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JP2013258354A - Mold package and manufacturing method of the same - Google Patents

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JP2013258354A
JP2013258354A JP2012134576A JP2012134576A JP2013258354A JP 2013258354 A JP2013258354 A JP 2013258354A JP 2012134576 A JP2012134576 A JP 2012134576A JP 2012134576 A JP2012134576 A JP 2012134576A JP 2013258354 A JP2013258354 A JP 2013258354A
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JP
Japan
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island
mold
resin
insulating layer
suspension lead
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JP2012134576A
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Japanese (ja)
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Takumi Nomura
匠 野村
Toru Nomura
徹 野村
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Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
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Publication date
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    • H10W72/5363
    • H10W72/884
    • H10W90/736
    • H10W90/756

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  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To realize an insulation layer which is excellent in adhesion to a mold resin and is suitable for inhibiting resin burrs in a mold package where an island, in which an electronic component is mounted on one surface side and the insulation layer is provided on the other surface side, is sealed by the mold resin composed of a thermosetting resin including an epoxy resin so that the insulation layer is exposed.SOLUTION: A mold resin 40 seals an end part 10a of an island 10 and an end part 33 of an insulation layer 30 at the other surface 12 side of the island 10. A surface 32 in the insulation layer 30, which is opposite to the other surface 12 of the island 10, is exposed from the mold resin 40. The insulation layer 30 is composed of a thermoplastic resin having a functional group that is chemically bonded to an epoxy resin forming the mold resin 40.

Description

本発明は、一面側に電子部品を搭載し、他面側に絶縁層を設けてなるアイランドを、絶縁層が露出するようにエポキシ樹脂を含む熱硬化性樹脂よりなるモールド樹脂で封止してなるモールドパッケージ、および、そのようなモールドパッケージの製造方法に関する。   In the present invention, an island in which an electronic component is mounted on one side and an insulating layer is provided on the other side is sealed with a mold resin made of a thermosetting resin including an epoxy resin so that the insulating layer is exposed. The present invention relates to a mold package and a method for manufacturing such a mold package.

従来より、この種のモールドパッケージとしては、一般に、一面と他面とが表裏の板面の関係にある板状のアイランドと、アイランドの一面上に搭載された電子部品と、アイランドの一面および電子部品を封止するエポキシ系の熱硬化性樹脂よりなるモールド樹脂と、を備えるとともに、アイランドの他面がモールド樹脂より露出しているものが提案されている。   Conventionally, as this type of mold package, generally, a plate-like island in which one surface and the other surface are in a relation of front and back surfaces, an electronic component mounted on one surface of the island, one surface of the island, and an electron And a mold resin made of an epoxy-based thermosetting resin for sealing a component, and the other surface of the island is exposed from the mold resin.

さらに、アイランドの他面の電気絶縁性および高放熱性を確保するために、アイランドの他面に電気絶縁性の絶縁層として、セラミック基板(特許文献1参照)あるいはエポキシ樹脂よりなる熱硬化性樹脂層(特許文献2参照)を、アイランド他面を覆うように設け、この絶縁層、具体的には絶縁層における前記アイランドの他面とは反対側の面を、モールド樹脂より露出させていた。   Further, in order to ensure electrical insulation and high heat dissipation on the other surface of the island, a thermosetting resin made of a ceramic substrate (see Patent Document 1) or an epoxy resin is used as an electrically insulating insulating layer on the other surface of the island. A layer (see Patent Document 2) was provided so as to cover the other surface of the island, and this insulating layer, specifically, the surface of the insulating layer opposite to the other surface of the island was exposed from the mold resin.

特開2010−245188号公報JP 2010-245188 A 特開2009−302526号公報JP 2009-302526 A

ところで、このようなモールドパッケージは、アイランドの一面に電子部品を搭載するとともに、アイランドの他面に上記絶縁層を設けた後、この絶縁層をモールド樹脂成形用の金型におけるキャビティの内面、具体的には下型に押し当てた状態で、アイランドの一面側をモールド樹脂で充填して封止することにより製造される。   By the way, in such a mold package, an electronic component is mounted on one surface of the island, and the insulating layer is provided on the other surface of the island, and then the insulating layer is formed on the inner surface of the cavity in the mold for molding resin molding. Specifically, it is manufactured by filling and sealing one surface side of the island with a mold resin while being pressed against the lower mold.

しかし、このモールド樹脂を充填するときに、モールド樹脂が絶縁層と金型との間に流れ込み、アイランドの他面側にて絶縁層上に薄い樹脂バリが発生してしまうといった不具合が生じる。特に、絶縁層がセラミック基板の場合は、硬いセラミック基板と金型との間に隙間が発生しやすく、樹脂バリが生じやすい。   However, when this mold resin is filled, there is a problem that the mold resin flows between the insulating layer and the mold and a thin resin burr is generated on the insulating layer on the other surface side of the island. In particular, when the insulating layer is a ceramic substrate, a gap is likely to occur between the hard ceramic substrate and the mold, and resin burrs are likely to occur.

この樹脂バリに対して、通常は、モールド工程の後工程で、化学的また機械的にバリ取りを行なうことが多いが、それは大幅なコストアップとなる。また、絶縁層は、アイランド他面とは反対側の面はモールド樹脂より露出するものの、当該絶縁層における外郭に位置する端部がモールド樹脂で封止された状態となるものである。   In general, the resin burrs are often chemically or mechanically deburred after the molding process, which greatly increases the cost. In addition, the surface of the insulating layer opposite to the other surface of the island is exposed from the mold resin, but the end portion of the insulating layer located on the outer wall is sealed with the mold resin.

