JP2012209095A - Display device and manufacturing method of the same - Google Patents
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Abstract
【課題】電源電圧の不均一による画面内のムラを抑えると共に、非発光点などの品質不良への影響を抑えることが可能な表示装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】基板の表示領域内に設けられた複数の第1電極と、複数の第1電極の間の電極間領域に設けられた補助電極と、電極間領域に、補助電極の外形線の一部に沿って設けられた隔壁と、表示領域に設けられると共に、隔壁の補助電極に沿う側面および補助電極の上面を露出させている、発光層を含む有機層と、有機層の上面および補助電極の上面に設けられた第2電極とを備えた表示装置。
【選択図】図11A display device capable of suppressing unevenness in a screen due to nonuniformity of a power supply voltage and suppressing an influence on a quality defect such as a non-light emitting point, and a manufacturing method thereof.
A plurality of first electrodes provided in a display area of a substrate, an auxiliary electrode provided in an inter-electrode area between the plurality of first electrodes, and an outline of the auxiliary electrode in the inter-electrode area. An organic layer including a light-emitting layer, an upper surface of the organic layer, and an auxiliary layer that are provided along a part of the barrier rib, are provided in the display region, and exposes a side surface along the auxiliary electrode of the barrier rib and an upper surface of the auxiliary electrode. A display device comprising: a second electrode provided on an upper surface of the electrode.
[Selection] Figure 11
Description
本開示は、有機EL(Electroluminescence)素子を有する表示装置およびその製造方法に関する。 The present disclosure relates to a display device having an organic EL (Electroluminescence) element and a manufacturing method thereof.
有機EL素子は、基板に第1電極,発光層を含む有機層および第2電極を順に積層した構成を有している。有機層の形成方法としては、例えば、画素毎の開口が設けられた蒸着マスクを用いて赤,緑および青の各色発光層を別々に蒸着する方法と、有効表示画素領域全体が開口された蒸着マスクを用いて、赤,緑および青の発光層を積層する方法とがある。高解像度、開口率向上が求められている表示装置では、今後、後者の方式が主流になると考えられる。 The organic EL element has a configuration in which a first electrode, an organic layer including a light emitting layer, and a second electrode are sequentially stacked on a substrate. Examples of the method for forming the organic layer include a method in which red, green, and blue light emitting layers are separately deposited using a deposition mask provided with an opening for each pixel, and a method in which the entire effective display pixel region is opened. There is a method in which red, green and blue light emitting layers are laminated using a mask. In the display devices that are required to have high resolution and improved aperture ratio, the latter method will be the mainstream in the future.
複数の発光層を積層する方式では、有機層がすべての有機EL素子に共通に設けられているので、第2電極での電源電圧供給は表示領域周辺のコンタクト領域のみで行われることになる。そのため、表示領域中央付近では、第2電極の電気抵抗が高くなってしまい、十分な電源電圧が供給されず、画面内のムラとなって表示品位が低下する。特に表示装置の大型化が進むにつれて、この問題は顕著に現れてくる。 In the method of laminating a plurality of light emitting layers, since the organic layer is provided in common to all organic EL elements, the power supply voltage is supplied to the second electrode only in the contact region around the display region. For this reason, the electrical resistance of the second electrode becomes high near the center of the display area, and a sufficient power supply voltage is not supplied, resulting in unevenness in the screen and lowering the display quality. In particular, as the size of the display device increases, this problem becomes prominent.
例えば特許文献1および特許文献2では、各有機EL素子毎に補助電極を設け、有機層を蒸着したのちに、レーザを用いて補助電極上の有機層を除去し、第2電極と補助電極との電気的接続を確保する方法が提案されている。 For example, in Patent Document 1 and Patent Document 2, an auxiliary electrode is provided for each organic EL element, an organic layer is deposited, an organic layer on the auxiliary electrode is removed using a laser, and the second electrode, the auxiliary electrode, A method for securing the electrical connection of the device has been proposed.
しかしながら、特許文献1および特許文献2に記載された従来の方法では、レーザで除去された有機物がダスト(塵)となり、ダークスポット(非発光点)等、品質不良への影響が懸念されていた。 However, in the conventional methods described in Patent Document 1 and Patent Document 2, the organic matter removed by the laser becomes dust, and there is a concern about the influence on quality defects such as dark spots (non-light emitting points). .
本開示の目的は、電源電圧の不均一による画面内のムラを抑えると共に、非発光点などの品質不良への影響を抑えることが可能な表示装置およびその製造方法を提供することにある。 An object of the present disclosure is to provide a display device and a method for manufacturing the same that can suppress unevenness in a screen due to non-uniform power supply voltage and can suppress the influence on quality defects such as non-light emitting points.
本開示による表示装置は、以下の(A)〜(E)の構成要素を備えたものである。
(A)基板の表示領域内に設けられた複数の第1電極
(B)複数の第1電極の間の電極間領域に設けられた補助電極
(C)電極間領域に、補助電極の外形線の一部に沿って設けられた隔壁
(D)表示領域に設けられると共に、隔壁の補助電極に沿う側面および補助電極の上面を露出させている、発光層を含む有機層
(E)有機層の上面および補助電極の上面に設けられた第2電極
A display device according to the present disclosure includes the following components (A) to (E).
(A) A plurality of first electrodes provided in the display area of the substrate (B) An auxiliary electrode provided in an interelectrode area between the plurality of first electrodes (C) An outline of the auxiliary electrode in the interelectrode area Of the organic layer (E) including the light emitting layer, which is provided in the partition (D) display region provided along a part of the surface and exposes the side surface of the partition along the auxiliary electrode and the upper surface of the auxiliary electrode. Second electrode provided on upper surface and upper surface of auxiliary electrode
本開示の表示装置では、有機層は隔壁の補助電極に沿う側面および補助電極の上面を露出させており、第2電極は有機層の上面および補助電極の上面に設けられている。よって、第2電極と補助電極とが補助電極の上面で電気的に接続され、電源電圧の不均一による画面内のムラが抑えられる。 In the display device of the present disclosure, the organic layer exposes the side surface along the auxiliary electrode of the partition wall and the upper surface of the auxiliary electrode, and the second electrode is provided on the upper surface of the organic layer and the upper surface of the auxiliary electrode. Therefore, the second electrode and the auxiliary electrode are electrically connected on the upper surface of the auxiliary electrode, and unevenness in the screen due to nonuniform power supply voltage is suppressed.
