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JP2013010895A - Insulating adhesive film, laminate, cured product and composite body - Google Patents

Insulating adhesive film, laminate, cured product and composite body Download PDF

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JP2013010895A
JP2013010895A JP2011145628A JP2011145628A JP2013010895A JP 2013010895 A JP2013010895 A JP 2013010895A JP 2011145628 A JP2011145628 A JP 2011145628A JP 2011145628 A JP2011145628 A JP 2011145628A JP 2013010895 A JP2013010895 A JP 2013010895A
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JP
Japan
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layer
resin composition
plated
alicyclic olefin
film
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2011145628A
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Japanese (ja)
Inventor
Atsushi Hayashi
敦 林
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Zeon Corp
Original Assignee
Nippon Zeon Co Ltd
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Publication date
Application filed by Nippon Zeon Co Ltd filed Critical Nippon Zeon Co Ltd
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Abstract

【課題】低線膨張であり、配線埋め込み性に優れ、高いピール強度を有する絶縁性接着フィルムを提供すること。
【解決手段】極性基を有する脂環式オレフィン重合体(A1)、及び無機充填剤(A2)を含有する被めっき層用樹脂組成物からなる被めっき層と、有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)、及び無機充填剤(B2)を含有してなる接着層用樹脂組成物からなる接着層とを有する絶縁性接着フィルムを提供する。
【選択図】なし
Disclosed is an insulating adhesive film having low linear expansion, excellent wiring embedding properties, and high peel strength.
A plating layer comprising a resin composition for a plating layer containing an alicyclic olefin polymer (A1) having a polar group and an inorganic filler (A2), an organic solvent-soluble polyimide (B1), And an adhesive layer made of a resin composition for an adhesive layer containing an inorganic filler (B2).
[Selection figure] None

Description

本発明は、絶縁性接着フィルム、積層体、硬化物、及び複合体に関する。   The present invention relates to an insulating adhesive film, a laminate, a cured product, and a composite.

電子機器の小型化、多機能化、通信高速化などの追求に伴い、電子機器に用いられる回路基板のさらなる高密度化が要求されており、このような高密度化の要求に応えるために、回路基板の多層化が図られている。このような多層回路基板は、例えば、電気絶縁層とその表面に形成された導体層とからなる内層基板の上に、電気絶縁層を積層し、この電気絶縁層の上に導体層を形成させ、さらに、これら電気絶縁層の積層と、導体層の形成と、を繰り返し行なうことにより形成される。電気絶縁層と導体層とは、必要に応じて、数段積層することもできる。   With the pursuit of downsizing, multi-functionalization, high-speed communication, etc. of electronic devices, there is a need for higher density circuit boards used in electronic devices. To meet such demands for higher density, Circuit boards are being made multilayered. In such a multilayer circuit board, for example, an electrical insulation layer is laminated on an inner layer substrate composed of an electrical insulation layer and a conductor layer formed on the surface thereof, and a conductor layer is formed on the electrical insulation layer. Further, it is formed by repeatedly stacking these electrical insulating layers and forming the conductor layer. The electrical insulating layer and the conductor layer can be laminated in several stages as required.

このような多層回路基板においては、導体層と電気絶縁層との線膨張差により回路の断線が発生してしまう場合があり、特に、導体層が高密度のパターンである場合にはこのような断線の問題は顕著であった。そのため、多層回路基板においては、電気絶縁層の低線膨張化が求められている。電気絶縁層の低線膨張化には、一般に、無機充填剤を添加することが有効ではあるが、無機充填剤を添加することにより、電気絶縁層の表面粗度が高くなってしまい、電気絶縁層表面に導体層を形成し、該導体層をエッチングすることにより微細配線を形成した際に、エッチング不良によりパターン間に導体が残ったり、導体に浮きや剥れが発生してしまうという問題が発生してしまう。   In such a multilayer circuit board, a circuit breakage may occur due to a difference in linear expansion between the conductor layer and the electrical insulating layer, particularly when the conductor layer has a high-density pattern. The problem of disconnection was significant. Therefore, in the multilayer circuit board, it is required to reduce the linear expansion of the electrical insulating layer. In general, it is effective to add an inorganic filler to reduce the linear expansion of the electrical insulating layer. However, the addition of the inorganic filler increases the surface roughness of the electrical insulating layer, and thus the electrical insulation. When a conductor layer is formed on the surface of the layer and fine wiring is formed by etching the conductor layer, there is a problem that the conductor remains between patterns due to defective etching or the conductor is lifted or peeled off. Will occur.

これに対し、電気絶縁層の表面粗度を低くしながら、低線膨張化を実現するために、たとえば、特許文献1では、ポリイミド樹脂及び無機フィラーを含有する第1の層と、ポリイミド樹脂及び無機フィラーを含有し、第1の層よりも無機フィラーの含有量を少なくした第2の層とからなる電気絶縁層用の接着シートが提案されている。   On the other hand, in order to achieve low linear expansion while reducing the surface roughness of the electrical insulating layer, for example, in Patent Document 1, a first layer containing a polyimide resin and an inorganic filler, a polyimide resin, and There has been proposed an adhesive sheet for an electrical insulating layer comprising an inorganic filler and a second layer containing a smaller amount of the inorganic filler than the first layer.

特開2006−45388号公報JP 2006-45388 A

しかしながら、本発明者らが検討したところ、上述した特許文献1に記載の技術では、得られる電気絶縁層の表面粗度を低くすることは可能であるものの、低線膨張化が必ずしも十分でなく、しかも、ピール強度が低く、信頼性に劣ってしまうという不具合があった。   However, as a result of investigations by the present inventors, the technique described in Patent Document 1 described above can reduce the surface roughness of the obtained electrical insulating layer, but low linear expansion is not always sufficient. In addition, there is a problem that the peel strength is low and the reliability is poor.

本発明の目的は、低線膨張で、配線埋め込み性に優れ、高いピール強度を有する電気絶縁層を形成可能な絶縁性接着フィルム、ならびに、これを用いて得られる積層体、硬化物、及び複合体を提供することである。   An object of the present invention is to provide an insulating adhesive film capable of forming an electrically insulating layer having low linear expansion, excellent wiring embedding property, and high peel strength, and a laminate, a cured product, and a composite obtained by using the insulating adhesive film Is to provide a body.

本発明者らは、上記目的を達成するために鋭意研究した結果、絶縁性接着フィルムを、極性基を有する脂環式オレフィン重合体及び無機充填剤を含有する被めっき層と、有機溶剤可溶性ポリイミド及び無機充填剤を含有する接着層とからなる2層構造で形成することにより、当該絶縁接着フィルムによれば、低線膨張で、配線埋め込み性に優れ、高いピール強度を有する電気絶縁層を形成可能であることを見出し、本発明を完成させるに至った。
特に、本発明によれば、絶縁性接着フィルムを、被めっき層と接着層とを異なる樹脂で構成し、これら異なる樹脂の2層構造としたことによる不具合、具体的には、2層間における密着性が悪くピール強度が低下してしまうという不具合の発生を有効に防止しながら、低線膨張性、及び優れた配線埋め込み性を有する電気絶縁層の形成を実現するものである。
As a result of diligent research to achieve the above object, the inventors of the present invention obtained an insulating adhesive film, a plated layer containing an alicyclic olefin polymer having a polar group and an inorganic filler, and an organic solvent-soluble polyimide. And an insulating layer containing an inorganic filler, the insulating adhesive film forms an electrically insulating layer with low linear expansion, excellent wiring embedding, and high peel strength. The inventors have found that this is possible and have completed the present invention.
In particular, according to the present invention, the insulative adhesive film is composed of a different resin for the plated layer and the adhesive layer and has a two-layer structure of these different resins, specifically, adhesion between the two layers. It is possible to realize the formation of an electrical insulating layer having low linear expansion and excellent wiring embedding while effectively preventing the occurrence of a problem that the property is poor and the peel strength is lowered.

すなわち、本発明によれば、
〔1〕極性基を有する脂環式オレフィン重合体(A1)、及び無機充填剤(A2)を含有する被めっき層用樹脂組成物からなる被めっき層と、有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)、及び無機充填剤(B2)を含有してなる接着層用樹脂組成物からなる接着層とを有する絶縁性接着フィルム、
〔2〕前記被めっき層用樹脂組成物が、前記極性基と反応可能な官能基を分子内に2個以上有する硬化性化合物(A3)をさらに含有し、前記接着層用樹脂組成物が、エポキシ樹脂(B3)、フェノール化合物(B4)、及び硬化促進剤(B5)をさらに含有する前記〔1〕に記載の絶縁性接着フィルム、
〔3〕前記被めっき層の厚みが1〜10μmであり、前記接着層の厚みが10〜100μmである前記〔1〕又は〔2〕に記載の絶縁性接着フィルム、
〔4〕前記〔1〕〜〔3〕のいずれかに記載の絶縁性接着フィルムを基材に積層してなる積層体、
〔5〕前記〔1〕〜〔3〕のいずれかに記載の絶縁性接着フィルム、又は前記〔4〕に記載の積層体を硬化してなる硬化物、
〔6〕前記〔5〕に記載の硬化物の表面に、無電解めっきにより、導体層を形成してなる複合体、ならびに、
〔7〕前記〔5〕に記載の硬化物、又は前記〔6〕に記載の複合体を構成材料として含む電子材料用基板、
が提供される。
That is, according to the present invention,
[1] A plated layer comprising a resin composition for a plated layer containing an alicyclic olefin polymer (A1) having a polar group and an inorganic filler (A2), an organic solvent-soluble polyimide (B1), and An insulating adhesive film having an adhesive layer made of a resin composition for an adhesive layer containing an inorganic filler (B2),
[2] The resin composition for a plated layer further contains a curable compound (A3) having two or more functional groups capable of reacting with the polar group in the molecule, and the resin composition for an adhesive layer is The insulating adhesive film according to [1], further including an epoxy resin (B3), a phenol compound (B4), and a curing accelerator (B5),
[3] The insulating adhesive film according to [1] or [2], wherein the plated layer has a thickness of 1 to 10 μm, and the adhesive layer has a thickness of 10 to 100 μm.
[4] A laminate formed by laminating the insulating adhesive film according to any one of [1] to [3] on a base material,
[5] A cured product obtained by curing the insulating adhesive film according to any one of [1] to [3] or the laminate according to [4],
[6] A composite formed by forming a conductor layer by electroless plating on the surface of the cured product according to [5], and
[7] The cured material according to [5], or the electronic material substrate including the composite according to [6] as a constituent material,
Is provided.

本発明によれば、低線膨張で、配線埋め込み性に優れ、高いピール強度を有する電気絶縁層を形成可能な絶縁性接着フィルム、ならびに、これを用いて得られる積層体、硬化物、及び複合体が提供される。   According to the present invention, an insulating adhesive film having a low linear expansion, excellent wiring embedding property, and capable of forming an electrical insulating layer having high peel strength, and a laminate, a cured product, and a composite obtained using the same The body is provided.

本発明の絶縁性接着フィルムは、極性基を有する脂環式オレフィン重合体(A1)、及び無機充填剤(A2)を含有する被めっき層用樹脂組成物からなる被めっき層と、有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)、及び無機充填剤(B2)を含有してなる接着層用樹脂組成物からなる接着層とを有するものである。
なお、本明細書において脂環式オレフィン重合体とは、脂環式構造を有するオレフィン(脂環式オレフィン)単量体由来の繰り返し単位、又は当該繰り返し単位と同視しうる繰り返し単位(以下、便宜的に、両者をまとめて脂環式オレフィン単量体由来の繰り返し単位という。)を含んでなる重合体をいう。
The insulating adhesive film of the present invention comprises a plated layer comprising a resin composition for a plated layer containing an alicyclic olefin polymer (A1) having a polar group and an inorganic filler (A2), and is soluble in an organic solvent. It has an adhesive layer which consists of a resin composition for adhesive layers containing a polyimide (B1) and an inorganic filler (B2).
In the present specification, the alicyclic olefin polymer means a repeating unit derived from an olefin (alicyclic olefin) monomer having an alicyclic structure, or a repeating unit that can be regarded as the repeating unit (hereinafter referred to as convenience). In other words, both are collectively referred to as a repeating unit derived from an alicyclic olefin monomer).

(被めっき層用樹脂組成物)
まず、被めっき層を形成するための被めっき層用樹脂組成物について説明する。本発明で用いる被めっき層用樹脂組成物は、極性基を有する脂環式オレフィン重合体(A1)、及び無機充填剤(A2)を含有する。
(Resin composition for plated layer)
First, the resin composition for to-be-plated layers for forming a to-be-plated layer is demonstrated. The resin composition for to-be-plated layer used by this invention contains the alicyclic olefin polymer (A1) which has a polar group, and an inorganic filler (A2).

(極性基を有する脂環式オレフィン重合体(A1))
本発明で用いる被めっき層用樹脂組成物は、樹脂成分として、極性基を有する脂環式オレフィン重合体(A1)を含有する。
本発明で用いる極性基を有する脂環式オレフィン重合体(A1)(以下、適宜、「脂環式オレフィン重合体(A1)」と略記する。)を構成する脂環構造としては、シクロアルカン構造やシクロアルケン構造などが挙げられるが、機械的強度や耐熱性などの観点から、シクロアルカン構造が好ましい。また、脂環式構造としては、単環、多環、縮合多環、橋架け環や、これらを組み合わせてなる多環などが挙げられる。脂環式構造を構成する炭素原子数は、特に限定されないが、通常4〜30個、好ましくは5〜20個、より好ましくは5〜15個の範囲であり、脂環式構造を構成する炭素原子数がこの範囲にある場合に、機械的強度、耐熱性、及び成形性の諸特性が高度にバランスされ好適である。また、脂環式オレフィン重合体(A1)は、通常、熱可塑性のものである。
(Aliphatic olefin polymer having a polar group (A1))
The resin composition for to-be-plated layer used by this invention contains the alicyclic olefin polymer (A1) which has a polar group as a resin component.
As the alicyclic structure constituting the alicyclic olefin polymer (A1) having a polar group used in the present invention (hereinafter abbreviated as “alicyclic olefin polymer (A1)” as appropriate), a cycloalkane structure is used. And a cycloalkene structure are preferable, but a cycloalkane structure is preferable from the viewpoint of mechanical strength and heat resistance. Examples of the alicyclic structure include monocycles, polycycles, condensed polycycles, bridged rings, and polycycles formed by combining these. The number of carbon atoms constituting the alicyclic structure is not particularly limited, but is usually in the range of 4 to 30, preferably 5 to 20, more preferably 5 to 15, and the carbon constituting the alicyclic structure. When the number of atoms is in this range, the mechanical strength, heat resistance, and moldability are highly balanced and suitable. The alicyclic olefin polymer (A1) is usually thermoplastic.

本発明においては、被めっき層を構成する樹脂成分として、脂環式オレフィン重合体(A1)を用いることにより、本発明の絶縁性接着フィルムを、後述する有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)を樹脂成分として含有してなる接着層との間における密着性を良好なものとしながら、被めっき層表面における表面粗度を低く抑えるものとすることができる。そして、これにより、被めっき層上に、無電解めっき等により導電層を形成した際に、被めっき層と接着層との間における密着性、及び被めっき層と導電層との間における密着性のいずれも優れたものとすることが可能となる。すなわち、被めっき層上に、無電解めっき等により導電層を形成した際における、ピール強度を優れたものとすることができる。   In the present invention, an alicyclic olefin polymer (A1) is used as a resin component constituting the layer to be plated, so that the insulating adhesive film of the present invention is an organic solvent-soluble polyimide (B1) described later as a resin component. As a result, the surface roughness on the surface of the layer to be plated can be kept low while the adhesion between the adhesive layer and the adhesive layer is good. Thus, when the conductive layer is formed on the layer to be plated by electroless plating or the like, the adhesion between the layer to be plated and the adhesive layer, and the adhesion between the layer to be plated and the conductive layer Either of these can be made excellent. That is, the peel strength when the conductive layer is formed on the layer to be plated by electroless plating or the like can be made excellent.

脂環式オレフィン重合体(A1)中の脂環式オレフィン単量体由来の繰り返し単位の割合は、特に限定されないが、通常30〜100重量%、好ましくは50〜100重量%、より好ましくは70〜100重量%である。脂環式オレフィン単量体由来の繰り返し単位の割合が少なすぎると、耐熱性に劣り好ましくない。脂環式オレフィン単量体由来の繰り返し単位以外の繰り返し単位としては、格別な限定はなく、目的に応じて適宜選択される。   The ratio of the repeating unit derived from the alicyclic olefin monomer in the alicyclic olefin polymer (A1) is not particularly limited, but is usually 30 to 100% by weight, preferably 50 to 100% by weight, more preferably 70. ~ 100% by weight. When the ratio of the repeating unit derived from the alicyclic olefin monomer is too small, the heat resistance is inferior, which is not preferable. The repeating unit other than the repeating unit derived from the alicyclic olefin monomer is not particularly limited and is appropriately selected depending on the purpose.

脂環式オレフィン重合体(A1)が有する極性基としては、特に限定されないが、アルコール性水酸基、フェノール性水酸基、カルボキシル基、アルコキシル基、エポキシ基、グリシジル基、オキシカルボニル基、カルボニル基、アミノ基、エステル基、カルボン酸無水物基、スルホン酸基、リン酸基などが挙げられるが、これらのなかでも、カルボキシル基、カルボン酸無水物基、及びフェノール性水酸基が好ましく、カルボン酸無水物基がより好ましい。なお、脂環式オレフィン重合体(A1)は、2種以上の極性基を有するものであってもよい。また、脂環式オレフィン重合体(A1)の極性基は、重合体の主鎖を構成する原子に直接結合していても、メチレン基、オキシ基、オキシカルボニルオキシアルキレン基、フェニレン基などの他の二価の基を介して結合していてもよい。脂環式オレフィン重合体(A1)中の極性基の含有率は、特に制限されないが、脂環式オレフィン重合体(A1)を構成する全繰り返し単位100モル%中、通常5〜60モル%、好ましくは10〜50モル%である。   The polar group possessed by the alicyclic olefin polymer (A1) is not particularly limited, but alcoholic hydroxyl group, phenolic hydroxyl group, carboxyl group, alkoxyl group, epoxy group, glycidyl group, oxycarbonyl group, carbonyl group, amino group. , Ester groups, carboxylic acid anhydride groups, sulfonic acid groups, phosphoric acid groups, etc., among these, carboxyl groups, carboxylic acid anhydride groups, and phenolic hydroxyl groups are preferred, and carboxylic acid anhydride groups are preferred. More preferred. The alicyclic olefin polymer (A1) may have two or more polar groups. In addition, the polar group of the alicyclic olefin polymer (A1) may be directly bonded to an atom constituting the main chain of the polymer, but may be a methylene group, an oxy group, an oxycarbonyloxyalkylene group, a phenylene group, or the like. And may be bonded via a divalent group. The content of the polar group in the alicyclic olefin polymer (A1) is not particularly limited, but is usually 5 to 60 mol% in 100 mol% of all repeating units constituting the alicyclic olefin polymer (A1). Preferably it is 10-50 mol%.

本発明で用いる脂環式オレフィン重合体(A1)は、たとえば、以下の方法により得ることができる。すなわち、(1)極性基を有する脂環式オレフィンを、必要に応じて他の単量体を加えて、重合する方法、(2)極性基を有しない脂環式オレフィンを、極性基を有する単量体と共重合する方法、(3)極性基を有する芳香族オレフィンを、必要に応じて他の単量体を加えて、重合し、これにより得られる重合体の芳香環部分を水素化する方法、(4)極性基を有しない芳香族オレフィンを、極性基を有する単量体と共重合し、これにより得られる重合体の芳香環部分を水素化する方法、又は、(5)極性基を有しない脂環式オレフィン重合体に極性基を有する化合物を変性反応により導入する方法、もしくは(6)前述の(1)〜(5)のようにして得られる極性基(例えばカルボン酸エステル基など)を有する脂環式オレフィン重合体の極性基を、例えば加水分解することなどにより他の極性基(例えばカルボキシル基)に変換する方法などにより得ることができる。これらのなかでも、前述の(1)の方法によって得られる重合体が好適である。
本発明で用いる脂環式オレフィン重合体(A1)を得る重合法は開環重合や付加重合が用いられるが、開環重合の場合には得られた開環重合体を水素添加することが好ましい。
The alicyclic olefin polymer (A1) used in the present invention can be obtained, for example, by the following method. That is, (1) a method of polymerizing an alicyclic olefin having a polar group by adding another monomer as necessary, (2) an alicyclic olefin having no polar group having a polar group (3) Aromatic olefin having a polar group is polymerized by adding another monomer if necessary, and the aromatic ring portion of the polymer obtained by this is hydrogenated. (4) A method of copolymerizing an aromatic olefin having no polar group with a monomer having a polar group and hydrogenating the aromatic ring portion of the polymer obtained thereby, or (5) Polarity A method in which a compound having a polar group is introduced into a cycloaliphatic olefin polymer having no group by a modification reaction, or (6) a polar group (for example, a carboxylic acid ester) obtained as described in (1) to (5) above Group of alicyclic olefin polymer having Sex group can be obtained by a method of converting into other polar groups (e.g., carboxyl group) by, for example, hydrolysis. Among these, a polymer obtained by the method (1) described above is preferable.
As the polymerization method for obtaining the alicyclic olefin polymer (A1) used in the present invention, ring-opening polymerization or addition polymerization is used. In the case of ring-opening polymerization, it is preferable to hydrogenate the obtained ring-opened polymer. .

