JP2013193020A - ノズル洗浄装置、塗布装置およびノズル洗浄方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 スリットノズルを清浄に洗浄することが可能なノズル洗浄装置、塗布装置およびノズル洗浄方法を提供する。
【解決手段】 ノズル洗浄装置３１の各液滴噴出部４０ａ、４０ｂは、互いに対向配置されることにより、スリット状のエア吐出口を形成する第１、第２の板状部材４１、４２と、第２の板状部材４２と対向配置されることにより、スリット状の洗浄液吐出口を形成する第３の板状部材４３とを備える。第１の板状部材４１と第２の板状部材４２との間に形成されたエア吐出口から吐出された圧縮空気と、第２の板状部材４２と第３の板状部材４３との間に形成された洗浄液吐出口から吐出された洗浄液は、互いに混合され、洗浄液の液滴が形成される。この液滴は、スリットノズル１３における傾斜面１３ｂに噴出される。第３の板状部材４３の下方側には、大気解放される空間領域Ｅが形成されている。
【選択図】 図３

Description

この発明は、ノズル洗浄装置、塗布装置およびノズル洗浄方法に関する。

例えば、太陽電池用パネル基板、有機ＥＬ表示装置用ガラス基板、液晶表示装置用ガラス基板、ＰＤＰ用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の基板の表面に塗布液を塗布する場合においては、スリット状の塗布液吐出口と、この塗布液吐出口に近接する傾斜面とを有し、基板の表面と近接した状態で水平方向に移動することにより、この基板の表面に塗布液を塗布するスリットノズルが使用される。

このようなスリットノズルを使用した塗布装置においては、塗布液の塗布を継続して実行した場合、スリットノズルにおけるスリット状の塗布液吐出口近傍に塗布液による不要物が付着する。このため、不要物が付着した塗布液吐出口を、一定時間ごとにノズル洗浄装置により洗浄する構成が採用されている。

特許文献１には、スリットノズルの下端部下面に当接可能な下面洗浄ブラシと、スリットノズルの下端部右側面に当接可能な右側面洗浄ブラシと、スリットノズルの下端部左側面に当接可能な左側面洗浄ブラシと、右側面洗浄ブラシと左側面洗浄ブラシとを備えたノズル洗浄装置が開示されている。

特許文献２には、洗浄薬液であるＮＭＰと不活性ガスである窒素を混合した２流体を噴出する２流体ノズルによりスリットノズルを洗浄する洗浄装置付き塗布装置が開示されている。

特許文献３には、洗浄液の供給源につながるスリットと、窒素ガスの噴出孔とを備え、塗布ノズルの洗浄と乾燥とを実行することが可能な塗布ノズルの洗浄装置が開示されている。

特開２００８−２９００３１号公報 特許４７９２７８７号公報 特開平９−３３０８７６号公報

特許文献１に記載されたノズル洗浄装置によれば、ノズルを清浄に洗浄することは可能であるが、例えば、太陽電池用パネル基板に使用される封止剤やナノメタルインクのように粘度が高い塗布液を使用した場合には、洗浄ブラシに付着した塗布液を除去するのが困難となるという問題が生ずる。

これに対して、特許文献２や特許文献３に記載されたように、ノズルに洗浄液や気体を噴出する洗浄装置を採用した場合にはこのような問題は発生しないが、ノズルに対する洗浄液や気体の噴出角度を適切なものとしないと、ノズルを十分清浄に洗浄し得ないという問題が生ずる。

この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、洗浄液と気体とを適切な角度でスリットノズルに供給することを実現し、スリットノズルを清浄に洗浄することが可能なノズル洗浄装置、塗布装置およびノズル洗浄方法を提供することを目的とする。

請求項１に記載の発明は、スリット状の塗布液吐出口と、前記塗布液吐出口に近接する傾斜面とを有し、基板に対して塗布液を塗布するスリットノズルを洗浄するためのノズル洗浄装置において、互いに対向配置されることにより、スリット状の気体吐出口を形成する第１、第２の板状部材と、前記第２の板状部材と対向配置されることにより、スリット状の洗浄液吐出口を形成する第３の板状部材とを備え、前記第１の板状部材と前記第２の板状部材との間に形成された気体吐出口から吐出された気体と、前記第２の板状部材と前記第３の板状部材との間に形成された洗浄液吐出口から吐出された洗浄液を混合することにより生成した液滴を前記スリットノズルにおける傾斜面に噴出するとともに、前記第３の板状部材における前記第２の板状部材とは逆側に、大気解放される空間領域を形成したことを特徴とする。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記第３の板状部材を、前記第２の板状部材に対して、前記洗浄液吐出口から吐出される洗浄液の吐出方向に移動させることにより、その位置を調整する位置調整機構を備える。

