JP2014048264A - 冷陰極電離真空計 - Google Patents

Abstract

【課題】放電誘発部材と陽極の先端部の放電による生成物の付着を抑制すると共に、消耗を抑制し、放電誘発部材と陽極の寿命を長くする冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】筒状の陰極１０１と、前記筒状の陰極の内部空間に配置された棒状の陽極１０２と、前記陽極と陰極との間の電界にほぼ直交する磁界を形成し、前記陽極と陰極との間に放電を起こす磁性手段１０３ａ，１０３ｂと、前記陰極内に配置される放電誘発部材１０５とを備えた冷陰極電離真空計１において、前記陰極１０１の内部空間を、前記陽極１０２の先端部及び放電誘発部材１０５が配置された一の空間Ａ２と、他の空間Ａ１とに区切る遮蔽板２とを備えている。
【選択図】図１

Description

本発明は冷陰極電離真空計に関し、特に、陰極の内部空間を、陽極の先端部及び放電誘発部材が配置された空間と、前記陽極の先端部及び放電誘発部材が配置されていない他の空間とに区切った冷陰極電離真空計に関する。

本願発明者らは、従前より冷陰極電離真空計について鋭意研究を行い、例えば、特許文献１に示すように、放電誘発部材の取付け、交換作業を容易に行うことができる冷陰極電離真空計を提案している。

この特許文献１に示した、放電誘発部材が設けられた冷陰極電離真空計を、図１１に基づいて説明する。
この冷陰極電離真空計１００は、一端に開口が形成された筒状の陰極１０１と、筒状の陰極１０１の内部空間に配置された棒状の陽極１０２とを備えている。また、前記陽極１０２と陰極１０１との間の電界にほぼ直交する磁界を形成し、陽極１０２と陰極１０１との間に放電を起こす磁性手段（磁石１０３ａ及び１０３ｂ）とを備えている。

また、前記筒状の陰極１０１の開口縁には、放電状態を維持するポールピース１０４が嵌合され、ポールピース１０４により前記開口が覆われている。
このポールピース１０４には、放電誘発部材であるネジ１０５が着脱自在に螺合している。そして、前記ネジ１０５の頭部が、陰極１０１の内部空間に配置された陽極１０２の先端部と相対向するように配置されている。

前記ポールピース１０４は円盤形状になされており、その軸心部にネジ孔１０４ａが形成され、そのネジ孔１０４ａに前記ネジ１０５が螺合されている。
また、ポールピース１０４は、前記軸心部に螺合されたネジ１０５の周囲に配置された複数の貫通孔１０４ｂを備えている。この貫通孔１０４ｂは、大気圧からの排気特性をスムーズにするために設けられたものであり、その数については適宜設計される。

また、陽極１０２は、一端がコネクタ１０６に取り付けられ、そのコネクタ１０６に対して電気的に接続されている。前記陽極１０２の他端（先端部）は、フィードスルー（電流導入端子）１０７を介し、更に陰極１０１の底部１０１ａに形成された貫通孔１０１ａ１を挿通し、陰極１０１の筒内の空間に配置される。

また、前記陽極１０２及び陰極１０１はエンクロージャ１０８内に配置されている。また、エンクロージャ１０８には、フランジ１０９及び前記フランジ１０９に取り付けられた補助圧力センサとしてのピラニ真空計１１０が設けられている。尚、図１中、符号１０９ａは前記フランジ１０９を固定するための螺子である。

また、前記コネクタ１０６は、回路基板１１１ｃ、１１１ｂ、１１１ａを介して、コネクタ１１２ｂに電気的に接続されている。更に、このコネクタ１１２ｂは図示しないが前記陽極１０２に電圧を印加する電源に接続されている。
更にまた、このエンクロージャ１０８は、カソード板１１３を介して基板１１１ｃに接続され、接地されている。尚、これら回路基板１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃは基板保持部材１１４によって保持され、ケース１１５内に収容されている。

また、前記ケース２の背面には、前記したコネクタ１１２ｂのほか、スイッチ１１２ａ、電源のオン−オフを表示するＬＥＤ１１２ｃが設けられている。更に、図中の符号１１６は回路基板１１１ａ、１１１ｂを接続するコネクタ、符号１１７は回路基板１１１ｂ、１１１ｃを接続するコネクタである。

