JP2012121315A

JP2012121315A - Laminating apparatus by air pressing and its laminating method

Info

Publication number: JP2012121315A
Application number: JP2011067787A
Authority: JP
Inventors: Jum-Lyul Han; ハン、ジョン−ユル
Original assignee: APRO System Co Ltd
Current assignee: APRO System Co Ltd
Priority date: 2010-12-07
Filing date: 2011-03-25
Publication date: 2012-06-28
Also published as: CN102555404A; TW201223771A

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laminating apparatus capable of forming an air pressing pattern with which air bubbles on a contact surface generated during a laminating process can be removed, and its laminating method.SOLUTION: The laminating apparatus includes a carrier device and a positive pressure pressing device. The carrier device accommodates substrates to be worked and forms a vacuum to fix and pressure-bond the substrates with one another. The positive pressure pressing device jets air toward an elastic film of the carrier device to strengthen an adhesive force between the substrates and concurrently removes the air bubbles between the substrates which may occur during the laminating process by bringing an effect as if the jetted air swept the substrate out from the center. Since pressurization by such air pressing causes the substrate or the like to be stored in another transferrable carrier device instead of a chamber, the positive pressure pressing device can perform repeated air pressing steps for a plurality of carrier devices.

Description

本発明は、エアープレッシング（ＡｉｒＰｒｅｓｓｉｎｇ）により基板にフィルムまたはパネルを接着するラミネーティング装置及びそのラミネーティング方法に係り、特に、該当のラミネーティングに提供される基板またはフィルムを別途の真空キャリアまたはカートリッジに収納した後、エアープレッシングによりラミネーティングする装置及び方法に関するものである。 The present invention relates to a laminating apparatus for adhering a film or panel to a substrate by air pressing and a laminating method thereof, and more particularly, to a substrate or film provided for the laminating as a separate vacuum carrier or cartridge. The present invention relates to an apparatus and a method for laminating by air pressing after being stored in a container.

本発明でいうラミネーティング（Ｌａｍｉｎａｔｉｎｇ）とは、２以上の層（Ｌａｙｅｒ）を互いに接着してパネルを形成することを意味する。ここで、パネルは、ガラス（Ｇｌａｓｓ）、合成樹脂基板、半導体基板の他に、合成樹脂フィルム（Ｆｉｌｍ）も含む。 In the present invention, laminating means that two or more layers are bonded together to form a panel. Here, the panel includes a synthetic resin film (Film) in addition to glass, a synthetic resin substrate, and a semiconductor substrate.

例えば、ディスプレイパネルの製作のために、パネル用のガラスに各種のフィルムをラミネートして接着する。また、ガラスとガラスとを接着するために両ガラスの間に接着用フィルムを介在してラミネートする。また、静電容量方式のタッチセンサーは、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ：ＩｎｄｕｍｅＴｉｎＯｘｉｄｅ）パネルをエッチングして透明な電気的パターンを形成し、該パターン上に、アクリルなどの強化ガラスをＯＣＡ（ＯｐｔｉｃａｌＣｌｅａｒＡｄｈｅｓｉｖｅ）フィルムでラミネートすることによって製造する。 For example, for the production of a display panel, various films are laminated and bonded to the glass for the panel. Moreover, in order to adhere | attach glass and glass, it laminates by interposing the adhesive film between both glass. In addition, a capacitive touch sensor forms a transparent electrical pattern by etching an indium tin oxide (ITO) panel, and tempered glass such as acrylic is formed on the pattern using OCA (Optical). It is manufactured by laminating with (Clear Adhesive) film.

このようなラミネーティング過程では、接着面に気泡などが発生することがあるが、ガラスやディスプレイ用パネルの大きさが増加するにつれて気泡の除去もより難しくなるという問題があった。 In such a laminating process, bubbles or the like may be generated on the bonding surface, but there is a problem that it becomes more difficult to remove the bubbles as the size of the glass or display panel increases.

従来、基板またはフィルムの間に発生する気泡を除去する方法の一つとして、ラミネーティング処理したパネルを、大型チャンバー形態の加圧装置に入れて加圧する方法が用いられてきた。真空ポンプなどによりチャンバー内の圧力が変わりつつ加圧されたパネルは、中心から縁部へと押し出す力が発生し、気泡を押し出すようになる。シャルルボイルの法則（ＰＶ＝ｎＲＴ）によると、チャンバーの体積（Ｖ）は固定した値に該当するので、チャンバー内の圧力は温度の関数となる。もし、温度（Ｔ）を一定に保たなければならないとすれば、チャンバー内の圧力の変化は真空ポンプのみによってなされることになるので、その圧力変化は極めて徐々に為されざるを得ず、大型基板ではその効果が期待し難い。 Conventionally, as a method for removing bubbles generated between a substrate or a film, a method in which a panel subjected to a laminating treatment is put into a pressurizing device in the form of a large chamber and pressed has been used. A panel pressed while the pressure in the chamber is changed by a vacuum pump or the like generates a force to be pushed from the center to the edge, and pushes out bubbles. According to Charles Boyle's law (PV = nRT), the chamber volume (V) corresponds to a fixed value, so the pressure in the chamber is a function of temperature. If the temperature (T) must be kept constant, the pressure in the chamber is changed only by the vacuum pump, so the pressure change must be made very gradually, The effect is difficult to expect with large substrates.

一方、このような気泡除去工程は、タッチセンサーの他、ＴＦＴ−ＬＣＤ（ＴｈｉｎＦｉｌｍＴｒａｎｓｉｓｔｏｒ−ＬｉｑｕｉｄＣｒｙｓｔａｌＤｉｓｐｌａｙ）パネル生産工程においてもＬＣＤセルと偏光板との接着面に発生する気泡を除去するのに用いられる。 On the other hand, such a bubble removing process is used to remove bubbles generated on the adhesive surface between the LCD cell and the polarizing plate in the TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display) panel production process in addition to the touch sensor. Used.

本発明の目的は、エアープレッシング（ＡｉｒＰｒｅｓｓｉｎｇ）により基板にフィルムまたはパネルを接着するラミネーティング装置及びそのラミネーティング方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a laminating apparatus for bonding a film or a panel to a substrate by air pressing and a laminating method thereof.

本発明の他の目的は、ラミネーティング過程で発生する接触面上の気泡を除去できるようなエアープレッシングパターンを形成できるラミネーティング装置及びそのラミネーティング方法を提供することにある。 Another object of the present invention is to provide a laminating apparatus and a laminating method for forming a laminating apparatus capable of forming an air pressing pattern capable of removing bubbles on a contact surface generated in the laminating process.

上記目的を達成するために、本発明によって２以上の層（Ｌａｙｅｒ）が積層されてなるパネルを形成するラミネーティング装置は、キャリア装置と正圧プレス装置とを含む。 In order to achieve the above object, a laminating apparatus for forming a panel in which two or more layers are laminated according to the present invention includes a carrier apparatus and a positive pressure pressing apparatus.

