JP2012123117A - アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】省電力であるとともに高品質で生産性に優れるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、互いに離間して設けられた複数の支持部３１〜３４と、光反射性を有する光反射部２２を備える可動板２と、支持部３１〜３４に対して可動板２を変位可能に連結する複数の連結部４〜７と、連結部４〜７とは可動板２の厚さ方向での異なる位置に設けられ、支持部３１〜３４と一体に形成され、支持部３１〜３４同士を連結する補強部３５〜３８と、可動板２を支持部３１〜３４に対して変位させる変位付与部８とを有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置に関する。

例えば、レーザープリンター等にて光走査により描画を行うための光スキャナーとして、捩り振動系を有するアクチュエーターを用いたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
例えば、特許文献１に記載されたアクチュエーターは、枠状の支持部と、この支持部の内側に設けられた走査ミラー（可動板）と、この走査ミラーを支持部に対して回動可能に連結する１対のトーションバー（連結部）とを備えている。

そして、かかるアクチュエーターは、電磁駆動方式により、各トーションバーを捩れ変形させながら走査ミラーを回動させる。より具体的に説明すると、かかるアクチュエーターは、走査ミラーに設けられた永久磁石と、走査ミラーに対向して配置されたコイルとを備え、永久磁石とコイルとの磁界の相互作用により、走査ミラーを回動させる。
しかし、特許文献１に係るアクチュエーターでは、支持部が枠状をなしているので、大型化を招くという問題がある。

かかる問題を解決するために、支持部を互いに離間した複数の部分に分割し、その分割した部分同士の間に対応してコイルを配置することにより、コイルを永久磁石に近づけることが考えられるが、単にそのようにしても、製造時に、その分割した複数の部分の位置関係を維持する治具を用いなければならず、生産性を低下させるという問題がある。
また、このような治具を用いても、治具との固定に接着剤などを使用するため、治具とアクチュエーターとの間に接着剤の収縮応力などが生じる。これにより、アクチュエーターの製造時や製造後に、複数の支持部の位置関係が変動しやすく、その結果、アクチュエーターの品質を低下させてしまうという問題がある。

特開２００５−１８１３９５号公報

本発明の目的は、高品質化および小型化を図るとともに生産性に優れるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供することにある。

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエーターは、光反射性を有する光反射部と、
前記光反射部を備え、かつ変位可能な可動板と、
前記可動板に連結される複数の連結部と、
前記複数の連結部を支持し、かつ互いに離間して設けられた複数の支持部と、
前記連結部とは前記可動板の厚さ方向での異なる位置に設けられ、前記複数の支持部と一体に形成され、前記支持部同士を連結する補強部と、
前記可動板を変位させる変位付与部とを有することを特徴とする。

このような構成を有するアクチュエーターによれば、複数の支持部が補強部により一体的に補強されるので、製造時や製造後において、複数の支持部間を所望の位置関係に維持することができる。そのため、アクチュエーターの品質を優れたものとすることができる。また、製造時において、治具を用いなくても、複数の支持部間を所望の位置関係に維持することができるので、生産性を優れたものとすることができる。
また、互いに離間した複数の支持部により複数の連結部を介して可動板を支持するので、アクチュエーターの小型化を図ることができる。

本発明のアクチュエーターでは、前記補強部は、長尺状をなし、その横断面の幅が前記連結部側に向けて漸減することが好ましい。
これにより、補強部が可動板および各連結部の変位を阻害するのを防止することができる。また、このような補強部は、その表面の少なくとも一部を光反射部に対して傾斜した面とすることができる。そのため、仮に不本意な光が補強部に入射して反射しても、その反射光が迷光となってアクチュエーターの特性に悪影響を与えるのを防止することができる。

本発明のアクチュエーターでは、前記補強部の横断面は、三角形をなすことが好ましい。
このような横断面形状をなす補強部は、例えばシリコンを異方性エッチングすることにより簡単かつ高精度に形成することができる。
本発明のアクチュエーターでは、前記補強部の横断面は、台形をなすことが好ましい。
このような横断面形状をなす補強部は、例えばシリコンを異方性エッチングすることにより簡単かつ高精度に形成することができる。

本発明のアクチュエーターでは、前記連結部は、４つ設けられ、
前記各連結部は、変位可能に設けられた駆動部と、前記駆動部と前記可動板とを連結する軸部とを備えることが好ましい。
このような４つの連結部を有するアクチュエーターでは、可動板を互いに直交する２つの軸の一方の軸まわりの回動と他方の軸まわりの回動とを独立して行うことができる。そのため、可動板を互いに直交する２つの軸まわりにそれぞれ安定して回動させることができる。

本発明のアクチュエーターでは、前記補強部は、前記可動板を平面視したときに、前記可動板と重ならない位置に設けられていることが好ましい。
これにより、補強部が可動板の変位を阻害するのを防止することができる。
本発明のアクチュエーターでは、前記補強部は、前記可動板を平面視したときに、前記駆動部と重ならない位置に設けられていることが好ましい。
これにより、補強部が駆動部の変位を阻害するのを防止することができる。

本発明のアクチュエーターでは、前記補強部は、前記可動板を平面視したときに、前記可動板と前記駆動部との間に位置していることが好ましい。
これにより、補強部が可動板および各連結部の変位を阻害するのを防止することができる。
本発明のアクチュエーターでは、前記変位付与部は、前記駆動部に設けられた永久磁石と、前記永久磁石に対向するコイルとを備えることが好ましい。
電磁駆動は大きな駆動力を生じさせることができる。そのため、省電力化を図りつつ、大きな振れ角で可動板を回動させることができる。

本発明のアクチュエーターでは、前記コイルは、前記駆動部に対して前記可動板とは反対側に設けられていることが好ましい。
これにより、コイルと永久磁石との間の距離を短くすることができる。そのため、省電力化を図ることができる。
本発明のアクチュエーターでは、互いに直交する３つの軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸としたとき、
前記４つの連結部のうちの２つの連結部は、前記可動板を介してＸ軸に平行な方向に互いに対向し、当該２つの連結部は、それぞれ、前記駆動部と前記支持部とを連結しＹ軸に平行な方向に延在する１対の梁部を備え、
前記４つの連結部のうちの他の２つの連結部は、前記可動板を介してＹ軸に平行な方向に互いに対向し、当該他の２つの連結部は、それぞれ、前記駆動部と前記支持部とを連結しＸ軸に平行な方向に延在する１対の梁部を備えることが好ましい。
これにより、制御を容易なものとしつつ、可動板を互いに直交する２つの軸まわりにそれぞれ安定して回動させることができる。

本発明のアクチュエーターでは、前記各軸部は、前記可動板と前記駆動部の間に設けられた応力緩和部と、前記応力緩和部と前記可動板とを連結する可動板側軸部と、前記応力緩和部と前記駆動部とを連結する駆動部側軸部とを有し、前記応力緩和部で屈曲することが好ましい。
これにより、可動板側軸部が受ける応力を応力緩和部で緩和することができ、その応力が駆動部側軸部へ伝わるのを防止または抑制することができる。そのため、各軸部が他の軸部の屈曲の影響を受けるのを防止または抑制しつつ各軸部を屈曲させることができる。

本発明のアクチュエーターでは、前記複数の支持部、前記複数の連結部および前記補強部は、第１のＳｉ層、ＳｉＯ_２層および第２のＳｉ層をこの順で積層してなるＳＯＩ基板をエッチングすることにより形成されたものであることが好ましい。
これにより、簡単かつ高精度に、複数の支持部、複数の連結部および補強部を形成することができる。

本発明のアクチュエーターでは、前記複数の支持部は、それぞれ、前記第１のＳｉ層の一部、前記ＳｉＯ_２層の一部および前記第２のＳｉ層の一部の積層体で構成され、前記複数の連結部は、前記第１のＳｉ層の一部で構成され、前記補強部は、前記第２のＳｉ層の一部で構成されていることが好ましい。
これにより、簡単かつ高精度に、複数の支持部、複数の連結部および補強部を形成することができる。

本発明の光スキャナーは、光反射性を有する光反射部と、
前記光反射部を備え、かつ変位可能な可動板と、
前記可動板に連結される複数の連結部と、
前記複数の連結部を支持し、かつ互いに離間して設けられた複数の支持部と、
前記連結部とは前記可動板の厚さ方向での異なる位置に設けられ、前記複数の支持部と一体に形成され、前記支持部同士を連結する補強部と、
前記可動板を変位させる変位付与部とを有することを特徴とする。
これにより、高品質で生産性に優れた光スキャナーを提供することができる。

本発明の画像形成装置は、光源と、
前記光源からの光を走査する光スキャナーとを有し、
前記光スキャナーは、
光反射性を有する光反射部と、
前記光反射部を備え、かつ変位可能な可動板と、
前記可動板に連結される複数の連結部と、
前記複数の連結部を支持し、かつ互いに離間して設けられた複数の支持部と、
前記連結部とは前記可動板の厚さ方向での異なる位置に設けられ、前記複数の支持部と一体に形成され、前記支持部同士を連結する補強部と、
前記可動板を変位させる変位付与部とを有することを特徴とする。
これにより、高品質で生産性に優れた光スキャナーを備えるので、安価で信頼性に優れた画像形成装置を提供することができる。

本発明の光スキャナー（アクチュエーター）の第１実施形態を示す平面図である。 図１に示す光スキャナーの断面図（図１中Ａ−Ａ線断面図）である。 図１に示す光スキャナーの断面図（図１中Ｂ−Ｂ線断面図）である。 図１に示す光スキャナーが有する連結部の斜視図である。 図１に示す光スキャナーの基台を示す平面図である。 図１に示す光スキャナーの制御系を説明するためのブロック図である。 図１に示す光スキャナーの動作を説明するための図である。 図１に示す光スキャナーが有する振動構造体の製造方法を説明する断面図である。 本発明の光スキャナーの第２実施形態を示す断面図である。 本発明の光スキャナーの第３実施形態の連結部を説明する図である。 本発明の光スキャナーの第４実施形態の連結部を説明する図である。 本発明の画像形成装置の概略を示す図である。 図１２に示す画像形成装置を用いた描画の一例を示す図である。

