[go: up one dir, main page]

JP2013079345A - Highly transparent polyimide - Google Patents

Highly transparent polyimide Download PDF

Info

Publication number
JP2013079345A
JP2013079345A JP2011220706A JP2011220706A JP2013079345A JP 2013079345 A JP2013079345 A JP 2013079345A JP 2011220706 A JP2011220706 A JP 2011220706A JP 2011220706 A JP2011220706 A JP 2011220706A JP 2013079345 A JP2013079345 A JP 2013079345A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polyimide
resin composition
molded body
film
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2011220706A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takashi Ono
敬司 小野
Naoko Sugawara
尚子 菅原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
HD MicroSystems Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical DuPont Microsystems Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical DuPont Microsystems Ltd filed Critical Hitachi Chemical DuPont Microsystems Ltd
Priority to JP2011220706A priority Critical patent/JP2013079345A/en
Publication of JP2013079345A publication Critical patent/JP2013079345A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polyimide precursor which gives a polyimide molding having sufficient transparency, a small CTE, a small elastic modulus, and a small birefringence.SOLUTION: The polyimide precursor is a copolymer having structural units represented by formula (I) and (II), wherein the molar ratio of (I) and (II) is (I):(II)=95:5-85:15.

Description

本発明は、ポリイミド前駆体、それを含む樹脂組成物、それからなるポリイミド、ポリイミド成形体の製造方法、その製造方法から得られるポリイミド成形体、それからなる透明基板、保護膜、それを有する電子部品、表示装置、及び太陽電池モジュールに関する。   The present invention includes a polyimide precursor, a resin composition containing the same, a polyimide comprising the same, a method for producing a polyimide molded article, a polyimide molded article obtained from the production method, a transparent substrate comprising the same, a protective film, and an electronic component having the same, The present invention relates to a display device and a solar cell module.

ポリイミド樹脂は、高い耐熱性に加え、絶縁性に優れた電気特性、機械特性を有する。このような特性を併せ持つことから、ポリイミド樹脂は半導体装置の表面保護膜及び層間絶縁膜として用いられている。   Polyimide resins have electrical and mechanical properties with excellent insulating properties in addition to high heat resistance. Because of having such characteristics, polyimide resin is used as a surface protective film and an interlayer insulating film of a semiconductor device.

一方、近年、表示装置の分野では、耐破損性の向上、軽量化、薄型化等の要望から、ガラス基板やカバーガラス等の透明基板を、樹脂を用いた透明基板に置き換えることが検討されている。表示装置とは、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ、電子ペーパー等を指す。特に、携帯電話、電子手帳、ラップトップ型パソコン等の携帯情報端末等の移動型情報通信機器用表示装置では、従来のガラス基板に代わる、樹脂を用いた透明基板に対する強い要望がある。   On the other hand, in recent years, in the field of display devices, replacement of a transparent substrate such as a glass substrate or a cover glass with a transparent substrate using a resin has been studied in order to improve breakage resistance, reduce the weight, and reduce the thickness. Yes. A display device refers to a liquid crystal display, an organic electroluminescence display, electronic paper, or the like. In particular, display devices for mobile information communication devices such as portable information terminals such as mobile phones, electronic notebooks, laptop computers, and the like have a strong demand for transparent substrates using resin instead of conventional glass substrates.

表示装置に用いられる透明基板は、耐熱性や機械特性に加え、高い視認性の観点の観点から、透明性が高く、複屈折が低いという特性が求められる。さらに、表示装置に用いられる透明基板は、TFT(Thin Film Transistor、薄膜トランジスタ)形成時の加熱による位置あわせ精度の悪化を防ぐために、熱膨張係数(以下、CTE(Coefficient Of Thermal Expansion))が小さいことが求められている。   A transparent substrate used for a display device is required to have high transparency and low birefringence from the viewpoint of high visibility in addition to heat resistance and mechanical properties. Furthermore, the transparent substrate used in the display device has a small coefficient of thermal expansion (hereinafter referred to as CTE (Coefficient Of Thermal Expansion)) in order to prevent deterioration in alignment accuracy due to heating when forming a TFT (Thin Film Transistor). Is required.

一般にポリイミド樹脂は、分子内共役及び電荷移動錯体の形成により、黄褐色に着色する。そこで、ポリイミド樹脂へフッ素を導入すること、主鎖に屈曲性を与えること、嵩高い側鎖を導入すること等により、電荷移動錯体の形成を阻害し、透明性を発現させる方法が提案されている(非特許文献1)。また、電荷移動錯体を形成しない半脂環式又は全脂環式ポリイミド樹脂を用いることにより透明性発現させる方法も提案されている(特許文献1、2)。   In general, a polyimide resin is colored yellowish brown due to intramolecular conjugation and formation of a charge transfer complex. Therefore, there has been proposed a method for inhibiting the formation of a charge transfer complex and introducing transparency by introducing fluorine into the polyimide resin, imparting flexibility to the main chain, introducing bulky side chains, etc. (Non-Patent Document 1). In addition, a method of expressing transparency by using a semi-alicyclic or fully alicyclic polyimide resin that does not form a charge transfer complex has been proposed (Patent Documents 1 and 2).

しかし、これらのポリイミド樹脂を用いて透明基板を形成した場合、CTEが大きいため(例えば、50×10−6−1)、位置あわせ精度が悪化する問題があった。そこで、透明性に優れ、CTEの小さいポリイミド樹脂として、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とトランス−1,4−ジアミノシクロヘキサンとから形成されるポリイミド(特許文献3)が提案されている。 However, when a transparent substrate is formed using these polyimide resins, since the CTE is large (for example, 50 × 10 −6 K −1 ), there is a problem that the alignment accuracy deteriorates. Therefore, polyimide formed from 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride and trans-1,4-diaminocyclohexane as a polyimide resin having excellent transparency and small CTE (Patent Document 3) ) Has been proposed.

特開2002−348374号公報JP 2002-348374 A 特開2005−015629号公報JP 2005-015629 A 特開2002−161136号公報JP 2002-161136 A

Polymer(米国)、第47巻、p.2337−2348、2006年Polymer (USA), vol. 47, p. 2337-2348, 2006

しかし特許文献3のポリイミド樹脂を用いた場合、CTEは小さくなるものの(例えば、20×10−6−1)、弾性率(引張弾性率)が大きく、また複屈折も大きいため、表示装置の透明基板又は保護膜として用いることは困難であった。 However, when the polyimide resin of Patent Document 3 is used, although the CTE is small (for example, 20 × 10 −6 K −1 ), the elastic modulus (tensile elastic modulus) is large and the birefringence is large. It was difficult to use as a transparent substrate or a protective film.

本発明の目的は、十分な透明性を有し、CTEが小さく、弾性率が小さく、かつ複屈折の小さいポリイミド成形体を与える、ポリイミド前駆体を提供することである。   An object of the present invention is to provide a polyimide precursor that has a sufficient transparency, has a low CTE, a low elastic modulus, and a polyimide molded body having a low birefringence.

本発明によれば、以下のポリイミド前駆体等が提供される。   According to the present invention, the following polyimide precursors and the like are provided.

本発明のポリイミド前駆体は、下記式(I)及び(II)で示される構造単位を有する共重合体であり、(I)及び(II)の比が(I):(II)=95:5〜85:15である。

Figure 2013079345
The polyimide precursor of the present invention is a copolymer having structural units represented by the following formulas (I) and (II), and the ratio of (I) and (II) is (I) :( II) = 95: 5 to 85:15.
Figure 2013079345

本発明は、前記ポリイミド前駆体を有する樹脂組成物を提供する。また、本発明の樹脂組成物は(b)有機溶剤を含有することが好ましい。また本発明のポリイミド前駆体又は樹脂組成物は、表示装置の透明基板形成用として用いることが好ましい。   The present invention provides a resin composition having the polyimide precursor. The resin composition of the present invention preferably contains (b) an organic solvent. Moreover, it is preferable to use the polyimide precursor or resin composition of this invention for the transparent substrate formation of a display apparatus.

本発明は、前記ポリイミド前駆体を加熱して得られる、ポリイミドを提供する。   The present invention provides a polyimide obtained by heating the polyimide precursor.

本発明は、前記樹脂組成物を基材上に塗布、乾燥して樹脂膜を形成する工程と、前記乾燥後の樹脂膜を加熱処理する工程とを含むことを特徴とするポリイミド成形体の製造方法を提供する。また前記製造法により得られるポリイミド成形体を提供する。   The present invention includes a process for forming a resin film by applying and drying the resin composition on a substrate, and a process for heat-treating the resin film after the drying. Provide a method. Moreover, the polyimide molded body obtained by the said manufacturing method is provided.

さらに、本発明は前記ポリイミド成形体からなる透明基板及び保護膜を提供する。また、本発明は、該透明基板及び該保護膜を有する電子部品、表示装置及び太陽電池モジュールを提供する。   Furthermore, this invention provides the transparent substrate and protective film which consist of the said polyimide molded object. Moreover, this invention provides the electronic component, display apparatus, and solar cell module which have this transparent substrate and this protective film.

