JP2012022844A - Laminate for conductive film formation and method of manufacturing the same, and method of forming pattern, touch panel and integrated solar battery - Google Patents
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Abstract
【課題】外部配線との電気的接続が容易であり、かつ表面導電性に優れ、耐傷性が向上した導電膜形成用積層体及び導電膜形成用積層体の製造方法、並びにパターン形成方法、タッチパネル及び集積型太陽電池の提供。
【解決手段】基材と、該基材上に少なくとも導電性繊維を含む導電性繊維含有層と、該導電性繊維含有層上に少なくとも水溶性ポリマーを含む可溶性保護層とを有する導電膜形成用積層体である。該可溶性保護層の平均厚みが0.1μm〜5μmである態様、前記水溶性ポリマーが、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ゼラチン及びセルロース誘導体から選択される少なくとも1種である態様などが好ましい。
【選択図】なしA conductive film-forming laminate, a conductive film-forming laminate, a pattern-forming method, and a touch panel, which are easily electrically connected to external wiring, have excellent surface conductivity, and have improved scratch resistance. And provision of integrated solar cells.
A conductive film forming layer having a base material, a conductive fiber-containing layer containing at least conductive fibers on the base material, and a soluble protective layer containing at least a water-soluble polymer on the conductive fiber-containing layer. It is a laminate. An embodiment in which the average thickness of the soluble protective layer is 0.1 μm to 5 μm and an embodiment in which the water-soluble polymer is at least one selected from polyvinyl pyrrolidone, polyvinyl alcohol, gelatin, and a cellulose derivative are preferred.
[Selection figure] None
Description
本発明は、導電膜形成用積層体及び導電膜形成用積層体の製造方法、並びにパターン形成方法、タッチパネル及び集積型太陽電池に関する。 The present invention relates to a conductive film forming laminate, a method for manufacturing a conductive film forming laminate, a pattern forming method, a touch panel, and an integrated solar cell.
透明導電膜としてITO(Indium Tin Oxide)が広く利用されているが、ITO膜を安価に大量生産することは困難であり、例えば可撓性を有するプラスチック基材にITO膜を大面積で形成しそれをロール形態で安価に供給することは困難である。また、ITO膜をパターニングするフォトリソグラフィ工程は複雑な工程を要するため、コスト高を招いたり、生産性が低下してしまうという問題がある。 ITO (Indium Tin Oxide) is widely used as a transparent conductive film, but it is difficult to mass-produce an ITO film at a low cost. For example, an ITO film is formed on a flexible plastic substrate in a large area. It is difficult to supply it in a roll form at low cost. In addition, since the photolithography process for patterning the ITO film requires a complicated process, there is a problem that the cost is increased and the productivity is lowered.
このようなITO膜に関する問題に対し、銀ナノワイヤー等の導電性素材を用いることが提案されている(特許文献1及び2参照)。これらの提案によれば、複数の銀ナノワイヤー含有層を、ネットワークを形成するようにウエットプロセスで透明基材上に塗布し、形成することにより簡易に透明導電膜を作製することができる。また、フォトレジスト等の感光性材料を銀ナノワイヤー含有層と同一層又は隣接層に含有させ、露光工程及び現像工程、あるいは露光工程、現像工程及びエッチング工程を経ることにより、比較的簡易に導電性パターンが得られることが開示されている。 In order to solve the problem related to the ITO film, it has been proposed to use a conductive material such as silver nanowire (see Patent Documents 1 and 2). According to these proposals, a transparent conductive film can be easily produced by applying and forming a plurality of silver nanowire-containing layers on a transparent substrate by a wet process so as to form a network. In addition, a photosensitive material such as a photoresist is contained in the same layer as the silver nanowire-containing layer or an adjacent layer, and the conductive process is relatively easily performed through an exposure process and a development process, or an exposure process, a development process, and an etching process. It is disclosed that a sex pattern can be obtained.
しかし、導電性を向上させるためには銀ナノワイヤー間の接触頻度を高める必要があるため、銀ナノワイヤー含有層の分散媒の含有量を制限すると、形成される導電層の強度が弱くなり、非常に傷付き易くなる。このため、ウエッブ状の透明基材に大面積で塗布した後ロール状に巻き取る方法により大量生産すると、塗布機のパスローラーや基材裏面への接触によって導電層が傷付いてしまい、大量生産に耐えられないという課題がある。
前記課題を解決するため、例えば前記特許文献1に記載されているように、銀ナノワイヤー含有層上に感光層等の保護層を設けて導電層を保護することが考えられるが、現像後も保護層が残っているので導電層が保護層の下に埋没してしまい、表面導電性が失われ導電層と外部配線との電気的接続が不十分になってしまうという問題がある。
However, since it is necessary to increase the contact frequency between silver nanowires in order to improve conductivity, if the content of the dispersion medium of the silver nanowire-containing layer is limited, the strength of the formed conductive layer becomes weak, It becomes very easy to be damaged. For this reason, if mass production is performed by applying a large area to a web-shaped transparent substrate and then winding it into a roll, the conductive layer is damaged by contact with the pass roller of the coating machine or the back surface of the substrate, and mass production. There is a problem that it cannot withstand.
In order to solve the above problem, for example, as described in Patent Document 1, it may be possible to protect the conductive layer by providing a protective layer such as a photosensitive layer on the silver nanowire-containing layer, but also after development. Since the protective layer remains, there is a problem that the conductive layer is buried under the protective layer, the surface conductivity is lost, and the electrical connection between the conductive layer and the external wiring becomes insufficient.
したがって、外部配線との電気的接続が容易であり、かつ表面導電性に優れ、耐傷性が向上した導電膜形成用積層体及び導電膜形成用積層体の製造方法、並びにパターン形成方法、タッチパネル及び集積型太陽電池の速やかな提供が望まれているのが現状である。 Therefore, a conductive film-forming laminate, a conductive film-forming laminate, and a pattern-forming method, a touch panel, and a touch panel, which are easily electrically connected to external wiring and have excellent surface conductivity and improved scratch resistance. At present, prompt provision of integrated solar cells is desired.
本発明は、従来における前記諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明は、外部配線との電気的接続が容易であり、かつ表面導電性に優れ、耐傷性が向上した導電膜形成用積層体及び導電膜形成用積層体の製造方法、並びにパターン形成方法、タッチパネル及び集積型太陽電池を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to solve the above-described problems and achieve the following objects. That is, the present invention provides a conductive film-forming laminate, a conductive film-forming laminate, and a method for forming a pattern, which are easily electrically connected to external wiring, have excellent surface conductivity, and have improved scratch resistance. An object is to provide a method, a touch panel, and an integrated solar cell.
前記課題を解決するための手段としては、以下の通りである。即ち、
<1> 基材と、該基材上に少なくとも導電性繊維を含む導電性繊維含有層と、該導電性繊維含有層上に少なくとも水溶性ポリマーを含む可溶性保護層と、を有することを特徴とする導電膜形成用積層体である。
<2> 可溶性保護層の平均厚みが0.1μm〜5μmである前記<1>に記載の導電膜形成用積層体である。
<3> 水溶性ポリマーが、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ゼラチン及びセルロース誘導体から選択される少なくとも1種である前記<1>から<2>のいずれかに記載の導電膜形成用積層体である。
<4> 導電性繊維が金属ナノワイヤーである前記<1>から<3>のいずれかに記載の導電膜形成用積層体である。
<5> 金属ナノワイヤーが、銀、及び銀と銀以外の金属との合金のいずれかからなる前記<4>に記載の導電膜形成用積層体である。
<6> 導電性繊維含有層が、分散媒を含有する前記<1>から<5>のいずれかに記載の導電膜形成用積層体である。
<7> 導電性繊維含有層の表面抵抗が0.1Ω/□〜10,000Ω/□である前記<1>から<6>のいずれかに記載の導電膜形成用積層体である。
<8> 光透過率が70%以上である前記<1>から<7>のいずれかに記載の導電膜形成用積層体である。
<9> 基材と導電性繊維含有層の間に、感光層を有する前記<1>から<8>のいずれかに記載の導電膜形成用積層体である。
<10> 基材が透明である前記<1>から<9>のいずれかに記載の導電膜形成用積層体である。
<11> ロール状に巻回されてなる前記<1>から<10>のいずれかに記載の導電膜形成用積層体である。
<12> 基材上に、少なくとも導電性繊維を含有する導電性繊維含有層用組成物を塗布して導電性繊維含有層を形成する導電性繊維含有層形成工程と、
前記導電性繊維含有層上に、少なくとも水溶性ポリマーを含有する可溶性保護層用組成物を塗布して可溶性保護層を形成する可溶性保護層形成工程と、
を含むことを特徴とする導電膜形成用積層体の製造方法である。
<13> 可溶性保護層に溶媒を付与して該可溶性保護層を除去する可溶性保護層除去工程を含む前記<12>に記載の導電膜形成用積層体の製造方法である。
<14> 溶媒が、水及びアルカリ溶液のいずれかである前記<13>に記載の導電膜形成用積層体の製造方法である。
<15> 前記<1>から<11>のいずれかに記載の導電膜形成用積層体における少なくとも導電性繊維含有層を露光する露光工程と、
前記少なくとも導電性繊維含有層における露光部及び非露光部のいずれかと、可溶性保護層とを、溶媒を付与して除去する除去工程と、
を含むことを特徴とするパターン形成方法である。
<16> 溶媒が、アルカリ溶液である前記<15>に記載のパターン形成方法である。
<17> 前記<1>から<11>のいずれかに記載の導電膜形成用積層体を用いたことを特徴とするタッチパネルである。
<18> 前記<1>から<11>のいずれかに記載の導電膜形成用積層体を用いたことを特徴とする集積型太陽電池である。
Means for solving the problems are as follows. That is,
<1> It has a base material, a conductive fiber-containing layer containing at least conductive fibers on the base material, and a soluble protective layer containing at least a water-soluble polymer on the conductive fiber-containing layer. It is the laminated body for electrically conductive film formation to perform.