以下、本発明のアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置の好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。なお、以下では、本発明のアクチュエーターを光スキャナーに適用した場合を例に説明するが、本発明のアクチュエーターは、例えば、光スイッチ、光アッテネーター等の光スキャナー以外の光学デバイスにも適用可能である。

＜第１実施形態＞
まず、本発明の第１実施形態について説明する。
図１は、本発明の光スキャナー（アクチュエーター）の第１実施形態を示す平面図、図２は、図１に示す光スキャナーの断面図（図１中Ａ−Ａ線断面図）、図３は、図１に示す光スキャナーの断面図（図１中Ｂ−Ｂ線断面図）、図４は、図１に示す光スキャナーが有する連結部の斜視図である。また、図５は、図１に示す光スキャナーの基台を示す平面図、図６は、図１に示す光スキャナーの制御系を説明するためのブロック図、図７は、図１に示す光スキャナーの動作を説明するための図、図８は、図１に示す光スキャナーが有する振動構造体の製造方法を説明する断面図である。

なお、以下では、説明の便宜上、図１中の左側を「左」、右側を「右」と言い、図２〜４、図７および図８中の上側を「上」、下側を「下」と言う。また、図１〜５では、それぞれ、説明の便宜上、互いに直交する３軸としてＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示している。また、以下では、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」と言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」と言い、Ｚ軸方向に平行な方向を「Ｚ軸方向」と言う。また、図２、３では、それぞれ、説明の便宜上、後述する変位付与部８の永久磁石８４１、コイル８４２および磁心８４４の図示を省略している。

図１および図２に示す光スキャナー１は、可動板２、支持部３および４つの連結部４、５、６、７で構成された振動構造体１１と、振動構造体１１を支持する基台１２と、可動板２を変位させる変位付与部８とを有している。以下、光スキャナー１の各構成について順次詳細に説明する。
１−１．振動構造体１１
振動構造体１１は、可動板２、支持部３および４つの連結部４、５、６、７で構成されている。

可動板２は、所定の軸回りに変位可能に構成されている。具体的には、可動板２に接続された４つの連結部４、５、６、７の動作によって、互いに直交する２つの軸回りにそれぞれ回動変位する。
支持部３は、可動板２を支持する機能を有する。具体的には、支持部３は、４つの連結部４、５、６、７を介して可動板２を支持する。

この支持部３は、４つの支持部３１、３２、３３、３４と、補強部３５、３６、３７、３８とを有する。
複数の支持部３１〜３４は、互いに離間して設けられている。
より具体的に説明すると、支持部３１および支持部３２は、互いにＹ軸方向に間隔を隔てて位置し、同様に、支持部３３および支持部３４は、互いにＹ軸方向に間隔を隔てて位置している。また、支持部３１および支持部３４は、互いにＸ軸方向に間隔を隔てて位置し、同様に、支持部３２および支持部３３は、互いにＸ軸方向に間隔を隔てて位置している。

また、支持部３１および支持部３３が可動板２を介して位置しているとともに、支持部３２および支持部３４が可動板２を介して位置している。
支持部３１〜３４は、それぞれ、平面視にて、Ｘ軸方向に延びる１対の辺と、Ｙ軸方向に延びる１対の辺とを有する四角形（より具体的には正方形）をなしている。
このように互いに離間した複数の支持部３１〜３４により複数の連結部４〜７を介して可動板２を支持するので、例えば支持部３１〜３４をその外側で連結するような枠状の支持部材を必要としない。特に、本実施形態のように電磁駆動方式を採用した場合に、後述するように、永久磁石とコイルとの間の距離を短くすることができる。そのため、光スキャナー１の省電力化を図ることができる。

補強部３５〜３８は、後述する連結部４〜７とは可動板２の厚さ方向（すなわちＺ軸方向）での異なる位置に設けられ、支持部３１〜３４同士を連結する。
具体的に説明すると、補強部３５は、支持部３１と支持部３２との間に設けられ、Ｙ軸方向に延在するとともに、支持部３１と支持部３２とを連結している。また、補強部３６は、支持部３２と支持部３３との間に設けられ、Ｘ軸方向に延在するとともに、支持部３２と支持部３３とを連結している。また、補強部３７は、支持部３３と支持部３４との間に設けられ、Ｙ軸方向に延在するとともに、支持部３３と支持部３４とを連結している。また、補強部３８は、支持部３１と支持部３４との間に設けられ、Ｘ軸方向に延在するとともに、支持部３１と支持部３４とを連結している。

このような補強部３５〜３８は、複数の支持部３１〜３４の一部と同一の材質で構成され、一体に形成されている。そのため、複数の支持部３１〜３４が補強部３５〜３８により一体的に補強されるので、製造時や製造後において、複数の支持部３１〜３４間を所望の位置関係に維持することができる。その結果、光スキャナー１の品質を優れたものとすることができる。また、製造時において、治具を用いなくても、複数の支持部３１〜３４間を所望の位置関係に維持することができるので、生産性を優れたものとすることができる。

補強部３５は、可動板２を平面視したときに、可動板２と後述する駆動部４１との間に位置している。特に、補強部３５は、可動板２を平面視したときに、後述する応力緩和部４２１と駆動部４１との間に位置している。
同様に、補強部３６は、可動板２を平面視したときに、可動板２と後述する駆動部５１との間に位置し、補強部３７は、可動板２を平面視したときに、可動板２と後述する駆動部６１との間に位置し、補強部３８は、可動板２を平面視したときに、可動板２と後述する駆動部７１との間に位置している。
このような補強部３５〜３８は、それぞれ、可動板２を平面視したときに、可動板２と重ならない位置に設けられている。これにより、補強部３５〜３８が可動板２の変位を阻害するのを防止することができる。

また、補強部３５〜３８は、それぞれ、可動板２を平面視したときに、後述する駆動部４１、５１、６１、７１と重ならない位置に設けられている。これにより、補強部３５〜３８が駆動部４１、５１、６１、７１の変位を阻害するのを防止することができる。
このようにして、補強部３５〜３８が可動板２および連結部４〜７の変位を阻害するのを防止することができる。

また、補強部３５〜３８は、それぞれ、長尺状をなし、その横断面の幅が振動構造体１１の裏面（可動板２、等が設けられる面と反対側の面）から連結部４〜７側に向けて漸減する。すなわち、補強部３５〜３８は、それぞれ、長尺状をなし、その横断面の幅が下側から上側に向けて漸減する。これにより、補強部３５〜３８が可動板２および各連結部４〜７の変位を阻害するのを防止することができる。また、このような補強部３５〜３８は、その表面の少なくとも一部を光反射部２２に対して傾斜した面とすることができる、そのため、仮に不本意な光が補強部３５〜３８に入射して反射しても、その反射光が迷光となって光スキャナー１の特性に悪影響を与えるのを防止することができる。

本実施形態では、補強部３５〜３８の横断面は、それぞれ、三角形をなす。このような横断面形状をなす補強部３５〜３８は、後に詳述するように、例えばシリコンを異方性エッチングすることにより簡単かつ高精度に形成することができる。
より具体的に説明すると、例えば、補強部３５は、図２および図３に示すように、Ｘ軸およびＹ軸の双方に平行な面３５３と、その面３５３に対して傾斜する１対の面３５１、３５２とを有する。

この面３５３は、後に詳述するように、振動構造体１１の主要部をＳＯＩ基板から形成することにより、シリコンの（１００）面で構成される。また、面３５１、３５２は、それぞれ、シリコンの（１１１）面で構成される。
このような面３５１、３５２の傾斜角は、可動板２の回動角よりもはるかに大きいので、可動板２での反射光と、面３５１、３５２での反射光とを分離しやすい。そのため、仮に面３５１、３５２に光が入射し、面３５１、３５２で反射した光が迷光となっても、その迷光が光スキャナー１の特性に悪影響を及ぼすのを防止することができる。

なお、同様に、補強部３７は、Ｘ軸およびＹ軸の双方に平行な面３７３と、その面３７３に対して傾斜する１対の面３７１、３７２とを有する。また、図示しないが、補強部３６、３８も同様に、それぞれ、Ｘ軸およびＹ軸の双方に平行な面と、その面に対して傾斜する１対の面とを有する。
このような４つの支持部３１、３２、３３、３４および補強部３５、３６、３７、３８で構成された支持部３は、平面視にて可動板２の周囲を囲むように設けられている。

このような支持部３に囲まれた可動板２は、各連結部４、５、６、７と連結する基部２３と、柱部２４を介して基部２３に固定された光反射板２５とを有している。このような可動板２では、光反射板２５の上面（基台１２とは反対側の面）に光反射部２２が設けられている。可動板２をこのような構成とすることにより、光スキャナー１の大型化を防止しつつ、光反射部２２の面積を大きくすることができる。これにより、光反射部２２で、より光束の太い光を反射することができる。また、光反射部２２に入射した光の一部が反射せずに熱となっても、その熱を各連結部４、５、６、７に伝達し難くすることができ、連結部４、５、６、７の熱膨張を抑制することができる。このような各連結部４、５、６、７への熱の伝達を防止するという観点からすれば、柱部２４を優れた断熱性を有する材料で構成してもよい。

ここで、光反射部２２は、例えば、金、銀、アルミニウム等の金属膜などを蒸着等により形成することにより得られる。
なお、本実施形態では、可動板２の平面視形状は、円形であるが、可動板２の平面視形状としては、特に限定されず、例えば長方形、正方形等の多角形、楕円形等であってもよい。

