JP2012169559A - Method for manufacturing wiring board, and wiring board - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 59
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 42
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 229
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 183
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 claims abstract description 133
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims abstract description 59
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 claims abstract description 56
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 55
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims abstract description 44
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 claims abstract description 35
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 14
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 32
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 claims description 26
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 claims description 18
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 claims description 7
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 claims description 6
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 6
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 claims description 5
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 claims description 5
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 4
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 70
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 11
- 238000010304 firing Methods 0.000 abstract description 7
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 54
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 52
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 52
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 21
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 20
- -1 acrylic-styrene Polymers 0.000 description 19
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 18
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 18
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 15
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 14
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 13
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 description 12
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 229920001282 polysaccharide Polymers 0.000 description 10
- 239000005017 polysaccharide Substances 0.000 description 10
- 150000004804 polysaccharides Chemical class 0.000 description 10
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 10
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 9
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 8
- 125000000896 monocarboxylic acid group Chemical group 0.000 description 8
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Chemical compound NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 7
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- HEBKCHPVOIAQTA-UHFFFAOYSA-N meso ribitol Natural products OCC(O)C(O)C(O)CO HEBKCHPVOIAQTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 7
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 6
- LRBQNJMCXXYXIU-PPKXGCFTSA-N Chinese gallotannin Chemical compound OC1=C(O)C(O)=CC(C(=O)OC=2C(=C(O)C=C(C=2)C(=O)OC[C@@H]2[C@H]([C@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)[C@@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)[C@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)O2)OC(=O)C=2C=C(OC(=O)C=3C=C(O)C(O)=C(O)C=3)C(O)=C(O)C=2)O)=C1 LRBQNJMCXXYXIU-PPKXGCFTSA-N 0.000 description 6
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 6
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 6
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 5
- UNXHWFMMPAWVPI-UHFFFAOYSA-N Erythritol Natural products OCC(O)C(O)CO UNXHWFMMPAWVPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920002774 Maltodextrin Polymers 0.000 description 4
- 239000005913 Maltodextrin Substances 0.000 description 4
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- TVXBFESIOXBWNM-UHFFFAOYSA-N Xylitol Natural products OCCC(O)C(O)C(O)CCO TVXBFESIOXBWNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 4
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 4
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 4
- 229940035034 maltodextrin Drugs 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- 239000000811 xylitol Substances 0.000 description 4
- 235000010447 xylitol Nutrition 0.000 description 4
- HEBKCHPVOIAQTA-SCDXWVJYSA-N xylitol Chemical compound OC[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)CO HEBKCHPVOIAQTA-SCDXWVJYSA-N 0.000 description 4
- 229960002675 xylitol Drugs 0.000 description 4
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 3
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 3
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 3
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 3
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 3
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- 229920000223 polyglycerol Polymers 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 3
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 3
- 229920002258 tannic acid Polymers 0.000 description 3
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 3
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 3
- PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N (+/-)-1,3-Butanediol Chemical compound CC(O)CCO PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TUSDEZXZIZRFGC-UHFFFAOYSA-N 1-O-galloyl-3,6-(R)-HHDP-beta-D-glucose Natural products OC1C(O2)COC(=O)C3=CC(O)=C(O)C(O)=C3C3=C(O)C(O)=C(O)C=C3C(=O)OC1C(O)C2OC(=O)C1=CC(O)=C(O)C(O)=C1 TUSDEZXZIZRFGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NECRQCBKTGZNMH-UHFFFAOYSA-N 3,5-dimethylhex-1-yn-3-ol Chemical compound CC(C)CC(C)(O)C#C NECRQCBKTGZNMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N Acetaldehyde Chemical compound CC=O IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N D-Glucitol Natural products OC[C@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N 0.000 description 2
- UNXHWFMMPAWVPI-QWWZWVQMSA-N D-threitol Chemical compound OC[C@@H](O)[C@H](O)CO UNXHWFMMPAWVPI-QWWZWVQMSA-N 0.000 description 2
- 239000004386 Erythritol Substances 0.000 description 2
- 239000001263 FEMA 3042 Substances 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- KYQCOXFCLRTKLS-UHFFFAOYSA-N Pyrazine Chemical compound C1=CN=CC=N1 KYQCOXFCLRTKLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N Pyrrole Chemical compound C=1C=CNC=1 KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 2
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 2
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 2
- 235000010980 cellulose Nutrition 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000502 dialysis Methods 0.000 description 2
- DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N dibutyl phthalate Chemical compound CCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCC DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical compound OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- UNXHWFMMPAWVPI-ZXZARUISSA-N erythritol Chemical compound OC[C@H](O)[C@H](O)CO UNXHWFMMPAWVPI-ZXZARUISSA-N 0.000 description 2
- 235000019414 erythritol Nutrition 0.000 description 2
- 229940009714 erythritol Drugs 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003146 methacrylic ester copolymer Polymers 0.000 description 2
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 2
- 230000003020 moisturizing effect Effects 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 238000006864 oxidative decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N silver(1+) nitrate Chemical compound [Ag+].[O-]N(=O)=O SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M sodium hydroxide Inorganic materials [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000000600 sorbitol Substances 0.000 description 2
- 235000010356 sorbitol Nutrition 0.000 description 2
- 229940033123 tannic acid Drugs 0.000 description 2
- 235000015523 tannic acid Nutrition 0.000 description 2
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CWERGRDVMFNCDR-UHFFFAOYSA-N thioglycolic acid Chemical compound OC(=O)CS CWERGRDVMFNCDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UMGDCJDMYOKAJW-UHFFFAOYSA-N thiourea Chemical compound NC(N)=S UMGDCJDMYOKAJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 2
- DNIAPMSPPWPWGF-VKHMYHEASA-N (+)-propylene glycol Chemical compound C[C@H](O)CO DNIAPMSPPWPWGF-VKHMYHEASA-N 0.000 description 1
- KIUKXJAPPMFGSW-DNGZLQJQSA-N (2S,3S,4S,5R,6R)-6-[(2S,3R,4R,5S,6R)-3-Acetamido-2-[(2S,3S,4R,5R,6R)-6-[(2R,3R,4R,5S,6R)-3-acetamido-2,5-dihydroxy-6-(hydroxymethyl)oxan-4-yl]oxy-2-carboxy-4,5-dihydroxyoxan-3-yl]oxy-5-hydroxy-6-(hydroxymethyl)oxan-4-yl]oxy-3,4,5-trihydroxyoxane-2-carboxylic acid Chemical compound CC(=O)N[C@H]1[C@H](O)O[C@H](CO)[C@@H](O)[C@@H]1O[C@H]1[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O[C@H]2[C@@H]([C@@H](O[C@H]3[C@@H]([C@@H](O)[C@H](O)[C@H](O3)C(O)=O)O)[C@H](O)[C@@H](CO)O2)NC(C)=O)[C@@H](C(O)=O)O1 KIUKXJAPPMFGSW-DNGZLQJQSA-N 0.000 description 1
- LUEWUZLMQUOBSB-FSKGGBMCSA-N (2s,3s,4s,5s,6r)-2-[(2r,3s,4r,5r,6s)-6-[(2r,3s,4r,5s,6s)-4,5-dihydroxy-2-(hydroxymethyl)-6-[(2r,4r,5s,6r)-4,5,6-trihydroxy-2-(hydroxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-3-yl]oxy-4,5-dihydroxy-2-(hydroxymethyl)oxan-3-yl]oxy-6-(hydroxymethyl)oxane-3,4,5-triol Chemical compound O[C@H]1[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](CO)O[C@H]1O[C@@H]1[C@@H](CO)O[C@@H](O[C@@H]2[C@H](O[C@@H](OC3[C@H](O[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H]3O)CO)[C@@H](O)[C@H]2O)CO)[C@H](O)[C@H]1O LUEWUZLMQUOBSB-FSKGGBMCSA-N 0.000 description 1
- BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N (S)-malic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N 0.000 description 1
- 229940058015 1,3-butylene glycol Drugs 0.000 description 1
- YPFDHNVEDLHUCE-UHFFFAOYSA-N 1,3-propanediol Substances OCCCO YPFDHNVEDLHUCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940035437 1,3-propanediol Drugs 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXOFYPKXCSULTL-UHFFFAOYSA-N 2,4,7,9-tetramethyldec-5-yne-4,7-diol Chemical class CC(C)CC(C)(O)C#CC(C)(O)CC(C)C LXOFYPKXCSULTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PTJWCLYPVFJWMP-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO PTJWCLYPVFJWMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODJQKYXPKWQWNK-UHFFFAOYSA-N 3,3'-Thiobispropanoic acid Chemical compound OC(=O)CCSCCC(O)=O ODJQKYXPKWQWNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUDUTRMKKYUAKI-UHFFFAOYSA-N 3-[1-(1-phenylethyl)piperidin-4-yl]-1h-benzimidazol-2-one Chemical compound C1CC(N2C(NC3=CC=CC=C32)=O)CCN1C(C)C1=CC=CC=C1 XUDUTRMKKYUAKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKIDEFUBRARXTE-UHFFFAOYSA-N 3-mercaptopropanoic acid Chemical compound OC(=O)CCS DKIDEFUBRARXTE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SERLAGPUMNYUCK-YJOKQAJESA-N 6-O-alpha-D-glucopyranosyl-D-glucitol Chemical compound OC[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@H](O)CO[C@H]1O[C@H](CO)[C@@H](O)[C@H](O)[C@H]1O SERLAGPUMNYUCK-YJOKQAJESA-N 0.000 description 1
- 229920001817 Agar Polymers 0.000 description 1
- 229920000936 Agarose Polymers 0.000 description 1
- FBPFZTCFMRRESA-FBXFSONDSA-N Allitol Chemical compound OC[C@H](O)[C@H](O)[C@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-FBXFSONDSA-N 0.000 description 1
- 229920000945 Amylopectin Polymers 0.000 description 1
- 229920000856 Amylose Polymers 0.000 description 1
- 229920002101 Chitin Polymers 0.000 description 1
- 229920001661 Chitosan Polymers 0.000 description 1
- FBPFZTCFMRRESA-KVTDHHQDSA-N D-Mannitol Chemical compound OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-KVTDHHQDSA-N 0.000 description 1
- FBPFZTCFMRRESA-KAZBKCHUSA-N D-altritol Chemical compound OC[C@@H](O)[C@H](O)[C@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-KAZBKCHUSA-N 0.000 description 1
- HEBKCHPVOIAQTA-QWWZWVQMSA-N D-arabinitol Chemical compound OC[C@@H](O)C(O)[C@H](O)CO HEBKCHPVOIAQTA-QWWZWVQMSA-N 0.000 description 1
- FBPFZTCFMRRESA-JGWLITMVSA-N D-glucitol Chemical compound OC[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-JGWLITMVSA-N 0.000 description 1
- FBPFZTCFMRRESA-ZXXMMSQZSA-N D-iditol Chemical compound OC[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-ZXXMMSQZSA-N 0.000 description 1
- 239000004375 Dextrin Substances 0.000 description 1
- 229920001353 Dextrin Polymers 0.000 description 1
- 229920002670 Fructan Polymers 0.000 description 1
- 229920002581 Glucomannan Polymers 0.000 description 1
- 229920002907 Guar gum Polymers 0.000 description 1
- SQUHHTBVTRBESD-UHFFFAOYSA-N Hexa-Ac-myo-Inositol Natural products CC(=O)OC1C(OC(C)=O)C(OC(C)=O)C(OC(C)=O)C(OC(C)=O)C1OC(C)=O SQUHHTBVTRBESD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930195725 Mannitol Natural products 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910020684 PbZr Inorganic materials 0.000 description 1
- PCNDJXKNXGMECE-UHFFFAOYSA-N Phenazine Natural products C1=CC=CC2=NC3=CC=CC=C3N=C21 PCNDJXKNXGMECE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004373 Pullulan Substances 0.000 description 1
- 229920001218 Pullulan Polymers 0.000 description 1
- JVWLUVNSQYXYBE-UHFFFAOYSA-N Ribitol Natural products OCC(C)C(O)C(O)CO JVWLUVNSQYXYBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002367 SrTiO Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002472 Starch Polymers 0.000 description 1
- 239000003490 Thiodipropionic acid Substances 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000005456 alcohol based solvent Substances 0.000 description 1
- 125000003172 aldehyde group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001299 aldehydes Chemical class 0.000 description 1
- 235000010443 alginic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000000783 alginic acid Substances 0.000 description 1
- 229920000615 alginic acid Polymers 0.000 description 1
- 229960001126 alginic acid Drugs 0.000 description 1
- 150000004781 alginic acids Chemical class 0.000 description 1
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N alpha-hydroxysuccinic acid Natural products OC(=O)C(O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 125000006615 aromatic heterocyclic group Chemical group 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 235000019437 butane-1,3-diol Nutrition 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000010418 carrageenan Nutrition 0.000 description 1
- 239000000679 carrageenan Substances 0.000 description 1
- 229920001525 carrageenan Polymers 0.000 description 1
- 229940113118 carrageenan Drugs 0.000 description 1
- 238000005119 centrifugation Methods 0.000 description 1
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 1
- 229940045110 chitosan Drugs 0.000 description 1
- 235000015165 citric acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 1
- 235000019425 dextrin Nutrition 0.000 description 1
- YELFPONZSMXXMS-UHFFFAOYSA-L dipotassium;2-sulfanylbutanedioate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C(=O)CC(S)C([O-])=O YELFPONZSMXXMS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- ZJNFSIXGGYEOTN-UHFFFAOYSA-L dipotassium;3-(2-carboxylatoethylsulfanyl)propanoate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C(=O)CCSCCC([O-])=O ZJNFSIXGGYEOTN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- VZFDRQUWHOVFCA-UHFFFAOYSA-L disodium;2-sulfanylbutanedioate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C(=O)CC(S)C([O-])=O VZFDRQUWHOVFCA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- MUTPUZBXXFFKEW-UHFFFAOYSA-L disodium;3-(2-carboxylatoethylsulfanyl)propanoate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C(=O)CCSCCC([O-])=O MUTPUZBXXFFKEW-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 230000032050 esterification Effects 0.000 description 1
- 238000005886 esterification reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004210 ether based solvent Substances 0.000 description 1
- 238000006266 etherification reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 1
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- FBPFZTCFMRRESA-GUCUJZIJSA-N galactitol Chemical compound OC[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-GUCUJZIJSA-N 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 229940046240 glucomannan Drugs 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000000665 guar gum Substances 0.000 description 1
- 235000010417 guar gum Nutrition 0.000 description 1
- 229960002154 guar gum Drugs 0.000 description 1
- 239000003906 humectant Substances 0.000 description 1
- 229920002674 hyaluronan Polymers 0.000 description 1
- 229960003160 hyaluronic acid Drugs 0.000 description 1
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 1
- 150000001261 hydroxy acids Chemical class 0.000 description 1
- CDAISMWEOUEBRE-GPIVLXJGSA-N inositol Chemical compound O[C@H]1[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@H](O)[C@@H]1O CDAISMWEOUEBRE-GPIVLXJGSA-N 0.000 description 1
- 229960000367 inositol Drugs 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 125000000468 ketone group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000832 lactitol Substances 0.000 description 1
- 235000010448 lactitol Nutrition 0.000 description 1
- VQHSOMBJVWLPSR-JVCRWLNRSA-N lactitol Chemical compound OC[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]([C@H](O)CO)O[C@@H]1O[C@H](CO)[C@H](O)[C@H](O)[C@H]1O VQHSOMBJVWLPSR-JVCRWLNRSA-N 0.000 description 1
- 229960003451 lactitol Drugs 0.000 description 1
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 1
- WJSIUCDMWSDDCE-UHFFFAOYSA-K lithium citrate (anhydrous) Chemical compound [Li+].[Li+].[Li+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O WJSIUCDMWSDDCE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001630 malic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011090 malic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000000845 maltitol Substances 0.000 description 1
- 235000010449 maltitol Nutrition 0.000 description 1
- VQHSOMBJVWLPSR-WUJBLJFYSA-N maltitol Chemical compound OC[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]([C@H](O)CO)O[C@H]1O[C@H](CO)[C@@H](O)[C@H](O)[C@H]1O VQHSOMBJVWLPSR-WUJBLJFYSA-N 0.000 description 1
- 229940035436 maltitol Drugs 0.000 description 1
- 239000000594 mannitol Substances 0.000 description 1
- 235000010355 mannitol Nutrition 0.000 description 1
- 239000002609 medium Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000003607 modifier Substances 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 239000007777 multifunctional material Substances 0.000 description 1
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N olefin Natural products CCCCCCCC=C JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000010987 pectin Nutrition 0.000 description 1
- 239000001814 pectin Substances 0.000 description 1
- 229920001277 pectin Polymers 0.000 description 1
- 229960000292 pectin Drugs 0.000 description 1
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001690 polydopamine Polymers 0.000 description 1
- 229920000379 polypropylene carbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000166 polytrimethylene carbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000001508 potassium citrate Substances 0.000 description 1
- QEEAPRPFLLJWCF-UHFFFAOYSA-K potassium citrate (anhydrous) Chemical compound [K+].[K+].[K+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O QEEAPRPFLLJWCF-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- HYTYHTSMCRDHIM-UHFFFAOYSA-M potassium;2-sulfanylacetate Chemical compound [K+].[O-]C(=O)CS HYTYHTSMCRDHIM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- LHJGVEHUBIDUOB-UHFFFAOYSA-M potassium;2-sulfanylpropanoate Chemical compound [K+].CC(S)C([O-])=O LHJGVEHUBIDUOB-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OJTDGPLHRSZIAV-UHFFFAOYSA-N propane-1,2-diol Chemical compound CC(O)CO.CC(O)CO OJTDGPLHRSZIAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019423 pullulan Nutrition 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- KOUKXHPPRFNWPP-UHFFFAOYSA-N pyrazine-2,5-dicarboxylic acid;hydrate Chemical compound O.OC(=O)C1=CN=C(C(O)=O)C=N1 KOUKXHPPRFNWPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- HEBKCHPVOIAQTA-ZXFHETKHSA-N ribitol Chemical compound OC[C@H](O)[C@H](O)[C@H](O)CO HEBKCHPVOIAQTA-ZXFHETKHSA-N 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- CDAISMWEOUEBRE-UHFFFAOYSA-N scyllo-inosotol Natural products OC1C(O)C(O)C(O)C(O)C1O CDAISMWEOUEBRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003378 silver Chemical class 0.000 description 1
- 229910001961 silver nitrate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019265 sodium DL-malate Nutrition 0.000 description 1
- NLJMYIDDQXHKNR-UHFFFAOYSA-K sodium citrate Chemical compound O.O.[Na+].[Na+].[Na+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O NLJMYIDDQXHKNR-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000001509 sodium citrate Substances 0.000 description 1
- WPUMTJGUQUYPIV-UHFFFAOYSA-L sodium malate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C(=O)C(O)CC([O-])=O WPUMTJGUQUYPIV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- GNBVPFITFYNRCN-UHFFFAOYSA-M sodium thioglycolate Chemical compound [Na+].[O-]C(=O)CS GNBVPFITFYNRCN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- KZLAYICWOGEOSV-UHFFFAOYSA-M sodium;2-sulfanylpropanoate Chemical compound [Na+].CC(S)C([O-])=O KZLAYICWOGEOSV-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000008107 starch Substances 0.000 description 1
- 235000019698 starch Nutrition 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000000346 sugar Nutrition 0.000 description 1
- 150000008163 sugars Chemical class 0.000 description 1
- PXQLVRUNWNTZOS-UHFFFAOYSA-N sulfanyl Chemical class [SH] PXQLVRUNWNTZOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 1
- 229920001864 tannin Polymers 0.000 description 1
- 239000001648 tannin Substances 0.000 description 1
- 235000018553 tannin Nutrition 0.000 description 1
- 238000002411 thermogravimetry Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 235000019303 thiodipropionic acid Nutrition 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- NJRXVEJTAYWCQJ-UHFFFAOYSA-N thiomalic acid Chemical compound OC(=O)CC(S)C(O)=O NJRXVEJTAYWCQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YWYZEGXAUVWDED-UHFFFAOYSA-N triammonium citrate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[NH4+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O YWYZEGXAUVWDED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001393 triammonium citrate Substances 0.000 description 1
- 235000011046 triammonium citrate Nutrition 0.000 description 1
- 235000015870 tripotassium citrate Nutrition 0.000 description 1
- HRXKRNGNAMMEHJ-UHFFFAOYSA-K trisodium citrate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O HRXKRNGNAMMEHJ-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 229940038773 trisodium citrate Drugs 0.000 description 1
- 235000019263 trisodium citrate Nutrition 0.000 description 1
- 230000004580 weight loss Effects 0.000 description 1
- UHVMMEOXYDMDKI-JKYCWFKZSA-L zinc;1-(5-cyanopyridin-2-yl)-3-[(1s,2s)-2-(6-fluoro-2-hydroxy-3-propanoylphenyl)cyclopropyl]urea;diacetate Chemical compound [Zn+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O.CCC(=O)C1=CC=C(F)C([C@H]2[C@H](C2)NC(=O)NC=2N=CC(=CC=2)C#N)=C1O UHVMMEOXYDMDKI-JKYCWFKZSA-L 0.000 description 1
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Abstract
【課題】導体パターンの周囲におけるボイド(空洞)の発生が防止された、信頼性の高い導体パターンを備えた信頼性の高い配線基板を提供する。
【解決手段】セラミックス材料とバインダーとを含む材料で構成されたシート状の仮成形体14を用意する工程と、仮成形体14の両面に多価アルコールの縮合物を含む組成物200を付与することにより表面付近に多価アルコールの縮合物を含む領域13が形成されたセラミックス成形体15を得る工程と、セラミックス成形体15の前記多価アルコールの縮合物を含む領域13に、金属粒子と金属粒子が分散する分散媒とを含む導体パターン形成用インク300を液滴吐出法により吐出して、導体パターン前駆体10を形成する工程と、複数の前記セラミックス成形体15を積層して積層体32を得る工程と、前記積層体32を焼結して、導体パターン20およびセラミックス基板31とを有する配線基板30を得る焼成工程とを有する。
【選択図】図1There is provided a highly reliable wiring board provided with a highly reliable conductor pattern in which generation of voids (cavities) around the conductor pattern is prevented.
