JP2013241491A - 積層シートの製造方法および積層シートの製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】所望の積層シートを得ることができる積層シートの製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】製造装置３０は、長尺な繊維基材２の内部に、前記繊維基材２の長手方向に所定の間隔をあけて、有機材料を含浸させ、前記繊維基材の幅方向に延在する含浸部２１を形成する含浸部形成手段３１と、繊維基材２の含浸部２１間の領域と、樹脂層とが対向するように、前記繊維基材２上に樹脂層を供給する供給手段と、繊維基材２および樹脂層が搬送されるチャンバと、繊維基材２および樹脂層を、繊維基材２の長手方向に沿って、チャンバへ向けて搬送する搬送手段と、チャンバ内に、繊維基材２の前記含浸部２１間の領域および前記樹脂層が位置し、含浸部２１間の領域よりも搬送方向下流側、上流側の繊維基材２がチャンバから露出した状態で、搬送手段の駆動を停止する制御手段と、チャンバ７内を減圧する減圧手段と、チャンバ内の繊維基材２および樹脂層を加熱して、繊維基材２内部に樹脂層を含浸させる加熱手段とを含む。
【選択図】図３

Description

本発明は、積層シートの製造方法および積層シートの製造装置に関する。

従来、繊維基材に対して、樹脂材料を含浸させたプリプレグが、多層構造のプリント配線板等に使用されている。
このようなプリプレグは、以下のようにして製造される（たとえば、特許文献１参照）
上面に樹脂ワニスが塗布されたフィルムに対して、上側から繊維基材を重ね、繊維基材をフィルムに圧接させる。これにより、樹脂ワニスを繊維基材に含浸させている。

特開２０１０−４７７０６号公報

ここで、本発明者は、プリプレグを製造する際に、樹脂ワニス等の樹脂層と、繊維基材とを減圧下で圧着させることを発案した。このようにすることで、樹脂層と繊維基材との間に気泡が入り込んでしまうことが防止できるうえ、繊維基材内部も減圧されることから、繊維基材内部でボイドが発生してしまうことも抑制でき、所望のプリプレグが得られると考えられる。
しかしながら、繊維基材は長尺状であるため、すべてを減圧用のチャンバ内に入れることは難しく、繊維基材の一部は、チャンバの外に位置する。そうすると、繊維基材を介して、チャンバ内に気体が流入し、チャンバ内を減圧することが難しく、所望のプリプレグを得ることが難しくなる。

本発明は、以上のような課題を鑑みて発案されたものである。
すなわち、本発明によれば、長尺な繊維基材を用意する工程と、前記繊維基材内部に有機材料を含浸させ、前記繊維基材の幅方向に延在する含浸部を、前記繊維基材の長手方向に所定の間隔をあけて複数、形成する工程と、前記繊維基材の前記含浸部間の領域と、樹脂層とが対向するように、前記繊維基材の表面または裏面側に樹脂層を供給する工程と、前記繊維基材および樹脂層を、前記繊維基材の長手方向に沿って、チャンバ内にむけて、搬送する工程と、前記チャンバ内に、前記繊維基材の前記含浸部間の領域および前記樹脂層が位置し、前記繊維基材の前記含浸部間の領域よりも搬送方向下流側の領域および上流側の領域が、前記チャンバ外部に位置する状態で、前記繊維基材および前記樹脂層の搬送を停止する工程と、前記チャンバ内を減圧し、前記チャンバ内の前記繊維基材および前記樹脂層を加熱して、前記繊維基材内部に前記樹脂層を含浸させる工程とを含む積層シートの製造方法が提供される。

繊維基材は、チャンバ内部からチャンバ外部にまで延在している。そうすると、繊維基材の延在方向に沿ってチャンバ外部からチャンバ内部の繊維基材内に気体が流入し続けて、チャンバならびに繊維基材内部を減圧にすることが難しくなる。
これに対して、本発明では、繊維基材の長手方向に沿って含浸部が離間して設けられており、長手方向に沿って前記含浸部により、繊維基材が区画される。含浸部により、チャンバ内部への気体の流入経路の少なくとも一部が遮断されることとなり、チャンバならびに繊維基材内部を減圧しやすくなる。

さらに、本発明によれば、上述した積層シートの製造方法に使用される製造装置も提供できる。
すなわち、本発明によれば、長尺な繊維基材の内部に、前記繊維基材の長手方向に所定の間隔をあけて、有機材料を含浸させ、前記繊維基材の幅方向に延在する含浸部を複数、形成する含浸部形成手段と、前記繊維基材の前記含浸部間の領域と、樹脂層とが対向するように、前記繊維基材の表面または裏面側に樹脂層を供給する供給手段と、前記繊維基材および前記樹脂層が搬送されるチャンバと、前記繊維基材および前記樹脂層を、前記繊維基材の長手方向に沿って、前記チャンバへ向けて搬送する搬送手段と、前記チャンバ内に、前記繊維基材の前記含浸部間の領域および前記樹脂層が位置し、前記繊維基材の前記含浸部間の領域よりも搬送方向下流側の領域および上流側の領域が、前記チャンバ外部に位置する状態で、前記搬送手段の駆動を停止する制御手段と、前記チャンバ内を減圧する減圧手段と、前記チャンバ内の前記繊維基材および樹脂層を加熱して、前記繊維基材内部に前記樹脂層を含浸させる加熱手段とを含む積層シートの製造装置が提供できる。

本発明によれば、所望の積層シートを得ることができる積層シートの製造方法および製造装置が提供される。

本発明の一実施形態にかかる積層シートを示す断面図である。 積層シートの平面図である。 本発明の積層シート製造装置の含浸部形成手段を示す図であり、繊維基材２の長手方向に沿った断面図である。 供給手段を示す図であり、繊維基材２の長手方向に沿った断面図である。 チャンバを示す断面図であり、繊維基材２の長手方向に沿った断面図である。 チャンバを示す断面図であり、繊維基材２の長手方向に沿った断面図である。 チャンバを示す断面図であり、繊維基材２の長手方向に沿った断面図である。 チャンバを示す断面図であり、繊維基材２の長手方向に沿った断面図である。 チャンバを示す断面図であり、繊維基材２の長手方向に沿った断面図である。 チャンバを示す断面図であり、繊維基材２の長手方向に沿った断面図である。 チャンバを示す断面図であり、図８のＩＸ−ＩＸ方向の断面図である。 実施例、比較例、参考例の結果を示す図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同一符号を付し、その詳細な説明は重複しないように適宜省略される。
はじめに、本実施形態の製造装置により製造される積層シート４０について説明する。
<積層シート>
まず、積層シート４０について、図１を参照しつつ説明する。なお、積層シート４０をその長手方向の途中で所定の寸法に切断すると、プリプレグ１が得られる。このプリプレグ１は、多層プリント配線板（回路基板）に使用されるものであり、たとえば、コア材となるものである。プリプレグ１の金属層１２を選択的に除去して回路層を形成し、さらに、このプリプレグ１の表裏面に、他のプリプレグと回路層とを交互に積層することで、多層プリント配線板（回路基板）が得られる。なお、各樹脂層３，４はＢ−ステージ状態であり、コア材として使用する場合には、プリプレグ１を加熱硬化して、樹脂層３,４を完全硬化（Ｃステージ）する。

図１に示す積層シート４０は、その全体形状が帯状（長尺状）をなし、薄板状（平板状）の繊維基材（基材）２と、繊維基材２の一方の面（上面）側に位置し、固形または半固形の第１の樹脂組成物で構成される第１の樹脂層（樹脂層）３と、繊維基材２の他方の面（下面）側に位置し、固形または半固形の第２の樹脂組成物で構成される第２の樹脂層（樹脂層）４と、第１の樹脂層３および第２の樹脂層４上にそれぞれ形成された金属層１２とを有する。この積層シート４０は、所定の寸法に切断されて使用される。
この積層シート４０は、図２に示すように、長尺状の繊維基材２の一方の面上に、第１の樹脂層（樹脂層）３および金属層１２で構成されるシート部５ａ（第１のシート部）が繊維基材２の長手方向に沿って複数離間配置された構造となっている。なお、図２は、複数のシート部５ａ、５ｂが離間して配置されていることをわかりやすくするための模式図であり、シート部５ａ、５ｂの搬送方向の長さと、含浸部２１の搬送方向の長さとが、図５とは一致していない。
また、長尺状の繊維基材２の他方の面上に、第２の樹脂層（樹脂層）４および金属層１２で構成されるシート部５ｂ（第２のシート部）が、繊維基材２の長手方向に沿って複数離間配置された構造となっている。
第１のシート部５ａおよび第２のシート部５ｂは、繊維基材２を挟んで対向する位置に配置される。また、本実施形態では、第１のシート部５ａおよび第２のシート部５ｂの繊維基材２長手方向に沿った長さは、含浸部２１間の隙間の長さと等しい。ただし、第１のシート部５ａおよび第２のシート部５ｂの繊維基材２長手方向に沿った長さは、含浸部２１間の隙間の長さよりも短くてもよい。
また、第１のシート部５ａおよび第２のシート部５ｂの繊維基材２長手方向に沿った長さは、隣接する一対の含浸部２１間の長さよりも長く、かつ、隣接する一対の含浸部２１間の長さと一対の含浸部２１の繊維基材２の長手方向に沿った長さとの合計値よりも短くてもよい。すなわち、第１のシート部５ａおよび第２のシート部５ｂの繊維基材２長手方向に沿った長さは、含浸部２１間の隙間の長さよりも長く、第１のシート部５ａの端部、第２のシート部５ｂの端部が含浸部２１と重なってもよい。
繊維基材２の長手方向に隣接する第１のシート部５ａ同士、第２のシート部５ｂ同士は離間し、含浸部２１が露出している。
第１のシート部５ａ間の繊維基材２および第２のシート部５ｂ間の繊維基材２を切断することで、プリプレグ１が得られる。なお、各樹脂層３，４はＢステージ状態である。

繊維基材２は、積層シート４０の機械的強度を向上する機能を有する。
この繊維基材２としては、例えば、ガラス織布、ガラス不織布等のガラス繊維基材、ポリアミド樹脂繊維、芳香族ポリアミド樹脂繊維や全芳香族ポリアミド樹脂繊維等を含むアラミド繊維等のポリアミド系樹脂繊維、ポリエステル樹脂繊維、芳香族ポリエステル樹脂繊維、全芳香族ポリエステル樹脂繊維等のポリエステル系樹脂繊維、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール、ポリイミド樹脂繊維、フッ素樹脂繊維等を主成分とする織布または不織布で構成される合成繊維基材、クラフト紙、コットンリンター紙、リンターとクラフトパルプの混抄紙等を主成分とする紙繊維基材等の有機繊維基材等の繊維基材等が挙げられる。
なお、繊維基材は、上述した繊維のいずれか１種を使用してもよいし、２種以上を使用したものであってもよい。

