JP2013036964A - 画像測定装置及び画像測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】CPU41は、撮像ユニット17で撮像された被測定対象物の画像を取り込み、取り込んだ画像に含まれる図形の輪郭線をハフ変換によって検出し、検出した輪郭線上にエッジ検出ツールを設定し、設定されたエッジ検出ツールにより、前記図形に関する図形情報の測定を行う。
【選択図】図2
Description
エッジ検出は、例えば、操作者により撮像画像内に設定されたエッジ検出ツールに基づいて、撮像画像に含まれる測定対象図形のエッジ情報(位置座標など)を取得し、当該測定対象図形の位置や幅などの図形情報を測定する技術である。
このボックスツール73の場合、幅Hの中に予め設定された間隔ΔHで、矢印の基端から先端に向かうエッジ検出が繰り返される。
円ツール74は、円形画像72bのエッジ検出に適しており、位置座標(X、Y)と、測定を開始する内径r1と、測定を終了する外径r2によって定義される。
この円ツール74の場合、予め設定された角度Δθで、座標(X、Y)を中心として回転し、矢印の基端から先端に向かうエッジ検出が繰り返される。
また、ステップアンドリピート機能を用いて図形情報の測定を行う場合には、撮像画像内に設定したエッジ検出ツールの移動量や測定回数も設定する必要があり、更に手間が多いものであった。
請求項1に記載の発明は、画像測定装置において、
被測定対象物を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段で撮像された被測定対象物の画像を取り込む取り込み手段と、
前記取り込み手段により取り込まれた画像に含まれる図形の輪郭線を、ハフ変換によって検出する輪郭線検出手段と、
前記輪郭線検出手段により検出された輪郭線上に、エッジ検出ツールを設定する設定手段と、
前記設定手段により設定されたエッジ検出ツールにより、前記図形に関する図形情報の測定を行う測定手段と、
を備えることを特徴とする。
操作者が、図形情報の測定を行う図形の形状を指定する指定手段を備え、
前記輪郭線検出手段は、前記取り込み手段により取り込まれた画像に含まれる図形の中から、前記指定手段により指定された形状の図形の輪郭線を検出することを特徴とする。
請求項1に記載の画像測定装置による画像測定方法であって、
前記撮像手段で撮像された被測定対象物の画像を取り込む取り込み工程と、
前記取り込み工程により取り込まれた画像に含まれる図形の輪郭線を、ハフ変換によって検出する輪郭線検出工程と、
前記輪郭線検出工程により検出された輪郭線上に、エッジ検出ツールを設定する設定工程と、
前記設定工程により設定されたエッジ検出ツールにより、前記図形に関する図形情報の測定を行う測定工程と、
を有することを特徴とする。
前記輪郭線検出工程では、前記取り込み手段により取り込まれた画像に含まれる図形の中から、操作者が、図形情報の測定を行う図形の形状を指定する指定手段により指定した形状の図形の輪郭線が検出されることを特徴とする。
即ち、画像が取り込まれると自動的にエッジ検出ツールが設定され、図形情報の測定が行われる。
このため、操作者が手動でエッジ検出ツールを設定する必要がない。
また、等間隔で規則的に並んだ図形の図形情報を連続して測定する場合、エッジ検出ツールの移動量や測定回数を設定する必要がない。
また、図形の輪郭線は、ハフ変換によって検出されるため、画像処理の分野で公知の技術であるハフ変換を画像測定装置の処理に取り入れることで、迅速な測定を実現することが可能となる。
よって、操作者の手間が少なく、画像中の図形情報の測定を迅速且つ確実に行うことができる。
画像測定装置100は、測定テーブル13上に載置されたワーク(被測定対象物)12を撮像し、その画像データを処理して画像内の所定の図形のエッジを検出し、これにより該図形に関する線幅等の図形情報を計測する装置である。
また、撮像ユニット17の内部には、図示しない照明装置及びフォーカシング機構の他、CCDカメラ18のZ軸方向の位置を移動させるZ軸駆動機構が内蔵されている。
具体的に、表示部20には、例えば、撮像ユニット17にて撮像されて取り込まれた画像(原画像:図3、図8参照)や、画像測定処理の各工程にて遷移していく画像(図4〜7、図9〜12)などが表示される。
ここで、原画像について説明する。
原画像は、1乃至複数の図形を含んだ白黒濃淡画像である。
ここで、「図形」とは、原画像の中の測定対象となる領域であり、例えば、所定の幅を有する直線(図3参照)や、円(図8参照)などの形状を成している。
図形は、図形以外の領域と比較して明暗が異なった、原画像の中の暗い或いは明るい領域である。