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記第１の板状部材における前記気体吐出口とは逆側に、前記スリットノズルにおける傾斜面を囲むカバーを配設するとともに、前記カバーにおける前記第１の板状部材とは逆側の領域に気体を供給するパージ機構を備える。

請求項４に記載の発明は、スリット状の塗布液吐出口と、前記塗布液吐出口に近接する傾斜面とを有し、基板に対して塗布液を塗布するスリットノズルを洗浄するためのノズル洗浄装置において、洗浄液と気体とを混合する混合部と、互いに対向配置されることにより、スリット状の吐出口を形成する第１、第２の板状部材とを備え、前記第１の板状部材と前記第２の板状部材との間に形成された吐出口から前記混合部で混合された洗浄液と気体から生成した液滴を前記スリットノズルにおける傾斜面に噴出するとともに、前記第２の板状部材における前記第１の板状部材とは逆側に、大気解放される空間領域を形成したことを特徴とする。

請求項５に記載の発明は、基板の表面に塗布液を塗布する塗布装置において、前記基板を載置するステージと、スリット状の塗布液吐出口と、前記塗布液吐出口に近接する傾斜面とを有し、前記ステージに載置された基板の表面と近接した状態で当該基板に対して水平方向に相対的に移動することにより前記基板の表面に塗布液を塗布するスリットノズルと、請求項１から請求項４のいずれかに記載のノズル洗浄装置とを備えたことを特徴とする。

請求項６に記載の発明は、スリット状の塗布液吐出口と、前記塗布液吐出口に近接する一対の傾斜面とを有し、基板に対して塗布液を塗布するスリットノズルを洗浄するためのノズル洗浄方法において、互いに対向配置されることにより、スリット状の気体吐出口を形成する第１、第２の板状部材と、前記第２の板状部材と対向配置されることにより、スリット状の洗浄液吐出口を形成する第３の板状部材とを備え、前記第１の板状部材と前記第２の板状部材との間に形成された気体吐出口から吐出された気体と、前記第２の板状部材と前記第３の板状部材との間に形成された洗浄液吐出口から吐出された洗浄液を混合することにより生成した液滴を前記スリットノズルにおける傾斜面に噴出するとともに、前記第３の板状部材における前記第２の板状部材とは逆側に、大気解放される空間領域が形成された一対の液滴噴出部を前記スリットノズルにおける一対の傾斜面と各々対向する第１、第２の方向に配置するスリットノズル配置工程と、前記一対の液滴噴出部における気体吐出口から気体を吐出するとともに、前記一対の液滴噴出部における洗浄液吐出口から洗浄液を吐出する第１洗浄工程と、前記一対の液滴噴出部のうちの第１の方向を向く液滴噴出部における気体吐出口から気体を吐出するとともに、前記一対の液滴噴出部のうちの第１の方向を向く液滴噴出部における洗浄液吐出口から洗浄液を吐出し、前記一対の液滴噴出部のうちの第２の方向を向く液滴噴出部における気体吐出口からの気体の吐出を停止するとともに、前記一対の液滴噴出部のうちの第２の方向を向く液滴噴出部における洗浄液吐出口からの洗浄液の吐出を停止する第２洗浄工程と、前記一対の液滴噴出部のうちの第２の方向を向く液滴噴出部における気体吐出口から気体を吐出するとともに、前記一対の液滴噴出部のうちの第２の方向を向く液滴噴出部における洗浄液吐出口から洗浄液を吐出し、前記一対の液滴噴出部のうちの第１の方向を向く液滴噴出部における気体吐出口からの気体の吐出を停止するとともに、前記一対の液滴噴出部のうちの第１の方向を向く液滴噴出部における洗浄液吐出口からの洗浄液の吐出を停止する第３洗浄工程と、前記一対の液滴噴出部における気体吐出口から気体を吐出するとともに、前記一対の液滴噴出部における洗浄液吐出口からの洗浄液の吐出を停止する乾燥工程とを備えたことを特徴とする。

請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の発明において、前記乾燥工程の後に、前記一対の液滴噴出部における気体吐出口から気体を吐出したままの状態で、前記スリットノズルを前記一対の液滴噴出部に対して相対的に上昇させる第２乾燥工程を備える。