このような可動板２は、４つの連結部４、５、６、７を介して支持部３に連結されている。各連結部４、５、６、７は、Ｘ軸およびＹ軸の双方に平行な面（仮想面）に沿って設けられている。具体的には、４つの連結部４、５、６、７は、可動板２の平面視にて（Ｚ軸方向からみたとき）、可動板２の外周に沿って周方向に等角度間隔、すなわち９０度間隔で配置されている。

そして、４つの連結部４、５、６、７のうち、連結部４、６は、可動板２を介してＸ軸方向に対向しかつ可動板２に対して対称的に形成されており、連結部５、７は、可動板２を介してＹ軸方向に対向しかつ可動板２に対して対称的に形成されている。このような連結部４、５、６、７によって可動板２を支持することにより、可動板２を安定した状態で支持することができる。また、制御を容易なものとしつつ、可動板２を互いに直交する２つの軸まわりにそれぞれ安定して回動させることができる。

より具体的に説明すると、連結部（第１の連結部）４は、駆動部４１と、駆動部４１と可動板２とを連結する第１の軸部（軸部）４２と、駆動部４１と支持部３とを連結する一対の第２の軸部（梁部）４３とを有している。同様に、連結部（第３の連結部）５は、駆動部５１と、駆動部５１と可動板２とを連結する第１の軸部（軸部）５２と、駆動部５１と支持部３とを連結する一対の第２の軸部（梁部）５３とを有している。また、連結部（第２の連結部）６は、駆動部６１と、駆動部６１と可動板２とを連結する第１の軸部（軸部）６２と、駆動部６１と支持部３とを連結する一対の第２の軸部（梁部）６３とを有している。また、連結部（第４の連結部）７は、駆動部７１と、駆動部７１と可動板２とを連結する第１の軸部（軸部）７２と、駆動部７１と支持部３とを連結する一対の第２の軸部（梁部）７３とを有している。
各連結部４、５、６、７をこのような構成とすることにより、連結部４、５、６、７の構成が簡単となるとともに、後述するように可動板２の回動中心軸Ｘ１、Ｙ１まわりの回動等をスムーズに行うことができる。

以下、連結部４を代表してさらに詳述する。なお、連結部４、５、６、７の構成は、互いに同様であるため、他の連結部５、６、７については、その説明を省略する。ただし、連結部５、７は、可動板２の平面視にて、連結部４に対して９０度回転した状態で配置されている。そのため、連結部５、７については、下記の連結部４の説明中の「Ｙ軸方向」を「Ｘ軸方向」、「Ｘ軸方向」を「Ｙ軸方向」と適宜読み替えることで説明することができる。

図４に示すように、一対の第２の軸部４３は、駆動部４１を介してＹ軸方向に対向配置されており、駆動部４１を両持ち支持している。ここで、図４では図示しないが、１対の第２の軸部４３は、一方の軸部４３が支持部３１に接続され、他方の軸部４３が支持部３２に接続されている（図１参照）。また、一対の第２の軸部４３は、それぞれ、Ｙ軸方向に延在する棒状をなしている。このような一対の第２の軸部４３は、その中心軸まわりに捩じり変形可能となっている。このような一対の第２の軸部４３は、同軸的に設けられており、この軸（以下、「回動中心軸Ｙ２」とも言う）を中心として、一対の第２の軸部４３が捩じり変形する。これにより、駆動部４１が回動可能となっている。

駆動部４１は、可動板２に対してＸ軸方向に離間して設けられている。また、駆動部４１は、前述したように一対の第２の軸部４３によって両持ち支持されている。このような駆動部４１には貫通孔４１１が形成されており、この貫通孔４１１に永久磁石８１１が挿通、固定されている。永久磁石８１１は、例えば、嵌合（圧入）や、接着剤によって、駆動部４１に固定されている。この永久磁石８１１は、変位付与部８の一部を構成する。なお、永久磁石８１１の詳細については、変位付与部８の説明とともに後述する。

また、本実施形態では、駆動部４１の平面視形状（平面視での外形）は、Ｙ軸方向を長手とする長方形である。駆動部４１をこのような形状とすることにより、永久磁石８１１を固定するスペースを確保しつつ、駆動部４１の幅（Ｘ軸方向の長さ）を抑えることができる。駆動部４１の幅を抑えることにより、駆動部４１が回動中心軸Ｙ２まわりに回動する際に発生する慣性モーメントを抑えることができ、駆動部４１の反応性が高まり、より高速な回動が可能となる。また、駆動部４１の反応性が高まると、駆動部４１の回動（特に回動方向が切り替わる時）によって、不本意な振動が発生するのを抑えることができる。そのため、光スキャナー１を安定して駆動することができる。

なお、駆動部４１の平面視形状としては、特に限定されず、例えば、正方形や五角形以上の多角形であってもよいし、円形であってもよい。
このような駆動部４１は、第１の軸部４２を介して可動板２と連結されている。第１の軸部４２は、全体的にＸ軸方向に延在するように設けられている。このような第１の軸部４２は、駆動部４１と可動板２との間に設けられた応力緩和部４２１と、応力緩和部４２１と可動板２とを連結する可動板側軸部４２２と、応力緩和部４２１と駆動部４１とを連結する駆動部側軸部（駆動部側軸部）４２３とを有している。

可動板側軸部４２２および駆動部側軸部４２３は、それぞれ、Ｘ軸方向に延在する棒状をなしている。また、可動板側軸部４２２および駆動部側軸部４２３は、同軸的に設けられている。本実施形態では、可動板側軸部４２２は、その横断面積が駆動部側軸部４２３の横断面積よりも小さい。言い換えると、駆動部側軸部４２３は、その横断面積が可動板側軸部４２２の横断面積よりも大きい。

これら２つの軸部のうちの駆動部側軸部４２３は、光スキャナー１の駆動時に大きな変形が起こらない硬さに設定されているのが好ましく、実質的に変形しない硬さに設定されているより好ましい。これに対して可動板側軸部４２２は、その中心軸まわりに捩じり変形可能となっている。このように、第１の軸部４２が実質的に変形しない硬い部分およびその先端側に位置する捩じり変形可能な部位を有することにより、後述するように、可動板２をＸ軸およびＹ軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることができる。なお、前記「変形しない」とは、Ｚ軸方向への屈曲または湾曲および中心軸まわりの捩じり変形が実質的に起きないことを言う。

このような可動板側軸部４２２および駆動部側軸部４２３は、応力緩和部４２１を介して連結している。応力緩和部４２１は、第１の軸部４２が屈曲変形する際の節となる機能と、可動板側軸部４２２の捩じり変形により発生するトルクを緩和（吸収）し、前記トルクが駆動部側軸部４２３に伝わるのを防止または抑制する機能とを有している。
図４に示すように、応力緩和部４２１は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に交互に延在するように蛇行したミアンダー構造をなしている。

より具体的に説明すると、応力緩和部４２１は、可動板側軸部４２２に接続され、Ｘ軸方向に延在する第１の延在部４２１１と、第１の延在部４２１１の端部からＹ軸方向に延出する第２の延在部４２１２と、第２の延在部４２１２の端部からＸ軸方向に延出する第３の延在部４２１３と、第３の延在部４２１３の端部からＹ軸方向に延出する第４の延在部４２１４と、第４の延在部４２１４の端部からＸ軸方向に延出する第５の延在部４２１５と、第５の延在部４２１５の端部からＹ軸方向に延出する第６の延在部４２１６と、第６の延在部４２１６の端部からＸ軸方向に延出し駆動部側軸部４２３に接続される第７の延在部４２１７とを有している。

Ｘ軸方向に延在する４つの延在部４２１１、４２１３、４２１５、４２１７のうちの第１の延在部４２１１、４２１７は、それぞれ、ＸＹ平面視にて回動中心軸Ｘ１上に設けられており、第３の延在部４２１３および第５の延在部４２１５は、ＸＹ平面視にて、回動中心軸Ｘ１に対して互いに反対側に設けられている。なお、第３の延在部４２１３および第５の延在部４２１５の回動中心軸Ｘ１との離間距離は互いに等しいことが好ましい。

一方、Ｙ軸方向に延在する３つの延在部４２１２、４２１４、４２１６のうちの第４の延在部４２１４は、ＸＹ平面視にて、回移動中心軸Ｘ１を跨いで設けられており、第２の延在部４２１２および第６の延在部４２１６は、ＸＹ平面視にて、回動中心軸Ｘ１に対して互いに反対側に設けられている。なお、これら３つの延在部４２１２、４２１４、４２１６は、Ｘ軸方向に等ピッチで並んでいるのが好ましい。すなわち第２の延在部４２１２と第４の延在部４２１４の離間距離と、第４の延在部４２１４と第６の延在部４２１６の離間距離が等しいことが好ましい。
以上説明した７つの延在部４２１１〜４２１７は、それぞれ、その中心軸まわりに捩じり変形可能であり、また湾曲変形可能でもある。

このような応力緩和部４２１では、各延在部４２１１〜４２１７が捩じり変形および湾曲変形の少なくとも一方の変形をすることにより、第４の延在部４２１４（中心軸Ｙ４）を軸にして第１の軸部４２を屈曲させることができ、また、可動板側軸部４２２の捩じり変形により生じる応力を緩和することができる。
以上、応力緩和部４２１について説明した。

なお、応力緩和部４２１は、７本の延在部がＸ軸方向とＹ軸方向に交互に延在する構成であるが、延在部の本数は、これに限定されず、例えば、１１本や１５本であってもよい。ただし、Ｘ軸方向に延在する複数の延在部のうち、回動中心軸Ｘ１に対して一方側にある延在部の数と、他方側にある延在部の数とが等しいことが好ましい。
以上、振動構造体１１の構成について具体的に説明した。
このような構成の振動構造体１１の柱部２４および光反射板２５を除く部分は、ＳＯＩ基板から一体的に形成されている。これにより、振動構造体１１の形成が容易となる。なお、振動構造体１１の形成については後に詳述する。