極性基を有する脂環式オレフィンの具体例としては、5−ヒドロキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メチル−5−ヒドロキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシメチル−5−ヒドロキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、9−ヒドロキシカルボニルテトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]ドデカ−4−エン、9−メチル−9−ヒドロキシカルボニルテトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]ドデカ−4−エン、9−カルボキシメチル−9−ヒドロキシカルボニルテトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]ドデカ−4−エン、5−エキソ−6−エンド−ジヒドロキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、9−エキソ−10−エンド−ジヒドロキシカルボニルテトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]ドデカ−4−エン、などのカルボキシル基を有する脂環式オレフィン;ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン−5,6−ジカルボン酸無水物、テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]ドデカ−4−エン−9,10−ジカルボン酸無水物、ヘキサシクロ[10.2.1.13,10.15,8.02,11.04,9]ヘプタデカ−6−エン−13,14−ジカルボン酸無水物などのカルボン酸無水物基を有する脂環式オレフィン;9−メチル−9−メトキシカルボニルテトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]ドデカ−4−エン、5−メトキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メチル−5−メトキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エンなどのカルボン酸エステル基を有する脂環式オレフィン;(5−(4−ヒドロキシフェニル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、9−(4−ヒドロキシフェニル)テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]ドデカ−4−エン、N−(4−ヒドロキシフェニル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシイミドなどのフェノール性水酸基を有する脂環式オレフィンなどが挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。 Specific examples of the alicyclic olefin having a polar group include 5-hydroxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methyl-5-hydroxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept- 2-ene, 5-carboxymethyl-5-hydroxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 9-hydroxycarbonyltetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7 ] dodec-4-ene, 9-methyl-9-hydroxycarbonyltetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7 ] dodec-4-ene, 9-carboxymethyl-9-hydroxycarbonyltetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7 ] dodec-4-ene, 5-exo-6-endo-dihydroxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 9-exo-10-endo-dihydroxycarbonyltetracyclo [6. 2.1.1 3,6 . Alicyclic olefin having a carboxyl group such as 0 2,7 ] dodec-4-ene; bicyclo [2.2.1] hept-2-ene-5,6-dicarboxylic anhydride, tetracyclo [6.2 1.1 3, 6 . 0 2,7] dodeca-4-ene-9,10-dicarboxylic anhydride, hexacyclo [10.2.1.1 3, 10. 1 5,8 . 0 2,11 . Alicyclic olefins having a carboxylic anhydride group such as 0 4,9 ] heptadeca-6-ene-13,14-dicarboxylic anhydride; 9-methyl-9-methoxycarbonyltetracyclo [6.2.1. 1 3,6 . 0 2,7 ] dodec-4-ene, 5-methoxycarbonyl-bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methyl-5-methoxycarbonyl-bicyclo [2.2.1] hept-2 Cycloaliphatic olefins having a carboxylic acid ester group such as -ene; (5- (4-hydroxyphenyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 9- (4-hydroxyphenyl) tetracyclo [6. 2.1.13, 6.02,7] Phenols such as dodec-4-ene, N- (4-hydroxyphenyl) bicyclo [2.2.1] hept-5-ene-2,3-dicarboximide And alicyclic olefins having a functional hydroxyl group, etc. These may be used alone or in combination of two or more.

極性基を有しない脂環式オレフィンの具体例としては、ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン(慣用名:ノルボルネン)、5−エチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ブチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−エチリデン−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メチリデン−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ビニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカ−3,8−ジエン(慣用名:ジシクロペンタジエン)、テトラシクロ〔6.2.1.13,6.02,7〕ドデカ−4−エン(慣用名:テトラシクロドデセン)、9−メチル−テトラシクロ〔6.2.1.13,6.02,7〕ドデカ−4−エン、9−エチル−テトラシクロ〔6.2.1.13,6.02,7〕ドデカ−4−エン、9−メチリデン−テトラシクロ〔6.2.1.13,6.02,7〕ドデカ−4−エン、9−エチリデン−テトラシクロ〔6.2.1.13,6.02,7〕ドデカ−4−エン、9−メトキシカルボニル−テトラシクロ〔6.2.1.13,6.02,7〕ドデカ−4−エン、9−ビニル−テトラシクロ〔6.2.1.13,6.02,7〕ドデカ−4−エン、9−プロペニル−テトラシクロ〔6.2.1.13,6.02,7〕ドデカ−4−エン、9−フェニル−テトラシクロ〔6.2.1.13,6.02,7〕ドデカ−4−エン、テトラシクロ[9.2.1.02,10.03,8]テトラデカ−3,5,7,12−テトラエン、シクロペンテン、シクロペンタジエンなどが挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよいし2種以上を併用してもよい。 Specific examples of the alicyclic olefin having no polar group include bicyclo [2.2.1] hept-2-ene (common name: norbornene), 5-ethyl-bicyclo [2.2.1] hept-2. -Ene, 5-butyl-bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethylidene-bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methylidene-bicyclo [2.2.1] ] Hept-2-ene, 5-vinyl-bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] deca-3,8-diene (common name: di) Cyclopentadiene), tetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7 ] dodec-4-ene (common name: tetracyclododecene), 9-methyl-tetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7 ] dodec-4-ene, 9-ethyl-tetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7 ] dodec-4-ene, 9-methylidene-tetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7 ] dodec-4-ene, 9-ethylidene-tetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7 ] dodec-4-ene, 9-methoxycarbonyl-tetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7 ] dodec-4-ene, 9-vinyl-tetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7 ] dodec-4-ene, 9-propenyl-tetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7 ] dodec-4-ene, 9-phenyl-tetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7] dodeca-4-ene, tetracyclo [9.2.1.0 2,10. 0 3,8 ] tetradeca-3,5,7,12-tetraene, cyclopentene, cyclopentadiene and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

極性基を有しない芳香族オレフィンの例としては、スチレン、α−メチルスチレン、ジビニルベンゼンなどが挙げられる。これらの具体例が前記極性基を有する場合、極性基を有する芳香族オレフィンの例として挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよいし2種以上を併用してもよい。   Examples of the aromatic olefin having no polar group include styrene, α-methylstyrene, divinylbenzene and the like. When these specific examples have the said polar group, it is mentioned as an example of the aromatic olefin which has a polar group. These may be used alone or in combination of two or more.

脂環式オレフィンや芳香族オレフィンと共重合することができる、極性基を有する脂環式オレフィン以外の、極性基を有する単量体としては、極性基を有するエチレン性不飽和化合物が挙げられ、その具体例としては、アクリル酸、メタクリル酸、α−エチルアクリル酸、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリル酸、マレイン酸、フマール酸、イタコン酸などの不飽和カルボン酸化合物;無水マレイン酸、ブテニル無水コハク酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水シトラコン酸などの不飽和カルボン酸無水物;などが挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよいし2種以上を併用してもよい。   Examples of the monomer having a polar group other than the alicyclic olefin having a polar group that can be copolymerized with an alicyclic olefin or an aromatic olefin include ethylenically unsaturated compounds having a polar group, Specific examples thereof include unsaturated carboxylic acid compounds such as acrylic acid, methacrylic acid, α-ethylacrylic acid, 2-hydroxyethyl (meth) acrylic acid, maleic acid, fumaric acid and itaconic acid; maleic anhydride, butenyl anhydride And unsaturated carboxylic acid anhydrides such as succinic acid, tetrahydrophthalic anhydride and citraconic anhydride. These may be used alone or in combination of two or more.

脂環式オレフィンや芳香族オレフィンと共重合することができる、脂環式オレフィン以外の、極性基を有しない単量体としては、極性基を有しないエチレン性不飽和化合物が挙げられ、その具体例としては、エチレン、プロピレン、1−ブテン、1−ペンテン、1−ヘキセン、3−メチル−1−ブテン、3−メチル−1−ペンテン、3−エチル−1−ペンテン、4−メチル−1−ペンテン、4−メチル−1−ヘキセン、4,4−ジメチル−1−ヘキセン、4,4−ジメチル−1−ペンテン、4−エチル−1−ヘキセン、3−エチル−1−ヘキセン、1−オクテン、1−デセン、1−ドデセン、1−テトラデセン、1−ヘキサデセン、1−オクタデセン、1−エイコセンなどの炭素数2〜20のエチレン又はα−オレフィン;1,4−ヘキサジエン、4−メチル−1,4−ヘキサジエン、5−メチル−1,4−ヘキサジエン、1,7−オクタジエンなどの非共役ジエン;などが挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよいし2種以上を併用してもよい。   Examples of the monomer having no polar group other than the alicyclic olefin that can be copolymerized with the alicyclic olefin or the aromatic olefin include ethylenically unsaturated compounds having no polar group. Examples include ethylene, propylene, 1-butene, 1-pentene, 1-hexene, 3-methyl-1-butene, 3-methyl-1-pentene, 3-ethyl-1-pentene, 4-methyl-1- Pentene, 4-methyl-1-hexene, 4,4-dimethyl-1-hexene, 4,4-dimethyl-1-pentene, 4-ethyl-1-hexene, 3-ethyl-1-hexene, 1-octene, Ethylene or α-olefin having 2 to 20 carbon atoms such as 1-decene, 1-dodecene, 1-tetradecene, 1-hexadecene, 1-octadecene, 1-eicocene; 1,4-hexadi And the like; emission, 4-methyl-1,4-hexadiene, 5-methyl-1,4-hexadiene, 1,7-octadiene nonconjugated dienes such. These may be used alone or in combination of two or more.

本発明で用いる脂環式オレフィン重合体(A1)の分子量は、特に限定されないが、テトロヒドロフランを溶媒として用いたゲルパーミエーションクロマトグラフィにより測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量で、500〜1,000,000の範囲であることが好ましく、1,000〜500,000の範囲であることがより好ましく、特に好ましくは、5,000〜300,000の範囲である。重量平均分子量が小さすぎると樹脂組成物を硬化して得られる硬化物の機械的強度が低下し、大きすぎるとシート状又はフィルム状に成形して成形体とする際に作業性が悪化する傾向がある。   The molecular weight of the alicyclic olefin polymer (A1) used in the present invention is not particularly limited, but is a weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography using tetrohydrofuran as a solvent, and is 500 to 1, The range is preferably in the range of 1,000,000, more preferably in the range of 1,000 to 500,000, and particularly preferably in the range of 5,000 to 300,000. If the weight average molecular weight is too small, the mechanical strength of the cured product obtained by curing the resin composition is lowered, and if it is too large, workability tends to deteriorate when forming into a sheet or film to form a molded body. There is.

本発明で用いる脂環式オレフィン重合体(A1)を、開環重合法により得る場合の重合触媒としては、従来公知のメタセシス重合触媒を用いることができる。メタセシス重合触媒としては、Mo,W,Nb,Ta,Ruなどの原子を含有してなる遷移金属化合物が例示され、なかでも、Mo,W又はRuを含有する化合物は重合活性が高くて好ましい。特に好ましいメタセシス重合触媒の具体的な例としては、(1)ハロゲン基、イミド基、アルコキシ基、アリロキシ基又はカルボニル基を配位子として有する、モリブデンあるいはタングステン化合物を主触媒とし、有機金属化合物を第二成分とする触媒や、(2)Ruを中心金属とする金属カルベン錯体触媒を挙げることができる。   As a polymerization catalyst when the alicyclic olefin polymer (A1) used in the present invention is obtained by a ring-opening polymerization method, a conventionally known metathesis polymerization catalyst can be used. Examples of the metathesis polymerization catalyst include transition metal compounds containing atoms such as Mo, W, Nb, Ta, and Ru. Among them, compounds containing Mo, W, or Ru are preferable because of high polymerization activity. Specific examples of particularly preferred metathesis polymerization catalysts include: (1) Molybdenum or tungsten compounds having a halogen group, an imide group, an alkoxy group, an allyloxy group or a carbonyl group as a ligand as a main catalyst, and an organometallic compound. Examples thereof include a catalyst as a second component and (2) a metal carbene complex catalyst having Ru as a central metal.

上記(1)の触媒で主触媒として用いられる化合物の例としては、MoCl、MoBrなどのハロゲン化モリブデン化合物やWCl、WOCl、タングステン(フェニルイミド)テトラクロリド・ジエチルエーテルなどのハロゲン化タングステン化合物が挙げられる。また、上記(1)の触媒で、第二成分として用いられる有機金属化合物としては、周期表第1族、2族、12族、13族又は14族の有機金属化合物を挙げることができる。なかでも、有機リチウム化合物、有機マグネシウム化合物、有機亜鉛化合物、有機アルミニウム化合物、有機スズ化合物が好ましく、有機リチウム化合物、有機アルミニウム化合物、有機スズ化合物が特に好ましい。有機リチウム化合物としては、n−ブチルリチウム、メチルリチウム、フェニルリチウム、ネオペンチルリチウム、ネオフィルリチウムなどを挙げることができる。有機マグネシウムとしては、ブチルエチルマグネシウム、ブチルオクチルマグネシウム、ジヘキシルマグネシウム、エチルマグネシウムクロリド、n−ブチルマグネシウムクロリド、アリルマグネシウムブロミド、ネオペンチルマグネシウムクロリド、ネオフィルマグネシウムクロリドなどを挙げることができる。有機亜鉛化合物としては、ジメチル亜鉛、ジエチル亜鉛、ジフェニル亜鉛などを挙げることができる。有機アルミニウム化合物としては、トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウム、ジエチルアルミニウムクロリド、エチルアルミニウムセスキクロリド、エチルアルミニウムジクロリド、ジエチルアルミニウムエトキシド、エチルアルミニウムジエトキシドなどを挙げることができ、さらに、これらの有機アルミニウム化合物と水との反応によって得られるアルミノキサン化合物も用いることができる。有機スズ化合物としては、テトラメチルスズ、テトラ(n−ブチル)スズ、テトラフェニルスズなどを挙げることができる。これらの有機金属化合物の量は、用いる有機金属化合物によって異なるが、主触媒の中心金属に対して、モル比で、0.1〜10,000倍が好ましく、0.2〜5,000倍がより好ましく、0.5〜2,000倍が特に好ましい。 Examples of compounds used as the main catalyst in the catalyst of (1) above are halogenated molybdenum compounds such as MoCl 5 and MoBr 5, and halogenated compounds such as WCl 6 , WOCl 4 , tungsten (phenylimide) tetrachloride / diethyl ether, etc. A tungsten compound is mentioned. Examples of the organometallic compound used as the second component in the catalyst of (1) above include organometallic compounds of Group 1, Group 2, Group 12, Group 13 or Group 14 of the periodic table. Of these, organolithium compounds, organomagnesium compounds, organozinc compounds, organoaluminum compounds, and organotin compounds are preferred, and organolithium compounds, organoaluminum compounds, and organotin compounds are particularly preferred. Examples of the organic lithium compound include n-butyllithium, methyllithium, phenyllithium, neopentyllithium, neophyllithium, and the like. Examples of the organic magnesium include butylethylmagnesium, butyloctylmagnesium, dihexylmagnesium, ethylmagnesium chloride, n-butylmagnesium chloride, allylmagnesium bromide, neopentylmagnesium chloride, neophyllmagnesium chloride and the like. Examples of the organic zinc compound include dimethyl zinc, diethyl zinc, and diphenyl zinc. Examples of organoaluminum compounds include trimethylaluminum, triethylaluminum, triisobutylaluminum, diethylaluminum chloride, ethylaluminum sesquichloride, ethylaluminum dichloride, diethylaluminum ethoxide, ethylaluminum diethoxide, and the like. An aluminoxane compound obtained by a reaction between an organoaluminum compound and water can also be used. Examples of the organic tin compound include tetramethyltin, tetra (n-butyl) tin, and tetraphenyltin. The amount of these organometallic compounds varies depending on the organometallic compound used, but is preferably 0.1 to 10,000 times, preferably 0.2 to 5,000 times in terms of molar ratio to the central metal of the main catalyst. More preferably, 0.5 to 2,000 times is particularly preferable.

また、上記(2)のRuを中心金属とする金属カルベン錯体触媒としては、(1,3−ジメシチル−イミダゾリジン−2−イリデン)(トリシクロヘキシルホスフィン)ベンジリデンルテニウムジクロリド、ビス(トリシクロヘキシルホスフィン)ベンジリデンルテニウムジクロリド、トリシクロヘキシルホスフィン−〔1,3−ビス(2,4,6−トリメチルフェニル)−4,5−ジブロモイミダゾール−2−イリデン〕−〔ベンジリデン〕ルテニウムジクロリド、4−アセトキシベンジリデン(ジクロロ)(4,5−ジブロモ−1,3−ジメシチル−4−イミダゾリン−2−イリデン)(トリシクロヘキシルホスフィン)ルテニウムなどが挙げられる。   The metal carbene complex catalyst (2) having Ru as a central metal includes (1,3-dimesityl-imidazolidine-2-ylidene) (tricyclohexylphosphine) benzylidene ruthenium dichloride, bis (tricyclohexylphosphine) benzylidene. Ruthenium dichloride, tricyclohexylphosphine- [1,3-bis (2,4,6-trimethylphenyl) -4,5-dibromoimidazol-2-ylidene]-[benzylidene] ruthenium dichloride, 4-acetoxybenzylidene (dichloro) ( 4,5-dibromo-1,3-dimesityl-4-imidazoline-2-ylidene) (tricyclohexylphosphine) ruthenium and the like.

メタセシス重合触媒の使用割合は、重合に用いる単量体に対して、(メタセシス重合触媒中の遷移金属:単量体)のモル比で、通常1:100〜1:2,000,000の範囲であり、好ましくは1:200〜1:1,000,000の範囲である。触媒量が多すぎると触媒除去が困難となり、少なすぎると十分な重合活性が得られないおそれがある。   The use ratio of the metathesis polymerization catalyst is usually in the range of 1: 100 to 1: 2,000,000 in terms of the molar ratio of (transition metal in the metathesis polymerization catalyst: monomer) to the monomer used for the polymerization. Preferably, it is the range of 1: 200-1: 1,000,000. If the amount of catalyst is too large, it is difficult to remove the catalyst. If the amount is too small, sufficient polymerization activity may not be obtained.

重合反応は、通常、有機溶媒中で行なう。用いられる有機溶媒は、重合体が所定の条件で溶解又は分散し、重合に影響しないものであれば、特に限定されないが、工業的に汎用されているものが好ましい。有機溶媒の具体例としては、ペンタン、ヘキサン、ヘプタンなどの脂肪族炭化水素;シクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、ジメチルシクロヘキサン、トリメチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、ジエチルシクロヘキサン、デカヒドロナフタレン、ビシクロヘプタン、トリシクロデカン、ヘキサヒドロインデンシクロヘキサン、シクロオクタンなどの脂環族炭化水素;ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素;ジクロロメタン、クロロホルム、1,2−ジクロロエタンなどのハロゲン系脂肪族炭化水素;クロロベンゼン、ジクロロベンゼンなどのハロゲン系芳香族炭化水素;ニトロメタン、ニトロベンゼン、アセトニトリルなどの含窒素炭化水素系溶媒;ジエチルエ−テル、テトラヒドロフランなどのエ−テル系溶媒;アニソール、フェネトールなどの芳香族エーテル系溶媒;などを挙げることができる。これらの中でも、工業的に汎用されている芳香族炭化水素系溶媒や脂肪族炭化水素系溶媒、脂環族炭化水素系溶媒、エーテル系溶剤、芳香族エーテル系溶媒が好ましい。   The polymerization reaction is usually performed in an organic solvent. The organic solvent to be used is not particularly limited as long as the polymer is dissolved or dispersed under predetermined conditions and does not affect the polymerization, but industrially used solvents are preferable. Specific examples of the organic solvent include aliphatic hydrocarbons such as pentane, hexane, and heptane; cyclopentane, cyclohexane, methylcyclohexane, dimethylcyclohexane, trimethylcyclohexane, ethylcyclohexane, diethylcyclohexane, decahydronaphthalene, bicycloheptane, and tricyclodecane. , Hexahydroindenecyclohexane, cyclooctane and other alicyclic hydrocarbons; benzene, toluene, xylene and other aromatic hydrocarbons; dichloromethane, chloroform, 1,2-dichloroethane and other halogenated aliphatic hydrocarbons; chlorobenzene, dichlorobenzene Halogenated aromatic hydrocarbons such as: Nitrogen-containing hydrocarbon solvents such as nitromethane, nitrobenzene, and acetonitrile; Diethyl ether, tetrahydrofuran, etc. Et - ether solvents; and the like; anisole, aromatic ether solvents such as phenetole. Among these, an aromatic hydrocarbon solvent, an aliphatic hydrocarbon solvent, an alicyclic hydrocarbon solvent, an ether solvent, and an aromatic ether solvent that are widely used industrially are preferable.

有機溶媒の使用量は、重合溶液中の単量体の濃度が、1〜50重量%となる量であることが好ましく、2〜45重量%となる量であることがより好ましく、3〜40重量%となる量であることが特に好ましい。単量体の濃度が1重量%未満の場合は生産性が悪くなり、50重量%を超えると、重合後の溶液粘度が高すぎて、その後の水素添加反応が困難となる場合がある。   The amount of the organic solvent used is preferably such that the monomer concentration in the polymerization solution is 1 to 50% by weight, more preferably 2 to 45% by weight, and 3 to 40%. It is particularly preferable that the amount be% by weight. When the concentration of the monomer is less than 1% by weight, the productivity is deteriorated, and when it exceeds 50% by weight, the solution viscosity after polymerization is too high, and the subsequent hydrogenation reaction may be difficult.