具体的には、操作者は、表示部20に表示された設定画面を用いて、操作部30により「直線」や「円」等の指定を行うことで、図形の形状を指定する。操作者が図形の形状を指定すると、原画像の中に存在する図形の中から、その形状の図形が選択されてエッジ検出が行われ、当該図形に関する図形情報の測定が行われることとなる。
これにより、操作者は、エッジ検出すべき図形を任意に指定することができる。即ち、取り込んだ原画像に、複数の異なる形状の図形が存在する場合、操作者は、操作部30により図形の形状を指定することで、所望の形状の図形の図形情報のみ測定を行うことができる。
プログラム記憶部43bには、例えば、取り込みプログラム431、画質補正プログラム432、輪郭線検出プログラム433、設定プログラム434、測定プログラム435、等が格納されている。
具体的に、操作者が操作部30によりワークの撮像指示操作を行って撮像ユニット17のCCDカメラ18によりワーク12の撮像がなされると、CPU41は、取り込みプログラム431を実行して原画像(図3、図8参照)を画像データとして取り込んで、画像データ記憶部43aに格納する。
CPU41は、かかる取り込みプログラム431を実行することによって、取り込み手段として機能する。
具体的に、CPU41は、画質補正プログラム432を実行することで、例えば、白黒濃淡画像である原画像の画像データを白と黒の2階調に変換する2値化処理や、各種の画像フィルタによりノイズを除去するノイズ除去処理などを実行する(図4、図9参照)。
なお、画質補正処理としては、上記した2値化処理やノイズ除去処理以外にも公知の種々の処理を適用可能である。
CPU41は、かかる画質補正プログラム432を実行することによって、画質補正手段として機能する。
具体的に、CPU41は、輪郭線検出プログラム433を実行することで、図形の輪郭線をハフ変換(Hough変換)によって検出する(図5、図10参照)。
ハフ変換とは、画像処理の分野で公知の技術であり、座標変換によって点の集合から直線や曲線の式を定める手法である。
従って、画像に含まれる図形の中から、直線部や曲線部を有する図形の輪郭線の検出が好適に実施される。
なお、ユーザが、操作部30の操作により、図形情報の測定を行う図形の形状を指定していた場合、CPU41は、補正画像に含まれる図形の中から、指定された形状の図形の輪郭線のみを検出する。
CPU41は、かかる輪郭線検出プログラム433を実行することによって、輪郭線検出手段として機能する。
具体的に、CPU41は、設定プログラム434を実行することで、検出された輪郭線の形状に応じて、予め設定されたエッジ検出ツールを選択し、輪郭線上に、選択したエッジ検出ツールを設定する。
例えば、検出した輪郭線が直線の場合、CPU41は、その直線の輪郭線上に、エッジ検出ツールとして矩形のボックスツールT1(図6参照)を設定する。
また、例えば、検出した輪郭線が円の場合、CPU41は、その円の輪郭線上に、エッジ検出ツールとして円環形の円ツールT2(図11参照)を設定する。
CPU41は、かかる設定プログラム434を実行することによって、設定手段として機能する。
具体的には、例えば、直線の幅を求める場合、CPU41は、ボックスツールT1によりエッジの位置を検出する。次に、CPU41は、あるボックスツールT1で検出したエッジの位置から、対向するボックスツールT1で検出したエッジの位置までを計測して直線の幅を求める(図7参照)。
また、例えば、円の半径を求める場合、CPU41は、円ツールT2によりエッジの位置を検出し、円の中心点や半径を求める(図12参照)。
CPU41は、かかる測定プログラム435を実行することによって、測定手段として機能する。
図4は、画質補正として2値化処理が成された例であり、2値化の黒部分である直線状図形S1〜S3が原画像に対しより黒く、2値化の白部分である背景が原画像に対しより白くなっている。このように、画質補正を施すことで、図形(直線状図形S1〜S3)が背景に対して鮮明になり、その輪郭線の検出が可能となる。
図5では、検出した直線状図形S1〜S3の輪郭線として、直線L1〜L6が白線で表示されている。
図6では、直線L1〜L6に対応した6つのボックスツールT1が設定されている。
図7に示すように、直線L1とL2との間隔t1、直線L3とL4との間隔t2、直線L5とL6との間隔t3が、それぞれ直線状図形S1〜S3の線幅として測定される。
図9は、画質補正として、例えばノイズ除去処理が成された例であり、原画像中のノイズが除去され、原画像と比較して、図形(円状図形S4、S5)が背景に対して鮮明な画像となっている。
図10では、検出した円状図形S4、S5の輪郭線として、円L7、L8が黒線で表示されている。