これらの中でも、繊維基材２は、ガラス繊維基材であるのが好ましい。かかるガラス繊維基材を用いることにより、積層シート４０を切断して得られたプリプレグ１の機械的強度をより向上することができる。また、プリプレグ１の熱膨張係数を小さくすることもできるという効果もある。

このようなガラス繊維基材を構成するガラスとしては、例えば、Ｅガラス、Ｃガラス、Ａガラス、Ｓガラス、Ｄガラス、ＮＥガラス、Ｔガラス、Ｈガラス、Ｑガラス、石英ガラス等が挙げられる。これらの中でも、ガラスは、Ｓガラス、Ｔガラス、石英ガラスまたはＱガラスであるのが好ましい。これにより、ガラス繊維基材の熱膨張係数を比較的小さくすることができ、このため、積層シート４０をその熱膨張係数ができる限り小さいものとすることができる。
また、本発明においては、含浸部２１との屈折率差を小さくしやすいという観点からはＮＥガラス、Ｓガラス、Ｔガラスがより好ましく、経済的な観点からはＥガラスがより好ましい。

繊維基材２の平均厚さＴは、特に限定されないが、１５０μｍ以下であるのが好ましく、１００μｍ以下であるのがより好ましく、１０〜５０μｍ程度であるのがさらに好ましい。かかる厚さの繊維基材２を用いることにより、プリプレグ１（積層シート４０）の機械的強度を確保しつつ、その薄型化を図ることができる。さらには、プリプレグ１の加工性・寸法安定性を向上することもできる。

この繊維基材２の一方の面側には、第１の樹脂層３が設けられ、また、他方の面側には、第２の樹脂層４が設けられている。また、第１の樹脂層３は、第１の樹脂組成物で構成され、一方、第２の樹脂層４は、第２の樹脂組成物で構成されている。第１の樹脂組成物と第２の樹脂組成物とは同じ組成物であってもよく、異なるものであってもよい。本実施形態では同じ組成物とする。

本実施形態では、第１の樹脂層３および第２の樹脂層４上にそれぞれ金属層１２が形成される。この金属層１２は、例えばエッチングやレーザ加工を施すことにより、配線部（導体パターン）となる。このため、第１の樹脂組成物、第２の樹脂組成物は、金属との密着性に優れるような組成に設定されている。

図１に示すように、本実施形態では、繊維基材２の厚さ方向の一部に第１の樹脂組成物（第１の樹脂層３）が含浸され（以下この部分を「第１の含浸部３０１」と言う）、繊維基材２の第１の樹脂組成物が含浸されていない残り部分に、第２の樹脂組成物（第２の樹脂層４）が含浸されている（以下この部分を「第２の含浸部４０１」と言う）。これにより、第１の樹脂層３の一部である第１の含浸部３０１と第２の樹脂層４の一部である第２の含浸部４０１とが繊維基材２内に位置する。そして、繊維基材２内において、第１の含浸部３０１（第１の樹脂層３の下面）と第２の含浸部４０１（第２の樹脂層４の上面）とが接触している。換言すれば、第１の樹脂組成物が、繊維基材２の上面側から、繊維基材２に含浸され、第２の樹脂組成物が、繊維基材２の下面側から、繊維基材２に含浸され、これらの樹脂組成物で繊維基材２内の空隙が充填されている。
なお、第１の樹脂層３のうち、繊維基材２に含浸されていない領域は、非含浸部３０２であり、第２の樹脂層４のうち、繊維基材２に含浸されていない領域は、非含浸部４０２である。
本実施形態では、第１の含浸部３０１の厚みと、第２の含浸部４０１の厚みは等しい。
さらに、第１の樹脂層３の第１の非含浸部３０２の厚みと、第２の樹脂層４の第２の非含浸部４０２の厚みとは等しい。第１の非含浸部３０２の厚み、第２の非含浸部４０２の厚みは、たとえば、２〜２０μｍである。なお、第１の含浸部３０１の厚みと、第２の含浸部４０１の厚みは異なっていてもよく、また、第１の非含浸部３０２の厚みと、第２の非含浸部４０２の厚みとが異なっていてもよい。なお、図１の符号２０は、積層シート４０の厚みの中心位置を示す。

図５に示すように、第１の樹脂層３は、金属層１２が積層された状態で、薄板状の第１のシート部（シート部）５ａとして積層シート製造装置３０のチャンバ７に供給される。第２の樹脂層４も、金属層１２が積層された状態で、薄板状の第２のシート部（シート部）５ｂとして積層シート製造装置３０のチャンバ７に供給される。

金属層１２は、前述したように配線部に加工される部分であり、導電性を有する金属材料で構成された、例えば、銅箔、アルミ箔等の金属箔を、対応する樹脂層に接合すること、銅、アルミニウムを、対応する樹脂層の表面にメッキすること等により形成される。また、本実施形態では、第１の樹脂層３や第２の樹脂層４は、前述したような特性を有するため、高い密着性で金属層１２を保持することができるとともに、高い加工精度で金属層１２を配線部に形成することができるようになっている。

金属層１２と第１の樹脂層３や第２の樹脂層４とのピール強度は、０．３ｋＮ／ｍ以上あるのが好ましく、０．６ｋＮ／ｍ以上であるのがより好ましい。これにより、金属層１２を配線部に加工し、例えば半導体装置との電気的な接続の信頼性をより向上させることができる。

さて、第１の樹脂組成物および第２の樹脂組成物は、次のような組成とするのが好ましい。

第１の樹脂組成物は、例えば、硬化性樹脂を含み、必要に応じて、硬化助剤（例えば硬化剤、硬化促進剤等）および無機充填材のうちの少なくとも１種を含んで構成される。

硬化性樹脂には、例えば、ユリア（尿素）樹脂、メラミン樹脂、マレイミド化合物、ポリウレタン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂、ビスアリルナジイミド化合物、ビニルベンジル樹脂、ビニルベンジルエーテル樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂、シアネート樹脂、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂、嫌気硬化性樹脂などが挙げられる。これらの中でも、硬化性樹脂は、ガラス転移温度が２００℃以上になる組合せが好ましい。例えば、スピロ環含有、複素環式、トリメチロール型、ビフェニル型、ナフタレン型、アントラセン型、ノボラック型の２または３官能以上のエポキシ樹脂、シアネート樹脂（シアネート樹脂のプレポリマーを含む）、マレイミド化合物、ベンゾシクロブテン樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂を用いるのが好ましい。

前記硬化性樹脂の中でも、熱硬化性樹脂を用いることにより、さらに、後述する基板を作製した後、すなわち、硬化後の樹脂層３、４中において架橋密度が増加するので、硬化後の樹脂層３、４（得られる基板）の耐熱性の向上を図ることができる。

前記熱硬化性樹脂と充填材を併用することにより、プリプレグ１の熱膨張係数を小さくすること（以下、「低熱膨張化」と言うこともある）ができる。さらに、プリプレグ１の電気特性（低誘電率、低誘電正接）等の向上を図ることもできる。

前記エポキシ樹脂としては、例えば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、アリールアルキレン型エポキシ樹脂等が挙げられる。

これらの中でも、エポキシ樹脂は、ナフタレン型、アリールアルキレン型エポキシ樹脂であるのが好ましい。ナフタレン型、アリールアルキレン型エポキシ樹脂を用いることにより、硬化後の第１の樹脂層３（得られる基板）において、吸湿半田耐熱性（吸湿後の半田耐熱性）および難燃性を向上させることができる。ナフタレン型エポキシとしては、ＤＩＣ（株）製のＨＰ−４７００、ＨＰ−４７７０、ＨＰ−４０３２Ｄ、ＨＰ−５０００、日本化薬（株）製のＮＣ−７３００Ｌ、新日鐵化学（株）製のＥＳＮ−３７５等が挙げられ、アリールアルキレン型エポキシ樹脂としては、日本化薬（株）製のＮＣ−３０００、ＮＣ−３０００Ｌ、ＮＣ−３０００−ＦＨ、日本化薬（株）製のＮＣ−７３００Ｌ、新日鐵化学（株）製のＥＳＮ−３７５等が挙げられる。アリールアルキレン型エポキシ樹脂とは、繰り返し単位中に芳香族基とメチレン等のアルキレン基の組合せを一つ以上含むエポキシ樹脂のことをいい、耐熱性、難燃性、および機械的強度が優れる。また、ハロゲンフリーの配線板に対応する上では、実質的にハロゲンを含まないエポキシ樹脂を用いることが好ましい。

前記シアネート樹脂は、例えば、ハロゲン化シアン化合物とフェノール類やナフトール類とを反応させ、必要に応じて加熱等の方法でプレポリマー化することにより得ることができる。また、このようにして調製された市販品を用いることもできる。

前記シアネート樹脂は、例えば、ノボラック型シアネート樹脂、ビスフェノールＡ型シアネート樹脂、ビスフェノールＥ型シアネート樹脂、テトラメチルビスフェノールＦ型シアネート樹脂等のビスフェノール型シアネート樹脂、及びナフトールアラルキル型シアネート樹脂等を挙げることができる。

また、前記シアネート樹脂は、分子内に２個以上のシアネート基（−Ｏ−ＣＮ）を有することが好ましい。例えば、２，２'−ビス（４−シアナトフェニル）イソプロピリデン、１，１'−ビス（４−シアナトフェニル）エタン、ビス（４−シアナト−３，５−ジメチルフェニル）メタン、１，３−ビス（４−シアナトフェニル−１−（１−メチルエチリデン））ベンゼン、ビス（４−シアナトフェニル）チオエーテル、ビス（４−シアナトフェニル）エーテル、１，１，１−トリス（４−シアナトフェニル）エタン、トリス（４−シアナトフェニル）ホスファイト、ビス（４−シアナトフェニル）スルホン、２，２−ビス（４−シアナトフェニル）プロパン、１，３−、１，４−、１，６−、１，８−、２，６−又は２，７−ジシアナトナフタレン、１，３，６−トリシアナトナフタレン、４，４−ジシアナトビフェニル、及びフェノールノボラック型、クレゾールノボラック型、ジシクロペンタジエン型等の多価フェノール類と、ハロゲン化シアンとの反応で得られるシアネート樹脂、ナフトールアラルキル型の多価ナフトール類と、ハロゲン化シアンとの反応で得られるシアネート樹脂等が挙げられる。これらの中で、フェノールノボラック型シアネート樹脂が難燃性、及び低熱膨張性に優れ、２，２−ビス（４−シアナトフェニル）イソプロピリデン、及びジシクロペンタジエン型シアネート樹脂が架橋密度の制御、及び耐湿信頼性に優れている。特に、フェノールノボラック型シアネート樹脂が低熱膨張性の点から好ましい。また、更に他のシアネート樹脂を１種類あるいは２種類以上併用したりすることもでき、特に限定されない。