A step of preparing a sheet-like temporary molded body 14 made of a material containing a ceramic material and a binder, and a composition 200 containing a polyhydric alcohol condensate on both surfaces of the temporary molded body 14 are applied. Thus, a step of obtaining a ceramic molded body 15 in which a region 13 containing a polyhydric alcohol condensate is formed in the vicinity of the surface, and a region of the ceramic molded body 15 containing the polyhydric alcohol condensate 13 in the metal particles and metal A conductive pattern forming ink 300 including a dispersion medium in which particles are dispersed is discharged by a droplet discharge method to form a conductive pattern precursor 10, and a plurality of the ceramic molded bodies 15 are stacked to form a stacked body 32. And a firing step of sintering the laminate 32 to obtain the wiring substrate 30 having the conductor pattern 20 and the ceramic substrate 31.
[Selection] Figure 1
Description
本発明は、配線基板の製造方法および配線基板に関するものである。 The present invention relates to a method for manufacturing a wiring board and a wiring board.
電子部品が実装される回路基板(配線基板)として、セラミックスで構成された基板(セラミックス基板)上に、金属材料で構成された配線が形成されたセラミックス回路基板が、広く用いられている。このようなセラミックス回路基板では、基板(セラミックス基板)自体が、多機能性材料で構成されているため、多層化による内装部品の形成、寸法の安定性等の点で有利である。
そして、このようなセラミックス回路基板は、セラミックス粒子とバインダーとを含む材料で構成されたセラミックス成形体上に、形成すべき配線(導体パターン)に対応するパターンで、金属粒子を含む組成物を付与し、その後、当該組成物が付与されたセラミックス成形体に対し、脱脂、焼結処理を施すことにより製造されている。
As a circuit board (wiring board) on which electronic components are mounted, a ceramic circuit board in which wiring made of a metal material is formed on a board made of ceramics (ceramic board) is widely used. In such a ceramic circuit board, since the board (ceramic board) itself is made of a multifunctional material, it is advantageous in terms of formation of interior parts by multi-layering, dimensional stability, and the like.
Such a ceramic circuit board is provided with a composition containing metal particles in a pattern corresponding to a wiring (conductor pattern) to be formed on a ceramic molded body made of a material containing ceramic particles and a binder. Thereafter, the ceramic molded body to which the composition is applied is manufactured by degreasing and sintering.
セラミックス成形体上へのパターン形成の方法としては、スクリーン印刷法が広く用いられている。その一方で、近年、配線の微細化(例えば、線幅:60μm以下の配線)、狭ピッチ化による回路基板の高密度化が求められているが、スクリーン印刷法では、配線の微細化、狭ピッチ化に不利であり、上記のような要求に応えるのが困難である。そこで、近年、セラミックス成形体上へのパターン形成の方法として、液体吐出ヘッドから金属粒子を含む液体材料(導体パターン形成用インク)を液滴状に吐出する液滴吐出法、いわゆるインクジェット法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。 A screen printing method is widely used as a method for forming a pattern on a ceramic molded body. On the other hand, in recent years, miniaturization of wiring (for example, wiring with a line width of 60 μm or less) and high density circuit boards by narrowing the pitch have been demanded. It is disadvantageous for pitching and it is difficult to meet the above requirements. Therefore, in recent years, a so-called ink jet method has been proposed as a method for forming a pattern on a ceramic molded body, in which a liquid material containing metal particles (ink for forming a conductor pattern) is ejected in droplets from a liquid ejection head. (For example, refer to Patent Document 1).
しかしながら、従来の導体パターン形成用インクでは、積層したセラミックス成形体に、脱脂、焼結処理を施した際に、導体パターンの周囲に空洞(ボイド)が発生するといった問題があった。このようなボイドが生じることによって、当該部分が他の部位よりも機械的強度が低下してしまい、その結果、クラック、断線等が生じてしまうといった問題があった。 However, the conventional ink for forming a conductor pattern has a problem that voids are generated around the conductor pattern when the laminated ceramic molded body is degreased and sintered. When such a void is generated, the mechanical strength of the portion is lower than that of other portions, and as a result, there is a problem that cracks, disconnection, and the like occur.
本発明の目的は、導体パターンの周囲におけるボイド(空洞)の発生が防止された、信頼性の高い導体パターンを備えた信頼性の高い配線基板を提供すること、前記配線基板を効率よく製造することのできる製造方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a highly reliable wiring board having a highly reliable conductor pattern in which generation of voids (cavities) around the conductor pattern is prevented, and to efficiently manufacture the wiring board. It is in providing the manufacturing method which can be performed.
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の配線基板の製造方法は、セラミックス材料とバインダーとを含む材料で構成されたシート状の仮成形体を用意する仮成形体用意工程と、
前記仮成形体の両面に、多価アルコールの縮合物を含む組成物を付与することにより、表面付近に前記多価アルコールの縮合物を含む領域が形成されたセラミックス成形体を得る多価アルコール縮合物付与工程と、
前記セラミックス成形体の前記多価アルコールの縮合物を含む領域に、金属粒子と前記金属粒子が分散する分散媒とを含む導体パターン形成用インクを液滴吐出法により吐出して、導体パターン前駆体を形成する導体パターン前駆体形成工程と、
複数の前記セラミックス成形体を積層して積層体を得る積層工程と、
前記積層体を焼結して、導体パターンおよびセラミックス基板とを有する配線基板を得る焼成工程とを有することを特徴とする。
Such an object is achieved by the present invention described below.
The method for manufacturing a wiring board according to the present invention includes a temporary molded body preparing step of preparing a sheet-shaped temporary molded body made of a material containing a ceramic material and a binder,
By applying a composition containing a polyhydric alcohol condensate to both surfaces of the temporary molded body, a polyhydric alcohol condensation is obtained in which a ceramic molded body in which a region containing the polyhydric alcohol condensate is formed near the surface is formed. An object imparting step;
Conductive pattern forming ink containing metal particles and a dispersion medium in which the metal particles are dispersed is ejected to a region containing the polyhydric alcohol condensate of the ceramic molded body by a droplet discharge method, thereby forming a conductor pattern precursor. A conductor pattern precursor forming step of forming
A laminating step of laminating a plurality of the ceramic molded bodies to obtain a laminated body;
And firing the laminate to obtain a wiring substrate having a conductor pattern and a ceramic substrate.
これにより、導体パターンの周囲におけるボイド(空洞)の発生が防止された、信頼性の高い導体パターンを備えた信頼性の高い配線基板を効率よく製造することのできる配線基板の製造方法を提供することができる。また、多価アルコールの縮合物の使用量を抑制することができ、配線基板の生産コストを抑制することができる。また、クラック、断線、短絡等の発生を防止することができる。 As a result, there is provided a method of manufacturing a wiring board capable of efficiently manufacturing a highly reliable wiring board having a highly reliable conductor pattern in which generation of voids (cavities) around the conductor pattern is prevented. be able to. Moreover, the usage-amount of the condensate of a polyhydric alcohol can be suppressed, and the production cost of a wiring board can be suppressed. Moreover, generation | occurrence | production of a crack, a disconnection, a short circuit etc. can be prevented.
本発明の配線基板の製造方法では、前記多価アルコールの縮合物を含む組成物は、前記導体パターン形成用インクが付与される領域、および、前記積層体における隣接する前記セラミックス成形体の導体パターン前駆体と接触する領域に選択的に付与されるものであることが好ましい。
これにより、導体パターンの周囲にボイド(空洞)が発生するのをより効率よく防止することができるとともに、セラミックス成形体において、多価アルコールの縮合物を含む組成物が付与された領域と、それ以外の領域とでの、導体パターン形成用インクの親和性を異なるものとすることができ、セラミックス成形体上での、導体パターン形成用インクの過剰な濡れ広がり等を防止することができ、線幅がより小さい配線等をより好適に形成することができる。
In the method for producing a wiring board of the present invention, the composition containing the polyhydric alcohol condensate includes a region to which the conductive pattern forming ink is applied, and a conductive pattern of the adjacent ceramic molded body in the laminate. It is preferable that it is selectively given to the region in contact with the precursor.
Thereby, it is possible to more efficiently prevent voids (cavities) from being generated around the conductor pattern, and in the ceramic molded body, a region to which a composition containing a polyhydric alcohol condensate is applied, and The affinity of the ink for forming the conductor pattern in the region other than the above can be made different, and excessive wetting and spreading of the ink for forming the conductor pattern on the ceramic molded body can be prevented. A wiring or the like having a smaller width can be more suitably formed.
本発明の配線基板の製造方法では、前記多価アルコールの縮合物を含む組成物の付与は、液滴吐出法により行うことが好ましい。
これにより、多価アルコールの縮合物を含む組成物を付与する際の、位置選択性をより優れたものとすることができ、微細な導体パターンの形成をより好適に行うことができる。
In the method for manufacturing a wiring board according to the present invention, it is preferable that the composition containing the polyhydric alcohol condensate is applied by a droplet discharge method.
Thereby, the position selectivity at the time of providing the composition containing the condensate of a polyhydric alcohol can be made more excellent, and formation of a fine conductor pattern can be performed more suitably.
本発明の配線基板の製造方法では、前記多価アルコールの縮合物の重量平均分子量は、4000以下であることが好ましい。
これにより、導体パターンの信頼性をより高いものとすることができる。
本発明の配線基板の製造方法では、前記組成物は、前記多価アルコールの縮合物として、エチレングリコールおよび/またはグリセリンの縮合物を含むものであることが好ましい。
これにより、導体パターンの信頼性をより高いものとすることができる。
In the method for producing a wiring board according to the present invention, the polyhydric alcohol condensate preferably has a weight average molecular weight of 4000 or less.
Thereby, the reliability of a conductor pattern can be made higher.
In the method for manufacturing a wiring board according to the present invention, the composition preferably contains a condensate of ethylene glycol and / or glycerin as the condensate of the polyhydric alcohol.
Thereby, the reliability of a conductor pattern can be made higher.
本発明の配線基板の製造方法では、前記組成物は、前記多価アルコールの縮合物として、ポリエチレングリコールおよびポリグリセリンを含むものであることが好ましい。
これにより、導体パターンの信頼性をさらに高いものとすることができる。
本発明の配線基板の製造方法では、前記組成物中におけるポリエチレングリコールの含有率をXPEG[wt%]、前記組成物中におけるポリグリセリンの含有率をXPG[wt%]としたとき、0.10≦XPEG/XPG≦0.70の関係を満足することが好ましい。
これにより、導体パターンの信頼性をさらに高いものとすることができる。
In the method for producing a wiring board according to the present invention, the composition preferably contains polyethylene glycol and polyglycerin as the polyhydric alcohol condensate.
Thereby, the reliability of a conductor pattern can be made still higher.
In the method for manufacturing a wiring board according to the present invention, when the content of polyethylene glycol in the composition is X PEG [wt%] and the content of polyglycerin in the composition is X PG [wt%], 0 It is preferable that the relationship of 10 ≦ X PEG / X PG ≦ 0.70 is satisfied.
Thereby, the reliability of a conductor pattern can be made still higher.
本発明の配線基板の製造方法では、前記セラミックス成形体は、前記バインダーとして、ポリビニルブチラールを含むものであることが好ましい。
これにより、導体パターンの信頼性をより高いものとすることができる。
本発明の配線基板の製造方法では、前記セラミックス成形体は、前記バインダーとして、アクリル系樹脂を含むものであることが好ましい。
これにより、導体パターンの信頼性をより高いものとすることができる。
In the method for manufacturing a wiring board of the present invention, the ceramic molded body preferably contains polyvinyl butyral as the binder.
Thereby, the reliability of a conductor pattern can be made higher.
In the method for manufacturing a wiring board according to the present invention, the ceramic molded body preferably contains an acrylic resin as the binder.
Thereby, the reliability of a conductor pattern can be made higher.
本発明の配線基板の製造方法では、前記導体パターン形成用インクは、ポリグリセリン化合物を含むものであることが好ましい。
これにより、導体パターンの信頼性をより高いものとすることができる。
本発明の配線基板の製造方法では、前記導体パターン形成用インクは、前記分散媒として、水系分散媒を含むものであることが好ましい。
これにより、導体パターンの信頼性をより高いものとすることができる。
本発明の配線基板は、本発明の方法を用いて製造されたことを特徴とする。
これにより、導体パターンの周囲におけるボイド(空洞)の発生が防止された、信頼性の高い導体パターンを備えた信頼性の高い配線基板を提供することができる。
In the method for manufacturing a wiring board according to the present invention, it is preferable that the conductor pattern forming ink contains a polyglycerin compound.
Thereby, the reliability of a conductor pattern can be made higher.
In the method for manufacturing a wiring board of the present invention, it is preferable that the conductive pattern forming ink contains an aqueous dispersion medium as the dispersion medium.
Thereby, the reliability of a conductor pattern can be made higher.
The wiring board of the present invention is manufactured using the method of the present invention.
Thereby, it is possible to provide a highly reliable wiring board having a highly reliable conductor pattern in which generation of voids (cavities) around the conductor pattern is prevented.
以下、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
《配線基板の製造方法》
図1は、本発明の配線基板(セラミックス回路基板)の製造方法の好適な実施形態を示す断面図、図2は、インクジェット装置(液滴吐出装置)の概略構成を示す斜視図、図3は、インクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)の概略構成を説明するための模式図である。
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail.
<Method for manufacturing wiring board>
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a preferred embodiment of a method of manufacturing a wiring board (ceramic circuit board) according to the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a schematic configuration of an ink jet apparatus (droplet discharge apparatus), and FIG. FIG. 2 is a schematic diagram for explaining a schematic configuration of an inkjet head (droplet discharge head).
