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JP2013541360A - Installation and sealing of a battery on a thin glass wafer to power the intraocular implant - Google Patents

Installation and sealing of a battery on a thin glass wafer to power the intraocular implant Download PDF

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JP2013541360A
JP2013541360A JP2013528249A JP2013528249A JP2013541360A JP 2013541360 A JP2013541360 A JP 2013541360A JP 2013528249 A JP2013528249 A JP 2013528249A JP 2013528249 A JP2013528249 A JP 2013528249A JP 2013541360 A JP2013541360 A JP 2013541360A
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JP
Japan
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wafer
battery
housing
electrical contact
contact portion
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Withdrawn
Application number
JP2013528249A
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Japanese (ja)
Inventor
ジャン−ノエル フェール、
アラン ザウレール、
アンドレアス シュラッピ、
Original Assignee
エレンザ, インコーポレイテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by エレンザ, インコーポレイテッド filed Critical エレンザ, インコーポレイテッド
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Abstract

多くの現代的な移植可能眼科デバイスは、有害な物質を眼及び/又は周囲組織に漏入させ得る電気的活性セルのような電子コンポーネントを含む。ここに開示される移植可能眼科デバイスでは、移植可能眼科デバイスのコンポーネントの機械的接続を促すべく、電子コンポーネントが密封シールされる。さらに、当該デバイスは、電気コンタクト部分を含む表面を有する少なくとも一つのバッテリと、当該少なくとも一つのバッテリのためのハウジングと、当該ハウジングに接合される第1ウェハであって当該ハウジング及び当該第1ウェハが当該バッテリまわりに密封シール表面を形成する第1ウェハと、当該バッテリの電気コンタクト部分に電気的に接続される電子回路とを含む。Many modern implantable ophthalmic devices include electronic components such as electrically active cells that can cause harmful substances to leak into the eye and / or surrounding tissue. In the implantable ophthalmic device disclosed herein, the electronic components are hermetically sealed to facilitate mechanical connection of the components of the implantable ophthalmic device. The device further includes at least one battery having a surface including an electrical contact portion, a housing for the at least one battery, and a first wafer bonded to the housing, the housing and the first wafer. Includes a first wafer that forms a hermetic seal surface around the battery and an electronic circuit that is electrically connected to an electrical contact portion of the battery.

Description

本発明は一般に、視力矯正を補助する移植可能眼科デバイスに関する。   The present invention relates generally to implantable ophthalmic devices that assist in vision correction.

関連出願の相互参照
本願は、名称「Installation and Sealing of a Battery on a Thin Glass Wafer to Supply Power to an Intraocular Implant」の、ここに参照としてその全体が組み入れられる2010年9月7日に出願された米国仮出願第61/380,342号の利益を主張する。
CROSS REFERENCE TO RELATED APPLICATIONS This application was filed on September 7, 2010, the name “Installation and Sealing of a Battery on a Thin Glass Wafer to Supply Power to an Intraocular Implant”, which is hereby incorporated by reference in its entirety. Claims the benefit of US Provisional Application No. 61 / 380,342.

老眼のような様々な視力障害を矯正する標準的なツールは、読書用眼鏡、多焦点眼科レンズ、及び単眼視野を与えるのに適したコンタクトレンズを含む。いくつかの視力矯正法は、一形態のレンズを眼自体の中に移植することを含む。例えば、偽水晶体眼とは、眼の水晶体を眼内レンズ(IOL)に交換することである。これは通常、白内障手術中に水晶体の外科的除去に引き続いて行われる。偽水晶体の個人において、水晶体の不在は、近距離又は中間距離物体いずれかに焦点を合わせることができないこととなる完全な遠近調節欠如を引き起こす。   Standard tools for correcting various visual impairments such as presbyopia include reading glasses, multifocal ophthalmic lenses, and contact lenses suitable for providing a monocular field of view. Some vision correction methods involve implanting a form of lens into the eye itself. For example, a pseudophakic eye is the replacement of the eye lens with an intraocular lens (IOL). This is usually done following surgical removal of the lens during cataract surgery. In a pseudo-lens individual, the absence of the lens causes a complete lack of accommodation that results in the inability to focus on either near or medium range objects.

従来のIOLsは単焦点球面レンズである。これは、遠い物体(例えば2メートル離れた物体)に対して焦点が合った網膜イメージを与える。一般に、球面IOLの焦点距離(又は屈折力)は、窩における小角度(例えば約7度)に対応する遠い物体を見ることに基づいて選択される。残念ながら、単焦点IOLsは、固定焦点距離を有するので、眼の自然な遠近調節反応を模倣又は代用することができない。損傷を受け又は除去された水晶体の遠近調節の代替として可変屈折力を与えるべく、液晶セルのような電気的活性要素を有する眼科デバイスを使用することができる。例えば、電気的活性要素は、動的可変屈折力を与えるシャッターとして使用することができる。これは、ここにその全体が参照として組み入れられる特許文献1に開示されている。電気的活性要素等の電子コンポーネントを有するIOLsは、電気的活性要素に使用される液晶材料のような潜在的な異物が、眼及び周囲組織に漏入することを防止するべく十分にシールする必要がある。   Conventional IOLs are single focus spherical lenses. This gives a retina image that is in focus for a distant object (eg, an object 2 meters away). In general, the focal length (or refractive power) of the spherical IOL is selected based on viewing a distant object corresponding to a small angle (eg, about 7 degrees) in the fovea. Unfortunately, single focus IOLs have a fixed focal length and therefore cannot mimic or substitute for the natural accommodation response of the eye. An ophthalmic device having an electroactive element, such as a liquid crystal cell, can be used to provide a variable refractive power as an alternative to the accommodation of a damaged or removed lens. For example, the electroactive element can be used as a shutter that provides a dynamically variable refractive power. This is disclosed in U.S. Pat. No. 6,057,028, which is hereby incorporated by reference in its entirety. IOLs with electronic components such as electroactive elements must be sufficiently sealed to prevent potential foreign objects such as liquid crystal materials used in electroactive elements from leaking into the eye and surrounding tissues. There is.

さらに、電気コンポーネントを包含するIOLのキャビティは、眼球領域からの体液が当該電気コンポーネントの機能に干渉し得ないようにするべく適切にシールされる必要がある。加えて、IOLの電気コンポーネントをシールするシステム及び方法は、長時間にわたる耐久性を有する必要がある。今日、電気的活性要素等の電子コンポーネントを有するIOLsは、当該コンポーネントをエポキシ、ポリウレタン、又は他の適切なタイプの硬化性化合物のシェルにポッティング又はカプセル化することによって作られている。しかしながら、ポッティング化合物は、IOLsにおける電気的接続を目的として使用される生体親和性金属に対し、十分に接着するとは限らない。また、ポッティング化合物は、20年以上になり得るIOLの耐用年数にわたって劣化し得る。   Further, the cavity of the IOL that contains the electrical component needs to be properly sealed so that bodily fluids from the eyeball region cannot interfere with the function of the electrical component. In addition, systems and methods for sealing IOL electrical components need to be durable over time. Today, IOLs having electronic components such as electroactive elements are made by potting or encapsulating the components in a shell of epoxy, polyurethane, or other suitable type of curable compound. However, potting compounds do not always adhere well to biocompatible metals used for electrical connection in IOLs. Potting compounds can also degrade over the useful life of an IOL, which can be 20 years or longer.

米国特許第7,926,940(B2)号明細書US Pat. No. 7,926,940 (B2) specification 米国特許出願公開第2009/0204207(A1)号明細書US Patent Application Publication No. 2009/0204207 (A1) Specification 米国特許第7,524,577(B2)号明細書US Pat. No. 7,524,577 (B2) specification 米国特許出願公開第2009/0255324(A1)号明細書US Patent Application Publication No. 2009/0255324 (A1) Specification 米国特許出願公開第2007/0139001(A1)号明細書US Patent Application Publication No. 2007/0139001 (A1) Specification 米国特許出願公開第2004/0220643(A1)号明細書US Patent Application Publication No. 2004/0220643 (A1)

一実施例によれば、生体親和性シールを与えて流体が入り及びバッテリ流体が出ることを防止するように移植可能眼科デバイスのコンポーネントを電気的かつ機械的に接続するシステムが開示される。本システムは、電気コンタクト部分を含む表面を有する少なくとも一つのバッテリと、当該少なくとも一つのバッテリのためのハウジングと、当該ハウジングに接合される第1ウェハであって当該ハウジング及び当該第1ウェハが当該バッテリまわりにシール表面を形成する第1ウェハと、当該バッテリの電気コンタクト部分に電気的に接続される電子回路とを含む。   According to one embodiment, a system is disclosed for electrically and mechanically connecting components of an implantable ophthalmic device to provide a biocompatible seal to prevent fluid from entering and battery fluid from exiting. The system includes at least one battery having a surface including an electrical contact portion, a housing for the at least one battery, and a first wafer bonded to the housing, wherein the housing and the first wafer are the A first wafer forming a sealing surface around the battery and an electronic circuit electrically connected to the electrical contact portion of the battery.

他実施例によれば、生体親和性シールを与えて流体が入り及びバッテリ流体が出ることを防止するように移植可能眼科デバイスのコンポーネントを電気的かつ機械的に接続するシステムが開示される。本システムは、電気コンタクト部分を含む表面を有する少なくとも一つのバッテリと、当該少なくとも一つのバッテリが挿入される第1キャビティを有する第1ウェハと、レーザ溶融プロセスを使用して当該第1ウェハに接合される第2ウェハであって当該第1ウェハ及び当該第2ウェハが当該バッテリまわりにシールキャビティを形成する第2ウェハとを含む。本システムはまた、当該バッテリの電気コンタクト部分に直接接続される電気回路であって第3ウェハにあるギャップに挿入される電気回路と、当該第1ウェハの第2キャビティ内に挿入される誘導コイルであって当該第3ウェハの表面上に配置される誘導コイルとを含む。   According to another embodiment, a system for electrically and mechanically connecting components of an implantable ophthalmic device to provide a biocompatible seal to prevent fluid entry and battery fluid exit. The system includes bonding at least one battery having a surface including an electrical contact portion, a first wafer having a first cavity into which the at least one battery is inserted, and the first wafer using a laser melting process. And a second wafer in which the first wafer and the second wafer form a sealing cavity around the battery. The system also includes an electrical circuit that is directly connected to the electrical contact portion of the battery and that is inserted into a gap in the third wafer, and an induction coil that is inserted into the second cavity of the first wafer. And an induction coil disposed on the surface of the third wafer.

さらなる他実施例によれば、移植可能眼科デバイスであって当該デバイスのキャビティへの流体侵入を防止するデバイスを製造する方法が開示される。本方法は、電気コンタクト部分を含む表面を有する少なくとも一つのバッテリをハウジングの中に配置するステップと、当該ハウジングを第1ウェハに接合するステップであって当該ハウジング及び当該第1ウェハは当該バッテリまわりに密封シールキャビティを形成するステップと、当該第1ウェハを所定位置に配置するステップであって集積回路が当該バッテリの電気コンタクト部分に電気的に接続されるステップとを含む。   According to yet another embodiment, a method of manufacturing an implantable ophthalmic device that prevents fluid entry into the cavity of the device is disclosed. The method includes disposing at least one battery having a surface including an electrical contact portion in a housing and bonding the housing to a first wafer, the housing and the first wafer surrounding the battery. Forming a hermetic seal cavity, and placing the first wafer in place, wherein the integrated circuit is electrically connected to an electrical contact portion of the battery.