本発明によれば、十分な透明性を有し、CTEが小さく、弾性率が小さく、かつ複屈折の小さいポリイミド成形体を与える、ポリイミド前駆体が提供できる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the polyimide precursor which has sufficient transparency, a CTE is small, an elasticity modulus is small, and gives a polyimide molded body with small birefringence can be provided.

以下に、本発明のポリイミド前駆体、樹脂組成物、及びポリイミド成形体とその製造方法及び電子部品の実施の形態を詳細に説明する。尚、この実施の形態により本発明が限定されるものではない。   Below, the polyimide precursor of this invention, the resin composition, the polyimide molded object, its manufacturing method, and embodiment of an electronic component are described in detail. In addition, this invention is not limited by this embodiment.

[(a)ポリイミド前駆体]
本発明のポリイミド前駆体は、下記式(I)及び(II)で示される構造単位を有する共重合体であり、(I)及び(II)のモル比が(I):(II)=95:5〜85:15である。

Figure 2013079345
構造単位(I)と(II)のモル比は、得られる硬化物のCTE,弾性率の観点から(I):(II)=95:5〜90:10が好ましい。 [(A) Polyimide precursor]
The polyimide precursor of the present invention is a copolymer having structural units represented by the following formulas (I) and (II), and the molar ratio of (I) and (II) is (I) :( II) = 95. : 5 to 85:15.
Figure 2013079345
The molar ratio between the structural units (I) and (II) is preferably (I) :( II) = 95: 5 to 90:10 from the viewpoint of CTE and elastic modulus of the obtained cured product.

本発明のポリイミド前駆体は、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、1,4−ジアミノシクロヘキサン、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジンを合成して得られる。   The polyimide precursor of the present invention is obtained by synthesizing 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 1,4-diaminocyclohexane, 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine. It is done.

3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸を加熱し、脱水閉環して得られる酸二無水物)を用いることで、得られる硬化物が良好な耐熱性を発現し、かつCTEを小さくすることができると考えられる。
尚、上記原料テトラカルボン酸(3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸)としては、通常酸無水物を用いるが、酸そのもの又は他の誘導体を用いることもできる。
Use 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (acid dianhydride obtained by heating 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid and dehydrating and ring-closing) Thus, it is considered that the obtained cured product exhibits good heat resistance and can reduce CTE.
In addition, as said raw material tetracarboxylic acid (3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid), although an acid anhydride is normally used, the acid itself or another derivative can also be used.

1,4−ジアミノシクロヘキサンを用いることで、得られる硬化物が良好な透明性、耐薬品性を発現することができると考えられる。良好な透明性及び耐熱性を発現し、CTEを小さくするという観点から、トランス1,4−ジアミノシクロヘキサンを用いることが好ましい。トランス1,4−ジアミノシクロヘキサンを用いた場合、シクロヘキサン環に結合している2つのアミノ基の立体構造は、共にエクアトリアル配置であることが好ましい。   By using 1,4-diaminocyclohexane, it is considered that the obtained cured product can exhibit good transparency and chemical resistance. From the viewpoint of expressing good transparency and heat resistance and reducing CTE, it is preferable to use trans 1,4-diaminocyclohexane. When trans 1,4-diaminocyclohexane is used, it is preferable that the steric structures of the two amino groups bonded to the cyclohexane ring are both in an equatorial configuration.

また、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジンを用いることで、得られる硬化物の複屈折を小さくすることができると考えられる。   Moreover, it is thought that birefringence of the obtained cured product can be reduced by using 2,2'-bis (trifluoromethyl) benzidine.

尚、共重合体の構造単位である式(I)及び(II)のモル比は、テトラカルボン酸とジアミン類の比率を変えることで、調整することができる。
例えば、1,4−ジアミノシクロヘキサンと、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジンを、95:5〜85:15(モル比)で用いて、さらに適量(上記ジアミン類に対して過不足ない量)の3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を用いて合成を行なうことで、構造単位(I)と(II)のモル比が95:5〜85:15であるポリイミド前駆体を得ることができる。
In addition, the molar ratio of the formula (I) and (II) which is a structural unit of a copolymer can be adjusted by changing the ratio of tetracarboxylic acid and diamine.
For example, 1,4-diaminocyclohexane and 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine are used in an amount of 95: 5 to 85:15 (molar ratio), and an appropriate amount (over and short of the above diamines). In the amount of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, the molar ratio of structural units (I) to (II) is 95: 5 to 85:15. A polyimide precursor can be obtained.

尚、式(I)及び(II)のモル比は、例えば、HNMRスペクトルを測定することで求めることができる。また、共重合体は、ブロック共重合体でもランダム共重合体でもよい。 In addition, the molar ratio of Formula (I) and (II) can be calculated | required by measuring a < 1 > HNMR spectrum, for example. The copolymer may be a block copolymer or a random copolymer.

本発明のポリアミド酸(ポリイミド前駆体)の分子量は、重量平均分子量で10000〜500000が好ましく、10000〜300000がより好ましく、20000〜200000が特に好ましい。
重量平均分子量が10000より小さいと、塗布した樹脂組成物を加熱する工程において、樹脂膜を形成することが難しくなり、また、形成することができても機械特性に乏しくなる。重量平均分子量が500000よりも大きいと、ポリアミド酸の合成時に分子量をコントロールするのが難しく、また適度な粘度の樹脂組成物を得ることが難しくなる。
The molecular weight of the polyamic acid (polyimide precursor) of the present invention is preferably 10,000 to 500,000, more preferably 10,000 to 300,000, and particularly preferably 20,000 to 200,000 in terms of weight average molecular weight.
When the weight average molecular weight is less than 10,000, it is difficult to form a resin film in the step of heating the applied resin composition, and even if it can be formed, the mechanical properties are poor. When the weight average molecular weight is larger than 500,000, it is difficult to control the molecular weight during the synthesis of polyamic acid, and it becomes difficult to obtain a resin composition having an appropriate viscosity.

重量平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィー法(GPC、例えば、装置は(株)日立製作所製L4000 UV、カラムは日立化成工業(株)製ゲルパック)を用いて、標準ポリスチレン換算により求めることができる。   A weight average molecular weight can be calculated | required by standard polystyrene conversion using the gel permeation chromatography method (GPC, for example, apparatus is L4000 UV made from Hitachi, Ltd., and a column is the Hitachi Chemical Co., Ltd. gel pack).

本発明のポリアミド酸(ポリイミド前駆体)は、従来公知の合成方法で合成することができる。例えば、溶媒に所定量のジアミン類(1,4−ジアミノシクロヘキサン、及び2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン)を溶解させた後、得られたジアミン溶液に、テトラカルボン酸(3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸)を乾燥機で160℃、24時間加熱し脱水閉環させることで得られるテトラカルボン酸二無水物を所定量添加し、撹拌する。   The polyamic acid (polyimide precursor) of the present invention can be synthesized by a conventionally known synthesis method. For example, after a predetermined amount of diamines (1,4-diaminocyclohexane and 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine) are dissolved in a solvent, tetracarboxylic acid (3,3) is added to the obtained diamine solution. A predetermined amount of tetracarboxylic dianhydride obtained by heating (3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid) in a dryer at 160 ° C. for 24 hours to perform dehydration and cyclization is added and stirred.

各モノマー成分を溶解させるときには、必要に応じて加熱してもよい。
反応温度は−30〜200℃が好ましく、20〜180℃がより好ましく、30〜100℃が特に好ましい。そのまま室温(20〜25℃)、又は適当な反応温度で撹拌を続け、ポリアミド酸の粘度が一定になった時点を反応の終点とする。粘度はE型粘度計(東機産業株式会社製)を用い、25℃にて測定できる。
上記反応は、通常3〜100時間で完了できる。
When dissolving each monomer component, you may heat as needed.
The reaction temperature is preferably from -30 to 200 ° C, more preferably from 20 to 180 ° C, particularly preferably from 30 to 100 ° C. Stirring is continued as it is at room temperature (20 to 25 ° C.) or at an appropriate reaction temperature, and the time when the viscosity of the polyamic acid becomes constant is taken as the end point of the reaction. The viscosity can be measured at 25 ° C. using an E-type viscometer (manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.).
The above reaction can usually be completed in 3 to 100 hours.

