JP2014044064A - 貫通孔閉塞ユニット及びそれを備えるガス式漏洩検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】貫通孔を閉塞する閉塞部材と、該閉塞部材を着脱可能に保持する保持部材とを有する貫通孔閉塞ユニットに複数種のものが存在するとき、閉塞部材と保持部材の誤組が発生することを防止する。
【解決手段】閉塞部材１６０ａは、第１係合部１６８ａが一端部に設けられた本体１７０ａを有する。第１係合部１６８ａは、保持部材１６２ａに形成された第２係合部１８８ａに挿入・係合される。その後、保持部材１６２ａの外周壁に設けられたロック機構を構成するスリーブ１９２が押し上げられ、該スリーブ１９２内のロックボール１９０が、本体１７０ａの側壁に形成されたボール溝１７２に進入する。閉塞部材は、前記閉塞部材１６０ａの他、閉塞すべき貫通孔の寸法・形状に応じて寸法や形状等が相違するものが複数種用意される。保持部材も、特定の閉塞部材のみを保持し得るように、閉塞部材の種類数に対応し、前記保持部材１６２ａに加えて複数種が用意される。
【選択図】図６

Description

本発明は、ワークの貫通孔を閉塞して気密性をもたらすための貫通孔閉塞ユニット及びそれを備えるガス式漏洩検査装置に関する。

例えば、鋳造製品や鍛造成形品の中には、オイル等の液体を収容する収容容器や、大気圧以上の圧力の流体を内室に貯留する圧力容器として使用されるものがある。このような用途の場合、内室から内容物が漏洩しないこと、換言すれば、液密性ないし気密性に優れることが必要である。

しかしながら、鋳造製品や鍛造成形品には、漏洩箇所が存在することがある。例えば、鋳造製品では、鋳造欠陥に起因して漏洩箇所が形成される可能性があるからである。このため、鋳造製品や鍛造成形品に対し、内室から大気に連通するような漏洩箇所が壁部に存在するか否かを確認することが広汎に行われている。ガス式漏洩検査装置は、このような確認を行うための検査装置として周知であり、その具体例としては、特許文献１に記載された気密検査装置が挙げられる。

この気密検査装置を用いる場合、検査対象であるワーク（鋳造製品ないし鍛造成形品）をチャンバに収容し、ワークの内室を排気して真空状態とする一方、チャンバ内を大気圧状態に保つ。この状態で、前記内室に検査ガス（例えば、ヘリウム）を導入する。その後、一定時間が経過した際に所定量以上の検査ガスがチャンバ内に漏洩していなければ、十二分な気密性が確保されたものとして合格品とされ、所定量以上の検査ガスがチャンバ内に漏洩していれば、気密性が不十分な不合格品とされる。

ところで、特許文献１記載の気密検査装置では、車両用のアルミホイールを検査対象（ワーク）としている。アルミホイールでは、内室から大気に連通するような開口は、両端部にのみ存在する。従って、壁部の漏洩検査を行うときには、両端部を閉塞するのみでよい。しかしながら、例えば、自動車部品の生産工場において漏洩検査が行われる検査対象には、ミッションケース等、側壁に多数の貫通孔が形成されたものが含まれる。この場合、前記貫通孔の開口も閉塞する必要がある。

この種の閉塞手段としては、特許文献２に記載された検査用シール装置が知られている。この検査用シール装置は、円筒部の開口にシール部を着座させた後、ロック機構でシール部を位置決め固定することによって、シール部が円筒部から脱落しないようにしている。

特開平６−２２１９５０号公報 特開２００２−５５０１８号公報

特許文献２記載の検査用シール装置のシール対象は、円筒部に限られる。すなわち、単純な貫通孔を閉塞することはできない。

また、自動車部品工場では、ミッションケース等の様々な部材が工業的規模で大量生産される。従って、個々の部材に対して漏洩検査を実施すると、シール部が摩耗する等して、開口を十分に閉塞することが困難となる。この場合、壁部に漏洩があるか否かを判断することができなくなるので、シール部を新たなものに交換する必要がある。

交換を行う間は漏洩検査を実施することができないので、シール部の交換時間は短い程好ましい。しかしながら、特許文献２記載の検査用シール装置では、シール部を交換するためには分解を行わなければならず、このために交換に長時間を要するとともに、その間は漏洩検査を中止しなければならないという不具合が顕在化している。

さらに、ミッションケース等には、例えば、開口径又は深さ等が相違する貫通孔や、面取り部が形成された貫通孔等、様々な種類の貫通孔が貫通形成されている。このため、シール部（閉塞部）の寸法・形状は、開口径や開口形状に対応したものとすることが望ましい。

この場合、上記のように閉塞部を交換する際に、例えば、本来は、開口径が大きな貫通孔を閉塞するための閉塞部を取り付けるためのシリンダに対し、開口径が小さな貫通孔を閉塞するための閉塞部を誤って取り付ける等、いわゆる誤組が発生する懸念がある。勿論、このときには貫通孔が閉塞されないため、壁部に漏洩箇所が存在するか否かを判断することができなくなる。

本発明は上記した問題を解決するためになされたもので、誤組が発生する懸念を払拭し得、しかも、閉塞部の交換に要する時間を短縮し得る貫通孔閉塞ユニット及びそれを備えるガス式漏洩検査装置を提供することを目的とする。

前記の目的を達成するために、本発明に係る貫通孔閉塞ユニットは、凹部又は凸部からなる第１係合部と、内室を形成したワークの前記内室が大気と連通するように形成された貫通孔を閉塞する閉塞部とを有する閉塞部材と、
凸部又は凹部からなる第２係合部が設けられ、前記第２係合部が前記第１係合部と互いに係合することで前記閉塞部材を保持する保持部材と、
前記閉塞部材又は前記保持部材のいずれか一方に設けられ、前記第１係合部と前記第２係合部との係合状態を維持するロック機構と、
を備え、
前記貫通孔として開口径又は開口形状が互いに相違するものが２個以上形成されることに対応して前記閉塞部材及び前記保持部材を２個以上有し、
開口径又は開口形状が相違する貫通孔を閉塞する前記閉塞部材同士は、前記第１係合部及び前記閉塞部の寸法、又は形状の少なくともいずれかが相違し、
且つ寸法又は形状が所定のものに規定された前記第２係合部を有する前記保持部材は、前記閉塞部材中、寸法及び形状が所定のものに規定された前記第１係合部を有するものを選択的に保持することが可能であることを特徴とする。

すなわち、本発明においては、貫通孔の開口径や開口形状が相違することに合わせ、各々に対応する閉塞部材を用いるようにしている。換言すれば、複数種の閉塞部材が存在する。

この場合、ある開口径及び開口形状の貫通孔を閉塞（シール）するための閉塞部材は、開口径ないし開口形状が相違する別の貫通孔を閉塞することが困難である。従って、閉塞部材の配置を誤ると、例えば、ワークの壁部に漏洩箇所が存在するか否かの漏洩検査を行う際、検査ガスが漏洩しているのが壁部からなのか又は貫通孔からなのかを判断することが困難となる。すなわち、正確な検査結果を得ることができなくなる。

そこで、本発明においては、閉塞部材の種類に対応し、該閉塞部材を保持する保持部材の種類を変更するようにしている。要するに、ある保持部材は、特定の閉塞部材のみ保持し得、別の保持部材を保持することができない。すなわち、保持部材は、閉塞部材を選択的に保持する。

このようにすることにより、閉塞部材を誤った位置に取り付ける、いわゆる誤組を防止することができる。従って、漏洩検査の際には、検査ガスが漏洩しないように貫通孔を閉塞することができるので、正確な検査結果を得ることが容易となる。

しかも、閉塞部材が摩耗したり、傷が発生する等して貫通孔に対するシール性能が低下したときには、閉塞部材を保持部材から取り外し、新たな閉塞部材を保持部材に保持することのみで交換が終了する。すなわち、閉塞部材を短時間で効率よく交換することができる。このため、漏洩検査等を迅速に再開することが可能となる。

なお、誤組を防止するための構成としては、例えば、閉塞部材同士の第１係合部の長手方向寸法や、長手方向に直交する方向の寸法、形状等を相違させるとともに、保持部材の第２係合部を、特定の寸法・形状の第１係合部のみを挿入し得る寸法・形状に設定することが挙げられる。

一層具体的には、第１係合部が円柱体形状又は円筒体形状をなし、且つ第２係合部が、前記第１係合部が円柱体形状であるときには該第１係合部を挿入する円筒体形状をなす一方、前記第１係合部が円筒体形状であるときには前記第１係合部に挿入される円柱体形状をなす場合、閉塞部材中の少なくとも２個につき、前記第１係合部の直径方向又は長さ方向寸法の少なくともいずれかを相違させる。併せて、保持部材中の少なくとも２個につき、前記第２係合部の直径方向又は長さ方向寸法の少なくともいずれかを相違させるようにすればよい。

前記ロック機構としては、ロックボールと、前記ロックボールを囲繞するスリーブとを備えるものが挙げられる。この場合、第１係合部又は第２係合部の側壁に、前記ロックボールが着座するボール溝が形成される。

そして、任意の閉塞部材の第１係合部、又は任意の保持部材の第２係合部のうちの凸部であるものの挿入側前端から前記ボール溝までの距離をａ、前記ボール溝から挿入側後端までの距離をｂとし、前記任意の閉塞部材を保持し得えない保持部材の第２係合部、又は任意の保持部材に保持され得ない閉塞部材の第１係合部のうちの凹部であるものの底壁から前記ロックボールまでの距離をＡ、前記ロックボールから前記凸部の挿入開口までの距離をＢとするとき、
ａ＞Ａ …（１）
の関係式、又は、
ａ＜Ａ 及び ｂ≦Ｂ …（２）
の関係式のいずれかを成立させるようにすればよい。

ａ＞Ａであるときには、凸部を凹部に挿入しようとしても、凸部がその挿入途中で停止する。このため、該凸部の一部が凹部から露呈する。加えて、ロックボールとボール溝の位置が合致しない。このため、ロックボールがボール溝に進入することはなく、当然に、ボール溝に進入した状態のロックボールをスリーブが覆うこともない。

一方、ａ＜Ａ及びｂ≦Ｂが成り立つときには、凸部全体が凹部に挿入されはするものの、ロックボールとボール溝の位置が合致しない。従って、ロックボールがボール溝に進入することはなく、ボール溝に進入した状態のロックボールをスリーブが覆うこともない。

すなわち、いずれにおいても係合状態が維持されない。このことから、誤組を防止することができる。

閉塞部材及び保持部材に、ワークの内室中のガスを排出すること、及び前記内室にガスを供給することが可能な通路を形成するようにしてもよい。この場合、内室からのガスの排気又は内室へのガスの供給を一層効率よく行うことができる。また、ワークに内壁が形成され、これにより内室が複数個の分室に区分されているために１個の排気手段では分室からのガスの排気、又は分室へのガス供給が困難であるときには、閉塞部材及び保持部材を介して、分室からのガスの排気、又は分室へのガスの供給を行うことができる。

閉塞部材を、前記第１係合部を具備する本体と、前記閉塞部に着脱可能に取り付けられて貫通孔を閉塞する閉塞体とを有するようにして構成するようにしてもよい。この場合、閉塞体のみを交換することも可能となる。これにより交換部品点数が低減するので、コストが低廉化する。

また、閉塞体を弾性材とすると、開口寸法が小さな貫通孔に挿入する場合であっても、閉塞体が弾性によって容易に圧縮される。このため、貫通孔に閉塞体を圧入することが容易となる。また、弾性材は安価であるので、コストが一層低廉化する。

閉塞部材による閉塞は、作業者の手作業で行うこともできるが、閉塞部材変位機構を用い、自動的に行うことが好ましい。なお、この閉塞部材変位機構が、前記閉塞部材、及び該閉塞部材を保持した前記保持部材を、前記貫通孔に対して接近又は離間する方向に一体的に変位させるものであることは勿論である。

また、本発明に係るガス式漏洩検査装置は、基台と、
前記基台に設けられてワークを位置決め固定する載置台と、
前記載置台とともに前記ワークを挟持する挟持盤と、
前記基台に支持されて前記挟持盤を前記ワークに対して接近又は離間する方向に変位させるための挟持盤変位機構と、
前記載置台に対して接近又は離間し、且つ前記載置台に当接した際に前記ワークを囲繞するチャンバを形成する隔壁部材と、
前記基台に支持されて前記隔壁部材を前記載置台に対して接近又は離間する方向に変位させるための隔壁部材変位機構と、
前記載置台と前記挟持盤に挟持されて内室を形成した前記ワークの側面に前記内室が大気と連通するように形成された貫通孔を閉塞する貫通孔閉塞ユニットと、
前記内室から排気を行う排気手段と、
前記内室に検査ガスを供給するための検査ガス供給手段と、
前記チャンバ内で前記ワークに当接した前記挟持盤と、前記載置台に当接して前記チャンバを形成した前記隔壁部材との間に画成されるモニタスペースから排出されたサンプリングガスを前記モニタスペースに戻すための循環流通路と、
前記サンプリングガスが前記循環流通路を経由して送気される検査ガス検出手段と、
を備え、
前記貫通孔閉塞ユニットは、凹部又は凸部からなる第１係合部と閉塞部とを有する閉塞部材と、
凸部又は凹部からなる第２係合部が設けられ、前記第２係合部が前記第１係合部と互いに係合することで前記閉塞部材を保持する保持部材と、
前記閉塞部材又は前記保持部材のいずれか一方に設けられ、前記第１係合部と前記第２係合部との係合状態を維持するロック機構と、
を備え、
前記貫通孔として開口径又は開口形状が互いに相違するものが２個以上形成されることに対応して前記閉塞部材及び前記保持部材を２個以上有し、
開口径又は開口形状が相違する貫通孔を閉塞する前記閉塞部材同士は、前記第１係合部及び前記閉塞部の寸法、又は形状の少なくともいずれかが相違し、
且つ寸法又は形状が所定のものに規定された前記第２係合部を有する前記保持部材は、前記閉塞部材中、寸法及び形状が所定のものに規定された前記第１係合部を有するものを選択的に保持することが可能であることを特徴とする。

