JP2014076438A - Method for cleaning electronic component - Google Patents
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 28
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 9
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 4
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
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Abstract
Description
本発明は、電子部品のクリーニング方法に関し、詳しくは、トレイの収容凹部に収容された電子部品に付着し、あるいはその周囲に存在する、切断や研磨などの加工の際に発生する加工屑やほこりなどを除去するための電子部品のクリーニング方法に関する。 The present invention relates to a method for cleaning an electronic component, and in particular, is attached to an electronic component accommodated in an accommodation recess of a tray or is present in the periphery of the processing waste and dust generated during processing such as cutting and polishing. And the like.
近年、携帯通信端末などには種々の電子機器が広く用いられている。このような電子機器に対して、モジュール部品、シールドケース、同軸ケーブルなどの電子部品を搭載するにあたっては、電子機器の誤動作を招かないように、各種電子部品をクリーンな状態にしておくことが必要になる。 In recent years, various electronic devices have been widely used for mobile communication terminals and the like. When mounting electronic parts such as module parts, shield cases, and coaxial cables on such electronic equipment, it is necessary to keep the various electronic parts clean so as not to cause malfunction of the electronic equipment. become.
しかし、これらの電子部品には、通常、製造時に生じた加工屑やほこりなどが付着しているため、電子機器に搭載する前に、電子部品に付着した加工屑やほこりなどを取り除いておくこと、すなわち電子部品をクリーニングすることが必要になる。 However, since these electronic components usually have processing debris and dust generated during manufacturing, remove the debris and dust adhering to the electronic component before mounting on electronic equipment. That is, it becomes necessary to clean the electronic component.
こうした電子部品のクリーニング方法としては、例えば、
(1)特許文献1に記載されているような、有機溶剤などの洗浄液を利用したウェットプロセス、
(2)特許文献2に記載されているような、空気などの気体を吹き付けるドライプロセス
がある。
As a method for cleaning such electronic components, for example,
(1) A wet process using a cleaning liquid such as an organic solvent as described in
(2) There is a dry process in which a gas such as air is blown as described in
しかしながら、上記特許文献1に記載されているようなウェットプロセスの場合、有機溶剤の種類によっては、電子部品に損傷を与えるおそれがあり信頼性が低いという問題点があり、また、電子部品の表面に付着した有機溶剤や、内部に滲み込んだ有機溶剤を除去する工程などが必要となるため、プロセスや設備の複雑化・大型化を招くという問題点がある。
However, in the case of the wet process described in
また、上記特許文献2に記載されているようなドライプロセスの場合、電子部品自体に損傷を与えるリスクは小さいが、各方向からエアーを吹き付けるための機構や、除去した加工屑などを回収するための機構などが必要となり、プロセスや設備の複雑化・大型化を招くという問題点がある。
Further, in the case of the dry process as described in
本発明は、上記課題を解決するものであり、トレイに収容された電子部品に付着したり、その周囲に存在したりする加工屑やほこりなどを安価で確実に除去することが可能な電子部品のクリーニング方法を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-described problems, and is an electronic component that can reliably and inexpensively remove processing waste or dust that adheres to or exists around an electronic component housed in a tray. An object of the present invention is to provide a cleaning method.
上記課題を解決するために、本発明の電子部品のクリーニング方法は、
トレイに形成された複数の収容凹部のそれぞれに電子部品を収容する工程と、
前記トレイの前記複数の収容凹部が配設された領域を覆うように、前記電子部品を通過させない大きさの開口を有する平板状メッシュ部材を、前記トレイの上面側に配設する工程と、
吸引手段により、前記平板状メッシュ部材を介して、前記収容凹部内を吸引することにより、前記電子部品に付着する塵芥および前記収容凹部内に存在する塵芥を吸引除去する工程と
を具備することを特徴としている。
In order to solve the above problems, the electronic component cleaning method of the present invention comprises:
Storing electronic components in each of the plurality of storage recesses formed in the tray; and
Disposing a flat mesh member having an opening of a size that does not allow the electronic component to pass therethrough so as to cover an area of the tray where the plurality of receiving recesses are disposed;
Suctioning and removing the dust adhering to the electronic component and the dust present in the housing recess by sucking the inside of the housing recess through the flat mesh member by the suction means. It is a feature.
