JP2014065233A - セルロースナノファイバー積層体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基材の少なくとも片面に溝形状のパターンを加工する工程S10と、その加工された面にセルロースナノファイバーを含む塗液を塗工する工程S20と、塗液を塗工されて成る塗膜を乾燥させセルロースナノファイバー層とする工程S30と、を有する。また、基材上に溝形状のパターン加工する工程S10では、基材に溝型を押し当てて形成する。その溝形状は、幅0.1〜0.5μm、深さ0.1〜0.5μmのV溝形状である。そして、無機化合物からなる蒸着層を形成する工程を有する。さらに熱可塑性樹脂層を形成する工程を有する。
【選択図】図1
Description
そのような中、環境への負荷が少なく石油資源に依存しないものとして、バイオマス材料である天然由来の澱粉やセルロース、キチンキトサンなどの各種天然多糖類とその誘導体が注目されている。これらの中でも、セルロースは地球上で最も多量に生産されており、繊維状で高い結晶性を有し、高強度、低線膨張率であり、化学的安定性や生体への安全性に優れることから、機能性材料として注目されている。特に、微細セルロース繊維は、近年、紙力増強剤、ろ過補助剤、食品添加物などに利用され、盛んに開発が進められている。
セルロースナノファイバーとしては、例えば、バクテリアセルロースや、木材パルプなどのセルロース成分を機械的な処理を施すことにより解繊してナノファイバー化したものがある。しかしこれらのセルロースナノファイバーは、繊維幅が大きく、均一性にも劣るため、得られる膜の透明性やガスバリア性に劣るという問題がある。
次に、請求項3に記載した発明は、前記溝形状は、幅0.1〜0.5μm、深さ0.1〜0.5μmのV溝形状であることを特徴とする請求項1又は2に記載のセルロースナノファイバー積層体の製造方法である。
次に、請求項5に記載した発明は、さらに熱可塑性樹脂層を形成する工程(S50)を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のセルロースナノファイバー積層体の製造方法である。
(基材)
本実施形態に係るセルロースナノファイバー積層体の製造方法には、一般的に使用されている種々のシート状またはフィルム状の基材を使用することができる。そして、それら種々の基材のなかから、用途に応じたものを適宜選択して使用することができる。したがって、特に限定された基材である必要はない。以下に、種々の基材を例示する。
このような基材として、ポリオレフィン系樹脂(ポリエチレン、ポリプロピレン等)、ポリエステル系樹脂(ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等)、ポリアミド系樹脂(ナイロン−6、ナイロン−66等)、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリ乳酸等の生分解性プラスチック、これらの高分子を構成するモノマーのいずれか2種以上の共重合体等が挙げられる。
図1は本発明の実施形態に係るセルロースナノファイバー積層体の基本的な製造方法を説明するフローチャートを示す図である。図1に示すように、セルロースナノファイバー積層体の基本的な製造方法には、基材の少なくとも片面に溝形状のパターンを加工する工程(S10)と、その加工された面にセルロースナノファイバーを含む塗液を塗工する工程(S20)と、その塗液を塗工されて成る塗膜を乾燥させセルロースナノファイバー層とする工程(S30)と、を有する。
工程S10に示すように、基材の少なくとも片面に溝形状のパターンを加工する。具体的には、基材表面へ溝加工を施した溝型をプレスし、基材の表面に微細な溝を形成する。すなわち、基材に溝型を押し当てて溝形状のパターンを形成する。なお、この工程S10において、基材および溝型は、シート状、ロール状いずれでも加工を行うことが可能である。このようにして、基材上に微細な溝を形成すると、後述する工程S20に示すセルロースナノファイバー分散液塗工の際、分散液中のセルロースナノファイバーが溝に沿って一軸配向し、高密度に充填される。
