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JP2013120173A - Fouling detecting sensor and fouling detecting device - Google Patents

Fouling detecting sensor and fouling detecting device Download PDF

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JP2013120173A
JP2013120173A JP2011269613A JP2011269613A JP2013120173A JP 2013120173 A JP2013120173 A JP 2013120173A JP 2011269613 A JP2011269613 A JP 2011269613A JP 2011269613 A JP2011269613 A JP 2011269613A JP 2013120173 A JP2013120173 A JP 2013120173A
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JP
Japan
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scale
sensor
temperature
detection unit
detection
Prior art date
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Pending
Application number
JP2011269613A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yuiko Kishi
由子 岸
Shintaro Mori
信太郎 森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kurita Water Industries Ltd
Original Assignee
Kurita Water Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kurita Water Industries Ltd filed Critical Kurita Water Industries Ltd
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Priority to PCT/JP2012/078682 priority patent/WO2013084641A1/en
Priority to TW101141425A priority patent/TW201329440A/en
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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    • G01N17/008Monitoring fouling
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N25/00Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
    • G01N25/18Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating thermal conductivity

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Abstract

【課題】発熱体への通電によって生じる検出部内の温度の変化により、検出部の外面に付着する付着物を検出する場合に、付着物の検出にタイムラグを生じさせないようにした。
【解決手段】 発熱体11及び測温体12が挿入されている金属管10内に熱良導性の充填剤13が充填された検出部Kを、付着物の調査水中に浸漬して、発熱体11への通電によって生じる検出部K内の温度の変化により、この検出部Kの外面K1への付着物の付着検出を行う付着物検出用のセンサー1であって、金属管10の外面をスケールGで被覆して、検出部Kの外面K1をスケールGの表面によって形成した。付着物がスケールの場合、このスケールは、検出部Kの外面K1の全面にかつ迅速に付着する。
【選択図】 図1
An object of the present invention is to prevent a time lag from being detected when detecting an adhering matter adhering to the outer surface of a detecting unit due to a change in temperature in the detecting unit caused by energization of a heating element.
A detection portion K in which a heat-conductive filler 13 is filled in a metal tube 10 in which a heating element 11 and a temperature measuring element 12 are inserted is immersed in the water for investigating adhering matter to generate heat. A sensor 1 for detecting a deposit on the outer surface K1 of the detection unit K according to a change in temperature in the detection unit K caused by energization of the body 11, wherein the outer surface of the metal tube 10 is Covering with the scale G, the outer surface K1 of the detection part K was formed by the surface of the scale G. When the deposit is a scale, the scale adheres to the entire outer surface K1 of the detection unit K quickly.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、例えば冷却水系のような工業用水系や紙パルププロセスにおけるスケールやスライムの発生状況を検出するための、付着物検出用のセンサー及び付着物検出装置に関するものである。   The present invention relates to a sensor for detecting an adhering matter and an adhering matter detecting device for detecting the generation state of scale and slime in an industrial water system such as a cooling water system or a paper pulp process.

例えば、工業用水系や紙パルププロセスにおいては、機器や配管中を流れる使用水の水質の変動等により、水中に溶解している不純物が、機器や配管の流路内面に結晶の析出等によって付着し、これらが積層固化(固着)することによりスケールが発生する。また、使用水中に存在する微生物等の作用により、機器や配管の流路内面にスライムが発生する。   For example, in industrial water systems and pulp and paper processes, impurities dissolved in water adhere to the inner surfaces of the flow paths of equipment and piping due to crystal precipitation etc. due to fluctuations in the quality of the water used in equipment and piping. However, scales are generated by laminating and solidifying (fixing) them. In addition, slime is generated on the inner surface of the flow path of equipment and piping due to the action of microorganisms and the like present in the water used.

このようなスケールやスライムの発生状況を連続的に検出可能なものには、例えば、特許文献1に記載される付着物検出装置がある。この付着物検出装置は、発熱体及び測温体が挿入されている金属管内に熱良導性の充填剤が充填された検出部が、付着物の発生を調査をする水(以下調査水という)中に置かれるセンサー(プローブ)を有しており、このセンサの検出部を調査水中に浸漬しつつ、発熱体への通電を行い、この通電によって生じる検出部内の温度の変化により、センサーの検出部外面にスケールやスライムが付着したことを検出するものである。   As an apparatus capable of continuously detecting such a scale or slime generation state, for example, there is an adhering substance detection apparatus described in Patent Document 1. This adhering matter detection device uses water (hereinafter referred to as investigation water) in which a detection unit in which a metal tube in which a heating element and a temperature measuring element are inserted is filled with a heat conductive filler is investigated. ) The sensor (probe) is placed in the sensor, and the heating element is energized while the sensor's detector is immersed in the survey water. It detects that scale or slime has adhered to the outer surface of the detection unit.

特開2010−101840号公報JP 2010-101840 A

しかしながら、このような付着物検出装置においては、センサーの検出部の外面が平滑な金属管の外面からなるため、スケールやスライムといった付着物は、この検出部の外面に付着しずらく、この検出部の外面に部分的に付着しつつ、これが全体に広がっていくような形態をとる。このため、付着物の付着初期においては、測温体が付着物による温度上昇を充分に捉えることができず、付着物の付着開始と付着物の検出とにタイムラグが生じてしまうという問題があった。   However, in such an adhering matter detection device, since the outer surface of the sensor detection unit is made of a smooth outer surface of a metal tube, the adhering matter such as scale and slime hardly adheres to the outer surface of the detection unit. It takes a form in which this part spreads throughout while adhering partially to the outer surface of the part. For this reason, at the initial stage of attachment of the attached matter, the temperature measuring device cannot sufficiently catch the temperature rise due to the attached matter, and there is a problem that a time lag occurs between the start of attachment of the attached matter and the detection of the attached matter. It was.

この発明は、以上の点に鑑み、発熱体への通電によって生じる検出部内の温度の変化により、検出部の外面に付着する付着物を検出する場合に、付着物の検出にタイムラグを生じさせない付着物検出用のセンサー及びこのセンサーを備えた付着物検出装置を提供することを目的とする。   In view of the above points, the present invention does not cause a time lag in the detection of adhering matter when detecting adhering matter adhering to the outer surface of the detecting unit due to a change in temperature in the detecting unit caused by energization of the heating element. It is an object of the present invention to provide a sensor for detecting a kimono and a deposit detection apparatus including the sensor.

この発明の請求項1記載の発明は、発熱体及び測温体が挿入されている金属管内に熱良導性の充填剤が充填された検出部を、付着物の調査水中に浸漬して、前記発熱体への通電によって生じる前記検出部内の温度の変化により、この検出部の外面への付着物の付着検出を行う付着物検出用のセンサーであって、前記金属管の外面を所定の粗度を有するように形成して、前記検出部の外面に所定の粗度を与えるようにしたことを特徴とする。   According to the first aspect of the present invention, the detection unit filled with the heat-conducting filler in the metal tube in which the heating element and the temperature measuring element are inserted is immersed in the survey water of the deposit, A sensor for detecting a deposit on the outer surface of the detection unit based on a change in temperature in the detection unit caused by energization of the heating element, the outer surface of the metal tube being a predetermined rough surface It is characterized by being formed so as to have a predetermined degree of roughness on the outer surface of the detection unit.

この発明では、センサーの検出部を付着物の発生を調査する調査水中に浸漬した後、発熱体に通電してこれを発熱させ、この熱量を検出部の外面側にほぼ均一に放出させる。そして、測温体で検出部内の温度T0を計測することにより、水温+水の伝熱境膜による温度上昇分+金属管等の熱伝導による温度上昇分を計測する。つぎに、温度T0の計測から所定時間経過後、測温体で検出部内の温度Tpを計測することにより、調査水の温度と水の伝熱境膜による温度上昇分とが一定の場合、温度T0,Tp間に、温度差(Tp−T0)が生じれば、検出部外面に付着物が付着したこととなる。   In this invention, after the detection part of a sensor is immersed in the investigation water which investigates generation | occurrence | production of a deposit | attachment, it supplies with electricity to a heat generating body, this is heated, and this calorie | heat amount is discharge | released to the outer surface side of a detection part substantially uniformly. Then, by measuring the temperature T0 in the detection unit with a temperature measuring body, the temperature increase due to heat conduction of the water temperature + water heat transfer boundary film + the metal pipe or the like is measured. Next, after a predetermined time has elapsed from the measurement of the temperature T0, the temperature Tp in the detection unit is measured by a temperature measuring element, so that the temperature of the survey water and the temperature rise due to the heat transfer boundary film are constant. If a temperature difference (Tp−T0) occurs between T0 and Tp, the adhering matter has adhered to the outer surface of the detection unit.