このようにポールピース１０４に螺合されたネジ１０５の頭部が、陰極１０１の内部空間に配置された陽極１０２の先端部と相対向して配置されているため、ネジ１０５の頭部と陽極１０２の先端部との間で放電が生じやすくなり、冷陰極電離真空計１００に対して高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れが小さくなり、測定を効率的に行なうことができる。
また、陰極の開口縁に着脱自在に嵌合されるポールピース１０４にネジ１０５（放電誘発部材）が取付けられているため、ネジ１０５（放電誘発部材）がプラズマ中のイオンの酸化作用により消耗した場合にも、新規なネジ１０５（放電誘発部材）に、容易に交換することができる。

特開２０１１−２７７００号公報

ところで、ポールピースに取付けられた放電誘発部材（ネジ）と陽極は、長時間使用すると、陰極の内部空間（放電空間）に生じたプラズマ中のイオンの酸化作用により消耗する。
また、陰極の内部空間において、プラズマによるイオン以外にも酸化物、窒化物等の生成物が生じ、放電誘発部材、陽極に付着し、放電誘発機能が劣化する。
このように、放電誘発部材、陽極が消耗、付着により劣化した場合には、上記したような放電誘発部材、陽極の洗浄作業、交換作業を行うことになる。
しかしながら、洗浄作業を頻繁に行うことは作業効率上好ましくなく、また放電誘発部材、陽極は交換することができるとはいえ、これら交換作業を頻繁に行うことは、作業効率、冷陰極電離真空計のメンテナンスコストの点から好ましくなかった。

本発明は、上記技術的課題を解決するためなされたものであり、放電誘発部材と陽極の先端部の放電による生成物の付着を抑制すると共に、放電誘発部材及び陽極先端部の消耗を抑制し、放電誘発部材と陽極の寿命を長くする冷陰極電離真空計を提供することを目的とする。

前記目的を達成するため、本発明に係る冷陰極電離真空計は、筒状の陰極と、前記筒状の陰極の内部空間に配置された棒状の陽極と、前記陽極と陰極との間の電界にほぼ直交する磁界を形成し、前記陽極と陰極との間に放電を起こす磁性手段と、前記陰極内に配置される放電誘発部材とを備えた冷陰極電離真空計において、前記陰極の内部空間を、前記陽極の先端部及び放電誘発部材が配置された一の空間と、前記陽極の先端部及び放電誘発部材が配置されていない他の空間とに区切る遮蔽板とを備えていることを特徴としている。

このように、陰極の内部空間が、前記陽極の先端部及び放電誘発部材が配置された一の空間と、前記陽極の先端部及び放電誘発部材が配置されていない他の空間とに、遮蔽板によって区切られる。
その結果、陽極の先端部及び放電誘発部材が、他の空間において生じたプラズマによるイオンから遮蔽され、前記イオンの酸化作用による消耗が抑制される。
また、プラズマによるイオン以外の酸化物、窒化物等の生成物ついても、遮蔽板によって他の空間から一の空間への侵入が抑制されるため、前記陽極の先端部及び放電誘発部材への酸化物、窒化物等の生成物の付着も抑制される。
このように、生成物の付着による汚染、イオンの酸化作用による消耗を抑制できるため、放電誘発部材と陽極の洗浄作業、交換作業の回数を減少させることができる。即ち、放電誘発部材と陽極の寿命を長くできる冷陰極電離真空計を得ることができる。
またこの冷陰極電離真空計によれば、洗浄作業、交換作業を頻繁に行う必要がないため、作業効率、メンテナンスコストの点から好ましい。

ここで、前記遮蔽板は有底円筒状に形成され、前記遮蔽板の底面部は、筒状の陰極の内部空間の径と同一の径を有し、前記底面部の中心部には、前記陽極が挿通する貫通孔が形成されていることが望ましい。
このような遮蔽板であれば、前記遮蔽板を筒状の陰極の内部空間に嵌合させることにより、容易に取付けることができ、前記一の空間と他の空間とに容易に区切ることができる。

