JP2014010296A - 露光装置及びｆｐｒ製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】帯状の露光領域を第１露光部及び第２露光部の異なる位置で露光する際に、各露光領域を高精度で位置合わせすることができる露光装置及びＦＰＲ製造方法を提供する。
【解決手段】フィルム１０が移動する間に、第１露光部２０で、フィルム上の配向膜に、複数個の帯状の露光領域からなる第１の露光パターンを形成し、次いで、第２露光部２１で、フィルム上の配向膜に対し、第１露光パターンの露光領域の相互間の領域に、複数個の帯状の露光領域からなる第２の露光パターンを形成する。そして、第１露光部と第２露光部との間に、前記第１露光パターンの露光領域を検出する検査部３０を設ける。この検査部３０が検出した第１露光パターンの露光領域の位置に基づいて、第２露光部２１における第２の露光パターンの露光位置を制御する。
【選択図】図１

Description

本発明は、ＦＰＲ（Film Patterned Retarder（フィルム・パターンド・リターダー））方式の３次元（３Ｄ）映像表示装置に使用される偏光フィルム又は視野角を調整する光配向フィルム等を製造するためのスキャン露光装置及びＦＰＲ製造方法に関し、特に、基材フィルムをその長手方向に移動させつつ露光して、帯状の露光領域を、複数回に分けて複数箇所で露光する際の露光精度の向上を図った露光装置及びＦＰＲ製造方法に関する。

ＦＰＲ方式の３Ｄ技術においては、液晶表示装置等の表示装置の画面に、走査線１ライン毎に光線の方向を変える偏光フィルムを張り、表示装置が、走査線１ライン毎に右目用と左目用の画像を表示すると共に、偏光メガネに張られた偏光フィルムが右目用のものが右目に入射させるべき光のみを通過させ、左目用のものが左目に入射させるべき光のみを通過させることにより、右目及び左目に入射した画像に視差を生じさせて、立体表示を可能とする。

図１４は、ＦＰＲ方式の偏光フィルム１を示す模式図である。この偏光フィルム１は、表示装置の水平の１走査線に対応する幅を持つ帯状の左目用の偏光部１ａと、同じく表示装置の水平の１走査線に対応する幅を持つ帯状の右目用の偏光部１ｂとが、垂直方向に交互に配置されるようにして、透明の基材上に塗布されている。左目用の偏光部１ａは−４５°の直線偏光を有するか、又は時計方向に偏光するＣＷ(clockwise)円方向偏光を有する。一方、右目用の偏光部１ｂは＋４５°の直線偏光を有するか、又は反時計方向に偏光するＣＣＷ(counter clockwise)円方向偏光を有するものである。そして、この偏光フィルム１を、その偏光部１ａ及び偏光部１ｂを夫々液晶表示装置の走査線に対応させ、左目用偏光部１ａが液晶表示装置の左目用信号の走査線に一致し、右目用偏光部１ｂが液晶表示装置の右目用信号の走査線に一致するようにして、液晶表示装置の画面に貼り付ける。そうすると、液晶表示装置の画面の左目用走査線から出射した表示光は、偏光フィルム１の左目用偏光部１ａを透過し、偏光メガネの左目用レンズに張られた左目用偏光フィルムを透過して左目に入射し、液晶表示装置の画面の右目用走査線から出射した表示光は、偏光フィルム１の右目用偏光部１ｂを透過し、偏光メガネの右目用レンズに張られた右目用偏光フィルムを透過して右目に入射する。これにより、右目と左目とは、視差をもつ画像を見ることができ、立体的な画像を視認することができる。

図１５は、この従来の偏光フィルム１の露光装置を示す模式図である。透明のフィルム基材の表面に配向材料が塗布されたフィルム１０が、ロール１００から巻き解かれ、ロール１０２，１０３を介してその移動軌跡が規制されて露光光源１０４，１０５の配設位置の近傍を通過し、ロール１０１に巻き取られる。このロール１０２，１０３間において、フィルム１０は水平に進行し、このフィルム１０の水平移動域の上方に、この移動方向に沿ってマスク１０６，１０７が配置され、これらのマスク１０６，１０７の上方に露光光源１０４，１０５が配置されていて、露光光源１０４，１０５からの露光光がマスク１０６，１０７を介してフィルム１０の表面の配向材料膜に照射される。マスク１０６，１０７の一端部の上方、即ち、露光光源１０４，１０５の側方には、フィルムのアライメント用マーク１ｃ（以下、単にフィルムアライメントマークという）を観察するためのカメラ１０８，１０９が設置されている。フィルム移動方向９におけるマスク１０６の上流側には、フィルム１０の側部にフィルムアライメントマーク１ｃを形成するためのレーザマーカ１１０が設置されている。このマスク１０６，１０７は、ガラス基板上にスリット状の開口（スリット１０６ａ、１０７ａ）を有するＣｒ膜を形成したものであり、このＣｒ膜により遮光され、前記開口を露光光が透過する。

この従来の露光装置においては、図１６に示すように、ロール１０２，１０３間を移動するフィルム１０に対して、アライメントマーカ１１０により、フィルム１０の側部にフィルムアライメントマーク１ｃを形成し、カメラ１０８がマスク１０６の一端部に設けられた開口１０６ｂからフィルムアライメントマーク１ｃを観察し、このフィルムアライメントマーク１ｃに対するマスク１０６のフィルム移動方向９に垂直方向の位置を調整する。また、マスク１０７においても、カメラ１０９がマスク１０７の一端部に設けられた開口１０７ｂからフィルムアライメントマーク１ｃを観察し、マスク１０７のフィルム移動方向９に垂直方向の位置を調整する。その上で、露光光源１０４からの露光光がマスク１０６のスリット１０６ａを透過してフィルム１０の表面の配向材料膜に照射され、フィルム１０は移動方向９に連続的に搬送されているので、配向膜に同一の方向に配向した帯状の偏光部１ａが形成される。また、露光光源１０５からの露光光がマスク１０７のスリット１０７ａを透過してフィルム１０の表面の配向材料膜に照射され、偏光部１ａ間に偏光部１ｂが形成される。この帯状の偏光部１ａ、１ｂは、走査線１ライン分に相当する間隔を有して相互に離隔しており、相互に異なる方向に配向した偏光部を形成している。これにより、図１４に示すように、隣接する帯状の偏光部間で配向方向が９０°異なる偏光フィルム１を製造することができる。

なお、図１７に示すように、マスクを２個のマスク１０６−１及び１０６−２に分けて、各マスク１０６−１及び１０６−２に夫々半数のスリット１０６ａを形成しても良い。この場合は、マスク１０６−１及び１０６−２のスリット１０６ａがフィルム１０の移動方向９に垂直の方向に走査線１ライン分に相当する間隔で離隔するように、スリットマスク１０６−１，１０６−２をフィルム１０の移動方向９に若干ずらせて配置する。