ところで、センサーの検出部の外面が平滑な金属管外面である場合には、付着物は、付着しずらいため、検出部の外面に部分的に付着しつつ、これが全体に広がっていくような形態をとる。また、一般的に付着物の熱伝導率は検出部を形成する金属管のそれより小さいため、付着物の付着当初(検出部の外面に部分的に付着物が生じた状態)においては、発熱体からの熱は、付着物のない金属管側から多くが放出され、測温体によって付着物による温度上昇分を充分に検出できない状態となる。   By the way, when the outer surface of the detection part of the sensor is a smooth outer surface of the metal tube, the adhering substance is difficult to adhere, so that it partially spreads on the outer surface of the detection part and spreads throughout. Take. Also, since the thermal conductivity of the deposit is generally smaller than that of the metal tube that forms the detector, heat is generated at the beginning of the deposit (when the deposit is partially formed on the outer surface of the detector). Most of the heat from the body is released from the side of the metal tube where there is no deposit, and the temperature measuring body cannot sufficiently detect the temperature rise due to the deposit.

この発明では、検出部の外面に所定の粗度与えているので、検出部の外面が平滑な金属管の外面である場合に比べて、検出部の外面周りの粘性境膜が厚くなって、この検出部の外面に対して付着物が滞留・付着し易い状態となる。このため、この発明では、検出部の外面全面に付着物が付着し易くなる。   In this invention, since the predetermined roughness is given to the outer surface of the detection unit, the viscous boundary film around the outer surface of the detection unit is thicker than when the outer surface of the detection unit is the outer surface of a smooth metal tube, The adhering matter is likely to stay and adhere to the outer surface of the detection unit. For this reason, in this invention, it becomes easy for a deposit | attachment to adhere to the outer surface whole surface of a detection part.

この発明の請求項2記載の発明は、発熱体及び測温体が挿入されている金属管内に熱良導性の充填剤が充填された検出部を、付着物の調査水中に浸漬して、前記発熱体への通電によって生じる前記検出部内の温度の変化により、この検出部の外面への付着物の付着検出を行う付着物検出用のセンサーであって、前記金属管の外面をスケールで被覆して、前記検出部の外面を前記スケールの表面によって形成していることを特徴とする。   In the invention according to claim 2 of the present invention, the detection part filled with the heat-conducting filler in the metal tube in which the heating element and the temperature measuring element are inserted is immersed in the survey water of the deposit, A sensor for detecting a deposit on the outer surface of the detection unit based on a change in temperature in the detection unit caused by energization of the heating element, the outer surface of the metal tube being covered with a scale And the outer surface of the said detection part is formed with the surface of the said scale, It is characterized by the above-mentioned.

この発明では、検出部の外面を、スケールの表面(スケール粒子の付着によって粗度が大きくなっている面)によって形成しているので、これが平滑な金属管の外面である場合に比べて、検出部の外面周りの粘性境膜が厚くなり、検出部の外面に対して、付着物が滞留・付着し易い状態となる。このため、この検出部の外面全面に付着物が付着し易くなる。また、この発明では、付着するスケールの結晶と同様な結晶を有するスケールの表面を検出部の外面としているので、付着するスケールの結晶が、金属管外面に比べて、エネルギー的に安定なスケール上、すなわち、検出部の外面上に生じ易くなっている。   In this invention, since the outer surface of the detection part is formed by the surface of the scale (the surface whose roughness is increased by the adhesion of scale particles), it is detected compared with the case where this is the outer surface of a smooth metal tube. The viscous boundary film around the outer surface of the part becomes thick, and the adhering matter tends to stay and adhere to the outer surface of the detection part. For this reason, the deposits easily adhere to the entire outer surface of the detection unit. Further, in the present invention, the surface of the scale having the same crystal as the attached scale crystal is used as the outer surface of the detection unit. Therefore, the attached scale crystal is on an energy stable scale compared to the outer surface of the metal tube. That is, it tends to occur on the outer surface of the detection unit.

この発明の請求項3記載の発明は、請求項2記載の発明の場合において、前記スケールの成分は、炭酸カルシウム、塩基性炭酸亜鉛、硫酸カルシウム、亜硫酸カルシウム、硫酸バリウム、硫酸アルミニウム、リン酸カルシウム、リン酸亜鉛、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、シュウ酸カルシウム、水酸化マグネシウム、及び水酸化亜鉛のうちの何れか、又は、これらのうちの少なくとも2つの成分が混合されたものであることを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the case of the second aspect, the scale components are calcium carbonate, basic zinc carbonate, calcium sulfate, calcium sulfite, barium sulfate, aluminum sulfate, calcium phosphate, phosphorus One of zinc oxide, calcium silicate, magnesium silicate, calcium oxalate, magnesium hydroxide, and zinc hydroxide, or a mixture of at least two of them To do.

この発明の請求項4記載の発明は、発熱体及び測温体が挿入されている金属管内に熱良導性の充填剤が充填された検出部が、付着物の調査水中に浸漬されるセンサーと、前記センサーの前記発熱体への通電量を制御する通電量制御手段と、前記センサーの前記発熱体への通電によって生じる前記検出部内の温度の変化により、この検出部の外面への付着物の付着検出を行う付着物検出手段とを備えた付着物検出装置であって、前記センサーの前記金属管の外面をスケールで被覆して、前記検出部の外面を前記スケールの表面によって形成していることを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a sensor in which a detection unit in which a heat conductive material is filled in a metal tube in which a heating element and a temperature measuring element are inserted is immersed in the survey water of the deposit. And an energization amount control means for controlling the energization amount of the sensor to the heating element, and a change in temperature in the detection unit caused by energization of the sensor to the heating element, and the adhering matter to the outer surface of the detection unit A deposit detection device comprising: a deposit detection means for detecting the adhesion of the sensor, wherein the outer surface of the metal tube of the sensor is covered with a scale, and the outer surface of the detection unit is formed by the surface of the scale It is characterized by being.

この発明の請求項5記載の発明は、請求項4記載の発明の場合において、前記通電量制御手段は、第1の時間帯では電流値を所定の大きさとするが、これに続く第2の時間帯では電流値をゼロ又はゼロに近い値とすることを、連続的に繰り返すように、前記センサーの前記発熱体への通電量を制御することを特徴とする。   According to a fifth aspect of the present invention, in the case of the fourth aspect of the present invention, the energization amount control means sets the current value to a predetermined magnitude in the first time zone, but the second value following the current value. In the time zone, the amount of current supplied to the heating element of the sensor is controlled so that the current value is set to zero or close to zero continuously.

この発明では、発熱体への通電電流値がゼロ又はゼロに近い値(第2の時間帯)の場合には、測温体により、調査水の温度を測定できるので、付着物の検出時間中に調査水の温度に変動があっても、付着物検出手段は、発熱体への通電電流値が所定の大きさ(第1の時間帯)の場合の測温体からの温度を、調査水の温度の変動分を考慮して容易に調整できる。   In this invention, when the energization current value to the heating element is zero or a value close to zero (second time zone), the temperature of the survey water can be measured by the temperature measuring element. Even if the temperature of the survey water fluctuates, the adhering matter detection means detects the temperature from the temperature measuring body when the current value to the heating element is a predetermined magnitude (first time zone). It can be easily adjusted in consideration of the temperature fluctuation.

この発明の請求項1記載の発明によれば、検出部の外面に所定の粗度を与えるようにしているので、この検出部の外面全面にスケールやスライムと言った付着物が付着しやすい状態となり、実機における付着物の付着の場合と比べて、タイムラグなく付着物の付着検出を行うことができる。   According to the first aspect of the present invention, since the predetermined roughness is given to the outer surface of the detection unit, the deposits such as scale and slime are likely to adhere to the entire outer surface of the detection unit. Thus, it is possible to detect the attachment of the adhering substance without time lag compared to the case of adhering the adhering substance in the actual machine.

この発明の請求項2、3及び4記載の発明によれば、検出部の外面が一定の粗度を有するスケールの表面で形成されているので、この検出部の外面全面にスケールやスライムと言った付着物が付着しやすい状態となり、実機における付着物の付着とタイムラグなく付着物の付着検出を行うことができる。また、この発明では、スケールの表面を検出部の外面としているので、調査水中のスケール成分も、実機の場合に比べて、検出部の外面に、より付着し易い状態となり、実機においてスケールが付着する前に、スケールの付着検出を行うことができる。   According to the second, third, and fourth aspects of the present invention, since the outer surface of the detection unit is formed of the surface of the scale having a certain roughness, the entire outer surface of the detection unit is referred to as scale or slime. Therefore, it is possible to detect the adhesion of the adhered material without a time lag from the adhesion of the actual material. Further, in this invention, since the surface of the scale is the outer surface of the detection unit, the scale components in the survey water are also more likely to adhere to the outer surface of the detection unit than in the actual device, and the scale adheres to the actual device. Before doing so, scale adhesion detection can be performed.