本実施形態の配線基板の製造方法は、セラミックス材料とバインダーとを含む材料で構成されたシート状の仮成形体14を複数用意する工程(仮成形体用意工程)と、
仮成形体14に、多価アルコールの縮合物(以下、「多価アルコール縮合物」ともいう)を含む組成物を付与することにより、表面付近に多価アルコール縮合物を含む領域(多価アルコール縮合物含有部13)が形成されたセラミックス成形体15を得る工程(多価アルコール縮合物付与工程)と、セラミックス成形体15のうち少なくとも1つの表面上に、金属粒子と前記金属粒子が分散する分散媒とを含む導体パターン形成用インク300を液滴吐出法により吐出して、導体パターン前駆体10を形成する工程(導体パターン前駆体形成工程)と、複数のセラミックス成形体15を積層して積層体17を得る工程(積層工程)と、積層体17を加熱して、導体パターン20およびセラミックス基板31とを有する配線基板30を得る工程(焼成工程)とを有している。
The method of manufacturing a wiring board according to the present embodiment includes a step of preparing a plurality of sheet-like temporary molded
A region containing a polyhydric alcohol condensate near the surface (polyhydric alcohol) by applying a composition containing a polyhydric alcohol condensate (hereinafter also referred to as “polyhydric alcohol condensate”) to the temporary molded
(仮成形体用意工程)
本工程では、セラミックス材料とバインダーとを含む材料で構成されたシート状の仮成形体14を複数用意する。
<仮成形体>
仮成形体14は、多価アルコール縮合物を付与されることにより、セラミックス成形体15となるものである。
(Temporary molded body preparation process)
In this step, a plurality of sheet-like temporary molded
<Temporary molded product>
The temporary molded
複数種の粉末を含む仮成形体14を得る場合、バインダー等との混合に先立ち、当該複数種の粉末を予め混合するのが好ましい。
平均粒径が0.1μm以上10μm以下のセラミックス粉末(セラミックス材料)と、平均粒径が0.1μm以上10μm以下のガラス粉末とを用意し、これらを適宜な混合比、例えば1:1の重量比で混合することができる。
このようなセラミックス材料としては、Al2O3、SiO2、MgO、MgO・SiO2、2MgO・SiO2やTiO2,BaTiO3,BaxSr1−xTiO3,SrTiO3,CaTiO3,PbZrxTi1−x,Pb1−xLayZrTi1−xO3,SrBi2TaO3等のペロブスカイト構造を持つ複合酸化物やその他の強誘電体材料、あるいは、MgTiO3,Ba(Mg1/3Ta2/3)O3,Ba(Zn1/3Ta2/3)O3,Ba(Ni1/3Ta2/3),Ba(Co1/3Ta2/3),BaNd2Ti4O12,Ba2Ti9O20,LaAlO3,PrAlO3,SmAlO3,YAlO3,GdAlO3,DyAlO3,ErAlO3,Sr(Zn1/3Ta2/3)O3,Sr(Ni1/3Ta2/3)O3,Sr(Co1/3Ta2/3)O3,Sr(Mg1/3Ta2/3)O3,Sr(Ca1/3Ta2/3)O3,Ba2Ti9O20,Ba(Co1/3Nb2/3)O3などを主成分とする材料が利用可能であるが、一般的なセラミックス材料であれば、使用可能である。
When obtaining the temporary molded
A ceramic powder (ceramic material) having an average particle size of 0.1 μm or more and 10 μm or less and a glass powder having an average particle size of 0.1 μm or more and 10 μm or less are prepared, and these are mixed at an appropriate mixing ratio, for example, a weight of 1: 1. Can be mixed in a ratio.
Such ceramic materials, Al 2 O 3, SiO 2 , MgO, MgO · SiO 2, 2MgO · SiO 2 and TiO 2, BaTiO 3, Ba x Sr 1-x TiO 3, SrTiO 3, CaTiO 3, PbZr x Ti 1-x , Pb 1-x La y ZrTi 1-x O 3 , SrBi 2 TaO 3 and other composite oxides and other ferroelectric materials having a perovskite structure, or MgTiO 3 , Ba (Mg 1 / 3 Ta 2/3 ) O 3 , Ba (Zn 1/3 Ta 2/3 ) O 3 , Ba (Ni 1/3 Ta 2/3 ), Ba (Co 1/3 Ta 2/3 ), BaNd 2 Ti 4 O 12 , Ba 2 Ti 9 O 20 , LaAlO 3 , PrAlO 3 , SmAlO 3 , YAlO 3 , GdAlO 3 , DyAlO 3 , ErAlO 3 , Sr (Zn 1/3 Ta 2/3 ) O 3 , Sr (Ni 1/3 Ta 2/3 ) O 3 , Sr (Co 1/3 Ta 2/3 ) O 3 , Sr (Mg 1/3 Ta 2/3 ) O 3 , Sr (Ca 1/3 Ta 2/3 ) O 3 , Ba 2 Ti 9 O 20 , Ba (Co 1/3 Nb 2/3 ) O 3 etc. Although it is possible, any general ceramic material can be used.
また、ガラス成分としては、結晶化ガラスでも非晶質ガラスでも一般的なガラスであれば使用可能である。例えば、SiO2,Al2O3,RO(Rは、Mg,Ca,Sr,Ba)を含むものが挙げられ、具体的には、SiO2−BaO系、SiO2−Al2O3−BaO系、SiO2−Al2O3−BaO−B2O3系、SiO2−Al2O3−BaO−ZnO−B2O3系のガラスやBi系のガラスおよびそれらを主成分とするガラスなどが利用可能である。
セラミックス粉末とガラス粉末との配合比率は、重量比で、2:1〜1:2であるのが好ましい。
上記のような原料粉末をバインダー(結合剤)等と混合・撹拌することにより、スラリーを得る。
As the glass component, either a crystallized glass or an amorphous glass can be used as long as it is a general glass. Examples thereof include those containing SiO 2 , Al 2 O 3 , RO (R is Mg, Ca, Sr, Ba), and specifically include SiO 2 —BaO series, SiO 2 —Al 2 O 3 —BaO. , SiO 2 —Al 2 O 3 —BaO—B 2 O 3 system, SiO 2 —Al 2 O 3 —BaO—ZnO—B 2 O 3 system glass, Bi glass, and glass containing them as a main component Etc. are available.
The mixing ratio of the ceramic powder and the glass powder is preferably 2: 1 to 1: 2 by weight.
A slurry is obtained by mixing and stirring the above raw material powder with a binder (binder) or the like.
バインダーとしては、ポリビニルブチラールを好適に用いることができる。ポリビニルブチラールは水に不溶であり、かつ、いわゆる油系の有機溶媒に溶解しあるいは膨潤し易いものである。また、バインダーとしてポリビニルブチラールを用いることにより、後述する工程において付与される多価アルコール縮合物を、セラミックス成形体15の表面付近に確実に保持することができ、後に詳述するような多価アルコール縮合物の機能をより効果的に発揮させることができる。その結果、最終的に得られる配線基板30(形成される導体パターン20)の信頼性をより高いものとすることができる。
As the binder, polyvinyl butyral can be suitably used. Polyvinyl butyral is insoluble in water and easily dissolved or swelled in a so-called oil-based organic solvent. In addition, by using polyvinyl butyral as a binder, the polyhydric alcohol condensate provided in the step described later can be reliably held near the surface of the ceramic molded
また、バインダーとしては、 また、バインダーとしては、アクリル系樹脂(アクリル酸、メタクリル酸またはそれらのエステルの単独重合体または共重合体、具体的にはアクリル酸エステル共重合体、メタクリル酸エステル共重合体、アクリル酸エステル−メタクリル酸エステル共重合体等)を好適に用いることができる。アクリル系樹脂は水に不溶であり、かつ、いわゆる油系の有機溶媒に溶解しあるいは膨潤し易いものである。また、バインダーとしてアクリル系樹脂を用いることにより、後述する工程において付与される多価アルコール縮合物を、セラミックス成形体15の表面付近に確実に保持することができ、後に詳述するような多価アルコール縮合物の機能をより効果的に発揮させることができる。その結果、最終的に得られる配線基板30(形成される導体パターン20)の信頼性をより高いものとすることができる。その他、従来からセラミックグリーンシートに使用されているものが使用可能であり、例えば、ポリビニルアルコール系、アクリル−スチレン系、ポリプロピレンカーボネート系、セルロース系等の単独重合体または共重合体等を用いることができる。
スラリーの調製においては、可塑剤、有機溶剤(原料粉末を分散する分散媒として機能するもの)、分散剤等を用いてもよい。
上記のようなスラリーを、シート状に成形することにより仮成形体14が得られる。
As the binder, the binder may be an acrylic resin (acrylic acid, methacrylic acid or a homopolymer or copolymer thereof, specifically an acrylic ester copolymer, a methacrylic ester copolymer). A polymer, an acrylic ester-methacrylic ester copolymer, etc.) can be preferably used. The acrylic resin is insoluble in water and easily dissolved or swelled in a so-called oil-based organic solvent. Further, by using an acrylic resin as the binder, the polyhydric alcohol condensate imparted in the steps described later can be reliably held near the surface of the ceramic molded
In the preparation of the slurry, a plasticizer, an organic solvent (functioning as a dispersion medium for dispersing the raw material powder), a dispersant, and the like may be used.
The temporary molded
仮成形体14は、例えば、ドクターブレード、リバースコーター等を用いてPETフィルム上にスラリーをシート状に成形することにより好適に得ることができる。
仮成形体14の厚さは、数μm以上数百μm以下であるのが好ましい。
上記のようにしてシート状に成形された仮成形体14は、通常、ロールに巻き取られ、製品の用途に合わせて切断、さらに所定寸法のシートに裁断され用いられる。本実施形態では、例えば1辺の長さを200mmとする正方形状に裁断する。
The temporary molded
The thickness of the temporary molded
The temporary molded
また、必要に応じて所定の位置に、CO2レーザー、YAGレーザー、機械式パンチ等によって孔開けを行うことでスルーホール(貫通孔)を形成する。なお、スルーホールの形成は、今工程で行うものであってもよいし、後の工程(例えば、多価アルコール縮合物付与工程の後)で行うものであってもよい。
そして、このスルーホールに、金属粒子が分散した厚膜導電ペーストを充填することにより、コンタクト33となるべき部位(導体ポスト16)を形成する。なお、厚膜導電ペーストとしては、後述するような導体パターン形成用インクを用いることができる。また、厚膜導電ペーストの充填は、本工程で行うものであってもよいし、後述する導体パターン前駆体形成工程で行うものであってもよく、また、導体パターン前駆体形成工程の後に行うものであってもよい。
Further, through holes (through holes) are formed at predetermined positions by drilling with a CO 2 laser, a YAG laser, a mechanical punch or the like as necessary. In addition, formation of a through hole may be performed at this process, and may be performed at a subsequent process (for example, after a polyhydric alcohol condensate provision process).
Then, by filling this through hole with a thick film conductive paste in which metal particles are dispersed, a portion (conductor post 16) to be the
(多価アルコール縮合物付与工程(セラミックス成形体製造工程))
本工程では、仮成形体14の両面に、多価アルコール縮合物を含む組成物(多価アルコール縮合物含有組成物)を付与して、セラミックスグリーンシート(セラミックス成形体)15を得る。本工程で得られるセラミックス成形体(セラミックスグリーンシート)15は、その表面付近の一部に設けられ多価アルコール縮合物を含有する多価アルコール縮合物含有部13と、多価アルコール縮合物を含有しない多価アルコール縮合物不含部19とを有するものである。
(Polyhydric alcohol condensate application process (ceramic molded body manufacturing process))
In this step, a ceramic green sheet (ceramic molded body) 15 is obtained by applying a composition containing a polyhydric alcohol condensate (polyhydric alcohol condensate-containing composition) to both surfaces of the temporary molded
ところで、多価アルコール縮合物が一方の側の表面に含んだセラミック成形体を積層し、後述する焼成工程において、焼成した場合、接触している多価アルコール縮合物を含んだ面と含んでいない面とでは、熱収縮率または熱膨張率が特に大きく異なるため、その界面の近傍、特に、導体パターンの周囲にボイド(空洞)が生じてしまうといった問題があった。このようなボイドが生じることによって、当該部分が他の部位よりも機械的強度が低下してしまい、その結果、クラック、断線等が生じてしまうといった問題があった。 By the way, when the ceramic molded body containing the polyhydric alcohol condensate on one side is laminated and fired in the firing step described later, it does not include the surface containing the polyhydric alcohol condensate that is in contact. Since the thermal contraction rate or the thermal expansion coefficient is particularly different from the surface, there is a problem that voids (cavities) are generated in the vicinity of the interface, particularly around the conductor pattern. When such a void is generated, the mechanical strength of the portion is lower than that of other portions, and as a result, there is a problem that cracks, disconnection, and the like occur.
このような問題に対し、本発明では、仮成形体の両面に多価アルコール縮合物含有組成物を付与することで、隣接するセラミック成形体の界面における熱収縮率または熱膨張率の差を小さくすることができ、導体パターンの周囲にボイド(空洞)が発生するのを防止することができる。その結果、形成される導体パターンの信頼性を高いものとすることができる。 In response to such a problem, in the present invention, by applying the polyhydric alcohol condensate-containing composition to both surfaces of the temporary molded body, the difference in thermal shrinkage rate or thermal expansion coefficient at the interface between adjacent ceramic molded bodies is reduced. It is possible to prevent the generation of voids (cavities) around the conductor pattern. As a result, the reliability of the formed conductor pattern can be increased.
また、本工程のように、セラミックス成形体15が、多価アルコール縮合物を含むものであることにより、後に詳述する工程(導体パターン前駆体形成工程)において、セラミックス成形体15上に吐出された導体パターン形成用インク300から、当該導体パターン形成用インクの構成成分である分散媒をセラミックス成形体15中に吸収させることができ、セラミックス成形体15上に、金属粒子が濃縮された層(導体パターン前駆体10)を形成することができる。その結果、セラミックス成形体15上に吐出された導体パターン形成用インク300に含まれる金属粒子についての、着弾位置から不本意な移動を効果的に防止することができ、最終的な配線基板30を、所望の形状の導体パターン20を備え、クラック、断線、短絡等の発生が確実に防止された、信頼性の高いものとして得ることができる。
Further, since the ceramic molded
また、セラミックス成形体15上に吐出された導体パターン形成用インク300から、当該導体パターン形成用インク300の構成成分である分散媒をセラミックス成形体15中に吸収させることができるため、導体パターン形成用インク300中に含まれる分散媒の含有率が比較的高い場合であっても、セラミックス成形体15上に吐出された導体パターン形成用インク300に含まれる金属粒子についての、着弾位置から不本意な移動を確実に防止することができるとともに、導体パターン形成用インク中の過剰な溶剤が吸収され、導体パターン形成用インクの固体比率が上がり、硬くなることで、プレス等の加圧時に配線が潰れることを抑制することができる。その結果、最終的な配線基板30を、所望の形状の導体パターン20を備え、クラック、断線、ショート等の発生が確実に防止された、線幅の安定した信頼性の高いものとして得ることができる。また、セラミックス成形体15上に吐出された導体パターン形成用インク300に含まれる金属粒子についての、着弾位置から不本意な移動を確実に防止することができるため、吐出する導体パターン形成用インク300の低粘度化を図ることができ、導体パターン形成用インク300の吐出安定性を特に優れたものとすることができる。これにより、配線基板30の生産性、歩留まりを特に優れたものとすることができる。
Further, since the dispersion medium, which is a constituent component of the conductor
また、仮成形体14に、多価アルコール縮合物含有組成物を付与して、セラミックス成形体15を得ることにより、多価アルコール縮合物の使用量を抑制することができ、配線基板30の生産コストを抑制することができる。
なお、上記のような優れた効果は、導体パターン形成用インクが付与されるセラミックス成形体を、多価アルコール縮合物含有組成物を用いて製造することにより得られるものであって、例えば、単に、導体パターン形成用インクに多価アルコール縮合物を含有させたような場合には得られない。
In addition, the amount of the polyhydric alcohol condensate used can be suppressed by applying the polyhydric alcohol condensate-containing composition to the temporary molded
The excellent effects as described above can be obtained by producing a ceramic molded body to which the conductive pattern forming ink is applied using a polyhydric alcohol condensate-containing composition. It cannot be obtained when a polyhydric alcohol condensate is contained in the conductor pattern forming ink.
仮成形体14に付与される多価アルコール縮合物含有組成物は、液状、固形状、気体状のいずれであってもよく、例えば、所定の形状に成形されたものであってもよいが、液状のものであるのが好ましい。これにより、多価アルコール縮合物含有組成物の保管が容易であるとともに、形成すべきセラミックスグリーンシート(セラミックス成形体)15に対応して、多価アルコール縮合物含有組成物の付与パターンを容易に調整することができる。また、多価アルコール縮合物含有組成物が液状のものである場合、その粘度は、特に限定されないが、2.0mPa・s以上12.0mPa・s以下であることが好ましく、5.0mPa・s以上10.0mPa・s以下であることがより好ましい。これにより、多価アルコール縮合物含有組成物を、後述するような液滴吐出に好適に供することができる。
The polyhydric alcohol condensate-containing composition to be imparted to the temporary molded
以下の説明では、多価アルコール縮合物含有組成物が、液状の組成物(多価アルコール縮合物含有インク)である場合について代表的に説明する。
<多価アルコール縮合物含有組成物(多価アルコール縮合物含有インク)>
〔多価アルコール縮合物〕
本発明において、多価アルコール縮合物としては、分子内に複数個の水酸基を有する化合物(モノマーとしての多価アルコール)の縮合物を用いることができる。
In the following description, the case where the polyhydric alcohol condensate-containing composition is a liquid composition (polyhydric alcohol condensate-containing ink) will be representatively described.
<Polyhydric alcohol condensate-containing composition (polyhydric alcohol condensate-containing ink)>
[Polyhydric alcohol condensate]
In the present invention, as the polyhydric alcohol condensate, a condensate of a compound having a plurality of hydroxyl groups in the molecule (polyhydric alcohol as a monomer) can be used.