<2> The conductive film-forming laminate according to <1>, wherein the soluble protective layer has an average thickness of 0.1 μm to 5 μm.
<3> The conductive film-forming laminate according to any one of <1> to <2>, wherein the water-soluble polymer is at least one selected from polyvinyl pyrrolidone, polyvinyl alcohol, gelatin, and a cellulose derivative.
<4> The conductive film-forming laminate according to any one of <1> to <3>, wherein the conductive fibers are metal nanowires.
<5> The conductive film-forming laminate according to <4>, wherein the metal nanowire is made of any of silver and an alloy of silver and a metal other than silver.
<6> The conductive film-forming laminate according to any one of <1> to <5>, wherein the conductive fiber-containing layer contains a dispersion medium.
<7> The conductive film-forming laminate according to any one of <1> to <6>, wherein the surface resistance of the conductive fiber-containing layer is 0.1Ω / □ to 10,000Ω / □.
<8> The conductive film-forming laminate according to any one of <1> to <7>, wherein the light transmittance is 70% or more.
<9> The conductive film-forming laminate according to any one of <1> to <8>, wherein a photosensitive layer is provided between the substrate and the conductive fiber-containing layer.
<10> The conductive film-forming laminate according to any one of <1> to <9>, wherein the base material is transparent.
<11> The conductive film-forming laminate according to any one of <1> to <10>, which is wound in a roll shape.
<12> On the base material, a conductive fiber-containing layer forming step of forming a conductive fiber-containing layer by applying a conductive fiber-containing layer composition containing at least conductive fibers;
A soluble protective layer forming step of forming a soluble protective layer by applying a composition for a soluble protective layer containing at least a water-soluble polymer on the conductive fiber-containing layer;
It is a manufacturing method of the laminated body for electrically conductive film formation characterized by including.
<13> The method for producing a laminate for forming a conductive film according to <12>, including a soluble protective layer removing step of removing the soluble protective layer by applying a solvent to the soluble protective layer.
<14> The method for producing a laminate for forming a conductive film according to <13>, wherein the solvent is any one of water and an alkaline solution.
<15> An exposure step of exposing at least the conductive fiber-containing layer in the conductive film-forming laminate according to any one of <1> to <11>,
A removal step of removing at least one of the exposed portion and the non-exposed portion in the conductive fiber-containing layer and the soluble protective layer by applying a solvent;
A pattern forming method comprising:
<16> The pattern forming method according to <15>, wherein the solvent is an alkaline solution.
<17> A touch panel using the conductive film-forming laminate according to any one of <1> to <11>.
<18> An integrated solar cell using the conductive film-forming laminate according to any one of <1> to <11>.
本発明によると、従来における問題を解決することができ、外部配線との電気的接続が容易であり、かつ表面導電性に優れ、耐傷性が向上した導電膜形成用積層体及び導電膜形成用積層体の製造方法、並びに、パターン形成方法、タッチパネル及び集積型太陽電池を提供することができる。 According to the present invention, the conventional problems can be solved, the electrical connection with the external wiring is easy, the surface conductive property is excellent, and the scratch resistance is improved. A laminate manufacturing method, a pattern formation method, a touch panel, and an integrated solar cell can be provided.
(導電膜形成用積層体)
本発明の導電膜形成用積層体は、基材と、該基材上に導電性繊維含有層と、該導電性繊維含有層上に可溶性保護層とを有してなり、更に必要に応じてその他の層を有してなる。
前記「導電膜形成用積層体」は、導電性が発現していても導電性が発現していなくてもよく、導電性が発現している場合には「導電体」と称することもある。また、前記「導電性繊維含有層」は、導電性が発現していても導電性が発現していなくてもよく、導電性が発現している場合には、「導電層」と称することもある。
(Laminated body for forming conductive film)
The laminate for forming a conductive film of the present invention comprises a base material, a conductive fiber-containing layer on the base material, and a soluble protective layer on the conductive fiber-containing layer, and further if necessary. It has other layers.
The “conductive film-forming laminate” may or may not exhibit conductivity, and may be referred to as a “conductor” when conductivity is exhibited. In addition, the “conductive fiber-containing layer” may or may not exhibit conductivity, and may be referred to as a “conductive layer” when conductivity is expressed. is there.
<基材>
前記基材の形状、構造、大きさ等については特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、前記形状としては、膜状、シート状などが挙げられる。
前記基材としては、例えば、透明ガラス基板、合成樹脂製シート(フィルム)、金属基板、セラミック板、光電変換素子を有する半導体基板などが挙げられる。前記基板には、所望により、シランカップリング剤等の薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着などの前処理を行うことができる。
<Base material>
There is no restriction | limiting in particular about the shape, structure, size, etc. of the said base material, According to the objective, it can select suitably, For example, a film | membrane form, a sheet form, etc. are mentioned as said shape.
Examples of the substrate include a transparent glass substrate, a synthetic resin sheet (film), a metal substrate, a ceramic plate, and a semiconductor substrate having a photoelectric conversion element. If necessary, the substrate can be subjected to pretreatment such as chemical treatment such as a silane coupling agent, plasma treatment, ion plating, sputtering, gas phase reaction method, vacuum deposition and the like.
前記基材の全可視光透過率としては、70%以上が好ましく、85%以上がより好ましく、90%以上が更に好ましい。なお、本発明では、基材として本発明の目的を妨げない程度に着色したものを用いることもできる。
前記基材の厚みとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、1μm〜5,000μmが好ましく、3μm〜4,000μmがより好ましく、5μm〜3,000μmが更に好ましい。
前記厚みが、1μm未満であると、塗布工程でのハンドリングの困難さに起因して、歩留まりが低下することがあり、5,000μmを超えると、ポータブルなアプリケーションにおいては厚みや質量が問題となることがある。
The total visible light transmittance of the substrate is preferably 70% or more, more preferably 85% or more, and still more preferably 90% or more. In the present invention, a substrate that is colored to the extent that the object of the present invention is not hindered can also be used.
There is no restriction | limiting in particular as thickness of the said base material, Although it can select suitably according to the objective, 1 micrometer-5,000 micrometers are preferable, 3 micrometers-4,000 micrometers are more preferable, 5 micrometers-3,000 micrometers are still more preferable. .
If the thickness is less than 1 μm, the yield may decrease due to difficulty in handling in the coating process, and if it exceeds 5,000 μm, the thickness and mass are problematic in portable applications. Sometimes.
<導電性繊維含有層>
前記導電性繊維含有層は、少なくとも導電性繊維を含有し、分散媒、更に必要に応じてその他の成分を含有してなる。
<Conductive fiber-containing layer>
The conductive fiber-containing layer contains at least conductive fibers, a dispersion medium, and further contains other components as necessary.
〔導電性繊維〕
前記導電性繊維の構造としては、中実構造及び中空構造のいずれかであることが好ましい。
ここで、中実構造の繊維をワイヤーと呼ぶことがあり、中空構造の繊維をチューブと呼ぶことがある。
平均短軸長さが5nm〜1,000nmであって、平均長軸長さが1μm〜100μmの導電性繊維を「ナノワイヤー」と呼ぶことがある。
また、平均短軸長さが1nm〜1,000nm、平均長軸長さが0.1μm〜1,000μmであって、中空構造を持つ導電性繊維を「ナノチューブ」と呼ぶことがある。
前記導電性繊維の材料としては、導電性を有していればよく、金属又はカーボンであることが好ましく、これらの中でも、前記導電性繊維は、金属ナノワイヤー、金属ナノチューブ、又はカーボンナノチューブであることが好ましい。
[Conductive fiber]
The structure of the conductive fiber is preferably a solid structure or a hollow structure.
Here, the solid structure fiber may be referred to as a wire, and the hollow structure fiber may be referred to as a tube.
A conductive fiber having an average minor axis length of 5 nm to 1,000 nm and an average major axis length of 1 μm to 100 μm may be referred to as “nanowire”.
In addition, conductive fibers having an average minor axis length of 1 nm to 1,000 nm and an average major axis length of 0.1 μm to 1,000 μm and having a hollow structure may be referred to as “nanotubes”.
The material of the conductive fiber is only required to have conductivity, and is preferably a metal or carbon. Among these, the conductive fiber is a metal nanowire, a metal nanotube, or a carbon nanotube. It is preferable.
