JP2014018904A

JP2014018904A - 加工装置のサポートシステム

Info

Publication number: JP2014018904A
Application number: JP2012158812A
Authority: JP
Inventors: Fumio Uchida; 文雄内田
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2012-07-17
Filing date: 2012-07-17
Publication date: 2014-02-03

Abstract

【課題】技術者を現場に派遣することなく、加工装置の使用者をサポート可能な加工装置のサポートシステムを提供することである。
【解決手段】加工装置のサポートシステムであって、加工条件を設定するデータ設定部と該データ設定部に設定された加工条件に基づいて加工を制御する制御部と、該データ設定部に設定されたデータ及び加工装置の作動履歴を自動的に格納するメモリと、通信回線を介して該加工装置に接続されたサーバーと、該サーバーに接続された端末装置と、該メモリに格納された該加工条件及び該作動履歴を該通信回線を介して該サーバーに送信する通信手段と、を備え、該通信手段は、所定時間毎に該メモリに格納された該加工条件及び作動履歴を自動的に通信回線を介して該サーバーに送信し、該端末装置は、該サーバーに格納されたデータから該加工装置の加工条件及び作動履歴を随時確認可能なことを特徴とする。
【選択図】図３

Description

本発明は、切削装置、研削装置等の加工装置のサポートシステムに関する。

半導体デバイスや電子部品の製造工程では、半導体ウエーハやセラミックス基板等の各種素材からなる板状の被加工物を、研削装置のスピンドルに装着された研削ホイールによって研削して所定の厚みに形成した後、切削装置のスピンドルに装着された切削ブレードやレーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割する。

これらの加工装置では、研削ホイール、切削ブレード、レーザービーム照射ユニットを各種条件、例えば回転スピードや被加工物との相対移動速度、切り込み速度又は当接速度、各種ノズルの位置等といった条件を設定して加工を行っている（例えば、特開２００９−１１７７７６号公報参照）。

これらの条件は細かい部品の位置やデータ設定等を含めると膨大な量であり、加工装置を使用する使用者に加工装置を納入した後も、装置メーカーはこれまで蓄積されてきたノウハウを提供したり、使用者が要望する改善要求に対応するために、使用者をフォローしていくのが通常である。

特開２００９−１１７７７６号公報

しかしながら、こうしたフォローを実現するためには、装置メーカーから加工装置が設置された工場等へ技術者を派遣する必要があり、加工装置の使用者との日程調整や技術者の移動時間・費用等がかかるため、必要とされたときにすぐさまフォローを実現することができない状況である。

また、加工装置が自動的に記憶する各種加工条件及び作動履歴を見るだけで、加工装置の設定に誤りがあるか又は改善できることが分かる場合があるが、記憶された各種加工条件及び作動履歴を抽出し、装置メーカー側の技術者に見せることもある程度の知識と工数がかかるため、頻繁に行われる対応ではなかった。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、技術者を現場に派遣することなく、加工装置の使用者をサポート可能な加工装置のサポートシステムを提供することである。

本発明によると、加工装置のサポートシステムであって、加工条件を設定するデータ設定部と該データ設定部に設定された加工条件に基づいて加工を制御する制御部と、該データ設定部に設定されたデータ及び加工装置の作動履歴を自動的に格納するメモリと、通信回線を介して該加工装置に接続されたサーバーと、該サーバーに接続された端末装置と、該メモリに格納された該加工条件及び該作動履歴を該通信回線を介して該サーバーに送信する通信手段と、を備え、該通信手段は、所定時間毎に該メモリに格納された該加工条件及び作動履歴を自動的に通信回線を介して該サーバーに送信し、該端末装置は、該サーバーに格納されたデータから該加工装置の加工条件及び作動履歴を随時確認可能なことを特徴とする加工装置のサポートシステムが提供される。

本発明の加工装置のサポートシステムによると、メモリに自動的に記録された加工装置の加工条件データ及び作動履歴データが所定時間に自動的に通信回線を介して装置メーカー側に設置されたサーバーに送信されるため、装置メーカー側では加工装置が抱えている問題や改善できるポイントを早期に発見することができ、装置使用者側の工数を全くかけることなく問題点を解決できる。

切削装置の外観斜視図である。本発明実施形態のサポートシステムの概要を示すブロック図である。サーバーの受信データを説明するブロック図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、加工装置の一例としての切削装置２の外観斜視図が示されている。切削装置２は、切削ブレードを有する切削ユニット１０等の加工手段がハウジング８内に収容された加工装置本体４と、加工装置本体４のハウジング８に装着されたタッチパネル式のオペレーション表示モニタ６を含んでいる。

切削ユニット１０に隣接して被加工物を保持するチャックテーブル１２がＸ軸方向に移動可能に配設されている。１４は内部に複数の被加工物２２を収容したカセット２４を載置するカセット載置台（カセットエレベータ）であり、上下方向に移動可能に構成されている。