なお、本発明において、平板状メッシュ部材とは、網状や格子状の部材、あるいは、金属板に貫通孔を設けたパンチングメタルのような部材などであって、加工屑やほこりなどの塵芥や気体は通過させるが、電子部品を通過させないような大きさの開口を有する平板状の部材をいう。 In the present invention, the flat mesh member is a net-like or lattice-like member, or a member such as punching metal in which a through hole is provided in a metal plate, and is a dust or gas such as processing waste or dust. Means a flat member having an opening of a size that allows the electronic component to pass but does not allow the electronic component to pass.
また、本発明の電子部品のクリーニング方法においては、
前記吸引手段として、前記収容凹部の複数個を覆うことが可能で、かつ、前記トレイの前記複数の収容凹部が配設された領域の全体を覆わない大きさの吸引口を備える吸引手段を用い、
前記吸引口を、前記平板状メッシュ部材の表面を移動させながら吸引を行い、前記吸引口を、前記平板状メッシュ部材の表面の、前記複数の収容凹部が配設された領域の全体を通過させることにより、前記複数の収容凹部のすべてについて吸引を行うことが好ましい。
In the electronic component cleaning method of the present invention,
As the suction means, use is made of a suction means that can cover a plurality of the receiving recesses and has a suction port of a size that does not cover the entire area of the tray where the plurality of receiving recesses are disposed. ,
The suction port performs suction while moving the surface of the flat mesh member, and the suction port is allowed to pass through the entire area of the surface of the flat mesh member where the plurality of receiving recesses are disposed. Accordingly, it is preferable to perform suction for all of the plurality of housing recesses.
吸引手段として、収容凹部の複数個を覆うが、トレイの複数の収容凹部が配設された領域の全体を覆わない大きさの吸引口を有する吸引手段を用いるようにした場合、移動する吸引口の周囲から大気を吸引して、吸引口の位置に対応する対応する複数の収容凹部に気流を生じさせ、効果的なクリーニングを行うことが可能になる。また、吸引口が、収容凹部の複数個を覆うことができるように構成されているので、効率を犠牲にすることなく、信頼性の高いクリーニングを行うことができる。 A suction port that moves when the suction means has a suction port that covers a plurality of receiving recesses but does not cover the entire area of the tray where the receiving recesses are disposed. The air is sucked from the surroundings to generate air currents in a plurality of corresponding recesses corresponding to the positions of the suction ports, so that effective cleaning can be performed. Further, since the suction port is configured to cover a plurality of the housing recesses, highly reliable cleaning can be performed without sacrificing efficiency.
また、前記トレイとして、底面側と上面側との間で気体の流通を許容するように構成されたトレイを用いることが好ましい。 Moreover, it is preferable to use the tray comprised so that the distribution | circulation of gas may be permitted as a said tray between a bottom face side and an upper surface side.
底面側と上面側との間で気体を流通させることが可能なトレイを用いることにより、トレイの上面側に配設された平板状メッシュ部材を介して、吸引手段により収容凹部内を吸引する際に、トレイの底面側から上面側に向かい気流が生じるため、より効果的なクリーニングを行うことが可能になる。 By using a tray that allows gas to flow between the bottom surface side and the top surface side, when the inside of the housing recess is suctioned by the suction means via the flat mesh member disposed on the top surface side of the tray In addition, since an air flow is generated from the bottom surface side to the top surface side of the tray, more effective cleaning can be performed.