１−２．基台１２
図２および図５に示すように、基台１２には、上方に開口する凹部１２１が形成されている。
この凹部１２１は、前述した振動構造体１１の可動板２および連結部４〜７が基台１２に接触するのを防止する逃げ部として機能するものである。

また、この凹部１２１は、平面視にて十字状をなしている。そして、基台１２の上面のうちの凹部１２１が形成されていない部分は、４つの凸部（島部）１２２、１２３、１２４、１２５となる。この４つの凸部１２２〜１２５は、前述した支持部３１〜３４に対応して形成されている。
このような基台１２の凸部１２２〜１２５には、振動構造体１１の支持部３１〜３４の下面が接合されている。これにより、基台１２によって振動構造体１１が支持される。このような基台１２は、例えば、ガラスやシリコンを主材料として構成されている。なお、基台１２と振動構造体１１の接合方法としては、特に限定されず、例えば接着剤を用いて接合してもよく、陽極接合等の各種接合方法を用いてもよい。また、基台１２は、前述した支持部３１〜３４および補強部３５〜３８の剛性によっては、省略することも可能である。

１−３．変位付与部８
図１に示すように、変位付与部８は、永久磁石８１１およびコイル８１２を有する第１の変位付与部８１と、永久磁石８２１およびコイル８２２を有する第２の変位付与部８２と、永久磁石８３１およびコイル８３２を有する第３の変位付与部８３と、永久磁石８４１およびコイル８４２を有する第４の変位付与部８４とを有している。

そして、第１の変位付与部８１は、連結部４に対応して設けられており、第２の変位付与部８２は、連結部５に対応して設けられており、第３の変位付与部８３は、連結部６に対応して設けられており、第４の変位付与部８４は、連結部７に対応して設けられている。
また、図６に示すように、変位付与部８は、コイル８１２、８３２に電圧を印加する第１電源部８５１と、コイル８２２、８４２に電圧を印加する第２電源部８５２とを備える電源回路８５を有している。なお、電源回路８５は、コイル８１２、８２２、８３２、８４２にそれぞれ対応するように、４つの電源部を有していてもよい。

このような構成を有する変位付与部８によれば、変位付与部８の構成が簡単となる。また、変位付与部８を電磁駆動方式とすることにより、比較的大きな駆動力を発生させることができる。そのため、省電力化を図りつつ、大きな振れ角で可動板２を回動させることができる。また、各連結部４、５、６、７に１つの変位付与部が設けられているため、各連結部４、５、６、７を独立して変形させることができる。そのため、後述するように、可動板２を様々な態様で変位させることができる。

以下、第１の変位付与部８１について代表して詳述する。なお、第２の変位付与部８２、第３の変位付与部８３および第４の変位付与部８４について、第１の変位付与部８１と同様の構成であるため、その説明を省略する。ただし、第２の変位付与部８２および第４の変位付与部８４は、可動板２の平面視にて、第１の変位付与部８１に対して９０度回転した状態で配置されている。そのため、第２の変位付与部８２および第４の変位付与部８４については、下記の第１の変位付与部８１の説明中の「Ｙ軸方向」を「Ｘ軸方向」、「Ｘ軸方向」を「Ｙ軸方向」と適宜読み替えることにより説明することができる。

図６に示すように、永久磁石８１１は、棒状をなしており、その長手方向に磁化している。すなわち、永久磁石８１１は、その長手方向の一端側（本実施形態では下側）がＳ極となっており、他端側（本実施形態では上側）がＮ極となっている。このような永久磁石８１１は、駆動部４１に形成された貫通孔４１１に挿通されており、長手方向のほぼ中央で駆動部４１に固定されている。そして、永久磁石８１１が、駆動部４１の上下に同じ長さだけ突出し、かつ駆動部４１（回動中心軸Ｙ２）を介してＳ極とＮ極が対向する。これにより、後述するように、可動板２を安定して変位させることができる。なお、永久磁石８１１の上側がＳ極、下側がＮ極であってもよい。
また、永久磁石８１１は、その長手方向が駆動部４１の面方向に直交するように設けられている。また、永久磁石８１１は、その中心軸が回動中心軸Ｙ２と交わるように設けられている。

特に、本実施形態では、第２の軸部４３の延在方向（すなわちＹ軸方向）からみたときに、永久磁石８１１の中心（重心）Ｇ１は、駆動部４１の回動中心軸Ｙ２（すなわち第２の軸部４３の中心）に対して可動板２側にずれて設けられている。このような永久磁石８１１の中心Ｇ１と駆動部４１の回動中心軸のずれにより、後述するコイル８１２ａ側に引き付けられたときに、駆動部４１をコイル８１２ａ側に変位させるとともに、駆動部４１を回動中心軸Ｙ２まわりに回動させることができる。このようにして、駆動部４１のＺ軸方向の変位に加えて、各第２の軸部４３を捻れ変形させながら駆動部４１を回動させることができる。このような駆動部４１の回動に伴って、第１の軸部４２を屈曲変形させることもできる。そのため、可動板２を効率的かつ円滑に回動させることができる。

なお、永久磁石８１１の中心が第２の軸部４３の中心に対して可動板２とは反対側にずれていても、コイル８１２ａ側に引き付けられたときに、駆動部４１をコイル８１２ａ側に変位させるとともに、駆動部４１を回動中心軸Ｙ２まわりに回動させることができる。
このような永久磁石８１１としては、特に限定されず、例えば、ネオジウム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ボンド磁石などの、硬磁性体を着磁したものを好適に用いることができる。
コイル８１２は、永久磁石８１１に対向して設けられ、永久磁石８１１に作用する磁界を発生する。

本実施形態では、コイル８１２は、駆動部４１に対して可動板２とは反対側に設けられている。このように配置されたコイル８１２は、コイル８１２と永久磁石８１１との距離を短くしても、駆動部４１の回動（駆動）を阻害することはない。そのため、コイル８１２と永久磁石８１１との間の距離を短くすることができる。その結果、省電力化を図ることができる。

また、コイル８１２は、Ｘ軸方向にて永久磁石８１１と対向するように配置されている。また、コイル８１２は、Ｘ軸方向の磁界を発生させることができるように、すなわち、コイル８１２の永久磁石８１１側がＮ極となりその反対側がＳ極となる状態、または、コイル８１２の永久磁石８１１側がＳ極となりその反対側がＮ極となる状態の磁界を発生させることができるように設けられている。

本実施形態の光スキャナー１は、振動構造体１１の外側に基台１２と固定的に設けられた磁心８１４を有しており、この磁心８１４にコイル８１２が巻き付けられている。磁心８１４は鉄などの軟磁性体で構成されており、前述のような磁界をより効率的に発生させることができる。
第１電源部８５１は、コイル８１２、８３２に電気的に接続されている。そして、第１電源部８５１からコイル８１２、８３２に所望の電圧を印加する。本実施形態では、第１電源部８５１は、交番電圧および直流電圧を選択して印加できるようになっている。また、交番電圧を印加する際には、その強さ、周波数を変更できるようになっており、さらにオフセット電圧（直流電圧）を重畳させることもできるようになっている。なお、第１電源部８５１は、コイル８１２およびコイル８３２に同じ電圧を印加するようになっている。
このような第１電源部８５１は、制御部９によって、例えば、描画すべき画像情報に応じた制御信号や、可動板２の回動角を含む挙動検出信号に基づいて、動作が制御される。

２．光スキャナー１の作動
次いで、光スキャナーの作動について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、永久磁石８１１、８２１、８３１、８４１が全てＮ極を上側にして配置された構成について代表して説明する。
＜回動中心軸Ｙ１まわりの回動＞
図７に示すように、可動板２を回動中心軸Ｙ１を中心として反時計回りに回動させるには、コイル８１２の永久磁石８１１側がＮ極、コイル８３２の永久磁石８３１側がＳ極となる第１の状態（以下、単に「第１の状態」とも言う）となるように、第１電源部８５１からコイル８１２、８３２に電圧を印加する。

この第１の状態では、永久磁石８１１のＳ極がコイル８１２に引き付けられるため、１対の第２の軸部４３を捩じり変形させつつ、駆動部４１が回動中心軸Ｙ２を中心として図７中時計回りに回動する。
同様に、第１の状態では、１対の第２の軸部６３を捩じり変形させつつ、駆動部６１が回動中心軸Ｙ３を中心として図７中時計回りに回動する。
このように、第１状態では、駆動部４１が回動中心軸Ｙ２まわりに回動するとともに、駆動部６１が回動中心軸Ｙ３まわりに回動する。

この駆動部４１、６１の回動に伴って、駆動部側軸部４２３が可動板２側の端を下側に向けるように傾斜し、駆動部側軸部６２３が可動板２側の端を上側に向けるように傾斜する。これにより、駆動部側軸部４２３、６２３の可動板２側の端同士がＺ軸方向にずれた状態となる。
そして、連結部４の第１の軸部４２がその途中にある応力緩和部４２１で中心軸Ｙ４を中心として下側に凸のＶ字状に屈曲変形（第１の変形）するするとともに、連結部６の第１の軸部６２がその途中にある応力緩和部６２１で中心軸Ｙ５を中心として上側に凸のＶ字状に屈曲変形（第２の変形）することにより、回動中心軸Ｙ１を中心として、可動板２が図７中反時計回りに傾斜する。