１６は切削装置２の稼働状況を表示する表示ランプであり、切削装置が正常作動時には例えば緑色で点灯し、何らかの故障が生じた場合には赤色が点滅する。１８，２０は非常停止ボタンであり、作業者がこの非常停止ボタン１８，２０を押すと切削装置２の作動を直ちに停止することができる。

切削装置２には、所定の加工条件に基づいた加工を実施するために、切削装置２を自動制御するための制御手段（コントローラ）３０が内蔵されている。図２のブロック図に示されるように、制御手段３０はマイクロコンピュータによって構成されており、制御プログラムに従って演算処理を実行するＣＰＵ（中央処理装置）３２と、制御プログラム等を格納するＲＯＭ（リードオンリーメモリ）３４と、演算結果等を格納する読み書き可能なＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）３６とを含んでいる。

ＲＡＭ３６は、制御プログラムや加工条件の読み込みや、オペレーション表示モニタ６を通じて作業者（オペレータ）により入力される加工条件データを記憶するものであり、ＲＯＭ３４及びＲＡＭ３６がデータ設定部３８として機能する。

ＲＯＭ３４には所定の加工条件に基づいて切削ユニット１０等を自動制御するための制御プログラムが格納されている。これらの加工条件には、切削ブレードの切り込み深さ、切削ブレードの回転数、チャックテーブル１２の加工送り速度等といった加工のためのデータや装置類のデフォルト状態（初期設定状態）を規定するためのデータが含まれる。

ＲＡＭ３６には切削装置２の作動履歴データが自動的に記憶される。これらの作動履歴データには、切削溝のカーフチェックデータ、被加工物の搬送エラーデータ、切削ブレードの交換データ等のデータが含まれる。

制御手段３０は更に、入出力インターフェース４０及び外部との通信を行うための通信手段４２を有している。入出力インターフェース４０には、タッチパネルにより加工条件を入力する入力手段として機能するとともに、各種情報を表示する表示手段としても機能するオペレーション表示モニタ６が接続されている。

入出力インターフェース４０には、切削ユニット１０を回転させるモータやチャックテーブル１２を移動させるモータ等の各種駆動装置が接続されており、制御プログラムの実行による演算結果に基づいて、各種駆動装置が加工条件に基づいて駆動されるようになっている。ＣＰＵ３２は、データ設定部３８に設定された各種加工条件に基づいて切削装置２の加工を制御する制御部として機能する。

通信手段４２は、インターネット回線等の通信回線４４を介して装置メーカー側に設置されたサーバー４６に接続されている。サーバー４６はパソコン等の端末装置４８に接続されている。

通信手段４２は、データ設定部３８に蓄積された加工条件及びＲＡＭ３６に記録された切削装置２の作動履歴を所定時間毎に且つ自動的に通信回線４４を介して装置メーカー側に設置されたサーバー４６に送信する。その結果、装置メーカー側に設置されたサーバー４６には、図３に示すように、所定時間毎に切削装置２の加工条件及び作動履歴が時系列的に蓄積される。

よって、装置メーカー側の技術者は端末装置４８を操作してサーバー４６にアクセスすることにより、チェックしたい期間中の切削装置２の加工条件及び作動履歴を随時確認することができる。

これにより、切削装置２が抱えている問題や改善できるポイントを早期に発見することができ、切削装置２の使用者側の工数を全くかけることなく問題点を解決することができる。

上述した実施形態は、本発明のサポートシステムを切削装置に適用した例について説明したが、本発明のサポートシステムは研削装置、研磨装置、レーザー加工装置等の他の加工装置のサポートにも同様に適用することができる。

２切削装置
６オペレーション表示モニタ
１０切削ユニット
１２チャックテーブル
３０制御手段（コントローラ）
３２ＣＰＵ
３８データ設定部
４０入出力インターフェース
４２通信手段
４４通信回線
４６サーバー
４８端末装置

Claims

加工装置のサポートシステムであって、
加工条件を設定するデータ設定部と、
該データ設定部に設定された加工条件に基づいて加工を制御する制御部と、
該データ設定部に設定されたデータ及び加工装置の作動履歴を自動的に格納するメモリと、
通信回線を介して該加工装置に接続されたサーバーと、
該サーバーに接続された端末装置と、
該メモリに格納された該加工条件及び該作動履歴を該通信回線を介して該サーバーに送信する通信手段と、を備え、
該通信手段は、所定時間毎に該メモリに格納された該加工条件及び作動履歴を自動的に通信回線を介して該サーバーに送信し、
該端末装置は、該サーバーに格納されたデータから該加工装置の加工条件及び作動履歴を随時確認可能なことを特徴とする加工装置のサポートシステム。