JP2014034034A - Laser beam machining apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、レーザ発振器とレーザ加工ヘッドとを光ファイバを介して光学的に接続したレーザ加工装置に係り、さらに詳細には、レーザ加工位置からの前記光ファイバへの反射光(戻り光)を検出し、戻り光の強弱に対応して、例えばレーザ発振の停止、レーザ加工の停止などのアラーム処理及び警報表示などのワーニング処理を行うレーザ加工装置に関する。 The present invention relates to a laser processing apparatus in which a laser oscillator and a laser processing head are optically connected via an optical fiber, and more specifically, reflected light (return light) from the laser processing position to the optical fiber. The present invention relates to a laser processing apparatus that detects and performs warning processing such as alarm processing and warning display such as stop of laser oscillation and stop of laser processing in response to the strength of return light.
レーザ発振器としてのファイバレーザ発振器とレーザ加工装置におけるレーザ加工ヘッドは、光ファイバを介して光学的に接続してあり、レーザ加工位置での反射光(戻り光)が前記光ファイバに入射されると、前記レーザ発振器や光ファイバが損傷されることがある。そこで、前記戻り光を検出することが行われている(例えば特許文献1参照)。 A fiber laser oscillator as a laser oscillator and a laser processing head in a laser processing apparatus are optically connected via an optical fiber, and when reflected light (return light) at a laser processing position is incident on the optical fiber. The laser oscillator and the optical fiber may be damaged. Therefore, the return light is detected (see, for example, Patent Document 1).
また、ファイバレーザ発振器とレーザ加工ヘッドに接続した光ファイバとしての伝送用ファイバ(プロセルファイバ)とを光学的に接続するに当り、ファイバレーザ発振器によって発振されたレーザ光を集光レンズによって集光し、前記伝送用ファイバの入射端に入射することが行われている(例えば特許文献2参照)。 In addition, when optically connecting a fiber laser oscillator and a transmission fiber (process cell fiber) as an optical fiber connected to a laser processing head, the laser beam oscillated by the fiber laser oscillator is condensed by a condenser lens. Incident light is incident on an incident end of the transmission fiber (see, for example, Patent Document 2).
前記特許文献1に記載の構成は、レーザ加工位置からの戻り光が光ファイバのアウタコアに入射され、このアウタコアの一部から外部へ漏出した戻り光を検出するものである。そして、特許文献1の[0010]に記載されているように、レーザ発振器からのレーザ光を集光レンズによって集光して伝送用光ファイバの入射端に入射するとき、レーザ光においてエネルギー密度の低い外周部分が、伝送用光ファイバにおけるコア外周のクラッドに入射されることがあるものである。 In the configuration described in Patent Document 1, the return light from the laser processing position is incident on the outer core of the optical fiber, and the return light leaked to the outside from a part of the outer core is detected. As described in [0010] of Patent Document 1, when the laser light from the laser oscillator is condensed by the condenser lens and incident on the incident end of the transmission optical fiber, the energy density of the laser light is reduced. The lower outer peripheral portion may be incident on the outer peripheral cladding of the transmission optical fiber.
そして、従来は、戻り光の検出値が予め高く設定してある閾値を一瞬でも越えた場合に、例えばアラームとしていた。しかし、戻り光の検出値が予め設定した前記閾値を一瞬のみ越えたような場合には、光ファイバに損傷を与えることはなく、前記戻り光の検出値が前記閾値を越えることはないが、閾値に近い検出値が継続される場合には光ファイバに損傷を与えることを見い出した。 Conventionally, for example, an alarm is generated when the detection value of the return light exceeds a preset threshold value even for a moment. However, when the detection value of the return light exceeds the preset threshold value only for a moment, the optical fiber is not damaged and the detection value of the return light does not exceed the threshold value. It has been found that if the detection value close to the threshold value is continued, the optical fiber is damaged.