前記シアネート樹脂は、単独で用いてもよいし、重量平均分子量の異なるシアネート樹脂を併用したり、前記シアネート樹脂とそのプレポリマーとを併用したりすることもできる。

これらシアネート樹脂を用いることにより、効果的に耐熱性、及び難燃性を発現させることができる。

また、前記硬化性樹脂は、２種以上を併用して用いることもできる。例えば、硬化性樹脂として前記エポキシ樹脂を用いる場合、より難燃性を向上させる上で、前記シアネート樹脂を併用することができ、また、より耐熱性を向上させる上で、前記マレイミド化合物を併用することができる。さらに、硬化性樹脂として、前記シアネート樹脂を用いる場合は、より耐熱性や難燃性などを向上させる上で、前記エポキシ樹脂を併用することができる。

硬化性樹脂の含有量は、特に限定されないが、第１の樹脂組成物全体の５〜７０質量％であるのが好ましく、１０〜５０質量％であるのがより好ましい。硬化性樹脂の含有量が前記下限値未満であると、硬化性樹脂の種類等によっては、第１の樹脂組成物のワニスの粘度が低くなりすぎ、プリプレグ１を形成するのが困難となる場合がある。一方、硬化性樹脂の含有量が前記上限値を超えると、他の成分の量が少なくなり過ぎるため、硬化性樹脂の種類等によっては、プリプレグ１の機械的強度が低下する場合がある。

また、樹脂組成物は、無機充填材を含むことが好ましい。これにより、プリプレグを薄型化（例えば、厚さ３５μｍ以下）にしても、機械的強度に優れる基板を得ることができる。さらに、基板の低熱膨張化を向上することもできる。

無機充填材としては、例えば、タルク、アルミナ、ガラス、溶融シリカのようなシリカ、マイカ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等を挙げることができる。また、無機充填材の使用目的に応じて、破砕状、球状のものが適宜選択される。これらの中でも、低熱膨張性に優れる観点からは、無機充填材は、シリカであるのが好ましく、溶融シリカ（特に球状溶融シリカ）であるのがより好ましい。

また、樹脂組成物は、以上に説明した成分のほか、本発明の効果を阻害しない範囲で、必要に応じて他の成分を配合することができる。他の成分としては、例えば、オルベン、ベントン等の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系の消泡剤又はレベリング剤、カップリング剤等の密着性付与剤、難燃剤、フタロシアニン・ブルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリーン、ジスアゾイエロー、カーボンブラック、アントラキノン類等の着色剤等を挙げることができる。

<積層シート製造装置>
次に、積層シート４０の製造に用いる積層シート製造装置３０について、図３〜図１１を参照しつつ説明する。

はじめに、積層シート製造装置３０の概要について説明する。
この積層シート製造装置３０は、長尺な繊維基材２の内部に、前記繊維基材２の長手方向に所定の間隔をあけて、有機材料を含浸させ、前記繊維基材２の幅方向に延在する含浸部２１を形成する含浸部形成手段３１（図３参照）と、繊維基材２の含浸部２１間の領域と、樹脂層３,４とが対向するように、前記繊維基材２上に樹脂層３,４を供給する供給手段３２（図４参照）と、繊維基材２および樹脂層３,４が搬送されるチャンバ７（図５参照）と、
前記繊維基材２および樹脂層３,４を、前記繊維基材２の長手方向に沿って、前記チャンバ７へ向けて搬送する搬送手段６（図５参照）と、チャンバ７内に、繊維基材２の前記含浸部２１間の領域および前記樹脂層３,４が位置し、含浸部２１間の領域よりも搬送方向下流側、上流側の繊維基材２がチャンバ７から、露出した状態で、前記搬送手段６の駆動を停止する制御手段９８（図５参照）と、チャンバ７内を減圧する減圧手段８（図５参照）と、チャンバ７内の繊維基材２および樹脂層３,４を加熱して、繊維基材２内部に樹脂層３,４を含浸させる加熱手段９５（図５参照）とを含む。

次に、積層シート製造装置３０について詳細に説明する。
積層シート製造装置３０は、前述した含浸部形成手段３１、搬送手段６と、供給手段３２、チャンバ７と、減圧手段８と、加熱手段９５、制御手段９８に加えて、加圧手段９（図５参照）を備えている。以下、各部の構成について説明する。

図３を参照して、含浸部形成手段３１について説明する。図３は、繊維基材２の長手方向に沿った断面図である。
含浸部形成手段３１は、図３に示すように、長尺な繊維基材２の内部に、有機材料を含浸させて、含浸部２１を形成するものである。繊維基材２はたとえば、図示しない供給ローラに巻回されており、供給ローラから、含浸部形成手段３１に供給される。
含浸部２１は、繊維基材２の長手方向に所定の間隔をあけて複数個形成される。また、含浸部２１は、本実施形態では、繊維基材２の幅方向全体にわたって延在する。ただし、含浸部２１は、繊維基材２の幅方向に延在していればよい。また、含浸部２１は、繊維基材２内部に、有機材料が入り込んでいればよく、繊維基材２内部を完全に埋め込むものでなくてもよい。
含浸部形成手段３１は、繊維基材２に対して、有機材料を塗布する塗布手段３１１と、塗布した有機材料を硬化させる硬化手段３１２とを含む。
塗布手段３１１は、繊維基材２の幅方向全体にわたって、有機材料を塗布するとともに、繊維基材２の長手方向に所定の間隔をあけて前記有機材料を塗布する。具体的には、塗布手段３１１は、ダイコータ等であり、塗布手段３１１で繊維基材２の幅方向にわたって有機材料を塗布した後、塗布された有機材料が硬化手段３１２と対向する位置まで、搬送手段６（ここでは、たとえば、ベルトコンベア６１）により、繊維基材２が搬送される。繊維基材２はその長手方向に沿って搬送される。

ここで、有機材料は、硬化性のモノマー、オリゴマーを有し、繊維基材２に対して、含浸させた後、硬化させることで樹脂を形成する樹脂材料であってもよく、あらかじめ樹脂成分を含んでいるものであってもよい。ただし、繊維基材２への含浸のしやすさを考慮すると、樹脂材料は、繊維基材２に含浸させた後に硬化させることができる硬化性の有機材料であることが好ましい。
有機材料は、たとえば、光硬化性のモノマー、オリゴマーを含むものである。光硬化性のモノマーとしては、エポキシ系化合物あるいはアクリル系化合物が好ましい。アクリル系化合物としては、アクリル酸エステルもしくはメタクリル酸エステルのモノマー等が挙げられ、具体的にはジアクリル酸エチレングリコール、ジメタクリ酸エチレングリコール、ジアクリル酸１，６-ヘキサンジオール、ジメタクリル酸１，６-ヘキサンジオール、ジアクリル酸グリセリン、ジメタクリル酸グリセリン、ジアクリル酸１，１０-デカンジオール、ジメタクリル酸１，１０-デカンジオール等の２官能アクリレート、トリアクリル酸トリメチロールプロパン、トリメタクリル酸トリメチロールプロパン、トリアクリル酸ペンタエリスリトール、トリメタクリル酸ペンタエリスリトール、ヘキサアクリル酸ジペンタエリスリトール、ヘキサメタクリル酸ジペンタエリスリトール等の多官能アクリレートなどが挙げられる。これらの中でもアクリル酸エステルが好ましく、特に好ましくはエステル部位の炭素数が１〜１５のアクリル酸エステルまたはメタクリル酸アルキルエステルが好ましい。
なお、有機材料は、光重合開始剤を含んでいてもよい。
また、有機材料は、エポキシ系化合物として、エポキシ基を有するモノマー、エポキシ基を有するオリゴマーを含有していてもよい。このエポキシ基を有するモノマー、オリゴマーは、酸の存在下において開環により重合するものである。有機材料が光酸発生剤を含有し、この光酸発生剤で発生した酸により硬化重合が開始する。
エポキシ基を有するモノマー、エポキシ基を有するオリゴマーとしては、エポキシノルボルネン（プロメラス社製 ＥｐＮＢ）を使用することができる。
さらに、3、4-エポキシシクロヘキセニルメチル-3、'4'-エポキシシクロヘキセンカルボキシレート（ダイセル化学社製 セロキサイド２０２１Ｐ）や、1,2-エポキシ-4-ビニルシクロヘキサン（ダイセル化学社製 セロキサイド２０００）、1,2：8,9ジエポキシリモネン（ダイセル化学社製 セロキサイド３０００）を使用することができる。なかでも、硬化後に、繊維基材２に屈折率が近くなるものが好ましい。詳しくは、後述するが、含浸部２１の位置を検出して、チャンバ７に対する位置決めを行うため、含浸部２１の屈折率と繊維基材２の屈折率との差が小さければ、含浸部２１とシート部５ａ，５ｂとの区別を簡単に行なうことができる。硬化後の有機材料の屈折率と、繊維基材２を構成する繊維の屈折率との差が、たとえば、０〜０．０８であることが好ましい。なお、繊維基材２の屈折率は、Ｅガラスで１．５５８、Ｔガラスで１．５２４となる。

