JP2014010072A - Optical in-liquid particle detection device and in-liquid particle detection method - Google Patents
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Abstract
【課題】液体の屈折率変化に対応可能な光学式液中粒子検出装置を提供する。
【解決手段】
検査光を発する光源1と、検査光を平行光に変換する変換手段21と、平行光に変換された検査光が透過する光源側透光性部材10と、光源側透光性部材10を透過した検査光を焦点に向けて反射する集光反射鏡31と、光源側透光性部材10及び集光反射鏡31で囲まれ集光反射鏡31の焦点を含む領域が、液体で充填されるよう構成された筐体2と、集光反射鏡31の焦点に粒子を含む流体を噴射する噴射機構3と、流体に含まれる粒子が検査光で照射されることによって発生する散乱光又は蛍光を検出する光検出部4と、を備える、光学式液中粒子検出装置。
【選択図】図1An optical submerged particle detector capable of responding to a change in the refractive index of a liquid is provided.
[Solution]
Light source 1 that emits inspection light, conversion means 21 that converts inspection light into parallel light, light source side translucent member 10 through which inspection light converted into parallel light passes, and light source side translucent member 10 are transmitted The condensing reflecting mirror 31 that reflects the inspection light toward the focal point, the light source side translucent member 10 and the condensing reflecting mirror 31 and a region including the focal point of the condensing reflecting mirror 31 are filled with the liquid. The housing 2 configured as described above, the ejection mechanism 3 that ejects a fluid containing particles at the focal point of the condensing reflector 31, and the scattered light or fluorescence generated when the particles contained in the fluid are irradiated with the inspection light. An optical liquid particle detection device comprising: a light detection unit 4 for detection.
[Selection] Figure 1
Description
本発明は環境評価技術に関し、特に光学式液中粒子検出装置及び液中粒子の検出方法に関する。 The present invention relates to an environmental evaluation technique, and more particularly to an optical liquid particle detection device and a liquid particle detection method.
バイオクリーンルーム等のクリーンルームにおいては、粒子検出装置を用いて、飛散している粒子が検出され、記録される(例えば、非特許文献1参照。)。粒子の検出結果から、クリーンルームの空調機器の劣化具合を把握可能である。また、クリーンルームで製造された製品に、参考資料として、クリーンルーム内の粒子の検出記録が添付されることもある。 In a clean room such as a bioclean room, scattered particles are detected and recorded using a particle detection device (see, for example, Non-Patent Document 1). From the particle detection result, it is possible to grasp the deterioration of the air conditioner in the clean room. In addition, a detection record of particles in the clean room may be attached to a product manufactured in the clean room as a reference material.
光学式の粒子検出装置は、例えば、クリーンルーム中の気体を吸引し、吸引した気体に励起光を照射する。気体に粒子が含まれていると、励起光を照射された粒子は、蛍光あるいは自家蛍光(以下、「蛍光」及び「自家蛍光」をあわせて「蛍光」という。)を発する。粒子が発する蛍光の波長及び強度は、粒子の種類に依存する。したがって、粒子が発した蛍光の波長あるいは強度を観測することにより、クリーンルーム内を飛散している粒子の種類を特定することが可能である。また、光学式の粒子検出装置は、粒子に光を照射することによって生じた散乱光を解析することにより、粒子の濃度や大きさ等を特定することも可能である。 The optical particle detection device, for example, sucks a gas in a clean room and irradiates the sucked gas with excitation light. When the gas contains particles, the particles irradiated with the excitation light emit fluorescence or autofluorescence (hereinafter referred to as “fluorescence” together with “fluorescence” and “autofluorescence”). The wavelength and intensity of the fluorescence emitted by the particle depend on the type of particle. Therefore, by observing the wavelength or intensity of the fluorescence emitted by the particles, it is possible to specify the type of particles scattered in the clean room. In addition, the optical particle detection device can also specify the concentration and size of particles by analyzing scattered light generated by irradiating the particles with light.
