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JP2013197371A - Drive circuit, light source device, light amplifier, and driving method - Google Patents

Drive circuit, light source device, light amplifier, and driving method Download PDF

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JP2013197371A JP2012063755A JP2012063755A JP2013197371A JP 2013197371 A JP2013197371 A JP 2013197371A JP 2012063755 A JP2012063755 A JP 2012063755A JP 2012063755 A JP2012063755 A JP 2012063755A JP 2013197371 A JP2013197371 A JP 2013197371A
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Noriaki Shimada
典昭 島田
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Fujikura Ltd
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Fujikura Ltd
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Abstract

【課題】レーザダイオードの出力を調整する際に生じ得る発信波長のズレを抑制すること。
【解決手段】駆動回路10は、互いに並列に接続された複数のレーザダイオードを駆動する駆動回路10であって、点灯するレーザダイオードの個数を、点灯するレーザダイオードの合計出力が与えられた目標出力に一致又は略一致するように制御する制御部11を備えている。
【選択図】図1
An object of the present invention is to suppress a deviation of a transmission wavelength that may occur when adjusting an output of a laser diode.
A drive circuit is a drive circuit that drives a plurality of laser diodes connected in parallel to each other, and the number of laser diodes to be lit is a target output to which a total output of the laser diodes to be lit is given. Is provided with a control unit 11 that controls to match or substantially match.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、複数のレーザダイオードを駆動する駆動回路および駆動方法に関する。また、そのような駆動回路を備えた光源装置、および、そのような光源装置を備えた光増幅器に関する。   The present invention relates to a driving circuit and a driving method for driving a plurality of laser diodes. The present invention also relates to a light source device provided with such a drive circuit and an optical amplifier provided with such a light source device.

レーザ光による切断や溶接を行うレーザ加工機等として、ファイバレーザが広く用いられている。ファイバレーザは、光ファイバをレーザ媒質とするレーザ発振器であり、希土類が添加された増幅用ファイバと、増幅用ファイバに導入する励起光を発する光源装置とにより構成される。レーザ加工機として利用される高出力のファイバレーザにおいては、複数のレーザダイオードを備えた光源装置を用い、これらのレーザダイオードから発せられたレーザ光をポンプコンバイナによって合波したものを励起光とする構成が一般的である。   BACKGROUND ART Fiber lasers are widely used as laser processing machines that perform cutting and welding with laser light. The fiber laser is a laser oscillator that uses an optical fiber as a laser medium, and includes an amplification fiber to which a rare earth is added and a light source device that emits excitation light to be introduced into the amplification fiber. In a high-power fiber laser used as a laser processing machine, a light source device including a plurality of laser diodes is used, and pumping light is obtained by combining laser beams emitted from these laser diodes by a pump combiner. The configuration is common.

ところで、このようなファイバレーザにおいては、励起光の波長の変動によって、その増幅率が変動することが知られている。例えば、励起光の波長が目標波長からズレると、増幅用ファイバにおける励起光の吸収率が低下し、結果的にファイバレーザの増幅率が低下することとなる。   By the way, in such a fiber laser, it is known that the amplification factor fluctuates due to the fluctuation of the wavelength of the excitation light. For example, when the wavelength of the pumping light deviates from the target wavelength, the absorption rate of the pumping light in the amplification fiber decreases, and as a result, the amplification factor of the fiber laser decreases.

レーザダイオードから発せられるレーザ光の波長は、そのレーザダイオードに供給される駆動電流の大きさや、そのレーザダイオードの温度に依存する。このため、励起光源として使用するレーザダイオードの駆動電流や温度が変化すると、ファイバレーザの増幅率が変化してしまうこととなる。したがって、ファイバレーザの増幅効率を高めるためには、励起光の波長が目標波長と一致するように、励起光源として利用するレーザダイオードの駆動電流や温度を制御することが必要になる。   The wavelength of the laser light emitted from the laser diode depends on the magnitude of the drive current supplied to the laser diode and the temperature of the laser diode. For this reason, if the drive current and temperature of the laser diode used as the excitation light source change, the amplification factor of the fiber laser will change. Therefore, in order to increase the amplification efficiency of the fiber laser, it is necessary to control the drive current and temperature of the laser diode used as the excitation light source so that the wavelength of the excitation light matches the target wavelength.

例えば、下記特許文献1には、励起用レーザダイオードの出力光の一部を取り出して分光し、その発振波長の目標波長に対するずれを検出し、その結果を温度調節回路にフィードバックして、その設定温度を調整することにより、発振波長の安定化を図る技術が開示されている。   For example, in Patent Document 1 below, a part of the output light of the excitation laser diode is extracted and dispersed, the deviation of the oscillation wavelength from the target wavelength is detected, and the result is fed back to the temperature adjustment circuit and the setting is made. A technique for stabilizing the oscillation wavelength by adjusting the temperature is disclosed.

また、下記特許文献2には、励起LD素子が発生する励起光のうちの波長選択型反射デバイスによって特定波長の光のみを反射して励起LD素子と波長選択型反射デバイスとの間でレーザ共振器を構成し、上記特定波長の光のみをレーザ発振する技術が開示されている。この技術によれば、温度変化に対して励起光の波長が変化しない光増幅器を提供することが可能となるとされている。   In Patent Document 2 below, laser resonance occurs between the excitation LD element and the wavelength selective reflection device by reflecting only light of a specific wavelength by the wavelength selective reflection device of the excitation light generated by the excitation LD element. A technology is disclosed that constitutes a laser and oscillates only the light of the specific wavelength. According to this technology, it is possible to provide an optical amplifier in which the wavelength of pumping light does not change with respect to temperature change.

特開平5−90672号公報(1993年4月9日公開)Japanese Patent Laid-Open No. 5-90672 (published on April 9, 1993) 特開平11−186642号公報(1999年7月9日公開)Japanese Patent Laid-Open No. 11-186642 (published July 9, 1999)

しかしながら、上記特許文献1に開示されている技術では、レーザダイオード発振波長の安定化を図るために、温度をモニタするための機構や、温度を調整するための機構が必要なため、構成が複雑になってしまうだけでなく、コストが増加してしまう。   However, the technique disclosed in Patent Document 1 requires a mechanism for monitoring the temperature and a mechanism for adjusting the temperature in order to stabilize the laser diode oscillation wavelength. Not only will the cost be increased, but the cost will increase.

また、上記特許文献2に開示されている技術では、励起光の経路上に高価な波長選択型反射デバイスを挿入する必要があるため、その挿入損失によって、レーザダイオードの発光効率が低下してしまうだけでなく、コストが増加してしまう。   Further, in the technique disclosed in Patent Document 2, since it is necessary to insert an expensive wavelength selective reflection device on the excitation light path, the light emission efficiency of the laser diode is reduced due to the insertion loss. Not only will the cost increase.

一方、従来、レーザダイオードの駆動電流の大きさ調整することにより、レーザダイオードの出力を調整する方法が用いられている。しかしながら、上述したとおり、励起光の波長はレーザダイオードの駆動電流の大きさに依存するため、この方法では、レーザダイオードの出力の調整に伴って、励起光の波長が変化してしまい、ファイバレーザの増幅効率が低下することとなる。   On the other hand, conventionally, a method of adjusting the output of the laser diode by adjusting the magnitude of the driving current of the laser diode has been used. However, as described above, since the wavelength of the excitation light depends on the magnitude of the drive current of the laser diode, in this method, the wavelength of the excitation light changes with the adjustment of the output of the laser diode, and the fiber laser The amplification efficiency will be reduced.

このように、従来、レーザダイオードの出力波長の安定化のための技術や、レーザダイオードの出力の調整のための技術において、様々な問題を抱えていた。   As described above, conventionally, there are various problems in the technology for stabilizing the output wavelength of the laser diode and the technology for adjusting the output of the laser diode.

本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、レーザダイオードの出力を調整する際に生じ得る発振波長のズレを抑制することにある。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to suppress a deviation in oscillation wavelength that may occur when adjusting the output of a laser diode.

上述した課題を解決するため、本発明に係る駆動回路は、互いに並列に接続された複数のレーザダイオードを駆動する駆動回路であって、上記複数のレーザダイオードの各々について、該レーザダイオードを特定の波長で発振させたときに得られる出力の大きさが予め定められており、上記予め定められた出力の大きさに基づいて、点灯するレーザダイオードの個数を、点灯するレーザダイオードの合計出力が与えられた目標出力に一致又は略一致するように制御する制御部を備えている、ことを特徴とする。   In order to solve the above-described problems, a drive circuit according to the present invention is a drive circuit for driving a plurality of laser diodes connected in parallel to each other, and for each of the plurality of laser diodes, the laser diode is specified. The magnitude of the output obtained when oscillating at a wavelength is predetermined, and the total output of the laser diodes to be lit gives the number of laser diodes to be lit based on the above-mentioned predetermined output magnitude. And a control unit that controls to match or substantially match the set target output.