また、前記遮蔽板は、筒状の陰極の内部空間の径と同一の径を有する板状の基体と、前記板状の基体の中心部に形成された、前記陽極が挿通する貫通孔と、前記基体の両端部に設けられた径方向外側に開拡した側壁とを有することが望ましい。
このような遮蔽板であれば、基体の両端部に設けられた径方向外側に開拡した側壁が筒状の陰極の内壁に圧接するため、遮蔽板を陰極の内部空間に容易に取付けることができる。

また、筒状の陰極の開口縁に取付けられたポールピースと、前記ポールピースに取付けられ、前記陰極の内部空間を前記陽極の先端部及び放電誘発部材が配置された一の空間と他の空間とに区切る遮蔽板とを備え、前記遮蔽板は、陰極の内部空間の径よりも小さな径を有する底面部と、前記底面部の中心部に形成された、前記陽極が挿通する貫通孔と、前記底面部周部に形成された側壁部と、前記遮蔽板の側壁部の上端部から上方に延設された腕部と、前記腕部の端部に形成された係止部とを有し、前記係止部がポールピースに係止されることにより、前記遮蔽板がポールピースに取り付けられることが望ましい。
このように、遮蔽板がポールピースに取り付けられるため、ポールピースの交換と同時に遮蔽板の交換作業を行うことができ、またポールピースを交換しない場合にも、係止部をポールピースから容易に取り外すことができ、遮蔽板の交換作業を効率的に行うことができる。

また、前記遮蔽板は、中心部に形成された前記陽極が挿通する貫通孔を有する底面部と、前記貫通孔内に突出して形成された突起部とを備えていることが望ましい。
このように遮蔽板の貫通孔内に突起部が形成されている場合には、前記突起部が放電誘発部材として機能する。
そのため、陰極の内部空間内において、前記陽極の先端部及び突起部が配置された一の空間が、遮蔽板（底面部）によって他の空間と区切られる。これにより、前記陽極の先端部及び突起部は、他の空間において生じたプラズマによるイオンから遮蔽され、陽極の先端部及び突起部の消耗が抑制される。
また、プラズマによるイオン以外の酸化物、窒化物等の生成物ついても、他の空間から一の空間への侵入が抑制されるため、前記陽極の先端部及び突起部への生成物の付着が抑制される。

ここで、前記突起部は、前記遮蔽板を筒状の陰極に取り付けた際、突起部の先端が筒状の陰極の開口方向に向くように曲げられ、突起部の先端部及び陽極の先端部が遮蔽板によって覆われ、他の空間から遮蔽されることが望ましい。
このように、前記突起部が陰極の内部空間の開口方向に折曲がることにより、遮蔽板（底面部）によって区切られる一の空間内に、突起部を配置することできる。

本発明によれば、放電誘発部材と陽極の先端部の放電による生成物の付着を抑制すると共に、放電誘発部材及び陽極先端部の消耗を抑制し、放電誘発部材と陽極の寿命を長くする冷陰極電離真空計を得ることができる。

図１は、本発明の第一の実施形態にかかる冷陰極電離真空計の要部断面図である。 図２は、図１に示す第一の実施形態に用いられている遮蔽板を示す斜視図である。 図３は、図１に示す第一の実施形態の組立て手順を示す要部断面図である。 図４は、他の遮蔽板を示す斜視図である。 図５は、本発明の第二の実施形態にかかる冷陰極電離真空計の要部断面図である。 図６は、図６に示したＩ−Ｉ断面図である。 図７は、図５に示す第二の実施形態に用いられている遮蔽板を示す側面図である。 図８は、本発明の第三の実施形態にかかる冷陰極電離真空計の要部断面図である。 図９は、図８に示す矢印方向から見た図である。 図１０は、図８に示す第三の実施形態に用いられている遮蔽板を示す斜視図である。 図１１は、従来の冷陰極電離真空計を示す要部断面図である。

本発明にかかる冷陰極電離真空計の第１の実施形態について、図１乃至図４に基づいて説明する。ここで、図１乃至図４において、図１１に示した部材と同一あるいは相当する部材は、同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。また、図１、図３では、図１１に示した冷陰極電離真空計の構成のうち、特に本発明に関係する構成のみ図示し、他の構成については図示を省略している。