<<金属ナノワイヤー>>
−材料−
前記金属ナノワイヤーの材料としては、例えば、長周期律表(IUPAC1991)の第4周期、第5周期、及び第6周期からなる群から選ばれる少なくとも1種の金属が好ましく、第2族〜第14族から選ばれる少なくとも1種の金属がより好ましい。
<< Metal nanowires >>
-Material-
As the material of the metal nanowire, for example, at least one metal selected from the group consisting of the fourth period, the fifth period, and the sixth period of the long periodic table (IUPAC 1991) is preferable. More preferred is at least one metal selected from Group 14.
−金属−
前記金属としては、例えば、銅、銀、金、白金、パラジウム、ニッケル、錫、コバルト、ロジウム、イリジウム、鉄、ルテニウム、オスミウム、マンガン、モリブデン、タングステン、ニオブ、タンテル、チタン、ビスマス、アンチモン、鉛、又はこれらの合金などが挙げられる。これらの中でも、導電性に優れる点で、銀、及び銀との合金が特に好ましい。
前記銀との合金で使用する金属としては、白金、オスミウム、パラジウム、イリジウムなどが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
-Metal-
Examples of the metal include copper, silver, gold, platinum, palladium, nickel, tin, cobalt, rhodium, iridium, iron, ruthenium, osmium, manganese, molybdenum, tungsten, niobium, tantel, titanium, bismuth, antimony, and lead. Or alloys thereof. Among these, silver and an alloy with silver are particularly preferable in terms of excellent conductivity.
Examples of the metal used in the alloy with silver include platinum, osmium, palladium, and iridium. These may be used alone or in combination of two or more.
−形状−
前記金属ナノワイヤーの形状としては、例えば、円柱状、直方体状、断面が多角形となる柱状など任意の形状をとることができるが、高い透明性が必要とされる用途では、円柱状や断面の多角形の角が丸まっている断面形状であることが好ましい。
前記金属ナノワイヤーの断面形状は、基材上に金属ナノワイヤー水分散液を塗布し、断面を透過型電子顕微鏡(TEM)で観察することにより調べることができる。
-Shape-
As the shape of the metal nanowire, for example, a columnar shape, a rectangular parallelepiped shape, a columnar shape having a polygonal cross section, and the like, a column shape or a cross section can be used in applications where high transparency is required. It is preferable that it is a cross-sectional shape with rounded corners.
The cross-sectional shape of the metal nanowire can be examined by applying a metal nanowire aqueous dispersion on a substrate and observing the cross-section with a transmission electron microscope (TEM).
−平均短軸長さ径及び平均長軸長さ−
前記金属ナノワイヤーの平均短軸長さ(「平均短軸径」、「平均直径」と称することがある)としては、1nm〜50nmが好ましく、10nm〜40nmがより好ましく、15nm〜35nmが更に好ましい。
前記平均短軸長さが、1nm未満であると、耐酸化性が悪化し、耐久性が悪くなることがあり、50nmを超えると、金属ナノワイヤー起因の散乱が生じ、十分な透明性を得ることができないことがある。
前記金属ナノワイヤーの平均短軸長さは、透過型電子顕微鏡(TEM;日本電子株式会社製、JEM−2000FX)を用い、300個の金属ナノワイヤーを観察し、その平均値から金属ナノワイヤーの平均短軸長さを求めた。なお、前記金属ナノワイヤーの短軸が円形でない場合の短軸長さは、最も長いものを短軸長さとした。
−Average minor axis length diameter and average major axis length−
The average minor axis length of the metal nanowire (sometimes referred to as “average minor axis diameter” or “average diameter”) is preferably 1 nm to 50 nm, more preferably 10 nm to 40 nm, and even more preferably 15 nm to 35 nm. .
When the average minor axis length is less than 1 nm, the oxidation resistance may be deteriorated and the durability may be deteriorated. When the average minor axis length is more than 50 nm, scattering due to metal nanowires occurs and sufficient transparency is obtained. There are times when you can't.
The average minor axis length of the metal nanowires was observed using 300 transmission metal microscopes (TEM; JEM-2000FX, JEM-2000FX), and the average value of the metal nanowires was determined from the average value. The average minor axis length was determined. In addition, the shortest axis length when the short axis of the metal nanowire is not circular is the shortest axis.
前記金属ナノワイヤーの平均長軸長さ(「平均長さ」と称することがある)としては、1μm〜40μmであることが好ましく、3μm〜35μmがより好ましく、5μm〜30μmが更に好ましい。
前記平均長軸長さが、1μm未満であると、密なネットワークを形成することが難しく、十分な導電性を得ることができないことがあり、40μmを超えると、金属ナノワイヤーが長すぎて製造時に絡まり、製造過程で凝集物が生じてしまうことがある。
前記金属ナノワイヤーの平均長軸長さは、例えば透過型電子顕微鏡(TEM;日本電子株式会社製、JEM−2000FX)を用い、300個の金属ナノワイヤーを観察し、その平均値から金属ナノワイヤーの平均長軸長さを求めた。なお、前記金属ナノワイヤーが曲がっている場合、それを弧とする円を考慮し、その半径、及び曲率から算出される値を長軸長さとした。
前記金属ナノワイヤーの製造方法としては、例えば特開2009−215594号公報、特開2009−242880号公報、特開2009−299162号公報、特開2010−84173号公報、特開2010−86714号公報などに記載の方法を用いることができる。
The average major axis length (sometimes referred to as “average length”) of the metal nanowires is preferably 1 μm to 40 μm, more preferably 3 μm to 35 μm, and even more preferably 5 μm to 30 μm.
If the average major axis length is less than 1 μm, it may be difficult to form a dense network and sufficient conductivity may not be obtained. If it exceeds 40 μm, the metal nanowires are too long and manufactured. Sometimes entangled and agglomerates may occur during the manufacturing process.
The average major axis length of the metal nanowire is observed, for example, using a transmission electron microscope (TEM; JEM-2000FX, JEM-2000FX). The average major axis length was determined. In addition, when the said metal nanowire was bent, the circle | round | yen which makes it an arc was considered and the value calculated from the radius and curvature was made into the major axis length.
Examples of the method for producing the metal nanowire include, for example, JP 2009-215594 A, JP 2009-242880 A, JP 2009-299162 A, JP 2010-84173 A, and JP 2010-86714 A. Etc. can be used.
<<金属ナノチューブ>>
−材料−
前記金属ナノチューブの材料としては、前記した金属ナノワイヤーの材料などを使用することができる。
−形状−
前記金属ナノチューブの形状としては、単層であってもよく、多層であってもよいが、導電性及び熱伝導性に優れる点で単層が好ましい。
−平均短軸長さ、平均長軸長さ、厚み−
前記金属ナノチューブの厚み(外径と内径との差)としては、3nm〜80nmが好ましく、3nm〜30nmがより好ましい。
前記厚みが、3nm未満であると、耐酸化性が悪化し、耐久性が悪くなることがあり、80nmを超えると、金属ナノチューブ起因の散乱が生じることがある。
前記金属ナノチューブの平均長軸長さは、1μm〜40μmが好ましく、3μm〜35μmがより好ましく、5μm〜30μmが更に好ましい。
<< Metal Nanotubes >>
-Material-
As the metal nanotube material, the above-described metal nanowire material or the like can be used.
-Shape-
The shape of the metal nanotube may be a single layer or a multilayer, but a single layer is preferable in terms of excellent conductivity and thermal conductivity.
-Average minor axis length, average major axis length, thickness-
The thickness of the metal nanotube (difference between the outer diameter and the inner diameter) is preferably 3 nm to 80 nm, and more preferably 3 nm to 30 nm.
When the thickness is less than 3 nm, the oxidation resistance is deteriorated and the durability may be deteriorated. When the thickness is more than 80 nm, scattering due to the metal nanotube may occur.
The average major axis length of the metal nanotube is preferably 1 μm to 40 μm, more preferably 3 μm to 35 μm, and still more preferably 5 μm to 30 μm.
−製造方法−
前記金属ナノチューブの製造方法としては、例えば、米国出願公開2005/0056118号明細書等に記載の方法などを用いることができる。
-Manufacturing method-
As a method for producing the metal nanotube, for example, a method described in US Patent Application Publication No. 2005/0056118 and the like can be used.
<<カーボンナノチューブ>>
前記カーボンナノチューブ(CNT)は、グラファイト状炭素原子面(グラフェンシート)が、単層あるいは多層の同軸管状になった物質である。前記単層のカーボンナノチューブはシングルウォールナノチューブ(SWNT)、前記多層のカーボンナノチューブはマルチウォールナノチューブ(MWNT)と呼ばれ、特に、2層のカーボンナノチューブはダブルウォールナノチューブ(DWNT)とも呼ばれる。本発明で用いられる導電性繊維において、前記カーボンナノチューブは、単層であってもよく、多層であってもよいが、導電性及び熱伝導性に優れる点で単層が好ましい。
<< Carbon nanotube >>
The carbon nanotube (CNT) is a substance in which a graphite-like carbon atomic surface (graphene sheet) is a single-layer or multilayer coaxial tube. The single-walled carbon nanotubes are called single-walled nanotubes (SWNT), the multi-walled carbon nanotubes are called multi-walled nanotubes (MWNT), and the double-walled carbon nanotubes are also called double-walled nanotubes (DWNT). In the conductive fiber used in the present invention, the carbon nanotube may be a single wall or a multilayer, but a single wall is preferable from the viewpoint of excellent conductivity and thermal conductivity.
