JP2014188461A - ケースの洗浄方法およびケースの洗浄装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ケースを十分に洗浄することができる洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄方法は、洗浄対象となるケース５０の内部にパーティクルカウンタ２０を収容した状態で当該ケースを振動装置３０の振動可能な振動台３１上に配置する工程と、振動装置によってケースとともに振動台を振動させる工程と、を含む。パーティクルカウンタは、吸気口２１および吸気口と連通する排気口２２を含み、吸気口から排気口に向かう所定体積の流体中に含まれるパーティクルの数を測定するように構成され、且つ、測定後のパーティクルを回収するフィルタ部材２５を有する。ケースを振動させる工程は、パーティクルカウンタで測定される吸気口から排気口に向かう所定体積の流体中に含まれるパーティクル数が、予め設定された値以下または未満になると終了する。
【選択図】図１

Description

本発明は、ケースの洗浄方法および洗浄装置に係り、とりわけ、電子デバイス及びその製造に用いられる部品等に代表される精密部品を収容対象物として収容するケースを十分に洗浄することができる洗浄方法および洗浄装置に関する。

半導体装置等の電子デバイスや、電子デバイスを製造する際に用いられるフォトマスク等の部品は、一般的に、超精密部品としてクリーンルーム内にて製造されていく。ただし、クリーンルーム内には精密部品を製造するための装置が配置され且つ装置の操作者等もクリーンルーム内へ入退室する。このようにクリーンルーム内に発塵源が存在するため、クリーンルーム内で精密部品を取り扱うからといって、精密部品への異物の付着を防止することは不可能である。

このため、精密部品への異物の付着を抑制することを目的として、種々の方法が検討されている。例えば特許文献１には、精密部品にいったん付着した異物を除去する方法が提案されている。また別の対策として、これらの精密部品が、クリーンルーム内で装置間を搬送される際に、当該精密部品を専用の密封ケース内に収容することも行われている。精密部品の収容に用いられる密封ケースは、使用前に水洗または湯洗される。

特開２００７−８２４号公報

ところが、種々の取り組みにもかかわらず、パーティクルとも呼ばれる微細粒子からなる異物の精密部品への付着を効果的に防止することはできていない。本件発明者らは、鋭意研究を重ねた結果として、精密部品へパーティクルが付着してしまう原因として、精密部品を収納するケースが十分に洗浄されていないことを、一要因として挙げ得ることを見出した。従来、ケースは収容対象物を収容する前に水洗または湯洗されていたが、洗浄後のケースの清浄度合いは十分正確に評価されていなかった。そして、本件発明者らは、十分に洗浄されていないケース内へ収容されて収容対象物が取り扱われる、例えば搬送される際に、ケース内に残留したパーティクルが当該ケースから脱落して収容対象物に付着していたことを知見した。

本発明はこのような知見に基づくものであり、ケースを十分に洗浄することができる洗浄方法および洗浄装置を提供することを目的とする。

本発明によるケースの洗浄方法は、
洗浄対象となるケースの内部にパーティクルカウンタを収容した状態で当該ケースを振動装置の振動可能な振動台上に配置する工程と、
前記振動装置によって前記ケースとともに前記振動台を振動させる工程と、を備え、
前記パーティクルカウンタは、吸気口および前記吸気口と連通する排気口を含み、前記吸気口から前記排気口に向かう流体中に含まれるパーティクルの数を測定するように構成され、且つ、測定後のパーティクルを回収するフィルタ部材を有し、
前記ケースを振動させる工程は、前記パーティクルカウンタで測定される前記吸気口から前記排気口に向かう所定体積の流体中のパーティクル数が、予め設定された値以下または未満になると終了する。

本発明によるケースの洗浄方法において、
前記ケースは、ケース本体と、前記ケース本体を覆うケース蓋体と、を有し、
前記ケース蓋体は、天板部と、前記天板部から延び出す延出部であって、前記ケース本体内に配置された収容対象物に当接して前記ケース本体に向けて前記収容対象物を押圧する延出部と、を有するようにしてもよい。

