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JP2012159713A - Manufacturing method of film-like product, manufacturing apparatus of film-like product, and mask - Google Patents

Manufacturing method of film-like product, manufacturing apparatus of film-like product, and mask Download PDF

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JP2012159713A
JP2012159713A JP2011019633A JP2011019633A JP2012159713A JP 2012159713 A JP2012159713 A JP 2012159713A JP 2011019633 A JP2011019633 A JP 2011019633A JP 2011019633 A JP2011019633 A JP 2011019633A JP 2012159713 A JP2012159713 A JP 2012159713A
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JP
Japan
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film
polarization
exposure
polarized light
mask
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Withdrawn
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JP2011019633A
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Japanese (ja)
Inventor
Toshio Mandokoro
敏夫 政所
Tatsuya Sato
達弥 佐藤
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Arisawa Mfg Co Ltd
Original Assignee
Arisawa Mfg Co Ltd
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Publication date
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Priority to PCT/JP2012/000391 priority patent/WO2012105178A1/en
Priority to CN2012100211130A priority patent/CN102629080A/en
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    • GPHYSICS
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem of a manufacturing apparatus of film-like product getting bigger in size due to the necessity of having a mask, a light source and a space for an exposure area equal to or more than one pattern which is finally desired.SOLUTION: A manufacturing method of a film-like product includes a conveyance step in which a long-length film 90 is conveyed in the longitudinal direction and an exposure step in which the film 90 is exposed to light by using an exposure device which exposes a prescribed exposure area 80 to light. With the conveyance step and the exposure step, a longer portion of the film 90 than the length of the exposure area of the exposure device in the longitudinal direction is exposed to light with no break.

Description

本発明は、フィルム状製品の製造方法、フィルム状製品の製造装置、及び、マスクに関する。   The present invention relates to a film-shaped product manufacturing method, a film-shaped product manufacturing apparatus, and a mask.

1パターン全体をフィルムに露光して、露光と露光との間に1パターンの長さフィルムを搬送するフィルム状製品の製造方法が知られている(例えば、特許文献1)。
[先行技術文献]
[特許文献]
[特許文献1] 特開平4−97155号公報
There is known a manufacturing method of a film-like product in which an entire pattern is exposed on a film and a film having a length of one pattern is conveyed between the exposures (for example, Patent Document 1).
[Prior art documents]
[Patent Literature]
[Patent Document 1] Japanese Patent Laid-Open No. 4-97155

しかしながら、上述の方法では、最終的に希望する1パターンのマスクと、光源と、場所が必要になり、フィルム状製品の製造装置が大きくなるといった課題がある。   However, in the above-described method, there is a problem that a mask of a desired pattern, a light source, and a place are finally required, and a manufacturing apparatus for a film-like product becomes large.

本発明の第1の態様においては、長尺状のフィルムを長手方向に搬送する搬送ステップと、予め定められた露光領域を露光する露光装置を用いて、前記フィルムを露光する露光ステップとを備え、前記搬送ステップおよび前記露光ステップにおいて、前記露光装置の前記露光領域における前記長手方向の長さよりも長く、切れ目なく前記フィルムを露光するフィルム状製品の製造方法を提供する。   In the first aspect of the present invention, a transport step for transporting a long film in the longitudinal direction and an exposure step for exposing the film using an exposure device for exposing a predetermined exposure region are provided. In the transport step and the exposure step, there is provided a method for producing a film-like product in which the film is exposed without a break longer than the length in the longitudinal direction in the exposure region of the exposure apparatus.

本発明の第2の態様においては、長尺状のフィルムを長手方向に搬送する搬送部と、予め定められた露光領域で前記フィルムを露光する露光部とを備え、前記露光領域における前記長手方向の長さよりも長く、切れ目なく前記フィルムを露光するフィルム状製品の製造装置を提供する。   In the 2nd aspect of this invention, it is provided with the conveyance part which conveys a elongate film to a longitudinal direction, and the exposure part which exposes the said film in a predetermined exposure area | region, The said longitudinal direction in the said exposure area | region An apparatus for producing a film-like product is provided which exposes the film without any breaks.

本発明の第3の態様においては、長尺状のフィルムを長手方向に搬送しつつ、偏光出力部からの第1偏光及び第2偏光により前記フィルムを露光するためのマスクであって、第1偏光を透過する第1透過領域と、前記第1偏光と偏光方向が交差する第2偏光を透過する第2透過領域とを備え、前記第1透過領域、及び、前記第2透過領域は、少なくとも一部が前記長手方向と交差する幅方向において、異なる位置に配置されているマスクを提供する。   According to a third aspect of the present invention, there is provided a mask for exposing the film with the first polarized light and the second polarized light from the polarization output unit while conveying the long film in the longitudinal direction. A first transmissive region that transmits polarized light, and a second transmissive region that transmits second polarized light whose polarization direction intersects with the first polarized light, wherein the first transmissive region and the second transmissive region are at least Provided is a mask in which a part is arranged at different positions in the width direction crossing the longitudinal direction.

本発明の第4の態様においては、長尺状のフィルムを長手方向に搬送しつつ、偏光出力部からの偏光により前記フィルムを露光するためのマスクであって、前記長手方向と交差する幅方向に延び、前記偏光出力部と前記フィルムとの間に配置され、前記偏光を透過する透過領域を有するマスクを提供する。   In the fourth aspect of the present invention, a mask for exposing the film with polarized light from a polarization output unit while conveying a long film in the longitudinal direction, the width direction intersecting the longitudinal direction And a mask having a transmission region that is disposed between the polarization output unit and the film and transmits the polarized light.

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。   It should be noted that the above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention. In addition, a sub-combination of these feature groups can also be an invention.

本実施形態による位相差板の全体平面図である。It is a whole top view of the phase difference plate by this embodiment. 図1のII−II線に沿った縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view along the II-II line of FIG. 本実施形態による位相差板製造装置の全体構成図である。It is a whole block diagram of the phase difference plate manufacturing apparatus by this embodiment. 露光部の全体斜視図である。It is a whole perspective view of an exposure part. マスクの底面図である。It is a bottom view of a mask. 図5のVI−VI線に沿った縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view along the VI-VI line of FIG. 上流側張力ロール及び下流側張力ロールの斜視図である。It is a perspective view of an upstream tension roll and a downstream tension roll. 別の実施形態による一対の張力ロールの斜視図である。It is a perspective view of a pair of tension | tensile_strength roll by another embodiment. 図8の上流側張力ロールの側面図である。It is a side view of the upstream tension roll of FIG. 別の実施形態によるマスクの底面図である。It is a bottom view of the mask by another embodiment. 別の実施形態によるマスクの底面図である。It is a bottom view of the mask by another embodiment. 別の実施形態によるマスクの底面図である。It is a bottom view of the mask by another embodiment. 別の実施形態によるマスクの底面図である。It is a bottom view of the mask by another embodiment. 別の実施形態によるマスクの底面図である。It is a bottom view of the mask by another embodiment.

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。   Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention, but the following embodiments do not limit the invention according to the claims. In addition, not all the combinations of features described in the embodiments are essential for the solving means of the invention.

図1は、本実施形態による位相差板の全体平面図である。位相差板100は、本実施形態によるフィルム状製品の製造方法によって露光されたフィルムの一例である。位相差板100は、立体画像表示装置の液晶画像生成部の画像の出力側に設けられ、右目用画像及び左目用画像を出力する。   FIG. 1 is an overall plan view of the retardation plate according to the present embodiment. The phase difference plate 100 is an example of a film exposed by the method for manufacturing a film-like product according to the present embodiment. The phase difference plate 100 is provided on the image output side of the liquid crystal image generation unit of the stereoscopic image display device, and outputs a right-eye image and a left-eye image.

位相差板100は、一辺が数cm〜数mの長方形状に形成されている。図1に示すように、位相差板100は、切断フィルム102と、偏光変調部104と、偏光変調部106とを有する。   The phase difference plate 100 is formed in a rectangular shape having a side of several centimeters to several meters. As shown in FIG. 1, the phase difference plate 100 includes a cut film 102, a polarization modulation unit 104, and a polarization modulation unit 106.

切断フィルム102は、樹脂製の長尺状のフィルム90が一定の長さに切断されて形成される。切断フィルム102は、偏光変調部104及び偏光変調部106を支持する。切断フィルム102は、シクロオレフィン系のフィルムによって構成することができる。シクロオレフィン系フィルムとして、シクロオレフィンポリマー(=COP)、より好ましくは、シクロオレフィンポリマーの共重合体であるシクロオレフィンコポリマー(=COC)を使用することができる。COPフィルムとして、日本ゼオン社製のゼオノアフィルムZF14を挙げることができる。また、切断フィルム102は、トリアセチルセルロース(=TAC)を含む材料によって構成してもよい。TACフィルムは、富士写真フィルム社製のフジタックT80SZを挙げることができる。尚、シクロオレフィン系フィルムを使用する場合は、脆弱性の観点から高靭性タイプのフィルムを使用することが好ましい。   The cutting film 102 is formed by cutting a long film 90 made of resin into a certain length. The cut film 102 supports the polarization modulation unit 104 and the polarization modulation unit 106. The cut film 102 can be composed of a cycloolefin-based film. As the cycloolefin-based film, a cycloolefin polymer (= COP), more preferably a cycloolefin copolymer (= COC), which is a copolymer of cycloolefin polymers, can be used. An example of the COP film is ZEONOR film ZF14 manufactured by Nippon Zeon. Moreover, you may comprise the cutting film 102 with the material containing a triacetyl cellulose (= TAC). Examples of the TAC film include Fujitac T80SZ manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd. In addition, when using a cycloolefin type film, it is preferable to use a high toughness type film from a viewpoint of brittleness.

偏光変調部104及び偏光変調部106は、平面視において、同じ形状に形成されている。偏光変調部104及び偏光変調部106は、切断フィルム102の長手方向に沿って延びる長方形状である。偏光変調部104と偏光変調部106は、互いに一辺を接触させた状態で、交互に配置されている。   The polarization modulation unit 104 and the polarization modulation unit 106 are formed in the same shape in plan view. The polarization modulator 104 and the polarization modulator 106 have a rectangular shape extending along the longitudinal direction of the cut film 102. The polarization modulator 104 and the polarization modulator 106 are alternately arranged with one side in contact with each other.

偏光変調部104及び偏光変調部106は、透過する偏光の偏光状態を変調させる。偏光変調部104及び偏光変調部106の一例は、1/4波長板である。偏光変調部104は、例えば、図1の偏光変調部104の右端に記載の矢印110と平行な光学軸を有する。これにより、偏光変調部104は、例えば、矢印110から45°回転した偏光方向を有する直線偏光が入射すると、その偏光を隣の矢印112に示す左回りの偏光方向を有する円偏光に変調して出力する。偏光変調部106は、例えば、図1の偏光変調部106の右端に記載の矢印114と平行な光学軸であって、偏光変調部106の光学軸と直交する光学軸を有する。これにより、偏光変調部106は、例えば、矢印110から45°回転した偏光方向を有する直線偏光が入射すると、その偏光を隣の矢印116に示す右回りの偏光方向を有する円偏光に変調して出力する。   The polarization modulator 104 and the polarization modulator 106 modulate the polarization state of the transmitted polarized light. An example of the polarization modulator 104 and the polarization modulator 106 is a quarter wavelength plate. For example, the polarization modulator 104 has an optical axis parallel to the arrow 110 described at the right end of the polarization modulator 104 of FIG. Thus, for example, when linearly polarized light having a polarization direction rotated by 45 ° from the arrow 110 is incident, the polarization modulation unit 104 modulates the polarized light into circularly polarized light having a counterclockwise polarization direction indicated by the adjacent arrow 112. Output. The polarization modulation unit 106 has, for example, an optical axis that is parallel to the arrow 114 described at the right end of the polarization modulation unit 106 in FIG. 1 and is orthogonal to the optical axis of the polarization modulation unit 106. Thereby, for example, when linearly polarized light having a polarization direction rotated by 45 ° from the arrow 110 is incident, the polarization modulation unit 106 modulates the polarized light into circularly polarized light having a clockwise polarization direction indicated by the adjacent arrow 116. Output.