この発明の請求項5記載の発明によれば、測温体で調査水の温度も測定できるので、付着物検出装置の構成が単純化され、付着物の検出を容易に行うことができる。   According to the fifth aspect of the present invention, since the temperature of the survey water can be measured with the temperature measuring body, the configuration of the adhering matter detection device is simplified and the adhering matter can be easily detected.

この発明の一実施の形態に係るセンサーの断面図である。It is sectional drawing of the sensor which concerns on one embodiment of this invention. センサーの検出部に、スケール被覆部を形成する場合の説明図である。It is explanatory drawing in the case of forming a scale coating | coated part in the detection part of a sensor. スケール発生水がテストピースにスケールを発生させる場合に、スケール発生速度をグラフで示す図である。When scale generation water generates a scale on a test piece, it is a figure which shows a scale generation speed with a graph. センサーを用いて調査水によるスケールの発生を検出している図である。It is the figure which detects generation | occurrence | production of the scale by survey water using a sensor. センサーに供給される加熱電流の電流の変化と、加熱電流に対応した検出部内の温度の変化を示す図である。It is a figure which shows the change of the electric current of the heating current supplied to a sensor, and the change of the temperature in the detection part corresponding to a heating current. 検出部の断面周りの温度を説明する図であり、(a)はスケールの付着前の状態を示し、(b)はスケールの付着後の状態を示す。It is a figure explaining the temperature around the cross section of a detection part, (a) shows the state before adhesion of a scale, (b) shows the state after adhesion of a scale. スケールの発生による検出部内の温度上昇をグラフで示す図であり、aは検出部にスケール被覆部を有する場合であり、bは検出部にスケール被覆部を有さない場合である。It is a figure which shows the temperature rise in the detection part by generation | occurrence | production of a scale with a graph, a is a case where a detection part has a scale coating | coated part, b is a case where a detection part does not have a scale coating | coated part. 冷却塔内の冷却水によるスケールの発生を、センサーを用いて検出している図である。It is the figure which has detected generation | occurrence | production of the scale by the cooling water in a cooling tower using a sensor.

以下、この発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。
図1はこの発明の一実施の形態に係る付着物検出用のセンサーを示している。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 shows an adhering matter detection sensor according to an embodiment of the present invention.

センサー1は、図1で示されるように、一端側が閉じた金属管10と、金属管10内に挿入されている発熱体11及び測温体12と、発熱体11と測温体12とを囲むように金属管10内に充填されている充填材13と、金属管10の開口端部10aの内外面側が差し込まれるように形成されて、この開口端部10aを閉じるとともに、金属管10の支持部となるように金属管10より充分に大径に形成された樹脂部14と、樹脂部14外方の金属管10の突出部10bの外面全体を、所定のスケール成分からなるスケール(以下被覆スケールGという)で被覆しているスケール被覆部15とから構成されている。   As shown in FIG. 1, the sensor 1 includes a metal tube 10 whose one end is closed, a heating element 11 and a temperature measuring body 12 inserted into the metal tube 10, and a heating element 11 and a temperature measuring body 12. It is formed so that the filler 13 filled in the metal tube 10 so as to surround and the inner and outer surface sides of the opening end portion 10a of the metal tube 10 are inserted, and the opening end portion 10a is closed and the metal tube 10 The resin part 14 formed sufficiently larger in diameter than the metal tube 10 so as to be a support part and the entire outer surface of the protruding part 10b of the metal pipe 10 outside the resin part 14 are made of a scale (hereinafter referred to as a scale component). And a scale covering portion 15 covered with a covering scale G).

なお、樹脂部14から突出する部分、すなわち、金属管10の突出部10bと、この突出部10b内の発熱体11、測温体12及び充填材13と、スケール被覆部15とにより、付着物の検出部Kが形成されている。   The portion protruding from the resin portion 14, that is, the protruding portion 10 b of the metal tube 10, the heating element 11, the temperature measuring body 12 and the filler 13 in the protruding portion 10 b, and the scale covering portion 15 are attached. The detection part K is formed.

このセンサー1は、付着物(主ににスケールを対象にしたものであるので、以下付着物をスケールと記載する)の発生を調査する調査水W0(図4参照)中に検出部Kを浸漬しつつ、発熱体11への通電によって生じる検出部K内の温度の変化を測温体12を介して計測し、調査水W0の流速等に起因する水の伝熱境膜による温度上昇(後述)が一定の場合、この温度の変化により、検出部Kの外面(以下検出面K1という)に、スケールが付着したことを検出するものである。   This sensor 1 immerses the detection unit K in survey water W0 (see FIG. 4) for investigating the occurrence of deposits (mainly scales, so the deposits will be described as scales below). However, the temperature change in the detection unit K caused by energization of the heating element 11 is measured via the temperature measuring body 12, and the temperature rise due to the heat transfer boundary film of water caused by the flow velocity of the survey water W0 (described later) ) Is constant, it is detected that the scale has adhered to the outer surface of the detection portion K (hereinafter referred to as detection surface K1) due to the change in temperature.

金属管10は、一端側が半球面状に閉じられていて、真鍮、ステンレス等の耐食性金属によって、外面が平滑になるように形成されている。この金属管10のサイズは、例えば、直径Dが3mm、肉厚が、0.1mm、開口端部10aを除いた突出部10b長さLが、18mmとなっている。   One end of the metal tube 10 is closed in a hemispherical shape, and the outer surface is made smooth by a corrosion-resistant metal such as brass or stainless steel. As for the size of the metal tube 10, for example, the diameter D is 3 mm, the wall thickness is 0.1 mm, and the protruding portion 10 b length L excluding the opening end portion 10 a is 18 mm.

発熱体11は、通電によって発熱し、所定の熱流束を、検出部K全体に与えるものである。この発熱体11は、絶縁基板上に白金薄膜を形成したものであり、1.7φ×4.0mmの大きさで、金属被膜抵抗120Ωのものが使用されている。この発熱体11は、中心線が金属管10の中心軸と重なるように、金属管10の中央位置に位置決めされて、検出面K1側に向かってほぼ均一な熱流速を発生させる。この発熱体11には、金属管10を介して3本のリード線11a,11b,11c取り付けられ、このリード線11a,11b,11cや金属管10を介して、発熱体11に所定の加熱電流Iが供給されるようになっている。   The heating element 11 generates heat by energization and gives a predetermined heat flux to the entire detection unit K. The heating element 11 is formed by forming a platinum thin film on an insulating substrate, and has a size of 1.7φ × 4.0 mm and a metal film resistance of 120Ω. The heating element 11 is positioned at the center position of the metal tube 10 so that the center line overlaps the center axis of the metal tube 10, and generates a substantially uniform heat flow rate toward the detection surface K1 side. Three lead wires 11a, 11b, and 11c are attached to the heating element 11 via the metal tube 10, and a predetermined heating current is supplied to the heating element 11 via the lead wires 11a, 11b, and 11c and the metal tube 10. I is supplied.

測温体12は、検出部Kの内部温度(できれば、金属管10の内面温度)を計測するものであり、これには熱電対が使用されている。この測温体12は、金属管10の内面に接するように位置決めされている。この測温体12には、2本のリード線12a,12bが取り付けられ、外部に温度信号Sが取り出せるようになっている。   The temperature measuring element 12 measures the internal temperature of the detection unit K (preferably the inner surface temperature of the metal tube 10), and a thermocouple is used for this. The temperature measuring body 12 is positioned so as to contact the inner surface of the metal tube 10. Two lead wires 12a and 12b are attached to the temperature measuring body 12, and a temperature signal S can be taken out to the outside.

充填材13は、金属管10内の温度をほぼ均一にするために使用されるものであり、これには、熱良導性と電気絶縁性とを有した、平均粒径100μmの酸化マグネシウム(マグネシア)粉が用いられている。樹脂部14には、断熱性と電気絶縁性を有するエポキシ樹脂が使用されている。   The filler 13 is used to make the temperature in the metal tube 10 substantially uniform, and includes magnesium oxide (having good thermal conductivity and electrical insulation and an average particle size of 100 μm). Magnesia) powder is used. An epoxy resin having heat insulation and electrical insulation is used for the resin portion 14.

スケール被覆部15は、検出するスケール(以下付着スケールFという。図6参照)のスケール成分と同種のスケール成分からなる被覆スケールGで形成されている。この実施の形態では、被覆スケールGのスケール成分として、付着スケールFのスケール成分と同じ炭酸カルシウムが用いられている。   The scale covering portion 15 is formed of a covering scale G made of the same scale component as the scale component of the scale to be detected (hereinafter referred to as the adhesion scale F, see FIG. 6). In this embodiment, the same calcium carbonate as the scale component of the adhesion scale F is used as the scale component of the coating scale G.