さらに、飲料メーカ、医薬品メーカ、及び浄水場等においては、光学式の粒子検出装置が、液体中に含まれる粒子を検出するために用いられることもある(例えば、特許文献1乃至3参照。)。
Furthermore, in beverage manufacturers, pharmaceutical manufacturers, water purification plants, and the like, an optical particle detection device may be used to detect particles contained in a liquid (see, for example,
液体雰囲気で微粒子を検出する粒子検出装置において、液体の屈折率が変化する場合がある。そこで、本発明は、液体の屈折率変化に対応可能な光学式液中粒子検出装置及び液中粒子の検出方法を提供することを目的の一つとする。 In a particle detector that detects fine particles in a liquid atmosphere, the refractive index of the liquid may change. Accordingly, an object of the present invention is to provide an optical submerged particle detection device and a submerged particle detection method that can cope with a change in the refractive index of the liquid.
本発明の態様によれば、(a)検査光を発する光源と、(b)検査光を平行光に変換する変換手段と、(c)平行光に変換された検査光が透過する光源側透光性部材と、(d)光源側透光性部材を透過した検査光を焦点に向けて反射する集光反射鏡と、(e)光源側透光性部材及び集光反射鏡で囲まれ集光反射鏡の焦点を含む領域が、液体で充填されるよう構成された筐体と、(f)集光反射鏡の焦点に粒子を含む流体を噴射する噴射機構と、(g)流体に含まれる粒子が検査光で照射されることによって発生する散乱光又は蛍光を検出する光検出部と、を備える、光学式液中粒子検出装置が提供される。 According to the aspect of the present invention, (a) a light source that emits inspection light, (b) a conversion unit that converts inspection light into parallel light, and (c) a light source side transmission through which inspection light converted into parallel light is transmitted. Surrounded by a light-transmitting member, (d) a condensing reflecting mirror that reflects the inspection light transmitted through the light source-side translucent member toward the focal point, and (e) a light-source-side translucent member and a condensing reflecting mirror. A region including the focal point of the light reflecting mirror is configured to be filled with a liquid, (f) an ejection mechanism for ejecting a fluid containing particles at the focal point of the condensing reflecting mirror, and (g) included in the fluid There is provided an optical in-liquid particle detection device comprising: a light detection unit that detects scattered light or fluorescence generated by irradiating particles to be irradiated with inspection light.
また、本発明の態様によれば、(a)検査光を発することと、(b)変換手段により検査光を平行光に変換することと、(c)光源側透光性部材に平行光に変換された検査光を透過させて、光源側透光性部材及び光源側透光性部材に対向する集光反射鏡で囲まれた液体が充填されている領域に、検査光を入射させることと、(d)集光反射鏡によって、検査光を、液体が充填されている領域内の焦点に向けて反射することと、(e)集光反射鏡の焦点に粒子を含む流体を噴射することと、(f)流体に含まれる粒子が検査光で照射されることによって発生した散乱光又は蛍光を検出することと、を含む、液中粒子の検出方法が提供される。 Further, according to the aspect of the present invention, (a) emitting inspection light, (b) converting inspection light into parallel light by the conversion means, and (c) parallel light to the light source side translucent member. Allowing the inspection light to enter the region filled with the liquid surrounded by the light source side translucent member and the condensing reflecting mirror facing the light source side translucent member by transmitting the converted inspection light; (D) reflecting the inspection light toward the focal point in the region filled with the liquid by the condensing reflecting mirror; and (e) ejecting the fluid containing the particles at the focal point of the condensing reflecting mirror. And (f) detecting a scattered light or fluorescence generated by irradiating the particles contained in the fluid with the inspection light.
本発明によれば、液体の屈折率変化に対応可能な光学式液中粒子検出装置及び液中粒子の検出方法を提供可能である。 According to the present invention, it is possible to provide an optical submerged particle detection device and a submerged particle detection method that can cope with a change in the refractive index of a liquid.