本明細書に組み入れられ及びこれの一部をなす添付図面は、本発明の実施例を例示し、当該記載とともに本発明の原理を説明する役割を果たす。   The accompanying drawings, which are incorporated in and constitute a part of this specification, illustrate embodiments of the invention and, together with the description, serve to explain the principles of the invention.

一実施例に係る移植可能眼科デバイスに使用される密封シールされた電子機器アセンブリの分解図である。2 is an exploded view of a hermetically sealed electronics assembly used in an implantable ophthalmic device according to one embodiment. FIG. 一の移植可能眼科デバイスの側方から見た図である。一実施例に係る電源及び集積回路を相互接続するフィードスルーラインが描かれている。FIG. 3 is a side view of one implantable ophthalmic device. A feedthrough line interconnecting a power source and an integrated circuit according to one embodiment is depicted. 当該移植可能眼科デバイスの上方から見た図である。一実施例に係る電源の位置が描かれている。It is the figure seen from the upper direction of the said implantable ophthalmic device. The location of the power source according to one embodiment is depicted. 一実施例に係る移植可能眼科デバイスにおいて使用される電源の一つの側方から見た図である。FIG. 3 is a side view of one of the power sources used in the implantable ophthalmic device according to one embodiment. 一実施例に係るバッテリ、中間層、及び第1ウェハの側方から見た図、並びに当該中間層の上方から見た図である。It is the figure seen from the side of the battery which concerns on one Example, an intermediate | middle layer, and a 1st wafer, and the figure seen from the upper direction of the said intermediate | middle layer. 他実施例に係るバッテリ、中間層、及び第1ウェハの側方から見た図、並びに当該中間層の上方から見た図である。It is the figure seen from the side of the battery which concerns on another Example, an intermediate | middle layer, and a 1st wafer, and the figure seen from the upper direction of the said intermediate | middle layer. 他実施例に係るバッテリ、中間層、及び第1ウェハの側方から見た図、並びに当該中間層の上方から見た図である。It is the figure seen from the side of the battery which concerns on another Example, an intermediate | middle layer, and a 1st wafer, and the figure seen from the upper direction of the said intermediate | middle layer. 他実施例に係るバッテリ、中間層、及び第1ウェハの側方から見た図、並びに当該中間層の上方から見た図である。It is the figure seen from the side of the battery which concerns on another Example, an intermediate | middle layer, and a 1st wafer, and the figure seen from the upper direction of the said intermediate | middle layer. 他実施例に係るバッテリ、中間層、及び第1ウェハの側方から見た図、並びに当該中間層の上方から見た図である。It is the figure seen from the side of the battery which concerns on another Example, an intermediate | middle layer, and a 1st wafer, and the figure seen from the upper direction of the said intermediate | middle layer. 他実施例に係るバッテリ及び第1ウェハの側方から見た図である。It is the figure which looked from the side which concerns on the battery which concerns on another Example, and a 1st wafer. 他実施例に係るバッテリ及び第1ウェハの側方から見た図である。It is the figure which looked from the side which concerns on the battery which concerns on another Example, and a 1st wafer. 他実施例に係るバッテリ及び第1ウェハの側方から見た図である。It is the figure which looked from the side which concerns on the battery which concerns on another Example, and a 1st wafer. 他実施例に係るバッテリ及び第1ウェハの側方から見た図である。It is the figure which looked from the side which concerns on the battery which concerns on another Example, and a 1st wafer. 他実施例に係るバッテリ及び第1ウェハの側方から見た図である。It is the figure which looked from the side which concerns on the battery which concerns on another Example, and a 1st wafer. 他実施例に係るバッテリ及び第1ウェハの側方から見た図である。It is the figure which looked from the side which concerns on the battery which concerns on another Example, and a 1st wafer. 他実施例に係るバッテリ及び第1ウェハの側方から見た図である。It is the figure which looked from the side which concerns on the battery which concerns on another Example, and a 1st wafer. 他実施例に係るバッテリ及び第1ウェハの側方から見た図である。It is the figure which looked from the side which concerns on the battery which concerns on another Example, and a 1st wafer. 他実施例に係るバッテリ及び第1ウェハの側方から見た図である。It is the figure which looked from the side which concerns on the battery which concerns on another Example, and a 1st wafer. 他実施例に係るバッテリ及び第1ウェハの側方から見た図である。It is the figure which looked from the side which concerns on the battery which concerns on another Example, and a 1st wafer. 一実施例に係るバッテリ、当該第1バッテリに電気的に結合される集積回路、及び第1ウェハの側方から見た図である。It is the figure which looked at the battery which concerns on one Example, the integrated circuit electrically couple | bonded with the said 1st battery, and the 1st wafer from the side. 他実施例に係るバッテリ、当該第1バッテリに電気的に結合される集積回路、及び第1ウェハの側方から見た図である。It is the figure which looked at the battery which concerns on another Example, the integrated circuit electrically couple | bonded with the said 1st battery, and the side of the 1st wafer. 他実施例に係るバッテリ、当該第1バッテリに電気的に結合される集積回路、及び第1ウェハの側方から見た図である。It is the figure which looked at the battery which concerns on another Example, the integrated circuit electrically couple | bonded with the said 1st battery, and the side of the 1st wafer. 一実施例に係るバッテリ及び第1ウェハの側方から見た図である。It is the figure which looked at the battery which concerns on one Example, and the 1st wafer from the side.

患者の視力に影響を与える偽水晶体眼、無水晶体症等の症状を永久的又は半永久的に矯正する役割を果たすべく、典型的には、眼内レンズのような移植可能眼科デバイスが眼に移植される。例示的な移植可能眼科デバイスは、眼の前房若しくは後房に又は眼の任意の解剖学的構造内に挿入又は移植され得る。これらは眼自体に挿入又は移植されるので、液晶材料又はバッテリに使用される電解質のような異物を、眼又は周囲組織の中に漏れ又は浸出させてはならない。さもなくば、これらは眼及び/又は眼の周囲組織に障害をもたらし得る。   An implantable ophthalmic device, such as an intraocular lens, is typically implanted in the eye to serve as a permanent or semi-permanent correction of symptoms such as pseudophakic eyes, aphatia, etc. that affect the patient's vision Is done. Exemplary implantable ophthalmic devices can be inserted or implanted in the anterior or posterior chamber of the eye or in any anatomy of the eye. Because they are inserted or implanted into the eye itself, foreign objects such as liquid crystal materials or electrolytes used in batteries must not leak or ooze into the eye or surrounding tissue. Otherwise, they can cause damage to the eye and / or surrounding tissues.

ここに開示されるテクノロジの実施例は、密封シールされたフィードスルーと電源のような電子デバイスを包含する密封シールキャビティとを有する移植可能眼科デバイス、及びこのような移植可能眼科デバイスを作る方法を含む。例示的な移植可能眼科デバイスは、図1及び図2に示されており、図1に要素128として描かれ図2に要素222として描かれる第1ウェハを含む。第1ウェハは、一実施例に係るガラス材料から作られる。一の特定実施例によれば、第1ウェハは、例えば、Borofloat(登録商標)33のようなホウケイ酸ガラス、石英ガラス、及び/又は、S−TIM22若しくはN−SF5のような高屈折率ガラスタイプのような高屈折率ガラスから作られる。第1ウェハ128は、一実施例によれば、第1ウェハの第1側から第1ウェハの第2側まで貫通する複数のフィードスルーアパチャ又はチャネル126を有し得る。フィードスルーチャネルは、導電材料が充填されて、第1ウェハの第1側から第1ウェハの第2側までの電気的連通のための導電経路を与える。   Embodiments of the technology disclosed herein include implantable ophthalmic devices having hermetically sealed feedthroughs and hermetically sealed cavities containing electronic devices such as power supplies, and methods of making such implantable ophthalmic devices. Including. An exemplary implantable ophthalmic device is shown in FIGS. 1 and 2 and includes a first wafer depicted as element 128 in FIG. 1 and as element 222 in FIG. The first wafer is made from a glass material according to one embodiment. According to one particular embodiment, the first wafer is a borosilicate glass, such as, for example, Borofloat® 33, quartz glass, and / or a high refractive index glass, such as S-TIM22 or N-SF5. Made from high refractive index glass like type. The first wafer 128 may have a plurality of feedthrough apertures or channels 126 that penetrate from the first side of the first wafer to the second side of the first wafer, according to one embodiment. The feedthrough channel is filled with a conductive material to provide a conductive path for electrical communication from the first side of the first wafer to the second side of the first wafer.

図1を参照すると、フィードスルー126を有する一の例示的移植可能眼科デバイスのための電子機器アセンブリ100の分解図が示される。フィードスルー126は、デバイス100から眼の中への異物の漏入を防止するべく密封シールされる。ここに定義するが、密封シールされたキャビティ又はフィードスルーは、米国材料試験協会(ASTM)E493/E493M−11の、リーク速度5.0×10−12Pam−1未満によるヘリウムリーク試験に合格するキャビティ又はフィードスルーである。アセンブリ100は、特定用途向け集積回路(ASICs)118及び130のような電子コンポーネントを含む。 Referring to FIG. 1, an exploded view of an electronics assembly 100 for one exemplary implantable ophthalmic device having a feedthrough 126 is shown. The feedthrough 126 is hermetically sealed to prevent leakage of foreign objects from the device 100 into the eye. As defined herein, hermetically sealed cavities or feedthroughs are suitable for helium leak tests with a leak rate of less than 5.0 × 10 −12 Pam 3 s −1 from the American Society for Testing and Materials (ASTM) E493 / E493M-11. A passing cavity or feedthrough. Assembly 100 includes electronic components such as application specific integrated circuits (ASICs) 118 and 130.

さらに、付加的電子コンポーネントがウェハ132に示されるキャビティ内に配置され得る。図2に示されるデバイス100の側方から見た図は、他の視点に係る中間ウェハ222のキャビティ内にあるASIC206を描いている。これらのキャビティは、第1ウェハ128と第2ウェハ134との間にあるウェハ132のアパチャをシールすることによって画定される。第1ウェハ128と第2ウェハ134とは、以下に記載されるレーザ溶融接合、加圧接合、陽極接合、及び/又は他の様々な接合法を使用して一緒に接合され得る。コイル122、光起電力(photovoltaic(PV))セル124、及び電気ライン114及び116のような他の要素は、当該ウェハ間に貼り付けられ又はシールされる。   In addition, additional electronic components can be placed in the cavity shown in the wafer 132. The side view of the device 100 shown in FIG. 2 depicts the ASIC 206 within the cavity of the intermediate wafer 222 according to another aspect. These cavities are defined by sealing the apertures of the wafer 132 between the first wafer 128 and the second wafer 134. The first wafer 128 and the second wafer 134 may be bonded together using laser fusion bonding, pressure bonding, anodic bonding, and / or various other bonding methods described below. Other elements such as coils 122, photovoltaic (PV) cells 124, and electrical lines 114 and 116 are affixed or sealed between the wafers.

いくつかの実施例において、フィードスルーチャネル126は円筒又は砂時計形状を有する。当該砂時計形状に含まれる最大直径は、約100μmから約250μmに達する。いくつかの実施例によれば、フィードスルーチャネル126を充填する導電材料は、第1基板の第1側と第2側とをつなぐ導電経路を与えるチタン、ニッケル、金、鉄、又はこれらの合金であり得る。いくつかの実施例において、合金は、ガラスの膨張係数に整合し、ひいては温度変化に起因する機械的制約を回避するように開発される。   In some embodiments, the feedthrough channel 126 has a cylindrical or hourglass shape. The maximum diameter included in the hourglass shape reaches from about 100 μm to about 250 μm. According to some embodiments, the conductive material filling the feedthrough channel 126 is titanium, nickel, gold, iron, or alloys thereof that provide a conductive path connecting the first side and the second side of the first substrate. It can be. In some embodiments, the alloy is developed to match the glass expansion coefficient and thus avoid mechanical constraints due to temperature changes.

