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JP2014174359A - Scanning type light irradiation device - Google Patents

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JP2014174359A
JP2014174359A JP2013047469A JP2013047469A JP2014174359A JP 2014174359 A JP2014174359 A JP 2014174359A JP 2013047469 A JP2013047469 A JP 2013047469A JP 2013047469 A JP2013047469 A JP 2013047469A JP 2014174359 A JP2014174359 A JP 2014174359A
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JP
Japan
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data
light
light source
unit
deflection element
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Pending
Application number
JP2013047469A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshiho Seo
欣穂 瀬尾
Satoshi Ouchi
敏 大内
Tomoo Kobori
智生 小堀
Yuya Oki
佑哉 大木
Masashi Yamamoto
将史 山本
Fumio Haruna
史雄 春名
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Consumer Electronics Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Consumer Electronics Co Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Consumer Electronics Co Ltd filed Critical Hitachi Consumer Electronics Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a scanning type light transmission device capable of improving the degree of freedom of a light irradiation timing by suppressing the useless increase of a data transfer period.SOLUTION: A scanning type light irradiation device for performing light irradiation by scanning beam light includes: light sources 4a, 4b, and 4c for modulating and outputting beam light in accordance with irradiation data; a deflection element 8 for two-dimensionally scanning the beam light of the light sources; a first data storage part for storing the irradiation data generated in accordance with the operation of the deflection element in a first timing; and a second data storage part for storing the irradiation data stored by the first data storage part in a second timing when the light sources are driven. The first timing is set to an equal time interval, and the second timing is set to an unequal time interval, and determined in accordance with the irradiation position of the beam light corresponding to the operation of the deflection element.

Description

本発明は、出力を変調可能な光源と、前記光源光を2次元走査する偏向素子を用いて、光源光を照射面に照射する走査型光照射装置に関する。   The present invention relates to a scanning light irradiation apparatus that irradiates an irradiation surface with light source light using a light source capable of modulating output and a deflection element that performs two-dimensional scanning of the light source light.

半導体レーザ等の小型で高効率で変調可能なビーム光源を用い、そのビーム光をMEMSミラー等により偏向して2次元走査させて、映像表示をおこなう光照射装置は、小型・省電力な表示装置という点で注目されている。また、この走査型光照射装置は、光線走査した対象物からの反射光を検出することにより対象物の形状・距離を測定するセンサへの応用が考えられている。   A light irradiation device that uses a small and highly efficient beam source that can be modulated, such as a semiconductor laser, and deflects the beam light using a MEMS mirror and performs two-dimensional scanning to display an image. It is attracting attention in that respect. In addition, this scanning light irradiation apparatus is considered to be applied to a sensor that measures the shape and distance of an object by detecting reflected light from the object scanned by light rays.

例えば、特許文献1には、MEMSミラーを用いてレーザ光をラスタースキャンし画像をスクリーンに投影する画像投影装置が開示されている。より詳細には、特許文献1は、共振動作するMEMSミラーの水平走査のスキャン速度がサインカーブを描いて変化することに着目し、投影画像の照度が均一なるように光源出力を制御する技術が開示されている。   For example, Patent Document 1 discloses an image projection apparatus that raster scans laser light using a MEMS mirror and projects an image on a screen. More specifically, Patent Document 1 focuses on the fact that the scanning speed of the horizontal scanning of the MEMS mirror that resonates and changes in a sine curve, and a technique for controlling the light source output so that the illuminance of the projected image is uniform. It is disclosed.

特開2006-343397号公報JP 2006-343397

特許文献1に記載されている技術によれば、偏向素子を用いて光線の角度を変化させ、その変化に応じて光源の出力を変調させて画像データを表示するので、光線の軌跡上の任意の場所に、所望の光量を照射することが出来る。これにより、プロジェクタ用途での偏向素子や光学システムが原因で発生する歪、さらには、投写対象物の形状による歪を補正する際にも有利となる。また、特許文献1に記載されている技術をセンサに適用した場合には、対象物の測定位置精度の向上に有利となる。   According to the technique described in Patent Document 1, the angle of a light beam is changed using a deflection element, and the output of the light source is modulated in accordance with the change to display image data. The desired amount of light can be irradiated to the place. This is advantageous when correcting distortion caused by a deflection element or an optical system in a projector application, and further correcting distortion due to the shape of the projection target. Further, when the technique described in Patent Document 1 is applied to a sensor, it is advantageous for improving the measurement position accuracy of the object.

しかしながら、上記の技術は、光線を任意の場所に照射するために、より高速に光源の変調を行なう必要がある。このため、光源へのデータ転送レートの増大を招き、その結果データ処理部での消費電力増大、さらには光源ドライバでの消費電力増大を招く問題がある。   However, the above technique needs to modulate the light source at a higher speed in order to irradiate the light beam at an arbitrary place. For this reason, there is a problem in that the data transfer rate to the light source is increased, and as a result, the power consumption in the data processing unit is increased, and further the power consumption in the light source driver is increased.

本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、データ転送周期の無用な増加を抑制して光照射タイミングの自由度を向上させることを課題とする。   The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to improve the degree of freedom of light irradiation timing by suppressing an unnecessary increase in the data transfer period.

上記課題を解決するために本願発明の走査型光照射装置は、光源ドライバの駆動タイミングを、光源の駆動データの転送タイミングとは非同期にして、光源より照射する開始時刻および照射期間の設定自由度を向上させるようにした。   In order to solve the above-described problems, the scanning light irradiation apparatus of the present invention has a light source driver drive timing asynchronous with a light source drive data transfer timing, and a setting freedom of a start time and an irradiation period for irradiation from the light source. Improved.