以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。 Embodiments of the present invention will be described below. In the following description of the drawings, the same or similar parts are denoted by the same or similar reference numerals. However, the drawings are schematic. Therefore, specific dimensions and the like should be determined in light of the following description. Moreover, it is a matter of course that portions having different dimensional relationships and ratios are included between the drawings.
(第1の実施の形態)
第1の実施の形態に係る光学式粒子検出装置は、図1に示すように、検査光として励起光を発する光源1と、励起光を平行光に変換する変換手段21と、平行光に変換された励起光が透過する光源側透光性部材10と、光源側透光性部材10を透過した励起光を焦点に向けて反射する集光反射鏡31と、光源側透光性部材10及び集光反射鏡31で囲まれ集光反射鏡31の焦点を含む領域が、液体で充填されるよう構成された筐体2と、集光反射鏡31の焦点に粒子を含む流体を噴射する噴射機構3と、流体に含まれる粒子が励起光で照射されることによって発生する蛍光を検出する光検出部4と、を備える。ここで、粒子とは、微生物、無害あるいは有害な化学物質、ごみ、ちり、及び埃等のダスト等を含む。
(First embodiment)
As shown in FIG. 1, the optical particle detection device according to the first embodiment includes a
光源1としては、例えば発光ダイオード(LED)が使用可能であるが、これに限定されない。光源1が発する励起光は、可視光であっても、紫外光であってもよい。励起光が可視光である場合、励起光の波長は、例えば400乃至410nmの範囲内であり、例えば405nmである。励起光が紫外光である場合、励起光の波長は、例えば310乃至380nmの範囲内であり、例えば355nmである。光源1には、光源1が発する励起光の強度や波長を設定するコントローラや、光源1に電源電流を供給する電源装置が接続される。
For example, a light emitting diode (LED) can be used as the
変換手段21は、例えば光源1に相対して配置されている。変換手段21は、例えば拡散光あるいは放射光を平行光に変換可能な平行光レンズである。光源側透光性部材10は、変換手段21に対向して配置されている。また、光源側透光性部材10は、平行光レンズである変換手段21の光軸に対して垂直に配置された平板である。光源側透光性部材10は、例えば光学レンズと同様の材料からなる。
The conversion means 21 is disposed relative to the
集光反射鏡31は、平行光レンズである変換手段21の光軸上に配置されており、光源側透光性部材10と相対している。集光反射鏡31としては、放物面鏡、あるいは単一の曲率半径を有する球面鏡が使用可能である。また、図2に示すように、集光反射鏡32として、軸外し放物面鏡あるいは軸外し球面鏡を使用してもよい。集光反射鏡31、32は、研磨されたガラスにアルミ(Al)や金(Au)等の金属をコーティングすることにより製造される。あるいは集光反射鏡31、32は、アルミ及びステンレス等の金属材料をダイヤモンド切削針等で機械加工することによって製造される。光源1から放射された励起光は、変換手段21で平行光に変換され、集光反射鏡31に入射する。集光反射鏡31において励起光は反射され、集光反射鏡31の焦点に集光される。
The condensing / reflecting
さらに、図1に示す光学式粒子検出装置は、光軸が集光反射鏡31の焦点を通る検出側透光性部材11を備える。集光反射鏡31の焦点において、検出側透光性部材11の光軸は、例えば変換手段21の光軸と略直交する。検出側透光性部材11は、例えば凹面レンズである。検出側透光性部材11は、例えば光学レンズと同様の材料からなる。
Furthermore, the optical particle detector shown in FIG. 1 includes a detection-side