この結果、同じ偏光方向を有する直線偏光が、偏光変調部104及び偏光変調部106に入射しても、偏光変調部106が出力する偏光の偏光方向と、偏光変調部104が出力する偏光の偏光方向とは、異なる。例えば、偏光変調部106が出力する偏光の偏光方向は、偏光変調部104が出力する偏光の偏光方向の逆回りである。ユーザは、これらの偏光を右目または左目で見ることにより、立体画像を視認することができる。   As a result, even when linearly polarized light having the same polarization direction is incident on the polarization modulation unit 104 and the polarization modulation unit 106, the polarization direction of the polarization output from the polarization modulation unit 106 and the polarization of the polarization output from the polarization modulation unit 104 The direction is different. For example, the polarization direction of the polarization output from the polarization modulation unit 106 is opposite to the polarization direction of the polarization output from the polarization modulation unit 104. The user can view the stereoscopic image by viewing these polarized light with the right eye or the left eye.

図2は、図1のII−II線に沿った縦断面図である。図2に示すように、各偏光変調部104及び偏光変調部106は、配向膜120と、液晶膜122とを有する。   2 is a longitudinal sectional view taken along line II-II in FIG. As shown in FIG. 2, each polarization modulation unit 104 and polarization modulation unit 106 includes an alignment film 120 and a liquid crystal film 122.

配向膜120は、切断フィルム102の面上であって、偏光変調部104及び偏光変調部106が形成される領域に形成されている。配向膜120は、公知の光配向性化合物を適用できる。光配向性化合物の例として、光分解型、光二量子型、光異性型等の化合物をあげることができる。配向膜120のうち、偏光変調部104が形成される領域に形成されている配向膜120は、偏光変調部104の光学軸に対応して配向している。配向膜120のうち、偏光変調部106が形成される領域に形成されている配向膜120は、偏光変調部106の光学軸に対応して配向している。   The alignment film 120 is formed on the surface of the cut film 102 and in a region where the polarization modulator 104 and the polarization modulator 106 are formed. A known photo-alignment compound can be applied to the alignment film 120. Examples of the photo-alignment compound include compounds of a photodecomposition type, a photo two-quantum type, a photo isomer type, and the like. In the alignment film 120, the alignment film 120 formed in the region where the polarization modulation unit 104 is formed is aligned corresponding to the optical axis of the polarization modulation unit 104. Among the alignment films 120, the alignment film 120 formed in the region where the polarization modulation unit 106 is formed is aligned corresponding to the optical axis of the polarization modulation unit 106.

液晶膜122は、紫外線または加熱等によって硬化可能な液晶ポリマーによって構成することができる。液晶膜122の分子は、配向膜120の配向に沿って、配向される。従って、偏光変調部104が形成される領域の液晶膜122の分子は、偏光変調部104の光学軸に対応して配向される。また、偏光変調部106が形成される領域の液晶膜122の分子は、偏光変調部106の光学軸に対応して配向される。   The liquid crystal film 122 can be formed of a liquid crystal polymer that can be cured by ultraviolet rays or heating. The molecules of the liquid crystal film 122 are aligned along the alignment of the alignment film 120. Accordingly, the molecules of the liquid crystal film 122 in the region where the polarization modulator 104 is formed are aligned corresponding to the optical axis of the polarization modulator 104. In addition, the molecules of the liquid crystal film 122 in the region where the polarization modulator 106 is formed are aligned corresponding to the optical axis of the polarization modulator 106.

図3は、本実施形態による位相差板製造装置の全体構成図である。図3に矢印で示す上下を位相差板製造装置の上下方向とする。また、上流及び下流は、搬送方向における上流及び下流とする。尚、搬送方向は、フィルム90の長手方向と同方向である。   FIG. 3 is an overall configuration diagram of the retardation plate manufacturing apparatus according to the present embodiment. The up and down directions indicated by arrows in FIG. 3 are the up and down directions of the retardation plate manufacturing apparatus. Further, upstream and downstream are upstream and downstream in the transport direction. The transport direction is the same as the longitudinal direction of the film 90.

位相差板製造装置10は、フィルム状製品の製造装置の一例である。図3に示すように、位相差板製造装置10は、送り出しロール12と、配向膜塗布部14と、配向膜乾燥部16と、露光部18と、液晶膜塗布部20と、液晶膜配向部22と、液晶膜硬化部24と、セパレートフィルム供給部26と、巻き取りロール28とを備える。   The phase difference plate manufacturing apparatus 10 is an example of a film-shaped product manufacturing apparatus. As shown in FIG. 3, the retardation plate manufacturing apparatus 10 includes a delivery roll 12, an alignment film application unit 14, an alignment film drying unit 16, an exposure unit 18, a liquid crystal film application unit 20, and a liquid crystal film alignment unit. 22, a liquid crystal film curing unit 24, a separate film supply unit 26, and a take-up roll 28.

送り出しロール12は、フィルム90の搬送経路の最も上流側に配置されている。送り出しロール12の外周には、供給用のフィルム90が巻かれている。送り出しロール12は、回転可能に支持されている。これにより、送り出しロール12は、フィルム90を送り出し可能に保持できる。送り出しロール12は、モータ等の駆動機構によって回転可能に構成してもよく、巻き取りロール28の回転に伴って、従動可能に構成してもよい。あるいは、搬送経路の途中にフィルム90を駆動させる機構を設けてもよい。   The delivery roll 12 is disposed on the most upstream side of the transport path of the film 90. A supply film 90 is wound around the outer periphery of the delivery roll 12. The delivery roll 12 is rotatably supported. Thereby, the delivery roll 12 can hold | maintain the film 90 so that delivery is possible. The delivery roll 12 may be configured to be rotatable by a drive mechanism such as a motor, or may be configured to be driven in accordance with the rotation of the take-up roll 28. Or you may provide the mechanism which drives the film 90 in the middle of a conveyance path | route.

配向膜塗布部14は、塗布部の一例である。配向膜塗布部14は、送り出しロール12の下流側であって、露光部18の上流側に配置されている。配向膜塗布部14は、搬送されるフィルム90の搬送経路の上方に配置されている。配向膜塗布部14は、フィルム90の上面に、露光材料の一例である液状の配向膜120を供給して塗布する。   The alignment film application part 14 is an example of an application part. The alignment film application unit 14 is disposed downstream of the delivery roll 12 and upstream of the exposure unit 18. The alignment film application unit 14 is disposed above the conveyance path of the film 90 to be conveyed. The alignment film application unit 14 supplies and applies a liquid alignment film 120, which is an example of an exposure material, to the upper surface of the film 90.

配向膜乾燥部16は、配向膜塗布部14の下流側に配置されている。配向膜乾燥部16は、加熱、光照射、または送風等によって、内部を通過するフィルム90上に塗布された配向膜120を乾燥させる。   The alignment film drying unit 16 is disposed on the downstream side of the alignment film application unit 14. The alignment film drying unit 16 dries the alignment film 120 applied on the film 90 passing through the inside by heating, light irradiation, or air blowing.

露光部18は、配向膜乾燥部16の下流側に配置されている。露光部18は、上流側エア吐出部32と、偏光光源34と、マスク38と、マスク保持部40と、下流側エア吐出部42と、一対の上流側張力ロール44及び下流側張力ロール46とを有する。露光部18は、偏光光源34から出力された偏光を、マスク38を介して、フィルム90上に塗布された配向膜120に照射することにより、配向膜120を配向させる。これにより、露光部18は、フィルム90の配向膜120にパターンを露光する。偏光光源34から出力される偏光の一例は、紫外線である。偏光光源34の下方が、フィルム90が露光される予め定められた露光領域80の一例である。   The exposure unit 18 is disposed on the downstream side of the alignment film drying unit 16. The exposure unit 18 includes an upstream air discharge unit 32, a polarized light source 34, a mask 38, a mask holding unit 40, a downstream air discharge unit 42, a pair of upstream tension rolls 44 and a downstream tension roll 46. Have The exposure unit 18 orients the alignment film 120 by irradiating the alignment film 120 applied on the film 90 with the polarized light output from the polarized light source 34 through the mask 38. Thereby, the exposure unit 18 exposes the pattern to the alignment film 120 of the film 90. An example of polarized light output from the polarized light source 34 is ultraviolet light. Below the polarized light source 34 is an example of a predetermined exposure region 80 where the film 90 is exposed.

液晶膜塗布部20は、露光部18の下流側に配置されている。液晶膜塗布部20は、フィルム90の搬送経路の上方に配置されている。液晶膜塗布部20は、フィルム90に形成された配向膜120上に液晶膜122を供給して、塗布する。   The liquid crystal film application unit 20 is disposed on the downstream side of the exposure unit 18. The liquid crystal film application unit 20 is disposed above the transport path of the film 90. The liquid crystal film application unit 20 supplies and applies the liquid crystal film 122 onto the alignment film 120 formed on the film 90.

液晶膜配向部22は、液晶膜塗布部20の下流側に配置されている。液晶膜配向部22は、加熱、光照射、または、送風等によって、内部を通過する配向膜120上に形成された液晶膜122を、配向膜120の配向方向に沿って配向させつつ、乾燥させる。   The liquid crystal film alignment unit 22 is disposed on the downstream side of the liquid crystal film application unit 20. The liquid crystal film alignment unit 22 dries the liquid crystal film 122 formed on the alignment film 120 that passes through the liquid crystal film alignment section 120 along the alignment direction of the alignment film 120 by heating, light irradiation, or air blowing. .

液晶膜硬化部24は、液晶膜配向部22の下流側に配置されている。液晶膜硬化部24は、紫外線を照射することにより、液晶膜122を硬化させる。これにより、配向膜120の配向に沿って配向された液晶膜122の分子の配向が、固定される。   The liquid crystal film curing unit 24 is disposed on the downstream side of the liquid crystal film alignment unit 22. The liquid crystal film curing unit 24 cures the liquid crystal film 122 by irradiating ultraviolet rays. Thereby, the alignment of the molecules of the liquid crystal film 122 aligned along the alignment of the alignment film 120 is fixed.

セパレートフィルム供給部26は、液晶膜硬化部24と巻き取りロール28との間に配置されている。セパレートフィルム供給部26は、フィルム90の液晶膜122上にセパレートフィルム92を供給して、貼り合わせる。尚、セパレートフィルム供給部26は、省略してもよい。   The separate film supply unit 26 is disposed between the liquid crystal film curing unit 24 and the take-up roll 28. The separate film supply unit 26 supplies and separates the separate film 92 onto the liquid crystal film 122 of the film 90. Note that the separate film supply unit 26 may be omitted.

巻き取りロール28は、液晶膜硬化部24の下流側であって、搬送経路の最も下流側に配置されている。巻き取りロール28は、回転駆動可能に支持されている。巻き取りロール28は、配向膜120及び液晶膜122が形成されてパターニングされたフィルム90を巻き取る。   The take-up roll 28 is disposed on the downstream side of the liquid crystal film curing unit 24 and on the most downstream side of the transport path. The take-up roll 28 is supported so as to be rotatable. The winding roll 28 winds the film 90 on which the alignment film 120 and the liquid crystal film 122 are formed and patterned.

図4は、露光部の全体斜視図である。露光部18は、露光装置の一例である。図4に示すように、上流側エア吐出部32は、配向膜乾燥部16の下流側であって、上流側張力ロール44の上流側に配置されている。上流側エア吐出部32は、フィルム90の搬送経路の上方に配置されている。上流側エア吐出部32は、下方を搬送されるフィルム90へエアを吐出する。これにより、搬送中のフィルム90は、下方へと押圧される。   FIG. 4 is an overall perspective view of the exposure unit. The exposure unit 18 is an example of an exposure apparatus. As shown in FIG. 4, the upstream air discharge unit 32 is disposed downstream of the alignment film drying unit 16 and upstream of the upstream tension roll 44. The upstream air discharge unit 32 is disposed above the transport path of the film 90. The upstream air discharge part 32 discharges air to the film 90 conveyed below. As a result, the film 90 being conveyed is pressed downward.

偏光光源34は、フィルム90の搬送経路の上方に配置されている。偏光光源34は、上流側偏光出力部50と、下流側偏光出力部52とを有する。上流側偏光出力部50の底面は、第1偏光を出力する上流側偏光出力面51として機能する。下流側偏光出力部52の底面は、第2偏光を出力する下流側偏光出力面53として機能する。上流側偏光出力面51及び下流側偏光出力面53は、上流側張力ロール44と下流側張力ロール46との間に配置されている。   The polarized light source 34 is disposed above the transport path of the film 90. The polarized light source 34 includes an upstream side polarization output unit 50 and a downstream side polarization output unit 52. The bottom surface of the upstream side polarization output unit 50 functions as an upstream side polarization output surface 51 that outputs the first polarized light. The bottom surface of the downstream polarization output unit 52 functions as a downstream polarization output surface 53 that outputs the second polarized light. The upstream polarization output surface 51 and the downstream polarization output surface 53 are disposed between the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46.