要するに、このガス式漏洩検査装置は、上記の貫通孔閉塞ユニットを含んで構成される。このため、ワークに形成された貫通孔が閉塞されるので、内室に導入された検査ガスが貫通孔を経て漏洩することが回避される。従って、ワークの壁部に漏洩箇所が存在するか否かを精度よく判断することができる。

上記したように、閉塞部材及び保持部材には、前記内室中のガスを排出すること、及び前記内室に検査ガスを供給することが可能な通路を形成することが好ましい。この場合、内室からのガスの排気又は内室への検査ガスの供給を一層効率よく行うことができるからである。また、ワークに内壁が形成されることによって内室が複数個の分室に区分されているために１個の排気手段では分室からのガスの排気、又は分室への検査ガス供給が困難であるときには、閉塞部材及び保持部材を介して、分室からのガスの排気、又は分室への検査ガスの供給を行うことができるからである。

また、閉塞部材、及び該閉塞部材を保持した保持部材を、貫通孔に対して接近又は離間する方向に一体的に変位させる閉塞部材変位機構を設けることが好ましい。これにより、貫通孔の閉塞及び開放を自動的に行うことができる。

本発明によれば、貫通孔の開口径や開口形状が相違することに合わせ、各々に対応する複数種の閉塞部材を用いるとともに、該閉塞部材を保持する保持部材につき、特定の閉塞部材のみを選択的に保持可能としている。このため、閉塞部材を誤った保持部材に取り付ける、いわゆる誤組を防止することができ、任意の貫通孔を、該貫通孔に対応する閉塞部材で閉塞することができる。

従って、例えば、ワークに対して漏洩検査を行う場合、該ワークの内部に導入された検査ガスが貫通孔を介して漏洩することが回避されるので、正確な検査結果を得ることが容易となる。

しかも、閉塞部材が摩耗したり、傷が発生する等して貫通孔に対するシール性能が低下したときには、閉塞部材を保持部材から取り外し、新たな閉塞部材を保持部材に保持することのみで交換が終了する。すなわち、閉塞部材を短時間で効率よく交換することができる。このため、漏洩検査等を迅速に再開することが可能となる。

本発明の実施の形態に係るガス式漏洩検査装置を簡略的に示した全体概略正面図である。 図１のガス式漏洩検査装置の要部概略側面図である。 図１のガス式漏洩検査装置を構成する載置台の概略平面図である。 図１の要部拡大図である。 図１のガス式漏洩検査装置が具備する挟持盤を構成するシール部材の下方からの平面図である。 図１のガス式漏洩検査装置を構成する貫通孔閉塞ユニットの概略側面断面図である。 図６の貫通孔閉塞ユニットとは別構成の貫通孔閉塞ユニットの概略側面断面図である。 図６、図７の貫通孔閉塞ユニットとはまた別構成の貫通孔閉塞ユニットの概略側面断面図である。 図６〜図８の貫通孔閉塞ユニットとはさらに別構成の貫通孔閉塞ユニットの概略側面断面図である。 図６〜図９の貫通孔閉塞ユニットとはさらにまた別構成の貫通孔閉塞ユニットの概略側面断面図である。 図９の貫通孔閉塞ユニットを構成する閉塞部材の全体概略側面図である。 図１０の貫通孔閉塞ユニットを構成する閉塞部材の全体概略側面図である。 図９の貫通孔閉塞ユニットを構成する保持部材の全体概略側面図である。 図１０の貫通孔閉塞ユニットを構成する保持部材の全体概略側面図である。 図１１の閉塞部材を、図１４の保持部材に係合しようとした状態を示す全体概略側面図である。 図１２の閉塞部材を、図１３の保持部材に係合しようとした状態を示す全体概略側面図である。

以下、本発明に係る貫通孔閉塞ユニットにつき、それを備えるガス式漏洩検査装置との関係で好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照して詳細に説明する。なお、本実施の形態では、ミッション部品として組み立てられる前のケース部材につき漏洩検査を行う場合を例示する。

図１は、本実施の形態に係るガス式漏洩検査装置１０を簡略的に示した全体概略正面図である。このガス式漏洩検査装置１０は、載置台１２と隔壁部材１４とで形成されるチャンバ１６を有し、該チャンバ１６内にワークとしてのケース部材１８を収容する。

ここで、ミッション部品は、周知の通り、ケース部材１８をはじめとする複数個のケース部材同士が連結されることによって構成されるものであり、トランスミッション及び潤滑油を収容するための内部空間を有する。従って、ケース部材１８には、ミッション部品として組み立てられた際に前記内部空間を形成するための中空室２０（内室）が存在する。ガス式漏洩検査装置１０は、ケース部材１８の中空室２０から底壁、側壁、又は天井壁を介して検査ガスが漏洩した場合、これを検知するものである。

ケース部材１８の底壁には、例えば、別のケース部材を連結するための開口２２が貫通形成される。また、該底壁や側壁、天井壁には、特開２００５−１８１２０７号公報に記載されるように、潤滑油圧検出孔、ドリブンプーリ油圧検出孔、後進用ブレーキ油圧検出孔、前進用クラッチ油圧検出孔、ドライブプーリ油圧検出孔等が、中空室２０が大気に連通するようにして形成される。以下、これらの孔を特に区別せず、底壁に形成された貫通孔、側壁に形成された貫通孔、天井壁に形成された貫通孔を、それぞれ、「底壁貫通孔」、「側壁貫通孔」、「天井壁貫通孔」と指称するとともに、側壁貫通孔、天井壁貫通孔の各参照符号を２４、２５とする。なお、底壁貫通孔は図示していない。

側壁貫通孔２４には、後述するように、開口径や開口形状、深さ等が相違する様々なものが存在するが、ここでは、側壁貫通孔２４の位置の理解を容易にするため、開口径や開口形状、深さ等の相違に関わらず、代表的に参照符号２４を付している。

ガス式漏洩検査装置１０は、図２に示すように、作業ステーションの床上に設置される基台２６を有する。この基台２６は、第１支持台２８、第２支持台３０及び第３支持台３２（図１参照）を有し、この中の第１支持台２８には、載置台変位手段としての第１シリンダ３４（図２参照）が支持される。この第１シリンダ３４を構成する第１ロッド３６は、第２支持台３０に変位自在に設けられた載置台１２の下端面に対し、連結ブラケット３８を介して連結される。

図２に概略を示すように、第２支持台３０の上端面には、２本の案内レール４０ａ、４０ｂが互いに平行に延在して設けられる。案内レール４０ａ、４０ｂの各々にはスライダ４２が摺動自在に係合されるとともに、このスライダ４２に前記載置台１２が橋架される。従って、載置台１２は、第１ロッド３６が前進又は後退することに伴って、スライダ４２とともに案内レール４０ａ、４０ｂの延在方向に沿って変位する。

載置台１２の上端面には、その概略平面図である図３に示すように、ケース部材１８の底壁に形成された開口２２の形状に対応する形状の第１環状溝４４が形成される。この第１環状溝４４には、中空室２０に導入された検査ガスが開口２２から漏洩することを防止するための第１シール部材４６が収容される。また、載置台１２の上端面には、底壁貫通孔を閉塞するためのプラグ４８が複数個設けられるとともに、ケース部材１８を堰止して位置決め固定するための複数個のストッパ５０が取り外し可能に設けられる。従って、ケース部材１８は、その側壁がストッパ５０に堰止されることで位置決め固定される。

図１の要部拡大図である図４に示すように、載置台１２には、その厚み方向に沿って、排気用孔５２、検査ガス導入孔５４及び検査ガス回収孔５５が貫通形成される（図１参照）。載置台１２上にケース部材１８が位置決め固定された際、ケース部材１８の中空室２０は、これら排気用孔５２、検査ガス導入孔５４及び検査ガス回収孔５５に連通する位置となる。

中空室２０には、中子５６が収容される。この中子５６が存在することにより、中空室２０の空間容積が低減する。従って、中空室２０から排気すべきガス、及び中空室２０に導入する検査ガスの量を低減することができる。

中子５６は、中空室２０に収容することが可能な寸法であり、且つ検査ガスを吸着ないし吸収しない物体であればよく、特に限定されるものではないが、鉄塊等のバルク体が好適な例として挙げられる。

排気用孔５２には、第１クリーンポンプ５８が接続された第１排気用配管６０が挿入される。また、検査ガス導入孔５４及び検査ガス回収孔５５には、それぞれ、図示しない検査ガス供給手段に個別に接続された検査ガス導入用配管６２、検査ガス回収用配管６３が挿入される。

なお、検査ガスとしては、ガス式漏洩検査で一般的に用いられるヘリウムや水素、アルゴン等を採用すればよいが、極少量の漏洩を検出することが求められるような場合、換言すれば、高精度に検出を行うような場合には、ヘリウムが好適である。アルゴンは直径が大きく、微細な割れからは漏洩することが容易でない（すなわち、微細な割れが存在することを検出することが容易ではない）のに対し、ヘリウムは直径が小さいために微細な割れからも漏洩するので、該割れが存在することを検出することが可能であるからである。しかも、後述するように、検査に使用したヘリウムを回収して再利用することも可能である。なお、ヘリウムを供給し得る手段としては、ボンベが挙げられる。

載置台１２には、基準ガス導入孔６４も厚み方向に沿って貫通形成される。この基準ガス導入孔６４は、ケース部材１８の中空室２０に連通せず、チャンバ１６内に連通する位置に形成されている。また、基準ガス導入孔６４に挿入された基準ガス導入用配管６６の一端には図示しない基準ガス供給手段が接続され、中空室２０に臨む残余の一端にはリークマスタ６８が接続される。リークマスタ６８は、載置台１２の上方に配置され、ケース部材１８とともにチャンバ１６に収容される。

このリークマスタ６８は、基準ガスを、予め決定された所定のリーク量でチャンバ１６に排出するように調整されている。

基準ガス供給手段は、基準ガス導入用配管６６及びチャンバ１６を介して基準ガスをモニタスペース６９（後述）に供給するためのものであり、その具体例としてはボンベが挙げられる。なお、基準ガスには、検査ガスと同一のガスを用いる。すなわち、検査ガスとしてヘリウムを用いる場合、基準ガスもヘリウムである。

基準ガス導入用配管６６からは、第２排気用配管７０が分岐して設けられる。この第２排気用配管７０は、第１排気用配管６０と合流して前記第１クリーンポンプ５８に接続される。この接続ラインには、圧力センサ７１が設けられる。

以上の構成において、第１排気用配管６０、検査ガス導入用配管６２、基準ガス導入用配管６６及び第２排気用配管７０には、第１バルブ７２、第２バルブ７４、第３バルブ７６及び第４バルブ７８がそれぞれ介装される。同様に、検査ガス回収用配管６３には、第５バルブ７９が設けられる。

載置台１２の上端面には、さらに、ケース部材１８を囲繞するようにして４本の支柱８０ａ〜８０ｄ（支持部材）が立設される。

これら支柱８０ａ〜８０ｄとしては、高さ方向寸法が種々相違するものが予め用意されており、その中から、漏洩検査を行うケース部材１８の高さ方向寸法と同一寸法のものが載置台１２に取り付けられる。すなわち、任意のケース部材１８に対して漏洩検査を行った後、このケース部材１８と高さ方向寸法が相違する別のケース部材に対して漏洩検査を行うときには、支柱８０ａ〜８０ｄが載置台１２から取り外された後、該別のケース部材の高さ方向寸法と同一寸法の支柱８０ａ〜８０ｄが載置台１２に取り付けられる。

ケース部材１８は、チャンバ１６内において、上記したように構成される載置台１２と、挟持盤８２とで挟持される。この挟持盤８２は、ケース部材１８に当接するシール用部材８４と、下端面に該シール用部材８４が取り付けられ、且つ該シール用部材８４に比して幅広な支持盤８６とを有する。

この中、シール用部材８４におけるケース部材１８に臨む下端面には、図５に示すように、ケース部材１８の天井壁に形成された比較的大径の天井壁貫通孔２５の形状に対応する形状の第２環状溝８８が形成される。この第２環状溝８８には、検査ガスが前記天井壁貫通孔２５から漏洩することを防止するための第２シール部材９０が収容される。また、この端面には、小径な天井壁貫通孔２５を閉塞するためのプラグ９２が複数個設けられる。

