[go: up one dir, main page]

JP2013231460A - 流体制御装置 - Google Patents

流体制御装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2013231460A
JP2013231460A JP2012102968A JP2012102968A JP2013231460A JP 2013231460 A JP2013231460 A JP 2013231460A JP 2012102968 A JP2012102968 A JP 2012102968A JP 2012102968 A JP2012102968 A JP 2012102968A JP 2013231460 A JP2013231460 A JP 2013231460A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
passage
row
fluid control
rows
block
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012102968A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6012247B2 (ja
Inventor
Toshiyuki Inada
敏之 稲田
Mutsunori Kogai
睦典 小艾
Takahiro Matsuda
隆博 松田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujikin Inc
Original Assignee
Fujikin Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujikin Inc filed Critical Fujikin Inc
Priority to JP2012102968A priority Critical patent/JP6012247B2/ja
Priority to US14/395,850 priority patent/US9850920B2/en
Priority to CN201380021762.3A priority patent/CN104704283B/zh
Priority to KR1020147030997A priority patent/KR101710769B1/ko
Priority to PCT/JP2013/061369 priority patent/WO2013161640A1/ja
Priority to TW102114749A priority patent/TWI577917B/zh
Publication of JP2013231460A publication Critical patent/JP2013231460A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6012247B2 publication Critical patent/JP6012247B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0807—Manifolds
    • F15B13/0817—Multiblock manifolds
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0807—Manifolds
    • F15B13/0814—Monoblock manifolds
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0871—Channels for fluid
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0878—Assembly of modular units
    • F15B13/0896—Assembly of modular units using different types or sizes of valves
    • H10P72/0402—
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8593—Systems
    • Y10T137/877—With flow control means for branched passages
    • Y10T137/87885—Sectional block structure

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Valve Housings (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Pipeline Systems (AREA)

Abstract

【課題】 部品数を削減し、列の数を増減する等の変更を容易に行うことができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】 下段層の通路ブロックとして、複数の列にわたって配置された複列用（３列用）通路ブロック21を有している。複列用通路ブロック21は、３列にわたって、流量制御器16の入口側張出部16bおよびこれに直列状に配置された２つの入口側開閉弁14,15を支持している。複列用通路ブロック21内には、直列に並ぶ流体制御機器の通路同士を連通するための縦方向通路と、隣り合う列の流体制御機器同士を連通するための横方向通路とが設けられている。
【選択図】 図１

