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JP2012138751A - Substrate with microstrip line, substrate with coplanar line, and substrate with differential microstrip line - Google Patents

Substrate with microstrip line, substrate with coplanar line, and substrate with differential microstrip line Download PDF

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JP2012138751A
JP2012138751A JP2010289559A JP2010289559A JP2012138751A JP 2012138751 A JP2012138751 A JP 2012138751A JP 2010289559 A JP2010289559 A JP 2010289559A JP 2010289559 A JP2010289559 A JP 2010289559A JP 2012138751 A JP2012138751 A JP 2012138751A
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JP
Japan
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substrate
line
signal line
groove
microstrip line
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Application number
JP2010289559A
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Japanese (ja)
Inventor
Hidenori Yonezawa
英徳 米澤
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Hitachi Cable Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
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Publication date
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Abstract

【課題】簡単な構成にて、誘電損失が低減されるマイクロストリップ線路付き基板を提供する。
【解決手段】マイクロストリップ線路付き基板(100)は、誘電体からなる基板(102)と、基板(102)の一方の表面に設けられた信号線(104)と、基板(102)の他方の表面に設けられた接地電極(106)と、基板(102)に設けられ、信号線(104)と接地電極(106)との間で生じる電界が通過する空間を規定する溝(108)とを備える。
【選択図】図1
Provided is a substrate with a microstrip line in which dielectric loss is reduced with a simple configuration.
A substrate (100) with a microstrip line includes a substrate (102) made of a dielectric, a signal line (104) provided on one surface of the substrate (102), and the other of the substrate (102). A ground electrode (106) provided on the surface and a groove (108) provided on the substrate (102) and defining a space through which an electric field generated between the signal line (104) and the ground electrode (106) passes. Prepare.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、マイクロストリップ線路付き基板、コプレーナ線路付き基板、及び、差動マイクロストリップ線路付き基板に関する。   The present invention relates to a substrate with a microstrip line, a substrate with a coplanar line, and a substrate with a differential microstrip line.

電子機器に用いられる回路基板には、マイクロストリップ線路、コプレーナ線路、又は、差動マイクロストリップ線路が設けられている。
マイクロストリップ線路、コプレーナ線路、及び、差動マイクロストリップ線路は、電気信号の伝送経路として用いられるが、電気信号の高周波化に伴い、誘電損失に基づく伝送損失が問題になっている。
A circuit board used for an electronic device is provided with a microstrip line, a coplanar line, or a differential microstrip line.
A microstrip line, a coplanar line, and a differential microstrip line are used as transmission paths for electrical signals. However, transmission loss based on dielectric loss has become a problem as the frequency of electrical signals increases.

そこで、特許文献1が開示するマイクロストリップ線路では、信号線及び接地電極としての2つの導体薄膜が空気を介して対向させられている。このマイクロストリップ線路によれば、空気の比誘電率が基板よりも低いため、誘電損失が低減される。   Therefore, in the microstrip line disclosed in Patent Document 1, the two conductor thin films as the signal line and the ground electrode are opposed to each other through air. According to this microstrip line, since the relative dielectric constant of air is lower than that of the substrate, the dielectric loss is reduced.

特開平3−64101号公報JP-A-3-64101

特許文献1が開示するマイクロストリップ線路は、2つの導体薄膜が別々の基板に設けられ、これら基板が支持体によって支持されており、構成が複雑である。
また、特許文献1が開示する技術は、信号線と接地線が基板の同一面に設けられるコプレーナ線路に適用することは困難である。
一方、差動マイクロストリップ線路においては、信号線同士が基板の同一面にて隣接しており、信号線同士の間に電界が集中し、信号線間に位置する基板の存在により誘電損失が発生する。このため、特許文献1が開示する技術によって、差動マイクロストリップ線路の誘電損失を充分に低減するのは困難である。
The microstrip line disclosed in Patent Document 1 has two conductor thin films provided on different substrates, and these substrates are supported by a support, and the configuration is complicated.
Further, the technique disclosed in Patent Document 1 is difficult to apply to a coplanar line in which a signal line and a ground line are provided on the same surface of a substrate.
On the other hand, in the differential microstrip line, the signal lines are adjacent to each other on the same surface of the substrate, the electric field is concentrated between the signal lines, and dielectric loss occurs due to the presence of the substrate located between the signal lines. To do. For this reason, it is difficult to sufficiently reduce the dielectric loss of the differential microstrip line by the technique disclosed in Patent Document 1.

