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JP2013169545A - Liquid applying apparatus - Google Patents

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JP2013169545A
JP2013169545A JP2012037329A JP2012037329A JP2013169545A JP 2013169545 A JP2013169545 A JP 2013169545A JP 2012037329 A JP2012037329 A JP 2012037329A JP 2012037329 A JP2012037329 A JP 2012037329A JP 2013169545 A JP2013169545 A JP 2013169545A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
liquid
dispensing unit
application
coating
Prior art date
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Pending
Application number
JP2012037329A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Mitsuo Sato
充朗 佐藤
Hidetsugu Kawai
英嗣 河合
Shinji Kobayashi
真司 小林
Katsuhiro Yamamoto
勝博 山本
Masahito Sumikawa
雅人 住川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP2012037329A priority Critical patent/JP2013169545A/en
Publication of JP2013169545A publication Critical patent/JP2013169545A/en
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Abstract

【課題】薄く長大なため撓みやすい基板であっても生産性を損なうことなく、精度良く液体材料を塗布することができる液体塗布装置を提供する。
【解決手段】液体塗布装置1001は、基板に向けて液体材料を吐出する吐出口を有するディスペンスユニット100と、ディスペンスユニット100を少なくとも前記基板の表面に垂直な方向に変位させる駆動機構200と、ディスペンスユニット100から前記基板に向かって突出するように配置された基板押さえ機構400とを備え、基板押さえ機構400は、ディスペンスユニット100が駆動機構200によって前記基板に接近するように変位させられた状態のもとで前記基板を押さえつけることができるものである。
【選択図】図1
Provided is a liquid coating apparatus capable of accurately coating a liquid material without impairing productivity even if the substrate is thin and long and easily bent.
A liquid application apparatus includes a dispensing unit having a discharge port that discharges a liquid material toward a substrate, a driving mechanism that displaces the dispensing unit in at least a direction perpendicular to the surface of the substrate, and a dispensing. A substrate pressing mechanism 400 disposed so as to protrude from the unit 100 toward the substrate, and the substrate pressing mechanism 400 is in a state where the dispensing unit 100 is displaced so as to approach the substrate by the driving mechanism 200. Originally, the substrate can be pressed.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、液体材料を基板に塗布するための液体塗布装置に関するものである。   The present invention relates to a liquid application apparatus for applying a liquid material to a substrate.

昨今のLEDパッケージでは、蛍光体を含んだ樹脂によって封止するという構造が採用される場合がある。そのような樹脂の塗布方法としては、ディスペンス方式が主流である。ディスペンス方式で塗布を行なうためには、樹脂吐出時のノズルと基板との間のギャップを一定に保つことが求められる。ギャップがばらつくと基板への樹脂塗布量がばらつくからである。   In recent LED packages, a structure of sealing with a resin containing a phosphor may be employed. As such a resin coating method, a dispensing method is mainly used. In order to perform application by the dispensing method, it is required to keep the gap between the nozzle and the substrate during resin discharge constant. This is because if the gap varies, the amount of resin applied to the substrate varies.

ギャップが適切な場合、ノズルから吐出された樹脂はすべて基板側に転写される。一方で、ギャップが狭すぎる場合には、吐出された樹脂に対してノズルの先端が挿入された状態となり、吐出された樹脂に触れるノズルの表面積が増えるため、ノズルに付着する樹脂の量が増える。その分、基板に塗布される樹脂の量は減る。また、ギャップが広すぎる場合にはノズルから吐出される樹脂が基板に達する量が少なくなるため、ノズルへの樹脂付着量が増え、基板に塗布される樹脂の量は減る。さらに、ノズルに付着する樹脂の量が増えた場合には、ノズルに付着していた樹脂はその後の塗布における不所望なタイミングで基板側に転写されるので、基板への樹脂塗布量が局所的に増える部位が発生する。   When the gap is appropriate, all the resin discharged from the nozzle is transferred to the substrate side. On the other hand, when the gap is too narrow, the tip of the nozzle is inserted into the discharged resin, and the surface area of the nozzle that touches the discharged resin increases, so the amount of resin adhering to the nozzle increases. . Accordingly, the amount of resin applied to the substrate is reduced. In addition, when the gap is too wide, the amount of resin discharged from the nozzle reaches the substrate decreases, so that the amount of resin adhering to the nozzle increases and the amount of resin applied to the substrate decreases. Furthermore, when the amount of resin adhering to the nozzle increases, the resin adhering to the nozzle is transferred to the substrate side at an undesired timing in the subsequent application, so the amount of resin applied to the substrate is locally Increased parts are generated.

さらにギャップが広すぎる場合には樹脂が基板に達せず、吐出した樹脂がすべてノズルに這い上がってしまい、基板への転写不良が発生する。   Further, when the gap is too wide, the resin does not reach the substrate, and all the discharged resin crawls up to the nozzle, resulting in poor transfer to the substrate.

以上のように、ギャップのばらつきによって、ディスペンスユニットから吐出された後の樹脂が基板側に全部転写されるか、いくらかがノズル側に残ってしまうか、すべてがノズル側に這い上がってしまうか、という差が発生する。つまり、ノズルから吐出される樹脂量は一定であっても、ギャップのばらつきによって、基板側に転写される樹脂量のばらつきが発生する。   As described above, due to gap variation, whether the resin discharged from the dispensing unit is completely transferred to the substrate side, how much resin remains on the nozzle side, or everything rises to the nozzle side, A difference occurs. That is, even if the amount of resin discharged from the nozzle is constant, variation in the amount of resin transferred to the substrate side occurs due to variation in gap.

塗布される樹脂量がばらつくことで、パッケージごとの蛍光体量がばらつき、色度ばらつきが発生する。たとえば、LEDパッケージを液晶テレビのバックライトモジュールとして利用する場合、色度ばらつきはバックライト上で色むらとして見える。バックライトとして色むらを発生させないためには、LEDパッケージの組合せを選択する必要がある。このような組合せを可能にして調整するためにはLEDパッケージの中間在庫を多く備えておかなければならない。したがって、LEDパッケージの色度ばらつきは、LEDパッケージの中間在庫の増加につながり、コストアップの要因となる。   When the amount of resin applied varies, the amount of phosphor varies from package to package and chromaticity variation occurs. For example, when the LED package is used as a backlight module of a liquid crystal television, the chromaticity variation appears as uneven color on the backlight. In order to prevent color unevenness as a backlight, it is necessary to select a combination of LED packages. In order to allow and adjust such combinations, a large intermediate inventory of LED packages must be provided. Therefore, the chromaticity variation of the LED package leads to an increase in the intermediate inventory of the LED package, which increases the cost.

