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JP2013171980A - Small-sized electronic component module, and manufacturing method and manufacturing device of small-sized electronic component module - Google Patents

Small-sized electronic component module, and manufacturing method and manufacturing device of small-sized electronic component module Download PDF

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JP2013171980A
JP2013171980A JP2012034919A JP2012034919A JP2013171980A JP 2013171980 A JP2013171980 A JP 2013171980A JP 2012034919 A JP2012034919 A JP 2012034919A JP 2012034919 A JP2012034919 A JP 2012034919A JP 2013171980 A JP2013171980 A JP 2013171980A
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substrate
electronic component
cut
manufacturing
module
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JP2012034919A
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Manabu Yamamori
学 山森
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NEC Saitama Ltd
Original Assignee
NEC Saitama Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a small-sized electronic component module of the same size as electronic components mounted on a substrate, and configuring a module upper surface; and a manufacturing method and a manufacturing device of the same.SOLUTION: A substrate smaller than the size of an electronic component configuring a module upper surface is used. A package of the electronic component mounted on the substrate has a BGA structure, and a position of a solder ball of the BGA structure is disposed on the inner side than the outline of the electronic component. In an aggregate substrate state, when cut into individual pieces, the substrate is cut from an opposite surface of a mounting surface of the electronic component. By using a space (a clearance) for the solder ball between the electronic component with the BGA structure mounted on the substrate and the substrate, only the substrate is cut. The cutting is carried out twice separately.

Description

本発明は、小型電子部品モジュール、並びに当該小型電子部品モジュールの製造方法及びその製造装置に関する。   The present invention relates to a small electronic component module, a method for manufacturing the small electronic component module, and a manufacturing apparatus therefor.

携帯電話機器に代表されるモバイル型の電子機器の普及は拡大しており、その機能を一層増加させているだけでなく、さらなる小型化が要求されている。小型化という面では、高密度実装を進めるなか、回路の一部を切り出して、小型化するモジュール技術が先行しており、例えば、特許文献1〜4などが開示されている。   The spread of mobile electronic devices typified by mobile phone devices is expanding, and not only the functions are further increased, but further miniaturization is required. In terms of downsizing, module technology for cutting out a part of a circuit and miniaturizing it while proceeding with high-density mounting has been preceded, for example, Patent Documents 1 to 4 are disclosed.

特許文献1には、耐湿性及び耐リフロー性に優れ、かつ、多数の端子を確実に接続することができる半導体装置とその製造方法が開示されている。   Patent Document 1 discloses a semiconductor device that is excellent in moisture resistance and reflow resistance and that can reliably connect a large number of terminals and a method for manufacturing the same.

特許文献2には、半導体装置を小型化・薄型化し、半導体装置の信頼性を向上することができる技術が開示されている。   Patent Document 2 discloses a technology that can reduce the size and thickness of a semiconductor device and improve the reliability of the semiconductor device.

特許文献3には、容易な工程、かつ、低コストで、高精細な部品を実装した多数のプリント配線基板とその製造方法が開示されている。   Patent Document 3 discloses a large number of printed wiring boards on which high-definition components are mounted at an easy process and low cost, and a manufacturing method thereof.

特許文献4には、半導体デバイスの製造方法が開示されており、接着剤が付着した半導体チップ個片を効率的に得ると共に、半導体チップと配線基板とを良好に接続することができる半導体デバイスの製造方法が開示されている。   Patent Document 4 discloses a method for manufacturing a semiconductor device, which efficiently obtains a semiconductor chip piece to which an adhesive is attached, and is capable of satisfactorily connecting a semiconductor chip and a wiring board. A manufacturing method is disclosed.

特開2004−165311号公報JP 20041655311 A 特開2011−086766号公報JP 2011-086766 A 国際公開第2007/043639号International Publication No. 2007/043639 国際公開第2007/148724号International Publication No. 2007/148724

なお、上記先行技術文献の各開示を、本書に引用をもって繰り込むものとする。以下の分析は、本発明の観点からなされたものである。   Each disclosure of the above prior art document is incorporated herein by reference. The following analysis has been made from the viewpoint of the present invention.

従来のモジュールは、例えば、図2に示すように、基板上に搭載し、モジュール上面を構成する電子部品より大きい基板を用いて作成していたため、モジュールサイズは、基板上に搭載する電子部品よりサイズが大きくなってしまっていた。   For example, as shown in FIG. 2, the conventional module is mounted on a substrate and is made using a substrate larger than the electronic component constituting the upper surface of the module. Therefore, the module size is larger than the electronic component mounted on the substrate. The size was getting bigger.

