JP2014033478A - 圧電発電装置 - Google Patents
圧電発電装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014033478A JP2014033478A JP2010268770A JP2010268770A JP2014033478A JP 2014033478 A JP2014033478 A JP 2014033478A JP 2010268770 A JP2010268770 A JP 2010268770A JP 2010268770 A JP2010268770 A JP 2010268770A JP 2014033478 A JP2014033478 A JP 2014033478A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power generation
- piezoelectric power
- piezoelectric
- plate
- plates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000010248 power generation Methods 0.000 claims abstract description 315
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 33
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 27
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 239000000284 extract Substances 0.000 abstract description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 16
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 14
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N potassiosodium Chemical compound [Na].[K] BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/18—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing electrical output from mechanical input, e.g. generators
- H02N2/186—Vibration harvesters
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
【課題】製造容易であり、大きな電力を取出し得る圧電発電装置を提供する。
【解決手段】第1の圧電発電板2に対向するように第2の圧電発電板7が配置されており、第1,第2の圧電発電板2,7が、連結部材8,9により連結されており、第1の圧電発電板2に、外部と固定するための支持部材10が設けられている、圧電発電装置1。
【選択図】図1
【解決手段】第1の圧電発電板2に対向するように第2の圧電発電板7が配置されており、第1,第2の圧電発電板2,7が、連結部材8,9により連結されており、第1の圧電発電板2に、外部と固定するための支持部材10が設けられている、圧電発電装置1。
【選択図】図1
Description
本発明は、圧電効果を利用して内部から振動が加えられた際に電力を取り出すことを可能とする圧電発電装置に関し、より詳細には、複数の圧電発電板を連結してなる構造を有する圧電発電装置に関する。
従来より、圧電効果を利用した圧電発電装置が種々提案されている。例えば、下記の特許文献1には、図13に示す圧電発電装置1001が開示されている。
圧電発電装置1001は、U字状に折り曲げられた金属板1002を有する。この金属板1002に、少なくとも1つの圧電素子1003が固定されている。金属板1002の一端が固定部材1004に固定されている。U字状に折り曲げられた金属板1002は、固定部材1004に固定されている第1のアーム部1002aを有する。第1のアーム部1002aの、固定部材1004とは反対側の端部において、金属板1002が折り曲げられている。そして、折り曲げられている中間部1002bを介して第2のアーム部1002cが連ねられている。第2のアーム部1002cの先端が自由端とされている。
圧電発電装置1001では、上記のようにU字状に折り曲げられた金属板1002を用いているため、外力が加わった場合、自由端が大きく変位し、比較的大きな電力を発生させることができるとされている。
また、下記の特許文献2には、つづら折り状に複数回屈曲された圧電発電板を用いた圧電発電装置が開示されている。ここでも、つづら折り状に加工された圧電発電板を用いることにより、外力が加わった際に大きな電力を発生させることができるとされている。
ところで、圧電発電装置の利用分野によっては、圧電発電装置に加わる振動が比較的低い周波数の場合がある。例えば、自動車に取り付けられた圧電発電装置や人が歩行する際の振動を利用して発電を行う圧電発電装置では、比較的低周波の振動により圧電発電装置において電力を発生させる必要がある。圧電発電装置において、低周波の振動により電力を発生させようとした場合、圧電発電素子の共振周波数を低くする必要がある。
従って、板状の圧電発電素子を用いた場合、共振周波数を低くするため、その厚みを薄くする方法がとられる。しかしながら、特許文献1や特許文献2に記載のような、圧電発電板をU字状に折り返したり、つづら折り状に複数回折り返されている圧電発電板を用いて、板状の圧電発電板の厚みを薄くすると、折り返し部の強度が低下し、塑性変形や脆性破壊が発生するため、圧電発電板の厚みを薄くすることが困難であった。また、特許文献1に記載の圧電発電装置1001では、金属板1002に対し、一部分にのみ圧電素子1010が貼り付けられている。従って、圧電素子の比率が小さいため、発電量を十分に高めることができなかった。
また、特許文献2に記載の圧電発電装置では、つづら折り状の圧電発電板を加工しなければならず、加工工程が非常に煩雑であった。また、このような複雑な形状の圧電発電板において、部分的に異なる方向に分極処理する作業も煩雑であった。
本発明の目的は、製造が容易であり、しかも低い周波数の振動が加わった場合においても大きな電力を取り出すことを可能とする圧電発電装置及びその製造方法を提供することにある。
