JP2013015964A

JP2013015964A - 合格率推定装置、合格率推定方法、プログラム

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Publication number: JP2013015964A
Application number: JP2011147391A
Authority: JP
Inventors: Shota Kawakami; 翔大河上; Takashi Hirose; 隆史弘瀬
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2011-07-01
Filing date: 2011-07-01
Publication date: 2013-01-24

Abstract

【課題】検査を複数回行う品質管理において、余分に作成される材料等の量を低減できる合格率推定装置を提供すること。
【解決手段】合格率推定装置は、検査対象物をロット毎に第一の検査方法で検査して、検査に合格しなかったロットを前記第一の検査方法とは異なる第二の検査方法で検査した場合に合格する可能性を推定する。今回のロットの計測値を取得する計測値取得手段と、過去のロットの検査項目の過去計測値、及び、再検査合格率を記憶した過去計測値記憶手段ＤＢ５、ＤＢ４と、規格値に対する今回のロットの計測値の偏差量を計算する偏差値計算部１１と、過去計測値の過去偏差量を記憶した過去偏差量記憶手段ＤＢ２と、検査項目毎に偏差量に対する過去偏差量の差の大きさを算出する類似度計算部１２と、検査項目毎の差が所定値内に入る過去のロットの再検査合格率を読み出し、今回のロットの再検査合格率を推定する再検査合格率推定部１４と、を有する。
【選択図】図５

Description

本発明は、検査対象物をロット毎に第一の検査方法で検査して、検査に合格しなかったロットを第一の検査方法とは異なる第二の検査方法で検査した場合に合格する可能性を推定する合格率推定装置に関する。

製品の製造工程では材料や部品の品質管理が行われる。品質管理では、検査装置などが、材料や部品が満たすべき性能を計測し何らかの規格値と比較することで、品質を満たすか否かを判定している。品質を満たさない材料や部品は廃棄されることが一般的であるので、不良品を少なくすることが重要だが、不良率自体はそれほど大きくないので品質管理を効率化することも要請される。

例えば、不良品の発生傾向を把握する手法が考えられている（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１では、品質管理の分析対象期間において、不良発生した該当部品が、どの装置で、いつ組みつけられたのか、どのような部品形状か、を表で表示する品質情報収集分析システムが開示されている。このような手法によれば、例えばＡ装置とＢ装置の間で通常より時間がかかった時に不良が発生した場合は、その設備間での不良が多いことを予測可能となる。

ところで、不良率を下げかつ品質管理を効率化するため、合格しなかったロットに対し検査を複数回行う手法（二次評価方法）がある。

図１３は、従来の品質管理を模式的に説明する図の一例である。
１回目の検査：厳しい規格値を用いた簡易的な検査を行い、検査に合格しないロットは２回目の検査に回す。
２回目の検査：１回目の検査よりも計測精度の高い検査を全ての材料や部品に行い、規格値を満たすか否かを検査する。

このように検査を複数回行うことで、１回目の検査に合格した材料や部品については検査時間を短縮でき、２回目の検査に合格した材料や部品は不良率の低減に貢献できる。図では、検査担当者が今回ロットの一部を抜き取って「１０８」という誘電率の実績値を得たが、規格値を見たさなかった。このため、検査担当者は今回ロットを保管しておき、後で（例えば１週間〜６ヶ月後）再検査する。再検査の結果によって、今回ロットの例えば１００％が合格した、８０％が合格した、又は、合格率が低いので全て廃棄する、等の最終的な検査結果が得られる。

しかしながら、二次評価方法では、１回目の検査に合格しなかったロットについて２回目の検査までの期間、製品に使用できるのか否かが確定しないという問題がある。製品の製造では、生産計画によりラインなどが生産する製品の数が決まるので、製品の製造に必要な材料や部品を準備しておく必要がある。製品に使用できるのか否かが確定しないと、１回目の検査に合格しなかったロット分を全て余分に作成又は注文する必要を生じさせる。このため、余分に作成等される材料や部品がコスト増を招いたり、余分に作成等される材料や部品の在庫管理が必要になるという問題がある。