一方、可動板２を回動中心軸Ｙ１を回動中心として時計回りに回動させるには、前述した第１の状態と逆の状態、すなわち、コイル８１２の永久磁石８１１側がＳ極、コイル８３２の永久磁石８３１側がＮ極となる第２の状態（以下、単に「第２の状態」とも言う）となるように、第１電源部８５１からコイル８１２、８３２に電圧を印加する。
この第２の状態では、前述した第１の状態と逆の変形が起こる。すなわち、第２の状態では、連結部４の第１の軸部４２が応力緩和部４２１で中心軸Ｙ４を中心として上側に凸のＶ字状に屈曲変形（第２の変形）するとともに、連結部６の第１の軸部６２が応力緩和部６２１で中心軸Ｙ５を中心として下側に凸のＶ字状に屈曲変形（第１の変形）する。これにより、回動中心軸Ｙ１を中心として、可動板２が図７中時計回りに傾斜する。

このような第１の状態と、第２の状態とを交互に切り替えることによって、可動板２を回動中心軸Ｙ１まわりに回動させることができる。なお、可動板２の回動中心軸Ｙ１まわりの回動は、連結部５、７が有する可動板側軸部５２２、７２２がその中心軸まわりに捩じり変形することによって許容される。
また、例えば、第１の状態と第２の状態とが交互にかつ周期的に切り替わるように、第１電源部８５１からコイル８１２、８３２に交番電圧を印加すると、可動板２を回動中心軸Ｙ１まわりに周期的に往復回動させることができる。この場合、第１電源部８５１からコイル８１２、８３２に印加される交番電圧は、互いに同じ波形（強さおよび周波数が同じ）であるのが好ましい。

なお、コイル８１２、８３２に印加する交番電圧の周波数としては特に限定されず、可動板２および連結部４、５、６、７で構成される振動系の共振周波数と等しくても異なっていてもよいが、前記共振周波数と異なっているのが好ましい。すなわち、光スキャナー１を非共振で駆動するのが好ましい。これにより、光スキャナー１のより安定した駆動が可能となる。

＜回動中心軸Ｘ１まわりの回動＞
前述した可動板２の回動中心軸Ｙ１まわりの回動と同様に、回動中心軸Ｘ１を中心として、可動板２を回動させることができる。なお、可動板２の回動中心軸Ｘ１まわりの回動は、連結部４、６が有する可動板側軸部４２２、６２２がその中心軸まわりに捩じり変形することにより許容される。

また、例えば、前述した可動板２の回動中心軸Ｙ１まわりの回動と同様に、第２電源部８５２からコイル８２２、８４２に交番電圧を印加すると、可動板２を回動中心軸Ｘ１まわりに周期的に往復回動させることができる。この場合、第２電源部８５２からコイル８２２、８４２に印加される交番電圧は、互いに同じ波形であるのが好ましい。
なお、コイル８２２、８４２に印加する交番電圧の周波数としては特に限定されず、可動板２および連結部４、５、６、７で構成される振動系の共振周波数と等しくても異なっていてもよいが、前記共振周波数と異なっているのが好ましい。すなわち、光スキャナー１を非共振で駆動するのが好ましい。これにより、光スキャナー１のより安定した駆動が可能となる。

＜回動中心軸Ｘ１および回動中心軸Ｙ１のそれぞれの軸まわりの回動＞
前述したような回動中心軸Ｘ１まわりの回動と、回動中心軸Ｙ１まわりの回動とを同時に行うことにより、可動板２を回動中心軸Ｙ１および回動中心軸Ｘ１のそれぞれの軸まわりに２次元的に回動させることができる。前述したように、可動板２の回動中心軸Ｙ１まわりの回動は、可動板側軸部５２２、７２２がその中心軸まわりに捩じり変形することによって許容され、可動板２の回動中心軸Ｘ１まわりの回動は、可動板側軸部４２２、６２２がその中心軸まわりに捩じり変形することにより許容される。

また、可動板２を回動中心軸Ｙ１まわりに回動させるためにコイル８１２、８３２に印加する交番電圧の周波数と、可動板２を回動中心軸Ｘ１まわり回動させるためにコイル８２２、８４２に印加する交番電圧の周波数とは等しくてもよいし異なっていてもよい。例えば、可動板２を回動中心軸Ｘ１よりも回動中心軸Ｙ１まわりに速く回動させたい場合には、コイル８１２、８３２に印加する交番電圧の周波数を、コイル８２２、８４２に印加する交番電圧の周波数よりも高く設定すればよい。

また、コイル８１２、８３２に印加する交番電圧の強さと、コイル８２２、８４２に印加する交番電圧の強さは、等しくても異なっていてもよい。例えば、可動板２を回動中心軸Ｘ１よりも回動中心軸Ｙ１まわりに大きく回動させたい場合には、コイル８１２、８３２に印加する交番電圧の強さを、コイル８２２、８４２に印加する交番電圧の強さよりも強くすればよい。
以上、光スキャナー１の駆動について詳細に説明した。

このような光スキャナー１では、可動板２の回動中心軸Ｙ１まわりの回動と回動中心軸Ｘ１まわりの回動とを同じ機構で行うことができる。また、光スキャナー１では、可動板２の回動中心軸Ｙ１まわりの回動と回動中心軸Ｘ１まわりの回動とを独立して行うことができる。すなわち、光スキャナー１では、回動中心軸Ｙ１の回動が回動中心軸Ｘ１まわりの回動に影響を受けず、逆に、回動中心軸Ｘ１の回動も回動中心軸Ｙ１まわりの回動に影響を受ない。そのため、光スキャナー１によれば、回動中心軸Ｙ１および可動中心軸Ｘ１のそれぞれの軸まわりに可動板２を安定して回動させることができる。

また、前述したように、光スキャナー１では、可動板２の回動中心軸Ｙ１まわりの回動は、可動板側軸部５２２、７２２がその中心軸まわりに捩じり変形することによって許容され、可動板２の回動中心軸Ｘ１まわりの回動は、可動板側軸部４２２、６２２がその中心軸まわりに捩じり変形することにより許容される。このように、各連結部４、５、６、７が中心軸まわりに捩じり変形可能な可動板側軸部４２２、５２２、６２２、７２２を有しているため、可動板２を回動中心軸Ｙ１、Ｘ１のそれぞれの軸まわりにスムーズに回動させることができる。

さらには、光スキャナー１では、可動板側軸部４２２、５２２、６２２、７２２が直接、可動板２に接続されているため、よりスムーズに、可動板２を回動中心軸Ｙ１、Ｘ１のそれぞれの軸まわりに回動させることができたり、Ｚ軸方向へ振動させたりすることができる。
また、光スキャナー１では、連結部４において、前述のように捩じり変形する可動板側軸部４２２と変形させたくない駆動部側軸部４２３との間に応力緩和部４２１を設けている。そのため、前述の捩じり変形により生じた応力は、応力緩和部４２１が変形することにより吸収・緩和され、駆動部側軸部４２３に伝わらない。すなわち、応力緩和部４２１を設けることにより、可動板２の回動中に駆動部側軸部４２３がその中心軸まわりに捩じり変形してしまうのを確実に防止することができる。このことは、連結部４以外の他の連結部５、６、７についても同様である。そのため、可動板２を回動中心軸Ｙ１、Ｘ１のそれぞれの軸まわりにスムーズに回動させることができる。

さらには、各駆動部側軸部４２３、５２３、６２３、７２３の破壊が効果的に防止される。すなわち、棒状の部材において、自然状態からＺ軸方向の応力が加わったときの破壊強度よりも、中心軸まわりの捩じり変形が生じている状態からＺ軸方向の応力が加わったときの破壊強度の方が低いことが技術的に明らかになっている。そのため、上述のように、応力緩和部４２１、５２１、６２１、７２１を設け、駆動部側軸部４２３、５２３、６２３、７２３に捩じり変形を生じさせないことにより、駆動部側軸部４２３、５２３、６２３、７２３の破壊を効果的に防止することができる。

また、連結部４において、駆動部側軸部４２３が実質的に変形しないため、駆動部４１の回動によって生じる応力を効率よく可動板２の回動に用いることができる。このことは連結部５、６、７についても同様である。そのため、可動板２を大きい回動角度でしかも省電力で回動させることができたり、大きい振幅でＺ軸方向に振動させたりすることができる。

ここで、光スキャナー１の構成の説明に戻る。連結部４、６について、回動中心軸Ｙ１と応力緩和部４２１の中心軸Ｙ４の離間距離および回動中心軸Ｙ１と応力緩和部６２１の中心軸Ｙ５の離間距離をそれぞれＬ１とし、中心軸Ｙ５と回動中心軸Ｙ２の離間距離および中心軸Ｙ５と回動中心軸Ｙ３の離間距離をそれぞれＬ２としたとき、Ｌ１とＬ２の大小関係は特に限定されない。例えば、Ｌ１＞Ｌ２の関係を満たしていてもよく、Ｌ１＝Ｌ２の関係を満たしていてもよく、Ｌ１＜Ｌ２の関係を満たしていてもよい。

Ｌ１＞Ｌ２の場合には、Ｌ１＝Ｌ２の場合と比較して可動板２の回動角が小さくなるが、可動板２の姿勢をより高精度に制御することができる。このことは、連結部６についても同様である。そのため、駆動部４１、６１を回動角に対して可動板２の回動角が小さくなる。これにより、可動板２の回動角や静止時の傾きを高精度に制御することができる。
一方、Ｌ１＜Ｌ２の場合には、Ｌ１＝Ｌ２の場合と比較して可動板２の回動角を大きくすることができる。このことは、連結部６についても同様である。そのため、駆動部４１、６１を回動角に対して可動板２の回動角が大きくなる。これにより、可動板２の回動角や静止時の傾きを大きくすることができる。