本発明にかかる冷陰極電離真空計は、筒状の陰極１０１の内部空間Ａを、前記陽極１０２の先端部及び放電誘発部材であるネジ１０５が配置された内部空間Ａ２と、他の内部空間Ａ１とに区切る遮蔽板２とを備えていることに特徴がある。
そして、前記陽極１０２の先端部及びネジ１０５は、前記遮蔽板２により他の内部空間Ａ１に生じたプラズマによるイオンから遮蔽され、イオンの酸化作用による陽極１０２、ネジ１０５の消耗が抑制される。
また、遮蔽板２によって、他の内部空間Ａ１に生じた生成物の内部空間Ａ２への侵入が阻止されるため、陽極１０２の先端部及び放電誘発部材であるネジ１０５への生成物の付着が抑制される。

前記遮蔽板２は、図２に示すように有底円筒状に形成され、筒状の陰極１０１の内部空間Ａの径と同一の径を有する底面部２ａを有している。この底面部２ａの中心部には、棒状の陽極１０２が挿通する貫通孔２ａ１が形成されている。また、前記底面部２ａの周部には側壁部２ｂが、底面部２ａに対して垂直に形成されている。

この遮蔽板２は、ステンレス鋼（例えば、ＳＵＳ３０４）等の材料で形成され、板厚が０．２ｍｍ〜０．５ｍｍのものが用いられる。この板厚が０．２ｍｍ未満の場合には、機械的強度が弱く、この板厚が０．５ｍｍを超える場合には、冷陰極放電自体に影響を与えるため、好ましくない。

この貫通孔２ａ１の径と、陽極１０２の直径差が大きい場合には、内部空間Ａ１で生じた、プラズマによるイオンが内部空間Ａ１から内部空間Ａ２に侵入し、前記イオンによる酸化作用による消耗を抑制する効果が薄れるため、好ましくない。
したがって、貫通孔２ａ１の径と陽極１０２の直径の差は小さい方が好ましいが、あまり小さくなると、貫通孔２ａ１への陽極１０２の挿入が困難となり、好ましくない。
そのため、棒状の陽極１０２の直径は、一般的に１．４ｍｍ〜１．５ｍｍが用いられ、貫通孔２ａ１の径は、その棒状の陽極１０２の径を１とした場合の２〜４倍の径に形成されるのが好ましい。

この遮蔽板２は、図３に示すように、前記筒状の陰極１０１の開口側から陰極１０１の内部空間Ａに収納される。
このとき、遮蔽板２の底面部２ａは、陰極１０１の内部空間Ａの径と同一の径を有しており、側壁部２ｂが前記底面部２ａ１に対して垂直に形成されているため、前記遮蔽板２は、筒状の陰極１０１の内周面に嵌合、収納される。
そして、図１に示すように、陽極１０２の先端部が遮蔽板２の貫通孔２ａ１を挿通し、この遮蔽板２によって、前記陽極１０２の先端部及び放電誘発部材であるネジ１０５が配置された内部空間Ａ２と、他の内部空間Ａ１とに区切られる（分けられる）。

また、筒状の陰極１０１の開口縁に、放電状態を維持するポールピース１０４を嵌合し、、ポールピース１０４により、陰極１０１の前記開口が覆われる。尚、このポールピース１０４には、放電誘発部材のネジ１０５が着脱自在に螺合している。

このように、筒状の陰極１０１の開口縁にポールピース１０４が取付けられた状態にあっては、前記ネジ１０５の頭部が陽極１０２の先端部と相対向して配置され、前記ネジ１０５の頭部と陽極１０２の先端部は、前記遮蔽板２によって区切られた筒状の陰極１０１の内部空間Ａ２に配置される。
即ち、前記ネジ１０５の頭部と陽極１０２の先端部は、前記遮蔽板２によって、筒状の陰極１０１の他の内部空間Ａ１と区切られる。