一方の支持盤８６の幅方向隅部には、図１に示すように、第１ファン９４（撹拌手段）がそれぞれ設けられる。これらの第１ファン９４は、チャンバ１６内、特にモニタスペース６９内のガスを撹拌するためのものである。各第１ファン９４は鉛直方向に臨んでおり、従って、第１ファン９４は、モニタスペース６９内のガスに対し、鉛直方向に沿う対流を起こさせる。すなわち、モニタスペース６９内のガスは、第１ファン９４の作用下に、該モニタスペース６９内で上昇と下降を繰り返す。

支持盤８６には、第１ファン９４と別の位置に複数個のブラケット９６が設けられる。そして、各ブラケット９６には、閉塞部材変位手段としての第２シリンダ９８を含む貫通孔閉塞ユニット１００が設けられる。ここで、参照符号１０２は、第２シリンダ９８を構成する第２ロッドを示す。

なお、貫通孔閉塞ユニット１００には、後述するように、側壁貫通孔２４の開口径や開口形状、深さ等の相違に対応して複数種が存在するが、ここでは、貫通孔閉塞ユニット１００の位置の理解を容易にするため、代表的に参照符号１００を付している。貫通孔閉塞ユニット１００の構成、及びユニット間の相違については、後に詳述する。

支持盤８６の上端面には、第３シリンダ１０４（挟持盤変位機構）を構成する第３ロッド１０６が連結される。この第３ロッド１０６が前進（下降）又は後退（上昇）することに追従し、挟持盤８２がケース部材１８に対して接近又は離間する方向に変位する。

チャンバ１６を構成する隔壁部材１４の底面には、第３シール部材１０８が貼付される。この第３シール部材１０８は、載置台１２と隔壁部材１４との間をシールする。

支持盤８６と隔壁部材１４の天井壁との間に画成される空間に存在するガスは、サンプリングガスとしてチャンバ１６外に導出される。前記モニタスペース６９は、サンプリングガスが得られる当該空間を指称しており、以下においても同様である。

また、隔壁部材１４の左側面上方及び右側面下方には、撹拌手段である第２ファン１１０がそれぞれ設けられる。各第２ファン１１０は水平方向に臨んでおり、このため、第２ファン１１０は、モニタスペース６９内のガスに対し、水平方向に沿う対流を起こさせる。換言すれば、モニタスペース６９内には、第１ファン９４の作用下に上昇と下降を繰り返す流れが生じる一方、第２ファン１１０の作用下に左方から右方又はその逆方向に移動する流れが生じる。

隔壁部材１４の左側面上方には、第１循環用孔１１２及び第２循環用孔１１４が形成され、これら第１循環用孔１１２及び第２循環用孔１１４の各々には、図１に示すように、循環用配管１１６（循環流通路）を構成する往路配管１１８及び復路配管１２０が挿入される。なお、本実施の形態では、第１循環用孔１１２からサンプリングライン１２１に至るまでを往路配管１１８とするとともに、サンプリングライン１２１から第２循環用孔１１４に至るまでを復路配管１２０とする。ここで、サンプリングライン１２１は、循環用配管１１６から分岐するようにして設けられている。

サンプリングライン１２１は、漏洩検査ガス検出手段としてのディテクタ１２２の入口接続継手に接続される。なお、往路配管１１８には吸気ポンプ１２３及び第１電磁弁１２４が介装されており、この中の第１電磁弁１２４が切り替えられることに伴い、往路配管１１８又はプローブ用配管１２６のいずれかが選択的に開放ないし閉塞される。これにより、往路配管１１８内のガス、又はプローブ用配管１２６内のガスのいずれか一方が、選択的にディテクタ１２２に導かれる。

プローブ用配管１２６の先端には、手動で走査されるプローブ１２８が接続される。また、ディテクタ１２２の出口接続継手には、サンプリングガス排出管１２９が接続される。

一方、復路配管１２０には第２電磁弁１３０が介装されている。この第２電磁弁１３０が切り替えられることに伴い、復路配管１２０又はラインクリーニング用配管１３２のいずれかが選択的に開放ないし閉塞される。これにより、復路配管１２０内のガスがモニタスペース６９、又は前記ラインクリーニング用配管１３２に接続された第２クリーンポンプ１３４のいずれかに選択的に導かれる。

また、隔壁部材１４の右側面上方には、クリーニング用孔１３６が貫通形成される。このクリーニング用孔１３６には、二方バルブ１３８が介装されたチャンバクリーニング用配管１４０が接続される。このチャンバクリーニング用配管１４０と、前記第１クリーンポンプ５８に接続された出口配管１４２は、前記第２クリーンポンプ１３４に接続される。すなわち、第２クリーンポンプ１３４には、ラインクリーニング用配管１３２、チャンバクリーニング用配管１４０及び出口配管１４２が接続されている。

隔壁部材１４の側壁と天井壁の境界には、湾曲部１４４が形成される。換言すれば、隔壁部材１４の内方の隅部は湾曲されている。

さらに、隔壁部材１４の天井壁には、挿通孔１４６が貫通形成される。前記第３ロッド１０６は、この挿通孔１４６に通されて支持盤８６の上端面に連結されている。勿論、挿通孔１４６の内壁と第３ロッド１０６の側壁との間は、シール部材（図示せず）によってシールされる。

前記天井壁の外方上端面には、第４シリンダ１４８（隔壁部材変位機構）を構成する第４ロッド１５０が連結される。隔壁部材１４は、これら第４ロッド１５０が前進（下降）又は後退（上昇）することに追従し、載置台１２に対して接近又は離間する方向に変位する。勿論、第４ロッド１５０は、互いに同期して下降又は上昇する。

以上の構成において、第３シリンダ１０４及び第４シリンダ１４８は、基台２６の前記第３支持台３２に支持される（図２参照）。また、圧力センサ７１及びディテクタ１２２は、それぞれ、信号線１５２、１５４を介して制御回路１５６に電気的に接続される。

前記貫通孔閉塞ユニット１００について詳述する。図６は、貫通孔閉塞ユニット１００の１種である貫通孔閉塞ユニット１００ａの概略側面断面図である。この図６に示すように、該貫通孔閉塞ユニット１００ａは、前記第２シリンダ９８（閉塞部材変位手段）と、この第２シリンダ９８の作用下に一体的に変位する閉塞部材１６０ａ及び保持部材１６２ａとを有する。なお、図６中の参照符号２４ａは側壁貫通孔２４の１種であり、この場合、その直径方向断面が単純な円形状をなす貫通孔である。

上記したように第２シリンダ９８は第２ロッド１０２を有し、この第２ロッド１０２が前進又は後退することにより、閉塞部材１６０ａ及び保持部材１６２ａが側壁貫通孔２４ａに対して接近又は離間する方向に変位する。

第２ロッド１０２には、その先端にネジ部１６４が形成される。一方、保持部材１６２ａの内周壁にもネジ部１６６が形成され、このネジ部１６６に前記ネジ部１６４が螺合されることにより、保持部材１６２ａが第２ロッド１０２を介して第２シリンダ９８に保持される。

閉塞部材１６０ａは、凸部からなる第１係合部１６８ａが一端部に設けられた本体１７０ａを有する。第１係合部１６８ａの周壁には、該周壁を周回するようにしてボール溝１７２が形成される。

本体１７０ａの他端部は、第１係合部１６８ａに比して大径に設定され、側壁貫通孔２４ａを閉塞する閉塞部を構成する。この閉塞部には、段部１７４を有する段付ネジ穴１７６が形成される。

段付ネジ穴１７６には、閉塞体１７８ａが挿入される。すなわち、閉塞体１７８ａは、胴部１８０ａと、該胴部１８０ａに比して大径な頭部１８２ａとを有し、胴部１８０ａの端部周壁にはネジ部が形成される。このネジ部が前記段付ネジ穴１７６のネジ部に螺合されることにより、閉塞体１７８ａが本体１７０ａに保持される。この際、閉塞体１７８ａの頭部１８２ａの端面と閉塞部の端面とが面一となる。

頭部１８２ａには、六角レンチを差し込むための差込穴１８４が形成される。この差込穴１８４に差し込んだ六角レンチを回動することにより、閉塞体１７８ａを段付ネジ穴１７６に対して螺合したり、又は螺合を解除したりすることができる。

頭部１８２ａの側周壁と、段部１７４の内周壁との間は若干離間し、このために環状クリアランスが形成される。この環状クリアランスには、Ｏリング１８６が挿入される。

閉塞部材１６０ａの位置は、側壁貫通孔２４ａの位置に対応する。従って、閉塞部材１６０ａは、第２シリンダ９８の作用下に、側壁貫通孔２４ａに接近して該側壁貫通孔２４ａを閉塞すること、及び側壁貫通孔２４ａから離脱して該側壁貫通孔２４ａを開放することが可能である。

一方、保持部材１６２ａには、閉塞部材１６０ａの第１係合部１６８ａを挿入・係合するための凹部からなる第２係合部１８８ａが形成される。また、この保持部材１６２ａの外周壁には、ロックボール１９０と、該ロックボール１９０を囲繞するスリーブ１９２とを有するロック機構が設けられる。スリーブ１９２は、コイルスプリング１９４によって閉塞部材１６０ａ側に指向して弾発付勢される。

スリーブ１９２の内周壁には、ロックボール１９０をボール溝１７２から離脱可能とするための離脱用溝１９６が周回形成される。スリーブ１９２が第２ロッド１０２側に引っ張られると、ロックボール１９０の一部が前記ボール溝１７２から離脱するとともに、別の一部が離脱用溝１９６に進入する。

保持部材１６２ａには、その直径方向に沿って、ロックボール１９０を通すためのテーパー形状の送り穴１９８が貫通形成される。第１係合部１６８ａが第２係合部１８８ａに挿入されているとき、スリーブ１９２を把持して第２ロッド１０２側に引っ張ると、ボール溝１７２、送り穴１９８及び離脱用溝１９６の位置が一致する。このため、ロックボール１９０がスリーブ１９２の拘束から解放される。その結果、上記したようにロックボール１９０のボール溝１７２に進入していた部位が該ボール溝１７２から離脱し、一方、離脱用溝１９６に臨む部位が該離脱用溝１９６に進入する。これにより、閉塞部材１６０ａが保持部材１６２ａから離脱可能となる。

なお、コイルスプリング１９４に弾発付勢されたスリーブ１９２は、保持部材１６２ａの外周壁に設けられた環状ストッパ２００によって堰止される。

上記したように、側壁貫通孔２４には、側壁貫通孔２４ａをはじめとし、開口径や開口形状、深さ等が相違する様々なものが存在する。その別の一例は、図７に示すようにテーパー形状の面取り部２０２が形成され、深さ方向寸法が比較的小さい側壁貫通孔２４ｂである。この側壁貫通孔２４ｂは、保持部材１６２ｂと閉塞部材１６０ｂを有する貫通孔閉塞ユニット１００ｂによって閉塞される。

この貫通孔閉塞ユニット１００ｂにつき説明する。なお、貫通孔閉塞ユニット１００ｂにおいて、上記貫通孔閉塞ユニット１００ａの構成要素と同一の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。

閉塞部材１６０ｂは、凸部からなり且つ周壁にボール溝１７２が形成された第１係合部１６８ｂが一端部に設けられた本体１７０ｂを有する。該本体１７０ｂの他端部先端には、係合用凹部２０４が陥没形成される。

係合用凹部２０４には、円柱形状をなす胴部１８０ｂと、テーパー状に縮径する頭部１８２ｂとで概略傘形状をなす閉塞体１７８ｂの前記胴部１８０ｂが圧入される。ここで、胴部１８０ｂには、その直径方向に沿って第１ピン挿通孔２０６が形成され、一方、本体１７０ｂには、係合用凹部２０４の内周壁から外周壁にわたり、大気に連通するように第２ピン挿通孔２０８が貫通形成される。互いに連なった第１ピン挿通孔２０６及び第２ピン挿通孔２０８には、連結ピン２１０が通される。これにより、閉塞体１７８ｂが本体１７０ｂに取り付けられる。連結ピン２１０は、Ｏリング２１２が装着されることによって抜け止めがなされる。

以上から諒解されるように、閉塞体１７８ｂは、Ｏリング２１２を取り外した後、第１ピン挿通孔２０６及び第２ピン挿通孔２０８から連結ピン２１０を抜くことによって、本体１７０ｂから容易に解放される。

閉塞体１７８ｂの頭部１８２ｂは、上記したようにテーパー状に縮径する。このテーパー角度は、面取り部２０２のテーパー角度に対応する。従って、閉塞部材１６０ｂが側壁貫通孔２４ｂに接近したとき、頭部１８２ｂは、面取り部２０２を閉塞する。

ここで、閉塞体１７８ｂは弾性材からなる。従って、頭部１８２ｂが面取り部２０２に比して多少大径であっても、頭部１８２ｂが容易に圧縮される。このため、面取り部２０２を閉塞することが容易である。

弾性材は、シール性及び耐摩耗性に優れるものであれば特に限定されるものではないが、その好適な例としては、ニトリルゴム、スチレンブタジエンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、エチレンプロピレンジエン３元共重合体（ＥＰＤＭ）ゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、ウレタンゴム、ポリテトラフルオロエチレンゴム、イソプレンゴム、天然ゴム等が挙げられる。勿論、この中の２種以上を混合したものであってもよい。

