JP2012152979A - 減圧チャンバ、流延膜の形成方法及び溶液製膜方法 - Google Patents

Abstract

【課題】厚みムラを防止しつつ、現状のエンドレスバンドの幅一杯に流延膜を形成する。
【解決手段】エンドレスバンド２６は、Ｙ方向におけるローラ中央部２４ｂｃに巻きかけられ、Ｙ方向におけるロール端部２４ｂｅは露出する。減圧チャンバ４７は箱状のチャンバ本体５０と外シール部材とからなる。チャンバ本体５０は、ビードのＸ方向上流側を囲い、流延面２６ａと近接するように設けられる。外シール部材は、チャンバ本体５０内のシーリング性を高めるためのものであり、外幅シール６４とからなる。外サイドシール６５は、側方遮風板５４のＸ方向全域にわたって、ロール端部２４ｂｅの周面に近接するように側方遮風板５４から突出する。
【選択図】図６

Description

本発明は、減圧チャンバ、流延膜の形成方法及び溶液製膜方法に関する。

光透過性を有する熱可塑性フィルム（以下、フィルムと称する）は、軽量であり、成形が容易であるため、光学フィルムとして多岐に利用されている。中でも、セルロースアシレートなどを用いたセルロースエステル系フィルムは、写真感光用フィルムの他、液晶表示装置の光学フィルム（偏光板保護フィルムや位相差フィルム等）として用いられている。

フィルムは、溶液製膜方法により製造される。溶液製膜方法では、フィルム形成工程とフィルム乾燥工程とを順次行う。フィルム形成工程では、ポリマーと溶剤とを含むポリマー溶液（以下、ドープと称する）から湿潤フィルムをつくる。そして、フィルム乾燥工程では、湿潤フィルムから溶剤を蒸発させてフィルムとする。

また、フィルム形成工程では、流延工程と膜加熱工程と剥取工程とが順次行われる。流延工程では、水平ロールに掛け渡され水平ロールの駆動により移動する支持体に対し、流延室内に配された流延ダイを用いて、ドープを流し、帯状の流延膜を支持体上に形成する。膜加熱工程では、流延膜の加熱により、流延膜が剥ぎ取り可能となるまで支持体上の流延膜から溶剤を蒸発させる。剥取工程では、剥ぎ取り可能となった流延膜を支持体から剥がして湿潤フィルムとする。そして、フィルム乾燥工程では、湿潤フィルムから溶剤を蒸発させてフィルムとする。

湿潤フィルムを効率よく形成するため、フィルム形成工程では、流延工程と膜加熱工程と剥取工程とを連続に行い、更にこの一連の工程を繰り返す。このため、溶液製膜方法用の支持体としては、エンドレスバンドが用いられる。エンドレスバンドは、１枚のステンレス製シート（厚さ：０．５ｍｍ〜２．５ｍｍ）の両端を連結することにより得られる。また、エンドレスバンドは、前述の膜乾燥工程において、流延膜が剥ぎ取り可能となるまでに要する時間が確保できる程度の長さが必要となる。このため、エンドレスバンドの形成部材であるステンレス製シートは、長尺（例えば、幅が約２ｍであり、長さが２０ｍ以上）のものが用いられる。

図１５に示すように、流延工程において、流出したドープは流延ダイ２０１の流出口からエンドレスバンド２０２にかけてビード２０３を形成する。ところが、ビード２０３が振動してしまうと、厚みムラが流延膜２０４に生じてしまう。この厚みムラは、流延膜２０４の幅方向にのび、長手方向に所定の間隔で並ぶように形成される。そして、このような厚みムラを有する流延膜２０４に対し、剥取工程及び乾燥工程を行っても、最終的に得られるフィルムには厚みムラが残ってしまう。こうした経緯から、フィルムの厚みムラを抑えるために、ビード２０３の振動を抑制する策が講じられている。特許文献１には、ビード２０３の振動の防止策として、減圧チャンバ２０５を用いてビードの支持体の移動方向上流側を減圧する方法が開示されている。

減圧チャンバ２０５は、流延ダイ２０１よりもエンドレスバンド２０２の移動方向上流側に設けられる。減圧チャンバ２０５は、図１５及び図１６に示すように、チャンバ本体２０５ａと外サイドシール２０５ｂと外幅シール２０５ｃとからなる。チャンバ本体２０５ａは、ビード２０３の移動方向上流側を囲むように設けられる。外サイドシール２０５ｂ及び外幅シール２０５ｃはチャンバ本体２０５ａに取り付けられる。チャンバ本体２０５ａをエンドレスバンド２０２の流延面２０２ａに近接して配することにより、チャンバ本体２０５ａのシーリング効果が生まれる。また、外サイドシール２０５ｂのエンドレスバンド２０２側の先端にラビリンス溝２０５ｘ（図１７参照）を設けて、チャンバ本体２０５ａのシーリング効果を向上させている。

特開２００８−２４６７２１号公報

近年、液晶表示装置の大型化に伴い、光学フィルムの大型化が求められている。しかしながら、従来に比べて大型の光学フィルムをつくるためには、流延ダイやエンドレスバンドを幅方向に大きくする（以下、幅広化と称する）必要がある。１枚のステンレス製シートを用いて幅広のエンドレスバンドをつくるためには、ステンレス製シートの幅広化が必要となる。しかしながら、長尺であり、厚みが均一であることが求められるステンレス製シートの幅広化は、現実的に難しい。そこで、現状のエンドレスバンドにおいて、流延するエリアをエンドレスバンドの幅一杯に設定する必要が生じている。

ところで、流延工程と膜加熱工程と剥取工程とを順次繰り返す場合、剥取工程から次の流延工程までの間、先に行った膜乾燥工程において加熱されたエンドレスバンドを、流延工程に適した温度範囲となるまで冷却する必要がある。ところが、１つのエンドレスバンドにおいて、加熱により膨張した部分と冷却により収縮した部分とが存在する。このような状態のエンドレスバンドが、水平ロールの駆動により循環移動すると蛇行が生じやすくなる。

そして、図１８に示すように、水平ロール２０６に掛け渡されたエンドレスバンド２０２の蛇行により、エンドレスバンド２０２の端２０２ｅが外サイドシール２０５ｂよりも幅方向内側に位置することとなると、外サイドシール２０５ｂによるシーリング効果が小さくなるため、チャンバ本体２０５ａ内における空気の圧力変動を生ずることとなる。チャンバ本体２０５ａ内における空気の圧力変動は、ビード２０３の振動を誘発する。このため、エンドレスバンド２０２の端２０２ｅが外サイドシール２０５ｂよりも幅方向内側に位置することとなれば、フィルムの厚みムラが問題となる。このようなエンドレスバンドの蛇行を考慮すると、現状のエンドレスバンドの幅一杯にドープを流延するエリアを設定することは困難となる。