以上、連結部４、６について説明したが、連結部５、７についても同様のことが言える。すなわち、回動中心軸Ｘ１と応力緩和部５２１の中心軸Ｘ４の離間距離および回動中心軸Ｘ１と応力緩和部７２１の中心軸Ｘ５の離間距離をそれぞれＬ３とし、中心軸Ｘ４と回動中心軸Ｘ２の離間距離および中心軸Ｘ５と回動中心軸Ｘ３の離間距離をそれぞれＬ４としたとき、Ｌ３とＬ４の大小関係は特に限定されず、Ｌ３＞Ｌ４の関係を満たしていてもよく、Ｌ３＝Ｌ４の関係を満たしていてもよく、Ｌ３＜Ｌ４の関係を満たしていてもよい。なお、Ｌ３＞Ｌ４、Ｌ３＝Ｌ４およびＬ３＜Ｌ４の場合の効果は、それぞれ、上述したＬ１＞Ｌ２、Ｌ１＝Ｌ２およびＬ１＜Ｌ２の場合の効果と同様であるため、その説明を省略する。

Ｌ１、Ｌ２の関係とＬ３、Ｌ４の関係は、一致していてもよいし、一致していなくてもよい。すなわち、Ｌ１＝Ｌ２かつＬ３＝Ｌ４、Ｌ１＞Ｌ２かつＬ３＞Ｌ４、Ｌ１＜Ｌ２かつＬ３＜Ｌ４であってもよいし、Ｌ１＝Ｌ２かつＬ３＞Ｌ４、Ｌ１＞Ｌ２かつＬ３＝Ｌ４、Ｌ１＞Ｌ２かつＬ３＜Ｌ４等であってもよい。また、Ｌ１とＬ３およびＬ２とＬ４は、それぞれ、等しくても異なっていてもよい。
このように、光スキャナー１では、Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４の長さや関係を変化させることにより、異なる効果を発揮することができる。そのため、光スキャナー１は、優れた利便性を有している。Ｌなお、１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４の長さや関係は、光スキャナー１の使用用途（求められる特性）に基づいて適宜設定すればよい。

（光スキャナーの製造方法）
ここで、以上説明したように構成された光スキャナー１の製造方法の一例を図８に基づいて説明する。なお、図８は、図１中Ａ−Ａ線断面図に対応する断面図を示している。
前述したように構成された光スキャナー１は、例えば、振動構造体１１を形成するとともに、基台１２を形成した後、振動構造体１１と基台１２とを接合することにより得られる。

振動構造体１１の形成についてより具体的に説明すると、まず、図８（ａ）に示すように、ＳＯＩ基板１００を用意する。
このＳＯＩ基板１００は、第１のＳｉ層１１０と、ＳｉＯ_２層１２０と、第２のＳｉ層１３０とがこの順で上側から積層してなるものである。
また、第１のＳｉ層１１０および第２のＳｉ層１３０の主面は、それぞれ、シリコンの（１００）面で構成されている。

次いで、図８（ｂ）に示すように、ＳＯＩ基板１００の両面にＳｉＯ_２膜Ｍ１、Ｍ２を形成する。
このＳｉＯ_２膜Ｍ１は、ＳＯＩ基板１００の上面上に、例えば熱酸化により一様なＳｉＯ_２膜を形成した後に、そのＳｉＯ_２膜を可動板２、支持部３１〜３４および連結部４〜７に対応する平面視形状にパターンニングすることにより得られる。

ＳｉＯ_２膜のパターンニングは、例えば、リアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）、ＣＦ_４を用いたドライエッチングにより行うことができる。
また、ＳｉＯ_２膜Ｍ２は、ＳＯＩ基板１００の下面上に、例えば熱酸化により一様なＳｉＯ_２膜を形成した後に、そのＳｉＯ_２膜を支持部３１〜３４および補強部３５〜３８に対応する平面視形状にパターンニングすることにより得られる。

なお、ＳｉＯ_２膜Ｍ１、Ｍ２に代えて、ＳｉＮで構成された膜を用いてもよい。
次いで、図８（ｃ）に示すように、ＳｉＯ_２膜Ｍ１、Ｍ２を介してＳＯＩ基板１００をエッチングする。この際、ＳＯＩ基板１００の中間層たるＳｉＯ_２層１２０は、前記エッチングのストップ層として機能する。したがって、ＳｉＯ_２膜Ｍ１を介したエッチングでは、ＳＯＩ基板１００の第１のＳｉ層１１０がＳｉＯ_２膜Ｍ１に対応した形状にパターンニングされる。これにより、Ｓｉ構造体１１０Ａが得られる。また、ＳｉＯ_２膜Ｍ２を介したエッチングでは、ＳＯＩ基板１００の第２のＳｉ層１３０がＳｉＯ_２膜Ｍ２に対応した形状にパターンニングされる。これにより、Ｓｉ構造体１３０Ａが得られる。

ＳｉＯ_２膜Ｍ１を介したエッチング、および、ＳｉＯ_２膜Ｍ２を介したエッチングとしては、それぞれ、特に限定されない。例えば、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチング等の物理的エッチング法、ウェットエッチング等の化学的エッチング法等のうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができるが、誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング（ＩＣＰ−ＲＩＥ）を好適に用いることができる。

次いで、図８（ｄ）に示すように、ＳｉＯ_２膜Ｍ１およびＳｉ構造体１１０Ａを覆うように、保護層Ｍ３を形成する。
この保護層Ｍ３の構成材料としては、例えば、後述する異方性エッチングに対する耐性を有するとともに、後述する異方性エッチング後にＳｉ構造体１１０Ａを損傷することなく除去できるものであればよく、特に限定されないが、例えば、レジスト材料を用いることができる。

また、保護層Ｍ３の形成方法は、特に限定されず、例えば、保護層Ｍ３の構成材料がレジスト材料である場合、スピンコートや吹き付け等により行うことができる。
次に、Ｓｉ構造体１３０Ａの露出部分を異方性エッチングすることにより、図８（ｅ）に示すように、補強部３５、３７を形成する。このとき、補強部３５と対をなして残存部３５１が形成されるとともに、補強部３７と対をなして残存部３７１が形成される。なお、このとき、図示しないが、補強部３６、３８およびこれらと対をなす残存部も形成される。
かかる異方性エッチングとしては、特に限定されないが、例えば、ＴＭＡＨ水溶液や、ＫＯＨ水溶液等を用いたウェットエッチングが挙げられる。

次に、図８（ｆ）に示すように、保護層Ｍ３を除去する。
この保護層Ｍ３の除去方法としては、特に限定されず、例えば、保護層Ｍ３がレジスト材料で構成されている場合、硫酸による洗浄、Ｏ_２アッシング等が挙げられる。
次に、図８（ｇ）に示すように、例えばＢＦＨ（バッファードフッ酸）を用いて、ＳｉＯ_２層１２０の露出した部分を除去する。また、残存部３５１、３７１とＳｉ構造体１１０Ａとの間のＳｉＯ_２層１２０も除去される。

次に、図８（ｈ）に示すように、ＳｉＯ_２膜Ｍ１、Ｍ２を除去するとともに、残存部３５１、３７１を除去する。なお、図示しないが、補強部３４、３８およびこれらと対をなす残存部も除去する。
ＳｉＯ_２膜Ｍ１、Ｍ２の除去方法としては、特に限定されないが、例えば、リアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）、ＣＦ_４を用いたドライエッチング等が挙げられる。

残存部３５１、３７１等の除去方法としては、特に限定されないが、例えば人手により除去する方法が挙げられる。
その後、図示しないが、Ｓｉ構造体１１０Ａの上面（基部２３上）に、柱部２４を介して光反射板２５を接合する。これにより、振動構造体１１が得られる。
このような振動構造体１１の製造方法によれば、ＳＯＩ基板１００をエッチングすることにより支持部３１〜３４、連結部４〜７および補強部３５〜３８が形成される。具体的には、支持部３１〜３４は、それぞれ、第１のＳｉ層１１０の一部、ＳｉＯ_２層１２０の一部および第２のＳｉ層１３０の一部の積層体で構成され、連結部４〜７は、第１のＳｉ層１１０の一部で構成され、補強部３５〜３８は、第２のＳｉ層１３０の一部で構成される。これにより、簡単かつ高精度に、支持部３１〜３４、連結部４〜７および補強部３５〜３８を形成することができる。

以上説明したような第１実施形態に係る光スキャナー１によれば、複数の支持部３１〜３４が補強部３５〜３８により一体的に補強されるので、製造時や製造後において、複数の支持部３１〜３４間を所望の位置関係に維持することができる。そのため、光スキャナー１の品質を優れたものとすることができる。また、製造時において、治具を用いなくても、複数の支持部３１〜３４間を所望の位置関係に維持することができるので、生産性を優れたものとすることができる。
また、このように互いに離間した複数の支持部３１〜３４により複数の連結部４〜７を介して可動板２を支持するので、本実施形態のように電磁駆動方式を採用した場合に、後述するように、永久磁石とコイルとの間の距離を短くすることができる。そのため、光スキャナー１の省電力化を図ることができる。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図９は、本発明の光スキャナーの第２実施形態を示す断面図である。
以下、第２実施形態の光スキャナーについて、前述した実施形態の光スキャナーとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

第２実施形態の光スキャナーは、補強部の横断面形状が異なる以外は、第１実施形態の光スキャナー１とほぼ同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
図９に示す光スキャナー１Ａでは、支持部３１と支持部３２とを連結する補強部３５Ａと、支持部３３と支持部３４とを連結する補強部３７Ａとを有している。

補強部３５Ａ、３７Ａの横断面は、それぞれ、台形をなす。このような横断面形状をなす補強部３５Ａ、３７Ａも、前述した第１実施形態の補強部３５、３７と同様、例えばシリコンを異方性エッチングすることにより簡単かつ高精度に形成することができる。
より具体的に説明すると、例えば、補強部３５Ａは、図９に示すように、Ｘ軸およびＹ軸の双方に平行な１対の面３５３Ａ、３５４Ａと、その面３５３Ａ、３５４Ａに対して傾斜する１対の面３５１Ａ、３５２Ａとを有する。