なお、液晶表示装置に使用される光学フィルム等の製造方法に関し、特許文献１及び２がある。

特開２０１０−２５０１７２号公報 特開２００７−１１４５６３号公報

上述のごとく、偏光メガネ（ＦＰＲ方式）による３次元（３Ｄ）映像表示装置を製造する場合に、走査線１ライン毎に偏光方向を変えたフィルム・パターンド・リターダー（ＦＰＲ）を使用する。このＦＰＲを製造する際には、フィルム上に塗布した配向膜に、走査線幅をもつスリットが走査線幅のピッチで形成された２個（図１６）又は３個（図１７）のマスクを使用して、各マスクに、２種類の偏光方向が異なる露光光を照射する。この露光の際、２個又は３個のマスクの露光位置の位置合わせが必要であり、露光位置の精度が低いと、フィルム移動方向の上流側に配置された１個又は２個のマスクによる帯状の露光部と、フィルム移動方向の下流側に配置されたマスクによる帯状の露光部とが一部で重なったり、走査線の位置と露光部とがずれたりしてしまうことになる。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、帯状の露光領域を第１露光部及び第２露光部の異なる位置で露光する際に、各露光領域を高精度で位置合わせすることができる露光装置及びＦＰＲ製造方法を提供することを目的とする。

本発明に係る露光装置は、
基材上に配向膜が形成されたフィルムを一方向に移動させる移動装置と、
前記フィルムの移動域に設けられ、前記フィルム上の前記配向膜に、前記一方向に延びると共に、前記一方向に直交する方向に相互に間隔をおいた複数個の帯状の露光領域からなる第１の露光パターンを形成する第１露光部と、
前記フィルムの移動方向における前記第１露光部の下流側に設置され、前記フィルム上の前記配向膜に、前記一方向に延びると共に、前記一方向に直交する方向における前記第１露光パターンの露光領域の相互間の領域に複数個の帯状の露光領域からなる第２の露光パターンを形成する第２露光部と、
前記第１露光部と前記第２露光部との間の前記フィルムの移動域に設けられ、前記第１露光パターンの露光領域を検出する検査部と、
前記検査部が検出した第１露光パターンの露光領域の位置に基づいて、前記第２露光部における前記第２の露光パターンの露光位置を制御する制御部と、
を有することを特徴とする。

この露光装置において、例えば、
前記第１露光部は、第１露光光源と、前記第１の露光パターンに対応する帯状のスリットが設けられた第１マスクとを有し、前記第１露光光源からの露光光を前記第１マスクの前記スリットにより整形して前記配向膜に照射するものであり、
前記第２露光部は、第２露光光源と、前記第２の露光パターンに対応する帯状のスリットが設けられた第２マスクとを有し、前記第２露光光源からの露光光を前記第２マスクの前記スリットにより整形して前記配向膜に照射するものであり、
前記制御部は、前記第１露光パターンの露光領域の位置に基づいて、前記第２露光部における前記第２マスクの前記一方向に直交する方向の位置を調整することを特徴とする。

また、例えば、
前記移動装置は、前記フィルムをバックロールに巻き架けて、移動させ、
前記第１露光部、前記検査部及び前記第２露光部は、前記バックロール上の前記フィルムに対向する位置に設置されているものである。

この場合に、例えば、
前記検査部は、前記バックロールに対向するように設置され検査光を前記バックロール上の前記フィルムに向けて照射する検査光光源と、前記フィルム上の前記配向膜で反射した反射光を検出するカメラと、前記フィルムに入射する検査光又は前記カメラに入射する反射光に対し偏光方向のフィルタをかける偏光子と、を有する。

又は、例えば、
前記検査部は、前記バックロールの周面に埋め込まれ検査光を前記バックロール上の前記フィルムに向けて照射する検査光光源と、前記検査光光源に対向するように設置され前記フィルムを透過してきた透過光を検出するカメラと、前記フィルムに入射する検査光又は前記カメラに入射する透過光に対し偏光方向のフィルタをかける偏光子と、を有する。

また、例えば、
前記移動装置は、前記フィルムの移動域を複数個の搬送ロール上に前記フィルムを掛け渡すことにより規定し、
前記第１露光部、前記検査部及び前記第２露光部は、前記搬送ロール間の前記フィルムに対向する位置に設置されているものである。

この場合に、例えば、
前記検査部は、前記搬送ロール間の前記フィルムの一方の面側に設置され検査光を前記フィルムに向けて照射する検査光光源と、前記フィルムの他方の面側に設置され前記配向膜を透過した光を反射させる反射手段と、この反射手段で反射した反射光を検出するカメラと、前記フィルムに入射する検査光及び前記カメラに入射する反射光に対し夫々偏光方向のフィルタをかける偏光子と、を有する。

又は、例えば、
前記検査部は、前記搬送ロール間の前記フィルムの一方の面側に設置され検査光を前記フィルムに向けて照射する検査光光源と、前記フィルムの他方の面側に設置され前記フィルムを透過してきた透過光を検出するカメラと、前記フィルムに入射する検査光及び前記カメラに入射する透過光に対し夫々偏光方向のフィルタをかける偏光子と、を有する。

更に、
前記第２マスクは、その複数個のスリットが、前記第１方向に直交する方向に隣接するスリットの相互間隔が前記第１方向に線形的に増加するように形成されており、
前記第２露光部は、前記第２マスクの全てのスリットに交差するように前記第１方向に直交する方向に延びる開口が形成された遮光部材を有し、
前記制御部は、前記遮光部材の前記第２マスクに対する前記第１方向の位置を調整するように構成することができる。

更に、本発明に係るＦＰＲ製造方法は、基材上に配向膜が形成されたフィルムを一方向に移動させながら、
前記フィルムの移動域に設けられた第１露光部によって、前記フィルム上の前記配向膜に、前記一方向に延びると共に、前記一方向に直交する方向に相互に間隔をおいた複数個の帯状の露光領域からなる第１の露光パターンを形成する第１露光工程と、
前記フィルムの移動方向における前記第１露光部の下流側に設置された第２露光部によって、前記フィルム上の前記配向膜に、前記一方向に延びると共に、前記一方向に直交する方向における前記第１露光パターンの露光領域の相互間の領域に複数個の帯状の露光領域からなる第２の露光パターンを形成する第２露光工程と、
前記第１露光工程と前記第２露光工程との間に前記第１露光パターンの露光領域を検出する検査工程と、
前記検査工程で検出された第１露光パターンの露光領域の位置に基づいて、前記第２露光工程における前記第２露光部による前記第２の露光パターンの露光位置を制御することを特徴とする。

本発明に係る露光装置及びＦＰＲ製造方法は、第１の露光部で露光された複数個の帯状の露光領域からなる第１の露光パターンを形成した後、検査部で、第１露光パターンの露光領域を検出し、制御部が、第２の露光部にて露光される第２露光パターンの露光領域の位置を、第１露光パターンの露光領域の位置に基づいて調整する。例えば、制御部は、第１露光パターンの露光領域の位置に基づいて、第２露光部の第２マスクの位置をフィルム移動方向に直交する方向について調整する。これにより、第１露光部による第１露光パターンと、第２露光部による第２露光パターンとの露光位置は、フィルム上の所定の位置に高精度で制御される。従って、第１露光パターンと第２露光パターンとがその境界で重なったり、未露光部が形成されたりすることがなく、３Ｄ表示画像が劣化することはない。