本発明に係る圧電発電装置は、第1の圧電発電板と、前記第1の圧電発電板と互いの主面が対向するように配置された第2の圧電発電板と、前記第1,第2の圧電発電板を連結している連結部材とを有する圧電発電素子と、前記第1の圧電発電板に固定されており、かつ前記圧電発電素子を外部に固定する支持部材とを備える。
本発明に係る圧電発電装置のある特定の局面では、前記圧電発電素子が複数連結されており、互いに連結されている2つの圧電素子において、1つの前記圧電発電素子の前記第2の圧電発電板の前記第1の圧電発電板とが対向している主面とは反対側の主面にもう1つの前記圧電発電素子が連結されている。この場合には、複数の圧電発電素子を有するため、大きな電力を得ることができる。
本発明に係る圧電発電装置のさらに他の特定の局面では、前記複数の圧電発電素子が連結されている構造において、前記支持部材が前記第1の圧電発電板の中央または両端に連結され、前記連結部材が前記第1及び第2の圧電発電板の中央または両端で前記第1及び第2の圧電発電板に連結されている。この場合には、圧電発電板中央部に形成される支持部材または連結部材に作用する曲げモーメントを低減することができる。そのため、圧電発電板の中央部に作用する応力を小さくすることができる。
本発明に係る圧電発電装置では、第1,第2の圧電発電板は、好ましくは、矩形形状を有する。
本発明に係る圧電発電装置の他の特定の局面では、前記連結部材は、前記第1と第2の圧電発電板とが互いに対向する主面の両端の位置で連結する前記第1,第2の連結部材を含み、前記支持部材は、前記第1,第2の連結部材が設けられている側と反対側の主面において、前記第1の圧電発電板の主面の中央部に設けられている。この場合には、第1の圧電発電板の上面中央において、圧電発電装置を支持することができる。固定部が1ヶ所であるため、他の部品や部材への固定を容易に行うことができる。
本発明に係る圧電発電装置のさらに他の特定の局面では、前記連結部材は、前記第1,第2の圧電発電板の長さ方向における中央部において、前記第1と第2の圧電発電板を連結し、前記支持部材は、前記第1の圧電発電板の前記連結部材が設けられている側と反対側の主面の長さ方向における両端に第1,第2の支持部材が設けられている。この場合には、第1の圧電発電板の上端において他の部材に固定することができるので、圧電発電装置の固定構造の安定化を図ることができる。また、第1,第2の圧電発電板は、主面中央において連結部材により連結されているので、すなわち1ヶ所で連結されているので、第1の圧電発電板と第2の圧電発電板とをより大きく変位させることができる。従って、より大きな電力を取出すことができる。
本発明に係る圧電発電装置のさらに他の特定の局面では、前記第1,第2の圧電発電板において、矩形形状の圧電発電板の一方の長辺から他方の長辺側に向かって延びる切欠き部が形成されている。この場合には、圧電発電板の変位量を大きくすることができるので、より一層大きな電力を取出すことができる。
好ましくは、前記切欠き部が複数設けられており、前記複数の切欠き部が、前記第1,第2の圧電発電板の長さ方向において交互に逆の長辺に設けられている。この場合には、外力が加えられた際に圧電発電板がミアンダ状に変位し、より一層共振周波数を低めることができる。従って、より一層大きな電力を取出すことができる。
本発明に係る圧電発電装置のさらに別の特定の局面では、前記矩形形状の第1,第2の圧電発電板のそれぞれの対向し合う一対の角部同士が前記連結部材によりそれぞれ連結されており、前記支持部材が、前記第1の圧電発電板の中央に固定されている。この場合には、前記連結部と前記支持部材とによって発生する前記矩形状の第1,第2の圧電発電板の長さ方向と長さ方向に異なる方向との変位が合わさるため、より一層大きな電力を取り出すことができる。
本発明に係る圧電発電装置のさらに別の特定の局面では、前記第1,第2の圧電発電板に、前記連結部材が設けられている部分の間において、該圧電発電板の内部から外周縁に至る切欠き部が形成されている。この場合においては、切欠き部が設けられているので、共振周波数をより低くすることができ、かつ外力が加えられた際の変位量を大きくすることができる。従って、より一層大きな電力を取出すことができる。好ましくは前記切欠き部が複数設けられており、該複数の切欠き部が前記支持部材に固定されている部分に対して点対称に設けられている。この場合には、より一層大きな電力を取出すことができる。
本発明に係る圧電発電装置のさらに他の特定の局面では、前記第2の圧電発電板の前記連結部材が設けられている側とは反対側の主面側に配置されて、前記第2の圧電発電板と固定されている質量付加部材がさらに備えられている。質量付加部材が設けられているため、外力が加わった際の第1,第2の圧電発電板の変位量をより一層大きくすることができる。そのため、より一層大きな電力を取出すことができる。
本発明に係る圧電発電装置のさらに別の特定の局面では、前記第2の圧電発電板の前記第1の圧電発電板とは反対側の面に連結部材を介して少なくとも一つの圧電発電板がさらに連結されている。この場合には、より多くの圧電発電板の変位に基づき、より一層大きな電力を取出すことが可能となる。
本発明に係る圧電発電装置のさらに他の特定の局面では、前記第1,第2の圧電発電板が、厚み方向に分極処理された第1の分極領域と、厚み方向において第1の分極領域と逆方向の分極処理された第2の分極領域とを有する圧電板を備える。第1,第2の圧電発電板に第1,第2の分極領域を容易に形成することができるので製造工程の煩雑さを招くことなく、本発明の圧電発電装置を構成することができる。
本発明の圧電発電装置のさらに他の特定の局面では、前記圧電発電板が、前記圧電板に積み重ねされた金属板をさらに備え、ユニモルフ型の圧電素子が構成されている。この場合には、ユニモルフ型であるため、外力が加えられた際の圧電発電板の変位量を大きくすることができる。もっとも、本発明では、圧電発電板は、バイモルフ型の圧電素子であってもよい。
本発明に係る圧電発電装置では、第1の圧電発電板と第2の圧電発電板とが連結部材を介して連結されているため、支持部材により外部に固定した状態で外力が加わると、第1,第2の圧電発電板の双方が変位し、大きな電力を取出すことが可能となる。加えて、第1,第2の圧電発電板を連結部材を介して連結した構造を有するものにすぎないため、製造工程の煩雑さを招くことなく、大きな電力を取出すことが可能となる。
さらに、第1,第2の圧電発電板が連結部材を介して連結される構造であるため、圧電発電装置の圧電発電板の面方向寸法を大きくすることなく、大電力を取出すことができる。従って、圧電発電装置の小型化を進めることも可能となる。
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