上記反応の溶媒としては、ジアミン類とテトラカルボン酸、及び生じたポリアミド酸を溶解することのできる溶剤であれば特に制限はされない。
このような溶剤の具体例としては、非プロトン性溶媒、フェノール系溶媒、エーテル及びグリコール系溶媒等が挙げられる。具体的には、非プロトン性溶媒としては、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、N−メチルカプロラクタム、1,3−ジメチルイミダゾリジノン、テトラメチル尿素等のアミド系溶媒;γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン等のラクトン系溶媒;ヘキサメチルホスホリックアミド、ヘキサメチルホスフィントリアミド等の含りん系アミド系溶媒;ジメチルスルホン、ジメチルスルホキシド、スルホラン等の含硫黄系溶媒;シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン等のケトン系溶媒;ピコリン、ピリジン等の3級アミン系溶媒;酢酸(2−メトキシ−1−メチルエチル)等のエステル系溶媒等が挙げられる。フェノール系溶媒としては、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、2,3−キシレノール、2,4−キシレノール、2,5−キシレノール、2,6−キシレノール、3,4−キシレノール、3,5−キシレノール等が挙げられる。エーテル及びグリコール系溶媒としては、1,2−ジメトキシエタン、ビス(2−メトキシエチル)エーテル、1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン、ビス[2−(2−メトキシエトキシ)エチル]エーテル、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン等が挙げられる。なかでも、溶解性や塗膜形成性の観点からN−メチル−2−ピロリドンが好ましい。これらの反応溶媒は単独で又は2種類以上混合して用いてもよい。
The solvent for the above reaction is not particularly limited as long as it is a solvent capable of dissolving diamines, tetracarboxylic acid, and generated polyamic acid.
Specific examples of such solvents include aprotic solvents, phenol solvents, ethers and glycol solvents. Specifically, as the aprotic solvent, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, N-methylcaprolactam, 1,3-dimethylimidazolidinone, tetramethyl Amide solvents such as urea; Lactone solvents such as γ-butyrolactone and γ-valerolactone; Phosphorus-containing amide solvents such as hexamethylphosphoric amide and hexamethylphosphine triamide; dimethylsulfone, dimethylsulfoxide, sulfolane Sulfur-containing solvents; ketone solvents such as cyclohexanone and methylcyclohexanone; tertiary amine solvents such as picoline and pyridine; ester solvents such as acetic acid (2-methoxy-1-methylethyl). Examples of phenol solvents include phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, 2,3-xylenol, 2,4-xylenol, 2,5-xylenol, 2,6-xylenol, 3,4-xylenol, 3,5-xylenol and the like can be mentioned. As ether and glycol solvents, 1,2-dimethoxyethane, bis (2-methoxyethyl) ether, 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane, bis [2- (2-methoxyethoxy) ethyl] ether , Tetrahydrofuran, 1,4-dioxane and the like. Of these, N-methyl-2-pyrrolidone is preferable from the viewpoint of solubility and coating film formation. These reaction solvents may be used alone or in combination of two or more.

本発明のポリイミド前駆体(ポリアミド酸)は、通常、上記反応溶媒を溶媒とする溶液(以下、ポリアミド酸溶液という)として得られる。
得られたポリアミド酸溶液の全量に対するポリアミド酸成分(樹脂不揮発分:以下、溶質という)は、塗膜形成性の観点から5〜60質量%が好ましく、10〜50質量%がさらに好ましく、10〜40質量%が特に好ましい。
The polyimide precursor (polyamic acid) of the present invention is usually obtained as a solution using the reaction solvent as a solvent (hereinafter referred to as a polyamic acid solution).
The polyamic acid component (resin non-volatile content: hereinafter referred to as solute) relative to the total amount of the obtained polyamic acid solution is preferably 5 to 60% by mass, more preferably 10 to 50% by mass, from the viewpoint of coating film formation. 40% by mass is particularly preferred.

溶質の割合は、予め質量の分かっている金属シャーレに(1g程度を目安に)ポリアミド酸溶液をとり質量(金属シャーレ及びポリアミド酸の質量、以下、加熱前の質量という)を測定し、その後200℃のホットプレート上で2時間加熱して溶媒が十分に揮発したあとの質量(金属シャーレ及び溶質の質量、以下、加熱後の質量という)を測定し、(加熱後の質量−金属シャーレの質量)÷(加熱前の質量−金属シャーレの質量)×100から求められる。   The ratio of the solute is determined by measuring the mass (the mass of the metal petri dish and the polyamic acid, hereinafter referred to as the mass before heating) after taking the polyamic acid solution (about 1 g as a guide) into a metal petri dish whose mass is known in advance. Measure the mass after heating for 2 hours on a hot plate at 0 ° C. (the mass of the metal petri dish and the solute, hereinafter referred to as the mass after heating), and (the mass after heating−the mass of the metal petri dish) ) ÷ (mass before heating−mass of metal petri dish) × 100.

上記ポリアミド酸溶液の溶液粘度は、25℃で500〜200000mPa・sが好ましく、2000〜100000mPa・sがより好ましく、5000〜30000mPa・sが特に好ましい。溶液粘度はE型粘度計(東機産業株式会社製VISCONIC EHD)を用い測定できる。   The solution viscosity of the polyamic acid solution is preferably 500 to 200,000 mPa · s at 25 ° C., more preferably 2000 to 100,000 mPa · s, and particularly preferably 5000 to 30000 mPa · s. The solution viscosity can be measured using an E-type viscometer (VISCONIC EHD manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.).

溶液粘度が500mPa・sより低いと膜形成の際の塗布がしにくく、200000mPa・sより高いと合成の際の撹拌が困難になるという問題が生じる。しかし、ポリアミド酸合成の際に溶液が高粘度になったとしても、反応終了後に溶媒を添加して撹拌することで、取扱い性のよい粘度のポリアミド酸溶液を得ることも可能である。   When the solution viscosity is lower than 500 mPa · s, it is difficult to apply the film during film formation, and when it is higher than 200000 mPa · s, there is a problem that stirring during synthesis becomes difficult. However, even if the solution becomes highly viscous during the synthesis of the polyamic acid, it is possible to obtain a polyamic acid solution with a good handleability by adding a solvent after the reaction and stirring.

本発明のポリイミドは、上記ポリイミド前駆体を加熱し、脱水閉環することにより得られる。   The polyimide of this invention is obtained by heating the said polyimide precursor and carrying out dehydration ring closure.

[樹脂組成物]
本発明の樹脂組成物は上記の(a)ポリイミド前駆体を含み、好ましくは(b)有機溶剤を含む。
[(b)有機溶剤]
本発明の樹脂組成物は必要に応じて(b)有機溶剤を用いることが好ましい。
(b)有機溶剤は、本発明のポリイミド前駆体(ポリアミド酸)を溶解できるものであれば特に制限はなく、このような(b)有機溶剤としては(a)ポリイミド前駆体(ポリアミド酸)の合成時に用いることのできる溶媒を用いることができる。(b)有機溶剤は(a)ポリアミド酸の合成時に用いられる溶媒と同一でも異なってもよい。
(b)成分は、樹脂組成物の25℃における粘度が0.5Pa・s〜100Pa・sとなるように調整して加えることが好ましい。
[Resin composition]
The resin composition of the present invention contains the above (a) polyimide precursor, preferably (b) an organic solvent.
[(B) Organic solvent]
The resin composition of the present invention preferably uses (b) an organic solvent as necessary.
The (b) organic solvent is not particularly limited as long as it can dissolve the polyimide precursor (polyamide acid) of the present invention. As such (b) organic solvent, (a) a polyimide precursor (polyamide acid) is used. A solvent that can be used at the time of synthesis can be used. (B) The organic solvent may be the same as or different from the solvent used in the synthesis of (a) polyamic acid.
The component (b) is preferably added so that the viscosity at 25 ° C. of the resin composition is 0.5 Pa · s to 100 Pa · s.

また、(b)有機溶剤の常圧における沸点は、60〜210℃が好ましく、100〜205℃がより好ましく、140〜180℃が特に好ましい。
沸点が210℃より高いと、乾燥工程が長時間必要となり、60℃より低いと、乾燥工程において樹脂膜の表面に荒れが発生したり、樹脂膜中に気泡が入るため、均一な膜が得られない可能性がある。
Moreover, 60-210 degreeC is preferable, the boiling point in the normal pressure of (b) organic solvent has more preferable 100-205 degreeC, and its 140-180 degreeC is especially preferable.
When the boiling point is higher than 210 ° C., a drying process is required for a long time. When the boiling point is lower than 60 ° C., the surface of the resin film is roughened in the drying process or bubbles are generated in the resin film, so that a uniform film is obtained. It may not be possible.

[その他の成分]
本発明の樹脂組成物は、上記(a)、(b)成分の他に、(1)接着性付与在、(2)界面活性剤又はレベリング剤等を含有してもよい。
[Other ingredients]
The resin composition of the present invention may contain (1) adhesion imparting, (2) a surfactant or a leveling agent, in addition to the components (a) and (b).

[その他の成分:(1)接着性付与剤]
本発明の樹脂組成物は、硬化膜の基板との接着性を高めるために、有機シラン化合物、アルミキレート化合物等の(1)接着性付与剤を含有してもよい。
[Other components: (1) Adhesiveness imparting agent]
The resin composition of the present invention may contain (1) an adhesion-imparting agent such as an organic silane compound and an aluminum chelate compound in order to enhance the adhesion of the cured film to the substrate.