このため、基板とノズルとの間のギャップを一定に保つ手段は、LEDの製造プロセス上重要であり、様々な発明がされている。   For this reason, means for keeping the gap between the substrate and the nozzle constant is important in the LED manufacturing process, and various inventions have been made.

基板とノズルとの間のギャップを管理する技術のひとつとして、特開2006−170724号公報(特許文献1)に記載されたものがある。この技術によれば、塗布装置に搭載されたレーザー変位計を用いて基板高さを検出する。この技術によれば、検出される基板高さに応じて、ノズルと基板との間のギャップが一定になるようヘッドのZ方向移動量を変化させる。   One technique for managing the gap between the substrate and the nozzle is described in Japanese Patent Laid-Open No. 2006-170724 (Patent Document 1). According to this technique, the height of the substrate is detected using a laser displacement meter mounted on the coating apparatus. According to this technique, the amount of movement of the head in the Z direction is changed according to the detected substrate height so that the gap between the nozzle and the substrate is constant.

特開2006−170724号公報JP 2006-170724 A

特許文献1に記載の技術で、基板とノズルとのギャップを一定に保つためには、塗布点の全てにおいて基板高さの検出を行なう必要がある。実際には、全ての塗布点において基板高さを検出しようとすれば、塗布工程のタクトタイムが長くなってしまう。あるいは、塗布装置設置台数を増加せざるを得なくなる。したがって、全ての塗布点において基板高さを検出することは、生産性の観点から問題の残るものであった。   In order to keep the gap between the substrate and the nozzle constant with the technique described in Patent Document 1, it is necessary to detect the substrate height at all the application points. Actually, if it is attempted to detect the substrate height at all the application points, the tact time of the application process becomes longer. Alternatively, the number of coating apparatus installed must be increased. Therefore, detecting the substrate height at all application points remains a problem from the viewpoint of productivity.

上述の理由から、全塗布点において基板高さの検出を行なうことはやめ、基板表面の1点ないし数点における高さのみを検出し、その高さの値を代表値として扱うことによって各塗布点の塗布時に必要なヘッドのZ方向移動量を算出するという技術が考えられる。   For the reasons described above, the detection of the substrate height is not performed at all application points, only the height at one or several points on the surface of the substrate is detected, and the value of each height is treated as a representative value. A technique of calculating the amount of movement of the head in the Z direction required at the time of coating is conceivable.

しかし、このような技術の実施には、代表値とされた高さの値と各塗布点での実際の基板高さとが、ある程度の精度で揃っていることが前提となっている。したがって、基板高さの計測点数を削減しても十分実用に耐えうるためには、基板を精度よく押さえる必要がある。   However, the implementation of such a technique is based on the premise that the height value as the representative value and the actual substrate height at each application point are aligned with a certain degree of accuracy. Therefore, it is necessary to hold the substrate with high accuracy in order to withstand practical use even if the number of measurement points of the substrate height is reduced.

基板を押さえる方法として、従来、基板をベースプレートと押さえ冶具とで挟み込む方法がある。しかし、この方法では、ノズルと押さえ冶具との干渉を避けるために、押さえ冶具の押さえ機構および押さえ冶具の厚みには自ずと制限がある。したがって、リードフレームにチップを直接実装するCOB基板のような、サイズが長大でなおかつ薄く撓みやすい基板を精度良く押さえることが難しい。このような基板に対しては、基板高さの計測点数を削減して定量塗布を行なうことは難しい。   As a method of pressing the substrate, there is a conventional method of sandwiching the substrate between a base plate and a pressing jig. However, in this method, in order to avoid interference between the nozzle and the pressing jig, the pressing mechanism of the pressing jig and the thickness of the pressing jig are naturally limited. Therefore, it is difficult to accurately hold a substrate having a large size and being thin and easily bent, such as a COB substrate in which a chip is directly mounted on a lead frame. For such a substrate, it is difficult to perform quantitative application by reducing the number of measurement points of the substrate height.

本発明は、上述した問題点を解決すべくなされたものであり、薄く長大なため撓みやすい基板であっても生産性を損なうことなく、精度良く液体材料を塗布することができる液体塗布装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and a liquid application apparatus that can apply a liquid material with high accuracy without impairing productivity even if the substrate is thin and long and easily bent. The purpose is to provide.

上記目的を達成するため、本発明に基づく液体塗布装置は、基板に向けて液体材料を吐出する吐出口を有するディスペンスユニットと、上記ディスペンスユニットを少なくとも上記基板の表面に垂直な方向に変位させる駆動機構と、上記ディスペンスユニットから上記基板に向かって突出するように配置された基板押さえ機構とを備え、上記基板押さえ機構は、上記ディスペンスユニットが上記駆動機構によって上記基板に接近するように変位させられた状態のもとで上記基板を押さえつけることができるものである。   In order to achieve the above object, a liquid coating apparatus according to the present invention includes a dispensing unit having a discharge port for discharging a liquid material toward a substrate, and a drive for displacing the dispensing unit in a direction perpendicular to at least the surface of the substrate. And a substrate pressing mechanism disposed so as to protrude from the dispensing unit toward the substrate, and the substrate pressing mechanism is displaced so that the dispensing unit approaches the substrate by the driving mechanism. The substrate can be pressed under the condition.

本発明によれば、塗布時のディスペンスユニットを下降させる動作によって、当接部が基板の塗布点付近のみを選択的に下方に付勢するので、長大かつ撓みやすい基板であっても精度良く押さえることができ、生産性を損なうことなく、精度良く原料を塗布することができる。   According to the present invention, the abutment portion selectively biases only the vicinity of the application point of the substrate downward by the operation of lowering the dispensing unit at the time of application, so that even a long and flexible substrate can be accurately controlled. Therefore, the raw material can be applied with high accuracy without impairing productivity.