被覆スケールGのスケール成分には、炭酸カルシウム、塩基性炭酸亜鉛、硫酸カルシウム、亜硫酸カルシウム、硫酸バリウム、硫酸アルミニウム、リン酸カルシウム、リン酸亜鉛、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、シュウ酸カルシウム、水酸化マグネシウム、及び水酸化亜鉛のうちの何れか、又は、これらのうちの少なくとも2つの成分が混合されたものが考えられる。   The scale components of the coating scale G include calcium carbonate, basic zinc carbonate, calcium sulfate, calcium sulfite, barium sulfate, aluminum sulfate, calcium phosphate, zinc phosphate, calcium silicate, magnesium silicate, calcium oxalate, magnesium hydroxide , And zinc hydroxide, or a mixture of at least two of these may be considered.

この場合、被覆スケールGのスケール成分を、実機中の調査水W0によって生じる付着スケールFのスケール成分にできるだけ近づけることが好ましい。スケールの付着が容易になって、より早くスケールの付着を検出することができるからである。被覆スケールGのスケール成分を付着スケールFのスケール成分に近づける例として、これらのスケール成分が同種であることが考えられる。スケール成分の同種の例として、炭酸カルシウム、塩基性炭酸亜鉛といった炭酸塩系のもの、硫酸カルシウム、亜硫酸カルシウム、硫酸バリウム、硫酸アルミニウムといった硫酸塩系のもの、リン酸カルシウム、リン酸亜鉛といったリン酸塩系のもの、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウムといったケイ酸塩系のもの、シュウ酸カルシウムといったシュウ酸塩系のもの、水酸化マグネシウム、水酸化亜鉛といった水酸化物系のものがある。   In this case, it is preferable that the scale component of the covering scale G be as close as possible to the scale component of the adhesion scale F generated by the survey water W0 in the actual machine. This is because the adhesion of the scale becomes easy and the adhesion of the scale can be detected earlier. As an example of bringing the scale component of the covering scale G closer to the scale component of the adhesion scale F, it is conceivable that these scale components are the same type. Examples of the same type of scale component include carbonates such as calcium carbonate and basic zinc carbonate, sulfates such as calcium sulfate, calcium sulfite, barium sulfate and aluminum sulfate, and phosphates such as calcium phosphate and zinc phosphate. Silicates such as calcium silicate and magnesium silicate, oxalates such as calcium oxalate, and hydroxides such as magnesium hydroxide and zinc hydroxide.

また、付着スケールFのスケール成分が、炭酸塩系のスケール成分、硫酸塩系のスケール成分、リン酸塩系のスケール成分、ケイ酸塩系のスケール成分、シュウ酸塩系のスケール成分、水酸化物系のスケール成分、及びリン酸系のスケール成分の内,少なくとも何れか2つの系のスケール成分を混合したものである場合、例えば、被覆スケールGのスケール成分を、付着スケールFのスケール成分のうち主要な2又は3種のスケール成分を含んだスケール成分(これも同種のスケール成分と言える)とすることも考えられる。   In addition, the scale component of the adhesion scale F is carbonate scale component, sulfate scale component, phosphate scale component, silicate scale component, oxalate scale component, hydroxylation In the case where the scale component of at least any two of the physical scale component and the phosphate scale component is mixed, for example, the scale component of the coating scale G is replaced with the scale component of the adhesion scale F. Of these, a scale component including two or three main scale components (this may also be said to be the same type of scale component) may be considered.

つぎに、金属管10の突出部10bの外面に被覆スケールGによるスケール被覆部15を形成する方法を説明する。図2は、金属管10の突出部10bの外面にスケール被覆部15を形成するための試験設備Aを示している。   Next, a method of forming the scale covering portion 15 with the covering scale G on the outer surface of the protruding portion 10b of the metal tube 10 will be described. FIG. 2 shows a test facility A for forming the scale covering portion 15 on the outer surface of the protruding portion 10 b of the metal tube 10.

試験設備Aは、図2で示されるように、スケールを発生させるスケール発生水W1で満たされ、下端が閉じた、容量1L(リッター)の円筒状の容器100と、スケール発生水W1で満たされた容器100を載置して、撹拌子111を用いて、スケール発生水W1を磁力により撹拌するスターラー110と、容器100中のスケール発生水W1を一定温度(例えば30℃)に保つ恒温槽120と、ポンプ131と配管132と塩化カルシウム水溶液が満たされた容器133とからなり、容器100中に硬度成分(カルシウム)を補給するカルシウム硬度補給機130と、ポンプ141と配管142と炭酸水素ナトリウム水溶液中にマレイン酸ポリマーが加えられた液で満たされた容器143とからなり、容器中にMアルカリ度等(炭酸等)を補給するMアルカリ度等補給機140と、容器100中のスケール発生水W1をオーバーフローさせるオーバーフロー管150とから構成されている。   As shown in FIG. 2, the test facility A is filled with a scale-generating water W1 that generates a scale, and is filled with a cylindrical container 100 having a capacity of 1 L (liter) having a closed lower end and the scale-generating water W1. The stirrer 110 that stirs the scale-generated water W1 magnetically using the stirrer 111 and the thermostat 120 that keeps the scale-generated water W1 in the container 100 at a constant temperature (for example, 30 ° C.). A pump 131, a pipe 132, and a container 133 filled with a calcium chloride aqueous solution, a calcium hardness replenisher 130 for supplying a hardness component (calcium) into the container 100, a pump 141, a pipe 142, and a sodium hydrogen carbonate aqueous solution. And a container 143 filled with a liquid in which a maleic acid polymer is added. M alkalinity (carbonic acid etc.) is contained in the container. And M alkalinity such supply machine 140 to supply, and a overflow pipe 150. by overflowing the scale formation water W1 in the container 100.

スケール発生水W1は、蒸留水中に、カルシウム硬度(CaCO3換算)を500mg/L、Mアルカリ度(CaCO3換算)を500mg/L、及び、マレイン酸ポリマーを5mg/L(固形分濃度)だけ溶解させたものであり、スケール成分が炭酸カルシウムのスケールを生じさせるものである。なお、マレイン酸ポリマーは、スケール発生前に、固形の炭酸カルシウムが生成して水中に沈殿するのを防止する反応抑制剤である。 Scale generation water W1 is distilled water, calcium hardness (CaCO 3 conversion) is 500 mg / L, M alkalinity (CaCO 3 conversion) is 500 mg / L, and maleic acid polymer is only 5 mg / L (solid content concentration). It is dissolved and the scale component produces a calcium carbonate scale. The maleic acid polymer is a reaction inhibitor that prevents solid calcium carbonate from being generated and precipitated in water before scale generation.

スターラー110は、容器100中のスケール発生水W1を撹拌子111を介して撹拌し、このスケール発生水W1内のカルシウム硬度と、Mアルカリ度と、マレイン酸ポリマーの各濃度を一定にする働きを有する。なお、このスターラー110は、スケール発生水W1中に浸漬された金属管10周りのスケール発生水W1の流速等を一定にして、センサー1によりスケールの検出を行う場合に、水の伝熱境膜による温度上昇(後述)を一定にする働きも有している。   The stirrer 110 agitates the scale generation water W1 in the container 100 via the stirrer 111, and functions to keep the calcium hardness, M alkalinity, and maleic acid polymer concentrations in the scale generation water W1 constant. Have. In addition, this stirrer 110 is a heat transfer boundary film of water when the scale 1 is detected by the sensor 1 while the flow rate of the scale generation water W1 around the metal tube 10 immersed in the scale generation water W1 is kept constant. It also has the function of keeping the temperature rise (described later) due to.

カルシウム硬度補給機130とMアルカリ度等補給機140とは、スケールの発生によって不足する、スケール発生水W1中のカルシウム硬度とMアルカリ度とを補給するためのものであり、各供給流量は微量(容器100内の滞留時間が例えば200minとなる程度)であり、容器100からは、供給量だけオーバーフロー管150からオーバーフローされる。   The calcium hardness replenisher 130 and the M alkalinity replenisher 140 are for replenishing the calcium hardness and M alkalinity in the scale-generated water W1, which are insufficient due to the generation of scale, and each supply flow rate is very small. The residence time in the container 100 is, for example, about 200 min, and the container 100 overflows from the overflow pipe 150 by the supply amount.