さらに詳細にいえば、本願発明のビーム光を走査して光照射する走査型光照射装置は、照射データに応じてビーム光を変調出力する光源と、前記光源のビーム光を2次元走査する偏向素子と、前記偏向素子の動作に対応して生成された照射データを第1のタイミングで保持する第1のデータ保持部と、前記第1のデータ保持部に保持された照射データを前記光源を駆動する第2のタイミングで保持する第2のデータ保持部と、を有し、第1のタイミングは等時間間隔であり、第2のタイミングは非等時間間隔であって、前記偏向素子の動作に対応したビーム光の照射位置により決まるようにした。   More specifically, the scanning light irradiation apparatus for scanning and irradiating the light beam according to the present invention includes a light source that modulates and outputs the beam light according to irradiation data, and a deflection that two-dimensionally scans the beam light of the light source. An element, a first data holding unit that holds irradiation data generated corresponding to the operation of the deflection element at a first timing, and irradiation data held in the first data holding unit using the light source A second data holding unit that holds at a second timing for driving, the first timing is an equal time interval, the second timing is an unequal time interval, and the operation of the deflection element It is determined by the irradiation position of the beam light corresponding to.

本発明によれば、光源ドライバへの無用な転送レート増大を抑制し、光照射タイミングの自由度を向上させることが可能となるので、簡易に高精度なレーザ照射をおこなう走査型光照射装置を提供することができる。   According to the present invention, an unnecessary increase in the transfer rate to the light source driver can be suppressed and the degree of freedom of light irradiation timing can be improved. Therefore, a scanning light irradiation apparatus that easily performs high-precision laser irradiation is provided. Can be provided.

実施例1の全体構成を示す図である。1 is a diagram illustrating an overall configuration of Example 1. FIG. 実施例1のデータ変換部2の構成を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of a data conversion unit 2 according to the first embodiment. 実施例1の制御動作タイミングを示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating control operation timings according to the first embodiment. 実施例2の全体構成を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating an overall configuration of Example 2. 実施例2のデータ変換部2の構成を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration of a data conversion unit 2 according to a second embodiment. 実施例2の制御動作タイミングを示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating control operation timings according to the second embodiment. 実施例3の全体構成を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating an overall configuration of Example 3. 実施例3のデータ変換部2の構成を示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating a configuration of a data conversion unit 2 according to a third embodiment. 実施例4のデータ変換部2の構成を示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating a configuration of a data conversion unit 2 according to a fourth embodiment.

以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は本実施例の光照射装置の構成図の例である。本実施例の光照射装置は、データ生成部1、データ変換部2、複数の光源ドライバ(光源ドライバ1(3a), 光源ドライバ2(3b), 光源ドライバ3(3c))、複数の光源(光源1(4a),光源2(4b),光源3(4c))、偏向素子制御部6、偏向素子ドライバ7、偏向素子8および光学素子群5により構成される。   FIG. 1 is an example of a configuration diagram of a light irradiation apparatus of the present embodiment. The light irradiation apparatus of this embodiment includes a data generation unit 1, a data conversion unit 2, a plurality of light source drivers (light source driver 1 (3a), light source driver 2 (3b), light source driver 3 (3c)), a plurality of light sources ( Light source 1 (4a), light source 2 (4b), light source 3 (4c)), deflection element control unit 6, deflection element driver 7, deflection element 8 and optical element group 5.

データ生成部1は、MEMSミラー等の偏向素子8の走査動作を制御する偏向素子制御部6と同期して、本装置にて照射すべき光線情報を生成する。例えば、本装置を画像表示に利用する場合には、前記データ生成部1にて生成するデータは、外部より入力された画像データを元に生成する場合と、自身にて生成する画像データを元に生成する場合がある。   The data generation unit 1 generates ray information to be irradiated by this apparatus in synchronization with the deflection element control unit 6 that controls the scanning operation of the deflection element 8 such as a MEMS mirror. For example, when the present apparatus is used for image display, the data generated by the data generation unit 1 is generated based on image data input from the outside, and based on image data generated by itself. May be generated.

データ変換部2は、前記データ生成部1にて生成され、伝送されたデータを前記複数の光源ドライバ(光源ドライバ1(3a), 光源ドライバ2(3b), 光源ドライバ3(3c))・光源(光源1(4a),光源2(4b),光源3(4c))に対応するように、変換するものである。光源ドライバ(光源ドライバ1(3a), 光源ドライバ2(3b), 光源ドライバ3(3c))は、前記データ変換部2にて変換されたデータに基づき光源を駆動する。   The data conversion unit 2 generates a plurality of light source drivers (light source driver 1 (3a), light source driver 2 (3b), light source driver 3 (3c)) / light source generated and transmitted by the data generation unit 1 Conversion is performed so as to correspond to (light source 1 (4a), light source 2 (4b), light source 3 (4c)). The light source drivers (light source driver 1 (3a), light source driver 2 (3b), light source driver 3 (3c)) drive the light source based on the data converted by the data conversion unit 2.

ここで、実施例の光照射装置は、R・G・Bの3色の半導体レーザ等の光源(光源1(4a),光源2(4b),光源3(4c))から成り、それぞれの光源を光源ドライバ(光源ドライバ1(3a), 光源ドライバ2(3b), 光源ドライバ3(3c))により駆動する場合を示しているがこれに限定されるものではない。   Here, the light irradiation apparatus of the embodiment is composed of light sources (light source 1 (4a), light source 2 (4b), light source 3 (4c)) such as R, G, and B three-color semiconductor lasers. Is driven by a light source driver (light source driver 1 (3a), light source driver 2 (3b), light source driver 3 (3c)), but is not limited thereto.