多価アルコール縮合物の重量平均分子量は、4000以下であるのが好ましく、250以上3900以下であるのがより好ましく、300以上3800以下であるのがさらに好ましい。これにより、導体パターンの信頼性をより高いものとすることができる。
多価アルコール縮合物を構成する多価アルコールとしては、例えば、エチレングリコール、グリセリン、プロピレングリコール(1,2−プロパンジオール)、1,3−プロパンジオール、1,3−ブチレングリコールや、エリスリトール、キシリトール、ソルビトール等の還元多糖類等が挙げられる。
The weight average molecular weight of the polyhydric alcohol condensate is preferably 4000 or less, more preferably 250 or more and 3900 or less, and further preferably 300 or more and 3800 or less. Thereby, the reliability of a conductor pattern can be made higher.
Examples of the polyhydric alcohol constituting the polyhydric alcohol condensate include ethylene glycol, glycerin, propylene glycol (1,2-propanediol), 1,3-propanediol, 1,3-butylene glycol, erythritol, and xylitol. And reducing polysaccharides such as sorbitol.
多価アルコール縮合物としては、例えば、上記のような多価アルコールのうち1種または2種以上を縮合して得られる化合物を好適に用いることができる。
中でも、多価アルコール縮合物は、エチレングリコールおよび/またはグリセリンの縮合物であるのが好ましい。これにより、セラミックス成形体15が導体パターン形成用インク300を構成する分散媒を適度に吸収することができ、製造される配線基板30(形成される導体パターン20)の信頼性をより高いものとすることができる。
As a polyhydric alcohol condensate, the compound obtained by condensing 1 type (s) or 2 or more types among the above polyhydric alcohols can be used conveniently, for example.
Of these, the polyhydric alcohol condensate is preferably a condensate of ethylene glycol and / or glycerin. Thereby, the ceramic molded
また、多価アルコール縮合物含有組成物は、多価アルコール縮合物として、ポリエチレングリコールおよびポリグリセリンを含むものであるのが好ましい。これにより、セラミックス成形体15が導体パターン形成用インク300を構成する分散媒を適度に吸収することができ、製造される配線基板30(形成される導体パターン20)の信頼性をさらに高いものとすることができる。
The polyhydric alcohol condensate-containing composition preferably contains polyethylene glycol and polyglycerin as the polyhydric alcohol condensate. Thereby, the ceramic molded
多価アルコール縮合物含有組成物が、多価アルコール縮合物として、ポリエチレングリコールおよびポリグリセリンを含むものである場合、多価アルコール縮合物含有組成物中におけるポリエチレングリコールの含有率をXPEG[wt%]、多価アルコール縮合物含有組成物中におけるポリグリセリンの含有率をXPG[wt%]としたとき、0.10≦XPEG/XPG≦0.70の関係を満足するのが好ましく、0.20≦XPEG/XPG≦0.60の関係を満足するのがより好ましい。このような関係を満足することにより、セラミックス成形体15が導体パターン形成用インク300を構成する分散媒を適度に吸収することができ、製造される配線基板30(形成される導体パターン20)の信頼性をさらに高いものとすることができる。
When the polyhydric alcohol condensate-containing composition contains polyethylene glycol and polyglycerin as the polyhydric alcohol condensate, the content of polyethylene glycol in the polyhydric alcohol condensate-containing composition is expressed as X PEG [wt%] When the polyglycerin content in the polyhydric alcohol condensate-containing composition is X PG [wt%], it is preferable to satisfy the relationship of 0.10 ≦ X PEG / X PG ≦ 0.70. It is more preferable to satisfy the relationship of 20 ≦ X PEG / X PG ≦ 0.60. By satisfying such a relationship, the ceramic molded
なお、本発明においては、多価アルコール縮合物として、末端の水酸基の少なくとも一部が修飾(例えば、エステル化、エーテル化等)されたものを用いてもよいが、分子鎖の末端に水酸基を有するものであるのが好ましい。
多価アルコール縮合物含有組成物(多価アルコール縮合物含有インク)中に占める多価アルコール縮合物の含有率は、特に限定されないが、5wt%以上75wt%以下であるのが好ましく、7wt%以上70wt%以下であるのがより好ましい。これにより、仮成形体14の表面付近に多価アルコール縮合物を確実に浸入させることができ、上述したような機能をより効果的に発揮させることができる。
In the present invention, as the polyhydric alcohol condensate, one having at least a part of the terminal hydroxyl group modified (for example, esterification, etherification, etc.) may be used. It is preferable to have it.
The content of the polyhydric alcohol condensate in the polyhydric alcohol condensate-containing composition (polyhydric alcohol condensate-containing ink) is not particularly limited, but is preferably 5 wt% or more and 75 wt% or less, and preferably 7 wt% or more. More preferably, it is 70 wt% or less. Thereby, the polyhydric alcohol condensate can be surely infiltrated in the vicinity of the surface of the temporary molded
〔その他の成分〕
多価アルコール縮合物含有組成物(多価アルコール縮合物含有インク)は、多価アルコール縮合物以外の成分を含んでいてもよい。
このような成分としては、例えば、水、pH調整剤、浸透剤、界面活性剤、保湿剤等が挙げられる。
このような成分(以下「その他の成分」という)を含む場合、多価アルコール縮合物含有組成物(多価アルコール縮合物含有インク)中に占めるその他の成分の含有率は、25wt%以上95wt%以下であるのが好ましい。
[Other ingredients]
The polyhydric alcohol condensate-containing composition (polyhydric alcohol condensate-containing ink) may contain components other than the polyhydric alcohol condensate.
Examples of such components include water, pH adjusters, penetrants, surfactants, humectants and the like.
When such a component (hereinafter referred to as “other component”) is included, the content of the other component in the polyhydric alcohol condensate-containing composition (polyhydric alcohol condensate-containing ink) is 25 wt% or more and 95 wt%. It is preferable that:
多価アルコール縮合物含有組成物(多価アルコール縮合物含有インク)は、仮成形体14の両面の全面に付与されるものであってもよいし、仮成形体14の両面の一部に付与されるものであってもよいが、導体パターン形成用インク300が付与される領域、および、積層した際の隣接するセラミックス成形体15の導体パターン前駆体10と接触する領域に、選択的に付与されるものであるのが好ましい。これにより、隣接するセラミック成形体の界面における熱収縮率または熱膨張率の差をより効果的に小さくすることができ、導体パターンの周囲にボイド(空洞)が発生するのをより効率よく防止することができる。その結果、形成される導体パターンの信頼性をより高いものとすることができる。
The polyhydric alcohol condensate-containing composition (polyhydric alcohol condensate-containing ink) may be applied to the entire surface of both surfaces of the temporary molded
多価アルコール縮合物含有組成物(多価アルコール縮合物含有インク)は、いかなる方法で仮成形体14に付与するものであってもよいが、液滴吐出法により付与するのが好ましい。これにより、多価アルコール縮合物を含む組成物を付与する際の、位置選択性をより優れたものとすることができ、微細な導体パターン20の形成をより好適に行うことができる。
The polyhydric alcohol condensate-containing composition (polyhydric alcohol condensate-containing ink) may be applied to the temporary molded
多価アルコール縮合物含有組成物(多価アルコール縮合物含有インク)を液滴吐出(インクジェット)法により付与する場合、多価アルコール縮合物含有組成物(多価アルコール縮合物含有インク)200の吐出は、例えば図2および図3に示すインクジェット装置(液滴吐出装置)100を用いることにより行うことができる。以下に、インクジェット装置100およびインクジェット装置100を用いた液滴吐出について説明する。
When the polyhydric alcohol condensate-containing composition (polyhydric alcohol condensate-containing ink) is applied by a droplet discharge (inkjet) method, the polyhydric alcohol condensate-containing composition (polyhydric alcohol condensate-containing ink) 200 is discharged. For example, the ink jet device (droplet discharge device) 100 shown in FIGS. 2 and 3 can be used. Hereinafter, the
図2は、インクジェット装置100の斜視図である。図2において、X方向はベース130の左右方向であり、Y方向は前後方向であり、Z方向は上下方向である。
インクジェット装置100は、図3に示すインクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド。以下、単に「ヘッド」という)110と、ベース130と、テーブル140と、制御装置190と、テーブル位置決め手段170と、ヘッド位置決め手段180とを有している。
FIG. 2 is a perspective view of the
The
ベース130は、テーブル140、テーブル位置決め手段170、およびヘッド位置決め手段180等の液滴吐出装置100の各構成部材を支持する台である。
テーブル140は、テーブル位置決め手段170を介してベース130に設置されている。また、テーブル140は、基材S(本工程では仮成形体14)を載置するものである。
The
The table 140 is installed on the
テーブル位置決め手段170は、第1移動手段171と、モーター172とを有している。テーブル位置決め手段170は、ベース130におけるテーブル140の位置を決定し、これにより、ベース130における仮成形体14の位置を決定する。
第1移動手段171は、Y方向と略平行に設けられた2本のレールと、当該レール上を移動する支持台とを有している。第1移動手段171の支持台は、モーター172を介してテーブル140を支持している。そして、支持台がレール上を移動することにより、基材Sを載置するテーブル140は、Y方向に移動および位置決めされる。
The
The first moving means 171 has two rails provided substantially parallel to the Y direction and a support base that moves on the rails. The support base of the first moving means 171 supports the table 140 via the
モーター172は、テーブル140を支持しており、θz方向にテーブル140を揺動および位置決めする。
ヘッド位置決め手段180は、第2移動手段181と、リニアモーター182と、モーター183、184、185とを有している。ヘッド位置決め手段180は、ヘッド110の位置を決定する。
The
The
第2移動手段181は、ベース130から立設する2本の支持柱と、当該支持柱同士の間に当該支持柱に支持されて設けられ、2本のレールを有するレール台と、レールに沿って移動可能でヘッド110を支持する支持部材(図示せず)とを有している。そして、支持部材がレールに沿って移動することにより、ヘッド110は、X方向に移動および位置決めされる。
The second moving means 181 is provided with two support pillars standing from the
リニアモーター182は、支持部材付近に設けられており、ヘッド110のZ方向の移動および位置決めをすることができる。
モーター183、184、185は、ヘッド110を、それぞれα,β,γ方向に揺動および位置決めする。
以上のようなテーブル位置決め手段170およびヘッド位置決め手段180とにより、インクジェット装置100は、ヘッド110のインク吐出面115Pと、テーブル140上の基材Sとの相対的な位置および姿勢を、正確にコントロールできるようになっている。
The
By the
図3に示すように、ヘッド110は、インクジェット方式(液滴吐出方式)によって多価アルコール縮合物含有インク200(以下、単に、「インク200」ともいう)をノズル(突出部)118から吐出するものである。本実施形態では、ヘッド110は、圧電体素子としてのピエゾ素子113を用いてインクを吐出させるピエゾ方式を用いている。ピエゾ方式は、インク200に熱を加えないため、材料の組成に影響を与えないなどの利点を有する。
As shown in FIG. 3, the
ヘッド110は、ヘッド本体111と、振動板112と、ピエゾ素子113とを有している。
ヘッド本体111は、本体114と、その下端面にノズルプレート115とを有している。そして、本体114を板状のノズルプレート115と振動板112とが挟み込むことにより、空間としてのリザーバー116およびリザーバー116から分岐した複数のインク室117が形成されている。
The
The head main body 111 has a
リザーバー116には、図示せぬインクタンクよりインク200が供給される。リザーバー116は、各インク室117にインク200を供給するための流路を形成している。
また、ノズルプレート115は、本体114の下端面に装着されており、インク吐出面115Pを構成している。このノズルプレート115には、インク200を吐出する複数のノズル118が、各インク室117に対応して開口されている。そして、各インク室117から対応するノズル118に向かって、インク流路が形成されている。
The
振動板112は、ヘッド本体111の上端面に装着されており、各インク室117の壁面を構成している。振動板112は、ピエゾ素子113の振動に応じて振動可能となっている。
ピエゾ素子113は、その振動板112のヘッド本体111と反対側に、各インク室117に対応して設けられている。ピエゾ素子113は、水晶等の圧電材料を一対の電極(不図示)で挟持したものである。その一対の電極は、駆動回路191に接続されている。
The
The
そして、駆動回路191からピエゾ素子113に電気信号を入力すると、ピエゾ素子113が膨張変形または収縮変形する。ピエゾ素子113が収縮変形すると、インク室117の圧力が低下して、リザーバー116からインク室117にインク200が流入する。また、ピエゾ素子113が膨張変形すると、インク室117の圧力が増加して、ノズル118からインク200が吐出される。なお、印加電圧を変化させることにより、ピエゾ素子113の変形量を制御することができる。また、印加電圧の周波数を変化させることにより、ピエゾ素子113の変形速度を制御することができる。すなわち、ピエゾ素子113への印加電圧を制御することにより、インク200の吐出条件を制御し得るようになっている。
When an electric signal is input from the
制御装置190は、インクジェット装置100の各部位を制御する。例えば、駆動回路191で生成する印加電圧の波形を調節してインク200の吐出条件を制御したり、ヘッド位置決め手段180およびテーブル位置決め手段170を制御することにより基材Sへのインク200の吐出位置を制御する。
以上のようなインクジェット装置100を用いることにより、インク200を、仮成形体14(基材S)上の所望する場所に所望の量、精度良く吐出することができる。
The
By using the
(導体パターン前駆体形成工程)
上記のようにして得られたセラミックスグリーンシート(セラミックス成形体)15の少なくとも一方の側の表面に、後に詳述するような導体パターン形成用インク300を液滴吐出(インクジェット)法により付与し、前記回路20となる導体パターン前駆体10を形成する。これにより、前駆体10を備えたセラミックス成形体15が得られる。
そして、導体パターン前駆体10は、焼結されることにより金属粒子同士が融着して、後述する導体パターン20を形成するものである。
(Conductor pattern precursor formation process)
A conductive
And the
以下、本工程で用いる導体パターン形成用インク300について詳細に説明する。
<導体パターン形成用インク>
導体パターン形成用インク300は、液滴吐出法によって導体パターン前駆体10を形成するのに用いるインクである。
なお、本実施形態では、導体パターン形成用インク300として、金属粒子としての銀粒子が水系分散媒に分散した分散液を用いた場合について代表的に説明する。
Hereinafter, the conductive
<Conductor pattern forming ink>
The conductor
In the present embodiment, a case where a dispersion liquid in which silver particles as metal particles are dispersed in an aqueous dispersion medium is used as the conductor
以下、導体パターン形成用インク300の各構成成分について詳細に説明する。
〔水系分散媒〕
本実施形態では、導体パターン形成用インク300として、水系分散媒を含むものを用いる。このように、導体パターン形成用インク300が分散媒として水系分散媒を含むものであることにより、より好適に、セラミックス成形体15上に吐出された導体パターン形成用インク300から当該分散媒をセラミックス成形体15中に吸収させることができ、セラミックス成形体15上に、金属粒子が濃縮された層(導体パターン前駆体10)をより好適に形成することができる。その結果、形成される導体パターン20の信頼性をより高いものとすることができる。
Hereinafter, each component of the conductive
[Aqueous dispersion medium]
In the present embodiment, the conductor
なお、本発明において、「水系分散媒」とは、水および/または水との相溶性に優れる液体(例えば、25℃における水100gに対する溶解度が30g以上の液体)で構成されたもののことを指す。このように、水系分散媒は、水および/または水との相溶性に優れる液体で構成されたものであるが、主として水で構成されたものであるのが好ましく、特に、水の含有率が70wt%以上のものであるのが好ましく、90wt%以上のものであるのがより好ましい。これにより、上述した効果がより顕著に発揮される。 In the present invention, the “aqueous dispersion medium” refers to a liquid composed of water and / or a liquid having excellent compatibility with water (for example, a liquid having a solubility in 100 g of water at 25 ° C. of 30 g or more). . As described above, the aqueous dispersion medium is composed of water and / or a liquid having excellent compatibility with water, but is preferably composed mainly of water. It is preferably 70 wt% or more, more preferably 90 wt% or more. Thereby, the effect mentioned above is exhibited more notably.
水系分散媒の具体例としては、例えば、水、メタノール、エタノール、ブタノール、プロパノール、イソプロパノール等のアルコール系溶媒、1,4−ジオキサン、テトラヒドロフラン(THF)等のエーテル系溶媒、ピリジン、ピラジン、ピロール等の芳香族複素環化合物系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、N,N−ジメチルアセトアミド(DMA)等のアミド系溶媒、アセトニトリル等のニトリル系溶媒、アセトアルデヒド等のアルデヒド系溶媒等が挙げられ、これらのうち、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
また、導体パターン形成用インク300中における水系分散媒の含有量は、20wt%以上80wt%以下であることが好ましく、25wt%以上70wt%以下であることがより好ましい。これにより、導体パターン形成用インク300の粘度を好適なものとしつつ、分散媒の揮発による粘度の変化を少ないものとすることができる。
Specific examples of the aqueous dispersion medium include, for example, water, methanol, ethanol, butanol, propanol, isopropanol and other alcohol solvents, 1,4-dioxane, tetrahydrofuran (THF) and other ether solvents, pyridine, pyrazine, pyrrole and the like. Aromatic heterocyclic compound solvents, amide solvents such as N, N-dimethylformamide (DMF) and N, N-dimethylacetamide (DMA), nitrile solvents such as acetonitrile, and aldehyde solvents such as acetaldehyde. Of these, one or a combination of two or more can be used.
The content of the aqueous dispersion medium in the conductor
〔銀粒子〕
次に、銀粒子(金属粒子)について説明する。
銀粒子は、形成される導体パターン20の主成分であり、導体パターン20に導電性を付与する成分である。
また、銀粒子は、導体パターン形成用インク300中において分散している。
[Silver particles]
Next, silver particles (metal particles) will be described.