このモジュールの製造方法として、例えば、図4に従来のモジュールの製造方法が示されている。図4を要約すると、(1)のステップで電子部品内蔵基板(単に、基板ともいう)を設計し、(2)のステップでは基板の裏面(端子面)において、はんだバンプ(端子)を形成し、(3)のステップでは、基板の表面に電子部品を搭載し、ここで、搭載される電子部品のパッケージはBGA(ボールグリッドアレイ)構造の電子部品(例えば、LSIなど)を使用する。そして、(4)のステップに示すように、従来の製造方法では、個片にカットする時に、基板上に搭載し、モジュール上面を構成する電子部品のクリアランスと、ダイサーの精度を考慮して、電子部品のサイズよりも基板を大きくカットしていたため、モジュールとしての大きさは基板上に搭載される電子部品より大きい寸法となっていた。   As a module manufacturing method, for example, a conventional module manufacturing method is shown in FIG. To summarize FIG. 4, the electronic component built-in substrate (also simply referred to as a substrate) is designed in step (1), and solder bumps (terminals) are formed on the back surface (terminal surface) of the substrate in step (2). In the step (3), an electronic component is mounted on the surface of the substrate. Here, an electronic component (for example, LSI) having a BGA (ball grid array) structure is used as a package of the electronic component to be mounted. And, as shown in the step (4), in the conventional manufacturing method, when cutting into individual pieces, it is mounted on the substrate, taking into account the clearance of the electronic parts constituting the module upper surface, and the accuracy of the dicer, Since the substrate was cut larger than the size of the electronic component, the size of the module was larger than the electronic component mounted on the substrate.

電子機器のより更なる小型化が要求され続けているところ、従来のモジュールの製造方法では、上述したように、電子部品モジュールを製造する場合、個片にカットする時にモジュール上面を構成する電子部品より大きい基板を作成して、電子部品に切断クリアランス(図2c)を持って個片にカットしていたため、モジュールのサイズは、基板上に搭載する電子部品より大きくなってしまうという問題があり、小型化を追求し続ける電子機器のより一層の開発に対応するためには、さらなる改善が必要である。   Where further downsizing of electronic devices continues to be required, in the conventional module manufacturing method, as described above, when an electronic component module is manufactured, the electronic component that constitutes the upper surface of the module when cut into individual pieces Since a larger substrate was created and the electronic component was cut into pieces with a cutting clearance (FIG. 2c), the size of the module would be larger than the electronic component mounted on the substrate, Further improvements are needed to support the further development of electronic devices that continue to pursue miniaturization.

したがって、本発明は、上述に鑑みてなされたものであり、基板上に搭載し、モジュール上面を構成する電子部品と同じサイズの小型電子部品モジュール、並びに、その製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。   Accordingly, the present invention has been made in view of the above, and provides a small electronic component module having the same size as an electronic component mounted on a substrate and constituting the upper surface of the module, and a manufacturing method and manufacturing apparatus thereof. With the goal.

すなわち、本発明の一視点において、電子部品内蔵基板(単に、基板ともいう)と、該基板上に搭載された電子部品を有する電子部品モジュールであって、該基板のサイズは、該基板上に搭載し、モジュール上面を構成する該電子部品(搭載部品ともいう)のサイズより小さい、電子部品モジュールが提供される。ここで、上記基板上に搭載する電子部品(搭載部品)のパッケージは、BGA(ボールグリッドアレイ)構造であり、上記電子部品と上記基板とを接合する、BGA構造のはんだボールの位置が電子部品外形より内側に配置されていることが好ましい。   That is, in one aspect of the present invention, an electronic component module including an electronic component built-in substrate (also simply referred to as a substrate) and an electronic component mounted on the substrate, the size of the substrate being on the substrate There is provided an electronic component module that is smaller in size than the electronic component (also referred to as a mounted component) that is mounted and constitutes the upper surface of the module. Here, the package of the electronic component (mounted component) mounted on the substrate has a BGA (ball grid array) structure, and the position of the solder ball of the BGA structure that joins the electronic component and the substrate is the electronic component. It is preferable that it is arranged inside the outer shape.

本発明の別の視点において、電子部品内蔵基板(単に、基板ともいう)と、該基板上に搭載された電子部品(搭載部品ともいう)を有する電子部品モジュールの製造方法であって、集合基板状態で、個片にカットするときに、電子部品の搭載面の反対面(基板の端子面)からカットすることを含む、電子部品モジュールの製造方法が提供される。ここで、集合基板状態で、個片にカットするときに、基板上に搭載した、BGA構造を構成する電子部品のはんだボール分の基板との空間(隙間)を利用して、基板のみをカットすることが好ましい。また、個片カット時の切りくずを上記電子部品の搭載面に回りこまないように、2回に分けてカットすることが好ましい。   In another aspect of the present invention, there is provided an electronic component module manufacturing method including an electronic component built-in substrate (also simply referred to as a substrate) and an electronic component (also referred to as a mounted component) mounted on the substrate. In the state, when cutting into individual pieces, a method of manufacturing an electronic component module is provided, which includes cutting from the opposite surface (terminal surface of the substrate) of the electronic component mounting surface. Here, when cutting into individual pieces in the collective substrate state, only the substrate is cut using the space (gap) between the solder balls of the electronic components constituting the BGA structure mounted on the substrate. It is preferable to do. Moreover, it is preferable to cut in two steps so that the chips at the time of individual piece cutting do not go around the mounting surface of the electronic component.