フィードスルーチャネル126は、一実施例によれば、厚さ約10μmから約200μm及び/又は抵抗約10オーム以下であるような導電材料によってコーティング又はキャップがされる。いくつかの場合、導電材料は、第1ウェハの熱膨張係数(coefficient of thermal expansion(CTE))とほぼ等しいCTEを有する。例えば、一実施例によれば、導電材料及び第1基板のCETは約2.0ppmから約5.0ppmであり得る。導電材料は、いくつかの実施例によれば、特定用途向け集積回路プロセッサ(ASIC)118又は130、キャパシタ、メモリ、プログラマブルロジックアナライザ、アナログデジタル変換器、又はバッテリ充電器のような電子コンポーネントと電気的に連通する。   The feedthrough channel 126, according to one embodiment, is coated or capped with a conductive material that is about 10 μm to about 200 μm thick and / or about 10 ohms or less in resistance. In some cases, the conductive material has a CTE that is approximately equal to the coefficient of thermal expansion (CTE) of the first wafer. For example, according to one embodiment, the CET of the conductive material and the first substrate can be from about 2.0 ppm to about 5.0 ppm. Conductive materials may be electrically connected to electronic components such as application specific integrated circuit processors (ASICs) 118 or 130, capacitors, memories, programmable logic analyzers, analog to digital converters, or battery chargers, according to some embodiments. Communicate.

例えば、図2に示されるように、フィードスルーチャネル204及び208は、陽極230及び陰極232を有するバッテリからASIC206への電気接続を、当該バッテリとASIC206との間に配置される第1ウェハ222によって与える。充電可能であり得るバッテリ120は、セパレータ106によって分離保持され、かつ、漏れ保護を促すハウジング又は缶102に覆われた陽極104及び陰極108を含む。バッテリ外包キャップ110が、当該バッテリの陽極104及び陰極108をアセンブリ100の残り部分から絶縁する。一実施例によれば、フィードスルー204、208、214、及び216は、図4に示されるように、電気コンタクト406及び404を通してバッテリ400の陰極406及び陽極410と電気的に連通し得る。   For example, as shown in FIG. 2, feedthrough channels 204 and 208 provide electrical connection from a battery having anode 230 and cathode 232 to ASIC 206 by a first wafer 222 disposed between the battery and ASIC 206. give. A battery 120 that may be rechargeable includes an anode 104 and a cathode 108 that are held separately by a separator 106 and covered by a housing or can 102 that facilitates leakage protection. A battery envelope cap 110 insulates the battery's anode 104 and cathode 108 from the rest of the assembly 100. According to one embodiment, feedthroughs 204, 208, 214, and 216 may be in electrical communication with cathode 406 and anode 410 of battery 400 through electrical contacts 406 and 404, as shown in FIG.

一実施例によれば、電気コンタクト404及び/又は408は、フィードスルーチャネル204及び206からずらされる。その結果、導電性電気コンポーネント(図示せず)が、例えばフィードスルーチャネル204又は208のような選択されたフィードスルーチャネルに、電気コンタクト406及び404を電気的に接続する。再び図4を参照すると、電気コンタクト404及び408が円環電気コンタクト表面を形成する一方、電気コンタクト406は中実円形電気コンタクト表面を形成する。一実施例によれば、電気コンタクト表面408及び406は金はんだによって作られ、バッテリの少なくとも一部を囲む保護ハウジング又は缶402は、チタンのような金属から作られて非導電コーティングによって覆われる。いくつかの実施例によれば、ハウジング402は、24カラット金のような金から作られ、その上に非導電コーティングがオプションとして適用される。   According to one embodiment, electrical contacts 404 and / or 408 are offset from feedthrough channels 204 and 206. As a result, a conductive electrical component (not shown) electrically connects electrical contacts 406 and 404 to a selected feedthrough channel, such as feedthrough channel 204 or 208, for example. Referring again to FIG. 4, electrical contacts 404 and 408 form an annular electrical contact surface, while electrical contact 406 forms a solid circular electrical contact surface. According to one embodiment, the electrical contact surfaces 408 and 406 are made of gold solder and the protective housing or can 402 surrounding at least a portion of the battery is made of a metal such as titanium and covered with a non-conductive coating. According to some embodiments, the housing 402 is made from gold, such as 24 carat gold, over which a non-conductive coating is optionally applied.

アセンブリ100はまた、バッテリ102及び120を再充電するべく使用することができる誘導アンテナコイル122及び光起電力セル124を含む。コイル122及び光起電力セル124はまた、例えば、ASIC118及び130の一方又は双方のメモリに格納された情報を更新及び/又は抽出するべく、外部プロセッサとの無線通信にも使用することができる。光起電力セル170はまた、遠近調節トリガ、瞳孔直径変化、及び/又は他の生理学的若しくは環境的兆候を検出するべく使用することもできる。いくつかの実施例では、コイル122は、約5.1mm×3.0mmの周縁に配置された約15回の巻線を有する。コイル122及び光起電力セル124はまた、フィードスルー126を介してASIC118及び130と電気的に連通する。   The assembly 100 also includes an inductive antenna coil 122 and a photovoltaic cell 124 that can be used to recharge the batteries 102 and 120. The coil 122 and the photovoltaic cell 124 can also be used for wireless communication with an external processor, for example, to update and / or extract information stored in the memory of one or both of the ASICs 118 and 130. The photovoltaic cell 170 can also be used to detect accommodation triggers, pupil diameter changes, and / or other physiological or environmental signs. In some embodiments, the coil 122 has about 15 turns disposed about a circumference of about 5.1 mm × 3.0 mm. Coil 122 and photovoltaic cell 124 are also in electrical communication with ASICs 118 and 130 via feedthrough 126.

例えば、ASIC130の一方におけるバッテリ充電器(図示せず)が、その全体がここに参照として組み入れられるFehrらによる国際特許出願第US2011/040896号明細書に記載される再充電プロセスを制御してもよい。同様に、ASIC130の一方におけるプロセッサが、その全体がここに参照として組み入れられるFehrらによる国際特許出願第US2011/040896号明細書に記載される瞳孔直径を代表する信号を光起電力セル170から受信してもよい。プロセッサはまた、例えば、その全体がここに参照として組み入れられる特許文献1に記載されているように、光起電力セル170からの信号への応答として、電気的活性セル160によって画定されるアパチャの直径を制御してもよい。   For example, even if a battery charger (not shown) in one of the ASICs 130 controls the recharging process described in International Patent Application No. US2011 / 040896 by Fehr et al., Which is hereby incorporated by reference in its entirety. Good. Similarly, a processor in one of the ASICs 130 receives a signal from the photovoltaic cell 170 that is representative of the pupil diameter described in International Patent Application No. US2011 / 040896 by Fehr et al., Which is hereby incorporated by reference in its entirety. May be. The processor is also capable of the aperture defined by the electrically active cell 160 in response to a signal from the photovoltaic cell 170, eg, as described in US Pat. The diameter may be controlled.

図1に示されるもののような電子機器アセンブリの製造は、密封シールされたフィードスルー126の製造から開始される。フィードスルー126は、基板にドリル穿孔され、基板にエッチングされ、又は基板にサンドブラストされる。当該基板はその後、図1に示される第1ウェハ128のような個々のウェハにカット又はダイスされる。ひとたびチャネルが作られると、当該チャネルの中に導電材料が堆積される。一実施例によれば、導電材料を堆積させることは、ガルバニック成長又は電気化学堆積法によって行われる。導電材料は、金のような生体親和性材料であり得る。代替的に、導電材料は、ニッケル合金(例えばNiFe)のような材料であり得る。その熱膨張係数(CTE)は、第1ウェハ128のCTEにほぼ等しくなるように(例えばその10%以内に)選択することができる。導電材料308が生体親和性でない場合、チャネルの内表面は、追加保護層を与えるべく生体親和性材料によりコーティング又はライニングされ得る。   The manufacture of an electronics assembly such as that shown in FIG. 1 begins with the manufacture of a hermetically sealed feedthrough 126. The feedthrough 126 is drilled into the substrate, etched into the substrate, or sandblasted into the substrate. The substrate is then cut or diced into individual wafers, such as the first wafer 128 shown in FIG. Once a channel is created, a conductive material is deposited in the channel. According to one embodiment, the conductive material is deposited by galvanic growth or electrochemical deposition. The conductive material can be a biocompatible material such as gold. Alternatively, the conductive material can be a material such as a nickel alloy (eg, NiFe). The coefficient of thermal expansion (CTE) can be selected to be approximately equal to the CTE of the first wafer 128 (eg, within 10% thereof). If the conductive material 308 is not biocompatible, the inner surface of the channel can be coated or lined with a biocompatible material to provide an additional protective layer.

例えば、チャネル306を導電ニッケルによって充填した後、両端を生体親和性チタン、若しくは金、又はこれらの組み合わせによって被覆又はライニングすることができる。ひとたび堆積されると、導電材料は導電経路を形成する導電経路310は、チャネル306をシールし、及び第1ウェハ222の一側から第1ウェハ222の他側への電気的連通を与える。例えば、フィードスルー204及び208は、バッテリの陽極230及び陰極232から第1ウェハ228の他側上のASIC206への電気的連通を与える。一実施例によれば、バッテリ400とASIC206との間にあるフィードスルー204及び208を介した電気的連通は、金コンタクトのような導電コンタクトをバッテリコンタクト408及び406と電気的かつ物理的に接触し、並びにフィードスルー204及び208と電気的に接触するように第1ウェハ228の表面上に配置することによって促すことができる。一実施例によれば、導電コンタクトは露出されて第1ウェハ222の表面と面一となり得る。さらなる実施例において、陰極コンタクト406と物理的に接触する唯一の導電コンタクト、及び陽極コンタクト408と物理的に接触する唯一の導電コンタクトが存在する。   For example, after the channel 306 is filled with conductive nickel, both ends can be coated or lined with biocompatible titanium, or gold, or a combination thereof. Once deposited, the conductive material forms a conductive path. The conductive path 310 seals the channel 306 and provides electrical communication from one side of the first wafer 222 to the other side of the first wafer 222. For example, feedthroughs 204 and 208 provide electrical communication from the battery anode 230 and cathode 232 to the ASIC 206 on the other side of the first wafer 228. According to one embodiment, electrical communication through the feedthroughs 204 and 208 between the battery 400 and the ASIC 206 can cause the conductive contacts, such as gold contacts, to be in electrical and physical contact with the battery contacts 408 and 406. And can be facilitated by placing it on the surface of the first wafer 228 in electrical contact with the feedthroughs 204 and 208. According to one embodiment, the conductive contacts can be exposed and flush with the surface of the first wafer 222. In a further embodiment, there is a unique conductive contact in physical contact with the cathode contact 406 and a unique conductive contact in physical contact with the anode contact 408.

