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JP2015060940A - セラミック電子部品 - Google Patents

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JP2015060940A
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洋右 寺下
Yosuke Terashita
洋右 寺下
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

【課題】優れた撓み耐性を有し、かつ、ESRの低いセラミック電子部品を提供する。【解決手段】外部電極20,22は、熱硬化性樹脂および導電性フィラーを含む樹脂電極層20a,22aと、樹脂電極層20a,22a上に形成されたCuめっき層20b,22bと、Cuめっき層20b,22b上に形成されたNiめっき層20c,22cと、Niめっき層20c,22c上に形成されたSnめっき層20d,22dと、で構成されている。導電性フィラーは、Ag粉、もしくは、Agで表面コーティングされた金属粉からなる。外部電極20,22は、導電性金属およびガラス成分を含有する下地電極層30,32を介在して、セラミック素体10の両端部に形成されている。【選択図】図2

Description

本発明は、積層セラミックコンデンサ、積層セラミックインダクタ、セラミックIC、セラミック圧電部品などのセラミック電子部品に関する。
近年、積層セラミックコンデンサに代表されるセラミック電子部品は、従来と比較してより過酷な環境下で使用されるようになってきている。
例えば、携帯電話、携帯音楽プレーヤーなどのモバイル機器に用いられるセラミック電子部品は、落下時の衝撃に耐えることが求められている。具体的には、落下衝撃を受けても、実装基板から脱落しないセラミック電子部品、または、クラックが生じないセラミック電子部品が求められている。
また、ECU(エンジンコントロールユニット)などの車載機器に用いられるセラミック電子部品は、熱サイクルの衝撃に耐えることが求められている。具体的には、熱サイクルによって実装基板が熱膨張および熱収縮することにより発生する撓み応力を受けても、クラックが生じないセラミック電子部品が求められている。
そこで、これらの要求を満たすために、特許文献1に記載の積層セラミックコンデンサが提案されている。この積層セラミックコンデンサは、Ag含有電極層とNiめっき層との間に導電性の熱硬化性樹脂層を形成した外部電極を備えている。熱硬化性樹脂層は、過酷な環境下でも、積層セラミックコンデンサ本体にクラックが発生しないように緩衝材として機能して、積層セラミックコンデンサの撓み耐性を向上させる。
特開平11−162771号公報
しかしながら、特許文献1の積層セラミックコンデンサは、Ag含有電極層とNiめっき層との間に熱硬化性樹脂層を形成しているため、熱硬化性樹脂層が導電性の層であったとしても、熱硬化性樹脂層とNiめっき層との間の接触抵抗が高くなり、ESR(等価直列抵抗)が高くなるという不具合があった。
それゆえに、本発明の目的は、優れた撓み耐性を有し、かつ、ESRの低いセラミック電子部品を提供することである。
本発明は、複数のセラミック層と複数の内部電極とが交互に積層されてなるセラミック素体と、セラミック素体の外表面に形成され、内部電極と電気的に接続されている外部電極と、を備えたセラミック電子部品であって、外部電極は、熱硬化性樹脂および導電性フィラーを含む樹脂電極層と、樹脂電極層上に形成されたCuめっき層と、Cuめっき層上に形成されたNiめっき層と、Niめっき層上に形成されたSnめっき層と、で構成され、導電性フィラーは、Ag粉、もしくは、Agで表面コーティングされた金属粉からなること、を特徴とする、セラミック電子部品である。ここで、前記金属粉はCu粉であることが好ましい。
本発明では、樹脂電極層とNiめっき層との間に、Cuめっき層が形成されている。Cuめっき層は、樹脂電極層中のAg粉やAgで表面コーティングされた金属粉との相性が良く、Cuめっき層と樹脂電極層との間の接触抵抗が低くなる。さらに、Cuめっき層はNiめっき層を構成するNiとも相性が良く、Cuめっき層とNiめっき層との間の接触抵抗も低くなる。従って、ESRの低減が達成される。