まず、溝形状は、V字形状、U字形状、ブレーズ形状などが挙げられるが、型の加工のしやすさからV字状が好ましい。
次に、溝の幅は、後述するセルロースナノファイバーの平均繊維幅よりも広く、繊維長よりも狭く設定する必要がある。したがって、バリア層として用いるセルロースナノファイバーのサイズを考慮し、幅0.1〜0.5μm、を目標にして適宜設定すればよい。設定された溝の幅が不適切な例として、セルロースナノファイバーの繊維幅よりも狭いと、溝に沿ってナノファイバーが配列することが困難となる。同様に、溝の幅が不適切な例として、セルロースナノファイバーの繊維幅よりも広いと、溝に対して直角方向に配列されるナノファイバーが生じてしまい、一軸配向が阻害される。
このように工程S10において、基材上に形成する溝の形状を、幅0.1〜0.5μm、深さ0.1〜0.5μmのV溝形状にすることによって、好ましい結果を得られた。
シリコンは結晶異方性エッチング加工に対して、面方位によって大きくエッチング速度が異なるため、V溝形状を容易に形成することができる。具体的には、半導体用途に一般的に用いられている表面が(100)面のシリコンウェハに対して、結晶異方性エッチングを施すことにより、エッチングの遅い(111)面が(100)面に対して54.7°度の角度で形成される。この角度はシリコンの持つ物性により必然的に決定される角度である。
シリコンの異方性エッチング加工は以下のような工程で行う。
(1)シリコンウェハの表面に結晶異方性エッチング加工に対応した酸化膜マスクを形成する工程。
まず、シリコンウェハの両面に酸化処理を施して酸化膜を形成する。また、シリコンウェハには、例えば厚さ525μmの(100)面が表面となっているシリコンウェハを用いる。なお、酸化膜の形成には、例えば熱酸化法を用いる。また、ここで両面に酸化膜を形成する理由としては、後の工程の結晶異方性エッチングによる加工工程で、裏面がエッチングされるのを防ぐためである。
次に、酸化膜を形成したシリコンウェハの表側の面の酸化膜を所定の形状にパターニングするために、酸化膜の上にレジストマスクを塗布し、これをパターニングする。レジストマスクの形状は、長方形を呈する被覆部と開口部からなり、被覆部と開口部はその長辺を平行させて繰り返し並んでいる、ラインアンドスペース(L/S)パターンとする。レジスト幅およびレジスト同士の間隔は、V溝形状のピッチの1/2の距離とすると連続的にV溝形状が形成され好適である。
次に、レジストのパターニングによって表面に露出した酸化膜を、レジストの形状に沿ってパターニングする。この酸化膜のパターニングには、例えばCF4をエッチングガスとしたドライエッチングを用いるのが好適である。
(4)酸化膜のパターン形成のために設けたレジストマスクを除去する工程。
次に、酸化膜上に設けられたレジストマスクを除去する。ここでレジストマスクは、例えば酸素プラズマによるアッシングによって除去する。
次に、酸化膜マスクを設けた状態で、表面に露出したシリコンウェハに対して結晶異方性エッチングを施す。結晶異方性エッチングは、いわゆるウェットエッチングを行い、例えばTMAH溶液(テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド溶液)を用い、所定の深さまで加工する。上述したように、シリコンウェハには、表面が(100)面のものを用い、異方性エッチングにより(111)面がV溝形状の斜面となるようにする。TMAH液でエッチングをする場合には、酸化物マスク端部からエッチング速度の遅い(111)面が表面に現れ、(111)面同士がぶつかり合ったところでエッチング速度が急激に落ち、V字状の形状が維持される。
次に、結晶異方性エッチングに対応して設けた酸化膜マスク11を除去する。この酸化膜マスクの除去には、例えばHF溶液を用いる。
以上によりV溝形状の溝型を作製することができる。