また、例えば、吸引手段の吸引口として、トレイの、複数の収容凹部が配設された領域の全体を覆うような吸引口を備えた吸引手段を用いて吸引するようにした場合にも、収容凹部を含めて、トレイの底面側から上面側に向かって気流が生じるため、トレイ全体を一度に吸引して、効率のよいクリーニングを行うことができる。 In addition, for example, when suction is performed using a suction means provided with a suction port that covers the entire area of the tray in which the plurality of receiving recesses are provided as a suction port of the suction means, Since an air flow is generated from the bottom surface side of the tray to the upper surface side including the concave portion, the entire tray can be sucked at a time and efficient cleaning can be performed.
なお、「底面側と上面側との間で気体の流通を許容するように構成されたトレイ」とは、例えば、収容凹部の底部に電子部品が通過しないような大きさの貫通孔を形成した構成のものや、トレイ自体の底部を平板状メッシュ部材で形成し、この平板状メッシュ部材(底部)と、仕切り部材を組み合わせて複数の収容凹部を形成した構成のものなどを意味するものである。 In addition, “a tray configured to allow gas flow between the bottom surface side and the top surface side” means, for example, a through hole having a size that prevents electronic components from passing through the bottom of the housing recess. This means that the bottom of the tray itself is formed of a flat mesh member, and the flat mesh member (bottom) and a partition member are combined to form a plurality of receiving recesses. .
また、前記平板状メッシュ部材が上面側に配設された状態で、前記トレイを裏返し、前記吸引手段により、前記トレイの底面側から吸引する工程をさらに備えていることが好ましい。 Further, it is preferable that the method further includes a step of turning the tray upside down and sucking from the bottom surface side of the tray by the suction means in a state where the flat mesh member is disposed on the upper surface side.
上述の、トレイの上面側に配置された平板状メッシュ部材を介して、収容凹部内を吸引する工程に加えて、トレイを裏返し、吸引手段により、トレイの底面側から吸引する工程をさらに備えることにより、さらに効果的なクリーニングを行うことが可能になる。 In addition to the above-described step of sucking the inside of the accommodating recess through the flat mesh member arranged on the upper surface side of the tray, the method further includes the step of turning the tray over and sucking from the bottom surface side of the tray by the suction means. This makes it possible to perform more effective cleaning.
本発明の電子部品のクリーニング方法は、トレイに形成された複数の収容凹部のそれぞれに電子部品を収容し、複数の収容凹部が配設された領域を覆うように、電子部品を通過させない大きさの開口を有する平板状メッシュ部材を、トレイの上面側に配設した状態で、吸引手段により、平板状メッシュ部材を介して、収容凹部内を吸引するようにしているので、電子部品を収容凹部内で浮上させつつ吸引を行って、電子部品に付着する塵芥および収容凹部内に存在する塵芥を効率よく吸引除去することが可能になる。また、電子部品を収容凹部内で浮上させつつ吸引を行っても、クリーニング後に電子部品の位置が動いてしまうことがない。
したがって、複雑な構成の設備を必要とすることなく、安価で、短時間で確実に電子部品のクリーニングを行うことが可能になる。
なお、本発明において、「塵芥」とは、電子部品の製造工程において、切断や研磨などの加工を行う際に生じる加工屑やほこり、トレイをハンドリングした際に生じるゴミなどを意味するものである。
In the electronic component cleaning method of the present invention, the electronic component is accommodated in each of the plurality of accommodating recesses formed in the tray, and the electronic component is not allowed to pass through so as to cover a region where the plurality of accommodating recesses are disposed. In the state where the flat mesh member having the opening is disposed on the upper surface side of the tray, the inside of the housing recess is sucked by the suction means through the flat mesh member, so that the electronic component is accommodated in the housing recess. It is possible to suck and remove the dust adhering to the electronic component and the dust existing in the housing recess by performing suction while floating inside. Further, even if the electronic component is sucked while being floated in the housing recess, the position of the electronic component does not move after cleaning.
Therefore, it is possible to reliably clean the electronic components in a short time without using a complicated configuration of equipment.
In the present invention, “dust” means processing waste and dust generated when processing such as cutting and polishing in the electronic component manufacturing process, and dust generated when handling the tray. .