光酸発生剤としては、光のエネルギーを吸収してブレンステッド酸あるいはルイス酸を生成するものであれば良く、例えば、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェ―ト、トリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホネート、トリス（４−ｔ−ブチルフェニル）スルホニウム−トリフルオロメタンスルホネートなどのスルホニウム塩類、ｐ−ニトロフェニルジアゾニウムヘキサフルオロホスフェートなどのジアゾニウム塩類、アンモニウム塩類、ホスホニウム塩類、ジフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホネート、（トリキュミル）ヨードニウム−テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートなどのヨードニウム塩類、キノンジアジド類、ビス（フェニルスルホニル）ジアゾメタンなどのジアゾメタン類、１−フェニル−１−（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ−１−ベンゾイルメタン、Ｎ−ヒドロキシナフタルイミド−トリフルオロメタンサルホネートなどのスルホン酸エステル類、ジフェニルジスルホンなどのジスルホン類、トリス（２，４，６−トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（３．４−メチレンジオキシフェニル）−４，６−ビス−（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジンなどのトリアジン類などの化合物を挙げることができる。これらの光酸発生剤は、単独、または複数を組み合わせて使用することができる。
この有機材料は、ワニス状であり、繊維基材２表面に塗布した後、大気圧ならびに毛細管力により、繊維基材２内部まで含浸する。
硬化手段３１２は、本実施形態では、塗布された有機材料に対して、光を照射し、含浸部２１を形成するものである。本実施形態では、たとえば、ＵＶランプ等である。ただし、有機材料に関しては、電子線照射や加熱処理によっても硬化させることが可能である。したがって、光硬化性の有機材料を硬化させる場合、紫外線等の光照射、電子線照射および加熱処理のうちの少なくとも１つの硬化手段を使用すればよいが、有機材料の架橋密度を十分に高めるために、紫外線照射または電子線照射と加熱処理とを併用することが好ましい。
なお、本実施形態では、有機材料を光硬化性のものとしている。繊維基材２は透明であり、内部に光が通りやすいため、有機材料に光を確実に照射でき、含浸部２１を形成することができる。
また、光硬化性の有機材料を使用することで、硬化にかかる時間を比較的短時間とすることができ、生産性を向上させることができる。

含浸部形成手段３１よりも、繊維基材２搬送方向下流側には、繊維基材２の表面および裏面のうち、少なくとも一方の面に、樹脂層を配置するための、供給手段３２（図４参照）が配置されている。なお、図４は、模式図であり、シート部５ａ、５ｂの搬送方向の長さと、含浸部２１の搬送方向の長さとが、図５とは一致していない。
搬送手段６（たとえば、前述したベルトコンベア６１および搬送ローラ６２）により、含浸部形成手段３１から、繊維基材２が供給手段３２へと送出される。繊維基材２はその長手方向に沿って搬送される。
本実施形態では、供給手段３２は、図示しない供給ローラと、裁断手段３２２と、一対のローラ３２１とを有する。一対のローラ３２１は外周面が樹脂（ゴム製）のピンチローラである。
図示しない供給ローラには、長尺の第一シートが巻回されている。このシートは、裁断されてシート部５ａとなるものである。この供給ローラからシートが一対のローラ３２１間に供給される。そして、供給ローラからのシートの供給が停止して、前述したシートは、裁断手段３２２により、所望の長さに裁断される。これにより、シート部５ａとなる。
同様に、図示しない他の供給ローラには、他の長尺の第二シートが巻回されている。このシートは、裁断されてシート部５ｂとなるものである。この供給ローラからシートが一対のローラ３２１間に供給される。そして、供給ローラからのシートの供給が停止して、前述したシートは、裁断手段３２２により、所望の長さに裁断される。これにより、シート部５ｂとなる。
なお、前述した供給ローラからは、所定のタイミングで間欠的にシート部５ａとなるシートあるいは、シート部５ｂとなるシートが供給される。本実施形態では、含浸部２１上に、シート部５ａ、５ｂが重ならないように供給ローラからのシートの供給のタイミングが制御されている。

シート部５ａ、５ｂは、一対のローラ３２１間に繊維基材２とともに供給されて、繊維基材２の表裏面にそれぞれ配置される。具体的には、樹脂層３が繊維基材２の含浸部２１間の領域と対向するように、シート部５ａが、繊維基材２の含浸部２１間の領域の表面側に配置される。
一方で、シート部５ｂの樹脂層４が繊維基材２の含浸部２１間の領域と対向するように、シート部５ｂが、繊維基材２の含浸部２１間の領域の裏面側に配置される。シート部５ａ、５ｂは、繊維基材２を介して対向する。
一対のローラ３２１は、繊維基材２に対して、シート部５ａ、５ｂを当接させる。一対のローラ３２１よりも繊維基材２の搬送方向下流側に、一対のシールバーを配置することが好ましい。繊維基材２、シート部５ａ、５ｂを挟んで対向するシールバーを互いに接近させて、一方のシールバーをシート部５ａに当接させ、他方のシールバーをシート部５ｂに当接させる。これにより、樹脂層３,４の一部が加熱されて、繊維基材２に対して、シート部５ａ、５ｂの一部が溶融圧着されることとなる。たとえば、シート部５ａ、５ｂの搬送方向と直交する一方の端部を繊維基材２に溶融圧着する。
また、繊維基材２に対して、シート部５ａ、５ｂを配置するが、繊維基材２の搬送方向に沿った端面（ＴＤ方向の端部の端面）は、第１のシート部５ａあるいは第２のシート部５ｂにより被覆されておらず、露出した状態となっている。シート部５ａ、５ｂの幅（繊維基材２の長手方向と直交する方向に沿った長さ）は、繊維基材２の幅と等しい、あるいは、繊維基材２の幅よりも短くなっている。
ここで、第１のシート部５ａは、第１の樹脂層３と、第１の樹脂層３を支持する支持体である金属層１２とを含む。第２のシート部５ｂは、第２の樹脂層４と、第２の樹脂層４を支持する支持体である金属層１２とを含む。第１の樹脂層３、第２の樹脂層４は、固形または半固形の樹脂組成物で構成されており、Ｂステージ状態である。
なお、第１の樹脂層３、第２の樹脂層４は液状の樹脂組成物であってもよい。
また、シート部５ａ、５ｂにおける各樹脂層３,４の厚みは、たとえば、３〜６０μｍ、好ましくは５〜３０μｍである。さらに、金属層１２の厚みは、たとえば、１〜７０μｍである。

供給手段３２よりも、シート搬送方向下流側には、図５に示すチャンバ７が配置されている。繊維基材２およびシート部５ａ、５ｂは、搬送手段６（ここでは、たとえば、ベルトコンベア６３）により、チャンバ７へ搬送される。
ベルトコンベア６３は、チャンバ７を介してその両側にそれぞれ配置されている。このベルトコンベア６３は、繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとを一括して図中の左側から右側（長手方向に沿って）、すなわち、水平方向に搬送することができる。すなわち、ベルトコンベア６３は、繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとをチャンバ７内に供給するとともに、チャンバ７から繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとを送り出す。

また、繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとは、ベルトコンベア６３により搬送されるときには、第１のシート部５ａの第１の樹脂層３に繊維基材２の上面が対向し、第２のシート部５ｂの第２の樹脂層４に繊維基材２の下面が対向した状態となっている。

チャンバ７では、搬送手段６により搬送された繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとが対向状態を維持したまま通過し、その際にこれらが圧着される。

チャンバ７は、上下方向に互いに接近／離間する上側構造体（第一の構造体）７１と下側構造体（第二の構造体）７２とで構成されている。
上側構造体７１は、天板７１１と、天板７１１の縁部にその全周にわたって形成された側壁７１２とを有している。側壁７１２は、天板７１１の縁部から、下方に向かって突出している。下側構造体７２は、底板７２１と、底板７２１の縁部にその全周にわたって形成された側壁７２２とを有している。側壁７２２は、底板７２１の縁部から、上方に向かって突出している。

上側構造体７１と下側構造体７２とが所定距離以上、離間した状態（以下「開状態」と言う）では、繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとをこれらの構造体７１,７２の内側に送り込むことができ、また、これらの構造体７１,７２の外側に向かって送り出すこともできる。チャンバ７では、上側構造体７１と下側構造体７２との間の図中左側の部分が入口７３となり、右側の部分が出口７４となる。より詳細に説明すると、繊維基材２等の搬送方向と直交する上側構造体７１の一対の側壁７１２のうち、搬送方向上流側に配置された側壁７１２Ａと、繊維基材２等の搬送方向と直交する下側構造体７２の一対の側壁７２２のうち、搬送方向上流側に配置された側壁７２２Ａとで前記入口が区画される。また、繊維基材２等の搬送方向と直交する上側構造体７１の一対の側壁７１２のうち、搬送方向下流側に配置された側壁７１２Ｂと、繊維基材２等の搬送方向と直交する下側構造体７２の一対の側壁７２２のうち、搬送方向下流側に配置された側壁７２２Ｂとで前記出口が区画される。側壁７１２Ａ，７２２Ａの対向する端面間が入口となり、側壁７１２Ｂ，７２２Ｂの対向する端面間が出口である。

上側構造体７１および下側構造体７２の構成材料としては、特に限定されず、例えば、鉄、ステンレス鋼、アルミニウム等の各種金属、またはこれらを含む合金が挙げられる。

上側構造体７１の入口７３を区画する部分（すなわち、側壁７１２Ａの端面）、出口７４を区画する部分（すなわち、側壁７１２Ｂの端面）には、それぞれ、弾性材料で構成されたシール部材７５が設置されている。また、下側構造体７２の入口７３を区画する部分（すなわち、側壁７２２Ａの端面）、出口７４を区画する部分（すなわち、側壁７２２Ｂの端面）にも、それぞれ、弾性材料で構成されたシール部材７６が設置されている。シール部材７５および７６は、それぞれ、その横断面形状が円形をなす部材である。シール部材７５は、上側構造体７１の側壁７１２Ａ，７１２Ｂの下部に固定され、シール部材７６は、下側構造体７２の側壁７２２Ａ，７２２Ｂの上部に固定されている。