上記の構成によれば、点灯するレーザダイオードの個数の制御は、上記のとおり、レーザダイオードを特定の波長で発振させたときに得られる出力の大きさとして、予め定められた値に基づいて行なわれる。したがって、従来のようにフィードバック制御を用いるよりも構成が簡単で、コストの低い駆動回路を実現することができる。   According to the above configuration, the number of laser diodes to be lit is controlled based on a predetermined value as the magnitude of output obtained when the laser diode oscillates at a specific wavelength as described above. It is. Therefore, it is possible to realize a drive circuit that has a simpler configuration and lower cost than the conventional feedback control.

ここで、合計出力が目標出力に略一致するとは、点灯するレーザダイオードの個数を増減させることにより達成し得る精度で、合計出力が目標出力に一致することを指す。例えば、各レーザダイオードの出力が5Wである場合、合計出力と目標出力との差が5Wよりも小さければ、合計出力が目標出力と略一致していると言える。   Here, that the total output substantially matches the target output means that the total output matches the target output with an accuracy that can be achieved by increasing or decreasing the number of laser diodes to be lit. For example, when the output of each laser diode is 5 W, it can be said that the total output substantially matches the target output if the difference between the total output and the target output is smaller than 5 W.

なお、レーザダイオードに供給する駆動電流が決まると、そのレーザダイオードの出力と、そのレーザダイオードにおける消費電力とが決まる。そして、レーザダイオードにおける消費電力が決まれば、特定の環境温度における、そのレーザダイオードの温度が決まり、その結果、そのレーザダイオードの発振波長が決まる(厳密に言うと、レーザダイオードの発振波長は、そのレーザダイオードに供給される駆動電流自体にも依存する)。すなわち、レーザダイオードの駆動電流、出力、及び発振波長の三者の間には、一定の対応関係が存在する。したがって、レーザダイオードを特定の波長で発振させたときに、そのレーザダイオードにより得られる出力の大きさは、実験等によって事前に決定できる量である。   When the drive current supplied to the laser diode is determined, the output of the laser diode and the power consumption of the laser diode are determined. When the power consumption of the laser diode is determined, the temperature of the laser diode at a specific environmental temperature is determined, and as a result, the oscillation wavelength of the laser diode is determined (strictly speaking, the oscillation wavelength of the laser diode is It depends on the drive current supplied to the laser diode itself). That is, there is a certain correspondence between the laser diode drive current, output, and oscillation wavelength. Therefore, when the laser diode is oscillated at a specific wavelength, the magnitude of the output obtained by the laser diode is an amount that can be determined in advance by experiments or the like.

本発明に係る駆動回路において、上記制御部は、点灯するレーザダイオードの各々について、該レーザダイオードに供給する駆動電流の大きさを、該レーザダイオードを特定の波長で発振させる駆動電流の大きさとして、予め定められた値に制御する、ことが好ましい。   In the drive circuit according to the present invention, the control unit sets, for each of the laser diodes to be lit, the magnitude of the drive current supplied to the laser diode as the magnitude of the drive current that causes the laser diode to oscillate at a specific wavelength. It is preferable to control to a predetermined value.

上記の構成によれば、上記複数のレーザダイオードの各々から発振されるレーザ光の波長を、上記特定の波長に一致させることができる。すなわち、上記複数のレーザダイオードの各々から発振されるレーザ光を合波すれば、出力が目標出力に略一致し、かつ、波長が目標波長に一致する光を生成することができる。   According to said structure, the wavelength of the laser beam oscillated from each of said several laser diode can be made to correspond with the said specific wavelength. That is, by combining the laser light oscillated from each of the plurality of laser diodes, it is possible to generate light whose output substantially matches the target output and whose wavelength matches the target wavelength.

なお、上述したように、レーザダイオードの駆動電流、出力、及び発振波長の三者の間には一定の対応関係が存在する。したがって、レーザダイオードを特定の波長で発振させるために、そのレーザダイオードに供給すべき駆動電流の大きさは、実験等によって事前に決定できる量である。   Note that, as described above, there is a certain correspondence between the three of the laser diode drive current, output, and oscillation wavelength. Therefore, in order to oscillate a laser diode at a specific wavelength, the magnitude of the drive current to be supplied to the laser diode is an amount that can be determined in advance by experiments or the like.

本発明に係る駆動回路において、上記制御部は、点灯するN個のレーザダイオードのうち、N−1個のレーザダイオードの各々について、該レーザダイオードに供給される駆動電流の大きさを、該レーザダイオードを特定の波長で発振させる駆動電流の大きさとして、予め定められた値に制御すると共に、上記N個のレーザダイオードのうち、残り1個のレーザダイオードについて、該レーザダイオードに供給する駆動電流の大きさを、上記N個のレーザダイオードの合計出力が与えられた目標出力に一致するように制御する、ことが好ましい。   In the drive circuit according to the present invention, the control unit determines the magnitude of the drive current supplied to the laser diode for each of the N-1 laser diodes among the N laser diodes to be lit. The magnitude of the drive current for causing the diode to oscillate at a specific wavelength is controlled to a predetermined value, and the drive current supplied to the laser diode for the remaining one of the N laser diodes Is preferably controlled so that the total output of the N laser diodes matches a given target output.

上記の構成によれば、上記N−1個のレーザダイオードの各々から発振されるレーザ光の波長を、上記特定の波長に一致させることができる。また、上記残りの1個のレーザダイオードから発振されるレーザ光の波長を、上記特定の波長に略一致させることができる。したがって、上記複数のレーザダイオードの各々から発振されるレーザ光を合波すれば、出力が目標出力に一致し、かつ、波長が目標波長に略一致する光を生成することができる。   According to said structure, the wavelength of the laser beam oscillated from each of the said N-1 laser diode can be made to correspond with the said specific wavelength. In addition, the wavelength of the laser light oscillated from the remaining one laser diode can be made substantially coincident with the specific wavelength. Therefore, by combining the laser light oscillated from each of the plurality of laser diodes, it is possible to generate light whose output matches the target output and whose wavelength substantially matches the target wavelength.

本発明に係る駆動回路は、上記複数のレーザダイオードの各々について、該レーザダイオードを上記特定の波長で発振させる駆動電流の大きさとして予め定められた値と、その大きさの駆動電流を供給したときに得られる該レーザダイオードの出力の大きさとして予め定められた値とが記載されたテーブルが格納されたメモリを備えており、上記制御部は、上記テーブルを参照することによって、点灯するレーザダイオードの個数、及び、点灯するレーザダイオードの各々に供給する駆動電流の大きさを決定する、ことが好ましい。   The drive circuit according to the present invention supplies, for each of the plurality of laser diodes, a predetermined value as the magnitude of the drive current that causes the laser diode to oscillate at the specific wavelength, and a drive current of that magnitude. A laser storing a table in which a predetermined value as a magnitude of the output of the laser diode obtained is stored, and the control unit refers to the table to turn on the laser It is preferable to determine the number of diodes and the magnitude of the drive current supplied to each of the laser diodes to be lit.

上記の構成によれば、上記複数のレーザダイオードから発振されるレーザ光の強度や波長をモニタすることなく、上記複数のレーザダイオードの合計出力を目標出力に合わせ込むことができる。すなわち、上述した効果を犠牲にすることなく、駆動回路の構成を簡単化し、そのコストを低下させることができる。   According to the above configuration, the total output of the plurality of laser diodes can be adjusted to the target output without monitoring the intensity and wavelength of the laser light oscillated from the plurality of laser diodes. That is, it is possible to simplify the configuration of the drive circuit and reduce its cost without sacrificing the above-described effects.

また、上述した課題を解決するために、本発明に係る光源装置は、複数のレーザダイオードと、上記複数のレーザダイオードを駆動する駆動回路である上記駆動回路とを備えている、ことを特徴とする。   In order to solve the above-described problem, a light source device according to the present invention includes a plurality of laser diodes and the driving circuit that is a driving circuit for driving the plurality of laser diodes. To do.

このように上記複数のレーザダイオードと上記駆動回路とを備えた光源装置も本発明の範疇に含まれる。   Thus, a light source device including the plurality of laser diodes and the driving circuit is also included in the scope of the present invention.

本発明に係る光源装置において、上記複数のレーザダイオードの各々は、互いに断熱されたヒートシンクに取り付けられている、ことが好ましい。   In the light source device according to the present invention, each of the plurality of laser diodes is preferably attached to a heat sink insulated from each other.

上記の構成によれば、或るレーザダイオードを点灯したことにより、他のレーザダイオードの温度が上昇することはない。したがって、或るレーザダイオードに供給する駆動電流を、他のレーザダイオードを点灯しているか否かを参照することなく決定することが可能になる。したがって、各レーザダイオードに供給する駆動電流を決定するための構成が簡単になる。   According to the above configuration, lighting a certain laser diode does not increase the temperature of other laser diodes. Therefore, it becomes possible to determine the drive current supplied to a certain laser diode without referring to whether or not other laser diodes are lit. Therefore, the configuration for determining the drive current supplied to each laser diode is simplified.