本発明は、上記課題に鑑み、検査を複数回行う品質管理において、余分に作成等される材料や部品の量を低減できる合格率推定装置を提供することを目的とする。

本発明は、検査対象物をロット毎に第一の検査方法で検査して、検査に合格しなかったロットを前記第一の検査方法とは異なる第二の検査方法で検査した場合に合格する可能性を推定する合格率推定装置であって、１つ以上の検査項目における今回のロットの計測値を取得する計測値取得手段と、前記第一の検査方法で検査に合格しなかった過去のロットの前記検査項目の過去計測値、及び、過去のロットが前記第二の検査方法で合格した再検査合格率を記憶した過去計測値記憶手段と、前記検査項目毎に前記過去計測値により標準化された、規格値に対する今回のロットの前記計測値の偏差量を計算する偏差量計算手段と、前記過去計測値の過去偏差量を記憶した過去偏差量記憶手段と、前記検査項目毎に前記偏差量に対する前記過去偏差量の差の大きさを算出する差算出手段と、前記過去計測値記憶手段から、前記検査項目毎の前記差が所定値内に入る過去のロットの前記再検査合格率を読み出し、今回のロットの再検査合格率を推定する再検査合格率推定手段と、を有する。

検査を複数回行う品質管理において、余分に作成等される材料や部品の量を低減できる合格率推定装置を提供することができる。

本実施形態の検査方法の概略を説明する図の一例である。二次評価方法を説明する図の一例である。検査システムの概略構成図の一例である。合格率推定装置のハードウェア構成図の一例である。合格率推定装置の機能ブロック部の一例である。合格率推定装置が合格率を推定する手順の全体的な流れを示すフローチャート図の一例である。偏差値の計算手順を説明するフローチャート図の一例である。偏差値の具体的な計算例を説明する図の一例である。今回ロットの偏差値の算出結果の一例を説明する図である。類似度の計算手順を説明するフローチャート図の一例である。類似判定を説明する図の一例である。加重平均による今回ロットの合格率の推定について説明する図の一例である。従来の品質管理を模式的に説明する図の一例である。

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しながら説明する。
図１は、本実施形態において特徴的な再検査による合格率の推定の概略を説明する図の一例である。検査担当者は、材料や部品などの検査対象物を、決まった装置を用いて決められた手順で操作して検査する。検査項目は例えば、誘電率、磁気性、凝集度、流動性等である。ここで、検査対象物はロット生産（一定数量単位で生産する生産形態）されることが多いので、ロット生産された検査対象物の一部をISOやJISの規格に基づき抽出して検査する抜き取り検査が行われる。

計測装置が検査項目毎に検査対象物を検査した物性などの計測値（以下、実績値という）は、検査項目毎の規格値と比較され、ロット単位で合否が判定される。合格と判定されたロットは次工程の製造（製品製造の工程を含む）に用いられるが、不合格と判定されたロットは再検査に回される。このため、今回、一回目の検査が行われたロット（以下、今回ロットという）よりも、過去に一回目の検査が行われ不合格となったロット（以下、過去ロット）は、二次評価方法に従って再検査されており、すでに再検査の合格率が算出されている。

本実施形態の合格率推定装置は、この不合格のロットが再検査に合格する確率を予測することで、計画的に生産される製品の検査対象物の製造量を精度よく予測して、在庫管理コストを低減する。
（１）合格率推定装置は、過去の不合格ロットの実績値を使って、今回ロットの検査項目毎に規格値に対する実績値の偏差値を計算する。この偏差値は、規格値に対し実績値が大きいほど大きい値に、規格値に対し実績値が小さいほど小さい値になる。
（２）合格率推定装置は、今回ロットの検査項目毎の偏差値と、過去ロットの実績値の偏差値を比較して、今回ロットと各過去ロットとの類似度を計算する。つまり、過去ロットにおいて、各検査項目の偏差値が今回ロットと似ているロットは、今回ロットとの類似度が高くなる。
（３）合格率推定装置は、判定基準を読み出して、今回ロットと過去ロットの類似度を比較し、類似している過去ロットを特定する。すなわち、今回ロットと偏差値が同様な傾向を持つ過去ロットを絞り込む。
（４）合格率推定装置は、類似している過去ロットの再検査合格率を読み出し、この再検査合格率を用いて今回ロットの再検査合格率を推定する。