請求項８に記載の発明は、請求項６に記載の発明において、前記乾燥工程と前記第３洗浄工程との間に、前記一対の液滴噴出部における気体吐出口から気体を吐出するとともに、前記一対の液滴噴出部における洗浄液吐出口から洗浄液を吐出する第４洗浄工程を備える。

請求項１、請求項４および請求項５に記載の発明によれば、洗浄液と気体とを適切な角度でスリットノズルに供給することにより、スリットノズルを清浄に洗浄することが可能となる。

請求項２に記載の発明によれば、第３の板状部材を移動させてスリットノズルに対する洗浄液と気体との供給角度を調整することにより、洗浄液の種類やスリットノズルの形状にかかわらず、スリットノズルをより清浄に洗浄することが可能となる。

請求項３に記載の発明によれば、スリットノズルの傾斜面にスリットノズルの洗浄に供した洗浄液が付着することを防止することが可能となる。

請求項６に記載の発明によれば、洗浄液と気体とを適切な角度でスリットノズルに供給することにより、スリットノズルを清浄に洗浄することが可能となる。また、洗浄ノズルを第１の方向および第２の方向の両方向から洗浄することから、スリットノズルの全域を清浄に洗浄することが可能となる。さらに、洗浄後のスリットノズルを乾燥することが可能となる。

請求項７に記載の発明によれば、スリットノズルの傾斜面全体を乾燥することが可能となる。

請求項８に記載の発明によれば、スリットノズルをより清浄に洗浄することが可能となる。

塗布装置の斜視図である。 塗布装置の側面概要図である。 この発明の第１実施形態に係るノズル洗浄装置３１をスリットノズル１３とともに示す側面概要図である。 図３の要部の拡大図である。 カバー４４を示す平面図である。 圧縮空気と洗浄液を混合することにより生成した液滴をスリットノズル１３における傾斜面に噴出する様子を示す説明図である。 ノズル洗浄装置３１による洗浄工程を示すフローチャートである。 この発明の第２実施形態に係るノズル洗浄装置３１における液滴噴出部４０ａをスリットノズル１３とともに示す側面概要図である。

以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、塗布装置の斜視図である。また、図２は、塗布装置の側面概要図である。なお、図１においては、後述するノズル洗浄装置３１およびプリディスペンス装置３４の図示を省略している。また、図２においては、後述するキャリッジ１４等の図示を省略している。

この塗布装置は、基板１００を吸着保持するためのステージ１１を備える。このステージ１１としては、その上面の平面度が数マイクロメータ程度とされた石定盤等が使用される。ステージ１１には、図示を省略した複数のリフトピンが、適宜の間隔をおいて設けられている。このリフトピンは、基板１００の搬入、搬出時に、基板１００をその下方より支持して、ステージ１１の表面より上方に上昇させる。

ステージ１１の上方には、このステージ１１の両側部分から略水平に掛け渡されたキャリッジ１４が設けられている。このキャリッジ１４は、スリットノズル１３を支持するためのノズル支持部１５と、このノズル支持部１５の両端を支持する左右一対の昇降機構１６とを備える。また、ステージ１１の両端部には、略水平方向に平行に伸びる一対の走行レール１７が配設される。これらの走行レール１７は、キャリッジ１４の両端部をガイドすることにより、キャリッジ１４を、図１に示すＸ方向に往復移動させる。

ステージ１１およびキャリッジ１４の両側部分には、ステージ１１の両側の縁側に沿って、それぞれ固定子２１と移動子２２を備える一対のリニアモータ２０が配設されている。また、ステージ１１およびキャリッジ１４の両側部分には、それぞれスケール部と検出子とを備えた一対のリニアエンコーダ２３が固設される。このリニアエンコーダ２３は、キャリッジ１４の位置を検出する。

また、図２に示すように、ステージ１１の側方には、この発明の特徴部分であるノズル洗浄装置３１が配設されている。この塗布装置においては、塗布動作を実行する前あるいは実行した後に、スリットノズル１３をこのノズル洗浄装置３１で洗浄するようにしている。なお、ノズル洗浄装置３１の構成については、後程詳細に説明する。

また、図２に示すように、ステージ１１の側方には、プリディスペンス装置３４が配設されている。このプリディスペンス装置３４は、貯留槽３５内に貯留された洗浄液中にその一部を浸漬したプリディスペンスローラ３６と、ドクターブレード３７とを備える。プリディスペンスローラ３６とドクターブレード３７とは、Ｙ方向に対して、スリットノズル１３と同等以上の長さを有する。また、プリディスペンスローラ３６は、図示しないモータの駆動により回転する。この塗布装置においては、塗布動作を実行する前に、プリディスペンスローラ３６の上方に移動したスリットノズル１３から少量の塗布液を吐出することにより、ノズル洗浄装置３１による洗浄時に洗浄液を含有した塗布液を、スリットノズル１３内から除去する工程を実行するようにしている。

