JP2013075394A

JP2013075394A - Glass substrate laminate and patterned glass substrate laminate

Info

Publication number: JP2013075394A
Application number: JP2011215803A
Authority: JP
Inventors: Masaki Umetani; 雅規梅谷; Chiaki Obata; 千明小幡; Takayoshi Nireki; 隆佳二連木
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2011-09-30
Filing date: 2011-09-30
Publication date: 2013-04-25

Abstract

【課題】ガラス基材積層体の搬送時における位置精度の悪化、ニップや挟み込み時における搬送不良、ガラス基材の損傷などを防ぐことができるガラス基材積層体を提供する。
【解決手段】ガラス基材１１と、粘着層１２と、前記粘着層１２を介して前記ガラス基材１１に積層されたプラスチック基材１３とを備えているガラス基材積層体１０である。前記プラスチック基材１３にスリット１４が設けられたガラス基材積層体によって解決した。
【選択図】図１[Problem] To provide a glass substrate laminate capable of preventing deterioration of positional accuracy during conveyance of a glass substrate laminate, poor conveyance during nip or sandwiching, damage to the glass substrate, and the like.
A glass substrate laminate comprising a glass substrate, an adhesive layer, and a plastic substrate laminated on the glass substrate through the adhesive layer. This was solved by a glass substrate laminate in which the plastic substrate 13 was provided with slits 14.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、ガラス基材積層体及びパターン付きガラス基材積層体に関するものである。 The present invention relates to a glass substrate laminate and a patterned glass substrate laminate.

一般的に、有機ＥＬディスプレイ、液晶ディスプレイ等のディスプレイ、カラーフィルタ、太陽電池等にガラス基材が用いられている。近年、ガラス製造技術の進歩により、厚さが０．１ｍｍ程度又はそれ以下の薄ガラスが製造されている。このようなガラス基材は可撓性を有することから、ガラス基材上へのパターン形成にロールｔｏロールプロセスが適用できるため、従来のシート（枚葉）プロセスと比較して高い生産性を得ることができる。 Generally, glass substrates are used for displays such as organic EL displays and liquid crystal displays, color filters, solar cells, and the like. In recent years, thin glass having a thickness of about 0.1 mm or less has been manufactured due to progress in glass manufacturing technology. Since such a glass substrate has flexibility, a roll-to-roll process can be applied to pattern formation on the glass substrate, so that high productivity is obtained compared to a conventional sheet (sheet-fed) process. be able to.

しかし、このようなガラス基材は非常に脆く、フォトリソグラフィープロセスなどの製膜工程などを通した場合にガラス基材は破損し易く、膜形成やパターン形成が困難になるという問題がある。 However, such a glass substrate is very fragile, and the glass substrate is easily damaged when a film forming process such as a photolithography process is performed, and there is a problem that film formation and pattern formation become difficult.

この問題に対して、特許文献１においてガラスフィルム（ガラス基材）の一方の面に可撓性を有するプラスチック製などの支持シートを接着し、ガラスフィルムを保護するようなガラスフィルム積層体（ガラス基材積層体）を提案している。 With respect to this problem, a glass film laminate (glass) that protects the glass film by adhering a flexible plastic support sheet or the like to one surface of the glass film (glass substrate) in Patent Document 1. A substrate laminate) is proposed.

特開２０１０−２２８１６６JP2010-228166

しかしながら、特許文献１のようなガラスフィルム積層体では、ガラス基材と支持シートの物性、例えば熱収縮率、熱膨張率、吸湿膨張率等が異なるため、製膜工程などに含まれる加熱工程やウェット工程を流れる際にガラス基材と支持シートの寸法変化が発生する。これらの寸法変化はプラスチック製の支持シートの方が大きく、寸法変化により生じる支持シート内部の応力に逃げ場がないため、ガラスフィルム積層体がカールする、すなわち反りの問題を引き起こすおそれがある。また、上記のようなカールが発生すると、ガラスフィルム積層体の搬送時において、カールによりガラスフィルム積層体の端部の位置をセンサーが正確に検出できず、位置精度が悪化する問題、ニップや挟み込み時において、カールによりガラスフィルム積層体のニップや挟み込みの位置がずれたり、折れたりする問題等を引き起こすおそれがある。 However, in the glass film laminate as in Patent Document 1, since the physical properties of the glass substrate and the support sheet, for example, the thermal contraction rate, the thermal expansion coefficient, the hygroscopic expansion coefficient, and the like are different, the heating process included in the film forming process or the like When flowing through the wet process, a dimensional change occurs between the glass substrate and the support sheet. These dimensional changes are larger in the plastic support sheet, and there is no escape from the stress in the support sheet caused by the dimensional change, which may cause the glass film laminate to curl, that is, cause a problem of warpage. In addition, when the curl as described above occurs, when the glass film laminate is transported, the sensor cannot accurately detect the position of the end of the glass film laminate due to the curl, and the position accuracy deteriorates. In some cases, the curl may cause a problem that the nip or sandwiching position of the glass film laminate is shifted or broken.

上記問題を解決するために、本発明はカールが発生しにくいガラス基材積層体を提供することを目的とする。 In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a glass substrate laminate in which curling is unlikely to occur.

本発明は、ガラス基材と、粘着層と、前記粘着層を介して前記ガラス基材に積層されたプラスチック基材とを備え、前記プラスチック基材にスリットが設けられていることを特徴とするガラス基材積層体を提供する。 The present invention comprises a glass substrate, an adhesive layer, and a plastic substrate laminated on the glass substrate via the adhesive layer, wherein the plastic substrate is provided with a slit. A glass substrate laminate is provided.

この発明によれば、ガラス基材積層体のプラスチック基材にスリットが設けられているため、ガラス基材積層体のカールの発生を防ぐことができる。そのため、ガラス基材積層体の搬送時における位置精度の悪化、ニップや挟み込み時における搬送不良、ガラス基材の損傷などを防ぐことができる。 According to this invention, since the slit is provided in the plastic substrate of the glass substrate laminate, it is possible to prevent the glass substrate laminate from being curled. Therefore, it is possible to prevent deterioration in positional accuracy during conveyance of the glass substrate laminate, conveyance failure during nip or sandwiching, damage to the glass substrate, and the like.