本発明の第１実施形態の露光装置を示す図である。 第１露光部及び第２露光部で形成される第１偏光部及び第２偏光部を示す図である。 本発明の第１実施形態の露光装置の変形例を示す図である。 本発明の第２実施形態の露光装置を示す図である。 本発明の第２実施形態の露光装置の変形例を示す図である。 本発明の第３実施形態の露光装置を示す図である。 本発明の第４実施形態の露光装置を示す図である。 第１偏光部の露光領域を検知する方法を示す図である。 偏光板による検査光の偏光態様を示す図である。 第２の露光部における露光位置の調整に関し、（ａ）はマスクの変形例を示す図、（ｂ）はアパーチャを示す図である。 この露光位置の調整方法を示す図であり、（ａ）はフィルムに膨張がないとき、（ｂ）はフィルムに膨張が発生したときのマスクとアパーチャとの相対的位置関係を示す図である。 同じく、露光位置の調整方法を示す図であり、（ａ）はフィルムに膨張がないとき、（ｂ）はフィルムに膨張が発生したときのマスクとアパーチャとの相対的位置関係を示す図である。 マスクの変形例を示す図である。 ＦＰＲ方式の偏光フィルム１を示す図である。 従来の露光装置を示す図である。 従来の露光装置のマスクを示す図である。 従来の他の露光装置のマスクを示す図である。

以下、添付の図面を参照して本発明の実施形態について具体的に説明する。図１は本発明の第１実施形態に係る露光装置を示す図、図２はフィルム上に形成された露光領域を示す図である。配向膜が表面に被着されたフィルム１０が移動装置（図示せず）によりバックロール１５に搬送されてきて、このバックロール１５に巻き架けられた後、バックロール１５から搬出されるようになっている。そして、フィルム１０がバックロール１５に接触してその裏面をバックロール１５に支持されているフィルム移動域において、その最も上流側に、第１露光部２０が配置され、その最も下流側に、第２露光部２１が配置され、この第１露光部２０と第２露光部２１との間の位置に、検査部３０が配置されている。

第１露光部２０は、例えば、ＣＷ円偏光の露光光をマスク２３に向けて照射する露光光源２２を有し、この露光光源２２からの露光光は、マスク２３を介してフィルム１０上の配向膜に照射する。第２露光部２１は、例えば、ＣＣＷ円偏光の露光光をマスク２５に向けて照射する露光光源２４を有し、この露光光源２４からの露光光は、マスク２５を介してフィルム１０上の配向膜に照射される。マスク２３，２５は、図２に示すように、夫々、フィルム１０の移動方向９に延びる細長い矩形のスリット２３ａ、２５ａが形成されたものである。これらのスリット２３ａ，２５ａの幅は、走査線１ライン分の幅であり、スリット２３ａ，２５ａの相互間隔も、走査線１ライン分の幅を有する。そして、マスク２３のスリット２３ａと、マスク２５のスリット２５ａとは、相互に隣接する走査線に対応するものであり、フィルム１０の移動方向９に垂直の方向に関して、スリット２３ａ、２５ａが交互になるように、マスク２３，２５が配置されている。従って、スリット２３ａ、２５ａの配列ピッチは、ＦＰＲ方式の３Ｄ液晶表示装置に対応して、走査線２ライン分に相当する。

バックロール１５においては、その周面の略半分（下半分）だけフィルム１０が巻き架けられ、フィルム１０の裏面がバックロール１５に接触すると共に、フィルム１０の表面、即ち、配向材料膜が外方を向く。このバックロール１５を間に挟んで対向するようにして、マスク２３、２５が配向材料膜に面してフィルム１０から若干の距離（２００μｍ程度）をおいて設置されており、更に、このマスク２３、２５の背後には、露光光源２２、２４が設置されている。これにより、表面に配向膜が塗布されたフィルム１０は、バックロール１５の周面に接触し、フィルム１０の搬送時の若干の張力によりシワが伸ばされた状態で、バックロール１５により支持される。そして、フィルム１０を移動方向９に連続的に搬送し、露光光源２２、２４から露光光を連続的に照射することにより、この露光光はマスク２３、２５のスリット２３ａ、２５ａを透過してフィルム１０に照射される。

バックロール１５は内部を水冷された水冷ロールであり、その中心軸の周りに回転可能になっている。そして、このバックロール１５は、自由に回転することができ、フィルム１０の移動とともに、その周速度がフィルム１０の移動速度と同一になるように回転する。これにより、フィルム１０はバックロール１５の周面に相対的速度差が存在しない状態で支持される。従って、適宜の張力を印加されて搬送されるフィルム１０は、バックロール１５の周面上で、シワが発生することが防止される。

露光光源２２からの露光光は、ＣＷ円偏光であり、露光光源２４からの露光光は、ＣＣＷ円偏光である。そして、図２に示すように、フィルム１０が移動方向９に移動する間に、各露光光が、マスク２３，２５のスリット２３ａ、２５ａを透過して、フィルム１０上の配向膜に照射され、スリット２３ａに対応する露光領域が、例えば、左目用のＣＷ円偏光の偏光部１ａとなり、スリット２５ａに対応する露光領域が、例えば、右目用のＣＣＷ円偏光の偏光部１ｂとなる。

検査部３０は、バックロール１５の上方に、その検出方向を直下に向けて設置されたカメラ３１と、カメラ３１の下方に設置されたハーフミラー３４と、更にハーフミラー３４の下方に設置された直線偏光板３２と、ハーフミラー３４に対して検査用光を照射する検査光源３３とを有する。これにより、検査光源３３からの検査光は、ハーフミラー３４にて反射して、直線偏光板３２を透過してバックロール１５上のフィルム１０に照射され、バックロール１５上で反射した反射光は、直線偏光板３２を透過し、ハーフミラー３４を経てカメラ３１に入射する。

図９は、本発明の原理を説明する図であり、直線偏光板とλ／４板との組み合わせによる光の偏光状態を示す模式図である。なお、光学軸に対して４５°で入射した直線偏光をＣＷ円偏光に変換するλ／４板をＣＷ円偏光板、光学軸に対して−４５°で入射した直線偏光をＣＣＷ円偏光に変換するλ／４板をＣＣＷ円偏光板とする。また、入射光のうち、ＣＷ円偏光板によりＣＷ円偏光に変換される偏光成分をｐ偏光、ｐ偏光に垂直な偏光成分をｓ偏光とし、ｐ偏光のみを透過させる直線偏光板をｐ偏光板、ｓ偏光のみを透過させる直線偏光板をｓ偏光板とする。図９の上図に示すように、光源６０から出射された照明光は、ｐ偏光板６１によりｐ偏光の光に変換される。このｐ偏光の光は、ＣＷ円偏光板６２により、ＣＷ円偏光の光に変換される。このＣＷ円偏光の光は、ＣＷ円偏光板６３により、ｓ偏光の光に変換される。一方、図９の下図に示すように、光源６０から出射された照明光が、ｐ偏光板６１によりｐ偏光の光に変換された後、ＣＷ円偏光板６２によりＣＷ円偏光の光に変換され、その後、ＣＣＷ円偏光板６４により、ｐ偏光の光に変換される。なお、フィルム１０の第１偏光部１ａは特定方向の直線偏光をＣＷ円偏光に変換する機能を持つ。即ち、ＣＷ円偏光板と同等の光学軸を定義することができる。