本発明は、前述のごとき問題に鑑みてなされたもので、レーザ発振器とレーザ加工ヘッドとを光ファイバによって接続したレーザ加工装置であって、ワークへ照射したレーザ光の前記光ファイバへの戻り光を検出する戻り光検出手段と、前記戻り光の検出値をデジタル処理するデジタル処理手段と、デジタル処理したデジタル信号を移動平均する移動平均処理手段と、上記移動平均処理手段によって処理した処理値と予め設定してあるアラーム閾値、ワーニング閾値とを比較する比較手段と、上記比較手段による比較の結果、アラーム処理、ワーニング処理を行う処理手段と、を備えていることを特徴とするものである。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and is a laser processing apparatus in which a laser oscillator and a laser processing head are connected by an optical fiber, and the return light of the laser light applied to the workpiece to the optical fiber is provided. Return light detecting means for detecting the return light, digital processing means for digitally processing the detection value of the return light, moving average processing means for moving average of the digitally processed digital signal, and processed values processed by the moving average processing means Comparing means for comparing preset alarm threshold values and warning threshold values, and processing means for performing alarm processing and warning processing as a result of comparison by the comparing means, are provided.
また、前記レーザ加工装置において、前記移動平均処理手段による処理値が前記ワーニング閾値よりも大きく、前記アラーム閾値よりも小さい場合に、予め設定してあるリセット設定時間内において、前記処理値が前記ワーニング閾値よりも大きい時間の積算値が予め設定してあるアラーム設定時間を越えたか否かを判別し、越えた場合にアラーム処理を行う判別手段を備えていることを特徴とするものである。 In the laser processing apparatus, when the processing value by the moving average processing means is larger than the warning threshold and smaller than the alarm threshold, the processing value is set to the warning within a preset reset time. It is characterized in that there is provided a discriminating means for discriminating whether or not the integrated value of the time larger than the threshold has exceeded a preset alarm setting time, and performing an alarm process when it exceeds.
本発明によれば、戻り光の検出値を平均化処理した処理値をワーニング閾値と比較して一瞬越えただけの場合にはワーニング処理を行い、ワーニング閾値を越えた状態が持続した場合にはアラーム処理を行うので、戻り光による光ファイバの損傷を効果的に防止できるものである。 According to the present invention, the processing value obtained by averaging the detection values of the return light is compared with the warning threshold value, and the warning processing is performed only for a moment, and when the state exceeding the warning threshold value continues. Since alarm processing is performed, damage to the optical fiber due to return light can be effectively prevented.
以下、図面を用いて本発明の実施形態に係るレーザ加工装置1について説明するに、レーザ加工装置1は、レーザ発振器の1例としてのファイバレーザ発振器3を備えていると共に、ファイバレーザ発振器3から発振されたレーザ光LBを集光してワークWのレーザ加工を行うレーザ加工ヘッド5を備えている。前記レーザ加工ヘッド5に光学的に接続した伝送用光ファイバ7(レーザ加工ヘッド5内においては誇張して太く表示してある)と前記ファイバレーザ発振器3に備えたアクティブファイバ(発振用の光ファイバ:図示省略)は光学的に接続してある。そして、前記伝送用光ファイバ7の適宜位置には、前記ワークWの加工位置からの戻り光(反射光)RLを検出する戻り光検出手段としての光センサ9が備えられている。
Hereinafter, a laser processing apparatus 1 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The laser processing apparatus 1 includes a fiber laser oscillator 3 as an example of a laser oscillator. A laser processing head 5 that condenses the oscillated laser beam LB and performs laser processing on the workpiece W is provided. A transmission