また、本発明のガラス基材積層体において、前記プラスチック基材のスリットが前記ガラス基材の長手方向に平行に配置されている、ようにしてもよい。 In the glass substrate laminate of the present invention, the slits of the plastic substrate may be arranged in parallel with the longitudinal direction of the glass substrate.

また、本発明のガラス基材積層体において、前記ガラス基材の厚さが０．００５ｍｍ〜０．１ｍｍである、ようにしてもよい。 Moreover, in the glass base material laminated body of this invention, you may make it the thickness of the said glass base material be 0.005 mm-0.1 mm.

また、本発明のガラス基材積層体において、前記ガラス基材の粘着層と接する側の面と反対側の面にパターンを備える、ようにしてもよい。 Moreover, in the glass base material laminated body of this invention, you may make it provide a pattern in the surface on the opposite side to the surface which contacts the adhesion layer of the said glass base material.

また、本発明のガラス基材積層体において、前記パターンがカラーフィルタである、ようにしてもよい。 In the glass substrate laminate of the present invention, the pattern may be a color filter.

本発明のガラス基材積層体によれば、プラスチック基材の寸法変化を低減することにより、ガラス基材積層体のカールの発生を防止することができる。また、ガラス基材積層体を搬送する際や製膜工程での不具合の発生を低減することができる。 According to the glass substrate laminate of the present invention, curling of the glass substrate laminate can be prevented by reducing the dimensional change of the plastic substrate. Moreover, generation | occurrence | production of the malfunction at the time of conveying a glass base material laminated body or a film forming process can be reduced.

本発明に係るガラス基材積層体の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the glass substrate laminated body which concerns on this invention. 本発明に係るガラス基材積層体に生じるカールの原理を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the principle of the curl which arises in the glass base material laminated body which concerns on this invention. 本発明に係るシート態様のプラスチック基材に設けられたスリットを示す平面図である。It is a top view which shows the slit provided in the plastic base material of the sheet | seat aspect which concerns on this invention. 本発明に係るロール態様のプラスチック基材に設けられたスリットを示す平面図である。It is a top view which shows the slit provided in the plastic base material of the roll aspect which concerns on this invention. 本発明に係るパターンが設けられたガラス基材積層体の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the glass base material laminated body provided with the pattern which concerns on this invention. 本発明に係るガラス基材積層体のカール量を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the curl amount of the glass substrate laminated body which concerns on this invention.

１．ガラス基材積層体
以下、図１により、本発明のガラス基材積層体１０について説明する。図１に示すガラス基材積層体１０は、ガラス基材１１と、粘着層１２と、粘着層１２を介してガラス基材１１に積層されたプラスチック基材１３とを備えている。そして、プラスチック基材１３にはスリット１４が設けられている。 1. Hereinafter, the glass substrate laminate 10 of the present invention will be described with reference to FIG. A glass substrate laminate 10 shown in FIG. 1 includes a glass substrate 11, an adhesive layer 12, and a plastic substrate 13 laminated on the glass substrate 11 via the adhesive layer 12. The plastic substrate 13 is provided with slits 14.

（１）ガラス基材
次に、ガラス基材１１について説明する。ガラス基材１１の材料としては、一般にディスプレイ用に用いられるソーダライムガラス、無アルカリガラス等を挙げることができる。中でも、無色で透明度が高く、線熱膨張係数が小さくて変形しにくいため無アルカリガラスを用いることが好ましい。 (1) Glass base material Next, the glass base material 11 is demonstrated. Examples of the material for the glass substrate 11 include soda lime glass and alkali-free glass that are generally used for displays. Among them, it is preferable to use an alkali-free glass because it is colorless, has high transparency, has a small linear thermal expansion coefficient, and is not easily deformed.

ガラス基材１１の厚さは、ガラス基材１１をロール状にできる程度の厚さであればよく、具体的には、一般的にガラス基材１１が可撓性を有する厚さ０．１ｍｍ以下であることが好ましい。特に、０．００５ｍｍ〜０．１ｍｍであることが好ましい。このようなガラス基材１１に後述するようなスリット１４が設けられたプラスチック基材１３を貼り合せることにより、ガラス基材積層体１０がカールすることを防ぐことができる。ガラス基材１１の厚さが０．００５ｍｍ未満の場合には、ガラス基材１１の強度が著しく低下するため、後述のプラスチック基材１３と貼り合せる際、ガラス基材１１が破損しやすくなり、ガラス基材積層体１０の生産性が低下する。ガラス基材１１の厚さが０．１ｍｍを超える場合には、ガラス基材１１の強度が増すため、プラスチック基材１３によりガラス基材１１を支持する効果が小さくなる。 The thickness of the glass base material 11 should just be the thickness which can make the glass base material 11 into a roll shape, and specifically, thickness 0.1 mm in which the glass base material 11 generally has flexibility. The following is preferable. In particular, the thickness is preferably 0.005 mm to 0.1 mm. The glass substrate laminate 10 can be prevented from curling by bonding the glass substrate 11 with a plastic substrate 13 provided with slits 14 as described later. When the thickness of the glass substrate 11 is less than 0.005 mm, the strength of the glass substrate 11 is remarkably reduced. Therefore, when the glass substrate 11 is bonded to a plastic substrate 13 described later, the glass substrate 11 is easily damaged. Productivity of the glass substrate laminate 10 is reduced. When the thickness of the glass substrate 11 exceeds 0.1 mm, the strength of the glass substrate 11 increases, so that the effect of supporting the glass substrate 11 by the plastic substrate 13 is reduced.