有機シラン化合物としては、例えば、ビニルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、尿素プロピルトリエトキシシラン、メチルフェニルシランジオール、エチルフェニルシランジオール、n−プロピルフェニルシランジオール、イソプロピルフェニルシランジオール、n−ブチルフェニルシランジオール、イソブチルフェニルシランジオール、tert−ブチルフェニルシランジオール、ジフェニルシランジオール、エチルメチルフェニルシラノール、n−プロピルメチルフェニルシラノール、イソプロピルメチルフェニルシラノール、n−ブチルメチルフェニルシラノール、イソブチルメチルフェニルシラノール、tert−ブチルメチルフェニルシラノール、エチルn−プロピルフェニルシラノール、エチルイソプロピルフェニルシラノール、n−ブチルエチルフェニルシラノール、イソブチルエチルフェニルシラノール、tert−ブチルエチルフェニルシラノール、メチルジフェニルシラノール、エチルジフェニルシラノール、n−プロピルジフェニルシラノール、イソプロピルジフェニルシラノール、n−ブチルジフェニルシラノール、イソブチルジフェニルシラノール、tert−ブチルジフェニルシラノール、フェニルシラントリオール、1,4−ビス(トリヒドロキシシリル)ベンゼン、1,4−ビス(メチルジヒドロキシシリル)ベンゼン、1,4−ビス(エチルジヒドロキシシリル)ベンゼン、1,4−ビス(プロピルジヒドロキシシリル)ベンゼン、1,4−ビス(ブチルジヒドロキシシリル)ベンゼン、1,4−ビス(ジメチルヒドロキシシリル)ベンゼン、1,4−ビス(ジエチルヒドロキシシリル)ベンゼン、1,4−ビス(ジプロピルヒドロキシシリル)ベンゼン、1,4−ビス(ジブチルヒドロキシシリル)ベンゼン等が挙げられる。   Examples of the organic silane compound include vinyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, urea propyltriethoxysilane, methylphenylsilanediol, ethylphenylsilanediol, n- Propylphenylsilanediol, isopropylphenylsilanediol, n-butylphenylsilanediol, isobutylphenylsilanediol, tert-butylphenylsilanediol, diphenylsilanediol, ethylmethylphenylsilanol, n-propylmethylphenylsilanol, isopropylmethylphenylsilanol, n-butylmethylphenylsilanol, isobutylmethylphenylsilanol, tert-butylmethylphenylsilanol Ethyl n-propylphenylsilanol, ethylisopropylphenylsilanol, n-butylethylphenylsilanol, isobutylethylphenylsilanol, tert-butylethylphenylsilanol, methyldiphenylsilanol, ethyldiphenylsilanol, n-propyldiphenylsilanol, isopropyldiphenylsilanol, n-butyldiphenylsilanol, isobutyldiphenylsilanol, tert-butyldiphenylsilanol, phenylsilanetriol, 1,4-bis (trihydroxysilyl) benzene, 1,4-bis (methyldihydroxysilyl) benzene, 1,4-bis ( Ethyldihydroxysilyl) benzene, 1,4-bis (propyldihydroxysilyl) benzene, 1,4-bis (butyldihi Loxysilyl) benzene, 1,4-bis (dimethylhydroxysilyl) benzene, 1,4-bis (diethylhydroxysilyl) benzene, 1,4-bis (dipropylhydroxysilyl) benzene, 1,4-bis (dibutylhydroxysilyl) ) Benzene and the like.

アルミキレート化合物としては、例えば、トリス(アセチルアセトネート)アルミニウム、アセチルアセテートアルミニウムジイソプロピレート等が挙げられる。   Examples of the aluminum chelate compound include tris (acetylacetonate) aluminum, acetylacetate aluminum diisopropylate, and the like.

これらの(1)接着性付与剤を用いる場合は、(a)成分100質量部に対して、0.1〜20質量部含有させるのが好ましく、0.5〜10質量部含有させるのがより好ましい。   When these (1) adhesion imparting agents are used, it is preferable to contain 0.1 to 20 parts by mass, and more preferably 0.5 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of component (a). preferable.

[その他の成分:(2)界面活性剤又はレベリング剤]
また、本発明の樹脂組成物は、塗布性の観点、例えばストリエーション(膜厚のムラ)を防ぐ観点から、(2)界面活性剤又はレベリング剤を含有してもよい。
[Other components: (2) Surfactant or leveling agent]
Moreover, the resin composition of this invention may contain (2) surfactant or a leveling agent from a viewpoint of applicability | paintability, for example, a viewpoint which prevents striation (film thickness nonuniformity).

界面活性剤又はレベリング剤としては、例えば、ポリオキシエチレンウラリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェノールエーテル等が挙げられる。   Examples of the surfactant or leveling agent include polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene octylphenol ether, and the like.

市販品としては、メガファックスF171、F173、R−08(大日本インキ化学工業株式会社(DIC株式会社)製、商品名)、フロラードFC430、FC431(住友スリーエム株式会社製、商品名)、オルガノシロキサンポリマーKP341、KBM303、KBM403、KBM803(信越化学工業株式会社製、商品名)等が挙げられる。   Commercially available products include Megafax F171, F173, R-08 (trade name, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc. (DIC Corporation)), Florard FC430, FC431 (trade name, manufactured by Sumitomo 3M Limited), organosiloxane Examples thereof include polymers KP341, KBM303, KBM403, and KBM803 (trade name, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.).

本発明の樹脂組成物の25℃における粘度は、使用用途・目的にもよるが、塗布工程における作業性の観点から、0.5〜100Pa・sが好ましく、1〜30Pa・sがより好ましく、5〜20Pa.sが特に好ましい。ここで、粘度はE型粘度計(東機産業株式会社製VISCONIC EHD)を用いて測定できる。   The viscosity at 25 ° C. of the resin composition of the present invention is preferably 0.5 to 100 Pa · s, more preferably 1 to 30 Pa · s from the viewpoint of workability in the coating process, although it depends on the intended use and purpose. 5-20 Pa. s is particularly preferred. Here, the viscosity can be measured using an E-type viscometer (VISCONIC EHD manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.).

本発明の樹脂組成物の製造方法は、特に限定されるものではないが、例えば、(a)ポリアミド酸を合成した際に用いた溶媒と(b)有機溶剤が同一の場合には、合成したポリアミド酸溶液を樹脂組成物とすることができる。また、必要に応じて、室温(25℃)〜80℃の温度範囲で、(b)成分及び他の添加剤を添加して、攪拌混合してもよい。
この攪拌混合は撹拌翼を備えたスリーワンモータ(新東化学株式会社製)、自転公転ミキサー等の装置を用いることができる。また必要に応じて40〜100℃の熱を加えてもよい。
The method for producing the resin composition of the present invention is not particularly limited. For example, when the solvent used when synthesizing (a) polyamic acid and (b) the organic solvent are the same, the resin composition was synthesized. A polyamic acid solution can be used as a resin composition. Moreover, you may add and stir and mix a (b) component and another additive in the temperature range of room temperature (25 degreeC)-80 degreeC as needed.
For this stirring and mixing, an apparatus such as a three-one motor (manufactured by Shinto Chemical Co., Ltd.) equipped with a stirring blade, a rotation and revolution mixer, or the like can be used. Moreover, you may add a 40-100 degreeC heat | fever as needed.

また、(a)ポリアミド酸を合成した際に用いた溶媒と(b)有機溶剤が異なる場合には、合成したポリアミド酸溶液中の溶媒を、再沈殿や溶媒留去の方法により除去し、(a)ポリアミド酸を得た後に、室温〜80℃の温度範囲で、(b)有機溶剤及び必要に応じて他の添加剤を添加して、攪拌混合してもよい。   When (a) the solvent used when synthesizing the polyamic acid is different from (b) the organic solvent, the solvent in the synthesized polyamic acid solution is removed by reprecipitation or solvent distillation, a) After obtaining the polyamic acid, in the temperature range of room temperature to 80 ° C., (b) an organic solvent and other additives as necessary may be added and stirred and mixed.

本発明の樹脂組成物は、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ、電子ペーパー等の表示装置の透明基板を形成するために用いることができる。
具体的には、薄膜トランジスタ(TFT)の基板、カラーフィルタの基板、透明導電膜(ITO、IndiumThinOxide)の基板等を形成するために用いることができる。
The resin composition of the present invention can be used to form a transparent substrate of a display device such as a liquid crystal display, an organic electroluminescence display, a field emission display, or electronic paper.
Specifically, it can be used for forming a thin film transistor (TFT) substrate, a color filter substrate, a transparent conductive film (ITO, Indium Thin Oxide) substrate, and the like.

[ポリイミド成形体]
本発明のポリイミド成形体は、本発明の樹脂組成物を基材に塗布、乾燥して得られた樹脂膜を形成し、これを加熱処理(イミド化)することにより得ることができる。また、該ポリイミド成形体は、使用用途・目的により、膜状、フィルム状、シート状等の形態として用いることができる。
本発明のポリイミド成形体は、透明性、低複屈折、低熱膨張係数及び低弾性率に優れているため、ディスプレイ基材や保護膜等として好適に用いることができる。
[Polyimide molded product]
The polyimide molded body of the present invention can be obtained by forming a resin film obtained by applying the resin composition of the present invention to a substrate and drying it, followed by heat treatment (imidization). Moreover, this polyimide molded object can be used as forms, such as a film form, a film form, and a sheet form, according to a use use / purpose.
Since the polyimide molded body of the present invention is excellent in transparency, low birefringence, low thermal expansion coefficient and low elastic modulus, it can be suitably used as a display substrate, a protective film and the like.