本発明に基づく実施の形態1における液体塗布装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the liquid coating device in Embodiment 1 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態1における液体塗布装置が備えるディスペンスユニットの概略構成図である。It is a schematic block diagram of the dispensing unit with which the liquid application apparatus in Embodiment 1 based on this invention is provided. 本発明に基づく実施の形態1における液体塗布装置の実施例1が備える基板押さえ機構の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the board | substrate holding | suppressing mechanism with which Example 1 of the liquid coating device in Embodiment 1 based on this invention is provided. 本発明に基づく実施の形態1における液体塗布装置の実施例2が備える基板押さえ機構の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the board | substrate holding | suppressing mechanism with which Example 2 of the liquid coating device in Embodiment 1 based on this invention is provided. 本発明に基づく実施の形態1における液体塗布装置の実施例3が備える基板押さえ機構の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the board | substrate holding | suppressing mechanism with which Example 3 of the liquid coating device in Embodiment 1 based on this invention is provided. 本発明に基づく実施の形態1における液体塗布装置の実施例4が備える基板押さえ機構の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the board | substrate holding | suppressing mechanism with which Example 4 of the liquid coating device in Embodiment 1 based on this invention is provided. 本発明に基づく実施の形態1における液体塗布装置の実施例5が備える基板押さえ機構の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the board | substrate holding | suppressing mechanism with which Example 5 of the liquid coating device in Embodiment 1 based on this invention is provided. 本発明に基づく実施の形態1における液体塗布装置の実施例6が備える基板押さえ機構の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the board | substrate holding | suppressing mechanism with which Example 6 of the liquid coating device in Embodiment 1 based on this invention is provided. 一般的な塗布装置における塗布方法の第1の説明図である。It is the 1st explanatory view of the application method in a general application device. 一般的な塗布装置における塗布方法の第2の説明図である。It is the 2nd explanatory view of the application method in a general application device. 従来の問題点に関する考察の説明図である。It is explanatory drawing of consideration regarding the conventional problem. 本発明に基づく塗布装置における塗布方法の第1の説明図である。It is 1st explanatory drawing of the coating method in the coating device based on this invention. 本発明に基づく塗布装置における塗布方法の第2の説明図である。It is 2nd explanatory drawing of the coating method in the coating device based on this invention. 本発明に基づく塗布装置によって第1の塗布点に塗布を行なう状態の説明図である。It is explanatory drawing of the state which apply | coats to a 1st application | coating point with the coating device based on this invention. 本発明に基づく塗布装置によって第2の塗布点に塗布を行なう状態の説明図である。It is explanatory drawing of the state which apply | coats to a 2nd application | coating point with the coating device based on this invention. 本発明に基づく実施の形態1における液体塗布装置による実験結果を示すグラフである。It is a graph which shows the experimental result by the liquid coating device in Embodiment 1 based on this invention.

以下、本発明を適用した実施の形態について図面を参照して説明する。ただし、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではない。すなわち、以下の実施の形態で説明するすべての構成が本発明にとって必須であるとは限らない。また、本発明は、以下の内容を自由に組み合わせたものを含む。   Embodiments to which the present invention is applied will be described below with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the following embodiments. That is, all the configurations described in the following embodiments are not necessarily essential to the present invention. Moreover, this invention includes what combined the following content freely.

図1は、本発明に基づく液体塗布装置の概略構成図である。図2は、本発明に基づく液体塗布装置が備えるディスペンスユニットの概略構成図である。図3〜図8は、本発明に基づく実施の形態におけるいくつかの実施例による基板押さえ機構の概略構成図である。図9〜図10は、一般的な塗布の方法についての詳細を示す概念図である。図11は、本発明が解決しようとする課題をさらに詳細に説明するための状態説明図である。図12〜図13は、本発明に基づく実施の形態による塗布方法についての詳細を示す概念図である。図14〜図15は、本発明に基づく液体塗布装置によって、基板の高さのばらつきが矯正されることを説明するための説明図である。図16は、本発明に基づく液体塗布装置によって行なった液体材料の定量塗布実験の結果を示すグラフである。   FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a liquid coating apparatus according to the present invention. FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a dispensing unit provided in the liquid coating apparatus according to the present invention. 3-8 is a schematic block diagram of the board | substrate holding | suppressing mechanism by some examples in embodiment based on this invention. FIG. 9 to FIG. 10 are conceptual diagrams showing details of a general application method. FIG. 11 is a state explanatory diagram for explaining the problem to be solved by the present invention in more detail. 12 to 13 are conceptual diagrams showing details of the coating method according to the embodiment of the present invention. 14-15 is explanatory drawing for demonstrating that the dispersion | variation in the height of a board | substrate is corrected with the liquid application apparatus based on this invention. FIG. 16 is a graph showing the results of a quantitative application experiment of the liquid material performed by the liquid application apparatus according to the present invention.

(実施の形態1)
(液体塗布装置の構成)
本発明に基づく実施の形態1における液体塗布装置の構成を図1に示す。液体塗布装置1001は、基板に向けて液体材料を吐出する吐出口を有するディスペンスユニット100と、ディスペンスユニット100を少なくとも前記基板の表面に垂直な方向に変位させる駆動機構200と、ディスペンスユニット100から前記基板に向かって突出するように配置された基板押さえ機構400とを備える。基板押さえ機構400は、ディスペンスユニット100が駆動機構200によって前記基板に接近するように変位させられた状態のもとで前記基板を押さえつけることができるものである。液体塗布装置1001は、検出機構300も備える。
(Embodiment 1)
(Configuration of liquid application device)
FIG. 1 shows the configuration of the liquid coating apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. The liquid coating apparatus 1001 includes a dispensing unit 100 having a discharge port for discharging a liquid material toward a substrate, a driving mechanism 200 that displaces the dispensing unit 100 in a direction at least perpendicular to the surface of the substrate, and the dispensing unit 100 And a substrate pressing mechanism 400 arranged so as to protrude toward the substrate. The substrate pressing mechanism 400 can press the substrate under a state where the dispensing unit 100 is displaced by the drive mechanism 200 so as to approach the substrate. The liquid coating apparatus 1001 also includes a detection mechanism 300.