−アスペクト比−
前記導電性繊維のアスペクト比としては、10以上であることが好ましい。前記アスペクト比とは、一般的には繊維状の物質の長辺と短辺との比(平均長軸長さ/平均短軸長さの比)を意味する。
前記アスペクト比の測定方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、電子顕微鏡等により測定する方法などが挙げられる。
前記導電性繊維のアスペクト比を電子顕微鏡で測定する場合、前記導電性繊維のアスペクト比が10以上であるか否かは、電子顕微鏡の1視野で確認できればよい。また、前記導電性繊維の長軸長さと短軸長さとを各々別に測定することによって、前記導電性繊維全体のアスペクト比を見積もることができる。
なお、前記導電性繊維がチューブ状の場合には、前記アスペクト比を算出するための直径としては、該チューブの外径を用いる。
-Aspect ratio-
The aspect ratio of the conductive fiber is preferably 10 or more. The aspect ratio generally means the ratio between the long side and the short side of a fibrous material (ratio of average major axis length / average minor axis length).
There is no restriction | limiting in particular as a measuring method of the said aspect ratio, According to the objective, it can select suitably, For example, the method etc. which measure with an electron microscope etc. are mentioned.
When measuring the aspect ratio of the conductive fiber with an electron microscope, it is only necessary to confirm whether the aspect ratio of the conductive fiber is 10 or more with one field of view of the electron microscope. In addition, the aspect ratio of the entire conductive fiber can be estimated by measuring the major axis length and the minor axis length of the conductive fiber separately.
In addition, when the said conductive fiber is a tube shape, the outer diameter of this tube is used as a diameter for calculating the said aspect ratio.
前記導電性繊維のアスペクト比としては、10以上であれば特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、50〜1,000,000が好ましく、100〜1,000,000がより好ましい。
前記アスペクト比が、10未満であると、前記導電性繊維によるネットワーク形成がなされず導電性が十分取れないことがあり、1,000,000を超えると、導電性繊維の形成時やその後の取り扱いにおいて、成膜前に導電性繊維が絡まり凝集するため、安定な液が得られないことがある。
The aspect ratio of the conductive fiber is not particularly limited as long as it is 10 or more, and can be appropriately selected according to the purpose, but is preferably 50 to 1,000,000, and 100 to 1,000,000. More preferred.
When the aspect ratio is less than 10, network formation by the conductive fibers may not be performed and sufficient conductivity may not be obtained. When the aspect ratio exceeds 1,000,000, the conductive fibers may be formed or handled thereafter. In this case, since the conductive fibers are entangled and aggregate before film formation, a stable liquid may not be obtained.
−アスペクト比が10以上の導電性繊維の比率−
前記アスペクト比が10以上の導電性繊維の比率としては、全導電性組成物中に体積比で、50%以上が好ましく、60%以上がより好ましく、75%以上が特に好ましい。これらの導電性繊維の割合を、以下、「導電性繊維の比率」と呼ぶことがある。
前記導電性繊維の比率が、50%未満であると、導電性に寄与する導電性物質が減少し導電性が低下してしまうことがあり、同時に密なネットワークを形成できないために電圧集中が生じ、耐久性が低下してしまうことがある。また、導電性繊維以外の形状の粒子は、導電性に大きく寄与しない上に吸収を持つため好ましくない。特に金属の場合で、球形などのプラズモン吸収が強い場合には透明度が悪化してしまうことがある。
-Ratio of conductive fibers having an aspect ratio of 10 or more-
The ratio of the conductive fibers having an aspect ratio of 10 or more is preferably 50% or more, more preferably 60% or more, and particularly preferably 75% or more in volume ratio in the total conductive composition. Hereinafter, the ratio of these conductive fibers may be referred to as “the ratio of conductive fibers”.
If the ratio of the conductive fibers is less than 50%, the conductive material contributing to the conductivity may decrease and the conductivity may decrease. At the same time, a voltage concentration may occur because a dense network cannot be formed. , Durability may be reduced. In addition, particles having a shape other than the conductive fiber are not preferable because they do not greatly contribute to conductivity and have absorption. In particular, in the case of metal, transparency may be deteriorated when plasmon absorption such as a spherical shape is strong.
ここで、前記導電性繊維の比率は、例えば、導電性繊維が銀ナノワイヤーである場合には、銀ナノワイヤー水分散液をろ過して、銀ナノワイヤーと、それ以外の粒子とを分離し、ICP発光分析装置を用いてろ紙に残っている銀の量と、ろ紙を透過した銀の量とを各々測定することで、導電性繊維の比率を求めることができる。ろ紙に残っている導電性繊維をTEMで観察し、300個の導電性繊維の短軸長さを観察し、その分布を調べることにより、短軸長さが200nm以下であり、かつ長軸長さが1μm以上である導電性繊維であることを確認する。なお、ろ紙は、TEM像で短軸長さが200nm以下であり、かつ長軸長さが1μm以上である導電性繊維以外の粒子の最長軸を計測し、その最長軸の2倍以上であり、かつ導電性繊維の長軸の最短長以下の長さのものを用いることが好ましい。 Here, the ratio of the conductive fibers is, for example, when the conductive fibers are silver nanowires, the silver nanowire aqueous dispersion is filtered to separate the silver nanowires from the other particles. The ratio of the conductive fibers can be determined by measuring the amount of silver remaining on the filter paper and the amount of silver that has passed through the filter paper using an ICP emission analyzer. By observing the conductive fibers remaining on the filter paper with a TEM, observing the short axis lengths of 300 conductive fibers and examining their distribution, the short axis length is 200 nm or less and the long axis length is It confirms that it is an electroconductive fiber whose length is 1 micrometer or more. Note that the filter paper has a short axis length of 200 nm or less in the TEM image and the longest axis of particles other than conductive fibers having a long axis length of 1 μm or more is measured, and is at least twice the longest axis. And it is preferable to use the thing of the length below the shortest length of the long axis of an electroconductive fiber.
ここで、前記導電性繊維の平均短軸長さ及び平均長軸長さは、例えば、透過型電子顕微鏡(TEM)や光学顕微鏡を用い、TEM像や光学顕微鏡像を観察することにより求めることができ、本発明においては、導電性繊維の平均短軸長さ及び平均長軸長さは、透過型電子顕微鏡(TEM)により300個の導電性繊維を観察し、その平均値から求めたものである。 Here, the average minor axis length and the average major axis length of the conductive fiber can be obtained by observing a TEM image or an optical microscope image using, for example, a transmission electron microscope (TEM) or an optical microscope. In the present invention, the average minor axis length and the average major axis length of the conductive fibers are obtained by observing 300 conductive fibers with a transmission electron microscope (TEM) and obtaining the average value. is there.
<<分散媒>>
本発明において、前記分散媒とは、前記導電性繊維含有層の導電性繊維以外の全ての成分を意味する。前記導電性繊維含有層における分散媒の合計含有量A(1種のみの場合は単独の含有量)と、前記導電性繊維の含有量Bとの質量比(A/B)は、0.1〜5.0であることが好ましく、0.5〜3.0であることがより好ましい。前記質量比(A/B)が、0.1未満であると、導電性繊維の凝集による導電性や透過率・ヘイズ等の光学特性の劣化、導電性繊維含有層の力学強度や基板との密着性の劣化、特にフォトリソグラフィを用いたパターニングで得られるパターンの品質(露光パターンの忠実再現性)の劣化等の問題を生じたりすることがある。前記質量比(A/B)が、5.0を超えると、導電性繊維間の接触点数の減少による導電性の低下や、ヘイズ、光透過率などの光学特性の劣化を生じることがある。
前記分散媒は、後述の除去工程で少なくとも一部が溶出等によって減少する場合があるため、本発明において前記の分散媒の合計含有量Aは、除去工程を経た後の分散媒質量を用いることとする。分散媒の質量を除去工程で減少させる設計を行うことにより、塗布乾燥工程以前の導電性繊維の凝集抑制や導電性繊維含有層の力学強度の向上を図りつつ、除去工程以降の導電性を向上させる効果が得られるため、本発明において分散媒の質量は除去工程で減少することが好ましい。除去工程前の分散媒質量A0と除去工程後の分散媒質量の比(A/A0)は、0.01以上1未満であることが好ましく、0.1以上0.8未満であることがより好ましい。前記除去工程で分散媒の少なくとも一部を除去することは分散媒に水溶性ポリマーやアルカリ可溶性ポリマー等を含有させることにより好ましく行うことができる。
<< dispersion medium >>
In the present invention, the dispersion medium means all components other than the conductive fibers of the conductive fiber-containing layer. The mass ratio (A / B) between the total content A of the dispersion medium in the conductive fiber-containing layer (a single content in the case of only one type) and the content B of the conductive fiber is 0.1. It is preferable that it is -5.0, and it is more preferable that it is 0.5-3.0. When the mass ratio (A / B) is less than 0.1, deterioration of optical properties such as conductivity, transmittance and haze due to aggregation of conductive fibers, mechanical strength of the conductive fiber-containing layer, and the substrate Problems such as deterioration of adhesion, particularly deterioration of pattern quality (faithful reproducibility of an exposure pattern) obtained by patterning using photolithography may occur. When the mass ratio (A / B) exceeds 5.0, there may be a decrease in conductivity due to a decrease in the number of contact points between the conductive fibers, and deterioration of optical characteristics such as haze and light transmittance.