ポリイミド成形体の製造方法は、好ましくは(1)本発明の樹脂組成物を基材上に塗布し、樹脂膜を形成する工程、(2)塗布した樹脂膜を80〜200℃の熱で乾燥し、樹脂膜を形成する工程、(3)乾燥後の樹脂膜を加熱処理する工程として300℃以上の加熱により、樹脂組成物中のポリイミド前駆体をイミド化する工程からなる。   The method for producing a polyimide molded body is preferably (1) a step of applying the resin composition of the present invention on a substrate to form a resin film, and (2) drying the applied resin film with heat at 80 to 200 ° C. And (3) a step of heat-treating the resin film after drying, and a step of imidizing the polyimide precursor in the resin composition by heating at 300 ° C. or higher.

(1)塗布工程で使用される塗布方法は、特に制限はなく、所望の塗布厚や樹脂組成物の粘度等に応じて、公知の塗布方法を適宜選択して使用できる。具体的には、ドクターブレードナイフコーター、エアナイフコーター、ロールコーター、ロータリーコーター、フローコーター、ダイコーター、バーコーター等の塗布方法、スピンコート、スプレイコート、ディップコート等の塗布方法、スクリーン印刷やグラビア印刷等に代表される印刷技術を応用することもできる。   (1) There is no restriction | limiting in particular in the application | coating method used at an application | coating process, According to the desired application | coating thickness, the viscosity of a resin composition, etc., it can select and use a well-known application | coating method suitably. Specifically, doctor blade knife coater, air knife coater, roll coater, rotary coater, flow coater, die coater, bar coater and other coating methods, spin coating, spray coating, dip coating and other coating methods, screen printing and gravure printing It is also possible to apply printing techniques represented by the above.

樹脂組成物を塗布する基材としては、その後の工程の乾燥温度における耐熱性を有し、剥離性が良好であれば特に限定されない。例えば、ガラス、シリコンウエハ等からなる基材、PET(ポリエチレンテレフタレート)、OPP(延伸ポリプロピレン)等からなる支持体が挙げられる。また、膜状のポリイミド成形体ではガラスやシリコンウエハ等からなる被コーティング物が挙げられ、フィルム状及びシート状のポリイミド成形体ではPET(ポリエチレンテレフタラート)、OPP(延伸ポリプロピレン)等からなる支持体が挙げられる。   The substrate on which the resin composition is applied is not particularly limited as long as it has heat resistance at the drying temperature in the subsequent steps and has good peelability. Examples thereof include a substrate made of glass, a silicon wafer or the like, and a support made of PET (polyethylene terephthalate), OPP (stretched polypropylene) or the like. In addition, in the case of a film-like polyimide molded body, a coating object made of glass, silicon wafer or the like can be mentioned. In the case of a film-like or sheet-like polyimide molded body, a support made of PET (polyethylene terephthalate), OPP (stretched polypropylene) or the like. Is mentioned.

基板としては他に、ガラス基板、ステンレス、アルミナ、銅、ニッケル等の金属基板、ポリエチレングリコールテレフタレート、ポリエチレングリコールナフタレート、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンスルホン、ポリフェニレンスルフィド等の樹脂基板等が用いられる。   Other substrates include glass substrates, metal substrates such as stainless steel, alumina, copper, nickel, polyethylene glycol terephthalate, polyethylene glycol naphthalate, polycarbonate, polyimide, polyamideimide, polyetherimide, polyetheretherketone, polyethersulfone, A resin substrate such as polyphenylene sulfone or polyphenylene sulfide is used.

本発明の樹脂組成物の塗布厚は、目的とする成形体の厚さと樹脂組成物中の樹脂不揮発成分の割合により適宜調整されるものであるが、通常1〜1000μm程度である。樹脂不揮発成分は上述の測定方法により求められる。塗布工程は、通常室温で実施されるが、粘度を下げて作業性をよくする目的で樹脂組成物を40〜80℃の範囲で加温して実施してもよい。   The coating thickness of the resin composition of the present invention is appropriately adjusted depending on the thickness of the target molded article and the ratio of the resin non-volatile component in the resin composition, but is usually about 1 to 1000 μm. A resin non-volatile component is calculated | required by the above-mentioned measuring method. The coating step is usually performed at room temperature, but may be performed by heating the resin composition in the range of 40 to 80 ° C. for the purpose of reducing viscosity and improving workability.

塗布工程に続き、(2)乾燥工程を行う。乾燥工程は、有機溶剤除去の目的で行われる。乾燥工程はホットプレート、箱型乾燥機やコンベヤー型乾燥機等の装置を利用することができき、80〜200℃で行うことが好ましく、100〜150℃で行うことがより好ましい。   Following the coating process, (2) a drying process is performed. The drying step is performed for the purpose of removing the organic solvent. A drying process can utilize apparatuses, such as a hotplate, a box-type dryer, and a conveyor type dryer, It is preferable to carry out at 80-200 degreeC, and it is more preferable to carry out at 100-150 degreeC.

続いて(3)加熱工程を行う。この加熱工程は(2)乾燥工程で樹脂膜中に残留した有機溶剤の除去を行うとともに、樹脂組成物中のポリアミド酸のイミド化反応を進行させ、硬化膜を得る工程である。加熱工程は、イナートガスオーブンやホットプレート,箱型乾燥機、コンベヤー型乾燥機等の装置を用いて行う。またこの工程は(2)乾燥工程と同時に行っても、逐次的に行ってもよい。
(3)加熱工程は、空気雰囲気下でもよいが、安全性及び酸化防止の観点から、不活性ガス雰囲気下で行うことが推奨される。不活性ガスとしては窒素、アルゴン等が挙げられる。加熱温度は、(b)有機溶剤の種類にもよるが、250℃〜400℃が好ましく、300〜350℃がより好ましい。250℃より低いとイミド化が不十分となり、400℃より高いとポリイミド成形体の透明性が低下したり、耐熱性が悪化する恐れがある。加熱時間は、通常0.5〜3時間程度である。
Subsequently, (3) a heating step is performed. This heating step is a step of (2) removing the organic solvent remaining in the resin film in the drying step and advancing the imidization reaction of the polyamic acid in the resin composition to obtain a cured film. The heating process is performed using an inert gas oven, a hot plate, a box-type dryer, a conveyor-type dryer or the like. Further, this step may be performed simultaneously with (2) the drying step or sequentially.
(3) The heating process may be performed in an air atmosphere, but it is recommended that the heating process be performed in an inert gas atmosphere from the viewpoint of safety and prevention of oxidation. Examples of the inert gas include nitrogen and argon. Although heating temperature is based also on the kind of (b) organic solvent, 250 to 400 degreeC is preferable and 300 to 350 degreeC is more preferable. If it is lower than 250 ° C., imidization becomes insufficient, and if it is higher than 400 ° C., the transparency of the polyimide molded body may be lowered or the heat resistance may be deteriorated. The heating time is usually about 0.5 to 3 hours.

また、ポリイミド成形体の使用用途・目的によっては、(3)加熱工程の後、(4)基材から硬化膜を剥離する剥離工程が必要となる。この剥離工程は、基材上の成形体を室温〜50℃程度まで冷却後、実施される。剥離作業を容易に実施するため、本発明の樹脂組成物を塗布する前に、必要に応じて基材へ離型剤を塗布しておいてもよい。離型剤としては、植物油系、シリコン系、フッ素系、アルキッド系等の離型剤が挙げられる。   In addition, depending on the intended use and purpose of the polyimide molded body, (4) a peeling step for peeling the cured film from the substrate is required after the heating step. This peeling process is implemented after cooling the molded object on a base material to room temperature-about 50 degreeC. In order to easily perform the peeling operation, a release agent may be applied to the substrate as necessary before applying the resin composition of the present invention. Examples of the release agent include vegetable oil-based, silicon-based, fluorine-based, and alkyd-based release agents.

得られたポリイミド成形体は、用途に応じて、レジストプロセスによりパターンを形成することもできる。レジストプロセスは例えば、(3)加熱工程又は(4)剥離工程の後、レジストを塗布し、露光及び現像等によりパターンを形成する。レジスト材料及びエッチングに用いられる材料は、通常のレジストプロセスで用いられるものであれば、特に制限はない。例えば、一般によく知られたエッチング溶液としては、ヒドラジン水和物、水酸化カリウム水溶液、水酸化ナトリウム水溶液等がある。またこれらの湿式エッチングの他に、酸素プラズマエッチング、酸素スパッタエッチング等乾式方法をとることもできる。パターン形成後、有機溶剤を用いてレジストをポリイミド成形体から剥離する。有機溶剤としては、エタノールアミン、NMP、DMSO等が挙げられ、これらの混合物を用いることもできる。   The obtained polyimide molded body can also form a pattern by a resist process according to a use. In the resist process, for example, after (3) the heating step or (4) the peeling step, a resist is applied, and a pattern is formed by exposure and development. The resist material and the material used for etching are not particularly limited as long as they are used in a normal resist process. For example, generally well-known etching solutions include hydrazine hydrate, potassium hydroxide aqueous solution, sodium hydroxide aqueous solution and the like. In addition to these wet etchings, dry methods such as oxygen plasma etching and oxygen sputter etching can also be employed. After pattern formation, the resist is peeled off from the polyimide molded body using an organic solvent. Examples of the organic solvent include ethanolamine, NMP, DMSO and the like, and a mixture thereof can also be used.