さらに、樹脂電極層中の熱硬化性樹脂が、過酷な環境下でも、セラミック電子部品にクラックが発生しないように緩衝材として機能するため、セラミック電子部品の撓み耐性が向上する。
また、本発明にかかるセラミック電子部品は、外部電極が、導電性金属およびガラス成分を含有する下地電極層を介在して、セラミック素体の外表面に形成されていることが好ましい。
下地電極層が、内部電極と外部電極との接合強度をより一層堅固にする。さらに、下地電極層は、内部電極とセラミック層との界面に水分が侵入することを防止する。
本発明によれば、優れた撓み耐性を有し、かつ、ESRの低いセラミック電子部品を得ることができる。
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための形態の説明から一層明らかとなろう。
本発明に係るセラミック電子部品の第1の実施の形態を示す外観斜視図である。 図1のA−A垂直断面図である。 本発明に係るセラミック電子部品の第2の実施の形態を示す垂直断面図である。
本発明に係るセラミック電子部品の実施の形態を、積層セラミックコンデンサを例にして説明する。
1.第1の実施の形態
図1は、第1の実施の形態の積層セラミックコンデンサ1を示す外観斜視図であり、図2はその垂直断面図である。積層セラミックコンデンサ1は、セラミック素体10と、セラミック素体10の左右の端部に形成された外部電極20,22と、セラミック素体10の左右の端部と外部電極20,22との間に形成されている下地電極層30,32と、を備えている。
(1)セラミック素体
セラミック素体10は、複数の内層用セラミック層11と、複数の内層用セラミック層11同士の界面に配設された複数の内部電極12,13と、複数の内層用セラミック層11を挟むように上下に配設された外層用セラミック層15a,15bとで構成されている。すなわち、セラミック素体10は、セラミック層11,15a,15bと内部電極12,13とが交互に積層された直方体形状の積層体構造を有している。セラミック素体10のコーナー部および稜部は、丸みが形成されていることが好ましい。
内層用セラミック層11は、例えば、BaTiO3、CaTiO3、SrTiO3、CaZrO3などの主成分からなる誘電体セラミック材料からなる。また、これらの主成分にMn化合物、Fe化合物、Cr化合物、Co化合物、Ni化合物などの副成分を添加した誘電体セラミック材料を用いてもよい。内層用セラミック層11の厚みは、0.5〜10μmであることが好ましい。
上下に配設された外層用セラミック層15a,15bも、それぞれ、内層用セラミック層11と同じ誘電体セラミック材料が用いられている。なお、外層用セラミック層15a,15bは、内層用セラミック層11と異なる誘電体セラミック材料で構成されていてもよい。
内部電極12と内部電極13とは、厚み方向において、内層用セラミック層11を介して対向している。この内部電極12と内部電極13とが、内層用セラミック層11を介して対向している部分に静電容量が形成されている。
内部電極12の左側端部は、セラミック素体10の左側の端面に引き出されて外部電極20に電気的に接続されている。内部電極13の右側端部は、セラミック素体10の右側の端面に引き出されて外部電極22に電気的に接続されている。
内部電極12,13は、例えば、Ni、Cu、Ag、Pd、Ag−Pd合金、Auなどからなる。内部電極12,13の厚みは0.3〜2.0μmであることが好ましい。
(2)外部電極
外部電極20,22は、それぞれ、樹脂電極層20a,22aと、樹脂電極層20a,22a上に形成されたCuめっき層20b,22bと、Cuめっき層20b,22b上に形成されたNiめっき層20c,22cと、Niめっき層20c,22c上に形成されたSnめっき層20d,22dと、で構成されている。
(a)樹脂電極層