本発明はこのような課題を解決するものであり、減圧チャンバ、流延膜の形成方法及び溶液製膜方法を提供することを目的とする。

本発明は、水平ロールに掛け渡された状態で移動するエンドレスバンドのうち前記水平ロールにより支持された部分へ向けて流延ダイを用いてドープを流出し、前記ドープからなる帯状の前記流延膜を前記エンドレスバンド上に形成する際、前記流出したドープによって前記流延ダイから前記エンドレスバンドにかけて形成されるビードよりも前記エンドレスバンドの移動方向上流側を減圧する減圧チャンバにおいて、前記ビードよりも前記移動方向上流側にて前記エンドレスバンドの幅方向に延設される上流側遮風板及び前記上流側遮風板から前記ビードの両外側にかけて設けられる１対の側方遮風板を備え、前記ビードの前記エンドレスバンドの移動方向上流側を囲むチャンバ本体と、前記エンドレスバンドの幅方向両外側に露出した前記水平ロールの周面に近接するように前記側方遮風板から突出する外シール部材とを有することを特徴とする。

また、本発明は、水平ロールに掛け渡された状態で移動するエンドレスバンドのうち前記水平ロールに支持された部分へ向けて流延ダイを用いてドープを流出し、前記ドープからなる帯状の前記流延膜を前記エンドレスバンドの表面上に形成する際、前記流出したドープによって前記流延ダイから前記エンドレスバンドにかけて形成されるビードよりも前記エンドレスバンドの移動方向上流側を減圧する減圧チャンバにおいて、前記ビードよりも前記移動方向上流側にて前記エンドレスバンドの幅方向に延設される上流側遮風板及び前記上流側遮風板から前記ビードの両外側にかけて設けられる１対の側方遮風板を備え、前記ビードの前記エンドレスバンドの移動方向上流側を囲むチャンバ本体と、前記側方遮風板から突出して前記エンドレスバンドの表面に近接するように設けられる外シール部材とを有し、前記外シール部材の突端には、前記エンドレスバンドの表面に向かって突設し前記エンドレスバンドの幅方向端側から順次並べられた第１〜２凸条部と前記凸条の間に形成された溝部とからなるラビリンス溝を備え、蛇行状態の前記エンドレスバンドの端よりも前記第１凸条部の先端が前記幅方向内側に位置するように、前記外シール部材が配されたことを特徴とすることを特徴とする。

前記エンドレスバンドは前記水平ロールに巻き掛けられたことが好ましい。また、前記エンドレスバンドは、前記流延膜が前記エンドレスバンド上に形成される流延エリアと、前記エンドレスバンド上の流延膜を加熱する加熱エリアと、前記流延膜が剥離された後の前記エンドレスバンドを冷却する冷却エリアとを順次循環移動することが好ましい。

本発明の流延膜の形成方法は、上記の減圧チャンバを用いて、前記流延膜を形成することを特徴とする。

本発明の溶液製膜方法は、上記の流延膜の形成方法の後に、前記流延膜を前記エンドレスバンドから剥ぎ取って湿潤フィルムとする剥取工程と、前記湿潤フィルムから溶剤を蒸発させる乾燥工程とを順次行うことを特徴とする。

本発明によれば、チャンバ本体からエンドレスバンド側に突出する外シール部材を、蛇行状態のエンドレスバンドの端よりも幅方向内側となるような位置に設けたため、エンドレスバンドが蛇行しても、チャンバ本体のシーリング効果は変動しない。このように、本発明によれば、エンドレスバンドの幅一杯にドープを流延するエリアを設定しても、エンドレスバンドの蛇行に起因するフィルムの厚みムラの発生を防止することができる。したがって、本発明によれば、幅広のフィルムを効率よく製造することができる。

溶液製膜設備の概要を示す説明図である。 ケーシングの概要を示す部分断面図である。 水平ロールに巻き掛けられたエンドレスバンドの概要を示す斜視図である。 第１の流延室の概要を示すケーシングの部分断面図である。 第１の流延室の概要を示す斜視図である。 第１の減圧チャンバの概要を示す斜視図である。 天面側からみたときの減圧チャンバの概要を示す斜視図である。 チャンバ本体に設けられた外サイドシール及び外幅シールの概要を示す斜視図である。 チャンバ本体に設けられた外サイドシールの概要を示すＩＸ−ＩＸ線断面図である。 チャンバ本体に設けられた外サイドシールの概要を示すＸ−Ｘ線断面図である。 第２の減圧チャンバの概要を示す斜視図である。 第３の減圧チャンバの概要を示す斜視図である。 第４の減圧チャンバの概要を示す斜視図である。 エンドレスバンドの端が、外サイドシールよりも幅方向内側に位置したときの概要を示す断面図である。 流延工程にて用いられる流延ダイ及び従来の減圧チャンバの概要を示す側面図である。 従来の減圧チャンバの概要を示す平面図である。 従来の減圧チャンバに設けられた外サイドシールの概要を示す説明図である。 従来の減圧チャンバに設けられた外サイドシールの概要を示す説明図である。

（溶液製膜設備）
図１に示すように、溶液製膜設備１０は、ドープ１２から湿潤フィルム１３をつくる流延装置１５と、湿潤フィルム１３の乾燥によりフィルム１６を得るクリップテンタ１７と、湿潤フィルム１３の乾燥を行う乾燥装置１８と、フィルム１６を巻き芯に巻き取る巻取装置１９とを有する。

（流延装置）
図１及び図２に示すように、流延装置１５は、ケーシング２３と、ケーシング２３内にて略水平に並べられた水平ロール２４、２５とを有する。水平ロール２４は、駆動軸２４ａと、駆動軸２４ａに軸着されたロール本体２４ｂとからなる。水平ロール２５は、駆動軸２５ａと、駆動軸２５ａに軸着されたロール本体２５ｂとからなる。水平ロール２４、２５には環状のエンドレスバンド２６が巻きかけられる。エンドレスバンド２６は、帯状のシート材の両端を連結することにより得られる。

駆動軸２４ａは、ロール駆動用モータ２７と接続する。制御部２８は、ロール駆動用モータ２７を制御して、水平ロール２４を所定の速度で回転させる。エンドレスバンド２６は、水平ロール２４の回転に伴い所定の方向へ循環移動し、水平ロール２５は、エンドレスバンド２６の移動に従って回転する。以下、エンドレスバンド２６の移動方向をＸ方向と称する。

エンドレスバンド２６の表面（以下、流延面と称する）２６ａの移動速度Ｖは以上２００ｍ／分以下であることが好ましい。移動速度Ｖが２００ｍ／分を超えると、ビードを安定して形成することが困難となる。移動速度Ｖの下限値は、目標とするフィルムの生産性を考慮すればよい。移動速度Ｖの下限値は、例えば、１０ｍ／分以上である。