図3は、容器100内のスケール発生水W1中にステンレス(SUS304)のテストピースを浸漬させ、これを一定時間毎に取り出して重量を測定し、このスケール発生水W1によるスケールの付着速度(mcm、詳細には、mg/cm2/month)を計測したものである。この図から、スケールの付着速度はほぼ直線的に増加しており、スケール発生水W1は充分にスケールを発生させることが理解できる。 FIG. 3 shows a test piece made of stainless steel (SUS304) immersed in the scale generation water W1 in the container 100, taken out at regular intervals, weighed, and the scale deposition rate (mcm) by the scale generation water W1. In detail, mg / cm 2 / month) is measured. From this figure, it can be understood that the adhesion rate of the scale increases almost linearly, and the scale generation water W1 sufficiently generates the scale.

スケール被覆部15は、この試験設備Aのスケール発生水W1中に、金属管10の突出部10bを、例えば48時間だけ浸漬して、この金属管10の突出部10b外面全体に、スケール発生水W1中の溶解成分の析出・固着により、スケール成分が炭酸カルシウムからなる被覆スケールGをほぼ等厚に付着させて形成されている。   The scale covering portion 15 immerses the protruding portion 10b of the metal tube 10 in, for example, 48 hours in the scale generated water W1 of the test equipment A, and the scale generated water is placed on the entire outer surface of the protruding portion 10b of the metal tube 10. It is formed by depositing and fixing the dissolved component in W1 so that the scale component is coated with a coating scale G made of calcium carbonate with a substantially equal thickness.

つぎに、センサー1を用いてスケールを検出する具体例について説明する。図4は、試験設備Aのスケール発生水W1によるスケールの発生を、センサー1を備えた付着物検出装置Bで検出している状態を示している。なお、付着物検出装置Bやセンサー1にとって、スケール発生水W1は、スケールの発生を調査する調査水W0とも言えるものであるので、以降このスケール発生水W1を調査水W0と称する。   Next, a specific example of detecting the scale using the sensor 1 will be described. FIG. 4 shows a state in which the generation of scale due to the scale-generated water W <b> 1 of the test facility A is detected by the deposit detection device B provided with the sensor 1. In addition, since the scale generation water W1 can be said to be the survey water W0 for investigating the occurrence of the scale, the scale generation water W1 is hereinafter referred to as the survey water W0.

付着物検出装置Bは、センサー1と、検出制御器2と、電源3とを有している。
検出制御器2は、中央演算処理装置(CPU)や、RAM、ROMといったメモリー及び、入出力インターフェース等を備えたコンピュータであり、プログラムに従って動作するものであるが、その特徴的な機能として、通電量制御手段20と付着物検出手段21とを有している。
The attached matter detection device B includes a sensor 1, a detection controller 2, and a power source 3.
The detection controller 2 is a computer having a central processing unit (CPU), a memory such as a RAM and a ROM, and an input / output interface. The detection controller 2 operates according to a program. An amount control means 20 and an adhering matter detection means 21 are provided.

通電量制御手段20は、電源3からセンサー1に与えられる加熱電流Iが、図5で示されるようなパルス的電流となるように、電源3を制御する。すなわち、通電量制御手段20は、センサー1の発熱体11に与える電流値を、第1の時間帯t1では、所定の大きさI0とするが、第1の時間帯t1に続く第2の時間帯t2では、ゼロとすることを、連続的に繰り返すように、電源3を制御する。また、通電量制御手段20は、第1の時間帯t1と第2の時間帯t2の各終了タイミングを付着物検出手段21に知らせる機能も有している。   The energization amount control means 20 controls the power source 3 so that the heating current I given from the power source 3 to the sensor 1 becomes a pulsed current as shown in FIG. In other words, the energization amount control means 20 sets the current value applied to the heating element 11 of the sensor 1 to a predetermined magnitude I0 in the first time zone t1, but the second time following the first time zone t1. In the band t2, the power supply 3 is controlled so as to continuously repeat zeroing. The energization amount control means 20 also has a function of notifying the adhering matter detection means 21 of the end timings of the first time zone t1 and the second time zone t2.

ここで、図5で示されるように、センサー1の発熱体11に対して、第1の時間帯t1の間、大きさI0の一定電流を与えると、発熱体11が所定熱量だけ発熱して、センサー1の検出部K内から検出面K1に向かって、ほぼ均一な熱流速を生じさせる。このため、例えば、図6の(a)で示されるように、検出面K1にスケールが付着していないセンサー1の検出部K周りには、金属管壁による温度上昇ΔT1と、被覆スケールGによる温度上昇ΔT2と、調査水W0の流れ等に起因する水の伝熱境膜よる温度上昇ΔT3とが生じ、センサー1の測温体12は、これらの温度上昇の合計(ΔT1+ΔT2+ΔT3)に調査水W0の水温TW0を加えた温度T0を計測する。   Here, as shown in FIG. 5, when a constant current of magnitude I0 is applied to the heating element 11 of the sensor 1 during the first time zone t1, the heating element 11 generates heat by a predetermined amount of heat. A substantially uniform heat flow rate is generated from the detection part K of the sensor 1 toward the detection surface K1. Therefore, for example, as shown in FIG. 6A, around the detection portion K of the sensor 1 where the scale is not attached to the detection surface K1, the temperature rise ΔT1 due to the metal tube wall and the covering scale G A temperature rise ΔT2 and a temperature rise ΔT3 due to the heat transfer boundary film of water caused by the flow of the survey water W0 and the like occur, and the temperature measuring body 12 of the sensor 1 adds the survey water W0 to the sum of these temperature rises (ΔT1 + ΔT2 + ΔT3). The temperature T0 obtained by adding the water temperature TW0 is measured.

つづいて、図5で示されるように、センサー1の発熱体11への電流を第2の時間帯t2だけゼロにすると、発熱体11は熱を発せないので、センサー1の金属管10内の温度は、しだいに下降して、調査水W0の水温TW0と同じ温度に近づき、測温体12は最終的に調査水W0の水温TW0を計測する。
すなわち、T0=ΔT1+ΔT2+ΔT3+TW0 となり、
T0−TW0=ΔT1+ΔT2+ΔT3 ・・・・・・・・・(1)式
となって、上記(1)式により、T0−TW0が算出できることとなる。
Subsequently, as shown in FIG. 5, when the current to the heating element 11 of the sensor 1 is set to zero only during the second time zone t2, the heating element 11 does not emit heat, so that the inside of the metal tube 10 of the sensor 1 The temperature gradually decreases and approaches the same temperature as the water temperature TW0 of the survey water W0, and the temperature measuring body 12 finally measures the water temperature TW0 of the survey water W0.
That is, T0 = ΔT1 + ΔT2 + ΔT3 + TW0,
T0−TW0 = ΔT1 + ΔT2 + ΔT3 (Equation (1)), and T0−TW0 can be calculated by the above equation (1).

なお、発熱体11が発熱している場合と発熱していない場合の検出部K内の温度変化は図5に示されている。熱の移動には時間がかかるため、測温体12で計測された温度が求めようとする温度に達するまでには、一定の時間が必要となる。   In addition, the temperature change in the detection part K when the heat generating body 11 is generating heat and when not generating heat is shown in FIG. Since the movement of heat takes time, a certain time is required until the temperature measured by the temperature measuring body 12 reaches the temperature to be obtained.

一方、検出面K1にスケールが付着している場合には、スターラー110の作用により、調査水W0の伝熱境膜よる温度上昇が一定(ΔT3)となるので、図6の(b)で示されるように、発熱体11の発熱により、測温体12は、前述の温度上昇(ΔT1+ΔT2+ΔT3)に、付着スケールによる温度上昇ΔT4と、調査水W0の温度TWpとを加えた温度Tpを計測する。これに続いて、発熱体11への電流がゼロとなって、これが発熱しないことにより、測温体12は、調査水W0の温度TWpを計測する。
すなわち、Tp=ΔT1+ΔT2+ΔT3+ΔT4+TWp となり、
Tp−TWp=ΔT1+ΔT2+ΔT3+ΔT4 ・・・・・(2)式
となって、上記(2)式により、Tp−TWpが算出できることとなる。
On the other hand, when the scale adheres to the detection surface K1, the temperature rise by the heat transfer boundary film of the survey water W0 becomes constant (ΔT3) by the action of the stirrer 110, and therefore, as shown in FIG. As described above, the temperature measuring element 12 measures the temperature Tp obtained by adding the temperature increase ΔT4 due to the adhesion scale and the temperature TWp of the survey water W0 to the above-described temperature increase (ΔT1 + ΔT2 + ΔT3) due to the heat generation of the heating element 11. Following this, when the current to the heating element 11 becomes zero and does not generate heat, the temperature measuring element 12 measures the temperature TWp of the survey water W0.
That is, Tp = ΔT1 + ΔT2 + ΔT3 + ΔT4 + TWp,
Tp-TWp = [Delta] T1 + [Delta] T2 + [Delta] T3 + [Delta] T4 (2) Equation (2), and Tp-TWp can be calculated from equation (2).