Description

この発明は、流体制御装置に関し、特に、複数の流体制御機器および複数の通路ブロックによって形成された流体制御装置に関する。
半導体製造装置で使用される流体制御装置においては、複数の流体制御機器が隣り合うように配置されて支持部材に取り付けられたラインをベース部材上に並列状に設置することにより、パイプや継手を介さずに流体制御装置を構成する集積化が進んでいる。特許文献１には、このような流体制御装置として、複数の流体制御機器が直列状に配置された１つの列が複数並列状に配置されることにより形成された上段層と、上段層の複数の流体制御機器を接続するための複数の通路ブロックを有している下段層とを備えたものが開示されている。
図１２に、この発明の流体制御装置が対象とする従来の流体制御装置を示す。図１２は、複数列並列状に配置される上段層および下段層の１列分を示している。
従来の流体制御装置は、上段に配置された複数の流体制御機器として、左側（入口側）から、入口側第３開閉弁(91)、プレッシャーレギュレータ(92)、フィルタ(93)、入口側第１開閉弁(94)、入口側第２開閉弁(95)、マスフローコントローラ(96)および出口側第１開閉弁(97)が使用されている。入口側第３開閉弁(91)には、プロセスガス供給用の配管(103)が接続されている。
マスフローコントローラ(96)は、マスフローコントローラ本体(96a)と、マスフローコントローラ本体(96a)の両側面に設けられた入口側および出口側の張出部(96b)(96c)とからなる。
各流体制御機器(91)(92)(93)(94)(95)(96)(97)は、下方に開口する通路を有しており、この通路が下段に配された種々形状の複数のブロック継手（または通路ブロック）によって接続される。従来の流体制御装置は、複数のブロック継手（通路ブロック）として、Ｖ字状通路(99a)を有し隣り合う流体制御機器(91)(92)(93)(94)(95)(96b)(96c)(97)を接続する６つのブロック継手(99)と、Ｖ字状通路(99a)を有する２つのブロック継手(99)の間に配されて入口側第２開閉弁(95)を支持するブロック継手(100)と、出口側第１開閉弁(97)の出口側端部を支持している管継手(101a)付きのブロック継手(101)とを備えている。
２つのブロック継手(99)の間に配されて入口側第２開閉弁(95)を支持するブロック継手(100)および出口側第１開閉弁(97)の出口側端部を支持しているブロック継手(101)は、複数のラインの全てにわたって設けられているもの(「マニホールドブロック継手」と称されることがある）で、これ以外のブロック継手(99)は、各ラインごとに、別の部品が使用されている。マニホールドブロック継手(100)は、通常、パージガスラインとして使用され、マニホールドブロック継手(101)は、プロセスガスラインおよび、パージガスラインとして使用される。
特開２００２−３４９７９７号公報
上記従来の流体制御装置によると、Ｖ字状通路(99a)を有するブロック継手(99)は、隣り合う流体制御機器(91)(92)(93)(94)(95)(96b)(96c)(97)を接続することから、数が多くなるという問題があった。また、複数のラインの全てにわたって設けられているマニホールドブロック継手(100)(101)は、列の数によって、その大きさが設定されており、列の数が増減する際には、マニホールドブロック継手(100)(101)を変更することが必要という問題があった。また、下段層のブロック継手(99)と上段層の流体制御機器(91)(92)(93)(94)(95)(96b)(96c)(97)との接続は、シール部を介して行う必要があり、シール部が多くなるという問題もあった。そのため、従来の流体制御装置では、部品数が多くなり、また、列の数を増減する等の変更を行うのに多くの手間がかかるという問題があった。
この発明の目的は、部品数を削減し、列の数を増減する等の変更を容易に行うことができる流体制御装置を提供することにある。
この発明による流体制御装置は、複数配置される流体制御機器からなる上段層と、上段層の複数の流体制御機器を接続するための複数の通路ブロックを有する下段層からなり、上段層と下段層で構成される列が並列状に複数配置される流体制御装置において、下段層の通路ブロックとして、複数の列にわたって配置された少なくとも１つの複列用通路ブロックを有しており、複列用通路ブロックは、上段層の全ての列のうちの一部の少なくとも２つの列にわたって少なくとも２つの流体制御機器を支持しており、複列用通路ブロック内には、直列状に並ぶ流体制御機器の通路同士を連通するための縦方向通路と、隣り合う列の流体制御機器の通路同士を連通するための横方向通路とが設けられていることを特徴とするものである。
上段層の１つの列は、例えば、メインの構成要素となる流量制御器と、流量制御器の入口側に配置された２つの開閉弁と、流量制御器の出口側に配置された１つの開閉弁とからなるものとされる。上段層には、必要に応じて、フィルタ、プレッシャーレギュレータなどが追加される。流量制御器としては、マスフローコントローラのような熱式質量流量制御器やＦＣＳと称されている圧力式流量制御器などが使用される。
複数列用通路ブロックは、例えば、２列用、３列用、４列用、５列用などとされ、これらのうちの１種類とされてもよく、２種類以上が使用されてもよい。
複数列用通路ブロックを使用することで、下段層に必要な通路ブロックの数（部品数）を削減することができる。
「上段層の全ての列のうちの一部の少なくとも２つの列にわたって」は、例えば、上段層が６列の場合、６列用の複数列用通路ブロックを使用するのではなく、２列用を３つ、３列用を２つ、または、２列用と４列用とを１つずつ使用することを意味している。
従来、複数列にわたって使用される通路ブロック（すなわちマニホールドブロック継手）は、全ての列にわたって配置されるものであるので、列の数によって、その大きさが設定されている。したがって、例えば、列の数が増減する際（例えば６列から８列に変更される際）には、マニホールドブロック継手を変更することが必要であった。この発明による流体制御装置では、上記の例では、既存の６列分（２列用３つ、３列用２つ、または、２列用と４列用１つずつ）は、そのままにして、２列用の複列用通路ブロックを使用して、新たな２列を形成することができる。したがって、変更の手間が低減する。
また、複数列用通路ブロックの使用により、隣り合う列間の接続を複数列用通路ブロック内で行うことができるので、シール部の数を減らすことができる。
下段層の通路ブロックとして、複列用通路ブロックが支持している少なくとも２つの上段部材を１列分だけ支持する単列用通路ブロックをさらに有しており、少なくとも１つの複数列用通路ブロックおよび少なくとも１つの単列用通路ブロックが併用されていることが好ましい。