上流側偏光出力部50は、第1偏光出力部の一例であって、第1偏光を下方へと出力する。下流側偏光出力部52は、フィルム90の長手方向において、上流側偏光出力部50と異なる位置である、上流側偏光出力部50の下流側に配置されている。   The upstream side polarization output unit 50 is an example of a first polarization output unit, and outputs the first polarized light downward. The downstream side polarization output unit 52 is disposed on the downstream side of the upstream side polarization output unit 50, which is a position different from the upstream side polarization output unit 50 in the longitudinal direction of the film 90.

下流側偏光出力部52は、第2偏光出力部の一例である。下流側偏光出力部52は、上流側偏光出力部50が出力する第1偏光の偏光方向と異なる偏光方向を有する第2偏光を下方へと出力する。下流側偏光出力部52が出力する第2偏光の偏光方向と、上流側偏光出力部50が出力する第1偏光の偏光方向は、直交する。尚、下流側偏光出力部52が出力する第2偏光の偏光方向と、上流側偏光出力部50が出力する第1偏光の偏光方向は、任意の角度で交差させてもよい。上流側偏光出力部50と下流側偏光出力部52とが一体の光源である場合は互いの偏光を遮光する遮光壁が設けられていてもよい。   The downstream side polarization output unit 52 is an example of a second polarization output unit. The downstream polarization output unit 52 outputs the second polarization having a polarization direction different from the polarization direction of the first polarization output from the upstream polarization output unit 50 downward. The polarization direction of the second polarization output from the downstream polarization output unit 52 and the polarization direction of the first polarization output from the upstream polarization output unit 50 are orthogonal to each other. The polarization direction of the second polarization output from the downstream polarization output unit 52 and the polarization direction of the first polarization output from the upstream polarization output unit 50 may intersect at an arbitrary angle. When the upstream side polarization output unit 50 and the downstream side polarization output unit 52 are an integrated light source, a light shielding wall that shields the polarization of each other may be provided.

マスク38は、偏光光源34から出力された偏光の一部を透過して、残りを遮光する。これにより、フィルム90が、所定のパターンに露光される。マスク38は、偏光光源34とフィルム90との間に配置される。一例として、マスク38は、フィルム90の数百μm上方に配置される。マスク38は、マスク基材56と、遮光層58とを有する。遮光層58には、上流側透過領域62として機能する開口と、下流側透過領域66として機能する開口とが形成されている。   The mask 38 transmits part of the polarized light output from the polarized light source 34 and shields the rest. Thereby, the film 90 is exposed to a predetermined pattern. The mask 38 is disposed between the polarized light source 34 and the film 90. As an example, the mask 38 is disposed several hundred μm above the film 90. The mask 38 includes a mask base material 56 and a light shielding layer 58. In the light shielding layer 58, an opening functioning as the upstream transmission region 62 and an opening functioning as the downstream transmission region 66 are formed.

マスク保持部40は、フィルム90に対して、幅方向に相対移動可能に保持されている。マスク保持部40は、マスク38を保持する。これにより、マスク38は、モータまたはアクチュエータ等によってマスク保持部40とともに移動できる。   The mask holding unit 40 is held so as to be movable relative to the film 90 in the width direction. The mask holding unit 40 holds the mask 38. Thereby, the mask 38 can move with the mask holding | maintenance part 40 with a motor or an actuator.

下流側エア吐出部42は、下流側張力ロール46の下流側に配置されている。下流側エア吐出部42は、フィルム90の搬送経路の上方に配置されている。下流側エア吐出部42は、下方を搬送されているフィルム90へエアを吐出する。これにより、搬送中のフィルム90は、下方へと押圧される。   The downstream air discharge unit 42 is disposed on the downstream side of the downstream tension roll 46. The downstream air discharge unit 42 is disposed above the transport path of the film 90. The downstream air discharge unit 42 discharges air to the film 90 being conveyed below. As a result, the film 90 being conveyed is pressed downward.

上流側張力ロール44は、偏光光源34及びマスク38の上流側であって、上流側エア吐出部32の下流側に配置されている。下流側張力ロール46は、偏光光源34及びマスク38の下流側であって、下流側エア吐出部42の上流側に配置されている。上流側張力ロール44及び下流側張力ロール46は、回転可能に支持されている。上流側張力ロール44及び下流側張力ロール46は、駆動モータ等によって自転可能に構成してもよく、巻き取りロール28等の駆動力によって従動可能に構成してもよい。   The upstream tension roll 44 is disposed upstream of the polarized light source 34 and the mask 38 and downstream of the upstream air discharge unit 32. The downstream tension roll 46 is disposed downstream of the polarized light source 34 and the mask 38 and upstream of the downstream air ejection unit 42. The upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46 are rotatably supported. The upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46 may be configured to be rotatable by a drive motor or the like, or may be configured to be driven by a driving force of the take-up roll 28 or the like.

上流側張力ロール44及び下流側張力ロール46は、搬送経路の下に配置されている。これにより、上流側張力ロール44及び下流側張力ロール46は、フィルム90の面のうち、フィルム90の配向膜120が形成されていない面である下面と接触して押圧する。上述したように、フィルム90は、上流側エア吐出部32及び下流側エア吐出部42によって下方へ押圧されている。従って、上流側張力ロール44及び下流側張力ロール46は、下方に押圧されているフィルム90に長手方向の張力を付与することになる。フィルム90に付与される張力は、一例として350mm幅のときは約50Nが好ましい。   The upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46 are disposed below the transport path. Thereby, the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46 come into contact with and press against the lower surface of the film 90 where the alignment film 120 is not formed. As described above, the film 90 is pressed downward by the upstream air discharge part 32 and the downstream air discharge part 42. Therefore, the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46 give a longitudinal tension to the film 90 pressed downward. As an example, the tension applied to the film 90 is preferably about 50 N when the width is 350 mm.

上流側張力ロール44及び下流側張力ロール46は、露光領域80を挟んで配置されている。上流側張力ロール44は、上流側透過領域62の上流側端部よりも上流側に配置され、下流側張力ロール46は、下流側透過領域66の下流側端部よりも下流側に配置されている。これにより、上流側偏光出力部50及び下流側偏光出力部52から出力された第1偏光及び第2偏光が、フィルム90を透過した後、上流側張力ロール44及び下流側張力ロール46によって反射されてフィルム90を露光することを、低減する。上流側張力ロール44と下流側張力ロール46との間の距離は、一般的な液晶表示装置に設けられる数cm以上の位相差板100の長手方向の長さよりも短くすることができる。これにより、上流側張力ロール44と下流側張力ロール46との間のフィルム90に長手方向の張力を十分に付与することができる。   The upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46 are arranged with the exposure region 80 interposed therebetween. The upstream tension roll 44 is disposed on the upstream side of the upstream end portion of the upstream transmission region 62, and the downstream tension roll 46 is disposed on the downstream side of the downstream end portion of the downstream transmission region 66. Yes. As a result, the first polarized light and the second polarized light output from the upstream polarization output unit 50 and the downstream polarization output unit 52 are transmitted by the film 90 and then reflected by the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46. Exposure of the film 90 is reduced. The distance between the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46 can be shorter than the length in the longitudinal direction of the retardation plate 100 of several cm or more provided in a general liquid crystal display device. Thereby, the tension | tensile_strength of a longitudinal direction can fully be provided to the film 90 between the upstream tension | tensile_strength roll 44 and the downstream tension | tensile_strength roll 46. FIG.

図5は、マスクの底面図である。図6は、図5のVI−VI線に沿った縦断面図である。図5の透過領域内に示す矢印は、透過領域を透過する偏光の偏光方向の一例である。図5及び図6に示すように、マスク38のマスク基材56は、矩形の板状に形成されている。マスク基材56は、石英ガラス等の材料からなる。フィルム90の長手方向における、マスク基材56の長さの一例は、約300mmである。遮光層58は、マスク基材56の下面に形成されている。遮光層58は、クロム等の光を遮蔽可能な材料からなる。上述したように遮光層58には、上流側透過領域62及び下流側透過領域66として機能する開口が形成されている。   FIG. 5 is a bottom view of the mask. 6 is a longitudinal sectional view taken along line VI-VI in FIG. An arrow shown in the transmission region in FIG. 5 is an example of a polarization direction of polarized light transmitted through the transmission region. As shown in FIGS. 5 and 6, the mask base material 56 of the mask 38 is formed in a rectangular plate shape. The mask base material 56 is made of a material such as quartz glass. An example of the length of the mask base material 56 in the longitudinal direction of the film 90 is about 300 mm. The light shielding layer 58 is formed on the lower surface of the mask base material 56. The light shielding layer 58 is made of a material capable of shielding light such as chromium. As described above, the light shielding layer 58 has openings functioning as the upstream transmission region 62 and the downstream transmission region 66.

上流側透過領域62及び下流側透過領域66の長手方向の長さの一例は、約30mmである。即ち、上流側透過領域62及び下流側透過領域66の長手方向の長さは、一般的な液晶表示装置に設けられる数cm以上の位相差板100の長手方向の長さに比べて短くすることができる。上流側透過領域62及び下流側透過領域66の幅方向の長さの一例は、約100μmである。   An example of the length in the longitudinal direction of the upstream transmission region 62 and the downstream transmission region 66 is about 30 mm. That is, the length in the longitudinal direction of the upstream transmission region 62 and the downstream transmission region 66 should be shorter than the length in the longitudinal direction of the retardation plate 100 of several cm or more provided in a general liquid crystal display device. Can do. An example of the length in the width direction of the upstream transmission region 62 and the downstream transmission region 66 is about 100 μm.

上流側透過領域62は、幅方向に沿って配列されている。上流側透過領域62は、第1偏光を含む光を透過する。上流側透過領域62は、上流側偏光出力部50とフィルム90との間に配置されている。これにより、上流側偏光出力部50から出力された第1偏光が、上流側透過領域62を透過して、フィルム90を露光する。   The upstream transmission region 62 is arranged along the width direction. The upstream transmission region 62 transmits light including the first polarized light. The upstream transmission region 62 is disposed between the upstream polarization output unit 50 and the film 90. As a result, the first polarized light output from the upstream polarization output unit 50 passes through the upstream transmission region 62 and exposes the film 90.

下流側透過領域66は、幅方向に沿って配列されている。下流側透過領域66は、上流側透過領域62よりも下流側に配置されている。下流側透過領域66は、第2偏光を含む光を透過する。下流側透過領域66は、下流側偏光出力部52とフィルム90との間に配置されている。これにより、下流側偏光出力部52から出力された第2偏光が、下流側透過領域66を透過して、フィルム90を露光する。   The downstream transmission region 66 is arranged along the width direction. The downstream transmission region 66 is disposed on the downstream side of the upstream transmission region 62. The downstream transmission region 66 transmits light including the second polarized light. The downstream transmission region 66 is disposed between the downstream polarization output unit 52 and the film 90. As a result, the second polarized light output from the downstream polarization output unit 52 is transmitted through the downstream transmission region 66 to expose the film 90.

上流側透過領域62及び下流側透過領域66は、長手方向において、互いが重ならない異なる位置に配置されている。下流側透過領域66は、幅方向において、上流側透過領域62と異なる位置に形成されている。   The upstream transmission region 62 and the downstream transmission region 66 are arranged in different positions in the longitudinal direction so as not to overlap each other. The downstream transmission region 66 is formed at a position different from the upstream transmission region 62 in the width direction.