したがって、スケール付着による温度上昇ΔT4は、(2)式−(1)式により、
ΔT4=Tp−TWp−(T0−TW0)
=Tp−T0−(TWp−TW0) ・・・・・・・(3)式
となる。この場合、調査水W0の温度が一定であれば、温度上昇ΔT4は、
ΔT4=Tp−T0 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・(4)式
となる。
Therefore, the temperature rise ΔT4 due to scale adhesion is expressed by the following equation (2) − (1):
ΔT4 = Tp−TWp− (T0−TW0)
= Tp-T0- (TWp-TW0) (3) In this case, if the temperature of the survey water W0 is constant, the temperature rise ΔT4 is
ΔT4 = Tp−T0 (4).

付着物検出手段21は、センサー1からの温度信号Sに基づいて、センサー1の検出面K1にスケールが付着したか否かを演算して検出するものである。この付着物検出手段21は、センサー1の検出面K1に付着スケールFがない状態の、検出部K内の温度T0と調査水W0の温度TW0とを記憶し、この温度T0,TW0と、次に一定時間毎に測定した検出部K内の温度Tn(n=1,2,3,・・)と調査水W0の温度TWn(n=1,2,3,・・)とから、(3)式を用いて、スケールによる温度上昇ΔT4を算出する。   The adhering matter detection means 21 calculates and detects whether or not a scale has adhered to the detection surface K1 of the sensor 1 based on the temperature signal S from the sensor 1. The adhering matter detection means 21 stores the temperature T0 in the detection unit K and the temperature TW0 of the investigation water W0 in a state where the adhering scale F is not present on the detection surface K1 of the sensor 1, and this temperature T0, TW0 and the following (3) from the temperature Tn (n = 1, 2, 3,...) In the detection unit K measured at regular intervals and the temperature TWn (n = 1, 2, 3,...) Of the survey water W0. ) To calculate the temperature rise ΔT4 due to the scale.

この付着物検出装置Bでは、通電量制御手段20により、第1の時間帯t1を60秒、第2の時間帯t2を60秒、第1の時間帯t1における電流の大きさI0を40mAとなるように電源3を制御し、付着物検出手段21により、(3)式又は(4)式に基づいて、付着スケールFによる温度上昇ΔT4を一定時間毎に算出する。この付着スケールFによる温度上昇ΔT4を、検出部K内の温度上昇として図7のグラフaで示している。この場合、センサー1のスケール被覆部15の作用を明らかにするため、金属管10の外面にスケール被覆部15を有しない従来のセンサーによる、同様な検出部(金属管)内の温度上昇を図7のグラフbで示している。   In this attached matter detection apparatus B, the energization amount control means 20 makes the first time zone t1 60 seconds, the second time zone t2 60 seconds, and the current magnitude I0 in the first time zone t1 to 40 mA. The power source 3 is controlled so that the adhering matter detection means 21 calculates the temperature increase ΔT4 due to the adhering scale F at regular intervals based on the equation (3) or (4). The temperature increase ΔT4 due to the adhesion scale F is indicated by a graph a in FIG. In this case, in order to clarify the action of the scale covering portion 15 of the sensor 1, the temperature rise in the similar detection portion (metal tube) by the conventional sensor not having the scale covering portion 15 on the outer surface of the metal tube 10 is illustrated. This is indicated by a graph b in FIG.

金属管10の突出部10bの外面を検出面とした従来のセンサーでは、図7のグラフbから明らかなように、時間が経過しても、検出部(金属管)内に大きな温度上昇は生じていない。これは、センサーの検出面が平滑な金属管外面であるため、スケールは検出面に付着しずらく、この検出面に部分的に付着しつつ、これが全体に広がっていくような形態をとる。また、一般的に付着物の熱伝導率は検出面を形成する金属管のそれより小さいため、スケールの付着当初(検出面に部分的にスケールが生じた状態)においては、発熱体からの熱は、スケールのない金属面側から多くが放出される。このため、スケールの付着当初においては、測温体により、スケールによる検出部内の温度上昇を充分に捉えることができない。   In the conventional sensor in which the outer surface of the protruding portion 10b of the metal tube 10 is the detection surface, as is clear from the graph b in FIG. 7, a large temperature rise occurs in the detection portion (metal tube) even if time passes. Not. This is because the detection surface of the sensor is a smooth outer surface of the metal tube, so that the scale is difficult to adhere to the detection surface, and is partially attached to the detection surface while spreading over the entire surface. Moreover, since the thermal conductivity of the deposit is generally smaller than that of the metal tube that forms the detection surface, the heat from the heating element at the beginning of deposition of the scale (a state in which the scale is partially formed on the detection surface). Is released from the metal surface side without scale. For this reason, at the beginning of the adhesion of the scale, the temperature riser cannot sufficiently capture the temperature rise in the detection unit due to the scale.

一方、スケール被覆部15の外面を検出面K1としたセンサー1では、図7のグラフaから明らかなように、温度の計測開始直後から検出部K内の温度が上昇し始め、14時間経過後には、検出部Kに約0.2℃の温度上昇が生じている。このことから、センサー1の検出面K1には、温度の計測開始直後から、スケールが全面に付着し始めていることが認識できる。   On the other hand, in the sensor 1 in which the outer surface of the scale covering portion 15 is the detection surface K1, the temperature in the detection portion K starts to rise immediately after the start of temperature measurement, as is apparent from the graph a in FIG. Has a temperature rise of about 0.2 ° C. in the detection section K. From this, it can be recognized that the scale has started to adhere to the entire surface of the detection surface K1 of the sensor 1 immediately after the start of temperature measurement.

すなわち、このセンサー1では、付着物の検出面K1を、スケール粒子の付着により表面粗度が大きくなった被覆スケールGの表面から形成しているので、これが平滑な金属管外面である場合に比べて、検出面K1周りの粘性境膜が厚くなり、検出面K1に対して、スケール粒子が滞留・付着し易くなって、検出面K1にはスケールが全面に付着し易くなる。このことは、調査水W0中の微生物等によって生じるスライムについても同様のことが言える。したがって、このセンサー1では、スケールやスライムと言った付着物が検出面K1に全面に付着し易い状態となり、実機における付着物の付着と、タイムラグなく付着物の付着検出を行うことができる。   That is, in this sensor 1, the deposit detection surface K1 is formed from the surface of the coated scale G whose surface roughness is increased by the adhesion of the scale particles, so that this is a case where this is a smooth outer surface of the metal tube. As a result, the viscous boundary film around the detection surface K1 becomes thick, the scale particles easily stay and adhere to the detection surface K1, and the scale easily adheres to the entire detection surface K1. The same can be said for slime produced by microorganisms or the like in the survey water W0. Therefore, the sensor 1 is in a state in which deposits such as scales and slimes are likely to be adhered to the entire detection surface K1, and adhesion of the deposits in the actual machine can be detected without time lag.

また、このセンサー1では、付着スケールFの結晶と同様なの結晶を有する被覆スケールGの外面を検出面K1としているので、付着スケールFの結晶が、金属管外面に比べて、エネルギー的に安定な被覆スケールC上、すなわち、検出面K1上に生じ易くなっている。このため、このセンサー1では、調査水W0中のスケール成分も、実機の場合に比べて、検出面K1に付着し易い状態となり、実機においてスケールが付着する前に、スケールの付着検出を行うことができる。   Further, in this sensor 1, since the outer surface of the coating scale G having the same crystal as the crystal of the adhesion scale F is used as the detection surface K1, the crystal of the adhesion scale F is more stable in terms of energy than the outer surface of the metal tube. It tends to occur on the coating scale C, that is, on the detection surface K1. For this reason, in this sensor 1, the scale component in the survey water W0 is also more likely to adhere to the detection surface K1 than in the case of the actual machine, and the adhesion of the scale is detected before the scale is attached in the actual machine. Can do.

この場合、このセンサー1では、被覆スケールGのスケール成分を、実機における付着スケールFのスケール成分と同種のものとしているので、検出面K1にスケールが付着しやすくなり、より早くスケールの付着検出を行うことができる。   In this case, in this sensor 1, the scale component of the covering scale G is the same type as the scale component of the adhesion scale F in the actual machine. Therefore, the scale easily adheres to the detection surface K1, and the adhesion of the scale is detected earlier. It can be carried out.