また、上述した課題を解決するために、本発明に係る光増幅器は、上記光源装置と、上記複数のレーザダイオードから発振されたレーザ光を合波するポンプコンバイナと、上記ポンプコンバイナにより合波されたレーザ光を励起光として利用するレーザ媒質とを備えている、ことを特徴とする。   In order to solve the above-described problems, an optical amplifier according to the present invention is combined by the light source device, a pump combiner that combines the laser beams oscillated from the plurality of laser diodes, and the pump combiner. And a laser medium using the laser light as excitation light.

上記の構成によれば、発振波長のズレが抑制された上記レーザ光を上記励起光として利用することができるため、その増幅効率が高い光増幅器を提供することができる。   According to said structure, since the said laser beam by which the shift | offset | difference of the oscillation wavelength was suppressed can be utilized as said excitation light, the optical amplifier with the high amplification efficiency can be provided.

また、上述した課題を解決するために、本発明に係る駆動方法は、互いに並列に接続された複数のレーザダイオードを駆動する駆動方法であって、上記複数のレーザダイオードの各々について、該レーザダイオードを特定の波長で発振させたときに得られる出力の大きさが予め定められており、上記予め定められた出力の大きさに基づいて、点灯するレーザダイオードの個数を、点灯するレーザダイオードの合計出力が与えられた目標出力に一致又は略一致するように制御する制御工程を含んでいる、ことを特徴とする。   In order to solve the above-described problem, a driving method according to the present invention is a driving method for driving a plurality of laser diodes connected in parallel to each other, and each of the plurality of laser diodes includes the laser diode. The size of the output obtained when the laser is oscillated at a specific wavelength is determined in advance, and the number of laser diodes to be lit is determined based on the predetermined output size, and the total number of laser diodes to be lit It includes a control step of controlling the output so as to match or substantially match a given target output.

上記の構成によれば、上記駆動回路と同様の効果を奏することができる。   According to said structure, there can exist an effect similar to the said drive circuit.

本発明によれば、比較的簡単な構成により、レーザダイオードの出力を調整する際に生じ得る発信波長のズレを抑制することができる。   According to the present invention, with a relatively simple configuration, it is possible to suppress the deviation of the transmission wavelength that may occur when adjusting the output of the laser diode.

本発明の一実施形態に係るレーザ装置の概略を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the outline of the laser apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るファイバレーザの概略を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the outline of the fiber laser which concerns on one Embodiment of this invention. (a)は、本発明の一実施形態に係る複数のレーザダイオードにおける発振波長の駆動電流依存性を示す図である。(b)は、複数の当該レーザダイオードにおける出力パワーの駆動電流依存性を示す図である。(A) is a figure which shows the drive current dependence of the oscillation wavelength in the some laser diode which concerns on one Embodiment of this invention. (B) is a figure which shows the drive current dependence of the output power in the said several said laser diode. 本発明の一実施形態に係るルックアップテーブルを示す図である。It is a figure which shows the look-up table which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るレーザダイオードおよびヒートシンクの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the laser diode which concerns on one Embodiment of this invention, and a heat sink. (a)は、本発明の一態様に係るレーザダイオードにおける発振波長の駆動電流依存性を示す図である。(b)は、当該レーザダイオードにおける出力パワーの駆動電流依存性を示す図である。(c)は、各当該ダイオードそれぞれの発振波長スペクトル、および、合波した発振波長スペクトルの概略を示す図である。(A) is a figure which shows the drive current dependence of the oscillation wavelength in the laser diode which concerns on 1 aspect of this invention. (B) is a figure which shows the drive current dependence of the output power in the said laser diode. (C) is a figure which shows the outline of each oscillation wavelength spectrum of each said diode, and the combined oscillation wavelength spectrum.

本発明の一実施形態について、図面を参照して以下に説明する。   An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

(ファイバレーザ100)
まず、本発明の一実施形態に係るファイバレーザ100について、図2を参照しながら説明する。図2は、本発明の一実施形態に係るファイバレーザの概略を示すブロック図である。図2に示すように、ファイバレーザ100は、レーザ装置40、レーザ光合波部50、増幅用ファイバ60を備えている。
(Fiber laser 100)
First, a fiber laser 100 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a block diagram showing an outline of a fiber laser according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 2, the fiber laser 100 includes a laser device 40, a laser beam multiplexer 50, and an amplification fiber 60.

レーザ装置40は、並列に配置されたn個のレーザダイオードLD1〜LDn、およびダイオードLD1〜LDnを駆動する駆動回路10を備え、各レーザダイオードは、それぞれ所定の波長λpを有するレーザ光を発振する。各レーザダイオードから発振されたそれぞれのレーザ光は、各レーザダイオードに対応する光ファイバに導入される。   The laser device 40 includes n laser diodes LD1 to LDn arranged in parallel and a drive circuit 10 for driving the diodes LD1 to LDn, and each laser diode oscillates a laser beam having a predetermined wavelength λp. . Each laser beam oscillated from each laser diode is introduced into an optical fiber corresponding to each laser diode.

n本の光ファイバは、ポンプコンバイナ50(レーザ光合波部)において1本の光ファイバにまとめられる。すなわち、n個のレーザダイオードが発振するレーザ光は、ポンプコンバイナ50において合波される。   The n optical fibers are combined into one optical fiber in the pump combiner 50 (laser light multiplexing unit). That is, the laser light oscillated by the n laser diodes is multiplexed in the pump combiner 50.

合波されたレーザ光は、利得媒質(レーザ媒質)である増幅用ファイバ60に導入される。増幅用ファイバ60のコアには、イッテルビウムおよびエルビウムなどの希土類イオンが添加されている。合波されたレーザ光は、希土類イオンを励起するポンプ光として働く。   The combined laser light is introduced into an amplification fiber 60 that is a gain medium (laser medium). Rare earth ions such as ytterbium and erbium are added to the core of the amplification fiber 60. The combined laser beam functions as pump light that excites rare earth ions.

希土類イオンが励起されている状態の増幅用ファイバ60に対して信号光が入射されると、この信号光が増幅された後に出力光として出射されることとなる。   When signal light is incident on the amplification fiber 60 in a state where the rare earth ions are excited, the signal light is amplified and then emitted as output light.

(レーザ装置40)
次に、図1を参照して、レーザ装置の構成について具体的に説明する。図1は、本発明の一実施形態に係るレーザ装置の概略を示すブロック図である。
(Laser device 40)
Next, the configuration of the laser device will be specifically described with reference to FIG. FIG. 1 is a block diagram showing an outline of a laser apparatus according to an embodiment of the present invention.

図1に示すように、レーザ装置40は、駆動回路10、電源21、ユーザインターフェース22、および、n個のレーザダイオードLD1〜LDnを備えている。レーザダイオードLD1〜LDnは、電気的に並列に配置されている。レーザダイオードLD1〜LDnは、レーザダイオードLD1〜LDnが互いに断熱する(すなわち、熱的な接触を断つ)ためのヒートシンク31a〜nに設置されている。本実施形態において、電源21は定電圧電源である。   As shown in FIG. 1, the laser device 40 includes a drive circuit 10, a power source 21, a user interface 22, and n laser diodes LD1 to LDn. The laser diodes LD1 to LDn are electrically arranged in parallel. The laser diodes LD1 to LDn are installed in heat sinks 31a to 31n for the laser diodes LD1 to LDn to insulate each other (that is, to break the thermal contact). In the present embodiment, the power source 21 is a constant voltage power source.

このように構成されたレーザ装置40においては、レーザ装置40が発振するレーザ光の目標出力が、ユーザによってユーザインターフェース22を介して入力される。駆動回路10は、点灯するレーザダイオードの個数を、点灯するレーザダイオードの合計出力が与えられた目標出力に一致又は略一致するように制御する。   In the laser device 40 configured as described above, the target output of the laser light oscillated by the laser device 40 is input by the user via the user interface 22. The drive circuit 10 controls the number of laser diodes to be lit so that the total output of the lit laser diodes matches or substantially matches the given target output.

特に、駆動回路10は、点灯するレーザダイオードの各々について、該レーザダイオードに供給する駆動電流の大きさを、該レーザダイオードを特定の波長で発振させる値に制御する。   In particular, the drive circuit 10 controls the magnitude of the drive current supplied to each laser diode that is lit to a value that causes the laser diode to oscillate at a specific wavelength.

これにより、各レーザダイオードからは、特定の波長のレーザ光(すなわち、波長のズレが抑制されたレーザ光)が発振されることとなる。そして、各レーザダイオードから発振されたレーザ光の合計出力は、与えられた目標出力に一致又は略一致するものとなる。   As a result, each laser diode oscillates a laser beam having a specific wavelength (that is, a laser beam in which the wavelength shift is suppressed). Then, the total output of the laser light oscillated from each laser diode matches or substantially matches the given target output.