本発明のポリイミド成形体の製造方法は、膜厚1〜500μmのポリイミド成形体を製造する場合に有用である。特に膜厚1〜100μmのポリイミド成形体を製造することが、本発明の効果をより向上させるため好ましい。   The manufacturing method of the polyimide molded body of this invention is useful when manufacturing a polyimide molded body with a film thickness of 1-500 micrometers. In particular, it is preferable to produce a polyimide molded body having a thickness of 1 to 100 μm in order to further improve the effects of the present invention.

本発明の(3)加熱工程後のポリイミド成形体中の残存有機溶剤量は、2質量%以下が好ましく、1質量%以下がより好ましく、0.5質量%以下がさらに好ましい。ポリイミド成形体中の残存有機溶剤量は、示差熱重量同時測定(TG−DTA)及びガスクロマトグラフ質量分析(GC−MS)により測定できる。   The amount of the remaining organic solvent in the polyimide molded body after the heating step (3) of the present invention is preferably 2% by mass or less, more preferably 1% by mass or less, and further preferably 0.5% by mass or less. The amount of residual organic solvent in the polyimide molded body can be measured by simultaneous differential thermogravimetric measurement (TG-DTA) and gas chromatograph mass spectrometry (GC-MS).

本発明のポリイミド成形体の透明性は、波長400nm以上における光透過率が、膜厚10μmで70%以上が好ましく、75%以上がより好ましい。
本発明のポリイミド成形体の複屈折は、0.12以下が好ましく、0.08以下がより好ましい。光通信分野、表示装置分野に利用されるポリイミド成形体として十分な透明性、低複屈折率を有すると評される値である。
The transparency of the polyimide molded body of the present invention is such that the light transmittance at a wavelength of 400 nm or more is preferably 70% or more, more preferably 75% or more at a film thickness of 10 μm.
The birefringence of the polyimide molded body of the present invention is preferably 0.12 or less, and more preferably 0.08 or less. This value is regarded as having sufficient transparency and low birefringence as a polyimide molded body used in the fields of optical communication and display devices.

本発明のポリイミド成形体のCTE(熱膨張係数)は幅方向及び操作方向共に、1〜45ppmが好ましく、5〜45ppmがより好ましく、5〜30ppmがさらに好ましい。ポリイミド成形体が基板(被コーティング物)と一体とする状態で使用される場合、該ポリイミド成形体の線熱膨張係数はその被コーティング物と同程度となるように調整することが好ましい。   The CTE (thermal expansion coefficient) of the polyimide molded body of the present invention is preferably 1 to 45 ppm, more preferably 5 to 45 ppm, and still more preferably 5 to 30 ppm in both the width direction and the operation direction. When the polyimide molded body is used in a state of being integrated with the substrate (coating object), the linear thermal expansion coefficient of the polyimide molded body is preferably adjusted to be approximately the same as that of the coating object.

本発明のポリイミド成形体のガラス転移温度(Tg)は、250〜400℃が好ましく、300〜400℃がより好ましい。光通信分野、表示装置分野に利用されるポリイミド成形体として十分な耐熱性を有すると評される値である。該ガラス転移温度は、後述の実施例に記載した方法にて得られた値である。   250-400 degreeC is preferable and, as for the glass transition temperature (Tg) of the polyimide molded body of this invention, 300-400 degreeC is more preferable. This value is regarded as having sufficient heat resistance as a polyimide molded body used in the fields of optical communication and display devices. The glass transition temperature is a value obtained by the method described in Examples described later.

CTE及びガラス転移温度(Tg)はセイコーインスツル株式会社製TMA/SS6000によってTMA測定を行い求められる。   CTE and glass transition temperature (Tg) are obtained by TMA measurement using TMA / SS6000 manufactured by Seiko Instruments Inc.

本発明のポリイミド成形体の機械的物性は、弾性率(引張弾性率)が幅方向及び操作方向共に1.5GPa〜6.0GPaが好ましく、1.7〜6.0GPaがより好ましく、1.7〜5.5GPaがさらに好ましい。弾性率が6.0GPaより大きいと、硬化後に基材が反る傾向がある。
引張強さ(破断強度)は150〜300MPaが好ましく、150〜200MPaがより好ましい。引張強さが150MPaより小さいと膜が脆く、基材として用いた場合に取り扱いが難しくなる。
破断伸びは5%以上が好ましく、10%以上がより好ましい。破断伸びが5%より小さいと、ポリイミド成形体を基材として用いた場合の曲げ応力が弱く、基材の信頼性が低下する。
As for the mechanical properties of the polyimide molded body of the present invention, the elastic modulus (tensile elastic modulus) is preferably 1.5 GPa to 6.0 GPa in both the width direction and the operation direction, more preferably 1.7 to 6.0 GPa, and more preferably 1.7. -5.5 GPa is more preferred. If the elastic modulus is greater than 6.0 GPa, the substrate tends to warp after curing.
The tensile strength (breaking strength) is preferably 150 to 300 MPa, and more preferably 150 to 200 MPa. When the tensile strength is less than 150 MPa, the film is fragile and becomes difficult to handle when used as a substrate.
The elongation at break is preferably 5% or more, and more preferably 10% or more. If the elongation at break is less than 5%, the bending stress when the polyimide molded body is used as a substrate is weak, and the reliability of the substrate is lowered.

これらの機械特性は全て引張試験装置の引張試験により求めることができる。ポリイミド成形体がこれらの機械的物性を有していれば、光通信分野、表示装置分野に利用されるポリイミド成形体としては十分な靭性を有するとされ、実用的に用いることができる。   All of these mechanical properties can be obtained by a tensile test using a tensile test apparatus. If the polyimide molded body has these mechanical properties, it is considered to have sufficient toughness as a polyimide molded body used in the fields of optical communication and display devices, and can be used practically.

[透明基板・保護膜/電子部品]
本発明の透明基板及び保護膜は、上記ポリイミド成形体からなることを特徴とする。その製造方法は、従来公知の製造方法を用いることができる。例えば、本発明の樹脂組成物を仮固定基材に塗布し、乾燥及び加熱を行い、次いで用途に応じて上記レジストプロセスを行い、透明基板として使用することができる。また、本発明の樹脂組成物を仮固定基材に塗布し、乾燥及び加熱を行い、仮固定基材から剥離して保護膜として用いることができる。
[Transparent substrate / Protective film / Electronic components]
The transparent substrate and protective film of the present invention are characterized by comprising the polyimide molded body. As the manufacturing method, a conventionally known manufacturing method can be used. For example, the resin composition of the present invention can be applied to a temporarily fixed substrate, dried and heated, then subjected to the resist process according to the application, and used as a transparent substrate. In addition, the resin composition of the present invention can be applied to a temporarily fixed substrate, dried and heated, peeled from the temporarily fixed substrate, and used as a protective film.

本発明の透明基板及び保護膜は、十分な透明性を有し、CTEが小さく、弾性率が小さく、かつ複屈折が小さいため、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ、電子ペーパー等の表示装置に使用することができる。   Since the transparent substrate and protective film of the present invention have sufficient transparency, CTE is small, elastic modulus is small, and birefringence is small, such as liquid crystal display, organic electroluminescence display, field emission display, electronic paper, etc. Can be used for display devices.

具体的には、本発明の透明基板は、薄膜トランジスタ(TFT)を形成するための基板、カラーフィルタを形成するための基板、透明導電膜(ITO、Indium Thin Oxide)を形成するための基板等、として用いることができる。本発明の透明基板を用いた場合、従来のガラス基板の課題であった、耐破損性を向上することができ、また、基板の軽量化、薄型化を実現できると考えられる。さらに、本発明の透明基板は、CTEが小さいため、TFT形成時の加熱工程における位置あわせ精度の悪化を防ぐことができ、また、透明性が高く、複屈折が小さいため、視認性に優れる。また、本発明の透明基板は、弾性率が小さいため、フレキシブルディスプレイの基板としても用いることができる。   Specifically, the transparent substrate of the present invention includes a substrate for forming a thin film transistor (TFT), a substrate for forming a color filter, a substrate for forming a transparent conductive film (ITO, Indium Thin Oxide), etc. Can be used as When the transparent substrate of the present invention is used, it is considered that breakage resistance, which is a problem of the conventional glass substrate, can be improved, and that the substrate can be reduced in weight and thickness. Furthermore, since the CTE of the transparent substrate of the present invention is small, it is possible to prevent deterioration in alignment accuracy in the heating process at the time of TFT formation, and the transparency is high and the birefringence is small, so that the visibility is excellent. Moreover, since the transparent substrate of the present invention has a low elastic modulus, it can also be used as a substrate for a flexible display.

本発明の保護膜は、フレキシブルディスプレイ基板、カラーフィルタ用保護膜等として用いることもできる。また本発明の保護膜は、太陽電池の表面保護膜等としても用いることができる。   The protective film of the present invention can also be used as a flexible display substrate, a color filter protective film, and the like. The protective film of the present invention can also be used as a surface protective film for solar cells.