そうすると、絶縁層がエポキシ樹脂よりなる熱硬化性樹脂層の場合、エポキシ系のモールド樹脂との密着性が悪いため、モールド樹脂で封止されている絶縁層の端部にて剥離が生じる可能性がある。そして、これを抑制するためには、当該エポキシ樹脂よりなる熱硬化性樹脂層の表面をプラズマやUV等により表面処理して、モールド樹脂との密着性を向上させる必要が生じる。   Then, in the case where the insulating layer is a thermosetting resin layer made of an epoxy resin, there is a possibility of peeling at the end of the insulating layer sealed with the mold resin because of poor adhesion to the epoxy mold resin. There is. In order to suppress this, the surface of the thermosetting resin layer made of the epoxy resin needs to be surface-treated with plasma, UV, or the like to improve the adhesion with the mold resin.

本発明は、上記したような問題に鑑みてなされたものであり、一面側に電子部品を搭載し、他面側に絶縁層を設けてなるアイランドを、絶縁層が露出するようにエポキシ樹脂を含む熱硬化性樹脂よりなるモールド樹脂で封止してなるモールドパッケージにおいて、モールド樹脂との密着性に優れ且つ樹脂バリの抑制に適した絶縁層を実現することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and an epoxy resin is mounted so that an island in which an electronic component is mounted on one side and an insulating layer is provided on the other side is exposed. An object of the present invention is to realize an insulating layer that is excellent in adhesion to a mold resin and suitable for suppressing resin burrs in a mold package that is sealed with a mold resin made of a thermosetting resin.

上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、一面(11)と他面(12)とが表裏の板面の関係にある板状のアイランド(10)と、アイランドの一面上に搭載された電子部品(20)と、アイランドの他面を覆うように当該他面に設けられた電気絶縁性の絶縁層(30)と、アイランドの一面および電子部品を封止するエポキシ樹脂を含む熱硬化性樹脂よりなるモールド樹脂(40)と、を備え、
さらに、モールド樹脂は、アイランドの端部(10a)を封止するとともに、アイランドの他面側にて絶縁層の端部(33)を封止しており、絶縁層におけるアイランドの他面とは反対側の面(32)は、モールド樹脂より露出しており、絶縁層は、モールド樹脂を構成するエポキシ樹脂と化学結合する官能基を有する熱可塑性樹脂よりなることを特徴としている。
In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, the plate-like island (10) in which the one surface (11) and the other surface (12) are in the relation of the front and back plates, A mounted electronic component (20), an electrically insulating insulating layer (30) provided on the other surface so as to cover the other surface of the island, and an epoxy resin for sealing one surface of the island and the electronic component A mold resin (40) made of a thermosetting resin,
Furthermore, the mold resin seals the end portion (10a) of the island and also seals the end portion (33) of the insulating layer on the other surface side of the island. The opposite surface (32) is exposed from the mold resin, and the insulating layer is characterized by being made of a thermoplastic resin having a functional group chemically bonded to the epoxy resin constituting the mold resin.

それによれば、絶縁層は、モールド樹脂を構成するエポキシ樹脂と化学結合する官能基を有する熱可塑性樹脂よりなるため、モールド樹脂の成型時の熱により当該化学結合が生じ、絶縁層とモールド樹脂との密着性が確保される。   According to this, since the insulating layer is made of a thermoplastic resin having a functional group that chemically bonds with the epoxy resin that constitutes the mold resin, the chemical bond is generated by heat at the time of molding the mold resin, and the insulating layer and the mold resin Is ensured.

また、絶縁層は熱可塑性樹脂であるから、モールド樹脂の成型時の熱によって、従来のセラミック基板やエポキシ樹脂よりも軟らかくなり、金型の内面に対して隙間なく確実に密着しやすい。これらのことから、本発明によれば、モールド樹脂との密着性に優れ且つ樹脂バリの抑制に適した絶縁層を実現することができる。   In addition, since the insulating layer is a thermoplastic resin, it becomes softer than the conventional ceramic substrate and epoxy resin due to heat during molding of the mold resin, and easily adheres securely to the inner surface of the mold without any gap. For these reasons, according to the present invention, it is possible to realize an insulating layer that has excellent adhesion to the mold resin and is suitable for suppressing resin burrs.

ここで、請求項2に記載の発明のように、熱可塑性樹脂は、ポリイミド、ポリアミド、または、ポリアミドイミドであるものにできる。   Here, as in the invention described in claim 2, the thermoplastic resin may be polyimide, polyamide, or polyamideimide.

さらに、請求項3に記載の発明のように、絶縁層は、アイランドよりも平面サイズが小さく、アイランドの外郭の内周に位置しているものにできる。それによれば、剛性が小さく変形しやすい熱可塑性樹脂よりなる絶縁層の全体が、アイランドに接触して支持されるので、絶縁層の変形を抑制する点で好ましい。   Further, as in the third aspect of the present invention, the insulating layer is smaller in plane size than the island and can be located on the inner periphery of the outer shell of the island. According to this, the entire insulating layer made of a thermoplastic resin having low rigidity and easily deformed is supported in contact with the island, which is preferable in terms of suppressing deformation of the insulating layer.

なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。   In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each means described in the claim and this column is an example which shows a corresponding relationship with the specific means as described in embodiment mentioned later.

本発明の第1実施形態にかかるモールドパッケージの概略断面構成を示す図である。It is a figure which shows schematic sectional structure of the mold package concerning 1st Embodiment of this invention. 図1中の上視概略平面図である。FIG. 2 is a top schematic plan view in FIG. 1. 上記第1実施形態にかかるモールドパッケージの製造方法を示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing method of the mold package concerning the said 1st Embodiment. 本発明の第2実施形態にかかるモールドパッケージの概略断面構成を示す図である。It is a figure which shows schematic sectional structure of the mold package concerning 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3実施形態にかかるモールドパッケージの概略平面構成を示す図である。It is a figure which shows schematic plan structure of the mold package concerning 3rd Embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, parts that are the same or equivalent to each other are given the same reference numerals in the drawings in order to simplify the description.

(第1実施形態)
本発明の第1実施形態にかかるモールドパッケージP1について、図1、図2を参照して述べる。なお、図2では、モールド樹脂40の内部の構成要素についてモールド樹脂40を透過して示してある。
(First embodiment)
The mold package P1 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In FIG. 2, components inside the mold resin 40 are shown through the mold resin 40.