本発明は、上述した事情に鑑みてなされ、その目的の一つは、簡単な構成にて、誘電損失が低減されるマイクロストリップ線路付き基板を提供することである。
また、本発明の目的の一つは、簡単な構成にて、誘電損失が低減されるコプレーナ線路付き基板を提供することである。
更に、本発明の目的の一つは、簡単な構成にて、誘電損失が低減される差動マイクロストリップ線路付き基板を提供することである。
The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and one of its purposes is to provide a substrate with a microstrip line in which dielectric loss is reduced with a simple configuration.
Another object of the present invention is to provide a substrate with a coplanar line in which dielectric loss is reduced with a simple configuration.
Furthermore, one of the objects of the present invention is to provide a substrate with a differential microstrip line in which dielectric loss is reduced with a simple configuration.

上記目的を達成するため、本発明の一態様によれば、誘電体からなる基板と、前記基板の一方の表面に設けられた信号線と、前記基板の他方の表面に設けられた接地電極と、前記基板に設けられ、前記信号線と前記接地電極との間で生じる電界が通過する空間を規定する溝とを備えるマイクロストリップ線路付き基板が提供される。   To achieve the above object, according to one aspect of the present invention, a substrate made of a dielectric, a signal line provided on one surface of the substrate, and a ground electrode provided on the other surface of the substrate, There is provided a substrate with a microstrip line provided on the substrate and having a groove defining a space through which an electric field generated between the signal line and the ground electrode passes.

また、本発明の一態様によれば、誘電体からなる基板と、前記基板の一方の表面に設けられた信号線と、前記信号線の両側に設けられた接地線と、前記基板に設けられ、前記信号線と前記接地線との間で生じる電界が通過する空間を規定する溝とを備えるコプレーナ線路付き基板が提供される。   According to one embodiment of the present invention, the substrate is made of a dielectric, the signal line is provided on one surface of the substrate, the ground line is provided on both sides of the signal line, and the substrate is provided. There is provided a substrate with a coplanar line comprising a groove defining a space through which an electric field generated between the signal line and the ground line passes.

更に、本発明の一態様によれば、誘電体からなる基板と、前記基板の一方の表面に設けられた第1の信号線と、前記第1の信号線に沿って設けられた第2の信号線と、前記基板の他方の表面に設けられた接地電極と、前記基板に設けられ、前記第1の信号線と前記第2の信号線との間で生じる電界が通過する空間を規定する溝とを備える差動マイクロストリップ線路付き基板が提供される。   Furthermore, according to one aspect of the present invention, a substrate made of a dielectric, a first signal line provided on one surface of the substrate, and a second signal line provided along the first signal line. A signal line, a ground electrode provided on the other surface of the substrate, and a space provided on the substrate for defining a space through which an electric field generated between the first signal line and the second signal line passes. A substrate with a differential microstrip line comprising a groove is provided.

本発明によれば、簡単な構成にて、誘電損失が低減されるマイクロストリップ線路付き基板が提供される。
また、本発明によれば、簡単な構成にて、誘電損失が低減されるコプレーナ線路付き基板が提供される。
更に、本発明によれば、簡単な構成にて、誘電損失が低減される差動マイクロストリップ線路付き基板が提供される。
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the board | substrate with a microstrip line by which a dielectric loss is reduced with a simple structure is provided.
In addition, according to the present invention, a substrate with a coplanar line in which dielectric loss is reduced with a simple configuration is provided.
Furthermore, according to the present invention, a substrate with a differential microstrip line in which dielectric loss is reduced with a simple configuration is provided.