本発明のさらに別の視点において、電子部品内蔵基板(単に、基板ともいう)と、該基板上に搭載された電子部品(搭載部品ともいう)を有する電子部品モジュールの製造装置であって、集合基板状態の基板を個片にカットするための、電子部品の搭載面の反対面(基板の端子面)からカットするダイサーと、その駆動制御部を少なくとも具備し、該ダイサーは、基板上に搭載した、BGA構造を構成する電子部品のはんだボール分の基板との空間(隙間)を利用して、基板のみをカットするように制御されたことを含む、電子部品モジュールの製造装置が提供される。ここで、上記製造装置のダイサーは、個片カット時の切りくずを上記電子部品の搭載面に回りこまないように、2回に分けてカットするように制御されていることが好ましい。   In still another aspect of the present invention, an electronic component module manufacturing apparatus including an electronic component built-in substrate (also simply referred to as a substrate) and an electronic component (also referred to as a mounted component) mounted on the substrate, A dicer for cutting a substrate in a substrate state from a surface opposite to the electronic component mounting surface (terminal surface of the substrate) and a drive control unit thereof are provided, and the dicer is mounted on the substrate. An apparatus for manufacturing an electronic component module is provided, which includes control of cutting only the substrate using a space (gap) between the solder balls of the electronic component constituting the BGA structure and the substrate. . Here, it is preferable that the dicer of the manufacturing apparatus is controlled to be cut in two steps so that the chips at the time of individual piece cutting do not wrap around the mounting surface of the electronic component.

本発明の各視点によれば、本発明の小型電子部品モジュールでは、モジュール上面を構成する電子部品(例えば、LSI等)より小さい基板を用いて仕上がることと、当該基板を電子部品内蔵基板とすることで、従来よりもさらに小型化することができ、それによって実装面積を削減する効果がある。   According to each aspect of the present invention, the small electronic component module of the present invention is finished using a substrate smaller than an electronic component (for example, LSI) constituting the upper surface of the module, and the substrate is used as an electronic component built-in substrate. As a result, the size can be further reduced as compared with the prior art, thereby reducing the mounting area.

したがって、本発明によると、モジュールを個片にカットする際に、基板上に搭載された電子部品がBGA構造であることを利用して、裏面より、基板のみカットすることができるため、モジュール上面を構成する電子部品(例えば、LSI等)と少なくとも同じサイズのモジュールを実現することができる。さらに、ダイサーにてモジュールを個片にカットする際に2回に分けてカットすることで、切りくず等のゴミが、BGA構造の電子部品の下部(すなわち、電子部品と基板との間のはんだボール分の空間(隙間))に入り込み、端子間をショートさせてしまうことを防止することができる。また、この際、はんだボールの位置が基板上に搭載した電子部品の外形より内側に配置されていることにより、基板をカットした際の基板端に導電性の配線パターンが無いように、パターン設計することができ、これによって、導電性の切りくずゴミを排除できるため、上述した本発明における特徴的なカットと相まって、端子間のショートを確実に防止することができる。   Therefore, according to the present invention, when the module is cut into individual pieces, it is possible to cut only the substrate from the back side by utilizing the electronic component mounted on the substrate with the BGA structure. It is possible to realize a module having at least the same size as an electronic component (for example, an LSI or the like) constituting the. In addition, when the module is cut into two pieces with a dicer, the chips and other dust are cut into two pieces so that chips and other debris can be removed from the bottom of the BGA-structured electronic component (that is, the solder between the electronic component and the substrate). It is possible to prevent the ball from entering the space (gap) for the ball and shorting between the terminals. Also, at this time, the pattern of the solder ball is arranged so that there is no conductive wiring pattern at the end of the board when the board is cut because the position of the solder ball is arranged inside the outer shape of the electronic component mounted on the board. In this way, conductive chip dust can be eliminated, and in combination with the characteristic cut in the present invention described above, short-circuiting between terminals can be reliably prevented.

本発明の個片状態の小型電子部品モジュールの一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the small electronic component module of the individual piece state of this invention. 従来の小型電子部品モジュールを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the conventional small electronic component module. 本発明の製造方法の実施例1を示す流れ図である。It is a flowchart which shows Example 1 of the manufacturing method of this invention. 従来の製造方法を示す流れ図である。It is a flowchart which shows the conventional manufacturing method. 本発明の製造方法の実施例2を示す流れ図である。It is a flowchart which shows Example 2 of the manufacturing method of this invention. 配線パターンを付した、本発明の小型電子部品モジュールの一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the small electronic component module of this invention which attached | subjected the wiring pattern.

以下に、本発明の一実施形態の概要について説明する。なお、この概要に付記する図面参照符号は、専ら理解を助けるための例示であり、本発明を図示の態様に限定することを意図するものではない。   The outline of one embodiment of the present invention will be described below. Note that the reference numerals of the drawings attached to this summary are merely examples for facilitating understanding, and are not intended to limit the present invention to the illustrated embodiment.