以下に本発明の実施形態を示して、本発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。 Embodiments of the present invention will be described below to describe the features of the present invention in more detail.
[実施形態1]
この実施形態1では、電子部品として、セラミック基板や樹脂基板などの、表面や内部に、半導体チップ、コンデンサチップなどの表面実装部品が搭載された電子部品であるモジュール部品を例にとって、そのクリーニング方法について説明する。
[Embodiment 1]
In the first embodiment, as an electronic component, for example, a module component which is an electronic component in which a surface mount component such as a semiconductor chip or a capacitor chip is mounted on or inside a ceramic substrate, a resin substrate, or the like, as an example, a cleaning method thereof Will be described.
図1(a)は電子部品(モジュール部品)を、トレイの複数の収容凹部に収容した状態を示す図であって、(a)は平面図、(b)は正面断面図である。 FIG. 1A is a diagram illustrating a state in which electronic components (module components) are accommodated in a plurality of accommodating recesses of the tray, where FIG. 1A is a plan view and FIG. 1B is a front cross-sectional view.
まず、図1(a),(b)に示すように、マトリックス状に複数の収容凹部1が設けられた平板状のトレイ2を用意する。トレイ2の収容凹部2は、収容される電子部品(モジュール部品)3が確実に収容されるように、その形状に対応した形状が与えられている。
First, as shown in FIGS. 1A and 1B, a plate-
それから、このトレイ2の複数の収容凹部1のそれぞれに、モジュール部品3を収容する。
なお、上述のように収容凹部1にモジュール部品3が収容された状態において、モジュール部品3およびトレイ2の収容凹部2には、モジュール部品を加工した際に生じた加工屑やトレイをハンドリングした際に生じたゴミなどの塵芥10が付着している。
Then, the
When the
次に、図2(a),(b)に示すように、トレイ2の収容凹部1が配設された領域の全体を覆うように、平板状メッシュ部材4をトレイ2の上面側に配設する。なお、平板状メッシュ部材4としては、網状部材をはじめ、格子状部材、金属板に多数の貫通孔を配設した、いわゆるパンチングメタルなどを用いることができる。
Next, as shown in FIGS. 2A and 2B, the
この実施形態1では、平板状メッシュ部材4として、吸引手段により吸引されたときに、モジュール部品3が通過してしまわないような大きさのメッシュ状の開口を有するステンレス板を用いている。
In the first embodiment, as the
次に、図3(a),(b)に示すように、吸引手段の吸引口(吸引ノズル)5を、平板状メッシュ部材4の上面側に配置する。
吸引手段の吸引口5は、収容凹部1の複数個を覆うことが可能であるが、トレイ2の複数の収容凹部1が配設された領域の全体、すなわち、トレイ2の上面全体を覆わない大きさとされている。
Next, as shown in FIGS. 3A and 3B, the suction port (suction nozzle) 5 of the suction means is disposed on the upper surface side of the
The
なお、この実施形態1では、吸引手段として、吸引口5を備えた手持ち式小型掃除機を用いた。ただし、吸引手段は、これに限られるものではなく、ホースを介してブロワーなどに吸引口が接続された構造のものなど、種々の構成のものを用いることが可能である。
In the first embodiment, a hand-held small vacuum cleaner provided with the
そして、吸引手段の吸引口5を、平板状メッシュ部材4に接触させつつ吸引を行うとともに、吸引手段5を平板状メッシュ部材4の、トレイ2のモジュール部品3が収容された複数の収容凹部1に対応する位置の上面をなぞるように順次移動させ、すべての収容凹部1および収容凹部1に収容されたモジュール部品3のクリーニングを行う。