図11では、円L7、L8の各々に対して、円ツールT2、T2が設定されている。
図12に示すように、検出されたエッジ上の複数の点から等しい位置が円の中心点P0として測定される。
また、円の中心点P0から、エッジ上のある点P1までが半径として測定される。
先ず、ステップS11において、操作者がワークの撮像指示操作を行って、撮像ユニット17によりワーク12の撮像が行われると、CPU41は、撮像されたワーク12の画像を原画像データとして画像データ記憶部43aに取り込む(図3、図8参照)(取り込み工程)。
次いで、ステップS12において、操作者は、操作部30により、図形情報を測定する図形の形状を指定して、画像測定処理の開始指示操作を行う。
次いで、ステップS13において、CPU41は、原画像データの画質を補正する(図4、図9参照)(画質補正工程)。
次いで、ステップS14において、CPU41は、補正画像内に存在する図形の中から、上記ステップS12において操作者により指定された形状の図形の輪郭線をハフ変換によって検出する(図5、図10参照)(輪郭線検出工程)。
次いで、ステップS15において、CPU41は、検出した輪郭線上に、エッジ検出ツール(T1、T2)を設定する(図6、図11参照)(設定工程)。
次いで、ステップS16において、CPU41は、エッジ検出ツールにより、図形に関する図形情報を測定して(図7、図12参照)(測定工程)、本処理を終了する。
即ち、画像が取り込まれると自動的にエッジ検出ツールが設定され、図形情報の測定が行われる。
このため、操作者が手動でエッジ検出ツールTを設定する必要がない。
また、等間隔で規則的に並んだ図形の図形情報を連続して測定する場合、エッジ検出ツールTの移動量や測定回数を設定する必要がない。
また、図形の輪郭線は、ハフ変換によって検出されるため、画像処理の分野で公知の技術であるハフ変換を画像測定装置の処理に取り入れることで、迅速な測定を実現することが可能となる。
よって、操作者の手間が少なく、測定を迅速且つ確実に行うことができる。
このため、原画像に複数種類の形状の図形が混在している場合、操作者の任意の図形に対してのみ測定を行うことができる。
この場合、原画像に含まれる図形全てに対してエッジ検出ツールが設定されることとなる。
10 装置本体部
11 架台
12 ワーク(被測定対象物)
13 測定テーブル
14,15 支持アーム
16 X軸ガイド
17 撮像ユニット(撮像手段)
18 カメラ
20 表示部
30 操作部(指定手段)
40 制御部
41 CPU(取り込み手段、輪郭線検出手段、設定手段、測定手段)
42 RAM
43 記憶部
43a 画像データ記憶部
43b プログラム記憶部
431 取り込みプログラム(取り込み手段)
432 画質補正プログラム
433 輪郭線検出プログラム(輪郭線検出手段)
434 設定プログラム(設定手段)
435 測定プログラム(測定手段)
S1-S3 直線状図形
S4、S5 円状図形
T1 ボックスツール(エッジ検出ツール)
T2 円ツール(エッジ検出ツール)
Claims (4)
- 被測定対象物を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段で撮像された被測定対象物の画像を取り込む取り込み手段と、
前記取り込み手段により取り込まれた画像に含まれる図形の輪郭線を、ハフ変換によって検出する輪郭線検出手段と、
前記輪郭線検出手段により検出された輪郭線上に、エッジ検出ツールを設定する設定手段と、
前記設定手段により設定されたエッジ検出ツールにより、前記図形に関する図形情報の測定を行う測定手段と、
を備えることを特徴とする画像測定装置。 - 操作者が、図形情報の測定を行う図形の形状を指定する指定手段を備え、
前記輪郭線検出手段は、前記取り込み手段により取り込まれた画像に含まれる図形の中から、前記指定手段により指定された形状の図形の輪郭線を検出することを特徴とする請求項1に記載の画像測定装置。 - 請求項1に記載の画像測定装置による画像測定方法であって、
前記撮像手段で撮像された被測定対象物の画像を取り込む取り込み工程と、
前記取り込み工程により取り込まれた画像に含まれる図形の輪郭線を、ハフ変換によって検出する輪郭線検出工程と、
前記輪郭線検出工程により検出された輪郭線上に、エッジ検出ツールを設定する設定工程と、
前記設定工程により設定されたエッジ検出ツールにより、前記図形に関する図形情報の測定を行う測定工程と、
を有することを特徴とする画像測定方法。 - 前記輪郭線検出工程では、前記取り込み手段により取り込まれた画像に含まれる図形の中から、操作者が、図形情報の測定を行う図形の形状を指定する指定手段により指定した形状の図形の輪郭線が検出されることを特徴とする請求項3に記載の画像測定方法。