また、ガラス基材１１の面積は、特に制限はないが、シート状の場合は、例えば、２０ｃｍ²〜９００００ｃｍ²であることが好ましい。また、ロールｔｏロールプロセスで使用することが可能な長尺態様の場合は、例えば、幅は５ｃｍ〜２００ｃｍ、長さは３ｍ〜３０００ｍであることが好ましい。 The area of the glass substrate 11 is not particularly limited, in the case of sheet-like, for example, preferably a 20cm ^² ~90000cm ^2. Moreover, in the case of a long aspect that can be used in a roll-to-roll process, for example, the width is preferably 5 cm to 200 cm, and the length is preferably 3 m to 3000 m.

ガラス基材１１は原理的には溶融したガラスが固化する温度より高い温度において溶融したガラスを引き延ばして作ることができ、オーバーフローダウンドロー法、スロットダウンドロー法等を挙げることができる In principle, the glass substrate 11 can be made by stretching molten glass at a temperature higher than the temperature at which the molten glass solidifies, and examples thereof include an overflow down draw method and a slot down draw method.

（２）粘着層
次に、粘着層１２について説明する。粘着層１２の材料としては、ガラス基材１１とプラスチック基材１３を貼り合せることができるものであれば特に制限はなく、具体的には、アクリル系粘着剤、スチレン系粘着剤、シリコン系粘着剤等を挙げることができる。ここで、粘着層は、最終的にガラス基材１１から剥離できる層に限られず、ガラス基材１１から剥離せずにガラス基材１１に永久的又は半永久的に接着する層、すなわち接着層も包含する。 (2) Adhesive layer Next, the adhesive layer 12 is demonstrated. The material of the adhesive layer 12 is not particularly limited as long as the glass substrate 11 and the plastic substrate 13 can be bonded together. Specifically, the acrylic adhesive, the styrene adhesive, and the silicon adhesive An agent etc. can be mentioned. Here, the pressure-sensitive adhesive layer is not limited to a layer that can be finally peeled off from the glass substrate 11, and a layer that is permanently or semi-permanently bonded to the glass substrate 11 without peeling off from the glass substrate 11, that is, an adhesive layer is also used. Include.

また、粘着層１２の厚さは、０．００５ｍｍ〜０．２ｍｍであることが好ましい。粘着層１２をこの厚さの範囲にすることにより、ガラス基材１１とプラスチック基材１３を貼り合せるために必要な粘着力を十分確保することができる。 Moreover, it is preferable that the thickness of the adhesion layer 12 is 0.005 mm-0.2 mm. By setting the pressure-sensitive adhesive layer 12 within this thickness range, it is possible to sufficiently secure the pressure-sensitive adhesive force necessary for bonding the glass base material 11 and the plastic base material 13 together.

粘着層１２の形成には特に制限はなく、ガラス基材１１の一方の面に形成してもよいし、プラスチック基材１３の一方の面に形成してもよい。また、塗工方法としては、例えば、ダイコート法、コンマコート法、ナイフコート法、グラビアコート法、ロールコート法等を挙げることができる。 There is no restriction | limiting in particular in formation of the adhesion layer 12, You may form in one surface of the glass base material 11, and you may form in one surface of the plastic base material 13. FIG. Examples of the coating method include a die coating method, a comma coating method, a knife coating method, a gravure coating method, and a roll coating method.

（３）プラスチック基材
次に、プラスチック基材１３について説明する。プラスチック基材１３の材料としては、特に制限はなく、汎用的なプラスチック基材を挙げることができる。具体的には、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ナイロン６６（６６Ｎ）、アクリロニトリルブタジエンスチレン（ＡＢＳ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）等を挙げることができる。 (3) Plastic base material Next, the plastic base material 13 is demonstrated. There is no restriction | limiting in particular as a material of the plastic base material 13, A general purpose plastic base material can be mentioned. Specifically, polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyethersulfone (PES), polyimide (PI), polycarbonate (PC), polymethyl methacrylate (PMMA), polyvinyl chloride (PVC), Examples thereof include polyvinyl alcohol (PVA), nylon 66 (66N), acrylonitrile butadiene styrene (ABS), polyethylene (PE), and polypropylene (PP).

プラスチック基材１３の厚さは、特に制限はないが、シート状の場合には０．００５ｍｍ〜２ｍｍの範囲が好ましい。プラスチック基材１３の厚さが０．００５ｍｍ未満の場合には、プラスチック基材１３の強度が不十分で、ガラス基材１１を保護することができず、ガラス基材１１が破損するおそれがある。また、プラスチック基材１３の厚さが２ｍｍを超える場合には、プラスチック基材１３の可撓性が失われ、ガラス基材１１に応力が加わり、ガラス基材１１が破損する恐れがある。一方、長尺態様の場合には、０．００５ｍｍ〜０．２ｍｍの範囲がより好ましい。プラスチック基材１３の厚さが０．００５ｍｍ未満の場合には、プラスチック基材１３の強度が不十分で、ガラス基材１１を保護することができず、ガラス基材１１が破損するおそれがある。また、プラスチック基材１３の厚さが０．２ｍｍを超える場合には、ロールｔｏロールプロセスにおいて、ロール状に巻き取ることが困難になるという不具合が生じるおそれがある。 The thickness of the plastic substrate 13 is not particularly limited, but in the case of a sheet shape, a range of 0.005 mm to 2 mm is preferable. When the thickness of the plastic substrate 13 is less than 0.005 mm, the strength of the plastic substrate 13 is insufficient, the glass substrate 11 cannot be protected, and the glass substrate 11 may be damaged. . Moreover, when the thickness of the plastic base material 13 exceeds 2 mm, the plastic base material 13 loses flexibility, stress is applied to the glass base material 11, and the glass base material 11 may be damaged. On the other hand, in the case of a long mode, the range of 0.005 mm to 0.2 mm is more preferable. When the thickness of the plastic substrate 13 is less than 0.005 mm, the strength of the plastic substrate 13 is insufficient, the glass substrate 11 cannot be protected, and the glass substrate 11 may be damaged. . Moreover, when the thickness of the plastic base material 13 exceeds 0.2 mm, there exists a possibility that the malfunction that it may become difficult to wind up in roll shape in a roll to roll process may arise.

