JP2012028681A - Bonding body of electrode member and bonding method of electrode member - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電極部材の接合体及びその接合方法に関する。 The present invention relates to a joined body of electrode members and a joining method thereof.
従来のはんだを使用した電極部材の接合体として、例えば特許文献1に、半導体素子の一側面及びその反対側面にC面放熱板電極及び導体ブロックがはんだ層を介して接合され、さらに、導体ブロックにおける半導体素子と反対側の面にE面放熱板電極がはんだ層を介して接合された半導体装置が記載されている。この半導体装置では、E面放熱板電極にこれを貫通するはんだ注入孔が形成されている。そして、E面放熱板電極と導体ブロックとを接続する際、E面放熱板電極は、はんだ注入孔を導体ブロックに対向させ、導体ブロックと所定間隔をあけてC面放熱板電極と平行に配置される。さらに、はんだ注入孔からE面放熱板電極及び導体ブロックの間にはんだが供給され、その後、供給されたはんだが硬化されてはんだ層を形成し、E面放熱板電極及び導体ブロックがはんだ層を介して接続される。
As a joined body of electrode members using a conventional solder, for example, in
しかしながら、特許文献1の半導体装置では、はんだ注入孔の上方及び半導体装置の側方からだけしか、E面放熱板電極及び導体ブロックの間に形成されたはんだ層を確認することができない。このため、導体ブロック側となるE面放熱板電極の裏面において、はんだ注入孔の周囲にE面放熱板電極とはんだ層との間で空隙が発生しても確認することができない。よって、E面放熱板電極と導体ブロックとの間がはんだで十分に充填されていない場合でもそれを確認できず、充填不足によりE面放熱板電極とはんだ層との接合面積が不足した状態のままとなるため、完成後の半導体装置においてE面放熱板電極の接合強度が不足するという問題が起こる。すなわち、特許文献1の半導体装置は、E面放熱板電極について接合強度を確保することのできる安定した品質の接合を確保することができないという問題がある。
However, in the semiconductor device of
この発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、安定した品質の接合を可能にする電極部材の接合体及び電極部材の接合方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve such problems, and an object of the present invention is to provide a joined body of electrode members and a joining method of electrode members that enable stable quality joining.
この発明に係る電極部材の接合体は、電極部材がはんだによって接合対象部材に接合される電極部材の接合体であって、電極部材は間隙を挟んでそれぞれの端部が向き合う第一突出部及び第二突出部を有し、第一突出部及び第二突出部を接合対象部材に対向させて配置させ、間隙から供給されるはんだによって第一突出部及び第二突出部と接合対象部材とが接合される。 An electrode member assembly according to the present invention is an electrode member assembly in which an electrode member is bonded to a member to be bonded by solder, and the electrode member includes first protrusions facing each other across a gap, and The first protrusion and the second protrusion are arranged by facing the member to be bonded, and the first protrusion and the second protrusion and the member to be bonded are provided by the solder supplied from the gap. Be joined.
また、第一突出部の端部及び第二突出部の端部は、窪んでいてもよい。
また、第一突出部及び第二突出部は、先端に近づくにしたがい細くなっていてもよい。
また、電極部材は、接続部と、接続部から延びる第一アーム部及び第二アーム部とを有し、第一アーム部は、第一突出部を有し、第二アーム部は、第二突出部を有してもよい。
Moreover, the edge part of a 1st protrusion part and the edge part of a 2nd protrusion part may be depressed.
Moreover, the 1st protrusion part and the 2nd protrusion part may become thin as it approaches the front-end | tip.
The electrode member includes a connection portion, a first arm portion and a second arm portion extending from the connection portion, the first arm portion includes a first protrusion, and the second arm portion includes a second arm portion. You may have a protrusion part.