図1(a)は、本発明の第1の実施形態に係る圧電発電装置の正面図であり、図1(c)はその斜視図である。
圧電発電装置1は、第1の圧電発電板2と、第2の圧電発電板7とを有する。第1の圧電発電板2は、金属板4の片面に第1の板状の圧電素子3を貼り合わせた構造を有する。すなわち、第1の圧電発電板2は、ユニモルフ型の圧電振動板である。同様に、第2の圧電発電板7もまた、金属板6の片面に板状の圧電素子5を貼り合わせてなるユニモルフ型の圧電振動板である。
図1(a)では図示を省略しているが、圧電素子3は、図1(b)に示すように、圧電板の材料として圧電セラミックを用いた圧電セラミック板3aの両面に電極3b,3cを形成した構造を有する。圧電セラミック板3aは、厚み方向に分極処理されている。もっとも、図示の矢印で示すように、圧電セラミック板3aの中央の分極領域P1と、両側の分極領域P2,P3とが、厚み方向において逆方向に分極処理されている。
上記圧電素子3に後述するように外力が加わって座屈モードで変形した場合、分極領域P1において生じる応力と、分極領域P2,P3において生じる応力とは厚み方向において逆方向となる。
なお、第2の圧電発電板7の板状の圧電素子5も圧電素子3と同様の構造を有する。もっとも、第2の圧電素子5では、長さ方向における中央領域が圧電素子3の第1の分極領域P1と逆方向に分極処理されており、両側の領域が、圧電素子3の第2,第3の分極領域P2,P3と逆方向に分極処理されている。これは、後述するように、外力が加わった際に、圧電素子5は、圧電素子3と逆方向に変形することによる。
なお、圧電素子3,5を構成する両面に電極が形成された圧電板は、本実施形態ではチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスからなる。もっとも、圧電板は、ニオブ酸カリウムナトリウム等のアルカリニオブ酸系セラミックスなど非鉛系圧電体セラミックスなどの、適宜の圧電材料により構成され得る。
また、電極3b,3cは、AgやCuなどの適宜の金属からなる。
上記圧電素子3は、金属板4に対して図示しない接着剤により接合されている。このような接着剤としては、導電性接着剤あるいは絶縁性接着剤を用いることができる。なお、図1(b)の電極3cは、金属板4に貼り合わされる部分であり、金属板4を電極として用いる場合、電極3cは省略されてもよい。
第1,第2の圧電発電板2,7は、矩形板状の形状を有し、主面同士が対向するように第1,第2の連結部材8,9により連結されている。連結部材8,9は、アルミナなどの絶縁性セラミックス、樹脂、または金属などの適宜の材料により形成することができる。本実施形態では、第1,第2の連結部材8,9は、矩形板状の圧電発電板2,7の長さ方向両端において、第1の圧電発電板2と第2の圧電発電板7とを接合している。この接合もまた、適宜の接着剤等の接合剤を用いて行うことができる。
上記第1,第2の圧電発電板2,7及び第1,第2の連結部材8,9により、1つの圧電発電素子が構成されている。
本実施形態では、第1の圧電発電板2の上面、すなわち第1,第2の連結部材8,9が接合されている側とは反対側の面に、支持部材10が接合されている。この支持部材10は、圧電発電板2の長さ方向における中央に固定されている。支持部材10もまた、セラミックスや金属などの適宜の材料により形成することができる。支持部材10は、圧電発電装置1を外部に固定し、支持するために設けられている。なお、支持部材10は、第1の圧電発電板2の上面以外に固定されていてもよい。
他方、第2の圧電発電板7の下面すなわち第1,第2の連結部材8,9が接合されている側とは反対側の面には、連結部材11を介して質量付加部材12が固定されている。連結部材11は、セラミックスや樹脂や金属などの適宜の材料により構成することができる。質量付加部材12は、金属やセラミックスなどの質量を付加し得る適宜の材料により形成することができる。大きな質量を与えるためには、質量付加部材12は、圧電板より比重が大きな材料が好ましく、金属からなることが望ましい。
なお、図1(c)では、上記質量付加部材12の図示は省略していることを指摘しておく。
上記質量付加部材12は、後述する第1,第2の圧電発電板2,7における変位量を拡大するために設けられているが、質量付加部材12は設けられずともよい。
本実施形態の圧電発電装置1では、支持部材10が外部に固定される。従って、使用に際しては、支持部材10が第1の圧電発電板2に固定されている部分が固定端となり、該固定端とは反対側の端部すなわち質量付加部材12が設けられている側の端部が自由端として加えられた外力や振動によって変位する。
すなわち、第1,第2の圧電発電板2,7が第1,第2の連結部材8,9で連結されている構造に外部から振動や外力が加わった場合、圧電発電板2,7が変位する。この変位は、図2の実線Aで示す状態と破線Bで示す状態との間で繰り返される。この場合、第1の圧電発電板2と第2の圧電発電板7は逆相で変位する。
他方、第1,第2の圧電発電板2,7のいずれもが外力が加わった際に変位するため、本実施形態では、圧電発電板2において変位により生じた電荷と、圧電発電板7で生じた電荷により、大きな電力を取出すことができる。
より具体的には、例えば第1の圧電セラミック板3aは上記のような分極構造を有するため、長さ方向における中央領域と、その両側の端部領域との間に応力は反転する境界が発生するが、分極方向もまた中央領域と端部領域の第2,第3の分極領域P2,P3とで逆方向とされている。従って、図2に示したような変位が生じた場合、板状の圧電素子3の表面に発生する電荷の極性が同一になり、圧電素子3の表面に共通電極を形成するような容易な構造であっても、効率よく電力を取出すことができる。第2の圧電発電板7においても同様である。
本発明の実施形態によれば、圧電発電素子の積み重ね方向に引張力または圧縮力を作用させると、圧電発電板の対向する距離が遠ざかる、または、近づくように圧電発電板が座屈モードで変位させられる。このとき、圧電発電板の中央領域に形成される支持部材又は連結部材が主面と垂直な方向な直線上に配置されれば、連結部材又は支持部材が形成された圧電発電板に作用する曲げモーメントの大きさが抑制できる。よって、図2で示す、圧電発電板の端部領域において、複数点で支持し応力が分散できない、圧電発電板の中央部の単数点に作用する曲げモーメントが減少し、応力の総和が減少することによって圧電発電板に発生するクラックを減少させる効果がある。なお、電力の取り出しに際しては、第1の圧電素子3の一方の電極3bと、第2の圧電素子5の同じく外側面に位置している電極とを共通接続し、第1の端子とする。また、第1,第2の圧電発電板2,7の金属板4,6側に位置している電極同士を共通接続し、第2の端子とする。この第1の端子と第2の端子から電力を取出すことができる。