前記キャリア装置は、前記パネル用被加工物を収容する内部空間部を形成し、上側が開放されたフレームと、前記フレームの開放された上側部分を覆って前記内部空間部を密閉する弾性膜と、前記内部空間部を真空状態にさせて負圧を形成する真空生成手段と、を備え、負圧で前記被加工物の位置を固定して互いに接着させる。 The carrier device forms an internal space portion that accommodates the panel work piece, a frame that is open on the upper side, and an elastic membrane that covers the open upper portion of the frame and seals the internal space portion. And vacuum generating means for forming a negative pressure by making the internal space part into a vacuum state, and fixing the positions of the workpieces with the negative pressure and bonding them together.

前記正圧プレス装置は、前記キャリア装置と結合して、前記キャリア装置の弾性膜に高圧のエアーを噴射して、前記固定されている被加工物をさらに圧着させることによって接着させる。 The positive pressure press device is bonded to the carrier device by injecting high-pressure air onto the elastic film of the carrier device to further press-fit the fixed workpiece.

実施例によって、前記正圧プレス装置は、前記エアーを前記弾性膜に噴射する複数個のノズル部とノズル弁とを含む。ノズル弁は、前記複数個のノズル部に提供されるエアーを個別に制御して、前記弾性膜に噴射されたエアーが、前記弾性膜の中心から縁部に向かう放射状の流れを形成するようにすることによって、エアーが前記被加工物をその中心から縁部に掃き出すような効果をもたらし、接着面の気泡を除去する。 According to an embodiment, the positive pressure pressing device includes a plurality of nozzle portions and nozzle valves that inject the air onto the elastic membrane. The nozzle valve individually controls the air provided to the plurality of nozzle parts so that the air injected to the elastic film forms a radial flow from the center of the elastic film toward the edge. By doing so, the air has the effect of sweeping out the workpiece from its center to the edge, and the bubbles on the bonding surface are removed.

例えば、前記複数個のノズル部は、前記キャリア装置と結合するノズルプレート上に形成され、前記ノズルプレートの中心に配置される第１のノズル部と、前記第１のノズル部を取り囲む領域に配置される第２のノズル部と、前記第２のノズル部を取り囲む領域に配置される第３のノズル部と、を含む。前記第１のノズル部、第２のノズル部及び第３のノズル部が順次開放されることによって、前記放射形エアーの流れを形成する。 For example, the plurality of nozzle portions are formed on a nozzle plate coupled to the carrier device, and are disposed in a region surrounding the first nozzle portion and a first nozzle portion disposed at the center of the nozzle plate. And a third nozzle portion disposed in a region surrounding the second nozzle portion. The radial air flow is formed by sequentially opening the first nozzle portion, the second nozzle portion, and the third nozzle portion.

他の実施例によって、前記正圧プレス装置は、前記弾性膜との間に密閉された正圧空間を形成しながら前記キャリア装置と結合して、前記エアーを前記正圧空間を通して前記弾性膜に噴射し、この場合、前記正圧空間の圧力が、設定された基本圧力（Ｐｉ）を維持しながら周期的に、設定された最高圧力（Ｐｍａｘ）になるように制御することによって、前記弾性膜を通して前記基板に提供される圧力に周期的にインパクトを持たせることができる。このようなインパクトは、気泡の除去効果をより強化し、その分、接着面における接着力をより強化する。 According to another embodiment, the positive pressure pressing device is coupled to the carrier device while forming a sealed positive pressure space with the elastic membrane, and the air is passed through the positive pressure space to the elastic membrane. In this case, the elastic membrane is controlled by periodically controlling the pressure in the positive pressure space to the set maximum pressure (Pmax) while maintaining the set basic pressure (Pi). The pressure provided to the substrate through can be periodically impacted. Such an impact further enhances the effect of removing bubbles, and accordingly, further strengthens the adhesive force on the bonding surface.

実施例によって、本発明のラミネーティング装置は、前記キャリア装置を一定の温度に加熱して前記接着を促進する加熱手段をさらに含むことができる。 Depending on the embodiment, the laminating apparatus of the present invention may further include a heating unit that heats the carrier device to a certain temperature to promote the adhesion.

また、前記被加工物が２枚の透明基板の間に紫外線硬化樹脂が塗布されてなるものである場合、本発明のラミネーティング装置は、前記キャリア装置の弾性膜に紫外線を照射して前記紫外線硬化樹脂を硬化させる紫外線ランプをさらに含むことができる。この場合、前記弾性膜は紫外線を透過させうる合成樹脂膜としなければならない。 In the case where the workpiece is formed by applying an ultraviolet curable resin between two transparent substrates, the laminating device of the present invention irradiates the elastic film of the carrier device with ultraviolet rays to An ultraviolet lamp that cures the cured resin may be further included. In this case, the elastic film must be a synthetic resin film that can transmit ultraviolet rays.

本発明の他の実施例によって２以上の層が積層されてなるパネルを形成するラミネーティング方法は、一面が弾性膜から形成されて密閉された内部空間部を有するキャリア装置に、前記パネル用被加工物を収容し、前記内部空間部を真空にして前記弾性膜により前記被加工物同士が圧着しつつ固定されるようにする段階と、前記キャリア装置を加熱して前記被加工物間の接着を促進させる段階と、前記キャリア装置の弾性膜に向かって高圧のエアーを噴射して前記被加工物同士をより圧着して前記接着を促進するエアープレッシング段階と、を含む。 According to another embodiment of the present invention, there is provided a laminating method for forming a panel in which two or more layers are laminated. A laminating method is provided on a carrier device having a sealed inner space portion formed of an elastic film on one side. Storing the workpiece, vacuuming the internal space so that the workpieces are fixed to each other by pressure bonding with the elastic film, and heating the carrier device to bond between the workpieces And an air pressing step of injecting high-pressure air toward the elastic film of the carrier device to further press-bond the workpieces to promote the adhesion.

本発明に係るラミネーティング装置は、真空固定後にエアープレス（ＡｉｒＰｒｅｓｓｉｎｇ）方式によるラミネーティング工程を行う。本発明のラミネーティング装置は、基板などを収容するために別個の移送可能なキャリア装置を用いるから、一つのキャリア装置へのラミネーティング工程後に直ちに次のキャリア装置へのラミネーティング工程を行うことができる。これによって、エアープレッシング動作に提供される正圧プレス装置の接着時間（ｔａｃｋｔｉｍｅ）を低減し、正圧プレス装置の効率を極大化することができる。 The laminating apparatus according to the present invention performs a laminating process by an air pressing method after vacuum fixation. Since the laminating device of the present invention uses a separate transportable carrier device to accommodate a substrate or the like, the laminating step to the next carrier device can be performed immediately after the laminating step to one carrier device. it can. Thereby, the adhesion time (tack time) of the positive pressure press apparatus provided for the air pressing operation can be reduced, and the efficiency of the positive pressure press apparatus can be maximized.

本発明のラミネーティング装置はエアープレッシングを行うに当たって、エアープレッシング動作が基板の中心から縁部に向かって掃き出すような効果をもたらし、ラミネーティング過程で接着面に発生しうる気泡を除去することができる。 The laminating apparatus of the present invention has an effect that the air pressing operation sweeps from the center of the substrate toward the edge when air pressing is performed, and bubbles that may be generated on the bonding surface in the laminating process can be removed. .