本発明によるケースの洗浄方法において、
パーティクル数の測定値が、前記パーティクルカウンタから制御装置へ無線にて送信され、
前記制御装置が、前記パーティクルカウンタから送信される測定値に基づき、前記振動装置による振動を停止させるようにしてもよい。

本発明によるケースの洗浄装置は、
洗浄対象となるケースを保持する振動可能な振動台を、有した振動装置と、
前記振動台に保持された前記ケースの内部に収容されるパーティクルカウンタと、を備え、
前記パーティクルカウンタは、吸気口および前記吸気口と連通する排気口を含み、前記吸気口から前記排気口に向かう流体中に含まれるパーティクルの数を測定するように構成され、且つ、測定後のパーティクルを回収するフィルタ部材を有し、
前記パーティクルカウンタは、前記ケースが振動台に保持されて前記振動台とともに振動している状態にて、前記吸気口から前記排気口に向かう所定体積の流体中に含まれるパーティクル数を測定するとともに前記フィルタ部材によってパーティクルを回収し、
前記振動装置は、前記ケースの内部に収容された前記パーティクルカウンタによる前記所定体積の流体中に含まれるパーティクル数が予め設定された値以下または未満となると、前記ケースを保持した前記振動台の振動を停止させる。

本発明によるケースの洗浄装置において、
前記ケースは、ケース本体と、前記ケース本体を覆うケース蓋体と、を有し、
前記ケース蓋体は、天板部と、前記天板部から延び出す延出部であって、前記ケース本体内に配置された収容対象物に当接して前記ケース本体に向けて押圧する延出部と、を有するようにしてもよい。

本発明によるケースの洗浄装置が、
前記振動装置による前記振動台の振動を制御する制御装置を、さらに備え、
前記パーティクルカウンタは、パーティクル数の測定値を無線にて前記制御装置に送信し、
前記制御装置が、前記パーティクルカウンタから送信される測定値に基づき、前記振動台の振動を停止させるようにしてもよい。

本発明によれば、ケースの清浄度合いを定量的に正確に評価しながらケースを洗浄することができる。これにより、ケースを十分に洗浄して、ケース内に収容された収容対象物にパーティクルが付着してしまうことを効果的に抑制することができる。

図１は、本発明の一実施形態を説明するための図であって、ケースの洗浄方法および洗浄装置を示す模式図である。 図２は、パーティクルカウンタによる測定値の一例を示す図である。

以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。

図１は、本発明による一実施の形態を説明するための図であり、ケースの洗浄方法および洗浄装置を模式的に示す図である。図１に示すように、洗浄装置１０は、洗浄対象となるケース５０が配置される振動装置３０と、ケース５０内に配置されるようになるパーティクルカウンタ２０と、を有している。パーティクルカウンタ２０は、ケース５０内の雰囲気を吸引して当該雰囲気中のパーティクルの数量を測定する装置であるとともに、後述するように吸引した雰囲気中に浮遊するパーティクルを除去する異物除去装置としても機能する。この洗浄装置１０では、詳しくは後述するように、振動装置３０によるケース５０の振動が、パーティクルカウンタ２０での測定値に基づいて制御される。この結果、ケース５０を予め設定した清浄度に洗浄することが可能となる。

以下、洗浄対象となるケース５０、ケースの洗浄装置１０およびケース５０の洗浄方法について、順に、説明していく。

洗浄対象となるケース５０は、例えば、クリーンルーム内で取り扱われるような収容対象物、すなわち、パーティクルと呼ばれる微細粒子からなる異物の付着を嫌う収容対象物を収容することを意図されている。そして、ケース５０は、典型的な用途として、精密部品の製造時に、例えばその主たる原材料の段階から精密部品の完成に至るまでの間に、当該精密部品を搬送する際の保護ケースとして用いられる。すなわち、クリーンルーム内に配置された一つの装置から他の装置へ精密部品を搬送する際に、当該精密部品へのパーティクルの付着を抑制するための保護ケースとして、ケース５０が用いられる。また、ケース５０は、特定の収容対象物に対する専用のケースとして用意され、収容対象物をその内部に収容した状態でクリーンルーム内の各装置へ投入されるようにしてもよい。このようなケース５０への収容対象物として、半導体装置等の電子デバイスや、電子デバイスを製造する際に用いられるフォトマスク等の部品が、例示される。