はじめに、本発明の一実施形態の概要について図面を参照して説明する。   First, an outline of an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

本発明の一実施態様において、本発明の小型電子部品モジュールは、以下のように構成されている。図1は、下記に示す実施例1及び2で製造した小型電子部品モジュールの断面図である。図1に示すように、小型電子部品モジュールの基板上に搭載される電子部品(搭載部品)は、BGAのパッケージ構造を実装する構成であり、電子部品と基板とを接合する、BGA構造のはんだボールの位置は、基板上に搭載した電子部品の外形より内側に配置されている。基板に関しては、小型高密度実装のため、電子部品内蔵基板を用いる構成であり、モジュール端子に関しては、2次実装時のはんだ付け信頼性を良くするためバンプを形成する。   In one embodiment of the present invention, the small electronic component module of the present invention is configured as follows. FIG. 1 is a cross-sectional view of a small electronic component module manufactured in Examples 1 and 2 described below. As shown in FIG. 1, an electronic component (mounted component) mounted on a substrate of a small electronic component module is configured to mount a BGA package structure, and a BGA structure solder that joins the electronic component and the substrate. The position of the ball is arranged inside the outer shape of the electronic component mounted on the substrate. As for the substrate, a board with a built-in electronic component is used for compact and high-density mounting, and bumps are formed on the module terminals to improve soldering reliability during secondary mounting.

つまり、本発明の小型電子部品モジュールの構成は、図2に示す、従来の製造方法で作成したモジュールの断面図と比較することによって理解できるように、モジュール上面を構成する電子部品(搭載部品)のサイズより小さい基板(電子部品内蔵基板)を用い、当該基板の上面に搭載する電子部品の形状は、BGA構造のパッケージで、電子部品と基板とを接合する、BGA構造のはんだボールの位置が搭載部品の外形より内側に配置されていることが好ましい。   That is, the configuration of the small electronic component module of the present invention can be understood by comparing the cross-sectional view of the module created by the conventional manufacturing method shown in FIG. The size of the electronic component mounted on the upper surface of the substrate is a BGA structure package, and the position of the BGA structure solder ball that joins the electronic component and the substrate is as follows. It is preferable that it is arranged inside the outer shape of the mounted component.

また、このような小型電子部品モジュールは、本発明の別の実施態様として、本発明の小型電子部品モジュールの製造方法によって製造される。図3に示すように、本発明の小型電子部品モジュールの製造方法は、集合基板状態で、個片にカットするステップ(図3(4))において、モジュール裏面(端子面)から基板のみをカットすることを含む。これは、基板上に搭載する電子部品の形状は、BGA構造の電子部品であるため、基板の表面からはんだボール分浮いており、その空間(隙間)を利用して、基板のみをカットするものである。また、その際に、図5、特に図5(4)〜(6)に示すように、個片カット時の切りくずを、モジュール上面を構成する電子部品の下部(すなわち、基板上に搭載した電子部品と基板との間のはんだボール分の空間(隙間))に回りこまないように、ダイサーで2回に分けてカットすることが好ましい。   Moreover, such a small electronic component module is manufactured by the manufacturing method of the small electronic component module of this invention as another embodiment of this invention. As shown in FIG. 3, the manufacturing method of the small electronic component module of the present invention cuts only the substrate from the module back surface (terminal surface) in the step of cutting into individual pieces (FIG. 3 (4)) in the collective substrate state. Including doing. This is because the electronic component mounted on the substrate is a BGA-structured electronic component, so it floats from the surface of the substrate by the amount of the solder ball, and cuts only the substrate using the space (gap). It is. At that time, as shown in FIG. 5, particularly, FIGS. 5 (4) to (6), chips at the time of individual piece cutting are mounted on the lower part (that is, on the substrate) of the electronic components constituting the upper surface of the module. It is preferable to divide into two times with a dicer so as not to go around the space (gap) for the solder ball between the electronic component and the substrate.

さらにまた、このような小型電子部品モジュールの製造方法は、本発明のまた別の実施態様として、当該製造方法における特徴的な個片カットを実施するためのダイサーと、駆動制御部を少なくとも具備する製造装置によってなされる。本発明の小型電子部品モジュールの製造装置は、集合基板状態の基板を個片にカットするための、電子部品の搭載面の反対面(基板の端子面)からカットするダイサーと、その駆動制御部を少なくとも具備し、該ダイサーは、BGA構造を構成する電子部品のはんだボール分の基板との空間(隙間)を利用して、基板のみをカットするように制御されており、また、個片カット時の切りくずを電子部品の搭載面に回りこまないように、2回に分けてカットするように制御されることが好ましい。   Furthermore, such a method for manufacturing a small electronic component module includes, as still another embodiment of the present invention, at least a dicer for performing characteristic piece cutting in the manufacturing method and a drive control unit. Made by manufacturing equipment. An apparatus for manufacturing a small electronic component module according to the present invention includes a dicer for cutting a substrate in a collective substrate state into individual pieces, a dicer for cutting from the opposite surface (terminal surface of the substrate) of the electronic component, and a drive control unit thereof The dicer is controlled so as to cut only the substrate by utilizing the space (gap) between the solder balls of the electronic components constituting the BGA structure and the individual piece cut. It is preferable to control to cut in two steps so that the chips of the time do not go around the electronic component mounting surface.