樹脂電極層20a,22aは、それぞれ、セラミック素体10の左右の端面に形成され、表裏面に回り込んでいる。なお、樹脂電極層20a,22aは、セラミック素体10の左右の端面上にのみ形成されていてもよい。樹脂電極層20a,22aの厚みは、20〜150μmであることが好ましい。樹脂電極層20a,22aは、熱硬化性樹脂および導電性フィラーを含む材料からなる。
熱硬化性樹脂は、主に樹脂電極層20a,22aの弾性を高める。熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂などが用いられる。
導電性フィラーは、主に樹脂電極層20a,22aの通電性を担う。具体的には、隣接する導電性フィラー相互が接触することによって、樹脂電極層20a,22aの内部に通電経路が形成される。導電性フィラーは、Ag粉、もしくは、Agで表面コーティングされた金属粉からなる。導電性フィラーがAg粉の場合は、比抵抗が低く酸化しない樹脂電極層20a,22aとなる。導電性フィラーが、Agで表面コーティングされた金属粉の場合は、上記のAg粉と同様の特性を保ちながら、母材の金属粉を安価なものにすることによって安価な樹脂電極層20a,22aとなる。金属粉はCu粉であることが好ましい。
硬化後の樹脂電極層20a,22aの導電性フィラーの含有量は、35体積%〜55体積%であることが好ましい。導電性フィラーの形状は、球状や楕円体状などであり、特に限定されない。導電性フィラーの平均粒径は、例えば1.0μm〜10μm程度であり、特に限定されない。
(b)Cuめっき層/Niめっき層/Snめっき層
Cuめっき層20b,22bは、それぞれ、樹脂電極層20a,22aの上に覆うように形成されている。Cuめっき層20b,22bの上には、それぞれ、Niめっき層20c,22cが形成されている。Niめっき層20c,22cの上には、それぞれ、Snめっき層20d,22dが形成されている。各めっき層の一層あたりの厚みは、1〜10μmであることが好ましい。
Niめっき層20c,22cは、はんだバリア層として機能する。Snめっき層20d,22dは、積層セラミックコンデンサ1を実装基板にはんだ付け実装するときのはんだ濡れ性を向上させる。
外部電極20,22は、それぞれ、下地電極層30,32を介在して、セラミック素体10の両端部に形成されている。
(3)下地電極層
下地電極層30,32は、それぞれ、セラミック素体10の内部電極12,13が露出している端面を覆うように形成されている。樹脂電極層20a,22aは、それぞれ、下地電極層30,32を覆うように形成されている。
下地電極層30,32は、導電性金属およびガラス成分を含有している。導電性金属としては、例えば、Cu、Ni、Ag、Pd、Ag−Pd合金、Auなどが用いられる。ガラス成分としては、B、Si、Ba、Mg、Al、Liなどを含むガラスが用いられる。下地電極層30,32は、内部電極12,13と合金化し、内部電極12,13との電気的接続性を確保する。従って、下地電極層30,32は、内部電極12,13と外部電極20,22との接合を確保することができる。下地電極層30,32の厚み(最も厚い部分の厚み)は、10〜50μmと比較的厚いことが好ましい。
以上の構成からなる積層セラミックコンデンサ1は、樹脂電極層20a,22aとNiめっき層20c,22cとの間に、Cuめっき層20b,22bが形成されている。Cuめっき層20b,22bは、樹脂電極層20a,22a中のAg粉やAgで表面コーティングされた金属粉との相性が良く、Cuめっき層20b,22bと樹脂電極層20a,22aとの間の接触抵抗を低くすることができる。さらに、Cuめっき層20b,22bはNiめっき層20c,22cを構成するNiとも相性が良く、Cuめっき層20b,22bとNiめっき層20c,22cとの間の接触抵抗を低くすることができる。この結果、外部電極20,22のトータルの導電性を向上させることができ、ESRを低くすることができる。
さらに、樹脂電極層20a,22a中の熱硬化性樹脂が、過酷な環境下でも、積層セラミックコンデンサ1本体にクラックが発生しないように緩衝材として機能するため、積層セラミックコンデンサ1の撓み耐性を向上させることができる。樹脂電極層20a,22aは、樹脂を含むため柔軟であり、外部から応力が加わった場合にその衝撃を吸収しやすく、セラミック素体10や実装用はんだに生じるクラックを防止することができる。