即ち、図８（ａ）に示すように、カメラ３１とフィルム１０の間に、ＣＷ円偏光板３６と、この上方にｓ偏光板３７を配置した場合、光源３３から出射した検査光は、ｐ偏光板３２によりｐ偏光の光に変換され、フィルム１０に入射する。フィルム１０の第１偏光部１ａ（ＣＷ円偏光部）を透過した光は、ＣＷ円偏光板３６によりｓ偏光の光に変換され、フィルム１０の第１偏光部１ａ間の非露光部（非偏光部）を透過した光は、ＣＷ円偏光板３６によりＣＷ円偏光の光に変換される。このため、フィルム１０のＣＷ円偏光部を透過した光はｓ偏光板３７を透過し、カメラ３１に入射して明部として検出され、一方、フィルム１０の非偏光部を透過した光は、ｓ偏光板３７を透過できず、カメラ３１に入射しないため、暗部として検出される。また、図８（ｂ）に示すように、カメラ３１とフィルム１０との間に、ＣＣＷ円偏光板３８と、この上方にｐ偏光板３２を配置した場合、フィルム１０の第１偏光部１ａ（ＣＷ円偏光部）を透過した光は、ＣＣＷ円偏光板３８によりｐ偏光の光に変換され、フィルム１０の第１偏光部１ａ間の非露光部（非偏光部）を透過した光は、ＣＣＷ円偏光板３８によりＣＣＷ円偏光の光に変換される。このため、フィルム１０のＣＷ円偏光部を透過した光はｐ偏光板３２を透過し、カメラ３１に入射して明部として検出され、一方、フィルム１０の非偏光部を透過した光は、ｐ偏光板３２を透過できず、カメラ３１に入射しないため、暗部として検出される。よって、直線偏光板とλ／４板とを組み合わせることにより、フィルム１０上の帯状の偏光部を検出することができる。

しかしながら、本発明においては、このような複数個の直線偏光板とλ／４板とを組み合わせた光学系を使用しなくても、第１露光部２０にて形成されたＣＷ円偏光の第１偏光部１ａを検出することができる。即ち、光源３３から出射された検査光は、ｐ偏光板３２によりｐ偏光の光に変換され、フィルム１０に入射する。このフィルム１０に入射した光のうち、第１偏光部１ａに入射した光は、ＣＷ円偏光の光に変換される。このＣＷ円偏光の光は、バックロール１５にて反射し、再び第１偏光部１ａに入射し、ＣＷ円方向偏光板を透過する場合と同様に、ｓ偏光の光に変換される。その後、このｓ偏光の光は、ｐ偏光板３２に再度入射するが、ｐ偏光板３２を透過できず、カメラ３１にて暗部として検出される。一方、フィルム１０に入射した光のうち、第１偏光部１ａ間の非露光領域（非偏光部）に入射した光は、この非偏光部をｐ偏光の光のまま透過してバックロール１５にて反射し、再度非偏光部をｐ偏光の光のまま透過してｐ偏光板３２を透過し、カメラ３１に入射するので、カメラ３１はこれを明部として検出する。よって、第１偏光部１ａ（露光領域）を透過した検査光は、カメラ３１にて暗部として検出され、第１偏光部１ａ間の非露光領域を透過した検査光は、カメラ３１にて明部として検出される。

このようにして、検査部３０にて、第１露光部２０にて形成された第１偏光部１ａ（露光領域）の位置（幅及び間隔）が検出される。そこで、制御部（図示せず）は、この第１偏光部１ａの位置（幅及び間隔）の検出結果に基づいて、第２露光部２１における露光を製御する。具体的には、第２露光部２１における第２マスク２５のフィルム搬送方向に垂直方向の位置を、第２露光部２１で形成されるべき第２偏光部１ｂが、第１偏光部１ａの境界と重ならないように、また第１偏光部１ａと第２偏光部１ｂとの間に隙間が生じないように、調節する。

なお、フィルム１０の膨張又は縮小等により、第１偏光部１ａの幅の大きさが、規定値よりも拡大又は縮小されていた場合は、第２マスク２５の位置の調節だけでは、第１偏光部１ａと第２偏光部１ｂとが重ならず、隙間が生じないようにすることができないので、後述するようにして、第２偏光部１ｂを拡大又は縮小する必要がある。

次に、上述の本発明の第１実施形態の動作について説明する。第１露光部２０で、例えば、左目用のＣＷ円方向偏光の第１偏光部１ａ（露光領域）を形成する。この第１偏光部１ａが形成されたフィルム１０は、バックロール１５の回転と共に検査部３０に到来し、第１偏光部１ａの位置（幅及び間隔）がカメラ３１に検出される。そうすると、制御部は、この検出結果を基に、第１偏光部１ａが所定の設計位置に形成されているか否かを判断し、第１偏光部１ａの位置が、所定の設計位置からずれている場合は、それに合わせて、第２露光部２１の第２マスク２５の位置を調整し、第２偏光部１ｂの形成位置を初期設定値から変更して、第１偏光部１ａと第２偏光部１ｂとが重ならないと共に、非露光領域が形成されないように、第２露光部２１を制御する。

以上のようにして、検査部３０にて、第１偏光部１ａの位置（幅及び間隔）を検出するので、第２露光部２１では、第１露光部２０で実際に形成された第１偏光部１ａの状態に合わせて露光を制御し、第２偏光部１ｂを形成することができる。

次に、本第１実施形態の変形例について、図３を参照して、説明する。本変形例においては、光源３３から出射される検査光の光軸と、カメラ３１にて検出する反射光との光軸が、バックロール１５の表面にて交差し、検査光がフィルム１０を透過した後、バックロール１５の表面で反射して、反射光がカメラ３１に検出されるようになっている。光源３３から出射された検査光はｐ偏光板３２によりｐ偏光の光となり、バックロール１５からの反射光は、ｓ偏光板３７を透過した光がメラ３１に入射する。