以下、これらの各構成要素の具体的な構成について説明する。
(ディスペンスユニット)
ディスペンスユニット100について、図2を参照しつつ説明する。ディスペンスユニット100は、塗布されるべき液体材料を貯留する貯留機構11と、液体材料を吐出する吐出口12aを有する液体塗布ノズル12と、貯留機構11から液体塗布ノズル12への液体供給を制御し、液体材料の吐出量を制御する吐出機構13とを備える。
Hereinafter, specific configurations of these components will be described.
(Dispensing unit)
The dispensing unit 100 will be described with reference to FIG. The dispensing unit 100 controls the liquid supply from the storage mechanism 11 for storing the liquid material to be applied, the liquid application nozzle 12 having the discharge port 12a for discharging the liquid material, and the liquid application nozzle 12 from the storage mechanism 11. And a discharge mechanism 13 for controlling the discharge amount of the liquid material.

貯留機構11としては、たとえば武蔵エンジニアリング株式会社製のクリアシリンジPSY−Eシリーズなどを使用することができる。液体塗布ノズル12としては、たとえばテクダイヤ株式会社製のノズルARQUEシリーズなどを使用することができる。吐出機構13としては、たとえば武蔵エンジニアリング株式会社製のMEASURING MASTER MPP−1、同社製のML−5000XIIなどを使用することができる。   As the storage mechanism 11, for example, a clear syringe PSY-E series manufactured by Musashi Engineering Co., Ltd. can be used. As the liquid application nozzle 12, for example, a nozzle ARQUE series manufactured by Techdia Co., Ltd. can be used. As the discharge mechanism 13, for example, MEASURING MASTER MPP-1 manufactured by Musashi Engineering Co., Ltd., ML-5000XII manufactured by the same company, or the like can be used.

(駆動機構)
図1に示される駆動機構200については、直交する3次元駆動軸(たとえば、x,y,z軸)を有する機構であればよく、これらが独立して動作するものであれば、特に限定されるものではない。駆動機構200としては、たとえば、武蔵エンジニアリング株式会社製FAD320s、同社製のSHOT MASTERシリーズなどを使用することができる。
(Drive mechanism)
The drive mechanism 200 shown in FIG. 1 may be a mechanism having orthogonal three-dimensional drive axes (for example, x, y, and z axes), and is particularly limited as long as these operate independently. It is not something. As the drive mechanism 200, for example, FAD320s manufactured by Musashi Engineering Co., Ltd., SHOT MASTER series manufactured by the same company, or the like can be used.

(検出機構)
検出機構300について説明する。検出機構300は、放射部からレーザ光を照射し、対象物で反射して返ってきたレーザ光を受光する。検出機構300は、受光されたレーザ光の波長と、検出機構内部300で基準として設定されている波長との差から、液体塗布ノズル12から対象物までの距離を算出する。この距離をコントロールするように駆動機構200は制御される。
(Detection mechanism)
The detection mechanism 300 will be described. The detection mechanism 300 irradiates the laser beam from the radiating unit and receives the laser beam reflected and returned from the object. The detection mechanism 300 calculates the distance from the liquid application nozzle 12 to the object from the difference between the wavelength of the received laser beam and the wavelength set as a reference in the detection mechanism internal 300. The drive mechanism 200 is controlled to control this distance.

本実施の形態においては、検出機構300は、液体塗布ノズル12と対象物との距離を算出できるものであればよく、ここで説明したようなレーザ光を利用したものに限定されるものではない。   In the present embodiment, the detection mechanism 300 only needs to be able to calculate the distance between the liquid application nozzle 12 and the object, and is not limited to the one using the laser beam as described here. .

(基板押さえ機構)
基板押さえ機構400について、図3を参照しつつ説明する。
(Substrate holding mechanism)
The substrate pressing mechanism 400 will be described with reference to FIG.

基板押さえ機構400は、ディスペンスユニット100から突出するように延在する支承部42を備え、支承部42の先端には、基板51に押し当てられる当接部41が支持されている。当接部41は基板押さえ機構400の一部である。当接部41の構造については、以下のようにさまざまなバリエーションが考えられる。   The substrate pressing mechanism 400 includes a support portion 42 that extends so as to protrude from the dispensing unit 100, and a contact portion 41 that is pressed against the substrate 51 is supported at the tip of the support portion 42. The contact portion 41 is a part of the substrate pressing mechanism 400. About the structure of the contact part 41, various variations are considered as follows.

(実施例1)
図3を参照して、実施例1における基板押さえ機構400について説明する。基板押さえ機構400は、吐出口12aから基板51に向かって延ばした直線52と基板51の表面54との交点55を挟む2つの部位において基板51に当接する当接部41を備える。この構成であれば、ディスペンスユニット100が下降する際に当接部41が基板51に接触することで基板51を下方に付勢することが可能である。また、当接部41は、交点55を挟む2つの部位において基板51に当接するように配置されているので、液体塗布ノズル12から吐出された液体と当接部41との干渉を避けることができる。図3に示したように、基板51が細長い帯状のものであって、基板51の中心線53に沿って相対移動しながら液体材料の塗布を行なっていくべきものである場合、当接部41は、中心線53を挟む2つの部位で基板51に当接することが好ましい。
Example 1
With reference to FIG. 3, the board | substrate holding | suppressing mechanism 400 in Example 1 is demonstrated. The substrate pressing mechanism 400 includes an abutting portion 41 that abuts on the substrate 51 at two portions sandwiching an intersection 55 between a straight line 52 extending from the discharge port 12 a toward the substrate 51 and the surface 54 of the substrate 51. With this configuration, the substrate 51 can be urged downward by the contact portion 41 coming into contact with the substrate 51 when the dispensing unit 100 is lowered. Further, since the abutting portion 41 is disposed so as to abut on the substrate 51 at two portions sandwiching the intersection 55, it is possible to avoid interference between the liquid ejected from the liquid application nozzle 12 and the abutting portion 41. it can. As shown in FIG. 3, when the substrate 51 is in the form of an elongated band and the liquid material should be applied while moving relatively along the center line 53 of the substrate 51, the contact portion 41. Is preferably in contact with the substrate 51 at two portions sandwiching the center line 53.