このように偏差値の類似度から今回ロットの再検査合格率を推定することで、今回ロットの再検査合格率を高精度に推定可能になる。製造管理者は、理論的には「１−再検査合格率」だけ材料や部品を再検査不合格率分、追加生産すればよいと判断できるので、余分に作成される材料や部品によるコストを低減でき、余分に作成される材料や部品の在庫管理にかかる費用を抑制できる。

〔二次評価方法〕
まず、品質管理を効率化しながら不良率も低減するため、１回目の検査で合格しなかったロットを２回検査する二次元評価方法について説明する。

二次元評価方法には、例えば、１回目と２回目で試験方法を変更する「試験方法変更法」と、「上下限サンプル評価法」とがある。試験方法変更法は、１回目の検査は製品規格に比べ実績値の計測方法を簡易化しているため、製品規格に則って２回目の検査を行う検査方法である。上下限サンプル評価法は、上限と下限の標準サンプルによる製造規格と、それよりも緩和された製品規格の２つの規格を用いて、検査する検査方法である。

図２（ａ）は試験方法変更方法を説明する図の一例である。例えば、トナーの検査では、ゆるみ見かけ密度、色分析（Ｌ、ａ＊、ｂ＊）、粗大粒子量、定着下限（スミア）、定着上限（ホット）、緩凝集体量などの検査項目が試験方法変更法にて検査される。この中のスミア性を例に説明する。スミア性は、用紙に定着したトナーの定着性が十分でないため画質低下を起こすことをいう。例えば、片面にトナーが定着している状態で、他方の面に画像を形成する際に片面の画像がすれたりにじむことを言う。検査装置は、スミア性の検査のため、定着下限（温度）における物性（粘度など）を計測する。実績値が規格値に対し所定範囲に入っていればこの検査項目に合格することができる。

１回目の検査は、製品規格の温度範囲よりも狭い温度（例えば、１４０度一点）で規格値を満たせば、検査に合格できる。こうすることで検査時間を短縮できる。これに対し、１回目の検査に合格できないロットは、製品規格の温度範囲で、実績値が規格値を満たすか否かが検査される。このように、製品規格の温度範囲で、温度を振って検査することで検査精度を向上させ、ロット全体から製品規格を満たす材料や部品を抽出することができる。

図２（ｂ）は、上下限サンプル評価法を説明する図の一例である。この検査は、正確な計測が難しい検査項目を検査する際に有効である。例えば、以下のような場合である。
・測定器のコンディションによって実績値にバラツキが生じる可能性がある検査項目
・規格の上下限ボーダ品に判断を委ねても品質管理に影響がない検査項目
図２（ｂ）ではトナーにおいて上下限サンプル評価法が適用される検査項目として、円形度、体積固有抵抗、誘電率、表面ＷＡＸ量、Ｓｉ・Ｔｉ（含有量）、圧片が挙げられている。この上下限サンプル評価法では、製品規格の規格値の上限よりも実績値が小さいことが保証された標準サンプルによる検査結果（実績値）が、製造規格の上限の規格値に設定される。同様に、製品規格の規格値の下限よりも実績値が大きいことが保証された標準サンプルによる検査結果（実績値）が製造規格の下限に設定される。

１回目の検査では、今回ロットの実績値がこの上下限の範囲に入るか否かにより検査に合格するか否かが判定される。こうすることで測定器のコンディションによるバラツキがあっても標準サンプルとの比較（相対的に）により検査できる。

図示するように、１回目の検査に適用される製造規格では、上下限の標準サンプルの規格値が不良品流出防止のため製品規格よりも厳しくなっている（余裕を見て決定されている）。２回目の検査では、製造規格よりも緩和された製品規格が規格値となり、今回ロットの全数が検査されるので、２回目の検査に合格する材料や部品が抽出される。

本実施形態の合格率推定方法は、このような二次元評価方法において、１回目の検査に合格しなかったロットが、２回目の検査で合格する合格率を推定する。

〔構成例〕
図３は、本実施形態の検査システム３００の概略構成図の一例を示す。検査システム３００は、ネットワーク３０１を介して接続された検査装置２００と合格率推定装置１００を有する。必ずしもネットワーク３０１を介して接続されている必要はないが、こうすることで検査装置２００から合格率推定装置１００への実績値の転送が容易になる。また、合格率推定装置１００の機能を検査装置２００に搭載しておいてもよい。