図３に示すように、エンドレスバンド２６の幅方向（以下、Ｙ方向と称する）において、ローラ本体２４ｂはエンドレスバンド２６よりも長い。エンドレスバンド２６は、Ｙ方向におけるローラ中央部２４ｂｃに巻きかけられ、Ｙ方向における両ロール端部２４ｂｅは露出する。

エンドレスバンド２６は、ステンレス製であることが好ましく、十分な耐腐食性と強度とを有するＳＵＳ３１６製であることがより好ましい。エンドレスバンド２６の幅は、例えば、１８００ｍｍ以上２４００ｍｍ以下であることが好ましい。エンドレスバンド２６の長さは、例えば、２０ｍ以上２００ｍ以下であることが好ましく、エンドレスバンド２６の厚みは、例えば、０．５ｍｍ以上〜２．５ｍｍ以下であることが好ましい。なお、エンドレスバンド２６の厚みムラは、全体の厚みに対して０．５％以下のものを用いることが好ましい。流延面２６ａは、研磨されていることが好ましく、流延面２６ａの表面粗さは０．０５μｍ以下であることが好ましい。

（シール部材）
図２及び図４に示すように、ケーシング２３内には、Ｘ方向上流側から下流側に向かって、第１〜第３シール部材３１〜３３が順次配される。第１〜第３シール部材３１〜３３により、ケーシング２３内は、Ｘ方向上流側から下流側に向かって、流延室２３ａ、乾燥室２３ｂ、及び剥取室２３ｃに仕切られる。

第１シール部材３１は、ケーシング２３内に取り付けられた遮風板３１ａと、遮風板３１ａに取り付けられたラビリンスシール３１ｂとからなる。遮風板３１ａは、流延面２６ａに対し起立した姿勢で配され、ケーシング２３内の気体の流れを遮る遮風面を有する。遮風面は、Ｘ方向と直交するものでもよいし、Ｘ方向と交差するものでもよい。遮風板３１ａは、ケーシング２３にて、Ｘ方向における一方の内壁面から突出し、エンドレスバンド２６の流延面２６ａに向かって延設される。また、遮風板３１ａは、ケーシング２３にて、Ｙ方向における一方の内壁面からＹ方向における他方の内壁面まで延びる。なお、天井から突出するように遮風板３１ａを設けても良い。ラビリンスシール３１ｂは、流延面２６ａと近接するように、遮風板３１ａの先端に設けられる。ラビリンスシール３１ｂは、エンドレスバンド２６のうち水平ロール２４に巻き掛けられた部分の流延面２６ａと近接するように設けられることが好ましい。

第２シール部材３２は、ケーシング２３内に取り付けられた遮風板３２ａと、遮風板３２ａに取り付けられたラビリンスシール３２ｂとからなる。遮風板３２ａは、ケーシング２３内の天井から突出し、エンドレスバンド２６の流延面２６ａに向かって延設される。また、遮風板３２ａは、ケーシング２３にて、Ｙ方向における一方の内壁面からＹ方向における他方の内壁面まで延びる。ラビリンスシール３２ｂは、ラビリンスシール３１ｂと同様の形状であり、流延面２６ａと近接するように遮風板３２ａの先端に設けられる。ラビリンスシール３２ｂは、エンドレスバンド２６のうち水平ロール２４に巻き掛けられた部分の流延面２６ａと近接するように設けられることが好ましい。

同様に、第３シール部材３３は、ケーシング２３内に取り付けられた遮風板３３ａと、遮風板３３ａに取り付けられたラビリンスシール３３ｂとからなる。遮風板３３ａは、ケーシング２３内の内壁面から突出し、エンドレスバンド２６の流延面２６ａに向かって延設される。ラビリンスシール３３ｂは、ラビリンスシール３１ｂと同様の形状であり、流延面２６ａと近接するように遮風板３３ａの先端に設けられる。

図４及び図５に示すように、ラビリンスシール３１ｂは、遮風板３１ａの先端に取り付けられたラビリンス本体３１ｇと、ラビリンス本体３１ｇに取り付けられたシール板３１ｈとからなる。シール板３１ｈは、エンドレスバンド２６の流延面２６ａに対し起立した姿勢で設けられる。複数のシール板３１ｈを設ける場合には、互いに離隔するようにＸ方向へ並べることが好ましい。シール板３５ｈとエンドレスバンド２６の間隔ＣＬ１は、例えば、０．５ｍｍ以上３．０ｍｍ以下である。

ラビリンスシール３２ｂは、ラビリンスシール３１ｂと同様に、ラビリンス本体３２ｇとシール板３２ｈとからなり、ラビリンスシール３３ｂはラビリンス本体３３ｇとシール板３３ｈとからなる。ラビリンス本体３２ｇ、３３ｇは、ラビリンス本体３１ｇと同様の構造であり、シール板３２ｈ、３３ｈは、シール板３１ｈと同様の構造である。

流延室２３ａにて、エンドレスバンド２６のＹ方向両側に、サイドラビリンス３６が設けられる。サイドラビリンス３６は、流延室２３ａの内壁面とエンドレスバンド２６との間における空気の移動を防ぐためものであり、流延室２３ａの内壁面から突出し、エンドレスバンド２６に向かって延設される。

流延室２３ａの気密性は、第１〜第２シール部材３１〜３２及びサイドラビリンス３６により維持される。同様に、乾燥室２３ｂの気密性は、第２〜第３シール部材３２〜３３により維持される。

流延室２３ａ内にて、エンドレスバンド２６の上方には流延ダイ４０が設けられる。流延ダイ４０は、ドープ１２を流出するドープ流出口４０ａを有し、ドープ流出口４０ａがエンドレスバンド２６と近接するように配される。流延ダイ４０は、ドープ流出口４０ａからエンドレスバンド２６に向けてドープ１２を流出する。ドープ流出口４０ａから流出し流延面２６ａに到達するまでのドープ１２は、ビード４２を形成する。流延面２６ａに到達したドープ１２は、流延面２６ａ上でＸ方向に延ばされる結果、帯状の流延膜４３を形成する。

（乾燥室）
図２に示すように、乾燥室２３ｂには、流延膜４３に所定の乾燥風を供給する第１乾燥装置５３ａ〜第４乾燥装置５３ｄが、エンドレスバンド２６の移動方向上流側から下流側に向かって、順次設けられる。第１〜４乾燥装置５３ａ〜５３ｄは、流延膜４３に対し所定の乾燥風を供給し、流延膜４３から溶剤を蒸発させる。流延膜４３における溶剤の蒸発により、流延膜４３は、剥ぎ取り可能な状態となる。

（剥取室）
剥取室２３ｃには、剥取ローラ５６が設けられる。剥取ローラ５６は、剥ぎ取り可能な状態となった流延膜４３をエンドレスバンド２６から剥ぎ取って湿潤フィルム１３とし、剥取室２３ｃに設けられた出口２３ｏから湿潤フィルム１３を送り出す。

