[go: up one dir, main page]

JP2014038990A - 基板搬送装置および基板処理システム - Google Patents

基板搬送装置および基板処理システム Download PDF

Info

Publication number
JP2014038990A
JP2014038990A JP2012181903A JP2012181903A JP2014038990A JP 2014038990 A JP2014038990 A JP 2014038990A JP 2012181903 A JP2012181903 A JP 2012181903A JP 2012181903 A JP2012181903 A JP 2012181903A JP 2014038990 A JP2014038990 A JP 2014038990A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
chamber
processing
common transfer
base member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2012181903A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Inventor
Yohei Yamada
洋平 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Electron Ltd
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electron Ltd filed Critical Tokyo Electron Ltd
Priority to JP2012181903A priority Critical patent/JP2014038990A/ja
Priority to PCT/JP2013/067766 priority patent/WO2014030432A1/ja
Priority to TW102129656A priority patent/TW201428876A/zh
Publication of JP2014038990A publication Critical patent/JP2014038990A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H10P72/3302—
    • H10P72/3402—
    • H10P72/3412—

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
JP2012181903A 2012-08-20 2012-08-20 基板搬送装置および基板処理システム Pending JP2014038990A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012181903A JP2014038990A (ja) 2012-08-20 2012-08-20 基板搬送装置および基板処理システム
PCT/JP2013/067766 WO2014030432A1 (ja) 2012-08-20 2013-06-28 基板搬送装置および基板処理システム
TW102129656A TW201428876A (zh) 2012-08-20 2013-08-19 基板搬送裝置及基板處理系統

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012181903A JP2014038990A (ja) 2012-08-20 2012-08-20 基板搬送装置および基板処理システム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2014038990A true JP2014038990A (ja) 2014-02-27

Family

ID=50149748

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012181903A Pending JP2014038990A (ja) 2012-08-20 2012-08-20 基板搬送装置および基板処理システム

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2014038990A (zh)
TW (1) TW201428876A (zh)
WO (1) WO2014030432A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014005467A1 (de) * 2014-04-03 2015-04-23 Asys Automatic Systems Gmbh & Co. Kg Reinraumanlage mit in einem Reinraumbereich verfahrbarer Handhabungseinheit

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7097760B2 (ja) * 2018-06-25 2022-07-08 東京エレクトロン株式会社 搬送装置および搬送方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1098085A (ja) * 1996-09-19 1998-04-14 Hitachi Ltd プラズマ処理装置および薄膜トランジスタ製造方法
JP2005317656A (ja) * 2004-04-27 2005-11-10 Tokyo Electron Ltd 真空処理装置
KR101206959B1 (ko) * 2006-11-29 2012-11-30 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판의 처리 장치
JP5419384B2 (ja) * 2008-05-20 2014-02-19 東京エレクトロン株式会社 真空処理装置
JP5474328B2 (ja) * 2008-10-07 2014-04-16 川崎重工業株式会社 基板搬送ロボット
JP2011035103A (ja) * 2009-07-31 2011-02-17 Tokyo Electron Ltd 搬送装置及び処理システム
JP2011081367A (ja) * 2009-09-10 2011-04-21 Nikon Corp 用力伝達部材ガイド装置、及び基板処理装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014005467A1 (de) * 2014-04-03 2015-04-23 Asys Automatic Systems Gmbh & Co. Kg Reinraumanlage mit in einem Reinraumbereich verfahrbarer Handhabungseinheit

Also Published As

Publication number Publication date
TW201428876A (zh) 2014-07-16
WO2014030432A1 (ja) 2014-02-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101136349B (zh) 衬底传送装置、衬底处理装置和传送衬底的方法
JP5102717B2 (ja) 基板搬送装置およびこれを備えた基板処理装置
JP5877016B2 (ja) 基板反転装置および基板処理装置
CN101989559B (zh) 基板对位机构、使用其的真空预备室和基板处理系统
WO2010041562A1 (ja) 基板搬送ロボットおよびシステム
CN101989563B (zh) 基板载置机构和使用该基板载置机构的基板处理装置
JP2009105081A (ja) 基板処理装置
JP2009206270A (ja) ロードロック装置および基板冷却方法
TWI388026B (zh) 處理基板之裝置和方法
CN102420156B (zh) 处理装置和其维修方法
JP2007073540A (ja) 基板処理装置、ロードロック室ユニット、および搬送装置の搬出方法
JP4711770B2 (ja) 搬送装置、真空処理装置および搬送方法
JP5283770B2 (ja) 基板搬送装置およびこれを備えた基板処理装置
JP2014038990A (ja) 基板搬送装置および基板処理システム
CN102738047B (zh) 装载单元以及处理系统
JP5524304B2 (ja) 基板処理装置における基板搬送方法
CN105762098A (zh) 传片系统及半导体加工设备
KR101688842B1 (ko) 기판 처리 장치
KR102577853B1 (ko) 기판 처리 장비용 고토크형 매뉴퓰레이터
CN113451186B (zh) 传送机器人及包括此的基板处理系统
JP5474328B2 (ja) 基板搬送ロボット
TWI867670B (zh) 基板處理裝置
KR20130043732A (ko) 글래스 기판 로딩/언로딩 장치
JP2010093028A (ja) 基板搬送システム