に配列され、シース１１の反電源側の端部、電源側の端部にそれぞれ隣接して配置されている。

以上説明したヒータ１０を用いることにより、流体加熱器１は、加熱パイプ３０の中間部３１に与えられる熱量を、被加熱流体の上流側、下流側で独立して調節することが可能となっている。
このような特徴は、例えば、流体加熱器１を過熱水蒸気発生装置として用いる場合の出口温度の制御性を高めるのに有用である。
水を加熱して過熱水蒸気を生成する場合、液体（水）の加熱（常温〜沸点）、蒸発潜熱、気体（飽和水蒸気、過熱水蒸気）の加熱（沸点〜出口温度）の３種類のエネルギが必要となる。

これら３種類のエネルギの中では、過熱水蒸気を加熱するエネルギが他の２つに対して相対的に小さい。
水の比熱は１ｋｃａｌ／ｋｇ・Ｋであり、蒸発潜熱は５３９ｋｃａｌ／ｋｇであり、過熱水蒸気の比熱は０．４８ｋｃａｌである。
２０℃の水から４００℃の過熱水蒸気を１ｋｇ発生させる場合、飽和水蒸気とするまでのエネルギは６１９ｋｃａｌであり、この飽和水蒸気をさらに加熱して４００℃の過熱水蒸気を作るエネルギは１４４ｋｃａｌとなり、全体のエネルギ中、約２３％ほどでしかない。

このため、単一の発熱体しか持たないヒータ１０を用いた場合、全出力のうちわずか２０％程度の部分を使って温度の制御を行うことになり、制御が困難である。
この点、第３実施形態の流体加熱器１においては、被加熱流体の上流側に設けられる発熱体１３によって水を飽和水蒸気とし、下流側に設けられる発熱体１４によって飽和水蒸気から過熱水蒸気への加熱を行うことによって、発熱体１４の出力調整による過熱水蒸気の温度制御性を良好にすることができる。
以上説明した第３実施形態によれば、複数の発熱体の出力を個別に調節可能とすることによって、被加熱流体の出口温度を精度よく制御することが可能となる。

＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態である流体加熱装置について説明する。
第４実施形態の流体加熱装置１００は、複数（例えば２個）の流体加熱器１（１Ａ、１Ｂ）を、直列に接続して構成されている。
流体加熱器１Ａ、１Ｂは、例えば、上述した第１乃至第３実施形態の流体加熱器１と実質的に同様の構成を備えている。
流体加熱器１Ａ、１Ｂのヒータは、図示しない制御装置によって、独立してオンオフ及び出力の調節が可能となっている。

第４実施形態の流体加熱装置１００においては、被加熱流体は先ず上流側の流体加熱器１Ａに導入されて加熱され、排出された後、下流側の流体加熱器１Ｂに導入されて再度加熱される。
以上説明した第４実施形態によれば、上流側、下流側の流体加熱器のヒータを独立して制御することによって、出口温度の制御性を高めることができる。
例えば、上流側の流体加熱器１Ａによって水を飽和水蒸気とし、下流側の流体加熱器１Ｂによって過熱水蒸気の温度調節を行うことによって、出口における過熱水蒸気の温度の制御性を高めることができる。

＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態である流体加熱装置について説明する。
第５実施形態の流体加熱装置２００は、複数（例えば２個）の流体加熱器１（１Ｃ、１Ｄ）を、並列に接続して構成されている。
流体加熱器１Ｃ、１Ｄは、例えば、上述した第１乃至第３実施形態の流体加熱器１と実質的に同様の構成を備えている。
流体加熱器１Ｃ、１Ｄのヒータは、図示しない制御装置によって、独立してオンオフ及び出力の調節が可能となっている。

第５実施形態の流体加熱装置２００においては、被加熱流体は分岐管２０１によって流体加熱器１Ｃ、１Ｄそれぞれに導入され、各流体加熱器１Ｃ、１Ｄによって加熱された後、集合管２０２によって集合した後に排出される。
また、分岐管２０１、集合管２０２のいずれか一方には、流体加熱器１Ｃ、１Ｄを通過する被加熱流体の流量を調節し、さらに一方の流体加熱器を遮断可能な図示しない制御弁が設けられる。
以上説明した第５実施形態によれば、被加熱流体の流量が変化した場合であっても、加熱に利用される流体加熱器の個数を切り替えることによって、出口温度を適切に制御することができる。

（変形例）
本発明は、以上説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の技術的範囲内である。
例えば、流体加熱器を構成する各部材の形状、構造、材質、製法等は上述した実施形態に限定されず、適宜変更することが可能である。
また、被加熱流体も特に限定されず、気体、液体、気液混合体などあらゆる流体の加熱に用いることができる。
また、第４、第５実施形態のように複数の流体加熱器を連結した流体加熱装置において、連結される流体加熱器の個数は特に限定されない。
また、第４、第５実施形態のような直列式、並列式の流体加熱装置を、さらに直列、並列に連結してもよい。

１（１Ａ〜１Ｄ）流体加熱器１０ヒータ
１１シース１２絶縁粉末
１３，１４発熱体２０外筒
３０加熱パイプ３１中間部
３１ａ接触面部３２第１端部
３３第２端部１００流体加熱装置
２００流体加熱装置２０１分岐管
２０２集合管

Claims

柱状に形成されたヒータと、
前記ヒータが挿入されるとともに前記ヒータの外周面と間隔を隔てて配置された内周面を有する外筒と、
前記ヒータの外周面に巻き回されるとともに被加熱流体が通流される流体加熱管路と
を備える流体加熱器であって、
前記流体加熱管路は、前記ヒータの外周面と実質的に面接触する接触面部を有すること
を特徴とする流体加熱器。
前記接触面部は、前記ヒータの外周面と前記外筒の内周面との間に配置された前記流体加熱管路の内部に液体を充填して液圧を負荷して前記流体加熱管路を膨張させることによって形成されること
を特徴とする請求項１に記載の流体加熱器。
前記接触面部は、前記ヒータの外周面と前記外筒の内周面との間に前記流体加熱管路を配置した状態で前記外筒の外周面を内径側に圧迫して前記流体加熱管路を変形させることによって形成されること
を特徴とする請求項１に記載の流体加熱器。
前記ヒータは、前記流体加熱管路の第1の領域を加熱する第1の発熱体と、前記流体加熱管路の前記第1の領域よりも下流側に設けられた第２の領域を加熱する第２の発熱体とを有し、
前記ヒータの前記第1の発熱体の発熱量と前記第２の発熱体の発熱量とを独立して制御する発熱制御手段を備えること
を特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか1項に記載の流体加熱器。
前記流体加熱管路には水が供給され、
前記第1の発熱体は前記水を加熱して飽和水蒸気を発生させ、
前記第２の発熱体は、前記飽和水蒸気を加熱して過熱水蒸気を発生させ、
前記発熱制御手段は、前記第２の発熱体の発熱量を前記第1の発熱体の発熱量とは独立して複数段階又は無段階に制御可能であること
を特徴とする請求項４に記載の流体加熱器。
請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の流体加熱器を複数直列に接続して構成されること
を特徴とする流体加熱装置。
複数の前記流体加熱器は、水を加熱して飽和水蒸気を発生させる第１の流体加熱器と、前記第１の流体加熱器が発生した飽和水蒸気を加熱して過熱水蒸気を発生させる第２の流体加熱器とを含むこと
を特徴とする請求項６に記載の流体加熱装置。
請求項１から請求項４までのいずれか1項に記載の流体加熱器を複数並列に接続して構成されること
を特徴とする流体加熱装置。