上流側透過領域62及び下流側透過領域66は、長手方向と交差する幅方向において、互いの位置が重ならない、異なる位置に配置されている。これにより、上流側透過領域62によって露光される領域と、下流側透過領域66によって露光される領域とが、重ならず異なる位置でフィルム90に形成される。換言すれば、長手方向に平行な上流側透過領域62の辺の延長線上に、長手方向に平行な下流側透過領域66の何れかの辺が位置する。これにより、上流側透過領域62によって露光される領域と、下流側透過領域66によって露光される領域との間に間隙が無い状態でフィルム90が露光される。   The upstream transmission region 62 and the downstream transmission region 66 are arranged at different positions where the positions do not overlap each other in the width direction intersecting the longitudinal direction. Thereby, the area exposed by the upstream transmission area 62 and the area exposed by the downstream transmission area 66 are formed on the film 90 at different positions without overlapping. In other words, any side of the downstream transmission region 66 parallel to the longitudinal direction is located on the extension line of the side of the upstream transmission region 62 parallel to the longitudinal direction. Thereby, the film 90 is exposed in a state where there is no gap between the region exposed by the upstream transmission region 62 and the region exposed by the downstream transmission region 66.

上流側偏光出力部50から出力される第1偏光によって露光可能な領域が、第1露光領域81である。下流側偏光出力部52から出力される第2偏光によって露光可能な領域が、第2露光領域82である。尚、上流側透過領域62が、第1偏光のみを透過可能な偏光板によって構成してもよい。また、下流側透過領域66が、第2偏光のみを透過可能な偏光板によって構成してもよい。これにより、下流側透過領域66を透過する第1偏光を抑制するとともに、上流側透過領域62を透過する第2偏光を抑制することができる。   A region that can be exposed by the first polarized light output from the upstream polarization output unit 50 is a first exposure region 81. A region that can be exposed by the second polarized light output from the downstream polarization output unit 52 is a second exposure region 82. The upstream transmission region 62 may be configured by a polarizing plate that can transmit only the first polarized light. Further, the downstream transmission region 66 may be configured by a polarizing plate that can transmit only the second polarized light. Thereby, while suppressing the 1st polarization | polarized-light which permeate | transmits the downstream transmission region 66, the 2nd polarization | polarized-light which permeate | transmits the upstream transmission region 62 can be suppressed.

図7は、上流側張力ロール及び下流側張力ロールの斜視図である。上流側張力ロール44及び下流側張力ロール46は、円柱形状に形成されている。尚、上流側張力ロール44及び下流側張力ロール46の真円度は、高い方が好ましい。また、上流側張力ロール44及び下流側張力ロール46を円筒形状に形成する場合、円筒度は高い方が好ましい。更に、上流側張力ロール44の回転軸及び下流側張力ロール46の回転軸は、互いに精度よく平行にすることが必要である。これらにより、回転時の上流側張力ロール44及び下流側張力ロール46のぶれを低減できるとともに、搬送中のフィルム90のばたつきを低減できる。   FIG. 7 is a perspective view of the upstream tension roll and the downstream tension roll. The upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46 are formed in a cylindrical shape. The roundness of the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46 is preferably higher. Further, when the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46 are formed in a cylindrical shape, it is preferable that the cylindricity is higher. Furthermore, the rotation axis of the upstream tension roll 44 and the rotation axis of the downstream tension roll 46 need to be accurately parallel to each other. As a result, the shaking of the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46 during rotation can be reduced, and fluttering of the film 90 being conveyed can be reduced.

次に、フィルム状製品の製造方法の一例である位相差板100の製造方法について説明する。まず、送り出しロール12に巻かれた長尺状のフィルム90を準備する。ここで、フィルム90の全長の一例は、約1000mである。フィルム90の幅の一例は、約1mである。この後、フィルム90の一端を巻き取りロール28に固定する。この状態で、フィルム90は、上流側張力ロール44及び下流側張力ロール46の上面を通して配置されている。   Next, the manufacturing method of the phase difference plate 100 which is an example of the manufacturing method of a film-form product is demonstrated. First, a long film 90 wound around the feed roll 12 is prepared. Here, an example of the total length of the film 90 is about 1000 m. An example of the width of the film 90 is about 1 m. Thereafter, one end of the film 90 is fixed to the take-up roll 28. In this state, the film 90 is disposed through the upper surfaces of the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46.

次に、巻き取りロール28の回転駆動が開始する。この結果、フィルム90が送り出しロール12から送り出されて、フィルム90が、長手方向に搬送される。フィルム90の搬送速度の一例は、2m/分〜10m/分である。   Next, rotation of the take-up roll 28 is started. As a result, the film 90 is delivered from the delivery roll 12, and the film 90 is conveyed in the longitudinal direction. An example of the conveyance speed of the film 90 is 2 m / min to 10 m / min.

送り出されたフィルム90は、配向膜塗布部14の下方を通過する。これにより、フィルム90の上面には、配向膜塗布部14によって、両端部を除く、幅方向の略全域にわたって配向膜120が塗布される。配向膜120の塗布は、フィルム90の搬送中、連続して実行される。従って、フィルム90の上面には、両端の一部を除いて、長さ方向における全長にわたって連続して配向膜120が塗布される。   The fed film 90 passes under the alignment film application unit 14. Thereby, the alignment film 120 is applied to the upper surface of the film 90 by the alignment film application part 14 over substantially the entire width direction excluding both ends. The application of the alignment film 120 is continuously performed while the film 90 is conveyed. Therefore, the alignment film 120 is continuously applied to the upper surface of the film 90 over the entire length in the length direction except for a part of both ends.

配向膜120が塗布されたフィルム90は、搬送されて、配向膜乾燥部16の内部を通過する。これにより、フィルム90の上面に塗布された配向膜120が、乾燥される。この後、フィルム90は、上流側エア吐出部32の下方、及び、上流側張力ロール44の上面を通過する。   The film 90 coated with the alignment film 120 is transported and passes through the alignment film drying unit 16. Thereby, the alignment film 120 applied to the upper surface of the film 90 is dried. Thereafter, the film 90 passes under the upstream air discharge part 32 and the upper surface of the upstream tension roll 44.

配向膜120が塗布された領域のフィルム90が上流側透過領域62の下方を通過する。これにより、上流側透過領域62の下方を通過する領域に形成されたフィルム90の配向膜120が、上流側偏光出力部50から出力されてマスク38の上流側透過領域62を透過した第1偏光によって、露光される。ここで、フィルム90は、巻き取りロール28によって連続して一定の速度で搬送が継続されつつ、露光される。従って、上流側透過領域62の下方を通過する配向膜120は、長手方向に沿って、連続して、上流側偏光出力部50から出力される第1偏光によって露光される。これにより、上流側透過領域62の下方を通過した領域の配向膜120は、長手方向に延びる帯状に露光される。これにより、露光部18の偏光光源34の露光領域80における長手方向の長さよりも長く、切れ目なくフィルム90が露光されることになる。また、当該領域の配向膜120は、上流側偏光出力部50から出力される第1偏光によって露光されるので、当該領域の配向膜120は、露光される第1偏光に対応して配向される。   The film 90 in the region where the alignment film 120 is applied passes below the upstream transmission region 62. Thereby, the alignment film 120 of the film 90 formed in the region passing under the upstream transmission region 62 is output from the upstream polarization output unit 50 and transmitted through the upstream transmission region 62 of the mask 38. To be exposed. Here, the film 90 is exposed while being continuously conveyed at a constant speed by the take-up roll 28. Therefore, the alignment film 120 passing under the upstream transmission region 62 is exposed to the first polarized light output from the upstream polarization output unit 50 continuously along the longitudinal direction. Thereby, the alignment film 120 in the region that has passed under the upstream transmission region 62 is exposed in a strip shape extending in the longitudinal direction. As a result, the film 90 is exposed without a break, being longer than the length in the longitudinal direction of the exposure region 80 of the polarized light source 34 of the exposure unit 18. Further, since the alignment film 120 in the region is exposed by the first polarized light output from the upstream polarization output unit 50, the alignment film 120 in the region is aligned corresponding to the first polarized light to be exposed. .

この後、配向膜120が塗布された領域のフィルム90は搬送されて、下流側透過領域66の下方を通過する。これにより、下流側透過領域66の下方を通過する領域に形成されたフィルム90の配向膜120が、下流側偏光出力部52から出力されてマスク38の下流側透過領域66を透過した第2偏光により露光される。尚、フィルム90の搬送は継続されているので、当該領域の配向膜120も帯状に露光される。当該領域の配向膜120は、下流側偏光出力部52から出力される第2偏光によって露光されるので、当該領域の配向膜120は、露光される偏光に対応して配向される。ここで、下流側偏光出力部52から出力される第2偏光の偏光方向は、上流側偏光出力部50から出力される第1偏光の偏光方向と直交する。これにより、下流側透過領域66の下方を通過する領域の配向膜120と、上流側透過領域62の下方を通過する領域の配向膜120は、互いに直交する方向に配向される。   Thereafter, the film 90 in the region to which the alignment film 120 is applied is conveyed and passes below the downstream transmission region 66. As a result, the second polarized light that is output from the downstream polarization output unit 52 and transmitted through the downstream transmission region 66 of the mask 38 from the alignment film 120 of the film 90 formed in the region passing below the downstream transmission region 66. Is exposed. In addition, since conveyance of the film 90 is continued, the alignment film 120 of the said area | region is also exposed to strip | belt shape. Since the alignment film 120 in the region is exposed by the second polarized light output from the downstream polarization output unit 52, the alignment film 120 in the region is aligned corresponding to the polarized light to be exposed. Here, the polarization direction of the second polarization output from the downstream polarization output unit 52 is orthogonal to the polarization direction of the first polarization output from the upstream polarization output unit 50. Thereby, the alignment film 120 in the region passing below the downstream transmission region 66 and the alignment film 120 in the region passing below the upstream transmission region 62 are aligned in directions orthogonal to each other.

また、上流側透過領域62と下流側透過領域66は、幅方向において、異なる位置に形成されている。これにより、上流側透過領域62によって露光される配向膜120の領域と、下流側透過領域66によって露光される配向膜120の領域は、幅方向において異なる位置となる。従って、偏光変調部104及び偏光変調部106に対応する異なる配向を含む2つの領域を有するパターンが配向膜120に形成される。   Further, the upstream transmission region 62 and the downstream transmission region 66 are formed at different positions in the width direction. Thereby, the region of the alignment film 120 exposed by the upstream transmission region 62 and the region of the alignment film 120 exposed by the downstream transmission region 66 are at different positions in the width direction. Therefore, a pattern having two regions including different orientations corresponding to the polarization modulation unit 104 and the polarization modulation unit 106 is formed on the alignment film 120.

ここで、フィルム90には、上流側エア吐出部32及び下流側エア吐出部42によってエアが吐出されているので、フィルム90は下方へと押圧されている。これにより、フィルム90には、上流側張力ロール44及び下流側張力ロール46の間で、長手方向の張力が付与される。また、上流側張力ロール44は、円柱状に形成されているので、フィルム90の幅方向の移動が小さい。   Here, since air is discharged to the film 90 by the upstream air discharge part 32 and the downstream air discharge part 42, the film 90 is pressed downward. Thereby, a longitudinal tension is applied to the film 90 between the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46. Further, since the upstream tension roll 44 is formed in a columnar shape, the movement of the film 90 in the width direction is small.

この後、配向膜120が露光されたフィルム90は、下流側エア吐出部42の下方を通過して、液晶膜塗布部20の下方へと達する。これにより、液晶膜122が、配向膜120の上面に塗布される。液晶膜122は搬送中のフィルム90の配向膜120の上面に連続して塗布されるので、液晶膜122はフィルム90の長手方向の全長にわたって、塗布されることになる。この後、液晶膜122が塗布されたフィルム90は、搬送されて、液晶膜配向部22を通過する。これにより、液晶膜122が液晶膜配向部22により加熱されて、液晶膜122の分子が、下面に形成された配向膜120の配向に沿って配向されつつ、乾燥される。次に、塗布された液晶膜122が配向されたフィルム90は、液晶膜硬化部24を通過する。これにより、紫外線が液晶膜122に照射されて、液晶膜122が配向された状態で硬化する。この結果、上流側透過領域62の下方を通過した領域の配向膜120、及び、下流側透過領域66の下方を通過した領域の配向膜120のそれぞれに対応して、液晶膜122の分子が配向される。図1及び図2に示すように、配向膜120及び液晶膜122によって形成される偏光変調部104及び偏光変調部106が、フィルム90の幅方向に交互に形成される。次に、液晶膜122の上面にセパレートフィルム92が上面に供給されて貼りあわされる。そして、セパレートフィルム92が上面に貼られたフィルム90が、巻き取りロール28によって巻き取られる。   Thereafter, the film 90 on which the alignment film 120 has been exposed passes below the downstream air discharge part 42 and reaches below the liquid crystal film application part 20. Thereby, the liquid crystal film 122 is applied to the upper surface of the alignment film 120. Since the liquid crystal film 122 is continuously applied to the upper surface of the alignment film 120 of the film 90 being conveyed, the liquid crystal film 122 is applied over the entire length of the film 90 in the longitudinal direction. Thereafter, the film 90 coated with the liquid crystal film 122 is conveyed and passes through the liquid crystal film alignment unit 22. As a result, the liquid crystal film 122 is heated by the liquid crystal film alignment unit 22, and the molecules of the liquid crystal film 122 are dried while being aligned along the alignment of the alignment film 120 formed on the lower surface. Next, the film 90 on which the applied liquid crystal film 122 is oriented passes through the liquid crystal film curing unit 24. Thereby, the liquid crystal film 122 is irradiated with ultraviolet rays, and the liquid crystal film 122 is cured in an aligned state. As a result, the molecules of the liquid crystal film 122 are aligned corresponding to the alignment film 120 in the region passing under the upstream transmission region 62 and the alignment film 120 in the region passing under the downstream transmission region 66, respectively. Is done. As shown in FIGS. 1 and 2, the polarization modulators 104 and the polarization modulators 106 formed by the alignment film 120 and the liquid crystal film 122 are alternately formed in the width direction of the film 90. Next, a separate film 92 is supplied to the upper surface of the liquid crystal film 122 and pasted. Then, the film 90 with the separate film 92 attached to the upper surface is taken up by the take-up roll 28.