本実施形態の圧電発電装置1では、上記のように、第1の圧電発電板2と第2の圧電発電板7とが対向配置されかつ第1,第2の連結部材8,9により連結されている構造を有する。そのため、外力が加わった場合、第1の圧電発電板2及び第2の圧電発電板7の双方から電力を取出すことができるので、大きな電力を取出すことができる。
しかも、以下に述べるように、圧電発電装置1は、煩雑な工程を経ることなく容易に製造することができる。
第1に、例えば板状の圧電素子3の第1の分極領域P1及び第2,第3の分極領域P2,P3は容易に形成することができる。例えば、圧電セラミック板3aの一方主面に、第1の分極領域P1上に第1の分極電極を形成し、第1の分極電極と接触しないように、第2,第3の分極領域P2,P3上に第2,第3の分極電極を形成し、反対側の主面に全面電極を形成する。そして、第1の分極電極と全面電極との間に直流電圧を印加し、他方第2,第3の分極電極と全面電極との間に逆極性の直流電圧を印加する。それによって、上述した分極構造を容易に形成することができる。なお、第1〜第3の分極電極を除去した後に、全面に電極を形成し、電極3bとしてもよい。あるいは第1〜第3の分極電極を残したまま、さらに導電膜を形成し、電極3bを形成してもよい。
第2に、板状の圧電素子3を金属板4に貼り合わせ、さらに同様にして構成された圧電発電板7と第1,第2の連結部材8,9により連結すればよいだけである。そして、支持部材10や必要に応じて連結部材11を接合し、かつ質量付加部材12を接続するだけで、圧電発電装置1を得ることができる。
前述した特許文献2に記載の圧電発電装置は、つづら折り状の圧電素子を用いているため外力によって大きく変位し、大きな電力を取り出し得る。しかしながら、つづら折り形状の複雑な形状の圧電素子を形成しなければならず、またその分極方法も非常に煩雑である。
これに対して、本実施形態の圧電発電装置1は、上記のような単純な工程を経て容易に製造することができる。
さらに、第1,第2の圧電発電板2,7を積み重ねした構造を有するため、圧電発電板2の面方向寸法を小さくすることができ、それによって圧電発電板の面方向の寸法を小さくすることができる。よって、大電力を取出すことができ、かつ小型の圧電発電装置1を提供することができる。
図3は、本発明の第2の実施形態に係る圧電発電装置21の正面図である。圧電発電装置21は、第1の実施形態と同様に、第1,第2の圧電発電板2,7及び質量付加部材12を有する。第1の実施形態と同一部分については、図3において同一の参照番号を付することにより、第1の実施形態について行った説明を援用することにより省略する。
第2の実施形態の圧電発電装置21が第1の実施形態の圧電発電装置1と異なるところは、第1の圧電発電板2と第2の圧電発電板7とが長さ方向中央において1つの連結部材22を介して連結されていること、並びに支持部材として第1,第2の支持部材10A,10Bが第1の圧電発電板2の外側主面に設けられていることにある。
すなわち、第1,第2の支持部材10A,10Bは、第1の圧電発電板2の長さ方向両端に設けられている。従って、本実施形態の圧電発電装置1は、圧電発電板2の上端において外部に固定される。よって、圧電発電装置21は、外部に対してより安定に固定することができる。
他方、第1,第2の圧電発電板2,7は、長さ方向において中央に設けられた連結部材22により連結されているため、第1,第2の圧電発電板2,7に外力が加わった場合、図4の実線A1及び破線B1で示すように変位する。
すなわち、第1,第2の連結部材11A,11Bは、第2の圧電発電板7の長さ方向両端に位置している。よって、第1,第2の圧電発電板2,7は、両者の中心を通り、かつ第1,第2の圧電発電板の主面と平行に延びる下層の中心線に対して線対称に変形する。従って、本実施形態においても、第1,第2の圧電発電板2,7は外力が加わった場合、逆相で変位する。よって、第1,第2の圧電発電板2,7が、第1の実施形態と同様に構成されているため、本実施形態においても、第1,第2の圧電発電板2,7において生じた電荷から、大きな電力を取出すことができる。
なお、本実施形態においても、第1,第2の連結部材11A,11Bにより第2の圧電発電板7に質量付加部材12が連結されている。
本実施形態においても、質量付加部材12が連結されているため、変位量をさらに拡大することができ、より一層大きな電力を取出すことが可能とされている。
第2の実施形態においても、第1,第2の圧電発電板7の変形を利用して大きな電力を取出すことができる。また、本実施形態においても、第1の実施形態と同様に、第1,第2の圧電発電板2,7を容易に製造することができ、さらに第1,第2の圧電発電板2,7と質量付加部材12と支持部材10とを接合する工程も簡単に行い得る。よって、本実施形態の圧電発電装置21もまた、第1の実施形態の圧電発電装置1と同様に容易に製造することができる。
図5(a)及び(b)は、本発明の第3の実施形態に係る圧電発電装置に用いられる第1,第2の圧電発電基板の各平面図である。また、図6は、第3の実施形態の圧電発電装置の外観を示す斜視図である。
第3の実施形態の圧電発電装置31は、第1,第2の圧電発電板2,7において切欠き部2a,2bが設けられていることを除いては、第1の実施形態の圧電発電装置1と同様である。従って、同一部分については同一の参照番号を付することによりその説明を省略する。
図5(a)に示すように、第1の圧電発電板2は、一対の長辺2c,2dと、一対の短辺2e,2fとを有する。第1の切欠き部2aは、長辺2cから反対側の長辺2dに向かって、但し長辺2dには至らないように延ばされている。同様に、第2の切欠き部2bは、長辺2dから、反対側の長辺2cに向かって、但し長辺2cには至らないように延びている。
第1の圧電発電板2では、支持部材10すなわち固定端と短辺2eとの間の圧電発電板部分と、固定端と短辺2fとの間の圧電発電板部分とが長辺2d側からみた場合、支持部材10の中心を通り、圧電発電板2に直行する中心線に対して線対称である形状を維持しつつ変位する。従って、該中心線に対して、第1の切欠き部2aが等価な位置に、また第2の切欠き部2b,2bも該中心線に対して等価な位置に設けられている。
また、支持部材10と一方の短辺2fとの間の圧電発電板部分においては、第1の切欠き部2aと第2の切欠き部2bとが圧電発電板2の長さ方向において交互に配置されている。同様に、支持部材10と短辺2eとの間の圧電発電板部分においても、圧電発電板2の長さ方向において交互に第1の切欠き部2aと第2の切欠き部2bとが位置されている。なお、図示しないが、第1,第2の圧電発電板2,7の対向する長辺の幅が中央に向かって狭くなるように、第1の切欠き部2aと第2の切欠き部2bとが第1,第2の圧電発電板2,7に形成されてもよい。