また、本発明のラミネーティング装置は、一定の正圧を均一に提供せず、インパクト（Ｉｍｐａｃｔ）を与える如き圧力の変化を与えることで、エアープレッシングによる基板と基板またはフィルム間の密着を強化し、接着面に発生しうる気泡を除去することができる。 In addition, the laminating apparatus of the present invention does not provide a constant positive pressure uniformly, but gives a change in pressure that gives an impact, thereby strengthening the adhesion between the substrate and the substrate or film by air pressing. The air bubbles that can be generated on the adhesive surface can be removed.

本発明のラミネーティング装置を示す図である。It is a figure which shows the laminating apparatus of this invention. 本発明のキャリア装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the carrier apparatus of this invention. 正圧プレス装置に装着されたキャリア装置の断面図である。It is sectional drawing of the carrier apparatus with which the positive pressure press apparatus was mounted | worn. 正圧プレスユニットに結合された状態のキャリア装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the carrier apparatus of the state couple | bonded with the positive pressure press unit. ノズルプレートの平面図である。It is a top view of a nozzle plate. 正圧空間内における圧力の変移を示すグラフである。It is a graph which shows the change of the pressure in positive pressure space. 本発明のラミネーティング方法を説明するための工程図である。It is process drawing for demonstrating the laminating method of this invention.

以下、添付の図面を参照しつつ、本発明をより詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

図１及び図２を参照すると、本発明のラミネーティング装置１００は、２以上の層（Ｌａｙｅｒ）を互いに接着してパネルを形成するラミネーティング工程に使われる。ここで、パネルには、ガラス（Ｇｌａｓｓ）、合成樹脂基板、半導体基板の他、合成樹脂フィルム（Ｆｉｌｍ）も含まれる。 1 and 2, the laminating apparatus 100 of the present invention is used in a laminating process in which two or more layers are bonded together to form a panel. Here, the panel includes a synthetic resin film (Film) as well as glass, a synthetic resin substrate, and a semiconductor substrate.

したがって、このラミネーティング工程には、ガラス上に薄膜合成樹脂フィルムを接着する工程、ガラスとガラスとの間に接着剤や接着フィルムを積層して互いに接着する工程、ディスプレイ用パネル上にフィルムを接着する工程、透明電極であるインジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）が形成されているガラス上に、強化ガラスを、ＯＣＡ（ＯｐｔｉｃａｌｌｙＣｌｅａｒＡｄｈｅｓｉｖｅ）フィルムや紫外線硬化樹脂にて接着してタッチスクリーン用のパネルを製造する工程、ガラスや合成樹脂パネル上に偏光フィルムまたは紫外線遮断フィルムなどを接着してサングラスやゴーグルを製造する工程などのいずれも該当することができる。以下では、このような工程の代表として、ＩＴＯパネル（以下、‘第１の基板'という。）１１と強化ガラス（以下、‘第２の基板'という。）１３とをＯＣＡフィルム（以下、‘接着フィルム'と略す。）１５を用いて接着する例を取り上げて説明する。 Therefore, in this laminating process, a process of adhering a thin film synthetic resin film on glass, a process of laminating an adhesive or an adhesive film between glass and adhering each other, and adhering a film on a display panel A panel for a touch screen is manufactured by adhering tempered glass with an OCA (Optically Clear Adhesive) film or an ultraviolet curable resin on a glass on which indium tin oxide (ITO) as a transparent electrode is formed. Any of the process of manufacturing sunglasses or goggles by bonding a polarizing film or an ultraviolet blocking film on glass or a synthetic resin panel can be applied. In the following, as a representative of such a process, an ITO panel (hereinafter referred to as “first substrate”) 11 and a tempered glass (hereinafter referred to as “second substrate”) 13 are combined with an OCA film (hereinafter referred to as “ An example of bonding using 15 will be described.

ラミネーティング装置１００は、少なくとも一つのキャリア装置１１０と、キャリア装置１１０に対してエアープレッシング（ＡｉｒＰｒｅｓｓｉｎｇ）を行う正圧プレス装置１５０と、を含む。キャリア装置１１０は、ラミネーティングでパネルを成形する被加工物（第１の基板、フィルム及び第２の基板）を収容したまま別の移送手段１３０によって正圧プレス装置１５０に移送され、該キャリア装置１１０内に収容されている基板１１〜１５を正圧プレス装置１５０でエアープレッシングすることでラミネーティング工程を行う。 The laminating device 100 includes at least one carrier device 110 and a positive pressure press device 150 that performs air pressing on the carrier device 110. The carrier device 110 is transferred to the positive pressure press device 150 by another transfer means 130 while receiving a workpiece (first substrate, film, and second substrate) for forming a panel by laminating, and the carrier device. A laminating process is performed by air-pressing the substrates 11 to 15 accommodated in 110 with a positive pressure press device 150.

キャリア装置１１０は、上側が開放された内部空間部２０１を形成するフレーム１０１と、フレーム１０１に支持され、フレーム１０１の開放された上側を覆って内部空間部２０１を密閉する弾性膜１０３と、を含み、内部空間部２０１には、被加工物である基板１１，１３，１５が収容される。上述した如く、ラミネーティング工程の種類に応じて、内部空間部２０１に収容される基板の種類を自由に可変することができる。 The carrier device 110 includes a frame 101 that forms an internal space 201 that is open on the upper side, and an elastic film 103 that is supported by the frame 101 and covers the open upper side of the frame 101 and seals the internal space 201. In addition, the internal space 201 accommodates substrates 11, 13, and 15 that are workpieces. As described above, the type of the substrate accommodated in the internal space 201 can be freely changed according to the type of laminating process.

弾性膜１０３は、若干の弾性を有する合成樹脂膜とする。ＩＴＯパネル１１と強化ガラス１３との間に紫外線硬化樹脂を塗布して接着する場合、弾性膜１０３は、紫外線透過可能な膜としなければならず、例えば、ポリメチルメタクリレート（Ｐｏｌｙｍｅｔｈｙｌｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ；ＰＭＭＡ）、ポリカーボネート（Ｐｏｌｙｃａｒｂｏｎａｔｅ；ＰＣ）、透明性ポリオレフィン系樹脂、透明性アクリロニトリルブタジエンスチレン（ＡｃｒｙｌｏｎｉｔｒｉｌｅＢｕｔａｄｉｅｎｅＳｔｙｒｅｎｅｃｏｐｏｌｙｍｅｒ；ＡＢＳ）などのスチレン系樹脂などを使用することができる。 The elastic film 103 is a synthetic resin film having a slight elasticity. When an ultraviolet curable resin is applied and adhered between the ITO panel 11 and the tempered glass 13, the elastic film 103 must be a film that can transmit ultraviolet light, such as polymethyl methacrylate (PMMA) or polycarbonate. (Polycarbonate; PC), a transparent polyolefin resin, a styrene resin such as transparent acrylonitrile butadiene styrene (ABS), and the like can be used.

弾性膜１０３の厚さは１ｍｍ以下のものとすることが好ましく、概してその面積などに照らして０．２ｍｍ〜１ｍｍの厚さとすることが好ましい。 The thickness of the elastic membrane 103 is preferably 1 mm or less, and is generally preferably 0.2 mm to 1 mm in light of its area.