したがって、ファイバレーザ発振器3から発振されたレーザ光LBをワークWへ照射してレーザ加工を行うとき、ワークWの加工位置からの戻り光RLが伝送用光ファイバ7のクラッドに入射されると、クラッドからの漏れ光が前記センサ9によって検出されるものである。そして、前記発振用の光ファイバと前記伝送用光ファイバ7との光学的な接続部からレーザ光LBのエネルギー密度の低い外周部分が前記伝送用光ファイバ7におけるクラッドに入射されると、当該レーザ光LBも前記光センサ9によって検出することができるものである。
Therefore, when performing laser processing by irradiating the workpiece W with the laser beam LB oscillated from the fiber laser oscillator 3, when the return light RL from the processing position of the workpiece W is incident on the cladding of the transmission
前記光センサ9は戻り光モニタ手段11に接続してある。前記戻り光モニタ手段11は、前記光センサ9の検出信号を増幅するアンプ13を備えると共に、前記光センサ9の検出値(アナログ信号)をデジタル処理するデジタル処理手段15を備えている。このデジタル処理手段15は、A/D変換器17を備えると共に各種の処理を行うCPU19を備えている。さらに、前記デジタル処理手段15は、予め設定したアラーム閾値、ワーニング閾値、アラーム設定時間等を格納した閾値メモリ21が備えられていると共に、前記閾値メモリ21の値をNC装置23へ出力する閾値出力手段25が備えられている。
The
なお、前記デジタル処理手段15は、予め設定されたサンプリング時間(例えば1msec)毎に、前記光センサ9の検出値(アナログ信号)を前記A/D変換器17によってデジタル信号に変換するものである。そして、デジタル変換したデジタル信号及び前記閾値メモリ21に格納されている各値を、前記NC装置23へ出力するものである。
The digital processing means 15 converts the detection value (analog signal) of the
前記NC装置23は、前記レーザ加工装置1の制御を行うものであって、前記デジタル処理手段15から入力されたデジタル信号を所定のサンプリング時間(例えば4msec)毎に移動平均する移動平均処理手段27を備えている。さらに、NC装置23は、前記移動平均処理手段27によって処理した処理値Aと前記閾値出力手段25から入力された各種閾値とを比較する比較手段29を備えている。
The
また、前記NC装置23は、前記移動平均処理手段27の処理値Aと前記閾値メモリ21に格納されていたアラーム閾値との比較の結果、処理値A≧アラーム閾値の場合に、表示手段31にアラーム表示を行うと共に、例えば前記ファイバレーザ発振器3の発振を停止することや、レーザ加工装置1のレーザ加工停止などのアラーム処理を行うアラーム処理手段33を備えている。さらに、前記NC装置23には、前記処理値Aとワーニング閾値との比較の結果、処理値A≧ワーニング閾値の場合に、例えば前記表示手段31に警報表示などのワーニング処理を行うワーニング処理手段35が備えられている。
Further, the
また、前記NC装置23には、判別手段37が備えられている。この判別手段37は、前記処理値Aが前記ワーニング閾値よりも大きく、前記アラーム閾値よりも小さい場合に、予め設定してあるリセット設定時間内において、前記処理値Aがワーニング閾値よりも大きい時間の積算値Bが、予め設定してあるアラーム設定時間を越えたか否か(大きくなったか否か)を判別し、越えた場合に前記アラーム処理を行う機能を奏するものである。
Further, the
以上のごとき構成において、レーザ発振器3において発振されたレーザ光LBをワークWに照射すると、ワークWのレーザ加工が行われる。そして、ワークWの加工位置において反射された戻り光RLが伝送用光ファイバ7のクラッドに入射されると、光センサ9によって検出される(ステップS1)。そして、戻り光RLが検出されると、デジタル処理手段15によってデジタル処理される(ステップS2)。
In the configuration as described above, when the workpiece W is irradiated with the laser beam LB oscillated by the laser oscillator 3, the workpiece W is laser processed. When the return light RL reflected at the processing position of the workpiece W is incident on the cladding of the transmission
ここで、従来は、図3(A)に示すように、デジタル処理したデジタル信号DS(最小サンプリング時間、例えば1msec毎の信号)を、予め設定したワーニング閾値WT及びアラーム閾値ATと比較して、前記デジタル信号DSがワーニング閾値WT、アラーム閾値ATを一瞬でも越えると、ワーニング処理、アラーム処理を行っていた。したがって、従来は、一瞬の大きな反射レベルに対応するために、前記ワーニング閾値WT、アラーム閾値ATを高く設定していた。 Here, conventionally, as shown in FIG. 3A, a digitally processed digital signal DS (minimum sampling time, for example, signal every 1 msec) is compared with a preset warning threshold value WT and alarm threshold value AT, When the digital signal DS exceeds the warning threshold value WT and the alarm threshold value AT even for a moment, a warning process and an alarm process are performed. Therefore, conventionally, the warning threshold value WT and the alarm threshold value AT are set high in order to cope with a large reflection level for a moment.