よって、切欠き部2a,2bが設けられているため、外力が加わった場合、切欠き部2aの両側の圧電発電板部分及び切欠き部2bの両側の圧電発電板部分が逆方向に変位することとなる。言い換えれば、長辺2d側からみた場合、圧電発電板2はミアンダ状の形状をなすように変位する。従って、これら逆方向に変位する部分間で分極方向を反転させておけば、第1の実施形態の場合に比べて、本実施形態では、共振周波数を低めることができる。
第2の圧電発電板7も同様に、第1,第2の切欠き部7a,7bを有する。
従って、本実施形態の圧電発電装置31では、第1の切欠き部2a,7a及び第2の切欠き部2b,7bが設けられているため、比較的低い周波数の振動や小さい外力が加わった場合においても、大きな変位量を得ることができる。そのため、第1の実施形態に比べて、より一層大きな電力を取出すことができる。
図7(a)及び(b)は、第4の実施形態の圧電発電装置の第1,第2の圧電発電板部分の各平面図であり、図8はその外観を示す斜視図である。第1の圧電発電板2では、支持部材10に近い側が第2の切欠き部2bであるのに対し、圧電発電板7では、長辺7cから長辺7dに向かって延び、但し長辺7dには至っていない第1の切欠き部7c,7cが中央側に位置している。他方、圧電発電板2では、短辺2e,2f側に第1の切欠き部2a,2aが位置しているのに対し、圧電発電板7では、短辺7e,7f側に位置しているのは第2の切欠き部7b,7bが位置している。
このように、第2の圧電発電板7における切欠き部の形成位置を、第1の圧電発電板2における切欠き部2a,2bの形成位置と異ならせてもよい。
本実施形態においても第2の実施形態と同様に、第1,第2の圧電発電板2,7に、第1,第2の切欠き部2a,2b,7a,7bが形成されているため、共振周波数をより一層低めることができ、かつ大きな電力を取出すことができる。また、第4の実施形態の圧電発電装置31では、第1の圧電発電板2と第2の圧電発電板7で切欠き部の位置が上記のように反転されているため、第1,第2の圧電発電板2,7の積み重ね構造が外力によってねじれ易くなる。そのため、このねじれ方向の変形によっても、大きな変位量を得ることができる。従って、より一層大きな電力を取出すことができ、かつ共振周波数を低めることができる。
図9は、本発明の第5の実施形態に係る圧電発電装置の正面図である。第5の実施形態の圧電発電装置51は、第1の実施形態の圧電発電装置1の変形例に相当する。異なるところは、1)第2の圧電発電板7の下面に、さらに連結部材11を介して、第1,第2の圧電発電板2,7が同様に積み重ねされている構造が4層連結されていること、並びに2)最下層の積み重ね構造の第2の圧電発電板7の下面に連結部材11を介して質量付加部材12が連結されていることにある。従って、固定端となる支持部材10と、質量付加部材12との間に、第1,第2の圧電発電板2,7を有する複数の圧電発電素子を積み重ねてなる発電構造が図示のように固定端となる支持部材10と質量負荷部材12が接続される連結部材11とを結ぶ線上に配置される連結部材11を介して直列に接続されている。このとき、複数の圧電発電素子を連結する連結部11が圧電発電素子に与える曲げモーメントの値が抑制されるので、複数の圧電発電板を直列に積み重ねて連結したときであっても、圧電発電板の連結部に作用する応力を小さくすることができる。
そのため、外力が加わった場合、本実施形態では、5個の圧電発電素子からそれぞれ電力を取出すことができるので、より一層大きな電力を取出すことができる。このように、本発明では、複数の圧電発電素子を複数直列接続してもよい。図9では、圧電発電板の長辺方向の長さが同じ実施形態を示したが、積み重ね方向で圧電発電素子の長辺方向の長さを変えてもよく、積み重ね方向から見た圧電発電素子同士が重なる角度を変えてもよい。
図10は、本発明の第6の実施形態に係る圧電発電装置の正面図である。圧電発電装置61は、図3に示した圧電発電装置21の変形例に相当する。本実施形態も、圧電発電装置51と同様に個々の圧電発電素子を積み重ねかつ直列に接続した構造を有する。図10のように、固定端となる支持部材10Aと10Bの中間部に配置された最上層の連結部22と、質量負荷部材12が接続される連結部11Aと11Bの中間部に配置される最下層の連結部材22とを結ぶ線上に配置される連結部材22を介して圧電発電素子が連結されている。
第6の実施形態の圧電発電装置61のように、第2の実施形態の圧電発電装置21に相当の構造においても、第1,第2の圧電発電板2,7からなる発電構造を複数直列に接続してもよい。それによって、大きな電力を取出すことができる。
なお、上述してきた第1〜第6の実施形態では、第1,第2の圧電発電板が長さ方向を有する矩形板状の形状であったが、本発明において、圧電発電板は長さ方向を有する矩形板状の構造に限定されるものではない。例えば、図11に示す変形例のように、矩形の圧電板に切欠き部71aを形成することにより、渦巻き型の圧電発電板71を形成してもよい。この圧電発電板71を、第1,第2の圧電発電板として用いてもよい。その場合、圧電発電板71の中心部分を支持部材に接合してなる固定端とし、該中心部分を挟んで対向し合う一対の角部分を他方の圧電発電板と連結する連結部材が接合される部分として用いればよい。別法として、対向し合う一対の角部を支持部材が接合されている固定端とし、圧電発電板の中央部分を、もう1枚の圧電発電板と連結する連結部として用いてもよい。
このような圧電発電板71を用いた場合、外力が加わった場合、固定端を支点としてより大きく変形するため、より大きな電力を取出すことができる。
あるいは、図12に斜視図で示す2軸ミアンダ型に変形する圧電発電板81を用いてもよい。圧電発電板81では、4つの角部分近傍に小さな正方形状の開口部81a〜81dが設けられている。そして、隣り合う開口部、例えば開口部81aと開口部81bとを例にとると、開口部81aから開口部81bに向かって延びる切欠き部81eと、開口部81b側から81a側に向かって延びる切欠き部81fが形成されている。そのため、中央を固定端とし、対向し合う一対の角部を連結部とした場合、中央が支点として変形するが、中央の固定端と、開口部81a,81bが設けられている辺81gとの間の圧電発電板部分がミアンダ状に変形する。同様に、中心の固定部と、辺81gと対向し合う辺81h側の圧電発電板部分も同様にミアンダ状に変形する。他方、他の対向し合う辺81i,81jとを結ぶ方向においては、上記辺81g,81hを結ぶ方向と直行する方向においてミアンダ状に変形する。すなわち、2軸ミアンダ状の変形を生じる。このとき、中央を軸として、圧電発電板81に180度回転する位置に回転対称でミアンダ状の切欠き部を配置すると、ミアンダ状のねじり変形が180度回転する部分で相殺されて、圧電発電板81の回転や主面の傾きが抑えられ、圧電発電板81の振動が安定する。このため、圧電発電板81の発電量は変動を小さくできる。