ネットワーク３０１は、主に、社内ＬＡＮや広域ＬＡＮ（ＷＡＮ）などの社内で完結するネットワークであるが、ＩＰ−ＶＮＰ（Virtual Private Network）、インターネットＶＰＮ、又は、インターネットなどでもよい。後者の構成は、例えば、検査対象物の検査の部署や企業と、検査対象物の受け入れ先の部署や企業が離れている場合に有効である。なお、ネットワーク３０１の一部に電話回線を含んでいてもよく、また、有線接続か無線接続は問わない。

検査装置２００は、検査対象物が予め定められた数量（すなわちロット）だけ生産されると、予め定められた数又は量をサンプリングして、検査項目について検査を行い、実績値を合格率推定装置１００に送信する。検査項目は一般に複数個あるので、検査装置２００も複数個ある場合が多い。検査項目は、例えば図２で説明したような項目があるが、検査対象物の検査に有用な検査が適宜行われる。

図４は、合格率推定装置１００のハードウェア構成図の一例を示す。合格率推定装置１００はコンピュータの一形態である。合格率推定装置１００はそれぞれバスで相互に接続されているＣＰＵ１０１、ＲＡＭ１０２、ＲＯＭ１０３、記憶媒体装着部１０４、通信装置１０５、入力装置１０６、描画制御部１０７、及び、ＨＤＤ１０８を有する。ＣＰＵ１０１は、ＯＳ（Operating System）やプログラムをＨＤＤ１０８から読み出して実行することで種々の機能を提供すると共に、合格率推定装置１００が行う処理を統括的に制御する。

ＲＡＭ１０２はＣＰＵ１０１がプログラムを実行する際に必要なデータを一時保管する作業メモリ（主記憶メモリ）になり、ＲＯＭ１０３はＢＩＯＳ（Basic Input Output System）やＯＳを起動するためのプログラム、静的なデータが記憶されている。

記憶媒体装着部１０４には記憶媒体１１０が着脱可能であり、記憶媒体１１０に記録されたプログラムを読み込み、ＨＤＤ１０８に記憶させる。また、記憶媒体装着部１０４は、ＨＤＤ１０８に記憶されたデータを記憶媒体１１０に書き込むこともできる。記憶媒体１１０は例えば、ＵＳＢメモリ、ＳＤカード等である。

入力装置１０６は、キーボードやマウス、トラックボールなどであり、合格率推定装置１００の製造管理者の様々な操作指示を受け付ける。

ＨＤＤ１０８は、ＳＳＤ等の不揮発メモリでもよく、ＯＳ、プログラム、規格値などの各種のデータが記憶されている。合格率推定装置１００は、今回ロットの合格率を推定するためプログラム１１１を有している。

通信装置１０５は、インターネットなどのネットワーク３０１に接続するためのＮＩＣ（ＮｅｔｗｏｒｋＩｎｔｅｒｆａｃｅＣａｒｄ）であり、例えば、イーサネット（登録商標）カードである。

描画制御部１０７は、ＣＰＵ１０１がプログラム１１１を実行してグラフィックメモリに書き込んだ描画コマンドを解釈して、画面を生成しディスプレイ１０９に描画する。

図５は、合格率推定装置１００の機能ブロック部の一例である。合格率推定装置１００は、偏差値計算部１１、類似度計算部１２、類似判定部１３、及び、合格率推定部１４を有する。また、合格率推定装置１００は、偏差値、類似度、及び、合格率を計算するために、ＤＢ１〜５に、検査項目毎の規格値、過去ロットの実績値の偏差値、判定基準、過去ロットの再検査合格率、過去の不合格ロットの実績値の各データを有している。ＤＢ１〜５はＨＤＤ１０８に搭載されている。なお、合格率推定装置１００がネットワーク３０１を介して各ＤＢ１〜５を読み出せるようになっていればよく、合格率推定装置１００がＤＢ１〜５を有していなくてもよい。ＤＢ１〜５は模式的な図であって、ＤＢ１〜５が５つ以下のＤＢに集約されていてもよい。