第1実施形態のマイクロストリップ線路付き基板を概略的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematically the board | substrate with a microstrip line of 1st Embodiment. 第2実施形態のマイクロストリップ線路付き基板を概略的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematically the board | substrate with a microstrip line of 2nd Embodiment. 変形例のマイクロストリップ線路付き基板を概略的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematically the board | substrate with a microstrip line of the modification. (a)は、図2のマイクロストリップ線路付き基板の製造方法において、基板に溝を形成する工程を説明するための図であり、(b)は、溝を形成した基板に他の基板を接着する工程を説明するための図である。(A) is a figure for demonstrating the process of forming a groove | channel in a board | substrate in the manufacturing method of the board | substrate with a microstrip line of FIG. 2, (b) adheres another board | substrate to the board | substrate in which the groove | channel was formed. It is a figure for demonstrating the process to do. 第3実施形態のコプレーナ線路付き基板を概略的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematically the board | substrate with a coplanar track | line of 3rd Embodiment. (a)は、第4実施形態のコプレーナ線路付き基板を概略的に示す断面図であり、(b)は、変形例のコプレーナ線路付き基板を概略的に示す断面図である。(A) is sectional drawing which shows schematically the board | substrate with a coplanar line of 4th Embodiment, (b) is sectional drawing which shows schematically the board | substrate with a coplanar line of a modification. 第5実施形態の差動マイクロストリップ線路付き基板を概略的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematically the board | substrate with a differential microstrip line of 5th Embodiment. (a)は、第6実施形態の差動マイクロストリップ線路付き基板を概略的に示す断面図であり、(b)は、変形例の差動マイクロストリップ線路付き基板を概略的に示す断面図である。(A) is sectional drawing which shows schematically the board | substrate with a differential microstrip line of 6th Embodiment, (b) is sectional drawing which shows schematically the board | substrate with a differential microstrip line of a modification. is there. 第7実施形態の差動マイクロストリップ線路付き基板を概略的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematically the board | substrate with a differential microstrip line of 7th Embodiment.

以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
〔第1実施形態〕
図1は、第1実施形態に係る、マイクロストリップ線路付き基板100(以下、単に線路付き基板100ともいう)の概略的な断面図である。
線路付き基板100は、例えばガラスエポキシ樹脂等の誘電体からなる基板102を有する。基板102には、図示しないけれども、LSI(大規模集積回路)等の電気素子やコネクタ等が実装される。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[First Embodiment]
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a substrate 100 with a microstrip line (hereinafter also simply referred to as a substrate 100 with a line) according to the first embodiment.
The board | substrate 100 with a track | line has the board | substrate 102 which consists of dielectric materials, such as a glass epoxy resin, for example. Although not shown, an electrical element such as an LSI (Large Scale Integrated circuit) or a connector is mounted on the substrate 102.

基板102の一方の面には、電気素子同士又は電気素子とコネクタを電気的に接続するために、所定パターンにて、信号線104が形成されている。信号線104は、例えば、銅等の導体薄膜からなり、エッチングによって成形される。
基板102の他方の面には、接地電極106が設けられている。接地電極106は、例えば、基板102の全面にわたって設けられた、銅等の導体薄膜からなる。
On one surface of the substrate 102, signal lines 104 are formed in a predetermined pattern in order to electrically connect the electrical elements or electrical elements and connectors. The signal line 104 is made of a conductive thin film such as copper, for example, and is formed by etching.
A ground electrode 106 is provided on the other surface of the substrate 102. The ground electrode 106 is made of, for example, a conductive thin film such as copper provided over the entire surface of the substrate 102.

そして、基板102には、2本の溝108が形成されている。これらの溝108は、信号線104の両側に沿って延び、信号線104の近傍にて開口している。溝108は、例えば、エンドミル又はドリルによって基板102を切削することによって形成される。   Two grooves 108 are formed in the substrate 102. These grooves 108 extend along both sides of the signal line 104 and open in the vicinity of the signal line 104. The groove 108 is formed by cutting the substrate 102 with an end mill or a drill, for example.

上述した第1実施形態のマイクロストリップ線路付き基板100によれば、信号線104から接地電極106に向かう電界が、溝108,108を通過する。換言すれば、溝108,108は、電界が通過する基板102の領域に空間を形成している。
溝108,108には空気が存在し、空気の比誘電率は基板102よりも低い。このため、信号が信号線104を伝搬するときに、誘電損失が抑制され、この結果として伝送損失が抑制される。
According to the substrate 100 with the microstrip line of the first embodiment described above, the electric field from the signal line 104 toward the ground electrode 106 passes through the grooves 108 and 108. In other words, the grooves 108 and 108 form a space in the region of the substrate 102 through which the electric field passes.
Air exists in the grooves 108 and 108, and the relative permittivity of air is lower than that of the substrate 102. For this reason, when a signal propagates through the signal line 104, dielectric loss is suppressed, and as a result, transmission loss is suppressed.

〔第2実施形態〕
図2は、第2実施形態に係る、マイクロストリップ線路付き基板120(以下、単に線路付き基板120ともいう)の概略的な断面図である。なお、前出の実施形態と同一の構成については、同じ符号を付して説明を省略する。以下、第3実施形態乃至第7実施形態の説明についても同様である。
[Second Embodiment]
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a substrate 120 with a microstrip line (hereinafter also simply referred to as a substrate 120 with a line) according to the second embodiment. In addition, about the structure same as previous embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and description is abbreviate | omitted. The same applies to the descriptions of the third to seventh embodiments.