この塗布装置により塗布動作を実行するときには、最初に、図示しない搬送機構により、ステージ１１上に基板１００を搬入する。そして、この基板１００をステージ上に吸着保持する。この状態において、スリットノズル１３をステージ１１に吸着保持された基板１００の表面と近接させた状態で、このスリットノズル１３をリニアモータ２０の駆動により基板１００の表面に沿って移動させるとともに、塗布液を基板１００の表面に供給する。これにより、基板１００の表面に塗布液の薄膜が形成される。

次に、この発明の第１実施形態に係るノズル洗浄装置３１の構成について説明する。図３は、この発明の第１実施形態に係るノズル洗浄装置３１をスリットノズル１３とともに示す側面概要図であり、図４は、その要部の拡大図である。また、図５は、カバー４４を示す平面図である。さらに、図６は、圧縮空気と洗浄液を混合することにより生成した液滴をスリットノズル１３における傾斜面に噴出する様子を示す説明図である。

このノズル洗浄装置３１は、スリット状の塗布液吐出口１３ａと、この塗布液吐出口１３ａに近接する一対の傾斜面１３ｂとを有するスリットノズル１３を洗浄するためのものであり、スリットノズル１３における一対の傾斜面１３ｂと各々対向する第１、第２の方向に配設された一対の液滴噴出部４０ａ、４０ｂと、これらの液滴噴出部４０ａ、４０ｂを支持するポット５４と、ポット５４における側壁に形成された排気ダクト５６と、この排気ダクト５６の前面に配置されたカバー部材５５と、ポット５４の下面に形成された廃液ドレイン口５７とを備える。

また、各液滴噴出部４０ａ、４０ｂは、互いに対向配置されることにより、スリット状のエア吐出口を形成する第１、第２の板状部材４１、４２と、第２の板状部材４２と対向配置されることにより、スリット状の洗浄液吐出口を形成する第３の板状部材４３とを備える。

第２の板状部材には、凹部５１が形成されている。凹部５１には図示を省略したコンプレッサー等が接続されており、凹部５１に圧縮空気が供給される。凹部５１に供給された圧縮空気は、第１の板状部材４１と第２の板状部材４２とを対向配置することで形成された流路を介して、スリット状のエア吐出口から吐出される。また、第２の板状部材４２には、凹部５２が形成されている。凹部５２には図示を省略した洗浄液の供給部が接続されており、凹部５２に洗浄液が供給される。凹部５２に供給された洗浄液は、第２の板状部材４２と第３の板状部材４３とを対向配置することで形成された流路を介して、スリット状の洗浄液吐出口から吐出される。

第１の板状部材４１と第２の板状部材４２との間に形成されたエア吐出口から吐出された圧縮空気と、第２の板状部材４２と第３の板状部材４３との間に形成された洗浄液吐出口から吐出された洗浄液は、吐出直後に互いに混合（外部混合）され、洗浄液の液滴が形成される。この液滴は、スリットノズル１３における傾斜面１３ｂに噴出される。このように、外部混合により洗浄液の液滴を生成することで、内部混合による液滴の生成に比べて洗浄液の使用量を減らすことができる。なお、凹部５１、凹部５２はマニホールドとも呼ばれ、空気や洗浄液等をスリット状のエア吐出口、洗浄液吐出口から均一に吐出するために形成されている。

図４に示すように、第３の板状部材４３には一対の長孔４７が形成されており、各長孔４７内には、第２の板状部材４２と螺合するネジ４８が配設されている。このため、第３の板状部材４３は、第２の板状部材４２に対して、これらの間に形成される洗浄液吐出口から吐出される洗浄液の吐出方向に移動可能となっている。そして、第３の板状部材４３における第２の板状部材４２が配設される逆側、すなわち、第３の板状部材４３の下方側には、大気解放される空間領域Ｅが形成されている。より具体的には、空間領域Ｅとは、第３の板状部材４３の下面の直下に形成された空間領域である。

図３および図４に示すように、第１の板状部材４１における第２の板状部材４２が配設される逆側には、スリットノズル１３における傾斜面１３ｂを囲むカバー４４が配設されている。このカバー４４は、第１の板状部材４１と支持部材４５との間に挟持されている。図５に示すように、このカバー４４は、スリットノズル１３を取り囲むように４枚配設されており、これらのカバー４４により囲まれた領域４９には、スリットノズル１３における傾斜面１３ｂが配置される構成となっている。