図１に示すように、ケース５０は、収容対象物を下方から支持するようになるケース本体５１と、ケース本体５１を上方から覆うケース蓋体５２と、を有している。ケース本体５１およびケース蓋体５２は、好ましくは、ケース本体５１内へのパーティクルの流入を防止するためにケース内部の空間を外部から密封するようにして、互いに対して開放可能に固定される。図１に示された例において、ケース蓋体５２は、天板部５２ａと、天板部５２ａの周縁から下方に延び出た周壁部５２ｂと、を有している。ケース蓋体５２の周壁部５２ｂが、ケース本体５１と係合することにより、ケース蓋体５２がケース本体５１に固定されるようになっている。

また、ケース蓋体５２には、天板部５２ａから下方に延び出す延出部５２ｃが設けられている。延出部５２ｃは、ケース本体５１上に配置された収容対象物に当接して収容対象物をケース本体５１に向けて押圧する。この延出部５２ｃによって、ケース５０内に収容された収容対象物がケース５０内で移動してしまうことを防止することができる。

次に、洗浄装置１０について説明する。上述したように、洗浄装置１０は、洗浄対象となるケース５０が配置される振動装置３０と、ケース５０内に配置されるようになるパーティクルカウンタ２０と、を有している。また、図示された洗浄装置１０は、パーティクルカウンタ２０での測定値を受信して振動装置３０の動作を制御する制御装置４０を、さらに有している。以下、各装置について説明する。

パーティクルカウンタ２０は、吸気口２１及び排気口２２と、吸気口２１及び排気口２２を接続する連通路２３と、を有している。パーティクルカウンタ２０には図示しない吸引機構が内蔵されており、パーティクルカウンタ２０が配置された周囲の雰囲気を吸気口２１から連通路２３内へ吸い込み、且つ、排気口２２を介して連通路２３から排出することが可能となっている。

パーティクルカウンタ２０は、連通路２３内を吸気口２１から排気口２２に向かう所定体積の流体中に含まれるパーティクルの数を計測することができる。連通路２３内には測定ゾーン２４が設けられており、例えば、この測定ゾーン２４を通過する流体によって光束が散乱される度合いを調査することにより（光散乱方式）、或いは、当該流体によって遮断される光量を調査することにより（光遮蔽方式）、測定ゾーン２４を通過する流体中に含まれるパーティクルの大きさ及び数量を計測することができる。一例として、後述する図２に示された例のように、パーティクルカウンタ２０は、連通路２３内の測定ゾーン２４を通過する１ｃｆ（１立方フィート：３０．５ｃｍ×３０．５ｃｍ×３０．５ｃｍ）の流体中に含まれるパーティクルの数を計測するようにしてもよい。

また、パーティクルカウンタ２０は、測定後のパーティクルを回収するフィルタ部材２５を有している。例えば、気体を透過し且つ所定の大きさのパーティクルを回収し得るフィルタ部材２５が、連通路２３の測定ゾーン２４より下流側または排気口２２を覆うように設けられる。図１に示された例では、フィルタ部材２５は、排気口２２上に設けられており、連通路２３からケース５０の内部に吐き出される流体中に混在するパーティクルを除去することができる。

フィルタ部材２５は、除去回収されるべきパーティクルの大きさや成分等を考慮して適宜選択され得る。また、フィルタ部材２５は、パーティクルカウンタ２０に取り外し可能に取り付けられていることが好ましい。この場合、フィルタ部材２５を取り外して清掃および再利用すること、或いは、パーティクルを回収したフィルタ部材２５を廃棄して新しいフィルタ部材２５と交換することが、可能となる。

なお、図１に示された例において、パーティクルカウンタ２０は、ケース５０への収容対象物と略同一の外輪郭を有している。したがって、パーティクルカウンタ２０は、収容対象物を収容する状態と略同様の状態にて、ケース５０内に収容され得る。図示された例においては、ケース５０内に収容されたパーティクルカウンタ２０は、ケース蓋体５２の延出部５２ｃによってケース本体５１に向けて押圧され、ケース本体５１およびケース蓋体５２に対する相対移動を規制される。