偏向素子制御部6は、前記データ生成部1と同期した偏向素子8の動作させるための基準信号を生成する。偏向素子ドライバ7では、前記偏向素子制御部6により生成された基準信号を元に、偏向素子8を2次元走査駆動する。ここで、偏向素子8の2次元走査は、例えば、水平走査方向はミラーが共振動作するように駆動され、垂直走査方向はミラーが非共振動作で駆動する。   The deflection element control unit 6 generates a reference signal for operating the deflection element 8 synchronized with the data generation unit 1. The deflection element driver 7 drives the deflection element 8 two-dimensionally based on the reference signal generated by the deflection element control unit 6. Here, in the two-dimensional scanning of the deflection element 8, for example, the mirror is driven so as to resonate in the horizontal scanning direction, and the mirror is driven in the non-resonant operation in the vertical scanning direction.

前記光源により発せられたビーム光はダイクロミラーやコリメータレンズ等の光学素子から成る光学素子群によりひとつのビーム光に合成されて偏向素子8へ導かれる。そして、上述のように偏向素子8により光線方向が偏向され、所望の方向へ、所望の強度の光線を照射する。   The beam light emitted from the light source is combined into one beam light by an optical element group including optical elements such as a dichroic mirror and a collimator lens, and guided to the deflection element 8. Then, the light beam direction is deflected by the deflecting element 8 as described above, and a light beam having a desired intensity is irradiated in a desired direction.

つぎに、図2と図3により、照射データの出力タイミング制御を説明する。実施例の構成により出力タイミングを制御することで、共振動作する偏向素子8の走査ビーム位置を制御することができる。具体的には、偏向素子8をMEMSミラーとした場合には、MEMSミラー共振の走査端では走査速度が低下するため、出力タイミング間隔が長くなるようにする。これにより、走査ビーム位置の間隔を照射角度によらずに、一定にすることができる。   Next, irradiation data output timing control will be described with reference to FIGS. By controlling the output timing with the configuration of the embodiment, the scanning beam position of the deflecting element 8 that resonates can be controlled. Specifically, when the deflecting element 8 is a MEMS mirror, the scanning speed decreases at the scanning end of the MEMS mirror resonance, so that the output timing interval is increased. Thereby, the interval between the scanning beam positions can be made constant regardless of the irradiation angle.

上述のビーム走査速度の変化は、MEMSミラーが共振駆動していることにより生じるものであるが、照射距離の変化によっても生じる。実施例の光照射装置では、偏向素子8から所定の放射角で走査ビームが出力されるため、面照射面の央部と端部では走査ビームの照射距離が異なる。照射面の央部で照射距離が最短となり、照射面の端部に向かって照射距離が長くなる。このため、照射面の端部に向かって走査ビームの走査速度が速くなり、走査ビーム位置の間隔が長くなる。このため、偏向素子8が非共振動作している垂直方向についても、出力タイミングを制御するようにする。   The change in the beam scanning speed described above is caused by the resonance driving of the MEMS mirror, but is also caused by the change in the irradiation distance. In the light irradiation apparatus according to the embodiment, since the scanning beam is output from the deflection element 8 at a predetermined radiation angle, the irradiation distance of the scanning beam is different between the central portion and the end portion of the surface irradiation surface. The irradiation distance becomes the shortest at the center of the irradiation surface, and the irradiation distance becomes longer toward the end of the irradiation surface. For this reason, the scanning speed of the scanning beam increases toward the end of the irradiation surface, and the interval between the scanning beam positions increases. For this reason, the output timing is controlled also in the vertical direction in which the deflecting element 8 is in a non-resonant operation.

上述の照射距離の変化は、照射面の傾きによっても生じるため、照射面までの照射距離を測定して出力タイミングを制御するようにしてもよい。照射距離が長い位置では、出力タイミング間隔が短くなるようにする。   Since the change in the irradiation distance described above also occurs due to the inclination of the irradiation surface, the output timing may be controlled by measuring the irradiation distance to the irradiation surface. At the position where the irradiation distance is long, the output timing interval is shortened.

図2は、図1のデータ変換部2の概要を示す構成図である。データ変換部2では、データ生成部1において生成された照射データを、シフトレジスタにより、転送クロックに同期して順次転送することで、光源の数に応じて並列化されるとともに、等間隔に照射データが生成される。   FIG. 2 is a configuration diagram showing an outline of the data conversion unit 2 of FIG. In the data conversion unit 2, the irradiation data generated in the data generation unit 1 is sequentially transferred in synchronization with the transfer clock by the shift register, so that it is parallelized according to the number of light sources and is irradiated at equal intervals. Data is generated.

さらに、データ変換部2では、ラッチ信号により、ラッチレジスタにより前記シフトレジスタからのデータを保持、出力する。このラッチ信号のタイミングを変えることで、出力タイミングを制御する。図3によりその動作タイミングを説明する。なお、図2では、ラッチ信号を転送クロックで同期する構成を示しているが、ラッチ信号が転送クロックに同期した信号であれば、このラッチ信号の同期化は不要となる。   Further, the data conversion unit 2 holds and outputs data from the shift register by a latch register according to a latch signal. The output timing is controlled by changing the timing of the latch signal. The operation timing will be described with reference to FIG. FIG. 2 shows a configuration in which the latch signal is synchronized with the transfer clock. However, if the latch signal is a signal synchronized with the transfer clock, the synchronization of the latch signal is not necessary.