保持部材１６２ｂには、閉塞部材１６０ｂの第１係合部１６８ｂを挿入・係合するための凹部からなる第２係合部１８８ｂが形成される。また、上記と同様に、保持部材１６２ｂの外周壁には、ロックボール１９０と、該ロックボール１９０を囲繞するとともにコイルスプリング１９４によって閉塞部材１６０ｂ側に指向して弾発付勢されるスリーブ１９２とを有するロック機構が設けられる。さらに、スリーブ１９２の内周壁には、スリーブ１９２が第２ロッド１０２側に引っ張られるまでロックボール１９０を保持するための離脱用溝１９６が周回形成される。

すなわち、第１係合部１６８ｂを第２係合部１８８ｂに挿入した後、スリーブ１９２を把持して第２ロッド１０２側に引っ張ると、ロックボール１９０が第２ロッド１０２側に移動し、送り穴１９８を通過して第１係合部１６８ｂのボール溝１７２に進入する。この状態でスリーブ１９２を解放すると、該スリーブ１９２がコイルスプリング１９４によって弾発付勢されて元の位置に戻る。これにより送り穴１９８が閉塞され、ロックボール１９０が位置決め固定される。コイルスプリング１９４に弾発付勢されたスリーブ１９２は、保持部材１６２ｂの外周壁に設けられた環状ストッパ２００によって堰止される。

側壁貫通孔２４の別の一例は、図８に示すようにテーパー形状の面取り部２０２が形成され、深さ方向寸法が比較的大きい側壁貫通孔２４ｃである。この側壁貫通孔２４ｃは、保持部材１６２ｃと閉塞部材１６０ｃを有する貫通孔閉塞ユニット１００ｃによって閉塞される。

この貫通孔閉塞ユニット１００ｃにつき説明する。なお、貫通孔閉塞ユニット１００ｃにおいて、上記貫通孔閉塞ユニット１００ａ、１００ｂの構成要素と同一の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。

閉塞部材１６０ｃは、凸部からなり且つ周壁にボール溝１７２が形成された係合部材２１４（第１係合部）と、本体１７０ｃと、第１閉塞体１７８ｃと、第２閉塞体１７８ｄとを有する。

係合部材２１４は、長手方向略中腹部にフランジ部２１５を有する略円柱形状体であり、前記フランジ部２１５を境界とした右端が保持部材１６２ｃの第２係合部１８８ｃに係合される。一方、前記フランジ部２１５を境界とした左端は、本体１７０ｃに陥没形成された係合用凹部２１６に圧入される。

本体１７０ｃの右端には、大径な堰止部２１８が設けられる。本体１７０ｃに通された略円環形状の前記第１閉塞体１７８ｃは、この堰止部２１８に堰止される。

ここで、係合部材２１４の左端には、その直径方向に沿って第１ピン挿通孔２２０が形成される。また、本体１７０ｃには、係合用凹部２１６の内周壁から外周壁にわたり、大気に連通するように第２ピン挿通孔２２２が貫通形成され、さらに、第１閉塞体１７８ｃには、その内周壁から外周壁に至るまで第３ピン挿通孔２２４が貫通形成される。互いに連なった第１ピン挿通孔２２０、第２ピン挿通孔２２２及び第３ピン挿通孔２２４には、連結ピン２２６が通される。これにより、係合部材２１４及び第１閉塞体１７８ｃが本体１７０ｃに取り付けられる。連結ピン２２６は、Ｏリング２２８が装着されることによって抜け止めがなされる。

本体１７０ｃの左端部先端近傍には、その外周壁を周回するようにして環状溝２３０が形成されるとともに、該環状溝２３０にＯリング２３２が装着される。また、左端部先端面からは、円柱形状の係合用凸部２３４が突出形成される。該係合用凸部２３４には、ネジ穴２３６が形成される。

第２閉塞体１７８ｄには、係合用凸部２３４が圧入可能となるように取付凹部２３８が陥没形成される。また、第２閉塞体１７８ｄの外周壁と頂面との間には、テーパー傾斜面２３９が介在する。

第２閉塞体１７８ｄの頂面にはテーパー状陥没部が形成され、その底面には、前記ネジ穴２３６に連なる通過孔２４０が貫通形成される。通過孔２４０には図示しないネジが通され、該ネジは前記ネジ穴２３６に螺合される。これにより、第２閉塞体１７８ｄが本体１７０ｃに保持される。

すなわち、第１閉塞体１７８ｃは、Ｏリング２２８を取り外した後、第１ピン挿通孔２２０、第２ピン挿通孔２２２及び第３ピン挿通孔２２４から連結ピン２２６を抜くことにより、本体１７０ｃから容易に解放される。また、第２閉塞体１７８ｄは、前記ネジを螺回して前記ネジ穴２３６及び通過孔２４０から離脱させることにより、本体１７０ｃから容易に解放される。

ここで、第１閉塞体１７８ｃ及び第２閉塞体１７８ｄは、ともに弾性材からなる。その好適な例としては、上記閉塞体１７８ｂをなす弾性材が挙げられる。

保持部材１６２ｃには、上記したように閉塞部材１６０ｃを構成する係合部材２１４を挿入・係合するための凹部からなる第２係合部１８８ｃが形成される。また、上記と同様に、保持部材１６２ｃの外周壁には、ロックボール１９０と、コイルスプリング１９４と、スリーブ１９２とを有するロック機構が設けられる。さらに、スリーブ１９２の内周壁には、離脱用溝１９６が周回形成される。

すなわち、係合部材２１４が第２係合部１８８ｃに挿入されているとき、スリーブ１９２を把持して第２ロッド１０２側に引っ張ると、ボール溝１７２、送り穴１９８及び離脱用溝１９６の位置が一致してロックボール１９０がスリーブ１９２の拘束から解放される。その結果、上記と同様にロックボール１９０のボール溝１７２に進入していた部位が該ボール溝１７２から離脱し、一方、離脱用溝１９６に臨む部位が該離脱用溝１９６に進入する。これにより、閉塞部材１６０ｃが保持部材１６２ｃから離脱可能となる。

ガス式漏洩検査装置１０は、さらに、図９、図１０の各々に示す貫通孔閉塞ユニット１００ｄ、１００ｅを具備する。なお、図９及び図１０中の参照符号１０２は、上記と同様に第２ロッドを示す。

貫通孔閉塞ユニット１００ｄと貫通孔閉塞ユニット１００ｅでは、保持部材１６２ｄ、保持部材１６２ｅとの寸法、及び閉塞部材１６０ｄ、閉塞部材１６０ｅとの長手方向の寸法が互いに相違する。具体的には、図１１に示すように、閉塞部材１６０ｄの第１係合部１６８ｄにおいて、第２係合部１８８ｄへの挿入側前端である本体１７０ｄの左端からボール溝１７２の中央までの距離をＬ１、ボール溝１７２の中央から本体１７０ｄの挿入限界右端（第２係合部１８８ｄに挿入される部位の挿入側後端）までの距離をＬ２とすると、閉塞部材１６０ｅの第１係合部１６８ｅでは、図１２に示すように、第２係合部１８８ｅへの挿入側前端である本体１７０ｅの左端からボール溝１７２の中央までの距離はＬ１’、ボール溝１７２の中央から本体１７０ｅの挿入限界右端（第２係合部１８８ｅに挿入される部位の挿入側後端）までの距離はＬ２’に設定される。ここで、Ｌ１＞Ｌ１’、且つＬ２＞Ｌ２’である。

一方、保持部材１６２ｄでは、図１３に示すように、第２係合部１８８ｄの底壁から送り穴１９８（ロックボール１９０）の中心までの距離がＬ３、該送り穴１９８の中心から第２係合部１８８ｄの開口（第１係合部１６８ｄを挿入する挿入開口）までの距離がＬ４に設定され、保持部材１６２ｅでは、図１４に示すように、第２係合部１８８ｅの底壁から送り穴１９８の中心までの距離がＬ３’、該送り穴１９８の中心から第２係合部１８８ｅの開口（第１係合部１６８ｅを挿入する挿入開口）までの距離がＬ４’に設定される。ここで、Ｌ３＞Ｌ３’、且つＬ４＞Ｌ４’である。

なお、Ｌ１≒Ｌ３であり且つＬ２≒Ｌ４、Ｌ１’≒Ｌ３’であり且つＬ２’≒Ｌ４’である。また、Ｌ３＞Ｌ３’であるので、Ｌ１＞Ｌ３’が成り立つ。同時に、本実施の形態では、Ｌ１＞Ｌ１’であるのでＬ１’＜Ｌ３、且つＬ４＞Ｌ４’であるのでＬ２’≦Ｌ４も成立する。

上記した式（１）、（２）におけるａ、ｂ、Ａ、ＢとＬ１〜Ｌ４、Ｌ１’〜Ｌ４’との関係につき説明すると、後述するように、保持部材１６２ｅは、閉塞部材１６０ｄを保持し得ない。従って、閉塞部材１６０ｄと保持部材１６２ｅとの間ではａ＝Ｌ１、ｂ＝Ｌ２、Ａ＝Ｌ３’、Ｂ＝Ｌ４’であり、Ｌ１＞Ｌ３’、すなわち、ａ＞Ａであるから、式（１）の関係が成立している。

一方、保持部材１６２ｄは、閉塞部材１６０ｅを保持し得ない。従って、閉塞部材１６０ｅと保持部材１６２ｄとの間では、ａ＝Ｌ１’、ｂ＝Ｌ２’、Ａ＝Ｌ３、Ｂ＝Ｌ４である。そして、上記したようにＬ１’＜Ｌ３、Ｌ２’≦Ｌ４であるから、ａ＜Ａ且つｂ≦Ｂの関係を満たす。すなわち、式（２）の関係が成立している。

保持部材１６２ｄ、１６２ｅには、その外周壁から第２係合部１８８ｄ、１８８ｅに連通する供給孔２５０ｄ、２５０ｅが形成される（図９及び図１０参照）。これら供給孔２５０ｄ、２５０ｅには、管継手２５２ｄ、２５２ｅを介して供給管２５４ｄ、２５４ｅが接続される。供給管２５４ｄ、２５４ｅは、二叉に分岐し、一方の分岐管には図示しない検査ガス供給手段（ボンベ等）が接続され、残余の他方の分岐管には、図示しない排気手段（真空ポンプ等）が接続される。勿論、図示しない三方弁を操作することにより、検査ガス供給手段から供給孔２５０ｄ、２５０ｅに向かって検査ガスを供給するライン、又は、排気手段の作用下に供給孔２５０ｄ、２５０ｅから排気を行うラインのいずれかに切り替えることができる。

また、閉塞部材１６０ｄ、１６０ｅを構成する本体１７０ｄ、１７０ｅには連通孔２５６ｄ、２５６ｅが形成され、閉塞体１７８ｅ、１７８ｆには排出孔２５８ｄ、２５８ｅが形成される。前記供給孔２５０ｄ、２５０ｅは、連通孔２５６ｄ、２５６ｅを介して排出孔２５８ｄ、２５８ｅに連通する。さらに、本体１７０ｄ、１７０ｅに形成された環状溝２５９ｄ、２５９ｅには、Ｏリング２６１ｄ、２６１ｅがそれぞれ装着される。

閉塞体１７８ｅ、１７８ｆは、上記閉塞体１７８ａと同様に、ネジ部が段付ネジ穴１７６のネジ部に螺合されることによって本体１７０ｄ、１７０ｅに保持される。また、その頂面には、六角レンチを差し込むための差込穴１８４が形成される。この差込穴１８４に差し込んだ六角レンチを回動することにより、閉塞体１７８ｅ、１７８ｆを段付ネジ穴１７６に対して螺合したり、又は螺合を解除したりすることができる。

閉塞体１７８ｅ、１７８ｆには、その外周壁を囲繞するようにしてカバーナット２６０が外嵌される。カバーナット２６０の端面は、閉塞体１７８ｅ、１７８ｆの頭部の先端面に比して突出している。このため、閉塞体１７８ｅ、１７８ｆの頭部の先端面とカバーナット２６０の内周壁とで断面略円形状の進入用凹部２６２が形成される。

進入用凹部２６２には、側壁貫通孔が形成された図示しない円筒形状部が進入する。すなわち、閉塞体１７８ｅ、１７８ｆは、円筒形状部を覆ってその側壁貫通孔を閉塞する。要するに、カバーナット２６０は、側壁貫通孔を閉塞するための部材である。

貫通孔閉塞ユニット１００ｄ、１００ｅのその他の構成要素は、上記貫通孔閉塞ユニット１００ａ、１００ｂ、１００ｃのその他の構成要素と同一である。従って、同一の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。

本実施の形態に係るガス式漏洩検査装置１０及び貫通孔閉塞ユニット１００ａ〜１００ｅは、基本的には以上のように構成されるものであり、次に、その作用効果につき、校正方法及び漏洩検査方法との関係で説明する。

はじめに、検査ガスと同一種のガスで予め校正されたリークマスタ６８を取り付ける。すなわち、リークマスタ６８は、例えば、０．５ｃｃ／分で検査ガスを導出するように設定された場合、略正確に０．５ｃｃ／分で検査ガスを導出することが可能である。

また、ディテクタ１２２に対しても校正を行う。このために、例えば、基準ガス導入用配管６６から分岐してディテクタ１２２に接続される配管（図示せず）を設け、ディテクタ１２２に基準ガスを導入するようにしてもよい。