本開示による表示装置の製造方法は、以下の(A)〜(E)の工程を含むものである。
(A)基板の表示領域内に複数の第1電極を形成する工程
(B)複数の第1電極の間の電極間領域に補助電極を形成する工程
(C)電極間領域に、補助電極の外形線の一部に沿って隔壁を形成する工程
(D)表示領域に、発光層を含む有機層を斜め蒸着法により形成すると共に、隔壁の補助電極に沿う側面および補助電極の上面を有機層から露出させる工程
(E)有機層の上面に第2電極を形成すると共に、隔壁および補助電極の有機層から露出した領域を第2電極により被覆する工程
A manufacturing method of a display device according to the present disclosure includes the following steps (A) to (E).
(A) A step of forming a plurality of first electrodes in the display region of the substrate (B) A step of forming an auxiliary electrode in the inter-electrode region between the plurality of first electrodes (C) A step of forming the auxiliary electrode in the inter-electrode region Step (D) of forming a partition wall along a part of the outer shape line. In the display region, an organic layer including a light emitting layer is formed by oblique deposition, and the side surface along the auxiliary electrode of the partition wall and the upper surface of the auxiliary electrode are formed on the organic layer. (E) forming the second electrode on the upper surface of the organic layer, and covering the regions exposed from the organic layer of the partition walls and the auxiliary electrode with the second electrode
本開示の表示装置によれば、有機層は隔壁の補助電極に沿う側面および補助電極の上面を露出させており、第2電極は有機層の上面および補助電極の上面に設けられているようにしている。よって、第2電極と補助電極とを補助電極の上面で電気的に接続し、電源電圧の不均一による画面内のムラを抑えることが可能となる。 According to the display device of the present disclosure, the organic layer exposes the side surface along the auxiliary electrode of the partition wall and the upper surface of the auxiliary electrode, and the second electrode is provided on the upper surface of the organic layer and the upper surface of the auxiliary electrode. ing. Therefore, it is possible to electrically connect the second electrode and the auxiliary electrode on the upper surface of the auxiliary electrode, and to suppress unevenness in the screen due to nonuniform power supply voltage.
本開示の表示装置の製造方法によれば、表示領域に、発光層を含む有機層を斜め蒸着法により形成すると共に、隔壁の補助電極に沿う側面および補助電極の上面を有機層から露出させたのち、有機層の上面に第2電極を形成すると共に、隔壁および補助電極の有機層から露出した領域を第2電極により被覆するようにしている。よって、第2電極と補助電極とを補助電極の上面で電気的に接続し、電源電圧の不均一による画面内のムラを抑えることが可能となる。また、補助電極の上面には有機層は形成されないので、レーザを用いて補助電極上の有機層を除去する必要はなくなる。従って、レーザで除去された有機物のダストに起因する非発光点などの品質不良への影響を抑えることが可能となる。 According to the manufacturing method of the display device of the present disclosure, the organic layer including the light emitting layer is formed in the display region by the oblique deposition method, and the side surface along the auxiliary electrode of the partition wall and the upper surface of the auxiliary electrode are exposed from the organic layer. After that, the second electrode is formed on the upper surface of the organic layer, and the regions exposed from the organic layer of the partition walls and the auxiliary electrode are covered with the second electrode. Therefore, it is possible to electrically connect the second electrode and the auxiliary electrode on the upper surface of the auxiliary electrode, and to suppress unevenness in the screen due to nonuniform power supply voltage. Further, since the organic layer is not formed on the upper surface of the auxiliary electrode, it is not necessary to remove the organic layer on the auxiliary electrode using a laser. Therefore, it is possible to suppress the influence on quality defects such as non-light emitting points caused by organic dust removed by the laser.
以下、本開示の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
1.実施の形態(各画素につき一組の補助電極および隔壁を設けた例)
2.変形例1(隔壁を、矩形の三辺をなす形状とした例)
3.変形例2(各副画素につき一組の補助電極および隔壁を設けた例)
4.変形例3(各画素につき一組の補助電極および隔壁を、第1電極の行間の領域に設けた例)
5.変形例4(各副画素につき一組の補助電極および隔壁を、第1電極の行間の領域に設けた例)
6.変形例5(各画素につき一組の補助電極および隔壁を、第1電極の列間の領域に設けた例)
7.変形例6(各副画素につき一組の補助電極および隔壁を、第1電極の列間の領域に設けた例)
Hereinafter, embodiments of the present disclosure will be described in detail with reference to the drawings. The description will be given in the following order.
1. Embodiment (Example in which a set of auxiliary electrode and partition is provided for each pixel)
2. Modification 1 (Example in which the partition wall has a rectangular shape on three sides)
3. Modification 2 (example in which a set of auxiliary electrodes and partition walls are provided for each sub-pixel)
4). Modification 3 (example in which a set of auxiliary electrodes and partition walls are provided in the region between the rows of the first electrodes for each pixel)
5. Modification 4 (example in which a set of auxiliary electrodes and partition walls are provided in the region between the rows of the first electrodes for each sub-pixel)
6). Modification 5 (Example in which a set of auxiliary electrodes and partition walls is provided for each pixel in the region between the columns of the first electrodes)