このように、小型電子部品モジュールを製造する際に、モジュールの集合基板状態で、基板上に搭載する電子部品は、部品公差及び搭載機の公差の最小間隔で搭載し、基板の裏面(端子面)より基板のみをカットすることで、基板上に搭載し、モジュール上面を構成する電子部品と同じ、又は、当該電子部品よりも小さくカットできるため、最終的な仕上がりのモジュールサイズは、モジュール上面を構成する電子部品と同じサイズが実現される。   In this way, when manufacturing a small electronic component module, the electronic components to be mounted on the substrate in the state of the assembly board of the modules are mounted at the minimum interval of the component tolerance and the tolerance of the mounting machine. ) By cutting only the board, it can be mounted on the board and cut to be the same as or smaller than the electronic components that make up the module upper surface. The same size as the constituent electronic components is realized.

なお、上記の実施形態の一部又は全部は、以下の形態のようにも記載され得るが、以下には限られない。
[形態1]第一の視点のとおり、電子部品内蔵基板(基板)と、該基板上に搭載された電子部品を有する電子部品モジュールであって、該基板のサイズは、該基板上に搭載し、該モジュール上面を構成する該電子部品(搭載部品ともいう)のサイズより小さい。
[形態2]前記搭載部品のパッケージは、BGA(ボールグリッドアレイ)構造であり、該電子部品と基板とを接合する、BGA構造のはんだボールの位置が該搭載部品の外形より内側に配置されていることが好ましい。
[形態3]第二の視点のとおり、電子部品内蔵基板(基板)と、該基板上に搭載された電子部品を有する電子部品モジュールの製造方法であって、集合基板状態で、個片にカットするときに、該電子部品の搭載面の反対面(基板の端子面)からカットする。
[形態4]前記集合基板状態で、個片にカットするときに、BGA構造を構成する電子部品のはんだボール分の基板との空間(隙間)を利用して、該基板のみをカットすることが好ましい。
[形態5]前記個片カット時の切りくずを前記電子部品の搭載面に回りこまないように、2回に分けてカットすることが好ましい。
[形態6]形態3乃至5のいずれか一に記載の方法によって製造された電子部品モジュール。
[形態7]電子部品内蔵基板(基板)と、該基板上に搭載された電子部品を有する電子部品モジュールの製造装置であって、集合基板状態の基板を個片にカットするための、該電子部品の搭載面の反対面(該基板の端子面)からカットするダイサーと、その駆動制御部を少なくとも具備し、該ダイサーは、BGA構造を構成する電子部品のはんだボール分の基板との空間(隙間)を利用して、基板のみをカットするように制御される。
[形態8]前記個片カット時の切りくずを前記電子部品の搭載面に回りこまないように、2回に分けてカットするように制御されることが好ましい。
In addition, although a part or all of said embodiment may be described like the following forms, it is not restricted to the following.
[Mode 1] As in the first aspect, an electronic component module having an electronic component built-in substrate (substrate) and an electronic component mounted on the substrate, the size of the substrate being mounted on the substrate , Smaller than the size of the electronic component (also referred to as a mounted component) constituting the upper surface of the module.
[Mode 2] The package of the mounted component has a BGA (ball grid array) structure, and the position of the solder ball of the BGA structure that joins the electronic component and the substrate is disposed inside the outer shape of the mounted component. Preferably it is.
[Mode 3] As described in the second aspect, a method of manufacturing an electronic component module having an electronic component built-in substrate (substrate) and an electronic component mounted on the substrate, which is cut into individual pieces in a collective substrate state When cutting, cut from the surface opposite to the mounting surface of the electronic component (terminal surface of the substrate).
[Mode 4] When cutting into individual pieces in the collective substrate state, it is possible to cut only the substrate using a space (gap) between the solder balls of the electronic components constituting the BGA structure. preferable.
[Embodiment 5] It is preferable to cut in two steps so that the chips at the time of cutting the individual pieces do not go around the mounting surface of the electronic component.
[Mode 6] An electronic component module manufactured by the method according to any one of modes 3 to 5.
[Mode 7] An electronic component module manufacturing apparatus having an electronic component built-in substrate (substrate) and an electronic component mounted on the substrate, the electronic device for cutting a substrate in a collective substrate state into individual pieces A dicer that cuts from a surface opposite to the component mounting surface (terminal surface of the substrate) and a drive control unit thereof are provided, and the dicer is a space (with a substrate corresponding to a solder ball of an electronic component constituting the BGA structure) Control is performed so that only the substrate is cut using the gap.
[Embodiment 8] It is preferable that the cutting is performed in two steps so that the chips at the time of cutting the individual pieces do not wrap around the mounting surface of the electronic component.