併用することで、種々の組合せが可能になり、列の数や配置などの要求仕様に容易に対応することができる。また、列の数を１つだけ増加する場合に対応するには、複数列用通路ブロックの組合せによっても対応は可能であるが、この場合には、既存の分を一部取り外すことが必要になることがあり、１つの単列用通路ブロックを使用することで、既存の分をそのまま残しての対応が可能になる。
また、隣り合う列の通路ブロックの上面に開口する通路同士が逆Ｕ字状配管によって接続されていることが好ましい。
逆Ｕ字状配管を使用することで、複列用通路ブロックおよび単列用通路ブロックを併用しての列数の設定が容易になり、また、列数の増減も容易に行うことができる。
上段層の流体制御機器として、流量制御器本体の入口側および出口側に張出部が設けられた流量を制御するための流量制御器を有しており、複列用通路ブロックが２種類使用されて、第１の複列用通路ブロックが支持している少なくとも２つの流体制御機器は、流量制御器の入口側張出部およびこれに直列状に配置された２つの入口側開閉弁であり、第２の複列用通路ブロックが支持している少なくとも２つの流体制御機器は、流量制御器の出口側張出部およびこれに直列状に配置された１つの出口側開閉弁であることが好ましい。
流体制御装置において、流量制御器とその出入口に設けられる開閉弁は、基本の構成となっており、複数列用通路ブロックを使用して、この部分の部品数を低減することで、流体制御装置全体における部品数の大幅低減が可能となる。
下段層の通路ブロックとして、従来、直列接続を行うために、Ｖ字状通路を有する通路ブロックが使用されており、このようなＶ字状通路を有する通路ブロックが使用されてもよく、使用されなくてもよい。
なお、この明細書において、上下は図１の上下をいうものとするが、この上下は便宜的なもので、この発明の流体制御装置は、水平および垂直のいずれでの使用も可能である。
この発明の流体制御装置によると、上段層の全ての列のうちの一部の少なくとも２つの列にわたって少なくとも２つの流体制御機器を支持する複列用通路ブロックが使用されることにより、部品数の削減が可能となる。また、複列用通路ブロック内に、隣り合う列の流体制御機器の通路同士を連通するための横方向通路が設けられていることで、隣り合う列間の接続を複数列用通路ブロック内で行うことができ、シール部の数を減らすことができる。また、全ての列にわたって配置される従来の通路ブロックを使用するものに比べて、列の増減の際の変更の手間を低減することができる。
図１は、この発明による流体制御装置の１実施形態を示す側面図である。 図２は、この発明による流体制御装置の他の実施形態を示す側面図である。 図３は、この発明による流体制御装置で使用されている第１の複列用通路ブロックの１実施形態を入口側開閉弁とともに示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。 図４は、図３から入口側開閉弁を取り除いた第１の複列用通路ブロックを示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。 図５は、この発明による流体制御装置で使用されている第２の複列用通路ブロックの１実施形態を出口側開閉弁とともに示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。 図６は、図５から出口側開閉弁を取り除いた第２の複列用通路ブロックを示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。 図７は、この発明による流体制御装置で使用されている第１の単列用通路ブロックの１実施形態を入口側開閉弁とともに示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。 図８は、図７から入口側開閉弁を取り除いた第１の単列用通路ブロックを示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。 図９は、この発明による流体制御装置で使用されている第２の単列用通路ブロックの１実施形態を出口側開閉弁とともに示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。 図１０は、図９から出口側開閉弁を取り除いた第２の単列用通路ブロックを示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。 図１１は、並列状に隣り合う通路ブロック同士を接続する構成の一例を示す斜視図である。 図１２は、従来の流体制御装置を示す側面図である。
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
図１は、この発明の流体制御装置の第１実施形態を示している。流体制御装置は、半導体製造装置等において用いられるもので、複数の流体制御機器が直列状に配置された１つの列が複数並列状に配置されることにより形成された上段層と、上段層の複数の流体制御機器を接続するための複数の通路ブロックを有している下段層とを備えている。図１には、流体制御装置の１つの列が示されている。
流体制御装置の１つの列(1)は、上段に配置された複数の流体制御機器として、左側（入口側）から順に、入口側第３開閉弁(11)、プレッシャーレギュレータ(12)、フィルタ(13)、入口側第１開閉弁(14)、入口側第２開閉弁(15)、マスフローコントローラ(16)および出口側開閉弁(17)が使用されている。入口側第３開閉弁(11)には、プロセスガス供給用の配管(23)が接続されている。
マスフローコントローラ(16)は、マスフローコントローラ本体(16a)と、マスフローコントローラ本体(16a)の両側面に設けられた入口側張出部(16b)および出口側張出部(16c)とからなる。入口側張出部(16b)にマスフローコントローラ(16)の入口が、出口側張出部(16c)にマスフローコントローラ(16)の出口がそれぞれ設けられている。
各流体制御機器(11)(12)(13)(14)(15)(16)(17)は、下方に開口する通路を有しており、この通路が下段に配された種々形状の通路ブロックによって接続されている。上記流体制御装置は、下段に配置されて上段層の流体制御機器(11)(12)(13)(14)(15)(16b)(16c)(17)を支持する複数の通路ブロックとして、Ｖ字状通路(20a)を有し隣り合う流体制御機器（入口側第３開閉弁(11)、プレッシャーレギュレータ(12)およびフィルタ(13)を接続する２つのブロック継手（通路ブロック）(20)と、フィルタ(13)の出口側端部、入口側第１開閉弁(14)、入口側第２開閉弁(15)およびマスフローコントローラ(16)の入口側張出部(16b)に対応する下段部材とされている第１の複数列用通路ブロック(21)と、マスフローコントローラ(16)の出口側張出部(16c)および出口側開閉弁(17)に対応する下段部材とされている第２の複数列用通路ブロック(22)とを備えている。