7). Modification 6 (example in which a set of auxiliary electrodes and partition walls are provided in the region between the first electrode columns for each sub-pixel)
図1は、本開示の一実施の形態に係る表示装置の構成を表したものである。この表示装置は、有機ELテレビジョン装置などに用いられるものであり、例えば、ガラスなどの基板11の上に、後述する複数の有機EL素子10R,10G,10Bがマトリクス状に配置されてなる表示領域110が設けられたものである。表示領域110の周辺には、映像表示用のドライバである信号線駆動回路120および走査線駆動回路130が設けられている。
FIG. 1 illustrates a configuration of a display device according to an embodiment of the present disclosure. This display device is used for an organic EL television device or the like. For example, a display in which a plurality of
表示領域110内には画素駆動回路140が設けられている。図2は、画素駆動回路140の一例を表したものである。この画素駆動回路140は、後述する第1電極20の下層に設けられたアクティブ型の駆動回路である。画素駆動回路140は、例えば、駆動トランジスタTr1および書き込みトランジスタTr2と、キャパシタ(保持容量)Csと、第1の電源ライン(Vcc)および第2の電源ライン(GND)の間において駆動トランジスタTr1に直列に接続された有機EL素子10R,10G,10Bとを有している。キャパシタCsの一方の電極は駆動トランジスタTr1および書き込みトランジスタTr2の間に接続され、他方の電極は駆動トランジスタTr1および有機EL素子10R,10G,10Bとの間に接続されている。
A
画素駆動回路140において、列方向には信号線120Aが複数配置され、行方向には走査線130Aが複数配置されている。各信号線120Aと各走査線130Aとの交差点が、有機EL素子10R,10G,10Bのいずれか一つ(副画素)に対応している。各信号線120Aは、信号線駆動回路120に接続され、この信号線駆動回路120から信号線120Aを介して書き込みトランジスタTr2のソース電極に画像信号が供給されるようになっている。各走査線130Aは走査線駆動回路130に接続され、この走査線駆動回路130から走査線130Aを介して書き込みトランジスタTr2のゲート電極に走査信号が順次供給されるようになっている。
In the
図3は、図1に示した表示領域110の一部の平面構成を表したものであり、図4は、図3の一部を拡大して表したものである。基板11の表示領域110内には、複数の有機EL素子10R,10G,10Bの第1電極20が、行列状に、互いに離間して配置されている。第1電極20は一方向に長い矩形形状を有しており、短辺に平行な行方向には、異なる色の有機EL素子10R,10G,10Bの第1電極20が順に配列されている。長辺に平行な列方向には、同一色の有機EL素子10R(または10G,10B)の第1電極20が配列されている。
FIG. 3 shows a plan configuration of a part of the
隣り合う三つの有機EL素子10R,10G,10Bは一つの画素10を構成しており、各有機EL素子10R,10G,10Bは一つの副画素を構成している。画素10の行方向におけるピッチ(中心間距離)pは、例えば、対角寸法40インチの場合には228μmである。第1電極20の行方向の間隔L1は、例えば30μm程度であり、列方向の間隔L2は、例えば50μmないし60μm程度である。
Three adjacent
第1電極20は、複数の有機EL素子10R,10G,10Bの各々ごとに設けられている。第1電極20は、例えば、厚みが50nm程度のチタン(Ti)層と、厚みが350nm程度のAl−Nd合金層とを基板11側からこの順に積層した構成を有し、発光層で発生した光を第2電極70側から取り出すようになっている(トップエミッション)。なお、第1電極20の構成材料としては、アルミニウム(Al)またはその合金のほか、金(Au),白金(Pt),ニッケル(Ni),クロム(Cr),銅(Cu),タングステン(W),モリブデン(Mo)あるいは銀(Ag)などの金属元素の単体または合金よりなる反射電極が挙げられる。
The
図5は、図4のV−V線における表示領域110の断面構成を表したものである。なお、図5以降の断面図では、図1に示した信号線駆動回路120,走査線駆動回路130,画素駆動回路140およびこれらを被覆する平坦化絶縁膜を省略している。第1電極20は、画素間領域20Aに設けられた絶縁膜30により、互いに電気的に分離されている。第1電極20および絶縁膜30上には、発光層を含む有機層40と、第2電極50とが、第1電極20の側からこの順に設けられている。有機層40は、表示領域110の全体に設けられている。第2電極50は、有機層40の上面に設けられている。第1電極20と第2電極50との間に有機層40が挟持されている部分が、上述した有機EL素子10R,10G,10Bを構成している。
FIG. 5 illustrates a cross-sectional configuration of the
絶縁膜30は、第1電極20と第2電極50との絶縁性を確保すると共に発光領域を正確に所望の形状にするためのものである。絶縁膜30は、第1電極20の発光領域に対応して開口部30Aを有している。絶縁膜30は、例えば、厚みが2μm(2000nm)程度であり、ポリイミドなどの感光性絶縁材料により構成されている。
The insulating
有機層40は、第1電極20および絶縁膜30の上に、表示領域110の全体にわたり複数の有機EL素子10R,10G,10Bに共通に設けられている。有機層40は、例えば、第1電極20の側から順に、正孔注入層,正孔輸送層,発光層および電子輸送層を積層した構成を有している。
The
正孔注入層は、正孔注入効率を高めるためのものであると共に、リークを防止するためのバッファ層である。正孔注入層は、例えば、厚みが2nmないし10nmであり、化1に示したヘキサトリルアザトリフェニレンにより構成されている。 The hole injection layer is a buffer layer for improving hole injection efficiency and preventing leakage. The hole injection layer has a thickness of 2 nm to 10 nm, for example, and is composed of hexatolylazatriphenylene shown in Chemical formula 1.
正孔輸送層は、発光層への正孔注入効率を高めるためのものである。正孔輸送層は、例えば、厚みが30nmであり、化2に示した材料により構成されている。 The hole transport layer is for increasing the efficiency of hole injection into the light emitting layer. The hole transport layer has a thickness of 30 nm, for example, and is made of the material shown in Chemical Formula 2.
発光層は、例えば、第1電極20の側から順に、厚み10nmの赤色発光層、厚み10nmの発光分離層、厚み10nmの青色発光層、および厚み10nmの緑色発光層(いずれも図示せず)を順に積層した白色発光用のものである。赤色発光層は、電界をかけることにより、第1電極20から正孔注入層および正孔輸送層を介して注入された正孔の一部と、第2電極50から電子輸送層を介して注入された電子の一部とが再結合して、赤色の光を発生するものである。発光分離層は、赤色発光層への電子供給量を減らすためのものである。青色発光層は、電界をかけることにより、第1電極20から正孔注入層,正孔輸送層および発光分離層を介して注入された正孔の一部と、第2電極50から電子輸送層を介して注入された電子の一部とが再結合して、青色の光を発生するものである。緑色発光層は、電界をかけることにより、第1電極20から正孔注入層,正孔輸送層および発光分離層を介して注入された正孔の一部と、第2電極50から電子輸送層を介して注入された電子の一部とが再結合して、緑色の光を発生するものである。赤色発光層,緑色発光層および青色発光層は、絶縁膜30の開口部30Aに対応した領域で発光するようになっている。
The light emitting layer is, for example, sequentially from the
赤色発光層は、例えば、赤色発光材料,正孔輸送性材料,電子輸送性材料および両電荷輸送性材料のうち少なくとも1種を含んでいる。赤色発光材料は、蛍光性のものでも燐光性のものでもよい。具体的には、赤色発光層は、例えば、厚みが5nm程度であり、4,4−ビス(2,2−ジフェニルビニン)ビフェニル(DPVBi)に2,6−ビス[(4’−メトキシジフェニルアミノ)スチリル]−1,5−ジシアノナフタレン(BSN)を30重量%混合したものにより構成されている。 The red light emitting layer includes, for example, at least one of a red light emitting material, a hole transporting material, an electron transporting material, and a both charge transporting material. The red light emitting material may be fluorescent or phosphorescent. Specifically, the red light emitting layer has a thickness of, for example, about 5 nm, and 4,4-bis (2,2-diphenylbinine) biphenyl (DPVBi) is added to 2,6-bis [(4′-methoxydiphenyl). Amino) styryl] -1,5-dicyanonaphthalene (BSN) mixed with 30% by weight.