ケーシング２３内の雰囲気に含まれる溶剤を凝縮する凝縮装置、凝縮した溶剤を回収する回収装置を、流延装置１５に設けてもよい。これにより、ケーシング２３内の雰囲気に含まれる溶剤の濃度を一定の範囲に保つことができる。

また、エンドレスバンド２６の流延面２６ａの温度を所定の値にするために、水平ロール２４、２５に温調装置（図示しない）が取り付けられていることが好ましい。温調装置は、制御部の制御の下、所望の温度に調節された伝熱媒体を、ロール本体２４ｂ、２５ｂ内に設けられる流路中を循環させる。この伝熱媒体の循環により、ロール本体２４ｂ、２５ｂの温度を所望の温度に保つことができる。

流延膜４３における溶剤の蒸発を促進させるため、温調装置は、周面温度が所定の範囲となるようにロール本体２５ｂを加熱する。こうして、乾燥室２３ｂ内では、各乾燥装置５３ａ〜５３ｄからの乾燥風やロール本体２５ｂとの接触により、エンドレスバンド２６の温度が上昇する。しかしながら、温度が過度に上昇した状態のエンドレスバンド２６に新たなドープ１２を流延すると発泡が生じてしまう。そこで、温調装置は、周面温度が所定の範囲となるようにロール本体２４ｂを冷却する。

ロール本体２５ａの周面温度は、３℃以上３０℃以下の範囲にすることが好ましく、５℃以上２５℃以下の範囲にすることがより好ましく、８℃以上２０℃以下の範囲にすることがさらに好ましい。ロール本体２５ｂの周面温度は、２０℃以上５０℃以下の範囲にすることが好ましく、２５℃以上４５℃以下の範囲にすることがより好ましく、３０℃以上４０℃以下の範囲にすることがさらに好ましい。

（減圧ユニット）
流延装置１５には、減圧ユニット４５が取り付けられる。図４に示すように、減圧ユニット４５は、減圧チャンバ４７と、減圧チャンバ４７内の気体を吸引するための減圧ファン４８と、減圧ファン４８及び減圧チャンバ４７とを接続する吸引管４９とを有する。

（減圧チャンバ）
図４に示すように、減圧チャンバ４７は、Ｘ方向において流延ダイ４０よりも上流側に、流延面２６ａの法線方向（以下、Ｚ方向と称する）において、流延面２６ａに近接するように配される。図６に示すように、減圧チャンバ４７は、箱状のチャンバ本体５０と、シール部材と、整流部材とからなる。

（チャンバ本体）
図６及び図７に示すように、チャンバ本体５０は、ビード４２のＸ方向上流側を囲うためのものであり、上流側遮風板５３と、１対の側方遮風板５４と、天板５５と、前面板５６ａ〜５６ｃとからなる。上流側遮風板５３は、ドープ流出口４０ａよりもＸ方向上流側にて、流延面２６ａに対して起立した姿勢で、Ｚ方向において流延面２６ａと近接するように設けられる。上流側遮風板５３は、Ｙ方向において一方のロール端部２４ｂｅから他方のロール端部２４ｂｅにかけて延設され、Ｙ方向における上流側遮風板５３の両端部５３ｅは、それぞれ、ロール端部２４ｂｅと正対する。１対の側方遮風板５４は、それぞれ、ロール端部２４ｂｅの周面に対して起立した姿勢で、上流側遮風板５３の両端部５３ｅからビード４２のＹ方向両外側に向かって延設される。１対の側方遮風板５４には、天板５５と、前面板５６ａ〜５６ｃとが掛け渡される。

こうして、上流側遮風板５３と、１対の側方遮風板５４と、天板５５と、前面板５６ａ〜５６ｃとによって囲まれる減圧ゾーンがチャンバ本体５０内に形成される。減圧ファン４８により、チャンバ本体５０内の気体が吸引されると、減圧ゾーンの気圧が下がる。こうして、ビード４２の上流側及び下流側の圧力差ΔＰを生じさせる。

（シール部材）
シール部材は、チャンバ本体５０に設けられた外シール部材と減圧ゾーンに配された内シール部材とからなる。

外シール部材は、チャンバ本体５０内のシーリング性を高めるためのものであり、外幅シール６４と外サイドシール６５とからなる。図６及び図８に示すように、外サイドシール６５は側方遮風板５４に取り付けられる。外サイドシール６５は、側方遮風板５４のＸ方向全域にわたって、ロール端部２４ｂｅの周面に近接するように側方遮風板５４から突出する。外幅シール６４は上流側遮風板５３に取り付けられる。外幅シール６４は、Ｙ方向全域にかけて、流延面２６ａに近接するように上流側遮風板５３から突出する。

図９及び図１０に示すように、外サイドシール６５は、２つの凸板６８と凹板６９とからなる。凸板６８は、ロール端部２４ｂｅの周面に対し起立する姿勢でＸ方向に延設される。凹板６９は、複数の凸板６８の間に設けられ、ロール端部２４ｂｅの周面に対し起立する姿勢でＸ方向に延設される。凸板６８のロール端部２４ｂｅ側の先端部分６８ｔは、凹板６９のロール端部２４ｂｅ側の先端部分６９ｔよりも、ロール端部２４ｂｅ側へ突出する。こうして、複数の凸板６８の間には、Ｘ方向に延びるシール溝６５ａが形成される。外幅シール６４も、外サイドシール６５と同様の構造であり、Ｙ方向に延びるシール溝を有する。

外サイドシール６５の端部、すなわち凸板６８の先端部分６８ｔは、外幅シール６４の端部６４ｔよりもロール端部２４ｂｅ側へ突出することが好ましい。また、凸板６８の先端部分６８ｔとロール端部２４ｂｅの周面との距離ＣＬｘは、エンドレスバンド２６の厚みよりも小さいほうが好ましい。更に、距離ＣＬｘは、外幅シール６４と流延面２６ａとの距離ＣＬｙと等しいことが好ましい。例えば、距離ＣＬｘは０．１ｍｍ以上３．０ｍｍ以下であり、距離ＣＬｙは０．１ｍｍ以上３．０ｍｍ以下であることが好ましい。

図６及び図７に示すように、内シール部材は、減圧ファン４８（図４参照）による吸気により、ビード４２のＹ方向両側４２ｅのＸ方向上流側へ気体が流れることを防ぎ、ビード４２のＸ方向上流側及び下流側の圧力差ΔＰの変動を抑えるためのものである。内シール部材は、内サイドシール７１を有する。

１対の内サイドシール７１はチャンバ本体５０に取り付けられる。１対の内サイドシール７１は、Ｙ方向におけるビード４２の両端４２ｅのＸ方向上流側にて、流延面２６ａに対し起立した姿勢でＸ方向に配される。内サイドシール７１のＸ方向上流端７１ｅは、ビード４２のＹ方向両端４２ｅと近接する。内サイドシール７１により、ビード４２のＸ方向上流側への気体の流入を防ぐことができる。