予測可能な耐用期間を有する完全に機能的な、生体親和性のある、機械的信頼性のある移植可能眼科デバイス100を設計するには、いくつかの因子を考慮する必要がある。バッテリ120のような電源とASIC130との間にあるフィードスルー126を通して機能的電気接続を与えることに加え、移植可能眼科デバイス100はまた、このような電気接続を長期間にわたり機械的信頼性があるように保証する必要がある。さらに、眼科デバイス100は、バッテリ406の陰極に関連づけられた電気コンタクトと、バッテリ408の陽極に関連づけられた電気コンタクトとの電気的分離を与える必要がある。加えて、バッテリ232及びASIC206のような電気コンポーネントを包含する移植可能眼科デバイス100のキャビティの中に流体が侵入することと、液晶材料のような電気的活性流体が眼又は周囲組織の中に漏入することとの双方を防止するべく、図1に示される様々なコンポーネント部品は確実性かつ信頼性をもって一緒に接合される必要がある。   To design a fully functional, biocompatible, mechanically reliable implantable ophthalmic device 100 with a predictable lifetime, several factors need to be considered. In addition to providing a functional electrical connection through a feedthrough 126 between a power source such as a battery 120 and the ASIC 130, the implantable ophthalmic device 100 is also mechanically reliable for such an electrical connection for extended periods of time. Need to be guaranteed. In addition, the ophthalmic device 100 needs to provide electrical isolation between the electrical contact associated with the cathode of the battery 406 and the electrical contact associated with the anode of the battery 408. In addition, fluid can enter the cavity of the implantable ophthalmic device 100 that includes electrical components such as the battery 232 and the ASIC 206, and electroactive fluid such as liquid crystal material can leak into the eye or surrounding tissue. In order to prevent both entry and entry, the various component parts shown in FIG. 1 need to be joined together reliably and reliably.

このような設計考慮への一つの例示的解決法が図5に描かれている。図5は、バッテリ、バッテリハウジング412、及び第1ウェハ406間の電気的接続及び機械的接合を与える一実施例500の外形及び上から見た図を描いている。図5に示されるバッテリは、図4に示されるバッテリの特性を包含し得る。一実施例によれば、陰極電気コンタクト406が当該バッテリの中心領域に設けられ、円形陽極電気コンタクト領域が当該陰極電気コンタクトの周囲にある要素404及び408によって図4に表されている。例えば、図3において、与えられたバッテリのための陰極電気コンタクトは、位置308又は304まわりを中心とし得るが、与えられたバッテリのための陽極電気コンタクトは、円形領域交差位置302又は306を形成し得る。   One exemplary solution to such design considerations is depicted in FIG. FIG. 5 depicts an outline and top view of one embodiment 500 that provides electrical connection and mechanical bonding between the battery, battery housing 412, and first wafer 406. The battery shown in FIG. 5 may include the characteristics of the battery shown in FIG. According to one embodiment, a cathode electrical contact 406 is provided in the central region of the battery, and a circular anode electrical contact region is represented in FIG. 4 by elements 404 and 408 around the cathode electrical contact. For example, in FIG. 3, the cathode electrical contact for a given battery may be centered around location 308 or 304, while the anode electrical contact for a given battery forms a circular area crossing location 302 or 306. Can do.

再び図5を参照すると、バッテリハウジング512は、第1ウェハ506とともにバッテリのためのシールキャビティを形成する。当該キャビティは、溶融接合、加圧接合、陽極接合、導電接着剤接合、レーザ溶融接合、冷間溶接、超音波溶接、誘導溶接、又はレーザ溶接を含むがこれらに限られないいくつかの方法を単独で又は組み合わせて使用することによって一緒にシール及び機械的に接合することができる。上述の方法は、電子機器を保持し又は様々な電子コンポーネント間の電気的接続を与えるキャビティに関し、流体又は他の要素の出入りを防止するべく密封シール、気密、又はそれ以外で封止されたキャビティを与える。   Referring again to FIG. 5, the battery housing 512 forms a seal cavity for the battery with the first wafer 506. The cavity may include several methods including, but not limited to, melt bonding, pressure bonding, anodic bonding, conductive adhesive bonding, laser melting bonding, cold welding, ultrasonic welding, induction welding, or laser welding. They can be sealed and mechanically joined together by using alone or in combination. The method described above relates to cavities that hold electronic devices or provide electrical connections between various electronic components, and cavities that are hermetically sealed, hermetically sealed, or otherwise sealed to prevent fluids or other elements from entering or exiting. give.

一実施例によれば、セクション508及び510を含む中間層が、ハウジング512内のバッテリと第1ウェハ406の表面下にあるASIC(図示せず)のような電気コンポーネントとの電気的接続を促し得る。一実施例によれば、中間層はまた、ハウジング512と第1ウェハ506との機械的接合も少なくとも部分的に促し得る。中間層は、Alのようなセラミック、ピーク(peak)、陽極処理チタン、ガラスコーティングされた金、非導電接着剤に限られない非導電材料、及び金、導電接着剤、又は他の金属合金に限られない導電材料から作ることができる。図5に描かれる実施例によれば、5つのキャビティ502が、電気コンタクト514のような当該バッテリの電気コンタクトと整合される。図4に関して前述したように、バッテリは、中心円形電気コンタクト406並びに要素408及び404によって画定される第2環形状電気コンタクトを含み得る。したがって、キャビティ502は、これらの電気コンタクトと整合されて電気的連通を促すことができる。さらに、キャビティ502は、バッテリと第1ウェハ506下にあるASIC(図示せず)との電気的連通を、当該キャビティ内に導電接着剤膜を充填することによって促す。導電接着剤のキャビティはまた、図5に示されるバッテリのような電子コンポーネントのためのシールされた環境を促すべく、付加的な機械的接合も与える。導電接着剤に加え、中間層はまたガスケット504も含む。ガスケット504は、キャビティ502を画定するべくカットされる。一実施例によれば、ガスケット504は、セラミック材料から作られ、バッテリまわりに第1ウェハ506によってシールキャビティを画定する。 According to one embodiment, an intermediate layer including sections 508 and 510 facilitates electrical connection between a battery in housing 512 and an electrical component such as an ASIC (not shown) below the surface of first wafer 406. obtain. According to one embodiment, the intermediate layer may also at least partially facilitate mechanical bonding between the housing 512 and the first wafer 506. The intermediate layer can be ceramic, such as Al 2 O 3 , peak, anodized titanium, glass-coated gold, non-conductive material, not limited to non-conductive adhesive, and gold, conductive adhesive, or other It can be made of a conductive material that is not limited to a metal alloy. According to the embodiment depicted in FIG. 5, five cavities 502 are aligned with the battery's electrical contacts, such as electrical contacts 514. As described above with respect to FIG. 4, the battery may include a central circular electrical contact 406 and a second annular electrical contact defined by elements 408 and 404. Thus, the cavity 502 can be aligned with these electrical contacts to facilitate electrical communication. Further, the cavity 502 facilitates electrical communication between the battery and an ASIC (not shown) under the first wafer 506 by filling the cavity with a conductive adhesive film. The conductive adhesive cavity also provides additional mechanical bonding to promote a sealed environment for electronic components such as the battery shown in FIG. In addition to the conductive adhesive, the intermediate layer also includes a gasket 504. The gasket 504 is cut to define the cavity 502. According to one embodiment, the gasket 504 is made of a ceramic material and defines a sealing cavity by a first wafer 506 around the battery.

図6に描かれる他実施例によれば、導電接着剤502及びセラミックガスケット504部分を含む図5に示される中間層はさらに、要素606及び612によって示される疎水性バリアも含む。要素606及び612は、バッテリの陽極と電気的に接続される中間層の中心導電接着剤セグメントと、バッテリの陰極と電気的に接続される導電接着剤セグメントとの間に位置決めされる。疎水性バリア606は、長いバッテリ寿命を促すべく陽極部分と陰極部分との間のイオン漏れを防止する。一実施例によれば、疎水性バリア606は、シリコンオイルが充填されるエッチング環であり得るか、又は特定の疎水性ガラスウェハ及びバッテリ表面処理を通して実現され得る。   According to another embodiment depicted in FIG. 6, the intermediate layer shown in FIG. 5, including the conductive adhesive 502 and ceramic gasket 504 portions, further includes a hydrophobic barrier indicated by elements 606 and 612. Elements 606 and 612 are positioned between the central conductive adhesive segment of the intermediate layer that is electrically connected to the battery anode and the conductive adhesive segment that is electrically connected to the battery cathode. Hydrophobic barrier 606 prevents ion leakage between the anode and cathode portions to promote long battery life. According to one embodiment, the hydrophobic barrier 606 can be an etch ring filled with silicon oil, or can be realized through specific hydrophobic glass wafer and battery surface treatments.

図7に描かれる実施例700によれば、中間層は、導電接着剤702の2つのセグメント、及びガラスフォーメーション又は他の隔離された材料704の2つのセグメントを含む。ガラスフォーメーション又は他の隔離された材料は、バッテリハウジング716を第1ウェハ706上に保持する隆起エッジ708を含み得る。ガラスフォーメーションは、第1ウェハ706の表面上で行われるガラス成長プロセスによって作ることができる。一実施例によれば、隆起エッジ708は、ガラスフォーメーション以外の隔離された材料である。当該隔離された材料は、SiOコーティングによって被覆され得る。図5及び6にあるように、コンタクト714のような、バッテリの電気コンタクトと関連づけられる導電接着剤部分は、ハウジング716内のバッテリと、第1ウェハ706の表面下にあるASIC(図示せず)のような電気コンポーネントとの電気的接続を促す。 According to the example 700 depicted in FIG. 7, the intermediate layer includes two segments of conductive adhesive 702 and two segments of glass formation or other isolated material 704. The glass formation or other isolated material may include a raised edge 708 that holds the battery housing 716 on the first wafer 706. The glass formation can be made by a glass growth process performed on the surface of the first wafer 706. According to one embodiment, the raised edge 708 is an isolated material other than glass formation. The isolated material may be coated by SiO 2 coating. As in FIGS. 5 and 6, the conductive adhesive portion associated with the battery's electrical contacts, such as contacts 714, is the battery in the housing 716 and the ASIC (not shown) under the surface of the first wafer 706. Encourage electrical connection with electrical components such as

図8に描かれる実施例800によれば、中間層は、3つの異なるタイプの材料を含む。第1材料は、コンタクト820のような、バッテリの電気コンタクトと関連づけられる導電接着剤の2つのセグメント804を含む。これらは、ハウジング818内のバッテリと、第1ウェハ808の表面下にあるASIC(図示せず)のような電気コンポーネントとの電気的接続を促す。導電接着剤の2つのセグメントはまた、図8に示される側方から見た図において要素816及び812として描かれている。中間層はまたシール環802及び814を含む。これらは、電気的接続のための機械的支持を与えるべく、及び、ハウジング818と第1ウェハ808の表面との接合又は接着を促すべく使用される。中間層の第3要素は生体親和性接着剤806及び810である。これらは、ハウジング818と第1ウェハ808との間にシールキャビティを形成するべく、バッテリハウジング818の周縁まわりに形成される。生体親和性接着剤は、ハウジング818と第1ウェハ808との機械的接続強度を増加させる上で、及びハウジング818及び第1ウェハ808が形成するキャビティのシール性及び電気的絶縁性を向上させる上で補助となり得る。   According to the example 800 depicted in FIG. 8, the intermediate layer comprises three different types of materials. The first material includes two segments 804 of conductive adhesive associated with battery electrical contacts, such as contacts 820. These facilitate electrical connection between the battery in the housing 818 and electrical components such as an ASIC (not shown) below the surface of the first wafer 808. The two segments of conductive adhesive are also depicted as elements 816 and 812 in the side view shown in FIG. The intermediate layer also includes seal rings 802 and 814. These are used to provide mechanical support for electrical connection and to promote bonding or adhesion of the housing 818 and the surface of the first wafer 808. The third element of the intermediate layer is biocompatible adhesives 806 and 810. These are formed around the periphery of the battery housing 818 to form a seal cavity between the housing 818 and the first wafer 808. The biocompatible adhesive increases the mechanical connection strength between the housing 818 and the first wafer 808, and improves the sealing performance and electrical insulation of the cavity formed by the housing 818 and the first wafer 808. Can help.