この後、送り出しロール12に巻かれたフィルム90の供給が終了するまで、巻き取りロール28によってフィルム90が搬送されつつ、フィルム90の露光が継続される。そして、送り出しロール12に巻かれたフィルム90が全て供給されると、終了する。尚、終了したフィルム90の後端に、次の新たなフィルム90の前端を繋いで、連続してフィルム90を露光してもよい。最後に、フィルム90は、規定の長さに切断されて、図1及び図2に示す位相差板100となって完成する。   Thereafter, the film 90 is conveyed by the take-up roll 28 and the exposure of the film 90 is continued until the supply of the film 90 wound around the feed roll 12 is completed. Then, when all of the film 90 wound around the delivery roll 12 is supplied, the process ends. The film 90 may be continuously exposed by connecting the rear end of the completed film 90 to the front end of the next new film 90. Finally, the film 90 is cut to a predetermined length to complete the retardation plate 100 shown in FIGS.

上述したように、本実施形態による位相差板製造方法及び位相差板製造装置10では、フィルム90を露光領域80の長手方向の長さよりも長く、切れ目なくフィルム90を露光する。これにより、本実施形態では、一般的な液晶表示装置に設けられる数cm以上の位相差板100よりも長手方向に短い露光領域80で露光して、露光領域80よりも長い位相差板100を製造できる。この結果、偏光光源34、マスク38、露光領域80を長手方向に小さくすることができるので、位相差板製造装置10を小型化することができる。   As described above, in the phase difference plate manufacturing method and the phase difference plate manufacturing apparatus 10 according to the present embodiment, the film 90 is longer than the length of the exposure region 80 in the longitudinal direction, and the film 90 is exposed without a break. Thereby, in this embodiment, exposure is performed in the exposure region 80 shorter in the longitudinal direction than the retardation plate 100 of several centimeters or more provided in a general liquid crystal display device, and the retardation plate 100 longer than the exposure region 80 is formed. Can be manufactured. As a result, since the polarized light source 34, the mask 38, and the exposure region 80 can be reduced in the longitudinal direction, the retardation plate manufacturing apparatus 10 can be reduced in size.

本実施形態では、フィルム90を露光領域80の長手方向の長さよりも長く、切れ目なくフィルム90を露光するので、パターンが露光されていないフィルム90の領域を低減できる。特に、フィルム90の露光が開始された後は、フィルム90の供給が終了するまで、フィルム90の露光が継続される。従って、フィルム90の露光が開始されると、フィルム90には切り目なくパターンが形成される。これにより、フィルム90にパターンが形成されていない領域を更に低減できる。この結果、フィルム90から製造できる位相差板100の枚数を増加させて、歩留りを向上させることができる。また、連続してパターンを形成することにより、間欠露光の場合のように、隣接するパターンの間隔調整の制御も削除できる。   In this embodiment, since the film 90 is longer than the length of the exposure region 80 in the longitudinal direction and the film 90 is exposed without a break, the region of the film 90 where the pattern is not exposed can be reduced. In particular, after the exposure of the film 90 is started, the exposure of the film 90 is continued until the supply of the film 90 is completed. Therefore, when the exposure of the film 90 is started, a pattern is formed on the film 90 without a cut. Thereby, the area | region where the pattern is not formed in the film 90 can further be reduced. As a result, the number of retardation plates 100 that can be manufactured from the film 90 can be increased, and the yield can be improved. Further, by forming the pattern continuously, it is possible to delete the control for adjusting the interval between adjacent patterns as in the case of intermittent exposure.

本実施形態では、フィルム90を搬送しつつ、連続して露光している。換言すれば、本実施形態では、フィルム90の搬送及び露光を同時にすることによって、搬送時間または露光時間の一方を省略していることになる。これにより、フィルム90が搬送されていない時間及び露光されていない時間を低減することができるので、フィルム90の製造時間を低減できる。また、フィルム90の搬送が停止している時間を削減することによって、フィルム90の加速及び減速に必要な時間を低減できる。更に、フィルム90の搬送を一定の速度で維持すればよいので、フィルム90の搬送の制御を簡略化することができる。   In this embodiment, the film 90 is continuously exposed while being conveyed. In other words, in the present embodiment, one of the transport time and the exposure time is omitted by simultaneously transporting and exposing the film 90. Thereby, since the time when the film 90 is not conveyed and the time when it is not exposed can be reduced, the manufacturing time of the film 90 can be reduced. Moreover, the time required for acceleration and deceleration of the film 90 can be reduced by reducing the time during which the conveyance of the film 90 is stopped. Furthermore, since the conveyance of the film 90 has only to be maintained at a constant speed, the control of the conveyance of the film 90 can be simplified.

本実施形態では、一般的な液晶表示装置に設けられる数cm以上の位相差板100と比較して、長手方向に極めて短い上流側透過領域62及び下流側透過領域66を有するマスク38によってフィルム90を露光している。これにより、上流側偏光出力部50及び下流側偏光出力部52から出力される光を小さい領域に集中させて露光することになるので、短い時間でフィルム90を露光することができる。これにより、本実施形態は、更に、製造時間を低減できる。また、上流側偏光出力部50及び下流側偏光出力部52の出力を小さくすることができるので、設備コストを低減できる。   In the present embodiment, the film 90 is formed by a mask 38 having an upstream transmission region 62 and a downstream transmission region 66 that are extremely short in the longitudinal direction as compared to the retardation plate 100 of several centimeters or more provided in a general liquid crystal display device. Is exposed. Accordingly, the light output from the upstream side polarization output unit 50 and the downstream side polarization output unit 52 is concentrated and exposed in a small area, so that the film 90 can be exposed in a short time. Thereby, this embodiment can further reduce manufacturing time. Moreover, since the output of the upstream side polarization output part 50 and the downstream side polarization output part 52 can be made small, equipment cost can be reduced.

本実施形態では、フィルム90の長手方向に連続してパターンを露光している。これにより、マスク38の上流側透過領域62または下流側透過領域66の一部に異物が付着しても、幅方向の同じ位置であって、長手方向の位置が異なる異物が付着していない領域の上流側透過領域62または下流側透過領域66を透過した偏光によって、フィルム90の当該領域が露光される。これにより、異物が付着した領域であっても、異物の下方を通過するフィルム90の領域が露光されるので、異物の影響を低減して、歩留りを向上できる。例えば、長手方向の長さが30mmの上流側透過領域62に、長手方向の長さが1mmの異物が付着した場合、フィルム90を停止して露光した場合に比べて、異物の影響を1/30に抑えることができる。   In this embodiment, the pattern is exposed continuously in the longitudinal direction of the film 90. As a result, even if foreign matter adheres to a part of the upstream transmission region 62 or the downstream transmission region 66 of the mask 38, the region is the same position in the width direction and does not have foreign matters attached in different positions in the longitudinal direction. The area of the film 90 is exposed by the polarized light that has passed through the upstream transmission area 62 or the downstream transmission area 66 of the film 90. Thereby, even if it is an area | region to which the foreign material adhered, since the area | region of the film 90 which passes under the foreign material is exposed, the influence of a foreign material can be reduced and a yield can be improved. For example, when a foreign matter having a length of 1 mm adheres to the upstream transmission region 62 having a length in the longitudinal direction of 30 mm, the influence of the foreign matter is reduced as compared with the case where the film 90 is stopped and exposed. 30.

本実施形態では、第1露光領域81、第2露光領域82、並びに、マスク38を長手方向に短くすることができるので、上流側張力ロール44と下流側張力ロール46との間の距離を短くできる。これにより、上流側張力ロール44と下流側張力ロール46との間のフィルム90に長手方向の張力を十分に付与して、当該個所のフィルム90の弛みを低減できる。この結果、上流側張力ロール44と下流側張力ロール46との間のフィルム90を支持するためのステージを省略することができる。また、上流側張力ロール44は、上流側透過領域62よりも上流側に配置され、下流側張力ロール46は、下流側透過領域66よりも下流側に配置されている。これにより、偏光光源34から出力されて、フィルム90を透過した偏光が、ステージ、または、上流側張力ロール44及び下流側張力ロール46に反射されることを低減できる。このため、反射光によるフィルム90の不要な露光を低減でき、位相差板100の品質を向上させることができる。   In the present embodiment, since the first exposure area 81, the second exposure area 82, and the mask 38 can be shortened in the longitudinal direction, the distance between the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46 is shortened. it can. Thereby, the tension | tensile_strength of the longitudinal direction can fully be provided to the film 90 between the upstream tension | tensile_strength roll 44 and the downstream tension | tensile_strength roll 46, and the slack of the film 90 of the said part can be reduced. As a result, the stage for supporting the film 90 between the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46 can be omitted. Further, the upstream tension roll 44 is disposed on the upstream side of the upstream transmission region 62, and the downstream tension roll 46 is disposed on the downstream side of the downstream transmission region 66. Thereby, it can reduce that the polarized light which was output from the polarized light source 34 and permeate | transmitted the film 90 is reflected by the stage or the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46. FIG. For this reason, the unnecessary exposure of the film 90 by reflected light can be reduced, and the quality of the phase difference plate 100 can be improved.

本実施形態では、フィルム90の長手方向に連続してパターンが露光されるので、フィルム90の切断個所を変更することにより、完成品の位相差板100の長手方向の長さを自由に変更することができる。この結果、本実施形態は、位相差板100の長手方向の自由度を向上させることができる。   In this embodiment, since the pattern is continuously exposed in the longitudinal direction of the film 90, the longitudinal length of the retardation film 100 of the finished product can be freely changed by changing the cutting position of the film 90. be able to. As a result, the present embodiment can improve the degree of freedom in the longitudinal direction of the phase difference plate 100.

本実施形態では、上流側張力ロール44及び下流側張力ロール46が、フィルム90の上下面のうち、配向膜120が塗布されていない下面と接触している。これにより、フィルム90に塗布された配向膜120のロール接触による配向不良を回避できる。更に、上流側エア吐出部32及び下流側エア吐出部42から吐出されるエアによって、配向膜120が形成されたフィルム90の上面を押圧して、フィルム90に張力を付与している。即ち、本実施形態は、配向膜120が形成されたフィルム90の上面に直接接触することなく、フィルム90に張力を付与することができる。   In the present embodiment, the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46 are in contact with the lower surface of the film 90 where the alignment film 120 is not applied. Thereby, the alignment defect by the roll contact of the alignment film 120 apply | coated to the film 90 can be avoided. Further, the air discharged from the upstream air discharge unit 32 and the downstream air discharge unit 42 presses the upper surface of the film 90 on which the alignment film 120 is formed, thereby applying tension to the film 90. That is, this embodiment can apply tension to the film 90 without directly contacting the upper surface of the film 90 on which the alignment film 120 is formed.