以下、実施例及び比較例により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example demonstrate this invention further more concretely, this invention is not limited to these Examples.

実施例1
攪拌機、温度計を備えた0.2リットルのフラスコ中に、N−メチルピロリドン56g(564mmol)、1,4−ジアミノシクロヘキサン3.25g(28.5mmol)及び2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン0.48g(1.5mmol)を仕込み、60℃のウォーターバスに浸け、撹拌した後、乾燥機(160℃/24h)で加熱し脱水閉環させた3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸無水物8.83g(30mmol)を添加し、80℃のウォーターバスで10分間、加熱攪拌し完全に溶解させた。その後、分子量が一定となるまで約70時間撹拌しポリアミド酸溶液を得た(構造単位のモル比(I):(II)=95:5)。
Example 1
In a 0.2 liter flask equipped with a stirrer and a thermometer, 56 g (564 mmol) of N-methylpyrrolidone, 3.25 g (28.5 mmol) of 1,4-diaminocyclohexane and 2,2′-bis (trifluoromethyl) ) 0.48 g (1.5 mmol) of benzidine was charged, immersed in a water bath at 60 ° C., stirred, and then heated with a dryer (160 ° C./24 h) to cause dehydration and ring closure 3,3 ′, 4,4′− Biphenyltetracarboxylic anhydride 8.83 g (30 mmol) was added, and the mixture was heated and stirred for 10 minutes in a water bath at 80 ° C. to completely dissolve it. Thereafter, the mixture was stirred for about 70 hours until the molecular weight became constant to obtain a polyamic acid solution (molar ratio of structural units (I) :( II) = 95: 5).

得られたポリアミド酸の重量平均分子量及び分散度を、ゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)標準ポリスチレン換算により求めた。重量平均分子量は31,000、分散度は2.2であった。   The weight average molecular weight and dispersion degree of the obtained polyamic acid were calculated | required by gel permeation chromatography (GPC) standard polystyrene conversion. The weight average molecular weight was 31,000, and the degree of dispersion was 2.2.

重量平均分子量及び分散度の測定条件を以下に示す。
測定装置:検出器 株式会社日立製作所製L4000 UV
ポンプ:株式会社日立製作所製L6000
株式会社島津製作所製C−R4A Chromatopac
測定条件:カラム Gelpack GL−S300MDT−5×2本
溶離液:THF/DMF=1/1 (容積比)
LiBr(0.03mol/l)、HPO(0.06mol/l)
流速:1.0ml/分、検出器:UV270nm
ポリマー0.5mgに対して溶媒[THF/DMF=1/1(容積比)]1mlの溶液を用いて測定した。
The measurement conditions for the weight average molecular weight and the degree of dispersion are shown below.
Measuring device: Detector L4000 UV manufactured by Hitachi, Ltd.
Pump: Hitachi Ltd. L6000
C-R4A Chromatopac made by Shimadzu Corporation
Measurement conditions: Column Gelpack GL-S300MDT-5 × 2 eluent: THF / DMF = 1/1 (volume ratio)
LiBr (0.03 mol / l), H 3 PO 4 (0.06 mol / l)
Flow rate: 1.0 ml / min, detector: UV 270 nm
The measurement was performed using a solution of 1 ml of a solvent [THF / DMF = 1/1 (volume ratio)] with respect to 0.5 mg of the polymer.

得られたポリアミド酸溶液(樹脂組成物)を、塗布しやすい粘度までNMPで希釈し、残存固形分(NV)を測定したところ14%であった。ここで、残存固形分は樹脂組成物中の樹脂不揮発分の割合であり、上述の樹脂不揮発分を測定する方法で求めた。   The obtained polyamic acid solution (resin composition) was diluted with NMP to a viscosity that was easy to apply, and the residual solid content (NV) was measured to be 14%. Here, the residual solid content is the ratio of the resin non-volatile content in the resin composition, and was determined by the method of measuring the resin non-volatile content described above.

これを5μmのフィルター(Millipore社製、SLLS025NS)を用いてろ過を行った。得られた樹脂組成物をシリコンウエハ上にスピンコートして、120℃で3分間乾燥し、膜厚14〜18μmの樹脂膜を形成した。これをさらにイナートガスオーブンを用いて窒素雰囲気下で加熱をし、膜厚10μmの硬化膜を得た。   This was filtered using a 5 μm filter (Millipore, SLLS025NS). The obtained resin composition was spin coated on a silicon wafer and dried at 120 ° C. for 3 minutes to form a resin film having a film thickness of 14 to 18 μm. This was further heated under a nitrogen atmosphere using an inert gas oven to obtain a cured film having a thickness of 10 μm.

イナートガスオーブンによる加熱工程(フルキュア)の条件は以下の通りである。
装置:光洋サーモシステム社製イナートガスオーブン
条件:昇温 室温〜200℃(5℃/分)
ホールド 200℃(20分)
昇温 200℃〜300℃(5℃/分)
ホールド 300℃(60分)
冷却 300℃〜室温(60分)
The conditions for the heating step (full cure) using an inert gas oven are as follows.
Apparatus: Inert gas oven manufactured by Koyo Thermo Systems Co., Ltd. Conditions: Temperature rise Room temperature to 200 ° C (5 ° C / min)
Hold 200 ° C (20 minutes)
200 ° C to 300 ° C (5 ° C / min)
Hold 300 ° C (60 minutes)
Cooling 300 ° C to room temperature (60 minutes)

得られた硬化膜について以下の評価を行った。
(複屈折の評価)
上述の方法で得られた基板に着いた状態の硬化膜を用い,複屈折の測定を行った。複屈折測定にはセキテクノトロン株式会社製メトリコン2010型を用い、1300nmの波長におけるY偏波での屈折率:TEとX偏波での屈折率:TMの値を測定し、(式1)によって複屈折を求めた。
複屈折=TE−TM (式1)
The following evaluation was performed about the obtained cured film.
(Evaluation of birefringence)
Birefringence was measured using the cured film attached to the substrate obtained by the method described above. For birefringence measurement, a metricon 2010 model manufactured by Seki Technotron Co., Ltd. was used, and the refractive index in the Y polarization at a wavelength of 1300 nm: TE and the refractive index in the X polarization: TM were measured. (Equation 1) The birefringence was determined by
Birefringence = TE-TM (Formula 1)

複屈折が0.08以下のものをA(特に良好)、0.08よりも大きく0.12以下のものをB(良好)、0.12よりも大きいものをC(良くない)とした。   A birefringence of 0.08 or less was designated as A (particularly good), a value greater than 0.08 and 0.12 or less was designated as B (good), and a value greater than 0.12 was designated as C (not good).

(透過率、CTE、ガラス転移温度、及び機械強度の評価)
次に4.9質量%フッ酸水溶液を用いて、得られた硬化膜をシリコンウエハより剥離し、水洗、乾燥した後、透過率、CTE、ガラス転移温度(Tg)、機械強度の評価を行なった。
(Evaluation of transmittance, CTE, glass transition temperature, and mechanical strength)
Next, using 4.9 mass% hydrofluoric acid aqueous solution, the obtained cured film was peeled from the silicon wafer, washed with water, dried, and then evaluated for transmittance, CTE, glass transition temperature (Tg), and mechanical strength. It was.

光透過率はU−3310(株式会社日立製作所製スペクトロフォトメーター)を用いて波長400nm以上の光線透過率を測定し、Lambert−Beerの法則を用いて10μm換算した値を求めた。   The light transmittance was determined by measuring the light transmittance at a wavelength of 400 nm or more using U-3310 (Spectrophotometer manufactured by Hitachi, Ltd.), and obtaining a value converted to 10 μm using Lambert-Beer's law.

CTEはセイコー社製TMA/SS6000の熱機械測定装置を用いて、測定した。具体的には、硬化膜を2mm×3cmに切り取り、セイコー社製TMA/SS6000の熱機械測定装置を用いて、10g/分の加重をかけながら30〜420℃まで(昇温速度5℃/分)加熱した。その際の100〜200℃間の硬化膜の伸び率の傾きを測定してCTEとした。CTEが30ppm/K以下の場合をA(特に良好)、30ppm/Kより大きく45ppm/K以下の場合をB(良好)、45ppm/Kより大きい場合をC(良くない)とした。   CTE was measured using a TMA / SS6000 thermomechanical measuring device manufactured by Seiko. Specifically, the cured film is cut into 2 mm × 3 cm, and TMA / SS6000 thermomechanical measuring device manufactured by Seiko Co., Ltd. is applied to 30 to 420 ° C. while applying a load of 10 g / min (temperature increase rate 5 ° C./min. ) Heated. CTE was measured by measuring the slope of the elongation of the cured film between 100 and 200 ° C. The case where CTE was 30 ppm / K or less was designated as A (particularly good), the case where it was greater than 30 ppm / K and 45 ppm / K or less was designated as B (good), and the case where it was greater than 45 ppm / K was designated as C (not good).

ガラス転移温度はセイコーインスツル株式会社製TMA/SS6000を用い、昇温速度5℃/分にて熱膨張係数の変曲点より求めた。   The glass transition temperature was determined from the inflection point of the coefficient of thermal expansion using a TMA / SS6000 manufactured by Seiko Instruments Inc. at a heating rate of 5 ° C./min.