図9に描かれる実施例900によれば、中間層は、金コーティング912及び902のセグメントを含む。金コーティングのセグメントは、コンタクト916のようなバッテリの電気コンタクトに関連づけられて、ハウジング914内のバッテリと、第1ウェハ906の表面下にあるASIC(図示せず)のような電気コンポーネントとの電気接続を促す。中間層はまた、例えば生体親和性接着剤のような接着剤のセグメント904及び910を含む。生体親和性接着剤は、ハウジング914と第1ウェハ906との機械的接続強度を増加させる上で、及びハウジング914及び第1ウェハ906が形成するキャビティのシール性及び電気的絶縁性を向上させる上で補助となり得る。図9に開示される実施例において、陰極コンタクト916のようなバッテリコンタクトは金から作られる。金のコーティング902は、圧縮接合、陽極接合、又は、冷間溶接、超音波溶接、誘導溶接、若しくはレーザ溶接のような溶接プロセスによって、陽極及び陰極の金バッテリコンタクトと接合することができる。加えて、圧縮接合は、熱圧接合のような異なるタイプの圧縮接合も含み得る。この場合、室温を超える温度で圧縮が生じ、強い接合が促される。   According to the example 900 depicted in FIG. 9, the intermediate layer includes segments of gold coatings 912 and 902. A segment of gold coating is associated with an electrical contact of the battery, such as contact 916, to provide electrical contact between the battery in housing 914 and an electrical component, such as an ASIC (not shown), below the surface of first wafer 906. Encourage connection. The intermediate layer also includes adhesive segments 904 and 910, such as biocompatible adhesives. The biocompatible adhesive increases the mechanical connection strength between the housing 914 and the first wafer 906, and improves the sealing performance and electrical insulation of the cavity formed by the housing 914 and the first wafer 906. Can help. In the embodiment disclosed in FIG. 9, battery contacts, such as cathode contact 916, are made from gold. Gold coating 902 can be joined to the anode and cathode gold battery contacts by compression bonding, anodic bonding, or a welding process such as cold welding, ultrasonic welding, induction welding, or laser welding. In addition, compression bonding can also include different types of compression bonding, such as hot-pressure bonding. In this case, compression occurs at a temperature exceeding room temperature, and strong bonding is promoted.

一実施例によれば、圧縮接合は、バッテリの金電気コンタクトを金コーティング902に接合するべく使用される。圧縮接合のもとでは、当該圧縮により、中間層内の金コーティング902が軟化し、図4に要素406及び404によって示されるバッテリの陽極及び陰極の金コンタクトに接着される。圧縮接合プロセスの使用では、温度が300℃未満に維持され得る。これは、ウェハ上に又はウェハ間に配置される所定コンポーネントに対する臨界温度である。したがっていくつかの実施例によれば、圧縮接合は有利な接合法である。   According to one embodiment, compression bonding is used to bond the gold electrical contacts of the battery to the gold coating 902. Under compression bonding, the compression causes the gold coating 902 in the intermediate layer to soften and adhere to the battery anode and cathode gold contacts shown by elements 406 and 404 in FIG. In the use of a compression bonding process, the temperature can be maintained below 300 ° C. This is the critical temperature for a given component placed on or between wafers. Thus, according to some embodiments, compression bonding is an advantageous bonding method.

図10に描かれる実施例1000によれば、バッテリ1012、1010、及び1008の電気コンタクトは、レーザ溶接接合プロセスによって接合され得る。この例示的プロセスのもとでは、電気コンタクトを溶接するべく焦点が合わせられたレーザビームを使用して、バッテリハウジングとともに第1ウェハ1004との、オプションとして第1ウェハ1004上に堆積された金属コーティングとの、機械的かつ電気的接合を形成することができる。レーザ溶融接合又はレーザ溶接は特に魅力的である。これらは、ウェハ1004の当該特定領域のみをバッテリ又はバッテリハウジングとともに加熱することができるからである。その結果、当該ウェハに付着され及び/又は当該ウェハ間に配置されたコンポーネントが、当該溶融プロセス中に加熱されることがなくなる。図10に関して前述した金属の接合に加え、レーザ溶融接合は、一ガラス片を他ガラス片に直接接合するべく(すなわち当該ガラス片間の層なしで)使用することができる。これにより、付加的な材料及び堆積ステップが排除される。したがって、図10において、ハウジング1006及び第1ウェハ904双方がガラス製であれば、レーザ溶接又は接合プロセスを使用することができる。   According to example 1000 depicted in FIG. 10, the electrical contacts of batteries 1012, 1010, and 1008 can be joined by a laser weld joining process. Under this exemplary process, a metal coating deposited on the first wafer 1004, optionally on the first wafer 1004, together with the battery housing, using a laser beam focused to weld the electrical contacts. And a mechanical and electrical connection can be formed. Laser fusion bonding or laser welding is particularly attractive. These are because only the specific area of the wafer 1004 can be heated together with the battery or the battery housing. As a result, components attached to and / or disposed between the wafers are not heated during the melting process. In addition to the metal bonding described above with respect to FIG. 10, laser melt bonding can be used to bond one glass piece directly to another glass piece (ie, without a layer between the glass pieces). This eliminates additional materials and deposition steps. Therefore, in FIG. 10, if both the housing 1006 and the first wafer 904 are made of glass, a laser welding or joining process can be used.

詳しくは、レーザ溶融接合プロセスにおいて、ガラスハウジング1006及びガラスウェハ1004のような2つの同様の要素が互いに接触して保持され、当該2つの同様の要素間の界面又はこれの近くに、超高速紫外レーザからのビームの焦点が合わせられる。レーザは、当該ウェハを加熱するピコ秒又はフェムト秒の光パルスを放出する。これにより、当該要素が一緒に溶解又は溶融する。例えば、当該ハウジング1006及びウェハ1004のエッジに沿った閉ループ内(又は単なる内部)をパルスレーザビームによってスキャンすることにより、バッテリ又はASICのような電子機器のための密封シールキャビティが作られる。パルスレーザビームはまた、付加的な密封シールされた領域を当該ウェハの周縁内に作るべく、複数の閉ループをスキャンすることもできる。例えば、ASIC118をキャビティ内にシールすることができる。キャビティ自体は、デバイス100の周縁内にシールされる。   Specifically, in a laser melt bonding process, two similar elements, such as a glass housing 1006 and a glass wafer 1004, are held in contact with each other, and an ultrafast ultraviolet is present at or near the interface between the two similar elements. The beam from the laser is focused. The laser emits picosecond or femtosecond light pulses that heat the wafer. This causes the elements to melt or melt together. For example, scanning in a closed loop (or simply inside) along the edges of the housing 1006 and wafer 1004 with a pulsed laser beam creates a hermetic seal cavity for an electronic device such as a battery or ASIC. The pulsed laser beam can also scan multiple closed loops to create additional hermetically sealed areas within the periphery of the wafer. For example, the ASIC 118 can be sealed in the cavity. The cavity itself is sealed within the periphery of the device 100.

図11A及び11Bに描かれる他の実施例1100によれば、バッテリのためのシールキャビティは、第1ウェハの第1側上の位置決め溝1102をエッチングすることによって達成される。引き続き、シールキャビティを形成するべくバッテリのハウジングを適切なサイズの位置決め溝に配置することができる。加えて、生体親和性接着剤を当該ハウジング周縁及び当該ウェハ表面に沿って配置して、堅固な機械的接合特性及びシーラント特性を与えることができる。代替的に、図11Bに示されるように、エッチング溝1106を様々な位置に配置することもできる。バッテリと第1ウェハ下のASICとの電気的接続に関し、一実施例によれば、当該接続は、フィードスルー126を金属はんだによって充填することにより形成することができる。   According to another embodiment 1100 depicted in FIGS. 11A and 11B, a sealing cavity for a battery is achieved by etching a positioning groove 1102 on the first side of the first wafer. Subsequently, the battery housing can be placed in an appropriately sized positioning groove to form a seal cavity. In addition, biocompatible adhesives can be placed along the periphery of the housing and the wafer surface to provide firm mechanical bonding and sealant properties. Alternatively, as shown in FIG. 11B, the etching grooves 1106 can be arranged at various positions. Regarding the electrical connection between the battery and the ASIC under the first wafer, according to one embodiment, the connection can be formed by filling the feedthrough 126 with metal solder.

図12Aに描かれる他実施例1200によれば、ハウジング1204及び第1ウェハ双方はガラスから作られる。その結果、バッテリのための密封シールキャビティを形成するべくレーザ溶融接合法を使用することができる。代替的に、ハウジング1206は、金属又はセラミックのようなガラス以外の材料からも作ることができる。当該材料は、レーザ溶融接合プロセスを使用するべく、10μmより厚いガラスコーティングによって被覆される。バッテリと第1ウェハ下のASICとの電気的接続に関し、一実施例によれば、当該接続は、フィードスルー126を金属はんだによって充填することにより形成することができる。   According to another embodiment 1200 depicted in FIG. 12A, both the housing 1204 and the first wafer are made of glass. As a result, laser fusion bonding can be used to form a hermetic seal cavity for the battery. Alternatively, the housing 1206 can be made from materials other than glass, such as metal or ceramic. The material is coated with a glass coating thicker than 10 μm to use a laser melt bonding process. Regarding the electrical connection between the battery and the ASIC under the first wafer, according to one embodiment, the connection can be formed by filling the feedthrough 126 with metal solder.

図13に描かれる他実施例1300によれば、バッテリの電気コンタクト部分は、第1ウェハ下に位置する電気回路に直接接続される。加えて、第1ウェハにマシニング又はエッチングされたギャップ1304内にバッテリ蓋を配置することによって、ハウジングと第1ウェハとの間にシールキャビティを形成することができる。当該キャビティはさらに、ハウジング周縁及び第1ウェハ表面を生体親和性接着剤1302によってライニングすることによってシールすることができる。図14A及び14Bは、バッテリ突起又はバッテリ蓋を第1ウェハの凹み又はキャビティ1404、1406内に配置するための付加的実施例を描いている。   According to another embodiment 1300 depicted in FIG. 13, the electrical contact portion of the battery is directly connected to an electrical circuit located under the first wafer. In addition, a seal cavity can be formed between the housing and the first wafer by placing a battery lid in a gap 1304 machined or etched into the first wafer. The cavity can be further sealed by lining the housing periphery and the first wafer surface with a biocompatible adhesive 1302. FIGS. 14A and 14B depict additional embodiments for placing battery protrusions or battery lids in the recesses or cavities 1404, 1406 of the first wafer.

図15に関し、電気コンタクト部分が、第1ウェハ下の集積回路に導電リベット1502及び1504を通して電気的に接続される。その結果、当該リベットは、電気的接続を与えるとともに、バッテリを第1ウェハ表面に接合するべく使用することもできる。その上、バッテリを包含するキャビティはさらに、ハウジング周縁及び第1ウェハ表面を生体親和性接着剤1506によってライニングすることによってシールすることもできる。図16に関し、バッテリの電気コンタクト部分が、コーティングされたワイヤリング1602を通して当該集積回路に接続され、第1ウェハとハウジングとの接合は、当該ハウジング周縁及び第1ウェハ表面を生体親和性接着剤によって接着することを含む。   With reference to FIG. 15, the electrical contact portion is electrically connected to the integrated circuit under the first wafer through conductive rivets 1502 and 1504. As a result, the rivet provides electrical connection and can be used to bond the battery to the first wafer surface. In addition, the cavity containing the battery can also be sealed by lining the housing periphery and the first wafer surface with a biocompatible adhesive 1506. Referring to FIG. 16, the electrical contact portion of the battery is connected to the integrated circuit through a coated wiring 1602 and the first wafer and housing are joined by bonding the peripheral edge of the housing and the first wafer surface with a biocompatible adhesive. Including doing.