上記のように、正方形の圧電発電板81において、一対の対向し合う辺を結ぶ方向及び他の対の対向し合う辺を結ぶ方向の双方においてミアンダ状に変形するように、圧電発電板81を構成してもよい。この場合においても、圧電発電板71を用いた場合と同様に、第1,第2の圧電発電板として上記圧電発電板81を用いることにより、共振周波数を低めることができ、かつ大きな変位量を得ることができる。従って、低周波の振動や小さな外力が加わった場合でも、大きな電力を取出すことができる。
なお、第1〜第6の実施形態では、金属板に圧電素子が貼り合わされたユニモルフ構造の圧電発電板を示したが、圧電発電板は板状のバイモルフ型圧電素子により構成されてもよい。もっとも、金属板の片面に圧電素子が貼り合わされたユニモルフ構造を採用することにより、金属板の両面に圧電素子が貼り合わされたバイモルフ構造に比べて、圧電発電板の剛性を下げ、共振周波数を低くすることができる。従って、上記のようにユニモルフ型の圧電振動子により圧電発電板を構成することが、低周波の振動でも圧電効率を高められる点において望ましい。
1…圧電発電装置
2…第1の圧電発電板
2a,2b…第1,第2の切欠き部
2c,2d…長辺
2e,2f…短辺
3…第1の圧電素子
3a…第1の圧電セラミック板
3b,3c…電極
4…金属板
5…第2の圧電素子
6…金属板
7…第2の圧電発電板
7a,7b…第1,第2の切欠き部
7c,7d…長辺
7e,7f…短辺
8,9…第1,第2の連結部材
10…支持部材
11…連結部材
11A,11B…第1,第2の連結部材
12…質量付加部材
21…圧電発電装置
22…連結部材
31…圧電発電装置
51…圧電発電装置
61…圧電発電装置
71…圧電発電板
71a…切欠き部
81…圧電発電板
81a〜81d…開口部
81e,81f…切欠き部
81g〜81j…辺
2…第1の圧電発電板
2a,2b…第1,第2の切欠き部
2c,2d…長辺
2e,2f…短辺
3…第1の圧電素子
3a…第1の圧電セラミック板
3b,3c…電極
4…金属板
5…第2の圧電素子
6…金属板
7…第2の圧電発電板
7a,7b…第1,第2の切欠き部
7c,7d…長辺
7e,7f…短辺
8,9…第1,第2の連結部材
10…支持部材
11…連結部材
11A,11B…第1,第2の連結部材
12…質量付加部材
21…圧電発電装置
22…連結部材
31…圧電発電装置
51…圧電発電装置
61…圧電発電装置
71…圧電発電板
71a…切欠き部
81…圧電発電板
81a〜81d…開口部
81e,81f…切欠き部
81g〜81j…辺
Claims (15)
- 第1の圧電発電板と、前記第1の圧電発電板と互いの主面が対向するように配置された第2の圧電発電板と、前記第1,第2の圧電発電板を連結している連結部材とを有する圧電発電素子と、
前記第1の圧電発電板に固定されており、かつ前記圧電発電素子を外部に固定する支持部材とを備える、圧電発電装置。 - 前記圧電発電素子が複数連結されており、互いに連結されている2つの圧電素子において、1つの前記圧電発電素子の前記第2の圧電発電板の前記第1の圧電発電板とが対向している主面とは反対側の主面にもう1つの前記圧電発電素子が連結されている、請求項1に記載の圧電発電装置。
- 前記複数の圧電発電素子が連結されている構造において、前記支持部材が前記第1の圧電発電板の中央または両端に連結され、前記連結部材が前記第1及び第2の圧電発電板の中央または両端で前記第1及び第2の圧電発電板に連結されている、請求項2に記載の圧電発電装置。
- 前記第1,第2の圧電発電板が、長さ方向を有する矩形形状を有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の圧電発電装置。
- 前記連結部材は、前記第1と第2の圧電発電板とが互いに対向する主面の両端の位置で連結する第1,第2の連結部材を含み、
前記支持部材は、前記第1,第2の連結部材が設けられている側と反対側の主面において、前記第1の圧電発電板の主面の中央部に設けられている、請求項4に記載の圧電発電装置。 - 前記連結部材は、前記第1,第2の圧電発電板の長さ方向における中央部において、前記第1と第2の圧電発電板を連結し、
前記支持部材は、前記第1の圧電発電板の前記連結部材が設けられている側と反対側の主面の長さ方向における両端に第1,第2の支持部材が設けられている、請求項4に記載の圧電発電装置。 - 前記第1,第2の圧電発電板において、矩形形状の圧電発電板の一方の長辺から他方の長辺側に向かって延びる切欠き部が形成されている、請求項4に記載の圧電発電装置。
- 前記切欠き部が複数設けられており、前記複数の切欠き部が、前記第1,第2の圧電発電板の長さ方向において交互に逆の長辺に設けられている、請求項7に記載の圧電発電装置。
- 前記矩形形状の第1,第2の圧電発電板のそれぞれの対向し合う一対の角部同士が前記連結部材によりそれぞれ連結されており、前記支持部材が、前記第1の圧電発電板の中央に固定されている、請求項4に記載の圧電発電装置。
- 前記第1,第2の圧電発電板に、前記第1,第2の連結部材が設けられている部分の間において、該圧電発電板の内部から外周縁に至る切欠き部が形成されている、請求項9に記載の圧電発電装置。
- 前記切欠き部が複数設けられており、該複数の切欠き部が前記支持部材が固定されている部分に対して点対称に設けられている、請求項10に記載の圧電発電装置。
- 前記第2の圧電発電板の前記連結部材が設けられている側とは反対側の主面側に配置されて、前記第2の圧電発電板と固定されている質量付加部材をさらに備える、請求項1,4〜11のいずれか1項に記載の圧電発電装置。
- 前記第2の圧電発電板の前記第1の圧電発電板とは反対側の面に連結部材を介して少なくとも一つの圧電発電素子が連結されている、請求項1,4〜12のいずれか1項に記載の圧電発電装置。
- 前記第1,第2の圧電発電板は、厚み方向に分極処理された第1の分極領域と、厚み方向において第1の分極領域と逆方向の分極処理された第2の分極領域とを有する圧電板を備える、請求項1〜13いずれか1項に記載の圧電発電装置。
- 前記圧電発電板は、前記圧電板に積層された金属板をさらに備え、ユニモルフ型の圧電素子が構成されている、請求項14に記載の圧電発電装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010268770A JP2014033478A (ja) | 2010-12-01 | 2010-12-01 | 圧電発電装置 |