また、図３および図４に示すように、支持部材４５の上方には、図示を省略した空気供給源と接続する凹部５３が形成された蓋部材４６が配設されている。このため、支持部材４５と蓋部材４６との間の隙間から形成されるエア吐出口から、カバー４４における第１の板状部材４１とは逆側の領域にエアが吐出される。このように、カバー４４における第１の板状部材４１が配設される逆側の領域にエアを供給して、この領域をエアによりパージした場合には、後述するスリットノズル１３の洗浄時に、洗浄液の液滴がスリットノズル１３の傾斜面１３ｂに沿って上方に移動することを有効に防止することが可能となる。

このような構成を有する一対の液滴噴出部４０ａ、４０ｂを備えたノズル洗浄装置３１においては、第１の板状部材４１と第２の板状部材４２との間に形成されたエア吐出口から吐出された圧縮空気と、第２の板状部材４２と第３の板状部材４３との間に形成された洗浄液吐出口から吐出された洗浄液は、互いに衝突することで混合されて洗浄液の液滴となり、スリットノズル１３における傾斜面１３ｂに向けて噴出される。これにより、スリットノズル１３が洗浄される。このとき、第３の板状部材４３の下方側には、大気解放される空間領域Ｅが形成されていることから、第３の板状部材４３の第２の板状部材４２に対する位置を適切に維持することにより、スリットノズル１３の傾斜面１３ｂに対する洗浄液の液滴の供給角度を適切なものとすることができる。なお、第３の板状部材４３の第２の板状部材４２に対する位置とは、より具体的に言い換えると、洗浄液吐出口から吐出される洗浄液の吐出方向における、第２の板状部材４２の先端の位置に対する第３の板状部材４３の先端の位置である。

すなわち、上述した一対の液滴噴出部４０ａ、４０ｂのように、先端が尖った形状を有する吐出部からエアを吐出した場合には、エアは周囲の気流を巻き込んで勢いよく吐出される。一方、上述したような大気解放される空間領域Ｅが形成されていない場合には、大気解放されていない領域が負圧となり、エアはその方向に引き込まれる。

また、これと同様の理由により、この実施形態において、図６（ａ）に示すように、第２の板状部材４２の先端に対して第３の板状部材４３の先端が、大きな距離Ｄ１だけ突出していた場合には、第３の板状部材４３側、すなわち、下側が負圧となることにより、エアは第３の板状部材４３の方向、すなわち、下側に向けて噴出されることになる。また、図６（ｂ）に示すように、第２の板状部材４２の先端に対して第３の板状部材４３の先端が、小さな距離Ｄ２だけ突出していた場合には、エアは、図６（ａ）に示す方向より上方向に向けて噴出されることになる。

このため、第３の板状部材４３の第２の板状部材４２に対する位置を適切に維持することにより、スリットノズル１３の傾斜面１３ｂに対する洗浄液の液滴の供給角度を適切なものとすることができる。特に、この実施形態においては、第３の板状部材４３は、第２の板状部材４２に対して、これらの間に形成される洗浄液吐出口から吐出される洗浄液の吐出方向に移動可能となっていることから、洗浄液の種類やスリットノズル１３の形状等に応じて、第３の板状部材４３の第２の板状部材４２に対する位置を調整することにより、スリットノズル１３の傾斜面１３ｂに対する洗浄液の液滴の供給角度をより適切なものとすることが可能となる。

ここで、スリットノズル１３の傾斜面１３ｂに対する洗浄液の液滴の供給角度としては、洗浄液の液滴がスリットノズル１３の傾斜面に沿うような方向に噴出される角度であることが好ましい。この液滴の供給角度は、スリットノズル１３の形状に合せて、適宜調整することが好ましい。このように洗浄液の液滴の供給角度をより適切なものにすることができるため、特に３０ｃｐ（センチポアズ）以上の粘度の塗布液を吐出するスリットノズルの洗浄に好適である。

次に、このノズル洗浄装置３１によるスリットノズル１３の洗浄動作について説明する。図７は、ノズル洗浄装置３１による洗浄工程を示すフローチャートである。

スリットノズル１３を洗浄するときには、最初に、スリットノズル配置工程を実行する（ステップＳ１）。すなわち、一対のリニアモータ２０および一対の昇降機構１６の作用によりスリットノズル１３を移動させ、ノズル洗浄装置３１における領域４９にスリットノズル１３の先端部を挿入する。これにより、一対の液滴噴出部４０ａ、４０ｂを、スリットノズル１３における一対の傾斜面１３ｂと各々対向する第１、第２の方向に配置する。