また、下地電極層30,32が、内部電極12,13と外部電極20,22との接合強度をより一層堅固にする。さらに、下地電極層30,32が内部電極12,13を覆うことにより、内部電極12,13とセラミック層11との界面に水分が侵入することを防止し、耐湿信頼性を確保することができる。これは、下地電極層30,32に含まれるガラス成分が溶融して、内部電極12,13の露出部を封止することができるからである。
(4)積層セラミックコンデンサの製造方法
次に、積層セラミックコンデンサ1の製造方法を説明する。
先ず、内層用および外層用セラミックグリーンシートと内部電極用導電ペーストとが作製される。セラミックグリーンシートや内部電極用導電ペーストには、周知の有機バインダや有機溶剤が用いられる。
次に、内層用セラミックグリーンシート上に、内部電極用導電ペーストが、例えばスクリーン印刷などによって塗布され、所定のパターンの内部電極12,13が形成される。その後、外層用セラミックグリーンシートが、所定枚数積層される。その上に、内部電極12,13が形成された内層用セラミックグリーンシートが、順次積層される。その上に、外層用セラミックグリーンシートが、所定枚数積層される。こうして、マザーセラミック素体が作製される。
次に、マザーセラミック素体が、静水圧プレスなどの手段によって、積層方向にプレスされる。その後、マザーセラミック素体は、所定の製品サイズにカットされ、未焼成のセラミック素体10が切り出される。セラミック素体10は、バレル研磨などによって、コーナー部や稜部に丸みが形成される。
次に、未焼成のセラミック素体10は焼成される。焼成温度は、900〜1300℃であることが好ましい。こうして、内層用セラミックグリーンシートは内層用セラミック層11とされ、外層用セラミックグリーンシートは外層用セラミック層15a,15bとされる。
次に、焼成後のセラミック素体10の両端面に、導電性金属とガラス成分を含む導電性ペーストが塗布、焼き付けられ、下地電極層30,32が形成される。焼き付け温度は、700〜900℃であることが好ましい。なお、下地電極層30,32は、内部電極12,13と同時焼成するコファイアでもよく、外部電極用導電性ペーストと同時焼き付けするポストファイアでもよい。また、下地電極層30,32は、めっきにより形成されてもよく、熱硬化性樹脂を含む導電性樹脂を硬化させることにより形成されてもよい。
次に、樹脂電極層用ペーストが、下地電極層30,32を覆うように塗布された後、N2雰囲気の中で150〜300℃以上の温度で熱処理が行われ、樹脂電極層用ペーストが熱硬化される。樹脂の飛散を防ぎ、かつ、各種金属成分の酸化を防ぐため、熱処理雰囲気の酸素濃度は100ppm以下に抑えることが好ましい。こうして、樹脂電極層用ペーストは樹脂電極層20a,22aとされる。
次に、Cuめっき層20b,22b、Niめっき層20c,22c、Snめっき層20d,22dが、この順で、樹脂電極層20a,22a上に形成される。こうして、積層セラミックコンデンサ1が作成される。
2.第2の実施の形態
図3は、第2の実施の形態の積層セラミックコンデンサ1Aを示す垂直断面図である。積層セラミックコンデンサ1Aは、セラミック素体10と、セラミック素体10の左右の端部に形成された外部電極20,22と、を備えている。すなわち、積層セラミックコンデンサ1Aは、セラミック素体10の左右の端部と外部電極20,22との間に、下地電極層30,32が形成されていない。
下地電極層30,32を形成しない場合、樹脂電極層20a,22aは、熱硬化性樹脂と、Ag粉もしくはAgで表面コーティングされた金属粉の第1の導電性フィラーと、Sn、In、Biなどの比較的融点の低い金属粉の第2の導電性フィラーと、を含む材料からなることが好ましい。特に、第2の導電性フィラーは、Snであることが好ましい。この第2の導電性フィラーは、樹脂電極層20a,22aと内部電極12,13との接合強度を向上させることができる。
1.実施例および比較例