重合反応は、重合に用いる単量体とメタセシス重合触媒とを混合することにより開始される。これらを混合する方法としては、単量体溶液にメタセシス重合触媒溶液を加えてもよいし、その逆でもよい。用いるメタセシス重合触媒が、主触媒である遷移金属化合物と第二成分である有機金属化合物とからなる混合触媒である場合には、単量体溶液に混合触媒の反応液を加えてもよいし、その逆でもよい。また、単量体と有機金属化合物との混合溶液に遷移金属化合物溶液を加えてもよいし、その逆でもよい。さらに、単量体と遷移金属化合物の混合溶液に有機金属化合物を加えてもよいし、その逆でもよい。   The polymerization reaction is started by mixing a monomer used for polymerization and a metathesis polymerization catalyst. As a method of mixing these, the metathesis polymerization catalyst solution may be added to the monomer solution, or vice versa. When the metathesis polymerization catalyst to be used is a mixed catalyst composed of a transition metal compound as a main catalyst and an organometallic compound as a second component, the reaction solution of the mixed catalyst may be added to the monomer solution, The reverse is also possible. Further, the transition metal compound solution may be added to the mixed solution of the monomer and the organometallic compound, or vice versa. Furthermore, the organometallic compound may be added to the mixed solution of the monomer and the transition metal compound, or vice versa.

重合温度は特に制限はないが、通常、−30℃〜200℃、好ましくは0℃〜180℃である。重合時間は、特に制限はないが、通常、1分間〜100時間である。   Although there is no restriction | limiting in particular in superposition | polymerization temperature, Usually, -30 degreeC-200 degreeC, Preferably it is 0 degreeC-180 degreeC. The polymerization time is not particularly limited, but is usually 1 minute to 100 hours.

得られる脂環式オレフィン重合体の分子量を調整する方法としては、ビニル化合物又はジエン化合物を適当量添加する方法を挙げることができる。分子量調整に用いるビニル化合物は、ビニル基を有する有機化合物であれば特に限定されないが、1−ブテン、1−ペンテン、1−ヘキセン、1−オクテンなどのα−オレフィン類;スチレン、ビニルトルエンなどのスチレン類;エチルビニルエーテル、i−ブチルビニルエーテル、アリルグリシジルエーテルなどのエーテル類;アリルクロライドなどのハロゲン含有ビニル化合物;酢酸アリル、アリルアルコール、グリシジルメタクリレートなど酸素含有ビニル化合物、アクリルアミドなどの窒素含有ビニル化合物などを挙げることができる。分子量調整に用いるジエン化合物としては、1,4−ペンタジエン、1,4−ヘキサジエン、1,5−ヘキサジエン、1,6−ヘプタジエン、2−メチル−1,4−ペンタジエン、2,5−ジメチル−1,5−ヘキサジエンなどの非共役ジエン、又は、1,3−ブタジエン、2−メチル−1,3−ブタジエン、2,3−ジメチル−1,3−ブタジエン、1,3−ペンタジエン、1,3−ヘキサジエンなどの共役ジエンを挙げることができる。ビニル化合物又はジエン化合物の添加量は、目的とする分子量に応じて、重合に用いる単量体に対して、0.1〜10モル%の間で任意に選択することができる。   Examples of a method for adjusting the molecular weight of the obtained alicyclic olefin polymer include a method of adding an appropriate amount of a vinyl compound or a diene compound. The vinyl compound used for molecular weight adjustment is not particularly limited as long as it is an organic compound having a vinyl group, but α-olefins such as 1-butene, 1-pentene, 1-hexene and 1-octene; styrene, vinyltoluene and the like Styrenes; Ethers such as ethyl vinyl ether, i-butyl vinyl ether, and allyl glycidyl ether; Halogen-containing vinyl compounds such as allyl chloride; Oxygen-containing vinyl compounds such as allyl acetate, allyl alcohol, and glycidyl methacrylate; Nitrogen-containing vinyl compounds such as acrylamide Can be mentioned. Diene compounds used for molecular weight adjustment include 1,4-pentadiene, 1,4-hexadiene, 1,5-hexadiene, 1,6-heptadiene, 2-methyl-1,4-pentadiene, 2,5-dimethyl-1 Non-conjugated dienes such as 1,5-hexadiene, or 1,3-butadiene, 2-methyl-1,3-butadiene, 2,3-dimethyl-1,3-butadiene, 1,3-pentadiene, 1,3- Mention may be made of conjugated dienes such as hexadiene. The addition amount of a vinyl compound or a diene compound can be arbitrarily selected between 0.1 and 10 mol% with respect to the monomer used for polymerization according to the target molecular weight.

本発明で用いる脂環式オレフィン重合体(A1)を、付加重合法により得る場合の重合触媒としては、たとえば、チタン、ジルコニウム又はバナジウム化合物と有機アルミニウム化合物とからなる触媒が好適に用いられる。これらの重合触媒は、それぞれ単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。重合触媒の量は、重合触媒中の金属化合物:重合に用いる単量体のモル比で、通常、1:100〜1:2,000,000の範囲である。   As the polymerization catalyst when the alicyclic olefin polymer (A1) used in the present invention is obtained by an addition polymerization method, for example, a catalyst comprising a titanium, zirconium or vanadium compound and an organoaluminum compound is preferably used. These polymerization catalysts can be used alone or in combination of two or more. The amount of the polymerization catalyst is a molar ratio of the metal compound in the polymerization catalyst to the monomer used for the polymerization, and is usually in the range of 1: 100 to 1: 2,000,000.

本発明で用いる脂環式オレフィン重合体(A1)として、開環重合体の水素添加物を用いる場合の、開環重合体に対する水素添加は、通常、水素添加触媒を用いて行われる。水素添加触媒は特に限定されず、オレフィン化合物の水素添加に際して一般的に使用されているものを適宜採用すればよい。水素添加触媒の具体例としては、たとえば、酢酸コバルトとトリエチルアルミニウム、ニッケルアセチルアセトナートとトリイソブチルアルミニウム、チタノセンジクロリドとn−ブチルリチウム、ジルコノセンジクロリドとsec−ブチルリチウム、テトラブトキシチタネートとジメチルマグネシウムのような遷移金属化合物とアルカリ金属化合物との組み合わせからなるチーグラー系触媒;ジクロロトリス(トリフェニルホスフィン)ロジウム、特開平7−2929号公報、特開平7−149823号公報、特開平11−209460号公報、特開平11−158256号公報、特開平11−193323号公報、特開平11−209460号公報などに記載されている、たとえば、ビス(トリシクロヘキシルホスフィン)ベンジリジンルテニウム(IV)ジクロリドなどのルテニウム化合物からなる貴金属錯体触媒;などの均一系触媒が挙げられる。また、ニッケル、パラジウム、白金、ロジウム、ルテニウムなどの金属を、カーボン、シリカ、ケイソウ土、アルミナ、酸化チタンなどの担体に担持させた不均一触媒、たとえば、ニッケル/シリカ、ニッケル/ケイソウ土、ニッケル/アルミナ、パラジウム/カーボン、パラジウム/シリカ、パラジウム/ケイソウ土、パラジウム/アルミナなどを用いることもできる。また、上述したメタセシス重合触媒をそのまま、水素添加触媒として用いることも可能である。   As the alicyclic olefin polymer (A1) used in the present invention, hydrogenation of the ring-opening polymer when using a hydrogenated product of the ring-opening polymer is usually performed using a hydrogenation catalyst. The hydrogenation catalyst is not particularly limited, and a catalyst generally used for hydrogenation of an olefin compound may be appropriately employed. Specific examples of the hydrogenation catalyst include cobalt acetate and triethylaluminum, nickel acetylacetonate and triisobutylaluminum, titanocene dichloride and n-butyllithium, zirconocene dichloride and sec-butyllithium, tetrabutoxytitanate and dimethylmagnesium. Ziegler catalyst comprising a combination of a transition metal compound and an alkali metal compound; dichlorotris (triphenylphosphine) rhodium, JP-A-7-2929, JP-A-7-149823, JP-A-11-209460, For example, bis (tricyclohexylphosphine) benzylidine described in JP-A-11-158256, JP-A-11-193323, JP-A-11-209460, etc. Noble metal complex catalyst comprising a ruthenium compound such as ruthenium (IV) dichloride; include homogeneous catalysts such as. Also, heterogeneous catalysts in which metals such as nickel, palladium, platinum, rhodium, ruthenium are supported on a carrier such as carbon, silica, diatomaceous earth, alumina, titanium oxide, such as nickel / silica, nickel / diatomaceous earth, nickel / Alumina, palladium / carbon, palladium / silica, palladium / diatomaceous earth, palladium / alumina, and the like can also be used. Further, the above-described metathesis polymerization catalyst can be used as it is as a hydrogenation catalyst.

水素添加反応は、通常、有機溶媒中で行う。有機溶媒は生成する水素添加物の溶解性により適宜選択することができ、上述した重合反応に用いる有機溶媒と同様の有機溶媒を使用することができる。したがって、重合反応後、有機溶媒を入れ替えることなく、そのまま水素添加触媒を添加して反応させることもできる。さらに、上述した重合反応に用いる有機溶媒の中でも、水素添加反応に際して反応しないという観点から、芳香族炭化水素系溶媒や脂肪族炭化水素系溶媒、脂環族炭化水素系溶媒、エーテル系溶媒、芳香族エーテル系溶媒が好ましく、芳香族エーテル系溶媒がより好ましい。   The hydrogenation reaction is usually performed in an organic solvent. The organic solvent can be appropriately selected depending on the solubility of the generated hydrogenated product, and the same organic solvent as the organic solvent used in the polymerization reaction described above can be used. Therefore, after the polymerization reaction, the hydrogenation catalyst can be added and reacted as it is without replacing the organic solvent. Furthermore, among the organic solvents used in the polymerization reaction described above, from the viewpoint of not reacting during the hydrogenation reaction, an aromatic hydrocarbon solvent, an aliphatic hydrocarbon solvent, an alicyclic hydrocarbon solvent, an ether solvent, an aromatic solvent Aromatic ether solvents are preferred, and aromatic ether solvents are more preferred.

水素添加反応条件は、使用する水素添加触媒の種類に応じて適宜選択すればよい。反応温度は、通常、−20〜250℃、好ましくは−10〜220℃、より好ましくは0〜200℃である。−20℃未満では反応速度が遅くなり、逆に250℃を超えると副反応が起こりやすくなる。水素の圧力は、通常、0.01〜10.0MPa、好ましくは0.05〜8.0MPaである。水素圧力が0.01MPa未満では水素添加速度が遅くなり、10.0MPaを超えると高耐圧反応装置が必要となる。   The hydrogenation reaction conditions may be appropriately selected according to the type of hydrogenation catalyst used. The reaction temperature is usually -20 to 250 ° C, preferably -10 to 220 ° C, more preferably 0 to 200 ° C. If it is less than −20 ° C., the reaction rate is slow, and if it exceeds 250 ° C., side reactions tend to occur. The pressure of hydrogen is usually 0.01 to 10.0 MPa, preferably 0.05 to 8.0 MPa. When the hydrogen pressure is less than 0.01 MPa, the hydrogen addition rate is slow, and when it exceeds 10.0 MPa, a high pressure reactor is required.

水素添加反応の時間は、水素添加率をコントロールするために適宜選択される。反応時間は、通常、0.1〜50時間の範囲であり、重合体中の主鎖の炭素−炭素二重結合のうち50%以上、好ましくは70%以上、より好ましくは80%以上、特に好ましくは90%以上を水素添加することができる。   The time for the hydrogenation reaction is appropriately selected in order to control the hydrogenation rate. The reaction time is usually in the range of 0.1 to 50 hours, and 50% or more, preferably 70% or more, more preferably 80% or more, in particular, of the carbon-carbon double bonds of the main chain in the polymer. Preferably 90% or more can be hydrogenated.

水素添加反応を行った後、水素添加反応に用いた触媒を除去する処理を行ってもよい。触媒の除去方法は特に制限されず、遠心分離、濾過などの方法が挙げられる。さらに、水やアルコールなどの触媒不活性化剤を添加したり、また活性白土、アルミナ、珪素土などの吸着剤を添加したりして、触媒の除去を促進させることができる。
本発明で用いられる脂環式オレフィン重合体(A1)は、重合や水素添加反応後の重合体溶液として使用しても、溶媒を除去した後に使用してもどちらでもよいが、樹脂組成物を調製する際に添加剤の溶解や分散が良好になるとともに、工程が簡素化できるため、重合体溶液として使用するのが好ましい。
After the hydrogenation reaction, a treatment for removing the catalyst used in the hydrogenation reaction may be performed. The method for removing the catalyst is not particularly limited, and examples thereof include centrifugation and filtration. Furthermore, the catalyst removal can be promoted by adding a catalyst deactivator such as water or alcohol, or by adding an adsorbent such as activated clay, alumina, or silicon earth.
The alicyclic olefin polymer (A1) used in the present invention may be used as a polymer solution after polymerization or hydrogenation reaction, or may be used after removing the solvent. It is preferable to use it as a polymer solution since the dissolution and dispersion of the additive are improved during preparation and the process can be simplified.

(無機充填剤(A2))
無機充填剤(A2)としては特に限定されないが、たとえば、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化マグネシウム、ケイ酸マグネシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸ジルコニウム、水和アルミナ、水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、硫酸バリウム、シリカ、タルク、クレーなどを挙げることができる。これらの中でも、シリカが、微細な粒子が得やすいため好ましい。これらの無機充填剤(A2)は、シランカップリング剤処理やステアリン酸などの有機酸処理をしたものであってもよい。
(Inorganic filler (A2))
Although it does not specifically limit as an inorganic filler (A2), For example, calcium carbonate, magnesium carbonate, barium carbonate, zinc oxide, titanium oxide, magnesium oxide, magnesium silicate, calcium silicate, zirconium silicate, hydrated alumina, water Examples thereof include magnesium oxide, aluminum hydroxide, barium sulfate, silica, talc, and clay. Among these, silica is preferable because fine particles can be easily obtained. These inorganic fillers (A2) may be those treated with a silane coupling agent or an organic acid such as stearic acid.

また、無機充填剤(A2)としては、得られる電気絶縁層の誘電特性を低下させない非導電性のものであることが好ましい。また、無機充填剤(A2)の形状は、特に限定されず、球状、繊維状、板状などであってもよいが、微細な粗面形状を得るために、微細な球状であることが好ましい。   In addition, the inorganic filler (A2) is preferably non-conductive so as not to deteriorate the dielectric properties of the obtained electrical insulating layer. The shape of the inorganic filler (A2) is not particularly limited, and may be spherical, fibrous, plate-like, etc., but in order to obtain a fine rough surface shape, it is preferably a fine spherical shape. .

無機充填剤(A2)の平均粒子径は、好ましくは0.1〜10μmであり、より好ましくは0.2〜2μmである。無機充填剤の平均粒子径を前記範囲とすることにより、絶縁性接着フィルムの表面粗度を適切な範囲とすることができる。なお、平均粒子径は、粒度分布測定装置により測定することができる。   The average particle diameter of the inorganic filler (A2) is preferably 0.1 to 10 μm, more preferably 0.2 to 2 μm. By making the average particle diameter of an inorganic filler into the said range, the surface roughness of an insulating adhesive film can be made into an appropriate range. The average particle diameter can be measured with a particle size distribution measuring device.

無機充填剤(A2)の配合割合は、被めっき層用樹脂組成物中、好ましくは0.1〜40重量%であり、好ましくは5〜30重量%、より好ましくは10〜20重量%である。無機充填剤(A2)の配合割合を前記範囲とすることにより、被めっき層用樹脂組成物を硬化して得られる硬化物の線膨張率やピール強度をより良好なものとすることができる。   The blending ratio of the inorganic filler (A2) is preferably 0.1 to 40% by weight, preferably 5 to 30% by weight, more preferably 10 to 20% by weight, in the resin composition for a plated layer. . By setting the blending ratio of the inorganic filler (A2) in the above range, the linear expansion coefficient and peel strength of a cured product obtained by curing the resin composition for a layer to be plated can be improved.

(硬化性化合物(A3))
また、本発明で用いる被めっき層用樹脂組成物は、上述した脂環式オレフィン重合体(A1)、及び無機充填剤(A2)に加えて、被めっき層用樹脂組成物の硬化を促進させるための成分として、脂環式オレフィン重合体(A1)の極性基と反応可能な官能基を分子内に2個以上有する硬化性化合物(A3)(以下、適宜、「硬化性化合物(A3))」と略記する。)をさらに含有していてもよい。
(Curable compound (A3))
Moreover, the resin composition for to-be-plated layers used by this invention accelerates | stimulates hardening of the resin composition for to-be-plated layers in addition to the alicyclic olefin polymer (A1) and inorganic filler (A2) which were mentioned above. As a component, a curable compound (A3) having two or more functional groups capable of reacting with the polar group of the alicyclic olefin polymer (A1) in the molecule (hereinafter referred to as “curable compound (A3)” as appropriate) ". ) May be further contained.

硬化性化合物(A3)としては、脂環式オレフィン重合体(A1)の極性基と反応可能な官能基を有する化合物であればよく、特に限定されないが、たとえば、脂環式オレフィン重合体(A1)としてカルボキシル基又はカルボン酸無水物基を有する脂環式オレフィン重合体を用いる場合には、好ましい硬化性化合物(A3)としては、エポキシ樹脂、多価イソシアネート化合物、多価アミン化合物、多価ヒドラジン化合物、アジリジン化合物などが挙げられる。これらのなかでも、経済性と性能のバランスの点で優れるという点より、エポキシ樹脂がより好ましい。   The curable compound (A3) is not particularly limited as long as it is a compound having a functional group capable of reacting with the polar group of the alicyclic olefin polymer (A1). For example, the alicyclic olefin polymer (A1) When an alicyclic olefin polymer having a carboxyl group or a carboxylic acid anhydride group is used as a preferable curable compound (A3), epoxy resin, polyvalent isocyanate compound, polyvalent amine compound, polyhydric hydrazine Compounds, aziridine compounds and the like. Among these, an epoxy resin is more preferable because it is excellent in terms of balance between economy and performance.

エポキシ樹脂の具体例としては、フェノールノボラック型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、クレゾール型エポキシ化合物、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ポリフェノール型エポキシ化合物、臭素化ビスフェノールA型エポキシ化合物、臭素化ビスフェノールF型エポキシ化合物、水素添加ビスフェノールA型エポキシ化合物等のグリシジルエーテル型エポキシ化合物、脂環式エポキシ化合物、グリシジルエステル型エポキシ化合物、グリシジルアミン型エポキシ化合物、イソシアヌレート型エポキシ化合物や、脂環式オレフィン構造又はフルオレン構造を有するエポキシ樹脂等が挙げられる。これらのなかでも、得られる絶縁性接着フィルム、積層体及び硬化物の機械物性を良好なものとすることができるという点より、ビスフェノールA型エポキシ化合物や、脂環式オレフィン構造、ナフタレン構造又はフルオレン構造を有するエポキシ樹脂が好ましく、脂環式オレフィン構造を有するエポキシ樹脂がより好ましい。なお、これらは1種を単独で用いてもよいし2種以上を併用してもよい。   Specific examples of epoxy resins include phenol novolac type epoxy compounds, cresol novolac type epoxy compounds, cresol type epoxy compounds, bisphenol A type epoxy compounds, bisphenol F type epoxy compounds, polyphenol type epoxy compounds, brominated bisphenol A type epoxy compounds, Glycidyl ether type epoxy compounds such as brominated bisphenol F type epoxy compounds and hydrogenated bisphenol A type epoxy compounds, alicyclic epoxy compounds, glycidyl ester type epoxy compounds, glycidyl amine type epoxy compounds, isocyanurate type epoxy compounds, and alicyclic rings Examples thereof include an epoxy resin having a formula olefin structure or a fluorene structure. Among these, bisphenol A type epoxy compounds, alicyclic olefin structures, naphthalene structures or fluorenes can be obtained from the point that the mechanical properties of the obtained insulating adhesive film, laminate and cured product can be improved. An epoxy resin having a structure is preferable, and an epoxy resin having an alicyclic olefin structure is more preferable. In addition, these may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

ビスフェノールA型エポキシ化合物としては、たとえば、商品名「jER827、jER828、jER828EL、jER828XA、jER834」(以上、三菱化学社製)、商品名「エピクロン840、エピクロン840−S、エピクロン850、エピクロン850−S、エピクロン850−LC」(以上、大日本インキ化学工業社製、「エピクロン」は登録商標)などが挙げられる。脂環式オレフィン構造、ナフタレン構造又はフルオレン構造を有するエポキシ樹脂としては、ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂〔たとえば、商品名「エピクロンHP7200L、エピクロンHP7200、エピクロンHP7200H、エピクロンHP7200HH」(以上、大日本インキ化学工業社製、「エピクロン」は登録商標);商品名「Tactix558」(ハンツマン・アドバンスト・マテリアル社製);商品名「XD−1000−1L、XD−1000−2L」(以上、日本化薬社製)〕や、ナフタレン骨格を有するエポキシ樹脂〔たとえば、商品名「エピクロンHP4032、HP4032D、HP4700、HP4710、HP4770、HP5000」(以上、大日本インキ化学工業社製、「エピクロン」は登録商標)、フルオレン骨格を有するエポキシ樹脂〔たとえば、商品名「オンコートEX−1010、オンコートEX−1011、オンコートEX−1012、オンコートEX−1020、オンコートEX−1030、オンコートEX−1040、オンコートEX−1050、オンコートEX−1051」(以上、長瀬産業社製、オンコートは登録商標);商品名「オグソールPG−100、オグソールEG−200、オグソールEG−250)」(以上、大阪ガスケミカル社製、オグソールは登録商標)〕などが挙げられる。   As the bisphenol A type epoxy compound, for example, trade names “jER827, jER828, jER828EL, jER828XA, jER834” (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), trade names “Epicron 840, Epicron 840-S, Epicron 850, Epicron 850-S”. , Epicron 850-LC "(manufactured by Dainippon Ink and Chemicals," Epicron "is a registered trademark). As an epoxy resin having an alicyclic olefin structure, a naphthalene structure or a fluorene structure, an epoxy resin having a dicyclopentadiene skeleton [for example, trade names "Epicron HP7200L, Epicron HP7200, Epicron HP7200H, Epicron HP7200HH" “Epicron” is a registered trademark); trade name “Tactix558” (manufactured by Huntsman Advanced Materials); trade names “XD-1000-1L, XD-1000-2L” (Nippon Kayaku Co., Ltd.) )] Or epoxy resin having a naphthalene skeleton [for example, trade names “Epicron HP4032, HP4032D, HP4700, HP4710, HP4770, HP5000” (above, Dainippon Ink & Chemicals, “Epicron”) Registered trademark), epoxy resin having a fluorene skeleton [e.g., trade names "ONCOAT EX-1010, ONCOAT EX-1011, ONCOAT EX-1012, ONCOAT EX-1020, ONCOAT EX-1030, ONCOAT EX- 1040, ONCOAT EX-1050, ONCOAT EX-1051 ”(above, manufactured by Nagase Sangyo Co., Ltd., ONCOAT is a registered trademark); trade name“ Ogsol PG-100, Ogsol EG-200, Ogsol EG-250 ”” , Manufactured by Osaka Gas Chemical Company, Ogsol is a registered trademark)].