さらに、このセンサー1を備えた付着物検出装置Bでは、第1の時間帯t1では電流値を所定の大きさI0とするが、これに続く第2の時間帯t2では電流値をゼロとすることを、連続的に繰り返すように、センサー1の発熱体11への通電量を制御する通電量制御手段20を有しているので、発熱体11への通電電流値がゼロ(第2の時間帯)の場合には、センサー1の測温体12により、調査水W0の温度を測定でき、装置の簡単化と付着物の検出の容易化を図ることができる。   Furthermore, in the adhering matter detection apparatus B provided with the sensor 1, the current value is set to a predetermined magnitude I0 in the first time zone t1, but the current value is set to zero in the second time zone t2 following this. Since the energization amount control means 20 for controlling the energization amount to the heating element 11 of the sensor 1 is provided so as to repeat continuously, the energization current value to the heating element 11 is zero (second time). In the case of the belt), the temperature of the survey water W0 can be measured by the temperature measuring body 12 of the sensor 1, and the apparatus can be simplified and the detection of the adhering matter can be facilitated.

ここで、センサー1の検出部Bにスケール被覆部15を設けず、調査水W0中に浸漬される金属管10の突出部10bの外面全体を、所定の粗度を有するように形成して、この突出部10bの外面全体を付着物の検出面K1とした場合でも、検出部Kの外面が平滑な金属管の外面である場合に比べて、検出面K1周りの粘性境膜が厚くなって、検出面K1に対して付着物が滞留・付着し易い状態となる。このため、この場合でも、検出面K1に付着物(スケールやスライム)が全面に付着し易くなり、実機における付着物の付着と、タイムラグなく付着物の付着検出を行うことができる。この場合の金属管10の外面粗度は、これを、例えば、被覆スケールGの外面粗度と類似させるようにしたり、配管等の内面で粗度が大きいと考えられる、鋳物の表面粗度と類似させるようにすればよい。   Here, the scale coating portion 15 is not provided in the detection portion B of the sensor 1, and the entire outer surface of the protruding portion 10b of the metal tube 10 immersed in the survey water W0 is formed to have a predetermined roughness. Even when the entire outer surface of the protruding portion 10b is used as the detection surface K1 for the adhered matter, the viscous boundary film around the detection surface K1 is thicker than when the outer surface of the detection portion K is an outer surface of a smooth metal tube. Thus, the adhering matter is likely to stay and adhere to the detection surface K1. For this reason, even in this case, the deposit (scale or slime) easily adheres to the entire surface of the detection surface K1, and it is possible to detect the deposit on the actual machine and the deposit detection without time lag. In this case, the outer surface roughness of the metal tube 10 is similar to, for example, the outer surface roughness of the coating scale G, or the surface roughness of the casting, which is considered to have a large roughness on the inner surface of the pipe or the like. What is necessary is just to make it similar.

また、センサー1では、被覆スケールGのスケール成分を、付着スケールFのスケール成分と同種のスケール成分としているが、付着スケールFのスケール成分と同種でない、例えば系違いのスケール成分を被覆スケールGのスケール成分とした場合でも、このセンサー1により、実機においてスケールが付着する前に、スケールの発生を検出できる。スケール成分が異種であっても、実機の場合のように金属面とこれに付着するスケールとが全く異種の場合比べて、検出面K1を形成するスケールも、これに付着するスケールも、水中の溶解物が析出して形成されるスケールと言う点では同じであるからである。   In the sensor 1, the scale component of the coating scale G is the same type of scale component as that of the adhesion scale F, but the scale component of the coating scale G is not the same type as the scale component of the adhesion scale F. Even when the scale component is used, the sensor 1 can detect the occurrence of the scale before the scale is attached in the actual machine. Even if the scale components are different, the scale forming the detection surface K1 and the scale adhering to the scale are different from those in the water compared to the case where the metal surface and the scale adhering to the metal surface are completely different as in the case of the actual machine. This is because the scale is the same as the scale formed by precipitation of the melt.

さらに、付着物検出装置Bの通電量制御手段20による、センサー1の発熱体11への通電に当たって、電流を流さない時間帯(第2の時間帯t2)がないように、通電量制御手段20により電源3を制御し、調査水W0の温度を、測温体12とは別な温度測定手段で測定して、この温度信号を検出制御器2に伝達するようにしてもよい。   Further, when the energization amount control means 20 of the attached matter detection apparatus B is energized to the heating element 11 of the sensor 1, the energization amount control means 20 does not have a time zone during which no current flows (second time zone t2). The temperature of the survey water W0 may be measured by temperature measuring means different from the temperature measuring body 12, and the temperature signal may be transmitted to the detection controller 2.

また、通電量制御手段20による、第2の時間帯t2における電流制御値をゼロとはせず、ゼロに近い小さな値としてもよい。   Further, the current control value in the second time zone t2 by the energization amount control means 20 may not be zero but may be a small value close to zero.

つぎに、別の付着物検出装置Cを用いて、冷却塔200内の冷却水W2によるスケールの発生を検出する場合について、図8を参照しつつ説明する。   Next, a case where the generation of scale due to the cooling water W2 in the cooling tower 200 is detected using another attached matter detection device C will be described with reference to FIG.

ここで、冷却塔200は、上部のヘッダ201に設けられた散水ノズル201aから冷却水W2を散水し、この散水された冷却水W2を、充填材202内で外気Qと気液接触させて冷却し、この冷却された冷却水W2を下部のタンク部203に一時貯留するものである。なお、タンク部203内の冷却水W2は、ポンプ210と配管220を介して熱交換器230に送られ、熱交換器230内の流体を冷却して暖められた後、配管220により冷却塔200のヘッダ201に戻され、循環される。   Here, the cooling tower 200 sprays the cooling water W2 from the water spray nozzle 201a provided in the upper header 201, and cools the sprinkled cooling water W2 in contact with the outside air Q in the filler 202. The cooled cooling water W2 is temporarily stored in the lower tank portion 203. The cooling water W2 in the tank unit 203 is sent to the heat exchanger 230 via the pump 210 and the pipe 220, and after the fluid in the heat exchanger 230 is cooled and warmed, the cooling tower 200 is cooled by the pipe 220. Is returned to the header 201 and circulated.

付着物検出装置Cは、センサー1と、判定制御器2と、電源3と、測定セル4と、ポンプ5と、入口配管6及び出口配管7とから構成されている。   The adhering matter detection device C includes a sensor 1, a determination controller 2, a power source 3, a measurement cell 4, a pump 5, an inlet pipe 6 and an outlet pipe 7.

測定セル4は、内部にセンサー1が設置されているとともに、冷却塔200のタンク部203と、入口配管6と出口配管7とを介して接続されている。冷却塔200のタンク部203内の冷却水W2、すなわち、調査水W0は、入口配管6とポンプ5を介して測定セル4内に送り込まれ、この測定セル4内でセンサー1の検出部Kと接触した後、出口配管7を介して冷却塔200に戻される。   The measurement cell 4 has the sensor 1 installed therein and is connected to the tank unit 203 of the cooling tower 200 via the inlet pipe 6 and the outlet pipe 7. The cooling water W2 in the tank unit 203 of the cooling tower 200, that is, the investigation water W0 is sent into the measurement cell 4 through the inlet pipe 6 and the pump 5, and the detection unit K of the sensor 1 is After contact, it is returned to the cooling tower 200 via the outlet pipe 7.

ここで、測定セル4内では、センサー1の検出部Kと調査水W0とは、調査水W0の伝熱境膜による温度上昇ΔT3が常に一定となるように、検出部Kの位置や調査水W0の流速等が調整されているものとする。また、電源3からセンサー1に加熱電流Iとしてパルス的電流が供給される場合に、第1の時間帯t1終了時から第2の時間帯t2終了時までの間、調査水W0の水温は一定であるものとする。さらに、この調査水W0では、付着物としてスライムの発生はないものとする。   Here, in the measurement cell 4, the detection unit K of the sensor 1 and the survey water W0 are located in the position of the detection unit K and the survey water so that the temperature rise ΔT3 due to the heat transfer boundary film of the survey water W0 is always constant. It is assumed that the flow rate of W0 is adjusted. When the pulsed current is supplied as the heating current I from the power source 3 to the sensor 1, the water temperature of the survey water W0 is constant from the end of the first time zone t1 to the end of the second time zone t2. Suppose that Furthermore, in this investigation water W0, it is assumed that no slime is generated as a deposit.

この調査水W0が、例えば、硫酸塩系のスケール成分を有していると考えられる場合には、スケール成分が、例えば、硫酸カルシウムとなる被覆スケールGを用いて、センサー1のスケール被覆部15を形成しておく。また、調査水W0が、例えば、炭酸塩系とリン酸塩系スケール成分を有していると考えられる場合には、スケール成分が、例えば、炭酸カルシウムとリン酸カルシウムからなる被覆スケールGを用いて、センサー1のスケール被覆部15を形成しておく。   For example, if the survey water W0 is considered to have a sulfate-based scale component, the scale coating portion 15 of the sensor 1 uses a coating scale G in which the scale component is, for example, calcium sulfate. Is formed. Further, when the survey water W0 is considered to have, for example, a carbonate-based and phosphate-based scale component, the scale component is, for example, using a coating scale G made of calcium carbonate and calcium phosphate, A scale covering portion 15 of the sensor 1 is formed.