次に、上述した位相差板100の製造時間の短縮について、具体的に説明する。まず、本実施形態及び比較形態の共通条件について説明する。フィルム90を露光するために必要な単位面積当たりのエネルギーは、20mJ/cmである。フィルム90を露光するために使用した偏光光源34から出力される紫外線照射の単位面積当たりの強度は、120mW/cmである。フィルム90の搬送速度は、10m/分である。尚、ここでいう搬送速度は、フィルム90が一定速度になった状態での搬送速度である。完成品の1枚の位相差板100の長手方向の長さは、1.1mである。 Next, shortening of the manufacturing time of the retardation plate 100 described above will be specifically described. First, the common conditions of this embodiment and a comparison form are demonstrated. The energy per unit area necessary for exposing the film 90 is 20 mJ / cm 2 . The intensity per unit area of the ultraviolet irradiation output from the polarized light source 34 used to expose the film 90 is 120 mW / cm 2 . The conveyance speed of the film 90 is 10 m / min. The transport speed here is a transport speed in a state where the film 90 is at a constant speed. The length of the completed retardation plate 100 in the longitudinal direction is 1.1 m.

上述の条件によって、本実施形態を実施した場合、1枚の位相差板100を露光するために必要な時間は、
(1枚の位相差板の長さ[m])/(搬送速度[m/分])=1.1/10=0.11[分]
となる。尚、本実施形態では、露光と搬送を同時に実行するので、位相差板100の1枚の搬送に要する時間のみを考慮すればよいので、本実施形態が1枚の位相差板100を露光するために必要な時間は、0.11分、即ち、6.6秒となる。
When this embodiment is implemented under the above-described conditions, the time required for exposing one retardation plate 100 is:
(Length of one retardation plate [m]) / (Conveying speed [m / min]) = 1.1 / 10 = 0.11 [min]
It becomes. In this embodiment, since exposure and conveyance are performed simultaneously, it is only necessary to consider the time required to convey one phase difference plate 100. Therefore, this embodiment exposes one phase difference plate 100. The time required for this is 0.11 minutes, ie 6.6 seconds.

一方、比較形態は、露光と搬送とを別々に実行する間欠露光方法である。従って、搬送に必要な時間と、露光に必要な時間とを別々に考慮する必要がある。まず、搬送に必要な時間は、加速及び減速に必要な時間がそれぞれ1.0秒、位相差板100の1枚分を搬送するための時間が、
(定速部分における位相差板の長さ[m])/(搬送速度[m/分])=0.934/10=0.0934[分]=5.6[秒]
である。従って、比較形態において、定速部分において必要な時間は5.6秒、更に、加速及び減速に必要な時間をそれぞれ1秒加えることとなる。この結果、搬送に必要な時間は、7.6秒となる。
On the other hand, the comparative form is an intermittent exposure method in which exposure and conveyance are executed separately. Therefore, it is necessary to consider separately the time required for conveyance and the time required for exposure. First, the time required for conveyance is 1.0 second for each time required for acceleration and deceleration, and the time for conveying one sheet of the phase difference plate 100,
(Length of retardation plate at constant speed [m]) / (Conveying speed [m / min]) = 0.934 / 10 = 0.0934 [min] = 5.6 [sec]
It is. Therefore, in the comparative embodiment, the time required for the constant speed portion is 5.6 seconds, and further, the time required for acceleration and deceleration is added by 1 second. As a result, the time required for conveyance is 7.6 seconds.

次に、比較形態における露光に必要な時間は、以下の通りである。まず、上下方向におけるマスクとフィルムとの間隔調整を含む露光ギャップの調整に必要な時間が、2.0秒である。次に、第1偏光による露光には、シャッタを開ける時間の0.5秒、第1偏光による露光時間の0.2秒、シャッタを閉じる時間の0.5秒の和である1.2秒が必要となる。第1偏光用のマスクと第2偏光用のマスクを移動するために必要な時間が、2.0秒である。第2偏光による露光には、第1偏光による露光と同様の1.2秒が必要となる。これらの合計から6.4秒の時間が露光に必要な時間となる。従って、比較形態では、1枚の位相差板100を露光するために必要な時間は、14秒となる。   Next, the time required for exposure in the comparative mode is as follows. First, the time required for adjusting the exposure gap including adjusting the gap between the mask and the film in the vertical direction is 2.0 seconds. Next, the exposure with the first polarized light is 1.2 seconds, which is the sum of 0.5 second of the time for opening the shutter, 0.2 second of the exposure time for the first polarized light, and 0.5 second of the time for closing the shutter. Is required. The time required to move the mask for the first polarization and the mask for the second polarization is 2.0 seconds. The exposure with the second polarized light requires 1.2 seconds similar to the exposure with the first polarized light. From these totals, a time of 6.4 seconds is required for exposure. Therefore, in the comparative embodiment, the time required for exposing one retardation plate 100 is 14 seconds.

以上より、本実施形態では、1枚の位相差板100を露光するために必要な時間は6.6秒であり、比較形態では、1枚の位相差板100を露光するために必要な時間は14秒である。これらから明らかなように、比較形態によって1枚の位相差板100を製造する時間で、本実施形態は2.1枚の位相差板100を製造することができる。   As described above, in the present embodiment, the time required for exposing one retardation plate 100 is 6.6 seconds, and in the comparative embodiment, the time required for exposing one retardation plate 100. Is 14 seconds. As is clear from these, in the present embodiment, 2.1 phase difference plates 100 can be manufactured in the time for manufacturing one phase difference plate 100 according to the comparative form.

図8は、別の実施形態による一対の張力ロールの斜視図である。図9は、上流側張力ロールの側面図である。図8及び図9に示すように、上流側張力ロール144は、幅方向の中央部に凹部が形成されたコンケーブロールである。例えば、上流側張力ロール144の端部の半径は、上流側張力ロール144の中央部の半径より約100μm程度大きい。このような上流側張力ロール144として、端部の直径が120.2mm、中央部の直径が120mmを例としてあげることができる。これにより、上流側張力ロール144の両端部の近傍の周速度は、上流側張力ロール144の中央部の近傍の周速度よりも速い。従って、幅方向において、フィルム90の両端部は、上流側張力ロール144の両端部によって、外側に引っ張られる。この結果、フィルム90は、幅方向における弛みが低減された状態で、偏光光源34及びマスク38の下方を通過するので、露光されたパターンの歪み等を低減できる。   FIG. 8 is a perspective view of a pair of tension rolls according to another embodiment. FIG. 9 is a side view of the upstream tension roll. As shown in FIGS. 8 and 9, the upstream tension roll 144 is a concave roll having a recess formed in the center in the width direction. For example, the radius of the end portion of the upstream tension roll 144 is about 100 μm larger than the radius of the central portion of the upstream tension roll 144. An example of such an upstream tension roll 144 is that the end has a diameter of 120.2 mm and the center has a diameter of 120 mm. Accordingly, the peripheral speed in the vicinity of both ends of the upstream tension roll 144 is faster than the peripheral speed in the vicinity of the central portion of the upstream tension roll 144. Therefore, both ends of the film 90 are pulled outward by both ends of the upstream tension roll 144 in the width direction. As a result, the film 90 passes under the polarized light source 34 and the mask 38 in a state in which the slackness in the width direction is reduced, so that distortion or the like of the exposed pattern can be reduced.

また、上流側張力ロール144に円柱状のロールを適用して、下流側張力ロール46にコンケーブロールを適用してもよい。更に、上流側張力ロール144及び下流側張力ロール46にコンケーブロールを適用してもよい。尚、上流側張力ロール144及び下流側張力ロール46のいずれか一方にコンケーブロールを適用する場合、上流側張力ロール144にコンケーブロールを適用することが好ましい。これは、幅方向の弛みを低減した状態で、フィルム90をマスク38の下方へ搬送できるためである。   Alternatively, a cylindrical roll may be applied to the upstream tension roll 144 and a concave roll may be applied to the downstream tension roll 46. Further, a concave roll may be applied to the upstream tension roll 144 and the downstream tension roll 46. In addition, when applying a concave roll to any one of the upstream tension roll 144 and the downstream tension roll 46, it is preferable to apply the concave roll to the upstream tension roll 144. This is because the film 90 can be conveyed below the mask 38 in a state in which the slackness in the width direction is reduced.

図10は、別の実施形態によるマスクの底面図である。図10の透過領域内に示す矢印は、各透過領域を透過する偏光の偏光方向の一例である。図10に示すように、本実施形態では、マスク138は、光を透過するマスク基材156と、マスク基材156に形成された遮光層158と有する。遮光層158には、第1偏光を透過する第1透過領域162及び第1偏光と交差する偏光方向を有する第2偏光を透過する第2透過領域166として機能する開口が形成されている。第1透過領域162と第2透過領域166とが長手方向及び搬送方向の同じ位置に配置されている。換言すれば、第1透過領域162と第2透過領域166とが、幅方向に沿って、一列に配列されている。   FIG. 10 is a bottom view of a mask according to another embodiment. The arrows shown in the transmission regions in FIG. 10 are examples of the polarization direction of polarized light that passes through each transmission region. As shown in FIG. 10, in the present embodiment, the mask 138 includes a mask base material 156 that transmits light, and a light shielding layer 158 formed on the mask base material 156. In the light shielding layer 158, an opening that functions as a first transmission region 162 that transmits the first polarized light and a second transmission region 166 that transmits the second polarized light having a polarization direction intersecting the first polarization is formed. The first transmission region 162 and the second transmission region 166 are arranged at the same position in the longitudinal direction and the transport direction. In other words, the first transmission region 162 and the second transmission region 166 are arranged in a line along the width direction.

本実施形態では、偏光光源134は、第1偏光を出力する第1偏光出力部152と、第2偏光を出力する第2偏光出力部154とを有する。第1偏光出力部152は第1偏光を出力する偏光光源を有するとともに、第2偏光出力部154は第2偏光を出力する偏光光源を有する。尚、偏光でない光を出力する共通の光源を設けて、第1偏光出力部152及び第2偏光出力部154のそれぞれの出力面に第1偏光の偏光方向に平行な透過軸を有する偏光板及び第2偏光の偏光方向に平行な透過軸を有する偏光板を設けてもよい。第1偏光出力部152と第2偏光出力部154は、長手方向及び搬送方向の同じ位置に配置されている。換言すれば、第1偏光出力部152と第2偏光出力部154は、幅方向に沿って、一列に配列されている。第1偏光出力部152と第2偏光出力部154は、それぞれ第1透過領域162と第2透過領域166の上方に配置されている。   In the present embodiment, the polarization light source 134 includes a first polarization output unit 152 that outputs the first polarization, and a second polarization output unit 154 that outputs the second polarization. The first polarization output unit 152 includes a polarization light source that outputs the first polarization, and the second polarization output unit 154 includes a polarization light source that outputs the second polarization. A common light source that outputs light that is not polarized light is provided, and a polarizing plate having a transmission axis parallel to the polarization direction of the first polarized light on the output surfaces of the first polarized light output unit 152 and the second polarized light output unit 154, and A polarizing plate having a transmission axis parallel to the polarization direction of the second polarized light may be provided. The first polarization output unit 152 and the second polarization output unit 154 are disposed at the same position in the longitudinal direction and the transport direction. In other words, the first polarization output unit 152 and the second polarization output unit 154 are arranged in a line along the width direction. The first polarization output unit 152 and the second polarization output unit 154 are disposed above the first transmission region 162 and the second transmission region 166, respectively.

図11は、別の実施形態によるマスクの底面図である。図11の透過領域内に示す矢印は、各透過領域を透過する偏光の偏光方向の一例である。図11に示すように、本実施形態のマスク238は、マスク基材256と、マスク基材256の下面に形成された遮光層258とを有する。遮光層258には、上流側透過領域262及び下流側透過領域266として機能する開口部が形成されている。マスク238では、幅方向において、上流側透過領域262と下流側透過領域266との間には、間隔Aが開けられている。   FIG. 11 is a bottom view of a mask according to another embodiment. The arrows shown in the transmission regions in FIG. 11 are examples of the polarization direction of polarized light that passes through each transmission region. As shown in FIG. 11, the mask 238 of the present embodiment includes a mask base material 256 and a light shielding layer 258 formed on the lower surface of the mask base material 256. In the light shielding layer 258, openings functioning as the upstream transmission region 262 and the downstream transmission region 266 are formed. In the mask 238, an interval A is provided between the upstream transmission region 262 and the downstream transmission region 266 in the width direction.