Ｖ字状通路(20a)を有するブロック継手(20)と入口側第３開閉弁(11)、プレッシャーレギュレータ(12)およびフィルタ(13)とは、上方からのボルト(30)によって結合されている。また、マスフローコントローラ(16)の入口側張出部(16b)および出口側張出部(16c)と第１の複数列用通路ブロック(21)および第２の複数列用通路ブロック(22)とは、上方からのボルト(30)によって結合されている。入口側第１開閉弁(14)および入口側第２開閉弁(15)と第１の複数列用通路ブロック(21)とは、ボルトを使用せずにねじ込んで一体化するブロックバルブタイプとされている。また、出口側開閉弁(17)と第２の複数列用通路ブロック(22)とは、ボルトを使用せずにねじ込んで一体化するブロックバルブタイプとされている。
第１の複数列用通路ブロック(21)および第２の複数列用通路ブロック(22)が、後述するように、上記流体制御装置の特徴部分となっている。
図２は、この発明の流体制御装置の第２実施形態を示している。第２実施形態の流体制御装置では、第１実施形態に対し、流量制御器であるマスフローコントローラ（熱量式流量制御器）がＦＣＳ（圧力式流量制御器）に変更されている。
この実施形態の流体制御装置の１つの列(2)では、上段に配置された複数の流体制御機器として、左側（入口側）から順に、入口側第１開閉弁(14)、入口側第２開閉弁(15)、ＦＣＳ(18)および出口側開閉弁(17)が使用されている。
ＦＣＳ(18)は、ＦＣＳ本体(18a)と、ＦＣＳ本体(18a)の両側面に設けられた張出部(18b)(18c)とからなる。入口側張出部(18b)にＦＣＳ(18)の入口が、出口側張出部(18c)にＦＣＳ(18)の出口がそれぞれ設けられている。
この実施形態では、また、下段に配置されて上段層の流体制御機器(14)(15)(18b)(18c)(17)を支持する複数の通路ブロックとして、入口側第１開閉弁(14)、入口側第２開閉弁(15)およびＦＣＳ(18)の入口側張出部(18b)に対応する下段部材とされている第１の複数列用通路ブロック(21)と、ＦＣＳ(18)の出口側張出部(18c)および出口側開閉弁(17)に対応する第２の複数列用通路ブロック(22)とを備えている。
第１の複数列用通路ブロック(21)には、プロセスガス供給用の配管(24)が接続されている。
第２実施形態における第１の複数列用通路ブロック(21)および第２の複数列用通路ブロック(22)は、第１実施形態のものと同じ構成であり、これらが第２実施形態においても、流体制御装置の特徴部分となっている。
第１の複数列用通路ブロック(21)の詳細な構成を図３および図４に示す。
図３は、入口側第１開閉弁(14)および入口側第２開閉弁(15)が取り付けられた状態を示し、図４は、これらが取り外された状態を示している。
第１の複列用通路ブロック(21)は、上段部材としての流量制御器(16)(18)の入口側張出部(16b)(18b)およびこれに直列状に配置された２つの入口側開閉弁(14)(15)を３つの列にわたって支持している。
第１の複列用通路ブロック(21)には、第１の列（図１および図２に示している列(1)(2)）に対応するように、第１の列の第１開閉弁(14)の入口ポート(14a)に通じる第１通路(31)と、第１通路(31)から分岐して入口端部近傍の上面に開口する第２通路(32)と、第１の列の第１開閉弁(14)の出口ポート(14b)に通じる第３通路(33)と、第３通路(33)の中間部から上方にのびて第１の列の第２開閉弁(15)の出口ポート(15b)に通じる第４通路(34)と、上面に開口し第１の列の第２開閉弁(15)の入口ポート(15a)に通じる第５通路(35)と、第３通路(33)の端部近傍から上方にのびて上面に開口している第６通路(36)とが設けられている。
第１の複列用通路ブロック(21)には、第２の列に対応するように、第２の列の第１開閉弁(14)の入口ポート(14a)に通じる第７通路(37)と、第７通路(37)から分岐して入口端部近傍の上面に開口する第８通路(38)と、第２の列の第１開閉弁(14)の出口ポート(14b)に通じる第９通路(39)と、第９通路(39)の中間部から上方にのびて第２の列の第２開閉弁(15)の出口ポート(15b)に通じる第１０通路(40)と、第５通路(35)に通じかつ第２の列の第２開閉弁(15)の入口ポート(15a)に通じる第１１通路(41)と、第９通路(39)の端部近傍から上方にのびて上面に開口している第１２通路(42)とが設けられている。
第１の複列用通路ブロック(21)には、第３の列に対応するように、第３の列の第１開閉弁(14)の入口ポート(14a)に通じる第１３通路(43)と、第１３通路(43)から分岐して入口端部近傍の上面に開口する第１４通路(44)と、第３の列の第１開閉弁(14)の出口ポート(14b)に通じる第１５通路(45)と、第１５通路(45)の中間部から上方にのびて第３の列の第２開閉弁(15)の出口ポート(15b)に通じる第１６通路(46)と、第１１通路(41)に通じかつ第３の列の第２開閉弁(15)の入口ポート(15a)に通じる第１７通路(47)と、上面に開口し第３の列の第２開閉弁(15)の入口ポート(15a)に通じる第１８通路(48)と、第１５通路(45)の端部近傍から上方にのびて上面に開口している第１９通路(49)とが設けられている。
第５通路(35)、第１１通路(41)、第１７通路(47)および第１８通路(48)は、従来のマニホールドブロック継手(100)に対応する部分で、隣り合う列の流体制御機器としての第２開閉弁(15)同士を連通するための横方向通路となっており、パージガスラインとして使用される。これらの横方向通路(35)(41)(47)(48)以外が直列に並ぶ流体制御機器の通路同士を連通するための縦方向通路を形成している。
図５および図６に示す第２の複列用通路ブロック(22)は、上段部材としての流量制御器(16)(18)の出口側張出部(16c)(18c)およびこれに直列状に配置された出口側開閉弁(17)を３つの列にわたって支持している。
第２の複列用通路ブロック(22)には、第１の列に対応するように、入口側端部近傍の上面に開口し第１の列の出口側開閉弁(17)の入口ポート(17a)に通じる第１通路(51)と、出口側端部近傍の上面に開口し第１の列の出口側開閉弁(17)の出口ポート(17b)に通じる第２通路(52)とが設けられている。