そして、第１シリンダ３４を付勢し、第１ロッド３６を前進させる。これに追従し、連結ブラケット３８を介して第１ロッド３６に連結された載置台１２が、案内レール４０ａ、４０ｂに案内されながら第２支持台３０から引き出されて突出する。勿論、この際には、案内レール４０ａ、４０ｂ上をスライダ４２が摺動する。

次に、載置台１２に対し、中子５６を載置する。中子５６は特に位置決め固定する必要はないが、位置決め固定するようにしてもよいことは勿論である。

その後、漏洩が起こらないことが予め確認されたケース部材１８を載置台１２に載置する。この載置に伴い、載置台１２上に予め載置された中子５６がケース部材１８の中空室２０に収容される。

載置台１２が第２支持台３０の前方に引き出されているため、ケース部材１８が隔壁部材１４や基台２６等に干渉することが回避されるので、ケース部材１８を載置台１２に容易に載置することができる。特に、ケース部材１８をロボットによって載置台１２に載置するときには、ロボットのアームも隔壁部材１４や基台２６等に干渉することが回避される。このため、ロボットに対するティーチングが容易となる。

ケース部材１８が載置台１２に載置される際、ケース部材１８に形成された開口２２近傍の底壁に第１シール部材４６（図３参照）が当接するとともに、ケース部材１８の底壁貫通孔にプラグ４８が進入する。底壁貫通孔は、最終的に、プラグ４８によって閉塞される。このことと、ケース部材１８の側壁がストッパ５０によって堰止されることとが相俟って、ケース部材１８が載置台１２に位置決め固定される。

次に、第１シリンダ３４（図２参照）を再付勢し、第１ロッド３６を後退させる。その結果、載置台１２が案内レール４０ａ、４０ｂに案内されながら第２支持台３０に戻り、基台２６に収納される。これにより、ケース部材１８が隔壁部材１４に対向する位置となる。

次に、第３シリンダ１０４を付勢し、第３ロッド１０６を下降させる。これに伴って下降した挟持盤８２のシール用部材８４は、ケース部材１８の天井壁、及び４本の支柱８０ａ〜８０ｄの上端面に着座する。支柱８０ａ〜８０ｄの高さ方向寸法がケース部材１８の高さ方向寸法と同一であるため、シール用部材８４は、ケース部材１８の天井壁と、４本の支柱８０ａ〜８０ｄの上端面とに対して同時に当接する。

この当接により、挟持盤８２を構成する支持部材が支柱８０ａ〜８０ｄから支持される。このため、挟持盤８２に作用する反力が分散されるので、該挟持盤８２が反ることが回避される。その結果、ケース部材１８の天井壁とシール用部材８４との間に間隙が形成されることが回避され、両部材間のシールが保たれる。

シール用部材８４がケース部材１８に着座すると、ケース部材１８に形成された大径な天井壁貫通孔２５近傍の天井壁に第２シール部材９０（図４参照）が当接するとともに、ケース部材１８の小径な天井壁貫通孔２５にプラグ９２が進入する。すなわち、小径な天井壁貫通孔２５がプラグ９２によって閉塞される。

次に、支持盤８６に支持された第２シリンダ９８を付勢し、第２ロッド１０２をケース部材１８に指向して前進動作させる。これにより、貫通孔閉塞ユニット１００ａ〜１００ｅを構成する閉塞部材１６０ａ〜１６０ｅがケース部材１８の側壁貫通孔２４ａ〜２４ｅを閉塞する。

以下、貫通孔閉塞ユニット１００ａ〜１００ｅの各々につき個々説明する。

図６に示す貫通孔閉塞ユニット１００ａでは、保持部材１６２ａと閉塞部材１６０ａが一体的に変位して側壁貫通孔２４ａに接近する。最終的に、図６中に仮想線で示すように、閉塞部材１６０ａを構成する閉塞体１７８ａが側壁貫通孔２４ａの開口に覆い被さる。これにより、側壁貫通孔２４ａが閉塞される。なお、Ｏリング１８６は、側壁貫通孔２４ａと大気が連通することを防止するシールとなる。

また、図７に示す貫通孔閉塞ユニット１００ｂでは、保持部材１６２ｂと閉塞部材１６０ｂが一体的に変位し、その結果、図７中に仮想線で示すように、閉塞部材１６０ｂを構成する閉塞体１７８ｂの先端部が側壁貫通孔２４ｂに進入する。

側壁貫通孔２４ｂの開口近傍には、面取り部２０２が形成されている。この面取り部２０２には、閉塞部材１６０ｂのテーパー形状をなす頭部１８２ｂが着座する。この着座に伴い、側壁貫通孔２４ｂが閉塞される。

さらに、図８に示す貫通孔閉塞ユニット１００ｃでは、保持部材１６２ｃと閉塞部材１６０ｃが一体的に変位し、その結果、図８中に仮想線で示すように、閉塞部材１６０ｃを構成する第２閉塞体１７８ｄの先端部が側壁貫通孔２４ｃに進入する。この際、Ｏリング２３２により、側壁貫通孔２４ｃと大気が連通することが防止される。その一方で、面取り部２０２の近傍には、第１閉塞体１７８ｃの先端面が覆い被さる。以上により、側壁貫通孔２４ｃが閉塞される。

そして、図９、図１０のそれぞれに示す貫通孔閉塞ユニット１００ｄ、１００ｅにおいては、保持部材１６２ｄ、１６２ｅと閉塞体１７８ｅ、１７８ｆが一体的に変位する。その結果、各々の頭部の先端面とカバーナット２６０の内周壁とで形成される進入用凹部２６２に、側壁貫通孔が形成された円筒形状部が進入する。これにより、閉塞体１７８ｅ、１７８ｆが円筒形状部を覆ってその側壁貫通孔を閉塞する。

以上のように、本実施の形態では、側壁貫通孔２４の形状に対応し、閉塞部材１６０ａ〜１６０ｅの中で適切な形状であるものが選定されている。このため、全ての側壁貫通孔２４が確実に閉塞される。

以上によりケース部材１８の開口２２・貫通孔の全てがシールされ、中空室２０が大気に対して遮断されて気密状態となる。

次に、第４シリンダ１４８を同期して付勢し、第４ロッド１５０を同時に下降させる。これに追従して隔壁部材１４が下降し、最終的に、その底壁が載置台１２の上端面に着座する。これにより、チャンバ１６が形成される。隔壁部材１４の底壁と載置台１２の上端面の間は、第３シール部材１０８によってシールされる。

次に、ガス式漏洩検査装置１０の零点補正（校正）を行う。具体的には、第１ファン９４及び第２ファン１１０を付勢し、モニタスペース６９内のガスに、左方から右方又はその逆方向に移動する流れと、上方から下方又はその逆方向に移動する流れとを生じさせる。この状態で、第３バルブ７６を開状態とするとともに、前記基準ガス供給手段（ボンベ等）から基準ガスを供給する。基準ガスは、その後、基準ガス導入用配管６６を通過し、リークマスタ６８からチャンバ１６内に導出され、さらに、該チャンバ１６内を上昇してモニタスペース６９に到達する。

リークマスタ６８からチャンバ１６、ひいてはモニタスペース６９への基準ガスの導出流量は、予め設定された所定流量で一定である。なお、基準ガスのチャンバ１６内への導出量ないし導出流量は、好ましくは、後述する漏洩検査時における検査ガスの中空室２０内への導出量ないし導出流量と同一値に設定される。

そして、基準ガスは、モニタスペース６９内に存在していたガス、すなわち、大気と混ざる。

基準ガスがヘリウムである場合、ヘリウムが空気に比して軽量であるためにモニタスペース６９内の天井壁近傍に滞留し易い。特に、モニタスペース６９の隅部が角張っているときには、ヘリウム等の軽量なガスは、隅部に容易に滞留して局在化する。このため、基準ガスを、往路配管１１８及びサンプリングライン１２１を経由してディテクタ１２２に到達させることが容易ではない。従って、モニタスペース６９内の基準ガスの正確な量を評価することも容易ではない。

しかしながら、本実施の形態では、第１ファン９４及び第２ファン１１０の作用下にチャンバ１６内のガスを撹拌するようにしている。しかも、隔壁部材１４の隅部には湾曲部１４４が形成されているので、ガスが湾曲部１４４に沿って容易に流動する。以上のような理由から、基準ガスとしてヘリウムのような軽量なガスを用いた場合であっても、該基準ガスがモニタスペース６９内で局在化することが防止される。

リークマスタ６８から基準ガスを導出している間、支持盤８６と隔壁部材１４の天井壁との間に画成されるモニタスペース６９中のガスが、吸気ポンプ１２３の作用下に吸気され、往路配管１１８及びサンプリングライン１２１を経てディテクタ１２２に送られる。すなわち、モニタスペース６９に存在するガスは、ディテクタ１２２によって検査を行うために抽出されるサンプリングガスである。

本実施の形態では、上記したような理由から、基準ガスがモニタスペース６９内で局在化することが防止されている。従って、サンプリングガスには、基準ガスが略一定量で含まれる。

往路配管１１８に導かれたサンプリングガスの一部は、該往路配管１１８及びサンプリングライン１２１を経てディテクタ１２２に送られる。しかも、サンプリングガスの残部を、復路配管１２０を介してモニタスペース６９に戻すようにしているので、校正を行う間、安定した量の基準ガスを含むサンプリングガスがディテクタ１２２に導入される。このため、ガス式漏洩検査装置１０を、モニタスペース６９内への基準ガスの導入量に対応して高精度に校正することが可能となる。

ディテクタ１２２は、リークマスタ６８から導出された基準ガスを検知する。ここで、基準ガスがヘリウムである場合には、ディテクタ１２２は、モニタスペース６９内のガス（すなわち、大気）に含まれるヘリウムの量と、基準ガスとしてのヘリウムの量との総和としての値を示すとともに、この値を、信号線１５２を介して制御回路１５６に情報として送信する。制御回路１５６は、このときの検出量を「基準値」として認識する。なお、大気中には、一般的に５ｐｐｍ程度のヘリウムが含まれている。

以上説明したように、ガス式漏洩検査装置１０の校正を行う際には、漏洩検査を行う際と同様に、載置台１２に対してケース部材１８及び中子５６をセットするとともに、挟持盤８２によってケース部材１８を押圧することが好ましい。これにより、校正時の条件と漏洩検査時の条件とが同一となるからである。

また、ケース部材１８として漏洩が起こらないものを使用することは勿論である。ケース部材１８から漏洩が起こる場合、ケース部材１８から漏洩したガスがモニタスペース６９内のガスに混入することになるので、正確な校正を行うことができなくなる。これを回避するためである。

このようにして校正を行った後、漏洩検査を実施するべく下準備を行う。

すなわち、モニタスペース６９をはじめとし、チャンバ１６内には基準ガスが導入されている。この状態のままで隔壁部材１４及び挟持盤８２を上昇させると、載置台１２の近傍に基準ガスが残留する懸念がある。この場合、漏洩検査においてディテクタ１２２に示される値が基準値を超えたとき、中空室２０からチャンバ１６に漏洩してモニタスペース６９に到達した検査ガスに起因するのか、又は、残留した基準ガスに起因するのかを判断することが困難である。そこで、モニタスペース６９に存在するガスを排気する。なお、具体的な排気方法は、後述する漏洩検査時と同一であるため、ここでは割愛する。

排気が終了した後、隔壁部材１４及び挟持盤８２を上昇させる。さらに、第１シリンダ３４を付勢して第１ロッド３６を前進させ、これにより載置台１２を第２支持台３０の前方に引き出した後、ケース部材１８を、漏洩検査を実施するものに交換する。

以降は上記と同様にして、第１シリンダ３４を再付勢することで第１ロッド３６を後退させた後、第３シリンダ１０４を付勢して第３ロッド１０６を下降させる。さらに、第２シリンダ９８を付勢して第２ロッド１０２を前進させる。その結果、既に詳述した通り、ケース部材１８の全ての開口２２・貫通孔がシールされ、中空室２０が大気に対して遮断されて気密状態となる。これと同時に、第４シリンダ１４８の第４ロッド１５０を下降させ、隔壁部材１４の底壁を載置台１２の上端面に着座させてチャンバ１６を形成する。

以上の下準備を行った後、漏洩検査を実施する。

はじめに、第１ファン９４及び第２ファン１１０を付勢し、モニタスペース６９内のガスに、左方から右方又はその逆方向に移動する流れと、上方から下方又はその逆方向に移動する流れとを生じさせる。

次に、第１クリーンポンプ５８及び第２クリーンポンプ１３４を付勢し、第１バルブ７２を開状態とする。これにより、ケース部材１８の中空室２０からガスが排気される。中空室２０には中子５６が収容されているので、排気すべきガスの量が比較的少ない。このため、中空室２０を排気するまでに要する時間が短くなる。

中空室２０からの排気をさらに短時間で行いたい場合や、ケース部材１８に内壁が設けられているために中空室２０が複数個の分室に分割され、第１クリーンポンプ５８及び第２クリーンポンプ１３４では排気が困難な場合には、貫通孔閉塞ユニット１００ｄ、１００ｅ（図９、図１０参照）を介して排気を行うようにしてもよい。このためには、図示しない前記排気手段を付勢するとともに、貫通孔から、閉塞体１７８ｅ、１７８ｆの排出孔２５８ｄ、２５８ｅ、本体１７０ｄ、１７０ｅの連通孔２５６ｄ、２５６ｅ、及び保持部材１６２ｄ、１６２ｅの供給孔２５０ｄ、２５０ｅ、管継手２５２ｄ、２５２ｅ、供給管２５４ｄ、２５４ｅ、前記排気手段が接続された前記分岐管を含む排気ラインを構築すればよい。