図５の各機能について詳細は後述するが、まず全体フローにより各機能と手順を簡単に説明する。図６は、合格率推定装置１００が２回目の検査の合格率を推定する手順の全体的な流れを示すフローチャート図の一例である。
Ｓ１０：偏差値計算部１１は今回ロットの実績値の偏差値を計算する。すなわち、ＤＢ１から検査項目毎の規格値を、ＤＢ５から過去の不合格ロットの実績値をそれぞれ読み出し、今回ロットの実績値の規格値に対する偏差値を計算する。なお、過去ロットの実績値の偏差値はすでに計算されている。（過去の検査実績の偏差値は検査が不合格になったロットが増える毎に再計算される。）
Ｓ２０：次に、類似度計算部１２は、ＤＢ２から過去ロットの実績値の偏差値を読み出す。
Ｓ３０：類似度計算部１２は、過去ロットの実績値の偏差値と今回ロットの偏差値と比較して類似度を計算する。
Ｓ４０：類似判定部１３は、ＤＢ３から判定基準を読み出して、今回ロットとの類似度が所定値以上の過去ロットを特定する。
Ｓ５０：合格率推定部１４は今回ロットとの類似度が所定値以上の過去ロットの再検査合格率をＤＢ４から読み出す。
Ｓ６０：合格率推定部１４は、過去ロットの再検査合格率を重み付けして加重平均し、今回ロットの再検査合格率を推定する。

〔偏差値の計算〕
図７は偏差値の計算手順を説明するフローチャート図の一例を、図８、９は具体的な計算例を説明する図の一例をそれぞれ示す。図７の手順は検査項目毎に繰り返して実行される。

図８（ａ）に示すように、検査項目は「誘電率」、「磁気性」、「凝集度」、「流動性」の４つとする。誘電率の規格値は１０５、磁気性の規格値は２．５、凝集度の規格値は２６、流動性の規格値は０．０５５、である。ロット１〜３について過去の実績値が得られており、今回ロットとしてロット４の実績値が得られている。

ロット１〜４は、いずれも二次評価方法の１回目の検査において不合格となっている。また、ロット１〜３はすでに再検査されており「再検査合格率」が記載されている。なお、「検査日」とは１回目の検査日である。

図８（ｂ）は誘電率について、各ロットの実績値と規格値の比較を説明する図の一例である。各ロットの実績値がそれぞれ規格値から乖離しているが、検査項目によって乖離しやすいもの、乖離しにくいものがある。このため、一見、乖離量が大きくても、再検査に合格するものあるし、乖離量が小さくても、再検査に合格しないものある。この傾向を数値化するため、偏差値計算部１１は標準偏差を計算する。

図７に示すように、偏差値計算部１１は、検査項目毎（最初は誘電率）に、ＤＢ５から過去に不合格となった過去ロットの実績値及び今回ロットの実績値を読み出す（Ｓ１０１）。また、偏差値計算部はＤＢ１から検査項目の規格値を１つずつ（最初は誘電率）読み出す。過去ロットでは不合格となったロットのみの実績値を読み出すのは、合格したロットは再検査されないので、再検査合格率を推定する資料としては適さないためである。

まず、今回ロットの誘電率の実績値は108、ロット１の誘電率の実績値は102、ロット２の誘電率の実績値は160、ロット３の誘電率の実績値は110である。

次に、偏差値計算部１１は、標準偏差を計算する（Ｓ１０２）。標準偏差の計算式は以下のようになる。
標準偏差＝√｛Σ（各実績値−規格値）^２／１回目の検査方法で検査に合格しなかった過去ロット数｝
実績値が正規分布に従うと仮定すると、規格値±標準偏差の間に約２／３の実績値が含まれることになる。

次に、偏差値計算部１１は、今回ロットの実績値の偏差値を算出する（Ｓ１０３）。偏差値の計算式は以下のようになる。
偏差値＝｛（実績値−規格値）／標準偏差｝＋５０
すなわち、実績値がばらつきやすい検査項目でも、乖離量が標準偏差で除されるので、偏差値は乖離量そのものよりも抑制される。実績値がばらつきにくい検査項目では、標準偏差も小さくなるので、偏差値は乖離量そのものよりも抑制される傾向になる。

偏差値計算部１１は今回ロットの検査項目毎の偏差値をＨＤＤ１０８等に書き出す（Ｓ１０４）。偏差値計算部１１は、誘電率の偏差値を求めると、磁気性、凝集度、流動性、それぞれの偏差値を求める。