第２の複列用通路ブロック(22)には、第２の列に対応するように、入口側端部近傍の上面に開口し第２の列の出口側開閉弁(17)の入口ポート(17a)に通じる第３通路(53)と、第２通路(52)に通じかつ第２の列の出口側開閉弁(17)の出口ポート(17b)に通じる第４通路(54)とが設けられている。
第２の複列用通路ブロック(22)には、第３の列に対応するように、入口側端部近傍の上面に開口し第３の列の出口側開閉弁(17)の入口ポート(17a)に通じる第６通路(56)と、第４通路(54)に通じかつ第３の列の出口側開閉弁(17)の出口ポート(17b)に通じる第７通路(57)とが設けられている。
図１に示した実施形態と図１２に示した従来例とを比較した場合、第１の複列用通路ブロック(21)を使用している箇所に対応する従来例の箇所では、Ｖ字状通路(99a)を有するブロック継手(99)が１列に３つあるので、３列では９つとなり、これにマニホールドブロック継手(100)を加えた計１０のブロック継手(99)(100)が必要となっている。図１に示した実施形態では、これらのブロック継手(99)(100)が１つの第１の複列用通路ブロック(21)で置き換えられていることにより、部品数が大幅に削減されている。
入口側第１開閉弁(14)および入口側第２開閉弁(15)の第１の複列用通路ブロック(21)への取付けは、図３に示すように、シール部を設けずに可能であるので、従来の入口側第１開閉弁(94)および入口側第２開閉弁(95)とブロック継手(99)(100)との間に設けられているシール部をなくすことができる。
また、図１に示した実施形態と図１２に示した従来例とを比較した場合、第２の複列用通路ブロック(22)を使用している箇所に対応する従来例の箇所では、３列で３つのブロック継手(99)および１つのマニホールドブロック継手(101)が使用されている。図１に示した実施形態では、これらのブロック継手(99)(101)が１つの第２の複列用通路ブロック(22)で置き換えられており、この箇所においても、部品数が大幅に削減されている。また、出口側開閉弁(17)の第２の複列用通路ブロック(22)への取付けは、図５に示すように、シール部を設けずに可能であるので、従来の出口側開閉弁(97)とブロック継手(99)(101)との間に設けられているシール部をなくすことができる。
上記の第１の複列用通路ブロック(21)および第２の複列用通路ブロック(22)を使用することで、通路の内容積が変化する。具体的には、従来例を示す図１２において太線の破線Ｊ１およびＪ２で示している入口側および出口側１次における通路内容積に対し、図１に示す実施形態において太線の破線Ａ１およびＡ２で示している入口側および出口側１次における通路内容積がそれぞれ減少している。入口側および出口側１次の通路内容積は、ガスの置換性の向上および不純ガス放出量の減少の点から、極力小さいことが好ましく、上記複列用通路ブロック(21)(22)の使用によって、通路を最短にすることが可能であり、内容積を従来比１０〜２０％減少させることができる。
複数列の流体制御装置を構成する場合、上記３列用の第１の複列用通路ブロック(21)および第２の複列用通路ブロック(22)だけを使用したのでは、所要の列数にできない場合がある。これに対応するために、上記３列用の第１の複列用通路ブロック(21)および第２の複列用通路ブロック(22)に対応する形状とされた第１の単列用通路ブロック(25)および第２の単列用通路ブロック(26)が使用される。
第１の単列用通路ブロック(25)には、図７および図８に示すように、第１の列の第１開閉弁(14)の入口ポート(14a)に通じる第１通路(31)と、第１通路(31)から分岐して入口端部近傍の上面に開口する第２通路(32)と、第１の列の第１開閉弁(14)の出口ポート(14b)に通じる第３通路(33)と、第３通路(33)の中間部から上方にのびて第１の列の第２開閉弁(15)の出口ポート(15b)に通じる第４通路(34)と、上面に開口し第１の列の第２開閉弁(15)の入口ポート(15a)に通じる第５通路(35)と、第３通路(33)の端部近傍から上方にのびて上面に開口している第６通路(36)とが設けられている。
第２の単列用通路ブロック(26)には、図９および図１０に示すように、入口側端部近傍の上面に開口し第１の列の出口側開閉弁(17)の入口ポート(17a)に通じる第１通路(51)と、出口側端部近傍の上面に開口し第１の列の出口側開閉弁(17)の出口ポート(17b)に通じる第２通路(52)とが設けられている。
第１の複列用（３列用）通路ブロック(21)および第２の複列用（３列用）通路ブロック(22)とこれに対応する第１の単列用通路ブロック(25)および第２の単列用通路ブロック(26)とを併用することにより、例えば、３列用を５つ、単列用を１つ使用して、全部で１６列とすることができ、また、３列用を４つ、単列用を４つ使用して、全部で１６列とすることもできる。後者は、例えば、腐食性ラインが４系統ある場合に適している。
なお、上記において、第１の複列用通路ブロック(21)および第２の複列用通路ブロック(22)は、３列にわたって配置される３列用とされているが、複列用通路ブロックは、３列用に限られるものではなく、２列用通路ブロック、４列用通路ブロック、５列用通路ブロックとしてもよい。
隣り合う第１の複列用通路ブロック(21)および第１の単列用通路ブロック(25)同士の接続の例を図１１に示す。図１１において、隣り合う列の通路ブロック(21)(25)の上面に開口する通路同士が第１逆Ｕ字状配管(27)および第２逆Ｕ字状配管(28)で接続されている。接続されている開口は、図３および図４に示す第１の複列用通路ブロック(21)の第５通路(35)の開口と、図７および図８に示す第１の単列用通路ブロック(25)の第５通路(35)の開口とされている。第２逆Ｕ字状配管(28)には、これにパージガスを供給するための管継手(29)が接続されている。逆Ｕ字状配管(27)(28)および複列用通路ブロック(21)内の第５通路(35)、第１１通路(41)および第１７通路(47)によって、全ての列にパージガスの供給が可能となる。
第１逆Ｕ字状配管(27)および第２逆Ｕ字状配管(28)を使用することで、複列用通路ブロック(21)(22)および単列用通路ブロック(25)(26)を併用しての列数の設定が容易になり、列数の増減も容易に行うことができる。
(1)：流体制御装置、(16)：マスフローコントローラ（流量制御器）、(18)：ＦＣＳ（流量制御器）、(21)：第１の複数列用通路ブロック、(22)：第２の複数列用通路ブロック、(25)：第１の単列用通路ブロック、(26)：第２の単列用通路ブロック