また、この発明に係る電極部材の接合方法は、電極部材をはんだによって接合対象部材に接合する電極部材の接合方法であって、間隙を挟んでそれぞれの端部が向き合う第一突出部及び第二突出部を有する電極部材を、第一突出部及び第二突出部を接合対象部材に対向させて配置するステップと、第一突出部及び第二突出部と接合対象部材との間に第一突出部及び第二突出部と接合対象部材とを接合するはんだを供給するために、上記間隙にはんだを滴下するステップとを含む。 The electrode member joining method according to the present invention is a method for joining an electrode member to a member to be joined by soldering, and includes a first projecting portion and a second projecting end portion facing each other across a gap. A step of disposing an electrode member having a projecting portion with the first projecting portion and the second projecting portion facing the member to be joined; and a first projecting portion between the first projecting portion, the second projecting portion, and the member to be joined. Dropping solder into the gap in order to supply solder for joining the part and the second projecting part and the member to be joined.
この発明によれば、電極部材の接合体及び電極部材の接合方法は、安定した品質の接合を可能にすることができる。 According to this invention, the joined body of the electrode member and the joining method of the electrode member can enable stable quality joining.
以下に、この発明の実施の形態について、添付図面に基づいて説明する。
実施の形態1.
図1〜2を用いて、この発明の実施の形態にかかる電極部材の接合体101の構成を説明する。なお、本実施の形態では、基板上にはんだ付けされている半導体素子の上に電極部材をはんだ付けする接合体について説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
The configuration of the
図1は、電極部材の接合体101の構成を表す模式平面図を示し、図2は、図1のII−II線に沿った模式断面図を示す。
接合体101は、基板4と、該基板4に第二はんだ層2を介してはんだ付けされる接合対象部材としての半導体素子3と、該半導体素子3の上方に半導体素子3と隙間t1を空けて配置されるリード10とから構成される。
リード10は、図1に示すように、矩形板状の接続部13と、互いに平行に延びる矩形板状をした第一アーム部11及び第二アーム部12とを有している。
第一アーム部11は、接続部13の長辺側側面の一方から該接続部13の長辺方向と略直交する方向(前方向A)に向かって延びる矩形板状の本体部11bと、該本体部11bの長辺側側面の一方から第二アーム部12に向かう方向(右方向D)に突出する矩形板状の第一突起部11aとからなり、本実施形態ではT字状に形成されている。第二アーム部12は、第一アーム部11の本体部11bと平行に延びる矩形板状の本体部12bと、本体部12bの長辺側側面の一方から第一アーム部11に向かう方向(左方向C)に突出する矩形板状の第二突起部12aとからなり、第一アーム部11同様、本実施形態ではT字状に形成されている。
ここで、第一突起部11a及び第二突起部12aはそれぞれ、第一突出部及び第二突出部を構成している。
FIG. 1 is a schematic plan view showing the configuration of the
The
As shown in FIG. 1, the
The
Here, the
第一突起部11a及び第二突起部12aは、それぞれの端部11ac及び12acを互いに対向させるようにして突出しており、端部11ac及び12acの間に、矩形溝状をした間隙g10を形成している。
上記のように構成されたリード10は、第一突起部11aの端部11acと、第二突起部12aの端部12acと、第一突起部11aの端部11ac及び第二突起部12aの端部12acの間の間隙g10とが、半導体素子3の上方に位置するように配置され、半導体素子3と第一はんだ層1を介して接合される。
The first projecting
The
ここで、第一はんだ層1の形成方法について説明する。
第一はんだ層1は、図2に示すように、半導体素子3の上方に配置されたリード10の第一突起部11aの端部11ac及び第二突起部12aの端部12acの間の間隙g10から隙間t1へ、ペースト状等の固体でないはんだを供給することによって形成される。例えば、はんだの供給は、間隙g10の上方に配置されたシリンジ充填装置100がペースト状のはんだを間隙g10の中に滴下供給することによって行われる。