そして、図６〜図８に示すように、上側構造体７１と下側構造体７２とが接近した状態（以下「閉状態」と言う）で、シール部材７５とシール部材７６とが繊維基材２の含浸部２１を挟持する。すなわち、シール部材７５が含浸部２１の表面側に密着し、シール部材７６が含浸部２１の裏面側に密着する。より詳細に説明すると、上側構造体７１の前記入口を区画する部分および下側構造体７２の前記入口を区画する部分で、シール部材７５とシール部材７６を介して、含浸部２１を挟む。また、上側構造体７１の前記出口を区画する部分および下側構造体７２の前記出口を区画する部分で、シール部材７５とシール部材７６を介して、他の含浸部２１を挟む。
これにより、上側構造体７１と下側構造体７２とで画成された空間７７、すなわち、チャンバ７内の気密性が維持される。このとき、減圧手段８が作動することにより、空間７７内を減圧することができる。
なお、ここでは、図示しないが、上側構造体７１の４枚の側壁のうち、側壁７１２Ａ，７１２Ｂ以外の側壁の下端部にも、シール部材が配置されている。同様に、下側構造体７２の４枚の側壁のうち、側壁７２２Ａ，７２２Ｂ以外の側壁の上端部にもシール部材が配置されている。これにより、チャンバ７内の気密性を保つことができる。
シール部材７５および７６の構成材料としては、特に限定されず、例えば、天然ゴム、
イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレン−ブタジエンゴム、ニトリルゴム、クロロプ
レンゴム、ブチルゴム、アクリルゴム、エチレン−プロピレンゴム、ヒドリンゴム、ウレ
タンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴムのような各種ゴム材料（特に加硫処理したもの）
や、スチレン系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニル系、ポリウレタン系、ポリエステル
系、ポリアミド系、ポリブタジエン系、トランスポリイソプレン系、フッ素ゴム系、塩素
化ポリエチレン系等の各種熱可塑性エラストマーが挙げられ、これらのうちの１種または
２種以上を混合して用いることができる。

減圧手段８は、チャンバ７内を負圧に減圧するものであり、ポンプ８１および接続管（チューブ）８２を２組有している。

一方の組（図中の上側）の接続管８２は、上側構造体７１の天板７１１に接続され、天板７１１に開口している。これにより、当該接続管８２がチャンバ７内に連通する。この接続管８２を介して一方の組のポンプ８１が上側構造体７１と接続される。

他方の組（図中の下側）の接続管８２は、下側構造体７２の底板７２１に接続され、底板７２１に開口している。これにより、当該接続管８２がチャンバ７内に連通する。この接続管８２を介して他方の組のポンプ８１が下側構造体７２と接続される。

各ポンプ８１は、それぞれ、チャンバ７の外側に設置され、例えば真空ポンプが適用される。各接続管８２は、それぞれ、例えばステンレス鋼等のような金属材料で構成された硬質管である。

そして、図７、図８に示すように、チャンバ７が閉状態で各ポンプ８１をそれぞれ作動させることにより、各接続管８２を介して空間７７内の空気Ｇを吸引することができ、よって、空間７７を確実に減圧することができる。

加圧手段９は、閉状態のチャンバ７内で、対向状態の繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとを一括して、その厚さ方向に加圧するものである（図８参照）。

加圧手段９は、上側押圧部材（第一押圧部材）９１と、上側押圧部材９１に連結されたシリンダ９２と、下側押圧部材（第二押圧部材）９３と、下側押圧部材９３に連結されたシリンダ９４とを有している。
なお、積層シート製造装置３０は、シリンダ９２,９４のいずれか一方のみを有するものであってもよい。すなわち、上側押圧部材９１および下側押圧部材９３のうち、いずか一方のみが駆動することで、押圧部材９１,９３が接近、離間するものであってもよい。

上側押圧部材９１は、チャンバ７内に位置し、第１のシート部５ａをその上側から押圧する部材である。上側押圧部材９１は、平面矩形の板状をなし、その全長（繊維基材２等の搬送方向に沿った長さ）が、積層シート４０を切断してなるプリプレグ１（あるいは第１のシート部５ａ）の全長とほぼ同じかまたはそれよりも若干短い。また、上側押圧部材９１の幅（図５の紙面奥行き方向の長さ）は、プリプレグ１（積層シート４０）の幅よりも広い。

上側押圧部材９１の上面には、シリンダ９２が連結されている。シリンダ９２は、上側押圧部材９１を下側押圧部材９３に対して接近、離間させるための駆動手段である。シリンダ９２は、出没自在なロッド９２１を有し、当該ロッド９２１の出没により上側押圧部材９１を上下方向に移動させることができる。そして、上側押圧部材９１が下方に移動したときに、第１のシート部５ａをその上側から押圧することができる。なお、シリンダ９２は、ロッド９２１が上側構造体７１の天板７１１を貫通しており、ほとんどの部分がチャンバ７の外側に位置している。

下側押圧部材９３は、チャンバ７内に位置し、第２のシート部５ｂをその下側から押圧する部材である。下側押圧部材９３は、上側押圧部材９１と同様に、平面矩形の板状であり、その全長が、積層シート４０を切断してなるプリプレグ１（あるいは第２のシート部５ｂ）の全長とほぼ同じかまたはそれよりも若干短い。また、下側押圧部材９３の幅は、プリプレグ１の幅よりも広い。

下側押圧部材９３の下面には、シリンダ９４が連結されている。シリンダ９４は、下側押圧部材９３を上側押圧部材９１に対して接近、離間させるための駆動手段である。シリンダ９４は、出没自在なロッド９４１を有し、当該ロッド９４１の出没により下側押圧部材９３を上下方向に移動させることができる。そして、下側押圧部材９３が上方に移動したときに、第２のシート部５ｂをその下側から押圧することができる。なお、シリンダ９４は、ロッド９４１が下側構造体７２の底板７２１を貫通しており、ほとんどの部分がチャンバ７の外側に位置している。

シリンダ９２は、そのロッド９２１の突出量、すなわち、圧力の大きさを調整可能に構成されており、シリンダ９４も、そのロッド９４１の突出量、すなわち、圧力の大きさを調整可能に構成されている。これにより、繊維基材２に対する、第１のシート部５ａの第１の樹脂層３の含浸の程度（第１の含浸部３０１の平均厚さ）と、第２のシート部５ｂの第２の樹脂層４の含浸の程度（第２の含浸部４０１の平均厚さ）とを所望の大きさに調整することができる。
上側押圧部材９１および下側押圧部材９３の構成材料としては、特に限定されず、例えば、ステンレス鋼等のような金属材料を用いることができる。また、金属材料にゴム、ガラス板、特に表面平滑度の高い部材を対向する面に張り付けることもできる。これにより、さらに、平滑性に優れた積層シート４０を得ることができる。

シリンダ９２、９４としては、特に限定されず、例えば、油圧シリンダ、エアシリンダ
を用いることができる。

また、上側押圧部材９１および下側押圧部材９３には、それぞれ、例えば電熱線で構成されたヒータ９５（加熱手段）が内蔵されている。これにより、上側押圧部材９１を介して第１の支持体５ａを確実に加熱することができるとともに、下側押圧部材９３を介して第２のシート部５ｂを確実に加熱することができる。

ヒータ９５は、本実施形態では上側押圧部材９１および下側押圧部材９３の双方に内蔵されているが、これに限定されず、例えば、上側押圧部材９１および下側押圧部材９３のうちの一方にのみ内蔵されていてもよい。

さらに、図５に示すように、積層シート製造装置３０は、検出手段９６と、判別手段９７と、制御手段９８とを備える。
検出手段９６は、隣接する第１のシート部５ａ間の隙間（隣接する第２のシート部５ｂ間の隙間）である含浸部２１の位置を検出する。検出手段９６としては、ＣＣＤカメラ等があげられる。
判別手段９７は、チャンバ７内の所定位置に繊維基材２の一部（含浸部２１間の領域）と、各シート部５ａ、５ｂとが搬送されたか否かを判別する。具体的には、判別手段９７では、検出手段９６で検出した含浸部２１の位置が所定であるかどうかを判別する。ここでいう所定の位置とは、含浸部２１が上側構造体７１の入口を区画する部分および下側構造体７２の前記入口を区画する部分と対向する位置である。
換言すると、含浸部２１が上側構造体７１の側壁７１２Ａに設けられたシール部材７５と対向し、含浸部２１が下側構造体７２の側壁７２２Ａに設けられたシール部材７６と対向する位置である。
制御手段９８は、判別手段９７で、チャンバ７内の所定位置に繊維基材２の一部と、シート部５ａ、５ｂとが搬送されたと判別された場合、すなわち、含浸部２１が前述した所定の位置にあると判別された場合に、搬送手段６のベルトコンベア６３の駆動を停止する。一方で、制御手段９８は、判別手段９７で、前記チャンバ７内の所定位置に繊維基材２の一部と、シート部５ａ、５ｂとが搬送されたと判別されない場合、すなわち、含浸部２１が所定の位置にないと判別された場合に搬送手段６のベルトコンベア６３の駆動を停止しないよう制御する。

なお、本実施形態では、検出手段９６により、チャンバ７入口側の含浸部２１の位置を検出したが、これに限らず、チャンバ７出口側の含浸部２１の位置を検出するようにしてもよい。この場合には、判別手段９７では、含浸部２１が、上側構造体７１の前記出口を区画する部分および下側構造体７２の前記出口を区画する部分と対向する位置にあるかどうか判別する。すなわち、含浸部２１が、上側構造体７１の側壁７１２Ｂに設けられたシール部材７５と対向し、含浸部２１が下側構造体７２の側壁７２２Ｂに設けられたシール部材７６と対向する位置にあるかどうかを検出する。
そして、制御手段９８では、判別手段９７で含浸部２１が所定の位置にあると判別された場合に、搬送手段６のベルトコンベア６３の駆動を停止し、含浸部２１が所定の位置にないと判別された場合に、搬送手段６のベルトコンベア６３の駆動を停止しない。
さらに、検出手段９６により、チャンバ７入口側の含浸部２１の位置、チャンバ７出口側の含浸部２１の位置の双方を検出してもよい。

次に、積層シート製造装置３０の作動状態、すなわち、積層シート製造装置３０により積層シート４０が製造される状態（過程）について、図３〜図１１を参照しつつ説明する。

はじめに、積層シート４０の製造方法の概要について説明する。
本実施形態の積層シート４０の製造方法は、長尺な繊維基材２を用意する工程と、
繊維基材２内部に有機材料を含浸させ、繊維基材２の幅方向に延在する含浸部２１を、繊維基材２の長手方向に所定の間隔をあけて形成する工程と、繊維基材２の含浸部２１間の領域と、樹脂層３,４とが対向するように、繊維基材２上に樹脂層３,４を供給する工程と、繊維基材２および樹脂層３,４を、前記繊維基材２の長手方向に沿って、チャンバ７内にむけて、搬送する工程と、チャンバ７内に、繊維基材２の前記含浸部２１間の領域および前記樹脂層３,４が位置し、繊維基材２の前記含浸部２１間の領域よりも、搬送方向下流側および上流側に位置する前記繊維基材２が前記チャンバ７から、露出した状態で、繊維基材２および前記樹脂層３,４の搬送を停止する工程と、チャンバ７内を減圧し、前記チャンバ７内の繊維基材２および樹脂層３,４を加熱して、前記繊維基材２内部に前記樹脂層３,４を含浸させる工程とを含む。