筐体2は、光源側透光性部材10、集光反射鏡31、及び検出側透光性部材11で囲まれ集光反射鏡31の焦点を含む領域が、液体で充填されるよう構成されている。光源側透光性部材10、集光反射鏡31、及び検出側透光性部材11は、それらで囲まれた領域を封止し、充填された液体が外側に漏れ出ることを防止する。具体的には、光源側透光性部材10は、液体が変換手段21側に漏れ出すことを防止する。また、検出側透光性部材11は、液体が光検出部4側に漏れ出すことを防止する。
The
噴射機構3は、ポンプ等によって筐体2の外部から流体を吸引し、ノズル等を介して、吸引した流体を集光反射鏡31の焦点に向けて噴射する。流体は、液体であっても、気体であってもよい。集光反射鏡31の光軸に対して、噴射機構3から噴射される流体の進行方向は、例えば、略垂直に設定される。ここで、流体に粒子が含まれていると、励起光で照射された粒子が蛍光を発する。例えば、粒子が細菌を含む微生物等である場合、微生物に含まれるトリプトファン、ニコチンアミドアデニンジヌクレオチド、及びリボフラビン等が、励起光を照射されることによって蛍光を発する。
The
細菌の例としては、グラム陰性菌、グラム陽性菌、及びカビ胞子を含む真菌が挙げられる。グラム陰性菌の例としては、大腸菌が挙げられる。グラム陽性菌の例としては、表皮ブドウ球菌、枯草菌芽胞、マイクロコッカス、及びコリネバクテリウムが挙げられる。カビ胞子を含む真菌の例としては、アスペルギルスが挙げられる。集光反射鏡31で集光された励起光を横切った気流は、排気機構によって筐体2の外部に排気される。
Examples of bacteria include gram negative bacteria, gram positive bacteria, and fungi including mold spores. Examples of gram-negative bacteria include E. coli. Examples of gram positive bacteria include Staphylococcus epidermidis, Bacillus subtilis spores, Micrococcus, and Corynebacterium. Examples of fungi containing mold spores include Aspergillus. The airflow crossing the excitation light collected by the condensing
粒子が発した蛍光は、検出側透光性部材11を透過する。さらに、筐体2内部には、集光反射鏡31の焦点と光検出部4の間に、粒子が発した蛍光であって、検出側透光性部材11を透過した蛍光を平行光にする検出系平行光レンズ41、及び検出系平行光レンズ41で平行光にされた蛍光を、光検出部4に向けて集光する検出系集光レンズ43が配置されている。検出系平行光レンズ41は、例えば、光軸が集光反射鏡31の焦点を通るように配置される。検出系平行光レンズ41と、検出系集光レンズ43と、の間には、特定の蛍光のみを透過させる波長選択素子42が配置されてもよい。波長選択素子42としては、ロングパスフィルタのようなバンドパスフィルタが使用可能である。光検出部4としては、フォトダイオード及び光電子増倍管等が使用可能である。光検出部4には、例えば、検出した蛍光の強度を統計処理するコンピュータが接続される。
The fluorescence emitted by the particles passes through the detection-side
以上説明した第1の実施の形態に係る光学式粒子検出装置においては、集光反射鏡31に入射した励起光は、色収差なしに、集光反射鏡31の焦点に集光される。そのため、検出対象となる粒子に応じて励起光の波長を変えても、励起光の光源1以外の光学系を変更したり、粒子が含まれうる気流の流路を変更したりする必要がない。よって、低いコストで多数の種類の粒子を検出し、識別することが可能となる。
In the optical particle detection device according to the first embodiment described above, the excitation light incident on the condensing / reflecting