なお、本実施形態において、“レーザダイオードを駆動する”とは、そのレーザダイオードに対してレーザ光を発振させることを意味する。したがって、“レーザダイオードを駆動する”には、レーザダイオードに対して何ら電流を供給していない状態から駆動電流を供給すること、および、レーザダイオードに対してレーザ光が発振されない程度の何らかの電流(例えば待機電流)を供給している状態から、駆動電流を供給すること、の双方を含んでいる。   In the present embodiment, “driving a laser diode” means that the laser diode is oscillated. Therefore, “to drive the laser diode” includes supplying a drive current from a state in which no current is supplied to the laser diode, and any current that does not cause laser light to oscillate to the laser diode ( For example, it includes both of supplying a driving current from a state of supplying a standby current).

(駆動回路10)
以下、駆動回路10の構成を具体的に説明する。
(Drive circuit 10)
Hereinafter, the configuration of the drive circuit 10 will be specifically described.

図1に示すように、駆動回路10は、制御部11(制御手段)と、n個の駆動部12とを備えている。n個の駆動部12は、各レーザダイオードLD1〜LDnに対応して電気的に並列に配置されている。以下において、レーザダイオードLD1に対応する駆動部12を第1の駆動部12a、レーザダイオードLD2に対応する駆動部12を第2の駆動部12b、そして、レーザダイオードLDnに対応する駆動部12を第nの駆動部12nと呼ぶ。   As shown in FIG. 1, the drive circuit 10 includes a control unit 11 (control means) and n drive units 12. The n driving units 12 are electrically arranged in parallel corresponding to the laser diodes LD1 to LDn. In the following, the driving unit 12 corresponding to the laser diode LD1 is the first driving unit 12a, the driving unit 12 corresponding to the laser diode LD2 is the second driving unit 12b, and the driving unit 12 corresponding to the laser diode LDn is the first driving unit 12. This will be referred to as n driving unit 12n.

各駆動部12は、各レーザダイオードに供給する駆動電流を制御する。具体的には、各駆動部12には、制御部11から、所定の駆動電流の電流値が通知される。これに応じて、各駆動部12は、通知された電流値の駆動電流を生成し、生成した駆動電流を対応するレーザダイオードに供給する。   Each drive unit 12 controls the drive current supplied to each laser diode. Specifically, each control unit 11 is notified of a current value of a predetermined drive current from the control unit 11. In response to this, each drive unit 12 generates a drive current having the notified current value, and supplies the generated drive current to the corresponding laser diode.

各駆動部12は、それぞれ同様の構成を有しており、電流制御素子13、電流制御素子駆動回路14および電流検出用抵抗15からなる。例えば、第1の駆動部12aは、電流制御素子13a、電流制御素子駆動回路14aおよび電流検出用抵抗15aからなる。   Each drive unit 12 has the same configuration, and includes a current control element 13, a current control element drive circuit 14, and a current detection resistor 15. For example, the first drive unit 12a includes a current control element 13a, a current control element drive circuit 14a, and a current detection resistor 15a.

電流制御素子13aは、電界効果トランジスタ(FET)を備える。電流制御素子駆動回路14aは、FETのゲート部に駆動信号を入力する。FETのドレイン部は、電流検出用抵抗15aに接続されており、FETのソース部は、レーザダイオードLD1に接続されている。   The current control element 13a includes a field effect transistor (FET). The current control element drive circuit 14a inputs a drive signal to the gate portion of the FET. The drain portion of the FET is connected to the current detection resistor 15a, and the source portion of the FET is connected to the laser diode LD1.

電流制御素子13aは、電流制御素子駆動回路14aから供給される駆動信号に対応する電流を、レーザダイオードLD1に供給する。   The current control element 13a supplies a current corresponding to the drive signal supplied from the current control element drive circuit 14a to the laser diode LD1.

制御部11は、電流制御素子駆動回路14aに対して、レーザダイオードLD1に供給すべき駆動電流IDL1の値を出力する。   The controller 11 outputs the value of the drive current IDL1 to be supplied to the laser diode LD1 to the current control element drive circuit 14a.

電流制御素子駆動回路14aは、制御部11からレーザダイオードLD1に供給すべき駆動電流IDL1の値を受け取ると共に、電流検出用抵抗15aにおける両端の電圧値を受け取る。電流制御素子駆動回路14aは、入力された当該電圧値から電流検出用抵抗15aに流れる電流(I15aと表記する)を算出する。   The current control element drive circuit 14a receives the value of the drive current IDL1 to be supplied to the laser diode LD1 from the control unit 11, and also receives the voltage value at both ends of the current detection resistor 15a. The current control element driving circuit 14a calculates a current (denoted as I15a) flowing through the current detection resistor 15a from the input voltage value.

さらに、電流制御素子駆動回路14aは、電流I15aと、駆動電流IDL1とを比較する。電流I15aが駆動電流IDL1より小さい場合は、電流制御素子13aに対して電流値を大きくするための駆動信号を供給する。一方、電流I15aが駆動電流IDL1より大きい場合は、電流制御素子13aに対して電流値を小さくするための駆動信号を供給する。上記の電流制御によって、電流I15aと、駆動電流IDL1とは等しくなる。すなわち、レーザダイオードLD1に所定の駆動電流ILD1が供給される。   Further, the current control element drive circuit 14a compares the current I15a with the drive current IDL1. When the current I15a is smaller than the drive current IDL1, a drive signal for increasing the current value is supplied to the current control element 13a. On the other hand, when the current I15a is larger than the drive current IDL1, a drive signal for reducing the current value is supplied to the current control element 13a. By the current control described above, the current I15a and the drive current IDL1 become equal. That is, a predetermined drive current ILD1 is supplied to the laser diode LD1.

第2の駆動部12b〜第nの駆動部12nにおいても、第1の駆動部12aにおける電流制御と同様の電流制御が行われる。その結果、レーザダイオードLD2〜LDnには、それぞれ、所定の駆動電流ILD2〜ILDnが供給される。   In the second drive unit 12b to the nth drive unit 12n, the same current control as the current control in the first drive unit 12a is performed. As a result, predetermined drive currents ILD2 to ILDn are supplied to the laser diodes LD2 to LDn, respectively.

なお、電流制御手段は上記の構成に限られない。所望の電流を供給可能な電流制御手段であれば、駆動回路10が備える電流制御手段として用いることができる。   The current control means is not limited to the above configuration. Any current control means capable of supplying a desired current can be used as the current control means included in the drive circuit 10.

(レーザダイオードの特性)
ここで、図3(a)および(b)を参照して、レーザ装置40が備えるレーザダイオードの特性について説明する。
(Characteristics of laser diode)
Here, the characteristics of the laser diode provided in the laser device 40 will be described with reference to FIGS.

図3(a)は、レーザダイオードLD1およびLD2における発振波長の駆動電流依存性の例を示す図である。ここで、レーザダイオードが出射するレーザ光スペクトルにおけるピーク波長を、発振波長と定義する。   FIG. 3A is a diagram showing an example of the drive current dependence of the oscillation wavelength in the laser diodes LD1 and LD2. Here, the peak wavelength in the laser beam spectrum emitted from the laser diode is defined as the oscillation wavelength.

レーザダイオードの発振波長は、駆動電流に対して正の相関関係を示す。例えばレーザダイオードLD1において、駆動電流ILD1を大きくすることに伴い、レーザダイオードの温度が上昇し、発振波長は長波長側へシフトしていく。   The oscillation wavelength of the laser diode has a positive correlation with the drive current. For example, in the laser diode LD1, as the drive current ILD1 is increased, the temperature of the laser diode rises and the oscillation wavelength is shifted to the longer wavelength side.

また、各レーザダイオードは、それぞれ固有の発振波長および駆動電流の相関関係を有する。例えば、レーザダイオードLD1およびLD2は、それぞれ異なる発振波長の駆動電流依存性を示す(図3(a)参照)。   Each laser diode has a unique correlation between oscillation wavelength and drive current. For example, the laser diodes LD1 and LD2 exhibit drive current dependency of different oscillation wavelengths (see FIG. 3A).

具体的には、レーザダイオードLD1は、駆動電流6.0Aにおいて、所定の発振波長λpのレーザ光を発振する。すなわち、ILD1=6.0Aである。一方、レーザダイオードLD2は、駆動電流6.2Aにおいて所定の発振波長λpのレーザ光を発振する。すなわち、ILD2=6.2Aである。   Specifically, the laser diode LD1 oscillates a laser beam having a predetermined oscillation wavelength λp at a drive current of 6.0A. That is, ILD1 = 6.0A. On the other hand, the laser diode LD2 oscillates laser light having a predetermined oscillation wavelength λp at a drive current of 6.2A. That is, ILD2 = 6.2A.

したがって、第1の駆動部12aは、レーザダイオードLD1が所定の発振波長λpのレーザ光を発振するために、駆動電流ILD1として6.0AをレーザダイオードLD1に供給する。第2の電流制御手段は、レーザダイオードLD2が所定の発振波長λpのレーザ光を発振するために、駆動電流ILD2として6.2AをレーザダイオードLD2に供給する。   Accordingly, the first drive unit 12a supplies 6.0 A as the drive current ILD1 to the laser diode LD1 in order for the laser diode LD1 to oscillate laser light having a predetermined oscillation wavelength λp. The second current control means supplies 6.2 A as the drive current ILD2 to the laser diode LD2 so that the laser diode LD2 oscillates laser light having a predetermined oscillation wavelength λp.