特に、遮蔽板２の貫通孔２ａ１の径と棒状の陽極の径の差を小さくし、内部空間Ａ１を略閉塞することで、この貫通孔２ａ１を介して内部空間Ａ１から内部空間Ａ２へのプラズマによるイオンの侵入を規制している。
このように、内部空間Ａ２へのプラズマによるイオンの侵入が抑制されるため、前記陽極１０２の先端部及び放電誘発部材（ネジ１０５）は、プラズマイオンの酸化作用による消耗が抑制される。

また同様に、内部空間Ａ２への酸化物、窒化物等の生成物の侵入も抑制されるため、前記陽極１０２の先端部及び放電誘発部材（ネジ１０５）に対する、酸化物、窒化物等の生成物の付着も抑制される。

このように、この遮蔽板２によって、ネジ１０５と陽極１０２の先端部は内部空間Ａ１（放電空間）から遮蔽され、内部空間Ａ１（放電空間）で形成されたプラズマによるイオンの酸化作用から保護され、更に内部空間Ａ１（放電空間）で形成されたプラズマによって生成された酸化物、窒化物等の生成物の付着から保護される。
これにより、ネジ１０５と陽極１０２の先端部の寿命をより長くすることができるともに、洗浄作業、交換作業の回数を低減することができる。

尚、上記実施形態にあっては、遮蔽板２として有底円筒状のものであって、底面部２ａの全周囲に側壁部２ｂを設けた場合について説明した。
しかしながら、遮蔽板は前記遮蔽板２に限定されるものではなく、図４に示すように、板状の基体３ａと、前記基体３ａの両側部に設けられた平面視上、円弧状の側壁部３ｂとを有する遮蔽板３を用いても良い。
この場合、側壁部３ｂは、基体３ａに対して垂直方向から径方向外側に開拡して（図４においては垂直方向から角度θ、径方向外側に開拡して）延設される。
このように側壁部３ｂが径方向外側に開拡して延設される場合には、陰極１０１の内部空間に遮蔽板３が収容される際、側壁部３ｂが陰極１０１の内壁に対して圧接するため、確実に固定することができる。

次に、本発明にかかる第２の実施形態について図５乃至図７に基づいて説明する。尚、第１の実施形態と同様に、図５乃至図７において、図１１に示した部材と同一あるいは相当する部材は、同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。また、図５では、図１１に示した冷陰極電離真空計の構成のうち、特に本発明に関係する構成のみ図示し、他の構成については図示を省略している。

この実施形態にあっては、遮蔽板５に設けられた係止部５ｄがポールピース１０４の上面に係止されることによって、遮蔽板５がポールピース１０４に取付けられる点に特徴がある。尚、放電誘発部材として、ネジ１０５の代わりにバネ４が用いられている。

前記遮蔽板５は、図５乃至図７に示すように、陰極１０１の内部空間Ａの径よりも小さな径を有する底面部５ａを有している。特に、この底面部５ａは、図５、図６に示すように、ポールピース１０４に設けられた４つの貫通孔１０４ｂの内側に接する円と同一の寸法形状に形成される。
また、この底面部５ａの中心部には、棒状の陽極１０２が挿通する貫通孔５ａ１が形成されている。また、前記底面部５ａの周部には側壁部５ｂが、底面部５ａに対して垂直に形成されている。

更に、前記遮蔽板５の側壁部５ｂの上端部から上方に延設された、ポールピース１０４の貫通孔１０４ｂと対応する位置に設けられる４つの腕部５ｃと、前記腕部５ｃの端部に形成された係止部５ｄが設けられている。
この係止部４ｄは爪状に形成され、この底面部５ａがポールピース１０４の貫通孔１０４ｂの内側に接する円と同一の寸法形状に形成されるため、前腕部５ｃはポールピース１０４の貫通孔１０４ｂを通り、前記爪状の係止部５ｄがポールピース１０４の上面に係止される。

この遮蔽板２は、ステンレス鋼（例えば、ＳＵＳ３０４）等の材料で形成され、板厚が０．２ｍｍ〜０．５ｍｍのものが用いられる。
また、この板厚が０．２ｍｍ未満の場合には、機械的強度が弱く、この板厚が０．５ｍｍを超える場合には、冷陰極放電自体に影響を与えるため、好ましくない。