Silver particles are a main component of the
Silver particles are dispersed in the conductive
銀粒子の平均粒径は、1nm以上100nm以下であるのが好ましく、10nm以上30nm以下であるのがより好ましい。これにより、導体パターン形成用インク300の吐出安定性をより高いものとすることができるとともに、微細な導体パターンを容易に形成することができる。なお、本明細書では、「平均粒径」とは、特に断りのない限り、体積基準の平均粒径のことを指すものとする。
The average particle diameter of the silver particles is preferably 1 nm or more and 100 nm or less, and more preferably 10 nm or more and 30 nm or less. As a result, the ejection stability of the conductor
また、導体パターン形成用インク300中において、銀粒子の平均粒子間距離は、1.7nm以上380nm以下であるのが好ましく、1.75nm以上300nm以下であるのがより好ましい。これにより、導体パターン形成用インク300の粘度をより適度なものとすることができ、吐出安定性に特に優れたものとなる。
また、導体パターン形成用インク300中に含まれる銀粒子(分散剤が表面に吸着していない銀粒子(金属粒子))の含有量は、0.5wt%以上60wt%以下であるのが好ましく、10wt%以上45wt%以下であるのがより好ましい。これにより、導体パターン20の断線をより効果的に防止することができ、より信頼性の高い導体パターン20を提供することができる。
また、銀粒子(金属粒子)は、その表面に分散剤が付着した銀コロイド粒子(金属コロイド粒子)として、水系分散媒中に分散していることが好ましい。これにより、銀粒子の水系分散媒への分散性が特に優れたものとなり、導体パターン形成用インク300の吐出安定性が特に優れたものとなる。
Further, in the conductive
Further, the content of silver particles (silver particles (metal particles) in which the dispersant is not adsorbed on the surface) contained in the conductor
The silver particles (metal particles) are preferably dispersed in an aqueous dispersion medium as silver colloid particles (metal colloid particles) having a dispersant attached to the surface thereof. Thereby, the dispersibility of the silver particles in the aqueous dispersion medium is particularly excellent, and the discharge stability of the conductive
分散剤としては、特に限定されないが、COOH基とOH基とを合わせて3個以上有し、かつ、COOH基の数がOH基と同じか、それよりも多いヒドロキシ酸またはその塩を含むことが好ましい。これらの分散剤は、銀粒子の表面に吸着してコロイド粒子を形成し、分散剤中に存在するCOOH基の電気的反発力によって銀コロイド粒子を水溶液中に均一に分散させてコロイド液を安定化する働きを有する。このように、銀コロイド粒子が安定して導体パターン形成用インク300中に存在することにより、より容易に微細な導体パターン20を形成することができる。また、導体パターン形成用インク300によって形成されたパターン(前駆体10)において銀粒子が均一に分布し、クラック、断線等が発生しにくいものとなる。これに対して、分散剤中のCOOH基とOH基の数が3個未満であったり、COOH基の数がOH基の数よりも少ないと、銀コロイド粒子の分散性が十分に得られない場合がある。
このような分散剤としては、例えば、クエン酸、りんご酸、クエン酸三ナトリウム、クエン酸三カリウム、クエン酸三リチウム、クエン酸三アンモニウム、りんご酸二ナトリウム、タンニン酸、ガロタンニン酸、五倍子タンニン等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
Although it does not specifically limit as a dispersing agent, it has 3 or more of COOH groups and OH groups, and the number of COOH groups is the same as that of OH groups, or contains hydroxy acid or its salt more than it. Is preferred. These dispersants adsorb on the surface of silver particles to form colloidal particles, and the colloidal liquid is stabilized by uniformly dispersing silver colloidal particles in an aqueous solution by the electric repulsive force of COOH groups present in the dispersant. Has the function of As described above, since the silver colloid particles are stably present in the conductor
Examples of such a dispersing agent include citric acid, malic acid, trisodium citrate, tripotassium citrate, trilithium citrate, triammonium citrate, disodium malate, tannic acid, gallotannic acid, and pentaploid tannin. Of these, one or a combination of two or more can be used.
また、分散剤は、COOH基とSH基とを合わせて2個以上有するメルカプト酸またはその塩を含んでいてもよい。これらの分散剤は、メルカプト基が銀微粒子の表面に吸着してコロイド粒子を形成し、分散剤中に存在するCOOH基の電気的反発力によってコロイド粒子を水溶液中に均一に分散させてコロイド液を安定化する働きを有する。このように、銀コロイド粒子が安定して導体パターン形成用インク300中に存在することにより、より容易に微細な導体パターン20を形成することができる。また、導体パターン形成用インク300によって形成されたパターン(前駆体10)において銀粒子が均一に分布し、クラック、断線等が発生しにくいものとなる。これに対して、分散剤中のCOOH基とSH基の数が2個未満すなわち片方のみであると、銀コロイド粒子の分散性が十分に得られない場合がある。
Further, the dispersant may contain mercapto acid or a salt thereof having two or more COOH groups and SH groups. In these dispersants, mercapto groups are adsorbed on the surface of silver fine particles to form colloidal particles, and colloidal particles are uniformly dispersed in an aqueous solution by the electric repulsive force of COOH groups present in the dispersant. Has the function of stabilizing As described above, since the silver colloid particles are stably present in the conductor
このような分散剤としては、例えば、メルカプト酢酸、メルカプトプロピオン酸、チオジプロピオン酸、メルカプトコハク酸、チオ酢酸、メルカプト酢酸ナトリウム、メルカプトプロピオン酸ナトリウム、チオジプロピオン酸ナトリウム、メルカプトコハク酸二ナトリウム、メルカプト酢酸カリウム、メルカプトプロピオン酸カリウム、チオジプロピオン酸カリウム、メルカプトコハク酸二カリウム等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。 Examples of such dispersants include mercaptoacetic acid, mercaptopropionic acid, thiodipropionic acid, mercaptosuccinic acid, thioacetic acid, sodium mercaptoacetate, sodium mercaptopropionate, sodium thiodipropionate, disodium mercaptosuccinate, Examples include potassium mercaptoacetate, potassium mercaptopropionate, potassium thiodipropionate, dipotassium mercaptosuccinate, and the like, and one or more of these can be used in combination.
導体パターン形成用インク300中における銀コロイド粒子の含有量は、1wt%以上60wt%以下であるのが好ましく、5wt%以上50wt%以下であるのがより好ましい。銀コロイド粒子の含有量が前記下限値未満であると、銀の含有量が少なく、導体パターン20を形成した際、比較的厚い膜を形成する場合に、複数回重ね塗りする必要が生じる。一方、銀コロイド粒子の含有量が前記上限値を超えると、銀の含有量が多くなり、分散性が低下し、これを防ぐためには攪拌の頻度が高くなる。
The content of the silver colloid particles in the conductor
また、銀コロイド粒子の熱重量分析における500℃までの加熱減量は、1wt%以上25wt%以下が好ましい。コロイド粒子(固形分)を500℃まで加熱すると、表面に付着した分散剤、後述する還元剤(残留還元剤)等が酸化分解され、大部分のものはガス化されて消失する。残留還元剤の量は、僅かであると考えられるので、500℃までの加熱による減量は、銀コロイド粒子中の分散剤の量にほぼ相当すると考えられる。加熱減量が1wt%未満であると、銀粒子に対する分散剤の量が少なく、銀粒子の充分な分散性が低下する。一方、25wt%を超えると、銀粒子に対する残留分散剤の量が多なり、導体パターンの比抵抗が高くなる。但し、比抵抗は、導体パターン20の形成後に加熱焼結して有機分を分解消失させることである程度改善することができる。そのため、より高温で焼結されるセラミックス基板等に有効である。
Further, the heat loss to 500 ° C. in the thermogravimetric analysis of the silver colloid particles is preferably 1 wt% or more and 25 wt% or less. When the colloidal particles (solid content) are heated to 500 ° C., the dispersant adhering to the surface, the reducing agent (residual reducing agent) described later, etc. are oxidatively decomposed, and most of them are gasified and disappear. Since the amount of the residual reducing agent is considered to be small, the weight loss due to heating up to 500 ° C. is considered to substantially correspond to the amount of the dispersant in the silver colloid particles. When the loss on heating is less than 1 wt%, the amount of the dispersant with respect to the silver particles is small, and the sufficient dispersibility of the silver particles is lowered. On the other hand, when it exceeds 25 wt%, the amount of the residual dispersant with respect to the silver particles increases, and the specific resistance of the conductor pattern increases. However, the specific resistance can be improved to some extent by heating and sintering after formation of the
〔有機バインダー〕
また、導体パターン形成用インク300は、有機バインダーを含んでいてもよい。有機バインダーは、導体パターン形成用インク300を用いて形成された導体パターン前駆体10において、銀粒子の凝集を防止するものである。すなわち、形成された導体パターン前駆体10において、有機バインダーは、銀粒子同士の間に存在することで銀粒子同士が凝集して、パターンの一部に亀裂(クラック)が生じることを防止できる。また、焼結時においては、有機バインダーは、分解されて除去されることができ、導体パターン前駆体10中の銀粒子同士は、結合して導体パターン20を形成する。
[Organic binder]
Further, the conductor
また、導体パターン形成用インク300が有機バインダーを含むものであることにより、セラミックス成形体15(多価アルコール縮合物を含むセラミックス成形体15)に対する導体パターン前駆体10の密着性を特に優れたものとすることができ、導体パターン前駆体10を構成する金属粒子の不本意な部位への流れ出しがより確実に防止される。その結果、クラック、断線、短絡等の発生をより効果的に防止し、導体パターン20をより高い精度で形成することができる。すなわち、最終的に得られる導体パターン20の信頼性を特に高いものとすることができる。
In addition, since the conductive
有機バインダーとしては、特には限定されないが、例えば、ポリエチレングリコール#200(重量平均分子量200)、ポリエチレングリコール#300(重量平均分子量300)、ポリエチレングリコール#400(平均分子量400)、ポリエチレングリコール#600(重量平均分子量600)、ポリエチレングリコール#1000(重量平均分子量1000)、ポリエチレングリコール#1500(重量平均分子量1500)、ポリエチレングリコール#1540(重量平均分子量1540)、ポリエチレングリコール#2000(重量平均分子量2000)等のポリエチレングリコール、ポリビニルアルコール#200(重量平均分子量:200)、ポリビニルアルコール#300(重量平均分子量:300)、ポリビニルアルコール#400(平均分子量:400)、ポリビニルアルコール#600(重量平均分子量:600)、ポリビニルアルコール#1000(重量平均分子量:1000)、ポリビニルアルコール#1500(重量平均分子量:1500)、ポリビニルアルコール#1540(重量平均分子量:1540)、ポリビニルアルコール#2000(重量平均分子量:2000)等のポリビニルアルコール、ポリグリセリン、ポリグリセリンエステル等のポリグリセリン骨格を有するポリグリセリン化合物が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。また、ポリグリセリンエステルとしては、例えば、ポリグリセリンのモノステアレート、トリステアレート、テトラステアレート、モノオレエート、ペンタオレエート、モノラウレート、モノカプリレート、ポリシノレート、セスキステアレート、デカオレエート、セスキオレエート等が挙げられる。 Although it does not specifically limit as an organic binder, For example, polyethyleneglycol # 200 (weight average molecular weight 200), polyethyleneglycol # 300 (weight average molecular weight 300), polyethyleneglycol # 400 (average molecular weight 400), polyethyleneglycol # 600 ( Weight average molecular weight 600), polyethylene glycol # 1000 (weight average molecular weight 1000), polyethylene glycol # 1500 (weight average molecular weight 1500), polyethylene glycol # 1540 (weight average molecular weight 1540), polyethylene glycol # 2000 (weight average molecular weight 2000), etc. Polyethylene glycol, polyvinyl alcohol # 200 (weight average molecular weight: 200), polyvinyl alcohol # 300 (weight average molecular weight: 300), polyvinyl alcohol # 400 (average molecular weight: 400), polyvinyl alcohol # 600 (weight average molecular weight: 600), polyvinyl alcohol # 1000 (weight average molecular weight: 1000), polyvinyl alcohol # 1500 (weight average molecular weight: 1500), polyvinyl alcohol # Polyglycerin compounds having a polyglycerin skeleton such as polyvinyl alcohol such as 1540 (weight average molecular weight: 1540), polyvinyl alcohol # 2000 (weight average molecular weight: 2000), polyglycerin, polyglycerin ester, etc. Alternatively, two or more kinds can be used in combination. Examples of polyglycerol esters include polyglycerol monostearate, tristearate, tetrastearate, monooleate, pentaoleate, monolaurate, monocaprylate, polycinnolate, sesquistearate, decaoleate, and sesquioleate. Etc.
この中でも、有機バインダーとして、ポリグリセリン化合物を用いた場合、以下のような効果が得られる。
ポリグリセリン化合物は、導体パターン形成用インク300を用いて形成された導体パターン前駆体10を乾燥(脱分散媒)した際に、導体パターン前駆体10にクラックが発生するのを特に好適に防止することができる。これは、以下のように考えられる。導体パターン形成用インク300中にポリグリセリン化合物が含まれることにより、銀粒子(金属粒子)の間に高分子鎖が存在することとなり、ポリグリセリン化合物が銀粒子同士の距離を適度なものとすることができる。さらに、ポリグリセリン化合物は比較的沸点が高いため、水系分散媒の除去時においては除去されず、銀粒子の周囲に付着する。以上により、水系分散媒除去時において、ポリグリセリン化合物が銀粒子を包み込んだ状態が長く続き、水系分散媒の揮発による急激な体積収縮が避けられるとともに銀の粒成長(凝集)が妨げられる結果、導体パターン前駆体10中のクラックの発生が抑制されると考えられる。
Among these, when a polyglycerin compound is used as the organic binder, the following effects can be obtained.
The polyglycerin compound particularly suitably prevents the
また、ポリグリセリン化合物は、導体パターン20を形成する際の焼結時において、断線が発生するのをより確実に防止することができる。これは、以下のように考えられる。ポリグリセリン化合物は、比較的沸点あるいは分解温度が高い。このため、導体パターン前駆体10から導体パターン20を形成する過程において、水系分散媒が蒸発した後、比較的高い温度まで、ポリグリセリン化合物を、蒸発或いは熱(酸化)分解せずに、導体パターン前駆体10中に存在させることができる。したがって、ポリグリセリン化合物が蒸発或いは熱(酸化)分解するまでは、銀粒子の周囲にポリグリセリン化合物が存在し、銀粒子同士の接近と凝集とを抑制することができ、ポリグリセリン化合物が分解した後には、より均一に銀粒子同士を接合させることができる。さらに、焼結時においてパターン中の銀粒子(金属粒子)の間に高分子鎖(ポリグリセリン化合物)が存在することとなり、ポリグリセリン化合物が銀粒子同士の距離を保つことができる。また、このポリグリセリン化合物は、適度な流動性を有している。このため、ポリグリセリン化合物を含むことにより、導体パターン前駆体10は、セラミックス成形体15の温度変化による膨張・収縮への追従性が優れたものとなる。
以上より、形成された導体パターン20に断線が生じることをより確実に防止することができると考えられる。
In addition, the polyglycerin compound can more reliably prevent the occurrence of disconnection during sintering when the
From the above, it is considered that disconnection of the formed
また、このようなポリグリセリン化合物を含むことにより、導体パターン形成用インク300の粘度をより適度なものとすることができ、インクジェットヘッド110からの吐出安定性をより効果的に向上させることができる。また、成膜性も向上させることができる。
ポリグリセリン化合物としては、上述した中でも、ポリグリセリンを用いるのが好ましい。ポリグリセリンは、セラミックス成形体15の温度変化による膨張・収縮への追従性が特に優れるとともに、セラミックス成形体15の焼結後には、導体パターン20中からより確実に除去することができる成分である。その結果、導体パターン20の電気的特性をより高いものとすることができる。さらに、ポリグリセリンは、水系分散媒への溶解度も高いので、好適に用いることができる。
Further, by including such a polyglycerin compound, the viscosity of the conductive
Among the above-mentioned polyglycerin compounds, polyglycerin is preferably used. Polyglycerin is particularly excellent in the ability to follow expansion and contraction due to temperature changes of the ceramic molded
有機バインダーは、その重量平均分子量が300以上3000以下であるのが好ましく、400以上1000以下であるのがより好ましく、400以上600以下であるのがさらに好ましい。これにより、導体パターン形成用インク300を用いて形成されたパターンを乾燥した際に、クラックの発生をより確実に防止することができる。これに対し、有機バインダーの重量平均分子量が前記下限値未満であると、有機バインダーの組成によっては、水系分散媒を除去する際に有機バインダーが分解しやすい傾向があり、クラックの発生を防止する効果が小さくなる。また、有機バインダーの重量平均分子量が前記上限値を超えると、有機バインダーの組成によっては、排除体積効果等により導体パターン形成用インク300中への溶解性、分散性が低下する場合がある。
The organic binder preferably has a weight average molecular weight of 300 or more and 3000 or less, more preferably 400 or more and 1000 or less, and still more preferably 400 or more and 600 or less. Thereby, when the pattern formed using the conductor
また、導体パターン形成用インク300中に有機バインダーの含有量は、1wt%以上30wt%以下であるのが好ましく、5wt%以上20wt%以下であるのがより好ましい。これにより、導体パターン形成用インク300の吐出安定性を特に優れたものとしつつ、クラック、断線の発生をより効果的に防止することができる。これに対して、有機バインダーの含有量が前記下限値未満であると、有機バインダーの組成によっては、クラックの発生を防止する効果が小さくなる場合がある。また、有機バインダーの含有量が前記上限値を超えると、有機バインダーの組成によっては、導体パターン形成用インク300の粘度を十分に低いものとすることが困難な場合がある。
In addition, the content of the organic binder in the conductor
〔乾燥抑制剤〕
また、導体パターン形成用インク300は、乾燥抑制剤を含んでいてもよい。乾燥抑制剤は、導体パターン形成用インク300中の水系分散媒の不本意な揮発を防止するものである。その結果、インクジェット装置の吐出部付近において水系分散媒が揮発することを防止でき、導体パターン形成用インク300の粘度の上昇、乾燥が抑えられる。導体パターン形成用インク300は、このような乾燥抑制剤を含む結果、導体パターン形成用インク300の液滴の吐出安定性が特に優れたものとなる。すなわち、導体パターン形成用インク300の液滴の重量のばらつきが小さいものとなり、目詰まり、飛行曲がり等が少ないものとなる。また、特に、インクジェット装置に導体パターン形成用インク300を充填した後に、長期間(例えば、5日間)運転を行わずにインクジェット装置を待機状態とした場合であっても、導体パターン形成用インク300を、均一な量で、目的とする位置に精度よく吐出することができる。
このような乾燥抑制剤としては、下記式(I)で示される化合物、アルカノールアミン、糖アルコール、多糖類等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
(Drying inhibitor)
Further, the conductor
Examples of such a drying inhibitor include compounds represented by the following formula (I), alkanolamines, sugar alcohols, polysaccharides, and the like, and one or more of them can be used in combination.