線路付き基板120においては、好ましい態様として、溝122が基板102を貫通している。
また、線路付き基板120においては、好ましい態様として、溝122によって、信号線104の直下の基板102の部分も削られている。従って、溝122の幅方向にて、溝122の端が、信号線104の端を超えて、信号線104の下に位置している。そして、基板102の他方の面に、銅などの導体薄膜からなる接地電極124、及び、例えばガラスエポキシ樹脂等の誘電体からなる基板126が設けられている。
In the substrate 120 with a line, as a preferable aspect, the groove 122 penetrates the substrate 102.
Moreover, in the board | substrate 120 with a line, as a preferable aspect, the part of the board | substrate 102 directly under the signal wire | line 104 is also shaved by the groove | channel 122. FIG. Therefore, in the width direction of the groove 122, the end of the groove 122 is located below the signal line 104 beyond the end of the signal line 104. On the other surface of the substrate 102, a ground electrode 124 made of a conductive thin film such as copper and a substrate 126 made of a dielectric such as glass epoxy resin are provided.

図3は、変形例のマイクロストリップ線路付き基板140(以下、単に線路付き基板140ともいう)の概略的な断面図である。線路付き基板140の溝142は、基板102の他方の面においては開口しているが、基板102の一方の面においては開口していない。基板102の一方の面側に位置する溝142の底壁144は、信号線104の近傍に位置しており、可及的に薄い厚さを有することが好ましい。   FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of a modified substrate 140 with a microstrip line (hereinafter also simply referred to as a substrate 140 with a line). The groove 142 of the substrate with line 140 is open on the other surface of the substrate 102, but is not open on one surface of the substrate 102. The bottom wall 144 of the groove 142 located on one surface side of the substrate 102 is located in the vicinity of the signal line 104 and preferably has a thickness as thin as possible.

第2実施形態の線路付き基板120は、例えば、以下の製造方法により作製される。まず、図4(a)に示したように、基板102の他方の面から一方の面に向けて、エンドミル等の切削工具Tを用いて溝122を形成する。この後、図4(b)に示したように、基板102の他方の面に、一方の面に接地電極124が設けられた基板126を接着することにより、線路付き基板120が作製される。
また線路付き基板140は、溝142を貫通させずに底壁144を残す以外は、線路付き基板120と同様の製造方法を用いて製造することができる。
The board | substrate 120 with a line | wire of 2nd Embodiment is produced with the following manufacturing methods, for example. First, as shown in FIG. 4A, a groove 122 is formed from the other surface of the substrate 102 to one surface using a cutting tool T such as an end mill. Thereafter, as shown in FIG. 4B, the substrate with line 120 is manufactured by bonding the substrate 126 having the ground electrode 124 on one surface to the other surface of the substrate 102.
Moreover, the board | substrate 140 with a track | line can be manufactured using the manufacturing method similar to the board | substrate 120 with a track | route 120 except leaving the bottom wall 144 without letting the groove | channel 142 penetrate.

上述した第2実施形態のマイクロストリップ線路付き基板120及び変形例のマイクロストリップ線路付き基板140によれば、第1実施形態のマイクロストリップ線路付き基板100に比べて、溝122,142が信号線104の下まで広がっていることにより、信号線104から接地電極124に向かう電界のうち、空気を通過する電界の割合がより高くなる。   According to the substrate 120 with a microstrip line of the second embodiment and the substrate 140 with a microstrip line of the modified example described above, the grooves 122 and 142 have the signal lines 104 compared to the substrate 100 with a microstrip line of the first embodiment. , The ratio of the electric field passing through the air out of the electric field from the signal line 104 toward the ground electrode 124 becomes higher.

また、溝122,142が接地電極124まで達していることにより、接地電極124に向かう電界のうち、空気を通過する電界の割合がより高くなる。これらの結果、信号が信号線104を伝搬するときに、誘電損失がより一層抑制され、この結果として伝送損失がより一層抑制される。   Further, since the grooves 122 and 142 reach the ground electrode 124, the ratio of the electric field passing through the air to the ground electrode 124 becomes higher. As a result, when the signal propagates through the signal line 104, the dielectric loss is further suppressed, and as a result, the transmission loss is further suppressed.