キャリア装置１１０は、内部空間部２０１を真空にするために、フレーム１０１の一側に形成された真空生成手段２０３を含む。 The carrier device 110 includes a vacuum generating unit 203 formed on one side of the frame 101 in order to make the internal space 201 a vacuum.

真空生成手段２０３は、内部空間部２０１とフレーム１０１の外側とを連通させてエアー（Ａｉｒ）の排出経路を提供する排出管２０５と、排出管２０５に連結されて内部空間部２０１中のエアーを吸入することで、内部空間部２０１を真空にさせる真空ポンプ（図示せず）と、を含む。真空生成手段２０３により内部空間部２０１は略１０^-1ｂａｒの負圧、すなわち真空を維持する。 The vacuum generating unit 203 communicates the internal space 201 and the outside of the frame 101 to provide an air discharge path, and is connected to the discharge pipe 205 to discharge air in the internal space 201. A vacuum pump (not shown) that evacuates the internal space 201 by inhalation. The internal space portion 201 maintains a negative pressure of about 10 ⁻¹ bar, that is, a vacuum, by the vacuum generation means 203.

キャリア装置１１０の内部空間部２０１に第１の基板１１及び第２の基板１３を収容するために、図２に示すように、フレーム１０１が上部と下部とに分けられ、上部キャリア２０７と下部キャリア２０９とに区分されるようになる。当然ながら、上部キャリア２０７と下部キャリア２０９とが結合する場合、その間に設けられたＯリング（ＯＲｉｎｇ）などによって内部空間部２０１をシールすることができる。 To accommodate the first substrate 11 and the second substrate 13 in the internal space 201 of the carrier device 110, the frame 101 is divided into an upper part and a lower part as shown in FIG. 209. Of course, when the upper carrier 207 and the lower carrier 209 are coupled, the internal space 201 can be sealed by an O-ring or the like provided therebetween.

次に、キャリア装置１１０の動作について簡単に説明する。 Next, the operation of the carrier device 110 will be briefly described.

まず、上部キャリア２０７が開放された状態で下部キャリア２０９の底部に第１の基板１１を配置し、第１の基板１１の上面に接着フィルム１５と第２の基板１３を順次に配置する。 First, the first substrate 11 is disposed on the bottom of the lower carrier 209 with the upper carrier 207 opened, and the adhesive film 15 and the second substrate 13 are sequentially disposed on the upper surface of the first substrate 11.

真空生成手段２０３によって内部空間部２０１に負圧、すなわち、真空が形成される場合、弾性膜１０３は、内部空間部２０１に向かって作用する外部の大気圧によって内部空間部２０１に押し入れられるようになり、内部空間部２０１に収容されている第２の基板１３と第１の基板１１とを加圧して密着させる。この場合、流体の特性の上、大気圧が弾性膜１０３の全面に均一に作用するから、平板状の第１の基板１１及び第２の基板１３が全体として均一な圧力で加圧されることとなる。 When a negative pressure, that is, a vacuum is formed in the internal space 201 by the vacuum generation unit 203, the elastic film 103 is pushed into the internal space 201 by the external atmospheric pressure acting toward the internal space 201. Thus, the second substrate 13 and the first substrate 11 accommodated in the internal space 201 are pressed and brought into close contact with each other. In this case, the atmospheric pressure uniformly acts on the entire surface of the elastic film 103 due to the characteristics of the fluid, so that the flat plate-like first substrate 11 and the second substrate 13 are pressurized with a uniform pressure as a whole. It becomes.

キャリア装置１１０で加圧された第１の基板１１及び第２の基板１３は、その位置及び形態が固定される。したがって、キャリア装置１１０は、後で行われる加熱工程または正圧プレス装置１５０におけるエアープレッシング工程中に発生しうる第１の基板１１または第２の基板１３自体の歪みまたは位置ずれなどを防止することができる。 The positions and forms of the first substrate 11 and the second substrate 13 pressed by the carrier device 110 are fixed. Therefore, the carrier device 110 prevents the first substrate 11 or the second substrate 13 itself from being distorted or misaligned during a heating process performed later or an air pressing process in the positive pressure press apparatus 150. Can do.

キャリア装置１１０は、移送装置１３０により正圧プレス装置１５０内に移送される。 The carrier device 110 is transferred into the positive pressure press device 150 by the transfer device 130.

実施例によっては、例えば、キャリア装置１１０は、正圧プレス装置１５０に移送される前に、移送経路の一側に別途に設けられた加熱装置１７０によって一定の温度まで加熱されることもできる。この加熱装置１７０の加熱によって第１の基板１１と第２の基板１３とが接着フィルム１５にて熱接着されることとなる。この場合、キャリア装置１１０は、第２の基板１３及び第１の基板１１を負圧で固定して保持することによって、第２の基板１３及び第１の基板１１が加熱によって熱変形することを防止する。 In some embodiments, for example, the carrier device 110 may be heated to a certain temperature by a heating device 170 separately provided on one side of the transfer path before being transferred to the positive pressure press device 150. The first substrate 11 and the second substrate 13 are thermally bonded by the adhesive film 15 by the heating of the heating device 170. In this case, the carrier device 110 fixes and holds the second substrate 13 and the first substrate 11 with negative pressure, so that the second substrate 13 and the first substrate 11 are thermally deformed by heating. To prevent.

加熱装置１７０は、図１に示すように、キャリア装置１１０と別個として設けられることが好ましいが、別の実施例では、平板状のセラミックヒーターの形態としてキャリア装置１１０の一側に設けることもできる。 As shown in FIG. 1, the heating device 170 is preferably provided separately from the carrier device 110. However, in another embodiment, the heating device 170 may be provided on one side of the carrier device 110 in the form of a plate-shaped ceramic heater. .

図１乃至図４を参照すると、正圧プレス装置１５０は、エアープレスユニット１５１と、キャリア装着部１５５と、バックアップユニット１５７と、を含み、キャリア装置１１０及び移送手段１３０とは独立した一つの別体の装置とされる。 1 to 4, the positive pressure press device 150 includes an air press unit 151, a carrier mounting unit 155, and a backup unit 157, and is one independent of the carrier device 110 and the transfer means 130. It is considered as a body device.

図３に示すように、キャリア装着部１５５は、移送手段１３０によって正圧プレス装置１５０内に移送されるキャリア装置１１０を収容し、垂直移送手段１５５−１を備えて、収容しているキャリア装置１１０を垂直方向に移送することで、図４に示すように、上側に設けられたエアープレスユニット１５１に結合させる。正圧プレス装置１５０は、キャリア装着部１５５の垂直移送手段１５５−１に代わり、エアープレスユニット１５１を垂直移送させる移送手段を含むこともできる。 As shown in FIG. 3, the carrier mounting portion 155 accommodates the carrier device 110 that is transported into the positive pressure press device 150 by the transport means 130, and includes the vertical transport means 155-1 and accommodates the carrier device. By moving 110 in the vertical direction, as shown in FIG. 4, it is coupled to an air press unit 151 provided on the upper side. The positive pressure press device 150 may include a transfer unit that vertically transfers the air press unit 151 instead of the vertical transfer unit 155-1 of the carrier mounting unit 155.