上記式(I)で表される化合物は、水素結合性の高い成分である。このため、水との親和性が高く、適度な水分を保持することができ、導体パターン形成用インク300の水系分散媒の不本意な揮発を防止することができる。
また、上記化合物は、比較的燃焼しやすく、導体パターン20を形成する際には導体パターン形成用インク300内からより容易に除去(酸化分解)することができる。
The compound represented by the above formula (I) is a component having a high hydrogen bonding property. For this reason, the affinity with water is high, moderate moisture can be retained, and unintentional volatilization of the aqueous dispersion medium of the conductive
Further, the compound is relatively easily combusted and can be more easily removed (oxidative decomposition) from the conductor
また、上述したような化合物は、金属粒子(銀粒子)が前述したように表面に分散剤が付着したコロイド粒子である場合、表面の分散剤と水素結合により結合し、金属粒子の分散安定性を向上させる効果を有している。これにより、導体パターン形成用インク300の吐出安定性に優れるとともに、保存安定性にも優れたものとなる。
上述したように、本発明で用いる上記式(I)で表される化合物中における、R、R’は、それぞれ、水素またはアルキル基であるが、R、R’は、ともに水素であるのが好ましい。すなわち、尿素であるのが好ましい。これにより、上述したような保湿性を特に高いものとすることができ、特に優れた吐出安定性を得ることができる。また、金属粒子が上述したようなコロイド粒子として存在する場合に、特に優れた分散安定性を示すものとなる。
In addition, when the metal particles (silver particles) are colloidal particles having a dispersant attached to the surface as described above, the compound as described above is bonded to the surface dispersant by hydrogen bonding, and the dispersion stability of the metal particles. Has the effect of improving. Accordingly, the ejection stability of the conductor
As described above, R and R ′ in the compound represented by the above formula (I) used in the present invention are each hydrogen or an alkyl group, but R and R ′ are both hydrogen. preferable. That is, urea is preferable. As a result, the moisture retention as described above can be made particularly high, and particularly excellent ejection stability can be obtained. Further, when the metal particles are present as colloidal particles as described above, particularly excellent dispersion stability is exhibited.
このような上記式(I)で表される化合物の導体パターン形成用インク300中における含有量は、5wt%以上25wt%以下であるのが好ましく、8wt%以上20wt%以下であるのがより好ましく、10wt%以上18wt%以下であるのがさらに好ましい。これにより、導体パターン形成用インク300の不本意な乾燥をより効率よく防止することができる。その結果、導体パターン形成用インク300の吐出安定性を特に優れたものとすることができる。
The content of the compound represented by the above formula (I) in the conductive
アルカノールアミンは、保湿性の高い成分であるとともに、金属粒子が前述したようなコロイド粒子である場合に、コロイド粒子表面の分散剤の官能基を活性化させることができ、金属粒子の分散安定性をより高いものとすることができる。
アルカノールアミンとしては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モノプロパノールアミン、ジプロパノールアミン、トリプロパノールアミン等各種のものを挙げることができる。
Alkanolamine is a highly moisturizing component, and when the metal particles are colloidal particles as described above, the functional group of the dispersant on the surface of the colloidal particles can be activated, and the dispersion stability of the metal particles Can be higher.
Examples of the alkanolamine include monoethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, monopropanolamine, dipropanolamine, and tripropanolamine.
また、アルカノールアミンは、第3級アミンであるのが好ましい。第3級アミンは、アルカノールアミンの中でも、特に保湿性が高く、上記効果をより顕著なものとすることができる。
また、第3級アミンの中でも、取り扱いやすさや、保湿性の高さ等の観点から、特に、トリエタノールアミンを用いるのが好ましい。
The alkanolamine is preferably a tertiary amine. Tertiary amines have particularly high moisture retention among alkanolamines, and can make the above effects more remarkable.
Among tertiary amines, it is particularly preferable to use triethanolamine from the viewpoints of ease of handling, high moisture retention, and the like.
導体パターン形成用インク300中におけるアルカノールアミンの含有量は、1wt%以上10wt%以下であるのが好ましく、3wt%以上7wt%以下であるのがより好ましい。これにより、導体パターン形成用インク300の吐出安定性をより効果的に優れたものとすることができる。
糖アルコールは、糖類のアルデヒド基およびケトン基を還元して得られるものである。
The content of alkanolamine in the conductive
Sugar alcohol is obtained by reducing aldehyde groups and ketone groups of sugars.
また、糖アルコールは、高い保湿性を有する化合物である。また、糖アルコールは、分子量あたりの酸素数が多いため、雰囲気が糖アルコールの分解温度に達すると、容易に分解して除去される。このため、導体パターン20を形成する際には、導体パターン前駆体10の温度を糖アルコールの分解温度よりも高くすることで、形成される導体パターン20内から糖アルコールを確実に除去(酸化分解)することができる。
Sugar alcohol is a compound having high moisture retention. In addition, since sugar alcohol has a large number of oxygen per molecular weight, it is easily decomposed and removed when the atmosphere reaches the decomposition temperature of sugar alcohol. For this reason, when the
糖アルコールとしては、例えば、トレイトール、エリスリトール、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリペンタエリスリトール、アラビトール、リビトール、キシリトール、ソルビトール、マンニトール、スレイトール、グリトール、タリトール、ガラクチトール、アリトール、アルトリトール、ドルシトール、イディトール、グリセリン(グリセロール)、イノシトール、マルチトール、イソマルチトール、ラクチトール、ツラニトール等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。 Examples of sugar alcohols include threitol, erythritol, pentaerythritol, dipentaerythritol, tripentaerythritol, arabitol, ribitol, xylitol, sorbitol, mannitol, threitol, glycol, tallitol, galactitol, allitol, altritol, dolitol, iditol. Glycerin (glycerol), inositol, maltitol, isomaltitol, lactitol, tranitol and the like, and one or more of these can be used in combination.
上述したような糖アルコールの、導体パターン形成用インク300中における含有量は、3wt%以上20wt%以下であるのが好ましく、5wt%以上15wt%以下であるのがより好ましい。これにより、導体パターン形成用インク300の水系分散媒の揮発をより確実に抑制することができ、導体パターン形成用インク300は、より長期にわたって液滴の吐出安定性が特に優れたものとなる。
The content of the sugar alcohol as described above in the conductor
多糖類は、保湿性の高い成分であるとともに、特に、上述したようなポリグリセリン化合物とともに含むことにより、導体パターン形成用インクを用いて形成される導電パターンにおいて、不本意なクラック、断線等が発生するのをより確実に防止することができ、形成される導体パターンの信頼性を特に高いものとすることができる。
導体パターン形成用インクは、常温(25℃)で固体の多糖類を含むのが好ましい。これにより、形成される導体パターンの信頼性を特に優れたものとすることができる。
多糖類の重量平均分子量は、1,000以上5,000以下であるが、1,200以上4,500以下であるのが好ましく、1,500以上4,000以下であるのがより好ましい。これにより、上述したような効果がより顕著に発揮される。
Polysaccharide is a highly moisturizing component, and in particular, when included with the polyglycerin compound as described above, in the conductive pattern formed using the conductive pattern forming ink, unintentional cracks, disconnections, etc. Generation | occurrence | production can be prevented more reliably and the reliability of the conductor pattern formed can be made especially high.
The conductive pattern forming ink preferably contains a polysaccharide that is solid at room temperature (25 ° C.). Thereby, the reliability of the conductor pattern formed can be made especially excellent.
The weight average molecular weight of the polysaccharide is from 1,000 to 5,000, preferably from 1,200 to 4,500, and more preferably from 1,500 to 4,000. Thereby, the effects as described above are more remarkably exhibited.
多糖類としては、例えば、セルロース、グアーガム、デンプン(アミロース、アミロペクチン)、プルラン、デキストリン、フルクタン、グルコマンナン、アガロース、アガロペクチン、カラギーナン、キチン、キトサン、ペクチン、アルギン酸、ヒアルロン酸、マルトデキストリン、またはこれらの誘導体(例えば、カルボニル基が還元された多糖類等)等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。導体パターン形成用インクは、上記の中でも、常温(25℃)で固体のマルトデキストリンを含むのが好ましい。これにより、液滴の吐出安定性、形成される導体パターンの信頼性を特に優れたものとすることができる。 Examples of the polysaccharide include cellulose, guar gum, starch (amylose, amylopectin), pullulan, dextrin, fructan, glucomannan, agarose, agaropectin, carrageenan, chitin, chitosan, pectin, alginic acid, hyaluronic acid, maltodextrin, or these Derivatives (for example, polysaccharides in which a carbonyl group is reduced) and the like can be mentioned, and one or more of these can be used in combination. Among the above, the conductive pattern forming ink preferably contains a solid maltodextrin at room temperature (25 ° C.). Thereby, the discharge stability of the droplet and the reliability of the formed conductor pattern can be made particularly excellent.
また、導体パターン形成用インクは、多糖類として、カルボニル基が還元された多糖類を含むのが好ましい。これにより、液滴の吐出安定性、形成される導体パターンの信頼性を特に優れたものとすることができる。
上述したような多糖類の、導体パターン形成用インク300中における含有量は、1wt%以上28wt%以下であるのが好ましく、2.2wt%以上10.5wt%以下であるのがより好ましい。これにより、導体パターン形成用インク300の水系分散媒の揮発をより確実に抑制することができ、導体パターン形成用インク300は、より長期にわたって液滴の吐出安定性が特に優れたものとなる。
In addition, the conductor pattern forming ink preferably contains a polysaccharide having a carbonyl group reduced as the polysaccharide. Thereby, the discharge stability of the droplet and the reliability of the formed conductor pattern can be made particularly excellent.
The content of the polysaccharide as described above in the conductor
〔表面張力調整剤〕
また、導体パターン形成用インク300は、表面張力調整剤を含んでいてもよい。
表面張力調整剤は、導体パターン形成用インク300とセラミックス成形体15との接触角を所定の角度に調整する機能を有している。
表面張力調整剤としては、各種界面活性剤を用いることができ、1種または2種以上を組み合わせて用いることができるが、アセチレングリコール系化合物を含むことが好ましい。
[Surface tension modifier]
In addition, the conductor
The surface tension adjusting agent has a function of adjusting the contact angle between the conductor
As the surface tension adjusting agent, various surfactants can be used, and one or a combination of two or more types can be used, but it is preferable to include an acetylene glycol compound.
アセチレングリコール系化合物は、少ない添加量で、導体パターン形成用インク300とセラミックス成形体15との接触角を所定の範囲に調整することができる。このように、導体パターン形成用インク300とセラミックス成形体15との接触角を所定の範囲に調整することにより、より微細な導体パターン20を形成することができる。また、吐出した液滴内に気泡が混入した場合であっても、速やかに気泡を除去することができる。その結果、形成される導体パターン20でのクラック、断線の発生をより効果的に防止することができる。
The contact angle between the conductive
アセチレングリコール系化合物としては、例えば、サーフィノール104シリーズ(104E、104H、104PG−50、104PA等)、サーフィノール400シリーズ(420、465、485等)、オルフィンシリーズ(EXP4036、EXP4001、E1010等)(「サーフィノール」および「オルフィン」は、日信化学工業株式会社の商品名)等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。 Examples of acetylene glycol compounds include Surfynol 104 series (104E, 104H, 104PG-50, 104PA, etc.), Surfynol 400 series (420, 465, 485, etc.), Olphine series (EXP4036, EXP4001, E1010, etc.). ("Surfinol" and "Orphine" are trade names of Nissin Chemical Industry Co., Ltd.) and the like, and one or more of these can be used in combination.
また、導体パターン形成用インク300中には、HLB値が異なる2種以上のアセチレングリコール系化合物を含んでいるのが好ましい。導体パターン形成用インク300とセラミックス成形体15との接触角を所定の範囲により容易に調整することができる。
特に、導体パターン形成用インク300中に含まれる2種以上のアセチレングリコール系化合物のうち、最もHLB値が高いアセチレングリコール系化合物のHLB値と、最もHLB値が低いアセチレングリコール系化合物のHLB値との差が、4以上12以下であるのが好ましく、5以上10以下であるのがより好ましい。これにより、より少ないアセチレングリコール系化合物の添加量で、導体パターン形成用インク300とセラミックス成形体15との接触角を所定の範囲により容易に調整することができる。
The conductive
In particular, among the two or more acetylene glycol compounds contained in the conductor
導体パターン形成用インク300中に2種以上のアセチレングリコール系化合物を含むものを用いる場合、最もHLB値の高いアセチレングリコール系化合物のHLB値は、8以上16以下であるのが好ましく、9以上14以下であるのがより好ましい。
また、導体パターン形成用インク300中に2種以上のアセチレングリコール系化合物を含むものを用いる場合、最もHLB値の低いアセチレングリコール系化合物のHLB値は、2以上7以下であるのが好ましく、3以上5以下であるのがより好ましい。
導体パターン形成用インク300中に含まれる表面張力調整剤の含有量は、0.001wt%以上1wt%以下であるのが好ましく、0.01wt%以上0.5wt%以下であるのがより好ましい。これにより、導体パターン形成用インク300とセラミックス成形体15との接触角をより効果的に所定の範囲に調整することができる。
In the case where the conductive
Moreover, when using what contains 2 or more types of acetylene glycol type compounds in the
The content of the surface tension adjusting agent contained in the conductor
〔その他の成分〕
なお、導体パターン形成用インク300の構成成分は、上記成分に限定されず、上記以外の成分を含んでいてもよい。
このような成分としては、例えば、チオ尿素等が挙げられる。
また、導体パターン形成用インク300の粘度は、特に限定されないが、2.0mPa・s以上12.0mPa・s以下であることが好ましく、5.0mPa・s以上10.0mPa・s以下であることがより好ましい。これにより、液滴の吐出安定性を優れたものとすることができるとともに、セラミックス成形体15に着弾した導体パターン形成用インク300の不本意な濡れ広がりをより確実に防止することができ、微細な線幅の導体パターン前駆体10を形成することができる。
[Other ingredients]
The constituent components of the conductor
Examples of such components include thiourea.