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| US13/548,588 US8995773B2 (en) | 2011-08-11 | 2012-07-13 | Image measurement apparatus and method of measuring works using edge detection tools |
| EP12179839A EP2557538A3 (en) | 2011-08-11 | 2012-08-09 | Image measurement apparatus and image measurement method |
| CN201210286982.6A CN102954760B (zh) | 2011-08-11 | 2012-08-13 | 图像测量装置和图像测量方法 |
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|---|---|---|---|
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015081882A (ja) * | 2013-10-24 | 2015-04-27 | 株式会社ミツトヨ | 画像測定装置、及び高さ測定方法 |
| JP2015114875A (ja) * | 2013-12-12 | 2015-06-22 | オムロン株式会社 | 画像処理装置、画像処理方法および画像処理プログラム |
| JP2015114876A (ja) * | 2013-12-12 | 2015-06-22 | オムロン株式会社 | 画像処理装置、画像処理方法および画像処理プログラム |
| WO2017183211A1 (ja) * | 2016-04-22 | 2017-10-26 | 株式会社ニコン | 画像測定方法、画像測定プログラム及び画像測定装置、並びに物品の製造方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106767719B (zh) * | 2016-12-28 | 2019-08-20 | 上海禾赛光电科技有限公司 | 无人机角度的计算方法及气体遥测方法 |
| CN108662977A (zh) * | 2018-03-14 | 2018-10-16 | 浙江大学山东工业技术研究院 | 一种耐火砖几何尺寸测量方法 |
| CN110517318B (zh) * | 2019-08-28 | 2022-05-17 | 昆山国显光电有限公司 | 定位方法和装置、存储介质 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH109821A (ja) * | 1996-06-25 | 1998-01-16 | Nikon Corp | 画像測定装置 |
| JPH11132740A (ja) * | 1997-10-24 | 1999-05-21 | Nikon Corp | 画像計測装置 |
| JP2003065713A (ja) * | 2001-08-21 | 2003-03-05 | Mitsutoyo Corp | 画像測定装置用パートプログラム生成装置及びプログラム |
| JP2006126200A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Mitsutoyo Corp | 画像システムにおいてビデオツールを自動的にリカバリーするシステムおよび方法 |
| JP2008116206A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-22 | Fujitsu Ltd | パターン寸法測定装置、方法及びプログラム |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06314339A (ja) | 1993-04-27 | 1994-11-08 | Honda Motor Co Ltd | 画像の直線成分抽出装置 |
| JP3595014B2 (ja) | 1995-03-09 | 2004-12-02 | 株式会社ミツトヨ | エッジ検出方法及びこれを用いた非接触画像計測システム |
| EP0877224B1 (en) | 1997-05-07 | 2004-01-07 | Mitutoyo Corporation | Method and instrument with probe for measuring inner or outer dimension of an object |