図17に描かれるシステム1700に関し、バッテリを囲むハウジングが、第2側にマシニングされてバッテリまわりにシール表面を形成する第1ウェハ1702によって置き換えられる。図17に示される実施例において、電気コンタクト部分1708は、電気回路1706に直接接続される。さらに、電気回路1706は、第2ウェハ1704にマシニングされたキャビティ内に収容される。第1及び第2ウェハは、レーザ溶融接合プロセスを使用して、中に電子機器が包含されるシールキャビティを形成することができる。   With respect to the system 1700 depicted in FIG. 17, the housing surrounding the battery is replaced by a first wafer 1702 that is machined on the second side to form a sealing surface around the battery. In the embodiment shown in FIG. 17, electrical contact portion 1708 is directly connected to electrical circuit 1706. Further, the electric circuit 1706 is accommodated in a cavity machined on the second wafer 1704. The first and second wafers can be formed using a laser melt bonding process to form a sealed cavity in which electronics are contained.

図18に描かれている実施例1800に関し、誘導コイル122のためのキャビティ1808も設けられる。実施例1800は、バッテリが挿入される第1キャビティを有する第1ウェハ1810と、レーザ溶融接合プロセスを使用して第1ウェハ1810に接合される第2ウェハ1804とを含む。第1ウェハ及び第2ウェハは、バッテリまわりに密封シールキャビティを形成する。実施例1800はまた、陰極コンタクト部分1812のようなバッテリの電気コンタクト部分に直接接続される電子回路1806も含む。一実施例によれば、集積回路が第2ウェハ1804内のギャップに挿入され、誘導コイル122が第1ウェハの第2キャビティ1808に挿入される。当該誘導コイルは、第3ウェハ1802の表面上に配置される。   With respect to the embodiment 1800 depicted in FIG. 18, a cavity 1808 for the induction coil 122 is also provided. Example 1800 includes a first wafer 1810 having a first cavity into which a battery is inserted, and a second wafer 1804 that is bonded to the first wafer 1810 using a laser melt bonding process. The first wafer and the second wafer form a hermetically sealed cavity around the battery. The example 1800 also includes an electronic circuit 1806 that is directly connected to an electrical contact portion of the battery, such as the cathode contact portion 1812. According to one embodiment, the integrated circuit is inserted into a gap in the second wafer 1804 and the induction coil 122 is inserted into the second cavity 1808 of the first wafer. The induction coil is disposed on the surface of the third wafer 1802.

図19に描かれる実施例1900に関し、ギャップが第1ウェハ1904にマシニングされて当該ギャップ内に集積回路1912が嵌入される。さらに、ハウジング1902は金属製が好ましい。その結果、レーザ溶融プロセスを使用して第1ウェハを第2ウェハに接着する前に、ハウジング1902の周縁及び第1ウェハ1904の表面を接着することを、陽極接合プロセス及び高温接合プロセスの一方を使用して行うことができる。   With respect to the example 1900 depicted in FIG. 19, a gap is machined into the first wafer 1904 and an integrated circuit 1912 is inserted into the gap. Further, the housing 1902 is preferably made of metal. As a result, bonding the peripheral edge of the housing 1902 and the surface of the first wafer 1904 prior to bonding the first wafer to the second wafer using a laser melting process can be one of an anodic bonding process and a high temperature bonding process. Can be done using.

陽極接合プロセスのもとでは、接合されるガラスウェハの一方が、シリコン、ポリシリコン、タンタル、チタン、アルミニウム、及び/又はSiNxの薄層によってコーティングされ、コーティングガラスウェハが形成される。当該コーティングウェハはその後、清浄(例えばイソプロパノールにより)及び乾燥(例えば窒素ガスにより)され、その後、電圧源に接続された頂部ツールとチャックとの間にあるハウジング1902と整合される。当該電圧源の電圧を数百ボルトに設定することにより、電流が当該チャックから当該頂部ツールへ、コーティングガラスウェハ1904及びハウジング1902を介して流れる。電流の流れにより、コーティングガラスウェハ1904における陽イオン(例えばアルカリイオン)が、陰極として作用する当該頂部ツールに向かってドリフトし、当該ガラスウェハにおける陰イオンが、陽極として作用する当該チャックに向かってドリフトする。その結果、ハウジング1902の当該領域から陽イオンが枯渇するようになり、当該コーティングの他側上のコーティングガラスウェハ1904の領域から陰イオンが枯渇するようになる。この枯渇により、当該コーティングに接するハウジング1902及びコーティングガラスウェハ1904の表面の反応性が高まり、ウェハ1904とハウジング1902との強固な化学的接合のフォーメーションがもたらされる。   Under the anodic bonding process, one of the glass wafers to be bonded is coated with a thin layer of silicon, polysilicon, tantalum, titanium, aluminum, and / or SiNx to form a coated glass wafer. The coated wafer is then cleaned (eg, with isopropanol) and dried (eg, with nitrogen gas) and then aligned with the housing 1902 between the top tool connected to the voltage source and the chuck. By setting the voltage of the voltage source to several hundred volts, current flows from the chuck to the top tool through the coated glass wafer 1904 and the housing 1902. Current flow causes positive ions (eg, alkali ions) in the coated glass wafer 1904 to drift toward the top tool that acts as the cathode, and negative ions in the glass wafer drift toward the chuck that acts as the anode. To do. As a result, cations are depleted from that region of the housing 1902 and anions are depleted from the region of the coated glass wafer 1904 on the other side of the coating. This depletion increases the reactivity of the surface of the housing 1902 and coated glass wafer 1904 in contact with the coating, resulting in a formation of a strong chemical bond between the wafer 1904 and the housing 1902.

図20に描かれる実施例2000では、ハウジング2004の部分が金2008のような導電材料の膜によってコーティングされ、第1ウェハとハウジングとの接合が、一実施例に係る金のような導電材料が充填された第1ウェハ表面のキャビティ2010によって形成される。一実施例によれば、ハウジング2008の金コーティング部分が、一実施例に係る冷間溶接プロセスを使用してキャビティ2010に接着される。様々な溶接プロセス及び接合プロセスに対し、導電材料膜2008及び導電材料充填ギャップ2010は、適切な接合を目的とする同じ材料であることを要する。ひとたびウェハとバッテリハウジングとが接合されてシールキャビティが形成され、アセンブリが形成される。当該アセンブリは、アクリル等の適切な材料136にカプセル化され得る。   In the embodiment 2000 depicted in FIG. 20, a portion of the housing 2004 is coated with a film of conductive material such as gold 2008, and the bonding between the first wafer and the housing is made of a conductive material such as gold according to one embodiment. It is formed by a cavity 2010 on the filled first wafer surface. According to one embodiment, the gold coated portion of the housing 2008 is adhered to the cavity 2010 using a cold welding process according to one embodiment. For various welding and bonding processes, the conductive material film 2008 and the conductive material filling gap 2010 need to be the same material for proper bonding. Once the wafer and battery housing are joined, a seal cavity is formed to form an assembly. The assembly can be encapsulated in a suitable material 136 such as acrylic.

ここに記載される主題は、他の異なるコンポーネントに包含され又はこれに接続される様々なコンポーネントを例示する場合がある。理解すべきなのは、このような描かれたアーキテクチャは単なる例示であり、実際には、同じ機能性を達成する他の多くのアーキテクチャが実装できるということである。概念的な意味では、同じ機能性を達成する複数のコンポーネントの任意の構成が有効に「関連づけられ」、所望の機能が達成される。したがって、特定の機能性を達成するべくここに組み合わせられる任意の2つコンポーネントは、アーキテクチャ又は媒介コンポーネントにかかわらず、互いに「関連づけ」られて所望の機能性を達成するものとみなすことができる。同様に、このように関連づけられる任意の2つのコンポーネントはまた、所望の機能性を達成するべく互いに「動作可能に接続」又は「動作可能に結合され」るものとみなすこともできる。このように関連づけられる任意の2つのコンポーネントはまた、所望の機能性を達成するべく互いに「動作可能に結合可能」とみなすこともできる。動作可能に結合可能の具体例は、物理的につがいになることができる(mateable)及び/又は物理的に相互作用する複数のコンポーネント及び/又は無線的に相互作用可能な及び/又は無線的に相互作用する複数のコンポーネント及び/又は論理的に相互作用する及び/又は論理的に相互作用可能な複数のコンポーネントを含むがこれらに限られない。   The subject matter described herein may illustrate various components that are encompassed by or connected to other different components. It should be understood that such a depicted architecture is merely exemplary, and in fact many other architectures that achieve the same functionality can be implemented. In a conceptual sense, any configuration of multiple components that achieve the same functionality is effectively “associated” to achieve the desired function. Thus, any two components combined here to achieve a particular functionality can be considered to be “associated” with each other to achieve the desired functionality, regardless of the architecture or intermediary components. Similarly, any two components so associated may also be considered “operably connected” or “operably coupled” to each other to achieve the desired functionality. Any two components so associated may also be considered “operably coupleable” to each other to achieve the desired functionality. Examples of operably coupleable are physically mateable and / or physically interacting components and / or wirelessly interactable and / or wirelessly This includes, but is not limited to, a plurality of interacting components and / or a plurality of components that interact logically and / or can interact logically.

ここでの実質的に任意の複数及び/又は単数の用語の使用に関し、当業者は、文脈及び/又は用途に適するように複数から単数に及び/又は単数から複数に変換することができる。ここでは、明確性を目的として、様々な単数/複数の置き換えを明示的に記載してもよい。当業者が理解すべきことだが、一般に、ここに及び特に添付の特許請求の範囲(例えば添付の特許請求の範囲の本文)に使用される用語が一般に「オープンな」用語として意図されることを理解する(例えば「〜を含んでいる」は「〜を含んでいるがこれに限られない」と解釈すべきであり、「〜を有する」は「少なくとも〜を有する」と解釈すべきであり、「〜を含む」は「〜を含むがこれに限られない」と解釈すべきである等)。当業者がさらに理解すべきことだが、導入される請求項記載の具体的番号が意図されている場合、当該意図は明示的に当該請求項に記載され、当該記載が不在の場合は当該意図が存在しない。例えば、理解を助けるものとして、以下の添付された特許請求の範囲は、請求項記載を導入するべく「少なくとも一つ」及び「一以上」という導入フレーズの用法を包含し得る。   With respect to the use of substantially any plural and / or singular terms herein, one of ordinary skill in the art can convert from plural to singular and / or singular to plural to suit the context and / or application. Here, various singular / plural permutations may be explicitly described for clarity. It should be understood by those skilled in the art that in general, the terms used herein and particularly in the appended claims (eg, the body of the appended claims) are generally intended as “open” terms. Understand (eg “includes” should be interpreted as “including but not limited to” and “having” should be interpreted as “having at least”) , "Including" should be interpreted as "including but not limited to"). It should be further understood by those skilled in the art that when a specific number in a claim is introduced, the intention is explicitly stated in the claim, and in the absence of the description, the intention is not exist. For example, as an aid to understanding, the following appended claims may include usage of the introductory phrases “at least one” and “one or more” to introduce claim recitations.