Here, a method for forming the
As shown in FIG. 2, the
間隙g10にはんだが滴下供給されると、供給されたはんだは、半導体素子3の上面3aに落下し、さらに、次々にはんだが滴下供給されることによって隙間t1の中で第一突起部11aの下面11ab及び第二突起部12aの下面12abに向かって上方に堆積すると共に半導体素子3の上面3a上で拡がるようにして横方向に流動する。そして、はんだは、半導体素子3の上面3a、並びにリード10の第一突起部11aの下面11ab及び第二突起部12aの下面12abを濡らしつつ第一アーム部11の本体部11b及び第二アーム部12の本体部12bに向かって拡がって隙間t1を充填する。はんだの供給完了後、はんだは、冷却固化して第一はんだ層1を形成し、第一はんだ層1は、第一突起部11aの下面11ab及び第二突起部12aの下面12ab、並びに半導体素子3の上面3aと接合する。それによって、第一突起部11a及び第二突起部12aが第一はんだ層1を介して半導体素子3と接合される。
When the solder is dropped and supplied to the gap g10, the supplied solder falls on the
以上のようにして第一はんだ層1が形成され、電極部材の接合体101が形成される。
上述のように構成された接合体101は、以下のような作用を奏する。
はんだの滴下供給時、はんだが第一突起部11aの下面11ab及び第二突起部12aの下面12abの近傍まで堆積した状態において、間隙g10間のはんだは、第一突起部11aの端部11ac及び第二突起部12aの端部12acに沿って間隙g10の外側に流れることができる。このため、はんだは、間隙g10において滞留し偏って堆積することが低減しており、第一突起部11aの下面11ab及び第二突起部12aの下面12abとはんだとの間における空隙の発生が減少する。
The
The joined
In the state where the solder is deposited to the vicinity of the lower surface 11ab of the first projecting
また、第一突起部11a及び第二突起部12aは間隙g10によって分離されているため、第一はんだ層1の形成後、第一突起部11aの端部11ac、側部11ad及び側部11ae(図1参照)から、第一はんだ層1と第一突起部11aの下面11abとの間に空隙が形成されていないか確認することができる。第二突起部12aについても同様に、端部12ac、側部12ad及び側部12ae(図1参照)から、第一はんだ層1と第二突起部12aの下面12abとの間に空隙が形成されていないか確認することができる。そして、空隙がある場合、はんだを注入することによってこの空隙を充填し、第一突起部11a及び第二突起部12aはそれぞれ、第一はんだ層1に対して端部11ac、側部11ad及び側部11ae、並びに、端部12ac、側部12ad及び側部12aeに至るまで空隙を有さずに接合され、所要の接合面積を確保することができる。
Moreover, since the
第一突起部11a及び第二突起部12aが間隙g10を挟んで向き合って配置されているため、第一はんだ層1の形成後に、第一突起部11a及び第二突起部12aの周囲から、第一突起部11a及び第二突起部12aと第一はんだ層1と間における空隙の有無の確認が容易になり、そして、空隙がある場合にこの空隙をはんだで充填することも容易になる。よって、第一突起部11a及び第二突起部12aと第一はんだ層1との間の接合面積の確保が可能になる。
従って、電極部材の接合体101は、安定した品質の接合を可能にする。
Since the first projecting
Therefore, the joined
また、リード10は、接続部13と、接続部13から延びる第一アーム部11及び第二アーム部12とを有し、第一アーム部11は、第一突起部11aを有し、第二アーム部12は、第二突起部12aを有している。1つの接続部13から突出する2つの第一アーム部11及び第二アーム部12を1つの半導体素子3に接合することによって、第一アーム部11及び第二アーム部12がばね構造を構成し、半導体素子3への接合部分に作用する応力を低減することができる。よって、電極部材の接合体101の耐久性を向上させることが可能になる。
In addition, the
また、半導体素子3にリード10をはんだ付けする際、第一はんだ層1をリード10と半導体素子3との間の所望の位置に形成するためには、間隙g10の間にはんだを滴下するだけでよいので、はんだの供給位置の設定が容易になる。さらに、間隙g10の中心から第一突起部11aの端部11ac方向または第二突起部12aの端部12ac方向にずれた位置の上方からはんだが供給されたとしても、第一突起部11aの端部11acまたは第二突起部12aの端部12acに弾かれて間隙g10の中心付近直下の半導体素子3上に滴下されるため、はんだが間隙g10の中心からずれた位置の上方から滴下されても第一はんだ層1を適正な位置及び適正な範囲内に形成することが可能になる。
Further, when soldering the
実施の形態2.