このようにして排気が行われる際、前記圧力センサ７１によって中空室２０（及び分室）の内圧が測定される。その測定結果は、信号線１５４を介して制御回路１５６に送られる。

内圧の実降下速度は、合格品であるケース部材１８を用いての測定結果に基づいて制御回路１５６に予め設定された設定降下速度と対比される。なお、所定時間の経過によって略一定となった内圧（実最終内圧）と、合格品であるケース部材１８を用いての測定結果に基づいて制御回路１５６に予め設定された設定最終内圧とを対比するようにしてもよい。

実降下速度が設定降下速度未満であるときには、ケース部材１８に漏洩箇所があるか、又は、ケース部材１８と載置台１２ないし挟持盤８２との間のシールが不十分であることが一因である可能性がある。そこで、この場合、隔壁部材１４を上昇させてケース部材１８を露呈させ、さらに、該ケース部材１８を載置台１２から一旦取り外す。

次に、第１シール部材４６や第２シール部材９０、第３シール部材１０８、プラグ４８、９２、閉塞部材１６０ａ等に、傷が存在するか否かや、位置ズレをおこしていないか否か、いわゆるめくれがあるか否か等を調査する。このようなシール機能を低下させる原因がある場合には、これらを交換したり、正規位置に正規姿勢で装着し直したりすればよい。

シール機能を低下させる原因がないと判断された場合、ケース部材１８の漏洩箇所を特定し、補修が可能なものは補修ステーションで補修を行う。その後、上記した各工程が再度実施される。

なお、ケース部材１８を載置台１２から取り外すことなく、後述するように検査ガスを中空室２０に導入するとともに、プローブ１２８によって漏洩箇所を特定するようにしてもよい。

一方、実降下速度が設定降下速度以上であるとき、又は実最終内圧が設定最終内圧以下であるときには、ケース部材１８に漏洩箇所がある可能性が低く、ケース部材１８と載置台１２ないし挟持盤８２との間のシールが十分である、と判断することができる。この場合のケース部材１８は予備合格品であると判定され、次工程以降が実施される。

すなわち、次に、第１バルブ７２を閉止した後に第２バルブ７４を開放し、検査ガス供給手段（ボンベ等）から検査ガス導入用配管６２を介して中空室２０に検査ガスを供給する。

中空室２０への検査ガスの供給をさらに短時間で行いたい場合や、中空室２０が複数個の分室に分割されている場合には、貫通孔閉塞ユニット１００ｄ、１００ｅ（図９、図１０参照）を介して供給を行うようにしてもよい。このためには、前記検査ガス供給手段から、該検査ガス供給手段が接続された前記分岐管、供給管２５４ｄ、２５４ｅ、管継手２５２ｄ、２５２ｅ、保持部材１６２ｄ、１６２ｅの供給孔２５０ｄ、２５０ｅ、本体１７０ｄ、１７０ｅの連通孔２５６ｄ、２５６ｅ、及び閉塞体１７８ｅ、１７８ｆの排出孔２５８ｄ、２５８ｅを含む供給ラインを構築すればよい。

検査ガスは、予め設定された所定の圧力となるまで、一定流量で中空室２０に導入される。中空室２０には中子５６が収容されているので、導入すべき検査ガスの量が比較的少なくなる。このため、中空室２０が検査ガスで満たされるまでに要する時間が短くなる。

このように、中空室２０に中子５６を収容することにより、該中空室２０内のガスを排気するまでに要する時間、及び該中空室２０内を検査ガスで満たすまでに要する時間を短くすることが可能となる。従って、漏洩検査開始から終了までのタクトタイムを短縮することができる。中空室２０が複数個の分室に区分されているときには、各分室内に中子５６を配置すればよい。

中空室２０が検査ガスで満たされた後も、モニタスペース６９内のガスは、上記と同様に第１ファン９４及び第２ファン１１０の作用下に撹拌され、隔壁部材１４の隅部の湾曲部１４４に沿って容易に流動する。最終的に、モニタスペース６９に存在するガスが、サンプリングガスとして往路配管１１８に導出され、その一部が、サンプリングライン１２１を経てディテクタ１２２に導かれる。ディテクタ１２２に導かれなかった残部は、上記と同様に、復路配管１２０を通過してモニタスペース６９に戻る。すなわち、本実施の形態では、モニタスペース６９のガス（大気）を排気することなく、ケース部材１８に漏洩箇所が存在するか否かの検査を行う。

ディテクタ１２２は、サンプリングガス中に含まれる検査ガスの量を求めた後、信号線１５２を介して、その値を情報として制御回路１５６に送る。制御回路１５６は、この情報と、前記基準値とを対比する。

ケース部材１８に漏洩箇所が存在しないときには、中空室２０の検査ガスがチャンバ１６に漏洩することはない。モニタスペース６９内のガス（すなわち、大気）に自然に含まれる基準ガス（例えば、ヘリウム）と同一種のガスがディテクタ１２２によって検出されはするものの、基準値は、モニタスペース６９内のガスに自然に存在する基準ガスと同一種のガスの量と、リークマスタ６８から意図的に供給された基準ガス（例えば、ヘリウム）の量との総和としての値であるので、中空室２０の検査ガスがチャンバ１６に漏洩しないときには、ディテクタ１２２によって測定された値が前記基準値を大きく超えることはない。

この場合、制御回路１５６は、ケース部材１８を「合格品である」と判定する。合格品であると判定されたケース部材１８は、ガス式漏洩検査装置１０から取り出されて次工程を営むステーションに送られる。

ここで、モニタスペース６９には、校正のための基準ガスが導入されており、且つケース部材１８の中空室２０（及び分室）には、上記の漏洩検査を行うための検査ガスが導入されている。この状態のままで隔壁部材１４及び挟持盤８２を上昇させると、載置台１２の近傍に、校正作業時の基準ガス、及び漏洩検査時の検査ガスが残留する懸念がある。この場合、次回の漏洩検査においてディテクタ１２２に示される値が基準値を超えたとき、中空室２０からモニタスペース６９に漏洩した検査ガスに起因するのか、又は、残留した基準ガスないし検査ガスに起因するのかを判断することが困難である。

このような不都合が惹起されることを回避するべく、中空室２０内及びモニタスペース６９内に存在するガスを排気する。すなわち、第２バルブ７４及び／又は第３バルブ７６を閉止し、第１バルブ７２、第４バルブ７８及び／又は二方バルブ１３８を開放する。これにより、中空室２０内及び基準ガス導入用配管６６内の検査ガス、基準ガスが第１排気用配管６０、第２排気用配管７０を介して第１クリーンポンプ５８に吸引され、さらに、第２クリーンポンプ１３４の作用下に出口配管１４２を経て排気される。また、モニタスペース６９内のガスが、第２クリーンポンプ１３４の作用下に、チャンバクリーニング用配管１４０を経て排気される。

中空室２０からの排気をさらに短時間で行いたい場合や、中空室２０が複数個の分室に分割されているために第１クリーンポンプ５８及び第２クリーンポンプ１３４では排気が困難な場合には、上記と同様に貫通孔閉塞ユニット１００ｄ、１００ｅ（図９、図１０参照）を介する排気を行うようにしてもよい。

この排気に先んじて、第２電磁弁１３０が切り替えられる。その結果、復路配管１２０が閉塞されるとともにラインクリーニング用配管１３２が開放される。これにより、循環用配管１１６のガスがラインクリーニング用配管１３２を介して第２クリーンポンプ１３４に吸引される。すなわち、循環用配管１１６のガスが排気され、クリーニングが行われる。

中空室２０内に存在する検査ガスは、回収用ポンプ１５８の作用下に検査ガス回収用配管６３を介して回収し、さらに、クリーニング処理を施して純度を高めた後、検査ガス供給手段に戻すようにしてもよい。この際には、第５バルブ７９を開放すればよい。

その後、第２シリンダ９８を付勢して第２ロッド１０２を後退させ、閉塞部材１６０ａをケース部材１８の側壁貫通孔２４から離脱させる。

次に、第４シリンダ１４８及び第３シリンダ１０４を付勢して第４ロッド１５０、第３ロッド１０６を上昇させることで、隔壁部材１４及び挟持盤８２を上昇させる。必要に応じ、この上昇に先んじてモニタスペース６９内、中空室２０内に空気を供給するようにしてもよい。このためには、空気を導入するための空気導入管をモニタスペース６９内、中空室２０内にそれぞれ配設するとともに、空気供給源から前記空気導入管に空気を供給するようにすればよい。

隔壁部材１４及び挟持盤８２を上昇させることにより、挟持から解放されたケース部材１８が露呈する。次に、第１シリンダ３４を付勢して第１ロッド３６を前進させ、これにより載置台１２を第２支持台３０の前方に引き出す。その後、ケース部材１８が作業者ないしロボットによって載置台１２から取り外され、別のステーションに搬送される。これにより一連の漏洩検査が終了する。

その後、次にガス式漏洩検査装置１０に搬送されてきたケース部材１８に対し、上記と同様にして漏洩検査が実施される。このときには、前回の漏洩検査のときに用いられた検査ガスが除去されているので、前回の漏洩検査時の検査ガスに起因して検出精度が低下することが回避される。

以上のようにして漏洩検査を繰り返すことに伴い、例えば、閉塞体１７８ａ、１７８ｂ、第１閉塞体１７８ｃ、第２閉塞体１７８ｄ、閉塞体１７８ｅ、１７８ｆに摩耗や傷が発生し、このために十分なシール性能を得ることが困難となることがある。この場合には、樹脂又はゴムからなる部材、すなわち、Ｏリング１８６（図６参照）、閉塞体１７８ｂ（図７参照）、第２閉塞体１７８ｄ及びＯリング２３２（ともに図８参照）、Ｏリング２６１ｄ（図９参照）、Ｏリング２６１ｅ（図１０参照）を新たなものに交換すればよい。

例えば、Ｏリング１８６（図６参照）等は、古いものを取り外して新品に交換すればよい。また、Ｏリング２６１ｄ、２６１ｅ（図９又は図１０参照）を新品に交換する場合には、差込穴１８４に六角レンチを差し込んで回動し、螺合を解除してネジ穴又は段付ネジ穴１７６から閉塞体１７８ｅ、１７８ｆを取り外す。次に、Ｏリング２６１ｄ、２６１ｅを取り外して新品と交換した後、閉塞体１７８ｅ、１７８ｆをネジ穴又は段付ネジ穴１７６に挿入し、差込穴１８４に六角レンチを差し込んで回動して螺合を行えばよい。

閉塞体１７８ｂ（図７参照）を新たなものに交換する場合、Ｏリング２１２を取り外した後、第１ピン挿通孔２０６及び第２ピン挿通孔２０８から連結ピン２１０を抜けばよい。これにより、閉塞体１７８ｂが本体１７０ｂから解放される。閉塞体１７８ｂを本体１７０ｂの係合用凹部２０４から引き抜いた後、新たな閉塞体１７８ｂの胴部１８０ｂを係合用凹部２０４に圧入し、第１ピン挿通孔２０６及び第２ピン挿通孔２０８に連結ピン２１０を挿通してＯリング２１２を装着すれば、閉塞体１７８ｂの交換が終了する。状況によっては、Ｏリング２１２も新品に交換するようにしてもよい。

第２閉塞体１７８ｄ（図８参照）を新たなものに交換する場合には、通過孔２４０に連なるネジ穴２３６からネジを離脱させればよい。これにより、第２閉塞体１７８ｄが本体１７０ｃから解放されるので、新たな第２閉塞体１７８ｄを本体１７０ｃの端部に取り付け、さらに、通過孔２４０を介してネジ穴２３６に通したネジを螺回すればよい。状況によっては、Ｏリング２３２も新品に交換するようにしてもよい。

必要に応じ、第１閉塞体１７８ｃも閉塞体１７８ｂと同様にして交換することができる。すなわち、この場合、Ｏリング２２８を取り外した後、第１ピン挿通孔２２０、第２ピン挿通孔２２２及び第３ピン挿通孔２２４から連結ピン２２６を抜けばよい。これにより、第１閉塞体１７８ｃが本体１７０ｃから解放される。第１閉塞体１７８ｃを本体１７０ｃから引き抜いた後、新たな第１閉塞体１７８ｃの圧入孔に本体１７０ｃを通し、第１ピン挿通孔２２０、第２ピン挿通孔２２２及び第３ピン挿通孔２２４に連結ピン２２６を挿通してＯリング２２８を装着することにより、第１閉塞体１７８ｃの交換が終了する。

以上においては、Ｏリング１８６、２６１ｄ、２６１ｅ、閉塞体１７８ｂ、第２閉塞体１７８ｄのみを交換するようにしているので、閉塞部材１６０ａ、１６０ｂ、１６０ｃ、１６０ｄ、１６０ｅごと交換する場合に比して交換すべき部品点数が低減する。このため、コストが低廉化するという利点がある。

一方、閉塞部材１６０ａ〜１６０ｅ全体を交換する場合、コイルスプリング１９４の弾発付勢力に抗してスリーブ１９２を押し下げ、ロックボール１９０をボール溝１７２から離脱させるという簡素な作業によって、閉塞部材１６０ａ〜１６０ｅを保持部材１６２ａ〜１６２ｅから迅速に取り外すことが可能である。すなわち、交換が短時間で終了するという利点が得られる。