| PCT/JP2011/076811 WO2012073741A1 (ja) | 2010-12-01 | 2011-11-21 | 圧電発電装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010268770A JP2014033478A (ja) | 2010-12-01 | 2010-12-01 | 圧電発電装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014033478A true JP2014033478A (ja) | 2014-02-20 |
Family
ID=46171684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010268770A Withdrawn JP2014033478A (ja) | 2010-12-01 | 2010-12-01 | 圧電発電装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2014033478A (ja) |
| WO (1) | WO2012073741A1 (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5674973B1 (ja) * | 2014-04-16 | 2015-02-25 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
| JP2015050935A (ja) * | 2014-09-18 | 2015-03-16 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
| JP2015156971A (ja) * | 2014-02-24 | 2015-09-03 | 株式会社オリンピア | 遊技機 |
| JP2015231045A (ja) * | 2014-06-09 | 2015-12-21 | 株式会社村田製作所 | 圧電フィルム、振動デバイス、および、歪検出デバイス |
| WO2015198465A1 (ja) * | 2014-06-27 | 2015-12-30 | 株式会社音力発電 | 発電装置 |
| WO2016167078A1 (ja) * | 2015-04-13 | 2016-10-20 | 株式会社村田製作所 | 圧電発電装置 |
| JP2017098580A (ja) * | 2017-02-02 | 2017-06-01 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
| JPWO2018084054A1 (ja) * | 2016-06-06 | 2019-09-19 | 株式会社村田製作所 | 発電体、発電装置およびセンサ |
| US11105023B2 (en) | 2016-11-01 | 2021-08-31 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Antibacterial nonwoven member, antibacterial nonwoven fabric, and antibacterial buffer material |
| JPWO2021229853A1 (ja) * | 2020-05-15 | 2021-11-18 | ||
| WO2021229853A1 (ja) * | 2020-05-15 | 2021-11-18 | 株式会社村田製作所 | 振動装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3170965B2 (ja) * | 1993-08-04 | 2001-05-28 | セイコーエプソン株式会社 | 発電機および携帯用機器 |
| JP4865385B2 (ja) * | 2006-04-03 | 2012-02-01 | 太平洋セメント株式会社 | 発電装置並びに発光装置及びこれを用いた懐中電灯 |
| US8400046B2 (en) * | 2007-11-13 | 2013-03-19 | Kohei Hayamizu | Power generation unit |
| JP5446122B2 (ja) * | 2008-04-25 | 2014-03-19 | パナソニック株式会社 | ミアンダ形振動子およびこれを用いた光学反射素子 |
| JP4588801B2 (ja) * | 2010-03-26 | 2010-12-01 | 浩平 速水 | 発電装置 |
-
2010
- 2010-12-01 JP JP2010268770A patent/JP2014033478A/ja not_active Withdrawn
-
2011
- 2011-11-21 WO PCT/JP2011/076811 patent/WO2012073741A1/ja not_active Ceased
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015156971A (ja) * | 2014-02-24 | 2015-09-03 | 株式会社オリンピア | 遊技機 |
| JP5674973B1 (ja) * | 2014-04-16 | 2015-02-25 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
| JP2015231045A (ja) * | 2014-06-09 | 2015-12-21 | 株式会社村田製作所 | 圧電フィルム、振動デバイス、および、歪検出デバイス |
| CN106537755B (zh) * | 2014-06-27 | 2019-06-11 | 音力发电株式会社 | 发电装置 |
| WO2015198465A1 (ja) * | 2014-06-27 | 2015-12-30 | 株式会社音力発電 | 発電装置 |
| CN106537755A (zh) * | 2014-06-27 | 2017-03-22 | 音力发电株式会社 | 发电装置 |
| US10381957B2 (en) | 2014-06-27 | 2019-08-13 | Soundpower Corporation | Power generation device |
| JP2015050935A (ja) * | 2014-09-18 | 2015-03-16 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