本発明の被めっき層用樹脂組成物中における、硬化性化合物(A3)の配合量は、脂環式オレフィン重合体(A1)100重量部に対して、好ましくは1〜100重量部、より好ましくは5〜60重量部、さらに好ましくは10〜50重量部の範囲である。硬化性化合物(A3)の配合量が少なすぎても、多すぎても、被めっき層用樹脂組成物を硬化させる作用が不十分となり、被めっき層用樹脂組成物を硬化して得られる硬化物のピール強度が低下してしまうおそれがある。   The compounding amount of the curable compound (A3) in the resin composition for a layer to be plated of the present invention is preferably 1 to 100 parts by weight, more preferably 100 parts by weight of the alicyclic olefin polymer (A1). Is in the range of 5 to 60 parts by weight, more preferably 10 to 50 parts by weight. Even if there are too few compounding quantities of a sclerosing | hardenable compound (A3), the effect | action which hardens the resin composition for to-be-plated layers will become inadequate, and hardening obtained by hardening the resin composition for to-be-plated layers There is a possibility that the peel strength of the object may be lowered.

(その他の成分)
また、本発明で用いる被めっき層用樹脂組成物には、必要に応じて、硬化促進剤を含有していてもよい。硬化促進剤としては特に限定されないが、たとえば、脂肪族ポリアミン、芳香族ポリアミン、第2級アミン、第3級アミン、イミダゾール誘導体、有機酸ヒドラジド、ジシアンジアミド及びその誘導体、尿素誘導体などが挙げられるが、これらのなかでも、イミダゾール誘導体が特に好ましい。
(Other ingredients)
Moreover, the resin composition for to-be-plated layer used by this invention may contain the hardening accelerator as needed. The curing accelerator is not particularly limited, and examples thereof include aliphatic polyamines, aromatic polyamines, secondary amines, tertiary amines, imidazole derivatives, organic acid hydrazides, dicyandiamide and derivatives thereof, and urea derivatives. Among these, imidazole derivatives are particularly preferable.

イミダゾール誘導体としては、イミダゾール骨格を有する化合物であればよく、特に限定されないが、たとえば、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、ビス−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−メチル−2−エチルイミダゾール、2−イソプロピルイミダゾール、2,4−ジメチルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾールなどのアルキル置換イミダゾール化合物;2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−エチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、ベンズイミダゾール、2−エチル−4−メチル−1−(2’−シアノエチル)イミダゾールなどのアリール基やアラルキル基などの環構造を含有する炭化水素基で置換されたイミダゾール化合物;などが挙げられる。これらは1種を単独で、又は2種類以上を組み合わせて使用することができる。   The imidazole derivative is not particularly limited as long as it is a compound having an imidazole skeleton, and examples thereof include 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, bis-2-ethyl-4-methylimidazole, and 1-methyl. Alkyl-substituted imidazole compounds such as 2-ethylimidazole, 2-isopropylimidazole, 2,4-dimethylimidazole, 2-heptadecylimidazole; 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2- Aryl groups and aralkyl groups such as methylimidazole, 1-benzyl-2-ethylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, benzimidazole, 2-ethyl-4-methyl-1- (2′-cyanoethyl) imidazole, etc. ring Imidazole compounds substituted with a hydrocarbon group containing a granulation; and the like. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

硬化促進剤を配合する場合における配合量は、使用目的に応じて適宜選択すればよいが、脂環式オレフィン重合体(A1)100重量部に対して、好ましくは、0.1〜20重量部、より好ましくは0.1〜10重量部、さらに好ましくは、0.1〜5重量部である。   The blending amount in the case of blending the curing accelerator may be appropriately selected according to the purpose of use, but is preferably 0.1 to 20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the alicyclic olefin polymer (A1). More preferably, it is 0.1-10 weight part, More preferably, it is 0.1-5 weight part.

さらに、本発明で用いる被めっき層用樹脂組成物には、絶縁性接着フィルムの難燃性を向上させる目的で、例えば、ハロゲン系難燃剤やリン酸エステル系難燃剤などの一般の電気絶縁膜形成用の樹脂組成物に配合される難燃剤を配合してもよい。難燃剤を配合する場合の配合量は、脂環式オレフィン重合体(A1)100重量部に対して、好ましくは100重量部以下であり、より好ましくは60重量部以下である。   Furthermore, the resin composition for a layer to be plated used in the present invention has a general electrical insulating film such as a halogen-based flame retardant or a phosphate ester-based flame retardant for the purpose of improving the flame retardancy of the insulating adhesive film. You may mix | blend the flame retardant mix | blended with the resin composition for formation. The amount of the flame retardant blended is preferably 100 parts by weight or less, more preferably 60 parts by weight or less, based on 100 parts by weight of the alicyclic olefin polymer (A1).

また、本発明で用いる被めっき層用樹脂組成物には、さらに必要に応じて、難燃助剤、耐熱安定剤、耐候安定剤、老化防止剤、紫外線吸収剤(レーザー加工性向上剤)、レベリング剤、帯電防止剤、スリップ剤、アンチブロッキング剤、防曇剤、滑剤、染料、天然油、合成油、ワックス、乳剤、磁性体、誘電特性調整剤、靭性剤などの任意成分を配合してもよい。これらの任意成分の配合割合は、本発明の目的を損なわない範囲で適宜選択すればよい。   In addition, the resin composition for the layer to be plated used in the present invention may further include a flame retardant aid, a heat resistance stabilizer, a weather resistance stabilizer, an anti-aging agent, an ultraviolet absorber (laser processability improver), if necessary. Contains optional ingredients such as leveling agents, antistatic agents, slip agents, antiblocking agents, antifogging agents, lubricants, dyes, natural oils, synthetic oils, waxes, emulsions, magnetic materials, dielectric property modifiers, toughening agents, etc. Also good. What is necessary is just to select suitably the mixture ratio of these arbitrary components in the range which does not impair the objective of this invention.

本発明で用いる被めっき層用樹脂組成物の製造方法としては、特に限定されるものではなく、上記各成分を、そのまま混合してもよいし、有機溶剤に溶解もしくは分散させた状態で混合してもよいし、上記各成分の一部を有機溶剤に溶解もしくは分散させた状態の組成物を調製し、当該組成物に残りの成分を混合してもよい。   The method for producing the resin composition for a layer to be plated used in the present invention is not particularly limited, and the above components may be mixed as they are, or mixed in a state dissolved or dispersed in an organic solvent. Alternatively, a composition in which a part of each of the above components is dissolved or dispersed in an organic solvent may be prepared, and the remaining components may be mixed with the composition.

(接着層用樹脂組成物)
次いで、接着層を形成するための接着層用樹脂組成物について説明する。本発明で用いる接着層用樹脂組成物は、有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)、及び無機充填剤(B2)を含有する。
(Adhesive layer resin composition)
Next, the adhesive layer resin composition for forming the adhesive layer will be described. The resin composition for an adhesive layer used in the present invention contains an organic solvent-soluble polyimide (B1) and an inorganic filler (B2).

(有機溶剤可溶性ポリイミド(B1))
本発明で用いる接着層用樹脂組成物は、樹脂成分として、有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)を含有する。
有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)としては、有機溶剤に23℃で20重量%以上溶解するポリイミドであればよく、特に限定されない。このような有機溶剤としては、たとえば、N,N−ジメチルアセトアミド、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トルエン、キシレンなどが挙げられる。
(Organic solvent soluble polyimide (B1))
The resin composition for adhesive layers used in the present invention contains an organic solvent-soluble polyimide (B1) as a resin component.
The organic solvent-soluble polyimide (B1) is not particularly limited as long as it is a polyimide that can be dissolved in an organic solvent at 23 ° C. by 20% by weight or more. Examples of such an organic solvent include N, N-dimethylacetamide, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, toluene, xylene and the like.

本発明においては、接着層を構成する樹脂成分として、有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)を用いることにより、本発明の絶縁性接着フィルムを、上述した脂環式オレフィン重合体(A1)を樹脂成分として含有してなる被めっき層との間における密着性を良好なものとしながら、低線膨張で、配線埋め込み性に優れた電気絶縁層を形成可能である。   In the present invention, the organic solvent-soluble polyimide (B1) is used as the resin component constituting the adhesive layer, so that the insulating adhesive film of the present invention is the above-described alicyclic olefin polymer (A1) as the resin component. It is possible to form an electrically insulating layer having a low linear expansion and excellent wiring embedding property while maintaining good adhesion with the layer to be plated.

本発明においては、有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)としては、酸二無水物成分とジアミン成分とを反応させて得られるものや、酸二無水物成分と多価イソシアネート化合物とを反応させて得られるものが好適に用いられる。   In the present invention, the organic solvent-soluble polyimide (B1) is obtained by reacting an acid dianhydride component and a diamine component, or obtained by reacting an acid dianhydride component and a polyvalent isocyanate compound. Those are preferably used.

酸二無水物成分としては、たとえば、4,4’−オキシジフタル酸無水物、3,4’−オキシジフタル酸無水物、3,3’−オキシジフタル酸無水物、4,4’−(4,4’−イソプロピリデンジフェノキシ)ビス(無水フタル酸)、4,4’−ハイドロキノンビス(無水フタル酸)、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパンジベンゾエート−3,3’,4,4’−テトラカルボン酸二無水物、1,2−エチレンビス(トリメリット酸モノエステル無水物)、p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル無水物)、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸無水物、3,3’,4,4’−ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、p−フェニレンジフタル酸無水物などの芳香族テトラカルボン酸二無水物、4,4’−ヘキサフルオロイソプロピリデンジフタル酸無水物などが挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いることもできる。   Examples of the acid dianhydride component include 4,4′-oxydiphthalic anhydride, 3,4′-oxydiphthalic anhydride, 3,3′-oxydiphthalic anhydride, 4,4 ′-(4,4 ′. -Isopropylidenediphenoxy) bis (phthalic anhydride), 4,4'-hydroquinonebis (phthalic anhydride), 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) propanedibenzoate-3,3 ', 4,4' -Tetracarboxylic dianhydride, 1,2-ethylenebis (trimellitic acid monoester anhydride), p-phenylenebis (trimellitic acid monoester anhydride), pyromellitic dianhydride, 3,3 ', 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic Dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 4,4′-oxydiphthalic anhydride, 3,3 ′, 4,4′-dimethyldiphenylsilanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-furantetracarboxylic dianhydride, 4,4′-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenylpropanoic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetra Carboxylic dianhydrides, 2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydrides, aromatic tetracarboxylic dianhydrides such as p-phenylenediphthalic anhydride, 4,4′-hexafluoro Examples thereof include isopropylidene diphthalic anhydride. These may be used individually by 1 type and can also be used in combination of 2 or more type.

また、ジアミン成分としては、たとえば、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルチオエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルチオエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルチオエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフォン、3,4’−ジアミノジフェニルスルフォン、3,3’−ジアミノジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノベンズアニリド、3,4’−ジアミノベンズアニリド、3,3’−ジアミノベンズアニリド、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4−(4−アミノフェニキシ)フェニル]メタン、1,1−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、2,2−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、1,4−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、4,4’−ビス[3−(4−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ベンゾフェノン、4,4’−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ジフェニルスルホン、ビス[4−{4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ}フェニル]スルホン、1,4−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,1−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、2,2−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、1,4−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、4,4’−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテルなどが挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いることもできる。   Examples of the diamine component include 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenyl thioether, and 3,4′-diaminodiphenyl thioether. 3,3′-diaminodiphenylthioether, 3,3′-diaminodiphenylmethane, 3,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 3,4′-diaminodiphenyl Sulfone, 3,3′-diaminodiphenylsulfone, 4,4′-diaminobenzanilide, 3,4′-diaminobenzanilide, 3,3′-diaminobenzanilide, 4,4′-diaminobenzophenone, 3,4 ′ -Diaminobenzo Enone, 3,3′-diaminobenzophenone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, 1,1-bis [4- (3- Aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [4 -(4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2 -Bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] butane, 2,2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropyl Pan, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1, 4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4′-bis (4-aminophenoxy) benzene, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl ] Ketone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- ( 3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] Ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, 1,4-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,3-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] Benzene, 4,4′-bis [3- (4-aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether, 4,4′-bis [3- (3-aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether, 4,4′-bis [4- ( 4-amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] benzophenone, 4,4′-bis [4- (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] diphenylsulfone, bis [4- {4- (4 -Aminophenoxy) phenoxy} phenyl] sulfone, 1,4-bis [4- (4-aminophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] ben 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,1-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [ 4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] butane, 2, 2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis ( 3-aminophenoxy) benzene, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (3-aminophenoxy) phene Ru] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, 1,4-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,3-bis [4- (3-aminophenoxy) Benzoyl] benzene, 4,4′-bis [3- (3-aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether, and the like. These may be used individually by 1 type and can also be used in combination of 2 or more type.

また、多価イソシアネート化合物としては、たとえば、p−フェニレンジイソシアネート、m−フェニレンジイソシアネート、p−キシレンジイソシアネート、m−キシレンジイソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、4,4′−ジフェニルメタンジイソシアネート、3,3′−ジメチルジフェニル−4,4′−ジイソシアネート、3,3′−ジエチルジフェニル−4,4′−ジイソシアネート、m−キシレンジイソシアネート、p−キシレンジイソシアネート、1,3−ビス(α,α−ジメチルイソシアナートメチル)ベンゼン、テトラメチルキシリレンジイソシアネート、ジフェニレンエーテル−4,4′−ジイソシアネートおよびナフタレンジイソシアネート等の芳香族ポリイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、4,4′−ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、水素添加キシレンジイソシアネートおよびノルボヌレンジイソシアネート等の脂肪族ポリイソシアネート等が挙げられなどが挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いることもできる。   Examples of the polyvalent isocyanate compound include p-phenylene diisocyanate, m-phenylene diisocyanate, p-xylene diisocyanate, m-xylene diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, 4,4. '-Diphenylmethane diisocyanate, 3,3'-dimethyldiphenyl-4,4'-diisocyanate, 3,3'-diethyldiphenyl-4,4'-diisocyanate, m-xylene diisocyanate, p-xylene diisocyanate, 1,3-bis Aromatic polyisocyanates such as (α, α-dimethylisocyanatomethyl) benzene, tetramethylxylylene diisocyanate, diphenylene ether-4,4′-diisocyanate and naphthalene diisocyanate And aliphatic polyisocyanates such as 4,4'-dicyclohexylmethane diisocyanate, hydrogenated xylene diisocyanate and norbornylene diisocyanate, and the like. . These may be used individually by 1 type and can also be used in combination of 2 or more type.

有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)の酸価としては、2〜100mg(KOH)/gが好ましく、3〜80mg(KOH)/gがより好ましく、5〜60mg(KOH)/gの範囲のものが特に好ましい。   The acid value of the organic solvent-soluble polyimide (B1) is preferably 2 to 100 mg (KOH) / g, more preferably 3 to 80 mg (KOH) / g, and particularly preferably in the range of 5 to 60 mg (KOH) / g. preferable.

(無機充填剤(B2))
無機充填剤(B2)としては、特に限定されないが、たとえば、上述した被めっき層用樹脂組成物に用いる無機充填剤(A2)と同様のものを用いることができる。ただし、本発明においては、接着層用樹脂組成物に用いる無機充填剤(B2)としては、接着層用樹脂組成物の流動性向上という観点より、上述した被めっき層用樹脂組成物に用いる無機充填剤(A2)よりも平均粒子径が大きいものを用いることが好ましい。
(Inorganic filler (B2))
Although it does not specifically limit as an inorganic filler (B2), For example, the thing similar to the inorganic filler (A2) used for the resin composition for to-be-plated layers mentioned above can be used. However, in this invention, as an inorganic filler (B2) used for the resin composition for contact bonding layers, the inorganic used for the resin composition for to-be-plated layers mentioned above from a viewpoint of the fluidity | liquidity improvement of the resin composition for contact bonding layers. It is preferable to use one having an average particle size larger than that of the filler (A2).

接着層用樹脂組成物中における、無機充填剤(B2)の配合割合は、上述した被めっき層用樹脂組成物中における無機充填剤(A2)の配合割合よりも多くすることが好ましい。すなわち、本発明の絶縁性接着フィルムにおいては、被めっき層中における無機充填剤(A2)の配合割合よりも、接着層中における無機充填剤(B2)の配合割合の方が多いような構成とすることが好ましい。   The blending ratio of the inorganic filler (B2) in the adhesive layer resin composition is preferably larger than the blending ratio of the inorganic filler (A2) in the above-described resin composition for a plating layer. That is, in the insulating adhesive film of the present invention, the composition ratio of the inorganic filler (B2) in the adhesive layer is larger than the composition ratio of the inorganic filler (A2) in the plated layer. It is preferable to do.

接着層用樹脂組成物中における、無機充填剤(B2)の具体的な配合割合は、接着層用樹脂組成物中、好ましくは30〜80重量%であり、好ましくは40〜75重量%、より好ましくは50〜70重量%である。無機充填剤(B2)の配合割合が少なすぎると、接着層用樹脂組成物を硬化して得られる硬化物の線膨張率が高くなるおそれがあり、一方、配合割合が多すぎると、接着層用樹脂組成物の流動性が悪化するおそれがある。   The specific blending ratio of the inorganic filler (B2) in the adhesive layer resin composition is preferably 30 to 80% by weight, more preferably 40 to 75% by weight in the adhesive layer resin composition. Preferably it is 50 to 70% by weight. If the blending ratio of the inorganic filler (B2) is too small, the linear expansion coefficient of the cured product obtained by curing the resin composition for the adhesive layer may be increased. On the other hand, if the blending ratio is too large, the adhesive layer. The fluidity of the resin composition for use may deteriorate.

(エポキシ樹脂(B3))
また、本発明で用いる接着層用樹脂組成物は、上述した有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)、及び無機充填剤(B2)に加えて、接着層用樹脂組成物の硬化を促進させるための成分として、エポキシ樹脂(B3)をさらに含有していてもよい。
(Epoxy resin (B3))
In addition to the organic solvent-soluble polyimide (B1) and the inorganic filler (B2) described above, the adhesive layer resin composition used in the present invention is a component for accelerating the curing of the adhesive layer resin composition. Further, an epoxy resin (B3) may be further contained.

エポキシ樹脂(B3)としては、エポキシ基を2つ以上有するものであればよいが、本発明においては、上述した被めっき層用樹脂組成物の硬化性化合物(A3)として例示したエポキシ樹脂と同様のものを用いることができる。また、接着層用樹脂組成物に配合するエポキシ樹脂(B3)としては、上述した被めっき層用樹脂組成物の硬化性化合物(A3)として例示したもののなかでも、ビスフェノールA型エポキシ化合物や、脂環式オレフィン構造、ナフタレン構造又はフルオレン構造を有するエポキシ樹脂が好ましく、ナフタレン構造を有するエポキシ樹脂が特に好ましい。   The epoxy resin (B3) may be one having two or more epoxy groups, but in the present invention, it is the same as the epoxy resin exemplified as the curable compound (A3) of the above-described resin composition for a layer to be plated. Can be used. Moreover, as an epoxy resin (B3) mix | blended with the resin composition for contact bonding layers, among what was illustrated as a sclerosing | hardenable compound (A3) of the resin composition for to-be-plated layers mentioned above, a bisphenol A type epoxy compound and fat Epoxy resins having a cyclic olefin structure, a naphthalene structure or a fluorene structure are preferred, and an epoxy resin having a naphthalene structure is particularly preferred.