この状態において、第１洗浄工程を実行する（ステップＳ２）。すなわち、各液滴噴出部４０ａ、４０ｂにおける第１の板状部材４１と第２の板状部材４２との間のエア吐出口から圧縮空気を吐出するとともに、第２の板状部材４２と第３の板状部材４３との間の洗浄液吐出口から洗浄液を吐出する。これにより、圧縮空気と洗浄液とが混合することで生成された液滴がスリットノズル１３に向けて噴射され、スリットノズル１３が洗浄される。

この時には、支持部材４５と蓋部材４６との間の隙間から形成されるエア吐出口から、カバー４４における第１の板状部材４１とは逆側の領域にエアが吐出される。このように、カバー４４における第１の板状部材４１とは逆側の領域にエアを供給して、この領域をエアによりパージした場合には、スリットノズル１３の洗浄時に、スリットノズル１３の傾斜面に供給された洗浄液の液滴が、傾斜面１３ｂに沿って上方に移動することを有効に防止することが可能となる。このエアによるパージ動作は、洗浄工程が終了するまで継続される。

次に、第２洗浄工程を実行する（ステップＳ３）。すなわち、一対の液滴噴出部４０ａ、４０ｂのうちの第１の方向を向く液滴噴出部４０ａにおける第１の板状部材４１と第２の板状部材４２との間のエア吐出口から圧縮空気を吐出するとともに、第２の板状部材４２と第３の板状部材４３との間の洗浄液吐出口から洗浄液を吐出する。この時には、一対の液滴噴出部４０ａ、４０ｂのうちの第２の方向を向く液滴噴出部４０ｂにおけるエア吐出口からの圧縮空気の吐出を停止するとともに、洗浄液吐出口からの洗浄液の吐出を停止する。

次に、第３洗浄工程を実行する（ステップＳ４）。すなわち、一対の液滴噴出部４０ａ、４０ｂのうちの第２の方向を向く液滴噴出部４０ｂにおける第１の板状部材４１と第２の板状部材４２との間のエア吐出口から圧縮空気を吐出するとともに、第２の板状部材４２と第３の板状部材４３との間の洗浄液吐出口から洗浄液を吐出する。この時には、一対の液滴噴出部４０ａ、４０ｂのうちの第１の方向を向く液滴噴出部４０ａにおけるエア吐出口からの圧縮空気の吐出を停止するとともに、洗浄液吐出口からの洗浄液の吐出を停止する。

このように、液滴噴出部４０ａと液滴噴出部４０ｂとを交互に使用した場合には、スリットノズル１３における一対の傾斜面１３ｂのみではなく、スリット状の塗布液吐出口１３ａ付近をも十分に洗浄することが可能となる。すなわち、液滴噴出部４０ａと液滴噴出部４０ｂとから同時にスリットノズル１３に向けて液滴を噴出した場合には、これらの液滴が互いに衝突することにより、液滴噴出部４０ａと液滴噴出部４０ｂとの中央に位置するスリットノズル１３における塗布液吐出口１３ａが十分に洗浄されない場合もある。しかしながら、この実施形態のように液滴噴出部４０ａと液滴噴出部４０ｂとを交互に使用した場合には、このような衝突が発生しないことから、スリット状の塗布液吐出口１３ａ付近を十分に洗浄することが可能となる。

次に、第４洗浄工程を実行する（ステップＳ５）。すなわち、再度、各液滴噴出部４０ａ、４０ｂにおける第１の板状部材４１と第２の板状部材４２との間のエア吐出口から圧縮空気を吐出するとともに、第２の板状部材４２と第３の板状部材４３との間の洗浄液吐出口から洗浄液を吐出する。これにより、スリットノズル１３が仕上げ洗浄される。

しかる後、第１乾燥工程を実行する（ステップＳ６）。すなわち、一対の液滴噴出部４０ａ、４０ｂにおける第１の板状部材４１と第２の板状部材４２との間のエア吐出口から圧縮空気を吐出したままの状態において、第２の板状部材４２と第３の板状部材４３との間の洗浄液吐出口からの洗浄液の吐出を停止する。これにより、スリットノズル１３が圧縮空気により乾燥される。

そして、第２乾燥工程を実行する（ステップＳ７）。すなわち、第１の板状部材４１と第２の板状部材４２との間のエア吐出口から圧縮空気を吐出したままの状態で、図１に示す一対の昇降機構１６の作用により、スリットノズルを一対の液滴噴出部４０ａ、４０ｂに対して上昇させる。これにより、スリットノズル１３における傾斜面１３全体を乾燥させることが可能となる。