次に、積層シート４０の製造方法について詳細に説明する。
はじめに、長尺な繊維基材２を用意して、図３に示すように、含浸部形成手段３１により、含浸部２１を形成する。図示しないローラに巻回された繊維基材２を前記ローラから送り出し、ベルトコンベア６１で繊維基材２を搬送する。そして、所定の間隔で搬送を停止する。搬送が停止した後、塗布手段３１１により、繊維基材２の幅方向全体にわたって、有機材料を塗布する。再度、繊維基材２を搬送して、繊維基材２内部に含浸した有機材料が硬化手段３１２に対向した状態で繊維基材２の搬送を停止する。そして、硬化手段３１２で有機材料を硬化して含浸部２１を形成する。なお、硬化手段３１２で有機材料を硬化している間に、繊維基材２の他の領域に、塗布手段３１１により、有機材料を塗布しておく。
このような作業を繰り返して繊維基材２の長手方向に所定の間隔をあけて含浸部２１を形成する。

含浸部２１が形成された繊維基材２を含浸部形成手段３１から、供給手段３２までベルトコンベア６１および搬送ローラ６２（図４参照）で搬送する。
そして、繊維基材２を搬送しながらあるいは、搬送を一時停止して、図４に示すように、供給手段３２により、シート部５ａの樹脂層３が繊維基材２の含浸部２１間の領域に接触するように、シート部５ａを、繊維基材２の含浸部２１間の領域の表面上に供給する。一方で、供給手段３２により、繊維基材２の含浸部２１間の領域の裏面と、シート部５ｂの樹脂層４とが接触するように、シート部５ｂを繊維基材２の含浸部２１間の領域の裏面上に供給する。
具体的には、前述したように、図示しない供給ローラから、シート部５ａとなる長尺の第一シートを供給し、裁断手段３２２により所定の長さで裁断する。同様に、図示しない供給ローラから、シート部５ｂとなる長尺の第二シートを供給し、裁断手段３２２により所定の長さで裁断する。
シート部５ａ、５ｂは、一対のローラ３２１間に繊維基材２とともに供給されて、繊維基材２の表裏面にそれぞれ配置される。
なお、搬送時に、繊維基材２に対するシート部５ａの位置ずれが生じないように、繊維基材２に対して、各シート部５ａの一部を固定するとともに他の一部を固定しない状態としておくことが好ましい。具体的には、たとえば、各シート部５ａの搬送方向下流側の端部を繊維基材２に圧着固定することが好ましい。
同様に、繊維基材２に対して、シート部５ｂの一部を固定するとともに他の一部を固定しない状態としておくことが好ましい。具体的には、たとえば、シート部５ｂの搬送方向下流側の端部を繊維基材２に圧着固定することが好ましい。
供給手段３２により、含浸部２１間の領域に対して、シート部５ａ、５ｂが配置される。繊維基材２の上面側には、長手方向に沿って複数の第１のシート部５ａが含浸部２１を介して隣接して配置され、下面側にも複数の第２のシート部５ｂが含浸部２１を介して隣接して配置されることとなる。隣接する第１のシート部５ａ間において含浸部２１が露出し、さらに、隣接する第２のシート部５ｂ間において含浸部２１が露出する。
このようにして、シート部５ａ、５ｂが配置された繊維基材２は、ベルトコンベア６３により、チャンバ７内に搬送されることとなる。

なお、前述したように、繊維基材２の搬送方向に沿った端面（ＴＤ方向の端部の端面）は、第１のシート部５ａあるいは第２のシート部５ｂにより被覆されておらず、露出した状態となっている。

図５に示すように、ベルトコンベア６３により、チャンバ７内に繊維基材２、第１のシート部５ａおよび第２のシート部５ｂを搬送する。このとき、チャンバ７は、開状態となっている。検出手段９６において、含浸部２１の位置を検出する。そして、判別手段９７で、検出手段９６で検出した含浸部２１が所定の位置にあるかどうかを判別する。判別手段９７で、含浸部２１が所定の位置にあると判定された場合、すなわち、チャンバ７内の所定位置に繊維基材２の一部と、シート部５ａ、５ｂとが搬送されたと判別された場合に、ベルトコンベア６３の駆動を停止する。この停止状態は、チャンバ７内の繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとが接合するまで維持される。
図５に示すように、チャンバ７は、開状態となっており、入口７３を介して、対向状態の繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとが挿入されている。なお、繊維基材２の一部はチャンバ７内に位置するものの、繊維基材２の他の一部は、チャンバ７よりも搬送方向下流側および上流側に位置し、チャンバ７から露出している。
また、チャンバ７に位置するシート部５ａ、５ｂ以外の他のシート部５ａ、５ｂはチャンバ７外部に位置している。

このとき、上側押圧部材９１および下側押圧部材９３にそれぞれ内蔵されている各ヒータ９５が予め作動している。これにより、上側押圧部材９１および下側押圧部材９３がそれぞれ熱を帯びた状態となる。

次に、図６に示すように、上側構造体７１と下側構造体７２を接近させて、チャンバ７を閉状態とする。このとき、前述したように、チャンバ７の上側構造体７１のシール部材７５と、下側構造体７２のシール部材７６とで、含浸部２１が挟持される。これにより、チャンバ７の気密性が保たれる。
繊維基材２には、その長手方向に連通するとともに、表裏面に連通する孔が形成されており、繊維基材２は多孔質基材である。そのため、チャンバ７内部と外部とに渡って繊維基材２が配置されている場合、繊維基材２内部の孔を通して、チャンバ７内部と外部が連通してしまう。
これに対し本実施形態では、繊維基材２の幅方向に延びる含浸部２１が繊維基材２に形成されているため、チャンバ７内に位置する繊維基材２内部が、チャンバ７外部に位置する繊維基材２内部と連通しにくくなる。含浸部２１により、チャンバ７内部への気体の流入経路の少なくとも一部が遮断されることとなり、チャンバ７内部の気体が繊維基材２を通じてチャンバ７外部に漏れることが抑制できる。そのため、チャンバ７内部を減圧しやすくすることができるとともに、高真空とすることができる。
特に、本実施形態ではチャンバ７の上側構造体７１の入口を区画する部分および下側構造体７２の入口を区画する部分で、シール部材７５とシール部材７６を介して、含浸部２１を挟んでいる。さらに、上側構造体７１の出口を区画する部分および下側構造体７２の出口を区画する部分で、シール部材７５とシール部材７６を介して、他の含浸部２１を挟んでいる。これにより、含浸部２１と、上側構造体７１、下側構造体７２、シール部材７５,７６で密閉空間を形成することができ、チャンバ７内部の気体が繊維基材２を通じてチャンバ７外部に漏れることを確実に抑制できる。
このようにチャンバ７内部が減圧しやすくなるので、チャンバ７内を迅速に減圧でき、プリプレグの生産性を向上することができる。
さらには、チャンバ７内を高真空化できるので、樹脂層を繊維基材２内部に含浸する際に、繊維基材２中に残存した気体が気泡となってしまうことを抑制できる。これにより、ボイドの数が低減されたプリプレグを製造することができる。

次に、図７に示すように、減圧手段８を作動させて、チャンバ７に対する減圧を開始する。減圧は、シリンダ９２の作動により上側押圧部材９１を下方に移動させ、シリンダ９４の作動により下側押圧部材９３を上方に移動させて、繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとを一括して加圧するのに先立って、行われる。
これにより、空間７７が減圧状態となり、当該空間７７内に生じた減圧力（負圧）によって、繊維基材２と第１の樹脂層３との圧着と、繊維基材２と第２の樹脂層４との圧着とが補助される。本実施形態では、前述したように、シート部５ａの一部が繊維基材２に固定され、他の一部が繊維基材２に対して固定されていない状態である。同様に、シート部５ｂの一部が繊維基材２に固定され、他の一部が繊維基材２に対して固定されていない状態である。
チャンバ７内を減圧することで、シート部５ａ、５ｂの繊維基材２に固定されていない領域が繊維基材２に確実に接触することとなる。
さらに、減圧手段８を作動させることで、繊維基材２内部の気体（空気）が吸引されて、繊維基材２内部も減圧されることとなる。図１１に示すように、チャンバ内に位置する繊維基材２の搬送方向に沿った端面は、シート部５ａ、５ｂにより被覆されておらず、露出しているので、繊維基材２の搬送方向に沿った端面から、繊維基材２内部の気体が減圧手段により、吸引されることとなる。
なお、繊維基材２内の気体は、繊維基材２とシート部５ａとの間の隙間、繊維基材２とシート部５ｂとの間の隙間からも減圧手段８により吸引される。
これに加えて、前述したように、チャンバ７内に位置する繊維基材２の搬送方向下流側および上流側の領域に、樹脂層３，４が含浸しており、樹脂層３，４により封止された状態となっているので、チャンバ７内に位置する繊維基材２内部の気体を確実に吸引することができ、繊維基材２内部が減圧される。
なお、繊維基材２の搬送方向に沿った端部は、チャンバ７内部に位置し、チャンバ７からは露出しない。

次に、図８に示すように、減圧手段８の作動による減圧状態を維持しつつ、下側押圧部材９３を上方に移動させた後、上側押圧部材９１を下方に移動させる。これにより、繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとが一括して加圧される。

また、前述したように、上側押圧部材９１および下側押圧部材９３は、それぞれ、熱を帯びた状態となっている。これにより、第１のシート部５ａでは、金属層１２を介して第１の樹脂層３全体が加熱される。この加熱により、第１の樹脂層３が溶融されて、繊維基材２に圧着（融着）し、さらには、繊維基材２内部に樹脂層３が含浸されることとなる。また、第２のシート部５ｂでも、金属層１２を介して第２の樹脂層４全体が加熱される。この加熱により、第２の樹脂層４が溶融されて、繊維基材２に圧着し、さらには、繊維基材２内部に樹脂層４が含浸されることとなる。