図3は、本実施例の光照射装置において、偏向素子8の動作に同期した基準入力データと、前記基準入力データを元にデータ生成部1により生成される信号動作と、照射データの関係を示すタイミングチャートの一例である。ここでは、本実施例の特徴をより分かりやすくするために、基準入力データのデータ変化周期を、転送クロック×光源数の倍数により決まるタイミングとは異なるようにしている。   FIG. 3 shows the relationship between the reference input data synchronized with the operation of the deflection element 8, the signal operation generated by the data generation unit 1 based on the reference input data, and the irradiation data in the light irradiation apparatus of this embodiment. It is an example of the timing chart shown. Here, in order to make the characteristics of this embodiment easier to understand, the data change period of the reference input data is made different from the timing determined by a multiple of the transfer clock × the number of light sources.

本実施例によれは、例えば、照射面での走査ビーム間隔が一定になるように、ラッチ信号を非等間隔で発生させ、前記ラッチ信号に同期し、同時刻において照射すべきデータを生成する事により、光源より照射する開始時刻および照射期間の設定自由度を向上させることができる。前記基準入力データが、偏向素子8の動作に同期していることから、光照射方向の自由度を向上させることができる。   According to this embodiment, for example, latch signals are generated at non-uniform intervals so that the scanning beam interval on the irradiation surface is constant, and data to be irradiated is generated at the same time in synchronization with the latch signal. By this, it is possible to improve the setting freedom of the start time and the irradiation period for irradiation from the light source. Since the reference input data is synchronized with the operation of the deflecting element 8, the degree of freedom in the light irradiation direction can be improved.

なお本実施例では、データ生成部1、データ変換部2、光源ドライバ、偏向素子制御部6、偏向素子ドライバ7を分割して表現しているが、これらは、同一IC内に実現されていても、また、その一部が単一のICとして実現されていても構わない。   In this embodiment, the data generation unit 1, the data conversion unit 2, the light source driver, the deflection element control unit 6, and the deflection element driver 7 are divided and expressed, but these are realized in the same IC. However, a part of it may be realized as a single IC.

本実施例では、等時間間隔を含む所定時間間隔にて送出されるラッチ信号と、それに同期した生成データを送出するようなデータ生成部2(9)を用いる場合の例について、図4により説明する。図4は本実施例の構成を表す図である。本実施例の光照射装置は、前記のように、所定時間間隔にてラッチ信号が送出され、それに同期した生成データが送出されるデータ生成部2(9)、データタイミング補正部10、データ変換部2、複数の光源ドライバ(光源ドライバ1(3a), 光源ドライバ2(3b), 光源ドライバ3(3c))、複数の光源(光源1(4a),光源2(4b),光源3(4c))、偏向素子制御部6、偏向素子ドライバ7、偏向素子8および光学素子群5により構成される。以下に、データタイミング補正部10について詳細に説明する。   In the present embodiment, an example in which a latch signal transmitted at a predetermined time interval including an equal time interval and a data generation unit 2 (9) that transmits generated data synchronized with the latch signal will be described with reference to FIG. To do. FIG. 4 is a diagram showing the configuration of this embodiment. As described above, the light irradiation apparatus according to the present embodiment sends a latch signal at a predetermined time interval and sends data generated in synchronization with the data generation unit 2 (9), data timing correction unit 10, data conversion. Part 2, a plurality of light source drivers (light source driver 1 (3a), light source driver 2 (3b), light source driver 3 (3c)), a plurality of light sources (light source 1 (4a), light source 2 (4b), light source 3 (4c) )), A deflection element control unit 6, a deflection element driver 7, a deflection element 8, and an optical element group 5. Hereinafter, the data timing correction unit 10 will be described in detail.

データ変換部2は、前記データ生成部1にて生成され、伝送されたデータを前記複数の光源ドライバ(光源ドライバ1(3a), 光源ドライバ2(3b), 光源ドライバ3(3c))・光源(光源1(4a),光源2(4b),光源3(4c))に対応するように、変換するものである。光源ドライバ(光源ドライバ1(3a), 光源ドライバ2(3b), 光源ドライバ3(3c))は、前記データ変換部2にて変換されたデータに基づき光源を駆動する。   The data conversion unit 2 generates a plurality of light source drivers (light source driver 1 (3a), light source driver 2 (3b), light source driver 3 (3c)) / light source generated and transmitted by the data generation unit 1 Conversion is performed so as to correspond to (light source 1 (4a), light source 2 (4b), light source 3 (4c)). The light source drivers (light source driver 1 (3a), light source driver 2 (3b), light source driver 3 (3c)) drive the light source based on the data converted by the data conversion unit 2.

ここで、実施例の光照射装置は、R・G・Bの3色の半導体レーザ等の光源(光源1(4a),光源2(4b),光源3(4c))から成り、それぞれの光源を光源ドライバ(光源ドライバ1(3a), 光源ドライバ2(3b), 光源ドライバ3(3c))により駆動する場合を示しているがこれに限定されるものではない。   Here, the light irradiation apparatus of the embodiment is composed of light sources (light source 1 (4a), light source 2 (4b), light source 3 (4c)) such as R, G, and B three-color semiconductor lasers. Is driven by a light source driver (light source driver 1 (3a), light source driver 2 (3b), light source driver 3 (3c)), but is not limited thereto.

偏向素子制御部6は、前記データ生成部1と同期した偏向素子8の動作させるための基準信号を生成する。偏向素子ドライバ7では、前記偏向素子制御部6により生成された基準信号を元に、偏向素子8を2次元走査駆動する。ここで、偏向素子8の2次元走査は、例えば、水平走査方向はミラーが共振動作するように駆動され、垂直走査方向はミラーが非共振動作で駆動する。   The deflection element control unit 6 generates a reference signal for operating the deflection element 8 synchronized with the data generation unit 1. The deflection element driver 7 drives the deflection element 8 two-dimensionally based on the reference signal generated by the deflection element control unit 6. Here, in the two-dimensional scanning of the deflection element 8, for example, the mirror is driven so as to resonate in the horizontal scanning direction, and the mirror is driven in the non-resonant operation in the vertical scanning direction.