しかし、戻り光RLの反射レベルがアラーム閾値AT以下の場合であっても、この反射レベルが持続されると、光ファイバに損傷を付与することがある。すなわち、従来は、戻り光RLの反射レベルがワーニング閾値WT以上でアラーム閾値AT以上の場合、単にワーニング処理を行うにすぎないものであった。 However, even if the reflection level of the return light RL is less than or equal to the alarm threshold value AT, if this reflection level is sustained, the optical fiber may be damaged. That is, conventionally, when the reflection level of the return light RL is greater than or equal to the warning threshold WT and greater than or equal to the alarm threshold AT, the warning process is merely performed.
そこで、本実施形態においては、前述のごとく、戻り光RLの検出信号(アナログ信号)のデジタル処理が行われると、前記デジタル処理手段15からデジタル信号DSがNC装置23に入力され、NC装置23に備えた移動平均処理手段27によって移動平均処理(処理値A)が行われる(ステップS3)。本実施形態においては、図3(B)に示すように、前記デジタル信号DSを、例えば4分割して移動平均化した場合を例示してある。なお、デジタル信号DSがD1,D2,D3,D4と次第に高くなるのは、前記レーザ発振器3側から伝送用光ファイバ7にレーザ光LBの入射が行われるときに、エネルギー密度の小さなレーザ光LBの外周部分が前記伝送用光ファイバ7のクラッドに入射されているものである。
Therefore, in the present embodiment, as described above, when the detection signal (analog signal) of the return light RL is digitally processed, the digital signal DS is input from the digital processing means 15 to the
前述のごとく、移動平均処理手段27によって移動平均処理が行われると、この際の処理値Aと前記デジタル処理手段15から入力された各種の閾値とが比較手段29によって比較される。この際、前記処理値Aとデジタル処理手段15における閾値メモリ21に予め格納されていたアラーム閾値ATとが比較される(ステップS4)。ここで、処理値A≧アラーム閾値ATの場合には、例えばレーザ加工停止などのアラーム処理が行われる(ステップS5)。
As described above, when the moving average processing is performed by the moving average processing means 27, the processing value A at this time and various threshold values input from the digital processing means 15 are compared by the comparison means 29. At this time, the processing value A is compared with the alarm threshold value AT previously stored in the
前記ステップS4において、処理値A<アラーム閾値ATの場合には、次に前記処理値Aとワーニング閾値WTが比較される(ステップS6)。ここで、処理値A<ワーニング閾値WTの場合にはステップS1に戻り、戻り光RLの検出が行われる。そして、ステップS6において、処理値A≧ワーニング閾値WTの場合には、ステップS7へ移行して、例えば表示手段31にワーニングメッセージ等の表示が行われると共に、移動平均処理を行ったデジタル信号DSがワーニング閾値WTを越えている時間の積算が開始される。 If the processing value A <alarm threshold value AT in step S4, the processing value A is compared with the warning threshold value WT (step S6). Here, if the processing value A <warning threshold WT, the process returns to step S1, and the return light RL is detected. In step S6, when the processing value A ≧ the warning threshold value WT, the process proceeds to step S7, where, for example, a warning message or the like is displayed on the display means 31, and the digital signal DS subjected to the moving average processing is displayed. Integration of the time exceeding the warning threshold value WT is started.
前記ステップS7において、ワーニング閾値WTをデジタル信号DSが越えている時間の積算は、予め設定したリセット設定時間(例えば200msec)行って、リセット設定時間が経過すると、経過時間も、積算値も同様にリセットされてステップS1に戻り、戻り光RLの検出が行われる。したがって、ステップS7においてワーニング時間の積算が開始されると、次に、ステップS8において積算開始時間の経過と予め設定してあるリセット設定時間とが判別手段37において比較される。そして、経過時間≧リセット設定時間になると、ステップS9においてリセットされ、前記ステップS1へ戻って再度戻り光RLの検出が行われる。 In step S7, the integration of the time that the digital signal DS exceeds the warning threshold value WT is performed in a preset reset setting time (for example, 200 msec). When the reset setting time has elapsed, the elapsed time and the integrated value are the same. After resetting, the process returns to step S1, and the return light RL is detected. Accordingly, when the integration of the warning time is started in step S7, the elapse of the integration start time and the preset reset setting time are then compared in the determination means 37 in step S8. When the elapsed time ≧ the reset setting time, the reset is performed in step S9, the process returns to step S1, and the return light RL is detected again.