ここで、閉塞部材１６０ａ、１６０ｂ、１６０ｃを構成する本体１７０ａ、１７０ｂ、１７０ｃは、ボール溝１７２が形成された部位の径が互いに相違する。特に、本体１７０ａの当該部位の径は、保持部材１６２ｂ、１６２ｃの第２係合部１８８ｂ、１８８ｃの開口直径に比して大きい。従って、閉塞部材１６０ａの第１係合部１６８ａを、保持部材１６２ｂ、１６２ｃの第２係合部１８８ｂ、１８８ｃに挿入することはできない。

また、本体１７０ｂの当該部位の径は、保持部材１６２ａの第２係合部１８８ａの開口直径に比して著しく小さく設定されている。このため、ロックボール１９０とボール溝１７２との間にクリアランスが形成される。従って、保持部材１６２ａの第２係合部１８８ａは、閉塞部材１６０ｂの第１係合部１６８ｂを保持することができない。

その一方で、本体１７０ｂの当該部位の径は、保持部材１６２ｃの第２係合部１８８ｃの開口直径に比して大きい。従って、閉塞部材１６０ｂの第１係合部１６８ｂを、保持部材１６２ｃの第２係合部１８８ｃに挿入することはできない。

さらに、本体１７０ｃの当該部位の径は、保持部材１６２ａ、１６２ｂの第２係合部１８８ａ、１８８ｂの開口直径に比して著しく小さく、このため、ロックボール１９０とボール溝１７２との間にクリアランスが形成される。従って、保持部材１６２ａ、１６２ｂの第２係合部１８８ａ、１８８ｂは、閉塞部材１６０ｃの第１係合部１６８ｂを保持することができない。

以上から諒解されるように、閉塞部材１６０ａ、１６０ｂ、１６０ｃは、保持部材１６２ａ、１６２ｂ、１６２ｃのそれぞれにのみ取り付けることが可能である。換言すれば、閉塞部材１６０ａを誤って保持部材１６２ｂ、１６２ｃに取り付けることが回避される。同様に、閉塞部材１６０ｂを誤って保持部材１６２ａ、１６２ｃに取り付けることや、閉塞部材１６０ｃを誤って保持部材１６２ａ、１６２ｂに取り付けることも回避される。

貫通孔閉塞ユニット１００ｄ、１００ｅでは、保持部材１６２ｄ、１６２ｅの第２係合部１８８ｄ、１８８ｅの開口径や、本体１７０ｄ、１７０ｅの直径が互いに等しい。ただし、上記したように、本体１７０ｄ、１７０ｅでは、第１係合部１６８ｄ、１６８ｅの端部からボール溝１７２までの距離が相違する（図１１、図１２参照）。また、保持部材１６２ｄ、１６２ｅでは、第２係合部１８８ｄ、１８８ｅの底壁からロックボール１９０までの距離、該ロックボール１９０から第２係合部１８８ｄ、１８８ｅの開口までの距離が互いに相違する（図１３、図１４参照）。すなわち、Ｌ１＞Ｌ１’、Ｌ２＞Ｌ２’、Ｌ３＞Ｌ３’、Ｌ４＞Ｌ４’、Ｌ１≒Ｌ３、Ｌ２≒Ｌ４、Ｌ１’≒Ｌ３’、Ｌ２’≒Ｌ４’であることから、Ｌ１＞Ｌ３’、Ｌ１’＜Ｌ３且つＬ２’≦Ｌ４が成立している。

従って、本体１７０ｄの第１係合部１６８ｄを保持部材１６２ｅの第２係合部１８８ｅに挿入すると、Ｌ１＞Ｌ３’であるため、図１５に示す状態となる。すなわち、第１係合部１６８ｄの一部が第２係合部１８８ｅに挿入されることなく露呈する。すなわち、第１係合部１６８ｄの挿入途中で本体１７０ｄが停止する。その上、ロックボール１９０とボール溝１７２の位置が合致しないので、ロックボール１９０がボール溝１７２に進入することはなく、必然的に、ボール溝１７２に進入した状態のロックボール１９０をスリーブ１９２が覆うこともない。

従って、閉塞部材１６０ｄが保持部材１６２ｅに保持されることはない。このため、閉塞部材１６０ｄを誤って保持部材１６２ｅに取り付けることが回避される。

一方、本体１７０ｅの第１係合部１６８ｅを保持部材１６２ｄの第２係合部１８８ｄに挿入すると、Ｌ１’＜Ｌ３且つＬ２’≦Ｌ４であるため、図１６に示す状態となる。すなわち、この場合、第１係合部１６８ｅの全体が第２係合部１８８ｄに挿入されはするが、ロックボール１９０とボール溝１７２の位置が合致しない。従って、ロックボール１９０がボール溝１７２に進入することはなく、このため、ボール溝１７２に進入した状態のロックボール１９０をスリーブ１９２が覆うこともない。

従って、閉塞部材１６０ｅが保持部材１６２ｄに保持されることはない。その結果、閉塞部材１６０ｅを誤って保持部材１６２ｄに取り付けることが回避される。

以上のように、各保持部材１６２ａ〜１６２ｅには、閉塞部材１６０ａ〜１６０ｅ中の正規のもの（特定の閉塞部材）のみ選択的に取り付けることが可能であり、誤った組み合わせの閉塞部材を取り付けることはできない。従って、いわゆる誤組が防止されるので、閉塞部材１６０ａ〜１６０ｅの中から正規のものを短時間で取り付けることができる。

従って、側壁貫通孔２４ａ、２４ｂ、２４ｃをはじめとする各側壁貫通孔２４が、交換後の閉塞部材１６０ａ〜１６０ｅ等によって閉塞される。すなわち、各側壁貫通孔２４がシールされるので、誤った閉塞部材を取り付けたことに起因して検査ガスが漏洩し、このために漏洩検査の精度が低下することを回避することができる。

なお、ケース部材１８に漏洩箇所が存在するときには、中空室２０に導入された検査ガスが漏洩箇所を通過してチャンバ１６に漏洩する。検査ガスがヘリウム等の空気に比して軽量なガスである場合、漏洩した検査ガス（以下、単に漏洩ガスともいう）は、モニタスペース６９まで上昇して該モニタスペース６９内のガス（大気）と混ざり合う。

本実施の形態では、第１ファン９４及び第２ファン１１０の作用下にモニタスペース６９内のガスを撹拌するようにしている。しかも、隔壁部材１４の隅部に湾曲部１４４が形成されているので、漏洩ガスが湾曲部１４４に沿って容易に流動する。以上のような理由から、検査ガスとしてヘリウムのような軽量なガスを用いた場合であっても、該検査ガスがモニタスペース６９内で局在化することが防止される。すなわち、この場合、大気に漏洩ガスが加わったものがサンプリングガスとして往路配管１１８に導かれる。

以降も上記と同様に、サンプリングガスの一部が往路配管１１８及びサンプリングライン１２１を経由した後にディテクタ１２２に至るとともに、残部が復路配管１２０を通過してモニタスペース６９に戻る。

この過程で、ディテクタ１２２が、校正によって求められた前記基準値を超える値を示す。ディテクタ１２２に導かれたサンプリングガスには漏洩ガスが含まれており、このため、ディテクタ１２２には、漏洩ガスの総和として検出量を示すからである。検査ガスと同一種のガス（例えば、ヘリウム）が大気に含まれている場合は、ディテクタ１２２が、この大気中の検査ガス成分も併せた検出量を示すことは勿論である。

ディテクタ１２２は、前記の値を、信号線１５２を介して情報として制御回路１５６に送信する。この情報を受けた制御回路１５６は、ケース部材１８は「不合格品である」と判定する。

ここで、漏洩ガスのモニタスペース６９内での拡散が一様でないときには、サンプリング箇所によって、ガス中の漏洩ガスの濃度（量）が相違することになる。従って、漏洩ガスの正確な量、ひいては漏洩箇所の規模を正確に評価し得なくなる懸念がある。

また、モニタスペース６９内のガスを排気しながら中空室２０から漏洩が起こるか否かを検査する場合、中空室２０からチャンバ１６に漏洩してモニタスペース６９に到達したガスが比較的短時間で排気されてしまう。従って、漏洩ガスの量が僅かであるときには、漏洩ガスの全量が排気される懸念がある。一部が排気されるとともに残部がディテクタ１２２に到達し得たと仮定しても、漏洩ガスが如何なる程度排気されたのかが不明であるため、漏洩ガスの量を正確に評価することが困難である。

従って、検査ガスの導入を開始してからある程度の時間を置き、漏洩ガスが十分な量となったときに漏洩検査を行う必要があるが、このために漏洩検査に長時間を要する。

さらに、チャンバ１６内を大気圧とする場合であっても、例えば、排気ラインに流通するガスをサンプリングガスとすると、漏洩ガスの量が僅かであるときにはサンプリングガス中の漏洩ガスの濃度が小さいため、ディテクタ１２２に表示される漏洩ガス量が若干大きくなったとしても、漏洩ガスによって値が大きくなったのか、測定誤差の範囲内で大きくなったのかを判断することが困難である。

加えて、チャンバ１６ないしモニタスペース６９からサンプリングガスを採取して測定を行った後、該サンプリングガスをそのまま排気してしまう場合には、ケース部材１８の中空室２０からの漏洩よりも、サンプリングガスの排気量が多いために漏洩を検知できない懸念もある。

これに対し、本実施の形態では、モニタスペース６９内にガスの流れを生じさせ、漏洩ガスの滞留が起こることを回避するようにしている。このため、漏洩ガスが極めて僅かである場合であっても、漏洩ガスは、モニタスペース６９内に局在化することなく略均等に拡散する。従って、往路配管１１８を設ける箇所、換言すれば、サンプリング箇所を如何なる部位に設定しようとも、漏洩ガスの濃度が略同等であるため、漏洩量を高精度に評価することが可能となる。

また、モニタスペース６９内のガスを取り出して一部をディテクタ１２２に送気する一方で、ディテクタ１２２に送気されなかった残部をモニタスペース６９に戻す（すなわち、ガスを循環させる）ようにしているので、モニタスペース６９内の漏洩ガスが順次蓄積され、高濃度となってディテクタ１２２に送気される。このため、漏洩量、ひいては漏洩の規模をリアルタイムに、しかも、高精度に評価することができる。

すなわち、本実施の形態によれば、漏洩の程度に関わらず、計測を行う間は連続して漏洩の有無を確認することが可能であり、一定時間待機する必要がない。さらに、ケース部材１８の中空室２０の容量が大きいながら漏洩量が微小である場合であっても、その漏洩を容易に検知することができる。

なお、検査ガスの中空室２０内への導出量ないし導出流量を、基準ガスのチャンバ１６内への導出量ないし導出流量に合致させておくと、中空室２０からの検査ガスの漏洩量を一層高精度に評価することができる。

さらに、チャンバ１６内のガスを排気しながら漏洩検査を行う場合には、ポンプ等の排気手段が故障する頻度が大きい。故障した場合、排気手段の修繕が終了するまで漏洩検査を行うことができないので時間の損失となるが、本実施の形態では、そのような不都合が惹起されることもない。

本実施の形態では、基準ガスを用いたときのディテクタ１２２の表示値を基準値として校正しているので、基準値は、大気中に自然に存在する基準ガスと同一種のガス（例えば、ヘリウム）を含んだものとして設定されている。従って、このガスと同一種のガスを基準ガス及び検査ガスとして用いる場合であっても、ディテクタ１２２は、漏洩ガスの量に基づいた値を表示する。すなわち、大気中に存在する基準ガスと同一種のガスによって漏洩ガスの検出精度が低下することが回避される。

以上のようにして漏洩ガスがディテクタ１２２によって検出され、制御回路１５６によって漏洩箇所が存在すると判断されたケース部材１８に対しては、次に、漏洩箇所が何処に存在するのかの調査がなされる。この調査を行うべく、チャンバ１６内のガスを第２クリーンポンプ１３４の作用下に排気した後、第４ロッド１５０を上昇させて隔壁部材１４を上昇させる。これにより、載置台１２と挟持盤８２で挟持され、且つ検査ガスが中空室２０に導入された状態のケース部材１８が露呈する。なお、隔壁部材１４の上昇に先んじてチャンバ１６内に空気を供給するようにしてもよい。

次に、第１電磁弁１２４が切り替えられる。これに伴い、往路配管１１８が閉塞される一方、プローブ用配管１２６が開放される。従って、ディテクタ１２２には、プローブ１２８に吸引されたガスが導かれる。

作業者は、プローブ１２８を把持してその先端をケース部材１８に近接させ、さらに、ケース部材１８に沿ってプローブ１２８を走査する。漏洩箇所でない部位では漏洩ガスが漏洩していないため、プローブ１２８に漏洩ガスが吸引されることはない。従って、ディテクタ１２２の表示値が漏洩ガスに基づいて上昇することもない。

一方、漏洩箇所では、プローブ１２８によって漏洩ガスが吸引される。漏洩箇所近傍では漏洩ガスの濃度が高いため、ディテクタ１２２の表示値が比較的短時間で上昇する。これにより、漏洩箇所が何処に存在するかをおおよそ判断することができる。