しかしながら、当該フレーズの使用は、たとえ同請求項が、「一以上」又は「少なくとも一つ」という導入フレーズ及び「一の」又は「一つの」のような不定冠詞(例えば、「一の」及び/又は「一つの」は典型的に「少なくとも一つの」又は「一以上の」を意味すると解釈すべきである)を含むとしても、不定冠詞「一の」又は「一つの」による請求項記載の導入が、当該導入された請求項記載を包含する任意の特定請求項を、当該記載を一つのみ包含する発明に限定するものと解釈してはならない。同じことは、請求項記載を導入するべく使用される定冠詞の使用にも当てはまる。加えて、たとえ、導入された請求項記載の具体的番号が明示的に記載されていても、当業者は、当該記載が典型的に、少なくとも当該記載の番号を意味すると解釈すべきである(例えば、単なる「2つの記載」との記載は、他の修飾語がなければ、少なくとも2つの記載又は2以上の記載を意味するのが典型的である)。   However, the use of such a phrase means that the claim may include an introductory phrase “one or more” or “at least one” and an indefinite article such as “one” or “one” (eg, “one” and Claim that the indefinite article "one" or "one", even though "one" typically should be taken to mean "at least one" or "one or more") Should not be construed as limiting any particular claim, including any such claim claim, to an invention comprising only one such claim. The same applies to the use of definite articles used to introduce claim recitations. In addition, even if a specific number in an introduced claim is explicitly stated, those skilled in the art should interpret that the description typically means at least the number in the description ( For example, the description “just two descriptions” typically means at least two descriptions or two or more descriptions unless there are other modifiers).

例示的な実施例の上記記載は、例示及び説明を目的として提示されてきた。これは、開示された正確な形態に関して包括的又は限定的であることを意図するわけではなく、上記教示に照らして修正例及び変形例が可能であって、開示の実施例の実施から得ることができる。意図されることだが、本発明の範囲はここに添付される特許請求の範囲及びその均等物によって画定される。   The foregoing description of exemplary embodiments has been presented for purposes of illustration and description. This is not intended to be exhaustive or limiting with respect to the precise form disclosed, and modifications and variations are possible in light of the above teachings, and may be obtained from practice of the disclosed embodiments. Can do. It is intended that the scope of the invention be defined by the claims appended hereto and their equivalents.

Claims (32)