マスク238によって露光された位相差板は、マスク238の間隔Aに形成された遮光層258によって、ランダム配向部が形成されている。ランダム配向部は、配向膜120及び液晶膜122が、露光されなかったために配向されていない領域である。ランダム配向部は、マスク238の間隙Aに対応して、図1における偏光変調部104及び偏光変調部106との間に形成されている。   In the retardation plate exposed by the mask 238, random alignment portions are formed by the light shielding layer 258 formed at the interval A of the mask 238. The random alignment portion is a region where the alignment film 120 and the liquid crystal film 122 are not aligned because they are not exposed. The random orientation portion is formed between the polarization modulation portion 104 and the polarization modulation portion 106 in FIG. 1 corresponding to the gap A of the mask 238.

図12は、別の実施形態によるマスクの底面図である。図12に示すように、本実施形態のマスク338は、マスク基材356と、マスク基材356の下面に形成された遮光層358とを有する。遮光層358には、上流側透過領域362及び下流側透過領域366として機能する開口部が形成されている。マスク338では、幅方向において、上流側透過領域362と下流側透過領域366とが重複する重複領域Bが形成されている。これにより、上流側透過領域362を透過する第1偏光と、下流側透過領域366を透過する第2偏光との両方によって、フィルム90の一部が露光される。この結果、マスク基材356の重複領域Bに対応して、図1における偏光変調部104及び偏光変調部106との間に異なる配向を有する領域が形成された位相差板が製造される。   FIG. 12 is a bottom view of a mask according to another embodiment. As shown in FIG. 12, the mask 338 of this embodiment includes a mask base material 356 and a light shielding layer 358 formed on the lower surface of the mask base material 356. In the light shielding layer 358, openings functioning as an upstream transmission region 362 and a downstream transmission region 366 are formed. In the mask 338, an overlapping region B is formed in which the upstream transmission region 362 and the downstream transmission region 366 overlap in the width direction. Accordingly, a part of the film 90 is exposed by both the first polarized light that passes through the upstream transmission region 362 and the second polarized light that passes through the downstream transmission region 366. As a result, a phase difference plate in which regions having different orientations are formed between the polarization modulation unit 104 and the polarization modulation unit 106 in FIG. 1 corresponding to the overlapping region B of the mask base material 356 is manufactured.

図13は、別の実施形態によるマスクの底面図である。図13に示すように、本実施形態のマスク438では、マスク基材が、上流側マスク基材456と、上流側マスク基材456とは別部材の下流側マスク基材556とを有する。上流側マスク基材456の下面には、上流側遮光層458が形成されている。上流側遮光層458には、上流側透過領域462として機能する複数の開口が形成されている。下流側マスク基材556の下面には、下流側遮光層558が形成されている。下流側遮光層558には、下流側透過領域566として機能する複数の開口が形成されている。   FIG. 13 is a bottom view of a mask according to another embodiment. As shown in FIG. 13, in the mask 438 of this embodiment, the mask base material has an upstream mask base material 456 and a downstream mask base material 556 that is a separate member from the upstream mask base material 456. An upstream light shielding layer 458 is formed on the lower surface of the upstream mask base 456. In the upstream light shielding layer 458, a plurality of openings functioning as the upstream transmission region 462 are formed. A downstream light shielding layer 558 is formed on the lower surface of the downstream mask substrate 556. In the downstream light shielding layer 558, a plurality of openings functioning as the downstream transmission region 566 are formed.

図14は、別の実施形態によるマスクの底面図である。図14に示すように、本実施形態のマスク638は、マスク基材656と、マスク基材656の下面に形成された遮光層658とを有する。遮光層658には、透過領域662として機能する開口部が形成されている。透過領域662は、フィルム90の長手方向と交差する幅方向に延びる矩形状に形成されている。本実施形態では、偏光を出力する偏光出力部634を備える。マスク638の透過領域662は、偏光出力部634とフィルム90との間に配置され、偏光出力部634から出力される偏光を透過する透過領域を有する。これにより、フィルム90を搬送しつつ、マスク638を介して、フィルム90を露光することにより、全面が同一方向の光学軸を有し、一方向の偏光を透過する偏光板または位相差板等を製造することができる。尚、全面が同一方向の光学軸を有し、一方向の偏光を透過する偏光板または位相差板を露光する場合、マスクを設けずに露光してもよい。   FIG. 14 is a bottom view of a mask according to another embodiment. As illustrated in FIG. 14, the mask 638 of this embodiment includes a mask base material 656 and a light shielding layer 658 formed on the lower surface of the mask base material 656. An opening functioning as a transmission region 662 is formed in the light shielding layer 658. The transmission region 662 is formed in a rectangular shape extending in the width direction intersecting with the longitudinal direction of the film 90. In the present embodiment, a polarization output unit 634 that outputs polarized light is provided. The transmission region 662 of the mask 638 is disposed between the polarization output unit 634 and the film 90 and has a transmission region that transmits the polarized light output from the polarization output unit 634. Accordingly, by exposing the film 90 through the mask 638 while transporting the film 90, the entire surface has an optical axis in the same direction, and transmits a polarizing plate or a retardation plate that transmits polarized light in one direction. Can be manufactured. When exposing a polarizing plate or a retardation plate that has optical axes in the same direction and transmits polarized light in one direction, the entire surface may be exposed without providing a mask.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。   As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。   The order of execution of each process such as operations, procedures, steps, and stages in the apparatus, system, program, and method shown in the claims, the description, and the drawings is particularly “before” or “prior to”. It should be noted that the output can be realized in any order unless the output of the previous process is used in the subsequent process. Regarding the operation flow in the claims, the description, and the drawings, even if it is described using “first”, “next”, etc. for convenience, it means that it is essential to carry out in this order. It is not a thing.

上述した実施形態の一部を変更した実施形態について説明する。上述した実施形態では、フィルム状製品の製造方法により製造されたフィルムの一例として位相差板100を例にあげたが、位相差板以外のフィルム状製品の製造方法に本発明を適用してもよい。例えば、ネガ型及びポジ型のフォトレジストを用いて製造されるフィルム状製品及びその製造方法について本発明を適用してもよい。   An embodiment in which a part of the above-described embodiment is changed will be described. In the above-described embodiment, the retardation plate 100 is taken as an example of a film manufactured by the method for manufacturing a film-like product, but the present invention may be applied to a method for manufacturing a film-like product other than the retardation plate. Good. For example, the present invention may be applied to a film-like product manufactured using negative and positive photoresists and a manufacturing method thereof.

上述した実施形態の各構成の配置、形状、個数は適宜してよい。例えば、上述の実施形態では、配向膜塗布部14、配向膜乾燥部16、液晶膜塗布部20、液晶膜配向部22、液晶膜硬化部24の配置は適宜変更してよい。一例として、配向膜塗布部14及び液晶膜塗布部20の何れかまたは全てをフィルム90の下方に配置してもよい。従って、配向膜120及び液晶膜122が、フィルム90の下面に塗布するように構成してもよい。   The arrangement, shape, and number of the components of the above-described embodiments may be appropriately determined. For example, in the above-described embodiment, the arrangement of the alignment film application unit 14, the alignment film drying unit 16, the liquid crystal film application unit 20, the liquid crystal film alignment unit 22, and the liquid crystal film curing unit 24 may be changed as appropriate. As an example, any or all of the alignment film application unit 14 and the liquid crystal film application unit 20 may be disposed below the film 90. Therefore, the alignment film 120 and the liquid crystal film 122 may be applied to the lower surface of the film 90.

上述した実施形態では、第1偏光及び第2偏光の偏光方向を互いに直交させたが、第1偏光の偏光方向と第2偏光の偏光方向の関係は、製造する位相差板100の設計によって、任意の角度に交差させることができる。これに伴って、第1偏光及び第2偏光によっては移行される配向膜120及び液晶膜122の各領域の配向方向も交差していればよく、必ずしも直交させる必要はない。   In the above-described embodiment, the polarization directions of the first polarization and the second polarization are orthogonal to each other, but the relationship between the polarization direction of the first polarization and the polarization direction of the second polarization depends on the design of the retardation plate 100 to be manufactured. It can intersect at any angle. Accordingly, the alignment directions of the regions of the alignment film 120 and the liquid crystal film 122 that are shifted depending on the first polarization and the second polarization need only intersect, and do not necessarily need to be orthogonal.

上述した実施形態では、フィルム90を搬送しつつ、露光したが、フィルム90を搬送する搬送ステップと、フィルム90を露光する露光ステップとを交互に実行してもよい。ここで、1回の搬送ステップでは、露光領域の長手方向の長さ以下、フィルム90を搬送する。   In the above-described embodiment, the film 90 is exposed while being transported. However, the transport step for transporting the film 90 and the exposure step for exposing the film 90 may be alternately performed. Here, in one transport step, the film 90 is transported by the length in the longitudinal direction of the exposure region.

上述した実施形態では、フィルム90に張力を付与するために、上流側張力ロール44と下流側張力ロール46との両側に上流側エア吐出部32及び下流側エア吐出部42を設けたが、上流側エア吐出部32及び下流側エア吐出部42の代わりにロールを設けてもよい。   In the above-described embodiment, in order to apply tension to the film 90, the upstream air discharge section 32 and the downstream air discharge section 42 are provided on both sides of the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46. A roll may be provided instead of the side air discharge part 32 and the downstream air discharge part 42.

上述した実施形態では、フィルム90を挟み、上流側張力ロール44及び下流側張力ロール46とは反対側に偏光光源34及びマスク38を配置したが、上流側張力ロール44、下流側張力ロール46、偏光光源34、及び、マスク38をフィルム90の同じ側に配置してもよい。即ち、上流側張力ロール44、下流側張力ロール46、偏光光源34、及び、マスク38をフィルム90の下側または上側に配置してもよい。これにより、偏光光源34から出力されてフィルム90を透過した偏光が、上流側張力ロール44及び下流側張力ロール46によって反射されてフィルム90を露光することを、更に、低減できる。   In the above-described embodiment, the polarizing light source 34 and the mask 38 are disposed on the opposite side of the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46 with the film 90 interposed therebetween, but the upstream tension roll 44, the downstream tension roll 46, The polarized light source 34 and the mask 38 may be disposed on the same side of the film 90. That is, the upstream tension roll 44, the downstream tension roll 46, the polarized light source 34, and the mask 38 may be disposed below or above the film 90. Thereby, it can further reduce that the polarized light output from the polarized light source 34 and transmitted through the film 90 is reflected by the upstream tension roll 44 and the downstream tension roll 46 to expose the film 90.

10 位相差板製造装置
12 送り出しロール
14 配向膜塗布部
16 配向膜乾燥部
18 露光部
20 液晶膜塗布部
22 液晶膜配向部
24 液晶膜硬化部
26 セパレートフィルム供給部
28 巻き取りロール
32 上流側エア吐出部
34 偏光光源
38 マスク
40 マスク保持部
42 下流側エア吐出部
44 上流側張力ロール
46 下流側張力ロール
50 上流側偏光出力部
51 上流側偏光出力面
52 下流側偏光出力部
53 下流側偏光出力面
56 マスク基材
58 遮光層
62 上流側透過領域
66 下流側透過領域
80 露光領域
81 第1露光領域
82 第2露光領域
90 フィルム
92 セパレートフィルム
100 位相差板
102 切断フィルム
104 偏光変調部
106 偏光変調部
110 矢印
112 矢印
114 矢印
116 矢印
120 配向膜
122 液晶膜
134 偏光光源
138 マスク
144 上流側張力ロール
152 第1偏光出力部
154 第2偏光出力部
156 マスク基材
158 遮光層
162 第1透過領域
166 第2透過領域
238 マスク
256 マスク基材
258 遮光層
262 上流側透過領域
266 下流側透過領域
338 マスク
356 マスク基材
358 遮光層
362 上流側透過領域
366 下流側透過領域
438 マスク
456 上流側マスク基材
458 上流側遮光層
462 上流側透過領域
556 下流側マスク基材
558 下流側遮光層
566 下流側透過領域
634 偏光出力部
638 マスク
656 マスク基材
658 遮光層
662 透過領域
10 Phase difference plate manufacturing equipment
12 Feeding roll
14 Alignment film application part
16 Alignment film drying section
18 Exposure part
20 Liquid crystal film application part
22 Liquid crystal film alignment part
24 Liquid crystal film curing part
26 Separate film supply section
28 Winding roll
32 Upstream air discharge section
34 Polarized light source
38 mask
40 Mask holder
42 Downstream air outlet
44 Upstream tension roll
46 Downstream tension roll
50 Upstream polarization output section
51 Upstream polarization output surface 52 Downstream polarization output section
53 Downstream polarization output surface 56 Mask base material
58 Shading layer
62 Upstream transmission area
66 Downstream transmission area
80 exposure area
81 First exposure area
82 Second exposure area
90 films
92 Separate film
100 phase difference plate
102 cutting film
104 Polarization modulator
106 Polarization modulator
110 arrow
112 arrows
114 arrows
116 arrow
120 Alignment film
122 Liquid crystal film
134 Polarized light source
138 mask
144 Upstream tension roll
152 1st polarization output part
154 Second polarization output unit
156 Mask base material
158 Light-shielding layer 162 First transmission region
166 Second transmission region
238 mask
256 mask substrate
258 shading layer
262 Upstream transmission area
266 Downstream transmission area
338 Mask 356 Mask base material
358 Shading layer
362 Upstream transmission area
366 Downstream transmission area
438 mask
456 Upstream mask base material
458 upstream light shielding layer
462 Upstream transmission area
556 downstream mask substrate
558 Downstream light shielding layer
566 Downstream transmission area
634 Polarization output section
638 mask
656 Mask base material
658 Light-shielding layer
662 Transmission area