このような補強部３５Ａは、面３５３Ａ、３５４Ａをそれぞれシリコンの（１００）面で構成し、面３５１、３５２をそれぞれシリコンの（１１１）面で構成することができる。
なお、同様に、補強部３７は、Ｘ軸およびＹ軸の双方に平行な面３７３Ａ、３７４Ａと、その面３７３Ａ、３７４Ａに対して傾斜する１対の面３７１Ａ、３７２Ａとを有する。
このような第２実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
図１０は、本発明の光スキャナーの第３実施形態の連結部を説明する図である。
以下、第３実施形態の光スキャナーについて、前述した実施形態の光スキャナーとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

第３実施形態の光スキャナーは、可動板および各連結部の構成が異なる以外は、第１実施形態の光スキャナー１とほぼ同様である。なお、本実施形態の光スキャナーも４つの連結部を有しているが、互いに同様の構成であるため、１つの連結部について代表して説明し、他の連結部については、その説明を省略する。また、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。

本実施形態に係る光スキャナーは、可動板２Ｂと、可動板２Ｂと図示しない支持部とを連結する連結部４Ｂとを有する。
本実施形態では、可動板２Ｂは、板状をなし、その上面に光反射部２２が設けられている。
そして、可動板２Ｂの側面には、連結部４Ｂが接続されている。

連結部４Ｂは、駆動部４１と、駆動部４１と可動板２Ｂとを連結する第１の軸部（軸部）４２Ｂと、駆動部４１と支持部３とを連結する一対の第２の軸部（梁部）４３Ｂとを有している。
一対の第２の軸部４３Ｂは、駆動部４１よりも薄く形成されている。これにより、各第２の軸部４３Ｂの捩り変形が容易となる。

第１の軸部４２Ｂは、駆動部４１と可動板２Ｂとの間に設けられた応力緩和部４２１Ｂと、応力緩和部４２１Ｂと可動板２Ｂとを連結する可動板側軸部４２２Ｂと、応力緩和部４２１Ｂと駆動部４１とを連結する駆動部側軸部（駆動部側軸部）４２３Ｂとを有している。
可動板側軸部４２２Ｂは、駆動部側軸部４２３Ｂよりも薄く形成されている。これにより、可動板側軸部４２２Ｂの捩り変形が容易となる。

このような可動板側軸部４２２Ｂおよび駆動部側軸部４２３Ｂは、応力緩和部４２１Ｂを介して連結している。応力緩和部４２１Ｂは、第１の軸部４２Ｂが屈曲変形する際の節となる機能と、可動板側軸部４２２Ｂの捩じり変形により発生するトルクを緩和（吸収）し、前記トルクが駆動部側軸部４２３Ｂに伝わるのを防止または抑制する機能とを有している。

応力緩和部４２１Ｂは、一対の変形部４２１１Ｂ、４２１２Ｂと、これらの間に設けられた非変形部４２１３Ｂと、変形部４２１１Ｂを非変形部４２１３Ｂに接続する一対の接続部４２１４Ｂと、変形部４２１２Ｂを非変形部４２１３Ｂに接続する一対の接続部４２１５Ｂとを有している。
非変形部４２１３Ｂは、Ｙ軸方向に延在する棒状をなしている。本実施形態では、非変形部４２１３Ｂの横断面積は、前述した各変形部４２１１Ｂ、４２１２Ｂの横断面積よりも大きい。このような非変形部４２１３Ｂは、光スキャナーの駆動時に実質的に変形しない硬さに設定されている。これにより、非変形部４２１３Ｂを中心に第１の軸部４２Ｂを屈曲させることができ、応力緩和部４２１Ｂに節としての機能を確実に発揮させることができ、光スキャナーを安定して駆動させることができる。

このような非変形部４２１３Ｂに対して対称的に一対の変形部４２１１Ｂ、４２１２Ｂが配置されている。変形部４２１１Ｂ、４２１２Ｂは、それぞれ、Ｙ軸方向に延在する棒状をなしている。また、変形部４２１１Ｂ、４２１２Ｂは、互いにＸ軸方向に離間して並設されている。このような変形部４２１１Ｂ、４２１２Ｂは、それぞれ、その中心軸まわりに捩じり変形可能となっている。

可動板２Ｂ側に位置する変形部４２１１Ｂは、その長手方向のほぼ中央にて可動板側軸部４２２Ｂの一端と連結しているとともに、その両端部にて一対の接続部４２１４Ｂを介して非変形部４２１３Ｂに連結している。同様に、駆動部４１側に位置する変形部４２１２Ｂは、その長手方向のほぼ中央にて駆動部側軸部４２３Ｂの一端と連結しているとともに、その両端部にて一対の接続部４２１５Ｂを介して非変形部４２１３Ｂに連結している。

一対の接続部４２１４Ｂの一方の接続部は、変形部４２１１Ｂおよび非変形部４２１３Ｂの一端部同士を連結し、他方の接続部は、変形部４２１１Ｂおよび非変形部４２１３Ｂの他端部同士を連結している。また、一対の接続部４２１５Ｂの一方の接続部は、変形部４２１２Ｂおよび非変形部４２１３Ｂの一端部同士を連結し、他方の接続部は、変形部４２１２Ｂおよび非変形部４２１３Ｂの他端部同士を連結している。

このような各接続部４２１４Ｂ、４２１５Ｂは、Ｘ軸方向に延在する棒状をなしている。また、各接続部４２１４Ｂ、４２１５Ｂは、Ｚ軸方向に湾曲可能でかつその中心軸まわりに捩じり変形可能となっている。
このような第３実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態について説明する。
図１１は、本発明の光スキャナーの第４実施形態の連結部を説明する図である。
以下、第４実施形態の光スキャナーについて、前述した実施形態の光スキャナーとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

第４実施形態の光スキャナーは、可動板および各連結部の構成が異なる以外は、第１実施形態の光スキャナー１とほぼ同様である。また、第４実施形態の光スキャナーは、応力緩和部の構成が異なる以外は、前述した第３実施形態の光スキャナーと同様である。なお、本実施形態の光スキャナーも４つの連結部を有しているが、互いに同様の構成であるため、１つの連結部について代表して説明し、他の連結部については、その説明を省略する。また、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。

図１１に示すように、本実施形態の光スキャナーは、可動板２Ｂと図示しない支持部とを連結する連結部４Ｃを有する。
連結部４Ｃは、駆動部４１と可動板２Ｂとを連結する第１の軸部（軸部）４２Ｃを有する。
第１の軸部４２Ｃは、駆動部４１と可動板２Ｂとの間に設けられた応力緩和部４２１Ｃを有する。

応力緩和部４２１Ｃでは、１対の接続部４２１５Ｂ上に１対の非変形部４２１３Ｃが設けられている。この一対の非変形部４２１３Ｃは、互いにＹ軸方向に離間し、Ｙ軸と平行な１つの軸線上に位置している。このような構成の連結部４Ｃでも、一対の非変形部４２１３Ｇ結んだ線分を軸にして第１の軸部４２Ｇを局所的に屈曲させることができる。
このような第４実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

以上説明したような光スキャナーは、例えば、プロジェクター、レーザープリンター、イメージング用ディスプレイ、バーコードリーダー、走査型共焦点顕微鏡などの画像形成装置に好適に適用することができる。その結果、優れた描画特性を有する画像形成装置を提供することができる。
具体的に、図１２に示すようなプロジェクター２００について説明する。なお、説明の便宜上、スクリーンＳの長手方向を「横方向」といい、長手方向に直角な方向を「縦方向」という。

プロジェクター２００は、レーザーなどの光を照出する光源装置２１０と、複数のダイクロイックミラー２２０、２２０、２２０と、光スキャナー１とを有している。
光源装置２１０は、赤色光を照出する赤色光源装置２１１と、青色光を照出する青色光源装置２１２と、緑色光を照出する緑色光源装置２１３とを備えている。各ダイクロイックミラー２２０は、赤色光源装置２１１、青色光源装置２１２、緑色光源装置２１３のそれぞれから照出された光を合成する光学素子である。

このようなプロジェクター２００は、図示しないホストコンピューターからの画像情報に基づいて、光源装置２１０（赤色光源装置２１１、青色光源装置２１２、緑色光源装置２１３）から照出された光をダイクロイックミラー２２０で合成し、この合成された光が光スキャナー１によって２次元走査され、スクリーンＳ上でカラー画像を形成するように構成されている。
２次元走査の際、光スキャナー１の可動板２の、回動中心軸Ｙ１まわりの回動により光反射部２２で反射した光がスクリーンＳの横方向に走査（主走査）される。一方、光スキャナー１の可動板２の、回動中心軸Ｘ１まわりの回動により光反射部２２で反射した光がスクリーンＳの縦方向に走査（副走査）される。

光スキャナー１による光の走査は、前述のようなラスタースキャンによって行ってもよしい、ベクタースキャンによって行ってもよい。特に、光スキャナー１は、その構成上、ベクタースキャンに適しているため、ベクタースキャンによって光を走査するのが好ましい。
ベクタースキャンとは、光源装置２１０から出射した光をスクリーンＳ対し、当該スクリーンＳ上の異なる２点を結ぶ線分を順次形成するように走査する手法である。すなわち、微少な直線を集合させることにより、スクリーンＳに所望の画像を形成する手法である。光スキャナー１では、前述したように、可動板２を不規則に連続的に変位させることができるため、このようなベクタースキャンに特に適している。