Then, suction is performed while bringing the
このとき、吸引手段の吸引口5が、収容凹部1の複数個を覆うが、トレイ2の複数の収容凹部1が配設された領域の全体、すなわち、トレイ2の上面全体を覆わない大きさとされていることから、各収容凹部1において、吸引口5の周囲の、吸引口5により覆われていない領域から、吸引口5の下に位置する収容凹部1内に空気を流入させ、吸引口5で覆われている領域に位置する収容凹部1から、塵芥の交じった空気を効率よく吸引することができる。
At this time, the
また、この吸引によって、収容凹部1内のモジュール部品3が浮上するため、モジュール部品3に付着した塵芥のみならず、モジュール部品3の下面(裏面)と収容凹部1の底部(すなわち、トレイ2の底部)との間などにある塵芥をあわせて吸引することができる。また、吸引によって、モジュール部品3が浮上するだけでなく、振動もするため、モジュール部品3の表面や収容凹部1の内壁に付着した塵芥をより確実に吸引することができる。
Further, since the
その結果、図4(a),(b)に示すように、モジュール部品3に付着する塵芥や、その周囲に存在する塵芥を確実に取り除いて、モジュール部品3のみでなく、トレイ2の収容凹部1を十分にクリーニングすることができる。
As a result, as shown in FIGS. 4A and 4B, the dust adhering to the
[実施形態2]
実施形態2では、本発明の他の実施形態にかかる電子部品のクリーニング方法について説明する。
この実施形態2においては、トレイとして、図5に示すように、底部2aに、貫通孔11が形成され、底面側と上面側との間で気体の流通を許容するように構成されたトレイ2を用いる。
すなわち、このトレイ2は、その底面側から、貫通孔11を経て、上面側に気体が通過するように構成されている。
[Embodiment 2]
In
In the second embodiment, as shown in FIG. 5, the
That is, the
このように構成されたトレイ2を用い、図6に示すように、トレイ2の上面側に配置した平板状メッシュ部材4に、吸引手段の吸引口5を接触させて吸引する。なお、このとき、上述の実施形態1の場合と同様に、吸引口5を、平板状メッシュ部材4に接触させつつ、平板状メッシュ部材4の、トレイ2のモジュール部品3が収容された複数の収容凹部1に対応する位置の上面をなぞるように順次移動させ、すべての収容凹部1および収容凹部1に収容されたモジュール部品3のクリーニングを行う。
この実施形態2の場合、収容凹部1の底面側からトレイ2の上面側に向かって気流が生じるため、実施形態1の場合よりもさらに効果的なクリーニングを行うことができる。
As shown in FIG. 6, the
In the case of the second embodiment, since an air flow is generated from the bottom surface side of the
なお、このとき、上述の実施形態1の場合と同様に、吸引口5を、平板状メッシュ部材4に接触させつつ、平板状メッシュ部材4の、トレイ2のモジュール部品3が収容された複数の収容凹部1に対応する位置の上面をなぞるように順次移動させ、すべての収容凹部1および収容凹部1に収容されたモジュール部品3のクリーニングを行う。
At this time, as in the case of the above-described first embodiment, a plurality of the plate-
また、例えば、図7に示すように、吸引手段として、トレイ2の、複数の収容凹部1が配設された領域の全体(すなわち、トレイ2の全体)を覆うような吸引口5を備えた吸引手段を用い、吸引口5をトレイ2の全体を覆うように配置して吸引を行うように構成することもできる。その場合、収容凹部1の底面側からトレイ2の上面側に向かって気流が生じるため、トレイ2の全体を一度に吸引して、効率のよいクリーニングを行うことができる。
For example, as shown in FIG. 7, the suction means 5 is provided as a suction means so as to cover the entire area of the
また、トレイとしては、図8に示すように、底部を、上述のトレイ2(の上面側に配設される平板状メッシュ部材4(図7参照)と同様の平板状メッシュ部材4aを用いて形成し、この底部となる平板状メッシュ部材4aと、仕切り部材6とを組み合わせることにより、複数の収容凹部1を設けた構成のものを用いることも可能である。この図8に示すトレイ2を用いた場合にも、上述の実施形態2の構成の場合と同様の効果を得ることができる。
Further, as shown in FIG. 8, the bottom portion of the tray is a
[実施形態3]
実施形態3では、上述の図8に示した、底部を、トレイ2の上面側に配設される平板状メッシュ部材4と同様の平板状メッシュ部材4aを用いて形成し、この平板状メッシュ部材4aからなる底部と、仕切り部材6とを組み合わせることにより複数の収容凹部1を形成したトレイ2を用いる。