Claims (4)

  1. 複数配置される流体制御機器からなる上段層と、上段層の複数の流体制御機器を接続するための複数の通路ブロックを有する下段層からなり、上段層と下段層で構成される列が並列状に複数配置される流体制御装置において、
    下段層の通路ブロックとして、複数の列にわたって配置された少なくとも１つの複列用通路ブロックを有しており、複列用通路ブロックは、上段層の全ての列のうちの一部の少なくとも２つの列にわたって少なくとも２つの流体制御機器を支持しており、複列用通路ブロック内には、直列状に並ぶ流体制御機器の通路同士を連通するための縦方向通路と、隣り合う列の流体制御機器の通路同士を連通するための横方向通路とが設けられていることを特徴とする流体制御装置。
  2. 下段層の通路ブロックとして、複列用通路ブロックが支持している少なくとも２つの上段部材を１列分だけ支持する単列用通路ブロックをさらに有しており、少なくとも１つの複数列用通路ブロックおよび少なくとも１つの単列用通路ブロックが併用されていることを特徴とする請求項１の流体制御装置。
  3. 隣り合う列の通路ブロックの上面に開口する通路同士が逆Ｕ字状配管によって接続されていることを特徴とする請求項１または２の流体制御装置。
  4. 上段層の流体制御機器として、流量制御器本体の入口側および出口側に張出部が設けられた流量を制御するための流量制御器を有しており、複列用通路ブロックが２種類使用されて、第１の複列用通路ブロックが支持している少なくとも２つの流体制御機器は、流量制御器の入口側張出部およびこれに直列状に配置された２つの入口側開閉弁であり、第２の複列用通路ブロックが支持している少なくとも２つの流体制御機器は、流量制御器の出口側張出部およびこれに直列状に配置された１つの出口側開閉弁であることを特徴とする請求項１から３までのいずれかに記載の流体制御装置。
JP2012102968A 2012-04-27 2012-04-27 流体制御装置 Active JP6012247B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012102968A JP6012247B2 (ja) 2012-04-27 2012-04-27 流体制御装置
US14/395,850 US9850920B2 (en) 2012-04-27 2013-04-17 Fluid control apparatus
CN201380021762.3A CN104704283B (zh) 2012-04-27 2013-04-17 流体控制装置
KR1020147030997A KR101710769B1 (ko) 2012-04-27 2013-04-17 유체 제어 장치
PCT/JP2013/061369 WO2013161640A1 (ja) 2012-04-27 2013-04-17 流体制御装置
TW102114749A TWI577917B (zh) 2012-04-27 2013-04-25 流體控制裝置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012102968A JP6012247B2 (ja) 2012-04-27 2012-04-27 流体制御装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013231460A true JP2013231460A (ja) 2013-11-14
JP6012247B2 JP6012247B2 (ja) 2016-10-25