図９（ａ）は今回ロットの各検査項目の偏差値の算出結果の一例を、図９（ｂ）は各ロットの誘電率の偏差値をグラフにより示す図の一例をそれぞれ示す。偏差値の規格値（中央値）は５０なので、５０からの乖離量が、各ロットの誘電率の偏差値が規格値からどのくらいずれているかを示す。

〔類似度計算〕
図１０は類似度の計算手順を説明するフローチャート図の一例を示す。この類似度は、今回ロットの各検査項目の偏差値と、過去ロット１〜３の各検査項目の偏差値それぞれとの類似度である。すなわち、類似度計算部１２は各検査項目において以下の３つの類似度を計算する。
今回ロット（ロット４）とロット１の類似度
今回ロット（ロット４）とロット２の類似度
今回ロット（ロット４）とロット３の類似度
したがって、図１０の手順は、過去ロット数だけ繰り返される。

まず、類似度計算部１２は、今回ロットの誘電率の偏差値をＨＤＤ１０８から、過去ロット１〜３の各検査項目の偏差値をＤＢ２からそれぞれ読み出す（Ｓ３０１）。

今回ロットの誘電率の偏差値は50.48、ロット１の誘電率の偏差値は49.52、今回ロットの磁気性の偏差値は49.94、ロット１の磁気性の偏差値は50.30、今回ロットの凝集度の偏差値は52.64、ロット１の凝集度の偏差値は51.06、今回ロットの流動性の偏差値は48.47、ロット１の流動性の偏差値は50.96である。

次に、類似度計算部１２は、標準類似度を算出する（Ｓ３０２）。標準類似度の計算式は以下のようになる。
標準類似度＝√｛Σ（各実績の偏差値−今回ロットの偏差値）^２／１回目の検査方法で検査に合格しなかった過去ロット数｝
分子の「各実績の偏差値−今回ロットの偏差値」から明らかなように、標準類似度は、今回ロットの偏差値に対する過去ロットの偏差値の平均的なばらつきの大きさを表す。

次に、類似度計算部１２は、検査項目毎に今回ロットとの類似度を算出する（Ｓ３０３）。類似度の計算式は以下のようになる。この計算を、各検査項目（誘電率、磁気性、凝集度、流動性）について行う。
類似度＝｛（過去ロットの偏差値−今回ロットの偏差値）／標準類似度｝＋５０
すなわち、今回ロットの偏差値と過去のあるロットの偏差値との乖離を、偏差値の平均的なばらつきの大きさで除して類似度とする。今回ロットの偏差値と偏差値の差分を求めるので、類似度は今回ロットの偏差値に対する過去ロットの偏差値の隔たりである。この式のとおり、類似度は５０を中心に増減するので、５０に近いほど今回ロットとの類似度が高いことになる。

例えば、ロット１と今回ロットの類似度は、誘電率で48.93、磁気性で50.71、凝集度で48.82、流動性で50.93である。いずれの類似度も標準類似度で除しているので、各検査項目のばらつきやすさは類似度から除去されている。すなわち、仮に誘電率と凝集度の類似度が同じなら、誘電率と凝集度は同じ程度で類似していると評価できる。

ロット１の各検査項目とロット４の各検査項目で類似度を求めると、類似度計算部１２はロット２の各検査項目とロット４の各検査項目の類似度を算出する。これを過去の再検査対象となったロットの数だけ繰り返す。

なお、他の算出方法で類似度を算出してもよい。各ロットは検査項目毎に偏差値を有しているので、この偏差値の組をベクトルとみなせば、各ロットの偏差値の組同士によりｎ次元空間のユークリッド距離を求めることができる。例えば、ロット１とロット４のユークリッド距離は以下のように表すことができる。なお、ユークリッド距離は小さいほど類似している度合いが強いことを意味する。
ユークリッド距離＝√｛（50.48-49.52）²＋（49.94-50.30）²＋（52.64-51.06）²＋(48.47-50.96)²｝

〔類似判定〕
図１１は類似判定を説明する図の一例である。類似判定は、今回ロットと類似した過去ロットを抽出するための処理である。類似判定の考え方は、類似度が全ての検査項目において５０を中心にある上下限に入っていることとする。上下限は、例えば４８〜５２（48.00以上、52.00未満）とする。