[Embodiment 3]
In the third embodiment, the bottom portion shown in FIG. 8 is formed using a
そして、まず、(a)図9に示すように、上記実施形態1および2の場合と同様の方法で、吸引口5から、トレイ2の上面側に配設された平板状メッシュ部材4を介して収容凹部内1を吸引し、クリーニング(一次クリーニング)を行う。
First, (a) as shown in FIG. 9, through the
このとき、上述の実施形態1の場合と同様に、吸引口5を、平板状メッシュ部材4に接触させつつ、平板状メッシュ部材4の、トレイ2のモジュール部品3が収容された複数の収容凹部1に対応する位置の上面をなぞるように順次移動させ、すべての収容凹部1および底に収容されたモジュール部品3のクリーニング(一次クリーニング)を行う。
At this time, as in the case of the above-described first embodiment, a plurality of housing recesses in which the
それから、(b)図10に示すように、平板状メッシュ部材4がトレイ2の上面側に配設された状態で、トレイ2を裏返し、吸引口5をトレイ2の底部に臨ませた、平板状メッシュ部材4a(すなわち、トレイ2の底部)を介して、収容凹部内1を吸引し、クリーニング(二次クリーニング)を行う。この二次クリーニングも上述の一次クリーニングの場合と同様に、吸引口5を移動させながら行う。
Then, (b) as shown in FIG. 10, with the
この実施形態3のように、トレイ2の上面側に配設した平板状メッシュ部材4側から一次クリーニングを行った後、トレイ2の底面側(平板状メッシュ部材4a側)から二次クリーニングを行うことにより、より信頼性の高いクリーニングを行うことができる。
Like this
なお、上記実施形態3では、先にトレイ2の上面側からクリーニング(一次クリーニング)を行い、その後、トレイ2を裏返して、トレイ2の底面側からクリーニング(二次クリーニング)を行うようにしたが、先にトレイ2を裏返した状態で、底面側からクリーニング(一次クリーニング)を行い、その後、トレイ2を裏返して、上面側からクリーニング(二次クリーニング)を行うように構成することも可能である。
In the third embodiment, cleaning (primary cleaning) is first performed from the upper surface side of the
また、特に図示しないが、この実施形態3の場合にも、吸引手段として、トレイ2の、複数の収容凹部1が配設された領域の全体(すなわちトレイ2の全面)を覆うような吸引口を備えた吸引手段を用いて、全体を一度で吸引するように構成することが可能である。その場合にも、トレイ2の底面側と上面側との間で気体の流通させることができるため、効率のよいクリーニングを行うことが可能である。
Although not particularly illustrated, in the case of the third embodiment as well, as a suction means, a suction port that covers the entire area of the
なお、上記実施形態1〜3では、モジュール部品3をクリーニングする場合を例にとって説明したが、本発明におけるクリーニング対象物は、上記のようなモジュール部品に限定されるものではなく、たとえば、フラットケーブルやアンテナ素子など、各種電子機器を構成するために用いられる種々の電子部品をクリーニング対象物とすることができる。
In the first to third embodiments, the case where the
なお、本発明は、さらにその他の点においても、上記実施形態に限定されるものではなく、トレイの具体的な構成、例えば、複数の収容凹部の形状や配設態様、吸引手段の構成などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。 In addition, the present invention is not limited to the above-described embodiment in other respects, but relates to a specific configuration of the tray, for example, the shape and arrangement of a plurality of receiving recesses, the configuration of the suction means, and the like. Various applications and modifications can be made within the scope of the invention.