〔第3実施形態〕
図5は、第3実施形態に係る、コプレーナ線路付き基板200(以下、単に線路付き基板200ともいう)の概略的な断面図である。
線路付き基板200では、基板102の一方の面に、信号線201の両側に銅等の導体薄膜からなる2本の接地線202が更に設けられている。接地線202は、所定の間隔を存して、信号線201と平行に延びている。そして、溝108は、信号線201と接地線202との間にて開口している。
[Third Embodiment]
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of a substrate 200 with a coplanar line (hereinafter also simply referred to as a substrate 200 with a line) according to the third embodiment.
In the substrate 200 with a line, two ground lines 202 made of a conductive thin film such as copper are provided on one side of the substrate 102 on both sides of the signal line 201. The ground line 202 extends in parallel with the signal line 201 with a predetermined interval. The groove 108 is opened between the signal line 201 and the ground line 202.

上述した第3実施形態のコプレーナ線路付き基板200によれば、信号線201から接地線202及び接地電極106に向かう電界が、溝108,108を通過する。特に、電界は、信号線201と接地線202の間に集中するが、この集中する電界が溝108,108を通過する。換言すれば、溝108,108は、電界が通過する基板102の領域に空間を形成している。
ここで、溝108,108には空気が存在し、空気の比誘電率は基板102よりも低い。このため、信号が信号線201を伝搬するときに、誘電損失が効果的に抑制され、この結果として伝送損失が抑制される。
According to the substrate 200 with a coplanar line of the third embodiment described above, the electric field from the signal line 201 toward the ground line 202 and the ground electrode 106 passes through the grooves 108 and 108. In particular, the electric field is concentrated between the signal line 201 and the ground line 202, and this concentrated electric field passes through the grooves 108 and 108. In other words, the grooves 108 and 108 form a space in the region of the substrate 102 through which the electric field passes.
Here, air exists in the grooves 108 and 108, and the relative permittivity of air is lower than that of the substrate 102. For this reason, when a signal propagates through the signal line 201, dielectric loss is effectively suppressed, and as a result, transmission loss is suppressed.

〔第4実施形態〕
図6(a)は、第4実施形態に係る、コプレーナ線路付き基板220(以下、単に線路付き基板220ともいう)の概略的な断面図である。
線路付き基板220では、好ましい態様として、溝122が基板102を貫通している。
また、線路付き基板220においては、好ましい態様として、溝122によって、信号線201及び接地線202の直下の基板102の部分も削られている。従って、溝122の幅方向にて、溝122の端が、信号線201の端及び接地線202の端を超えて、信号線201及び接地線202の下に位置している。そして、基板102の他方の面に、銅などの導体薄膜からなる接地電極124、及び、例えばガラスエポキシ樹脂等の誘電体からなる基板126が設けられている。
[Fourth Embodiment]
FIG. 6A is a schematic cross-sectional view of a substrate 220 with a coplanar line (hereinafter also simply referred to as a substrate with line 220) according to the fourth embodiment.
In the substrate 220 with a line, as a preferable aspect, the groove 122 penetrates the substrate 102.
Moreover, in the board | substrate 220 with a line, as a preferable aspect, the part of the board | substrate 102 just under the signal wire | line 201 and the grounding line 202 is also shaved by the groove | channel 122. Therefore, in the width direction of the groove 122, the end of the groove 122 is located below the signal line 201 and the ground line 202 beyond the end of the signal line 201 and the ground line 202. On the other surface of the substrate 102, a ground electrode 124 made of a conductive thin film such as copper and a substrate 126 made of a dielectric such as glass epoxy resin are provided.

線路付き基板220は、第2実施形態の線路付き基板120と同様の製造方法を用いて製造することができる。   The board | substrate 220 with a line | wire can be manufactured using the manufacturing method similar to the board | substrate 120 with a line | wire of 2nd Embodiment.

図6(b)は、変形例に係る、コプレーナ線路付き基板240(以下、単に線路付き基板240ともいう)の概略的な断面図である。線路付き基板240の溝142は、基板102の他方の面においては開口しているが、基板102の一方の面においては開口していない。基板102の一方の面側に位置する溝142の底壁144は、信号線201と接地線202の間に位置しており、可及的に薄い厚さを有することが好ましい。
線路付き基板240は、溝142を貫通させずに底壁144を残す以外は、第2実施形態の線路付き基板120と同様の製造方法を用いて製造することができる。
FIG. 6B is a schematic cross-sectional view of a substrate 240 with a coplanar line (hereinafter also simply referred to as a substrate 240 with a line) according to a modification. The groove 142 of the substrate with line 240 is open on the other surface of the substrate 102, but is not open on one surface of the substrate 102. The bottom wall 144 of the groove 142 located on one surface side of the substrate 102 is located between the signal line 201 and the ground line 202 and preferably has a thickness as thin as possible.
The board | substrate 240 with a line | wire can be manufactured using the manufacturing method similar to the board | substrate 120 with a line | wire 120 of 2nd Embodiment except leaving the bottom wall 144 without letting the groove | channel 142 penetrate.