図3(b)は、レーザダイオードから発振されるレーザ光の出力パワーの駆動電流依存性を示す図である。レーザダイオードは、供給される駆動電流が閾値電流を上回るまでレーザ発振しない。駆動電流が閾値電流を上回る領域(以下においてレーザ発振領域と呼ぶ)においては、駆動電流と、出力パワーとは線形な関係をしめす。なお、レーザ発振領域において、各レーザダイオードは、それぞれ固有の出力パワーの駆動電流依存性を示す。   FIG. 3B is a diagram showing the drive current dependence of the output power of the laser light oscillated from the laser diode. The laser diode does not oscillate until the supplied drive current exceeds a threshold current. In a region where the drive current exceeds the threshold current (hereinafter referred to as a laser oscillation region), the drive current and the output power have a linear relationship. In the laser oscillation region, each laser diode exhibits a drive current dependency of its specific output power.

図3(b)に示すように、レーザダイオードLD1に駆動電流としてILD1=6.0Aを供給すると、レーザダイオードLD1の出力パワーは5.0Wになる。一方、レーザダイオードLD2に駆動電流としてILD2=6.2Aを供給すると、レーザダイオードLD2の出力パワーは5.1Wになる。   As shown in FIG. 3B, when ILD1 = 6.0 A is supplied to the laser diode LD1 as a drive current, the output power of the laser diode LD1 becomes 5.0W. On the other hand, when ILD2 = 6.2 A is supplied as a drive current to the laser diode LD2, the output power of the laser diode LD2 is 5.1W.

このように、本実施形態において、各レーザダイオードは、所定の発振波長λpのレーザ光を発振する所定の駆動電流によって駆動され、各レーザダイオードの特性によって決まる出力のレーザ光を発振する。言い換えると、レーザ装置40は、発振波長がλpに統一されたレーザ光を発振することができるレーザ装置であるといえる。   Thus, in the present embodiment, each laser diode is driven by a predetermined drive current that oscillates laser light having a predetermined oscillation wavelength λp, and oscillates laser light with an output determined by the characteristics of each laser diode. In other words, the laser device 40 can be said to be a laser device that can oscillate laser light whose oscillation wavelength is unified to λp.

(ルックアップテーブル)
続いて、図4を参照して、駆動回路10が備えるルックアップテーブルについて説明する。図4は、本発明の一実施形態に係るルックアップテーブルを示す図である。駆動回路10は、ルックアップテーブルを記憶するメモリ16を備えている。
(Lookup table)
Next, with reference to FIG. 4, a lookup table provided in the drive circuit 10 will be described. FIG. 4 is a diagram illustrating a lookup table according to an embodiment of the present invention. The drive circuit 10 includes a memory 16 that stores a lookup table.

このルックアップテーブルには、各レーザダイオードの各々について、その発振波長が所定の発振波長λpになる駆動電流が所定の駆動電流として示されている。駆動回路10の制御部11は、このルックアップテーブルを参照することにより、各レーザダイオードの所定の駆動電流の電流値を得るように構成されている。   In this look-up table, for each laser diode, a drive current whose oscillation wavelength is a predetermined oscillation wavelength λp is shown as a predetermined drive current. The control unit 11 of the drive circuit 10 is configured to obtain a current value of a predetermined drive current of each laser diode by referring to this lookup table.

図4に示すように、ルックアップテーブル(以下、LUTと記載する)には、各レーザダイオードの番号と、各レーザダイオードの駆動電流、出力パワー、および、出力パワーの累計とが対応付けられている。図4に示すLUTは、レーザ装置40が10個のレーザダイオードを備えている場合のLUTである。   As shown in FIG. 4, the look-up table (hereinafter referred to as LUT) associates the number of each laser diode with the drive current, output power, and total output power of each laser diode. Yes. The LUT shown in FIG. 4 is an LUT in the case where the laser device 40 includes 10 laser diodes.

各レーザダイオードには1〜10の番号が割り当てられている。すなわち、LD1〜LD10としてLUTに記載されている。   Each laser diode is assigned a number from 1 to 10. That is, it is described in the LUT as LD1 to LD10.

各レーザダイオードLD1〜LD10において、予め発振波長の駆動電流依存性が調べられており、所定の発振波長λpを発振する所定の駆動電流ILD1〜ILD10が求められている。LUTにおける駆動電流の列に所定の駆動電流ILD1〜ILD10が格納されている。   In each of the laser diodes LD1 to LD10, the drive current dependency of the oscillation wavelength is examined in advance, and predetermined drive currents ILD1 to ILD10 that oscillate a predetermined oscillation wavelength λp are obtained. Predetermined drive currents ILD1 to ILD10 are stored in the drive current column in the LUT.

同様に、各レーザダイオードを所定の駆動電流によって駆動した際の出力パワーも調べられており、LUTにおける出力パワーの列に格納されている。   Similarly, the output power when each laser diode is driven by a predetermined drive current is also examined and stored in the output power column in the LUT.

LUTにおける出力パワーの累計とは、LD1からLDiまでのi個のレーザダイオードの出力パワーの和を意味する。例えば、LUTのLD3に関していえば、i=3となるため、出力パワーの累計は、LD1、LD2およびLD3の3つのレーザダイオードの出力パワーの和となっている。   The total output power in the LUT means the sum of output powers of i laser diodes from LD1 to LDi. For example, regarding LUT LD3, since i = 3, the total output power is the sum of the output powers of the three laser diodes LD1, LD2, and LD3.

なお、LUTは、少なくともレーザダイオード毎の駆動電流および出力パワーが含まれていればよく、その他の点については、任意の構成とすることができる。例えば、出力パワーの累計はLUTに含まれていなくてもよく、この場合であっても、制御部11は、LUTに示されている出力パワーに基づいて、出力パワーの累計を容易に求めることができる。   Note that the LUT only needs to include at least the drive current and output power for each laser diode, and can have any other configuration. For example, the total output power may not be included in the LUT. Even in this case, the control unit 11 can easily obtain the total output power based on the output power indicated in the LUT. Can do.

(制御部11)
駆動回路10の制御部11は、このようなLUTから得られる各レーザダイオードの出力パワーの累計に基づいて、レーザダイオードの合計出力とユーザインターフェース22を介して入力された目標出力との差分が最も小さくなるように、駆動対象のレーザダイオードの組み合わせを決定する。
(Control unit 11)
The control unit 11 of the drive circuit 10 has the largest difference between the total output of the laser diodes and the target output input via the user interface 22 based on the total output power of each laser diode obtained from the LUT. A combination of laser diodes to be driven is determined so as to be small.

例えば、制御部11は、LD1に対応する出力パワーの累計と、目標出力との差分を第1の差分として算出する。次に、制御部11は、LD2における出力パワー累計と、目標出力との差分を第2の差分として算出する。制御部11は、第3の差分〜第10の差分についても同様に算出する。制御部11は、第1の差分〜第10の差分の中から絶対値が最小になるものを選択する。そして、制御部11は、選択された差分に対応するレーザダイオードをLDiとし、LD1〜LDiを、駆動対象のレーザダイオードの組み合わせとして決定する。   For example, the control unit 11 calculates the difference between the total output power corresponding to the LD1 and the target output as the first difference. Next, the control unit 11 calculates a difference between the total output power in the LD 2 and the target output as a second difference. The control unit 11 similarly calculates the third difference to the tenth difference. The control unit 11 selects the one having the minimum absolute value from the first difference to the tenth difference. And the control part 11 determines the laser diode corresponding to the selected difference as LDi, and determines LD1-LDi as a combination of the laser diode of a drive object.

次に、制御部11は、LD1〜LDiの各LDに対応する電流制御素子駆動回路14に、それぞれ所定の駆動電流を供給する。その結果、LD1〜LDiの各レーザダイオードは波長λpで発振し、レーザ装置40は、目標出力に近い出力パワーのレーザ光を発振する。   Next, the controller 11 supplies predetermined drive currents to the current control element drive circuits 14 corresponding to the LDs LD1 to LDi. As a result, each of the laser diodes LD1 to LDi oscillates at the wavelength λp, and the laser device 40 oscillates laser light having an output power close to the target output.

具体的な目標出力を用いて、制御部11が行う制御を説明する。例えば、制御部11は、ユーザインターフェース22を介して20Wの目標出力を受けたとする。制御部11は、第1の差分から第10の差分を算出する。その結果、第1の差分は15.0W、第2の差分は9.9W、第3の差分は4.5W、第4の差分は−0.3W、第5の差分は−5.3Wとなる。ここで、第6の差分以降については割愛する。   Control performed by the control unit 11 will be described using a specific target output. For example, it is assumed that the control unit 11 receives a target output of 20 W via the user interface 22. The control unit 11 calculates the tenth difference from the first difference. As a result, the first difference is 15.0 W, the second difference is 9.9 W, the third difference is 4.5 W, the fourth difference is -0.3 W, and the fifth difference is -5.3 W. Become. Here, the description after the sixth difference is omitted.