（整流部材）
チャンバ本体５０内に配される整流部材は、図６及び図７に示すように、整流フィン７５と、内幅シール板７６とからなる。内幅シール板７６は、１対の内サイドシール７１の間において１対の内サイドシール７１と離れてＹ方向に配され、流延面２６ａに起立した姿勢で、チャンバ本体５０に取り付けられる。内幅シール板７６により、エンドレスバンド２６の移動により発生し、流延面２６ａの近傍にてＸ方向に流れる風を遮り、ビード４２の振動を抑えることができる。整流フィン７５は内幅シール板７６のＹ方向両端部に設けられる。整流フィン７５は内幅シール板７６からＸ方向下流側に向かい、ビード４２ｂに近接するように延設される。整流フィン７５を複数設ける場合には、Ｙ方向に離隔して並べることが好ましい。

図１に示すように、流延装置１５とクリップテンタ１７との間の渡り部８１には、湿潤フィルム３５を支持する支持ローラ８２が複数並べられている。支持ローラ８２は、図示しないモータにより、軸を中心に回転する。支持ローラ８２は、流延装置１５から送り出された湿潤フィルム３５を支持して、クリップテンタ１７へ案内する。なお、図１では、渡り部８１に２つの支持ローラ８２を並べた場合を示しているが、本発明はこれに限られず、渡り部８１に１つ、または３つ以上の支持ローラ８２を並べてもよい。また、支持ローラ８２は、フリーローラでもよい。

クリップテンタ１７は、湿潤フィルム１３の幅方向両側縁部を把持する多数のクリップを有し、このクリップが延伸軌道上を移動する。クリップテンタ１７では、クリップにより移動する湿潤フィルム１３に対し乾燥風が送られ、湿潤フィルム１３には、幅方向への延伸処理とともに乾燥処理が施される。

クリップテンタ１７と乾燥装置１８との間には耳切装置８４が設けられている。耳切装置８４に送り出されたフィルム１６の幅方向の両端は、クリップによって形成された把持跡が形成されている。耳切装置８４は、この把持跡を有する両端部分を切り離す。この切り離された部分は、送風によりカットブロワ（図示しない）及びクラッシャ（図示しない）へ順次に送られて、細かく切断され、ドープ等の原料として再利用される。

乾燥装置１８は、フィルム１６の搬送路を備えるケーシングと、フィルム１６の搬送路を形成する複数のローラ１８ａと、ケーシング内の雰囲気の温度や湿度を調節する空調機（図示しない）とからなる。ケーシング内に導入されたフィルム１６は、複数のローラ１８ａに巻き掛けられながら搬送される。この雰囲気の温度や湿度の調節により、ケーシング内を搬送されるフィルム１６から残留した溶剤が蒸発する。更に、乾燥装置１８に、フィルム１６から蒸発した溶剤を吸着により回収する吸着回収装置が接続される。

乾燥装置１８及び巻取装置１９の間には、上流側から順に、冷却室８５ａ、除電バー（図示しない）、ナーリング付与ローラ８５ｂ、及び耳切装置（図示しない）が設けられる。冷却室８５ａは、フィルム１６の温度が略室温となるまで、フィルム１６を冷却する。除電バーは、冷却室１６から送り出され、帯電したフィルム１６から電気を除く除電処理を行う。ナーリング付与ローラ８５ｂは、フィルム１６の幅方向両端に巻き取り用のナーリングを付与する。耳切装置は、切断後のフィルム１６の幅方向両端にナーリングが残るように、フィルム１６の幅方向両端を切断する。

巻取装置１９は、プレスローラ１９ａと巻き芯１９ｂを有する。巻取装置１９に送られたフィルム１６は、プレスローラ１９ａによって押し付けられながら巻き芯１９ｂに巻き取られ、ロール状となる。

次に、本発明の作用を説明する。図２に示すように、第１〜第３シール部材３１〜３３により、ケーシング２３内には、気密性を有する各２３ａ〜２３ｂが形成される。エンドレスバンド２６は、各２３ａ〜２３ｃを循環移動する。

流延室２３ａでは、流延ダイ４０が、ドープ流出口４０ａからドープ１２を連続的に流出する。流出したドープ１２は、流延ダイ４０からエンドレスバンド２６にかけてビード４２（図３参照）を形成し、エンドレスバンド２６上では流延膜４３を形成する。図示しない制御部の制御の下、減圧ファン４８の回転により、減圧チャンバ４７内の気体が吸引管４９を通って吸引される。この結果、減圧ユニット４５は、ビード４２の上流側の気体を吸引する。この減圧ユニット４５によれば、ビード４２の上流側の圧力がビード４２の下流側の圧力よりも低い状態をつくることができる。ビード４２の上流側及び下流側の圧力差ΔＰは、１０Ｐａ以上２０００Ｐａ以下であることが好ましい。

乾燥室２３ｂでは、剥ぎ取り可能となるまで流延膜４３から溶剤を蒸発させる。流延膜４３から溶剤を蒸発するために、乾燥風（３０℃〜８０℃）を流延膜４３にあてる。また、水平ロール２５や乾燥風を介して、エンドレスバンド２６を加熱することで、流延膜４３における溶剤の蒸発を促進させる。

剥取室２３ｃでは、剥取ローラ５６が剥ぎ取り可能となった流延膜４３をエンドレスバンド２６から剥ぎ取って湿潤フィルム１３とする。クリップテンタ１７では、湿潤フィルム１３に延伸処理及び乾燥処理を施してフィルム１６を得る。水平ロール２４は、次の流延工程のために、エンドレスバンド２６を冷却する。

各室２３ａ〜２３ｃを順次繰り返し通過するエンドレスバンド２６には、加熱により膨張した部分と冷却により収縮する部分とが存在する。このような状態のエンドレスバンド２６を循環移動させると蛇行が生じやすくなる。本発明では、Ｙ方向の長さがエンドレスバンド２６よりも長いロール本体２４ｂを用いて、エンドレスバンド２６を中央部２４ｂｃに巻きかけ（図３参照）、露出したロール本体２４ｂのロール端部２４ｂｅに近接するように外サイドシール６５を設けた（図７参照）。このため、エンドレスバンド２６の蛇行が生じても、外サイドシール６５とロール端部２４ｂｅとの間隔は一定値で維持され、外サイドシール６５によるシーリング効果の変動は起こらない。すなわち、本発明は、エンドレスバンド２６の蛇行に起因するチャンバ本体５０内における空気の圧力変動を防ぐことができる。

更に、本発明の減圧チャンバは、外サイドシール６５によるシーリング効果をロール端部２４ｂｅの周面を用いて奏させるものである。このため、本発明によれば、外サイドシール６５によるシーリング効果をエンドレスバンド２６の流延面２６ａを用いて奏させていた従来に比べ、エンドレスバンド２６のＹ方向一杯に流延膜４３を形成することができる。