ロット１とロット４の各検査項目の類似度はそれぞれ（48.93、50.71、48.82、50.93）なので、全ての類似度が上下限に入っている。ロット２とロット４の各検査項目の類似度は（59.30、41.20、48.96、51.57）なので、誘電率と磁気性が上下限に入っていない。ロット３とロット４の各検査項目の類似度は（50.36、50.48、49.00、51.00）なので、全ての類似度が上下限に入っている。

類似判定部１３は、全ての検査項目が上下限に入るロット１、３を、合格率を推定するための過去ロットとして特定する。なお、全ての検査項目が上下限に入る過去ロットがない場合、類似判定部１３は、１つを除き全ての検査項目が上下限に入る過去ロットを特定してもよい。１つの検査項目だけ上下限に入らなくても、再検査合格率が近い場合があるからである。こうすることで、今回ロットの再検査合格率を得やすくすることができる。

また、検査項目の個数でなく、例えば、全検査項目の９０％が上下限に入る過去ロットを類似すると判定してもよい。

〔検査月ごとの加重平均〕
類似判定によって、各検査項目の実績値から求められた偏差値が類似したロット１，３を抽出することができた。よってこれらロット１，３の再検査合格率は今回ロットにおいても参考になる可能性が高い。例えば、ロット１、３の再検査合格率が高ければ今回ロットの再検査合格率も高いと予測する合理性がある。

しかしながら、実績値そのものの信頼性が低下していると過去ロットの再検査合格率を今回ロットの再検査合格率の推定に利用するための前提を欠くおそれがある。例えば、検査装置２００を校正したとしても、季節的変化、オペレータの交替、検査装置２００の入れ替え等の影響を受ける。また、検査対象物の原材料、生産工場、管理方法などが変わる可能性は時間の経過と共に大きくなる。そこで、本実施形態の合格率推定部１４は、類似しているロット１，３の検査日から今回ロットの検査日までの経過日数に応じて、再検査合格率を重み付けする。すなわち、経過日数が短いほど重み付けを大きくする。重み付けは例えば次のようになる。なお、6ヶ月前よりも過去は、一律に0.1よりも小さい重み付け（例えば、ゼロ、0.05）を与えてもよいし、0.1よりも小さくかつ経過日数が多いほど小さくなる重み付けを与えてもよい。

検査０〜１ヶ月前：１
検査１〜３ヶ月前：０.６
検査３〜６ヶ月前：０.１

ただし、Ｗｉは重み付け、Ｘｉは過去ロットの再検査合格率、ｎは類似する過去ロットの数、である。

図１２（ａ）は、今回ロットの再検査合格率の推定について説明する図の一例である。図１２（ａ）に示すように、ロット１の検査日がロット４の検査日の３〜６ヶ月前、ロット３の検査日がロット４の検査日の０〜１ヶ月前、であるとする。なお、ロット１の再検査合格率は１００％、ロット３の再検査合格率は８０％とする。

図１２（ｂ）は、ロット４の再検査合格率の計算を説明する図の一例である。ロット１の重み付けは１、再検査合格率は１００％であり、ロット３の重み付けは０．１、再検査合格率は８０％である。このためロット４の再検査合格率は以下のようになる。
ロット４の再検査合格率＝（1×1.00＋0.1×0.8）／（1＋0.1）
＝0.9164（＝91.64％）
したがって、合格率推定部１４は、ロット４が再検査により合格する再検査合格率を91.64％であると推定する。これから、製造管理者は、製品の製造のためにロット４では足りなくなる100-91.64=8.36％を今後のロットにおいて余分に作成すればよいという生産計画を立てることができる。このように必要最小限の量を再生産すればよいので、余分に作成される材料や部品によるコストを低減でき、余分に作成される材料や部品の在庫管理にかかる費用を抑制できる。