このように構成された露光装置においては、光源３３から出射した検査光は、ｐ偏光板３２によりｐ偏光の光に変換され、フィルム１０に入射する。このフィルム１０に入射した光のうち、第１偏光部１ａに入射した光はＣＷ円偏光の光に変換され、バックロール１５にて反射し、再度、フィルム１０の第１偏光部１ａに入射し、ｓ偏光の光に変換され、ｓ偏光板を透過してカメラ３１に明部として検出される。一方、フィルム１０に入射した光のうち、第１偏光部１ａ間の非露光領域（非偏光部）に入射した光は、この非偏光部をｐ偏光の光のまま透過して、バックロール１５にて反射し、再度、非偏光部をｐ偏光の光のまま透過して、ｓ偏光板３７を透過できず、カメラ３１は非偏光部を暗部として検出する。よって、第１偏光部１ａ（露光領域）を透過した検査光は、カメラ３１に明部として検出され、第１偏光部１ａ間の非露光領域を透過した検査光は、カメラ３１にて暗部として検出されるため、第１偏光部１ａの位置（幅及び間隔）を検知することができる。

次に、本発明の第２実施形態について、図４を参照して、具体的に説明する。本実施形態は、バックロール１５内に、検査部３０の検査光源３３を組み込んだものである。バックロール１５には、その周面に、ロール軸方向に延びる溝１７が形成されており、この溝１７内に、ロール軸方向に延びる棒状の検査用照明光源３３が配置されている。更に、この溝１７内には、この光源３３の上方に、ロール軸方向に延びるｐ偏光板３２が配置されている。フィルム１０は、第１実施形態と同等に、バックロール１５に巻き架けられて、その回転と共に移動しており、このバックロール１５のロール軸の直上域には、検査光を検知する検査用カメラ３１が配置されている。この検査用カメラ３１は、バックロール１５の軸方向に延びるラインセンサであるか、又は同じくバックロール１５の軸方向の横長の矩形の２次元領域にて光を検出するエリアセンサである。そして、この検査用カメラ３１と、フィルム１０との間には、ＣＷ円偏光板３６と、その上方のｓ偏光板３７とが配置されている。バックロール１５は、第１実施形態と同様に、その軸の周りに自由に回転可能になっており、フィルム１０がバックロール１５に巻き架けられて移動することにより、バックロール１５はその周速度とフィルム１０の移動速度とが同一の状態で回転する。そして、バックロール１５の溝１７がロール上端に回動してきたときに、光源３３とカメラ３１とが鉛直の光軸上にて対向する。

本実施形態の検査部３０においては、溝１７が最上端に回動してきたとき、即ち、溝１７内の光源３３がカメラ３１に対向したとき、光源３３から出射された検査光が、ｐ偏光板３２を透過し、更にフィルム１０を透過し、更に、ＣＷ円偏光板３６を透過し、ｓ偏光板３７を透過した後、カメラ３１に入射するようになっている。そして、光源３３からの検査光は、ｐ偏光板３２によりｐ偏光の光に変換され、フィルム１０に入射する。このフィルム１０に入射した光のうち、第１偏光部１ａに入射した光はＣＷ円偏光の光に変換され、ＣＷ円偏光板３６により、ｓ偏光に変換され、その後、ｓ偏光板３７を透過してカメラ３１に明部として検出される。一方、フィルム１０に入射した光のうち、第１偏光部１ａ間の非露光領域（非偏光部）に入射した光は、この非偏光部をｐ偏光の光のまま透過し、ＣＷ円偏光板３６によりＣＷ円偏光の光に変換され、ｓ偏光板３７を透過できず、カメラ３１に暗部として検出される。よって、第１偏光部１ａ（露光領域）を透過した検査光は、カメラ３１に明部として検出され、第１偏光部１ａ間の非露光領域を透過した検査光は、カメラ３１にて暗部として検出されるため、第１偏光部１ａの位置（幅及び間隔）を検出すことができる。従って、本実施形態は第１実施形態と同様の効果を奏する。

なお、ＣＷ円偏光板３６の位置にＣＣＷ円偏光板３８を配置した場合は、第１偏光部１ａ及びＣＣＷ円偏光板３８を透過した検査光は、ｐ偏光の光に変換され、ｓ偏光板３７を透過できない。よって、カメラ３１は第１偏光部１ａを暗部として検出する。そうすると、第１偏光部１ａ間の非露光部（非偏光部）を透過した光は、カメラ３１にて暗部として検出されるので、第１偏光部１ａと非偏光部とを区別できない。このため、ＣＣＷ円偏光板３８の場合は、図８（ｂ）に示すように、ｓ偏光板３７の代わりに、ｐ偏光板３２を使用する必要がある。これにより、カメラ３１は第１偏光部１ａを明部として検出する。

なお、本実施形態のバックロール１５は、溝１７が存在するので、フィルム１０はこの溝１７をまたいで移動する。このため、フィルム１０のカメラ３１の光軸方向の位置を高精度で一定にするためには、溝１７の上部に、上面がバックロール１５と同一曲率半径で湾曲するガラス製の蓋を設け、バックロール１５の全周を均一な円周面とすればよい。

次に、図５を参照して、図４の第２実施形態の変形例について説明する。本変形例は、バックロール４０の構造が図４のバックロール１５と異なる。本変形例のバックロール４０は、ほぼ円柱状をなす芯部４２と、この芯部４２を嵌合する円筒状の表面部４１とから構成されている。芯部４２は回転しないが、表面部４１は、芯部４２と同軸的に設けられており、この軸を回転軸として、回転することができる。表面部４１は、バックロール１５と同様に、フィルム１０の転動により駆動されて回転するようになっている。この表面部４１は、例えば、ガラス又はアクリルのような透明材料で成形されている。芯部４２には、その上端部に芯部４２の軸方向に延びる溝４３が形成されており、この溝４３内に光源３３と、ｐ偏光板３２とが設置されている。本変形例の露光動作は、図４に示す第２実施形態の露光動作と同一であるが、本変形例においては、光源３２及びｐ偏光板３２は移動しないので、光源３３とカメラ３１とを結ぶ光軸上を横切るフィルム１０の露光状態を常時検査し、監視することができるという利点がある。

次に、図６を参照して、本発明の第３実施形態について説明する。本実施形態は、フィルム１０をロール１１により一方向に搬送し、このフィルム１０の移動域にて、第１露光部２０、検査部３０及び第２露光部２１を、この順に配置したものである。また、検査部３０は、水平方向に移動するフィルム１０に対向して設けられたカメラ３１と、このカメラ３１とフィルム１０との間にカメラ３１の光軸上に設けられたｓ偏光板３７と、ｓ偏光板３７の下方に設けられたハーフミラー３４と、カメラ３１の光軸上でフィルム１０の下方に反射板４１と、ハーフミラー３４を介してカメラ３１の光軸と同軸に検査光をフィルム１０に照射するための光源３３と、光源３３とハーフミラー３４の間に設けられたｐ偏光板３２とを有している。