したがって、本発明によれば、１つのエンドレスバンドを用いて、幅が広く、厚みが均一のフィルム１６を製造することができる。

なお、Ｙ方向におけるエンドレスバンド２６と外サイドシール６５との間隔ＣＬｗは、エンドレスバンド２６の蛇行幅よりも小さいほうが好ましい（図９参照）。エンドレスバンド２６の蛇行幅を、後述する間隔ＣＬｓ−ｄとしてもよい。

なお、内サイドシール７１や整流フィン７５をＹ方向に移動自在に設けても良い。図１１に示すように、内幅シール７６は、固定板７６ａと可動板７６ｂとを有する。固定板７６ａは、チャンバ本体５０に取り付けられる。可動板７６ｂは、固定板７６ａのＹ方向両端に設けられ、Ｙ方向に移動自在に固定板７６ａに取り付けられる。可動板７６ｂには、整流フィン７５がＸ方向に設けられる。また、内サイドシール７１は、チャンバ本体５０にてＹ方向に移動自在に取り付けられる。内サイドシール７１や整流フィン７５は、図示しない制御部により接続する。制御部の制御の下、内サイドシール７１や整流フィン７５についてＹ方向の位置調節をすることができる。これにより、ビード４２（図４参照）のＹ方向の長さが変更となったとき、変更後のＹ方向の長さに応じて、内サイドシール７１や整流フィン７５の位置調節をすることが容易となる。

また、図１２に示すように、内幅シール７６において、一の端に設けられた整流フィン７５と、他の端に設けられた整流フィン７５との間に、遮風ブロック９０を設けても良い。遮風ブロック９０は、流延面２６ａに対し起立した遮風面を有する。遮風ブロック９０を設けることにより、エンドレスバンド２６の移動により発生し、流延面２６ａの近傍にてＸ方向に流れる風を遮り、ビード４２の振動を抑えることができる。

図１３に示すように、外サイドシール６５をエンドレスバンド２６と正対するように設けてもよい。ここで、蛇行が生じていないエンドレスバンド２６の端２６ｅの位置を基準位置Ｐｓと、蛇行が生じたときのエンドレスバンド２６の端２６ｅの位置を位置Ｐｄと、基準位置Ｐｓから位置Ｐｄまでの間隔ＣＬｓ−ｄとするときに、基準位置ＰｓからＹ方向内側に間隔ＣＬｓ−ｄ以上離れた位置にシール溝６５が配されるように、外サイドシール６５を設ければよい。これにより、エンドレスバンド２６が蛇行しても、エンドレスバンド２６と外サイドシール６５との正対状態は維持される。

上記実施形態では、外サイドシール６５に一条のシール溝６５ａを設けたが、本発明はこれに限られず、複数条のシール溝６５ａを設けてもよい。外サイドシール６５に設けられたシール溝６５ａの数が増えるに従って、得られるシーリング効果が増大する点で好ましい。ただし、複数のシール溝６５ａを有する外サイドシール６５を設けたときであっても、基準位置ＰｓからＹ方向内側に間隔ＣＬｓ−ｄ以上離れた位置に外サイドシール６５を設けることが好ましい。エンドレスバンド２６の蛇行により、外サイドシール６５のシール溝６５ａの一部がエンドレスバンド２６の端２６ｅと重なる（図１４参照）と、当該シール溝６５ａによるシーリング効果が常に得られない結果、外サイドシール６５全体としてのシーリング効果が変動してしまうためである。そこで、基準位置ＰｓからＹ方向内側に間隔ＣＬｓ−ｄ以上離れた位置に、Ｙ方向において最も外側のシール溝６５ａを設けることが好ましい。図１４の場合、外サイドシール６５のＹ方向の寸法を小さくする、外サイドシール６５の設置位置をＹ方向内側へ寄せる、または最も外側のシール溝６５ａを省く、のいずれでもよい。

上記実施形態では、図２に示すように、流延ダイ４０の設置位置を、水平ロール２４の上方としたが、本発明はこれに限られない。ラビリンスシール３１ｂ、３２ｂをエンドレスバンド２６のうち水平ロール２５に巻き掛けられた部分の流延面２６ａと近接するように設けたときには、流延ダイ４０の設置位置を水平ロール２４の上方としてもよい。また、エンドレスバンド２６を支持するサポートロールを水平ロール２４、２５の間に設け、ラビリンスシール３１ｂ、３２ｂをエンドレスバンド２６のうちサポートロールに支持された部分の流延面２６ａと近接するように設けたときには、流延ダイ４０の設置位置をサポートロールの上方としても良い。

上記実施形態では、ドープ１２からなる流延膜４３を剥ぎ取り可能な状態にするために、流延膜４３から溶剤を蒸発させたが、本発明はこれに限られず、流延膜４３を冷却させてもよい。

本発明は、ドープを流延する際に、２種類以上のドープを同時に共流延させて積層させる同時積層共流延、または、複数のドープを逐次に共流延して積層させる逐次積層共流延を行うことができる。なお、両共流延を組み合わせてもよい。同時積層共流延を行う場合には、フィードブロックを取り付けた流延ダイを用いてもよいし、マルチポケット型の流延ダイを用いてもよい。

上記実施形態では、溶液製膜方法における流延工程に用いたが、本発明はこれに限られず、塗布液を支持体に塗布して、支持体上に塗布膜を形成する塗布工程にも適用可能である。

（ポリマー）
ポリマーとしては、セルロースアシレートや環状ポリオレフィン等を用いることができる。

（セルロースアシレート）
セルロースアシレートとしては、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）が特に好ましい。そして、セルロースアシレートの中でも、セルロースの水酸基をカルボン酸でエステル化している割合、すなわち、アシル基の置換度が下記式（Ｉ）〜（ＩＩＩ）の全てを満足するものがより好ましい。なお、以下の式（Ｉ）〜（ＩＩＩ）において、Ａ及びＢは、アシル基の置換度を表わし、Ａはアセチル基の置換度、またＢは炭素原子数３〜２２のアシル基の置換度である。なお、ＴＡＣの９０重量％以上が０．１ｍｍ〜４ｍｍの粒子であることが好ましい。
（Ｉ） ２．０≦Ａ＋Ｂ≦３．０
（ＩＩ） ０≦Ａ≦３．０
（ＩＩＩ） ０≦Ｂ≦２．９

セルロースを構成するβ−１，４結合しているグルコース単位は、２位，３位及び６位に遊離の水酸基を有している。セルロースアシレートは、これらの水酸基の一部または全部を炭素数２以上のアシル基によりエステル化した重合体（ポリマー）である。アシル置換度は、２位，３位及び６位それぞれについて、セルロースの水酸基がエステル化している割合（１００％のエステル化は置換度１である）を意味する。