以下、実施例によって、本発明の小型電子部品モジュールの製造方法を図面と共に詳細に説明する。   Hereinafter, the manufacturing method of the small electronic component module of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

まず、図3に示す方法を説明する。図3の(1)ステップに示すように、BGA構造を持つ部品周辺回路において、周辺小物部品(コンデンサー等)を、電子部品内蔵基板を用いて、モジュール上面を構成する電子部品より小さいエリアにて、電子部品内蔵基板(単に、基板ともいう)を設計した。図3の(2)ステップは、基板の裏面(端子面)において、2次実装時のはんだ付け信頼性確保のため、はんだ印刷及びリフローにてはんだバンプ(端子)を形成した。図3の(3)ステップは、基板の表面に電子部品を搭載した。基板上に搭載される電子部品のパッケージはBGA構造の電子部品(例えば、LSIなど)を使用した。また搭載の間隔は、部品公差及び搭載機の公差の最小間隔で搭載した。なお、(1)〜(3)までのステップを実施する方法は、特に制限されず、公知の手法を用いて行ってよい。   First, the method shown in FIG. 3 will be described. As shown in step (1) of FIG. 3, in a component peripheral circuit having a BGA structure, peripheral accessory components (capacitors, etc.) are used in an area smaller than the electronic component constituting the upper surface of the module using the electronic component built-in substrate. An electronic component built-in substrate (also simply referred to as a substrate) was designed. In step (2) of FIG. 3, solder bumps (terminals) were formed on the back surface (terminal surface) of the substrate by solder printing and reflowing in order to ensure soldering reliability during secondary mounting. In step (3) of FIG. 3, an electronic component was mounted on the surface of the substrate. An electronic component package (for example, LSI) having a BGA structure was used as a package of the electronic component mounted on the substrate. In addition, the mounting interval was the minimum interval of component tolerance and mounting machine tolerance. In addition, the method in particular of implementing step (1)-(3) is not restrict | limited, You may carry out using a well-known method.

次に、図3の(4)ステップに示すように、基板の裏面(端子面)よりダイサーにてカットした。個片に切断された後に、ばらばらにならないように、プレート等で、モジュール表面(上部面)である、電子部品上面を固定した。その後、基板の裏面(端子面)より切断した。基板上に搭載されている電子部品が、BGA構造の部品であるため、はんだボール分、基板から浮いているので、その隙間を利用して、基板のみカットした。なお、この(4)ステップのカットは、基板のみカットするように制御されたダイサーと、その駆動制御部を少なくとも具備する装置(不図示)によって行った。   Next, as shown in step (4) of FIG. 3, the substrate was cut with a dicer from the back surface (terminal surface) of the substrate. The upper surface of the electronic component, which is the module surface (upper surface), was fixed with a plate or the like so as not to be separated after being cut into pieces. Then, it cut | disconnected from the back surface (terminal surface) of the board | substrate. Since the electronic component mounted on the substrate is a BGA-structured component, the solder ball part floats from the substrate, and only the substrate is cut using the gap. The cutting in step (4) was performed by a device (not shown) including at least a dicer controlled to cut only the substrate and a drive control unit thereof.

ここで、従来の製造方法を示す図4の(4)ステップと比較することで理解できるが、上記製造方法によって、基板上に搭載されているBGAの電子部品サイズより小さく基板を個片状態にカットできるので、小型電子部品モジュールの大きさとしては、最終的には、基板上に搭載したBGA構造の電子部品と同じ寸法で仕上げることができた。   Here, it can be understood by comparing with the step (4) of FIG. 4 showing the conventional manufacturing method, but the manufacturing method described above makes the substrate smaller than the electronic component size of the BGA mounted on the substrate. Since it can be cut, the size of the small electronic component module was finally finished with the same dimensions as the electronic component having the BGA structure mounted on the substrate.

次に、本発明の実施例2で、図5に示す方法を説明する。   Next, a method shown in FIG. 5 will be described in Embodiment 2 of the present invention.

最終的な小型電子部品モジュールの仕上がりの断面に関しては、図1に示す断面(すなわち、実施例1で製造した小型電子部品モジュールの断面)と同じであり、また、図5の(1)〜(3)ステップまでは、実施例1(つまり、図3の(1)〜(3))と同じである。よって、本実施例の製造方法に関しては、図5の(4)〜(6)に示すように、個片に分割するステップを、2回に分けてカットすることを特徴し、その具体的な手法を以下に説明する。   The final cross section of the small electronic component module is the same as the cross section shown in FIG. 1 (that is, the cross section of the small electronic component module manufactured in Example 1), and (1) to (1) in FIG. 3) Steps up to step are the same as those in the first embodiment (that is, (1) to (3) in FIG. 3). Therefore, as for the manufacturing method of the present embodiment, as shown in (4) to (6) of FIG. 5, the step of dividing into individual pieces is cut in two times, and its specific The method will be described below.