また、本実施形態では、チャンバ７内部を減圧手段により減圧した状態で、繊維基材２に樹脂層３,４を含浸させている。これにより、図１１に示すように、含浸時に、繊維基材２内部の気体が減圧手段８により吸引された状態となる。そのため、繊維基材２中に残存した気体が気泡となってしまうことを抑制できる。これにより、ボイドが低減されたプリプレグを製造することができる。なお、図１１は、図８のＸＩ−ＸＩ方向の断面図である。
さらに、チャンバ７内部を減圧手段８により減圧した状態で、繊維基材２に樹脂層３,４を含浸させている。換言すると、繊維基材２内部の気体が減圧手段８で吸引された状態で、樹脂層を含浸させることとなるので、繊維基材２への樹脂層の含浸性を高めることができる。

なお、加圧手段９、加熱手段９５の作動条件、すなわち、加圧時間、加熱時間、加熱温度は、それぞれ、繊維基材２、第１の樹脂層３、第２の樹脂層４の各構成材料や厚さ等にもよるが、加圧時間としては、例えば、５〜１８０秒であるのが好ましく、１０〜１２０秒であるのがより好ましい。また、加熱時間としては、例えば、５〜１８０秒であるのが好ましく、１０〜１２０秒であるのがより好ましい。また、加熱温度としては、例えば、６０〜１５０度であるのが好ましく、８０〜１３０度であるのがより好ましい。

また、圧力としては、例えば、０．１〜３．０ＭＰａであるのが好ましく、０．５〜１．５ＭＰａであるのが好ましい。

次に、図９に示すように、減圧手段８の作動を停止して大気解放後、上側押圧部材９１を上方に移動させるとともに、下側押圧部材９３を下方に移動させる。上側構造体７１と下側構造体７２を離間させて、チャンバ７を開状態とする。

次に、図１０に示すように、搬送手段６を作動させて、積層シート４０をチャンバ７の出口７４から送り出す。これに連動して、チャンバ７には、繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとが挿入され、再度、上述した操作を行ない、繊維基材２内部に樹脂層を含浸させる。

ここで、チャンバ７の出口７４からは、繊維基材２、第１のシート部５ａ、第２のシート部５ｂの積層体が大気圧下に順次、送り出される。このとき、含浸部２１を屈曲させて、積層シート４０を折りたたみ、回収することができる。なお、本実施形態の積層シート４０では、繊維基材２内部は、樹脂層３，４により完全に埋め込まれている。ただし、繊維基材２内部が樹脂層３，４に完全に埋め込まれておらず、繊維基材２内部に空隙が形成されていてもよい。
そして、チャンバ７の出口７４から送り出された積層シート４０は、図示しない次工程により、繊維基材２の含浸部２１で切断されることとなる。これにより、プリプレグ１が得られる。このように、積層シート４０からプリプレグ１を製造する際の含浸部２１は切断領域として使用することができる。
なお、チャンバ７の出口７４から送り出された積層シート４０を折りたたまずに、すぐに含浸部２１を切断してもよい。

また、積層シート製造装置３０では、含浸部２１の位置を検出し、含浸部２１が所定の位置にある場合に、搬送手段６の駆動を停止している。
含浸部２１を、繊維基材２、第１のシート部５ａ、第２のシート部５ｂのチャンバ７に対する位置決めに用いることができる。これにより、１つのプリプレグ１を構成する、繊維基材２、第１のシート部５ａ、第２の支持体５ｂをチャンバ７内に確実に位置させることができ、その後の圧着を行なえば、プリプレグ１を確実に得ることができる。

さらに、本実施形態では、長尺状の繊維基材２をチャンバ７内に送り込んでいる。このように繊維基材２を長尺状としておくことで、繊維基材２の切断くず等の発生を抑制できる。
また、本実施形態では、有機材料を含浸させた含浸部２１を形成し、この含浸部２１を切断して、プリプレグ１を得ている。含浸部２１を切断するため、繊維基材２の切断くず等の発生を抑制できる。

なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
たとえば、前記実施形態では、含浸部２１を構成する有機材料を、光硬化性のモノマーを含み、光を照射することで架橋反応が進行する光硬化性の有機材料としたが、これに限られるものではない。たとえば、有機材料が熱硬化性の樹脂を含み、加熱することで、架橋反応が進行し、熱硬化することで含浸部２１が形成されてもよい。この場合には、硬化手段は、熱硬化させるための加熱手段を含むものとなる。
また、有機材料を、接着剤としてもよい。繊維基材２に接着剤を含浸させて、乾燥させて、含浸部２１を形成する。接着剤としては、シアノアクリレート等を含み、空気中の水分と重合硬化反応するタイプのものを使用することができる。

さらには、前記実施形態では、シール部材７５とシール部材７６とで含浸部２１を挟んだが、これに限られるものではない。たとえば、チャンバ７内側に含浸部２１が位置する状態で、チャンバ７内を減圧してもよい。このような場合においても、繊維基材２の長手方向に沿って含浸部２１が離間して設けられており、長手方向に沿って所定の間隔で繊維基材２が区画される。含浸部２１により、チャンバ７内部への気体の流入経路の少なくとも一部が遮断されることとなり、チャンバ７内部を減圧下しやすくなる。

さらに、前記実施形態では、繊維基材２の表裏面に樹脂層３，４を配置して、樹脂層３，４を繊維基材２内部に含浸させたが、繊維基材２の一方の面にのみ樹脂層を配置して、繊維基材２に樹脂層を含浸させてもよい。
また、前記実施形態では、シート部５ａ、５ｂは金属層１２を有していたが、金属層に限らず、たとえば、樹脂層３,４を支持する樹脂製の支持基体であってもよい。この場合には、プリント配線板用のビルドアップ材として使用する積層シートを得ることができる。

次に、本発明の実施例ならびに比較例についてより具体的に説明する。ただし、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
（実施例１）
前記実施形態と同様の方法で積層シート４０を製造した。

１．第１樹脂層および第２樹脂層のワニスの調製
エポキシ樹脂（エポキシ当量が５３０である臭素化ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（三菱化学社製、商品名ｊＥＲ５０４６））１００重量部と、硬化剤としてのジシアンジアミド（日本カーバイド社製）４重量部と、硬化促進剤としての２−エチル−４−メチルイミダゾール（四国化成社製）０．５重量部と、無機フィラとしての球状シリカ（アドマテックス社製、ＳＯ−２５Ｈ、平均粒径０．５μｍ）２００重量部と、溶剤としてメチルエチルケトンとを、室温で２時間撹拌混合することで、固形分６５重量％のエポキシ樹脂系ワニス（樹脂層となるもの）を調製した。

２．シートの製造
銅箔（幅５３０ｍｍ）を用い、上述ワニスをコンマコーター装置で塗工し、１７０℃の乾燥装置で３分間乾燥させ、厚さ２９μｍ、幅５３０ｍｍの樹脂層を形成した。このようにして得られたシートを第１のシートおよび第２のシートとして使用した。第１のシートは裁断されてシート部５ａとなるものである。同様に、第２のシートは裁断されてシート部５ｂとなるものである。

３．プリプレグの製造
前記実施形態の製造装置３０を使用して、前記実施形態と同様の方法で、プリプレグを製造した。
繊維基材としてガラス織布（クロスタイプ＃２１１６、幅５３０ｍｍ、厚さ９０μｍ、坪量１０４ｇ／ｍ²）を用いた。
まず、前記実施形態と同様に、繊維基材２に対して、複数の含浸部２１を形成した。含浸部２１の繊維基材長手方向の幅は、２５ｍｍとした。また、含浸部２１は繊維基材２の幅方向全体にわたって延在する。さらに、含浸部２１間の間隔は、７００ｍｍとした（図３の距離ｌ＝７００ｍｍ）。
含浸部２１の材料としては、セロキサイド２０２１Ｐ（ダイセル化学工業製、エポキシ当量１７６）１００重量部とリン酸系光酸発生剤（光重合開始剤）ＳＰ−１５０（ＡＤＥＫＡ製）１重量部を配合したものを使用し、２４０ｍＷ／ｃｍ^２のＵＶ光を数秒（たとえば６．２５秒）照射することで、ＵＶ硬化させた。
その後、前記実施形態と同様の方法で、第一シートおよび第二シートを裁断し、上述した第１のシート部５ａ、第２のシート部５ｂを、繊維基材２の含浸部２１間の領域と対向させて、第１のシート部５ａ、第２のシート部５ｂを配置した。ここでは、第１のシート部５ａ、第２のシート部５ｂの繊維基材２長手方向の長さと、一対の含浸部２１間の長さとはほとんど等しく、第１のシート部５ａ、第２のシート部５ｂは、一対の含浸部２１とはほとんど重なっておらず、含浸部２１は露出していた。また、繊維基材２の搬送方向に沿った端面は、第１のシート部５ａ、第２のシート部５ｂに被覆されておらず露出していた。
次に、繊維基材２、第１のシート部５ａ、第２のシート部５ｂをチャンバ７内に配置した。このとき、繊維基材２のチャンバ７よりも搬送方向下流側、および上流側の領域は、前記実施形態と同様、チャンバ７から外部に露出している。
次に、チャンバ７をとじて、チャンバ７の上側構造体７１の入口を区画する部分および下側構造体７２の入口を区画する部分で、シール部材７５とシール部材７６を介して、含浸部２１を挟んだ。さらに、上側構造体７１の出口を区画する部分および下側構造体７２の出口を区画する部分で、シール部材７５とシール部材７６を介して、他の含浸部２１を挟んだ。なお、チャンバ７の繊維基材搬送方向に沿った外寸は、７５０ｍｍであり、チャンバ７の繊維基材搬送方向に沿った内寸（側壁７１２Ａ、７１２Ｂ間の長さ、側壁７２２Ａ，７２２Ｂ間の長さ）は、７００ｍｍであった。
その後、チャンバ７内を減圧した。このとき、図１２に示すように、減圧開始から３０秒でチャンバ７内の圧力は、８０Ｐａに達し、平衡状態となった。
なお、チャンバ７内に繊維基材２、第１のシート部５ａ、第２のシート部５ｂを配置せずに、チャンバ７内が空の状態で、チャンバ内を減圧した場合にも、減圧開始から３０秒でチャンバ７内の圧力は、８０Ｐａに達し、平衡状態となることから、チャンバ７が空の状態と同様、チャンバ７内を減圧できていることが確認できた。
次に、９０℃に加熱した上側押圧部材９１および下側押圧部材９３により、チャンバ７内の繊維基材２、第１のシート部５ａ、第２のシート部５ｂを加熱、加圧した。加熱加圧時間は３０秒であり、加圧力は１．０ＭＰａであった。
その後、上側押圧部材９１および下側押圧部材９３を互いに離間させて、加熱加圧を終了し、チャンバ７から、積層シート４０を送出した。
積層シート４０の断面を観察したところ、ボイドはほとんどないことが確認できた。