(実施例2)
図4を参照して、実施例2における基板押さえ機構400について説明する。基板押さえ機構400においては、実施例1で述べたような当接部41を備え、当接部41は、基板51の表面54に平行な面を有し、前記2つの部位において互いに平行な線状に延在している。この構成であれば、実施例1で述べた効果を得ることができ、なおかつ、実施例1よりさらに安定して基板を押さえることができる。図4に示すように基板51が細長い帯状である場合に、このような線状に延在する当接部41は効率良く基板51を押さえることができる。図4に示した例では、ディスペンスユニット100は、基板51の中心線53に沿って相対移動しながら液体材料の塗布を順次行なっている。
(Example 2)
With reference to FIG. 4, the board | substrate holding | suppressing mechanism 400 in Example 2 is demonstrated. The substrate pressing mechanism 400 includes the contact portion 41 as described in the first embodiment. The contact portion 41 has a surface parallel to the surface 54 of the substrate 51, and the two portions are parallel to each other. It extends to the shape. With this configuration, the effects described in the first embodiment can be obtained, and the substrate can be pressed more stably than in the first embodiment. As shown in FIG. 4, when the substrate 51 has an elongated strip shape, the contact portion 41 extending in such a linear shape can efficiently hold the substrate 51. In the example shown in FIG. 4, the dispensing unit 100 sequentially applies the liquid material while relatively moving along the center line 53 of the substrate 51.

(実施例3)
図5を参照して、実施例3における基板押さえ機構400について説明する。基板押さえ機構400は、吐出口12aから基板51に向かって延ばした直線52と基板51の表面54との交点55から離隔しつつ交点55を取り囲むように、基板51の表面に平行な環状となった当接部41を備える。この構成であれば、交点55を中心として均一に基板に押圧力を付勢することが可能である。したがって、実施例1で述べた効果を得ることができ、なおかつ、実施例1,2よりさらに安定して基板を押さえることができる。
(Example 3)
With reference to FIG. 5, the board | substrate holding | suppressing mechanism 400 in Example 3 is demonstrated. The substrate pressing mechanism 400 has an annular shape parallel to the surface of the substrate 51 so as to surround the intersection point 55 while being separated from the intersection point 55 between the straight line 52 extending from the discharge port 12a toward the substrate 51 and the surface 54 of the substrate 51. A contact portion 41 is provided. With this configuration, it is possible to apply a pressing force to the substrate uniformly around the intersection 55. Therefore, the effects described in the first embodiment can be obtained, and the substrate can be pressed more stably than the first and second embodiments.

(実施例4)
図6を参照して、実施例4における基板押さえ機構400について説明する。基板押さえ機構400においては、実施例3で述べたような当接部41を備え、当接部41は、矩形の環状となっている。この構成であっても、実施例3で述べた効果を得ることができる。さらに当接部41が矩形の環状であることから、当接部41の内側の領域を広く確保することができる。
Example 4
With reference to FIG. 6, the board | substrate holding | suppressing mechanism 400 in Example 4 is demonstrated. The substrate pressing mechanism 400 includes the contact portion 41 as described in the third embodiment, and the contact portion 41 has a rectangular annular shape. Even with this configuration, the effects described in the third embodiment can be obtained. Furthermore, since the contact part 41 is a rectangular annular shape, a wide area inside the contact part 41 can be secured.

なお、実施例1〜4の構成において、ディスペンスユニット100と当接部41とを接続する支承部42は、基板51に過大な荷重が付与されることを避ける観点から、弾性部材によって形成されていることが好ましい。   In addition, in the structure of Examples 1-4, the support part 42 which connects the dispensing unit 100 and the contact part 41 is formed of the elastic member from a viewpoint which avoids applying an excessive load to the board | substrate 51. Preferably it is.

さらには、当接部41自体も、基板51に過大な荷重が付与されることを避ける観点から、弾性部材によって形成されていることが好ましい。   Furthermore, the contact portion 41 itself is preferably formed of an elastic member from the viewpoint of avoiding applying an excessive load to the substrate 51.

なお、ここでいう「弾性部材」とは、外部から力が付与されると変形するが、除荷されると元の形状に戻る性質をもった材料を指す。たとえば、乗用車のタイヤなどに使用されるSBR(スチレンブタジエンゴム)が挙げられる。ただし、これに限定されるものではなく、基板51が破損しない範囲の力で上述した性質を持っていればよく、基板の種類に応じて適宜選択することでできる。   Here, the “elastic member” refers to a material that has the property of deforming when a force is applied from the outside but returning to its original shape when unloaded. For example, SBR (styrene butadiene rubber) used for tires of passenger cars and the like can be mentioned. However, the present invention is not limited to this, and it is only necessary to have the above-described properties with a force within a range in which the substrate 51 is not damaged, and can be appropriately selected according to the type of the substrate.

(実施例5)
図7を参照して、実施例5における基板押さえ機構400について説明する。当接部41が線状に延在するものであって、支承部42および当接部41が弾性部材によって形成される場合、当接部41と基板51の表面54との摩擦力が緩和されるよう、当接部41の先端部41eが基板51から遠ざかる側に湾曲していてもよい。この構成であれば、当接部41が基板51の表面54に接触した状態のまま、ディスペンスユニット100を先端部41eの側に相対移動させた場合の基板51のずれ量を低減することができる。したがって、点塗布以外の塗布動作にも対応することが可能となる。
(Example 5)
With reference to FIG. 7, the board | substrate holding | suppressing mechanism 400 in Example 5 is demonstrated. When the contact portion 41 extends linearly and the support portion 42 and the contact portion 41 are formed of an elastic member, the frictional force between the contact portion 41 and the surface 54 of the substrate 51 is reduced. As described above, the tip end portion 41 e of the contact portion 41 may be curved toward the side away from the substrate 51. With this configuration, it is possible to reduce the amount of displacement of the substrate 51 when the dispensing unit 100 is relatively moved toward the distal end portion 41e while the contact portion 41 is in contact with the surface 54 of the substrate 51. . Therefore, it is possible to deal with application operations other than point application.