また、シリコンウェハを加工して形成した溝型を原版とし、金属からなる溝型を作製することも可能である。この場合、原版の全面にめっき法によって金属層を一様に形成し、 次いでシリコンからなる原版をKOHやTMAH等の熱アルカリ溶液によるウェットエッチングによって除去すればよい。
溝型の材料としては例えば、シリコン、石英、ニッケル、SiC、その他シリコン化合物や、クロム、鉄、アルミなどの金属およびその化合物などが使用可能である。
溝の形成前あるいは溝形成後、基材表面に、アンカーコート処理、コロナ処理、プラズマ処理、フレーム処理、オゾン処理等の表面処理が施されていてもよい。また、これらの処理は、例えば、コロナ処理後にアンカーコート処理等、複数組み合わされて施されてもよい。表面処理を施すことで、表面に積層される層(後述のセルロースナノファイバー層等)との密着性が向上する。これらの表面処理は公知の方法により実施できる。
次に、バリア層としてセルロースナノファイバー層を形成する。セルロースナノファイバー層は、以下の3段階の工程により形成される。
(1)セルロースナノファイバー分散液の調製(不図示)
(2)セルロースナノファイバー分散液の塗工(不図示)
(3)セルロースナノファイバー塗膜の乾燥(図1〜図3に示す工程S30)
セルロースナノファイバーとは、セルロースまたはその誘導体の繊維幅3〜5nmのミクロフィブリルまたはミクロフィブリル集合体のことを指し、公知の製造方法により製造できる。製造方法としては、例えば、セルロースナノファイバー前駆体を、水等の分散媒中で解繊処理を施してナノファイバー分散液とする方法が挙げられる。ここで、セルロースナノファイバー前駆体は、解繊処理が施されていないセルロース類であり、ミクロフィブリルの集合体から構成される。
N−オキシル化合物の使用量は、触媒として適切な量であればよく、特に限定されない。通常、酸化処理するセルロース原料の固形分に対して、0.1〜10質量%の範囲内であり、0.5〜5質量%が好ましい。
ヨウ化物としては、ヨウ化ナトリウム等のヨウ化アルカリ金属塩が挙げられる。
臭化物およびヨウ化物から選ばれる触媒の使用量は、酸化反応を促進できる範囲で選択することができ、特に限定されない。通常、酸化処理するセルロース原料の固形分に対して、0〜100質量%の範囲内であり、5〜50質量%が好ましい。
反応温度は、1級水酸基への酸化の選択性の向上、副反応の抑制等の点から、50℃以下が好ましく、30℃以下がより好ましく、20℃以下がさらに好ましい。反応温度の下限は、特に限定されないが、0℃以上が好ましく、5℃以上がより好ましい。
反応中、反応系内のpHを、4〜11の範囲内に保つことが好ましい。特に酸化剤に次亜塩素酸塩を使用する場合、該pHは、8〜11がより好ましく、9〜11がさらに好ましく、9.5〜10.5が特に好ましい。該pHが11超であるとセルロースが分解してしまい低分子化する恐れがあり、酸性領域であると次亜塩素酸が分解し、塩素が発生する恐れがある。
pHは、必要に応じて、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、アンモニア水、有機アルカリ等のアルカリを添加することにより調節できる。
反応は、反応液内にエタノール等のアルコールを添加することにより停止させることができる。酸化処理後、必要に応じて、反応液に酸を添加して中和処理を行ってもよい。上記酸化処理後の反応液中に含まれる酸化セルロースはカルボキシ基が塩型となっているが、中和処理を行うことにより酸型とすることができる。中和に用いる酸としては、酸化セルロース中の塩型のカルボキシ基を酸型とし得るものであればよく、例えば、塩酸、硫酸等が挙げられるが安全性や入手のしやすさから塩酸が好ましい。
本実施形態に用いられるセルロースナノファイバーの平均繊維幅は3〜50nmであることが好ましく、3〜30nmであることがより好ましい。セルロースナノファイバーは、非常に細い繊維幅に対して非常に長い繊維長(例えば、1μm以上)を有している。本実施形態に用いられるセルロースナノファイバーの平均繊維長は、配向させやすさ、製膜後の強度等を考慮すると、0.05〜3.0μmが好ましく、0.1〜1.5μmがより好ましい。例えば、TEMPO酸化セルロースを解繊処理して得られるセルロースナノファイバーは、平均繊維幅3〜10nm、平均繊維長0.5〜1.5nmである。