本発明の接着層用樹脂組成物中における、エポキシ樹脂(B3)の配合量は、有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)100重量部に対して、好ましくは10〜1,000重量部、より好ましくは50〜700重量部、さらに好ましくは100〜500重量部の範囲である。有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)の配合量が少なすぎても、多すぎても、接着層用樹脂組成物の硬化性が不十分となってしまうおそれがある。   The compounding amount of the epoxy resin (B3) in the adhesive layer resin composition of the present invention is preferably 10 to 1,000 parts by weight, more preferably 50 parts per 100 parts by weight of the organic solvent-soluble polyimide (B1). It is -700 weight part, More preferably, it is the range of 100-500 weight part. If the blending amount of the organic solvent-soluble polyimide (B1) is too small or too large, the curability of the adhesive layer resin composition may be insufficient.

(フェノール化合物(B4))
また、本発明で用いる接着層用樹脂組成物は、接着層用樹脂組成物を硬化させるための成分として、エポキシ樹脂(B3)に加えて、フェノール化合物(B4)をさらに含有していてもよい。
(Phenol compound (B4))
The adhesive layer resin composition used in the present invention may further contain a phenol compound (B4) in addition to the epoxy resin (B3) as a component for curing the adhesive layer resin composition. .

フェノール化合物(B4)としては、分子中にフェノール性水酸基を有するものであれば特に限定するものではない。このようなフェノール化合物(B4)としては、たとえば、ビスフェノールA、フェノールノボラック樹脂、キシリレン変性フェノール樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂、フルオレン変性フェノール樹脂、トリフェノールメタン樹脂、又はこれらの変性樹脂が挙げられ、これらのなかでも、フルオレン変性フェノール樹脂が好ましい。また、フェノール化合物(B4)としては、接着層用樹脂組成物の硬化性の観点から、フェノール化合物の水酸基当量が50〜300のものを用いることが好ましい。   The phenol compound (B4) is not particularly limited as long as it has a phenolic hydroxyl group in the molecule. Examples of such a phenol compound (B4) include bisphenol A, phenol novolac resin, xylylene-modified phenol resin, dicyclopentadiene-modified phenol resin, fluorene-modified phenol resin, triphenol methane resin, or modified resins thereof. Of these, fluorene-modified phenolic resins are preferred. Moreover, as a phenol compound (B4), it is preferable to use that whose hydroxyl equivalent of a phenol compound is 50-300 from a sclerosing | hardenable viewpoint of the resin composition for contact bonding layers.

本発明の接着層用樹脂組成物中における、フェノール化合物(B4)の配合量は、有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)100重量部に対して、好ましくは、50〜2000重量部、より好ましくは65〜900重量部、さらに好ましくは100〜550重量部の範囲である。フェノール化合物(B4)の配合量が少なすぎると、接着層用樹脂組成物の流動性が悪化するおそれがあり、一方、多すぎると、接着層用樹脂組成物を硬化して得られる硬化物の線膨張性が悪化するおそれがある。   The compounding amount of the phenol compound (B4) in the adhesive layer resin composition of the present invention is preferably 50 to 2000 parts by weight, more preferably 65 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the organic solvent-soluble polyimide (B1). The amount is 900 parts by weight, more preferably 100 to 550 parts by weight. If the blending amount of the phenol compound (B4) is too small, the fluidity of the adhesive layer resin composition may be deteriorated. On the other hand, if the amount is too large, the cured product obtained by curing the adhesive layer resin composition may be deteriorated. There is a possibility that the linear expansion property deteriorates.

(硬化促進剤(B5))
また、本発明で用いる接着層用樹脂組成物は、接着層用樹脂組成物を硬化させるための成分として、エポキシ樹脂(B3)及びフェノール化合物(B4)に加えて、硬化促進剤(B5)をさらに含有していてもよい。
(Curing accelerator (B5))
Moreover, in addition to an epoxy resin (B3) and a phenolic compound (B4), the resin composition for adhesive layers used by this invention adds a hardening accelerator (B5) as a component for hardening the resin composition for adhesive layers. Furthermore, you may contain.

硬化促進剤(B5)としては特に限定されないが、上述した被めっき層用樹脂組成物に用いることのできる硬化促進剤として例示したものと同様のものを用いることができる。   Although it does not specifically limit as a hardening accelerator (B5), The thing similar to what was illustrated as a hardening accelerator which can be used for the resin composition for to-be-plated layers mentioned above can be used.

本発明の接着層用樹脂組成物中における、硬化促進剤(B5)の配合量は、使用目的に応じて適宜選択すればよいが、有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)100重量部に対して、好ましくは、1〜50重量部、より好ましくは2〜40重量部、さらに好ましくは5〜30重量部である。硬化促進剤(B5)の配合量が少なすぎると、接着層用樹脂組成物の硬化が不十分となるおそれがあり、一方、多すぎると、接着層用樹脂組成物の保存安定性に劣ったり、流動が不十分となるおそれがある。   The blending amount of the curing accelerator (B5) in the adhesive layer resin composition of the present invention may be appropriately selected depending on the purpose of use, but is preferably based on 100 parts by weight of the organic solvent-soluble polyimide (B1). Is 1 to 50 parts by weight, more preferably 2 to 40 parts by weight, still more preferably 5 to 30 parts by weight. If the blending amount of the curing accelerator (B5) is too small, curing of the adhesive layer resin composition may be insufficient, while if too large, the storage stability of the adhesive layer resin composition may be inferior. There is a risk that the flow will be insufficient.

本発明で用いる接着層用樹脂組成物は、有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)及び無機充填剤(B2)に加え、エポキシ樹脂(B3)、フェノール化合物(B4)、及び硬化促進剤(B5)をさらに含有してもよい。   The resin composition for an adhesive layer used in the present invention further includes an epoxy resin (B3), a phenol compound (B4), and a curing accelerator (B5) in addition to the organic solvent-soluble polyimide (B1) and the inorganic filler (B2). You may contain.

(その他の成分)
また、本発明で用いる接着層用樹脂組成物には、上述した被めっき層用樹脂組成物と同様に、例えば、ハロゲン系難燃剤やリン酸エステル系難燃剤などの一般の電気絶縁膜形成用の樹脂組成物に配合される難燃剤を配合してもよい。難燃剤を配合する場合の配合量は、有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)100重量部に対して、好ましくは100重量部以下であり、より好ましくは60重量部以下である。
(Other ingredients)
In addition, the adhesive layer resin composition used in the present invention is, for example, for forming a general electric insulating film such as a halogen-based flame retardant or a phosphate ester-based flame retardant, as with the above-described resin composition for a plated layer. You may mix | blend the flame retardant mix | blended with this resin composition. When the flame retardant is blended, the blending amount is preferably 100 parts by weight or less, more preferably 60 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the organic solvent-soluble polyimide (B1).

また、本発明で用いる接着層用樹脂組成物には、上述した被めっき層用樹脂組成物と同様に、さらに必要に応じて、難燃助剤、耐熱安定剤、耐候安定剤、老化防止剤、紫外線吸収剤(レーザー加工性向上剤)、レベリング剤、帯電防止剤、スリップ剤、アンチブロッキング剤、防曇剤、滑剤、染料、天然油、合成油、ワックス、乳剤、磁性体、誘電特性調整剤、靭性剤などの任意成分を配合してもよい。これらの任意成分の配合割合は、本発明の目的を損なわない範囲で適宜選択すればよい。   Further, the adhesive layer resin composition used in the present invention may further include a flame retardant aid, a heat resistance stabilizer, a weather resistance stabilizer, and an anti-aging agent, as necessary, in the same manner as the above-described resin composition for a layer to be plated. , UV absorber (laser processability improver), leveling agent, antistatic agent, slip agent, anti-blocking agent, anti-fogging agent, lubricant, dye, natural oil, synthetic oil, wax, emulsion, magnetic substance, dielectric property adjustment You may mix | blend arbitrary components, such as an agent and a toughening agent. What is necessary is just to select suitably the mixture ratio of these arbitrary components in the range which does not impair the objective of this invention.

本発明で用いる接着層用樹脂組成物の製造方法としては、特に限定されるものではなく、上記各成分を、そのまま混合してもよいし、有機溶剤に溶解もしくは分散させた状態で混合してもよいし、上記各成分の一部を有機溶剤に溶解もしくは分散させた状態の組成物を調製し、当該組成物に残りの成分を混合してもよい。   The method for producing the resin composition for the adhesive layer used in the present invention is not particularly limited, and the above components may be mixed as they are, or mixed in a state dissolved or dispersed in an organic solvent. Alternatively, a composition in which a part of each of the above components is dissolved or dispersed in an organic solvent may be prepared, and the remaining components may be mixed with the composition.

(絶縁性接着フィルム)
本発明の絶縁性接着フィルムは、上述した被めっき層用樹脂組成物からなる被めっき層と、上述した接着層用樹脂組成物からなる接着層とを有するものである。
(Insulating adhesive film)
The insulating adhesive film of this invention has a to-be-plated layer which consists of the resin composition for to-be-plated layers mentioned above, and an adhesive layer which consists of the resin composition for above-mentioned adhesive layers.

本発明の絶縁性接着フィルムは、たとえば、以下の2つの方法:(1)上述した被めっき層用樹脂組成物を支持体上に塗布、散布または流延し、必要に応じて乾燥させ、次いで、その上に、上述した接着層用樹脂組成物をさらに塗布または流延し、必要に応じて乾燥させることにより製造する方法;(2)上述した被めっき層用樹脂組成物を支持体上に塗布、散布または流延し、必要に応じて乾燥させて得られたシート状又はフィルム状に成形してなる被めっき層用成形体と、上述した接着層用樹脂組成物を支持体上に塗布、散布または流延し、必要に応じて乾燥させて、シート状又はフィルム状に成形してなる接着層用成形体とを積層し、これらの成形体を一体化させることにより製造する方法、により製造することができる。これらの製造方法の内、より容易なプロセスであり生産性に優れることから、上記(1)の製造方法が好ましい。   The insulating adhesive film of the present invention can be obtained, for example, by the following two methods: (1) Applying, spreading or casting the above-described resin composition for a layer to be plated on a support, drying as necessary, and then And a method for producing the adhesive layer resin composition by further applying or casting the above-described resin composition for an adhesive layer and drying as necessary; (2) the above-described resin composition for a layer to be plated on a support; Coating, spreading or casting, and applying the above-mentioned resin composition for a bonding layer and the above-mentioned resin composition for an adhesive layer formed into a sheet or film obtained by drying as necessary. , By spraying or casting, drying as necessary, forming a sheet or film and then laminating the molded product for the adhesive layer, and by integrating these molded products, Can be manufactured. Among these production methods, the production method (1) is preferred because it is an easier process and is excellent in productivity.

上述の(1)の製造方法において、被めっき層用樹脂組成物を支持体に塗布、散布または流延する際、及び塗布、散布または流延された被めっき層用樹脂組成物に接着層用樹脂組成物を塗布、散布または流延する際、あるいは上述の(2)の製造方法において、被めっき層用樹脂組成物及び接着層用樹脂組成物をシート状又はフィルム状に成形して被めっき層用成形体及び接着層用成形体とする際には、被めっき層用樹脂組成物または接着層用樹脂組成物を、必要に応じて有機溶剤を添加して、支持体に塗布、散布又は流延することが好ましい。   In the production method of (1) described above, when the resin composition for a plating layer is applied, dispersed or cast onto a support, and applied to the resin composition for a plated layer applied, dispersed or cast, for the adhesive layer When the resin composition is applied, dispersed or cast, or in the production method (2) described above, the resin composition for the plating layer and the resin composition for the adhesive layer are formed into a sheet or film to be plated. When the layered molded body and the adhesive layer molded body are used, the resin composition for the layer to be plated or the resin composition for the adhesive layer is added to an organic solvent as necessary, applied to the support, spread, or It is preferable to cast.

この際に用いる支持体としては、樹脂フィルムや金属箔などが挙げられる。樹脂フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリアリレートフィルム、ナイロンフィルムなどが挙げられる。これらのフィルムのうち、耐熱性、耐薬品性、剥離性などの観点からポリエチレンテレフタレートフィルム又はポリエチレンナフタレートフィルムが好ましい。金属箔としては、銅箔、アルミ箔、ニッケル箔、クロム箔、金箔、銀箔などが挙げられる。なお、支持体の表面平均粗さRaは、通常、300nm以下、好ましくは150nm以下、より好ましくは100nm以下である。   Examples of the support used in this case include a resin film and a metal foil. Examples of the resin film include polyethylene terephthalate film, polypropylene film, polyethylene film, polycarbonate film, polyethylene naphthalate film, polyarylate film, and nylon film. Among these films, a polyethylene terephthalate film or a polyethylene naphthalate film is preferable from the viewpoint of heat resistance, chemical resistance, peelability, and the like. Examples of the metal foil include copper foil, aluminum foil, nickel foil, chrome foil, gold foil, and silver foil. The average surface roughness Ra of the support is usually 300 nm or less, preferably 150 nm or less, more preferably 100 nm or less.

上述の(1)の製造方法における、被めっき層用樹脂組成物および接着層用樹脂組成物の厚み、あるいは上述の(2)の製造方法における被めっき層用成形体及び接着層用成形体の厚みは、特に限定されないが、絶縁性接着フィルムとした際における、被めっき層の厚みが、好ましくは1〜10μm、より好ましくは1〜8μm、さらに好ましくは1〜5μm、また、接着層の厚みが、好ましくは10〜100μm、より好ましくは10〜80μm、さらに好ましくは15〜60μmとなるような厚みとすることが好ましい。被めっき層の厚みが薄すぎると、絶縁性接着フィルムを硬化して得られる硬化物上に、無電解めっきにより導体層を形成した際における、導体層の形成性が低下してしまうおそれがあり、一方、被めっき層の厚みが厚すぎると、絶縁性接着フィルムを硬化して得られる硬化物の線膨張が大きくなるおそれがある。また、接着層の厚みが薄すぎると、絶縁性接着フィルムの配線埋め込み性が低下してしまうおそれがある。   The thickness of the plated layer resin composition and the adhesive layer resin composition in the manufacturing method (1) described above, or the thickness of the plated layer molded body and the adhesive layer molded body in the manufacturing method (2) described above. The thickness is not particularly limited, but when the insulating adhesive film is formed, the thickness of the layer to be plated is preferably 1 to 10 μm, more preferably 1 to 8 μm, still more preferably 1 to 5 μm, and the thickness of the adhesive layer. However, the thickness is preferably 10 to 100 μm, more preferably 10 to 80 μm, and still more preferably 15 to 60 μm. If the thickness of the layer to be plated is too thin, the formability of the conductor layer may be reduced when the conductor layer is formed by electroless plating on the cured product obtained by curing the insulating adhesive film. On the other hand, if the thickness of the layer to be plated is too thick, the linear expansion of the cured product obtained by curing the insulating adhesive film may increase. Moreover, when the thickness of the adhesive layer is too thin, the wiring embedding property of the insulating adhesive film may be lowered.

被めっき層用樹脂組成物及び接着層用樹脂組成物を塗布する方法としては、ディップコート、ロールコート、カーテンコート、ダイコート、スリットコート、グラビアコートなどが挙げられる。   Examples of the method for applying the resin composition for the plating layer and the resin composition for the adhesive layer include dip coating, roll coating, curtain coating, die coating, slit coating, and gravure coating.

また、上述の(1)の製造方法における、被めっき層用樹脂組成物を支持体上に塗布、散布または流延した後、あるいは接着層用樹脂組成物を被めっき層用樹脂組成物上に塗布、散布または流延した後、あるいは上述の(2)の製造方法における、被めっき層用樹脂組成物及び接着層用樹脂組成物を支持体上に塗布した後、必要に応じて、乾燥を行ってもよい。乾燥温度は、被めっき層用樹脂組成物及び接着層用樹脂組成物が硬化しない程度の温度とすることが好ましく、通常、20〜300℃、好ましくは30〜200℃である。また、乾燥時間は、通常、30秒間〜1時間、好ましくは1分間〜30分間である。   In addition, after the resin composition for a plating layer in the production method of (1) described above is applied, dispersed or cast on a support, or the resin composition for an adhesive layer is applied on the resin composition for a plating layer. After coating, spreading, or casting, or after coating the plated layer resin composition and the adhesive layer resin composition on the support in the production method of (2) above, drying is performed as necessary. You may go. The drying temperature is preferably set to a temperature at which the resin composition for the plating layer and the resin composition for the adhesive layer are not cured, and is usually 20 to 300 ° C, preferably 30 to 200 ° C. The drying time is usually 30 seconds to 1 hour, preferably 1 minute to 30 minutes.

なお、本発明の絶縁性接着フィルムにおいては、絶縁性接着フィルムを構成する被めっき層及び接着層が未硬化又は半硬化の状態であることが好ましい。これらを未硬化又は半硬化の状態とすることにより、本発明の絶縁性接着フィルムを構成する接着層を接着性の高いものとすることできる。ここで未硬化とは、本発明の絶縁性接着フィルムを、それぞれ、脂環式オレフィン重合体(A1)を溶解可能な溶剤、有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)を溶解可能な溶剤に漬けたときに、実質的に脂環式オレフィン重合体(A1)、有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)の全部が溶解する状態をいう。また、半硬化とは、加熱すれば更に硬化しうる程度に途中まで硬化された状態であり、好ましくは、それぞれ、脂環式オレフィン重合体(A1)を溶解可能な溶剤、有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)を溶解可能な溶剤に、脂環式オレフィン重合体(A1)、有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)の一部(具体的には7重量%以上)が溶解する状態であるか、あるいは、溶剤中に成形体を24時間浸漬した後の体積が、浸漬前の体積の200%以上(膨潤率)である状態をいう。   In addition, in the insulating adhesive film of this invention, it is preferable that the to-be-plated layer and adhesive layer which comprise an insulating adhesive film are an uncured or semi-hardened state. By making these into an uncured or semi-cured state, the adhesive layer constituting the insulating adhesive film of the present invention can be made highly adhesive. Here, uncured means that the insulating adhesive film of the present invention is immersed in a solvent capable of dissolving the alicyclic olefin polymer (A1) and a solvent capable of dissolving the organic solvent-soluble polyimide (B1), respectively. In addition, substantially all of the alicyclic olefin polymer (A1) and the organic solvent-soluble polyimide (B1) are dissolved. Semi-cured is a state in which the resin is cured halfway to the extent that it can be further cured by heating. Preferably, a solvent capable of dissolving the alicyclic olefin polymer (A1) and an organic solvent-soluble polyimide ( A part of the alicyclic olefin polymer (A1) and the organic solvent-soluble polyimide (B1) (specifically 7% by weight or more) is dissolved in a solvent capable of dissolving B1), or a solvent The volume after the molded body is immersed for 24 hours inside is 200% or more of the volume before the immersion (swelling rate).

(積層体)
本発明の積層体は、上述した本発明の絶縁性接着フィルムを基材に積層してなるものである。本発明の積層体としては、少なくとも、上述した本発明の絶縁性接着フィルムを積層してなるものであればよいが、表面に導体層を有する基板と、上述した本発明の絶縁性接着フィルムからなる電気絶縁層とを積層してなるものが好ましい。なお、この際においては、本発明の絶縁性接着フィルムが、接着層を介して基板と積層されるような構成とする。すなわち、本発明の積層体においては、電気絶縁層の表面は、本発明の絶縁性接着フィルムの被めっき層及び接着層のうち、被めっき層により形成されることとなる。
(Laminate)
The laminate of the present invention is formed by laminating the above-described insulating adhesive film of the present invention on a substrate. As the laminate of the present invention, at least the insulating adhesive film of the present invention described above may be laminated. From the substrate having a conductor layer on the surface and the above described insulating adhesive film of the present invention. What laminates | stacks the electrical insulating layer which becomes is preferable. In this case, the insulating adhesive film of the present invention is configured to be laminated with the substrate via an adhesive layer. That is, in the laminated body of the present invention, the surface of the electrical insulating layer is formed by the layer to be plated among the layer to be plated and the adhesive layer of the insulating adhesive film of the present invention.

表面に導体層を有する基板は、電気絶縁性基板の表面に導体層を有するものである。電気絶縁性基板は、公知の電気絶縁材料(たとえば、脂環式オレフィン重合体、エポキシ樹脂、マレイミド樹脂、(メタ)アクリル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、トリアジン樹脂、ポリフェニルエーテル、ガラス等)を含有する樹脂組成物を硬化して形成されたものである。導体層は、特に限定されないが、通常、導電性金属等の導電体により形成された配線を含む層であって、更に各種の回路を含んでいてもよい。配線や回路の構成、厚み等は、特に限定されない。表面に導体層を有する基板の具体例としては、プリント配線基板、シリコンウェーハ基板等を挙げることができる。表面に導体層を有する基板の厚みは、通常、10μm〜10mm、好ましくは20μm〜5mm、より好ましくは30μm〜2mmである。   A substrate having a conductor layer on the surface has a conductor layer on the surface of the electrically insulating substrate. The electrically insulating substrate contains a known electrically insulating material (for example, alicyclic olefin polymer, epoxy resin, maleimide resin, (meth) acrylic resin, diallyl phthalate resin, triazine resin, polyphenyl ether, glass, etc.). The resin composition is formed by curing. Although a conductor layer is not specifically limited, Usually, it is a layer containing the wiring formed with conductors, such as an electroconductive metal, Comprising: Various circuits may be included further. The configuration and thickness of the wiring and circuit are not particularly limited. Specific examples of the substrate having a conductor layer on the surface include a printed wiring board and a silicon wafer substrate. The thickness of the substrate having a conductor layer on the surface is usually 10 μm to 10 mm, preferably 20 μm to 5 mm, more preferably 30 μm to 2 mm.