Since the dispersion medium may be reduced at least partly by elution or the like in the removal step described later, the total content A of the dispersion medium in the present invention uses the amount of the dispersion medium after the removal step. And By designing to reduce the mass of the dispersion medium in the removal process, the conductivity after the removal process is improved while suppressing aggregation of the conductive fibers before the coating and drying process and improving the mechanical strength of the conductive fiber-containing layer. In the present invention, the mass of the dispersion medium is preferably reduced in the removing step. The ratio (A / A0) of the dispersion medium amount A0 before the removal step and the dispersion medium amount after the removal step is preferably 0.01 or more and less than 1, more preferably 0.1 or more and less than 0.8. preferable. The removal of at least a part of the dispersion medium in the removing step can be preferably performed by adding a water-soluble polymer or an alkali-soluble polymer to the dispersion medium.
本発明において分散媒は、露光により画像を形成する機能を導電性繊維含有層に付与するか、又はそのきっかけを与える感光性化合物を含むことが好ましく、具体的には、(1)露光による酸を発生する化合物(光酸発生剤)、(2)感光性のキノンジアジド化合物、(3)光ラジカル発生剤等を挙げることができる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。また、感度調整のために、増感剤などを併用することもできる。これら以外の成分としては、後述するポリマー、モノマー、分散剤、溶媒、架橋剤、界面活性剤、酸化防止剤、硫化防止剤、金属腐食防止剤、粘度調整剤、防腐剤等の各種の添加剤などが挙げられる。これらの成分は、必要に応じて適宜含んでいてもよい。 In the present invention, the dispersion medium preferably contains a photosensitive compound that imparts the function of forming an image by exposure to the conductive fiber-containing layer or gives the trigger thereof. Specifically, (1) acid by exposure (2) a photosensitive quinonediazide compound, (3) a photoradical generator, and the like. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together. Moreover, a sensitizer etc. can also be used together for sensitivity adjustment. In addition to these components, various additives such as polymers, monomers, dispersants, solvents, crosslinking agents, surfactants, antioxidants, antioxidants, metal corrosion inhibitors, viscosity modifiers, preservatives, and the like described below. Etc. These components may be appropriately contained as necessary.
−(1)光酸発生剤−
前記(1)光酸発生剤としては、光カチオン重合の光開始剤、光ラジカル重合の光開始剤、色素類の光消色剤、光変色剤、あるいはマイクロレジスト等に使用されている活性光線又は放射線の照射により酸を発生する公知の化合物又はそれらの混合物を適宜に選択して使用することができる。
-(1) Photoacid generator-
(1) As the photoacid generator, a photoinitiator for photocationic polymerization, a photoinitiator for radical photopolymerization, a photodecolorant for dyes, a photochromic agent, an actinic ray used for a micro resist, etc. Alternatively, known compounds that generate an acid upon irradiation with radiation or a mixture thereof can be appropriately selected and used.
前記(1)光酸発生剤としては、例えば、ジアゾニウム塩、ホスホニウム塩、スルホニウム塩、ヨードニウム塩、イミドスルホネート、オキシムスルホネート、ジアゾジスルホン、ジスルホン、o−ニトロベンジルスルホネートなどが挙げられる。これらの中でも、スルホン酸を発生する化合物であるイミドスルホネート、オキシムスルホネート、o−ニトロベンジルスルホネートが特に好ましい。 Examples of the (1) photoacid generator include diazonium salts, phosphonium salts, sulfonium salts, iodonium salts, imide sulfonates, oxime sulfonates, diazodisulfones, disulfones, and o-nitrobenzyl sulfonates. Among these, imide sulfonate, oxime sulfonate, and o-nitrobenzyl sulfonate, which are compounds that generate sulfonic acid, are particularly preferable.
また、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する基、あるいは化合物を樹脂の主鎖又は側鎖に導入した化合物、例えば、米国特許第3,849,137号明細書、独国特許第3914407号明細書、特開昭63−26653号、特開昭55−164824号、特開昭62−69263号、特開昭63−146038号、特開昭63−163452号、特開昭62−153853号、特開昭63−146029号の各公報等に記載の化合物を用いることができる。
更に、米国特許第3,779,778号、欧州特許第126,712号等の各明細書に記載の光により酸を発生する化合物も使用することができる。
Further, a group capable of generating an acid upon irradiation with actinic rays or radiation, or a compound in which a compound is introduced into the main chain or side chain of the resin, such as US Pat. No. 3,849,137, German Patent No. 3914407. Description, JP-A-63-26653, JP-A-55-164824, JP-A-62-69263, JP-A-63-146038, JP-A-63-163452, JP-A-62-153853 The compounds described in JP-A-63-146029, etc. can be used.
Furthermore, compounds capable of generating an acid by light described in each specification such as US Pat. No. 3,779,778 and European Patent 126,712 can also be used.
−(2)キノンジアジド化合物−
前記(2)キノンジアジド化合物としては、例えば、1,2−キノンジアジドスルホニルクロリド類、ヒドロキシ化合物、アミノ化合物などを脱塩酸剤の存在下で縮合反応させることで得られる。
-(2) Quinonediazide compound-
The (2) quinonediazide compound can be obtained, for example, by subjecting 1,2-quinonediazidesulfonyl chlorides, hydroxy compounds, amino compounds and the like to a condensation reaction in the presence of a dehydrochlorinating agent.
前記(1)光酸発生剤、及び前記(2)キノンジアジド化合物の配合量は、露光部と未露光部の溶解速度差と、感度の許容幅の点から、後述するポリマーの総量100質量部に対して、1質量部〜100質量部が好ましく、3質量部〜80質量部がより好ましい。
なお、前記(1)光酸発生剤と、前記(2)キノンジアジド化合物とを併用してもよい。
The blending amount of the (1) photoacid generator and the (2) quinonediazide compound is set to 100 parts by mass of the total amount of polymer to be described later in terms of the difference in dissolution rate between the exposed part and the unexposed part and the allowable range of sensitivity. On the other hand, 1 mass part-100 mass parts are preferable, and 3 mass parts-80 mass parts are more preferable.
The (1) photoacid generator and the (2) quinonediazide compound may be used in combination.
前記(2)キノンジアジド化合物として、1,2−ナフトキノンジアジド基を有する化合物を用いると高感度で現像性が良好である。 When a compound having a 1,2-naphthoquinonediazide group is used as the (2) quinonediazide compound, high sensitivity and good developability are obtained.
−(3)光ラジカル発生剤−
前記導電性繊維含有層は、光を直接吸収し、又は光増感されて分解反応若しくは水素引き抜き反応を起こし、重合活性ラジカルを発生する機能を有する光ラジカル発生剤を分散媒として用いることができる。光ラジカル発生剤は波長300nm〜500nmの領域に吸収を有するものであることが好ましい。
-(3) Photoradical generator-
The conductive fiber-containing layer can use a photoradical generator having a function of directly absorbing light or photosensitized to cause a decomposition reaction or a hydrogen abstraction reaction to generate a polymerization active radical as a dispersion medium. . The photoradical generator preferably has absorption in a wavelength region of 300 nm to 500 nm.
前記光ラジカル発生剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。光ラジカル発生剤の含有量は、導電性繊維含有層全体に対して、0.1質量%〜50質量%であることが好ましく、0.5質量%〜30質量%がより好ましく、1質量%〜20質量%が更に好ましい。該数値範囲において、良好な感度とパターン形成性が得られる。 The said photoradical generator may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together. The content of the photo radical generator is preferably 0.1% by mass to 50% by mass, more preferably 0.5% by mass to 30% by mass with respect to the entire conductive fiber-containing layer, and 1% by mass. -20 mass% is still more preferable. In this numerical range, good sensitivity and pattern formability can be obtained.
前記光ラジカル発生剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば特開2008‐268884号記載の化合物群が挙げられる。これらの中でも、トリアジン系化合物、アセトフェノン系化合物、アシルホスフィン(オキシド)系化合物、オキシム系化合物、イミダゾール系化合物、ベンゾフェノン系化合物が露光感度の観点から特に好ましい。 There is no restriction | limiting in particular as said photoradical generator, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound group of Unexamined-Japanese-Patent No. 2008-268884 is mentioned. Among these, triazine compounds, acetophenone compounds, acylphosphine (oxide) compounds, oxime compounds, imidazole compounds, and benzophenone compounds are particularly preferable from the viewpoint of exposure sensitivity.