バックアップユニット１５７は、図３に示すように、キャリア装置１１０がキャリア装着部１５５によって上側に移送されてエアープレスユニット１５１と結合する際に、キャリア装置１１０またはキャリア装着部１５５の下部へと支持部材１５７−１を移送させることで、エアープレスユニット１５１からキャリア装置１１０に加えられる正圧が支持部材１５７−１によって支持されるようにする。 As shown in FIG. 3, the backup unit 157 supports the carrier device 110 or a lower portion of the carrier mounting portion 155 when the carrier device 110 is moved upward by the carrier mounting portion 155 and coupled to the air press unit 151. By transferring 157-1, the positive pressure applied from the air press unit 151 to the carrier device 110 is supported by the support member 157-1.

エアープレスユニット１５１は、キャリア装着部１５５の上方に設けられ、キャリア装着部１５５により垂直移送されたキャリア装置１１０と結合（Ｄｏｃｋｉｎｇ）する。エアープレスユニット１５１は、その下方にノズルプレート１５３が露出して形成され、外部のエアーポンプ（図示せず）に連結されて、エアーポンプ（図示せず）から提供される高圧のエアーを一定の範囲の正圧で制御し、ノズルプレート１５３からキャリア装置１１０の弾性膜１０３に噴射する。 The air press unit 151 is provided above the carrier mounting portion 155 and is docked with the carrier device 110 vertically transferred by the carrier mounting portion 155. The air press unit 151 is formed with the nozzle plate 153 exposed below the air press unit 151 and connected to an external air pump (not shown) to supply high-pressure air supplied from the air pump (not shown) to a certain level. Control is performed with a positive pressure in the range, and the nozzle plate 153 sprays the elastic film 103 of the carrier device 110.

ノズルプレート１５３は、キャリア装置１１０の上部キャリア２０７に密着結合して弾性膜１０３との間に空間（以下、‘正圧空間'という。）４０１を形成する。ノズルプレート１５３は、複数個のノズル部３０１，３０３，３０５，３０７を含み、各ノズル部３０１，３０３，３０５，３０７は、複数個のノズル３０９を含む。 The nozzle plate 153 is tightly coupled to the upper carrier 207 of the carrier device 110 to form a space 401 (hereinafter referred to as a “positive pressure space”) with the elastic film 103. The nozzle plate 153 includes a plurality of nozzle portions 301, 303, 305, and 307, and each nozzle portion 301, 303, 305, and 307 includes a plurality of nozzles 309.

次に、正圧プレス装置１５０の動作について簡単に説明する。 Next, the operation of the positive pressure press apparatus 150 will be briefly described.

上述した如く、キャリア装置１１０内の第１の基板１１及び第２の基板１３は、正圧プレス装置１５０に移送される前に既にその位置及び形態がキャリア装置１１０内で負圧で固定された状態である。以降、第１の基板１１及び第２の基板１３は加熱装置１７０で加熱された状態で正圧プレス装置１５０のキャリア装着部１５５に移送される。 As described above, the positions and forms of the first substrate 11 and the second substrate 13 in the carrier device 110 are already fixed in the carrier device 110 under negative pressure before being transferred to the positive pressure press device 150. State. Thereafter, the first substrate 11 and the second substrate 13 are transferred to the carrier mounting portion 155 of the positive pressure press device 150 while being heated by the heating device 170.

キャリア装着部１５５は、キャリア装置１１０を垂直移送してエアープレスユニット１５１のノズルプレート１５３に結合させる。 The carrier mounting part 155 vertically transports the carrier device 110 and couples it to the nozzle plate 153 of the air press unit 151.

エアープレスユニット１５１は、エアーポンプ（図示せず）から提供される設定された圧力（正圧）のエアーを、ノズルプレート１５３から弾性膜１０３、すなわち、正圧空間４０１に噴射することで、第１の基板１１及び第２の基板１３を正圧で再び加圧する。この加圧工程により、加熱された第１の基板１１と第２の基板１３とがより密着されつつ接着力もより大きくなる。このとき、弾性膜１０３は内部空間部２０１へ押し入れられる。 The air press unit 151 injects air of a set pressure (positive pressure) provided from an air pump (not shown) from the nozzle plate 153 to the elastic film 103, that is, the positive pressure space 401. The first substrate 11 and the second substrate 13 are pressurized again with a positive pressure. By this pressurization step, the heated first substrate 11 and second substrate 13 are more closely adhered, and the adhesive force is also increased. At this time, the elastic film 103 is pushed into the internal space 201.

ノズルプレート１５３から噴射されるエアーは流体であるから、作用する範囲内では同一の力で作動し、加圧範囲に対してスタンプ（Ｓｔａｍｐ）やローラー（Ｒｏｌｌｅｒ）のような固体による直接加圧に比べて遥かに均一な圧力を得ることができる。 Since the air sprayed from the nozzle plate 153 is a fluid, it operates with the same force within the range of action, and is directly pressurized by a solid such as a stamp or roller with respect to the pressure range. A much more uniform pressure can be obtained.

ノズルプレート１５３における複数個のノズル部３０１，３０３，３０５，３０７は、ノズルプレート１５３の中心から縁部に向かって順次配置されることができる。また、ノズル部３０１，３０３，３０５，３０７のそれぞれは、他のノズル部とは区分された別の管路を介してエアーポンプ（図示せず）と連結され、且つ、別個のノズル弁１５１−１によって制御される。図５は、ノズルプレート１５３の中心から同心状に第１乃至第４のノズル部３０１，３０３，３０５，３０７が配置された例を示す。 The plurality of nozzle portions 301, 303, 305, and 307 in the nozzle plate 153 can be sequentially arranged from the center of the nozzle plate 153 toward the edge. In addition, each of the nozzle portions 301, 303, 305, and 307 is connected to an air pump (not shown) via another pipe line that is separated from the other nozzle portions, and a separate nozzle valve 151-. 1 is controlled. FIG. 5 shows an example in which the first to fourth nozzle portions 301, 303, 305 and 307 are arranged concentrically from the center of the nozzle plate 153.

ノズル部からの正圧噴射は、ノズルプレート１５３の中心から始めて順次加えていく形態とする。例えば、第１のノズル部３０１→第２のノズル部３０３→第３のノズル部３０５→第４のノズル部３０７の順にエアーを噴射する。このとき、第２のノズル部３０３が噴射される時に第１のノズル部３０１は正圧噴射をそのまま維持し、第３のノズル部３０５が噴射される時に第１及び第２のノズル部３０３は正圧噴射をそのまま維持し、第４のノズル部３０７が噴射される時に第１乃至第３のノズル部３０５は正圧噴射をそのまま維持する。 The positive pressure injection from the nozzle portion is sequentially applied starting from the center of the nozzle plate 153. For example, air is ejected in the order of the first nozzle part 301 → the second nozzle part 303 → the third nozzle part 305 → the fourth nozzle part 307. At this time, when the second nozzle portion 303 is ejected, the first nozzle portion 301 maintains the positive pressure ejection as it is, and when the third nozzle portion 305 is ejected, the first and second nozzle portions 303 are The positive pressure injection is maintained as it is, and when the fourth nozzle portion 307 is injected, the first to third nozzle portions 305 maintain the positive pressure injection as it is.