The viscosity of the conductive
導体パターン形成用インク300の吐出は、多価アルコール縮合物付与工程で説明したような液滴吐出装置100を用いて同様の条件で行うことができる。
このような場合、液滴吐出装置100は、テーブル140の裏面に、図示しないラバーヒーターが配設されたものであり、本工程において、テーブル140上に載置されたセラミックスグリーンシート15は、その上面全体がラバーヒーターにて所定の温度に加熱されるのが好ましい。これにより、セラミックス成形体15に着弾した導体パターン形成用インク300は、上述したように、その構成成分である水系分散媒の少なくとも一部がセラミックス成形体15に吸収されるとともに、その表面側から水系分散媒の少なくとも一部が蒸発する。このとき、セラミックスグリーンシート15は加熱されているので、水系分散媒の蒸発が促進され、金属粒子が濃縮された層(導体パターン前駆体10)中の水系分散媒の含有率は効果的に低減される。
The conductive
In such a case, the
セラミックスグリーンシート15の加熱温度としては、例えば、40℃以上100℃以下で行うのが好ましく、50℃以上70℃以下で行うのがより好ましい。このような条件とすることにより、水系分散媒が蒸発した際に、クラックが発生するのをより効果的に防止することができる。
本工程を、前述したようなインクジェット装置100を用いて行うことにより、導体パターン形成用インク300を、セラミックスグリーンシート15(基材S)上の所望する場所に所望の量、精度良く吐出することができる。さらに、上述したようなセラミックスグリーンシート15、および、導体パターン形成用インク300を用いているため、セラミックスグリーンシート15上に吐出された導体パターン形成用インク300に含まれる金属粒子についての、着弾位置から不本意な移動を効果的に防止することができ、所望の形状の導体パターン前駆体10を確実に形成することができる。
なお、形成した導体パターン前駆体10について、さらに乾燥処理を行ってもよい。乾燥処理は、上記の液滴吐出時におけるセラミックスグリーンシート15の加熱温度と同様の条件で行うことができる。
The heating temperature of the ceramic
By performing this step using the
In addition, you may perform a drying process about the formed
導体パターン前駆体10の厚さの調整は、導体パターン形成用インク300の吐出条件を設定することにより行うことができる。すなわち、導体パターン前駆体10の厚さが大きい部位を形成する場合には、当該部位の面積当たりの導体パターン形成用インク300の吐出量(または液滴数)を大きいものとし、一方で、導体パターン前駆体10の厚さが小さい部位を形成する場合には、当該部位の面積当たりの導体パターン形成用インク300の吐出量(または液滴数)を小さいものとすることで行うことができる。
The thickness of the
なお、上述したように、セラミックスグリーンシート(セラミックス成形体)15は、多価アルコール縮合物を含むものであるため、セラミックスグリーンシート15に着弾した導体パターン形成用インク300からは、その構成成分である水系分散媒(分散媒)が速やかにセラミックスグリーンシート15に吸収される。このため、形成すべき導体パターン前駆体10の厚さが比較的大きく、同一の領域に吐出する導体パターン形成用インク300の量が比較的多い場合であっても、導体パターン形成用インク300の過剰な濡れ広がり等を防止することができ、線幅がより小さい導体パターン前駆体10をより好適に形成することができる。
As described above, since the ceramic green sheet (ceramic molded body) 15 includes a polyhydric alcohol condensate, the conductive
また、分散媒を蒸発させた後の導体パターン形成用インク300に乾燥抑制剤が含まれる場合、形成された前駆体10が完全に乾燥しない状態でもパターンが流失してしまうおそれがない。従って、一旦、導体パターン形成用インク300を付与して乾燥してから長時間放置し、その後、再度導体パターン形成用インク300を付与することが可能になる。
Further, in the case where the drying inhibitor is included in the conductor
また、上述したような有機バインダーを導体パターン形成用インク300が含む場合、有機バインダー(特に、ポリグリセリン化合物)は、化学的、物理的に安定な化合物であるので、導体パターン形成用インク300を付与して乾燥してから長時間放置しても導体パターン形成用インク300が変質するおそれがなく、再度導体パターン形成用インク300を付与することが可能になり、より均質なパターンを形成できる。これにより、前駆体10自体が多層構造になるおそれがなく、この結果、層間同士の間の比抵抗が上昇して導体パターン20全体の比抵抗が増大するおそれがない。
上記の工程を経ることによって、本実施形態の導体パターン20は、従来のインクによって形成された導体パターンに比べて厚く形成することができる。より具体的には5.5μm以上の厚みのものを形成することができる。
Further, when the conductive
Through the above steps, the
(積層工程)
次いで、これらセラミックスグリーンシート15からPETフィルムを剥がし、これらを積層することにより、積層体17を得る。
この際に、積層するセラミックスグリーンシート15については、上下に重ねられるセラミックスグリーンシート15間で、それぞれの前駆体10が必要に応じて導体ポスト16を介して接続するように配置する。
その後、積層したセラミックスグリーンシート15をポリエチレンパックで包装、封入した後、静水圧プレス機にてセラミックスグリーンシート15を構成するバインダーのガラス転移点以上に加熱しつつ、各セラミックスグリーンシート15同士を圧着する。これにより、積層体17を得る。
(Lamination process)
Next, the PET film is peeled off from these ceramic
At this time, the ceramic
Thereafter, the laminated ceramic
(焼成工程)
このようにして積層体17を形成したら、ポリエチレンパックから開封した後、例えば、ベルト炉などによって加熱処理(焼成処理)する。これにより、各セラミックスグリーンシート15は焼結されることで、セラミックス基板31となり、また、前駆体10は、これを構成する銀粒子(金属粒子)が焼結して配線パターンや電極パターンからなる回路(導体パターン)20となる。そして、このように積層体17が加熱処理されることで、この積層体17は積層基板32となる。
(Baking process)
When the
特に、本工程に供されるセラミックスグリーンシート15は、多価アルコール縮合物を含み、かつ、水系分散媒(分散媒)を吸収したものであるため、本工程での加熱処理において、多価アルコール縮合物および吸収していた水系分散媒(分散媒)は周囲に徐放されることとなる。これにより、セラミックスグリーンシート15上に設けられた導体パターン前駆体10が急激に乾燥してしまうことが防止され、本工程において形成される導体パターン20にクラック等が生じることが確実に防止される。このような効果は、導体パターン形成用インク300が乾燥抑制剤を含む場合に、より顕著に発揮される。
In particular, since the ceramic
ここで、積層体17の加熱温度(焼成温度)としては、セラミックスグリーンシート15中に含まれるガラスの軟化点以上とするのが好ましく、具体的には、600℃以上900℃以下とするのが好ましい。また、加熱条件としては、適宜な速度で温度を上昇させ、かつ下降させるようにし、さらに、最大加熱温度、すなわち前記の600℃以上900℃以下の温度では、その温度に応じて適宜な時間保持するようにする。
Here, the heating temperature (firing temperature) of the
このようにガラスの軟化点以上の温度、すなわち前記温度範囲にまで加熱温度を上げることにより、得られるセラミックス基板31のガラス成分を軟化させることができる。したがって、その後常温にまで冷却し、ガラス成分を硬化させることにより、積層基板32を構成する各セラミックス基板31と回路(導体パターン)20との間がより強固に固着するようになる。
Thus, the glass component of the
特に、900℃以下の温度で加熱することにより、得られるセラミックス基板31は、低温焼成セラミックス(LTCC)となる。
ここで、セラミックスグリーンシート15上に設けられた導体パターン前駆体10を構成する金属粒子は、加熱処理によって互いに融着し、連続することによって導電性を示すようになる。
In particular, the
Here, the metal particles constituting the
このような加熱処理によって回路20は、セラミックス基板31中のコンタクト33に直接接続させられ、導通させられて形成されたものとなる。ここで、この回路20が単にセラミックス基板31上に載っているだけでは、セラミックス基板31に対する機械的な接続強度が確保されず、したがって衝撃等によって破損してしまうおそれがある。しかしながら、本実施形態では、前述したようにセラミックスグリーンシート15中のガラスを一旦軟化させ、その後硬化させることにより、回路20をセラミックス基板31に対し強固に固着させている。したがって、形成された回路20は、機械的にも高い強度を有するものとなる。
By such heat treatment, the
このようなセラミックス回路基板30の製造方法にあっては、特に積層基板32を構成する各セラミックス基板31の製造に際して、上述したようなセラミックスグリーンシート15に対して前記の導体パターン形成用インク300を付与しているので、所望の形状の導体パターン20を高精度で確実に形成することができる。
よって、本発明によれば、電子機器の構成要素となる電子部品について、その小型化の要求に応えることができるのはもちろん、多品種少量生産についてのニーズにも十分に対応可能となる。
In such a method of manufacturing the ceramic circuit board 30, the conductive
Therefore, according to the present invention, it is possible not only to meet the demand for miniaturization of electronic components that are components of electronic equipment, but also to fully meet the needs for high-mix low-volume production.
また、セラミックスグリーンシート15を加熱処理する際の加熱温度を、セラミックスグリーンシート15中に含まれるガラスの軟化点以上としているので、加熱処理によってセラミックスグリーンシート15をセラミックス基板31にした際、形成した導体パターン20が軟化したガラスによってセラミックス基板31(セラミックスグリーンシート15)上に強固に固着するようになり、したがって導体パターン20の機械的強度を高めることができる。
Moreover, since the heating temperature at the time of heat-treating the ceramic
上記のように、本発明では、導体パターンの形成(配線基板の製造)に、上述したような多価アルコール縮合物含有インクと、導体パターン形成用インクとを備えた導体パターン形成用インクセットを用いることにより、多価アルコール縮合物の使用量を抑制し、配線基板の生産コストを抑制しつつ、クラック、断線、短絡等の発生が防止された、信頼性の高い導体パターンを備えた信頼性の高い配線基板を提供することができる。 As described above, in the present invention, a conductor pattern forming ink set including the polyhydric alcohol condensate-containing ink as described above and a conductor pattern forming ink is used for forming a conductor pattern (manufacturing a wiring board). By using it, the amount of polyhydric alcohol condensate used is suppressed, and the production cost of the wiring board is suppressed, while the occurrence of cracks, disconnections, short circuits, etc. is prevented, and reliability with a highly reliable conductor pattern is provided. A high wiring board can be provided.
《導体パターンおよび配線基板》
次に、上述したような方法を用いて得られる導体パターンおよび配線基板について説明する。
配線基板(セラミックス回路基板)30は、セラミックス基板31が多数(例えば10枚から20枚程度)積層されてなる積層基板32と、この積層基板32の最外層、すなわち一方の側の表面に形成された、微細配線等からなる回路20とを有して形成されたものである。
<< Conductor pattern and wiring board >>
Next, the conductor pattern and wiring board obtained by using the method as described above will be described.
The wiring board (ceramic circuit board) 30 is formed on a
積層基板32は、積層されたセラミックス基板31、31間に、導体パターン前駆体10により形成された導体パターン(回路)20を備えている。
導体パターン20は、上述したような導体パターン前駆体10を加熱する(焼結する)ことにより形成された薄膜状の導体パターンであって、銀粒子が相互に結合されてなり、少なくとも導体パターン20表面において前記銀粒子同士が隙間なく結合している。
The
The
導体パターン20の比抵抗は、20μΩcm未満であることが好ましく、15μΩcm以下であることがより好ましい。このときの比抵抗は、インクの付与後、600℃以上900℃以下で加熱、乾燥した後の比抵抗をいう。上記比抵抗が20μΩcm以上になると、導電性が要求される用途、すなわち回路基板上に形成する電極等に用いることが困難となる。
なお、上記のような導体パターン20は、携帯電話やPDA等の移動通話機器の高周波モジュール、インターポーザー、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)、加速度センサー、弾性表面波素子、アンテナや櫛歯電極等の異形電極、その他各種計測装置等の電子部品等に適用することができる。
The specific resistance of the
The
また、セラミックス基板31には、回路20に接続するコンタクト(ビア)33が形成されている。このような構成によって回路20は、上下に配置された回路20、20間が、コンタクト33によって導通したものとなっている。
また、上述したような配線基板30は、各種の電子機器に用いられる電子部品となるものであり、各種配線や電極等からなる回路パターン、積層セラミックスコンデンサー、積層インダクター、LCフィルタ、複合高周波部品等を基板に形成してなるものである。
以上、本発明について、好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
In addition, a contact (via) 33 connected to the
The wiring board 30 as described above is an electronic component used in various electronic devices, such as circuit patterns composed of various wirings and electrodes, multilayer ceramic capacitors, multilayer inductors, LC filters, composite high frequency components, and the like. Is formed on a substrate.
As mentioned above, although this invention was demonstrated based on suitable embodiment, this invention is not limited to these.
例えば、前述した実施形態では、導体パターン形成用インクとして、コロイド液を用いる場合について代表的に説明したが、コロイド液でなくてもよい。
また、前述した実施形態では、導体パターン形成用インクは、銀粒子が分散したものとして説明したが、銀以外のものであってもよい。金属粒子を構成する金属としては、例えば、銀、銅、パラジウム、白金、金、または、これらの合金等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。金属粒子が合金である場合、前記金属が主とするもので、他の金属を含む合金であってもよい。また、上記金属同士が任意の割合で混ざった合金であってもよい。また、混合粒子(例えば、銀粒子と銅粒子とパラジウム粒子とが任意の比率で存在するもの)が液中に分散したものであってもよい。これら金属は、抵抗率が小さく、かつ、加熱処理によって酸化されない安定なものであるから、これらの金属を用いることにより、低抵抗で安定な導体パターンを形成することが可能になる。
For example, in the above-described embodiment, the case where a colloidal liquid is used as the conductor pattern forming ink has been representatively described.
In the above-described embodiment, the conductor pattern forming ink is described as having silver particles dispersed therein, but may be other than silver. As a metal which comprises a metal particle, silver, copper, palladium, platinum, gold | metal | money, or these alloys etc. are mentioned, for example, These can be used 1 type or in combination of 2 or more types. When the metal particles are an alloy, the metal is mainly used, and an alloy containing another metal may be used. Moreover, the alloy which the said metals mixed with arbitrary ratios may be sufficient. Further, mixed particles (for example, particles in which silver particles, copper particles, and palladium particles are present in an arbitrary ratio) may be dispersed in a liquid. Since these metals have a low resistivity and are stable and are not oxidized by heat treatment, it is possible to form a stable conductor pattern with a low resistance by using these metals.
また、前述した実施形態では、導体パターン形成用インクが、金属粒子を分散する分散媒として、水系分散媒を含む場合について代表的に説明したが、分散媒として、水および/または水との相溶性に劣る液体(例えば、25℃における水100gに対する溶解度が30g未満の液体)である非水系分散媒(油系分散媒)を含むものであってもよい。
また、例えば、前述した実施形態では、液滴吐出方式としてピエゾ方式を用いたが、これに限定されず、例えば、インクを加熱して発生した泡(バブル)によりインクを吐出させる方式など、公知の種々の技術を適用することができる。
Further, in the above-described embodiment, the case where the conductive pattern forming ink includes an aqueous dispersion medium as a dispersion medium for dispersing the metal particles has been representatively described. However, as the dispersion medium, water and / or a phase with water is used. A non-aqueous dispersion medium (oil-based dispersion medium) that is a liquid having poor solubility (for example, a liquid having a solubility in 100 g of water at 25 ° C. of less than 30 g) may be included.
Further, for example, in the above-described embodiment, the piezo method is used as the droplet discharge method. However, the present invention is not limited to this, and for example, a method of discharging ink by bubbles generated by heating the ink is known. Various techniques can be applied.
次に、本発明の具体的実施例について説明する。
(実施例1)
[1]仮成形体の製造
まず、セラミックス粉末としての平均粒径が1.5μmのアルミナ(Al2O3)粉末と、セラミックス粉末としての平均粒径が1.5μmの酸化チタン(TiO2)粉末と、ガラス粉末としての平均粒径が1.5μmのホウ珪酸ガラス粉末とを混合し、混合粉末を得た。
Next, specific examples of the present invention will be described.
Example 1
[1] Production of Temporary Molding First, alumina (Al 2 O 3 ) powder having an average particle size of 1.5 μm as ceramic powder and titanium oxide (TiO 2 ) having an average particle size of 1.5 μm as ceramic powder. The powder and a borosilicate glass powder having an average particle size of 1.5 μm as a glass powder were mixed to obtain a mixed powder.
次に、上記混合粉末に、バインダー(結合剤)としてポリビニルブチラールと、可塑剤としてジブチルフタレートとを加え、混合・撹拌することによりスラリーを得た。
次に、上記スラリーを、ドクターブレードでPETフィルム上にシート状に形成し、これを、1辺の長さを200mmとする正方形状に裁断することにより、多数の仮成形体を得た。
Next, a slurry was obtained by adding polyvinyl butyral as a binder (binder) and dibutyl phthalate as a plasticizer to the mixed powder, and mixing and stirring.
Next, the slurry was formed into a sheet shape on a PET film with a doctor blade, and this was cut into a square shape having a side length of 200 mm, thereby obtaining a large number of temporary molded bodies.
[2]導体パターン形成用インクセットの調製
[2−1]多価アルコール縮合物含有インクの調製
多価アルコール縮合物としてのポリグリセリン(重量平均分子量:500)およびポリエチレングリコール(重量平均分子量:400)と、水と、界面活性剤としてのオレフィンE1010とを混合し、多価アルコール縮合物含有インクを得た。
[2] Preparation of conductive pattern forming ink set [2-1] Preparation of polyhydric alcohol condensate-containing ink Polyglycerin (weight average molecular weight: 500) and polyethylene glycol (weight average molecular weight: 400) as polyhydric alcohol condensate ), Water, and olefin E1010 as a surfactant were mixed to obtain a polyhydric alcohol condensate-containing ink.
[2−2]導体パターン形成用インクの調製
10N−NaOH水溶液を3mL添加してアルカリ性にした水50mLに、クエン酸3ナトリウム2水和物17g、タンニン酸0.36gを溶解した。得られた溶液に対して3.87mol/L硝酸銀水溶液3mLを添加し、2時間攪拌を行い銀コロイド液を得た。得られた銀コロイド液に対し、導電率が30μS/cm以下になるまで透析することで脱塩を行った。透析後、3000rpm、10分の条件で遠心分離を行うことで、粗大金属コロイド粒子を除去した。
[2-2] Preparation of Ink for Conductive Pattern Formation 17 g of trisodium citrate dihydrate and 0.36 g of tannic acid were dissolved in 50 mL of water made alkaline by adding 3 mL of 10N-NaOH aqueous solution. To the obtained solution, 3 mL of 3.87 mol / L silver nitrate aqueous solution was added and stirred for 2 hours to obtain a silver colloid solution. The obtained silver colloid solution was desalted by dialysis until the electrical conductivity was 30 μS / cm or less. After dialysis, the coarse metal colloid particles were removed by centrifugation at 3000 rpm for 10 minutes.
この銀コロイド液に、乾燥抑制剤としてのトリエタノールアミンと、尿素と、キシリトールと、有機バインダーとしてのポリグリセリンと、表面張力調整剤としてのサーフィノール104PG−50(日信化学工業社製)およびオルフィンEXP4036(日信化学工業社製)とを添加し、さらに濃度調整用のイオン交換水を添加することにより、導体パターン形成用インクとした。
これにより、多価アルコール縮合物含有インクと導体パターン形成用インクとからなる導体パターン形成用インクセットを得た。
In this silver colloid liquid, triethanolamine as a drying inhibitor, urea, xylitol, polyglycerin as an organic binder, Surfynol 104PG-50 (manufactured by Nissin Chemical Industry Co., Ltd.) as a surface tension adjusting agent, and Orfin EXP4036 (manufactured by Nissin Chemical Industry Co., Ltd.) was added, and ion exchange water for concentration adjustment was further added to obtain a conductor pattern forming ink.
As a result, a conductor pattern forming ink set comprising the polyhydric alcohol condensate-containing ink and the conductor pattern forming ink was obtained.
[3]セラミックス回路基板の製造
上記のようにして得られた導体パターン形成用インクセットおよび仮成形体を用いて、以下のようにして、セラミックス回路基板を作製した。
まず、上記多価アルコール縮合物含有インクを、図2、図3に示すような液滴吐出装置に搭載した。次に、上記仮成形体に向けて、液滴吐出装置の各吐出ノズルから多価アルコール縮合物含有インクの液滴を順次吐出し、セラミックスグリーンシート(セラミックス成形体)を得た(多価アルコール縮合物付与工程)。仮成形体への多価アルコール縮合物含有インクの付与は、導体パターンを形成する側の面には導体パターン形成用インクを用いて形成すべき導体パターン前駆体に対応するパターンで行い、反対側の面には、積層体とした際の隣接するセラミックスグリーンシート上の導体パターン前駆体に対応するパターンで行った。
[3] Manufacture of Ceramic Circuit Board Using the conductive pattern forming ink set and the temporary molded body obtained as described above, a ceramic circuit board was manufactured as follows.