(実施例6)
図8を参照して、実施例6における基板押さえ機構400について説明する。支承部42および当接部41が弾性部材によって形成される場合、当接部41が、基板51と平行かつディスペンスユニット100の進行方向に垂直な回転軸を有する円柱形状であってもよい。この当接部41は支承部42によって回動可能に支持されている。この構成を採用することにより、当接部41が基板51の表面54に接触した状態のままディスペンスユニット100を基板51に平行な矢印91の方向に移動させることで、回転軸を中心に円柱形状の当接部41が回転する。したがって、基板51を当接部41で押さえつけた状態のまま、ディスペンスユニット100を基板51と平行に移動させることが可能となる。
(Example 6)
With reference to FIG. 8, the board | substrate holding | suppressing mechanism 400 in Example 6 is demonstrated. When the support part 42 and the contact part 41 are formed of an elastic member, the contact part 41 may have a cylindrical shape having a rotation axis parallel to the substrate 51 and perpendicular to the traveling direction of the dispense unit 100. The contact portion 41 is rotatably supported by a support portion 42. By adopting this configuration, the dispensing unit 100 is moved in the direction of the arrow 91 parallel to the substrate 51 while the contact portion 41 is in contact with the surface 54 of the substrate 51, so that a cylindrical shape is formed around the rotation axis. The abutting portion 41 rotates. Therefore, the dispensing unit 100 can be moved in parallel with the substrate 51 while the substrate 51 is pressed by the contact portion 41.

さらに、上述の全ての実施例において、支承部42には、ディスペンスユニット100と当接部41との間の距離を調節する支承距離調整手段を設けてもよい。支承距離調節手段はマイクロメータのように手動で操作するものであってもよいが、吐出機構13、駆動機構200のプログラムと連動して自動で動作するものが好ましい。この機構は塗布動作における当接部41と液体塗布ノズル12との距離を可変にすることを意味する。この機構を採用することにより、たとえば当接部41が基板51と接触した状態を保ちながら、ディスペンスユニット100を引き離すことが可能となる。   Furthermore, in all the embodiments described above, the support portion 42 may be provided with a support distance adjusting means for adjusting the distance between the dispensing unit 100 and the contact portion 41. The support distance adjusting means may be manually operated like a micrometer, but is preferably one that automatically operates in conjunction with the program of the discharge mechanism 13 and the drive mechanism 200. This mechanism means that the distance between the contact portion 41 and the liquid application nozzle 12 in the application operation is variable. By adopting this mechanism, for example, the dispensing unit 100 can be pulled apart while keeping the contact portion 41 in contact with the substrate 51.

なお、当接部41の構造は、基板51を十分に押さえることができ、かつ液体塗布ノズル12から吐出された液体材料と当接部41とが干渉することのない構造であればよく、上述した実施例の形状のみに限定されるものではない。   The structure of the contact portion 41 may be any structure as long as it can sufficiently hold the substrate 51 and does not interfere with the liquid material discharged from the liquid application nozzle 12 and the contact portion 41. It is not limited only to the shape of the embodiment.

また、当接部41と支承部42との連結方式、および、支承部42とディスペンスユニット100との連結方式は特に限定されるものではない。   Moreover, the connection method of the contact part 41 and the support part 42, and the connection method of the support part 42 and the dispensing unit 100 are not specifically limited.

(塗布動作)
一般的な塗布装置における塗布方法について、図9および図10を参照しつつ説明する。
(Coating operation)
A coating method in a general coating apparatus will be described with reference to FIGS. 9 and 10.

一般的な塗布装置における塗布方法は以下の手順で行われる。
工程S101:検出機構300によって、基板51の基準高さ61を測定する。
工程S102:駆動機構200により、塗布を行なうべき点の真上へディスペンスユニット100を移動させる。
工程S103:工程S101で得た基準高さ61を基準として、ディスペンスユニット100を下降させる。液体塗布ノズル12が指定した高さ62となるまで駆動機構200によりディスペンスユニット100を下降させる。
工程S104:液体塗布ノズル12から基板51に向けて液体材料9を吐出する。
工程S105:吐出した液体材料9を液体塗布ノズル12から切り離すため、駆動機構200によりディスペンスユニット100を上昇させる。
A coating method in a general coating apparatus is performed according to the following procedure.
Step S101: The reference height 61 of the substrate 51 is measured by the detection mechanism 300.
Step S102: The dispensing unit 100 is moved by the drive mechanism 200 to a position just above the point where the application is to be performed.
Step S103: The dispensing unit 100 is lowered with reference to the reference height 61 obtained in Step S101. The dispensing unit 100 is lowered by the drive mechanism 200 until the liquid application nozzle 12 reaches the designated height 62.
Step S104: The liquid material 9 is discharged from the liquid application nozzle 12 toward the substrate 51.
Step S <b> 105: In order to separate the discharged liquid material 9 from the liquid application nozzle 12, the dispensing unit 100 is raised by the drive mechanism 200.

以降、工程S102〜工程S105を繰り返す。図10では、工程S102′、工程S103′と続けて行なう様子が例示されている。   Thereafter, step S102 to step S105 are repeated. FIG. 10 illustrates a state in which the steps S102 ′ and S103 ′ are performed.

(従来の問題点に関する考察)
従来、基板を押さえる方法としては、基板をベースプレートと押さえ冶具で挟み込む方法が一般的である。この方法は、ノズルと冶具との干渉を避けるために、冶具の押さえ機構および冶具の厚みに制限がある。よって、基板を押さえるために十分な押さえ冶具を適用できない場合があり、基板高さのばらつきが発生する。
(Consideration of conventional problems)
Conventionally, as a method of pressing the substrate, a method of sandwiching the substrate with a base plate and a pressing jig is generally used. In this method, in order to avoid interference between the nozzle and the jig, there is a limitation on the thickness of the jig holding mechanism and the jig. Therefore, there are cases where a pressing jig sufficient to hold the substrate cannot be applied, resulting in variations in the substrate height.

基板高さのばらつきが発生すると、図11で示すように、塗布点ごとのギャップ63,64,65のばらつきが起こる。そのため、生産性を損なうことなく単純に液体材料の塗布を繰り返した場合、液体材料の塗布量にばらつきが生じてしまう。   When the substrate height varies, as shown in FIG. 11, the gaps 63, 64, and 65 vary from application point to application point. For this reason, when the application of the liquid material is simply repeated without impairing the productivity, the application amount of the liquid material will vary.