発光分離層は、例えば、化3に示した材料により構成されている。 The light emitting separation layer is made of, for example, the material shown in Chemical formula 3.
緑色発光層は、例えば、緑色発光材料,正孔輸送性材料,電子輸送性材料および両電荷輸送性材料のうち少なくとも1種を含んでいる。緑色発光材料は、蛍光性のものでも燐光性のものでもよい。具体的には、緑色発光層は、例えば、厚みが10nm程度であり、DPVBiにクマリン6を5重量%混合したものにより構成されている。 The green light emitting layer includes, for example, at least one of a green light emitting material, a hole transporting material, an electron transporting material, and a charge transporting material. The green light emitting material may be fluorescent or phosphorescent. Specifically, the green light emitting layer has a thickness of about 10 nm, for example, and is composed of DPVBi mixed with 5% by weight of coumarin 6.
青色発光層は、例えば、青色発光材料,正孔輸送性材料,電子輸送性材料および両電荷輸送性材料のうち少なくとも1種とを含んでいる。青色発光材料は、蛍光性のものでも燐光性のものでもよい。具体的には、青色発光層は、例えば、厚みが30nm程度であり、DPVBiに4,4’−ビス[2−{4−(N,N−ジフェニルアミノ)フェニル}ビニル]ビフェニル(DPAVBi)を2.5重量%混合したものにより構成されている。 The blue light emitting layer includes, for example, at least one of a blue light emitting material, a hole transporting material, an electron transporting material, and a charge transporting material. The blue light emitting material may be fluorescent or phosphorescent. Specifically, the blue light emitting layer has a thickness of about 30 nm, for example, and 4,4′-bis [2- {4- (N, N-diphenylamino) phenyl} vinyl] biphenyl (DPAVBi) is added to DPVBi. It is composed of a mixture of 2.5% by weight.
電子輸送層は、発光層への電子注入効率を高めるためのものである。電子輸送層は、例えば、厚みが20nm程度であり、8−ヒドロキシキノリンアルミニウム(Alq3 )により構成されている。 The electron transport layer is for increasing the efficiency of electron injection into the light emitting layer. The electron transport layer has, for example, a thickness of about 20 nm and is made of 8-hydroxyquinoline aluminum (Alq3).
第2電極50は、有機層40の上面に、表示領域110の全体にわたり複数の有機EL素子10R,10G,10Bに共通に設けられている。第2電極50は、例えば、第1電極20の側から順に、厚みが約0.3nmでありフッ化リチウム(LiF)よりなる第1層と、厚みが3nmでありカルシウム(Ca)よりなる第2層と、厚みが5nmでありMg−Ag合金よりなる第3層とを積層した構成を有している。第2電極50は、表示領域110の外側の領域で、図示しない補助配線に接続されている。この補助配線は、表示領域110を囲む枠状の導電膜により構成されている。
The
このような有機EL素子10R,10G,10Bは、必要に応じて、窒化ケイ素(SiN)などの保護膜(図示せず)により被覆されている。保護膜上には、接着層(図示せず)を間にして、ガラスなどよりなる封止用基板(図示せず)が全面にわたって貼り合わせられている。封止用基板には、必要に応じて、カラーフィルタおよびブラックマトリクスとしての遮光膜などが設けられている。
Such
次に、図3および図4に戻り、複数の第1電極20の間の電極間領域20Aに設けられた補助電極60および隔壁70について説明する。補助電極60および隔壁70は、各画素10につき一組、例えば有機発光素子10G,10Bの列間に設けられている。補助電極60は、表示領域110中央付近における第2電極50の電気抵抗の増大を抑えるためのコンタクト部であり、図示しないが、下層において上述した第2電極50の補助配線に接続されている。隔壁70は、後述する製造工程において補助電極60の上面に有機層40が成膜されないようにするためのものであり、補助電極60および隔壁70は対で配置される。隔壁70は、補助電極60の外形線の一部に沿って設けられている。具体的には、補助電極60は矩形形状を有し、隔壁70は、補助電極60の一方の長辺に沿って設けられている。
Next, returning to FIGS. 3 and 4, the
補助電極60は、例えば、幅w1が10μm、奥行きd1が5μm、厚みが50nmであり、チタン(Ti)により構成されている。なお、絶縁膜30には、補助電極60に対向して開口部30Bが設けられている。
The
隔壁70は、例えば、幅w2が12μm、奥行きd2が10μm、高さhが6μmであり、ポリイミド等の感光性絶縁材料により構成されている。なお、隔壁70は絶縁膜30と一体をなしており、隔壁70の高さhは絶縁膜30の厚みを含むものである。隔壁70の高さhは、必要な補助電極60の面積および有機層40を構成する有機材料の蒸着時の入射角度に基づいて算出することが可能であるが、その詳細については後述する。
The
補助電極60および隔壁70は、例えば、第1電極20の行間かつ列間の領域(四つの第1電極20の頂点で囲まれた領域)20B、すなわち、行間領域20Cと列間領域20Dとの重なり合う領域に設けられていることが好ましい。これにより、後述する製造工程において、有機層40の厚みムラを小さくすることが可能となる。
The
図6は、図4のVI−VI線における断面構成を表したものである。電極間領域20Aにおいては、有機層40は、隔壁70の補助電極60に沿う側面70Aおよび補助電極60の上面を露出させている。この露出した補助電極60の上面に第2電極50が設けられることにより、補助電極60と第2電極50とが電気的に接続されている。これにより、この表示装置では、電源電圧の不均一による画面内のムラを抑えると共に、非発光点などの品質不良への影響を抑えることが可能となっている。
FIG. 6 illustrates a cross-sectional configuration taken along line VI-VI in FIG. In the
この表示装置は、例えば次のようにして製造することができる。 This display device can be manufactured, for example, as follows.