上述した第4実施形態のコプレーナ線路付き基板220及び変形例のコプレーナ線路付き基板240によれば、第3実施形態のコプレーナ線路付き基板200に比べて、溝122,142が信号線201及び接地線202の下まで広がっていることにより、信号線201から接地線202に向かう電界のうち、空気を通過する電界の割合がより高くなる。   According to the substrate 220 with a coplanar line of the fourth embodiment and the substrate 240 with a coplanar line of the modification described above, the grooves 122 and 142 have the signal line 201 and the ground line compared to the substrate 200 with a coplanar line of the third embodiment. By spreading below 202, the ratio of the electric field passing through the air out of the electric field from the signal line 201 toward the ground line 202 becomes higher.

また、溝122,142が接地電極124まで達していることにより、接地電極124に向かう電界のうち、空気を通過する電界の割合がより高くなる。これらの結果、信号が信号線201を伝搬するときに、誘電損失がより一層抑制され、この結果として伝送損失がより一層抑制される。
〔第5実施形態〕
図7は、第5実施形態に係る、差動マイクロストリップ線路付き基板300(以下、単に線路付き基板300ともいう)の概略的な断面図である。
線路付き基板300では、基板102の一方の面に、信号線(第1の信号線)301とともに、銅等の導体薄膜からなる信号線(第2の信号線)302が設けられている。信号線302は、信号線301と電磁的に結合するように所定の間隔を存して、信号線301と平行に延びている。そして、溝108は、信号線301と信号線302との間にて開口している。
Further, since the grooves 122 and 142 reach the ground electrode 124, the ratio of the electric field passing through the air to the ground electrode 124 becomes higher. As a result, when the signal propagates through the signal line 201, the dielectric loss is further suppressed, and as a result, the transmission loss is further suppressed.
[Fifth Embodiment]
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of a substrate 300 with a differential microstrip line (hereinafter also simply referred to as a substrate with a line 300) according to a fifth embodiment.
In the substrate with a line 300, a signal line (first signal line) 301 and a signal line (second signal line) 302 made of a conductive thin film such as copper are provided on one surface of the substrate 102 together with the signal line (first signal line) 301. The signal line 302 extends in parallel with the signal line 301 at a predetermined interval so as to be electromagnetically coupled to the signal line 301. The groove 108 is opened between the signal line 301 and the signal line 302.

上述した第5実施形態の差動マイクロストリップ線路付き基板300によれば、信号線301から信号線302及び接地電極106に向かう電界が、溝108を通過する。特に、電界は、信号線301と信号線302の間に集中するが、この集中する電界が溝108を通過する。換言すれば、溝108,108は、電界が通過する基板102の領域に空間を形成している。
ここで、溝108には空気が存在し、空気の比誘電率は基板102よりも低い。このため、差動信号が信号線301及び信号線302を伝搬するときに、誘電損失が効果的に抑制され、この結果として伝送損失が抑制される。
According to the substrate 300 with the differential microstrip line of the fifth embodiment described above, the electric field from the signal line 301 toward the signal line 302 and the ground electrode 106 passes through the groove 108. In particular, the electric field is concentrated between the signal line 301 and the signal line 302, and this concentrated electric field passes through the groove 108. In other words, the grooves 108 and 108 form a space in the region of the substrate 102 through which the electric field passes.
Here, air exists in the groove 108, and the relative permittivity of air is lower than that of the substrate 102. For this reason, when the differential signal propagates through the signal line 301 and the signal line 302, the dielectric loss is effectively suppressed, and as a result, the transmission loss is suppressed.