次に、この発明の他の実施形態について説明する。図８は、この発明の第２実施形態に係るノズル洗浄装置３１における液滴噴出部４０ａをスリットノズル１３とともに示す側面概要図である。なお、上述した第１実施形態と同様の部材については、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。

この第２実施形態に係るノズル洗浄装置３１の液滴噴出部４０ａにおいては、第１実施形態における第１の板状部材４１、第２の板状部材４２、第３の板状部材４３のかわりに、スリット状の吐出口を形成する第１、第２の板状部材６１、６２を備える。第２の板状部材には、図示を省略した圧縮空気の供給源および洗浄液の供給源に接続された凹部６３が形成されている。この凹部６３は、圧縮空気と洗浄液とを混合する混合部として機能する。また、第２の板状部材６２における第１の板状部材６１とは逆側、すなわち、第２の板状部材６２の下方側には、大気解放される空間領域Ｅが形成されている。

この第２実施形態に係るノズル洗浄装置３１の液滴噴出部４０ａにおいては、第１の板状部材６１と第２の板状部材６２との間に形成された吐出口から、凹部６３で混合された圧縮空気と洗浄液とから生成した液滴をスリットノズル１３における傾斜面１３ａに噴出する構成となっている。

この実施形態においても、第２の板状部材６２の下面の直下である下方側には、大気解放される空間領域Ｅが形成されていることから、第２の板状部材６２の第１の板状部材６１に対する位置を適切に維持することにより、スリットノズル１３の傾斜面１３ｂに対する洗浄液の液滴の供給角度を適切なものとすることができる。

また、上記実施形態では、エアによるパージ動作が、洗浄工程が終了するまで継続されるが、これに限られるものではない。スリットノズル１３の一方側の傾斜面１３ｂのみ洗浄する間、対応する一方側のみエアによるパージ動作をおこなってもよい。

また、本発明においては、上述した実施形態におけるノズル洗浄装置３１による洗浄工程に限られるものではなく、第１〜第４洗浄の工程を適宜組み合わせてもよい。例えば、粘度の高い塗布液を吐出したスリットノズル１３を洗浄する場合は、第２洗浄と第３洗浄を複数回繰り返すことでより確実に洗浄することができる。

また、本発明においては使用する気体として窒素等の不活性ガスを使用してもよい。

１１ ステージ
１３ スリットノズル
１３ａ 塗布液吐出口
１３ｂ 傾斜面
１４ キャリッジ
１５ ノズル支持部
１６ 昇降機構
１７ 走行レール
２０ リニアモータ
２３ リニアエンコーダ
３１ ノズル洗浄装置
３４ プリディスペンス装置
４０ａ 液滴吐出部
４０ｂ 液滴吐出部
４１ 第１の板状部材
４２ 第２の板状部材
４３ 第３の板状部材
４４ カバー
４７ 長孔
４８ ネジ
５１ 凹部
５２ 凹部
５３ 凹部
５４ ポット
１００ 基板
Ｅ 空間領域

Claims (8)