ところで、パーティクルの数量を測定する測定装置は、それ自体、パーティクルカウンタとの呼称で市販されている。そして、市販されているパーティクルカウンタを必要に応じて改良する等して適宜利用することにより、ここで説明したパーティクルカウンタ２０を得ることが可能である。

振動装置３０は、ケース５０が載置されるようになる振動台３１と、振動台３１を振動させる振動装置本体部３３と、を有している。振動台３１は、ケース５０を載置されるようになる部分である。振動台３１は、ケース５０を解放可能に保持するための保持具３５を有している。一方、振動装置本体部３３は、当該振動装置本体部３３に対して振動台３１を振動させること、すなわち、繰り返し運動させることができる。

振動台３１の振動条件は、詳しくは後述するように、ケース５０に収容される収容対象物へのパーティクルの付着を防止する観点から、収容対象物を収容してケース５０が実際に使用される際にケースが受ける振動、動作、運動条件等に類似していることが好ましい。この点において、振動装置３０の振動条件、例えば、振動台３１の振動時における加速度〔ｍ／ｓ^２〕、振動台３１の振動時における周期〔Ｈｚ〕、振動台３１の振動時における振幅〔ｍ〕等が調節可能となっていることが好ましい。

ところで、洗浄装置１０の振動装置３０は、市販されている振動装置を必要に応じて改良する等して適宜利用することにより、得ることが可能である。

制御装置４０は、パーティクルカウンタ２０による所定体積の流体中に含まれるパーティクル数の測定値を取得し、当該パーティクル数を経時的に監視する。そして、制御装置４０は、パーティクルカウンタ２０の測定値に基づいて振動装置３０を制御する。なお、図示された例において、制御装置４０は、振動装置３０と有線で接続されており、振動装置３０に対して指示信号を送信するが、パーティクルカウンタ２０とは有線で接続されていない。パーティクルカウンタ２０による所定体積の流体中に含まれるパーティクル数の測定値は、パーティクルカウンタ２０から制御装置４０へ無線にて送信される。この結果、密封されたケース５０内のパーティクルカウンタ２０から制御装置４０への測定データの送信が実現され得るようになっている。

制御装置４０は、市販されているコンピュータによって形成され得る。図示された例において、制御装置４０は、パーティクルカウンタ２０からの測定値を管理し且つ振動装置３０の動作を制御する制御部４１に加え、表示部４２および入力部４３を有している。入力部４３は、例えばキーボードによって形成され、振動装置３０の制御条件等の種々の情報および指示を入力することができる。表示部４２は、パーティクルカウンタ２０の測定値、制御装置４０による制御条件、入力部４３を介して入力された情報等を表示する表示手段である。

次に、以上のような洗浄装置１０を利用して、ケース５０を洗浄する方法について説明する。

まず、パーティクルカウンタ２０をケース５０内に収容する。この際、パーティクルカウンタ２０は、ケース蓋体５２の延出部５２ｃにより、ケース５０内に固定される。なお、パーティクルカウンタ２０を収容されるケース５０は、従来の方法により、例えば水洗や湯洗により、予め洗浄されている。次に、パーティクルカウンタ２０を収容したケース５０を、振動装置３０の振動台３１上に配置する。ケース５０は、保持具３５を利用して、振動台３１に対して固定される。

その後、振動装置３０による振動台３１の振動が開始される。振動台３１は、保持したケース５０とともに、振動装置本体部３３に対して振動する。この際、ケース５０内のパーティクルカウンタ２０は、吸気口２１から連通路２３内にケース５０内の雰囲気を吸い込み、吸い込んだ気体中に含まれるパーティクルの大きさ及び数量を計測する。パーティクルの大きさ及び数量を計測された連通路２３の気体は、その後、排気口２２を介し、パーティクルカウンタ２０の内部からケース５０内の密閉空間に排出される。ただし、パーティクルを含んだ気体は、ケース５０内の密閉空間に排出される前に、フィルタ部材２５を通過する。このため、気体中に含まれたパーティクルは、このフィルタ部材２５によって回収除去される。すなわち、パーティクルカウンタ２０は、パーティクルの数量を計測する異物計測装置として機能するとともに、パーティクルを除去する異物除去装置としても機能する。