また、平行光レンズである変換手段21、検出系平行光レンズ41、及び検出系集光レンズ43の少なくとも一つが、色消しレンズ(Achromatic lens)であってもよい。屈折率及び光の分散(アッベ数)が異なる2枚以上のレンズを組み合わせることにより、色消しレンズは構成される。例えば、クラウンガラスの凸レンズにフリントガラスの凹レンズを組み合わせて色消しレンズは構成される。平行光レンズである変換手段21、検出系平行光レンズ41、及び検出系集光レンズ43の少なくとも一つを色消しレンズとすることにより、色収差のさらなる補正が可能となる。
Further, at least one of the conversion means 21, which is a parallel light lens, the detection system parallel
さらに、第1の実施の形態に係る光学式粒子検出装置においては、筐体2、光源側透光性部材10、集光反射鏡31、及び検出側透光性部材11で囲まれた領域を液体で充填することが可能である。そのため、液中に存在する微粒子を検出することも可能である。加えて、第1の実施の形態に係る光学式粒子検出装置においては、平行光に変換された励起光が平板である光源側透光性部材10に入射する。そのため、内部に充填される液体の組成の変化、あるいは励起光の波長の変化により、液体の屈折率が変化しても、集光反射鏡31で集光される励起光の集光点は変化しない。よって、第1の実施の形態に係る光学式粒子検出装置によれば、内部に充填される液体の組成を変化させたり、励起光の波長を変化させたりしても、光学系の調整が不要となる。
Furthermore, in the optical particle detection device according to the first embodiment, an area surrounded by the
光源側透光性部材10は、例えば図3に示すように、変換手段21の光軸に対して垂直方向に分割可能な筐体2の分割位置に、オーリング(O−リング)のような弾性ガスケット30を介して挟み込まれる。軸方向に力が加えられた弾性ガスケット30は、筐体2の分割側面と、光源側透光性部材10の側面と、に密着する。これにより、液体が充填される領域が封止される。また、図4に示すように、光源側透光性部材10の両側に弾性ガスケット30を配置してもよい。あるいは、図5に示すように、光源側透光性部材10は、筐体2の分割位置に設けられた、光源側透光性部材10の外径と略同一の外径を有する凹部に圧入されていてよい。さらに、図6に示すように、分割された筐体2の一方の側に圧入された光源側透光性部材10を、弾性ガスケット30を介して、分割された筐体2の他方の側にはめ込んでもよい。検出側透光性部材11を筐体2に固定する方法も、同様である。
For example, as shown in FIG. 3, the light source side
(第2の実施の形態)
第2の実施の形態に係る光学式粒子検出装置は、図7に示すように、変換手段22に、軸外し放物面鏡あるいは軸外し球面鏡等の凹面鏡を用いる。励起光が紫外線である場合、変換手段22にレンズを用いると、透過率が低いという問題がある。また、レンズが蛍光を発する場合もある。これに対し、変換手段22に、軸外し放物面鏡あるいは軸外し球面鏡を用いると、レンズを用いる際に生じうる紫外線の透過率の低下や、レンズからの蛍光の発生という問題が生じない。
(Second Embodiment)
As shown in FIG. 7, the optical particle detection apparatus according to the second embodiment uses a concave mirror such as an off-axis paraboloidal mirror or an off-axis spherical mirror as the conversion means 22. When the excitation light is ultraviolet light, there is a problem that the transmittance is low when a lens is used as the conversion means 22. In addition, the lens may emit fluorescence. On the other hand, when an off-axis parabolic mirror or off-axis spherical mirror is used as the conversion means 22, there is no problem of a decrease in the transmittance of ultraviolet rays or generation of fluorescence from the lens that may occur when using the lens.