生体親和性シールを与えて流体が入り及びバッテリ流体が出ることを防止するように移植可能眼科デバイスのコンポーネントを電気的かつ機械的に接続するシステムであって、
電気コンタクト部分を含む表面を有する少なくとも一つのバッテリと、
前記少なくとも一つのバッテリのためのハウジングと、
前記ハウジングに接合される第1ウェハであって前記ハウジング及び前記第1ウェハが前記バッテリまわりにシール表面を形成する第1ウェハと、
前記バッテリの電気コンタクト部分に電気的に接続される電子回路と
を含むシステム。
A system for electrically and mechanically connecting components of an implantable ophthalmic device to provide a biocompatible seal to prevent fluid from entering and preventing battery fluid from exiting, comprising:
At least one battery having a surface including an electrical contact portion;
A housing for the at least one battery;
A first wafer bonded to the housing, wherein the housing and the first wafer form a sealing surface around the battery;
An electronic circuit electrically connected to an electrical contact portion of the battery.
前記電気コンタクト部分は、導電接着剤を通して前記電子回路に電気的に接続され、
前記第1ウェハと前記ハウジングとの接合は、前記バッテリ及び前記ハウジングをガスケットによって前記第1ウェハの表面に接着することを含む、請求項1に記載のシステム。
The electrical contact portion is electrically connected to the electronic circuit through a conductive adhesive;
The system of claim 1, wherein joining the first wafer and the housing includes adhering the battery and the housing to a surface of the first wafer with a gasket.
前記バッテリの陽極に電気的に接続される導電接着剤と前記バッテリの陰極に電気的に接続される導電接着剤との間に位置決めされてイオン漏れを防止する疎水性バリアをさらに含む、請求項2に記載のシステム。   The method further comprises a hydrophobic barrier positioned between a conductive adhesive electrically connected to the battery anode and a conductive adhesive electrically connected to the battery cathode to prevent ion leakage. 2. The system according to 2. 前記疎水性バリアはシリコンオイルを含む、請求項3に記載のシステム。   The system of claim 3, wherein the hydrophobic barrier comprises silicone oil. 前記ガスケットの部分は、前記導電接着剤によって分離された同心円環に形成され、
外側環ガスケット部分が前記ハウジングの周縁まわりに形成され、内側環ガスケット部分が前記ハウジング内に包含される、請求項2に記載のシステム。
The gasket portion is formed in concentric rings separated by the conductive adhesive;
The system of claim 2, wherein an outer ring gasket portion is formed around a periphery of the housing and an inner ring gasket portion is contained within the housing.
前記ガスケットはセラミック又はガラスの一方からなる、請求項2に記載のシステム。   The system of claim 2, wherein the gasket is made of one of ceramic or glass. 前記バッテリまわりのシール表面は密封シールされる、請求項2に記載のシステム。   The system of claim 2, wherein a sealing surface around the battery is hermetically sealed. 前記電気コンタクト部分は、導電接着剤を通して前記電子回路に電気的に接続され、
前記第1ウェハと前記ハウジングとの接合は、
前記ハウジング内に包含されるシール環と、
前記ハウジングの周縁及び前記第1ウェハの表面を生体親和性接着剤によって接着することと
を含む、請求項1に記載のシステム。
The electrical contact portion is electrically connected to the electronic circuit through a conductive adhesive;
Joining the first wafer and the housing
A seal ring contained within the housing;
The system of claim 1, comprising gluing a peripheral edge of the housing and a surface of the first wafer with a biocompatible adhesive.
前記電気コンタクト部分は導電材料から作られ、
前記導電材料の電気コンタクト部分は、導電材料を通して前記電子回路に電気的に接続され、
前記第1ウェハと前記ハウジングとの接合は、
前記ハウジング及び前記バッテリの少なくとも一方を生体親和性接着剤によって前記第1ウェハの表面に接着することと、
前記導電材料のコーティングを、溶接プロセスを使用して前記バッテリの導電材料の電気コンタクトに接合することと
を含む、請求項1に記載のシステム。
The electrical contact portion is made of a conductive material;
An electrical contact portion of the conductive material is electrically connected to the electronic circuit through the conductive material;
Joining the first wafer and the housing
Bonding at least one of the housing and the battery to the surface of the first wafer with a biocompatible adhesive;
The system of claim 1, comprising bonding the conductive material coating to electrical contacts of the battery conductive material using a welding process.
前記電気コンタクト部分は、はんだを通して前記電子回路に電気的に接続され、
前記第1ウェハと前記ハウジングとの接合は、
前記第1ウェハの表面にある溝であって、エッチングされた前記溝内に前記バッテリ又はハウジングの少なくとも一方の部分が位置決めされる溝と、
前記ハウジングの周縁及び前記第1ウェハの表面を生体親和性接着剤によって接着することと
を含む、請求項1に記載のシステム。
The electrical contact portion is electrically connected to the electronic circuit through solder;
Joining the first wafer and the housing
A groove in a surface of the first wafer, wherein at least one portion of the battery or housing is positioned in the etched groove;
The system of claim 1, comprising gluing a peripheral edge of the housing and a surface of the first wafer with a biocompatible adhesive.
前記ハウジングはガラスからなり、
前記電気コンタクト部分は、はんだを通して前記電子回路に電気的に接続され、
前記第1ウェハと前記ハウジングとの接合は、前記ガラスのハウジングを、レーザ溶融プロセスを使用して前記第1ウェハの表面に接着することを含む、請求項1に記載のシステム。
The housing is made of glass;
The electrical contact portion is electrically connected to the electronic circuit through solder;
The system of claim 1, wherein bonding the first wafer to the housing comprises bonding the glass housing to a surface of the first wafer using a laser melting process.
前記ハウジングはウェハ親和性ガラスコーティングによって被覆され、
前記ガラスコーティングは10マイクロメートルを超える厚さを有し、
前記第1ウェハと前記ハウジングとの接合は、前記ガラスコーティングのハウジングを、レーザ溶融プロセスを使用して前記第1ウェハの表面に接着することを含む、請求項1に記載のシステム。
The housing is coated with a wafer compatible glass coating;
The glass coating has a thickness greater than 10 micrometers;
The system of claim 1, wherein bonding the first wafer to the housing comprises bonding the glass coated housing to a surface of the first wafer using a laser melting process.
前記電気コンタクト部分は前記電子回路に直接接続され、
前記第1ウェハと前記ハウジングとの接合は、
前記第1ウェハ内のギャップであって前記ハウジングの周縁が前記ギャップ内に嵌入されるギャップと、
前記ハウジングの周縁及び前記第1ウェハの表面を生体親和性接着剤によって接着することと
を含む、請求項1に記載のシステム。
The electrical contact portion is directly connected to the electronic circuit;
Joining the first wafer and the housing
A gap in the first wafer in which a peripheral edge of the housing is fitted into the gap;
The system of claim 1, comprising gluing a peripheral edge of the housing and a surface of the first wafer with a biocompatible adhesive.
前記電気コンタクト部分は前記電子回路に直接接続され、
前記第1ウェハと前記ハウジングとの接合は、
第1ウェハ内のギャップであって前記バッテリのバッテリ蓋及び突起の一方の周縁が前記ギャップ内に嵌入されるギャップと、
前記ハウジングの周縁及び前記第1ウェハの表面を生体親和性接着剤によって接着することと
を含む、請求項1に記載のシステム。
The electrical contact portion is directly connected to the electronic circuit;
Joining the first wafer and the housing
A gap in the first wafer, in which one peripheral edge of the battery lid and the protrusion of the battery is inserted into the gap;
The system of claim 1, comprising gluing a peripheral edge of the housing and a surface of the first wafer with a biocompatible adhesive.
前記電気コンタクト部分は、前記第1ウェハを通して電気的接続を供給することによって前記電子回路に電気的に接続され、
前記第1ウェハと前記ハウジングとの接合は、
前記第1ウェハの表面内にあるキャビティであって前記キャビティ内にバッテリ蓋が凹むキャビティと、
前記ハウジングの周縁及び前記第1ウェハの表面を生体親和性接着剤によって接着することと、
前記バッテリに関連づけられる電気コンタクト及び前記バッテリの陽極を、溶接プロセスを使用して前記第1ウェハに接着することと
を含む、請求項1に記載のシステム。
The electrical contact portion is electrically connected to the electronic circuit by providing an electrical connection through the first wafer;
Joining the first wafer and the housing
A cavity in the surface of the first wafer with a battery lid recessed in the cavity;
Bonding the periphery of the housing and the surface of the first wafer with a biocompatible adhesive;
The system of claim 1, comprising: bonding an electrical contact associated with the battery and an anode of the battery to the first wafer using a welding process.
前記電気コンタクト部分は、リベットを通して前記電子回路に電気的に接続され、
前記第1ウェハと前記ハウジングとの接合は、
電気的接続として使用される前記リベットと、
前記ハウジングの周縁及び前記第1ウェハの表面を生体親和性接着剤によって接着することと
を含む、請求項1に記載のシステム。
The electrical contact portion is electrically connected to the electronic circuit through a rivet;
Joining the first wafer and the housing
The rivet used as an electrical connection;
The system of claim 1, comprising gluing a peripheral edge of the housing and a surface of the first wafer with a biocompatible adhesive.
前記電気コンタクト部分は、コーティングされたワイヤリングを通して前記電子回路に電気的に接続され、
前記第1ウェハと前記ハウジングとの接合は、前記ハウジングの周縁及び前記第1ウェハの表面を生体親和性接着剤によって接着することを含む、請求項1に記載のシステム。
The electrical contact portion is electrically connected to the electronic circuit through a coated wiring;
The system according to claim 1, wherein the joining of the first wafer and the housing includes bonding a peripheral edge of the housing and a surface of the first wafer with a biocompatible adhesive.
前記ハウジングは金属製であり、
前記電気コンタクト部分は前記電子回路に直接接続され、
前記集積回路は前記第2ウェハと電気的に接触し、
前記第1ウェハと前記ハウジングとの接合は、
前記第1ウェハ内にあるギャップであって電気回路が前記ギャップ内に嵌入されるギャップと、
レーザ溶融プロセスを使用して前記第1ウェハを前記第2ウェハに接着する前に、金属製の前記ハウジングの周縁及び前記第1ウェハの表面を、陽極接合プロセス及び高温接合プロセスの一方を使用して接着することと
を含む、請求項1に記載のシステム。
The housing is made of metal;
The electrical contact portion is directly connected to the electronic circuit;
The integrated circuit is in electrical contact with the second wafer;
Joining the first wafer and the housing
A gap in the first wafer in which an electrical circuit is inserted into the gap;
Prior to bonding the first wafer to the second wafer using a laser melting process, the peripheral edge of the housing made of metal and the surface of the first wafer are used in one of an anodic bonding process and a high temperature bonding process. The system of claim 1, comprising: gluing together.
前記ハウジングの部分が金膜によってコーティングされ、
前記第1ウェハと前記ハウジングとの接合は、
金を含む前記第1ウェハの表面にあるキャビティであって、前記ハウジングの金によってコーティングされた部分が冷間溶接プロセスを使用して前記キャビティに接着されるキャビティと、
前記バッテリの電気コンタクトを接着剤によって前記第1ウェハに接着することと
を含む、請求項1に記載のシステム。
A portion of the housing is coated with a gold film;
Joining the first wafer and the housing
A cavity in the surface of the first wafer containing gold, wherein a portion of the housing coated with gold is bonded to the cavity using a cold welding process;
The system of claim 1, comprising: bonding an electrical contact of the battery to the first wafer with an adhesive.
前記第1ウェハはガラスである、請求項1に記載のシステム。   The system of claim 1, wherein the first wafer is glass. 前記導電材料は金である、請求項9に記載のシステム。   The system of claim 9, wherein the conductive material is gold. 前記電気コンタクト部分は導電材料から作られ、
前記導電材料の電気コンタクト部分は、導電材料コーティングを通して前記電子回路に電気的に接続され、
前記第1ウェハと前記ハウジングとの接合は、
前記ハウジング及びバッテリの少なくとも一方を前記第1ウェハの表面に生体親和性接着剤によって接着することと、
前記導電材料コーティングを、熱圧接合を使用して前記バッテリの導電材料の電気コンタクトに接合することと
を含む、請求項1に記載のシステム。
The electrical contact portion is made of a conductive material;
An electrical contact portion of the conductive material is electrically connected to the electronic circuit through a conductive material coating;
Joining the first wafer and the housing
Bonding at least one of the housing and the battery to the surface of the first wafer with a biocompatible adhesive;
The system of claim 1, comprising bonding the conductive material coating to electrical contacts of the battery conductive material using hot-pressure bonding.
前記電気コンタクト部分は、はんだを通して前記電子回路に電気的に接続され、
前記第1ウェハと前記ハウジングとの接合は、
前記第1ウェハの表面にある溝であって、エッチングされた前記溝内に前記バッテリ又はハウジングの少なくとも一方の部分が位置決めされる溝と、
前記ハウジングの周縁及び前記第1ウェハの表面を溶接によって前記第1ウェハの表面に接着することと
を含む、請求項1に記載のシステム。
The electrical contact portion is electrically connected to the electronic circuit through solder;
Joining the first wafer and the housing
A groove in a surface of the first wafer, wherein at least one portion of the battery or housing is positioned in the etched groove;
The system of claim 1, comprising: bonding a peripheral edge of the housing and a surface of the first wafer to a surface of the first wafer by welding.
前記レーザ溶融プロセスは、前記第1ウェハと前記ハウジングとの間に堆積される、例えばクロム又はチタンのような、光吸収層によって増強される、請求項11に記載のシステム。   The system of claim 11, wherein the laser melting process is enhanced by a light absorbing layer, such as chromium or titanium, deposited between the first wafer and the housing. 前記レーザ溶融プロセスは、前記第1ウェハと前記ハウジングとの間に堆積される、例えばクロム又はチタンのような、光吸収層によって増強される、請求項12に記載のシステム。   13. The system of claim 12, wherein the laser melting process is enhanced by a light absorbing layer, such as chromium or titanium, deposited between the first wafer and the housing. 前記電子回路は、前記第1ウェハ内に形成される少なくとも一つの砂時計形状フィードスルーチャネルを通して前記バッテリの電気コンタクト部分に電気的に接続され、
前記砂時計形状フィードスルーチャネルは導電材料を含む、請求項1に記載のシステム。
The electronic circuit is electrically connected to an electrical contact portion of the battery through at least one hourglass-shaped feedthrough channel formed in the first wafer;
The system of claim 1, wherein the hourglass-shaped feedthrough channel comprises a conductive material.
生体親和性シールを与えて流体が入り及びバッテリ流体が出ることを防止するように移植可能眼科デバイスのコンポーネントを電気的かつ機械的に接続するシステムであって、
電気コンタクト部分を含む表面を有する少なくとも一つのバッテリと、
前記少なくとも一つのバッテリが挿入される第1キャビティを有する第1ウェハと、
レーザ溶融プロセスを使用して前記第1ウェハに接合される第2ウェハであって前記第1ウェハ及び前記第2ウェハが前記バッテリまわりにシール表面を形成する第2ウェハと、
前記バッテリの電気コンタクト部分に直接接続される電子回路であって前記第2ウェハのキャビティ内に挿入される電子回路と
を含むシステム。
A system for electrically and mechanically connecting components of an implantable ophthalmic device to provide a biocompatible seal to prevent fluid from entering and preventing battery fluid from exiting, comprising:
At least one battery having a surface including an electrical contact portion;
A first wafer having a first cavity into which the at least one battery is inserted;
A second wafer bonded to the first wafer using a laser melting process, the first wafer and the second wafer forming a sealing surface around the battery;
An electronic circuit connected directly to an electrical contact portion of the battery and inserted into a cavity of the second wafer.
生体親和性シールを与えて流体が入り及びバッテリ流体が出ることを防止するように移植可能眼科デバイスのコンポーネントを電気的かつ機械的に接続するシステムであって、
電気コンタクト部分を含む表面を有する少なくとも一つのバッテリと、
前記少なくとも一つのバッテリが挿入される第1キャビティを有する第1ウェハと、
レーザ溶融プロセスを使用して前記第1ウェハに接合される第2ウェハであって前記第1ウェハ及び前記第2ウェハが前記バッテリまわりにシール表面を形成する第2ウェハと、
前記バッテリの電気コンタクト部分に直接接続される電子回路であって前記電子回路は第3ウェハにあるギャップ及び前記第2キャビティの少なくとも一方の中に挿入される電気回路と、
前記第1ウェハの第2キャビティ及び前記第2ウェハのキャビティの少なくとも一方の中に挿入される誘導コイルであって前記第3ウェハの表面上に配置される誘導コイルと
を含むシステム。
A system for electrically and mechanically connecting components of an implantable ophthalmic device to provide a biocompatible seal to prevent fluid from entering and preventing battery fluid from exiting, comprising:
At least one battery having a surface including an electrical contact portion;
A first wafer having a first cavity into which the at least one battery is inserted;
A second wafer bonded to the first wafer using a laser melting process, the first wafer and the second wafer forming a sealing surface around the battery;
An electronic circuit directly connected to an electrical contact portion of the battery, the electronic circuit being inserted into at least one of a gap in the third wafer and the second cavity;
An induction coil that is inserted into at least one of the second cavity of the first wafer and the cavity of the second wafer and is disposed on a surface of the third wafer.
生体親和性シールを与えて流体が入り及びバッテリ流体が出ることを防止するように移植可能眼科デバイスを製造する方法であって、
電気コンタクト部分を含む表面を有する少なくとも一つのバッテリをハウジングの中に配置することと、
前記ハウジングを第1ウェハに接合することであって前記ハウジング及び前記第1ウェハは前記バッテリまわりにシール表面を形成することと、
前記第1ウェハを所定位置に配置することであって電子回路が前記バッテリの電気コンタクト部分に電気的に接続されることと
を含む方法。
A method of manufacturing an implantable ophthalmic device to provide a biocompatible seal to prevent fluid entry and battery fluid exit.
Placing at least one battery in the housing having a surface including an electrical contact portion;
Bonding the housing to a first wafer, the housing and the first wafer forming a sealing surface around the battery;
Placing the first wafer in place, wherein an electronic circuit is electrically connected to an electrical contact portion of the battery.
前記バッテリまわりのシール表面は密封シール表面である、請求項29に記載の方法。   30. The method of claim 29, wherein the sealing surface around the battery is a hermetic sealing surface. 生体親和性シールを与えて流体が入り及びバッテリ流体が出ることを防止するように移植可能眼科デバイスを製造する方法であって、
電気コンタクト部分を含む表面を有するバッテリを第1ウェハの第1キャビティ内に挿入することと、
レーザ溶融接合プロセスを使用して前記第1ウェハに第2ウェハを接合することであって前記第1ウェハ及び前記第2ウェハが前記バッテリまわりにシール表面を形成することと、
前記バッテリの電気コンタクト部分に電子回路を直接接続することと、
前記電子回路を前記第2ウェハのキャビティ内に挿入することと
を含む方法。
A method of manufacturing an implantable ophthalmic device to provide a biocompatible seal to prevent fluid entry and battery fluid exit.
Inserting a battery having a surface including an electrical contact portion into the first cavity of the first wafer;
Bonding a second wafer to the first wafer using a laser melt bonding process, wherein the first wafer and the second wafer form a sealing surface around the battery;
Directly connecting an electronic circuit to the electrical contact portion of the battery;
Inserting the electronic circuit into a cavity of the second wafer.
生体親和性シールを与えて流体が入り及びバッテリ流体が出ることを防止するように移植可能眼科デバイスを製造する方法であって、
電気コンタクト部分を含む表面を有するバッテリを第1ウェハの第1キャビティ内に挿入することと、
レーザ溶融接合プロセスを使用して前記第1ウェハに第2ウェハを接合することであって前記第1ウェハ及び前記第2ウェハが前記バッテリまわりにシール表面を形成することと、
前記バッテリの電気コンタクト部分に電子回路を直接接続することと、
前記電子回路を第3ウェハにあるギャップ内に挿入することと、
前記第1ウェハの第2キャビティ及び前記第2ウェハのキャビティの少なくとも一方の中に誘導コイルを挿入することであって前記誘導コイルは前記第3ウェハの表面上に配置されることと
を含む方法。
A method of manufacturing an implantable ophthalmic device to provide a biocompatible seal to prevent fluid entry and battery fluid exit.
Inserting a battery having a surface including an electrical contact portion into the first cavity of the first wafer;
Bonding a second wafer to the first wafer using a laser melt bonding process, wherein the first wafer and the second wafer form a sealing surface around the battery;
Directly connecting an electronic circuit to the electrical contact portion of the battery;
Inserting the electronic circuit into a gap in a third wafer;
Inserting an induction coil into at least one of the second cavity of the first wafer and the cavity of the second wafer, the induction coil being disposed on a surface of the third wafer. .
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