全アシル化置換度、即ち、ＤＳ２＋ＤＳ３＋ＤＳ６は２．００〜３．００が好ましく、より好ましくは２．２２〜２．９０であり、特に好ましくは２．４０〜２．８８である。また、ＤＳ６／（ＤＳ２＋ＤＳ３＋ＤＳ６）は０．２８以上が好ましく、より好ましくは０．３０以上、特に好ましくは０．３１〜０．３４である。ここで、ＤＳ２はグルコース単位の２位の水酸基のアシル基による置換度（以下、「２位のアシル置換度」とも言う）であり、ＤＳ３は３位の水酸基のアシル基による置換度（以下、「３位のアシル置換度」とも言う）であり、ＤＳ６は６位の水酸基のアシル基による置換度（以下、「６位のアシル置換度」とも言う）である。

本発明のセルロースアシレートに用いられるアシル基は１種類だけでも良いし、あるいは２種類以上のアシル基が使用されていても良い。２種類以上のアシル基を用いるときは、その１つがアセチル基であることが好ましい。２位，３位及び６位の水酸基による置換度の総和をＤＳＡとし、２位，３位及び６位の水酸基のアセチル基以外のアシル基による置換度の総和をＤＳＢとすると、ＤＳＡ＋ＤＳＢの値は、より好ましくは２．２２〜２．９０であり、特に好ましくは２．４０〜２．８８である。また、ＤＳＢは０．３０以上であり、特に好ましくは０．７以上である。さらにＤＳＢはその２０％以上が６位水酸基の置換基であるが、より好ましくは２５％以上が６位水酸基の置換基であり、３０％以上がさらに好ましく、特には３３％以上が６位水酸基の置換基であることが好ましい。また更に、セルロースアシレートの６位の置換度が０．７５以上であり、さらには０．８０以上であり特には０．８５以上であるセルロースアシレートも挙げることができる。これらのセルロースアシレートにより溶解性の好ましい溶液（ドープ）が作製できる。特に非塩素系有機溶剤において、良好な溶液の作製が可能となる。さらに粘度が低く、濾過性の良い溶液の作製が可能となる。

セルロースアシレートの原料であるセルロースは、リンター，パルプのどちらから得られたものでも良い。

本発明のセルロースアシレートの炭素数２以上のアシル基としては、脂肪族基でもアリール基でも良く特に限定されない。それらは、例えばセルロースのアルキルカルボニルエステル、アルケニルカルボニルエステルあるいは芳香族カルボニルエステル、芳香族アルキルカルボニルエステルなどであり、それぞれさらに置換された基を有していても良い。これらの好ましい例としては、プロピオニル、ブタノイル、ペンタノイル、ヘキサノイル、オクタノイル、デカノイル、ドデカノイル、トリデカノイル、テトラデカノイル、ヘキサデカノイル、オクタデカノイル、ｉｓｏ−ブタノイル、ｔ−ブタノイル、シクロヘキサンカルボニル、オレオイル、ベンゾイル、ナフチルカルボニル、シンナモイル基などを挙げることができる。これらの中でも、プロピオニル、ブタノイル、ドデカノイル、オクタデカノイル、ｔ−ブタノイル、オレオイル、ベンゾイル、ナフチルカルボニル、シンナモイルなどがより好ましく、特に好ましくはプロピオニル、ブタノイルである。

（溶剤）
ドープを調製する溶剤としては、芳香族炭化水素（例えば、ベンゼン，トルエンなど）、ハロゲン化炭化水素（例えば、ジクロロメタン，クロロベンゼンなど）、アルコール（例えば、メタノール，エタノール，ｎ−プロパノール，ｎ−ブタノール，ジエチレングリコールなど）、ケトン（例えば、アセトン，メチルエチルケトンなど）、エステル（例えば、酢酸メチル，酢酸エチル，酢酸プロピルなど）及びエーテル（例えば、テトラヒドロフラン，メチルセロソルブなど）などが挙げられる。なお、本発明において、ドープとはポリマーを溶剤に溶解または分散して得られるポリマー溶液，分散液を意味している。

これらの中でも炭素原子数１〜７のハロゲン化炭化水素が好ましく用いられ、ジクロロメタンが最も好ましく用いられる。ＴＡＣの溶解性、流延膜の支持体からの剥ぎ取り性、フィルムの機械的強度など及びフィルムの光学特性などの物性の観点から、ジクロロメタンの他に炭素原子数１〜５のアルコールを１種ないし数種類混合することが好ましい。アルコールの含有量は、溶剤全体に対し２質量％〜２５質量％が好ましく、５質量％〜２０質量％がより好ましい。アルコールの具体例としては、メタノール，エタノール，ｎ−プロパノール，イソプロパノール，ｎ−ブタノールなどが挙げられるが、メタノール，エタノール，ｎ−ブタノールあるいはこれらの混合物が好ましく用いられる。

ところで、最近、環境に対する影響を最小限に抑えることを目的に、ジクロロメタンを使用しない場合の溶剤組成についても検討が進み、この目的に対しては、炭素原子数が４〜１２のエーテル、炭素原子数が３〜１２のケトン、炭素原子数が３〜１２のエステル、炭素数１〜１２のアルコールが好ましく用いられる。これらを適宜混合して用いることがある。例えば、酢酸メチル，アセトン，エタノール，ｎ−ブタノールの混合溶剤が挙げられる。これらのエーテル、ケトン，エステル及びアルコールは、環状構造を有するものであってもよい。また、エーテル、ケトン，エステル及びアルコールの官能基（すなわち、−Ｏ−，−ＣＯ−，−ＣＯＯ−及び−ＯＨ）のいずれかを２つ以上有する化合物も、溶剤として用いることができる。

（添加剤）
ドープに所定の添加剤を添加してもよい。本発明で用いられる添加剤としては、可塑剤、紫外線吸収剤などがある。可塑剤として重縮合エステルを用いることが好ましい。

フィルム１６の厚みは、２０μｍ以上１２０μｍ以下であることが好ましく、４０μｍ以上１００μｍ以下であることがより好ましい。

フィルム１６の幅は、７００ｍｍ以上３０００以下ｍｍであることが好ましく、１０００ｍｍ以上２８００ｍｍ以下であることがより好ましく、１５００ｍｍ以上２５００ｍｍ以下であることが特に好ましい。なお、フィルム１６の幅は、３０００ｍｍ以上であってもよい。

（ヘイズ）
フィルム１６のヘイズは、０．２０％未満であることが好ましく、０．１５％未満であることがより好ましく、０．１０％未満であることが特に好ましい。ヘイズを０．２％未満とすることにより、液晶表示装置に組み込んだ際のコントラスト比を改善することができる。また、フィルムの透明性がより高くなり、光学フィルムとしてより用いやすくなるという利点もある。