前記導電性繊維含有層は、露光感度向上のために、光ラジカル発生剤と連鎖移動剤を併用してもよい。
前記連鎖移動剤としては、例えば、N,N−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル等のN,N−ジアルキルアミノ安息香酸アルキルエステル、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、N−フェニルメルカプトベンゾイミダゾール、1,3,5−トリス(3−メルカブトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン等の複素環を有するメルカプト化合物、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、1,4−ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン等の脂肪族多官能メルカプト化合物などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
前記連鎖移動剤の含有量は、前記導電性繊維含有層全体に対し、0.01質量%〜15質量%が好ましく、0.1質量%〜10質量%がより好ましく、0.5質量%〜5質量%が更に好ましい。
In the conductive fiber-containing layer, a photo radical generator and a chain transfer agent may be used in combination for improving exposure sensitivity.
Examples of the chain transfer agent include N, N-dialkylaminobenzoic acid alkyl esters such as N, N-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester, 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzoimidazole, Heterocycles such as N-phenylmercaptobenzimidazole, 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione Polyfunctional mercapto compounds such as pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), 1,4-bis (3-mercaptobutyryloxy) butane Etc. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.
The content of the chain transfer agent is preferably 0.01% by mass to 15% by mass, more preferably 0.1% by mass to 10% by mass with respect to the entire conductive fiber-containing layer, and 0.5% by mass to 5 mass% is still more preferable.
−ポリマー−
前記ポリマーとしては、線状有機高分子重合体であって、分子(好ましくは、アクリル系共重合体、スチレン系共重合体を主鎖とする分子)中に少なくとも1つのアルカリ可溶性を促進する基(例えばカルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基など)を有するアルカリ可溶性樹脂の中から適宜選択することができる。
これらの中でも、有機溶剤に可溶で弱アルカリ水溶液により現像可能なものが好ましく、また、酸解離性基を有し、酸の作用により酸解離性基が解離した時にアルカリ可溶となるものが特に好ましい。
ここで、前記酸解離性基とは、酸の存在下で解離することが可能な官能基を表す。
-Polymer-
The polymer is a linear organic high molecular polymer, and at least one group that promotes alkali solubility in a molecule (preferably a molecule having an acrylic copolymer or a styrene copolymer as a main chain). It can be appropriately selected from alkali-soluble resins having (for example, carboxyl group, phosphoric acid group, sulfonic acid group, etc.).
Among these, those that are soluble in an organic solvent and that can be developed with a weak alkaline aqueous solution are preferable, and those that have an acid-dissociable group and become alkali-soluble when the acid-dissociable group is dissociated by the action of an acid. Particularly preferred.
Here, the acid dissociable group represents a functional group that can dissociate in the presence of an acid.
前記線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマーが好ましい。
前記側鎖にカルボン酸を有するポリマーとしては、例えば特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号の各公報に記載されているような、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等、並びに側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等であり、更に側鎖に(メタ)アクリロイル基を有する高分子重合体も好ましいものとして挙げられる。
As the linear organic polymer, a polymer having a carboxylic acid in the side chain is preferable.
Examples of the polymer having a carboxylic acid in the side chain include, for example, JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12777, JP-B-54-25957, JP-A-59-53836, A methacrylic acid copolymer, an acrylic acid copolymer, an itaconic acid copolymer, a crotonic acid copolymer, a maleic acid copolymer, a partial ester, as described in JP-A-59-71048 A maleic acid copolymer, etc., an acidic cellulose derivative having a carboxylic acid in the side chain, a polymer having a hydroxyl group with an acid anhydride added, and a polymer having a (meth) acryloyl group in the side chain Polymers are also preferred.
これらの中でも、ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体、ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸/他のモノマーからなる多元共重合体が特に好ましい。
更に、側鎖に(メタ)アクリロイル基を有する高分子重合体や(メタ)アクリル酸/グリシジル(メタ)アクリレート/他のモノマーからなる多元共重合体も有用なものとして挙げられる。該ポリマーは任意の量で混合して用いることができる。
Among these, benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymers and multi-component copolymers composed of benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid / other monomers are particularly preferable.
Furthermore, a high molecular polymer having a (meth) acryloyl group in the side chain and a multi-component copolymer comprising (meth) acrylic acid / glycidyl (meth) acrylate / other monomers are also useful. The polymer can be used by mixing in an arbitrary amount.
前記ポリマーの重量平均分子量は、アルカリ溶解速度、膜物性等の点から、1,000〜500,000が好ましく、3,000〜300,000がより好ましく、5,000〜200,000が更に好ましい。
ここで、前記重量平均分子量は、例えばゲルパーミエイションクロマトグラフィー法により測定し、標準ポリスチレン検量線を用いて求めることができる。
The weight average molecular weight of the polymer is preferably from 1,000 to 500,000, more preferably from 3,000 to 300,000, and even more preferably from 5,000 to 200,000, from the viewpoints of alkali dissolution rate, film physical properties and the like. .
Here, the weight average molecular weight can be determined, for example, by a gel permeation chromatography method and using a standard polystyrene calibration curve.
前記ポリマーの含有量は、前記導電性繊維含有層全体に対し5質量%〜90質量%であることが好ましく、10質量%〜85質量%がより好ましく、20質量%〜80質量%が更に好ましい。前記含有量の範囲にあると、現像性と金属ナノワイヤーの導電性の両立が図れる。 The content of the polymer is preferably 5% by mass to 90% by mass, more preferably 10% by mass to 85% by mass, and still more preferably 20% by mass to 80% by mass with respect to the entire conductive fiber-containing layer. . When the content is in the range, both developability and conductivity of the metal nanowire can be achieved.
−分散剤−
前記分散剤は、前記導電性繊維の凝集を防ぎ、分散させるために用いる。前記分散剤としては、前記導電性繊維を分散させることができれば特に制限はなく、目的に応じて適否選択することができ、例えば、市販の低分子顔料分散剤、高分子顔料分散剤を利用でき、特に高分子分散剤で導電性繊維に吸着する性質を持つものが好ましく用いられ、例えばポリビニルピロリドン、BYKシリーズ(ビックケミー社製)、ソルスパースシリーズ(日本ルーブリゾール社製など)、アジスパーシリーズ(味の素株式会社製)などが挙げられる。
-Dispersant-
The dispersant is used for preventing and dispersing the conductive fibers. The dispersant is not particularly limited as long as the conductive fibers can be dispersed, and can be appropriately selected according to the purpose. For example, commercially available low molecular pigment dispersants and polymer pigment dispersants can be used. In particular, a polymer dispersant having a property of adsorbing to conductive fibers is preferably used. For example, polyvinylpyrrolidone, BYK series (manufactured by Big Chemie), Solsperse series (manufactured by Nippon Lubrizol, etc.), Ajisper series ( Ajinomoto Co., Inc.).
前記分散剤の含有量としては、前記ポリマー100質量部に対し、0.1質量部〜50質量部が好ましく、0.5質量部〜40質量部がより好ましく、1質量部〜30質量部が特に好ましい。
前記含有量が、0.1質量部未満であると、分散液中で導電性繊維が凝集してしまうことがあり、50質量部を超えると、塗布工程において安定な液膜が形成できず、塗布ムラが発生することがある。
As content of the said dispersing agent, 0.1 mass part-50 mass parts are preferable with respect to 100 mass parts of said polymers, 0.5 mass part-40 mass parts are more preferable, and 1 mass part-30 mass parts are. Particularly preferred.
When the content is less than 0.1 parts by mass, the conductive fibers may aggregate in the dispersion, and when it exceeds 50 parts by mass, a stable liquid film cannot be formed in the coating process. Application unevenness may occur.
<可溶性保護層>
前記可溶性保護層は、水溶性ポリマーを含有し、更に必要に応じてその他の成分を含有してなる。
<Soluble protective layer>
The soluble protective layer contains a water-soluble polymer, and further contains other components as necessary.
−水溶性ポリマー−
前記水溶性ポリマーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えばゼラチン、ゼラチン誘導体、ガゼイン、寒天、でんぷん、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸共重合体、カルボキシアルキルセルロース、水溶性セルロースエーテル等のセルロース誘導体、ポリビニルピロリドン、デキストラン、ポリアルキレングリコールなどが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。これらの中でも、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ゼラチン、セルロース誘導体が特に好ましい。
前記ポリビニルピロリドンは、ビニルピロリドン単位以外の重合単位を有する共重合体であってもよく、そのような共重合体としては、例えば、ビニルピロリドン/ビニル酢酸共重合体等が挙げられる。ポリビニルアルコールは、ビニルアルコール単位以外の重合単位を有する共重合体であってもよく、そのような共重合体としては、例えば、ビニルアルコール/ビニルピロリドン共重合体等が挙げられる。
前記水溶性セルロース誘導体としては、例えばカルボキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルメチルセルロースなどが挙げられる。
前記ポリアルキレングリコールとしては、例えば、ポリエチレングリコール、エチレングリコール/プロピレングリコール共重合体、などが挙げられ、重量平均分子量が、5,000〜100,000のポリアルキレングリコールが好ましい。
-Water-soluble polymer-
The water-soluble polymer is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, gelatin, gelatin derivatives, casein, agar, starch, polyvinyl alcohol, polyacrylic acid copolymer, carboxyalkyl cellulose, water-soluble Cellulose derivatives such as water-soluble cellulose ether, polyvinylpyrrolidone, dextran, polyalkylene glycol and the like. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together. Among these, polyvinyl pyrrolidone, polyvinyl alcohol, gelatin, and cellulose derivatives are particularly preferable.