本発明で用いる表面に導体層を有する基板は、電気絶縁層との密着性を向上させるために、導体層表面に前処理が施されていることが好ましい。前処理の方法としては、公知の技術を、特に限定されず使用することができる。例えば、導体層が銅からなるものであれば、強アルカリ酸化性溶液を導体層表面に接触させて、導体表面に酸化銅の層を形成して粗化する酸化処理方法、導体層表面を先の方法で酸化した後に水素化ホウ素ナトリウム、ホルマリンなどで還元する方法、導体層にめっきを析出させて粗化する方法、導体層に有機酸を接触させて銅の粒界を溶出して粗化する方法、及び導体層にチオール化合物やシラン化合物などによりプライマー層を形成する方法等が挙げられる。これらの内、微細な配線パターンの形状維持の容易性の観点から、導体層に有機酸を接触させて銅の粒界を溶出して粗化する方法、及び、チオール化合物やシラン化合物などによりプライマー層を形成する方法が好ましい。   The substrate having a conductor layer on the surface used in the present invention is preferably pretreated on the surface of the conductor layer in order to improve adhesion to the electrical insulating layer. As a pretreatment method, a known technique can be used without any particular limitation. For example, if the conductor layer is made of copper, an oxidation treatment method in which a strong alkali oxidizing solution is brought into contact with the surface of the conductor layer to form a copper oxide layer on the conductor surface and roughened, After oxidation with this method, reduce with sodium borohydride, formalin, etc., deposit and roughen the plating on the conductor layer, contact the organic acid with the conductor layer to elute the copper grain boundaries and roughen And a method of forming a primer layer with a thiol compound or a silane compound on the conductor layer. Among these, from the viewpoint of easy maintenance of the shape of a fine wiring pattern, a method in which an organic acid is brought into contact with a conductor layer to elute and roughen the grain boundaries of copper, and a primer using a thiol compound or a silane compound A method of forming a layer is preferred.

本発明の積層体は、通常、表面に導体層を有する基板上に、上述した本発明の絶縁性接着フィルムを加熱圧着することにより、製造することができる。   The laminate of the present invention can usually be produced by heat-pressing the above-mentioned insulating adhesive film of the present invention on a substrate having a conductor layer on the surface.

加熱圧着の方法としては、支持体付きの絶縁性接着フィルムを、絶縁性接着フィルムを構成する接着層が、上述した基板の導体層に接するように重ね合わせ、加圧ラミネータ、プレス、真空ラミネータ、真空プレス、ロールラミネータなどの加圧機を使用して加熱圧着(ラミネーション)する方法が挙げられる。加熱加圧することにより、基板表面の導体層と絶縁性接着フィルムとの界面に空隙が実質的に存在しないように結合させることができる。   As a method of thermocompression bonding, an insulating adhesive film with a support is superposed so that the adhesive layer constituting the insulating adhesive film is in contact with the conductor layer of the substrate described above, a pressure laminator, a press, a vacuum laminator, The method of carrying out thermocompression bonding (lamination) using pressurizers, such as a vacuum press and a roll laminator, is mentioned. By heating and pressurizing, bonding can be performed so that there is substantially no void at the interface between the conductor layer on the substrate surface and the insulating adhesive film.

加熱圧着操作の温度は、通常、30〜250℃、好ましくは70〜200℃であり、加える圧力は、通常、10kPa〜20MPa、好ましくは100kPa〜10MPaであり、時間は、通常、30秒〜5時間、好ましくは1分〜3時間である。また、加熱圧着は、配線パターンの埋め込み性を向上させ、気泡の発生を抑えるために減圧下で行うのが好ましい。加熱圧着を行う減圧下の圧力は、通常100kPa〜1Pa、好ましくは40kPa〜10Paである。   The temperature of the thermocompression bonding operation is usually 30 to 250 ° C., preferably 70 to 200 ° C., the pressure applied is usually 10 kPa to 20 MPa, preferably 100 kPa to 10 MPa, and the time is usually 30 seconds to 5 seconds. Time, preferably 1 minute to 3 hours. The thermocompression bonding is preferably performed under reduced pressure in order to improve the embedding property of the wiring pattern and suppress the generation of bubbles. The pressure under reduced pressure at which thermocompression bonding is performed is usually 100 kPa to 1 Pa, preferably 40 kPa to 10 Pa.

(硬化物)
本発明の硬化物は、上述した方法により得られる本発明の積層体について、本発明の絶縁性接着フィルムを硬化する処理を行なうことで、硬化物とすることができる。硬化は、通常、導体層上に、本発明の絶縁性接着フィルムが形成された基板全体を加熱することにより行う。硬化は、上述した加熱圧着操作と同時に行うことができる。また、先ず加熱圧着操作を硬化の起こらない条件、すなわち比較的低温、短時間で行った後、硬化を行ってもよい。
(Cured product)
The hardened | cured material of this invention can be made into hardened | cured material by performing the process which hardens the insulating adhesive film of this invention about the laminated body of this invention obtained by the method mentioned above. Curing is usually performed by heating the entire substrate on which the insulating adhesive film of the present invention is formed on the conductor layer. Curing can be performed simultaneously with the above-described thermocompression bonding operation. Alternatively, the thermocompression may be performed after the thermocompression operation is performed under conditions that do not cause curing, that is, at a relatively low temperature for a short time.

(複合体)
本発明の複合体は、上述した本発明の積層体の電気絶縁層上に、すなわち、絶縁性接着フィルムの硬化物の被めっき層上に、無電解めっきにより、さらに別の導体層を形成してなるものである。以下、本発明の複合体の製造方法を、本発明の複合体の一例としての多層回路基板を例示して、説明する。
(Complex)
In the composite of the present invention, another conductor layer is formed on the electrical insulating layer of the laminate of the present invention described above, that is, on the plated layer of the cured product of the insulating adhesive film by electroless plating. It will be. Hereinafter, the method for producing a composite according to the present invention will be described using a multilayer circuit board as an example of the composite according to the present invention.

まず、積層体に、電気絶縁層を貫通するビアホールやスルーホールを形成する。ビアホールは、多層回路基板とした場合に、多層回路基板を構成する各導体層を連結するために形成される。ビアホールやスルーホールは、フォトリソグラフィ法のような化学的処理により、又は、ドリル、レーザー、プラズマエッチングなどの物理的処理などにより形成することができる。これらの方法の中でもレーザーによる方法(炭酸ガスレーザー、エキシマレーザー、UV−YAGレーザーなど)は、より微細なビアホールを電気絶縁層の特性を低下させずに形成できるので好ましい。   First, a via hole or a through hole that penetrates the electrical insulating layer is formed in the laminate. The via hole is formed to connect the respective conductor layers constituting the multilayer circuit board when the multilayer circuit board is used. The via hole or the through hole can be formed by chemical processing such as photolithography or physical processing such as drilling, laser, or plasma etching. Among these methods, a laser method (carbon dioxide laser, excimer laser, UV-YAG laser, or the like) is preferable because a finer via hole can be formed without degrading the characteristics of the electrical insulating layer.

次に、積層体の電気絶縁層、具体的には、積層体を構成する絶縁性接着フィルムの被めっき層の表面を、粗化する表面粗化処理を行う。表面粗化処理は、電気絶縁層上に形成する導電層との接着性を高めるために行う。
電気絶縁層の表面平均粗さRaは、好ましくは0.05μm以上0.5μm未満、より好ましくは0.06μm以上0.3μm以下であり、かつ表面十点平均粗さRzjisは、好ましくは0.3μm以上4μm未満、より好ましくは0.5μm以上2μm以下である。なお、本明細書において、RaはJIS B0601−2001に示される算術平均粗さであり、表面十点平均粗さRzjisは、JIS B0601−2001付属書1に示される十点平均粗さである。
Next, surface roughening treatment is performed to roughen the surface of the electrically insulating layer of the laminate, specifically, the surface of the layer to be plated of the insulating adhesive film constituting the laminate. The surface roughening treatment is performed in order to improve the adhesiveness with the conductive layer formed on the electrical insulating layer.
The surface average roughness Ra of the electrical insulating layer is preferably 0.05 μm or more and less than 0.5 μm, more preferably 0.06 μm or more and 0.3 μm or less, and the surface 10-point average roughness Rzjis is preferably 0.00. They are 3 micrometers or more and less than 4 micrometers, More preferably, they are 0.5 micrometers or more and 2 micrometers or less. In this specification, Ra is the arithmetic average roughness shown in JIS B0601-2001, and the surface ten-point average roughness Rzjis is the ten-point average roughness shown in JIS B0601-2001 appendix 1.

表面粗化処理方法としては、特に限定されないが、電気絶縁層表面(すなわち、絶縁性接着フィルムの硬化物の被めっき層の表面)と酸化性化合物とを接触させる方法などが挙げられる。酸化性化合物としては、無機酸化性化合物や有機酸化性化合物などの酸化能を有する公知の化合物が挙げられる。電気絶縁層の表面平均粗さの制御の容易さから、無機酸化性化合物や有機酸化性化合物を用いるのが特に好ましい。無機酸化性化合物としては、過マンガン酸塩、無水クロム酸、重クロム酸塩、クロム酸塩、過硫酸塩、活性二酸化マンガン、四酸化オスミウム、過酸化水素、過よう素酸塩などが挙げられる。有機酸化性化合物としてはジクミルパーオキサイド、オクタノイルパーオキサイド、m−クロロ過安息香酸、過酢酸、オゾンなどが挙げられる。   Although it does not specifically limit as a surface roughening processing method, The method etc. which contact an electrically insulating layer surface (namely, surface of the to-be-plated layer of the hardened | cured material of an insulating adhesive film) and an oxidizing compound are mentioned. Examples of the oxidizing compound include known compounds having oxidizing ability, such as inorganic oxidizing compounds and organic oxidizing compounds. In view of easy control of the average surface roughness of the electrical insulating layer, it is particularly preferable to use an inorganic oxidizing compound or an organic oxidizing compound. Examples of inorganic oxidizing compounds include permanganate, chromic anhydride, dichromate, chromate, persulfate, activated manganese dioxide, osmium tetroxide, hydrogen peroxide, periodate, and the like. . Examples of the organic oxidizing compound include dicumyl peroxide, octanoyl peroxide, m-chloroperbenzoic acid, peracetic acid, and ozone.

無機酸化性化合物や有機酸化性化合物を用いて電気絶縁層表面を表面粗化処理する方法に格別な制限はない。例えば、上記酸化性化合物を溶解可能な溶媒に溶解して調製した酸化性化合物溶液を電気絶縁層表面に接触させる方法が挙げられる。
酸化性化合物溶液を、電気絶縁層の表面に接触させる方法としては、特に限定されないが、たとえば、電気絶縁層を酸化性化合物溶液に浸漬するディップ法、酸化性化合物溶液の表面張力を利用して、酸化性化合物溶液を、電気絶縁層に載せる液盛り法、酸化性化合物溶液を、電気絶縁層に噴霧するスプレー法、などいかなる方法であってもよい。表面粗化処理を行うことにより、電気絶縁層の、導体層など他の層との間の密着性を向上させることができる。
There is no particular limitation on the method of roughening the surface of the electrical insulating layer using an inorganic oxidizing compound or an organic oxidizing compound. For example, there is a method in which an oxidizing compound solution prepared by dissolving the oxidizing compound in a soluble solvent is brought into contact with the surface of the electrical insulating layer.
The method for bringing the oxidizing compound solution into contact with the surface of the electrical insulating layer is not particularly limited. For example, the dipping method in which the electrical insulating layer is immersed in the oxidizing compound solution, the surface tension of the oxidizing compound solution is used. Any method may be used, such as a liquid filling method in which the oxidizing compound solution is placed on the electric insulating layer, or a spray method in which the oxidizing compound solution is sprayed on the electric insulating layer. By performing the surface roughening treatment, it is possible to improve the adhesion between the electrical insulating layer and another layer such as a conductor layer.

これらの酸化性化合物溶液を電気絶縁層表面に接触させる温度や時間は、酸化性化合物の濃度や種類、接触方法などを考慮して、任意に設定すればよいが、温度は、通常、10〜150℃、好ましくは20〜100℃であり、時間は、通常、0.5〜60分間、好ましくは1〜40分間である。   The temperature and time for bringing these oxidizing compound solutions into contact with the surface of the electrical insulating layer may be set arbitrarily in consideration of the concentration and type of the oxidizing compound, the contact method, etc. It is 150 degreeC, Preferably it is 20-100 degreeC, and time is 0.5 to 60 minutes normally, Preferably it is 1 to 40 minutes.

なお、表面粗化処理後、酸化性化合物を除去するため、表面粗化処理後の電気絶縁層表面を水で洗浄する。また、水だけでは洗浄しきれない物質が付着している場合には、その物質を溶解可能な洗浄液でさらに洗浄したり、他の化合物と接触させたりすることにより水に可溶な物質にしてから水で洗浄する。例えば、過マンガン酸カリウム水溶液や過マンガン酸ナトリウム水溶液などのアルカリ性水溶液を電気絶縁層と接触させた場合は、発生した二酸化マンガンの皮膜を除去する目的で、硫酸ヒドロキシアミンと硫酸との混合液などの酸性水溶液により中和還元処理した後に水で洗浄することができる。   Note that the surface of the electrical insulating layer after the surface roughening treatment is washed with water in order to remove the oxidizing compound after the surface roughening treatment. In addition, if a substance that cannot be washed with water is attached, the substance can be further washed with a dissolvable cleaning solution or brought into contact with other compounds to make it soluble in water. Wash with water. For example, when an alkaline aqueous solution such as an aqueous potassium permanganate solution or an aqueous sodium permanganate solution is brought into contact with the electrical insulating layer, a mixed solution of hydroxyamine sulfate and sulfuric acid is used to remove the generated manganese dioxide film. It can wash | clean with water, after neutralizing-reducing process with the acidic aqueous solution of this.

次いで、積層体の電気絶縁層について表面粗化処理を行った後、電気絶縁層の表面(すなわち、絶縁性接着フィルムの硬化物の被めっき層の表面)及びビアホールやスルーホールの内壁面に、導体層を形成する。
導体層の形成方法は、密着性に優れる導体層を形成できるという観点より、無電解めっき法により行なう。
Next, after performing a surface roughening treatment on the electrical insulating layer of the laminate, on the surface of the electrical insulating layer (that is, the surface of the layer to be plated of the cured adhesive adhesive film) and the inner wall surface of the via hole or the through hole, A conductor layer is formed.
The conductive layer is formed by electroless plating from the viewpoint that a conductive layer having excellent adhesion can be formed.

たとえば、無電解めっき法により導体層を形成する際においては、まず、金属薄膜を電気絶縁層の表面に形成させる前に、電気絶縁層(すなわち、絶縁性接着フィルムの硬化物の被めっき層)上に、銀、パラジウム、亜鉛、コバルトなどの触媒核を付着させるのが一般的である。触媒核を電気絶縁層に付着させる方法は特に制限されず、例えば、銀、パラジウム、亜鉛、コバルトなどの金属化合物やこれらの塩や錯体を、水又はアルコールもしくはクロロホルムなどの有機溶剤に0.001〜10重量%の濃度で溶解した液(必要に応じて酸、アルカリ、錯化剤、還元剤などを含有していてもよい。)に浸漬した後、金属を還元する方法などが挙げられる。   For example, when forming a conductor layer by an electroless plating method, first, before forming the metal thin film on the surface of the electrical insulation layer, the electrical insulation layer (ie, the plated layer of the cured product of the insulating adhesive film) It is common to deposit catalyst nuclei such as silver, palladium, zinc, cobalt on the top. The method for attaching the catalyst nucleus to the electrical insulating layer is not particularly limited. For example, a metal compound such as silver, palladium, zinc, or cobalt, or a salt or complex thereof is added to water or an organic solvent such as alcohol or chloroform to 0.001. Examples include a method of reducing a metal after dipping in a solution (which may contain an acid, an alkali, a complexing agent, a reducing agent, etc., if necessary) dissolved at a concentration of 10 to 10% by weight.

無電解めっき法に用いる無電解めっき液としては、公知の自己触媒型の無電解めっき液を用いればよく、めっき液中に含まれる金属種、還元剤種、錯化剤種、水素イオン濃度、溶存酸素濃度などは特に限定されない。例えば、次亜リン酸アンモニウム、次亜リン酸、水素化硼素アンモニウム、ヒドラジン、ホルマリンなどを還元剤とする無電解銅めっき液;次亜リン酸ナトリウムを還元剤とする無電解ニッケル−リンめっき液;ジメチルアミンボランを還元剤とする無電解ニッケル−ホウ素めっき液;無電解パラジウムめっき液;次亜リン酸ナトリウムを還元剤とする無電解パラジウム−リンめっき液;無電解金めっき液;無電解銀めっき液;次亜リン酸ナトリウムを還元剤とする無電解ニッケル−コバルト−リンめっき液などの無電解めっき液を用いることができる。   As the electroless plating solution used in the electroless plating method, a known autocatalytic electroless plating solution may be used, and the metal species, reducing agent species, complexing agent species, hydrogen ion concentration, The dissolved oxygen concentration is not particularly limited. For example, electroless copper plating solution using ammonium hypophosphite, hypophosphorous acid, ammonium borohydride, hydrazine, formalin, etc. as a reducing agent; electroless nickel-phosphorous plating solution using sodium hypophosphite as a reducing agent Electroless nickel-boron plating solution using dimethylamine borane as a reducing agent; electroless palladium plating solution; electroless palladium-phosphorous plating solution using sodium hypophosphite as a reducing agent; electroless gold plating solution; electroless silver Plating solution: An electroless plating solution such as an electroless nickel-cobalt-phosphorous plating solution using sodium hypophosphite as a reducing agent can be used.

金属薄膜を形成した後、基板表面を防錆剤と接触させて防錆処理を施すことができる。また、金属薄膜を形成した後、密着性向上などのため、金属薄膜を加熱することもできる。加熱温度は、通常、50〜350℃、好ましくは80〜250℃である。なお、この際において、加熱は加圧条件下で実施してもよい。このときの加圧方法としては、例えば、熱プレス機、加圧加熱ロール機などの物理的加圧手段を用いる方法が挙げられる。加える圧力は、通常、0.1〜20MPa、好ましくは0.5〜10MPaである。この範囲であれば、金属薄膜と電気絶縁層との高い密着性が確保できる。   After forming the metal thin film, the substrate surface can be brought into contact with a rust preventive agent to carry out a rust prevention treatment. Moreover, after forming a metal thin film, a metal thin film can also be heated in order to improve adhesiveness. The heating temperature is usually 50 to 350 ° C, preferably 80 to 250 ° C. In this case, heating may be performed under a pressurized condition. As a pressurizing method at this time, for example, a method using a physical pressurizing means such as a hot press machine or a pressurizing and heating roll machine can be cited. The applied pressure is usually 0.1 to 20 MPa, preferably 0.5 to 10 MPa. If it is this range, the high adhesiveness of a metal thin film and an electrically insulating layer is securable.

このようにして形成された金属薄膜上にめっき用レジストパターンを形成し、更にその上に電解めっきなどの湿式めっきによりめっきを成長させ(厚付けめっき)、次いで、レジストを除去し、更にエッチングにより金属薄膜をパターン状にエッチングして導体層を形成する。従って、この方法により形成される導体層は、通常、パターン状の金属薄膜と、その上に成長させためっきとからなる。   A resist pattern for plating is formed on the metal thin film thus formed, and further, plating is grown thereon by wet plating such as electrolytic plating (thick plating), then the resist is removed, and further etched. The metal thin film is etched into a pattern to form a conductor layer. Therefore, the conductor layer formed by this method usually consists of a patterned metal thin film and plating grown thereon.

以上のようにして得られた多層回路基板を、上述した積層体を製造するための基板とし、これを上述した成形体又は複合成形体とを加熱圧着し、硬化して電気絶縁層を形成し、さらにこの上に、上述した方法に従い、導電層の形成を行い、これらを繰り返すことにより、更なる多層化を行うことができ、これにより所望の多層回路基板とすることができる。   The multilayer circuit board obtained as described above is used as a substrate for manufacturing the above-described laminate, and this is thermocompression-bonded with the above-described molded body or composite molded body and cured to form an electrical insulating layer. Further, by further forming a conductive layer in accordance with the above-described method and repeating these, further multilayering can be performed, and thereby a desired multilayer circuit board can be obtained.