したがって、制御部11は、最小の差分は第4の差分である、と判定する。その結果、制御部11は、レーザダイオードLD1からレーザダイオードLD4をそれぞれの所定の電流値によって駆動する。すなわち、レーザ装置40が出力する波長λpのレーザ光の合計出力は20.3Wである。   Therefore, the control unit 11 determines that the minimum difference is the fourth difference. As a result, the control unit 11 drives the laser diodes LD1 to LD4 with respective predetermined current values. That is, the total output of the laser light with the wavelength λp output from the laser device 40 is 20.3 W.

なお、ここでは、制御部11は、出力パワーの累計が目標出力を超えるか否かに関わらず、目標出力とLUTの出力パワーの累計との差分が最小になるLD番号を選択する構成を説明とした。   Here, a configuration is described in which the control unit 11 selects an LD number that minimizes the difference between the target output and the total output power of the LUT regardless of whether or not the total output power exceeds the target output. It was.

ここで、制御部11は、出力パワーの累計が目標出力を超えない範囲内で、目標出力とLUTの出力パワーの累計との差分が最小になるLD番号を選択する構成としてもよい。レーザ装置40が出力する波長λpのレーザ光の合計出力が、ユーザの希望する目標出力を超えた場合に不都合が生じるような場合は、このような構成にすることができる。   Here, the control unit 11 may be configured to select an LD number that minimizes the difference between the target output and the total output power of the LUT within a range in which the total output power does not exceed the target output. In the case where inconvenience occurs when the total output of the laser light of wavelength λp output from the laser device 40 exceeds the target output desired by the user, such a configuration can be adopted.

この場合、制御部11は、目標出力とLUTの出力パワーの累計との差分が正であり、その中で最小の差分になるLD番号を選択する。例えば、目標出力が20Wであれば、制御部11は第3の差分が最小であると判定する。その結果、レーザダイオードLD1からレーザダイオードLD3をそれぞれの所定の電流値によって駆動する。その結果、レーザ装置40が発振するレーザ光の合計出力は15.5Wとなる。   In this case, the control unit 11 selects an LD number that has a positive difference between the target output and the accumulated output power of the LUT and has the smallest difference. For example, if the target output is 20 W, the control unit 11 determines that the third difference is the minimum. As a result, the laser diodes LD1 to LD3 are driven with respective predetermined current values. As a result, the total output of the laser light oscillated by the laser device 40 is 15.5W.

以上説明したとおり、本実施形態のレーザ装置40は、各レーザダイオードと、上記各レーザダイオードにおける所定の波長のレーザ光を発振するための駆動電流とを対応付けるLUTを備えている。これにより、本実施形態のレーザ装置40は、各レーザダイオードの上記駆動電流を容易かつ簡単な構成で得ることができる。また、各駆動電流の電流値が変動することがないので、各レーザダイオードに対して、所定の波長のレーザ光を安定的かつ確実に発振させることができる。   As described above, the laser device 40 of the present embodiment includes an LUT that associates each laser diode with a drive current for oscillating laser light having a predetermined wavelength in each laser diode. Thereby, the laser apparatus 40 of this embodiment can obtain the drive current of each laser diode with an easy and simple configuration. Further, since the current value of each drive current does not fluctuate, it is possible to stably and reliably oscillate laser light having a predetermined wavelength for each laser diode.

また、本実施形態のレーザ装置40は、LUTに各レーザダイオードが波長λpで発振する際の出力を記録しておき、この各レーザダイオードの出力に基づいて、駆動するレーザダイオードの合計出力と目標出力との差分が最も小さくなるレーザダイオードの組み合わせを、駆動対象のレーザダイオードの組み合わせとして決定することとしている。これにより、本実施形態のレーザ装置40は、レーザダイオードの出力を、目標出力により近づいた適切なものとすることができる。   The laser device 40 of the present embodiment records the output when each laser diode oscillates at the wavelength λp in the LUT, and based on the output of each laser diode, the total output of the laser diode to be driven and the target A combination of laser diodes having the smallest difference from the output is determined as a combination of laser diodes to be driven. Thereby, the laser apparatus 40 of this embodiment can make the output of a laser diode the appropriate thing which approached target output.

なお、制御部11は、目標出力と合計出力との差分が最小となるレーザダイオードの組み合わせであって、LD番号が先頭(LD1)から連続するものでない組み合わせを選択してもよい。これにより、目標出力と合計出力との差分をより小さくすることが可能となる。   The control unit 11 may select a combination of laser diodes that minimizes the difference between the target output and the total output, and that does not have the LD number consecutive from the top (LD1). Thereby, the difference between the target output and the total output can be further reduced.

例えば目標出力が20Wである場合、制御部11は、レーザダイオードLD2、LD4、LD6およびLD10の組み合わせを選択することによって、レーザ装置40が発振するレーザ光の合計出力を20.0Wとすることができる。すなわち、目標出力と合計出力とを等しくすることができる。   For example, when the target output is 20 W, the control unit 11 may set the total output of the laser light oscillated by the laser device 40 to 20.0 W by selecting a combination of the laser diodes LD2, LD4, LD6, and LD10. it can. That is, the target output and the total output can be made equal.

このように、目標出力と合計出力との差分が最小になるレーザダイオードの組み合わせを選択するためには、周知のアルゴリズムにしたがって動作するプログラムを用いてもよい。当該プログラムは、駆動回路10が備えるメモリ16に格納されていてもよい。   Thus, in order to select a laser diode combination that minimizes the difference between the target output and the total output, a program that operates according to a known algorithm may be used. The program may be stored in the memory 16 included in the drive circuit 10.

(レーザ装置40の熱対策)
次に、図5を参照して、本実施形態に係るレーザ装置40に施されている熱対策について説明する。図5は、本発明の一実施形態に係るレーザダイオードおよびヒートシンクの構成を示す斜視図である。
(Measures against heat of laser device 40)
Next, with reference to FIG. 5, a countermeasure against heat applied to the laser device 40 according to the present embodiment will be described. FIG. 5 is a perspective view showing configurations of a laser diode and a heat sink according to an embodiment of the present invention.

既に説明したとおり、レーザダイオードの発振波長は、レーザダイオードの温度にも依存する。このため、所定の発振波長λpのレーザ光をレーザダイオードから安定的に発振させるためには、その周囲に存在する他のレーザダイオードからの熱影響を受けないことが好ましい。   As already explained, the oscillation wavelength of the laser diode also depends on the temperature of the laser diode. For this reason, in order to stably oscillate a laser beam having a predetermined oscillation wavelength λp from the laser diode, it is preferable that the laser beam is not affected by heat from other laser diodes existing around the laser diode.

そこで、図5に示すように、レーザ装置40が備えるn個のレーザダイオードLD1〜LDnは、それぞれ独立しているヒートシンク(放熱部)31a〜31nに固定されていることが好ましい。この際、各レーザダイオードは各ヒートシンクに対して、熱伝導の高い状態で固定されていることが好ましい。各レーザダイオードと各ヒートシンクとを接着する場合は、熱伝導度の高い接着剤を用いることが好ましい。このような接着剤としては、例えば銀ペーストなどが挙げられる。さらに、レーザ装置40はそれぞれのレーザダイオードおよびヒートシンクを均一に冷却するために、装置外部の空気を取り込み各ヒートシンクに送風する冷却ファン32を備えていることが好ましい。   Therefore, as shown in FIG. 5, the n laser diodes LD1 to LDn included in the laser device 40 are preferably fixed to independent heat sinks (heat dissipating parts) 31a to 31n. At this time, each laser diode is preferably fixed to each heat sink in a state of high thermal conductivity. When bonding each laser diode and each heat sink, it is preferable to use an adhesive having high thermal conductivity. Examples of such an adhesive include silver paste. Further, the laser device 40 preferably includes a cooling fan 32 that takes in air outside the device and blows air to each heat sink in order to uniformly cool the laser diodes and the heat sink.

これにより、各レーザダイオードおよび各ヒートシンクは、周囲に存在するレーザダイオードおよびヒートシンクの熱影響を受けることなく、効率的に冷却され、一定温度の平衡状態を保つことができる。   Thereby, each laser diode and each heat sink can be efficiently cooled and kept in a constant temperature equilibrium state without being affected by the thermal effects of the laser diode and heat sink existing in the vicinity.

ここで、各レーザダイオードおよび各ヒートシンクを冷却した後の冷却風が、他のレーザダイオードおよびヒートシンクに当たってしまうと、この他のレーザダイオードおよびヒートシンクを、十分に冷却することが出来なくなる。   Here, if the cooling air after cooling each laser diode and each heat sink hits another laser diode and heat sink, the other laser diode and heat sink cannot be sufficiently cooled.