The polyvinyl pyrrolidone may be a copolymer having a polymer unit other than the vinyl pyrrolidone unit. Examples of such a copolymer include a vinyl pyrrolidone / vinyl acetic acid copolymer. The polyvinyl alcohol may be a copolymer having a polymer unit other than the vinyl alcohol unit. Examples of such a copolymer include a vinyl alcohol / vinyl pyrrolidone copolymer.
Examples of the water-soluble cellulose derivative include carboxymethylcellulose, hydroxyethylcellulose, hydroxypropylmethylcellulose and the like.
Examples of the polyalkylene glycol include polyethylene glycol and an ethylene glycol / propylene glycol copolymer, and a polyalkylene glycol having a weight average molecular weight of 5,000 to 100,000 is preferable.
前記その他の成分としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、フィラー、界面活性剤、酸化防止剤、硫化防止剤、金属腐食防止剤、粘度調整剤、防腐剤等の各種添加剤などが挙げられる。 The other components are not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, fillers, surfactants, antioxidants, sulfurization inhibitors, metal corrosion inhibitors, viscosity modifiers, preservatives And various other additives.
前記可溶性保護層は、後述する導電膜形成用積層体の製造方法により形成することができる。
前記可溶性保護層の平均厚みは、0.1μm〜5μmであることが好ましく、0.2μm〜2μmであることがより好ましく、0.5μm〜1μmであることが更に好ましい。前記平均厚みが、0.1μm未満であると、耐傷性を改良する効果が得られにくくなることがあり、5μmを超えると、可溶性保護層の除去に時間がかかったり、可溶性保護層が残存してしまうことがあり、また、保護層のバインダーが導電性繊維含有層に混入し導電性繊維の密度が下がるためか、可溶性保護層の除去に十分な時間をかけた場合でも導電性が低下する現象が見られることがある。
ここで、前記可溶性保護層の平均厚みは、例えば走査型電子顕微鏡(SEM)による保護層断面の観察により測定することができる。
The soluble protective layer can be formed by a method for producing a laminate for forming a conductive film, which will be described later.
The average thickness of the soluble protective layer is preferably 0.1 μm to 5 μm, more preferably 0.2 μm to 2 μm, and still more preferably 0.5 μm to 1 μm. If the average thickness is less than 0.1 μm, it may be difficult to obtain the effect of improving scratch resistance. If the average thickness exceeds 5 μm, it may take time to remove the soluble protective layer, or the soluble protective layer may remain. In addition, since the binder of the protective layer is mixed into the conductive fiber-containing layer and the density of the conductive fiber is decreased, the conductivity is lowered even when sufficient time is taken to remove the soluble protective layer. A phenomenon may be seen.
Here, the average thickness of the soluble protective layer can be measured, for example, by observing the cross section of the protective layer with a scanning electron microscope (SEM).
−感光層−
本発明においては、前記導電性繊維含有層が分散媒としての感光性化合物を含有しない場合には、前記基材と前記導電性繊維含有層の間に感光層を有することが好ましい。
前記感光層は、感光性化合物を少なくとも含み、ポリマー、更に必要に応じてその他の成分を含有してなる。
前記感光性化合物及びポリマーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば前記導電性繊維含有層と同様なものを用いることができる。
前記感光層の厚みは、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、0.01μm〜100μmであることが好ましく、0.05μm〜10μmであることがより好ましい。
-Photosensitive layer-
In this invention, when the said conductive fiber content layer does not contain the photosensitive compound as a dispersion medium, it is preferable to have a photosensitive layer between the said base material and the said conductive fiber content layer.
The photosensitive layer contains at least a photosensitive compound, and contains a polymer and, if necessary, other components.
There is no restriction | limiting in particular as said photosensitive compound and polymer, Although it can select suitably according to the objective, For example, the thing similar to the said conductive fiber content layer can be used.
There is no restriction | limiting in particular in the thickness of the said photosensitive layer, Although it can select suitably according to the objective, It is preferable that they are 0.01 micrometer-100 micrometers, and it is more preferable that they are 0.05 micrometer-10 micrometers.
(導電膜形成用積層体の製造方法)
本発明の導電膜形成用積層体の製造方法は、導電性繊維含有層形成工程と、可溶性保護層形成工程とを少なくとも含み、可溶性保護層除去工程、更に必要に応じてその他の工程を含んでなる。
(Method for producing conductive film-forming laminate)
The method for producing a laminate for forming a conductive film of the present invention includes at least a conductive fiber-containing layer forming step and a soluble protective layer forming step, a soluble protective layer removing step, and further including other steps as necessary. Become.
<導電性繊維含有層形成工程>
前記導電性繊維含有層形成工程は、基材上に、少なくとも導電性繊維を含有する導電性繊維含有層用組成物を塗布して導電性繊維含有層を形成する工程である。
<Conductive fiber-containing layer forming step>
The said conductive fiber content layer formation process is a process of apply | coating the composition for conductive fiber content layers containing a conductive fiber on a base material, and forming a conductive fiber content layer.
前記基材、及び前記導電性繊維としては、上述したものの中から適宜選択することができる。 The base material and the conductive fiber can be appropriately selected from those described above.
前記導電性繊維含有層用組成物の塗布方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えばロールコート法、バーコート法、ディップコーティング法、スピンコーティング法、キャスティング法、ダイコート法、ブレードコート法、バーコート法、グラビアコート法、カーテンコート法、スプレーコート法、ドクターコート法、などが挙げられる。 The method for applying the conductive fiber-containing layer composition is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, a roll coating method, a bar coating method, a dip coating method, a spin coating method, or a casting method. , Die coating method, blade coating method, bar coating method, gravure coating method, curtain coating method, spray coating method, doctor coating method, and the like.
前記金属ナノワイヤーの塗布量(含有量)としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、0.005g/m2〜0.5g/m2であることが好ましく、0.01g/m2〜0.45g/m2がより好ましく、0.015g/m2〜0.4g/m2が更に好ましい。
前記塗布量が、0.005g/m2未満であると、局所的に抵抗が高くなってしまう箇所ができ、面内の抵抗分布が悪化することがあり、0.5g/m2を超えると、塗布後の乾燥中に金属ナノワイヤー同士の凝集により、ヘイズが悪化することがある。
The coating amount of the metal nanowires as (content) is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose, it is preferably 0.005g / m 2 ~0.5g / m 2 , 0 more preferably .01g / m 2 ~0.45g / m 2 , 0.015g / m 2 ~0.4g / m 2 is more preferable.
When the coating amount is less than 0.005 g / m 2 , there may be a portion where the resistance is locally increased, and the in-plane resistance distribution may be deteriorated, and when it exceeds 0.5 g / m 2. The haze may deteriorate due to the aggregation of metal nanowires during drying after coating.
前記導電性繊維含有層の厚みとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することがで、20nm〜5,000nmが好ましく、25nm〜4,000nmがより好ましく、30nm〜3,500nmが更に好ましい。
前記厚みが、20nm未満であると、金属ナノワイヤーの平均短軸長さと変わらない範囲となってしまい、膜強度が低下することがあり、5,000nmを超えると、導電性繊維含有層のヒビ割れ、透過率やヘイズが悪化することがある。
There is no restriction | limiting in particular as thickness of the said conductive fiber content layer, According to the objective, it can select suitably, 20 nm-5,000 nm are preferable, 25 nm-4,000 nm are more preferable, 30 nm-3,500 nm are Further preferred.
If the thickness is less than 20 nm, the average minor axis length of the metal nanowires is not changed, and the film strength may be reduced. If the thickness exceeds 5,000 nm, the conductive fiber-containing layer cracks. Cracks, transmittance, and haze may deteriorate.
<可溶性保護層形成工程>
前記可溶性保護層形成工程は、前記導電性繊維含有層上に、少なくとも水溶性ポリマーを含有する可溶性保護層用組成物を塗布して可溶性保護層を形成する工程である。
<Soluble protective layer forming step>
The soluble protective layer forming step is a step of forming a soluble protective layer by applying a composition for a soluble protective layer containing at least a water-soluble polymer on the conductive fiber-containing layer.
前記水溶性ポリマーとしては、前記可溶性保護層と同様なものを用いることができる。
前記可溶性保護層用組成物は、少なくとも水溶性ポリマーを含有し、溶媒、更に必要に応じてその他の成分を含有してなる。
As the water-soluble polymer, those similar to the soluble protective layer can be used.
The composition for a soluble protective layer contains at least a water-soluble polymer, and contains a solvent and, if necessary, other components.
前記溶媒としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えばメタノール、エタノール、1−プロパノール、2−プロパノール、アセトン、2−ブタノン、酢酸エチル、酢酸プロピル、テトラヒドロフラン、アセトニトリル、ジオキサン、トルエン、キシレン、シクロヘキサノン、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、N,N−ジメチルホルムアミド、酢酸、水などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。これらの中でも、前記導電性繊維含有層を溶解しないものが好ましく、水が特に好ましい。 The solvent is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include methanol, ethanol, 1-propanol, 2-propanol, acetone, 2-butanone, ethyl acetate, propyl acetate, tetrahydrofuran, acetonitrile, Dioxane, toluene, xylene, cyclohexanone, ethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, N, N -Dimethylformamide, acetic acid, water and the like. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together. Among these, those that do not dissolve the conductive fiber-containing layer are preferable, and water is particularly preferable.