図5は、データタイミング補正部10の内部構成の一例を示す図である。データタイミング補正部10は、内部デコード部とカウンタ部とラッチ信号生成部とデータエンコード部とから構成される。
内部デコード部は、データ生成部2(9)により送出された入力データを入力ラッチ信号に基づいてラッチし、入力データをデコードする。
カウンタ部は、転送クロックをカウントする。この際、カウンタ部は、前記偏光素子制御部により生成される、一ラインの開始タイミングを示す同期信号および/もしくは一画面の開始タイミングを示す同期信号によりリセットされる。
ラッチ信号生成部は、前記カウンタ部のカウンタ値が入力され、所定の基準データタイミングに基づき、ラッチ信号を生成する。
データエンコード部は、ラッチ信号生成部で生成されたラッチ信号により、内部デコード部のデコーダしたデータをラッチする。
FIG. 5 is a diagram illustrating an example of an internal configuration of the data timing correction unit 10. The data timing correction unit 10 includes an internal decoding unit, a counter unit, a latch signal generation unit, and a data encoding unit.
The internal decoding unit latches the input data sent from the data generation unit 2 (9) based on the input latch signal, and decodes the input data.
The counter unit counts the transfer clock. At this time, the counter unit is reset by the synchronization signal indicating the start timing of one line and / or the synchronization signal indicating the start timing of one screen, which is generated by the polarizing element control unit.
The latch signal generation unit receives the counter value of the counter unit and generates a latch signal based on a predetermined reference data timing.
The data encoding unit latches the data decoded by the internal decoding unit according to the latch signal generated by the latch signal generation unit.

図6は、データタイミング補正部10が受け取る転送クロック、データ生成部12により送出されるラッチ信号、データ生成部12により送出される生成データ、さらにデータタイミング補正部10にて生成される内部デコードデータ、ラッチ信号および変換データの動作を示すタイミングチャートである。   FIG. 6 shows a transfer clock received by the data timing correction unit 10, a latch signal transmitted by the data generation unit 12, generation data transmitted by the data generation unit 12, and internal decode data generated by the data timing correction unit 10. 5 is a timing chart showing operations of a latch signal and conversion data.

ここで、内部デコーダ部とデータエンコーダ部は、入力ラッチ信号とラッチ信号生成部で生成したラッチ信号に基づいて、データの一時保持をおこなう。このように2重ラッチ構造をとることにより、所定の時間間隔のラッチ信号に同期したタイミングでデータを送出することができる。   Here, the internal decoder unit and the data encoder unit temporarily hold data based on the input latch signal and the latch signal generated by the latch signal generation unit. By adopting the double latch structure in this way, data can be transmitted at a timing synchronized with a latch signal at a predetermined time interval.

本実施例によれば、非等間隔なラッチ信号とそれに同期したデータを生成する機能を有しないデータ生成部12を持つような制御ICを用いた場合においても、高精度な位置精度を実現する事ができる。   According to the present embodiment, even when a control IC having a non-uniformly spaced latch signal and a data generation unit 12 that does not have a function of generating data synchronized therewith is used, high positional accuracy is realized. I can do things.

なお、本実施例における、構成要素は、単一のICとして実現しても、複数のICにより構成しても構わない。   Note that the components in the present embodiment may be realized as a single IC or may be constituted by a plurality of ICs.

つぎに、偏向素子8の偏向角度が正弦波状に変化する共振動作をおこなうMEMSミラーに特有の実施例について、図7、図8により説明する。図7は、実施例の構成を示す図であり、図4に示す実施例とは、データ生成部3(11)とデータ変換部12の構成が異なる。図8は、データ変換部12の構成を詳細にしめす構成図である。   Next, an embodiment specific to a MEMS mirror that performs a resonance operation in which the deflection angle of the deflection element 8 changes in a sine wave shape will be described with reference to FIGS. FIG. 7 is a diagram showing the configuration of the embodiment, and the configurations of the data generation unit 3 (11) and the data conversion unit 12 are different from the embodiment shown in FIG. FIG. 8 is a configuration diagram showing the configuration of the data converter 12 in detail.

図8にしめす本実施例のデータ変換部12は、正弦波状に変位する偏向素子8の動作に対応して、画像アドレスデータを生成する。これを実現するために、データ変換部12は、アドレスカウンターと正弦波変換部と歪補正部とスケーリング部と画像データ生成部とから成る。   The data conversion unit 12 of this embodiment shown in FIG. 8 generates image address data corresponding to the operation of the deflecting element 8 displaced in a sine wave shape. In order to realize this, the data conversion unit 12 includes an address counter, a sine wave conversion unit, a distortion correction unit, a scaling unit, and an image data generation unit.

アドレスカウンターは、偏光素子の動作に合わせてカウント値を計数する。
正弦波変換部は、前記アドレスカウンターのカウンタ値から正弦波様のデータに変換する。
歪補正部は、前記正弦波変換部による変換された正弦波データを元に、投写面の形状による歪を補正する。
スケーリング部は、前記歪補正部により生成された歪補正データを所望の画像データ数に変換し、画像アドレスデータを生成する。
画像データ生成部は、前記画像アドレスデータを元に、基準入力データを生成する。
The address counter counts the count value in accordance with the operation of the polarizing element.
The sine wave conversion unit converts the counter value of the address counter into sine wave-like data.
The distortion correction unit corrects distortion due to the shape of the projection surface based on the sine wave data converted by the sine wave conversion unit.
The scaling unit converts the distortion correction data generated by the distortion correction unit into a desired number of image data, and generates image address data.
The image data generation unit generates reference input data based on the image address data.