プラスチック基材１３の大きさは、ガラス基材１１の面積と同じ、またはガラス基材１１の面積よりも大きいプラスチック基材１３でガラス基材１１の一方の面を全面覆ってあることが好ましい。プラスチック基材１３がガラス基材１１の一方の面を全面覆うことができない部分があっても、ガラス基材１１を保護する機能を得ることはできるが、その場合、プラスチック基材１３がガラス基材１１の一方の面を全面覆うことができない部分は、ガラス基材１１の一方の面の面積の５％以内であることが好ましい。 The size of the plastic substrate 13 is preferably such that one surface of the glass substrate 11 is entirely covered with the plastic substrate 13 that is the same as or larger than the area of the glass substrate 11. Even if there is a part in which the plastic substrate 13 cannot cover the entire surface of the glass substrate 11, the function of protecting the glass substrate 11 can be obtained. The portion that cannot cover the entire surface of the material 11 is preferably within 5% of the area of the one surface of the glass substrate 11.

本発明に用いられるプラスチック基材１３の製造方法は、押出法、カレンダー法、溶液・エマルジョンキャスト法等を挙げることができる。 Examples of the method for producing the plastic substrate 13 used in the present invention include an extrusion method, a calendar method, a solution / emulsion cast method, and the like.

（４）スリット
次に、プラスチック基材１３に設けられているスリット１４について説明する。本発明においてスリットとは、プラスチック基材１３を貫通している開口部や切れ目のことをいう。ガラス基材１１とプラスチック基材１３を貼り合せることによりできたガラス基材積層体１０は、ガラス基材積層体１０を作製した後、加熱工程やウェット工程等が含まれる製膜工程に搬送される。ここで、加熱工程は、熱がガラス基材積層体１０に加えられる全ての工程を含み、例えば、乾燥、ポストベーク（焼成）、アニール（焼きなまし）等を挙げることができる。ウェット工程は、水がガラス基材積層体１０に接触する全ての工程を含み、例えば、洗浄工程、現像工程等を挙げることができる。 (4) Slit Next, the slit 14 provided in the plastic base material 13 is demonstrated. In the present invention, the term “slit” refers to an opening or a break that penetrates the plastic substrate 13. The glass substrate laminate 10 formed by bonding the glass substrate 11 and the plastic substrate 13 is transported to a film forming process including a heating process and a wet process after the glass substrate laminate 10 is manufactured. The Here, the heating step includes all steps in which heat is applied to the glass substrate laminate 10, and examples thereof include drying, post-baking (firing), annealing (annealing), and the like. The wet process includes all processes in which water comes into contact with the glass substrate laminate 10, and examples thereof include a cleaning process and a development process.

加熱工程やウェット工程における温度や湿度の変化により、ガラス基材積層体１０の寸法は変化する。また、加熱工程やウェット工程だけでなく、ガラス基材積層体１０が搬送される工程の環境の温度や湿度の変化によってもガラス基材積層体１０の寸法は変化する。このような寸法変化は、ガラス基材積層体１０を構成するガラス基材１１とプラスチック基材１３の物性、例えば、熱収縮率、熱膨張率、吸湿膨張率等により異なる。ガラス基材積層体１０において、ガラス基材１１よりもプラスチック基材１３の寸法変化が大きく、プラスチック基材１３の寸法変化によって生じるプラスチック基材１３内部の応力（図２中のＡ）の逃げ場が無いため、図２（a）、（ｂ）に示すように、ガラス基材積層体１０がカールするという不具合を生じるおそれがある。 The dimensions of the glass substrate laminate 10 change due to changes in temperature and humidity in the heating process and the wet process. Moreover, the dimension of the glass base material laminated body 10 changes not only with a heating process and a wet process but with the change of the temperature and humidity of the environment of the process in which the glass base material laminated body 10 is conveyed. Such a dimensional change differs depending on the physical properties of the glass substrate 11 and the plastic substrate 13 constituting the glass substrate laminate 10, for example, the thermal contraction rate, the thermal expansion coefficient, the hygroscopic expansion coefficient, and the like. In the glass substrate laminate 10, the dimensional change of the plastic substrate 13 is larger than that of the glass substrate 11, and there is a refuge for the stress (A in FIG. 2) inside the plastic substrate 13 caused by the dimensional change of the plastic substrate 13. Since there is no, there exists a possibility of producing the malfunction that the glass base material laminated body 10 curls, as shown to Fig.2 (a), (b).

ガラス基材積層体１０のプラスチック基材１３にスリット１４が設けられることにより、ガラス基材積層体１０が搬送される加熱工程、ウェット工程、環境等の温度や湿度の変化により生じるガラス基材１１とプラスチック基材１３の寸法変化の差をスリット１４が吸収する。すなわち、ガラス基材１１とプラスチック基材１３の寸法変化の差が生じて図２（a）、（ｂ）のようにカールするような場合には、スリット１４が変形して、プラスチック基材１３内部の応力Ａを緩和し、ガラス基材積層体１０がカールするという不具合の発生を防ぐことができる。そのため、ガラスフィルム積層体１０の搬送時における位置精度の悪化、ニップや挟み込み時における搬送不良、ガラス基材１１の損傷等を防ぐことができる。また、製膜工程においては、カールによりガラス基材積層体１０の平坦性が失われると、塗布工程では塗布膜厚が不均一になる問題、露光工程では露光装置ステージがガラス基材積層体１０を吸着できず装置のエラーが発生する問題、現像工程では現像液の分布が悪化することによる現像不良が発生する問題等を防ぐことができる。 By providing the slits 14 in the plastic substrate 13 of the glass substrate laminate 10, the glass substrate 11 produced by changes in temperature and humidity such as a heating process, a wet process, and an environment in which the glass substrate laminate 10 is conveyed. The slit 14 absorbs the difference in dimensional change between the plastic substrate 13 and the plastic substrate 13. That is, when a difference in dimensional change occurs between the glass substrate 11 and the plastic substrate 13 and curls as shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b), the slit 14 is deformed and the plastic substrate 13 is deformed. The internal stress A can be relieved and the occurrence of a problem that the glass substrate laminate 10 is curled can be prevented. For this reason, it is possible to prevent deterioration in positional accuracy during conveyance of the glass film laminate 10, conveyance failure during nip or pinching, damage to the glass substrate 11, and the like. Further, in the film forming process, if the flatness of the glass substrate laminate 10 is lost due to curling, the coating film thickness becomes non-uniform in the coating process, and in the exposure process, the exposure apparatus stage is the glass substrate laminate 10. It is possible to prevent the problem that the apparatus cannot be adsorbed and an error of the apparatus occurs, the problem that the development failure occurs due to the deterioration of the developer distribution in the development process, and the like.