パーティクルカウンタ２０による計測データは、制御装置４０に無線にて送信される。制御装置４０は、ケース５０内への収納を予定されている収容対象物に対して悪影響を及ぼし得る大きさ以上のパーティクル数を経時的に管理する。すなわち、制御装置４０は、所定の大きさ以上の大きさのパーティクルについて、連通路２３に吸引された所定体積の流体中に含まれていた数を、管理する。そして、連通路２３に吸引された所定体積の流体に含まれる所定の大きさのパーティクルの測定数が、十分な清浄度であると想定される所定の数以下または未満となった場合、制御装置４０は、振動装置３０による振動装置３０の振動を停止させる。

振動装置３０が停止した後、振動装置３０からケース５０が取り外され、また、ケース５０内からパーティクルカウンタ２０が取り出される。なお、洗浄に用いられたパーティクルカウンタ２０のフィルタ部材２５は、次に行われるケース５０の洗浄にそなえ、必要に応じて取り外されて洗浄される或いは新しいフィルタ部材２５と交換される。

以上のようにして、洗浄装置１０を用いたケース５０の洗浄が終了する。以上のような方法によれば、ケース５０を効果的に洗浄することが可能となる。実際に、本件発明者らが、フォトマスクをクリーンルーム内で作製する際に用いられるケース５０を上述した方法によって洗浄した後に使用したところ、パーティクル付着によるフォトマスクの不良率を改善することができた。

また実験においては、水洗や湯洗といった従来の洗浄方法で洗浄されたフォトマスク用ケース５０に対して、振動装置３０による振動を５〜３０分程度しか実施しなかった。このようなケース５０の洗浄によって生じる負担は、フォトマスク等の超精密部品の製造においては、不良率の改善によってコスト的にも生産効率的にも少なくとも相殺されるものであり、したがって、このようなえケース５０の洗浄の導入により、コスト面および生産効率面の両面において十分に利益を享受することが可能となる。

なお、上述した洗浄方法により、洗浄後のケース５０に収容される収容対象物へのパーティクルの付着を効果的に抑制し得る原因は、単にケース５０の清浄度合いを定量的に評価したということだけではなく、ケース５０の用途に対応して、例えば、クリーンルーム内で加工される物品（部品、製品）の保護ケースまたは搬送ケースといった用途に対応して適切にケース５０の清浄度合いを評価したことにあると考えられる。

ここで、図２には、上述した洗浄方法と同様に、振動中のケース５０内にてパーティクルカウンタ２０により１μｍ以上の大きさのパーティクルの数量を測定した結果の経時変化と、上述した洗浄方法とは異なり、振動していないケース５０内にてパーティクルカウンタ２０により１μｍ以上の大きさのパーティクルの数量を測定した結果の経時変化と、を示している。図２の測定結果は、測定開始後の５分毎に、当該５分間に測定されたパーティクル数の値を１ＣＦ（１立方フィート）の流体中に含まれている数に換算した値を示している。また、「振動有り」の実験については、パーティクルカウンタの測定開始時に振動を開始した。結果を図示された二つの実験では、振動装置３０によるケース５０の振動の有無のみが異なり、その他の条件は同一とした。例えば、二つの実験において、ケース５０の事前の洗浄方法は、共に、湯洗および乾燥とした。

図２に示すように、ケース５０の振動を停止した状態では、当該ケース５０内に配置されたパーティクルカウンタ２０にて１μｍ以上のパーティクルを殆ど検出することはできなかった。その一方で、同様の前処理をなされたケース５０を振動させている状態では、当該ケース５０内に配置されたパーティクルカウンタ２０にて１μｍ以上のパーティクルが多数検出された。そして上述したように、この二つの方法で洗浄されたケースを用いた場合に、パーティクル付着不良率に大きな差が生じた。したがって、上述してきたケースの洗浄を行わない従来の方法では、収容対象物とともにケース５０を取り扱うことにより、例えば一つの装置から他の装置へとケース５０を搬送することにより、当該ケース５０が振動して当該ケース５０から脱落したパーティクルが、収容対象物のパーティクル付着不良を引き起こしていたものと推測される。