本実施例によれば、前記正弦波データが同一値の間に偏向素子8の角度が変化する量は一定となる。また歪補正データは、投写面の形状に合わせた変換を行う事から、歪補正データが同一値の間の光点の移動量は一定となる。前記アドレスデータに基づき別に格納した、画像データを読み出す事で、一画素が等間隔となる表示が可能となる。   According to this embodiment, the amount by which the angle of the deflection element 8 changes while the sine wave data is the same value is constant. Further, since the distortion correction data is converted in accordance with the shape of the projection surface, the amount of movement of the light spot between the distortion correction data having the same value is constant. By reading out the image data separately stored based on the address data, it becomes possible to display one pixel at equal intervals.

上記の実施例は、いずれも、光源ドライバの駆動タイミングを、光源の駆動データの転送タイミングとは非同期にして、光源より照射する開始時刻および照射期間の設定自由度を向上させるようにしたものである。しかし、本発明の構成は、照射タイミングの補正だけでなく、以下の補正にも適用可能な構成となっている。   In each of the above embodiments, the drive timing of the light source driver is made asynchronous with the transfer timing of the drive data of the light source, so that the setting time of the start time and the irradiation period irradiated from the light source is improved. is there. However, the configuration of the present invention is applicable not only to the correction of the irradiation timing but also to the following correction.

本発明が適用可能な光照射装置は、図1の光源1・光源2・光源3の3光源の光源光を合成してビーム光とし、このビーム光を偏向素子8により走査する装置である。光源1・光源2・光源3の光軸は一致あるいは所定の位置関係を満たすように設定されるが、前記光学素子群の組立精度や温度変動による部品移動などから前記所望の角度からずれる場合がある。このような現象は、解像度低下等の精度低下につながる。   The light irradiation apparatus to which the present invention is applicable is an apparatus that combines the light source light of the three light sources of the light source 1, the light source 2, and the light source 3 of FIG. The optical axes of the light source 1, the light source 2, and the light source 3 are set so as to coincide or satisfy a predetermined positional relationship. is there. Such a phenomenon leads to a decrease in accuracy such as a decrease in resolution.

本実施例は、実施例3のデータタイミング補正部10の構成を一部変更して、上記の現象を解消するものである。本実施例は、図9に示すように、図8のデータタイミング補正部10のスケーリング部の後段に、光源1、光源2、光源3の光線角度補正量に相当するアドレス差を与えるアドレス補正部を設けるようにする。このとき、光源1、光源2、光源3用にそれぞれ異なったアドレス補正部を設け、アドレスに対応する画像データを読み出す。   In this embodiment, a part of the configuration of the data timing correction unit 10 of the third embodiment is changed to eliminate the above phenomenon. In this embodiment, as shown in FIG. 9, an address correction unit that gives an address difference corresponding to the light beam angle correction amount of the light source 1, the light source 2, and the light source 3 to the subsequent stage of the scaling unit of the data timing correction unit 10 of FIG. To be provided. At this time, different address correction units are provided for the light source 1, the light source 2, and the light source 3, respectively, and image data corresponding to the address is read.

本実施例によれば、前記正弦波変換部および前記歪補正部により等間隔とされた一画素を単位として光源1、光源2、光源3の画像データ生成タイミングを補正する。よって画面全領域にわたって等量の補正が可能となる。   According to the present embodiment, the image data generation timing of the light source 1, the light source 2, and the light source 3 is corrected in units of one pixel that is equally spaced by the sine wave conversion unit and the distortion correction unit. Therefore, an equal amount of correction can be performed over the entire area of the screen.

また、本実施例において、前記スケーリング部により画像データのアドレスに変換する際に元画像の2倍以上の解像度としてアップコンバートする画像アドレスデータとすることで、元画像の画素よりも細かい単位での光源1から3の角度ずれの調整が可能となる。   Also, in this embodiment, when the image data is up-converted as a resolution more than twice that of the original image when converted to the image data address by the scaling unit, the image data in a unit smaller than the pixel of the original image. The angular deviation of the light sources 1 to 3 can be adjusted.

1…データ生成部、2…データ変換部、3a, 3b, 3c…光源ドライバ、
4a, 4b, 4c…光源、5…光学素子群、6…偏向素子制御部、7…偏向素子ドライバ、
8…偏向素子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Data generation part, 2 ... Data conversion part, 3a, 3b, 3c ... Light source driver,
4a, 4b, 4c ... light source, 5 ... optical element group, 6 ... deflection element control unit, 7 ... deflection element driver,
8. Deflection element

Claims (12)