プラスチック基材１３に設けられているスリット１４の形状については、上記応力を緩和する機能を発揮できるものであれば特に制限はなく、直線状のスリット１４（図３（ａ））や破線状のスリット１４（図３（ｂ））、多角形状または円形状、楕円形状等のスリット１４や十字形状等のスリット１４（図３（ｃ）〜図３（ｅ））等を挙げることができる。中でも、直線状のスリット１４や破線状のスリット１４を用いることがより好ましい。直線状のスリット１４や破線状のスリット１４は、プラスチック基材１３に切れ目を入れることのみで形成することができ、生産性に優れているためである。また、直線状のスリット１４や破線状のスリット１４は、ガラス基材１１がスリット１４から露出する面積を小さくすることができるため、ガラス基材積層体１０の強度の低下を防ぐことができる。また、図３（ａ）〜（ｅ）に示すように同一の形状のスリット１４がプラスチック基材１３に配置されてもよいし、２種類以上の形状のスリット１４を配置させてもよい。さらに、図３（ｃ）〜（ｅ）に示すようにプラスチック基材１３に配置されるスリット１４は、全て同じ大きさでもよいし、個々のスリット１４の大きさが異なっていてもよい。 The shape of the slit 14 provided in the plastic substrate 13 is not particularly limited as long as it can exert the function of relieving the stress, and may be a straight slit 14 (FIG. 3A) or a broken line shape. Examples thereof include a slit 14 (FIG. 3B), a slit 14 having a polygonal shape, a circular shape, an elliptical shape, or a slit 14 having a cross shape (FIGS. 3C to 3E). Among these, it is more preferable to use a linear slit 14 or a dashed slit 14. This is because the straight slit 14 and the broken slit 14 can be formed only by making a cut in the plastic base material 13 and are excellent in productivity. Moreover, since the linear slit 14 and the broken-line slit 14 can reduce the area where the glass substrate 11 is exposed from the slit 14, the strength of the glass substrate laminate 10 can be prevented from being lowered. Moreover, as shown to Fig.3 (a)-(e), the slit 14 of the same shape may be arrange | positioned at the plastic base material 13, and the slit 14 of two or more types of shapes may be arrange | positioned. Further, as shown in FIGS. 3C to 3E, all the slits 14 arranged in the plastic substrate 13 may be the same size, or the sizes of the individual slits 14 may be different.

スリット１４の形状が、図３（ｃ）〜図３（ｅ）に示すように、例えば、多角形状または円形状、楕円形状等のスリット１４の場合には、１つのスリット１４の面積は、ガラス基材積層体１０がカールすることを防ぐことができれば、特に制限はないが、１つのスリット１４の面積は１ｃｍ²以下が好ましい。１つのスリット１４の面積が１ｃｍ²よりも大きい場合は、スリット１４から露出するガラス基材１１の面積が大きくなり、プラスチック基材１３のガラス基材１１を保護する効果が低下し、ガラス基材１１が破損するおそれがあるためである。 As shown in FIGS. 3C to 3E, for example, when the slit 14 has a polygonal shape, a circular shape, an elliptical shape, or the like, the area of one slit 14 is glass. If it can prevent that the base material laminated body 10 curls, there will be no restriction | limiting in particular, The area of one slit 14 is 1 cm < ² > or less. When the area of one slit 14 is larger than 1 cm ² , the area of the glass substrate 11 exposed from the slit 14 is increased, and the effect of protecting the glass substrate 11 of the plastic substrate 13 is reduced. This is because 11 may be damaged.

プラスチック基材１３に形成されるスリット１４の数については、特に制限は無いが、通常、複数のスリット１４が用いられる。また、プラスチック基材１３に形成したスリット１４の総面積は、粘着層１２と接する側のガラス基材１１の面積の１０％以下であることが好ましい。上記面積比が１０％を超える場合は、プラスチック基材１３のガラス基材１１を保護する効果が低下し、ガラス基材１１が破損するおそれがあるためである。 Although there is no restriction | limiting in particular about the number of the slits 14 formed in the plastic base material 13, Usually, the some slit 14 is used. The total area of the slits 14 formed in the plastic substrate 13 is preferably 10% or less of the area of the glass substrate 11 on the side in contact with the adhesive layer 12. This is because when the area ratio exceeds 10%, the effect of protecting the glass substrate 11 of the plastic substrate 13 is lowered, and the glass substrate 11 may be damaged.