これらの事実からすれば、ケース５０を振動させることなく当該ケース５０内にてパーティクル数を測定したとしても、得られた測定値は、当該ケース５０のその後の使用態様に照らして当該ケース５０の清浄度合いを有効に示す指標とはなり得ない。すなわち、これまで清浄度を定量的に評価されることなく用いられてきたケースについて、当該ケース内部のパーティクル数を単に評価したとしても、パーティクル付着不良の低減を期待することはできない。また、ケース５０内にパーティクルが浮遊していないため、パーティクルカウンタ２０がフィルタ部材２５を用いたパーティクル回収機能を有していたとしても、ケース５０内からのパーティクルが除去されることも期待できない。

その一方で、上述した洗浄方法では、振動装置３０によってケース５０を振動させながら、当該ケース５０内のパーティクル数を計測している。すなわち、静止した状態のケース５０内を浮遊しているパーティクルだけでなく、実際にケース５０を使用した際に、ケース５０から脱落し得るパーティクルの有無をも評価している。したがって、ケース５０の清浄度合いをパーティクルカウンタ２０での測定値によって正確に評価することができる。加えて、静止した状態のケース５０内を浮遊しているパーティクルだけでなく、実際のケースの使用中にケース５０内を浮遊するようになるだろうパーティクルをも、パーティクルカウンタ２０のフィルタ部材２５によって、予め除去することが可能となる。これらのことを原因として、上述してきた本実施の形態によれば、洗浄後のケース５０に収容された収容対象物へのパーティクルの付着を効果的に防止することができるものと推測される。

なお、本件発明者らが鋭意実験を重ねたところ、収容対象物を上方から覆うケース蓋体５２の構造が複雑化している場合、例えば図１に示されている場合のように延出部５２ｃが設けられている場合、本実施の形態によるパーティクルの付着防止効果がより顕著となった。このような現象は、ケース蓋体５２の構造が複雑化することにより、ケース蓋体５２にパーティクルが付着しやすくなることに起因し、上述した推測とも合致する現象と言える。すなわち、ここで説明する製造方法および製造装置１０は、ケース蓋体５２の構造が複雑化しているケース５０、例えばケース蓋体５２に延出部５２ｃが設けられているケース５０に対して、より好適であると言える。

また、振動装置３０によるケース５０の振動は、その後におけるケース５０の使用状態を十分に再現し得るよう、その後におけるケース５０の使用態様に応じて決定されることが好ましい。この点について、本件発明者らが鋭意実験を重ねたところ、実際にケース５０を使用する際における振動台３１の振動時における加速度〔ｍ／ｓ^２〕、振動台３１の振動時における周期〔Ｈｚ〕、振動台３１の振動時における振幅〔ｍ〕を考慮して、振動装置３０による振動条件を設定することが有効であることが知見された。とりわけ、精密部品としての収容対象物を収容した状態で、クリーンルーム内を作業者によって手で持って搬送されるようになるケース５０では、加速度を５〔ｍ／ｓ^２〕〜５０〔ｍ／ｓ^２〕程度に設定することによって、作業者によるケース５０の持ち上げ時におけるケース５０の振動をよりよく再現することができ、これにより、パーティクル付着不良を効果的に低減することができた。

なお、上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、変形の一例について説明する。以下の説明では、上述した実施の形態と同様に構成され得る部分について、上述の実施の形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いることとし、重複する説明を省略する。

例えば、上述した実施の形態において、パーティクルカウンタ２０での測定値が無線にて送信される例を示したが、これに限られない。例えば、パーティクルカウンタ２０に表示部が設けられ、ケース５０の外方から、パーティクルカウンタ２０の表示部に表示される測定値を確認することにより、例えば作業者が手動で振動装置３０による振動を停止するようにしてもよい。