このようにして得られる本発明の複合体(及び本発明の複合体の一例としての多層回路基板)は、本発明の絶縁性接着フィルムからなる電気絶縁層を有してなり、該電気絶縁層は、低線膨張であり、配線埋め込み性に優れ、ピール強度に優れたものであるため、該電気絶縁層に導体層を形成し、形成した導体層をパターン化し、微細配線を形成した際に、導体層のパターン化を良好に行なうことができるものである。特に、本発明によれば、本発明の絶縁性接着フィルムについて、被めっき層を、脂環式オレフィン重合体(A1)を樹脂成分として含有してなるものとし、接着層を、有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)を樹脂成分として含有してなるものとすることで、これら異なる樹脂の2層構造としたことによる不具合、具体的には、2層間における密着性が悪くピール強度が低下してしまうという不具合の発生を有効に防止しながら、低線膨張性、及び優れた配線埋め込み性を実現するものである。そのため、本発明の複合体(及び本発明の複合体の一例としての多層回路基板)は、各種用途に好適に用いることができる。   The composite of the present invention thus obtained (and the multilayer circuit board as an example of the composite of the present invention) has an electrical insulation layer comprising the insulating adhesive film of the present invention, and the electrical insulation layer Is a low linear expansion, excellent wiring embedding, and excellent peel strength, so when a conductor layer is formed on the electrical insulating layer, the formed conductor layer is patterned, and fine wiring is formed. Thus, the conductor layer can be satisfactorily patterned. In particular, according to the present invention, in the insulating adhesive film of the present invention, the layer to be plated is formed by containing the alicyclic olefin polymer (A1) as a resin component, and the adhesive layer is made of an organic solvent-soluble polyimide. By including (B1) as a resin component, the problem caused by the two-layer structure of these different resins, specifically, the adhesion between the two layers is poor and the peel strength is reduced. It is intended to realize low linear expansion and excellent wiring embedding while effectively preventing the occurrence of defects. Therefore, the composite of the present invention (and the multilayer circuit board as an example of the composite of the present invention) can be suitably used for various applications.

(電子材料用基板)
本発明の電子材料用基板は、上述した本発明の硬化物又は複合体からなるものである。このような本発明の硬化物又は複合体からなる本発明の電子材料用基板は、携帯電話機、PHS、ノート型パソコン、PDA(携帯情報端末)、携帯テレビ電話機、パーソナルコンピューター、スーパーコンピューター、サーバー、ルーター、液晶プロジェクタ、エンジニアリング・ワークステーション(EWS)、ページャ、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、POS端末、タッチパネルを備えた装置などの各種電子機器に好適に用いることができる。
(Electronic material substrate)
The board | substrate for electronic materials of this invention consists of the hardened | cured material or composite_body | complex of this invention mentioned above. The substrate for electronic material of the present invention comprising such a cured product or composite of the present invention is a mobile phone, PHS, notebook computer, PDA (personal digital assistant), mobile video phone, personal computer, supercomputer, server, Router, liquid crystal projector, engineering workstation (EWS), pager, word processor, TV, viewfinder type or monitor direct view type video tape recorder, electronic notebook, electronic desk calculator, car navigation device, POS terminal, device with touch panel It can use suitably for various electronic devices.

以下に実施例及び比較例を挙げて、本発明についてより具体的に説明する。なお、各例中の部及び%は、特に断りのない限り、重量基準である。各種の物性については、以下の方法に従って評価した。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples and comparative examples. In addition, the part and% in each example are a basis of weight unless there is particular notice. Various physical properties were evaluated according to the following methods.

(1)脂環式オレフィン重合体の数平均分子量(Mn)、重量平均分子量(Mw)
脂環式オレフィン重合体の数平均分子量(Mn)、及び重量平均分子量(Mw)は、テトラヒドロフランを展開溶媒として、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー(GPC)により測定し、ポリスチレン換算値として求めた。
(1) Number average molecular weight (Mn) and weight average molecular weight (Mw) of alicyclic olefin polymer
The number average molecular weight (Mn) and weight average molecular weight (Mw) of the alicyclic olefin polymer were measured by gel permeation chromatography (GPC) using tetrahydrofuran as a developing solvent, and were determined as polystyrene equivalent values.

(2)脂環式オレフィン重合体の水素添加率
水素添加前における重合体中の不飽和結合のモル数に対する水素添加された不飽和結合のモル数の比率を、400MHzのH−NMRスペクトル測定により求め、これを水素添加率とした。
(2) Hydrogenation rate of alicyclic olefin polymer The ratio of the number of moles of unsaturated bonds hydrogenated to the number of moles of unsaturated bonds in the polymer before hydrogenation was measured by 1 H-NMR spectrum at 400 MHz. This was taken as the hydrogenation rate.

(3)脂環式オレフィン重合体のカルボン酸無水物基を有する繰り返し単位の含有率
重合体中の総単量体単位モル数に対するカルボン酸無水物基を有する繰り返し単位のモル数の割合を、400MHzのH−NMRスペクトル測定により求め、これを重合体のカルボン酸無水物基を有する繰り返し単位の含有率とした。
(3) The content of the repeating unit having a carboxylic anhydride group of the alicyclic olefin polymer The ratio of the number of moles of the repeating unit having a carboxylic acid anhydride group to the total number of monomer units in the polymer, determined by 1 H-NMR spectrum measurement of 400MHz, which was used as a content of the repeating unit having a carboxylic acid anhydride groups of the polymer.

(4)引張強度、弾性率、伸び
フィルム複合体の引張強度、弾性率及び伸びを、オートグラフ(AGS−5kNH、島津製作所製)を用いて、サンプル形状70mm×5mm、引張速度2mm/min、チャック間距離50mmの条件で測定した。
(4) Tensile strength, elastic modulus, and elongation The tensile strength, elastic modulus, and elongation of the film composite were measured using an autograph (AGS-5kNH, manufactured by Shimadzu Corporation) with a sample shape of 70 mm × 5 mm, a tensile speed of 2 mm / min, Measurement was performed under the condition of a distance between chucks of 50 mm.

(5)線膨張係数
フィルム複合体から幅5.95mm、長さ15.4mm、の小片を切り出し、支点間距離10mm、昇温速度10℃/分の条件で、熱機械分析装置(TMA/SDTA840:メトラー・トレド社製)により、30℃〜150℃の線膨張係数の測定を行った。
(5) Linear expansion coefficient A small piece having a width of 5.95 mm and a length of 15.4 mm was cut out from the film composite, and a thermomechanical analyzer (TMA / SDTA840 was used under the conditions of a distance between supporting points of 10 mm and a heating rate of 10 ° C / min. : Mettler Toledo Co., Ltd.), the linear expansion coefficient was measured at 30 ° C. to 150 ° C.

(6)配線埋め込み性
内層回路基板(IPC MULTI−PURPOSE TESTBOARD No.IPC−B−25、導体厚25μm、0.8mm厚)の両面に、フィルム複合体の接着層側の面が接するように積層した。具体的には、一次プレスを、耐熱ゴム製プレス板を上下に備えた真空ラミネータにて、200Paの減圧下で温度110℃、圧力0.1MPaで90秒間の加熱圧着で行い、さらに、金属製プレス板を上下に備えた油圧プレス装置を用いて、圧着温度110℃、1MPaで90秒間、加熱圧着することで、積層体を得た。そして、この積層体から支持フィルムを剥がし、180℃で60分間硬化した。硬化後、導体幅165μm、導体間隔165μmのくし型パターン部分の導体がある部分とない部分との段差を触針式段差膜厚計(Tencor Instruments製 P−10)にて測定し、以下の基準で、配線埋め込み性を評価した。
○:段差が2μm未満
×:段差が2μm以上
(6) Wiring embedding
The inner layer circuit board (IPC MULTI-PURPOSE TESTBOARD No. IPC-B-25, conductor thickness 25 μm, 0.8 mm thickness) was laminated so that the adhesive layer side surface of the film composite was in contact with both surfaces. Specifically, the primary press is performed by thermocompression bonding at a temperature of 110 ° C. and a pressure of 0.1 MPa for 90 seconds under a reduced pressure of 200 Pa in a vacuum laminator equipped with heat-resistant rubber press plates at the top and bottom, A laminate was obtained by thermocompression bonding at a pressure bonding temperature of 110 ° C. and a pressure of 1 MPa for 90 seconds using a hydraulic press device having upper and lower press plates. And the support film was peeled off from this laminated body, and it hardened | cured for 60 minutes at 180 degreeC. After curing, the step between the portion with and without the conductor of the comb pattern portion having a conductor width of 165 μm and a conductor interval of 165 μm was measured with a stylus type step thickness meter (P-10, manufactured by Tencor Instruments). Then, the wiring embedding property was evaluated.
○: Step is less than 2 μm ×: Step is 2 μm or more

(7)ピール強度
多層プリント配線板における絶縁層と銅めっき層との引き剥がし強さをJIS C6481−1996に準拠して測定した。
(7) Peel strength The peel strength between the insulating layer and the copper plating layer in the multilayer printed wiring board was measured according to JIS C6481-1996.

合成例1
重合1段目として5−エチリデン−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン(以下、「EdNB」と略記する)35モル部、1−ヘキセン0.9モル部、アニソール340モル部およびルテニウム系重合触媒として4−アセトキシベンジリデン(ジクロロ)(4,5−ジブロモ−1,3−ジメシチル−4−イミダゾリン−2−イリデン)(トリシクロヘキシルホスフィン)ルテニウム(C1063、和光純薬社製)0.005モル部を、窒素置換した耐圧ガラス反応器に仕込み、攪拌下に80℃で30分間の重合反応を行ってノルボルネン系開環重合体の溶液を得た。
次いで、重合2段目として重合1段目に得た溶液中にテトラシクロ[9.2.1.02,10.03,8]テトラデカ−3,5,7,12−テトラエン(メタノテトラヒドロフルオレン)45モル部、ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン−5,6−ジカルボン酸無水物20モル部、アニソール250モル部およびC1063 0.01モル部を追加し、攪拌下に80℃で1.5時間の重合反応を行ってノルボルネン系開環重合体の溶液を得た。この溶液について、ガスクロマトグラフィーを測定したところ、実質的に単量体が残留していないことが確認され、重合転化率は99%以上であった。
次いで、窒素置換した攪拌機付きオートクレーブに、得られた開環重合体の溶液を仕込み、C1063 0.03モル部を追加し、150℃、水素圧7MPaで、5時間攪拌させて水素添加反応を行って、ノルボルネン系開環重合体の水素添加物である脂環式オレフィン重合体(A1−1)の溶液を得た。得られた重合体(A1−1)の重量平均分子量は60,000、数平均分子量は30,000、分子量分布は2であった。また、水素添加率は95%であり、カルボン酸無水物基を有する繰り返し単位の含有率は20モル%であった。重合体(A1−1)の溶液の固形分濃度は22%であった。
Synthesis example 1
As the first stage of polymerization, 35 mol part of 5-ethylidene-bicyclo [2.2.1] hept-2-ene (hereinafter abbreviated as “EdNB”), 0.9 mol part of 1-hexene, 340 mol part of anisole and 4-acetoxybenzylidene (dichloro) (4,5-dibromo-1,3-dimesityl-4-imidazoline-2-ylidene) (tricyclohexylphosphine) ruthenium (C1063, manufactured by Wako Pure Chemical Industries) as a ruthenium-based polymerization catalyst 005 mol part was charged into a pressure-resistant glass reactor substituted with nitrogen, and a polymerization reaction was carried out at 80 ° C. for 30 minutes with stirring to obtain a solution of a norbornene-based ring-opening polymer.
Then, tetracyclo [9.2.1.0 2,10 in the solution obtained in the polymerization the first stage as the polymerization second stage. 0 3,8 ] tetradeca-3,5,7,12-tetraene (methanotetrahydrofluorene) 45 mol part, bicyclo [2.2.1] hept-2-ene-5,6-dicarboxylic anhydride 20 mol part In addition, 250 mol parts of anisole and 0.01 mol parts of C1063 were added, and a polymerization reaction was performed at 80 ° C. for 1.5 hours with stirring to obtain a solution of a norbornene ring-opening polymer. When this solution was measured by gas chromatography, it was confirmed that substantially no monomer remained, and the polymerization conversion rate was 99% or more.
Next, the solution of the obtained ring-opening polymer was charged into an autoclave equipped with a stirrer substituted with nitrogen, 0.03 mol part of C1063 was added, and the mixture was stirred at 150 ° C. and a hydrogen pressure of 7 MPa for 5 hours to conduct a hydrogenation reaction. Thus, a solution of an alicyclic olefin polymer (A1-1), which is a hydrogenated product of a norbornene-based ring-opening polymer, was obtained. The weight average molecular weight of the obtained polymer (A1-1) was 60,000, the number average molecular weight was 30,000, and the molecular weight distribution was 2. The hydrogenation rate was 95%, and the content of repeating units having a carboxylic anhydride group was 20 mol%. The solid content concentration of the polymer (A1-1) solution was 22%.

実施例1
(脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−1))
合成例1にて得られた脂環式オレフィン重合体(A1−1)の溶液454部(脂環式オレフィン重合体(A1−1)換算で100部)、硬化性化合物(A3)としてのジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂(「エピクロン HP7200L」、大日本インキ化学工業社製、「エピクロン」は登録商標)36部、無機充填剤(A2)としてのシリカ(「アドマファイン SO−C1」、アドマテックス社製、平均粒子径0.25μm、「アドマファイン」は登録商標)24.5部、老化防止剤としてのトリス(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−イソシアヌレート(「Irganox3114」、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製)1部、紫外線吸収剤としての2−[2−ヒドロキシ−3,5−ビス(α,α−ジメチルベンジル)フェニル]−2H−ベンゾトリアゾール0.5部、及び硬化促進剤としての1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール0.5部を、アニソールに混合して、配合剤濃度が16%になるように混合することで、脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−1)のワニスを得た。脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−1)の配合を表1に示す。
Example 1
(Alicyclic olefin polymer-containing resin composition (A-1))
454 parts of the solution of the alicyclic olefin polymer (A1-1) obtained in Synthesis Example 1 (100 parts in terms of the alicyclic olefin polymer (A1-1)), di as the curable compound (A3) 36 parts of an epoxy resin having a cyclopentadiene skeleton (“Epiclon HP7200L”, manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, “Epicron” is a registered trademark), silica as an inorganic filler (A2) (“Admafine SO-C1”, Made by Mattex, average particle size 0.25 μm, “Admafine” is a registered trademark 24.5 parts, tris (3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzyl) -isocyanurate (anti-aging agent) "Irganox 3114", manufactured by Ciba Specialty Chemicals) 1 part, 2- [2-hydroxy-3,5-bis (α, α-dimethyl) as an ultraviolet absorber [Tilbenzyl) phenyl] -2H-benzotriazole 0.5 part and 0.5 part of 1-benzyl-2-phenylimidazole as a curing accelerator are mixed with anisole so that the concentration of the compounding agent is 16%. By mixing, the varnish of the alicyclic olefin polymer containing resin composition (A-1) was obtained. Table 1 shows the composition of the alicyclic olefin polymer-containing resin composition (A-1).

(ポリイミド含有樹脂組成物(B−1))
有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)としてのポリイミド樹脂(「ELG−485」、大日本インキ化学工業社製、酸価28mg(KOH)/g)100部、エポキシ樹脂(B3)としてのナフタレン骨格を有するエポキシ樹脂(「エピクロン HP4710」、大日本インキ化学工業社製、「エピクロン」は登録商標)290部、フェノール化合物(B4)としてのフルオレン変性フェノール樹脂とビスフェノールAとの混合物(「CP002」、大阪ガスケミカル社製)233部、無機充填剤(B2)としてのシリカ(「HPS−0500」、東亞合成社製、平均粒子径0.5μm)960部、及び硬化促進剤(B5)としてのイミダゾール化合物(「キュアゾール 2PZCNS−PW」、四国化成社製、「キュアゾール」は登録商標)16.7部を、N,N−ジメチルアセトアミドに混合して、配合剤濃度が65%になるように混合することで、ポリイミド含有樹脂組成物(B−1)のワニスを得た。ポリイミド含有樹脂組成物(B−1)の配合を表1に示す。
(Polyimide-containing resin composition (B-1))
Polyimide resin as organic solvent-soluble polyimide (B1) ("ELG-485", manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc., acid value 28 mg (KOH) / g) 100 parts, epoxy having naphthalene skeleton as epoxy resin (B3) 290 parts of resin ("Epiclon HP4710", manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, "Epicron" is a registered trademark), a mixture of fluorene-modified phenolic resin as a phenolic compound (B4) and bisphenol A ("CP002", Osaka Gas Chemical) 233 parts, inorganic filler (B2) silica ("HPS-0500", Toagosei Co., Ltd., average particle size 0.5 μm) 960 parts, and curing accelerator (B5) imidazole compound (" Cureazole 2PZCNS-PW ”, manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.,“ Cureazole ”is a registered trademark) 16 7 parts, N, mixed into N- dimethylacetamide, formulation concentration by mixing to be 65% to obtain a varnish of polyimide-containing resin composition (B-1). Table 1 shows the composition of the polyimide-containing resin composition (B-1).

(フィルム複合体の作製)
硬化性樹脂組成物(A−1)のワニスを、厚さ100μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(支持体)上にワイヤーバーを用いて塗布し、次いで、窒素雰囲気下、80℃で5分間乾燥させて、未硬化の硬化性樹脂組成物(A−1)の厚みが3μmの樹脂層が形成された支持体付きフィルムを得た。
(Production of film composite)
The varnish of the curable resin composition (A-1) was applied onto a polyethylene terephthalate film (support) having a thickness of 100 μm using a wire bar, and then dried at 80 ° C. for 5 minutes in a nitrogen atmosphere. A film with a support on which a resin layer having an uncured curable resin composition (A-1) thickness of 3 μm was formed was obtained.

次に、前記支持体付きフィルムの硬化性樹脂組成物(A−1)の面に、硬化性樹脂組成物(B−1)のワニスを、ドクターブレード(テスター産業社製)とオートフィルムアプリケーター(テスター産業社製)を用いて塗布し、次いで、窒素雰囲気下、80℃で10分間乾燥させて、硬化性樹脂組成物の総厚みが40μmの樹脂層が形成された支持体付きフィルム複合体を得た。当該支持体付きフィルム複合体は、支持体、硬化性樹脂組成物(A−1)の樹脂層、硬化性樹脂組成物(B−1)の樹脂層の順で形成された。   Next, on the surface of the curable resin composition (A-1) of the film with the support, a varnish of the curable resin composition (B-1), a doctor blade (manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd.) and an auto film applicator ( A film composite with a support on which a resin layer having a total thickness of 40 μm is formed by drying at 80 ° C. for 10 minutes in a nitrogen atmosphere. Obtained. The film composite with a support was formed in the order of the support, the resin layer of the curable resin composition (A-1), and the resin layer of the curable resin composition (B-1).

そして、得られた支持体付きフィルム複合体について、上記方法に従い、配線埋め込み性の測定を行なった。また、銅張り積層基板の上に厚さ10μmの銅箔をのせ、その上から、得られた支持体付きフィルム複合体を、支持体が付いた状態で、硬化性樹脂組成物が内側になるようにして、耐熱性ゴム製プレス板を上下に備えた真空ラミネータを用い、200Paに減圧して、温度110℃、圧力0.1MPaで60秒間加熱圧着積層し、その後180℃で120分間空気中で加熱硬化した。硬化後、銅箔付き硬化樹脂を切り出し、銅箔を1mol/Lの過硫酸アンモニウム水溶液にて溶解し、フィルム状硬化物を得た。このフィルム状硬化物について、上記方法に従い、引張強度、弾性率、伸び、線膨張係数の測定を行なった。なお、実施例1においては、脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−1)からなる層を被めっき層とし、ポリイミド含有樹脂組成物(B−1)からなる層を接着層として、各測定を行なった。結果を表2に示す。   And about the obtained film composite with a support body, the wiring embedding property was measured according to the said method. In addition, a 10 μm thick copper foil is placed on the copper-clad laminate, and the obtained film composite with a support is placed on the inner side of the curable resin composition with the support attached. In this way, using a vacuum laminator equipped with heat-resistant rubber press plates at the top and bottom, the pressure was reduced to 200 Pa, thermocompression bonded at a temperature of 110 ° C. and a pressure of 0.1 MPa for 60 seconds, and then at 180 ° C. for 120 minutes in air. And cured by heating. After curing, a cured resin with a copper foil was cut out and the copper foil was dissolved in a 1 mol / L ammonium persulfate aqueous solution to obtain a film-like cured product. With respect to this cured film, the tensile strength, elastic modulus, elongation, and linear expansion coefficient were measured according to the above-described method. In Example 1, a layer made of the alicyclic olefin polymer-containing resin composition (A-1) is a layer to be plated, and a layer made of the polyimide-containing resin composition (B-1) is an adhesive layer. Each measurement was performed. The results are shown in Table 2.

(積層体の作製)
次いで、上記とは別に、ガラスフィラー及びハロゲン不含エポキシ樹脂を含有するワニスをガラス繊維に含浸させて得られたコア材の表面に、厚みが18μmの銅が貼られた、厚み0.8mm、150mm角(縦150mm、横150mm)の両面銅張り基板表面に、配線幅及び配線間距離が50μm、厚みが18μmで、表面が有機酸との接触によってマイクロエッチング処理された導体層を形成して内層基板を得た。
(Production of laminate)
Next, separately from the above, the surface of the core material obtained by impregnating glass fiber with a varnish containing a glass filler and a halogen-free epoxy resin, copper having a thickness of 18 μm was stuck, thickness 0.8 mm, On a 150 mm square (150 mm long, 150 mm wide) double-sided copper-clad substrate surface, a conductor layer having a wiring width and distance between wirings of 50 μm, a thickness of 18 μm, and a microetched surface by contact with an organic acid is formed. An inner layer substrate was obtained.