まず、上述した材料よりなる基板11の表示領域110に、例えばスパッタリング法によりチタン(Ti)膜を形成し、例えばフォトリソグラフィおよびドライエッチングにより所定の形状に成形する。これにより、図7に示したように、画素間領域20Aに補助電極30を形成する。なお、同じ工程で、第1電極20の下層のチタン層も形成することが可能である。
First, a titanium (Ti) film is formed on the
次いで、例えばスパッタリング法によりAl−Nd合金膜を形成し、例えばフォトリソグラフィ法およびドライエッチングにより所定の形状に成形する。これにより、同じく図7に示したように、表示領域110内に、チタン層とAl−Nd合金層とを積層した第1電極20が、互いに離間して形成される。
Next, an Al—Nd alloy film is formed by, for example, sputtering, and is formed into a predetermined shape by, for example, photolithography and dry etching. Accordingly, as shown in FIG. 7, the
続いて、図8に示したように、第1電極20および補助電極60が設けられた基板11にポリイミド等の感光性絶縁材料を塗布し、フォトリソグラフィによる露光および現像を行う。これにより、開口部30A,30Bを有する絶縁膜30を形成すると共に、電極間領域20Aに、補助電極60の外形線の一部に沿って隔壁70を形成する。その際、フォトリソグラフィを2回行うか、またはハーフトーンマスクを使用することにより、絶縁膜30および隔壁70を一体に形成することが可能である。
Subsequently, as shown in FIG. 8, a photosensitive insulating material such as polyimide is applied to the
そののち、図9に示したように、表示領域110に、上述した構成の有機層40を斜め蒸着法により形成する。有機層40の材料は、図9の矢印A1に示したように、隔壁70の補助電極60に沿う側面70Aの反対側の上方から入射させる。これにより、入射側の側面70Bには有機層40が形成されるが、隔壁70の補助電極60に沿う側面70Aおよび補助電極60の上面は有機層40から露出する。蒸着方法としてはライン状の蒸着源を用いた蒸着が好ましい。基板11の進行方向(蒸着方向)は、図3の矢印A2に示したように、隔壁70の裏側の側面70Bから補助電極60に沿う側面70Aに向かう方向(有機EL素子10R,10G,10Bの列方向)とする。また、基板11が大型基板である場合には、基板11を傾ける方法も考えられるが、ライン状の蒸着源を斜めにして蒸着するほうが望ましい。
After that, as shown in FIG. 9, the
隔壁70の高さhは、図10に示したように、補助電極60の幅をw1、奥行きをd1とし、有機材料の蒸着時の入射角をθとすると、数1を満たすことが好ましい。このようにすれば、補助電極60の上面を確実に有機層40から露出させ、補助電極60と第2電極50との接触を確保することが可能となるからである。
As shown in FIG. 10, the height h of the
(数1)
h=(d1×tanθ)×1.01
(Equation 1)
h = (d1 × tan θ) × 1.01
数1では、入射角θに依存する有機材料の蒸着分布を考慮して、算出された隔壁70の高さの1%分を追加している。同様に、隔壁70の幅w2についても、蒸着分布を考慮すると、数2のように表される。
In Equation 1, 1% of the calculated height of the
(数2)
w2=w1×1.02
(Equation 2)
w2 = w1 × 1.02
隔壁の奥行きd2については、これに依存する有機材料の蒸着分布感度が低いので、プロセス上のルールが優先される。 Regarding the depth d2 of the partition wall, since the deposition distribution sensitivity of the organic material depending on this is low, the process rule is given priority.
有機層40を形成したのち、図11に示したように、有機層40の上面に第2電極50を形成すると共に、隔壁70および補助電極60の有機層40から露出した領域を第2電極50により被覆する。具体的には、隔壁70の補助電極60に沿う側面70Aおよび補助電極60の上面を、第2電極50により被覆する。成膜方法は、ライン状の蒸着源を用いた蒸着、回転蒸着、スパッタ法など、いずれの方法も使用することが可能である。また、図11に示したように、第2電極50を、基板11と蒸発源(図示せず)とを平行にした状態で、すなわち成膜材料の入射角度を矢印A3に示したように基板11に対して垂直にした状態で、形成する。以上により、図3および図5に示した有機EL素子10R,10G,10Bが形成されると共に、図6に示したように補助電極60と第2電極50とが補助電極60の上面で電気的に接続される。なお、第2電極50が隔壁70の側面70Aで途切れた場合でも、隔壁70の周囲では第2電極50は連続しているので断線のおそれはない。
After the
そののち、必要に応じて、例えばCVD法またはスパッタ法により、有機EL素子10R,10G,10Bの上に上述した材料よりなる保護膜(図示せず)を形成する。また、カラーフィルタ等を形成した封止用基板(図示せず)を用意し、この封止用基板を、保護膜の上に、接着層(図示せず)により貼り合わせる。以上により、図1ないし図3に示した表示装置が完成する。
After that, as necessary, a protective film (not shown) made of the above-described material is formed on the
この表示装置では、各画素に対して走査線駆動回路130から書き込みトランジスタTr2のゲート電極を介して走査信号が供給されると共に、信号線駆動回路120から画像信号が書き込みトランジスタTr2を介して保持容量Csに保持される。すなわち、この保持容量Csに保持された信号に応じて駆動トランジスタTr1がオンオフ制御され、これにより、各有機EL素子10R,10G,10Bに駆動電流Idsが注入されることにより、正孔と電子とが再結合して発光が起こる。この光は、第2電極50,保護膜,接着層,カラーフィルタおよび封止用基板(第2電極50以外はいずれも図示せず)を透過して(トップエミッション)取り出される。
In this display device, a scanning signal is supplied to each pixel from the scanning
ここでは、有機層40は隔壁70の補助電極60に沿う側面70Aおよび補助電極60の上面を露出させており、第2電極50は有機層40の上面および補助電極60の上面に設けられている。よって、第2電極50と補助電極60とが補助電極60の上面で電気的に接続され、電源電圧の不均一による画面内のムラが抑えられる。
Here, the
このように本実施の形態の表示装置では、有機層40は隔壁70の補助電極60に沿う側面70Aおよび補助電極60の上面を露出させており、第2電極50は有機層40の上面および補助電極60の上面に設けられているようにしている。よって、第2電極50と補助電極60とを補助電極60の上面で電気的に接続し、電源電圧の不均一による画面内のムラを抑え、表示品位を向上させることが可能となる。特に大型の表示装置の場合に好適である。
As described above, in the display device of the present embodiment, the
本実施の形態の表示装置の製造方法では、表示領域110に、発光層を含む有機層40を斜め蒸着法により形成すると共に、隔壁70の補助電極60に沿う側面70Aおよび補助電極60の上面を有機層40から露出させたのち、有機層40の上面に第2電極50を形成すると共に、隔壁70および補助電極60の有機層40から露出した領域を第2電極50により被覆するようにしている。よって、第2電極50と補助電極60とを補助電極60の上面で電気的に接続し、電源電圧の不均一による画面内のムラを抑え、表示品位を向上させることが可能となる。また、補助電極60の上面には有機層40は形成されないので、レーザを用いて補助電極60上の有機層40を除去する必要はなくなる。従って、装置および工程を簡素化し、コスト削減および歩留まり向上が可能となると共に、レーザで除去された有機物のダストに起因する非発光点などの品質不良への影響を抑えることが可能となる。