機械強度(弾性率、破断伸び及び破断強度)は島津製作所社製オートグラフAGS−100NHを用いて引張試験より求めた。弾性率は5.5GPa以下のものをA(特に良好)、5.5GPaより大きく6.0GPa以下のものをB、6.0GPaより大きいものをC(良くない)とした。   Mechanical strength (elastic modulus, breaking elongation and breaking strength) was determined from a tensile test using an autograph AGS-100NH manufactured by Shimadzu Corporation. An elastic modulus of 5.5 GPa or less was designated as A (particularly good), a value greater than 5.5 GPa and 6.0 GPa or less was designated as B, and a value greater than 6.0 GPa was designated as C (not good).

実施例2、3、比較例1〜5
アミン、酸及びこれらの量を表1のように変更した他は、実施例1と同様にしてポリアミド酸を合成し、樹脂組成物及び硬化膜を作製し、これらの評価を行った。
アミン1、2、酸1、2は下記の通りである。
アミン1:1,4−ジアミノシクロヘキサン
アミン2:2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン
酸1:3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸
酸2:3,3’,4,4’−テトラカルボキシジフェニルエーテル
Examples 2, 3 and Comparative Examples 1-5
A polyamic acid was synthesized in the same manner as in Example 1 except that the amount of amine, acid and the amount thereof was changed as shown in Table 1, and a resin composition and a cured film were prepared, and these were evaluated.
Amine 1,2 and acid 1,2 are as follows.
Amine 1: 1,4-diaminocyclohexaneamine 2: 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine acid 1: 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid 2: 3,3 ′, 4 , 4'-Tetracarboxydiphenyl ether

Figure 2013079345
Figure 2013079345

実施例1〜3で得られた硬化膜は、300℃以上の高温での加熱処理を経ても、良好な透過率を示し、CTEが小さく、複屈折も小さく、かつ弾性率も小さかった。本発明のポリイミド前駆体は、透明性、CTE、機械強度を全て満足させる硬化膜を与えることが分かった。
一方、比較例1のように、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジンを含まない場合、弾性率と複屈折が高くなってしまった。また、比較例2、3及び5のように2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジンの量が多い場合も、透過率が悪化した。比較例4のように3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸を用いない場合、CTE及び機械強度が悪化した。
The cured films obtained in Examples 1 to 3 exhibited good transmittance, low CTE, low birefringence, and low elastic modulus even after heat treatment at 300 ° C. or higher. It has been found that the polyimide precursor of the present invention provides a cured film that satisfies all of transparency, CTE, and mechanical strength.
On the other hand, when 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine was not included as in Comparative Example 1, the elastic modulus and birefringence were high. Further, when the amount of 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine was large as in Comparative Examples 2, 3, and 5, the transmittance was deteriorated. When 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid was not used as in Comparative Example 4, CTE and mechanical strength deteriorated.

本発明のポリイミド成形体は、ディスプレイ基材や保護膜等として使用できる。   The polyimide molded body of the present invention can be used as a display substrate, a protective film and the like.

Claims (12)

下記式(I)及び(II)で示される構造単位を有する共重合体であり、(I)及び(II)のモル比が(I):(II)=95:5〜85:15であるポリイミド前駆体。
Figure 2013079345
It is a copolymer having structural units represented by the following formulas (I) and (II), and the molar ratio of (I) and (II) is (I) :( II) = 95: 5 to 85:15 Polyimide precursor.
Figure 2013079345
請求項1に記載のポリイミド前駆体を有する樹脂組成物。   A resin composition comprising the polyimide precursor according to claim 1. 有機溶剤を含有する請求項2に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 2 containing an organic solvent. 表示装置の透明基板形成用の請求項2又は3に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 2 or 3 for forming a transparent substrate of a display device. 請求項1に記載のポリイミド前駆体を加熱して得られるポリイミド。   A polyimide obtained by heating the polyimide precursor according to claim 1. 請求項2〜4のいずれかに記載の樹脂組成物を基材上に塗布、乾燥して樹脂膜を形成する工程と、前記乾燥後の樹脂膜を加熱処理する工程とを含むポリイミド成形体の製造方法。   A polyimide molded body comprising a step of applying a resin composition according to any one of claims 2 to 4 on a substrate and drying to form a resin film, and a step of heat-treating the resin film after drying. Production method. 請求項6に記載の製造方法により得られるポリイミド成形体。   A polyimide molded body obtained by the production method according to claim 6. 請求項7に記載のポリイミド成形体からなる透明基板。   A transparent substrate comprising the polyimide molded body according to claim 7. 請求項7に記載のポリイミド成形体からなる保護膜。   A protective film comprising the polyimide molded body according to claim 7. 請求項8に記載の透明基板又は請求項9に記載の保護膜を有する電子部品。   An electronic component having the transparent substrate according to claim 8 or the protective film according to claim 9. 請求項8に記載の透明基板又は請求項9に記載の保護膜を有する表示装置。   A display device comprising the transparent substrate according to claim 8 or the protective film according to claim 9. 請求項8に記載の透明基板又は請求項9に記載の保護膜を有する太陽電池モジュール。   A solar cell module having the transparent substrate according to claim 8 or the protective film according to claim 9.
JP2011220706A 2011-10-05 2011-10-05 Highly transparent polyimide Pending JP2013079345A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011220706A JP2013079345A (en) 2011-10-05 2011-10-05 Highly transparent polyimide

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011220706A JP2013079345A (en) 2011-10-05 2011-10-05 Highly transparent polyimide

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2013079345A true JP2013079345A (en) 2013-05-02

Family

ID=48525983

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011220706A Pending JP2013079345A (en) 2011-10-05 2011-10-05 Highly transparent polyimide

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2013079345A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015020016A1 (en) * 2013-08-06 2015-02-12 三菱瓦斯化学株式会社 Polyimide resin
JPWO2019142703A1 (en) * 2018-01-18 2020-11-19 東レ株式会社 Resin compositions for display substrates, resin films for display substrates and laminates containing them, image display devices, organic EL displays, and methods for manufacturing them.

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015020016A1 (en) * 2013-08-06 2015-02-12 三菱瓦斯化学株式会社 Polyimide resin
KR20160040184A (en) * 2013-08-06 2016-04-12 미쯔비시 가스 케미칼 컴파니, 인코포레이티드 Polyimide resin
JPWO2015020016A1 (en) * 2013-08-06 2017-03-02 三菱瓦斯化学株式会社 Polyimide resin
US10131748B2 (en) 2013-08-06 2018-11-20 Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. Polyimide resin
KR102183027B1 (en) 2013-08-06 2020-11-25 미쯔비시 가스 케미칼 컴파니, 인코포레이티드 Polyimide resin
JPWO2019142703A1 (en) * 2018-01-18 2020-11-19 東レ株式会社 Resin compositions for display substrates, resin films for display substrates and laminates containing them, image display devices, organic EL displays, and methods for manufacturing them.
JP7322699B2 (en) 2018-01-18 2023-08-08 東レ株式会社 Resin composition for display substrate, resin film for display substrate and laminate containing the same, image display device, organic EL display, and manufacturing method thereof
US12060457B2 (en) 2018-01-18 2024-08-13 Toray Industries, Inc. Resin composition for display substrate, resin film for display substrate and laminate body containing this, image display device, organic EL display, and manufacturing method of these

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN113136103B (en) Polyimide precursor resin composition
TWI740330B (en) Polyimide precursor, resin composition, resin film and manufacturing method thereof
JP6891084B2 (en) Highly transparent polyimide
EP2803702B1 (en) Aqueous polyimide precursor solution composition and method for producing aqueous polyimide precursor solution composition
CN107531996A (en) Resin composition, polyimide resin film and manufacturing method thereof
CN111808420A (en) Resin precursor and resin composition containing the same, polyimide resin film, resin film and method for producing the same
CN104797632B (en) Polyimide resin film and substrate for electronic equipment including polyimide resin film
JP2020033540A (en) Silsesquioxane-containing polyimide
JP7536836B2 (en) Polyimide precursor resin composition
JP2012224755A (en) Highly transparent polyimide precursor and resin composition using the same, polyimide molded article and method for producing the molding, plastic substrate, protective film, and electronic component and display device having the film
KR102020091B1 (en) Polyimide precursor resin solution and transparent polyimide film prepared by using same
KR20180127376A (en) Polyhydroxyamide composition for producing substrates for electronic devices and polybenzoxazole resin film
JP2013079344A (en) Polyimide precursor, composition containing polyimide precursor, and transparent polyimide molding obtained from the composition
JP2012184281A (en) Resin composition
JP7359602B2 (en) Diamine compound and its manufacturing method
JP2013079345A (en) Highly transparent polyimide
JP6795920B2 (en) Polyimide precursor, resin composition, resin film containing polyimide and its manufacturing method
TW201335238A (en) Polyimine precursor, resin composition using the same, polyimine molded body, protective layer, semiconductor device and manufacturing method thereof, electric part and electronic part
KR20150069472A (en) Composition of Aramid nanocomposite resin having low permittivity and Aromatic polyamide film using that