これにより、弾性膜１０３に提供されるエアーは、図５に示すように、弾性膜１０３の中心から縁部に向かって放射状の流れを形成することとなる。このような高圧流体の放射状の流れは、まるで弾性膜１０３または第２の基板１３を中心から縁部の方に掃き出すような効果を招くことができる。これによって、第２の基板１３は、単純な加圧の形態に比べて、第１の基板１１へとより密着するようになり、第２の基板１３と第１の基板１１との間に存在しうる気泡などをより効果的に除去することができる。 As a result, the air provided to the elastic film 103 forms a radial flow from the center of the elastic film 103 toward the edge as shown in FIG. Such a radial flow of the high-pressure fluid can cause an effect of sweeping out the elastic film 103 or the second substrate 13 from the center toward the edge. As a result, the second substrate 13 comes into closer contact with the first substrate 11 as compared with a simple pressurization mode, and exists between the second substrate 13 and the first substrate 11. It is possible to more effectively remove bubbles that may occur.

さらに、キャリア装置１１０がエアープレスユニット１５１に結合する際に正圧空間４０１を密閉した後、図６に示すように、エアープレスユニット１５１が正圧空間４０１の圧力に一定の変位を与えることもできる。 Further, after the positive pressure space 401 is sealed when the carrier device 110 is coupled to the air press unit 151, the air press unit 151 may give a certain displacement to the pressure in the positive pressure space 401 as shown in FIG. it can.

図６を参照すると、正圧空間４０１の圧力（Ｐ）を、基本圧力（Ｐｉ）を維持しながら一定の周期で最高圧力（Ｐｍａｘ）まで上昇するように制御する。こうすると、単に一定の正圧を弾性膜１０３に提供する場合とは違い、あたかも周期的に弾性膜１０３に衝撃を加えるような効果が得られる。その結果、第２の基板１３と第１の基板１１との密着力が増大する他、第２の基板１３と第１の基板１１との間に残存する気泡などの除去効果もより増大する。 Referring to FIG. 6, the pressure (P) in the positive pressure space 401 is controlled to rise to the maximum pressure (Pmax) at a constant cycle while maintaining the basic pressure (Pi). In this way, unlike the case where a constant positive pressure is simply provided to the elastic film 103, an effect is obtained as if an impact is periodically applied to the elastic film 103. As a result, the adhesion force between the second substrate 13 and the first substrate 11 is increased, and the effect of removing bubbles remaining between the second substrate 13 and the first substrate 11 is further increased.

図６は、正圧空間４０１における圧力（Ｐ）の変化が、概して正弦波曲線を描く例を示しており、このために、エアープレスユニット１５１は、図４に示すように、正圧空間４０１に連結された自動弁（ＡｕｔｏＶａｌｖｅ）４０３と、逃し弁（ＲｅｌｉｅｆＶａｌｖｅ）４０５とを備えることができる。自動弁４０３は正圧空間４０１に連結され、エアープレスユニット１５１から提供される制御信号に応じて０〜ｔ₁、ｔ₂〜ｔ₃、ｔ₄〜ｔ₅では閉じた状態、ｔ₁〜ｔ₂、ｔ₃〜ｔ₄では開いた状態を維持するように制御される。逃し弁４０５は、自動弁４０３と大気との間に連結されて、基本圧力（Ｐｉ）を維持させる。 FIG. 6 shows an example in which the change in the pressure (P) in the positive pressure space 401 generally draws a sinusoidal curve. For this reason, the air press unit 151 has a positive pressure space 401 as shown in FIG. And an automatic valve 403 and a relief valve 405 connected to each other. The automatic valve 403 is connected to the positive pressure space 401 and is closed at 0 to t ₁ , t _{2 to} t ₃ , and t _{4 to} t ₅ according to a control signal provided from the air press unit 151, t _{1 to} t ₂ and t _{3 to} t ₄ are controlled so as to maintain the open state. The relief valve 405 is connected between the automatic valve 403 and the atmosphere to maintain the basic pressure (Pi).

自動弁４０３が閉じている状態の区間で、エアープレスユニット１５１は、圧力センサー（図示せず）を用いて、ノズルプレート１５３から正圧空間４０１に与えられる圧力が最高圧力（Ｐｍａｘ）となるようにノズル弁１５１−１を制御する。これによって、０〜ｔ₁、ｔ₂〜ｔ₃、ｔ₄〜ｔ₅の区間では圧力が最高圧力（Ｐｍａｘ）まで増加する。ｔ₁〜ｔ₂、ｔ₃〜ｔ₄の区間では、自動弁４０３が開くと正圧空間４０１内の圧力は再び下がる。しかし、基本圧力（Ｐｉ）になると、後段に配置されている逃し弁４０５が閉じるので、正圧空間４０１内の圧力は、基本圧力（Ｐｉ）〜最高圧力（Ｐｍａｘ）の間を維持するようになり、図６に示すグラフのような圧力変化を示すことができる。 In a section where the automatic valve 403 is closed, the air press unit 151 uses a pressure sensor (not shown) so that the pressure applied from the nozzle plate 153 to the positive pressure space 401 becomes the maximum pressure (Pmax). The nozzle valve 151-1 is controlled. Thus, in a section of _{_{_{0~t 1, t 2 ~t 3,}}} t 4 ~t 5 increases the pressure to a maximum pressure (Pmax). In the period from t _{1 to} t ₂ and t _{3 to} t ₄ , when the automatic valve 403 is opened, the pressure in the positive pressure space 401 decreases again. However, when the basic pressure (Pi) is reached, the relief valve 405 disposed in the subsequent stage is closed, so that the pressure in the positive pressure space 401 is maintained between the basic pressure (Pi) and the maximum pressure (Pmax). Thus, a pressure change like the graph shown in FIG. 6 can be shown.

正圧空間４０１への圧力制御は、図６に示すグラフに限定されず、周期的に衝撃（Ｉｍｐａｃｔ）を与えうるいかなる形態の圧力変化にすることもできる。 The pressure control to the positive pressure space 401 is not limited to the graph shown in FIG. 6, and can be any form of pressure change that can periodically apply an impact.

さらに、正圧プレス装置１５０は、エアーポンプ（図示せず）で生成されたエアーを一定の温度まで加熱するプレスユニット用ヒーター（図示せず）を含み、ノズル部３０１，３０３，３０５，３０７から噴射されるエアーの温度を変化させることもできる。 Further, the positive pressure press device 150 includes a press unit heater (not shown) that heats the air generated by an air pump (not shown) to a certain temperature, from the nozzle portions 301, 303, 305, 307. The temperature of the injected air can also be changed.

以下では、図１乃至図７を参照して、本発明のラミネーティング方法について説明する。
Hereinafter, the laminating method of the present invention will be described with reference to FIGS.

<キャリア装置に被加工物を収納して負圧で固定：Ｓ６０１、Ｓ６０３>
まず、上部キャリア２０７を下部キャリア２０９と分離し、第１の基板１１、接着フィルム１５及び第２の基板１３を、キャリア装置１１０内に配置する（Ｓ６０１）。次に、真空生成手段２０３により内部空間部２０１を真空にし、第１の基板１１、接着フィルム１５及び第２の基板１３を密着させながら第１の基板１１と第２の基板１３との位置を固定させる（Ｓ６０３）。
<Workpiece is stored in carrier device and fixed with negative pressure: S601, S603>
First, the upper carrier 207 is separated from the lower carrier 209, and the first substrate 11, the adhesive film 15, and the second substrate 13 are arranged in the carrier device 110 (S601). Next, the internal space 201 is evacuated by the vacuum generation means 203, and the positions of the first substrate 11 and the second substrate 13 are adjusted while the first substrate 11, the adhesive film 15, and the second substrate 13 are brought into close contact with each other. Fix (S603).