In the manufacturing method of the display device of the present embodiment, the
(変形例1)
なお、上記実施の形態では、隔壁70が、矩形形状の補助電極60の一方の長辺に沿って設けられている場合について説明したが、隔壁70は、図12に示したように、矩形形状の補助電極60の三辺に沿って(三辺を囲んで)設けられていることも可能である。このようにすれば、有機層40を斜め蒸着する際に、補助電極60の上面の露出面積を大きくすることが可能となる。本変形例は、第1電極20の行方向の間隔L1および列方向の間隔L2が十分にとれる場合に有効である。
(Modification 1)
In the above embodiment, the case where the
(変形例2)
また、上記実施の形態では、補助電極60および隔壁70が、各画素10につき一組設けられている場合について説明した。しかしながら、補助電極60および隔壁70は、図13に示したように、各副画素である有機EL素子10R,10G,10Bにつき一組設けられていることも可能である。このようにすれば、レイアウトの制限から補助電極60の面積を確保しにくい場合にも、第2電極50と補助電極60との接続箇所を増やすことが可能となり、より高い効果を得ることが可能となる。
(Modification 2)
In the above-described embodiment, the case where the
(変形例3)
更に、上記実施の形態では、補助電極60および隔壁70が、第1電極20の行間かつ列間の領域20Bに設けられている場合について説明した。しかしながら、補助電極60および隔壁70は、図14に示したように、第1電極20の行間領域20C、例えば有機EL素子10Bの短辺に向かい合う位置に設けられていることも可能である。本変形例は、第1電極20の行方向の間隔L1が狭い場合や、レイアウトの制約から配置が制限される場合に好適である。
(Modification 3)
Further, in the above embodiment, the case where the
(変形例4)
加えて、変形例3と変形例2とを組み合わせることも可能である。すなわち、図15に示したように、補助電極60および隔壁70は、各副画素である有機EL素子10R,10G,10Bにつき一組、第1電極の行間領域20C、例えば有機EL素子10R,10G,10Bの短辺に向かい合う位置に設けられていることも可能である。
(Modification 4)
In addition, the third modification and the second modification can be combined. That is, as shown in FIG. 15, the
(変形例5)
更にまた、補助電極60および隔壁70は、図16に示したように、第1電極20の列間領域20D、例えば有機EL素子10G,10Bの長辺に向かい合う位置に設けられていることも可能である。本変形例は、第1電極20の列方向の間隔L2が狭い場合や、レイアウトの制約から配置が制限される場合に好適である。また、本変形例では、有機層40を形成する工程における基板11の進行方向(蒸着方向)は、図16の矢印A2に示したように、隔壁70の裏側の側面70Bから補助電極60に沿う側面70Aに向かう方向(有機EL素子10R,10G,10Bの行方向)とする。
(Modification 5)
Furthermore, as shown in FIG. 16, the
(変形例6)
加えてまた、変形例5と変形例2とを組み合わせることも可能である。すなわち、図17に示したように、補助電極60および隔壁70は、各副画素である有機EL素子10R,10G,10Bにつき一組、第1電極20の列間領域20D、例えば有機EL素子10R,10G,10Bの長辺に向かい合う位置に設けられていることも可能である。本変形例においても、有機層40を形成する工程における基板11の進行方向(蒸着方向)は、変形例5と同様である。すなわち、図17の矢印A2に示したように、隔壁70の裏側の側面70Bから補助電極60に沿う側面70Aに向かう方向(有機EL素子10R,10G,10Bの行方向)とする。
(Modification 6)
In addition, modification 5 and modification 2 can be combined. That is, as shown in FIG. 17, the
(モジュールおよび適用例)
以下、上述した実施の形態で説明した表示装置の適用例について説明する。上記実施の形態の表示装置は、テレビジョン装置,デジタルカメラ,ノート型パーソナルコンピュータ、携帯電話等の携帯端末装置あるいはビデオカメラなど、外部から入力された映像信号あるいは内部で生成した映像信号を、画像あるいは映像として表示するあらゆる分野の電子機器の表示装置に適用することが可能である。
(Modules and application examples)
Hereinafter, application examples of the display device described in the above embodiment will be described. The display device according to the above embodiment is an image signal that is input from the outside or is generated internally, such as a television device, a digital camera, a notebook personal computer, a mobile terminal device such as a mobile phone, or a video camera. Alternatively, the present invention can be applied to display devices for electronic devices in various fields that display images.
(モジュール)
上記実施の形態の表示装置は、例えば、図18に示したようなモジュールとして、後述する適用例1〜5などの種々の電子機器に組み込まれる。このモジュールは、例えば、基板11の一辺に、上記実施の形態における封止用基板80から露出した領域210を設け、この露出した領域210に、信号線駆動回路120および走査線駆動回路130の配線を延長して外部接続端子(図示せず)を形成したものである。外部接続端子には、信号の入出力のためのフレキシブルプリント配線基板(FPC;Flexible Printed Circuit)220が設けられていてもよい。
(module)
The display device of the above-described embodiment is incorporated into various electronic devices such as application examples 1 to 5 described later, for example, as a module as illustrated in FIG. In this module, for example, a
(適用例1)
図19は、上記実施の形態の表示装置が適用されるテレビジョン装置の外観を表したものである。このテレビジョン装置は、例えば、フロントパネル310およびフィルターガラス320を含む映像表示画面部300を有しており、この映像表示画面部300は、上記各実施の形態に係る表示装置により構成されている。
(Application example 1)
FIG. 19 illustrates an appearance of a television device to which the display device of the above embodiment is applied. The television apparatus has, for example, a video display screen unit 300 including a front panel 310 and a filter glass 320, and the video display screen unit 300 is configured by the display device according to each of the above embodiments. .