このように、筒状の陰極１０１の開口縁に取付けられたポールピース１０４に、遮蔽板５が取り付けられるため、ポールピース１０４を筒状の陰極１０１の開口縁に取付けられることにより、遮蔽板５を冷陰極真空計１０に取り付けることができる。
そして、前記バネ４の頭部が、陽極１０２の先端部と相対向して配置され、前記バネ４の頭部と陽極１０２の先端部は、遮蔽板５によって覆われ、内部空間Ａ１（放電空間）から遮蔽される。

そのため、前記バネ４及び陽極１０２の先端部は、内部空間Ａ１（放電空間）で形成されたプラズマによるイオンの酸化作用から保護され、内部空間Ａ１で形成されたプラズマによるイオンの酸化作用による消耗を抑制することができる。
また同様に、前記バネ４と陽極１０２の先端部は、内部空間Ａ１（放電空間）で形成されたプラズマによって生成された酸化物、窒化物等の生成物の付着から保護される。
これにより、放電誘発部材であるバネ４と陽極１０２の先端部の寿命をより長くすることができるともに、洗浄作業、交換作業の回数を低減することができる。

次に、本発明にかかる第３の実施形態について図８乃至図１０に基づいて説明する。
この実施形態は、放電誘発機能を備えた遮蔽板を用いた点に特徴がある。尚、第１の実施形態と同様に、図８乃至図１０において、図１１に示した部材と同一あるいは相当する部材は、同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。また、図８では、図１１に示した冷陰極電離真空計の構成のうち、特に本発明に関係する構成のみ図示し、他の構成については図示を省略している。

この遮蔽板６は、図８乃至図１０に示すように、陰極１０１の内部空間Ａの径と同一の径を有する底面部６ａを有している。この底面部６ａの中心部には、棒状の陽極１０２が挿通する貫通孔６ｂが形成されている。

また、図９に示すように、先端が尖がった突起部６ｃが貫通孔６ｂ内に突出して形成されている。この突起部６ｃが放電誘発部材であり、遮蔽板６は放電誘発機能を備えている。
そして、貫通孔６ｂの中心部に、前記陽極１０２が配置され、陽極１０２の外周囲には、突起部６ｃが配置されている。この突起部６ｃは折曲げられ、その先端部は内部空間Ａ２側に位置している。この突起部６ｃの折曲方向は、この遮蔽板６を筒状の陰極に取り付けた際、突起部６ｃの先端が筒状の陰極１０１の開口縁方向に向くように、曲げられている。

前記底面部６ａの周部には側壁部６ｄが、底面部６ａに対して垂直に形成されている。更に、前記遮蔽板６の側壁部６ｄの上端部から、底面部６ａと平行に鍔部６ｅが形成されている。この鍔部６ｅが、図８に示すように、陰極１０１の開口縁に係止されることにより、遮蔽板６が取付けられる。

この遮蔽板２は、ステンレス鋼（例えば、ＳＵＳ３０４）等の材料で形成され、板厚が０．２ｍｍ〜０．５ｍｍのものが用いられる。
また、この板厚が０．２ｍｍ未満の場合には、機械的強度が弱く、この板厚が０．５ｍｍを超える場合には、冷陰極放電自体に影響を与えるため、好ましくない。

このように、遮蔽板６の鍔部６ｅを筒状の陰極１０１の開口縁に取付けられることにより、冷陰極真空計に遮蔽板６を取り付けることができる。そして、陽極１０２の先端部は、前記遮蔽板２によって区切られた内部空間Ａ２内に配置される。

前記したように、突起部６ｃが形成された貫通孔６ｂの中心部に前記陽極１０２が配置されているため、前記突起部６ｃと陽極６ｂとの間で放電が生じやすく、また冷陰極電離真空計に対して高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れが小さく、測定を効率的に行なうことができる。
しかも、遮蔽板６が放電誘発機能を備えているため、前記第１、２の実施形態のような放電誘発部材を設ける必要がなく、安価に製作することができる。