これにより、第１露光部２０にて、ＣＷ円偏光の第１偏光部１ａが形成されたフィルム１０は、検査部３０に移動してくる。そして、光源３３からの検査光は、ｐ偏光板３２により、ｐ偏光の光に変換され、ハーフミラー３４を介して、フィルム１０に入射する。このフィルム１０に入射した光のうち、第１偏光部１ａに入射した光は、ＣＷ円偏光の光に変換され、反射板４１で反射された後、再度第１偏光部１ａに入射し、ｓ偏光の光に変換され、ハーフミラー３４を透過し、ｓ偏光板３７を透過し、カメラ３１に明部として検出される。一方、フィルム１０に入射した光のうち、第１偏光部１ａ間の非露光部（非偏光部）に入射した光は、この非偏光部をｐ偏光の光のまま透過し、反射板４１で反射されてｓ偏光板３６に入射するため、ｓ偏光板３６を透過できず、カメラ３１に暗部として検出される。よって、本実施形態も、第１実施形態及び第２実施形態と同様の効果を奏する。

次に、図７を参照して本発明の第４実施形態について説明する。本実施形態は、検査用光源３３をフィルム１０の下方に設置する。本実施形態においては、カメラ３１と、フィルム１０との間にＣＷ円偏光板３６と垂直偏光板３７が設置されている。そして、光源３３とフィルム１０の間にはｐ偏光板３２が設置されており、光源３３から出射された検査光はｐ偏光板３２によってｐ偏光の光に変換されて、フィルム１０に入射する。フィルム１０に入射した光のうち、第１偏光部１ａを透過した光は、ＣＷ円偏光の光に変換され、ＣＷ円偏光板３６により、ｓ偏光の光に変換され、ｓ偏光板３７を透過し、カメラ３１に明部として検出される。一方、第１偏光部１ａ間の非偏光部に入射した光は、この非偏光部をｐ偏光の光のまま透過し、ＣＷ円偏光板３６により、ＣＷ円偏光の光に変換され、ｓ偏光板３７に入射するため、カメラ３１に暗部として検出される。よって、本実施形態も、第１乃至第３実施形態と同様の効果を奏する。

なお、フィルム１０の膨張若しくは収縮又はフィルム１０の蛇行が生じ、第１露光部２０で形成された第１偏光部１ａの位置（幅及び間隔）並びに大きさが、所定の設計値から外れた場合は、第２露光部２１における第２偏光部１ｂの形成も、これらの第１偏光部１ａの大きさ等の変動を考慮したものとすることが好ましい。

図１０はこのようなフィルム１０の膨張等の要因を考慮したときの第２露光部２１のマスク２５を示す図である。図１０（ａ）はこのマスク２５を示す平面図、図１０（ｂ）はアパ−チャー２６を示す平面図である。

図１０（ａ）に示すように、マスク２５は、例えば、透明板の上に設けられた遮光性の材料からなる基部２ａに、フィルム１０の移動方向９に直交する方向に複数本のスリット２ｂが配列されたものであり、各スリット２ｂは、その幅が長手方向に関して線形的に変化するように設けられており、スリット間の間隔はフィルム移動方向９に直交する方向に関してスリットの幅と同一である。即ち、図１０（ａ）に示すマスク２５において、各スリット２ｂの幅は、最上部が最も狭く、スリットの長手方向に沿って下方へ行くほど、広くなるように設けられている。そして、各スリット２ｂは、フィルム１０の移動方向に傾斜して延びている。このスリット２ｂの傾斜は、フィルム移動方向９に直交する方向に関して、マスク２５の中央よりも側部側の方が大きく、例えばフィルム移動方向９における各スリット２ｂの長さを３００ｍｍとしたときに、マスク２５の最も側部側のスリットの縁部は、フィルム移動方向における端部間がフィルム移動方向に直交する方向に５００μｍ程度偏倚して設けられている。

マスク２５の側部には、例えばアライメントマーカ（図示せず）によりフィルム１０の側部に形成されたフィルムアライメントマーク１ｃ（図１２参照）を検出するための観察窓２ｄが、例えばフィルム移動方向におけるスリット２ｂの長さと同程度の長さで設けられている。なお、図１２に示したフィルムアライメントマーク１ｃは観察窓２ｄを通して観察されている状態を示すものである。そして、観察窓２ｄには、フィルム移動方向９に対して傾斜するようにマスクアライメントマーク２ｅが設けられている。このマスクアライメントマーク２ｅは、例えばフィルム移動方向９に直交する方向における両端部に位置するスリット２ｂの側縁と平行な線状のマークである。マスク２５の上方には、カメラ（図示せず）が設けられており、このカメラにより、マスクアライメントマーク２ｅと共に、観察窓２ｄを介して、フィルム１０上のフィルムアライメントマーク１ｃを検出できるように構成されている。

アパーチャ２６は、例えばＳＵＳ製の遮光性の板材であり、図１０（ｂ）に示すように、その基部３ａの中央には、１方向に延びるように、幅が例えば２０乃至３０ｍｍの開口３ｂが設けられている。そして、この開口３ｂの長手方向がフィルム１０の移動方向に直交するように光源２４とマスク２５との間に配置されている。よって、光源２４から出射された露光光は、アパーチャ２６によりその一部が遮光され、アパーチャ２６の開口３ｂを透過した露光光のみがマスク２５に照射される。よって、制御部（図示せず）により、フィルム移動方向におけるマスク２５とアパ−チャー２６との相対的位置が制御されることにより、マスク２５に対する露光光の帯状の照射位置がフィルム移動方向９に沿って移動し、マスク２５のスリット２ｂを透過してフィルム１０上に照射される露光光の照射位置がフィルム移動方向に移動すると共に、露光光照射領域の幅が変化する。

マスク２５は、図１１に示すように、例えばアクチュエータ等（図示せず）により、アパーチャ２６に対して、相対的にフィルム移動方向９に移動可能に構成されており、アパーチャ２６とマスク２５とのフィルム移動方向９における相対的位置は、図示しない制御部により制御されている。そして、この制御部により、マスクアライメントマーク２ｅとフィルムアライメントマーク１ｃとの位置関係が所定関係になるように、フィルム移動方向９におけるマスク２５とアパ−チャー２６との相対的位置が例えば以下のように制御される。

即ち、上述の如く、本実施形態においては、マスク２５に設けられた複数本のスリット２ｂは、フィルム１０の移動方向に傾斜して延び、また、各スリット２ｂの幅は、フィルム１の移動方向９に沿って線形的に変化するように設けられており、スリット間の間隔はフィルム移動方向９に直交する方向からみたときにスリットの幅と同一である。よって、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示すように、アパーチャ２６に対してマスク２５が相対的にフィルム移動方向９に移動されると、これに伴って、アパーチャ２６の開口３ｂを透過してマスク２５に照射される露光光の照射位置がフィルム移動方向９に移動し、スリット２ｂに透過されてフィルム１上に照射される露光光の照射領域の幅が変化する。これにより、例えば露光時の高温等により、フィルム１０が膨張した場合においても、変形後のフィルム１０の幅に対応させて、フィルム１０上に形成される帯状の露光領域（偏光部）の幅を調節することができる。