(適用例2)
図20は、上記実施の形態の表示装置が適用されるデジタルカメラの外観を表したものである。このデジタルカメラは、例えば、フラッシュ用の発光部410、表示部420、メニュースイッチ430およびシャッターボタン440を有しており、その表示部420は、上記各実施の形態に係る表示装置により構成されている。
(Application example 2)
FIG. 20 illustrates the appearance of a digital camera to which the display device of the above embodiment is applied. The digital camera includes, for example, a flash light emitting unit 410, a display unit 420, a menu switch 430, and a
(適用例3)
図21は、上記実施の形態の表示装置が適用されるノート型パーソナルコンピュータの外観を表したものである。このノート型パーソナルコンピュータは、例えば、本体510,文字等の入力操作のためのキーボード520および画像を表示する表示部530を有しており、その表示部530は、上記各実施の形態に係る表示装置により構成されている。
(Application example 3)
FIG. 21 illustrates an appearance of a notebook personal computer to which the display device of the above embodiment is applied. The notebook personal computer has, for example, a
(適用例4)
図22は、上記実施の形態の表示装置が適用されるビデオカメラの外観を表したものである。このビデオカメラは、例えば、本体部610,この本体部610の前方側面に設けられた被写体撮影用のレンズ620,撮影時のスタート/ストップスイッチ630および表示部640を有しており、その表示部640は、上記各実施の形態に係る表示装置により構成されている。
(Application example 4)
FIG. 22 shows the appearance of a video camera to which the display device of the above embodiment is applied. This video camera has, for example, a main body 610, a subject photographing lens 620 provided on the front side surface of the main body 610, a start /
(適用例5)
図23は、上記実施の形態の表示装置が適用される携帯電話機の外観を表したものである。この携帯電話機は、例えば、上側筐体710と下側筐体720とを連結部(ヒンジ部)730で連結したものであり、ディスプレイ740,サブディスプレイ750,ピクチャーライト760およびカメラ770を有している。そのディスプレイ740またはサブディスプレイ750は、上記各実施の形態に係る表示装置により構成されている。
(Application example 5)
FIG. 23 shows an appearance of a mobile phone to which the display device of the above embodiment is applied. For example, the mobile phone is obtained by connecting an
以上、実施の形態を挙げて本開示を説明したが、本開示は上記実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、変形例1は、変形例2ないし変形例6にも適用可能である。 While the present disclosure has been described with reference to the embodiment, the present disclosure is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made. For example, the first modification can be applied to the second to sixth modifications.
例えば、上記実施の形態では、発光層で発生した光を第2電極50側から取り出す場合(トップエミッション)を例として説明したが、発光層で発生した光を基板11側から取り出すことも可能である(ボトムエミッション)。この場合には、カラーフィルタは基板11上に設けることが可能である。また、ボトムエミッションの場合には、第1電極20は、ITO,IZO(登録商標),またはSnO2などの透明電極により構成され、第2電極50は、金(Au),白金(Pt),ニッケル(Ni),クロム(Cr),銅(Cu),タングステン(W),アルミニウム(Al),モリブデン(Mo)あるいは銀(Ag)などの金属元素の単体または合金よりなる反射電極により構成されている。また、第2電極50は、上述した反射電極と透明電極との複合膜により構成されていてもよい。
For example, in the above embodiment, the case where the light generated in the light emitting layer is extracted from the
加えて、例えば、上記実施の形態において説明した各層の材料および厚み、または成膜方法および成膜条件などは限定されるものではなく、他の材料および厚みとしてもよく、または他の成膜方法および成膜条件としてもよい。 In addition, for example, the material and thickness of each layer described in the above embodiment, the film formation method and the film formation conditions are not limited, and other materials and thicknesses may be used, or other film formation methods. Alternatively, film forming conditions may be used.
なお、本技術は以下のような構成を取ることも可能である。
(1)
基板の表示領域内に設けられた複数の第1電極と、
前記複数の第1電極の間の電極間領域に設けられた補助電極と、
前記電極間領域に、前記補助電極の外形線の一部に沿って設けられた隔壁と、
前記表示領域に設けられると共に、前記隔壁の前記補助電極に沿う側面および前記補助電極の上面を露出させている、発光層を含む有機層と、
前記有機層の上面および前記補助電極の上面に設けられた第2電極と
を備えた表示装置。
(2)
前記補助電極は矩形形状を有し、
前記隔壁は、前記補助電極の一辺に沿って設けられている
前記(1)記載の表示装置。
(3)
前記補助電極は矩形形状を有し、
前記隔壁は、前記補助電極の三辺を囲んで設けられている
前記(1)記載の表示装置。
(4)
前記第1電極は矩形形状を有すると共に行列状に配列されており、
前記補助電極は、前記第1電極の行間かつ列間の領域に設けられている
前記(1)ないし(3)のいずれか1項に記載の表示装置。
(5)
前記隔壁は絶縁性材料により構成されている
前記(1)ないし(4)のいずれか1項に記載の表示装置。
(6)
基板の表示領域内に複数の第1電極を形成する工程と、
前記複数の第1電極の間の電極間領域に補助電極を形成する工程と、
前記電極間領域に、前記補助電極の外形線の一部に沿って隔壁を形成する工程と、
前記表示領域に、発光層を含む有機層を斜め蒸着法により形成すると共に、前記隔壁の前記補助電極に沿う側面および前記補助電極の上面を前記有機層から露出させる工程と、
前記有機層の上面に第2電極を形成すると共に、前記隔壁および前記補助電極の前記有機層から露出した領域を前記第2電極により被覆する工程と
を含む表示装置の製造方法。
(7)
前記第2電極を、前記基板と蒸発源とを平行にした状態で形成する
前記(6)記載の表示装置の製造方法。
(8)
前記有機層を形成する工程において、前記基板の進行方向を、前記隔壁の裏側の側面から前記補助電極に沿う側面に向かう方向とする
前記(6)または(7)記載の表示装置の製造方法。
(9)
前記有機層を形成する工程において、前記有機層の材料を前記隔壁の前記補助電極に沿う側面の反対側の上方から入射させる
前記(6)ないし(8)のいずれか1項に記載の表示装置の製造方法。
In addition, this technique can also take the following structures.