この発明の実施の形態2に係る電極部材の接合体102は、実施の形態1のリード10の第一突起部11aの端部11ac及び第二突起部12aの端部12acを、窪んだ形状にしたものである。
なお、以下の実施の形態において、前出した図における参照符号と同一の符号は、同一または同様な構成要素であるので、その詳細な説明は省略する。
In the
In the following embodiments, the same reference numerals as those in the previous drawings are the same or similar components, and thus detailed description thereof is omitted.
図3を参照すると、電極部材の接合体102のリード20において、接続部23から延びる第一アーム部21の第一突起部21aは、端部21acが第一アーム部21の本体部21bに向かって半円柱状に窪んでいる。同様に、接続部23から延びる第二アーム部22の第二突起部22aは、その端部22acが第二アーム部22の本体部22bに向かって半円柱状に窪んでいる。さらに、第一突起部21aの端部21ac及び第二突起部22aの端部22acは、互いに向き合い、これらの間にほぼ円柱形状を有する間隙g20を形成している。そして、間隙g20は、接続部23側の開放端g20b及び該開放端g20bと間隙g20の中心に対し反対側に位置する開放端g20aで開放している。
Referring to FIG. 3, in the
このとき、半導体素子3にリード20をはんだ付けする際、はんだが第一突起部11a及び第二突起部12aの下面近くまで堆積した状態において、間隙g20に滴下供給したはんだは、間隙g20の中心付近より幅が狭い開放端g20a及びg20bから間隙g20の外側へ流出することが抑えられるため、はんだが間隙g20の中心からずれた位置に滴下されても開放端g20aまたは開放端g20bから間隙g20の外側へ流出することなく、間隙g20全体に濡れ拡がる。
また、この発明の実施の形態2に係る電極部材の接合体102のその他の構成は、実施の形態1と同様であるため、説明を省略する。
At this time, when the
The other configuration of the
このように、実施の形態2に係る電極部材の接合体102において、上記実施の形態1の電極部材の接合体101と同様な効果が得られる。
また、第一突起部21aは、窪んだ端部21acを有し、第二突起部22aは、窪んだ端部22acを有し、第一突起部21aの端部21ac及び第二突起部22aの端部22acは互いに向き合って間隙g20を形成している。これによって、間隙g20に供給されたはんだが、間隙g20の両端の開放端g20a及びg20bから外側へ流出することが抑えられ、第一はんだ層1は第一突起部21a及び第二突起部22aの外側への拡がりが抑えられた形状で形成されるため、はんだの使用量が低減され、コストを低減することが可能になる。
Thus, in the
The first protrusion 21a has a recessed end 21ac, the
実施の形態3.
この発明の実施の形態3に係る電極部材の接合体103は、実施の形態1のリード10の第一突起部11aの端部11ac及び第二突起部12aの端部12acを、先端に近づくにしたがい細くなる形状にしたものである。
In the
図4を参照すると、電極部材の接合体103のリード30において、接続部33から延びる第一アーム部31の第一突起部31aは、端部31acが第二アーム部32に向かって幅が小さくなる。すなわち、端部31acは、平坦な平坦部31ac1と、平坦部31ac1の両側からテーパー状に拡がったテーパー部31ac2及び31ac3とによって形成されている。同様に、接続部33から延びる第二アーム部32の第二突起部32aは、端部32acが第一アーム部31に向かって幅が小さくなる。すなわち、端部32acは、平坦部32ac1と、平坦部31ac1の両側のテーパー部32ac2及び32ac3とによって形成されている。
さらに、第一突起部31aの平坦部31ac1及び第二突起部32aの平坦部32ac1は、互いに向き合い、これらの間に両端が開放した矩形溝状の間隙g30を形成している。
Referring to FIG. 4, in the
Further, the flat portion 31ac1 of the
このとき、第一突起部31aの端部31ac及び第二突起部32aの端部32acはそれぞれ、テーパー部31ac2及び31ac3、並びに、テーパー部32ac2及び32ac3によって、間隙g30から離れる方向に向かって拡がるテーパー形状を有している。このため、半導体素子3にリード30をはんだ付けする際、上方から供給されたはんだは、第一突起部31a及び第二突起部32aの下側に流入しやすく、第一突起部31a及び第二突起部32aと半導体素子3との間を効率的に充填する。さらに、実施の形態1の第一はんだ層より、第一突起部31a及び第二突起部32aから接続部33へ向かう方向及びその反対方向への拡がりを抑えた形状で第一はんだ層1が形成される。
また、この発明の実施の形態3に係る電極部材の接合体103のその他の構成は、実施の形態1と同様であるため、説明を省略する。
At this time, the end portion 31ac of the
The other configuration of the
このように、実施の形態3に係る電極部材の接合体103において、上記実施の形態1の電極部材の接合体101と同様な効果が得られる。