また、上述した実施の形態において、パーティクルカウンタ２０および振動装置３０とは別途に制御装置４０が設けられている例を示したが、これに限られない。例えば、パーティクルカウンタ２０による測定値が振動装置３０に送信され、吸気口２１から排気口２２に向かう所定体積の流体中に含まれたパーティクル数が予め設定された値以下または未満となった場合に振動装置３０が自ら判断して振動を停止するようにしてもよいし、或いは、吸気口２１から排気口２２に向かう所定体積の流体中に含まれたパーティクル数が予め設定された値以下または未満となった場合に、パーティクルカウンタ２０が振動装置３０に振動停止する指示信号を送信するようにしてもよい。

１０ 洗浄装置
２０ パーティクルカウンタ
２１ 吸気口
２２ 排気口
２３ 連通路
２４ 測定ゾーン
２５ フィルタ部材
３０ 振動装置
３１ 振動台
３３ 振動装置本体部
３５ 保持具
４０ 制御装置
４１ 制御部
４２ 表示部
４３ 入力部
５０ ケース
５１ ケース本体
５２ ケース蓋体
５２ａ 天板部
５２ｂ 周壁部
５２ｃ 延出部

Claims (6)

1. 洗浄対象となるケースの内部にパーティクルカウンタを収容した状態で当該ケースを振動装置の振動可能な振動台上に配置する工程と、
   前記振動装置によって前記ケースとともに前記振動台を振動させる工程と、を備え、
   前記パーティクルカウンタは、吸気口および前記吸気口と連通する排気口を含み、前記吸気口から前記排気口に向かう流体中に含まれるパーティクルの数を測定するように構成され、且つ、測定後のパーティクルを回収するフィルタ部材を有し、
   前記ケースを振動させる工程は、前記パーティクルカウンタで測定される前記吸気口から前記排気口に向かう所定体積の流体中のパーティクル数が、予め設定された値以下または未満になると終了する、ケースの洗浄方法。
2. 前記ケースは、ケース本体と、前記ケース本体を覆うケース蓋体と、を有し、
   前記ケース蓋体は、天板部と、前記天板部から延び出す延出部であって、前記ケース本体内に配置された収容対象物に当接して前記ケース本体に向けて前記収容対象物を押圧する延出部と、を有する、請求項１に記載のケースの洗浄方法。
3. 前記パーティクル数の測定値が、前記パーティクルカウンタから制御装置へ無線にて送信され、
   前記制御装置が、前記パーティクルカウンタから送信される測定値に基づき、前記振動装置による振動を停止させる、請求項１または２に記載のケースの洗浄方法。
4. 洗浄対象となるケースを保持する振動可能な振動台を、有した振動装置と、
   前記振動台に保持された前記ケースの内部に収容されるパーティクルカウンタと、を備え、
   前記パーティクルカウンタは、吸気口および前記吸気口と連通する排気口を含み、前記吸気口から前記排気口に向かう流体中に含まれるパーティクルの数を測定するように構成され、且つ、測定後のパーティクルを回収するフィルタ部材を有し、
   前記パーティクルカウンタは、前記ケースが振動台に保持されて前記振動台とともに振動している状態にて、前記吸気口から前記排気口に向かう所定体積の流体中に含まれるパーティクル数を測定するとともに前記フィルタ部材によってパーティクルを回収し、
   前記振動装置は、前記ケースの内部に収容された前記パーティクルカウンタによる前記所定体積の流体中に含まれるパーティクル数が予め設定された値以下または未満となると、前記ケースを保持した前記振動台の振動を停止させる、ケースの洗浄装置。
5. 前記ケースは、ケース本体と、前記ケース本体を覆うケース蓋体と、を有し、
   前記ケース蓋体は、天板部と、前記天板部から延び出す延出部であって、前記ケース本体内に配置された収容対象物に当接して前記ケース本体に向けて押圧する延出部と、を有する、請求項４に記載のケースの洗浄装置。
6. 前記振動装置による前記振動台の振動を制御する制御装置を、さらに備え、
   前記パーティクルカウンタは、パーティクル数の測定値を無線にて前記制御装置に送信し、
   前記制御装置が、前記パーティクルカウンタから送信される測定値に基づき、前記振動台の振動を停止させる、請求項５または６に記載のケースの洗浄装置。

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