〔第6実施形態〕
図8(a)は、第6実施形態に係る、差動マイクロストリップ線路付き基板320(以下、単に線路付き基板320ともいう)の概略的な断面図である。
線路付き基板320では、好ましい態様として、溝122が基板102を貫通している。
また、線路付き基板320においては、好ましい態様として、溝122によって、信号線301及び信号線302の直下の基板102の部分も削られている。従って、溝122の幅方向にて、溝122の端が、信号線301の端及び信号線302の端を超えて、信号線301及び信号線302の下に位置している。そして、基板102の他方の面に、銅などの導体薄膜からなる接地電極124、及び、例えばガラスエポキシ樹脂等の誘電体からなる基板126が設けられている。
[Sixth Embodiment]
FIG. 8A is a schematic cross-sectional view of a substrate 320 with a differential microstrip line (hereinafter also simply referred to as a substrate 320 with a line) according to the sixth embodiment.
In the substrate 320 with a line, as a preferable aspect, the groove 122 penetrates the substrate 102.
Moreover, in the board | substrate 320 with a line, as a preferable aspect, the part of the board | substrate 102 just under the signal line 301 and the signal line 302 is also shaved by the groove | channel 122. FIG. Therefore, the end of the groove 122 is positioned below the signal line 301 and the signal line 302 beyond the end of the signal line 301 and the end of the signal line 302 in the width direction of the groove 122. On the other surface of the substrate 102, a ground electrode 124 made of a conductive thin film such as copper and a substrate 126 made of a dielectric such as glass epoxy resin are provided.

線路付き基板320は、第2実施形態の線路付き基板120と同様の製造方法を用いて製造することができる。   The board | substrate 320 with a line | wire can be manufactured using the manufacturing method similar to the board | substrate 120 with a line | wire of 2nd Embodiment.

図8(b)は、変形例の差動マイクロストリップ線路付き基板330(以下、単に線路付き基板330ともいう)の概略的な断面図である。線路付き基板330の溝142は、基板102の他方の面においては開口しているが、基板102の一方の面においては開口していない。基板102の一方の面側に位置する溝142の底壁144は、信号線301と信号線302の間に位置しており、可及的に薄い厚さを有することが好ましい。
線路付き基板330は、溝142を貫通させずに底壁144を残す以外は、第2実施形態の線路付き基板120と同様の製造方法を用いて製造することができる。
FIG. 8B is a schematic cross-sectional view of a modified substrate 330 with a differential microstrip line (hereinafter also simply referred to as a substrate with line 330). The groove 142 of the substrate with line 330 is open on the other surface of the substrate 102, but is not open on one surface of the substrate 102. The bottom wall 144 of the groove 142 located on one surface side of the substrate 102 is located between the signal line 301 and the signal line 302, and preferably has a thickness as thin as possible.
The board | substrate 330 with a line | wire can be manufactured using the manufacturing method similar to the board | substrate 120 with a line | wire 120 of 2nd Embodiment except leaving the bottom wall 144 without letting the groove | channel 142 penetrate.

上述した第6実施形態の差動マイクロストリップ線路付き基板320及び差動マイクロストリップ線路付き基板330によれば、第5実施形態の差動マイクロストリップ線路付き基板300に比べて、溝122,142が信号線301及び信号線302の下まで広がっていることにより、信号線301から信号線302に向かう電界のうち、空気を通過する電界の割合がより高くなる。   According to the substrate 320 with the differential microstrip line and the substrate 330 with the differential microstrip line of the sixth embodiment described above, the grooves 122 and 142 are formed as compared with the substrate 300 with the differential microstrip line of the fifth embodiment. By spreading below the signal line 301 and the signal line 302, the ratio of the electric field passing through the air in the electric field from the signal line 301 toward the signal line 302 becomes higher.

また、溝122,142が接地電極124まで達していることにより、接地電極124に向かう電界のうち、空気を通過する電界の割合がより高くなる。これらの結果、差動信号が信号線301及び信号線302を伝搬するときに、誘電損失がより一層抑制され、この結果として伝送損失がより一層抑制される。   Further, since the grooves 122 and 142 reach the ground electrode 124, the ratio of the electric field passing through the air to the ground electrode 124 becomes higher. As a result, when the differential signal propagates through the signal line 301 and the signal line 302, the dielectric loss is further suppressed, and as a result, the transmission loss is further suppressed.

〔第7実施形態〕
図9は、第7実施形態に係る、差動マイクロストリップ線路付き基板340(以下、単に線路付き基板340ともいう)の概略的な断面図である。
線路付き基板340では、信号線301及び信号線302の両側に溝108,108が設けられており、第5実施形態の差動マイクロストリップ線路付き基板300に比べて、更に誘電損失が抑制され、伝送損失が抑制される。
[Seventh Embodiment]
FIG. 9 is a schematic cross-sectional view of a substrate 340 with a differential microstrip line (hereinafter also simply referred to as a substrate 340 with a line) according to the seventh embodiment.
In the substrate with line 340, the grooves 108 and 108 are provided on both sides of the signal line 301 and the signal line 302, and the dielectric loss is further suppressed as compared with the substrate 300 with the differential microstrip line of the fifth embodiment, Transmission loss is suppressed.