Claims (20)

長尺状のフィルムを長手方向に搬送する搬送ステップと、
予め定められた露光領域を露光する露光装置を用いて、前記フィルムを露光する露光ステップと
を備え、
前記搬送ステップおよび前記露光ステップにおいて、前記露光装置の前記露光領域における前記長手方向の長さよりも長く、切れ目なく前記フィルムを露光するフィルム状製品の製造方法。
A transport step for transporting a long film in the longitudinal direction;
Using an exposure apparatus that exposes a predetermined exposure area, and an exposure step of exposing the film,
The manufacturing method of the film-form product which exposes the said film longer than the length of the said longitudinal direction in the said exposure area | region of the said exposure apparatus in the said conveyance step and the said exposure step, without a break.
前記露光領域は、第1偏光によって露光される第1露光領域と、前記第1偏光と偏光方向の異なる第2偏光によって露光される第2露光領域とを含み、
前記第1露光領域、及び、前記第2露光領域は、長手方向において、異なる位置に配置されている
請求項1に記載のフィルム状製品の製造方法。
The exposure area includes a first exposure area exposed by first polarized light, and a second exposure area exposed by second polarized light having a polarization direction different from that of the first polarized light,
The method for producing a film-like product according to claim 1, wherein the first exposure region and the second exposure region are arranged at different positions in the longitudinal direction.
前記露光ステップでは、
第1偏光出力部から出力されてマスクを透過した前記第1偏光、及び、前記第1偏光出力部と長手方向において異なる位置に配置された第2偏光出力部から出力されて前記マスクを透過した前記第2偏光によって、前記フィルムを露光するステップを含み、
前記マスクは、
前記第1偏光出力部と前記フィルムとの間に配置され、前記第1偏光を透過する第1透過領域と、
前記第2偏光出力部と前記フィルムとの間に配置され、前記第2偏光を透過する第2透過領域と
を有し、
前記第1透過領域、及び、前記第2透過領域は、少なくとも一部が前記長手方向と交差する幅方向において、異なる位置に配置されている
請求項2に記載のフィルム状製品の製造方法。
In the exposure step,
The first polarized light output from the first polarized light output section and transmitted through the mask, and the second polarized light output section disposed at a position different from the first polarized light output section in the longitudinal direction and transmitted through the mask. Exposing the film with the second polarized light;
The mask is
A first transmission region that is disposed between the first polarization output unit and the film and transmits the first polarization;
A second transmission region disposed between the second polarized light output section and the film and transmitting the second polarized light;
The method for producing a film-like product according to claim 2, wherein at least a part of the first transmission region and the second transmission region are arranged at different positions in the width direction intersecting the longitudinal direction.
前記露光ステップでは、
偏光出力部から出力されてマスクを透過した偏光によって、前記フィルムを露光するステップを含み、
前記マスクは、前記長手方向と交差する幅方向に延び、前記偏光出力部と前記フィルムとの間に配置され、前記偏光を透過する透過領域を有する
請求項1に記載のフィルム状製品の製造方法。
In the exposure step,
Exposing the film with polarized light output from a polarization output unit and transmitted through a mask,
The method for producing a film-like product according to claim 1, wherein the mask extends in a width direction intersecting the longitudinal direction, is disposed between the polarization output unit and the film, and has a transmission region that transmits the polarized light. .
前記露光ステップでは、前記フィルムが、前記露光領域を挟んで配置された一対の張力ロールにより与えられる張力によって支持される
請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のフィルム状製品の製造方法。
The said exposure step WHEREIN: Manufacture of the film-form product of any one of Claims 1-4 supported by the tension | tensile_strength given by a pair of tension | tensile_strength roll arrange | positioned on both sides of the said exposure area | region. Method.
前記一対の張力ロールの少なくとも一方は、長手方向と交差する幅方向の中央部に凹部が形成されたコンケーブロールである
請求項5に記載のフィルム状製品の製造方法。
The method for producing a film-like product according to claim 5, wherein at least one of the pair of tension rolls is a concave roll having a concave portion formed at a central portion in a width direction intersecting the longitudinal direction.
前記一対の張力ロールのうち、搬送方向の上流側の張力ロールが前記コンケーブロールである
請求項6に記載のフィルム状製品の製造方法。
The manufacturing method of the film-form product of Claim 6 whose tension roll of the upstream of a conveyance direction is the said concave roll among a pair of said tension rolls.
前記露光ステップでは、前記搬送ステップによる前記フィルムの搬送が実行されつつ、前記フィルムが露光される
請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載のフィルム状製品の製造方法。
The manufacturing method of the film-form product of any one of Claims 1-7 in which the said film is exposed in the said exposure step, conveying the said film by the said conveyance step.
前記露光ステップと前記搬送ステップとが交互に実行され、
前記搬送ステップでは、前記露光領域の長手方向の長さ以下、前記フィルムを搬送する
請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載のフィルム状製品の製造方法。
The exposure step and the transport step are performed alternately,
The manufacturing method of the film-form product of any one of Claims 1-7 which conveys the said film below the length of the longitudinal direction of the said exposure area | region in the said conveyance step.
長尺状のフィルムを長手方向に搬送する搬送部と、
予め定められた露光領域で前記フィルムを露光する露光部と
を備え、
前記露光領域における前記長手方向の長さよりも長く、切れ目なく前記フィルムを露光するフィルム状製品の製造装置。
A transport unit for transporting a long film in the longitudinal direction;
An exposure unit that exposes the film in a predetermined exposure region,
An apparatus for producing a film-like product, which is longer than the length in the longitudinal direction in the exposure region and exposes the film without a break.
前記露光部は、第1偏光を出力する第1偏光出力部と、前記第1偏光の偏光方向と異なる偏光方向を有する第2偏光を出力する第2偏光出力部とを有し、
前記第1偏光出力部及び前記第2偏光出力部は、長手方向において、異なる位置に配置されている
請求項10に記載のフィルム状製品の製造装置。
The exposure unit includes a first polarization output unit that outputs a first polarization, and a second polarization output unit that outputs a second polarization having a polarization direction different from the polarization direction of the first polarization,
The said 1st polarization | polarized-light output part and the said 2nd polarization | polarized-light output part are the manufacturing apparatuses of the film-form product of Claim 10 arrange | positioned in a different position in a longitudinal direction.
前記露光部は、マスクを有し、
前記マスクは、
前記第1偏光出力部と前記フィルムとの間に配置され、前記第1偏光を透過する第1透過領域と、
前記第2偏光出力部と前記フィルムとの間に配置され、前記第2偏光を透過する第2透過領域と
を有し、
前記第1透過領域、及び、前記第2透過領域は、少なくとも一部が前記長手方向と交差する幅方向において、異なる位置に配置されている
請求項11に記載のフィルム状製品の製造装置。
The exposure unit has a mask,
The mask is
A first transmission region that is disposed between the first polarization output unit and the film and transmits the first polarization;
A second transmission region disposed between the second polarized light output section and the film and transmitting the second polarized light;
The apparatus for producing a film-like product according to claim 11, wherein at least a part of the first transmission region and the second transmission region are arranged at different positions in the width direction intersecting the longitudinal direction.
前記露光部は、偏光を出力する偏光出力部と、前記偏光を透過するマスクを有し、
前記マスクは、前記長手方向と交差する幅方向に延び、前記偏光出力部と前記フィルムとの間に配置され、前記偏光を透過する透過領域を有する
請求項10に記載のフィルム状製品の製造装置。
The exposure unit has a polarization output unit that outputs polarized light, and a mask that transmits the polarized light,
The said mask extends in the width direction which cross | intersects the said longitudinal direction, is arrange | positioned between the said polarization output part and the said film, and has a transmissive area | region which permeate | transmits the said polarized light, The manufacturing apparatus of the film-form product of Claim 10 .
前記露光部は、前記露光領域を挟んで配置され、前記フィルムに張力を付与する一対の張力ロールを有する
請求項10〜13のいずれか1項に記載のフィルム状製品の製造装置。
The said exposure part is arrange | positioned on both sides of the said exposure area | region, and has a pair of tension | tensile_strength roll which provides tension | tensile_strength to the said film, The manufacturing apparatus of the film-form product of any one of Claims 10-13.
前記一対の張力ロールのうち、上流側の張力ロールは、前記長手方向と交差する幅方向の中央部に凹部が形成されたコンケーブロールである
請求項14に記載のフィルム状製品の製造装置。
The apparatus for producing a film-like product according to claim 14, wherein the upstream-side tension roll among the pair of tension rolls is a concave roll having a concave portion formed in a central portion in a width direction intersecting the longitudinal direction.
前記露光部よりも搬送方向の上流側に配置され、前記フィルムに露光材料を塗布する塗布部を更に備え、
前記一対の張力ロールは、前記フィルムの面のうち、前記露光材料が塗布されていない面を押圧する
請求項14または15に記載のフィルム状製品の製造装置。
It is arranged on the upstream side in the transport direction from the exposure part, further comprising an application part for applying an exposure material to the film,
The said pair of tension | tensile_strength roll is a manufacturing apparatus of the film-form product of Claim 14 or 15 which presses the surface where the said exposure material is not apply | coated among the surfaces of the said film.
前記搬送部による前記フィルムの搬送が継続されつつ、前記露光部によって前記フィルムが露光される
請求項10〜請求項16のいずれか1項に記載のフィルム状製品の製造装置。
The manufacturing apparatus of the film-form product of any one of Claims 10-16 in which the said film is exposed by the said exposure part, while the conveyance of the said film by the said conveyance part is continued.
長尺状のフィルムを長手方向に搬送しつつ、偏光出力部からの第1偏光及び第2偏光により前記フィルムを露光するためのマスクであって、
第1偏光を透過する第1透過領域と、
前記第1偏光と偏光方向が交差する第2偏光を透過する第2透過領域と
を備え、
前記第1透過領域、及び、前記第2透過領域は、少なくとも一部が前記長手方向と交差する幅方向において、異なる位置に配置されている
マスク。
A mask for exposing the film with the first polarized light and the second polarized light from the polarization output unit while conveying the long film in the longitudinal direction,
A first transmission region that transmits the first polarized light;
A second transmission region that transmits the first polarized light and the second polarized light whose polarization directions intersect,
The first transmissive region and the second transmissive region are masks arranged at different positions in the width direction at least partially intersecting the longitudinal direction.
前記第1透過領域、及び、前記第2透過領域は、前記フィルムの長手方向において、異なる位置に配置されている
請求項18に記載のマスク。
The mask according to claim 18, wherein the first transmission region and the second transmission region are arranged at different positions in the longitudinal direction of the film.
長尺状のフィルムを長手方向に搬送しつつ、偏光出力部からの偏光により前記フィルムを露光するためのマスクであって、
前記長手方向と交差する幅方向に延び、前記偏光出力部と前記フィルムとの間に配置され、前記偏光を透過する透過領域を有する
マスク。
A mask for exposing the film with polarized light from a polarization output unit while conveying a long film in the longitudinal direction,
A mask having a transmission region that extends in a width direction intersecting with the longitudinal direction, is disposed between the polarization output portion and the film, and transmits the polarized light.
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