特に、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、ガラス基材積層体１０がロールｔｏロールプロセスに適用できる長尺態様の場合には、スリット１４は長手方向に平行に配置されることが好ましい。また、スリット１４が長手方向に平行に配置される態様としては、図４（ｃ）に示すように、個々のスリット１４は長手方向に対して傾斜して設けられている場合であっても、スリット１４が全体として長手方向に平行に配置されていればよい。ここで、長手方向とはガラス基材１１やプラスチック基材１３の長辺方向のことをいい、シート状の場合であっても同様である。ロールｔｏロールプロセスの場合、ガラス基材積層体１０は長手方向に張力がかけられているため、ガラス基材積層体１０の長手方向にカールが発生しにくくなる。一方、ガラス基材積層体１０の長手方向に垂直な幅方向には張力がかけられていないので、長手方向よりもカールが発生しやすくなる。ガラス基材積層体１０の長手方向に平行な方向にスリット１４を設けることでガラス基材積層体１０が幅方向にカールするのを防ぐことができる。 In particular, as shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b), in the case where the glass substrate laminate 10 has a long aspect that can be applied to a roll-to-roll process, the slits 14 should be arranged in parallel to the longitudinal direction. Is preferred. Further, as an aspect in which the slits 14 are arranged in parallel to the longitudinal direction, as shown in FIG. 4C, even when the individual slits 14 are provided inclined with respect to the longitudinal direction, The slit 14 should just be arrange | positioned in parallel with a longitudinal direction as a whole. Here, the longitudinal direction means the long side direction of the glass substrate 11 or the plastic substrate 13, and the same applies to the case of a sheet. In the case of a roll-to-roll process, since the glass substrate laminate 10 is tensioned in the longitudinal direction, curling is less likely to occur in the longitudinal direction of the glass substrate laminate 10. On the other hand, since no tension is applied in the width direction perpendicular to the longitudinal direction of the glass substrate laminate 10, curl is more likely to occur than in the longitudinal direction. By providing the slits 14 in the direction parallel to the longitudinal direction of the glass substrate laminate 10, it is possible to prevent the glass substrate laminate 10 from curling in the width direction.

プラスチック基材１３に形成されるスリット１４は、後述するパターンが形成される領域から外れた領域に形成されていればよく、特にプラスチック基材１３の長手方向に垂直な幅方向のプラスチック基材１３の長さに対して、１％〜１０％の長さだけプラスチック基材１３の端部より内側に形成されることが好ましい。 The slits 14 formed in the plastic substrate 13 are only required to be formed in a region deviating from a region where a pattern to be described later is formed, and in particular, the plastic substrate 13 in the width direction perpendicular to the longitudinal direction of the plastic substrate 13. It is preferable that the length of 1% to 10% is formed on the inner side of the end of the plastic substrate 13 with respect to the length.

プラスチック基材１３に設けられているスリット１４の形成方法は、カッター等により切れ込みを入れる方法やスリットの形状に加工したカッター等によりプラスチック基材１３をりくり抜いて作製する方法等を挙げることができる。スリット１４は、プラスチック基材１３に設けられてあればよく、粘着層１２にもスリット１４が設けられていても、設けられていなくてもよい。 Examples of the method of forming the slits 14 provided in the plastic substrate 13 include a method of making a cut with a cutter or the like, a method of cutting and manufacturing the plastic substrate 13 with a cutter or the like processed into a slit shape, and the like. . The slit 14 only needs to be provided in the plastic substrate 13, and the adhesive layer 12 may or may not be provided with the slit 14.

（５）パターン付きガラス基材積層体
パターン付きガラス基材積層体２０は、図５に示すように、ガラス基材積層体１０においてガラス基材１１の粘着層１２と接する側の面と反対側の面にパターン１５が設けられている。具体的なパターン１５としては、樹脂層、電極配線等の金属層、絶縁層等を設けることができる。 (5) Patterned glass substrate laminate As shown in FIG. 5, the patterned glass substrate laminate 20 is opposite to the surface of the glass substrate laminate 10 that is in contact with the adhesive layer 12 of the glass substrate 11. The pattern 15 is provided on the surface. As the specific pattern 15, a resin layer, a metal layer such as an electrode wiring, an insulating layer, or the like can be provided.

本発明のパターン付きガラス基材積層体２０のパターン１５がカラーフィルタである場合には、パターン付きガラス基材積層体２０のカールを防ぐことで、例えば、パターン１５として着色層を塗工する際にムラが生じて色が不均一になる問題や、精度良くパターンが露光されないことによる着色パターン同士のアライメント不良の問題を解決することができる。 When the pattern 15 of the patterned glass substrate laminate 20 of the present invention is a color filter, for example, when a colored layer is applied as the pattern 15 by preventing curling of the patterned glass substrate laminate 20. It is possible to solve the problem of unevenness in color due to unevenness in color and the problem of poor alignment between colored patterns due to the pattern not being accurately exposed.

２．ガラス基材積層体の製造方法
本発明に係るガラス基材積層体１０の製造方法は、ガラス基材１１を準備する工程と、粘着層１２が一方の面に設けられ、かつスリット１４が設けられているプラスチック基材１３を準備する工程と、ガラス基材１１とプラスチック基材１３とを粘着層１２を介して貼り合せる工程と、を有する。この製造方法は、上記した本発明に係るガラス基材積層体１０をロールｔｏロールプロセスにて製造するための一態様である。なお、上記した本発明に係るガラス基材積層体１０は他の方法で製造したものであってもよい。 2. The manufacturing method of the glass base material laminated body The manufacturing method of the glass base material laminated body 10 which concerns on this invention is the process of preparing the glass base material 11, the adhesion layer 12 is provided in one surface, and the slit 14 is provided. A step of preparing the plastic base material 13 and a step of bonding the glass base material 11 and the plastic base material 13 via the adhesive layer 12. This manufacturing method is an embodiment for manufacturing the glass substrate laminate 10 according to the present invention described above by a roll-to-roll process. The glass substrate laminate 10 according to the present invention described above may be manufactured by other methods.

以下、長尺態様のガラス基材積層体１０の製造方法について、各工程を詳細に説明する。 Hereinafter, each process is demonstrated in detail about the manufacturing method of the glass substrate laminated body 10 of an elongate aspect.

ガラス基材１１を準備する工程としては、前述したガラス基材１１の製造方法によりできたガラス基材１１はロール状に巻き取られ、ガラス基材ロールとして、ラミネーター等の貼合装置に取り付けられる。 As a process for preparing the glass substrate 11, the glass substrate 11 made by the above-described method for producing the glass substrate 11 is wound into a roll and attached as a glass substrate roll to a laminating device such as a laminator. .