最後に、本発明は、上述した第1乃至第7実施形態に限定されることはなく、これら実施形態に種々の変更を加えた形態も含む。   Finally, the present invention is not limited to the first to seventh embodiments described above, and includes forms obtained by adding various modifications to these embodiments.

100,120 マイクロストリップ線路付き基板
102,126 基板
104,201 信号線
106,124 接地電極
108,122 溝
202 接地線
301 信号線(第1の信号線)
302 信号線(第2の信号線)
200,220 コプレーナ線路付き基板
300,320,330,340 差動マイクロストリップ線路付き基板
100, 120 Substrate with microstrip line 102, 126 Substrate 104, 201 Signal line 106, 124 Ground electrode 108, 122 Groove 202 Ground line 301 Signal line (first signal line)
302 signal line (second signal line)
200,220 Substrate with coplanar line 300,320,330,340 Substrate with differential microstrip line

Claims (9)

誘電体からなる基板と、
前記基板の一方の表面に設けられた信号線と、
前記基板の他方の表面に設けられた接地電極と、
前記基板に設けられ、前記信号線と前記接地電極との間で生じる電界が通過する空間を規定する溝と
を備えるマイクロストリップ線路付き基板。
A dielectric substrate;
A signal line provided on one surface of the substrate;
A ground electrode provided on the other surface of the substrate;
A substrate with a microstrip line provided on the substrate and having a groove defining a space through which an electric field generated between the signal line and the ground electrode passes.
前記溝は前記基板の一方の面から他方の面まで延びている、
請求項1に記載のマイクロストリップ線路付き基板。
The groove extends from one surface of the substrate to the other surface,
The substrate with a microstrip line according to claim 1.
前記溝は前記基板の他方の面から一方の面に向けて掘られた、
請求項1又は2に記載のマイクロストリップ線路付き基板。
The groove was dug from the other surface of the substrate toward one surface,
The board | substrate with a microstrip line of Claim 1 or 2.
誘電体からなる基板と、
前記基板の一方の表面に設けられた信号線と、
前記信号線の両側に設けられた接地線と、
前記基板に設けられ、前記信号線と前記接地線との間で生じる電界が通過する空間を規定する溝と
を備えるコプレーナ線路付き基板。
A dielectric substrate;
A signal line provided on one surface of the substrate;
A ground line provided on both sides of the signal line;
A substrate with a coplanar line, comprising a groove provided on the substrate and defining a space through which an electric field generated between the signal line and the ground line passes.
前記基板は、他方の表面に接地電極を更に有し、
前記溝は、前記基板の一方の面から他方の面まで延びている、
請求項4に記載のコプレーナ線路付き基板。
The substrate further has a ground electrode on the other surface;
The groove extends from one surface of the substrate to the other surface,
The board | substrate with a coplanar track | line of Claim 4.
前記溝は前記基板の他方の面から一方の面に向けて掘られた、
請求項4又は5に記載のコプレーナ線路付き基板。
The groove was dug from the other surface of the substrate toward one surface,
The board | substrate with a coplanar track | line of Claim 4 or 5.
誘電体からなる基板と、
前記基板の一方の表面に設けられた第1の信号線と、
前記第1の信号線に沿って設けられた第2の信号線と、
前記基板の他方の表面に設けられた接地電極と、
前記基板に設けられ、前記第1の信号線と前記第2の信号線との間で生じる電界が通過する空間を規定する溝と
を備える差動マイクロストリップ線路付き基板。
A dielectric substrate;
A first signal line provided on one surface of the substrate;
A second signal line provided along the first signal line;
A ground electrode provided on the other surface of the substrate;
A substrate with a differential microstrip line, comprising a groove provided on the substrate and defining a space through which an electric field generated between the first signal line and the second signal line passes.
前記溝は、前記基板の一方の面から他方の面まで延びている、
請求項7に記載の差動マイクロストリップ線路付き基板。
The groove extends from one surface of the substrate to the other surface,
The substrate with a differential microstrip line according to claim 7.
前記溝は前記基板の他方の面から一方の面に向けて掘られた、
請求項7又は8に記載の差動マイクロストリップ線路付き基板。
The groove was dug from the other surface of the substrate toward one surface,
The substrate with a differential microstrip line according to claim 7 or 8.
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