無機層状化合物とは、層状構造を有する結晶性の無機化合物を意味し、無機層状化合物である限り、その種類、粒径、アスペクト比等は特に限定されず、使用目的等に応じて適宜選択することができる。
無機層状化合物は、分散液に直接配合してもよく、予め水等の媒体に分散させてから配合してもよい。
次にセルロースナノファイバー分散液を前述の基材上に塗工する。塗工前にセルロースナノファイバー分散液にアルコール等を添加してもよい。特に、アルコールを添加すると、分散液の粘度が下がり塗工しやすくなる、分散液の脱泡が容易になる、後述の乾燥工程において少ない熱量で乾燥が可能になるなどの効果がある。
次に塗工したセルロースナノファイバー分散液を乾燥させ膜を形成する(S30)。ここで、塗工から乾燥までの時間が短いとセルロースナノファイバーの配向が促進されないため、一定時間塗膜を静置した後、乾燥させるとよい。このとき、静置温度は、60℃以下が好ましく、40℃以下がより好ましい。静置時間は、配向の促進と製造効率を考慮すると、1分以上3時間以下が好ましい。
セルロースナノファイバー層の厚さ(乾燥厚さ)は、0.1〜5μmが好ましく、0.1〜1μmがより好ましい。該厚さが5μmを超えると屈曲性が悪くなり、0.1μm未満であると、基材表面の凹凸の影響を受けて、膜に欠損を生じガスバリア性が低下するおそれがある。
図2は図1に示した製造方法に、無機化合物からなる蒸着層を形成する工程を加えたセルロースナノファイバー積層体の製造方法を説明するフローチャートを示す図である。図2に示すように、積層体には、さらに無機化合物からなる蒸着層を形成(S40)してもよい。蒸着層は、積層体のいずれの位置に形成されてもよく、これにより、ガスバリア性がさらに向上する。無機化合物としては、特に限定されず、従来、ガスバリア材等において蒸着膜を形成するために用いられているものが利用できる。例えば、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ケイ素、酸化スズ等の無機酸化物が挙げられるが、特に、酸素ガスや水蒸気に対するバリア性に優れることから、酸化アルミニウムまたは酸化ケイ素が好ましい。これらは、いずれか1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
蒸着層は、真空蒸着法、スパッタリング法、プラズマ気相成長法(CVD法)等の公知の方法により形成できる。
基材上に蒸着層を形成する場合、該基材の蒸着層を形成する面に、工程S10において、基材の少なくとも片面に溝形状パターンの加工を施すような表面処理を施してもよい。
熱溶着可能な熱可塑性樹脂層としては、例えば、未延伸ポリプロピレンフィルム(CPP)等のポリプロピレンフィルム;低密度ポリエチレンフィルム(LDPE)、直鎖状低密度ポリエチレンフィルム(LLDPE)等のポリエチレンフィルム;等が挙げられる。
積層体は、上記のほか、必要に応じて、印刷層、中間フィルム層等を設けてもよい。例えば、中間フィルム層を設けたシートの構成例として、基材/セルロースナノファイバー層/接着層/中間フィルム層/接着層/ヒートシール層との構成が挙げられる。
さらに、積層体には、必要に応じて、印刷層、接着層、帯電防止層、反射防止層、防眩層、偏光層、位相差層、傷防止や防汚のための保護層等を設けてもよい。
なお、以下の各例において、pHは、自動滴定装置(平沼産業社製「自動滴定装置COM−1700」)を用い、20℃におけるpHを測定した。
<セルロースナノファイバー分散液の調製>
[セルロースのTEMPO酸化]
セルロースとして汎用的に入手可能な針葉樹漂白パルプを用いた。