<プレヒーティング（Ｐｒｅ−Ｈｅａｔｉｎｇ）：Ｓ６０５>
キャリア装置１１０を、正圧プレス装置１５０に移送する前に加熱装置１７０を用いて一定の温度まであらかじめ加熱する。キャリア装置１１０が第２の基板１３及び第１の基板１１を負圧で固定している状態であるから、加熱によって第２の基板１３などは熱変形しない。
<Pre-Heating: S605>
The carrier device 110 is preheated to a certain temperature using the heating device 170 before being transferred to the positive pressure press device 150. Since the carrier device 110 is fixing the second substrate 13 and the first substrate 11 with negative pressure, the second substrate 13 and the like are not thermally deformed by heating.

<正圧プレス装置に結合：Ｓ６０７〜Ｓ６０９>
プレヒーティングされたキャリア装置１１０を、移送手段１３０により正圧プレス装置１５０に移送してキャリア装着部１５５にセッティングし、キャリア装着部１５５の垂直移送手段１５５−１によりキャリア装置１１０をエアープレスユニット１５１にドッキングさせる。
<Coupled to positive pressure press: S607 to S609>
The preheated carrier device 110 is transferred to the positive pressure press device 150 by the transfer means 130 and set to the carrier mounting portion 155, and the carrier device 110 is moved to the air press unit by the vertical transfer means 155-1 of the carrier mounting portion 155. 151 to dock.

<正圧空間に正圧を提供：Ｓ６１１>
キャリア装置１１０をエアープレスユニット１５１にドッキングさせることで、密閉された正圧空間４０１を形成する。エアープレスユニット１５１は、ノズルプレート１５３から、設定された圧力のエアーを正圧空間４０１を経由して弾性膜１０３に噴射することによって正圧を提供する。この時、上述した如く、ノズルプレート１５３から噴射されるエアーは、ノズル弁１５１−１で複数個のノズル部３０１，３０３，３０５，３０７を個別に制御することによって、ノズルプレート１５３の中心から縁部に向かって放射状のエアー流れを形成させることが好ましい。また、正圧空間４０１内の圧力を、設定された圧力に一定に維持せず、図６に示すように、基本圧力（Ｐｉ）を維持しながら一定の周期で最高圧力（Ｐｍａｘ）が提供される形態として変化を与えることが好ましい。 <Providing positive pressure to the positive pressure space: S611>
A sealed positive pressure space 401 is formed by docking the carrier device 110 to the air press unit 151. The air press unit 151 provides positive pressure by injecting air of a set pressure from the nozzle plate 153 to the elastic film 103 via the positive pressure space 401. At this time, as described above, the air injected from the nozzle plate 153 is controlled from the center of the nozzle plate 153 by individually controlling the plurality of nozzle portions 301, 303, 305, and 307 by the nozzle valve 151-1. It is preferable to form a radial air flow toward the part. Further, the pressure in the positive pressure space 401 is not kept constant at the set pressure, and as shown in FIG. 6, the maximum pressure (Pmax) is provided at a constant cycle while maintaining the basic pressure (Pi). It is preferable to change the form.

このように、単純に正圧空間４０１へのエアーを通じて正圧を提供するに加えて、一定したエアーの流れを形成し、与えられる正圧にインパクトを持たさせることによって、第２の基板１３と第１の基板１１との密着力を増大させ、かつ、第２の基板１３と第１の基板１１との間に発生しうる気泡などを除去することができる。 In this way, in addition to simply providing a positive pressure through the air to the positive pressure space 401, the second substrate 13 and the second substrate 13 can be formed by forming a constant air flow and giving an impact to the applied positive pressure. The adhesion force with the first substrate 11 can be increased, and bubbles or the like that can be generated between the second substrate 13 and the first substrate 11 can be removed.

また、正圧空間４０１に噴射されるエアーを、プレスユニット用ヒーター（図示せず）で一定の温度に加熱することによって、キャリア装置１１０内における接着フィルム１５による第１の基板１１と第２の基板１３との接着をより円滑にさせることもできる。
Further, the air injected into the positive pressure space 401 is heated to a certain temperature by a press unit heater (not shown), whereby the first substrate 11 and the second substrate 11 formed by the adhesive film 15 in the carrier device 110 are used. Bonding with the substrate 13 can be made smoother.

<キャリア装置の離脱：Ｓ６１３>
エアープレスユニット１５１がキャリア装置１１０に一定時間正圧を提供した後、キャリア装着部１５５はキャリア装置１１０を下降させてエアープレスユニット１５１から分離させ、移送手段１３０はキャリア装置１１０を正圧プレス装置１５０から離脱させる。 <Removal of carrier device: S613>
After the air press unit 151 provides a positive pressure to the carrier device 110 for a certain period of time, the carrier mounting unit 155 lowers the carrier device 110 to separate it from the air press unit 151, and the transfer means 130 moves the carrier device 110 to the positive pressure press device. Remove from 150.

正圧プレス装置１５０から分離されたキャリア装置１１０は依然として一定の熱エネルギーを保有している状態であるから、負圧を維持したまま一定時間大気上で自然冷却する。 Since the carrier device 110 separated from the positive pressure press device 150 is still in a state of having a constant thermal energy, it is naturally cooled on the atmosphere for a certain time while maintaining the negative pressure.

しかし、キャリア装置１１０のフレーム１０１は一般に潜熱が大きいから、キャリア装置１１０の冷却は普通の自然冷却に比べて長時間にわたって徐々になされる。 However, since the frame 101 of the carrier device 110 generally has a large latent heat, the carrier device 110 is gradually cooled over a longer period of time than ordinary natural cooling.

加熱工程により加熱された基板の冷却は徐々になされるべきで、急速に冷却してはならない。したがって、従来のチャンバー（Ｃｈａｍｂｅｒ）形態の装備を用いる場合は、加熱後の冷却工程もチャンバー内で徐々になされなければならず、チャンバーの効率が著しく低下するという不具合があった。 The substrate heated by the heating process should be gradually cooled and not rapidly cooled. Therefore, in the case of using a conventional chamber-type equipment, the cooling process after heating must be gradually performed in the chamber, and the efficiency of the chamber is significantly reduced.

しかし、本発明のキャリア装置は、自体保有している潜熱を用いて第１の基板１１及び第２の基板１３が急速冷却されることを防止し、急速冷却に伴う歪みも防止する。 However, the carrier device of the present invention prevents the first substrate 11 and the second substrate 13 from being rapidly cooled by using the latent heat possessed by itself, and also prevents distortion caused by the rapid cooling.