本実施形態においては、図１２に示すように、制御部は、例えば、カメラにより検出されるマスクアライメントマーク２ｅとフィルムアライメントマーク１ｃとが、フィルム移動方向に直交する方向において、一定の距離（例えば１０ｍｍ）離隔するように、マスク２をフィルム移動方向９に沿って移動させる。これにより、フィルム１がその幅方向に膨張した場合においても、フィルム１の幅方向の伸び量に基づいて、フィルム上の露光領域の幅を調節することができる。

図１２（ａ）は、フィルム１０が幅方向に変形していない状態を示す図、図１２（ｂ）は、フィルム１０が幅方向に膨張した状態を示す図である。この図１２において、符号７１は、カメラによる検出領域を示し、例えばこの検出領域７１のフィルム移動方向９における幅は、アパーチャ２６の開口３ｂと同一の幅であり、カメラは、フィルムアライメントマーク１ｃ及びマスクアライメントマーク２ｅを、開口３ｂとフィルム移動方向９に並ぶ位置にて検出する。図１２（ａ）に示すように、フィルム１０がその幅方向に変形していない場合において、検出領域７１におけるフィルムアライメントマーク１ｃとマスクアライメントマーク２ｅとの距離は、例えば１０ｍｍである。ここで、フィルム１０が例えば露光時の加熱により、その幅方向に膨張した場合、図１２（ｂ）に示すように、フィルムアライメントマーク１ｃの位置は、観察窓２ｄ内において、外側（図１２における左側）に移動し、マスクアライメントマーク２ｅに対する距離が大きくなる。

第１露光部２０にて、フィルム１０に膨張がなく、所定の設計値どおりに第１偏光部１ａが形成された後、第２露光部２１にて、上述のように、フィルム１０に膨張が生じた場合は、この状態で、第２露光部２１にて、所定の設計値どおりに第２偏光部１ｂを露光しようとすると、第１偏光部１ａと第２偏光部１ｂとの間にずれが生じ、表示不良の原因となる。つまり、フィルム１０が第２露光部２１に到達したときには、第１偏光部１ａの帯状露光領域の幅及び間隔が、フィルム１０の膨張により大きくなっているので、第２露光部２１にて設計値どおりに第２偏光部１ｂを形成しようとすると、第１偏光部１ａと第２偏光部１ｂとが重なり、又は隙間が生じて未露光部が発生してしまう。

そこで、本実施形態においては、このフィルムアライメントマーク１ｃとマスクアライメントマーク２ｅとの間で一定の距離を維持するように、例えばフィルム移動方向９におけるマスク２５のアパーチャ２６に対する相対的位置を調節する。即ち、図１２（ｂ）に示すように、カメラによる検出領域７１内において、フィルムアライメントマーク１ｃとマスクアライメントマーク２ｅとの距離が１０ｍｍとなるように、マスク２５をアパーチャ２６に対してフィルム移動方向９に相対的に移動させ、アパーチャ２６の開口３ｂを、マスク２５のスリット２ｂの幅広の領域に対応させる。よって、本実施形態においては、フィルム１０の幅方向の伸び量に基づいて、フィルム上の露光領域の幅を広く調節することができる。これにより、本実施形態においては、フィルム１０が、その後の例えば搬送により冷却されて収縮し、膨張していない元の幅に戻った場合においても、フィルム１０上に形成される第２偏光部１ｂの帯状露光領域の幅及び間隔を、例えば表示装置の画素又は絵素の幅及び間隔に精度よく対応させることができ、表示不良を防止できる。

また、マスク２５のスリット２ｂとフィルムアライメントマーク１ｃとは、実際には、例えば３０ｍｍ程度離隔しているが、本実施形態のように、マスクアライメントマーク２ｅをフィルム１０の移動方向に直交する方向の両端部に位置するスリット２ｂの側縁と平行に構成することにより、マスクアライメントマーク２ｅをフィルム移動方向に直交する方向の端部に設けられたスリット２ｂの側縁に見立てることができ、例えば１０ｍｍ程度と狭い範囲内でアライメントを行い、露光領域の幅を調節することができる。

なお、図１２においては、図示の都合上、フィルム１０及びマスク２５の一方の側部のみを図示しているが、上記マスク位置の制御は、フィルム１０の両側部のフィルムアライメントマーク１ｃとマスク２５の両側部のマスクアライメントマーク２ｅとの間で行われる。つまり、フィルム１０の一方の側のフィルムアライメントマーク１ｃとマスクアライメントマーク２ｅとの間の距離と、フィルム１０の他方の側のフィルムアライメントマーク１ｃとマスクアライメントマーク２ｅとの間の距離とは、いずれも例えば１０ｍｍである。

しかし、搬送ローラ１１間を移動する間にフィルム１０が蛇行すると、フィルム移動方向に直交する方向におけるマスク２５の中央位置とフィルム１０の中央位置がずれ、フィルム１０の一方の側部におけるフィルムアライメントマーク１ｃとマスクアライメントマーク２ｅとの間の距離が他方の側部におけるフィルムアライメントマーク１ｃとマスクアライメントマーク２ｅとの間の距離と異なってしまう。これを解消するためには、本実施形態においては、フィルム移動方向に直交する方向において、カメラが検出した１対のマスクアライメントマーク２ｅの中央位置が、１対のフィルムアライメントマーク１ｃの中央位置と一致するように、マスク２５のフィルム移動方向９に直交する方向における位置を調節し、これにより、マスク２５の中央位置とフィルム１０の中央位置とを位置合わせすれば良い。つまり、フィルムの蛇行が生じても、フィルム１０の一方の側のフィルムアライメントマーク１ｃとマスクアライメントマーク２ｅとの間の距離と、フィルム１０の他方の側のフィルムアライメントマーク１ｃとマスクアライメントマーク２ｅとの間の距離とは、いずれも例えば１０ｍｍであるように制御すれば良い。

なお、第２露光部２１のマスクとしては、図１３に示すようなスリット２ｂを有するマスク２５Ａを使用することもできる。このマスク２５Ａにおいても、複数本のスリット２ｂは、その幅がフィルム移動方向９に関して線形的に変化しており、スリット間の間隔は、フィルム移動方向９に直交する方向からみたときに、スリット２ｂの幅と同一である。図１３に示すマスク２５Ａにおいては、マスク２５Ａの両端部に設けられたスリットのうち、一端部に設けられたスリット２ｂは、その側縁がフィルム１０の移動方向９と平行に設けられており、その他の複数本のスリット２ｂは、フィルム１０の移動方向９に傾斜して延び、スリット２ｂの傾斜は、フィルム移動方向９に直交する方向に関して、一端部側から他端部側へと、徐々に大きくなるように設けられている。このようなマスク２５Ａを使用した場合においては、フィルム移動方向に平行な側縁を有する一端部のスリット２ｂを基準として、マスク２の位置を制御することができる。例えばフィルム移動方向９に対して傾斜が最も大きい他端部のスリット２ｂについて、フィルム移動方向における長さが３００ｍｍであり、その側縁がフィルム移動方向９に直交する方向に１０００μｍ程度偏倚するように設けられている場合において、フィルム１０の伸びに伴って、フィルムアライメントマーク１ｃ間の距離が１００μｍ大きくなった場合には、制御部は、マスク２をフィルム移動方向９に直交する方向に外方に１００μｍ移動するように制御すると共に、フィルム移動方向９に３０ｍｍ移動するように制御する。これにより、マスクアライメントマーク２ｅとフィルムアライメントマーク１ｃとの位置関係は、フィルム１０に伸びが生じていない場合と同一になり、マスク２５Ａを取り替えることなく、フィルム１０に対する露光光照射領域の幅を調節することができる。