| JP3593302B2 (ja) | 1999-06-15 | 2004-11-24 | 株式会社ミツトヨ | 画像測定装置及び方法 |
| US7769222B2 (en) * | 2006-10-27 | 2010-08-03 | Mitutoyo Corporation | Arc tool user interface |
| CN101131728A (zh) | 2007-09-29 | 2008-02-27 | 东华大学 | 一种基于Shape Context的人脸形状匹配方法 |
| CN101625723B (zh) | 2009-07-02 | 2012-03-28 | 浙江省电力公司 | 电力线轮廓的快速图像识别方法 |
| CN102117349B (zh) * | 2009-12-31 | 2013-08-28 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 寻边工具命令生成系统及方法 |
| JP5639773B2 (ja) * | 2010-03-11 | 2014-12-10 | 株式会社ミツトヨ | 画像測定機 |
-
2011
- 2011-08-11 JP JP2011175755A patent/JP2013036964A/ja active Pending
-
2012
- 2012-07-13 US US13/548,588 patent/US8995773B2/en active Active
- 2012-08-09 EP EP12179839A patent/EP2557538A3/en not_active Ceased
- 2012-08-13 CN CN201210286982.6A patent/CN102954760B/zh active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH109821A (ja) * | 1996-06-25 | 1998-01-16 | Nikon Corp | 画像測定装置 |
| JPH11132740A (ja) * | 1997-10-24 | 1999-05-21 | Nikon Corp | 画像計測装置 |
| JP2003065713A (ja) * | 2001-08-21 | 2003-03-05 | Mitsutoyo Corp | 画像測定装置用パートプログラム生成装置及びプログラム |
| JP2006126200A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Mitsutoyo Corp | 画像システムにおいてビデオツールを自動的にリカバリーするシステムおよび方法 |
| JP2008116206A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-22 | Fujitsu Ltd | パターン寸法測定装置、方法及びプログラム |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015081882A (ja) * | 2013-10-24 | 2015-04-27 | 株式会社ミツトヨ | 画像測定装置、及び高さ測定方法 |
| JP2015114875A (ja) * | 2013-12-12 | 2015-06-22 | オムロン株式会社 | 画像処理装置、画像処理方法および画像処理プログラム |
| JP2015114876A (ja) * | 2013-12-12 | 2015-06-22 | オムロン株式会社 | 画像処理装置、画像処理方法および画像処理プログラム |
| WO2017183211A1 (ja) * | 2016-04-22 | 2017-10-26 | 株式会社ニコン | 画像測定方法、画像測定プログラム及び画像測定装置、並びに物品の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102954760A (zh) | 2013-03-06 |
| EP2557538A3 (en) | 2013-02-27 |
| US20130039585A1 (en) | 2013-02-14 |
| EP2557538A2 (en) | 2013-02-13 |
| CN102954760B (zh) | 2016-08-03 |
| US8995773B2 (en) | 2015-03-31 |
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