また、第一突起部31aは、先端に近づくにしたがい細くなる端部31acを有し、第二突起部32aは、先端に近づくにしたがい細くなる端部32acを有し、第一突起部31aの端部31ac及び第二突起部32aの端部32acは互いに向き合って間隙g30を形成している。このとき、第一突起部31aの端部31ac及び第二突起部32aの端部32acが間隙g30から離れる方向に向かって拡がる形状を有し、第一突起部31a及び第二突起部32aの下側に間隙g30に供給されたはんだが流入しやすくなっているため、第一突起部31a及び第二突起部32aと半導体素子3との間をはんだによって効率よく充填できる。よって、電極部材の接合体103は、安定した品質の接合を可能にする。
Thus, in the
Further, the
なお、実施形態は前記に限定されるものではなく、例えば、次のように具体化してもよい。
実施の形態1〜3において、リード10,20,30を半導体素子3にはんだ付けした後に、接続部13,23,33を切り取って除去することによって、リード10,20,30を半導体素子3にはんだ付けされた2つの電極として使用することができる。
また、実施の形態1〜3では、リード10,20,30を半導体素子3にはんだ付けする場合について記載されているが、これに限定されるものでない。電極部材の接合体101〜103は、リード10,20,30を基板4に直接はんだ付けする場合、及びリード10,20,30を基板4上の電極等にはんだ付けする場合にも適用することができる。
In addition, embodiment is not limited to the above, For example, you may actualize as follows.
In the first to third embodiments, after the
In the first to third embodiments, the case where the leads 10, 20, and 30 are soldered to the
また、実施の形態1〜3では、リード10,20,30の第一突起部11a,21a,31a及び第二突起部12a,22a,32aはそれぞれ、第一アーム部11,21,31の本体部11b,21b,31b及び第二アーム部12,22,32の本体部12b,22b,32bに形成されていたが、これに限定されるものでなく、2つの突起部の端部が隙間をあけて向き合うものであればよい。つまり、第一アーム部11,21,31及び第二アーム部12,22,32がそれぞれ、本体部11b,21b,31b及び本体部12b,22b,32bを有さず、接続部13,23,33から第一突起部11a,21a,31a及び第二突起部12a,22a,32aが突出するものであってもよい。この場合、第一突起部11a,21a,31a及び第二突起部12a,22a,32aは、直線状であってもよく、また、屈折或いは湾曲していてもよい。
In the first to third embodiments, the
さらに、実施の形態1〜3では、第一突起部11a,21a,31a及び第二突起部12a,22a,32aは、それぞれの端部11ac,21ac,31ac及び端部12ac,22ac,32acを互いに対向させるようにして突出し、第一突起部11a,21a,31a及び第二突起部12a,22a,32aが直線状に並ぶようにして配置されていたが、これに限定されるものではない。例えば、実施の形態1の第一突起部11a及び第二突起部12aがそれぞれ、第一アーム部11の本体部11b及び第二アーム部12の本体部12bに対して、垂直な方向から接続部13の方向またはその反対方向に傾斜した方向に延びていてもよい。つまり、第一突起部11a及び第二突起部12aがへの字形状を形成するように配置されてもよい。このとき、への字形状の曲がり部に位置する、第一突起部11aの端部11ac及び第二突起部12aの端部12acの間の隙間は、接続部13に向かうに従い幅が広くなる形状を有していても接続部13と反対方向に向かうに従い幅が広くなる形状を有していてもよく、または、幅が一定な形状を有していてもよい。そして、この隙間にはんだを供給することによって、第一突起部11a及び第二突起部12aを半導体素子3にはんだ付けすることができる。なお、上述の第一突起部11a及び第二突起部12aにおけるへの字形状をした配置は、実施の形態2及び3において適用してもよく、また、上述の形態、すなわち第一アーム部11,21,31及び第二アーム部12,22,32がそれぞれ本体部11b,21b,31b及び本体部12b,22b,32bを有さず、接続部13,23,33から第一突起部11a,21a,31a及び第二突起部12a,22a,32aが突出する形態に適用してもよい。
また、突起部は2つでなくてもよく、3つ以上であってもよい。例えば、3つの突起の端部を互いの間に隙間をあけて向き合わせ、この隙間にはんだを供給してもよい。
Further, in the first to third embodiments, the first projecting
Also, the number of protrusions may not be two, but may be three or more. For example, the ends of the three protrusions may face each other with a gap between them, and solder may be supplied to the gap.