この内層基板の両面に、上記にて得られた支持体付きフィルム複合体を150mm角に切断したものを、ポリイミド含有樹脂組成物(B−1)側の面が内側となるようにして貼り合わせた後、一次プレスを行った。一次プレスは、耐熱ゴム製プレス板を上下に備えた真空ラミネータにて、200Paの減圧下で温度110℃、圧力0.1MPaで90秒間の加熱圧着である。さらに、金属製プレス板を上下に備えた油圧プレス装置を用いて、圧着温度110℃、1MPaで90秒間、加熱圧着した。次いで支持体を剥がすことにより、脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−1)及びポリイミド含有樹脂組成物(B−1)からなる樹脂層と内層基板との積層体を得た。さらに積層体を空気雰囲気下、180℃で60分間放置し、樹脂層を硬化させて内層基板上に電気絶縁層を形成した。   A laminate of the film composite with a support obtained above was cut into 150 mm square on both surfaces of the inner layer substrate so that the surfaces on the polyimide-containing resin composition (B-1) side were inside. After that, a primary press was performed. The primary press is thermocompression bonding at a temperature of 110 ° C. and a pressure of 0.1 MPa for 90 seconds under a reduced pressure of 200 Pa using a vacuum laminator provided with heat-resistant rubber press plates at the top and bottom. Furthermore, using a hydraulic press device provided with metal press plates at the top and bottom, thermocompression bonding was performed at a pressure bonding temperature of 110 ° C. and 1 MPa for 90 seconds. Subsequently, the laminated body of the resin layer which consists of an alicyclic olefin polymer containing resin composition (A-1) and a polyimide containing resin composition (B-1), and the inner layer board | substrate was obtained by peeling a support body. Further, the laminate was left in an air atmosphere at 180 ° C. for 60 minutes to cure the resin layer and form an electrical insulating layer on the inner layer substrate.

(膨潤処理工程)
得られた積層体を、膨潤液(「スウェリング ディップ セキュリガント P」、アトテック社製、「セキュリガント」は登録商標)500mL/L、水酸化ナトリウム3g/Lになるように調製した60℃の水溶液に15分間揺動浸漬した後、水洗した。
(Swelling process)
The obtained laminate was prepared to have a swelling liquid (“Swelling Dip Securigant P”, manufactured by Atotech, “Securigant” is a registered trademark) of 500 mL / L, sodium hydroxide 3 g / L. After dipping in the aqueous solution for 15 minutes, it was washed with water.

(酸化処理工程)
次いで、過マンガン酸塩の水溶液(「コンセントレート コンパクト CP」、アトテック社製)500mL/L、水酸化ナトリウム濃度40g/Lになるように調製した70℃の水溶液に15分間揺動浸漬をした後、水洗した。
(Oxidation process)
Next, after 15 minutes of rocking immersion in an aqueous solution of permanganate (“Concentrate Compact CP”, manufactured by Atotech) at 500 mL / L and a 70 ° C. aqueous solution prepared to a sodium hydroxide concentration of 40 g / L , Washed with water.

(中和還元処理工程)
続いて、硫酸ヒドロキシアミン水溶液(「リダクション セキュリガント P 500」、アトテック社製、「セキュリガント」は登録商標)100mL/L、硫酸35mL/Lになるように調製した40℃ の水溶液に、積層体を5分間浸漬し、中和還元処理をした後、水洗した。
(Neutralization reduction process)
Subsequently, an aqueous solution of hydroxyamine sulfate (“Reduction Securigant P 500”, manufactured by Atotech Co., Ltd., “Securigant” is a registered trademark) is 100 mL / L, and an aqueous solution at 40 ° C. prepared to have 35 mL / L of sulfuric acid is added to the laminate. Was immersed for 5 minutes, neutralized and reduced, and then washed with water.

(クリーナー・コンディショナー工程)
次いで、クリーナー・コンディショナー水溶液(「アルカップ MCC−6−A」、上村工業社製、「アルカップ」は登録商標)を濃度50ml/Lとなるよう調整した50℃の水溶液に積層体を5分間浸漬し、クリーナー・コンディショナー処理を行った。次いで40℃の水洗水に積層体を1分間浸漬した後、水洗した。
(Cleaner / conditioner process)
Next, the laminate was immersed in an aqueous solution at 50 ° C. adjusted to a concentration of 50 ml / L of an aqueous cleaner / conditioner aqueous solution (“Alcup MCC-6-A”, manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd., “Alcup” is a registered trademark) for 5 minutes. Cleaner and conditioner treatment was performed. Next, the laminate was immersed in 40 ° C. washing water for 1 minute and then washed with water.

(ソフトエッチング処理工程)
次いで、硫酸濃度100g/L、過硫酸ナトリウム100g/Lとなるように調製した水溶液に積層体を2分間浸漬しソフトエッチング処理を行った後、水洗した。
(Soft etching process)
Next, the laminate was immersed in an aqueous solution prepared to have a sulfuric acid concentration of 100 g / L and sodium persulfate of 100 g / L for 2 minutes to perform soft etching treatment, and then washed with water.

(酸洗処理工程)
次いで、硫酸濃度100g/Lなるよう調製した水溶液に積層体を1分間浸漬し酸洗処理を行った後、水洗した。
(Pickling process)
Next, the laminate was dipped in an aqueous solution prepared so as to have a sulfuric acid concentration of 100 g / L for 1 minute to perform pickling treatment, and then washed with water.

(触媒付与工程)
次いで、アルカップ アクチベータ MAT−1−A(商品名、上村工業社製、「アルカップ」は登録商標)が200mL/L、アルカップ アクチベータ MAT−1−B(上商品名、村工業社製、「アルカップ」は登録商標)が30mL/L、水酸化ナトリウムが0.35g/Lになるように調製した60℃のPd塩含有めっき触媒水溶液に積層体を5分間浸漬した後、水洗した。
(Catalyst application process)
Next, Alcup Activator MAT-1-A (trade name, manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd., “Alcup” is a registered trademark) is 200 mL / L, Alcup Activator MAT-1-B (upper product name, manufactured by Mura Kogyo Co., Ltd., “Alcup”) Was immersed in a 60 ° C. Pd salt-containing plating catalyst aqueous solution prepared so that the registered trademark was 30 mL / L and sodium hydroxide was 0.35 g / L, and then washed with water.

(活性化工程)
続いて、アルカップ レデユーサ− MAB−4−A(商品名、上村工業社製、「アルカップ」は登録商標)が20mL/L、アルカップ レデユーサ− MAB−4−B(商品名、上村工業社製、「アルカップ」は登録商標)が200mL/Lになるように調整した水溶液に積層体を35℃で、3分間浸漬し、めっき触媒を還元処理した後、水洗した。
(Activation process)
Subsequently, Alcup Redeusa MAB-4-A (trade name, manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd., “Alcup” is a registered trademark) is 20 mL / L, Alcup Redeusa MAB-4-B (trade name, manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd., “ Alcup "is a registered trademark) in an aqueous solution adjusted to 200 mL / L. The laminate was immersed at 35 ° C. for 3 minutes to reduce the plating catalyst, and then washed with water.

(アクセレレータ処理工程)
次いで、アルカップ アクセレレーター MEL−3−A(商品名、上村工業社製、「アルカップ」は登録商標)が50mL/Lになるように調製した水溶液に積層体を25℃で、1分間浸漬した。
(Accelerator process)
Next, the laminate was immersed in an aqueous solution prepared so that Alcap Accelerator MEL-3-A (trade name, manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd., “Alcup” is a registered trademark) at 50 mL / L at 25 ° C. for 1 minute. .

(無電解めっき工程)
このようにして得られた積層体を、スルカップ PEA−6−A(商品名、上村工業社製、「スルカップ」は登録商標)100mL/L、スルカップ PEA−6−B−2X(商品名、上村工業社製)50mL/L、スルカップ PEA−6−C(商品名、上村工業社製)14mL/L、スルカップ PEA−6−D(商品名、上村工業社製)15mL/L、スルカップ PEA−6−E(商品名、上村工業社製)50mL/L、37重量%ホルマリン水溶液5mL/Lとなるように調製した無電解銅めっき液に空気を吹き込みながら、温度36℃で、20分間浸漬して無電解銅めっき処理して積層体表面(脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−1)からなる層の表面)に無電解めっき膜を形成した。そして、脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−1)からなる層の表面に、無電解めっき膜を形成した積層体について、無電解めっき膜析出性を、上記方法にしたがって評価した。結果を表2に示す。
(Electroless plating process)
The laminated body thus obtained was obtained by using Sulcup PEA-6-A (trade name, manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd., “Sulcup” is a registered trademark), 100 mL / L, Sulcup PEA-6-B-2X (trade name, Uemura). Industrial product) 50 mL / L, Sulcup PEA-6-C (trade name, manufactured by Uemura Industrial Co., Ltd.) 14 mL / L, Sulcup PEA-6-D (trade name, manufactured by Uemura Industrial Co., Ltd.) 15 mL / L, Sulcup PEA-6 -E (trade name, manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd.) 50 mL / L, 37% by weight immersion in formalin aqueous solution 5 mL / L Electroless copper plating treatment was performed to form an electroless plating film on the surface of the laminate (the surface of the layer made of the alicyclic olefin polymer-containing resin composition (A-1)). And about the laminated body which formed the electroless-plated film on the surface of the layer which consists of an alicyclic olefin polymer containing resin composition (A-1), the electroless-plated film deposition property was evaluated according to the said method. The results are shown in Table 2.

次いで、無電解めっき膜を形成した積層体を、AT−21(商品名、上村工業社製)が10mL/Lになるよう調製した防錆溶液に室温で1分間浸漬した後、水洗した。さらに、乾燥することで、防錆処理積層体を作製した。この防錆処理が施された積層体を空気雰囲気下において150℃で30分間アニール処理を行った。   Next, the laminate on which the electroless plating film was formed was immersed in an antirust solution prepared so that AT-21 (trade name, manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd.) was 10 mL / L at room temperature for 1 minute, and then washed with water. Furthermore, the antirust treatment laminated body was produced by drying. The laminate subjected to the rust prevention treatment was annealed at 150 ° C. for 30 minutes in an air atmosphere.

アニール処理が施された積層体に、電解銅めっきを施し厚さ18μmの電解銅めっき膜を形成させた。次いで当該積層体を180℃で60分間加熱処理することにより、積層体上に前記金属薄膜層及び電解銅めっき膜からなる導体層で回路を形成した両面2層の多層プリント配線板を得た。そして、得られた回路基板のピール強度を、上記方法にしたがって測定した。結果を表2に示す。   The laminated body subjected to the annealing treatment was subjected to electrolytic copper plating to form an electrolytic copper plating film having a thickness of 18 μm. Next, the laminate was heat-treated at 180 ° C. for 60 minutes to obtain a double-sided, two-layer multilayer printed wiring board in which a circuit was formed on the laminate with a conductor layer composed of the metal thin film layer and the electrolytic copper plating film. And the peel strength of the obtained circuit board was measured according to the said method. The results are shown in Table 2.

比較例1
(ポリイミド含有樹脂組成物(B−2))
無機充填剤(B2)としてのシリカ(「HPS−0500」、東亞合成社製)の配合量を113部に変更および配合剤濃度を16%に変更した以外は、実施例1と同様にして、ポリイミド含有樹脂組成物(B−2)のワニスを得た。ポリイミド含有樹脂組成物(B−2)の配合を表1に示す。
Comparative Example 1
(Polyimide-containing resin composition (B-2))
Except for changing the compounding amount of silica (“HPS-0500”, manufactured by Toagosei Co., Ltd.) as the inorganic filler (B2) to 113 parts and changing the compounding agent concentration to 16%, the same as in Example 1, A varnish of the polyimide-containing resin composition (B-2) was obtained. Table 1 shows the composition of the polyimide-containing resin composition (B-2).

そして、脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−1)のワニスの代わりに、上記にて得られたポリイミド含有樹脂組成物(B−2)のワニスを用いて、厚さ3μmのポリイミド含有樹脂組成物(B−2)のフィルムを得た以外は、実施例1と同様にして、得られたポリイミド含有樹脂組成物(B−2)のフィルムと、ポリイミド含有樹脂組成物(B−1)のフィルムとからなる支持体付きフィルム複合体を得て、実施例1と同様に評価を行った。   And, instead of the varnish of the alicyclic olefin polymer-containing resin composition (A-1), the polyimide of the polyimide-containing resin composition (B-2) obtained above was used, and a polyimide having a thickness of 3 μm. Except having obtained the film of the containing resin composition (B-2), it carried out similarly to Example 1, and obtained the film of the obtained polyimide containing resin composition (B-2), and the polyimide containing resin composition (B- A film composite with a support composed of the film of 1) was obtained and evaluated in the same manner as in Example 1.

次いで、得られた支持体付きフィルム複合体を用いて、実施例1と同様にして、多層プリント配線板を得て、実施例1と同様に評価を行った。なお、比較例1においては、内層基板の両面に支持体付きフィルム複合体を貼り合わせる際には、ポリイミド含有樹脂組成物(B−1)側の面が内側となるように貼り合わせを行い、また、無電解めっきを行なう際には、ポリイミド含有樹脂組成物(B−2)の表面に無電解めっきを行なった。すなわち、比較例1においては、ポリイミド含有樹脂組成物(B−2)からなる層を被めっき層とし、ポリイミド含有樹脂組成物(B−1)からなる層を接着層とした。   Next, using the obtained film composite with a support, a multilayer printed wiring board was obtained in the same manner as in Example 1, and evaluation was performed in the same manner as in Example 1. In Comparative Example 1, when the film composite with a support was bonded to both surfaces of the inner layer substrate, the bonding was performed so that the polyimide-containing resin composition (B-1) side surface was inside, Moreover, when performing electroless plating, electroless plating was performed on the surface of the polyimide-containing resin composition (B-2). That is, in the comparative example 1, the layer which consists of a polyimide containing resin composition (B-2) was used as the to-be-plated layer, and the layer which consists of a polyimide containing resin composition (B-1) was used as the contact bonding layer.

比較例2
(脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−2))
無機充填剤(A2)としてのシリカ(「アドマファイン SO−C1」、アドマテックス社製)の配合量を207部に変更および配合剤濃度を65%に変更した以外は、実施例1と同様にして、脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−2)のワニスを得た。脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−2)の配合を表1に示す。
Comparative Example 2
(Alicyclic olefin polymer-containing resin composition (A-2))
Except for changing the compounding amount of silica (“Admafine SO-C1”, manufactured by Admatechs) as inorganic filler (A2) to 207 parts and changing the compounding agent concentration to 65%, the same as Example 1 And the varnish of the alicyclic olefin polymer containing resin composition (A-2) was obtained. Table 1 shows the composition of the alicyclic olefin polymer-containing resin composition (A-2).

そして、ポリイミド含有樹脂組成物(B−1)のワニスの代わりに、上記にて得られた脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−2)のワニスを用いて、厚さ37μmの脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−2)のフィルムを得た以外は、実施例1と同様にして、得られた脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−1)のフィルムと、脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−2)のフィルムとからなる支持体付きフィルム複合体を得て、実施例1と同様に評価を行った。   And instead of the varnish of the polyimide-containing resin composition (B-1), using the varnish of the alicyclic olefin polymer-containing resin composition (A-2) obtained above, a fat having a thickness of 37 μm The film of the obtained alicyclic olefin polymer containing resin composition (A-1) is carried out similarly to Example 1 except having obtained the film of the cyclic olefin polymer containing resin composition (A-2). And the film composite with a support which consists of a film of an alicyclic olefin polymer containing resin composition (A-2) was obtained, and it evaluated similarly to Example 1. FIG.

次いで、得られた支持体付きフィルム複合体を用いて、実施例1と同様にして、多層プリント配線板を得て、実施例1と同様に評価を行った。なお、比較例2においては、内層基板の両面に支持体付きフィルム複合体を貼り合わせる際には、脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−2)側の面が内側となるように貼り合わせを行い、また、無電解めっきを行なう際には、脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−1)の表面に無電解めっきを行なった。すなわち、比較例2においては、脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−1)からなる層を被めっき層とし、脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−2)からなる層を接着層とした。   Next, using the obtained film composite with a support, a multilayer printed wiring board was obtained in the same manner as in Example 1, and evaluation was performed in the same manner as in Example 1. In Comparative Example 2, when the film composite with a support is bonded to both surfaces of the inner layer substrate, the surface on the alicyclic olefin polymer-containing resin composition (A-2) side is on the inside. When bonding was performed and electroless plating was performed, electroless plating was performed on the surface of the alicyclic olefin polymer-containing resin composition (A-1). That is, in Comparative Example 2, a layer made of the alicyclic olefin polymer-containing resin composition (A-1) is used as a layer to be plated, and a layer made of the alicyclic olefin polymer-containing resin composition (A-2). Was used as an adhesive layer.

Figure 2013010895
Figure 2013010895

Figure 2013010895
Figure 2013010895

表1、表2に示すように、脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−1)からなる層を被めっき層として有し、かつ、ポリイミド含有樹脂組成物(B−1)からなる層を接着層として有する絶縁性接着フィルムを用いることにより、該フィルムは線膨張係数が低く、得られる電気絶縁層を配線埋め込み性及びピール強度に優れたものとすることができた(実施例1)。   As shown in Table 1 and Table 2, it has the layer which consists of an alicyclic olefin polymer containing resin composition (A-1) as a to-be-plated layer, and consists of a polyimide containing resin composition (B-1). By using an insulating adhesive film having a layer as an adhesive layer, the film had a low coefficient of linear expansion, and the resulting electrical insulating layer was able to have excellent wiring embedding properties and peel strength (Example 1). ).

一方、シリカの含有割合が比較的少ないポリイミド含有樹脂組成物(B−2)からなる層を被めっき層として、シリカの含有割合が比較的多いポリイミド含有樹脂組成物(B−1)からなる層を接着層とした場合には、得られるフィルムは低線膨張性が十分でなく、また、電気絶縁層のピール強度も劣る結果となった(比較例1)。
また、シリカの含有割合が比較的少ない脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−1)からなる層を被めっき層として、シリカの含有割合が比較的多い脂環式オレフィン重合体含有樹脂組成物(A−2)からなる層を接着層とした場合には、得られるフィルムは低線膨張性に劣る結果となった(比較例2)
なお、実施例1、比較例1,2を比較することにより、実施例1は、ピール強度を比較例2と同等程度としながら、比較例1及び比較例2のいずれよりも低い線膨張係数を達成できることが確認できる。
On the other hand, a layer made of a polyimide-containing resin composition (B-1) having a relatively high silica content ratio, with a layer made of a polyimide-containing resin composition (B-2) having a relatively low silica content ratio as a layer to be plated. When used as an adhesive layer, the resulting film was not sufficiently low in linear expansion, and the peel strength of the electrical insulating layer was inferior (Comparative Example 1).
Moreover, the layer which consists of an alicyclic olefin polymer containing resin composition (A-1) with a comparatively little silica content rate is used as a to-be-plated layer, and an alicyclic olefin polymer containing resin with a comparatively much silica content rate is used. When the layer made of the composition (A-2) was used as an adhesive layer, the resulting film was inferior in low linear expansion (Comparative Example 2).
In addition, by comparing Example 1 and Comparative Examples 1 and 2, Example 1 has a lower linear expansion coefficient than that of either Comparative Example 1 or Comparative Example 2 while making the peel strength comparable to that of Comparative Example 2. It can be confirmed that it can be achieved.

Claims (7)

極性基を有する脂環式オレフィン重合体(A1)、及び無機充填剤(A2)を含有する被めっき層用樹脂組成物からなる被めっき層と、
有機溶剤可溶性ポリイミド(B1)、及び無機充填剤(B2)を含有してなる接着層用樹脂組成物からなる接着層とを有する絶縁性接着フィルム。
A plated layer comprising a resin composition for a plated layer containing an alicyclic olefin polymer having a polar group (A1) and an inorganic filler (A2);
An insulating adhesive film comprising: an organic solvent-soluble polyimide (B1); and an adhesive layer made of a resin composition for an adhesive layer containing an inorganic filler (B2).
前記被めっき層用樹脂組成物が、前記極性基と反応可能な官能基を分子内に2個以上有する硬化性化合物(A3)をさらに含有し、
前記接着層用樹脂組成物が、エポキシ樹脂(B3)、フェノール化合物(B4)、及び硬化促進剤(B5)をさらに含有する請求項1に記載の絶縁性接着フィルム。
The resin composition for a layer to be plated further contains a curable compound (A3) having two or more functional groups capable of reacting with the polar group in the molecule;
The insulating adhesive film according to claim 1, wherein the resin composition for an adhesive layer further contains an epoxy resin (B3), a phenol compound (B4), and a curing accelerator (B5).
前記被めっき層の厚みが1〜10μmであり、前記接着層の厚みが10〜100μmである請求項1又は2に記載の絶縁性接着フィルム。   The insulating adhesive film according to claim 1 or 2, wherein the plated layer has a thickness of 1 to 10 µm, and the adhesive layer has a thickness of 10 to 100 µm. 請求項1〜3のいずれかに記載の絶縁性接着フィルムを基材に積層してなる積層体。   The laminated body formed by laminating | stacking the insulating adhesive film in any one of Claims 1-3 on a base material. 請求項1〜3のいずれかに記載の絶縁性接着フィルム、又は請求項4に記載の積層体を硬化してなる硬化物。   Hardened | cured material formed by hardening | curing the insulating adhesive film in any one of Claims 1-3, or the laminated body of Claim 4. 請求項5に記載の硬化物の表面に、無電解めっきにより、導体層を形成してなる複合体。   A composite comprising a conductive layer formed on the surface of the cured product according to claim 5 by electroless plating. 請求項5に記載の硬化物、又は請求項6に記載の複合体を構成材料として含む電子材料用基板。   An electronic material substrate comprising the cured product according to claim 5 or the composite according to claim 6 as a constituent material.
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