本実施形態のモールドパッケージP1は、大きくは、板状をなすアイランド10と、アイランド10の一面11上に搭載された電子部品20と、アイランド10の他面12に設けられた電気絶縁性の絶縁層30と、アイランド10および電子部品20を封止するエポキシ樹脂を含む熱硬化性樹脂よりなるモールド樹脂40と、を備えて構成されている。   The mold package P1 of the present embodiment is roughly divided into a plate-like island 10, an electronic component 20 mounted on one surface 11 of the island 10, and an electrically insulating insulation provided on the other surface 12 of the island 10. The layer 30 includes a mold resin 40 made of a thermosetting resin including an epoxy resin that seals the island 10 and the electronic component 20.

アイランド10は、一面11と他面12とが表裏の板面の関係にある板状のものであり、導電金属製よりなる。たとえばアイランド10は、Cuや42アロイ等の板材よりなるもので、ここでは平坦な矩形板状をなしている。   The island 10 has a plate-like shape in which the one surface 11 and the other surface 12 are in a relationship of front and back plate surfaces, and is made of a conductive metal. For example, the island 10 is made of a plate material such as Cu or 42 alloy, and has a flat rectangular plate shape here.

本実施形態では、図1、図2に示されるように、アイランド10の外郭に位置する端部10aには、吊りリード13が連結されている。この吊りリード13は、アイランド10と一体のものであり、アイランド10と同一の素材よりなる。ここでは、吊りリード13は、アイランド10の端部10aのうちモールド樹脂40の外郭寄りの部位にのみ設けられており、いわゆる片吊り構成とされている。   In the present embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, a suspension lead 13 is connected to an end portion 10 a located on the outline of the island 10. The suspension lead 13 is integral with the island 10 and is made of the same material as the island 10. Here, the suspension lead 13 is provided only in a portion of the end portion 10a of the island 10 near the outer periphery of the mold resin 40, and has a so-called one-side suspension configuration.

ここでは、アイランド10の端部10aとは、矩形アイランド10の4辺となる端面10aであり、吊りリード13は、モールド樹脂40の外郭寄りに位置する辺の端部10aに設けられている。この吊りリード13は、アイランド10よりも幅が大幅に小さい細長短冊板状をなしており、ここでは、1個のアイランド10に対して、1個の吊りリード13が設けられている。   Here, the end portion 10 a of the island 10 is an end surface 10 a that is four sides of the rectangular island 10, and the suspension lead 13 is provided on the end portion 10 a of the side located near the outer periphery of the mold resin 40. The suspension leads 13 are in the form of elongated strips that are significantly smaller in width than the islands 10. Here, one suspension lead 13 is provided for each island 10.

本実施形態では、吊りリード13は、アイランド10の端部10a側に位置する一端部14とは反対側の他端部15側がアイランド10の一面11の上方に延びてモールド樹脂40の外部に露出するように曲げられた形状をなすものである。つまり、吊りリード13は、平坦板形状のアイランド10からアイランド10の一面11側に曲げられたものとされている。   In the present embodiment, the suspension lead 13 is exposed to the outside of the mold resin 40 with the other end 15 side opposite to the one end 14 located on the end 10 a side of the island 10 extending above the one surface 11 of the island 10. It has a bent shape. That is, the suspension lead 13 is bent from the flat plate-shaped island 10 to the one surface 11 side of the island 10.

電子部品20は、典型的にはICチップ等の半導体チップであるが、その他、アイランド10に実装可能な表面実装部品であればよい。この電子部品20は、はんだやAg(銀)ペースト等よりなるダイボンド材21を介して、アイランド10の一面11に接着され固定されている。   The electronic component 20 is typically a semiconductor chip such as an IC chip, but may be any other surface-mounted component that can be mounted on the island 10. The electronic component 20 is bonded and fixed to one surface 11 of the island 10 via a die bond material 21 made of solder, Ag (silver) paste, or the like.

また、電子部品20は、必要に応じて吊りリード13と、Al(アルミニウム)やAu(金)等よりなるボンディングワイヤ50を介して電気的に接続されている。これにより、電子部品20は、ボンディングワイヤ50を介してモールドパッケージP1における各部と電気的に接続され回路を構成する。   Moreover, the electronic component 20 is electrically connected to the suspension lead 13 via a bonding wire 50 made of Al (aluminum), Au (gold), or the like as necessary. Thereby, the electronic component 20 is electrically connected to each part in the mold package P1 via the bonding wire 50 to form a circuit.

なお、モールド樹脂40内には、典型的なモールドパッケージと同様、図示しない他のリード端子が設けられ、これらリード端子と電子部品20とはボンディングワイヤ等により接続されている。そのため、電子部品20の各部吊りリード13と電子部品20とは、ボンディングワイヤ50で接続されていない構成でもよい。   In the mold resin 40, other lead terminals (not shown) are provided as in a typical mold package, and these lead terminals and the electronic component 20 are connected by bonding wires or the like. Therefore, each part suspension lead 13 of the electronic component 20 and the electronic component 20 may be configured not to be connected by the bonding wire 50.

また、ここでは、吊りリード13の他端部15は、モールド樹脂40の外郭より突出して露出している。この吊りリード13の他端部15は、モールドパッケージの形態に応じたものであればよく、たとえば、モールド樹脂40の外郭と同一平面にて切断された切断面として、モールド樹脂40より露出したものであってもよい。   Here, the other end 15 of the suspension lead 13 protrudes from the outline of the mold resin 40 and is exposed. The other end 15 of the suspension lead 13 only needs to be in accordance with the form of the mold package. For example, the suspension lead 13 is exposed from the mold resin 40 as a cut surface cut in the same plane as the outline of the mold resin 40. It may be.