(塗布動作)
本発明に基づく液体塗布装置を用いる場合の塗布方法について、図12および図13を参照しつつ説明する。
(Coating operation)
A coating method using the liquid coating apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS.

この塗布方法は以下の手順で行われる。
工程S1:検出機構300によって、ベースプレート70の基準高さ71を測定する。
工程S2:塗布を行なう点の真上へ駆動機構200によりディスペンスユニット100を移動させる。
工程S3:工程S1で得たベースプレート70の基準高さ71を基準として、ディスペンスユニット100を下降させ、液体塗布ノズル12が指定した高さ72となるまで駆動機構200によりディスペンスユニット100を下降させる。この際に、基板押さえ機構400に備えられた当接部41が基板51に接触することで、基板51が下方に付勢される。
工程S4:液体塗布ノズル12から基板51に向けて液体材料9を吐出する。
工程S5:吐出した液体材料9を液体塗布ノズル12から切り離すため、駆動機構200によりディスペンスユニット100を上昇させる。
This coating method is performed according to the following procedure.
Step S1: The reference height 71 of the base plate 70 is measured by the detection mechanism 300.
Step S2: The dispensing unit 100 is moved by the drive mechanism 200 directly above the point where the application is performed.
Step S3: The dispensing unit 100 is lowered with reference to the reference height 71 of the base plate 70 obtained in step S1, and the dispensing unit 100 is lowered by the driving mechanism 200 until the liquid application nozzle 12 reaches the designated height 72. At this time, the contact portion 41 provided in the substrate pressing mechanism 400 comes into contact with the substrate 51, thereby biasing the substrate 51 downward.
Step S4: The liquid material 9 is discharged from the liquid application nozzle 12 toward the substrate 51.
Step S5: In order to separate the discharged liquid material 9 from the liquid application nozzle 12, the dispensing unit 100 is raised by the drive mechanism 200.

以降、工程S2〜工程S5を繰り返す。図13では、工程S2′、工程S3′と続けて行なう様子が例示されている。   Thereafter, step S2 to step S5 are repeated. FIG. 13 illustrates a state in which the steps S2 ′ and S3 ′ are performed subsequently.

本発明に基づく液体塗布装置を用いる塗布方法での、ディスペンスユニット100と基板51の表面54との間のギャップの推移について、図14、図15を参照しつつ説明する。   The transition of the gap between the dispensing unit 100 and the surface 54 of the substrate 51 in the coating method using the liquid coating apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS.

工程S3におけるディスペンスユニット100を下降させる動作によって、当接部41が状態81にある基板51の表面54に接触し、基板51を押し下げる。すなわち、塗布の瞬間において基板51の塗布点付近のみを選択的に下方に押さえつける。この動作によって、ディスペンスユニット100と基板51の表面54とのギャップは、少なくとも塗布を行なう瞬間において、塗布点に関わらず常に一定に保つことが可能となる。   By the operation of lowering the dispensing unit 100 in step S3, the contact portion 41 contacts the surface 54 of the substrate 51 in the state 81, and the substrate 51 is pushed down. That is, only the vicinity of the application point of the substrate 51 is selectively pressed downward at the application moment. By this operation, the gap between the dispensing unit 100 and the surface 54 of the substrate 51 can be kept constant regardless of the application point at least at the moment of application.

図14によると、塗布の瞬間には、基板51は、基板押さえ部41により状態81から状態82へと変化している。また、図15によると、別の塗布点においては状態82から状態83へと変化している。このとき図14におけるギャップ84と図15におけるギャップ85とは同じく一定となっている。   According to FIG. 14, at the moment of application, the substrate 51 is changed from the state 81 to the state 82 by the substrate pressing portion 41. Further, according to FIG. 15, the state 82 changes to the state 83 at another application point. At this time, the gap 84 in FIG. 14 and the gap 85 in FIG.

以上のように、各塗布点においては、基板押さえ機構400の動作により迅速に基板51の押し下げが行なわれるので、いずれの塗布点においてもディスペンスユニット100と基板51の表面54とのギャップは一定に保たれる。したがって、生産性を損なうことなく、精度良く液体材料の塗布を行なうことができる。   As described above, at each application point, the substrate 51 is quickly pushed down by the operation of the substrate pressing mechanism 400, so that the gap between the dispensing unit 100 and the surface 54 of the substrate 51 is constant at any application point. Kept. Therefore, the liquid material can be applied with high accuracy without impairing productivity.

(実験結果)
本実施の形態による実験結果について、図16を参照して説明する。
(Experimental result)
The experimental results according to this embodiment will be described with reference to FIG.

図16は、同じリードフレーム基板に対して、従来の塗布装置を用いた塗布方法Aと本実施の形態における塗布装置を用いた塗布方法Bとの2通りの方法でそれぞれ液体材料の定量塗布を行ない、それぞれの方法における各塗布点での塗布量のばらつきを重量測定により測定・比較したものである。横軸は塗布順を示し、縦軸は基板側に転写された液体材料の塗布量のばらつき量を示す。液体材料はシリコーン樹脂であり、基板の主材料は銅である。なお、塗布方法Aにおいては、ベースプレートと押さえ冶具とで挟み込む方法によって基板を押さえた。塗布方法A,Bのいずれにおいても高さ検出は1回のみとした。   FIG. 16 shows that the liquid material is applied to the same lead frame substrate in two ways: a coating method A using a conventional coating apparatus and a coating method B using a coating apparatus in the present embodiment. This is a measurement and comparison of the dispersion of the coating amount at each coating point in each method by weight measurement. The horizontal axis indicates the coating order, and the vertical axis indicates the amount of variation in the coating amount of the liquid material transferred to the substrate side. The liquid material is silicone resin, and the main material of the substrate is copper. In the coating method A, the substrate was pressed by a method of sandwiching between the base plate and the pressing jig. In both coating methods A and B, the height was detected only once.