1 収容凹部
2 トレイ
2a トレイの底部2a
3 電子部品(モジュール部品)
4 平板状メッシュ部材
4a トレイの底部となる平板状メッシュ部材
5 吸引手段の吸引口
6 トレイの仕切り部材
10 塵芥
11 貫通孔
1 receiving
3 Electronic parts (module parts)
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記トレイの前記複数の収容凹部が配設された領域を覆うように、前記電子部品を通過させない大きさの開口を有する平板状メッシュ部材を、前記トレイの上面側に配設する工程と、
吸引手段により、前記平板状メッシュ部材を介して、前記収容凹部内を吸引することにより、前記電子部品に付着する塵芥および前記収容凹部内に存在する塵芥を吸引除去する工程と
を具備することを特徴とする電子部品のクリーニング方法。 Storing electronic components in each of the plurality of storage recesses formed in the tray; and
Disposing a flat mesh member having an opening of a size that does not allow the electronic component to pass therethrough so as to cover an area of the tray where the plurality of receiving recesses are disposed;
Suctioning and removing the dust adhering to the electronic component and the dust present in the housing recess by sucking the inside of the housing recess through the flat mesh member by the suction means. A method for cleaning an electronic component.
前記吸引口を、前記平板状メッシュ部材の表面を移動させながら吸引を行い、前記吸引口を、前記平板状メッシュ部材の表面の、前記複数の収容凹部が配設された領域の全体を通過させることにより、前記複数の収容凹部のすべてについて吸引を行うこと
を特徴とする請求項1記載の電子部品のクリーニング方法。 As the suction means, use is made of a suction means that can cover a plurality of the receiving recesses and has a suction port of a size that does not cover the entire area of the tray where the plurality of receiving recesses are disposed. ,
The suction port performs suction while moving the surface of the flat mesh member, and the suction port is allowed to pass through the entire area of the surface of the flat mesh member where the plurality of receiving recesses are disposed. The electronic component cleaning method according to claim 1, wherein suction is performed for all of the plurality of housing recesses.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012226725A JP2014076438A (en) | 2012-10-12 | 2012-10-12 | Method for cleaning electronic component |
| CN201310475882.2A CN103721977A (en) | 2012-10-12 | 2013-10-12 | Electron component cleaning method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012226725A JP2014076438A (en) | 2012-10-12 | 2012-10-12 | Method for cleaning electronic component |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014076438A true JP2014076438A (en) | 2014-05-01 |
Family
ID=50446408
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012226725A Pending JP2014076438A (en) | 2012-10-12 | 2012-10-12 | Method for cleaning electronic component |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2014076438A (en) |
| CN (1) | CN103721977A (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105457962B (en) * | 2016-01-15 | 2017-11-14 | 环旭电子股份有限公司 | The clean method of electronic component |
| CN108682642A (en) * | 2018-06-01 | 2018-10-19 | 苏州古柏利电子科技有限公司 | A kind of electronic component processing unit |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3041541B2 (en) * | 1991-02-27 | 2000-05-15 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | Dust remover and dust removal method |
| JPH06269752A (en) * | 1993-03-19 | 1994-09-27 | Sony Corp | Dust removing device in solid image pickup unit and method therefor |
| US6581761B1 (en) * | 1999-11-02 | 2003-06-24 | Bausch & Lomb Incorporated | Mesh tray assembly |
| JP2006116403A (en) * | 2004-10-20 | 2006-05-11 | Shinka Jitsugyo Kk | Retaining device for article to be washed and washing method for article to be washed using the device |
| JP2006192372A (en) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Shinka Jitsugyo Kk | Washing object-holding tool, washing object-holding device using the same, washing device, and washing object-washing method |
| CN201632453U (en) * | 2010-01-13 | 2010-11-17 | 薛伯承 | Dust removing device for semiconductor element |
-
2012
- 2012-10-12 JP JP2012226725A patent/JP2014076438A/en active Pending
-
2013
- 2013-10-12 CN CN201310475882.2A patent/CN103721977A/en active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103721977A (en) | 2014-04-16 |
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