ビーム光を走査して光照射する光照射装置において、
照射データに応じてビーム光を変調出力する光源と、
前記光源のビーム光を2次元走査する偏向素子と、
前記偏向素子の動作に対応して生成された照射データを第1のタイミングで保持する第1のデータ保持部と、
前記第1のデータ保持部に保持された照射データを前記光源を駆動する第2のタイミングで保持する第2のデータ保持部と、を有し、
第1のタイミングは等時間間隔であり、
第2のタイミングは非等時間間隔であって、前記偏向素子の動作に対応したビーム光の照射位置により決まる
ことを特徴とする光照射装置。
In the light irradiation device that scans and irradiates the light beam,
A light source that modulates and outputs beam light according to irradiation data;
A deflection element for two-dimensionally scanning the light beam of the light source;
A first data holding unit for holding irradiation data generated corresponding to the operation of the deflection element at a first timing;
A second data holding unit that holds irradiation data held in the first data holding unit at a second timing for driving the light source;
The first timing is an equal time interval,
The second timing is an unequal time interval, and is determined by a beam irradiation position corresponding to the operation of the deflection element.
請求項1に記載の光照射装置において、
前記第1のデータ保持部はシフトレジスタであり、
前記第2のデータ保持部はラッチレジスタである
ことを特徴とする光照射装置。
In the light irradiation apparatus of Claim 1,
The first data holding unit is a shift register;
The light irradiation apparatus, wherein the second data holding unit is a latch register.
請求項1あるいは請求項2のいずれかに記載の光照射装置において、
所定のカウント値を判定し前記第2のタイミングを管理するカウンタを有し、
前記カウンタは、走査の一ラインの開始タイミングあるいは一画面の開始タイミングでリセットされることを特徴とする光照射装置。
In the light irradiation apparatus in any one of Claim 1 or Claim 2,
A counter for determining a predetermined count value and managing the second timing;
The counter is reset at the start timing of one line of scanning or the start timing of one screen.
偏向素子制御部と同期し、照射すべき光線情報を生成するデータ生成部と、
前記データ生成部にて生成され、伝送されたデータを複数の光源ドライバ・光源に対応するように変換するデータ変換部と、
前記データ変換部にて変換されたデータに基づき少なくとも2個以上の光源を駆動する、それぞれの光源に対応した光源ドライバと、
前記光源により発生した光を光線状にし、偏向素子に導く光学素子群と、
前記データ生成部を同期させ、偏向素子の動作させるための基準信号を生成する偏向素子制御部と、
前記偏向素子制御部により生成された基準信号を元に、偏向素子を駆動する偏向素子ドライバと、を備え、
前記データ生成部では、ラッチ信号を非等間隔で発生させ、前記ラッチ信号に同期し、同時刻において前記光源の照射すべき照射データを生成し、データ変換部において、前記ラッチ信号のタイミングにおいて前記照射データを前記光源ドライバに転送し、光源を駆動することを特徴とする光照射装置。
A data generation unit that generates light beam information to be irradiated in synchronization with the deflection element control unit;
A data conversion unit that converts the data generated and transmitted by the data generation unit to correspond to a plurality of light source drivers and light sources;
A light source driver corresponding to each light source for driving at least two light sources based on the data converted by the data conversion unit;
An optical element group for making light generated by the light source into a light beam and guiding the light to a deflection element;
A deflection element control unit that synchronizes the data generation unit and generates a reference signal for operating the deflection element;
A deflection element driver for driving the deflection element based on the reference signal generated by the deflection element control unit;
The data generation unit generates latch signals at unequal intervals, generates irradiation data to be emitted from the light source at the same time in synchronization with the latch signals, and the data conversion unit at the timing of the latch signals A light irradiation apparatus that transfers irradiation data to the light source driver to drive a light source.
請求項4に記載の光照射装置において、
前記データ変換部は、データ生成部において生成された照射データを、シフトレジスタにより、転送クロックに同期して順次転送し、さらにラッチ信号により、ラッチレジスタによりデータを保持出力することを特徴とする光照射装置。
In the light irradiation apparatus of Claim 4,
The data conversion unit sequentially transfers irradiation data generated in the data generation unit by a shift register in synchronization with a transfer clock, and further holds and outputs data by a latch register by a latch signal. Irradiation device.
光照射装置において、
偏向素子制御部と同期し、照射すべき光線情報を生成するデータ生成部と、
前記データ生成部にて生成され、伝送されたデータを所望のデータタイミングに補正するデータタイミング補正部と、
複数の光源ドライバ・光源に対応するように変換するデータ変換部と、
前記データ変換部にて変換されたデータに基づき少なくとも2個以上の光源を駆動する、それぞれの光源に対応した光源ドライバと、
前記光源により発生した光を光線状にし、偏向素子に導く光学素子群と、
前記データ生成部を同期させ、偏向素子の動作させるための基準信号を生成する偏向素子制御部と、
前記偏向素子制御部により生成された基準信号を元に、偏向素子を駆動する前偏向素子ドライバとを有し、
前記データ生成部では、ラッチ信号を等間隔で発生させ、前記ラッチ信号に同期し、同時刻において前記光源の照射すべき照射基準データを生成し、前記データタイミング補正部において、非等間隔の非等間隔ラッチ信号を生成し、前記照射基準データを元に、前記非等間隔ラッチ信号に同期し照射データを生成し、データ変換部において、前記ラッチ信号のタイミングにおいて前記照射データを前記光源ドライバに転送し、光源を駆動することを特徴とする光照射装置。
In the light irradiation device,
A data generation unit that generates light beam information to be irradiated in synchronization with the deflection element control unit;
A data timing correction unit that corrects the data generated and transmitted by the data generation unit to a desired data timing;
A data conversion unit for converting to correspond to a plurality of light source drivers and light sources;
A light source driver corresponding to each light source for driving at least two light sources based on the data converted by the data conversion unit;
An optical element group for making light generated by the light source into a light beam and guiding the light to a deflection element;
A deflection element control unit that synchronizes the data generation unit and generates a reference signal for operating the deflection element;
Based on the reference signal generated by the deflection element control unit, having a pre-deflection element driver for driving the deflection element,