First, the polyhydric alcohol condensate-containing ink was mounted on a droplet discharge device as shown in FIGS. Next, droplets of polyhydric alcohol condensate-containing ink were sequentially discharged from the discharge nozzles of the droplet discharge device toward the temporary molded body to obtain a ceramic green sheet (ceramic molded body) (polyhydric alcohol). Condensate application step). The provision of the polyhydric alcohol condensate-containing ink to the temporary molded body is carried out with a pattern corresponding to the conductor pattern precursor to be formed using the conductor pattern forming ink on the side on which the conductor pattern is formed, and on the opposite side. On the surface, a pattern corresponding to the conductor pattern precursor on the adjacent ceramic green sheet when the laminate was formed was performed.
次に、導体パターン形成用インクを搭載した図2、図3に示すようなインクジェット装置のテーブル上に載置されたセラミックスグリーンシート(セラミックス成形体)を60℃に昇温保持した。その後、各吐出ノズルからそれぞれ1滴当り15ngの液滴を順次吐出し、線幅が50μm、厚み20μm、長さが10.0cmのライン(前駆体)を20本描画した。各ライン間の距離は、5mmとした。そして、このラインが形成されたセラミックスグリーンシートを乾燥炉に入れ、60℃で30分間加熱して乾燥した(導体パターン前駆体形成工程)。
上記のようにして、ラインが形成されたセラミックスグリーンシートを第1のセラミックスグリーンシートとした。この第1のセラミックスグリーンシートを2枚作製した。
Next, the ceramic green sheet (ceramic molded body) placed on the table of the ink jet apparatus as shown in FIGS. 2 and 3 loaded with the conductive pattern forming ink was heated to 60 ° C. and held. Thereafter, 15 ng droplets per droplet were sequentially discharged from each discharge nozzle, and 20 lines (precursors) having a line width of 50 μm, a thickness of 20 μm, and a length of 10.0 cm were drawn. The distance between each line was 5 mm. And the ceramic green sheet in which this line was formed was put into the drying furnace, and it heated and dried at 60 degreeC for 30 minutes (conductor pattern precursor formation process).
The ceramic green sheet on which the line was formed as described above was used as the first ceramic green sheet. Two sheets of the first ceramic green sheet were produced.
次に、別のセラミックスグリーンシートに上記の金属配線の両端位置に機械式パンチ等によって孔開けを行うことで計40箇所に直径100μmのスルーホールを形成し、導体パターン形成用インクを充填することでコンタクト(ビア)を形成した。さらに、このコンタクト(ビア)上に2mm角のパターンを、上記液滴吐出装置を用いた導体パターン形成用インクの吐出により、端子部として形成した。 Next, through holes with 100 μm in diameter are formed in a total of 40 locations by punching another ceramic green sheet with mechanical punches or the like at both ends of the above metal wiring, and filling with a conductive pattern forming ink. A contact (via) was formed. Further, a 2 mm square pattern was formed on this contact (via) as a terminal portion by discharging the conductor pattern forming ink using the droplet discharge device.
この端子部が形成されたセラミックスグリーンシートを第2のセラミックスグリーンシートとした。
次に、第1のセラミックスグリーンシートを2枚積層し、さらに、第2のセラミックスグリーンシートの下に2枚積層した第1のセラミックスグリーンシートを積層し、さらに無加工のセラミックスグリーンシートを補強層として2枚積層し、次に、95℃の温度において、260kg/cm2の圧力で30分間プレスして、生の積層体を得た(積層工程)。このような生の積層体を、20個作製した。
次に、大気中において、昇温速度66℃/時間で約6時間、昇温速度10℃/時間で約5時間、昇温速度85℃/時間で約4時間といった連続的に昇温する昇温過程を経て、最高温度890℃で30分間保持するといった焼結プロファイルに従って焼結し、セラミックス回路基板を得た(焼成工程)。
The ceramic green sheet on which this terminal portion was formed was used as the second ceramic green sheet.
Next, two first ceramic green sheets are laminated, two first ceramic green sheets laminated under the second ceramic green sheet, and a non-processed ceramic green sheet as a reinforcing layer. Were stacked, and then pressed at a pressure of 260 kg / cm 2 for 30 minutes at a temperature of 95 ° C. to obtain a raw laminate (lamination step). Twenty such raw laminates were produced.
Next, in the atmosphere, the temperature is increased continuously at a temperature rising rate of 66 ° C./hour for about 6 hours, a temperature rising rate of 10 ° C./hour for about 5 hours, and a temperature rising rate of 85 ° C./hour for about 4 hours. Through a temperature process, sintering was performed according to a sintering profile of holding at a maximum temperature of 890 ° C. for 30 minutes to obtain a ceramic circuit board (firing process).
(実施例2〜12)
多価アルコール縮合物含有インクとして表1に示すような組成のものを用い、導体パターン形成用インクとして表1に示すようなものを用い、仮成形体として表1に示すような組成のものを用いた以外は、前記実施例1と同様にしてセラミックス回路基板を製造した。
(Examples 2 to 12)
A polyhydric alcohol condensate-containing ink having a composition as shown in Table 1 is used, a conductor pattern forming ink having a composition as shown in Table 1 is used, and a temporary molded article having a composition as shown in Table 1 is used. A ceramic circuit board was manufactured in the same manner as in Example 1 except that it was used.
(比較例1)
多価アルコール縮合物付与工程を省略した以外は、前記実施例と同様にしてセラミックス回路基板を製造した。
(比較例2)
導体パターンを形成する側の面にのみ、多価アルコール縮合物含有インクを付与した以外は、前記実施例1と同様にしてセラミックス回路基板を製造した。
(Comparative Example 1)
A ceramic circuit board was produced in the same manner as in the above example except that the polyhydric alcohol condensate application step was omitted.
(Comparative Example 2)
A ceramic circuit board was produced in the same manner as in Example 1 except that the polyhydric alcohol condensate-containing ink was applied only to the surface on the side where the conductor pattern was to be formed.
前記各実施例および比較例について、多価アルコール縮合物含有インクの各構成材料の配合量を表1に示し、仮成形体の各構成材料の配合量を表2に示し、導体パターン形成用インクの各構成材料の配合量を表3に示した。なお、比較例2については、多価アルコール縮合物含有インクの代わりに用いたインクの条件を表1に示した。なお、表中、ポリグリセリンをPG、ポリエチレングリコールをPEG、トリエタノールアミンをTEA、モノエタノールアミンをMEA、ジエタノールアミンをDEA、尿素をUr、キシリトールをXyl、マルトデキストリンをMds、還元マルトデキストリンをRmdで示した。また、前記各実施例についての多価アルコール縮合物含有インクの粘度(振動式粘度計を用いて、JIS Z8809に準拠して測定された25℃における粘度)は、いずれも、5.0mPa・s以上10.0mPa・s以下の範囲内の値であった。また、前記各実施例についての導体パターン形成インクの粘度(振動式粘度計を用いて、JIS Z8809に準拠して測定された25℃における粘度)は、いずれも、5.0mPa・s以上10.0mPa・s以下の範囲内の値であった。 For each of the examples and comparative examples, the blending amount of each constituent material of the polyhydric alcohol condensate-containing ink is shown in Table 1, the blending amount of each constituent material of the temporary molded body is shown in Table 2, and the conductor pattern forming ink The amount of each constituent material is shown in Table 3. For Comparative Example 2, the ink conditions used in place of the polyhydric alcohol condensate-containing ink are shown in Table 1. In the table, polyglycerol is PG, polyethylene glycol is PEG, triethanolamine is TEA, monoethanolamine is MEA, diethanolamine is DEA, urea is Ur, xylitol is Xyl, maltodextrin is Mds, and reduced maltodextrin is Rmd. Indicated. In addition, the viscosity of the polyhydric alcohol condensate-containing ink in each of the above Examples (viscosity at 25 ° C. measured according to JIS Z8809 using a vibration viscometer) is 5.0 mPa · s. The value was in the range of 10.0 mPa · s or less. In addition, the viscosity of the conductive pattern forming ink for each of the above Examples (viscosity at 25 ° C. measured according to JIS Z8809 using a vibration viscometer) is 5.0 mPa · s or more and 10. The value was within the range of 0 mPa · s or less.
[4]セラミックス回路基板についての評価(導通信頼性)
前記各実施例および比較例で得られたセラミックス回路基板について、20本の導体パターン上に形成された端子部間にテスタをあて、それぞれ導通の有無を確認し、20本の導体パターンについて全て導通が確認されたものを、導通率が100%であったものとして良品とした。各セラミックス回路基板についての導通率を、導通のあった導体パターンの数(X本)を、形成した導体パターンの数(20本)で除したもの((X/20)×100[%])として求め、下記評価基準により焼結安定性を評価した。
[4] Evaluation of ceramic circuit board (conductivity reliability)
For the ceramic circuit boards obtained in each of the above examples and comparative examples, a tester was applied between the terminal portions formed on the 20 conductor patterns to check whether or not each of the 20 conductor patterns was conductive. Was confirmed to be non-defective when the conductivity was 100%. The conductivity for each ceramic circuit board is obtained by dividing the number of conductive patterns (X) with conduction by the number of formed conductive patterns (20) ((X / 20) × 100 [%]) The sintering stability was evaluated according to the following evaluation criteria.
A:20個のセラミックス回路基板全てにおいて導通率が100%であった。
B:導通率が100%のセラミックス回路基板が15個以上あり、他のセラミックス回路基板も導通率が95%以上であった。
C:導通率が100%のセラミックス回路基板が10〜14個あり、他のセラミックス回路基板も導通率が95%以上であった。
D:導通率が100%のセラミックス回路基板が5〜9個あり、他のセラミックス回路基板も導通率が95%以上であった。
E:導通率が100%のセラミックス回路基板が1〜4個あり、他のセラミックス回路基板も導通率が95%以上であった。
F:20個のセラミックス回路基板全てにおいて導通率が95%以上100%未満であった。
G:20個のセラミックス回路基板全てにおいて導通率が95%未満であった。
A: The conductivity was 100% in all 20 ceramic circuit boards.
B: There were 15 or more ceramic circuit boards having a conductivity of 100%, and other ceramic circuit boards also had a conductivity of 95% or more.
C: There were 10 to 14 ceramic circuit boards having a conductivity of 100%, and other ceramic circuit boards also had a conductivity of 95% or more.
D: There were 5 to 9 ceramic circuit boards having a conductivity of 100%, and other ceramic circuit boards also had a conductivity of 95% or more.
E: There were 1 to 4 ceramic circuit boards having a conductivity of 100%, and other ceramic circuit boards also had a conductivity of 95% or more.
F: Conductivity was 95% or more and less than 100% in all 20 ceramic circuit boards.
G: Conductivity was less than 95% in all 20 ceramic circuit boards.
[5]導体パターンの線幅安定性
前記各実施例に係る多価アルコール縮合物含有インク、導体パターン形成用インクおよび仮成形体を用いて、以下のようにして、導体パターンの線幅安定性の評価を行った。
まず、多価アルコール縮合物含有インクを用いて、仮成形体上に、液滴吐出法により、描画後の設計値で線幅が90μm、長さが10.0cmのラインを45μm間隔をおいて5本描画し、多価アルコール縮合物含有部を形成し、セラミックスグリーンシートを得た。
[5] Line width stability of conductor pattern Using the polyhydric alcohol condensate-containing ink, conductor pattern forming ink, and temporary molding according to each of the above examples, the line width stability of the conductor pattern is as follows. Was evaluated.
First, using a polyhydric alcohol condensate-containing ink, a line having a line width of 90 μm and a length of 10.0 cm is spaced by 45 μm at a designed value after drawing on a temporary molded body by a droplet discharge method. Five lines were drawn to form a polyhydric alcohol condensate-containing part to obtain a ceramic green sheet.
次に、導体パターン形成用インクを用いて、セラミックスグリーンシートの多価アルコール縮合物含有部に重なるように、液滴吐出法により、描画後の設計値で線幅が90μm、厚み20μm、長さが10.0cmのライン(導体パターン前駆体)を45μm間隔をおいて5本描画し、膜を形成し、各ラインの線幅(Yμm)をレーザー顕微鏡にて測長した。 Next, by using a conductive pattern forming ink, a line width of 90 μm, a thickness of 20 μm, and a length of the designed values after drawing are applied by a droplet discharge method so as to overlap the polyhydric alcohol condensate-containing part of the ceramic green sheet. 5 lines (conductor pattern precursor) of 10.0 cm were drawn at 45 μm intervals to form films, and the line width (Y μm) of each line was measured with a laser microscope.
その後、上記と同様の条件で、膜を形成したセラミックスグリーンシートを積層し、焼結前の積層体を得た。
上記積層体を液体窒素中に1分間浸漬して凍結した後、ラインと垂直方向にガラス切りにて破断し、SEM観察を行い、ショートの有無を確認すると共に、線幅(Zμm)を測長した。各ラインにおいて線幅の変形率を((Z−Y)/Y[%])として求め、下記評価基準により線幅安定性を評価した。
Thereafter, the ceramic green sheets on which the film was formed were laminated under the same conditions as described above to obtain a laminate before sintering.
After immersing the above laminate in liquid nitrogen for 1 minute and freezing, it is broken by cutting glass in the direction perpendicular to the line, SEM observation is performed to check for shorts and to measure the line width (Zμm). did. In each line, the deformation ratio of the line width was determined as ((Z−Y) / Y [%]), and the line width stability was evaluated according to the following evaluation criteria.
比較例1については、多価アルコール縮合物含有インクを付与する工程を省略した以外は、前記と同様にして積層体を得、前記と同様にして評価を行った。
また、比較例2については、多価アルコール縮合物含有インクの代わりに、上述した多価アルコール縮合物を含まずグリセリンを含むインクを用いた以外は、前記と同様にして積層体を得、前記と同様にして評価を行った。
For Comparative Example 1, a laminate was obtained in the same manner as above except that the step of applying the polyhydric alcohol condensate-containing ink was omitted, and evaluation was performed in the same manner as described above.
For Comparative Example 2, a laminated body was obtained in the same manner as described above except that the ink containing glycerin was used instead of the polyhydric alcohol condensate, instead of the polyhydric alcohol condensate-containing ink. Evaluation was performed in the same manner as above.
A:最も潰れている配線の変形率が10%未満であった。
B:最も潰れている配線の変形率が20%未満であった。
C:最も潰れている配線の変形率が40%未満であった。
D:一部でも隣接間で接触(ショート)している。
これらの結果を表4に示した。
A: The deformation rate of the most crushed wiring was less than 10%.
B: The deformation rate of the most crushed wiring was less than 20%.
C: The deformation rate of the most crushed wiring was less than 40%.
D: Even a part is in contact (short circuit) between adjacent parts.
These results are shown in Table 4.
表4から明らかなように、本発明では、セラミックス回路基板において、優れた導通率を示していた。また、導体パターンは、線幅の安定性が高く、信頼性が特に高いものであった。これに対して、比較例では、満足な結果が得られなかった。また、比較例のセラミックス回路基板においては、ボイドが発生しているのが確認された。 As apparent from Table 4, in the present invention, the ceramic circuit board showed excellent conductivity. In addition, the conductor pattern had high line width stability and particularly high reliability. On the other hand, in the comparative example, a satisfactory result was not obtained. In addition, it was confirmed that voids were generated in the ceramic circuit board of the comparative example.
10…導体パターン前駆体(前駆体) 13…多価アルコール縮合物含有部 14…仮成形体 15…セラミックスグリーンシート(セラミックス成形体) 16…導体ポスト(コンタクト前駆体) 17…積層体 19…多価アルコール縮合物不含部 20…導体パターン(回路) 30…セラミックス回路基板(配線基板) 31…セラミックス基板 32…積層基板 33…コンタクト 100…インクジェット装置(液滴吐出装置) 110…インクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド、ヘッド) 111…ヘッド本体 112…振動板 113…ピエゾ素子 114…本体 115…ノズルプレート 115P…インク吐出面 116…リザーバー 117…インク室 118…ノズル(突出部) 130…ベース 140…テーブル 170…テーブル位置決め手段 171…第1移動手段 172…モーター 180…ヘッド位置決め手段 181…第2移動手段 182…リニアモーター 183、184、185…モーター 190…制御装置 191…駆動回路 200…多価アルコール縮合物含有組成物(多価アルコール縮合物含有インク) 300…導体パターン形成用インク S…基材
DESCRIPTION OF
Claims (12)
前記仮成形体の両面に、多価アルコールの縮合物を含む組成物を付与することにより、表面付近に前記多価アルコールの縮合物を含む領域が形成されたセラミックス成形体を得る多価アルコール縮合物付与工程と、
前記セラミックス成形体の前記多価アルコールの縮合物を含む領域に、金属粒子と前記金属粒子が分散する分散媒とを含む導体パターン形成用インクを液滴吐出法により吐出して、導体パターン前駆体を形成する導体パターン前駆体形成工程と、
複数の前記セラミックス成形体を積層して積層体を得る積層工程と、
前記積層体を焼結して、導体パターンおよびセラミックス基板とを有する配線基板を得る焼成工程とを有することを特徴とする配線基板の製造方法。 A temporary molded body preparation step of preparing a sheet-shaped temporary molded body made of a material containing a ceramic material and a binder;
By applying a composition containing a polyhydric alcohol condensate to both surfaces of the temporary molded body, a polyhydric alcohol condensation is obtained in which a ceramic molded body in which a region containing the polyhydric alcohol condensate is formed near the surface is formed. An object imparting step;
Conductive pattern forming ink containing metal particles and a dispersion medium in which the metal particles are dispersed is ejected to a region containing the polyhydric alcohol condensate of the ceramic molded body by a droplet discharge method, thereby forming a conductor pattern precursor. A conductor pattern precursor forming step of forming
A laminating step of laminating a plurality of the ceramic molded bodies to obtain a laminated body;
A method of manufacturing a wiring board, comprising: sintering the laminated body to obtain a wiring board having a conductor pattern and a ceramic substrate.
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