(1)
A plurality of first electrodes provided in a display area of the substrate;
An auxiliary electrode provided in an inter-electrode region between the plurality of first electrodes;
A partition wall provided along a part of the outline of the auxiliary electrode in the inter-electrode region;
An organic layer including a light emitting layer, which is provided in the display region and exposes a side surface of the partition wall along the auxiliary electrode and an upper surface of the auxiliary electrode;
A display device comprising: a second electrode provided on an upper surface of the organic layer and an upper surface of the auxiliary electrode.
(2)
The auxiliary electrode has a rectangular shape,
The display device according to (1), wherein the partition wall is provided along one side of the auxiliary electrode.
(3)
The auxiliary electrode has a rectangular shape,
The display device according to (1), wherein the partition wall is provided to surround three sides of the auxiliary electrode.
(4)
The first electrodes have a rectangular shape and are arranged in a matrix,
The display device according to any one of (1) to (3), wherein the auxiliary electrode is provided in a region between rows and columns of the first electrode.
(5)
The display device according to any one of (1) to (4), wherein the partition is made of an insulating material.
(6)
Forming a plurality of first electrodes in a display area of a substrate;
Forming an auxiliary electrode in an inter-electrode region between the plurality of first electrodes;
Forming a partition wall along a part of the outline of the auxiliary electrode in the inter-electrode region;
Forming an organic layer including a light emitting layer in the display region by oblique deposition, and exposing a side surface of the partition along the auxiliary electrode and an upper surface of the auxiliary electrode from the organic layer;
Forming a second electrode on the upper surface of the organic layer, and covering the region exposed from the organic layer of the partition wall and the auxiliary electrode with the second electrode.
(7)
The method for manufacturing a display device according to (6), wherein the second electrode is formed in a state where the substrate and the evaporation source are parallel to each other.
(8)
The method for manufacturing a display device according to (6) or (7), wherein, in the step of forming the organic layer, a traveling direction of the substrate is a direction from a back side surface of the partition toward a side surface along the auxiliary electrode.
(9)
The display device according to any one of (6) to (8), wherein in the step of forming the organic layer, the material of the organic layer is incident from above the side opposite to the side surface of the partition along the auxiliary electrode. Manufacturing method.
10…画素、10R,10G,10B…有機EL素子、11…基板、20…第1電極、30…絶縁膜、40…有機層、50…第2電極、60…補助電極、70…隔壁、110…表示領域、120…信号線駆動回路、130…走査線駆動回路、140…画素駆動回路、Tr1,Tr2…トランジスタ。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Pixel, 10R, 10G, 10B ... Organic EL element, 11 ... Substrate, 20 ... First electrode, 30 ... Insulating film, 40 ... Organic layer, 50 ... Second electrode, 60 ... Auxiliary electrode, 70 ... Partition, 110
Claims (9)
前記複数の第1電極の間の電極間領域に設けられた補助電極と、
前記電極間領域に、前記補助電極の外形線の一部に沿って設けられた隔壁と、
前記表示領域に設けられると共に、前記隔壁の前記補助電極に沿う側面および前記補助電極の上面を露出させている、発光層を含む有機層と、
前記有機層の上面および前記補助電極の上面に設けられた第2電極と
を備えた表示装置。 A plurality of first electrodes provided in a display area of the substrate;
An auxiliary electrode provided in an inter-electrode region between the plurality of first electrodes;
A partition wall provided along a part of the outline of the auxiliary electrode in the inter-electrode region;
An organic layer including a light emitting layer, which is provided in the display region and exposes a side surface of the partition wall along the auxiliary electrode and an upper surface of the auxiliary electrode;
A display device comprising: a second electrode provided on an upper surface of the organic layer and an upper surface of the auxiliary electrode.
前記隔壁は、前記補助電極の一辺に沿って設けられている
請求項1記載の表示装置。 The auxiliary electrode has a rectangular shape,
The display device according to claim 1, wherein the partition wall is provided along one side of the auxiliary electrode.
前記隔壁は、前記補助電極の三辺を囲んで設けられている
請求項1記載の表示装置。 The auxiliary electrode has a rectangular shape,
The display device according to claim 1, wherein the partition wall is provided so as to surround three sides of the auxiliary electrode.
前記補助電極は、前記第1電極の行間かつ列間の領域に設けられている
請求項1記載の表示装置。 The first electrodes have a rectangular shape and are arranged in a matrix,
The display device according to claim 1, wherein the auxiliary electrode is provided in a region between rows and columns of the first electrode.
請求項1記載の表示装置。 The display device according to claim 1, wherein the partition wall is made of an insulating material.
前記複数の第1電極の間の電極間領域に補助電極を形成する工程と、
前記電極間領域に、前記補助電極の外形線の一部に沿って隔壁を形成する工程と、
前記表示領域に、発光層を含む有機層を斜め蒸着法により形成すると共に、前記隔壁の前記補助電極に沿う側面および前記補助電極の上面を前記有機層から露出させる工程と、
前記有機層の上面に第2電極を形成すると共に、前記隔壁および前記補助電極の前記有機層から露出した領域を前記第2電極により被覆する工程と
を含む表示装置の製造方法。 Forming a plurality of first electrodes in a display area of a substrate;
Forming an auxiliary electrode in an inter-electrode region between the plurality of first electrodes;
Forming a partition wall along a part of the outline of the auxiliary electrode in the inter-electrode region;
Forming an organic layer including a light emitting layer in the display region by oblique deposition, and exposing a side surface of the partition along the auxiliary electrode and an upper surface of the auxiliary electrode from the organic layer;
Forming a second electrode on the upper surface of the organic layer, and covering the region exposed from the organic layer of the partition wall and the auxiliary electrode with the second electrode.
請求項6記載の表示装置の製造方法。 The method for manufacturing a display device according to claim 6, wherein the second electrode is formed in a state where the substrate and the evaporation source are parallel to each other.
請求項6記載の表示装置の製造方法。 The method for manufacturing a display device according to claim 6, wherein in the step of forming the organic layer, a traveling direction of the substrate is a direction from a side surface on the back side of the partition toward a side surface along the auxiliary electrode.
請求項6記載の表示装置の製造方法。 The method for manufacturing a display device according to claim 6, wherein in the step of forming the organic layer, the material of the organic layer is incident from above the opposite side of the partition along the auxiliary electrode.
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2011
- 2011-03-29 JP JP2011073075A patent/JP2012209095A/en not_active Withdrawn
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