また、キャリア装置１１０は正圧プレス装置１５０から分離された状態で冷却されるから、正圧プレス装置１５０は、エアープレッシング済みのキャリア装置が離脱された後、新しいキャリア装置を取り込んで正圧プレス工程を引き続き行うことができる。 Further, since the carrier device 110 is cooled while being separated from the positive pressure press device 150, the positive pressure press device 150 takes in a new carrier device after the air-pressed carrier device is detached, and presses the positive pressure press device 150. The process can continue.

別の実施例として、第１の基板１１と第２の基板１３との間に紫外線硬化樹脂を塗布して接着する場合にも、本発明のラミネーティング装置１００を使用することができる。この場合、ラミネーティング装置１００は、正圧プレス装置１５０を通過したキャリア装置１１０の弾性膜１０３に向けて紫外線を照射する紫外線ランプ（図示せず）が、図１の加熱装置１７０の代わりにさらに含まれることができる。また、上述したとおり、弾性膜１０３は、紫外線を透過させうる透明な膜とする必要がある。 As another example, the laminating apparatus 100 of the present invention can also be used when an ultraviolet curable resin is applied and bonded between the first substrate 11 and the second substrate 13. In this case, the laminating apparatus 100 further includes an ultraviolet lamp (not shown) for irradiating the elastic film 103 of the carrier apparatus 110 that has passed through the positive pressure press apparatus 150, instead of the heating apparatus 170 of FIG. Can be included. Further, as described above, the elastic film 103 needs to be a transparent film that can transmit ultraviolet rays.

以上では、本発明の好適な実施例について図示し説明してきたが、本発明は、上記の特定の実施例に限定されるものではない。よって、請求の範囲で請求する本発明の要旨を逸脱しない限度内で、当該発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者には様々な変形実施が可能であり、それらの変形実施は本発明の技術的思想や展望と別個のものとして理解してはならない。 While the preferred embodiments of the present invention have been illustrated and described above, the present invention is not limited to the specific embodiments described above. Therefore, various modifications can be made to those who have ordinary knowledge in the technical field to which the invention pertains without departing from the scope of the invention claimed in the claims. It should not be understood as separate from the technical idea and prospect of the invention.

１００ラミネーティング装置
１０１フレーム
１０３弾性膜
１１０キャリア装置
１３０移送手段
１５０正圧プレス装置
１５１エアープレスユニット
１５１−１ノズル弁
１５３ノズルプレート
１５５キャリア装着部
１５５−１垂直移送手段
１５７バックアップユニット
１５７−１支持部材
１７０加熱手段
２０１内部空間部
２０３真空生成手段
２０５排出管
２０７上部キャリア
２０９下部キャリア
３０１，３０３，３０５，３０７ノズル部
３０９ノズル
４０１正圧空間
４０３自動弁
４０５逃し弁 DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Laminating apparatus 101 Frame 103 Elastic film 110 Carrier apparatus 130 Transfer means 150 Positive pressure press apparatus 151 Air press unit 151-1 Nozzle valve 153 Nozzle plate 155 Carrier mounting part 155-1 Vertical transfer means 157 Backup unit 157-1 Support member 170 Heating means 201 Internal space part 203 Vacuum generating means 205 Discharge pipe 207 Upper carrier 209 Lower carrier 301, 303, 305, 307 Nozzle part 309 Nozzle 401 Positive pressure space 403 Automatic valve 405 Relief valve

Claims

A laminating apparatus for forming a panel in which two or more layers are laminated,
Forming an internal space for accommodating the panel workpiece, and an open upper frame; an elastic membrane for covering the open upper portion of the frame and sealing the internal space; and A vacuum generating means for forming a negative pressure by causing the space portion to be in a vacuum state, and a carrier device for fixing the position of the work piece with the negative pressure and mutually bonding,
A positive pressure press device that is coupled to the carrier device, jets high-pressure air to the elastic film of the carrier device, and further pressurizes and bonds the fixed workpiece;
A laminating device comprising:

The positive pressure press device
A plurality of nozzles for injecting the air onto the elastic membrane;
A plurality of airs that are jetted onto the elastic film to form a radial flow from the center of the elastic film toward the edge by individually controlling the air provided to the plurality of nozzle parts. A nozzle valve, and
The laminating apparatus according to claim 1, wherein the work piece is bonded so as to be swept from its center to the edge.

The plurality of nozzle portions are:
Formed on a nozzle plate coupled to the carrier device;
A first nozzle portion disposed in the center of the nozzle plate; a second nozzle portion disposed in a region surrounding the first nozzle portion; and a second nozzle portion disposed in a region surrounding the second nozzle portion. 3 nozzle parts,
The laminating apparatus according to claim 2, wherein the radial air flow is formed by sequentially opening the first nozzle part, the second nozzle part, and the third nozzle part.

The positive pressure press device
Combined with the carrier device while forming a sealed positive pressure space with the elastic membrane, the air is injected into the elastic membrane through the positive pressure space,
The pressure in the positive pressure space is provided to the substrate through the elastic film by controlling the pressure so as to be a maximum pressure (Pmax) set periodically while maintaining a set basic pressure (Pi). The laminating device according to any one of claims 1 to 3, wherein the pressure is periodically impacted.

The laminating apparatus according to claim 1, further comprising a heating unit that heats the carrier device to a certain temperature to promote the adhesion.

When the workpiece is formed by applying an ultraviolet curable resin between two transparent substrates,
An ultraviolet lamp that cures the ultraviolet curable resin by irradiating the elastic film of the carrier device with ultraviolet rays;
The laminating apparatus according to claim 1, wherein the elastic film is a synthetic resin film capable of transmitting ultraviolet rays.

The laminating apparatus according to claim 1, further comprising a transfer unit configured to transfer the carrier device to the positive pressure press device and to release the carrier device from the positive pressure press device.

A laminating method for forming a panel in which two or more layers are laminated,
The work piece for the panel is accommodated in a carrier device having one surface formed of an elastic film and hermetically sealed, and the work pieces are pressure-bonded by the elastic film while the internal space is vacuumed. Fixing, and
Heating the carrier device to promote adhesion between the workpieces;
An air pressing step of injecting high-pressure air toward the elastic film of the carrier device to further pressurize the workpieces and promote the adhesion;
A laminating method comprising:

In the air pressing stage,
Injecting the high-pressure air using a plurality of nozzle parts each controlled by separate nozzle valves,
By controlling the nozzle valve so that the air injected to the elastic film forms a radial flow from the center of the elastic film toward the edge, the workpiece is swept from the center to the edge. The laminating method according to claim 8, wherein the laminating process is performed.

In the air pressing stage,
Forming a sealed positive pressure space on the upper surface of the elastic membrane so that the air is injected into the elastic membrane through the positive pressure space;
Provided to the workpiece through the elastic membrane by controlling the pressure in the positive pressure space to be the maximum pressure (Pmax) set periodically while maintaining the set basic pressure (Pi) The laminating method according to claim 8, wherein an impact is periodically given to the applied pressure.

When the workpiece is formed by applying an ultraviolet curable resin between two transparent substrates, the ultraviolet curing is performed by irradiating ultraviolet rays toward the elastic film of the carrier device after the air pressing step. The laminating method according to claim 8, further comprising a step of curing the resin.

The laminating method according to claim 8, wherein the steps are performed in separate spaces while the carrier device is being transferred by a transfer unit.