そこで、各レーザダイオードおよび各ヒートシンクは、レーザダイオードおよびヒートシンクを冷却した冷却風が、他のレーザダイオードおよびヒートシンクに当たらないように、配置されていることが好ましい。また、冷却ファン32は、当該冷却ファン32から送り込まれ、且つ一のレーザダイオードを冷却した冷却風(すなわち、一のレーザダイオードによって温められた冷却風)が、他のレーザダイオードに当たらないように配置されていることが好ましい。   Therefore, it is preferable that the laser diodes and the heat sinks are arranged so that the cooling air that has cooled the laser diodes and the heat sink does not hit the other laser diodes and the heat sink. Further, the cooling fan 32 is sent from the cooling fan 32 so that the cooling air that has cooled one laser diode (that is, the cooling air heated by the one laser diode) does not hit another laser diode. It is preferable that they are arranged.

例えば、図5に示すように、各ヒートシンク31は、板状の冷却フィンを複数備えていることが好ましく、当該冷却フィンは、冷却風の流路(図5の矢印)に対して平行な方向に配置されていることが好ましい。これにより、各ヒートシンク31を冷却した後の冷却風は、他のレーザダイオードおよびヒートシンクへ影響を与えることなく、冷却フィンに沿ってスムーズに通り抜けることができる。   For example, as shown in FIG. 5, each heat sink 31 preferably includes a plurality of plate-like cooling fins, and the cooling fins are parallel to the cooling air flow path (arrow in FIG. 5). It is preferable to arrange | position. Thereby, the cooling air after cooling each heat sink 31 can pass smoothly along the cooling fin without affecting other laser diodes and the heat sink.

以上説明したとおり、本実施形態のレーザ装置40は、各レーザダイオードが、互いに断熱されているヒートシンク31に固定されている。このため、本実施形態のレーザ装置40は、複数のレーザダイオードによる相互の熱影響を抑制し、この熱影響に起因する各レーザダイオードの出力波長の変動を防止することができるため、複数のレーザダイオードの出力波長をより安定化することができる。   As described above, in the laser device 40 of this embodiment, each laser diode is fixed to the heat sink 31 that is insulated from each other. For this reason, the laser device 40 of the present embodiment can suppress the mutual thermal effects of the plurality of laser diodes and prevent fluctuations in the output wavelength of each laser diode due to the thermal effects. The output wavelength of the diode can be further stabilized.

なお、上記例では、1つのレーザダイオードを1つのヒートシンクに設置することとしたが、複数のレーザダイオードを1つのヒートシンクに設置してもよい。   In the above example, one laser diode is installed on one heat sink, but a plurality of laser diodes may be installed on one heat sink.

(変形例)
以下、実施形態の変形例を説明する。
(Modification)
Hereinafter, modifications of the embodiment will be described.

(変形例1)
図4に示されているLUTは、ある温度において各レーザダイオードが所定の発振波長λpのレーザ光を発振する駆動電流を対応付けている。レーザ装置40が使用される環境温度(外気温度)が、常に一定温度に制御されている場合は、駆動回路10は当該一定温度に対応する1つのLUTを備えていればよい。
(Modification 1)
The LUT shown in FIG. 4 correlates drive currents at which each laser diode oscillates laser light having a predetermined oscillation wavelength λp at a certain temperature. When the environmental temperature (outside temperature) in which the laser device 40 is used is always controlled to a constant temperature, the drive circuit 10 only needs to have one LUT corresponding to the constant temperature.

一方、様々な環境においてレーザ装置40が使用されることが想定される場合は、外気温度が変化することによって、平衡状態にある各レーザダイオードおよび各ヒートシンクの温度は変化することが考えられる。   On the other hand, when it is assumed that the laser device 40 is used in various environments, it is conceivable that the temperatures of the laser diodes and the heat sinks in an equilibrium state change due to changes in the outside air temperature.

したがって、駆動回路10は、想定される外気温度の温度範囲に対応する複数のLUTを備えていることが好ましい。この場合は、さらに、レーザ装置40は、外気温度を検出する温度計を備えていることが好ましい。そして、制御部11は、温度計によって検出された外気温度に対応するLUTを参照することが好ましい。   Therefore, it is preferable that the drive circuit 10 includes a plurality of LUTs corresponding to an assumed outside air temperature range. In this case, it is preferable that the laser device 40 further includes a thermometer that detects the outside air temperature. The control unit 11 preferably refers to the LUT corresponding to the outside air temperature detected by the thermometer.

これにより、制御部11は、外気温度に応じた適切な駆動電流をレーザダイオードに供給することができる。その結果、レーザ装置40は、その外気温度に拠らず、所定の発振波長λpを有するレーザ光を発振させることができる。   Thereby, the control part 11 can supply the suitable drive current according to external temperature to a laser diode. As a result, the laser device 40 can oscillate laser light having a predetermined oscillation wavelength λp regardless of the outside air temperature.

(変形例2)
次に、図6(a)〜(c)を参照して、実施形態の変形例2について説明する。図6(a)は、本発明の一態様に係るレーザダイオードにおける発振波長の駆動電流依存性を示す図である。図6(b)は、当該レーザダイオードにおける出力パワーの駆動電流依存性を示す図である。図6(c)は、各当該ダイオードそれぞれの発振波長スペクトル、および、合波した発振波長スペクトルの概略を示す図である。
(Modification 2)
Next, with reference to FIGS. 6A to 6C, a second modification of the embodiment will be described. FIG. 6A illustrates the drive current dependence of the oscillation wavelength in the laser diode according to one embodiment of the present invention. FIG. 6B is a diagram showing the drive current dependence of the output power in the laser diode. FIG. 6C is a diagram showing an outline of the oscillation wavelength spectrum of each of the diodes and the combined oscillation wavelength spectrum.

実施形態において、制御部11は、上記合計出力と、上記目標出力とが等しくなるように少なくとも1つのレーザダイオードに供給する駆動電流を制御するようにしてもよい。   In the embodiment, the control unit 11 may control the drive current supplied to at least one laser diode so that the total output is equal to the target output.

例えば、レーザ装置40に対して、合計出力を微調整するためのLD(以下、「LDadj」と表現する)を少なくとも一つ設置しておく。また、レーザ装置40に対して、LDadjの出力パワーと駆動電流との対応関係をLUT等に予め記憶させておく。そして、制御部11は、目標出力に対する合計出力の不足が生じた場合、この不足分を補うように、LDadjからの出力を制御する。このとき、制御部11は、上記対応関係を参照することにより、上記不足分に応じた駆動電流を容易に特定することができる。これにより、レーザ装置40は、上記合計出力を上記目標出力と等しくすることが可能となる。 For example, at least one LD (hereinafter referred to as “LD adj ”) for finely adjusting the total output is installed in the laser device 40. Also, the correspondence between the output power of the LD adj and the drive current is stored in advance in the LUT or the like for the laser device 40. And when the shortage of the total output with respect to the target output occurs, the control unit 11 controls the output from the LD adj so as to compensate for this shortage. At this time, the control unit 11 can easily specify the drive current corresponding to the shortage by referring to the correspondence relationship. Thereby, the laser device 40 can make the total output equal to the target output.

以下、その実現方法の具体例を説明する。まず、制御部11は、レーザダイオードの合計出力がこの目標出力を超えない範囲で、駆動対象のレーザダイオードを決定する。例えば、目標出力が13Wの場合、LD1およびLD2を駆動対象のレーザダイオードとして選択する。LD1およびLD2の合計出力は、10.1Wであり、目標出力よりも2.9W不足している。   Hereinafter, a specific example of the realization method will be described. First, the control unit 11 determines a laser diode to be driven within a range where the total output of the laser diodes does not exceed the target output. For example, when the target output is 13 W, LD1 and LD2 are selected as laser diodes to be driven. The total output of LD1 and LD2 is 10.1W, which is 2.9W shorter than the target output.

そこで、制御部11は、LDadjを駆動することにより、不足分の2.9Wを補うこととする。このとき、制御部11は、LDadjの出力パワーが2.9Wとなるような駆動電流(例えば、LDadjとしてLD3と同様のLDを用いた場合、図6(b)によると、3.0Aとなる)を、LDadjに適用する駆動電流として決定する。これにより、各レーザダイオードの合計出力は、目標出力と等しい13Wとなる。 Therefore, the controller 11 compensates for the shortage of 2.9 W by driving the LD adj . At this time, the control unit 11 determines that the drive current that causes the output power of the LD adj to be 2.9 W (for example, when an LD similar to the LD3 is used as the LD adj , according to FIG. Is determined as a drive current applied to LD adj . Thereby, the total output of each laser diode becomes 13 W equal to the target output.

なお、上記例において、LDadjの代わりに、駆動対象とされなかったいずれかのLDを微調整用のLDとして用いてもよい。例えば、上記例において、LDadjの代わりに、LD3〜LD10のいずれかを微調整用のLDとして用いてもよい。 In the above example, any LD that has not been driven may be used as the fine adjustment LD instead of the LD adj . For example, in the above example, any one of LD3 to LD10 may be used as the fine adjustment LD instead of the LD adj .