粘着層１２が一方の面に設けられ、かつスリット１４が設けられているプラスチック基材１３を準備する工程としては、粘着層１２が一方の面に設けられ、かつスリット１４が設けられたプラスチック基材１３は、粘着層１２が半径方向外側を向いて配置されるようにロール状に巻き取られ、粘着層及びスリットが設けられたプラスチック基材ロールとしてラミネーター等の貼合装置に取り付けられる。また、プラスチック基材１３の製造方法、プラスチック基材１３の一方の面に粘着層１２を形成する方法、プラスチック基材１３にスリット１４を設ける方法ついては、前述の通りである。 The step of preparing the plastic substrate 13 provided with the adhesive layer 12 on one surface and provided with the slit 14 includes a plastic substrate provided with the adhesive layer 12 on one surface and provided with the slit 14. The material 13 is wound into a roll shape so that the adhesive layer 12 is arranged facing outward in the radial direction, and is attached to a laminator or other laminating device as a plastic substrate roll provided with an adhesive layer and a slit. The method for producing the plastic substrate 13, the method for forming the adhesive layer 12 on one surface of the plastic substrate 13, and the method for providing the slits 14 in the plastic substrate 13 are as described above.

ガラス基材１１とプラスチック基材１３とを粘着層１２を介して貼り合せる工程としては、ラミネーター等の貼合装置に取り付けられたガラス基材ロールとプラスチック基材ロールから繰り出された、ガラス基材１１とプラスチック基材１３は搬送され、ニップローラ等により粘着層１２を介して貼り合わされる。 As a process of bonding the glass substrate 11 and the plastic substrate 13 through the adhesive layer 12, a glass substrate fed from a glass substrate roll and a plastic substrate roll attached to a laminating device such as a laminator. 11 and the plastic substrate 13 are conveyed and bonded together via the adhesive layer 12 by a nip roller or the like.

貼り合わされたガラス基材積層体１０は巻き取られ、ロール状のガラス基材積層体１０となる。 The laminated glass substrate laminate 10 is wound up to form a roll-shaped glass substrate laminate 10.

この製造方法で製造されたガラス基材積層体１０は、温度や湿度の変化による生じるガラス基材１１とプラスチック基材１３の寸法変化の差をプラスチック基材１３に設けられたスリット１４が緩和することで、ガラス基材積層体１０を搬送等した際にカールが発生するとういう不具合を防ぐことができる。 In the glass substrate laminate 10 manufactured by this manufacturing method, the slit 14 provided in the plastic substrate 13 relieves the difference in dimensional change between the glass substrate 11 and the plastic substrate 13 caused by changes in temperature and humidity. Thus, it is possible to prevent a problem that curling occurs when the glass substrate laminate 10 is conveyed.

以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明する。なお、本発明は以下の実施例で得られた内容のみには限定されない。以下の実施例と比較例では、ガラス基材積層体１０を製造した。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. The present invention is not limited to the contents obtained in the following examples. In the following examples and comparative examples, a glass substrate laminate 10 was produced.

（実施例１）
ガラス基材１１として、厚さ０．０７ｍｍ、幅１００ｍｍ、長さ１００ｍｍのシート状のガラス基材１１（日本電気硝子製ＯＡ−１０Ｇ）を準備した。また、粘着層１２及びプラスチック基材１３として、厚さ０．０６ｍｍ、幅１５０ｍｍ、長さ１００ｍｍのシート状の粘着層付きポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）基材（日東電工製ＲＴ２０７）を準備した。カッターを用いて、粘着層１２付きプラスチック基材１３の幅方向に平行に、長さ１３０ｍｍのスリット１４を粘着層１２付きプラスチック基材１３の両端にそれぞれ５ｍｍ間隔で３本形成した（図３（ａ））。 Example 1
As the glass substrate 11, a sheet-shaped glass substrate 11 (OA-10G manufactured by Nippon Electric Glass) having a thickness of 0.07 mm, a width of 100 mm, and a length of 100 mm was prepared. Moreover, as the adhesive layer 12 and the plastic substrate 13, a sheet-like polyethylene terephthalate (PET) substrate with an adhesive layer having a thickness of 0.06 mm, a width of 150 mm, and a length of 100 mm (RT207 manufactured by Nitto Denko) was prepared. Using a cutter, three slits 14 each having a length of 130 mm were formed at both ends of the plastic substrate 13 with the adhesive layer 12 at intervals of 5 mm in parallel to the width direction of the plastic substrate 13 with the adhesive layer 12 (FIG. 3 ( a)).

次に、ハンドローラーを用いて、ガラス基材１１とスリット１４を形成した粘着層１２付きプラスチック基材１３をラミネートした。ガラス基材１１よりはみ出した粘着層１２付きプラスチック基材１３を切除し、ガラス基材積層体１０を作製した。なお、貼り合せの方向は、ハンドローラーの進行方向に対して、粘着層１２付きプラスチック基材１３は長辺（１５０ｍｍ）方向が垂直になるよう配置した。 Next, the plastic base material 13 with the adhesion layer 12 in which the glass base material 11 and the slit 14 were formed was laminated using the hand roller. The plastic base material 13 with the adhesive layer 12 protruding from the glass base material 11 was cut out to produce a glass base material laminate 10. In addition, as for the direction of bonding, the plastic base material 13 with the adhesion layer 12 was arrange | positioned so that a long side (150 mm) direction might become perpendicular | vertical with respect to the advancing direction of a hand roller.

次に、貼り合せたガラス基材積層体１０をクリーンオーブン（エスペック製ＰＶＨＣ−３３２）にて２００℃×１５分加熱し、その後、空気中において放冷してガラス基材積層体１０を作製した（サンプル１）。 Next, the laminated glass substrate laminate 10 was heated at 200 ° C. for 15 minutes in a clean oven (PVC-332 manufactured by ESPEC), and then allowed to cool in the air to produce a glass substrate laminate 10. (Sample 1).

（比較例１）
実施例１において、スリット１４を形成しないこと以外は実施例１と同様にして、ガラス基材積層体１０を作製した（サンプル２）。 (Comparative Example 1)
In Example 1, a glass substrate laminate 10 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the slits 14 were not formed (Sample 2).