具体的に説明すれば、図１３に示すような文字の集合をベクタースキャンにて描画する場合には、光源装置２１０から出射した光をそれぞれの文字を書くように光を走査する。この際、光スキャナー１が有する可動板２の回動中心軸Ｘ１まわりの姿勢（回動）と回動中心軸Ｙ１まわりの姿勢（回動）とをそれぞれ制御することにより、不規則に光を走査することができ、図１３に示すような文字を一筆書きのごとき描画することができる。このようなベクタースキャンによれば、ラスタースキャンのように、スクリーンＳの全面に光を走査させなくてよいため、効率的に画像を描画することができる。
なお、図１２中では、ダイクロイックミラー２２０で合成された光を光スキャナー１によって２次元的に走査した後、その光を固定ミラー２５０で反射させてからスクリーンＳに画像を形成するように構成されているが、固定ミラー２５０を省略し、光スキャナー１によって２次元的に走査された光を直接スクリーンＳに照射してもよい。

以上説明したようなプロジェクター２００によれば、前述したような高品質で生産性に優れた光スキャナー１を備えるので、安価で信頼性に優れたものとなる。
以上、本発明のアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明のアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置では、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。また、例えば、本発明の光スキャナーでは、前述した実施形態を適宜組み合わせてもよい。

また、前述した実施形態では、各連結部の第１の軸部が応力緩和部を有する構成について説明したが、これに限定されず、応力緩和部を省略してもよい。すなわち、各連結部の第１の軸部は、可動板側軸部と駆動部側軸部とが直接接続されていてもよい。
また、前述した実施形態では、光スキャナーの駆動時に、各連結部の駆動部側軸部が実質的に変形しない構成について説明したが、これに限定されず、例えば、Ｚ軸方向に曲げ変形（湾曲変形）するように構成されていてもよい。

また、前述した実施形態では、２つの支持部同士を１つの補強部を介して連結する場合を例に説明したが、２つの支持部同士を２以上の補強部を介して連結してもよい。
また、補強部の横断面形状は、三角形、台形に限定されず、例えば、長方形、正方形等の四角形、五角形、六角形等の多角形等であってもよい。また、補強部は、可動板および各連結部の正常な変位を阻害しないものであれば、長尺状をなすものに限定されない。

１……光スキャナー １１……振動構造体 １１０Ａ、１３０Ａ……Ｓｉ構造体 １２……基台 １２１……凹部 １２２〜１２５……凸部 ２、２Ｂ……可動板 ２１……上面 ２２……光反射部 ２３……基部 ２４……柱部 ２５……光反射板 ３……支持部 ３５Ａ、３７Ａ……補強部 ３５１、３７１……残存部 ３５１Ａ、３５２Ａ、３５３、３５３Ａ、３５４Ａ、３７１Ａ、３７２Ａ、３７３、３７３Ａ、３７４Ａ……面 ４、４Ｃ、５、６、７……連結部 ４１、５１、６１、７１……駆動部 ４１１……貫通孔 ４２、４２Ｂ、４２Ｃ、４２Ｇ、５２、６２、７２……第１の軸部 ４２１、４２１Ｂ、４２１Ｃ、５２１、５２１Ｅ、６２１、６２１Ｅ、７２１、７２１Ｅ……応力緩和部 ４２１１、４２１１Ｂ、４２１２、５２１１、５２１２、６２１１、６２１２、７２１１、７２１２……変形部 ４２１３、４２１３Ｂ、４２１３Ｃ、４２１３Ｇ、５２１３、６２１３、７２１３……非変形部 ４２１４、４２１４Ｂ、４２１５、４２１５Ｂ、５２１４、５２１５、６２１４、６２１５、７２１４、７２１５……接続部 ４２１１Ｅ……第１の延在部 ４２１２Ｅ……第２の延在部 ４２１３Ｅ……第３の延在部 ４２１４Ｅ……第４の延在部 ４２１５Ｅ……第５の延在部 ４２１６Ｅ……第６の延在部 ４２１７Ｅ……第７の延在部 ４２２、４２２Ｂ、５２２、６２２、７２２……可動板側軸部 ４２３、４２３Ｂ、５２３、６２３、７２３……駆動部側軸部 ４３、４３Ｂ、５３、６３、７３……第２の軸部 ８……変位付与部 ８１、８１Ｂ……第１の変位付与部 ８２……第２の変位付与部 ８３……第３の変位付与部 ８４……第４の変位付与部 ８１１、８１１Ｂ、８２１、８３１、８４１……永久磁石 ８１２、８１２Ｂ、８２２、８３２、８４２……コイル ８１３、８１３Ｂ、８２３、８３３、８４３……電源 ８５、８５Ａ……コイル固定部 ８５１、８５２……電源部 ８５２Ａ……本体部 ９……制御部 １００……ＳＯＩ基板 １１０……第１のＳｉ層 １２０……ＳｉＯ_２層 １３０……第２のＳｉ層 ２００……プロジェクター ２１０……光源装置 ２１１……赤色光源装置 ２１２……青色光源装置 ２１３……緑色光源装置 ２２０……ダイクロイックミラー ２５０……固定ミラー Ｇ１……中心 Ｍ１、Ｍ２……ＳｉＯ_２膜 Ｍ３……保護層 Ｘ１〜Ｘ３、Ｙ１〜Ｙ３……回動中心軸 Ｘ４、Ｘ５、Ｙ４、Ｙ５……中心軸

Claims (16)

1. 光反射性を有する光反射部と、
   前記光反射部を備え、かつ変位可能な可動板と、
   前記可動板に連結される複数の連結部と、
   前記複数の連結部を支持し、かつ互いに離間して設けられた複数の支持部と、
   前記連結部とは前記可動板の厚さ方向での異なる位置に設けられ、前記複数の支持部と一体に形成され、前記支持部同士を連結する補強部と、
   前記可動板を変位させる変位付与部とを有することを特徴とするアクチュエーター。
2. 前記補強部は、長尺状をなし、その横断面の幅が前記連結部側に向けて漸減する請求項１に記載のアクチュエーター。
3. 前記補強部の横断面は、三角形をなす請求項２に記載のアクチュエーター。
4. 前記補強部の横断面は、台形をなす請求項２に記載のアクチュエーター。
5. 前記連結部は、４つ設けられ、
   前記各連結部は、変位可能に設けられた駆動部と、前記駆動部と前記可動板とを連結する軸部とを備える請求項１ないし４のいずれかに記載のアクチュエーター。
6. 前記補強部は、前記可動板を平面視したときに、前記可動板と重ならない位置に設けられている請求項５に記載のアクチュエーター。
7. 前記補強部は、前記可動板を平面視したときに、前記駆動部と重ならない位置に設けられている請求項５または６に記載のアクチュエーター。
8. 前記補強部は、前記可動板を平面視したときに、前記可動板と前記駆動部との間に位置している請求項７に記載のアクチュエーター。
9. 前記変位付与部は、前記駆動部に設けられた永久磁石と、前記永久磁石に対向するコイルとを備える請求項５ないし８のいずれかに記載のアクチュエーター。
10. 前記コイルは、前記駆動部に対して前記可動板とは反対側に設けられている請求項９に記載のアクチュエーター。
11. 互いに直交する３つの軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸としたとき、
    前記４つの連結部のうちの２つの連結部は、前記可動板を介してＸ軸に平行な方向に互いに対向し、当該２つの連結部は、それぞれ、前記駆動部と前記支持部とを連結しＹ軸に平行な方向に延在する１対の梁部を備え、
    前記４つの連結部のうちの他の２つの連結部は、前記可動板を介してＹ軸に平行な方向に互いに対向し、当該他の２つの連結部は、それぞれ、前記駆動部と前記支持部とを連結しＸ軸に平行な方向に延在する１対の梁部を備える請求項５ないし１０のいずれかにに記載のアクチュエーター。
12. 前記各軸部は、前記可動板と前記駆動部の間に設けられた応力緩和部と、前記応力緩和部と前記可動板とを連結する可動板側軸部と、前記応力緩和部と前記駆動部とを連結する駆動部側軸部とを有し、前記応力緩和部で屈曲する請求項１１に記載のアクチュエーター。
13. 前記複数の支持部、前記複数の連結部および前記補強部は、第１のＳｉ層、ＳｉＯ_２層および第２のＳｉ層をこの順で積層してなるＳＯＩ基板をエッチングすることにより形成されたものである請求項１ないし１２のいずれかに記載のアクチュエーター。
14. 前記複数の支持部は、それぞれ、前記第１のＳｉ層の一部、前記ＳｉＯ_２層の一部および前記第２のＳｉ層の一部の積層体で構成され、前記複数の連結部は、前記第１のＳｉ層の一部で構成され、前記補強部は、前記第２のＳｉ層の一部で構成されている請求項１３に記載のアクチュエーター。
15. 光反射性を有する光反射部と、
    前記光反射部を備え、かつ変位可能な可動板と、
    前記可動板に連結される複数の連結部と、
    前記複数の連結部を支持し、かつ互いに離間して設けられた複数の支持部と、
    前記連結部とは前記可動板の厚さ方向での異なる位置に設けられ、前記複数の支持部と一体に形成され、前記支持部同士を連結する補強部と、
    前記可動板を変位させる変位付与部とを有することを特徴とする光スキャナー。
16. 光源と、
    前記光源からの光を走査する光スキャナーとを有し、
    前記光スキャナーは、
    光反射性を有する光反射部と、
    前記光反射部を備え、かつ変位可能な可動板と、
    前記可動板に連結される複数の連結部と、
    前記複数の連結部を支持し、かつ互いに離間して設けられた複数の支持部と、
    前記連結部とは前記可動板の厚さ方向での異なる位置に設けられ、前記複数の支持部と一体に形成され、前記支持部同士を連結する補強部と、
    前記可動板を変位させる変位付与部とを有することを特徴とする画像形成装置。

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