また、合計出力の調整方法は、上記した方法に限らない。例えば、上記例において、LDadjの出力パワー、または、LD1,LD2,LDadjの合計出力のパワーを検出部によって検出し、制御部11によって、LDadjの出力パワーが2.9Wとなるとき、または、上記合計出力のパワーが13WとなるときにLDadjに供給していた駆動電流を、LD3の駆動電流として決定するように構成することも可能である。 The total output adjustment method is not limited to the above-described method. For example, in the above example, when the output power of LD adj or the total output power of LD1, LD2, and LD adj is detected by the detection unit, and the output power of LD adj is 2.9 W by the control unit 11, Alternatively , the driving current supplied to the LD adj when the total output power is 13 W can be determined as the driving current of the LD 3.

この場合、上記検出部は、少なくとも検出対象(上記例では、LDadjの出力パワー、または、上記合計出力のパワー)を検出することが可能な位置に配置されていればよい。例えば、検出部としては、フォトダイオードを備えた光センサ等を用いることができる。 In this case, the detection unit may be arranged at a position where at least a detection target (in the above example, the output power of the LD adj or the total output power) can be detected. For example, as the detection unit, an optical sensor including a photodiode can be used.

このようにLD3の駆動電流を調整した場合、図6(c)に示すように、LDadjの出力波長λLD3が所定の出力波長λpからズレる場合があるが、複数のレーザダイオードのうち、一部のレーザダイオードの駆動電流のみ調整を行うので、合計出力に対する、波長λpからズレた波長成分の割合は小さい。また、目標とする出力パワー(13W)を得ることができるため、特に出力パワーの精度を重視する場合には、この構成が有効である。 When the drive current of the LD 3 is adjusted in this way, as shown in FIG. 6C, the output wavelength λ LD3 of the LD adj may deviate from the predetermined output wavelength λp. Since only the drive current of the laser diode of the part is adjusted, the ratio of the wavelength component shifted from the wavelength λp to the total output is small. Further, since the target output power (13 W) can be obtained, this configuration is effective particularly when the accuracy of the output power is important.

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible within the scope shown in the claims, and embodiments obtained by appropriately combining technical means disclosed in different embodiments. Is also included in the technical scope of the present invention.

本発明は、複数のレーザダイオードを備えた光源装置や、このような光源装置を駆動する駆動回路および駆動方法、このような光源装置を備えた光増幅器等に利用可能である。なお、本発明は、ファイバレーザに限らず、光アンプ(ファイバアンプ)等の他の光増幅器にも利用可能である。   The present invention can be used for a light source device including a plurality of laser diodes, a driving circuit and a driving method for driving such a light source device, an optical amplifier including such a light source device, and the like. The present invention is not limited to a fiber laser but can be used for other optical amplifiers such as an optical amplifier (fiber amplifier).

10 駆動回路
11 制御部
12 駆動部
13a、13b、・・・、13n 電流制御素子
14a、14b、・・・、14n 電流制御素子駆動回路
15a、15b、・・・、15n 電流検出用抵抗
16 メモリ
21 電源
22 ユーザインターフェース
31a、31b、・・・、31n ヒートシンク
40 レーザ装置(光源装置)
100 ファイバレーザ(光増幅器)
LD1、LD2、・・・、LDn レーザダイオード
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Drive circuit 11 Control part 12 Drive part 13a, 13b, ..., 13n Current control element 14a, 14b, ..., 14n Current control element drive circuit 15a, 15b, ..., 15n Current detection resistor 16 Memory 21 Power supply 22 User interface 31a, 31b, ..., 31n Heat sink 40 Laser device (light source device)
100 Fiber laser (optical amplifier)
LD1, LD2, ..., LDn Laser diode

Claims (8)

互いに並列に接続された複数のレーザダイオードを駆動する駆動回路であって、
上記複数のレーザダイオードの各々について、該レーザダイオードを特定の波長で発振させたときに得られる出力の大きさが予め定められており、上記予め定められた出力の大きさに基づいて、点灯するレーザダイオードの個数を、点灯するレーザダイオードの合計出力が与えられた目標出力に一致又は略一致するように制御する制御部を備えている、
ことを特徴とする駆動回路。
A drive circuit for driving a plurality of laser diodes connected in parallel to each other,
For each of the plurality of laser diodes, the magnitude of the output obtained when the laser diode is oscillated at a specific wavelength is determined in advance, and the light is turned on based on the predetermined output magnitude. A control unit that controls the number of laser diodes so that the total output of the laser diodes to be lit matches or substantially matches a given target output;
A drive circuit characterized by that.
上記制御部は、点灯するレーザダイオードの各々について、該レーザダイオードに供給する駆動電流の大きさを、該レーザダイオードを特定の波長で発振させる駆動電流の大きさとして、予め定められた値に制御する、ことを特徴とする請求項1に記載の駆動回路。   The control unit controls the magnitude of the drive current supplied to each laser diode to be lit to a predetermined value as the magnitude of the drive current that causes the laser diode to oscillate at a specific wavelength. The drive circuit according to claim 1, wherein: 上記制御部は、点灯するN個のレーザダイオードのうち、N−1個のレーザダイオードの各々について、該レーザダイオードに供給される駆動電流の大きさを、該レーザダイオードを特定の波長で発振させる駆動電流の大きさとして、予め定められた値に制御すると共に、上記N個のレーザダイオードのうち、残り1個のレーザダイオードについて、該レーザダイオードに供給する駆動電流の大きさを、上記N個のレーザダイオードの合計出力が与えられた目標出力に一致するように制御する、ことを特徴とする請求項1に記載の駆動回路。   The control unit causes the laser diode to oscillate at a specific wavelength for each of N−1 laser diodes among the N laser diodes to be lit, with the magnitude of the drive current supplied to the laser diode. The magnitude of the drive current is controlled to a predetermined value, and the magnitude of the drive current supplied to the laser diode of the remaining one of the N laser diodes is set to the N pieces. The drive circuit according to claim 1, wherein the total output of the laser diodes is controlled to coincide with a given target output. 上記複数のレーザダイオードの各々について、該レーザダイオードを上記特定の波長で発振させる駆動電流の大きさとして予め定められた値と、その大きさの駆動電流を供給したときに得られる該レーザダイオードの出力の大きさとして予め定められた値とが記載されたテーブルが格納されたメモリを備えており、
上記制御部は、上記テーブルを参照することによって、点灯するレーザダイオードの個数、及び、点灯するレーザダイオードの各々に供給する駆動電流の大きさを決定する、ことを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の駆動回路。
For each of the plurality of laser diodes, a predetermined value as the magnitude of the drive current that causes the laser diode to oscillate at the specific wavelength, and the laser diode obtained when a drive current of that magnitude is supplied. A memory in which a table in which a predetermined value is described as the output size is stored;
The control unit determines the number of laser diodes to be lit and the magnitude of the drive current supplied to each of the lit laser diodes by referring to the table. The driving circuit according to any one of the above.
複数のレーザダイオードと、上記複数のレーザダイオードを駆動する駆動回路であって、請求項1から4の何れか1項に記載の駆動回路とを備えている、
ことを特徴とする光源装置。
A drive circuit for driving the plurality of laser diodes and the plurality of laser diodes, comprising the drive circuit according to any one of claims 1 to 4.
A light source device characterized by that.
上記複数のレーザダイオードの各々は、互いに断熱されたヒートシンクに取り付けられている、
ことを特徴とする請求項5に記載の光源装置。
Each of the plurality of laser diodes is attached to a heat sink insulated from each other,
The light source device according to claim 5.
請求項5または6に記載の光源装置と、上記複数のレーザダイオードから発振されたレーザ光を合波するポンプコンバイナと、上記ポンプコンバイナにより合波されたレーザ光を励起光として利用するレーザ媒質とを備えている、
ことを特徴とする光増幅器。
The light source device according to claim 5, a pump combiner that combines laser beams emitted from the plurality of laser diodes, and a laser medium that uses the laser beam combined by the pump combiner as excitation light With
An optical amplifier characterized by that.
互いに並列に接続された複数のレーザダイオードを駆動する駆動方法であって、
上記複数のレーザダイオードの各々について、該レーザダイオードを特定の波長で発振させたときに得られる出力の大きさが予め定められており、上記予め定められた出力の大きさに基づいて、点灯するレーザダイオードの個数を、点灯するレーザダイオードの合計出力が与えられた目標出力に一致又は略一致するように制御する制御工程を含んでいる、
ことを特徴とする駆動方法。
A driving method for driving a plurality of laser diodes connected in parallel to each other,
For each of the plurality of laser diodes, the magnitude of the output obtained when the laser diode is oscillated at a specific wavelength is determined in advance, and the light is turned on based on the predetermined output magnitude. Including a control step of controlling the number of laser diodes so that the total output of the laser diodes to be lit matches or substantially matches a given target output.
A driving method characterized by that.
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