1. スリット状の塗布液吐出口と、前記塗布液吐出口に近接する傾斜面とを有し、基板に対して塗布液を塗布するスリットノズルを洗浄するためのノズル洗浄装置において、
   互いに対向配置されることにより、スリット状の気体吐出口を形成する第１、第２の板状部材と、
   前記第２の板状部材と対向配置されることにより、スリット状の洗浄液吐出口を形成する第３の板状部材とを備え、
   前記第１の板状部材と前記第２の板状部材との間に形成された気体吐出口から吐出された気体と、前記第２の板状部材と前記第３の板状部材との間に形成された洗浄液吐出口から吐出された洗浄液を混合することにより生成した液滴を前記スリットノズルにおける傾斜面に噴出するとともに、
   前記第３の板状部材における前記第２の板状部材とは逆側に、大気解放される空間領域を形成したことを特徴とするノズル洗浄装置。
2. 請求項１に記載のノズル洗浄装置において、
   前記第３の板状部材を、前記第２の板状部材に対して、前記洗浄液吐出口から吐出される洗浄液の吐出方向に移動させることにより、その位置を調整する位置調整機構を備えるノズル洗浄装置。
3. 請求項２に記載のノズル洗浄装置において、
   前記第１の板状部材における前記第２の板状部材とは逆側に、前記スリットノズルにおける傾斜面を囲むカバーを配設するとともに、前記カバーにおける前記第１の板状部材とは逆側の領域に気体を供給するパージ機構を備えるノズル洗浄装置。
4. スリット状の塗布液吐出口と、前記塗布液吐出口に近接する傾斜面とを有し、基板に対して塗布液を塗布するスリットノズルを洗浄するためのノズル洗浄装置において、
   洗浄液と気体とを混合する混合部と、
   互いに対向配置されることにより、スリット状の吐出口を形成する第１、第２の板状部材とを備え、
   前記第１の板状部材と前記第２の板状部材との間に形成された吐出口から前記混合部で混合された洗浄液と気体から生成した液滴を前記スリットノズルにおける傾斜面に噴出するとともに、
   前記第２の板状部材における前記第１の板状部材とは逆側に、大気解放される空間領域を形成したことを特徴とするノズル洗浄装置。
5. 基板の表面に塗布液を塗布する塗布装置において、
   前記基板を載置するステージと、
   スリット状の塗布液吐出口と、前記塗布液吐出口に近接する傾斜面とを有し、前記ステージに載置された基板の表面と近接した状態で当該基板に対して水平方向に相対的に移動することにより前記基板の表面に塗布液を塗布するスリットノズルと、
   請求項１から請求項４のいずれかに記載のノズル洗浄装置と、
   を備えたことを特徴とする塗布装置。
6. スリット状の塗布液吐出口と、前記塗布液吐出口に近接する一対の傾斜面とを有し、基板に対して塗布液を塗布するスリットノズルを洗浄するためのノズル洗浄方法において、
   互いに対向配置されることにより、スリット状の気体吐出口を形成する第１、第２の板状部材と、前記第２の板状部材と対向配置されることにより、スリット状の洗浄液吐出口を形成する第３の板状部材とを備え、前記第１の板状部材と前記第２の板状部材との間に形成された気体吐出口から吐出された気体と、前記第２の板状部材と前記第３の板状部材との間に形成された洗浄液吐出口から吐出された洗浄液を混合することにより生成した液滴を前記スリットノズルにおける傾斜面に噴出するとともに、前記第３の板状部材における前記第２の板状部材とは逆側に大気解放される空間領域が形成された一対の液滴噴出部を、前記スリットノズルにおける一対の傾斜面と各々対向する第１、第２の方向に配置するスリットノズル配置工程と、
   前記一対の液滴噴出部における気体吐出口から気体を吐出するとともに、前記一対の液滴噴出部における洗浄液吐出口から洗浄液を吐出する第１洗浄工程と、
   前記一対の液滴噴出部のうちの第１の方向を向く液滴噴出部における気体吐出口から気体を吐出するとともに、前記一対の液滴噴出部のうちの第１の方向を向く液滴噴出部における洗浄液吐出口から洗浄液を吐出し、前記一対の液滴噴出部のうちの第２の方向を向く液滴噴出部における気体吐出口からの気体の吐出を停止するとともに、前記一対の液滴噴出部のうちの第２の方向を向く液滴噴出部における洗浄液吐出口からの洗浄液の吐出を停止する第２洗浄工程と、
   前記一対の液滴噴出部のうちの第２の方向を向く液滴噴出部における気体吐出口から気体を吐出するとともに、前記一対の液滴噴出部のうちの第２の方向を向く液滴噴出部における洗浄液吐出口から洗浄液を吐出し、前記一対の液滴噴出部のうちの第１の方向を向く液滴噴出部における気体吐出口からの気体の吐出を停止するとともに、前記一対の液滴噴出部のうちの第１の方向を向く液滴噴出部における洗浄液吐出口からの洗浄液の吐出を停止する第３洗浄工程と、
   前記一対の液滴噴出部における気体吐出口から気体を吐出するとともに、前記一対の液滴噴出部における洗浄液吐出口からの洗浄液の吐出を停止する乾燥工程と、
   を備えたことを特徴とするノズル洗浄方法。
7. 請求項６に記載のノズル洗浄方法において、
   前記乾燥工程の後に、前記一対の液滴噴出部における気体吐出口から気体を吐出したままの状態で、前記スリットノズルを前記一対の液滴噴出部に対して相対的に上昇させる第２乾燥工程を備えるノズル洗浄方法。
8. 請求項６に記載のノズル洗浄方法において、
   前記乾燥工程と前記第３洗浄工程との間に、前記一対の液滴噴出部における気体吐出口から気体を吐出するとともに、前記一対の液滴噴出部における洗浄液吐出口から洗浄液を吐出する第４洗浄工程を備えるノズル洗浄方法。
   

Images