（Ｒｅ、Ｒｔｈ）
フィルム１６の面内方向のレターデーションは、２５ｎｍ≦｜Ｒｅ（５９０）｜≦１００ｎｍであり、かつ、５０ｎｍ≦｜Ｒｔｈ（５９０）｜≦２５０ｎｍであることが好ましい。そして、３０ｎｍ≦｜Ｒｅ（５９０）｜≦８０ｎｍであることがより好ましく、３５ｎｍ≦｜Ｒｅ（５９０）｜≦７０ｎｍであることが特に好ましい。また、７０ｎｍ≦｜Ｒｔｈ（５９０）｜≦２４０ｎｍであることがより好ましく、９０ｎｍ≦｜Ｒｔｈ（５９０）｜≦２３０ｎｍであることが特に好ましい。

本明細書におけるＲｅ（λ）、Ｒｔｈ（λ）は各々、波長λにおける面内のレターデーションおよび厚さ方向のレターデーションを表す。本願明細書においては、特に記載がないときは、波長λは、５９０ｎｍとする。Ｒｅ（λ）はＫＯＢＲＡ ２１ＡＤＨ（王子計測機器（株）製）において波長λｎｍの光をフィルム法線方向に入射させて測定される。Ｒｔｈ（λ）は前記Ｒｅ（λ）を、面内の遅相軸（ＫＯＢＲＡ ２１ＡＤＨにより判断される）を傾斜軸（回転軸）として（遅相軸がない場合にはフィルム面内の任意の方向を回転軸とする）のフィルム法線方向に対して法線方向から片側５０度まで１０度ステップで各々その傾斜した方向から波長λｎｍの光を入射させて全部で６点測定し、その測定されたレターデーション値と平均屈折率の仮定値及び入力された膜厚値を基にＫＯＢＲＡ ２１ＡＤＨが算出する。尚、遅相軸を傾斜軸（回転軸）として（遅相軸がない場合にはフィルム面内の任意の方向を回転軸とする）、任意の２方向からレターデーション値を測定し、その値と平均屈折率の仮定値及び入力された膜厚値を基に、以下の式（Ａ−１）、式（Ａ−２）及び式（Ｂ）より、Ｒｅ及びＲｔｈを算出することもできる。ここで平均屈折率の仮定値はポリマーハンドブック（ＪＯＨＮ ＷＩＬＥＹ＆ＳＯＮＳ，ＩＮＣ）、各種光学フィルムのカタログの値を使用することができる。平均屈折率の値が既知でないものについてはアッベ屈折計で測定することができる。主な光学フィルムの平均屈折率の値を以下に例示する：セルロースアシレート（１．４８）、シクロオレフィンポリマー（１．５２）、ポリカーボネート（１．５９）、ポリメチルメタクリレート（１．４９）、ポリスチレン（１．５９）である。これら平均屈折率の仮定値と膜厚を入力することで、ＫＯＢＲＡ ２１ＡＤＨはｎｘ、ｎｙ、ｎｚを算出する。この算出されたｎｘ、ｎｙ、ｎｚよりＮｚ＝（ｎｘ−ｎｚ）／（ｎｘ−ｎｙ）が更に算出される。

ここで、上記のＲｅ（γ）は法線方向から角度γ傾斜した方向におけるレターデーション値を表し、ｎｘ、ｎｙ、ｎｚは、屈折率楕円体の各主軸方位の屈折率を表し、ｄはフィルム厚を表す。
Ｒｔｈ＝（（ｎｘ＋ｎｙ）／２−ｎｚ）×ｄ 式（Ｂ）

１０ 溶液製膜設備
１５ 流延装置
２３ ケーシング
２３ａ 流延室
２４ 水平ロール
２４ｂ ローラ本体
２４ｂｅ ロール端部
２６ エンドレスバンド
２６ａ 流延面
３１〜３３ 第１〜３シール部材
４０ 流延ダイ
４７ 減圧チャンバ
６４ 外幅シール
６５ 外サイドシール

Claims (6)

1. 水平ロールに掛け渡された状態で移動するエンドレスバンドのうち前記水平ロールにより支持された部分へ向けて流延ダイを用いてドープを流出し、前記ドープからなる帯状の前記流延膜を前記エンドレスバンド上に形成する際、前記流出したドープによって前記流延ダイから前記エンドレスバンドにかけて形成されるビードよりも前記エンドレスバンドの移動方向上流側を減圧する減圧チャンバにおいて、
   前記ビードよりも前記移動方向上流側にて前記エンドレスバンドの幅方向に延設される上流側遮風板及び前記上流側遮風板から前記ビードの両外側にかけて設けられる１対の側方遮風板を備え、前記ビードの前記エンドレスバンドの移動方向上流側を囲むチャンバ本体と、
   前記エンドレスバンドの幅方向両外側に露出した前記水平ロールの周面に近接するように前記側方遮風板から突出する外シール部材とを有することを特徴とする減圧チャンバ。
2. 水平ロールに掛け渡された状態で移動するエンドレスバンドのうち前記水平ロールに支持された部分へ向けて流延ダイを用いてドープを流出し、前記ドープからなる帯状の前記流延膜を前記エンドレスバンドの表面上に形成する際、前記流出したドープによって前記流延ダイから前記エンドレスバンドにかけて形成されるビードよりも前記エンドレスバンドの移動方向上流側を減圧する減圧チャンバにおいて、
   前記ビードよりも前記移動方向上流側にて前記エンドレスバンドの幅方向に延設される上流側遮風板及び前記上流側遮風板から前記ビードの両外側にかけて設けられる１対の側方遮風板を備え、前記ビードの前記エンドレスバンドの移動方向上流側を囲むチャンバ本体と、
   前記側方遮風板から突出して前記エンドレスバンドの表面に近接するように設けられる外シール部材とを有し、
   前記外シール部材の突端には、前記エンドレスバンドの表面に向かって突設し前記エンドレスバンドの幅方向端側から順次並べられた第１〜２凸条部と前記凸条の間に形成された溝部とからなるラビリンス溝を備え、
   蛇行状態の前記エンドレスバンドの端よりも前記第１凸条部の先端が前記幅方向内側に位置するように、前記外シール部材が配されたことを特徴とすることを特徴とする減圧チャンバ。
3. 前記エンドレスバンドは前記水平ロールに巻き掛けられたことを特徴とする請求項１または２記載の減圧チャンバ。
4. 前記エンドレスバンドは、前記流延膜が前記エンドレスバンド上に形成される流延エリアと、前記エンドレスバンド上の流延膜を加熱する加熱エリアと、前記流延膜が剥離された後の前記エンドレスバンドを冷却する冷却エリアとを順次循環移動することを特徴とする請求項１ないし３のうちいずれか１項記載の減圧チャンバ。
5. 請求項１ないし４のうちいずれか１項記載の減圧チャンバを用いて、前記流延膜を形成することを特徴とする流延膜の形成方法。
6. 請求項５記載の流延膜の形成方法の後に、
   前記流延膜を前記エンドレスバンドから剥ぎ取って湿潤フィルムとする剥取工程と、
   前記湿潤フィルムから溶剤を蒸発させる乾燥工程とを順次行うことを特徴とする溶液製膜方法。

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