前記ステップS8において、経過時間<リセット設定時間の場合には、前記ワーニング時間の積算値Bと予め設定してあるアラーム設定時間(例えば80msec)とが比較される(ステップS10)。ここで、積算値B≧アラーム設定時間の場合には、ワーニング閾値WTをデジタル信号DSが越えている時間が長く継続され、光ファイバに損傷を生じ易いものとして、前記アラーム処理(ステップS5)へ移行する。前記ステップS10において、積算値B<アラーム設定時間の場合には、前記ステップS1へ戻るものである。 In step S8, if elapsed time <reset setting time, the integrated value B of the warning time is compared with a preset alarm setting time (for example, 80 msec) (step S10). Here, when the integrated value B ≧ alarm setting time, it is assumed that the time during which the digital signal DS exceeds the warning threshold value WT is continued for a long time, and the optical fiber is likely to be damaged, so that the alarm processing (step S5) is performed. Transition. If the integrated value B <alarm set time in step S10, the process returns to step S1.
以上のごとき説明より理解されるように、本実施形態においては、レーザ加工時におけるレーザ加工位置からの光ファイバへの戻り光RLを検出した検出信号(アナログ信号)をデジタル処理し、このデジタル処理したデジタル信号を移動平均化して、この移動平均化したデジタル信号DSの高さを、予め設定したワーニング閾値WT、アラーム閾値ATと比較するものである。 As can be understood from the above description, in the present embodiment, the detection signal (analog signal) obtained by detecting the return light RL from the laser processing position to the optical fiber at the time of laser processing is digitally processed. This digital signal is subjected to moving averaging, and the height of the moving averaged digital signal DS is compared with a preset warning threshold value WT and alarm threshold value AT.
したがって、一瞬の大きな反射レベルの戻り光RLであっても光ファイバに損傷を与えることのないような場合には、平均化されることとなり、前記アラーム閾値ATを越えるようなことが少なくなり、アラーム処理回数が少なくなるものである。よって、アラーム処理に起因する加工能率低下を抑制できることになるものである。 Therefore, even if the return light RL having a large reflection level for a moment does not damage the optical fiber, it is averaged, and the alarm threshold value AT is less likely to be exceeded. The number of alarm processing times is reduced. Therefore, it is possible to suppress a reduction in machining efficiency due to alarm processing.
また、デジタル信号DSのレベルがアラーム閾値AT以下であって、ワーニング閾値WTを越えている時間が予め設定したリセット設定時間内において予め設定したアラーム設定時間を越えるとアラーム処理を行うものであるから、デジタル信号DSのレベルがアラーム閾値AT以下であっても、光ファイバを損傷するおそれがある場合には、未然に損傷を防止することができるものである。 Also, alarm processing is performed when the level of the digital signal DS is equal to or lower than the alarm threshold value AT and the time that exceeds the warning threshold value WT exceeds the preset alarm set time within the preset reset time. Even if the level of the digital signal DS is less than or equal to the alarm threshold value AT, if there is a possibility of damaging the optical fiber, the damage can be prevented in advance.
なお、本発明は前述したごとき実施形態のみに限るものではなく、適宜の変更を行うことにより、その他の形態でもって実施可能なものである。すなわち、前記説明においては、閾値メモリ21をデジタル処理手段15に備えている場合について例示した。しかし、閾値メモリ21は、NC装置23に備えてもよいものである。
The present invention is not limited to the embodiment described above, and can be implemented in other forms by making appropriate changes. That is, in the above description, the case where the
1 レーザ加工装置
3 ファイバレーザ発振器
5 レーザ加工ヘッド
7 伝送用光ファイバ
9 光センサ
11 戻り光モニタ手段
15 デジタル処理手段
17 A/D変換器
21 閾値メモリ
23 NC装置
27 移動平均処理手段
29 比較手段
31 表示手段
33 アラーム処理手段
35 ワーニング処理手段
37 判別手段
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| JP6027814B2 (en) | 2016-11-16 |
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