判定制御器2の付着物検出手段21は、(3)式を用いて付着スケールFによる温度上昇ΔT4を算出するが、この温度上昇ΔT4が、例えば、0.1℃以上あれば、センサー1の検出部Kにスケールが付着していると(付着スケールFが生じている)と判断する。
なお、スケール付着の判断基準となる温度差の値(0.1℃)は、温度の測定誤差等を充分に考慮して定められるべきで値である。
The deposit detection means 21 of the determination controller 2 calculates the temperature rise ΔT4 due to the deposit scale F using the equation (3). If this temperature rise ΔT4 is 0.1 ° C. or more, for example, the sensor 1 It is determined that the scale is attached to the detection unit K (the attached scale F is generated).
Note that the temperature difference value (0.1 ° C.), which is a criterion for determining scale adhesion, should be determined in consideration of temperature measurement errors and the like.

この付着物検出装置Bのセンサー1でも、冷却塔200内にスケールが付着する前に、スケールの発生を検出することができる。なお、付着スケールFの検出後、続けて、付着物検出手段21によりスケールの付着検出を行うには、付着スケールFが生じていると判断した時点の温度Tn,TWnを、T0,TW0とおいて、センサー1の検出部Kへの新たなスケールの付着を検出していけばよい。   The sensor 1 of the deposit detection apparatus B can also detect the occurrence of scale before the scale adheres to the cooling tower 200. In addition, after detecting the adhesion scale F, in order to detect the adhesion of the scale by the adhesion detection means 21, the temperatures Tn and TWn at the time when it is determined that the adhesion scale F has occurred are set as T0 and TW0. The adhesion of a new scale to the detection unit K of the sensor 1 may be detected.

1 センサー
10 金属管
11 発熱体
12 測温体
13 充填材
20 通電量制御手段
21 付着物検出手段
B,C 付着物検出装置
G 被覆スケール
K 検出部
K1 検出面(検出部の外面)
W0 調査水
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sensor 10 Metal pipe 11 Heating element 12 Temperature sensing element 13 Filler 20 Energizing amount control means 21 Adhered matter detection means B, C Adhered matter detection apparatus G Covering scale K Detection part K1 Detection surface (outer surface of a detection part)
W0 survey water

Claims (5)

発熱体及び測温体が挿入されている金属管内に熱良導性の充填剤が充填された検出部を、付着物の調査水中に浸漬して、前記発熱体への通電によって生じる前記検出部内の温度の変化により、この検出部の外面への付着物の付着検出を行う付着物検出用のセンサーであって、
前記金属管の外面を所定の粗度を有するように形成して、前記検出部の外面に所定の粗度を与えるようにしたことを特徴とする付着物検出用のセンサー。
In the detection unit, which is generated by energizing the heating element by immersing a detection unit filled with a heat-conducting filler in a metal tube in which the heating element and the temperature measuring element are inserted. A sensor for detecting an adhering substance that detects adhering substances adhering to the outer surface of the detection unit according to a change in temperature of
A sensor for detecting attached matter, wherein an outer surface of the metal tube is formed to have a predetermined roughness, and the outer surface of the detection unit is given a predetermined roughness.
発熱体及び測温体が挿入されている金属管内に熱良導性の充填剤が充填された検出部を、付着物の調査水中に浸漬して、前記発熱体への通電によって生じる前記検出部内の温度の変化により、この検出部の外面への付着物の付着検出を行う付着物検出用のセンサーであって、
前記金属管の外面をスケールで被覆して、前記検出部の外面を前記スケールの表面によって形成していることを特徴とする付着物検出用のセンサー。
In the detection unit, which is generated by energizing the heating element by immersing a detection unit filled with a heat-conducting filler in a metal tube in which the heating element and the temperature measuring element are inserted. A sensor for detecting an adhering substance that detects adhering substances adhering to the outer surface of the detection unit according to a change in temperature of
A sensor for detecting an adhering substance, wherein an outer surface of the metal tube is covered with a scale, and an outer surface of the detection unit is formed by a surface of the scale.
前記スケールの成分は、炭酸カルシウム、塩基性炭酸亜鉛、硫酸カルシウム、亜硫酸カルシウム、硫酸バリウム、硫酸アルミニウム、リン酸カルシウム、リン酸亜鉛、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、シュウ酸カルシウム、水酸化マグネシウム、及び水酸化亜鉛のうちの何れか、又は、これらのうちの少なくとも2つの成分が混合されたものであることを特徴とする請求項2記載の付着物検出用のセンサー。   The scale components include calcium carbonate, basic zinc carbonate, calcium sulfate, calcium sulfite, barium sulfate, aluminum sulfate, calcium phosphate, zinc phosphate, calcium silicate, magnesium silicate, calcium oxalate, magnesium hydroxide, and water. The sensor for deposit detection according to claim 2, wherein any one of zinc oxides or a mixture of at least two of them is mixed. 発熱体及び測温体が挿入されている金属管内に熱良導性の充填剤が充填された検出部が、付着物の調査水中に浸漬されるセンサーと、前記センサーの前記発熱体への通電量を制御する通電量制御手段と、前記センサーの前記発熱体への通電によって生じる前記検出部内の温度の変化により、この検出部の外面への付着物の付着検出を行う付着物検出手段とを備えた付着物検出装置であって、
前記センサーの前記金属管の外面をスケールで被覆して、前記検出部の外面を前記スケールの表面によって形成していることを特徴とする付着物検出装置。
A sensor in which a heat-conducting filler is filled in a metal tube in which a heating element and a temperature sensing element are inserted, a sensor immersed in the investigation water for deposits, and energization of the sensor to the heating element An energizing amount control means for controlling the amount, and an adhering matter detecting means for detecting adhering matter adhering to the outer surface of the detecting portion by a change in temperature in the detecting portion caused by energizing the heating element of the sensor. An attached matter detection apparatus comprising:
An attached matter detection apparatus, wherein an outer surface of the metal tube of the sensor is covered with a scale, and an outer surface of the detection unit is formed by a surface of the scale.
前記通電量制御手段は、第1の時間帯では電流値を所定の大きさとするが、これに続く第2の時間帯では電流値をゼロ又はゼロに近い値とすることを、連続的に繰り返すように、前記センサーの前記発熱体への通電量を制御することを特徴とする請求項4記載の付着物検出装置。   The energization amount control means continuously sets the current value to a predetermined magnitude in the first time zone, but sets the current value to zero or a value close to zero in the second time zone following this. The attached matter detection apparatus according to claim 4, wherein an energization amount of the sensor to the heating element is controlled.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20190391176A1 (en) * 2015-04-20 2019-12-26 SZ DJI Technology Co., Ltd. Systems and methods for thermally regulating sensor operation
JP2023054933A (en) * 2021-10-05 2023-04-17 株式会社Ihi test equipment

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113210348B (en) * 2021-04-25 2022-10-18 杭州电子科技大学 Ultrasonic online descaling and antiscaling intelligent system based on infrared array temperature measurement
CN113970292B (en) * 2021-10-09 2023-10-31 同济大学 Method for identifying object surface attachment area

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3250506B2 (en) * 1997-11-19 2002-01-28 栗田工業株式会社 Slime or scale adhesion detector
JP3250505B2 (en) * 1997-11-19 2002-01-28 栗田工業株式会社 Slime or scale adhesion detector
JP2002071667A (en) * 2000-08-31 2002-03-12 Kurita Water Ind Ltd Seed activity measurement method
JP2003139889A (en) * 2001-10-31 2003-05-14 Hitachi Ltd Adhesion amount monitoring sensor, monitoring system method, and water quality management method
JP5157821B2 (en) * 2008-10-27 2013-03-06 栗田工業株式会社 Attachment detection apparatus and detection method
JP5526936B2 (en) * 2010-03-31 2014-06-18 栗田工業株式会社 Attachment detection device

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20190391176A1 (en) * 2015-04-20 2019-12-26 SZ DJI Technology Co., Ltd. Systems and methods for thermally regulating sensor operation
US11703522B2 (en) * 2015-04-20 2023-07-18 SZ DJI Technology Co., Ltd. Systems and methods for thermally regulating sensor operation
US20230358781A1 (en) * 2015-04-20 2023-11-09 SZ DJI Technology Co., Ltd. Systems and methods for thermally regulating sensor operation
US12078653B2 (en) * 2015-04-20 2024-09-03 SZ DJI Technology Co., Ltd. Systems and methods for thermally regulating sensor operation
JP2023054933A (en) * 2021-10-05 2023-04-17 株式会社Ihi test equipment
JP7700617B2 (en) 2021-10-05 2025-07-01 株式会社Ihi Test Equipment

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