実施例の試料(積層セラミックコンデンサ1)と比較例の試料(積層セラミックコンデンサ1においてCuめっき層20b,22b無しのコンデンサ)とが、下記の仕様で作製され、ESR(等価直列抵抗)の測定が行われた。比較例の試料は、Cuめっき層20b,22bを形成しないこと以外は、実施例の試料と同じ条件とした。試料数はそれぞれ20個とした。
(仕様)
(1)設計値サイズ(L×W×T):3.3mm×2.6mm×2.6mm
(2)静電容量:4.7μF
(3)定格電圧:50V
(4)セラミック層11,15a,15bの材料:BaTi23
(5)下地電極層30,32の材料:Cu
下地電極層30,32の厚み:125μm(端面中央部における設計値)
(6)外部電極20,22の構造
(a)樹脂電極層20a,22aの導電性フィラー:Ag
樹脂電極層20a,22aの熱硬化性樹脂:エポキシ系熱硬化性樹脂
樹脂電極層20a,22aの熱硬化温度:200〜250℃
樹脂電極層20a,22aの厚み:110μm(端面中央部における設計値)
(b)Cuめっき層20b,22bの厚み:2μm(端面中央部における設計値)
(c)Niめっき層20c,22cの厚み:2.5μm(端面中央部における設計値)
(d)Snめっき層20d,22dの厚み:3.5μm(端面中央部における設計値)
(7)未焼成のセラミック素体10の焼成温度:1200℃(2時間)
2.実施例および比較例の評価方法および評価結果
ESR(等価直列抵抗)は、プレシジョンLCRメーター(Agilent社製:E4980A)を用いて、測定周波数1MHz、測定電圧500mVの条件で測定された。
表1は、積層セラミックコンデンサのESRの測定結果を示す。
Figure 2015060940
表1より、実施例の積層セラミックコンデンサ1(樹脂電極層20a,22aとNiめっき層20c,22cとの間にCuめっき層20b,22bが形成されている積層セラミックコンデンサ1)は、比較例の積層セラミックコンデンサ(Cuめっき層20b,22bが無く、樹脂電極層20a,22a上にNiめっき層20c,22cが直接に形成されている積層セラミックコンデンサ)よりもESR値が小さくなることが認められた。
なお、この発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々に変形される。
セラミック電子部品は、セラミックコンデンサの他に、セラミックインダクタ、セラミックIC、セラミック圧電部品などであってもよい。積層セラミックコンデンサの場合は、セラミック層の材料として、フェライトなどの磁性体セラミック材料が用いられる。セラミックICの場合は、セラミック層の材料として、スピネル系セラミックなどの半導体セラミック材料が用いられる。セラミック圧電部品の場合は、セラミック層の材料として、PZT系セラミックなどの圧電体セラミック材料が用いられる。
1,1A 積層セラミックコンデンサ
10 セラミック素体
11 内層用セラミック層
12,13 内部電極
15a,15b 外層用セラミック層
20,22 外部電極
20a,22a 樹脂電極層
20b,22b Cuめっき層
20c,22c Niめっき層
20d,20d Snめっき層
30,32 下地電極層

Claims (3)

  1. 複数のセラミック層と複数の内部電極とが交互に積層されてなるセラミック素体と、
    前記セラミック素体の外表面に形成され、前記内部電極と電気的に接続されている外部電極と、を備えたセラミック電子部品であって、
    前記外部電極は、熱硬化性樹脂および導電性フィラーを含む樹脂電極層と、前記樹脂電極層上に形成されたCuめっき層と、前記Cuめっき層上に形成されたNiめっき層と、前記Niめっき層上に形成されたSnめっき層と、で構成され、
    前記導電性フィラーは、Ag粉、もしくは、Agで表面コーティングされた金属粉からなること、
    を特徴とする、セラミック電子部品。
  2. 前記金属粉はCu粉であること、を特徴とする、請求項1に記載のセラミック電子部品。
  3. 前記外部電極は、導電性金属およびガラス成分を含有する下地電極層を介在して、前記セラミック素体の外表面に形成されていること、を特徴とする、請求項1または請求項2に記載のセラミック電子部品。
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