また、絶縁層30は、モールド樹脂40を構成するエポキシ樹脂と化学結合する官能基を有する熱可塑性樹脂よりなるもので、アイランド10の他面12を覆うように当該他面12に設けられている。   The insulating layer 30 is made of a thermoplastic resin having a functional group chemically bonded to the epoxy resin constituting the mold resin 40, and is provided on the other surface 12 so as to cover the other surface 12 of the island 10. .

このような絶縁層30は、印刷、転写あるいは成形されたシートの貼り付け等により、アイランド10の他面12に設けられる。ここにおいて、層状の絶縁層30におけるアイランドの他面12側の面を第1の面31、第1の面31とは反対側の面を第2の面32とする。   Such an insulating layer 30 is provided on the other surface 12 of the island 10 by printing, transferring or pasting a molded sheet. Here, a surface on the other surface 12 side of the island in the layered insulating layer 30 is a first surface 31, and a surface opposite to the first surface 31 is a second surface 32.

ここで、図1に示されるように、モールド樹脂40は、アイランド10の外郭に位置する端部10aを封止するとともに、アイランド10の他面12側にて絶縁層30の外郭に位置する端部33を封止している。そして、絶縁層30におけるアイランド10の他面12とは反対側の第2の面32は、モールド樹脂40より露出している。   Here, as shown in FIG. 1, the mold resin 40 seals the end portion 10 a located on the outline of the island 10, and the end located on the outline of the insulating layer 30 on the other surface 12 side of the island 10. The portion 33 is sealed. The second surface 32 opposite to the other surface 12 of the island 10 in the insulating layer 30 is exposed from the mold resin 40.

限定するものではないが、絶縁層30を構成する熱可塑性樹脂は、ポリイミド、ポリアミド、または、ポリアミドイミド等である。これらの熱可塑性樹脂の場合、たとえばアミド基やイミド基といった官能基が、モールド樹脂40のエポキシ基等と反応して、共有結合や水素結合等の化学結合をしている。それにより、絶縁層30とモールド樹脂40との接触部位において、当該両者30、40の密着性が確保されている。   Although it does not limit, the thermoplastic resin which comprises the insulating layer 30 is a polyimide, polyamide, or a polyamideimide. In the case of these thermoplastic resins, for example, a functional group such as an amide group or an imide group reacts with an epoxy group or the like of the mold resin 40 to form a chemical bond such as a covalent bond or a hydrogen bond. Thereby, in the contact part of the insulating layer 30 and the mold resin 40, the adhesiveness of the both 30 and 40 is ensured.

また、モールド樹脂40を構成するエポキシ樹脂を含む熱硬化性樹脂、すなわちエポキシ系の熱硬化性樹脂は、たとえば線膨張係数α=14、ヤング率E=12.5GPa程度である。これに対して、絶縁層30を構成する熱可塑性樹脂は、大幅に線膨張係数が小さく、ヤング率も一桁以上小さいものである。   Further, the thermosetting resin including the epoxy resin constituting the mold resin 40, that is, the epoxy thermosetting resin has a linear expansion coefficient α = 14 and a Young's modulus E = 12.5 GPa, for example. On the other hand, the thermoplastic resin constituting the insulating layer 30 has a significantly small linear expansion coefficient and a Young's modulus that is one digit or more smaller.

また、図1、図2に示されるように、絶縁層30は、アイランド10よりも平面サイズが小さく、アイランド10の外郭の内周に位置している。ここでは、絶縁層30は、矩形板状のアイランド10よりも一回り小さい矩形板状をなしている。   In addition, as shown in FIGS. 1 and 2, the insulating layer 30 has a smaller planar size than the island 10 and is located on the inner periphery of the outline of the island 10. Here, the insulating layer 30 has a rectangular plate shape that is slightly smaller than the rectangular plate island 10.

また、放熱性を考慮して、絶縁層30は、アイランド10よりも板厚が薄いものとされている。たとえば、アイランド10の厚さが250μm〜500μm程度であるのに対し、絶縁層30の厚さは30μm以下程度である。   In consideration of heat dissipation, the insulating layer 30 is thinner than the island 10. For example, the thickness of the island 10 is about 250 μm to 500 μm, whereas the thickness of the insulating layer 30 is about 30 μm or less.

このようなモールドパッケージP1においては、電子部品20に発生する熱は、アイランド10から絶縁層30を介してパッケージ外部に放熱される。ここで、絶縁層30における第2の面32に、図示しない放熱部材等が接触されるようにしてもよい。   In such a mold package P1, heat generated in the electronic component 20 is radiated from the island 10 to the outside of the package through the insulating layer 30. Here, a heat radiating member (not shown) or the like may be brought into contact with the second surface 32 of the insulating layer 30.

次に、本モールドパッケージP1の製造方法について、図3を参照して述べる。まず、上記した吊りリード13を有するアイランド10、および電子部品20を用意する(用意工程)。   Next, a method for manufacturing the mold package P1 will be described with reference to FIG. First, the island 10 having the suspension leads 13 and the electronic component 20 are prepared (preparation process).

この用意工程では、図3(a)に示されるように、アイランド10の素材として、当該アイランド10の端部10aのうちモールド樹脂40の外郭寄りの部位にのみ、吊りリード13が連結された平坦な平板1を用意する。ここで、この平板1における平坦な板面を基準面K1とする。   In this preparation process, as shown in FIG. 3A, as a material of the island 10, a flat surface in which the suspension leads 13 are connected only to a portion of the end portion 10 a of the island 10 near the outer periphery of the mold resin 40. A flat plate 1 is prepared. Here, a flat plate surface of the flat plate 1 is defined as a reference plane K1.

そして、図3(b)に示されるように、この平板1における吊りリード13を、プレス等により曲げ加工することにより、上記曲げ形状の吊りリード13を形成する。それとともに、図3(b)に示されるように、この曲げ加工によって、基準面K1に対して、アイランド10の端部10aのうち吊りリード13側の部位に比べて吊りリード13とは反対側の部位の方が、アイランド10の他面12側に下がった状態とする。   Then, as shown in FIG. 3B, the suspension lead 13 in the flat plate 1 is bent by a press or the like, thereby forming the bent suspension lead 13. At the same time, as shown in FIG. 3B, by this bending process, the side opposite to the suspension lead 13 relative to the portion of the end portion 10a of the island 10 on the suspension lead 13 side with respect to the reference plane K1. This part is in a state of being lowered to the other surface 12 side of the island 10.