| WO2016167078A1 (ja) * | 2015-04-13 | 2016-10-20 | 株式会社村田製作所 | 圧電発電装置 |
| JPWO2016167078A1 (ja) * | 2015-04-13 | 2017-12-21 | 株式会社村田製作所 | 圧電発電装置 |
| US10855208B2 (en) | 2015-04-13 | 2020-12-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric power generation device |
| JPWO2018084054A1 (ja) * | 2016-06-06 | 2019-09-19 | 株式会社村田製作所 | 発電体、発電装置およびセンサ |
| US11041260B2 (en) | 2016-06-06 | 2021-06-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Charge-generating thread for bacterium-countermeasure, cloth for bacterium-countermeasure, cloth, clothing article, medical member, charge-generating thread that acts on living body, and charge-generating thread for substance-adsorption |
| US11739446B2 (en) | 2016-06-06 | 2023-08-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Charge-generating thread for bacterium-countermeasure, cloth for bacterium-countermeasure, cloth, clothing article, medical member, charge-generating thread that acts on living body, and charge-generating thread for substance-adsorption |
| US11105023B2 (en) | 2016-11-01 | 2021-08-31 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Antibacterial nonwoven member, antibacterial nonwoven fabric, and antibacterial buffer material |
| JP2017098580A (ja) * | 2017-02-02 | 2017-06-01 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
| JPWO2021229853A1 (ja) * | 2020-05-15 | 2021-11-18 | ||
| WO2021229853A1 (ja) * | 2020-05-15 | 2021-11-18 | 株式会社村田製作所 | 振動装置 |
| JP7173333B2 (ja) | 2020-05-15 | 2022-11-16 | 株式会社村田製作所 | 振動装置 |
| US11825180B2 (en) | 2020-05-15 | 2023-11-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibration device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2012073741A1 (ja) | 2012-06-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2014033478A (ja) | 圧電発電装置 | |
| JP6813684B2 (ja) | 触覚フィードバックを発生するためのデバイス | |
| JP5655861B2 (ja) | 圧電発電装置及びその製造方法 | |
| CN102124643B (zh) | 压电发电装置 | |
| US20130293069A1 (en) | Piezoelectric power generating apparatus | |
| CN101507093B (zh) | 用于超声电机的压电致动器元件 | |
| JPH08242025A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| KR100759521B1 (ko) | 압전 진동자 | |
| JP6673479B2 (ja) | 圧電トランス | |
| JP5403170B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ及び圧電振動装置 | |
| JP3953017B2 (ja) | 振動ジャイロ用圧電振動子 | |
| US8304962B2 (en) | Ultrasonic motor | |
| US20140001923A1 (en) | Composite polarization type piezoelectric actuator | |
| JP4185486B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JP5532617B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JPWO2015005188A1 (ja) | アクチュエータ | |
| JP2012138505A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JP5724452B2 (ja) | 圧電発電装置 | |
| CN116615971A (zh) | 压电驱动元件 | |
| JP2022186216A (ja) | 音響デバイス | |
| JP3867823B2 (ja) | 積層圧電素子の製造方法 | |
| JP2707586B2 (ja) | 一体型ピエゾスタック | |
| CN219536760U (zh) | 一种叠层压电振子 | |
| JP2005518287A (ja) | 2次元動作を伴う低コストのアクチュエータ | |
| JP2019150762A (ja) | 振動デバイス及び圧電素子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20140304 |