隔壁部材１４に第２シリンダ９８を設けた場合、第２ロッド１０２を後退させて閉塞部材１６０ａをケース部材１８の側壁貫通孔２４（２４ａ〜２４ｅ）から離脱させた後でなければ、隔壁部材１４を上昇させることができない。従って、この場合、隔壁部材１４を上昇させると、ケース部材１８は、中空室２０が大気に連通した状態で露呈する。すなわち、中空室２０の検査ガスが側壁貫通孔２４から導出されるので、上記したようにして漏洩箇所が何処であるかを判断することができない。

これに対し、本実施の形態では、第２シリンダ９８を挟持盤８２に設けるようにしているので、隔壁部材１４が第２シリンダ９８に干渉することがない。このため、第２ロッド１０２を後退させることなく、換言すれば、ケース部材１８の側壁貫通孔２４に閉塞部材１６０ａ〜１６０ｅを挿入したままの状態で、第４ロッド１５０及び隔壁部材１４を上昇させることができる。すなわち、中空室２０内に検査ガスが封入された状態のケース部材１８を露呈することができるので、プローブ１２８によって漏洩箇所のおおよその位置を判断することができる。

おおよその漏洩箇所を特定した後は、第１クリーンポンプ５８の作用下に、中空室２０内に存在する検査ガスを排気する。検査ガスは、出口配管１４２を経た後、第２クリーンポンプ１３４の作用下に排気される。

この際、漏洩箇所（鋳造欠陥等）の規模が小さいときには、排気速度が比較的大きく、真空到達度も比較的大きい。このように漏洩の規模が著しく小さく、実用上の差し支えがないときには、ケース部材１８は「合格品である」と判定される。

その後、第２シリンダ９８を付勢して第２ロッド１０２を後退させ、これにより、閉塞部材１６０ａ〜１６０ｅをケース部材１８の側壁貫通孔２４から離脱させる。さらに、第３シリンダ１０４を付勢して第３ロッド１０６を上昇させ、挟持盤８２を上昇させる。その結果、ケース部材１８が挟持から解放される。必要に応じ、側壁貫通孔２４からの閉塞部材１６０ａ〜１６０ｅの離脱・挟持盤８２の上昇に先んじて、中空室２０内に空気を供給するようにしてもよい。

次に、第１シリンダ３４を付勢して第１ロッド３６を前進させ、これにより載置台１２を第２支持台３０の前方に引き出す。その後、ケース部材１８が作業者ないしロボットによって載置台１２から取り外され、次工程を実施すべきステーションに搬送される。

一方、漏洩箇所の規模が大きいときには、排気速度が小さい。また、真空到達度も小さい。漏洩箇所から中空室２０に大気が吸引されるからである。

この場合、漏洩箇所からは無視できない程度の漏洩が起こる。このようなケース部材１８は「不合格品である」と判定される。

形状や高さ方向寸法が相違するケース部材１８に対して上記した漏洩試験を行う場合には、載置台１２、支柱８０ａ〜８０ｄ、ストッパ５０及びシール用部材８４を、該ケース部材１８に対応する形状ないし寸法のものに交換すればよい。このことから諒解されるように、本実施の形態に係るガス式漏洩検査装置１０は、多種多様なケース部材１８に対応し得る汎用性を有する。

本発明は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。

例えば、この実施の形態では、保持部材１６２ａ〜１６２ｅに凹部を形成して第１係合部１６８ａ〜１６８ｅとするとともに、閉塞部材１６０ａに凸部を設けて第２係合部１８８ａ〜１８８ｅとするようにしているが、これとは逆に、保持部材１６２ａ〜１６２ｅに凸部を設けて第１係合部とするとともに、閉塞部材１６０ａ〜１６０ｅに凹部を形成して第２係合部とするようにしてもよい。

また、閉塞部材１６０ａ〜１６０ｅは、ケース部材１８の側壁貫通孔２４を閉塞するものとして例示しているが、それ以外の貫通孔を閉塞するものであってもよい。また、ケース部材１８以外の物体（ワーク）の貫通孔を閉塞するものであってもよい。

さらにまた、第１係合部（又は第２係合部）は、断面が円形状であるものに限定されるものではなく、例えば、四角形等の多角形形状であってもよい。この場合、閉塞部材が保持部材に対して回転することを防止することができるという利点がある。

そして、貫通孔閉塞ユニット１００ａ〜１００ｅの他にさらに１種以上の貫通孔閉塞ユニットを設けるようにしてもよい。

１０…ガス式漏洩検査装置 １２…載置台
１４…隔壁部材 １６…チャンバ
１８…ケース部材 ２０…中空室
２２…開口 ２４、２４ａ〜２４ｅ…側壁貫通孔
２５…天井壁貫通孔 ２６…基台
３４…第１シリンダ ３６…第１ロッド
４４…第１環状溝 ４６…第１シール部材
４８、９２…プラグ ５０…ストッパ
５６…中子 ５８…第１クリーンポンプ
６０…第１排気用配管 ６２…検査ガス導入用配管
６３…検査ガス回収用配管 ６６…基準ガス導入用配管
６８…リークマスタ ６９…モニタスペース
７０…第２排気用配管 ７１…圧力センサ
８０ａ〜８０ｄ…支柱 ８２…挟持盤
８８…第２環状溝 ９０…第２シール部材
９４…第１ファン ９８…第２シリンダ
１００、１００ａ〜１００ｅ…貫通孔閉塞ユニット
１０２…第２ロッド １０４…第３シリンダ
１０６…第３ロッド １０８…第３シール部材
１１０…第２ファン １１６…循環用配管
１１８…往路配管 １２０…復路配管
１２１…サンプリングライン １２２…ディテクタ
１２４…第１電磁弁 １２６…プローブ用配管
１２８…プローブ １３０…第２電磁弁
１３２…ラインクリーニング用配管 １３４…第２クリーンポンプ
１３６…クリーニング用孔 １３８…二方バルブ
１４０…チャンバクリーニング用配管 １４２…出口配管
１４４…湾曲部 １４８…第４シリンダ
１５０…第４ロッド １５２、１５４…信号線
１５６…制御回路 １６０ａ〜１６０ｅ…閉塞部材
１６２ａ〜１６２ｅ…保持部材
１６８ａ、１６８ｂ、１６８ｄ、１６８ｅ…第１係合部
１７０ａ〜１７０ｅ…本体 １７２…ボール溝
１７８ａ〜１７８ｆ…閉塞体 １８８ａ〜１８８ｅ…第２係合部
１９０…ロックボール １９２…スリーブ
１９４…コイルスプリング ２０２…面取り部
２０４、２１６…係合用凹部
２０６、２０８、２２０、２２２、２２４…ピン挿通孔
２１０、２２６…連結ピン ２１４…係合部材
２５０ｄ、２５０ｅ…供給孔 ２５６ｄ、２５６ｅ…連通孔
２５８ｄ、２５８ｅ…排出孔 ２６０…カバーナット
２６２…進入用凹部

Claims (10)

1. 凹部又は凸部からなる第１係合部と、内室を形成したワークの前記内室が大気と連通するように形成された貫通孔を閉塞する閉塞部とを有する閉塞部材と、
   凸部又は凹部からなる第２係合部が設けられ、前記第２係合部が前記第１係合部と互いに係合することで前記閉塞部材を保持する保持部材と、
   前記閉塞部材又は前記保持部材のいずれか一方に設けられ、前記第１係合部と前記第２係合部との係合状態を維持するロック機構と、
   を備え、
   前記貫通孔として開口径又は開口形状が互いに相違するものが２個以上形成されることに対応して前記閉塞部材及び前記保持部材を２個以上有し、
   開口径又は開口形状が相違する貫通孔を閉塞する前記閉塞部材同士は、前記第１係合部及び前記閉塞部の寸法、又は形状の少なくともいずれかが相違し、
   且つ寸法又は形状が所定のものに規定された前記第２係合部を有する前記保持部材は、前記閉塞部材中、寸法及び形状が所定のものに規定された前記第１係合部を有するものを選択的に保持することが可能であることを特徴とする貫通孔閉塞ユニット。
2. 請求項１記載のユニットにおいて、前記第１係合部は円柱体形状又は円筒体形状をなし、且つ前記第２係合部は、前記第１係合部が円柱体形状であるときには該第１係合部を挿入する円筒体形状をなす一方、前記第１係合部が円筒体形状であるときには前記第１係合部に挿入される円柱体形状をなし、
   前記閉塞部材中の少なくとも２個は、前記第１係合部の直径方向又は長さ方向寸法の少なくともいずれかが相違し、
   前記保持部材中の少なくとも２個は、前記第２係合部の直径方向又は長さ方向寸法の少なくともいずれかが相違することを特徴とする貫通孔閉塞ユニット。
3. 請求項１又は２記載のユニットにおいて、前記ロック機構は、ロックボールと、前記ロックボールを囲繞するスリーブとを備え、
   前記第１係合部又は前記第２係合部の側壁に、前記ロックボールが着座するボール溝が形成され、
   任意の閉塞部材の前記第１係合部、又は任意の保持部材の前記第２係合部のうちの凸部であるものの挿入側前端から前記ボール溝までの距離をａ、前記ボール溝から挿入側後端までの距離をｂとし、
   前記任意の閉塞部材を保持し得えない保持部材の前記第２係合部、又は前記任意の保持部材に保持され得ない閉塞部材の前記第１係合部のうちの凹部であるものの底壁から前記ロックボールまでの距離をＡ、前記ロックボールから前記凸部の挿入開口までの距離をＢとするとき、
   ａ＞Ａ
   の関係式、又は、
   ａ＜Ａ 及び ｂ≦Ｂ
   の関係式のいずれかが成立することを特徴とする貫通孔閉塞ユニット。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載のユニットにおいて、前記閉塞部材及び前記保持部材に、前記内室中のガスを排出すること、及び前記内室にガスを供給することが可能な通路が形成されていることを特徴とする貫通孔閉塞ユニット。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載のユニットにおいて、前記閉塞部材は、前記第１係合部を具備する本体と、前記閉塞部に着脱可能に取り付けられて前記貫通孔を閉塞する閉塞体とを有することを特徴とする貫通孔閉塞ユニット。
6. 請求項５記載のユニットにおいて、前記閉塞体が弾性材からなることを特徴とする貫通孔閉塞ユニット。
7. 請求項１〜６のいずれか１項に記載のユニットにおいて、前記閉塞部材、及び該閉塞部材を保持した前記保持部材を、前記貫通孔に対して接近又は離間する方向に一体的に変位させる閉塞部材変位機構をさらに有することを特徴とする貫通孔閉塞ユニット。
8. 基台と、
   前記基台に設けられてワークを位置決め固定する載置台と、
   前記載置台とともに前記ワークを挟持する挟持盤と、
   前記基台に支持されて前記挟持盤を前記ワークに対して接近又は離間する方向に変位させるための挟持盤変位機構と、
   前記載置台に対して接近又は離間し、且つ前記載置台に当接した際に前記ワークを囲繞するチャンバを形成する隔壁部材と、
   前記基台に支持されて前記隔壁部材を前記載置台に対して接近又は離間する方向に変位させるための隔壁部材変位機構と、
   前記載置台と前記挟持盤に挟持されて内室を形成した前記ワークの側面に前記内室が大気と連通するように形成された貫通孔を閉塞する貫通孔閉塞ユニットと、
   前記内室から排気を行う排気手段と、
   前記内室に検査ガスを供給するための検査ガス供給手段と、
   前記チャンバ内で前記ワークに当接した前記挟持盤と、前記載置台に当接して前記チャンバを形成した前記隔壁部材との間に画成されるモニタスペースから排出されたサンプリングガスを前記モニタスペースに戻すための循環流通路と、
   前記サンプリングガスが前記循環流通路を経由して送気される検査ガス検出手段と、
   を備え、
   前記貫通孔閉塞ユニットは、凹部又は凸部からなる第１係合部と閉塞部とを有する閉塞部材と、
   凸部又は凹部からなる第２係合部が設けられ、前記第２係合部が前記第１係合部と互いに係合することで前記閉塞部材を保持する保持部材と、
   前記閉塞部材又は前記保持部材のいずれか一方に設けられ、前記第１係合部と前記第２係合部との係合状態を維持するロック機構と、
   を備え、
   前記貫通孔として開口径又は開口形状が互いに相違するものが２個以上形成されることに対応して前記閉塞部材及び前記保持部材を２個以上有し、
   開口径又は開口形状が相違する貫通孔を閉塞する前記閉塞部材同士は、前記第１係合部及び前記閉塞部の寸法、又は形状の少なくともいずれかが相違し、
   且つ寸法又は形状が所定のものに規定された前記第２係合部を有する前記保持部材は、前記閉塞部材中、寸法及び形状が所定のものに規定された前記第１係合部を有するものを選択的に保持することが可能であることを特徴とするガス式漏洩検査装置。
9. 請求項８記載の検査装置において、前記閉塞部材及び前記保持部材に、前記内室中のガスを排出すること、及び前記内室に検査ガスを供給することが可能な通路が形成されていることを特徴とするガス式漏洩検査装置。
10. 請求項８又は９記載の検査装置において、前記閉塞部材、及び該閉塞部材を保持した前記保持部材を、前記貫通孔に対して接近又は離間する方向に一体的に変位させる閉塞部材変位機構をさらに有することを特徴とするガス式漏洩検査装置。

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