セルロース30g(絶乾質量換算)を蒸留水600gに加え撹拌し、膨潤させた後ミキサーにより分散した。ここに蒸留水1200gと、予め蒸留水200gに溶解させたTEMPOを0.3g、臭化ナトリウム3gの溶液を加え、2mol/L濃度の次亜塩素酸ナトリウム水溶液86gを滴下により添加し、酸化反応を開始した。反応温度は常に20℃以下に維持した。反応中は系内のpHが低下するが、0.5NのNaOH水溶液を逐次添加し、pH10に調整した。そして、3時間反応させた時点で、エタノール30gを添加し、反応を停止した。続いて反応液に0.5NのHClを滴下しpHを2まで低下させた。ナイロンメッシュを用いてこの反応液をろ過し、固形分をさらに水で数回洗浄し、反応試薬や副生成物を除去し、固形分濃度7%の水を含有した酸化セルロースを得た。
絶乾質量換算で0.2gの湿潤酸化セルロースをビーカーに量りとり蒸留水を加えて60gとした。0.1MのNaCl水溶液を0.5mL加え、0.5Mの塩酸でpHを3とした後0.5MのNaOH水溶液を滴下して伝導度測定を行った。測定はpHが11程度になるまで続けた。弱酸の中和段階に相当する部分がカルボキシ基量となるので、得られた伝導度曲線からNaOHの添加量を読み取ると、カルボキシ基量は1.6mmol/gであった。
上記により調整した固形分濃度7%の酸化セルロース57.14g(固形分4g)に蒸留水を加え400gの酸化セルロース懸濁液とした。水酸化ナトリウム水溶液を用いてpH8に調整した。調製した懸濁液を回転刃つきミキサーにて60分間処理し、セルロースナノファイバー分散液を得た。
基材として、表面をコロナ処理した膜厚25μmのPETフィルムを用意した。基材のコロナ処理面上に、400nmピッチ、深さ400nmでV溝形状を形成したSi型を押し当て、140℃で10分プレスし、V溝形状のパターンを加工した。続いて、上記により製造したセルロースナノファイバー分散液を、バーコーターを用いて塗工した。塗工後、室温にて2時間静置した後、120℃で15分間乾燥処理することにより膜厚約800nmのセルロースナノファイバー層を形成し、セルロースナノファイバー積層体を得た。
基材として、表面をコロナ処理した膜厚25μmのPETフィルム用意した。続いて、上記により製造したセルロースナノファイバー分散液を、バーコーターを用いて塗工した。塗工後、直ちに120℃で15分間乾燥処理することにより膜厚約800nmのセルロースナノファイバー層を形成し、セルロースナノファイバー積層体を得た。
実施例1、比較例1で得た積層体について、それぞれ、30℃、40%RH雰囲気下での酸素透過度(cm3/m2・day)を、酸素透過度測定装置MOCON OX−TRAN 2/21(モダンコントロール社製)を用いて測定した。
上記結果から、本実施形態に係るセルロースナノファイバー積層体の製造方法によれば、セルロースナノファイバーの配向性を高め、ガスバリア性を向上させる効果が得られることを確認できた。特に、基材の少なくとも片面に溝形状パターンの加工を施したことが、顕著な効果を奏する結果につながった。
Claims (5)
- 基材の少なくとも片面に溝形状のパターンを加工する工程と、
前記加工された面にセルロースナノファイバーを含む塗液を塗工する工程と、
前記塗液を塗工されて成る塗膜を乾燥させセルロースナノファイバー層とする工程と、
を有することを特徴とするセルロースナノファイバー積層体の製造方法。 - 前記基材上に溝形状のパターン加工する工程では、前記基材に溝型を押し当てて形成することを特徴とする請求項1記載のセルロースナノファイバー積層体の製造方法。
- 前記溝形状は、幅0.1〜0.5μm、深さ0.1〜0.5μmのV溝形状であることを特徴とする請求項1又は2に記載のセルロースナノファイバー積層体の製造方法。
- さらに無機化合物からなる蒸着層を形成する工程を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のセルロースナノファイバー積層体の製造方法。
- さらに熱可塑性樹脂層を形成する工程を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のセルロースナノファイバー積層体の製造方法。
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