Family

ID=49482963

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012102968A Active JP6012247B2 (ja) 2012-04-27 2012-04-27 流体制御装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US9850920B2 (ja)
JP (1) JP6012247B2 (ja)
KR (1) KR101710769B1 (ja)
CN (1) CN104704283B (ja)
TW (1) TWI577917B (ja)
WO (1) WO2013161640A1 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015098333A1 (ja) * 2013-12-27 2015-07-02 株式会社フジキン 流体制御装置
JP2016048110A (ja) * 2014-08-28 2016-04-07 株式会社フジキン マニホールドバルブおよび流体制御装置
WO2016167154A1 (ja) * 2015-04-15 2016-10-20 株式会社フジキン 遮断開放器
JPWO2023182105A1 (ja) * 2022-03-22 2023-09-28
JP2024174940A (ja) * 2019-04-15 2024-12-17 ラム リサーチ コーポレーション ガス送給用のモジュール式構成要素システム

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20140020779A1 (en) * 2009-06-10 2014-01-23 Vistadeltek, Llc Extreme flow rate and/or high temperature fluid delivery substrates
JP5576991B2 (ja) * 2011-09-30 2014-08-20 株式会社フジキン ガス供給装置
AU2015389133B2 (en) * 2015-04-01 2020-09-03 Sandvik Intellectual Property Ab Control unit for mining machine
US10895329B2 (en) * 2016-09-12 2021-01-19 Fujikin Incorporated Fluid control system, base block used for same, and method for manufacturing fluid control system
US20200284367A1 (en) * 2017-03-28 2020-09-10 Fujikin Incorporated Joint block and fluid control system using same
US11320056B2 (en) * 2017-10-31 2022-05-03 Fujikin Incorporated Valve device
MY208212A (en) 2017-12-05 2025-04-24 Siw Eng Pte Ltd Fluid control device and connector for fluid control device
WO2019112512A1 (zh) * 2017-12-05 2019-06-13 鑑鋒國際股份有限公司 流體控制裝置及用於流體控制裝置之接頭
CN112368653B (zh) 2018-05-07 2024-08-27 朗姆研究公司 可配置分布式互锁系统
JP7303560B2 (ja) * 2018-10-31 2023-07-05 株式会社フジキン 流体供給システム
CN113508287A (zh) 2019-03-29 2021-10-15 株式会社富士金 浓度测定装置
DE102019208495A1 (de) * 2019-06-12 2020-12-17 Sms Group Gmbh Hydraulische Steuereinrichtung im Walzwerksbau
JP7425462B2 (ja) * 2019-10-31 2024-01-31 株式会社フジキン 流体制御装置および半導体製造装置
CN115380181A (zh) 2020-06-05 2022-11-22 浙江联控技术有限公司 一种集成式多通电磁阀、车辆热管理系统及车辆
KR20220013736A (ko) * 2020-07-27 2022-02-04 주성엔지니어링(주) 기판처리장치용 블록밸브 및 기판처리장치
FR3116000B1 (fr) * 2020-11-10 2023-06-02 Novasep Process Assemblage de modules fluidiques
JP7687791B2 (ja) * 2021-03-15 2025-06-03 東京エレクトロン株式会社 温調ユニット及び処理装置
CN115218564B (zh) * 2021-04-16 2024-06-11 浙江三花汽车零部件有限公司 一种连接装置及一种集成组件
US20230139688A1 (en) * 2021-10-29 2023-05-04 Applied Materials, Inc. Modular multi-directional gas mixing block
US12060898B2 (en) * 2021-12-15 2024-08-13 Ford Global Technologies, Llc Unitized valve body having connection orifices
US12044307B2 (en) * 2021-12-15 2024-07-23 Ford Global Technologies, Llc Unitized valve body having connection orifices
JP2024128699A (ja) * 2023-03-10 2024-09-24 カヤバ株式会社 インレットハウジング
US20250092989A1 (en) * 2023-09-20 2025-03-20 Lincoln Industrial Corporation Lubricant distribution system with valve mount

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05172265A (ja) * 1991-05-31 1993-07-09 Motoyama Seisakusho:Kk ガス制御装置
JPH10300000A (ja) * 1997-02-28 1998-11-13 Benkan Corp 集積化ガス制御装置
JPH10311451A (ja) * 1997-05-13 1998-11-24 Ckd Corp プロセスガス供給ユニット
JP2002349797A (ja) * 2001-05-23 2002-12-04 Fujikin Inc 流体制御装置
JP2003185039A (ja) * 2001-12-12 2003-07-03 Asahi Organic Chem Ind Co Ltd マニホールドバルブ
JP2005069305A (ja) * 2003-08-22 2005-03-17 Fujikin Inc 流体制御装置
JP2006009969A (ja) * 2004-06-25 2006-01-12 Kitz Sct:Kk 集積化ガス制御装置用流路ブロックとその製造方法並びに集積化ガス制御装置
JP2007327542A (ja) * 2006-06-07 2007-12-20 Surpass Kogyo Kk 流体機器ユニット構造
JP2008082358A (ja) * 2006-09-26 2008-04-10 Ckd Corp 流体機器モジュール、及び流体機器モジュール接続構造
WO2011040268A1 (ja) * 2009-09-30 2011-04-07 株式会社堀場エステック 流量算出システム、集積型ガスパネル装置及びベースプレート