本実施例は、基板の表面にBAG構造の電子部品が搭載されている状態で、該基板の裏面よりカットした場合、切りくず等のゴミが、BGA構造の電子部品の下部(すなわち、基板上に搭載したBGA構造の電子部品と基板との間のはんだボール分の空間(隙間))に入り込み、そのゴミが導電性の場合に生じ得る端子間のショートを防止できる。   In the present embodiment, when a BAG structure electronic component is mounted on the surface of the substrate and cut from the back surface of the substrate, chips and other debris are collected under the BGA structure electronic component (that is, on the substrate). It is possible to prevent a short circuit between terminals that may occur when the dust is electrically conductive by entering the space (gap) of the solder ball between the electronic component of the BGA structure mounted on the board and the substrate.

以下に、具体的に、図5の(4)〜(6)ステップを説明する。なお、ここで(4)、(6)ステップは、基板のみカットし、かつ、該基板を2回に分けてカットするように制御されたダイサーと、その駆動制御部を少なくとも具備する装置(不図示)によって行った。   The steps (4) to (6) in FIG. 5 will be specifically described below. Here, in steps (4) and (6), the apparatus (not used) includes at least a dicer controlled to cut only the substrate and cut the substrate in two steps, and a drive control unit thereof. As shown).

図5の(4)ステップでは、基板上に搭載した電子部品上面をプレート等で固定しておき、上記装置により、裏面よりダイサーにてハーフカットした。該基板の表面まで完全にカットしていないので、大部分の切りくずは基板に搭載した電子部品の下部(すなわち、基板の表面)に回りこむことはなくハーフカットでき、図5の(5)ステップで、裏面より切りくずを清掃した。図5の(6)ステップでは、上記装置による2回目のカットにて、個片に切断した。本実施例の2回目のカットに関しても、実施例1と同じで、基板上に搭載した電子部品がはんだボール分、基板から浮いているので、その隙間を利用して、基板のみカットした。   In step (4) of FIG. 5, the upper surface of the electronic component mounted on the substrate was fixed with a plate or the like, and half cut was performed with a dicer from the back surface using the above apparatus. Since the surface of the substrate is not completely cut, most of the chips do not wrap around the lower part of the electronic component mounted on the substrate (that is, the surface of the substrate) and can be half-cut. Then, the chips were cleaned from the back side. In the step (6) of FIG. 5, it was cut into individual pieces by the second cut by the above apparatus. The second cut of this example is the same as that of Example 1, and the electronic components mounted on the substrate are lifted from the substrate by the amount of solder balls. Therefore, only the substrate was cut using the gap.

なお、本実施例において、(4)ステップのハーフカット時にカットせずに残した基板の部分に関しては、図6に示すように、基板をカットした際の基板端に導電性の配線パターンが無いように、パターン設計した。本実施例の2回のカット手段に加え、このパターン設計によって、導電性の切りくずゴミの発生を排除できるため、導電性のゴミによる端子間のショートを確実に防止することができた。   In the present embodiment, as shown in FIG. 6, there is no conductive wiring pattern at the substrate edge when the substrate is cut with respect to the portion of the substrate left without being cut at the time of the half cut in (4) step. So that the pattern was designed. In addition to the two cutting means of this embodiment, this pattern design can eliminate the generation of conductive chip dust, so that it was possible to reliably prevent shorting between terminals due to conductive dust.

本発明は、携帯電話機などの電子機器の小型化・薄型化に有効であり、特に、より一層の小型化が追求されている、携帯電話端末機、スマートフォン、タブレット機器などの高機能を有する携帯小型電子機器に利用可能である。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is effective for downsizing and thinning electronic devices such as mobile phones, and in particular, mobile phones having high functions such as mobile phone terminals, smartphones, tablet devices, etc., for which further downsizing is pursued. It can be used for small electronic devices.

なお、上記の特許文献等の先行技術文献の各開示を、本書に引用をもって繰り込むものとする。本発明の全開示(請求の範囲を含む)の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態ないし実施例の変更・調整が可能である。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素(各請求項の各要素、各実施例の各要素、各図面の各要素等を含む)の多様な組み合わせ、ないし、選択が可能である。すなわち、本発明は、請求の範囲を含む全開示、技術的思想にしたがって当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。   It should be noted that the disclosures of prior art documents such as the above patent documents are incorporated herein by reference. Within the scope of the entire disclosure (including claims) of the present invention, the embodiments and examples can be changed and adjusted based on the basic technical concept. Further, various combinations or selections of various disclosed elements (including each element of each claim, each element of each embodiment, each element of each drawing, etc.) are possible within the scope of the claims of the present invention. It is. That is, the present invention of course includes various variations and modifications that could be made by those skilled in the art according to the entire disclosure including the claims and the technical idea.