（評価）
ガラス基材積層体１０を室温（２５℃）まで冷却した後、ガラス面を凸側にカールしたサンプル１及びサンプル２のカール量を比較した。図６に示すように、カール量は、平坦な机の上にガラス基材積層体１０が上に凸の状態になるように置き、平坦な机とガラス基材積層体１０の辺の浮いた距離Ｌを定規により測定した。測定の結果、サンプル１のカール量は１３ｍｍであったのに対し、サンプル２のカール量は１６ｍｍであった。スリット１４が形成されているガラス基材積層体１０（サンプル１）のカール量が低減したことを確認した。
（実施例２） (Evaluation)
After the glass substrate laminate 10 was cooled to room temperature (25 ° C.), the curl amounts of Sample 1 and Sample 2 in which the glass surface was curled to the convex side were compared. As shown in FIG. 6, the curl amount is placed on a flat desk so that the glass base laminate 10 is in a convex state, and the sides of the flat desk and the glass base laminate 10 are lifted. The distance L was measured with a ruler. As a result of the measurement, the curl amount of Sample 1 was 13 mm, whereas the curl amount of Sample 2 was 16 mm. It was confirmed that the curl amount of the glass substrate laminate 10 (sample 1) in which the slits 14 were formed was reduced.
(Example 2)

ガラス基材１１として、厚さ０．０７ｍｍ、幅３００ｍｍ、長さ１０ｍのロール状のガラス基材１１（日本電気硝子製ＯＡ−１０Ｇ）を準備した。また、粘着層１２及びプラスチック基材１３として、厚さ０．０６ｍｍ、幅３００ｍｍ、長さ１０ｍのロール状の粘着層１２付きポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）基材（日東電工製ＲＴ２０７）を準備した。スリッター（ＤＮＫ製ＲＭ０３０３ＴＫ）を用いて、プラスチック基材１３の粘着層１２が形成されていない側の面に長さ３００ｍｍのスリット１４を１０ｍｍ間隔で破線状に長さ方向と平行になるようにプラスチック基材１３の両端に３本ずつ形成した（図４（ａ））。 As the glass substrate 11, a roll-shaped glass substrate 11 (OA-10G manufactured by Nippon Electric Glass) having a thickness of 0.07 mm, a width of 300 mm, and a length of 10 m was prepared. Further, as the adhesive layer 12 and the plastic substrate 13, a roll-shaped polyethylene terephthalate (PET) substrate (Nitto Denko RT207) with an adhesive layer 12 having a thickness of 0.06 mm, a width of 300 mm, and a length of 10 m was prepared. Using a slitter (RM0303TK made by DNK), a plastic substrate 13 is formed so that slits 14 having a length of 300 mm are parallel to the lengthwise direction at 10 mm intervals on the surface on which the adhesive layer 12 is not formed. Three pieces were formed on both ends of the base material 13 (FIG. 4A).

次に、ラミネーター（ＤＮＫ製ＬＭ−２０３−ＳＢ）を用いて、ガラス基材１１とスリット１４を形成した粘着層１２付きプラスチック基材１３をラミネートし、ガラス基材積層体１０を作製した。 Next, using a laminator (DNK LM-203-SB), the glass substrate 11 and the plastic substrate 13 with the adhesive layer 12 having the slits 14 were laminated to produce a glass substrate laminate 10.

次に、貼り合せたガラス基材積層体１０をクリーンオーブン（エスペック製ＰＶＨＣ−３３２）にて２００℃×１５分加熱し、その後、空気中において放冷してガラス基材積層体１０を作製した（サンプル３）。 Next, the laminated glass substrate laminate 10 was heated at 200 ° C. for 15 minutes in a clean oven (PVC-332 manufactured by ESPEC), and then allowed to cool in the air to produce a glass substrate laminate 10. (Sample 3).

（比較例２）
実施例２において、スリット１４を形成しないこと以外は実施例２と同様にして、ガラス基材積層体１０を作製した（サンプル４）。 (Comparative Example 2)
In Example 2, a glass substrate laminate 10 was produced in the same manner as in Example 2 except that the slits 14 were not formed (Sample 4).

（評価）
ガラス基材積層体１０を室温（２５℃）まで冷却した後、ロールｔｏロールマスク露光装置（ＤＮＫ製）にてフォトマスク露光の工程を実施したところ、サンプル３は不具合なく、露光ステージに吸着され、露光工程を行うことができた。一方、サンプル４は、幅方向（３００ｍｍの方向）のカール量が大きいため、露光ステージに吸着することができず、露光工程を行うことができなかった。 (Evaluation)
After cooling the glass substrate laminate 10 to room temperature (25 ° C.), a photomask exposure process was performed using a roll-to-roll mask exposure apparatus (manufactured by DNK). Sample 3 was adsorbed to the exposure stage without any defects. The exposure process could be performed. On the other hand, since the curl amount in the width direction (300 mm direction) of Sample 4 was large, the sample 4 could not be attracted to the exposure stage, and the exposure process could not be performed.

１０ガラス基材積層体
１１ガラス基材
１２粘着層
１３プラスチック基材
１４スリット
１５パターン
２０パターン付きガラス基材積層体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Glass base material laminated body 11 Glass base material 12 Adhesive layer 13 Plastic base material 14 Slit 15 Pattern 20 Patterned glass base material laminated body

Claims

A glass substrate laminate comprising: a glass substrate; an adhesive layer; and a plastic substrate laminated on the glass substrate via the adhesive layer, wherein the plastic substrate is provided with a slit. body.

The glass substrate laminate according to claim 1, wherein the slits of the plastic substrate are arranged in parallel to the longitudinal direction of the glass substrate.

The glass substrate laminate according to claim 1 or 2, wherein the glass substrate has a thickness of 0.005 mm to 0.1 mm.

The pattern is provided in the surface on the opposite side to the surface which contact | connects the adhesion layer of the said glass substrate, The glass substrate laminated body with a pattern of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned.

The said pattern is a color filter, The glass base material laminated body with a pattern of Claim 4 characterized by the above-mentioned.