こうして、吊りリード13を有するアイランド10が用意される。ここまでが用意工程である。次に、図3(b)に示されるように、アイランド10の他面12に絶縁層30を設ける(絶縁層設置工程)。この絶縁層30の設置は、上述のように、印刷、転写、シート貼り付け等により行う。   In this way, the island 10 having the suspension leads 13 is prepared. This is the preparation process. Next, as shown in FIG. 3B, an insulating layer 30 is provided on the other surface 12 of the island 10 (insulating layer installation step). As described above, the insulating layer 30 is installed by printing, transferring, sheet pasting, or the like.

次に、図3(c)に示されるように、アイランド10の一面11に電子部品20を搭載する(部品搭載工程)。この部品搭載工程では、電子部品20は、上記ダイボンド材21を介してアイランド10に接合し、さらに、必要に応じて、電子部品20と吊りリード13との間で、ワイヤボンディングを行い、ボンディングワイヤ50を形成する。   Next, as shown in FIG. 3C, the electronic component 20 is mounted on the one surface 11 of the island 10 (component mounting step). In this component mounting process, the electronic component 20 is bonded to the island 10 via the die bond material 21 and, further, wire bonding is performed between the electronic component 20 and the suspension lead 13 as necessary, thereby bonding wires. 50 is formed.

次に、図3(d)に示されるように、モールド樹脂成型用の金型100を用いて、モールド樹脂40を成型する(モールド工程)。このモールド工程に用いる金型100は、典型的なトランスファーモールド法に用いられるものと同様であり、上型101と下型102とを合致させ、これら上下型101、102間にキャビティを形成するものである。   Next, as shown in FIG. 3D, the mold resin 40 is molded using a mold 100 for molding resin molding (molding process). A mold 100 used in this molding process is the same as that used in a typical transfer molding method, and an upper mold 101 and a lower mold 102 are matched to form a cavity between the upper and lower molds 101 and 102. It is.

このとき、絶縁層30における第2の面32を金型100の内面に接触させた状態で、アイランド10および電子部品20を金型100内に設置する。ここで、本実施形態では、アイランド10は、端部10aに吊りリード13が連結されたものであって、この吊りリード13の他端部15側がアイランド10の一面11の上方に向かって延びるように曲げられた形状をなしている。   At this time, the island 10 and the electronic component 20 are installed in the mold 100 with the second surface 32 of the insulating layer 30 in contact with the inner surface of the mold 100. Here, in the present embodiment, the island 10 is configured such that the suspension lead 13 is connected to the end portion 10 a, and the other end portion 15 side of the suspension lead 13 extends toward the upper side of the one surface 11 of the island 10. It has a bent shape.

そして、この吊りリード13の他端部15側が、上型101と下型102との間に狭持されて支持されることで、ワークが金型100に支持される。そうすると、吊りリード13のバネ弾性によって、絶縁層30における第2の面32が、当該第2の面32に対向する金型100の内面、つまり下型102の内面に押し付けられた状態とされる。   Then, the other end 15 side of the suspension lead 13 is supported between the upper mold 101 and the lower mold 102 so that the workpiece is supported by the mold 100. Then, the second surface 32 of the insulating layer 30 is pressed against the inner surface of the mold 100 facing the second surface 32, that is, the inner surface of the lower mold 102 by the spring elasticity of the suspension lead 13. .

特に、本実施形態では、上述のように、アイランド10の端部10aのうちモールド樹脂40の外郭寄りの部位にのみ吊りリード13が連結され、且つ、アイランド10の端部10aのうち吊りリード13側の部位に比べて吊りリード13とは反対側の部位の方が、アイランド10の他面12側に下がった状態とされている。   In particular, in the present embodiment, as described above, the suspension lead 13 is connected only to a portion of the end portion 10 a of the island 10 that is near the outer periphery of the mold resin 40, and the suspension lead 13 of the end portion 10 a of the island 10 is connected. The part on the side opposite to the suspension lead 13 is in a state of being lowered to the other surface 12 side of the island 10 as compared with the part on the side.

そのため、ワークを金型100に設置するとき、アイランド10の他面12側の絶縁層30は、これに対向する金型100の内面に対して、吊りリード13とは反対側の部位から先に接触する。そして、吊りリード13の弾性力を受けながら、絶縁層30における吊りリード13側の部位も接触していく。そのため、絶縁層30全体が確実に金型100の内面に接触する。   Therefore, when the work is placed on the mold 100, the insulating layer 30 on the other surface 12 side of the island 10 is placed on the inner surface of the mold 100 facing this first from the portion opposite to the suspension lead 13. Contact. While receiving the elastic force of the suspension lead 13, the portion of the insulating layer 30 on the suspension lead 13 side also comes into contact. Therefore, the entire insulating layer 30 reliably contacts the inner surface of the mold 100.

こうして、吊りリード13のバネ弾性によって、絶縁層30における第2の面32を、金型100の内面に押し付けた状態として、ワークを金型100に設置した後、この状態で金型100内にモールド樹脂40を充填することによりモールド樹脂40を成形する。ここまでがモールド工程である。   In this way, the second surface 32 of the insulating layer 30 is pressed against the inner surface of the mold 100 by the spring elasticity of the suspension lead 13, and after the workpiece is placed on the mold 100, the workpiece 100 is placed in the mold 100 in this state. The mold resin 40 is formed by filling the mold resin 40. This is the molding process.