1 内蔵部品
2 電子部品内蔵基板(基板)
3 電子部品(搭載部品、BGA構造のLSI)
4 はんだボール
5 はんだバンプ
6 ダイサー
7 クリアランス
8 ダイサーでハーフカット
9 ダイサーでフルカット
10 配線パターン
11 基板をカットした際に配線パターンを基板端に露出しないようにした設計
a 基板上の搭載部品の大きさ(サイズ)
b 個片にカットした基板の大きさ(サイズ)
c クリアランス
1 Built-in component 2 Electronic component built-in substrate (substrate)
3 Electronic components (mounted components, BGA LSI)
4 Solder balls 5 Solder bumps 6 Dicer 7 Clearance 8 Dicer half cut 9 Dicer full cut 10 Wiring pattern 11 Design that prevents the wiring pattern from being exposed to the board edge when the board is cut a Size of components mounted on the board (Size)
b Size of substrate cut into pieces (size)
c Clearance

Claims (8)

電子部品内蔵基板(基板)と、該基板上に搭載された電子部品を有する電子部品モジュールであって、該基板のサイズは、該基板上に搭載し、該モジュール上面を構成する該電子部品(搭載部品)のサイズより小さいことを特徴とする、電子部品モジュール。   An electronic component module having an electronic component built-in substrate (substrate) and an electronic component mounted on the substrate, the size of the substrate being mounted on the substrate and constituting the upper surface of the module ( An electronic component module characterized by being smaller than the size of the mounting component). 前記基板上に搭載される前記電子部品のパッケージは、BGA(ボールグリッドアレイ)構造であり、該電子部品と前記基板とを接合する、該BGA構造のはんだボールの位置が該電子部品の外形より内側に配置されていることを特徴とする、請求項1に記載の電子部品モジュール。   The package of the electronic component mounted on the substrate has a BGA (ball grid array) structure, and the position of the solder ball of the BGA structure that joins the electronic component and the substrate is based on the outer shape of the electronic component. The electronic component module according to claim 1, wherein the electronic component module is disposed inside. 電子部品内蔵基板(基板)と、該基板上に搭載された電子部品(搭載部品)を有する電子部品モジュールの製造方法であって、集合基板状態で、個片にカットするときに、該電子部品の搭載面の反対面(基板の端子面)からカットすることを特徴とする、製造方法。   A method of manufacturing an electronic component module having an electronic component built-in substrate (substrate) and an electronic component (mounted component) mounted on the substrate, wherein the electronic component is cut into individual pieces in a collective substrate state. A manufacturing method characterized by cutting from the opposite surface (terminal surface of the substrate) of the mounting surface. 前記集合基板状態で、個片にカットするときに、BGA構造を構成する前記電子部品のはんだボール分の前記基板との空間(隙間)を利用して、該基板のみをカットすることを特徴とする、請求項3に記載の電子部品モジュールの製造方法。   In the collective substrate state, when cutting into individual pieces, only the substrate is cut using a space (gap) with the substrate for the solder balls of the electronic components constituting the BGA structure. The method of manufacturing an electronic component module according to claim 3. 前記個片カット時の切りくずを前記電子部品の搭載面に回りこまないように、2回に分けてカットすることを特徴とする、請求項4に記載の電子部品モジュールの製造方法。   5. The method of manufacturing an electronic component module according to claim 4, wherein the chips at the time of cutting the individual pieces are cut in two steps so as not to wrap around the mounting surface of the electronic components. 請求項3乃至5のいずれか一項に記載の方法によって製造された電子部品モジュール。   The electronic component module manufactured by the method as described in any one of Claims 3 thru | or 5. 電子部品内蔵基板(基板)と、該基板上に搭載された電子部品(搭載部品)を有する電子部品モジュールの製造装置であって、集合基板状態の基板を個片にカットするための、該電子部品の搭載面の反対面(該基板の端子面)からカットするダイサーと、その駆動制御部を少なくとも具備し、該ダイサーは、BGA構造を構成する前記電子部品のはんだボール分の前記基板との空間(隙間)を利用して、基板のみをカットするように制御されたことを特徴とする、製造装置。   An electronic component module manufacturing apparatus having an electronic component built-in substrate (substrate) and an electronic component (mounted component) mounted on the substrate, the electronic device for cutting a substrate in a collective substrate state into individual pieces A dicer that cuts from a surface opposite to the component mounting surface (terminal surface of the substrate) and a drive control unit thereof, and the dicer is connected to the substrate corresponding to the solder balls of the electronic component constituting the BGA structure. A manufacturing apparatus controlled to cut only a substrate using a space (gap). 前記個片カット時の切りくずを前記電子部品の搭載面に回りこまないように、該ダイサーは、2回に分けてカットするように制御されたことを特徴とする、請求項7に記載の製造装置。   The dicer is controlled to be cut in two times so that chips when the individual pieces are cut do not wrap around the mounting surface of the electronic component. manufacturing device.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2019083547A (en) * 2019-01-16 2019-05-30 太陽誘電株式会社 Wireless module and manufacturing method of wireless module
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