（参考例１）
ここでは、繊維基材２を予め、７００ｍｍに裁断し、裁断した繊維基材２の表面側に第１のシート部５ａを配置した。また、裁断した繊維基材２の裏面側に第２のシート部５ｂを配置した。
その後、裁断された繊維基材２、第１のシート部５ａ、第２のシート部５ｂをチャンバ７内に配置した。チャンバ７から、繊維基材２、第１のシート部５ａ、第２のシート部５ｂがはみ出すことは無かった。
次に、チャンバ７内を減圧した。このとき、図１２に示すように、減圧開始から３０秒でチャンバ７内の圧力は、８０Ｐａに達し、平衡状態となった。
次に、９０℃に加熱した上側押圧部材９１および下側押圧部材９３により、チャンバ７内の繊維基材２、第１のシート部５ａ、第２のシート部５ｂを加熱、加圧した。加熱加圧時間は３０秒であり、加圧力は１．０ＭＰａであった。
その後、上側押圧部材９１および下側押圧部材９３を互いに離間させて、加熱加圧を終了し、チャンバ７から、裁断された繊維基材２、第１のシート部５ａ、第２のシート部５ｂで構成される積層シートを送出した。
積層シートの断面を観察したところ、ボイドはほとんどないことが確認できた。
このように枚葉式で積層シートを製造した場合と、実施例１とではチャンバ７内を同程度に減圧することができ、実施例１においては、枚葉式で積層シートを製造した場合と同様の効果が得られることがわかった。

（比較例１）
ここでは、含浸部２１を形成しなかった。他の点は、実施例１と同様である。
この場合には、チャンバ７を減圧する際、減圧開始から３０秒でチャンバ７内の圧力は、５３３Ｐａに達し、平衡状態となった。
このようにして製造された積層シート４０の断面を観察したところ、ボイドは比較的少ないものの、実施例１よりは多くなっていた。

Ｇ 空気
１ プリプレグ
２ 繊維基材
３ 第１の樹脂層
４ 第２の樹脂層
５ａ 第１のシート部
５ｂ 第２のシート部
６ 搬送手段
７ チャンバ
８ 減圧手段
９ 加圧手段
１２ 金属層
２１ 含浸部
３０ 積層シート製造装置
３１ 含浸部形成手段
３２ 供給手段
４０ 積層シート
６１ ベルトコンベア
６２ 搬送ローラ
６３ ベルトコンベア
７１ 上側構造体
７２ 下側構造体
７３ 入口
７４ 出口
７５ シール部材
７６ シール部材
７７ 空間
８１ ポンプ
８２ 接続管
９１ 上側押圧部材
９２ シリンダ
９３ 下側押圧部材
９４ シリンダ
９５ 加熱手段（ヒータ）
９６ 検出手段
９７ 判別手段
９８ 制御手段
３１１ 塗布手段
３１２ 硬化手段
３２１ ローラ
３２２ 裁断手段
７１１ 天板
７１２ 側壁
７１２Ａ 側壁
７１２Ｂ 側壁
７２１ 底板
７２２ 側壁
７２２Ａ 側壁
７２２Ｂ 側壁
９２１ ロッド
９４１ ロッド
３０１ 含浸部
３０２ 非含浸部
４０１ 含浸部
４０２ 非含浸部

Claims (13)

1. 長尺な繊維基材を用意する工程と、
   前記繊維基材内部に有機材料を含浸させ、前記繊維基材の幅方向に延在する含浸部を、前記繊維基材の長手方向に所定の間隔をあけて複数、形成する工程と、
   前記繊維基材の前記含浸部間の領域と、樹脂層とが対向するように、前記繊維基材の表面または裏面側に樹脂層を供給する工程と、
   前記繊維基材および前記樹脂層を、前記繊維基材の長手方向に沿って、チャンバ内にむけて、搬送する工程と、
   前記チャンバ内に、前記繊維基材の前記含浸部間の領域および前記樹脂層が位置し、
   前記繊維基材の前記含浸部間の領域よりも搬送方向下流側の領域および上流側の領域が、前記チャンバ外部に位置する状態で、前記繊維基材および前記樹脂層の搬送を停止する工程と、
   前記チャンバ内を減圧し、前記チャンバ内の前記繊維基材および前記樹脂層を加熱して、前記繊維基材内部に前記樹脂層を含浸させる工程とを含む積層シートの製造方法。
2. 請求項１に記載の積層シートの製造方法において、
   当該積層シートは、プリント配線板用である積層シートの製造方法。
3. 請求項１または２に記載の積層シートの製造方法において、
   前記繊維基材は、ガラス、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール、アラミド樹脂ポリエステルのいずれかの材料で構成された繊維からなる積層シートの製造方法。
4. 請求項１乃至３のいずれかに記載の積層シートの製造方法において、
   前記繊維基材に樹脂層を供給する前記工程では、前記繊維基材の長手方向に沿った端面が前記樹脂層に被覆されないように、前記繊維基材上に前記樹脂層を配置し、
   前記繊維基材内部に前記樹脂層を含浸させる前記工程では、
   前記チャンバ内を減圧する減圧手段により、前記チャンバ内に位置する前記繊維基材の長手方向に沿った端面から、前記繊維基材内部の気体を吸引する積層シートの製造方法。
5. 請求項１乃至４のいずれかに記載の積層シートの製造方法において、
   前記チャンバは、互いに対向することで、減圧される空間を構成する第一の構造体と、第二の構造体とを備え、
   前記第一の構造体および前記第二の構造体は、相対的に離間および接近可能に構成され、前記第一の構造体と、前記第二の構造体との間に入口および出口が形成され、
   前記繊維基材および樹脂層を、前記繊維基材の長手方向に沿って、チャンバ内にむけて、搬送する前記工程では、前記第一の構造体および前記第二の構造体を互い離間させて、前記入口から、前記チャンバ内に前記繊維基材および前記樹脂層を搬送し、
   前記繊維基材内部に前記樹脂層を含浸させる前記工程では、前記第一の構造体および前記第二の構造体を接近させて、前記第一の構造体および前記第二の構造体の前記入口を区画する部分で、前記繊維基材の含浸部を挟むとともに、前記第一の構造体および前記第二の構造体の前記出口を区画する部分で、前記繊維基材の他の含浸部を挟む積層シートの製造方法。
6. 請求項１乃至５のいずれかに記載の積層シートの製造方法において、
   前記含浸部を形成する前記工程では、
   硬化性の有機材料を前記繊維基材内部に含浸させた後、前記有機材料を硬化させて前記含浸部を形成する積層シートの製造方法。
7. 請求項６に記載の積層シートの製造方法において、
   前記硬化性の有機材料は、光硬化性の有機材料であり、
   有機材料を前記繊維基材内部に含浸させた後、前記有機材料を光硬化させる積層シートの製造方法。
8. 請求項１乃至７のいずれかに記載の積層シートの製造方法において、
   前記繊維基材内部に前記樹脂層を含浸させる前記工程では、
   前記チャンバ内の前記繊維基材および前記樹脂層を加圧するとともに加熱して、前記繊維基材内部に前記樹脂層を含浸させる積層シートの製造方法。
9. 請求項１乃至８のいずれかに記載の積層シートの製造方法において、
   前記繊維基材に前記樹脂層を供給する前記工程では、
   前記繊維基材の長手方向に隣接する一対の含浸部が露出するように、前記繊維基材に対して前記樹脂層を配置する積層シートの製造方法。
10. 請求項９に記載の積層シートの製造方法において、
    前記含浸部の位置を検出する工程と、
    検出した前記含浸部の位置が所定の位置であるか否かを判定する工程と、
    前記含浸部が所定の位置であると判定された場合に、前記繊維基材および前記樹脂層の搬送を停止する前記工程を実施し、
    前記含浸部が所定の位置でないと判定された場合に、前記繊維基材および前記樹脂層の搬送を停止しない積層シートの製造方法。
11. 長尺な繊維基材の内部に、前記繊維基材の長手方向に所定の間隔をあけて、有機材料を含浸させ、前記繊維基材の幅方向に延在する含浸部を複数、形成する含浸部形成手段と、
    前記繊維基材の前記含浸部間の領域と、樹脂層とが対向するように、前記繊維基材の表面または裏面側に樹脂層を供給する供給手段と、
    前記繊維基材および前記樹脂層が搬送されるチャンバと、
    前記繊維基材および前記樹脂層を、前記繊維基材の長手方向に沿って、前記チャンバへ向けて搬送する搬送手段と、
    前記チャンバ内に、前記繊維基材の前記含浸部間の領域および前記樹脂層が位置し、前記繊維基材の前記含浸部間の領域よりも搬送方向下流側の領域および上流側の領域が、前記チャンバ外部に位置する状態で、前記搬送手段の駆動を停止する制御手段と、
    前記チャンバ内を減圧する減圧手段と、
    前記チャンバ内の前記繊維基材および樹脂層を加熱して、前記繊維基材内部に前記樹脂層を含浸させる加熱手段とを含む積層シートの製造装置。
12. 請求項１１に記載の積層シートの製造装置において、
    当該積層シートは、プリント配線板用である積層シートの製造装置。
13. 請求項１１または１２に記載の積層シートの製造装置において、
    前記チャンバは、互いに対向することで、減圧される空間を構成する第一の構造体と、第二の構造体とを備え、
    前記第一の構造体および前記第二の構造体は、相対的に離間および接近可能に構成され、前記第一の構造体と、前記第二の構造体との間に入口および出口が形成され、
    前記含浸部の位置を検出する検出手段と、
    前記検出手段で検出された前記含浸部の位置が、前記第一の構造体および前記第二の構造体の前記入口あるいは前記出口を区画する部分と対向する位置であるか否かを判別する判別手段を備え、
    前記制御手段は、前記判別手段にて、前記検出手段で検出された前記含浸部の位置が、前記第一の構造体および前記第二の構造体の前記入口あるいは出口を区画する部分と対向する位置であると判定された場合に、前記搬送手段の駆動を停止し、
    前記判別手段にて、前記検出手段で検出された前記含浸部の位置が、前記第一の構造体および前記第二の構造体の前記入口あるいは出口を区画する部分と対向する位置でないと判定された場合には、前記搬送手段の駆動を停止しない積層シートの製造装置。

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