なお、第１露光部２０において、フィルム１０に既に膨張が発生している場合については、第１露光部２０の第１マスク２３も、第２マスク２５と同様に、傾斜したスリットと、アパーチャとを使用して、同様に、形成すべき第１偏光部の帯状の露光領域の幅及び間隔を、フィルムの膨張量に応じて、大きくすることが好ましい。これにより、露光部を過ぎて、フィルムが自然冷却された場合に、第１偏光部１ａ及び第２偏光部１ｂを、表示装置の各走査線に高精度で一致させることができる。

また、フィルム１０の膨張に限らず、フィルム１０に縮小が生じた場合も、同様に傾斜したスリット２ｂを有するマスクと、フィルム幅方向に延びる開口３ｂを有するアパーチャ２６を使用して、フィルム１０の縮小量に応じて露光位置及び幅を調整することができる。

本発明は、ＦＰＲ方式の偏光フィルム及び光配向膜等を高精度で製造することができ、３Ｄ方式又は２Ｄ方式の液晶表示装置の高精細化に寄与する。

１：偏光フィルム
１ａ、１ｂ：偏光部
１ｃ：フィルムアライメントマーク
１５：バックロール
２２，２４：露光光源
２３，２５：マスク
１０：フィルム

Claims (10)

1. 基材上に配向膜が形成されたフィルムを一方向に移動させる移動装置と、
   前記フィルムの移動域に設けられ、前記フィルム上の前記配向膜に、前記一方向に延びると共に、前記一方向に直交する方向に相互に間隔をおいた複数個の帯状の露光領域からなる第１の露光パターンを形成する第１露光部と、
   前記フィルムの移動方向における前記第１露光部の下流側に設置され、前記フィルム上の前記配向膜に、前記一方向に延びると共に、前記一方向に直交する方向における前記第１露光パターンの露光領域の相互間の領域に複数個の帯状の露光領域からなる第２の露光パターンを形成する第２露光部と、
   前記第１露光部と前記第２露光部との間の前記フィルムの移動域に設けられ、前記第１露光パターンの露光領域を検出する検査部と、
   前記検査部が検出した第１露光パターンの露光領域の位置に基づいて、前記第２露光部における前記第２の露光パターンの露光位置を制御する制御部と、
   を有することを特徴とする露光装置。
2. 前記第１露光部は、第１露光光源と、前記第１の露光パターンに対応する帯状のスリットが設けられた第１マスクとを有し、前記第１露光光源からの露光光を前記第１マスクの前記スリットにより整形して前記配向膜に照射するものであり、
   前記第２露光部は、第２露光光源と、前記第２の露光パターンに対応する帯状のスリットが設けられた第２マスクとを有し、前記第２露光光源からの露光光を前記第２マスクの前記スリットにより整形して前記配向膜に照射するものであり、
   前記制御部は、前記第１露光パターンの露光領域の位置に基づいて、前記第２露光部における前記第２マスクの前記一方向に直交する方向の位置を調整することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 前記移動装置は、前記フィルムをバックロールに巻き架けて、移動させ、
   前記第１露光部、前記検査部及び前記第２露光部は、前記バックロール上の前記フィルムに対向する位置に設置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
4. 前記検査部は、前記バックロールに対向するように設置され検査光を前記バックロール上の前記フィルムに向けて照射する検査光光源と、前記フィルム上の前記配向膜で反射した反射光を検出するカメラと、前記フィルムに入射する検査光又は前記カメラに入射する反射光に対し偏光方向のフィルタをかける偏光子と、を有することを特徴とする請求項３に記載の露光装置。
5. 前記検査部は、前記バックロールの周面に埋め込まれ検査光を前記バックロール上の前記フィルムに向けて照射する検査光光源と、前記検査光光源に対向するように設置され前記フィルムを透過してきた透過光を検出するカメラと、前記フィルムに入射する検査光又は前記カメラに入射する透過光に対し偏光方向のフィルタをかける偏光子と、を有することを特徴とする請求項３に記載の露光装置。
6. 前記移動装置は、前記フィルムの移動域を複数個の搬送ロール上に前記フィルムを掛け渡すことにより規定し、
   前記第１露光部、前記検査部及び前記第２露光部は、前記搬送ロール間の前記フィルムに対向する位置に設置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
7. 前記検査部は、前記搬送ロール間の前記フィルムの一方の面側に設置され検査光を前記フィルムに向けて照射する検査光光源と、前記フィルムの他方の面側に設置され前記配向膜を透過した光を反射させる反射手段と、この反射手段で反射した反射光を検出するカメラと、前記フィルムに入射する検査光及び前記カメラに入射する反射光に対し夫々偏光方向のフィルタをかける偏光子と、を有することを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
8. 前記検査部は、前記搬送ロール間の前記フィルムの一方の面側に設置され検査光を前記フィルムに向けて照射する検査光光源と、前記フィルムの他方の面側に設置され前記フィルムを透過してきた透過光を検出するカメラと、前記フィルムに入射する検査光及び前記カメラに入射する透過光に対し夫々偏光方向のフィルタをかける偏光子と、を有することを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
9. 前記第２マスクは、その複数個のスリットが、前記第１方向に直交する方向に隣接するスリットの相互間隔が前記第１方向に線形的に増加するように形成されており、
   前記第２露光部は、前記第２マスクの全てのスリットに交差するように前記第１方向に直交する方向に延びる開口が形成された遮光部材を有し、
   前記制御部は、前記遮光部材の前記第２マスクに対する前記第１方向の位置を調整することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の露光装置。
10. 基材上に配向膜が形成されたフィルムを一方向に移動させながら、
    前記フィルムの移動域に設けられた第１露光部によって、前記フィルム上の前記配向膜に、前記一方向に延びると共に、前記一方向に直交する方向に相互に間隔をおいた複数個の帯状の露光領域からなる第１の露光パターンを形成する第１露光工程と、
    前記フィルムの移動方向における前記第１露光部の下流側に設置された第２露光部によって、前記フィルム上の前記配向膜に、前記一方向に延びると共に、前記一方向に直交する方向における前記第１露光パターンの露光領域の相互間の領域に複数個の帯状の露光領域からなる第２の露光パターンを形成する第２露光工程と、
    前記第１露光工程と前記第２露光工程との間に前記第１露光パターンの露光領域を検出する検査工程と、
    前記検査工程で検出された第１露光パターンの露光領域の位置に基づいて、前記第２露光工程における前記第２露光部による前記第２の露光パターンの露光位置を制御することを特徴とするＦＰＲ製造方法。

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