１１偏差値計算部
１２類似度計算部
１３類似判定部
１４合格率推定部
１００合格率推定装置
２００検査装置
３００検査システム

特開２０１０−２１１３０９号公報

Claims

検査対象物をロット毎に第一の検査方法で検査して、検査に合格しなかったロットを前記第一の検査方法とは異なる第二の検査方法で検査した場合に合格する可能性を推定する合格率推定装置であって、
１つ以上の検査項目における今回のロットの計測値を取得する計測値取得手段と、
前記第一の検査方法で検査に合格しなかった過去のロットの前記検査項目の過去計測値、及び、過去のロットが前記第二の検査方法で合格した再検査合格率を記憶した過去計測値記憶手段と、
前記検査項目毎に前記過去計測値により標準化された、規格値に対する今回のロットの前記計測値の偏差量を計算する偏差量計算手段と、
前記過去計測値の過去偏差量を記憶した過去偏差量記憶手段と、
前記検査項目毎に前記偏差量に対する前記過去偏差量の差の大きさを算出する差算出手段と、
前記過去計測値記憶手段から、前記検査項目毎の前記差が所定値内に入る過去のロットの前記再検査合格率を読み出し、今回のロットの再検査合格率を推定する再検査合格率推定手段と、
を有する合格率推定装置。
前記過去計測値記憶手段には、ロット毎に前記第一の検査方法による検査日が記憶されており、
前記再検査合格率推定手段は、過去のロットの検査日から今回のロットの検査日までの経過日数に応じて前記再検査合格率に重み付けして今回のロットの再検査合格率を推定する、
ことを特徴とする請求項１記載の合格率推定装置。
前記偏差量計算手段は、次式、
Ａ＝√｛Σ（過去計測値−規格値）^２／第一の検査方法で検査に合格しなかった過去のロット数｝
偏差量＝｛（計測値−規格値）／Ａ｝＋５０
から前記偏差量を求め、
前記差算出手段は、次式、
Ｂ＝√｛Σ（過去のロットの偏差量−今回ロットの偏差量）^２／第一の検査方法で検査に合格しなかった過去のロット数｝
差の大きさ＝｛（過去のロットの偏差量−今回ロットの偏差値）／Ｂ｝＋５０
から前記差の大きさを算出する、
ことを特徴とする請求項１又は２記載の合格率推定装置。
前記差算出手段は、今回ロットの各検査項目の前記偏差量の組と、過去のロットの各検査項目の前記偏差量の組とのユークリッド距離を求め、
前記再検査合格率推定手段は、今回ロットからのユークリッド距離が所定値内に入る過去のロットの前記再検査合格率を読み出し、今回のロットの再検査合格率を推定する、
ことを特徴とする請求項１又は２記載の合格率推定装置。
検査対象物をロット毎に第一の検査方法で検査して、検査に合格しなかったロットを前記第一の検査方法とは異なる第二の検査方法で検査した場合に合格する可能性を推定する合格率推定方法であって、
計測値取得手段が、１つ以上の検査項目における今回のロットの計測値を取得するステップと、
偏差量計算手段が、前記検査項目毎に今回のロットの前記計測値の規格値に対する偏差量を計算するステップと、
前記第一の検査方法で検査に合格しなかった過去のロットの前記検査項目の過去計測値、及び、過去のロットが前記第二の検査方法で合格した再検査合格率を記憶した過去計測値記憶手段から、偏差量計算手段が、前記過去計測値を読み出して、前記検査項目毎に前記過去計測値により標準化された、規格値に対する今回のロットの前記計測値の偏差量を計算するステップと、
前記過去計測値の過去偏差量を記憶した過去偏差量記憶手段から、再検査合格率推定手段が、前記検査項目毎の前記差が所定値内に入る過去のロットの前記再検査合格率を読み出し、今回のロットの再検査合格率を推定するステップと、
を有する合格率推定方法。
検査対象物をロット毎に第一の検査方法で検査して、検査に合格しなかったロットを前記第一の検査方法とは異なる第二の検査方法で検査した場合に合格する可能性を推定する合格率推定装置に
１つ以上の検査項目における今回のロットの計測値を取得する計測値取得ステップと、
前記検査項目毎に今回のロットの前記計測値の規格値に対する偏差量を計算する偏差量計算ステップと、
前記第一の検査方法で検査に合格しなかった過去のロットの前記検査項目の過去計測値、及び、過去のロットが前記第二の検査方法で合格した再検査合格率を記憶した過去計測値記憶手段から、前記過去計測値を読み出して、前記検査項目毎に前記過去計測値により標準化された、規格値に対する今回のロットの前記計測値の偏差量を計算する偏差量計算ステップと、
前記過去計測値の過去偏差量を記憶した過去偏差量記憶手段から、前記検査項目毎の前記差が所定値内に入る過去のロットの前記再検査合格率を読み出し、今回のロットの再検査合格率を推定する再検査合格率推定ステップと、
を実行させるプログラム。