その後、図3(d)に示されるように、金型100からモールド樹脂40で封止されたワークを取り出す。このとき、絶縁層30における第2の面32は、金型100の内面に密着していたので、モールド樹脂40より露出する。その後、必要に応じて、モールド樹脂40の外側にてリードカット等を行う。以上が、本製造方法であり、この製造方法によれば、本実施形態のモールドパッケージP1が適切に製造される。   Thereafter, as shown in FIG. 3 (d), the work sealed with the mold resin 40 is taken out from the mold 100. At this time, since the second surface 32 of the insulating layer 30 is in close contact with the inner surface of the mold 100, it is exposed from the mold resin 40. Thereafter, lead cutting or the like is performed outside the mold resin 40 as necessary. The above is the present manufacturing method, and according to this manufacturing method, the mold package P1 of the present embodiment is appropriately manufactured.

なお、上述のように、吊りリード13の他端部15側は、モールド工程にて金型100に支持されるが、曲げ形状とされた吊りリード13の一端部14から他端部15までの高さは、下型102の段差寸法T(図3(d)参照)以上であることが望ましい。このように用意工程で、吊りリード13を曲げ加工することより、吊りリード13のバネ弾性力による絶縁層30の下型102内面への押し付けが確実に行われる。   As described above, the other end 15 side of the suspension lead 13 is supported by the mold 100 in the molding process, but from one end portion 14 to the other end portion 15 of the suspension lead 13 having a bent shape. The height is desirably equal to or greater than the step dimension T of the lower mold 102 (see FIG. 3D). Thus, by bending the suspension lead 13 in the preparation process, the insulating layer 30 is reliably pressed against the inner surface of the lower mold 102 by the spring elastic force of the suspension lead 13.

ところで、本実施形態のモールドパッケージP1によれば、絶縁層30は、モールド樹脂40を構成するエポキシ樹脂と化学結合する官能基を有する熱可塑性樹脂よりなるため、モールド工程時の熱により当該化学結合が生じ、絶縁層30とモールド樹脂40との密着性が確保される。   By the way, according to the mold package P1 of the present embodiment, the insulating layer 30 is made of a thermoplastic resin having a functional group chemically bonded to the epoxy resin constituting the mold resin 40. As a result, adhesion between the insulating layer 30 and the mold resin 40 is ensured.

また、絶縁層30は熱可塑性樹脂であるから、モールド工程時の熱によって、従来のセラミック基板やエポキシ樹脂よりも軟らかくなり、金型100の内面に対して隙間なく確実に密着しやすい。これらのことから、本実施形態によれば、モールド樹脂40との密着性に優れ且つ樹脂バリの抑制に適した絶縁層30を実現することができる。   Further, since the insulating layer 30 is a thermoplastic resin, it becomes softer than a conventional ceramic substrate or epoxy resin due to heat during the molding process, and easily adheres securely to the inner surface of the mold 100 without a gap. From these things, according to this embodiment, the insulating layer 30 which is excellent in adhesiveness with the mold resin 40 and suitable for suppressing resin burrs can be realized.

また、本実施形態のモールドパッケージP1によれば、絶縁層30は、アイランド10よりも平面サイズが小さく、アイランド10の外郭の内周に位置している。それによれば、剛性が小さく変形しやすい熱可塑性樹脂よりなる絶縁層30の全体が、アイランド10に接触して支持されるので、絶縁層30の変形を抑制する点で好ましい。   In addition, according to the mold package P1 of the present embodiment, the insulating layer 30 is smaller in planar size than the island 10 and is located on the inner periphery of the outline of the island 10. According to this, since the whole insulating layer 30 made of a thermoplastic resin having low rigidity and easily deformed is supported in contact with the island 10, it is preferable in terms of suppressing deformation of the insulating layer 30.

ここで、絶縁層30は、周辺部がアイランド10の外郭よりもはみ出したものであってもよい。しかし、この場合、特にモールド樹脂40による封止前において、絶縁層30の周辺部は支持されていないので変形しやすいものとなる。その点、本実施形態によれば、そのような点を回避できる。   Here, the insulating layer 30 may have a peripheral portion that protrudes beyond the outline of the island 10. However, in this case, especially before the sealing with the mold resin 40, the peripheral portion of the insulating layer 30 is not supported, and therefore, it easily deforms. In this respect, according to the present embodiment, such a point can be avoided.

また、上述したが、本実施形態では、アイランド10の端部10aには、上記曲げ形状をなす吊りリード13が連結されている。それによれば、モールド工程において、吊りリード13の他端部15側が金型100に支持され、吊りリード13のバネ弾性力が、絶縁層30を金型100に押し付ける方向に作用する。   As described above, in the present embodiment, the suspension lead 13 having the bent shape is connected to the end portion 10 a of the island 10. According to this, in the molding process, the other end 15 side of the suspension lead 13 is supported by the mold 100, and the spring elastic force of the suspension lead 13 acts in the direction of pressing the insulating layer 30 against the mold 100.

このように、本実施形態では、上記曲げ形状をなす吊りリード13が連結されたアイランド10を採用することにより、モールド工程において絶縁層30の第2の面32が金型100の内面に隙間なく密着しやすくなり、当該第2の面32における樹脂バリの防止に好ましいものとなる。   As described above, in the present embodiment, by adopting the island 10 to which the suspension lead 13 having the bent shape is connected, the second surface 32 of the insulating layer 30 can be formed on the inner surface of the mold 100 without a gap in the molding process. It becomes easy to adhere and becomes preferable for prevention of resin burrs on the second surface 32.

特に本実施形態では、上記のようにアイランド10が片吊り状態であっても、用意されるアイランド10について、吊りリード13とは反対側の部位を上記のように下げた構成を採用することで、モールド工程における絶縁層30と金型100の内面との密着性を確保しやすいものにできる。   In particular, in the present embodiment, even when the island 10 is in a single suspended state as described above, by adopting a configuration in which the portion of the prepared island 10 opposite to the suspension lead 13 is lowered as described above. The adhesion between the insulating layer 30 and the inner surface of the mold 100 in the molding process can be easily ensured.