更に、前記突起部６ｃと陽極１０２の先端部と相対向して配置され、遮蔽板６を筒状の陰極に取り付けた状態において、突起部６ｃの先端が筒状の陰極の開口方向に向くように折曲げられているため、前記突起部６ｃの先端部と陽極１０２の先端部は、遮蔽板６によって覆われ、内部空間Ａ１（放電空間）から遮蔽される。

そのため、前記突起部６ｃ及び陽極１０２の先端部は、内部空間Ａ１（放電空間）で形成されたプラズマによるイオンから保護され、内部空間Ａ１で形成されたプラズマによるイオンの酸化作用による消耗を抑制することができる。
また、前記突起部６ｃ及び陽極の先端部１０２は、内部空間Ａ１（放電空間）で形成されたプラズマ等による生成物の付着から保護される。
これにより、放電誘発部材（突起部６ｃ）と陽極１０２の先端部の寿命をより長くすることができるともに、洗浄作業、交換作業の回数を低減することができる。

２ 遮蔽板
２ａ 底面部
２ａ１ 貫通孔
２ｂ 側壁部
３ 遮蔽板
３ａ 基体
３ｂ 側壁部
４ バネ
５ 遮蔽板
５ａ 底面部
５ａ１ 貫通孔
５ｂ 側壁部
５ｃ 腕部
５ｄ 係止部
５６ 遮蔽板
６ａ 底面部
６ｂ 貫通孔
６ｃ 突起部
６ｄ 鍔部
１０１ 陰極
１０２ 陽極
１０５ ネジ（放電誘発部材）
Ａ 陰極内部空間
Ａ１ 陽極の先端部及び放電誘発部材が配置されていない他の空間
Ａ２ 放電誘発部材及び陽極の先端部が配置された一の空間

Claims (6)

1. 筒状の陰極と、前記筒状の陰極の内部空間に配置された棒状の陽極と、前記陽極と陰極との間の電界にほぼ直交する磁界を形成し、前記陽極と陰極との間に放電を起こす磁性手段と、前記陰極内に配置される放電誘発部材とを備えた冷陰極電離真空計において、前記陰極の内部空間を、前記陽極の先端部及び放電誘発部材が配置された一の空間と、前記陽極の先端部及び放電誘発部材が配置されていない他の空間とに区切る遮蔽板とを備えていることを特徴とする冷陰極電離真空計。
2. 前記遮蔽板は有底円筒状に形成され、前記遮蔽板の底面部は、筒状の陰極の内部空間の径と同一の径を有し、前記底面部の中心部には、前記陽極が挿通する貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項１記載の冷陰極電離真空計。
3. 前記遮蔽板は、筒状の陰極の内部空間の径と同一の径を有する板状の基体と、前記板状の基体の中心部に形成された、前記陽極が挿通する貫通孔と、前記基体の両端部に設けられた径方向外側に開拡した側壁とを有することを特徴とする請求項１記載の冷陰極電離真空計。
4. 筒状の陰極の開口縁に取付けられたポールピースと、
   前記ポールピースに取付けられ、前記陰極の内部空間を前記陽極の先端部及び放電誘発部材が配置された一の空間と他の空間とに区切る遮蔽板とを備え、
   前記遮蔽板は、陰極の内部空間の径よりも小さな径を有する底面部と、前記底面部の中心部に形成された、前記陽極が挿通する貫通孔と、前記底面部周部に形成された側壁部と、前記遮蔽板の側壁部の上端部から上方に延設された腕部と、前記腕部の端部に形成された係止部とを有し、
   前記係止部がポールピースに係止されることにより、前記遮蔽板がポールピースに取り付けられることを特徴とする請求項１記載の冷陰極電離真空計。
5. 前記遮蔽板は、中心部に形成された前記陽極が挿通する貫通孔を有する底面部と、前記貫通孔内に突出して形成された突起部とを備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項４記載の冷陰極電離真空計。
6. 前記突起部は、前記遮蔽板を筒状の陰極に取り付けた際、突起部の先端が筒状の陰極の開口方向に向くように曲げられ、突起部の先端部及び陽極の先端部が遮蔽板によって覆われ、他の空間から遮蔽されることを特徴とする請求項５記載の冷陰極電離真空計。

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