1 第一はんだ層、3 半導体素子(接合対象部材)、10,20,30 リード(電極部材)、11,21,31 第一アーム部(電極部材の第一アーム部)、11a,21a,31a 第一突起部(第一突出部)、11ac 端部(第一突出部の端部)、12,22,32 第二アーム部(電極部材の第二アーム部)、12a,22a,32a 第二突起部(第二突出部)、12ac 端部(第二突出部の端部)、13,23,33 接続部(電極部材の接続部)、21ac 端部(第一突出部の窪んだ端部)、22ac 端部(第二突出部の窪んだ端部)、31ac 端部(第一突出部の先端に近づくにしたがい細くなる端部)、32ac 端部(第二突出部の先端に近づくにしたがい細くなる端部)、101,102,103 電極部材の接合体、g10,g20,g30 間隙。
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記電極部材は間隙を挟んでそれぞれの端部が向き合う第一突出部及び第二突出部を有し、前記第一突出部及び前記第二突出部を前記接合対象部材に対向させて配置させ、
前記間隙から供給されるはんだによって前記第一突出部及び前記第二突出部と前記接合対象部材とが接合される電極部材の接合体。 The electrode member is a joined body of electrode members to be joined to a member to be joined by solder,
The electrode member has a first projecting portion and a second projecting portion facing each other across a gap, and the first projecting portion and the second projecting portion are arranged to face the joining target member,
A joined body of electrode members in which the first projecting portion, the second projecting portion, and the member to be joined are joined by solder supplied from the gap.
前記第一アーム部は、前記第一突出部を有し、前記第二アーム部は、前記第二突出部を有する請求項1〜3のいずれか一項に記載の電極部材の接合体。 The electrode member has a connection portion, a first arm portion and a second arm portion extending from the connection portion,
The said 1st arm part has said 1st protrusion part, and said 2nd arm part is a joined body of the electrode member as described in any one of Claims 1-3 which has said 2nd protrusion part.
間隙を挟んでそれぞれの端部が向き合う第一突出部及び第二突出部を有する電極部材を、前記第一突出部及び前記第二突出部を接合対象部材に対向させて配置するステップと、
前記第一突出部及び前記第二突出部と前記接合対象部材との間に前記第一突出部及び前記第二突出部と前記接合対象部材とを接合するはんだを供給するために、前記間隙に前記はんだを滴下するステップと
を含む電極部材の接合方法。 An electrode member joining method for joining an electrode member to a joining target member by solder,
Arranging an electrode member having a first protrusion and a second protrusion facing each other across a gap, with the first protrusion and the second protrusion facing the member to be joined;
In order to supply solder for joining the first projecting part, the second projecting part, and the joining target member between the first projecting part, the second projecting part, and the joining target member, A step of dripping the solder.
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| JP2010168184A JP2012028681A (en) | 2010-07-27 | 2010-07-27 | Bonding body of electrode member and bonding method of electrode member |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019009328A (en) * | 2017-06-27 | 2019-01-17 | 三菱電機株式会社 | Power semiconductor device |
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2010
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