(第2実施形態)
本発明の第2実施形態にかかるモールドパッケージについて、図4を参照して述べる。ここでは、上記第1実施形態との相違点を中心に述べることとする。
(Second Embodiment)
A mold package according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Here, the difference from the first embodiment will be mainly described.

上記第1実施形態では、吊りリード13は、アイランド10の端部10aのうちモールド樹脂40の外郭寄りの部位にのみ設けられていたが、これ加えて、アイランド10の端部10aのうちモールド樹脂40の外郭寄りの部位と対向する部位にも、設けられていてもよい。つまり、両吊り構成のアイランド10でもよい。   In the first embodiment, the suspension lead 13 is provided only in the portion of the end portion 10a of the island 10 near the outer periphery of the mold resin 40. In addition, the suspension lead 13 of the end portion 10a of the island 10 is molded resin. It may be provided also in the part which opposes the part of 40 near the outline. That is, the island 10 may be a double suspended configuration.

この場合も、絶縁層30を貼り付けたアイランド10を金型100に設置したとき、曲げ形状の各吊りリード13の他端部15側が金型100に支持され、吊りリード13のバネ弾性力が、絶縁層30を金型100に押し付ける方向に作用する。そのため、絶縁層30と金型100との密着性を確保しやすくなり、樹脂バリが発生しにくくなる。   Also in this case, when the island 10 with the insulating layer 30 attached is installed in the mold 100, the other end 15 side of each bent suspension lead 13 is supported by the mold 100, and the spring elastic force of the suspension lead 13 is increased. This acts in the direction of pressing the insulating layer 30 against the mold 100. Therefore, it becomes easy to ensure the adhesiveness of the insulating layer 30 and the metal mold | die 100, and it becomes difficult to produce | generate a resin burr | flash.

(第3実施形態)
本発明の第3実施形態にかかるモールドパッケージについて、図5を参照して述べる。なお、図5では、ボンディングワイヤ等は省略してある。ここでは、上記第1実施形態との相違点を中心に述べることとする。
(Third embodiment)
A mold package according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 5, bonding wires and the like are omitted. Here, the difference from the first embodiment will be mainly described.

上記第1実施形態では、上記図1、図2に示されるように、1個のアイランド10に対して、1個の吊りリード13を設け、片吊り構成を実現していた。これに対し、このような片吊り構成においては、図5に示されるように、吊りリード13は、モールド樹脂40の外郭寄りに位置する辺の端部10aに2個以上設けられていてもよい。   In the first embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, one suspension lead 13 is provided for one island 10 to realize a single suspension configuration. On the other hand, in such a one-side suspension configuration, as shown in FIG. 5, two or more suspension leads 13 may be provided at the end portion 10 a of the side located near the outline of the mold resin 40. .

また、図5に示されるように、アイランド10に搭載される電子部品20のサイズは、種々異なるものであってもよい。たとえば、図5では、右側の2個の電子部品20はICチップであり、左側の大きな1個の電子部品20はセラミック基板やプリント基板等の回路基板である。   Further, as shown in FIG. 5, the size of the electronic component 20 mounted on the island 10 may be variously different. For example, in FIG. 5, two electronic components 20 on the right side are IC chips, and one large electronic component 20 on the left side is a circuit board such as a ceramic substrate or a printed board.

(他の実施形態)
なお、上記各実施形態では、吊りリード13は、アイランド10の端部10a側に位置する一端部14とは反対側の他端部15側がアイランド10の一面11の上方に延びるように曲げられた形状をなすものであった。
(Other embodiments)
In each of the above embodiments, the suspension lead 13 is bent so that the other end 15 side opposite to the one end 14 located on the end 10 a side of the island 10 extends above the one surface 11 of the island 10. It was a shape.

これに対して、吊りリード13は、アイランド10と同一平面に位置する平坦な短冊板状のものであってもよい。この場合も、上記熱可塑性樹脂よりなる絶縁層30の効果により、モールド樹脂40との密着性確保および樹脂バリ防止が実現できることは明らかである。   On the other hand, the suspension lead 13 may be in the form of a flat strip plate located in the same plane as the island 10. Also in this case, it is apparent that the adhesion with the mold resin 40 and prevention of resin burrs can be realized by the effect of the insulating layer 30 made of the thermoplastic resin.

また、絶縁層30を構成する熱可塑性樹脂としては、モールド樹脂を構成するエポキシ樹脂と化学結合する官能基を有するものであればよく、上記したポリイミド、ポリアミド、または、ポリアミドイミド以外のものであってもよい。   Further, the thermoplastic resin constituting the insulating layer 30 may be any one having a functional group chemically bonded to the epoxy resin constituting the mold resin, and other than the above polyimide, polyamide, or polyamideimide. May be.

また、1個のアイランド10に対して電子部品20は2個以上搭載されたものであってもよい。   Two or more electronic components 20 may be mounted on one island 10.

また、上記した各実施形態同士の組み合わせ以外にも、上記各実施形態は、可能な範囲で適宜組み合わせてもよく、また、上記各実施形態は、上記の図示例に限定されるものではない。   In addition to the combination of the above-described embodiments, the above-described embodiments may be appropriately combined within the possible range, and the above-described embodiments are not limited to the illustrated examples.