従来の塗布方法Aでは、基板側に転写された液体材料の塗布量にばらつきが認められる。十分に基板が押さえられていないことにより、液体塗布ノズルと基板表面とのギャップが一定に保たれず、ノズルへの樹脂付着量がばらついたことが原因と考えられる。   In the conventional coating method A, variation is recognized in the coating amount of the liquid material transferred to the substrate side. This is probably because the gap between the liquid application nozzle and the substrate surface is not kept constant because the substrate is not sufficiently pressed down, and the amount of resin adhering to the nozzle varies.

一方、本実施の形態による塗布方法Bでは、塗布量のばらつきが大幅に抑えられている。この実験結果は、ディスペンスユニットに設けられた基板押さえ機構により、ディスペンスユニットと基板表面とのギャップが、塗布を行なう瞬間において、塗布点に関わらず一定に保たれた結果、樹脂の塗布が精度良く行われていることを示している。   On the other hand, in the coating method B according to the present embodiment, variation in the coating amount is greatly suppressed. This experimental result shows that the substrate holding mechanism provided in the dispensing unit keeps the gap between the dispensing unit and the substrate surface constant regardless of the application point at the moment of application. Indicates what is being done.

(作用・効果)
以下に本実施の形態における液体塗布装置の作用・効果を整理する。
(Action / Effect)
The actions and effects of the liquid coating apparatus in the present embodiment will be summarized below.

本実施の形態における液体塗布装置によれば、塗布時のディスペンスユニットを下降させる動作によって、当接部が基板の表面に接触し、基板を押し下げる。すなわち、当接部が基板の塗布点付近のみを選択的に下方に付勢する。これにより長大かつ撓みやすい基板であっても精度良く押さえることができ、生産性を損なうことなく、精度良く原料を塗布することができる。   According to the liquid coating apparatus in the present embodiment, the contact portion comes into contact with the surface of the substrate by the operation of lowering the dispensing unit at the time of coating, and pushes down the substrate. That is, the contact portion selectively biases downward only in the vicinity of the application point of the substrate. Accordingly, even a long and flexible substrate can be pressed with high accuracy, and the raw material can be applied with high accuracy without impairing productivity.

本発明に基づく液体塗布装置によって塗布対象とされる基板の形状は特に限定されるものではない。基板が細長い形状でなくても効果を奏することができる。   The shape of the substrate to be coated by the liquid coating apparatus according to the present invention is not particularly limited. The effect can be obtained even if the substrate is not elongated.

なお、上記実施の形態のうち複数を適宜組み合わせて採用してもよい。
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
In addition, you may employ | adopt combining suitably some among the said embodiment.
In addition, the said embodiment disclosed this time is an illustration in all the points, Comprising: It is not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and includes all modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

9 液体材料、11 貯留機構、12 液体塗布ノズル、12a 吐出口、13 吐出機構、41 当接部、41e 先端部、42 支承部、51 基板、52 (吐出口から基板に向かって延ばした)直線、53 (基板の)中心線、54 (基板の)表面、55 交点、61,71 基準高さ、62,72 高さ、63,64,65 ギャップ、70 ベースプレート、91 矢印、100 ディスペンスユニット、81,82,83 状態、84,85 ギャップ、200 駆動機構、300 検出機構、400 基板押さえ機構、1001 液体塗布装置。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 9 Liquid material, 11 Storage mechanism, 12 Liquid application nozzle, 12a Discharge port, 13 Discharge mechanism, 41 Contact part, 41e Tip part, 42 Support part, 51 Substrate, 52 (It extended toward the substrate from the discharge port) 53 (substrate) center line, 54 (substrate) surface, 55 intersection, 61, 71 reference height, 62, 72 height, 63, 64, 65 gap, 70 base plate, 91 arrow, 100 dispensing unit, 81 , 82, 83 state, 84, 85 gap, 200 drive mechanism, 300 detection mechanism, 400 substrate pressing mechanism, 1001 liquid coating apparatus.

Claims (5)

基板に向けて液体材料を吐出する吐出口を有するディスペンスユニットと、
前記ディスペンスユニットを少なくとも前記基板の表面に垂直な方向に変位させる駆動機構と、
前記ディスペンスユニットから前記基板に向かって突出するように配置された基板押さえ機構とを備え、
前記基板押さえ機構は、前記ディスペンスユニットが前記駆動機構によって前記基板に接近するように変位させられた状態のもとで前記基板を押さえつけることができるものである、液体塗布装置。
A dispensing unit having a discharge port for discharging a liquid material toward the substrate;
A drive mechanism for displacing the dispensing unit at least in a direction perpendicular to the surface of the substrate;
A substrate pressing mechanism arranged so as to protrude from the dispensing unit toward the substrate;
The substrate pressing mechanism is a liquid coating apparatus that can press the substrate while the dispensing unit is displaced so as to approach the substrate by the driving mechanism.
前記基板押さえ機構は、前記吐出口から前記基板に向かって延ばした直線と前記基板の表面との交点を挟む2つの部位において前記基板に当接する当接部を備える、請求項1に記載の液体塗布装置。   2. The liquid according to claim 1, wherein the substrate pressing mechanism includes an abutting portion that abuts the substrate at two portions sandwiching an intersection of a straight line extending from the discharge port toward the substrate and the surface of the substrate. Coating device. 前記当接部は、前記基板の表面に平行な面を有し、前記2つの部位において互いに平行な線状に延在している、請求項2に記載の液体塗布装置。   The liquid application apparatus according to claim 2, wherein the contact portion has a surface parallel to the surface of the substrate and extends in a linear shape parallel to each other at the two portions. 前記基板押さえ機構は、前記吐出口から前記基板に向かって延ばした直線と前記基板の表面との交点から離隔しつつ前記交点を取り囲むように、前記基板の表面に平行な環状となった当接部を備える、請求項1に記載の液体塗布装置。   The substrate pressing mechanism has an annular contact parallel to the surface of the substrate so as to surround the intersection while being separated from the intersection of the straight line extending from the discharge port toward the substrate and the surface of the substrate. The liquid application apparatus according to claim 1, comprising a unit. 前記当接部は、矩形の環状となっている、請求項4に記載の液体塗布装置。   The liquid application apparatus according to claim 4, wherein the contact portion has a rectangular annular shape.
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Cited By (3)

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