第2の実施の形態においても、集光反射鏡31として、放物面鏡、あるいは単一の曲率半径を有する球面鏡が使用可能である。あるいは、図8に示すように、集光反射鏡32として、軸外し放物面鏡あるいは軸外し球面鏡を使用してもよい。第2の実施の形態に係る光学式粒子検出装置のその他の構成要素は、第1の実施の形態と同様である。
Also in the second embodiment, a parabolic mirror or a spherical mirror having a single curvature radius can be used as the
(その他の実施の形態)
上記のように、本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施の形態及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、第1及び第2の実施の形態では、検査光として励起光を粒子に照射し、蛍光を検出する例を示した。これに対し、検査光を粒子に照射して生じた散乱光を検出系平行光レンズ41で平行光にし、散乱光由来の平行光を検出系集光レンズ43で光検出部4に向けて集光してもよい。粒子による散乱光の強度は、粒子の粒径と相関する。したがって、光検出部4で散乱光由来の光の強度を検出することにより、検出対象の粒子の粒径を求めることが可能となる。このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。
(Other embodiments)
As mentioned above, although this invention was described by embodiment, it should not be understood that the description and drawing which form a part of this indication limit this invention. From this disclosure, various alternative embodiments, embodiments, and operation techniques should be apparent to those skilled in the art. For example, in the first and second embodiments, an example in which fluorescence is detected by irradiating particles with excitation light as inspection light has been described. On the other hand, the scattered light generated by irradiating the particles with the inspection light is converted into parallel light by the detection system parallel
1 光源
2 筐体
3 噴射機構
4 光検出部
10 光源側透光性部材
11 検出側透光性部材
21、22 変換手段
30 弾性ガスケット
31、32 集光反射鏡
41 検出系平行光レンズ
42 波長選択素子
43 検出系集光レンズ
DESCRIPTION OF
Claims (20)
前記検査光を平行光に変換する変換手段と、
前記平行光に変換された検査光が透過する光源側透光性部材と、
前記光源側透光性部材を透過した検査光を焦点に向けて反射する集光反射鏡と、
前記光源側透光性部材及び前記集光反射鏡で囲まれ前記集光反射鏡の焦点を含む領域が、液体で充填されるよう構成された筐体と、
前記集光反射鏡の焦点に粒子を含む流体を噴射する噴射機構と、
前記流体に含まれる粒子が前記検査光で照射されることによって発生する散乱光又は蛍光を検出する光検出部と、
を備える、光学式液中粒子検出装置。 A light source that emits inspection light;
Conversion means for converting the inspection light into parallel light;
A light source side translucent member that transmits the inspection light converted into the parallel light; and
A condensing reflector that reflects the inspection light transmitted through the light source side translucent member toward the focal point;
A housing that is surrounded by the light source side translucent member and the condenser reflector and includes a focal point of the condenser reflector, and is configured to be filled with liquid;
An ejection mechanism for ejecting a fluid containing particles at the focal point of the condenser reflector;
A light detection unit for detecting scattered light or fluorescence generated by irradiating particles contained in the fluid with the inspection light; and
An optical submerged particle detector.
前記筐体が、前記光源側透光性部材、前記集光反射鏡、及び前記検出側透光性部材の間に前記液体が充填されるよう構成されている、
請求項1に記載の光学式液中粒子検出装置。 A detection-side translucent member disposed between the light detection unit and the focal point of the condenser reflector;
The casing is configured so that the liquid is filled between the light source side translucent member, the condensing reflector, and the detection side translucent member.
The optical liquid particle detecting device according to claim 1.
変換手段により前記検査光を平行光に変換することと、
光源側透光性部材に前記平行光に変換された検査光を透過させて、前記光源側透光性部材及び前記光源側透光性部材に対向する集光反射鏡で囲まれた液体が充填されている領域に、前記検査光を入射させることと、
前記集光反射鏡によって、前記検査光を、前記液体が充填されている領域内の焦点に向けて反射することと、
前記集光反射鏡の焦点に粒子を含む流体を噴射することと、
前記流体に含まれる粒子が前記検査光で照射されることによって発生した散乱光又は蛍光を検出することと、
を含む、液中粒子の検出方法。 Emitting inspection light,
Converting the inspection light into parallel light by a conversion means;
Fills the light source side translucent member with the liquid surrounded by the light source side translucent member and the condensing reflecting mirror facing the light source side translucent member so that the inspection light converted into the parallel light is transmitted. Making the inspection light incident on a region where
Reflecting the inspection light toward the focal point in the region filled with the liquid by the condenser reflector;
Injecting a fluid containing particles at the focal point of the condenser reflector;
Detecting scattered light or fluorescence generated by irradiating the particles contained in the fluid with the inspection light;
A method for detecting particles in a liquid, comprising:
前記光源側透光性部材、前記集光反射鏡、及び前記検出側透光性部材の間に前記液体が充填されている、
請求項11に記載の液中粒子の検出方法。 Further comprising transmitting the scattered light or fluorescence to a detection-side translucent member,
The liquid is filled between the light source side translucent member, the condensing reflector, and the detection side translucent member.
The method for detecting particles in a liquid according to claim 11.
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