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5992463A (en) * 1996-10-30 1999-11-30 Unit Instruments, Inc. Gas panel
JP3997338B2 (ja) * 1997-02-14 2007-10-24 忠弘 大見 流体制御装置
US6152175A (en) * 1997-06-06 2000-11-28 Ckd Corporation Process gas supply unit
DE60106312T2 (de) * 2000-03-10 2005-11-17 Tokyo Electron Ltd. Fluidregelvorrichtung
JP2004183771A (ja) * 2002-12-03 2004-07-02 Fujikin Inc 流体制御装置
JP4780555B2 (ja) * 2005-09-12 2011-09-28 株式会社フジキン 流体制御装置
CA2666141A1 (en) * 2006-10-08 2008-04-17 Insight Process Solutions Flow control systems and control valves therefor
US7806143B2 (en) * 2007-06-11 2010-10-05 Lam Research Corporation Flexible manifold for integrated gas system gas panels
JP2010196792A (ja) * 2009-02-25 2010-09-09 Ihara Science Corp 流体制御装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05172265A (ja) * 1991-05-31 1993-07-09 Motoyama Seisakusho:Kk ガス制御装置
JPH10300000A (ja) * 1997-02-28 1998-11-13 Benkan Corp 集積化ガス制御装置
JPH10311451A (ja) * 1997-05-13 1998-11-24 Ckd Corp プロセスガス供給ユニット
JP2002349797A (ja) * 2001-05-23 2002-12-04 Fujikin Inc 流体制御装置
JP2003185039A (ja) * 2001-12-12 2003-07-03 Asahi Organic Chem Ind Co Ltd マニホールドバルブ
JP2005069305A (ja) * 2003-08-22 2005-03-17 Fujikin Inc 流体制御装置
JP2006009969A (ja) * 2004-06-25 2006-01-12 Kitz Sct:Kk 集積化ガス制御装置用流路ブロックとその製造方法並びに集積化ガス制御装置
JP2007327542A (ja) * 2006-06-07 2007-12-20 Surpass Kogyo Kk 流体機器ユニット構造
JP2008082358A (ja) * 2006-09-26 2008-04-10 Ckd Corp 流体機器モジュール、及び流体機器モジュール接続構造
WO2011040268A1 (ja) * 2009-09-30 2011-04-07 株式会社堀場エステック 流量算出システム、集積型ガスパネル装置及びベースプレート

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105431661B (zh) * 2013-12-27 2017-07-28 株式会社富士金 流体控制装置
JP2015124851A (ja) * 2013-12-27 2015-07-06 株式会社フジキン 流体制御装置
CN105431661A (zh) * 2013-12-27 2016-03-23 株式会社富士金 流体控制装置
WO2015098333A1 (ja) * 2013-12-27 2015-07-02 株式会社フジキン 流体制御装置
US9719599B2 (en) 2013-12-27 2017-08-01 Fujikin Incorporated Fluid control device
JP2016048110A (ja) * 2014-08-28 2016-04-07 株式会社フジキン マニホールドバルブおよび流体制御装置
JP2016205409A (ja) * 2015-04-15 2016-12-08 株式会社フジキン 遮断開放器
WO2016167154A1 (ja) * 2015-04-15 2016-10-20 株式会社フジキン 遮断開放器
CN107532741A (zh) * 2015-04-15 2018-01-02 株式会社富士金 通断器
CN107532741B (zh) * 2015-04-15 2019-05-17 株式会社富士金 通断器
US10753497B2 (en) 2015-04-15 2020-08-25 Fujikin Incorporated Shutoff-opening device
JP2024174940A (ja) * 2019-04-15 2024-12-17 ラム リサーチ コーポレーション ガス送給用のモジュール式構成要素システム
JPWO2023182105A1 (ja) * 2022-03-22 2023-09-28
WO2023182105A1 (ja) * 2022-03-22 2023-09-28 株式会社フジキン 流量制御装置の排気構造、排気方法及びそれを備えたガス供給システム及びガス供給方法
KR20240137654A (ko) 2022-03-22 2024-09-20 가부시키가이샤 후지킨 유량 제어 장치의 배기 구조, 배기 방법 및 그것을 구비한 가스 공급 시스템 및 가스 공급 방법

Also Published As

Publication number Publication date
TWI577917B (zh) 2017-04-11
CN104704283B (zh) 2018-04-27
CN104704283A (zh) 2015-06-10
KR20150000498A (ko) 2015-01-02
TW201407077A (zh) 2014-02-16
US9850920B2 (en) 2017-12-26
US20150075660A1 (en) 2015-03-19
JP6012247B2 (ja) 2016-10-25
KR101710769B1 (ko) 2017-02-27
WO2013161640A1 (ja) 2013-10-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6012247B2 (ja) 流体制御装置
TWI610039B (zh) 沖洗線路變更用塊接頭及流體控制裝置
JP6147113B2 (ja) 流体制御装置用継手および流体制御装置
TWI564502B (zh) Integrated gas supply device
TW524945B (en) A fluid control device
TWI387696B (zh) 流體控制裝置及其組立方法
JP7061808B2 (ja) 継手および流体制御装置
JP4314425B2 (ja) 流体制御装置
JP4288629B2 (ja) 集積形流体制御装置
JP2001254900A5 (ja)
US20090114295A1 (en) Gas-panel assembly
JP6630496B2 (ja) マニホールドブロックおよび流体制御装置
JP6518501B2 (ja) 流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置
JP2008159905A (ja) ガス集積ユニット
CN112912652A (zh) 流体供给系统
CN106440564B (zh) 集成块式管路装置及节流装置
JP2018084255A (ja) 流体制御装置
JP2014152874A (ja) プロセスガス分流供給装置
JP3858155B2 (ja) 流体制御装置
JP2010196792A (ja) 流体制御装置
JP2021505826A (ja) 流体制御装置及び流体制御装置用の継手

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150327

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160216

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160418

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160607

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160729

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160823

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160920

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6012247

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250