The data generation unit generates latch signals at equal intervals, generates irradiation reference data to be emitted from the light source at the same time in synchronization with the latch signals, and the data timing correction unit generates non-uniform intervals. An equal interval latch signal is generated, and irradiation data is generated in synchronization with the non-equal interval latch signal based on the irradiation reference data. In the data conversion unit, the irradiation data is sent to the light source driver at the timing of the latch signal. A light irradiation device that transfers and drives a light source.
請求項6に記載の光照射装置において、
前記データ変換部は、データ生成部において生成された照射データを、シフトレジスタにより、転送クロックに同期して順次転送し、さらにラッチ信号により、ラッチレジスタによりデータを保持出力することを特徴とする光照射装置。
In the light irradiation apparatus of Claim 6,
The data conversion unit sequentially transfers irradiation data generated in the data generation unit by a shift register in synchronization with a transfer clock, and further holds and outputs data by a latch register by a latch signal. Irradiation device.
請求項6あるいは請求項7のいずれかに記載の光照射装置において、
前記データタイミング補正部は、受け取った入力データを入力ラッチ信号に基づき、デコードする内部デコード部と、転送クロックによりカウントするカウンターと、前記カウンター値を入力として、あらかじめ取得し、設定した基準データタイミングに基づき、ラッチ信号を生成する、ラッチ信号生成部と、前記ラッチ信号に同期し、データ信号を生成するデータエンコード部を有することを特徴とする光照射装置。
In the light irradiation apparatus in any one of Claim 6 or Claim 7,
The data timing correction unit receives the input data based on the input latch signal, an internal decoding unit that decodes the received input data, a counter that counts by a transfer clock, and the counter value as an input to obtain and set the reference data timing in advance. A light irradiation apparatus comprising: a latch signal generation unit that generates a latch signal, and a data encoding unit that generates a data signal in synchronization with the latch signal.
光照射装置において、
偏向素子制御部と同期し、照射すべき光線情報を生成するデータ生成部と、
前記データ生成部にて生成され、伝送されたデータを複数の光源ドライバ・光源に対応するように変換するデータ変換部と、
前記データ変換部にて変換されたデータに基づき少なくとも2個以上の光源を駆動する、それぞれの光源に対応した光源ドライバと、
前記光源により発生した光を光線状にし、偏向素子に導く光学素子群と、
前記データ生成部を同期させ、偏向素子の動作させるための基準信号を生成する偏向素子制御部と、
前記偏向素子制御部により生成された基準信号を元に、偏向素子を共振条件により駆動する前記偏向素子ドライバと、を備え、
前記データ生成部は、偏光素子の動作に合わせてカウントするアドレスカウンタと、同アドレスカウンタのカウンタ値から正弦波様のデータに変換する正弦波変換部と、前記正弦波変換部による変換された正弦波データを元に、投写面の形状による歪を補正する歪補正部と、前記歪補正部により生成された歪補正データを所望の画像データ数を持つ、画像アドレスデータに変換するスケーリング部と、前記画像アドレスデータを元に基準データを生成する画像データ生成部とから成り、
前記データ生成部では、ラッチ信号を非等間隔で発生させ、前記ラッチ信号に同期し、同時刻において前記光源の照射すべき照射データを生成し、データ変換部において、前記ラッチ信号のタイミングにおいて前記照射データを前記光源ドライバに転送し、光源を駆動することを特徴とする光照射装置。
In the light irradiation device,
A data generation unit that generates light beam information to be irradiated in synchronization with the deflection element control unit;
A data conversion unit that converts the data generated and transmitted by the data generation unit to correspond to a plurality of light source drivers and light sources;
A light source driver corresponding to each light source for driving at least two light sources based on the data converted by the data conversion unit;
An optical element group for making light generated by the light source into a light beam and guiding the light to a deflection element;
A deflection element control unit that synchronizes the data generation unit and generates a reference signal for operating the deflection element;
The deflection element driver for driving the deflection element according to a resonance condition based on the reference signal generated by the deflection element control unit;
The data generation unit includes an address counter that counts in accordance with the operation of the polarization element, a sine wave conversion unit that converts the counter value of the address counter into sine wave-like data, and the sine wave converted by the sine wave conversion unit. Based on the wave data, a distortion correction unit that corrects distortion due to the shape of the projection surface, a scaling unit that converts the distortion correction data generated by the distortion correction unit into image address data having a desired number of image data, An image data generation unit that generates reference data based on the image address data,
The data generation unit generates latch signals at unequal intervals, generates irradiation data to be emitted from the light source at the same time in synchronization with the latch signals, and the data conversion unit at the timing of the latch signals A light irradiation apparatus that transfers irradiation data to the light source driver to drive a light source.
請求項9記載の光照射装置において、
前記データ変換部は、データ生成部において生成された照射データを、シフトレジスタにより、転送クロックに同期して順次転送する。さらにラッチ信号により、ラッチレジスタによりデータを保持出力する事を特徴とする光照射装置。
In the light irradiation apparatus of Claim 9,
The data converter sequentially transfers the irradiation data generated in the data generator in synchronization with the transfer clock by the shift register. Further, the light irradiating apparatus characterized in that data is held and output by a latch register according to a latch signal.
請求項9あるいは請求項10のいずれかに記載の光照射装置において、
前記データタイミング補正部は、スケーリング部の後段に、複数の光源の光線角度補正量に相当するアドレス差を与えるアドレス補正部を有することを特徴とする光照射装置。
In the light irradiation apparatus in any one of Claim 9 or Claim 10,
The data timing correction unit includes an address correction unit that provides an address difference corresponding to a light beam angle correction amount of a plurality of light sources, following the scaling unit.
請求項9から11のいずれかに記載の光照射装置において、
前記スケーリング部により画像データのアドレスに変換する際に元画像の2倍以上の解像度としてアップコンバートする画像アドレスデータとすることを特徴とする光照射装置。
In the light irradiation apparatus in any one of Claim 9 to 11,
A light irradiation apparatus characterized in that image data is up-converted with a resolution of at least twice that of an original image when converted to an image data address by the scaling unit.
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