10 アイランド
10a アイランドの端部
11 アイランドの一面
12 アイランドの他面
20 電子部品
30 絶縁層
32 絶縁層におけるアイランドの他面とは反対側の面である第2の面
33 絶縁層の端部
40 モールド樹脂
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Island 10a End part of island 11 One side of island 12 Other side of island 20 Electronic component 30 Insulating layer 32 Second side opposite to other side of island in insulating layer 33 End of insulating layer 40 Mold resin

Claims (8)

一面(11)と他面(12)とが表裏の板面の関係にある板状のアイランド(10)と、
前記アイランドの一面上に搭載された電子部品(20)と、
前記アイランドの他面を覆うように当該他面に設けられた電気絶縁性の絶縁層(30)と、
前記アイランドの一面および前記電子部品を封止するエポキシ樹脂を含む熱硬化性樹脂よりなるモールド樹脂(40)と、を備え、
前記モールド樹脂は、前記アイランドの端部(10a)を封止するとともに、前記アイランドの他面側にて前記絶縁層の端部(33)を封止しており、
前記絶縁層における前記アイランドの他面とは反対側の面(32)は、前記モールド樹脂より露出しており、
前記絶縁層は、前記モールド樹脂を構成するエポキシ樹脂と化学結合する官能基を有する熱可塑性樹脂よりなることを特徴とするモールドパッケージ。
A plate-like island (10) in which the one surface (11) and the other surface (12) are in a relation of front and back plate surfaces;
An electronic component (20) mounted on one side of the island;
An electrically insulating insulating layer (30) provided on the other surface so as to cover the other surface of the island;
A mold resin (40) made of a thermosetting resin including an epoxy resin for sealing one surface of the island and the electronic component;
The mold resin seals the end (10a) of the island and the end (33) of the insulating layer on the other surface side of the island,
A surface (32) opposite to the other surface of the island in the insulating layer is exposed from the mold resin,
The mold package, wherein the insulating layer is made of a thermoplastic resin having a functional group chemically bonded to an epoxy resin constituting the mold resin.
前記熱可塑性樹脂は、ポリイミド、ポリアミド、または、ポリアミドイミドであることを特徴とする請求項1に記載のモールドパッケージ。   The mold package according to claim 1, wherein the thermoplastic resin is polyimide, polyamide, or polyamideimide. 前記絶縁層は、前記アイランドよりも平面サイズが小さく、前記アイランドの外郭の内周に位置していることを特徴とする請求項1または2に記載のモールドパッケージ。   3. The mold package according to claim 1, wherein the insulating layer has a smaller planar size than the island and is located on the inner periphery of the outer shell of the island. 前記アイランドの端部には、吊りリード(13)が連結されており、
この吊りリードは、前記アイランドの端部側に位置する一端部(14)とは反対側の他端部(15)側が前記アイランドの一面の上方に延びて前記モールド樹脂の外部に露出するように曲げられた形状をなすものであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載のモールドパッケージ。
A suspension lead (13) is connected to the end of the island,
The suspension lead extends so that the other end (15) side opposite to the one end (14) located on the end side of the island extends above one surface of the island and is exposed to the outside of the mold resin. 4. The mold package according to claim 1, wherein the mold package has a bent shape.
前記吊りリードは、前記アイランドの端部のうち前記モールド樹脂の外郭寄りの部位にのみ設けられていることを特徴とする請求項4に記載のモールドパッケージ。   5. The mold package according to claim 4, wherein the suspension lead is provided only in a portion of the end portion of the island that is close to the outer periphery of the mold resin. 請求項1に記載のモールドパッケージを製造するモールドパッケージの製造方法であって、
前記アイランドおよび前記電子部品を用意する用意工程と、
前記アイランドの他面に前記絶縁層を設ける絶縁層設置工程と、
前記アイランドの一面に前記電子部品を搭載する部品搭載工程と、
次に、前記モールド樹脂成型用の金型(100)を用い、前記絶縁層における前記アイランドの他面とは反対側の面を前記金型の内面に接触させた状態で、前記アイランドおよび前記電子部品を前記金型内に設置した後、前記金型内に前記モールド樹脂を充填することにより前記モールド樹脂を成形するモールド工程と、
を備えることを特徴とするモールドパッケージの製造方法。
A mold package manufacturing method for manufacturing the mold package according to claim 1,
A preparation step of preparing the island and the electronic component;
An insulating layer installation step of providing the insulating layer on the other surface of the island;
A component mounting step of mounting the electronic component on one surface of the island;
Next, using the mold for molding resin molding (100), the island and the electrons are placed in a state where the surface of the insulating layer opposite to the other surface of the island is in contact with the inner surface of the mold. A mold step of molding the mold resin by filling the mold resin into the mold after the components are installed in the mold; and
A method for manufacturing a mold package, comprising:
前記用意工程では、前記アイランドとして、当該アイランドの端部に吊りリードが連結されたものであって、この吊りリードは、当該アイランドの端部側に位置する一端部とは反対側の他端部側が当該アイランドの一面の上方に向かって延びるように曲げられた形状をなすものを用意し、
前記モールド工程では、前記吊りリードの他端部側を前記金型に支持させることで、前記吊りリードのバネ弾性によって、前記絶縁層における前記アイランドの他面とは反対側の面を、当該面に対向する前記金型の内面に押し付けた状態とし、この状態で前記モールド樹脂の充填を行うことを特徴とする請求項6に記載のモールドパッケージの製造方法。
In the preparation step, a suspension lead is connected to the end of the island as the island, and the suspension lead is the other end opposite to the one end located on the end of the island. Prepare a shape that is bent so that the side extends upward on one side of the island,
In the molding step, the other end side of the suspension lead is supported by the mold, and the surface opposite to the other surface of the island in the insulating layer is supported by the spring elasticity of the suspension lead. The mold package manufacturing method according to claim 6, wherein the mold resin is filled with the mold resin in such a state that the mold resin is pressed against the inner surface of the mold opposed to the mold.
前記用意工程では、前記アイランドとして、当該アイランドの端部のうち前記モールド樹脂の外郭寄りの部位にのみ、前記吊りリードが連結され、且つ、当該アイランドの端部のうち前記吊りリード側の部位に比べて当該吊りリードとは反対側の部位の方が、当該アイランドの他面側に下がった状態のものを用意することを特徴とする請求項7に記載のモールドパッケージの製造方法。   In the preparation step, as the island, the suspension lead is connected only to a portion of the end portion of the island near the outer periphery of the mold resin, and to the portion of the end portion of the island on the suspension lead side. 8. The method of manufacturing a mold package according to claim 7, wherein a part in a state where the part opposite to the suspension lead is lowered toward the other side of the island is prepared.
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