前記「塗布」としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば塗布法、印刷法、インクジェット法などの一般的な液相成膜法の全てを含むものである
前記塗布法としては、特に制限はなく、前記導電性繊維含有層用組成物の塗布方法と同じ方法が挙げられる。
前記印刷法としては、例えば凸版(活版)印刷法、孔版(スクリーン)印刷法、平版(オフセット)印刷法、凹版(グラビア)印刷法、などが挙げられる。
There is no restriction | limiting in particular as said "application | coating", According to the objective, it can select suitably, For example, all the general liquid phase film-forming methods, such as the apply | coating method, the printing method, the inkjet method, are mentioned The said apply | coating method There is no restriction | limiting in particular, The same method as the application | coating method of the said composition for conductive fiber content layers is mentioned.
Examples of the printing method include letterpress (letterpress) printing, stencil (screen) printing, lithographic (offset) printing, and intaglio (gravure) printing.
<可溶性保護層除去工程>
前記可溶性保護層除去工程は、可溶性保護層に溶媒を付与して該可溶性保護層を除去する工程である。
前記可溶性保護層除去工程は、導電膜形成用積層体の製造方法において、導電性繊維含有層のパターン形成時に行われるが、ユーザー側においてパターン形成と共に行うこともできる。
<Soluble protective layer removal step>
The soluble protective layer removing step is a step of removing the soluble protective layer by applying a solvent to the soluble protective layer.
The soluble protective layer removing step is performed at the time of pattern formation of the conductive fiber-containing layer in the method for manufacturing the conductive film-forming laminate, but can also be performed together with pattern formation on the user side.
前記溶媒としては、水及びアルカリ溶液のいずれかであることが好ましい。
前記水としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えばイオン交換水、限外濾過水、逆浸透水、蒸留水等の純水、又は超純水などが挙げられる。
前記アルカリ溶液に含まれるアルカリとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えばテトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、2−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムハイドロオキサイド、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどが挙げられる。
The solvent is preferably either water or an alkaline solution.
There is no restriction | limiting in particular as said water, According to the objective, it can select suitably, For example, pure water, such as ion-exchange water, ultrafiltration water, reverse osmosis water, distilled water, or ultrapure water etc. are mentioned. .
The alkali contained in the alkaline solution is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, 2-hydroxyethyltrimethylammonium hydroxide, sodium carbonate, Examples thereof include sodium hydrogen carbonate, potassium carbonate, potassium hydrogen carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide and the like.
前記水及びアルカリ溶液の付与方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば塗布、浸漬、噴霧などが挙げられる。これらの中でも、浸漬が特に好ましい。
前記水及びアルカリ溶液の浸漬時間は、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、10秒間〜5分間であることが好ましい。
There is no restriction | limiting in particular as the provision method of the said water and an alkaline solution, According to the objective, it can select suitably, For example, application | coating, immersion, spraying etc. are mentioned. Among these, immersion is particularly preferable.
There is no restriction | limiting in particular in the immersion time of the said water and an alkaline solution, Although it can select suitably according to the objective, It is preferable that it is 10 second-5 minutes.
(パターン形成方法)
本発明のパターン形成方法は、露光工程と、除去工程と、を含み、更に必要に応じてその他の工程を含んでなる。
(Pattern formation method)
The pattern forming method of the present invention includes an exposure step and a removal step, and further includes other steps as necessary.
<露光工程>
前記露光工程は、本発明の前記導電膜形成用積層体における少なくとも導電性繊維含有層を露光する工程である。
前記露光方法としては、フォトマスクを利用した面露光で行ってもよいし、レーザービームによる走査露光で行ってもよい。この際、レンズを用いた屈折式露光でも反射鏡を用いた反射式露光でもよく、コンタクト露光、プロキシミティー露光、縮小投影露光、反射投影露光などの露光方式を用いることができる。
<Exposure process>
The exposure step is a step of exposing at least the conductive fiber-containing layer in the conductive film-forming laminate of the present invention.
As the exposure method, surface exposure using a photomask may be performed, or scanning exposure using a laser beam may be performed. At this time, refractive exposure using a lens or reflection exposure using a reflecting mirror may be used, and exposure methods such as contact exposure, proximity exposure, reduced projection exposure, and reflection projection exposure can be used.
<除去工程>
前記除去工程は、前記少なくとも導電性繊維含有層における露光部及び非露光部のいずれかと、可溶性保護層とを、溶媒を付与して除去する工程である。
前記除去工程において、前記基材と導電性繊維含有層の間に、感光層を有する場合には、前記感光層における露光部及び非露光部のいずれかと、可溶性保護層とを除去する。
<Removal process>
The removal step is a step of removing at least one of the exposed portion and the non-exposed portion in the conductive fiber-containing layer and the soluble protective layer by applying a solvent.
In the said removal process, when it has a photosensitive layer between the said base material and a conductive fiber content layer, either the exposure part and non-exposed part in the said photosensitive layer, and a soluble protective layer are removed.
前記溶媒としては、アルカリ溶液が好ましい。前記アルカリ溶液としては、本発明の前記導電膜形成用積層体の製造方法と同様のものを用いることができる。
前記アルカリ溶液の付与方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば塗布、浸漬、噴霧などが挙げられる。これらの中でも、浸漬が特に好ましい。
前記アルカリ溶液の浸漬時間は、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、10秒間〜5分間であることが好ましい。
As the solvent, an alkaline solution is preferable. As the alkaline solution, the same solution as the manufacturing method of the conductive film forming laminate of the present invention can be used.
There is no restriction | limiting in particular as the provision method of the said alkaline solution, According to the objective, it can select suitably, For example, application | coating, immersion, spraying etc. are mentioned. Among these, immersion is particularly preferable.
There is no restriction | limiting in particular in the immersion time of the said alkaline solution, Although it can select suitably according to the objective, It is preferable that it is 10 seconds-5 minutes.
本発明の導電膜形成用積層体における導電性繊維含有層の表面抵抗は、0.1Ω/□〜10,000Ω/□であることが好ましく、0.1Ω/□〜1,000Ω/□であることがより好ましい。前記表面抵抗が低いこと自体に弊害は無いが、0.1Ω/□未満であると、光透過率の高い導電膜形成用積層体を得るのが困難になることがあり、10,000Ω/□を超えると、通電時に発生するジュール熱による断線を生じやすくなったり、配線の上流と下流で電圧降下が生じタッチパネルに用いる際の面積が制限されるなどの問題を生じることがある。
ここで、前記表面抵抗は、例えば表面抵抗計(三菱化学株式会社製、Loresta−GP MCP−T600)を用いて、表面抵抗を測定することができる。
The surface resistance of the conductive fiber-containing layer in the conductive film-forming laminate of the present invention is preferably 0.1Ω / □ to 10,000Ω / □, and preferably 0.1Ω / □ to 1,000Ω / □. It is more preferable. The low surface resistance itself is not harmful, but if it is less than 0.1 Ω / □, it may be difficult to obtain a conductive film-forming laminate having high light transmittance, and 10,000 Ω / □. Exceeding may cause problems such as disconnection due to Joule heat generated during energization, or voltage drop at the upstream and downstream of the wiring, limiting the area when used for a touch panel.
Here, the surface resistance can be measured using, for example, a surface resistance meter (Loresta-GP MCP-T600, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation).
本発明の導電膜形成用積層体の光透過率は、70%以上が好ましく、80%以上がより好ましい。前記光透過率が、70%未満であると、タッチパネル等の画像表示媒体に用いる際に導電パターンが目立ってしまい画像の品質を損ねたり、輝度低下を補償するために消費電力を増加させる必要が生じる等の弊害が生じることがある。
ここで、前記透過率は、例えば自記分光光度計(UV2400−PC、島津製作所製)により測定することができる。
70% or more is preferable and, as for the light transmittance of the laminated body for electrically conductive film formation of this invention, 80% or more is more preferable. When the light transmittance is less than 70%, the conductive pattern becomes conspicuous when used in an image display medium such as a touch panel, and it is necessary to increase the power consumption in order to reduce the image quality or compensate for the decrease in luminance. Detrimental effects such as occurrence may occur.
Here, the said transmittance | permeability can be measured with a self-recording spectrophotometer (UV2400-PC, Shimadzu Corporation make), for example.
本発明の導電膜形成用積層体は、高透過性、低抵抗であり、耐久性及び可撓性が向上し、簡易にパターニングが可能であるので、例えばタッチパネル、ディスプレイ用電極、電磁波シールド、有機ELディスプレイ用電極、無機ELディスプレイ用電極、電子パーパー、フレキシブルディスプレイ用電極、集積型太陽電池、表示素子、その他の各種デバイスなどに幅広く適用される。これらの中でも、タッチパネル、表示素子、集積型太陽電池が特に好ましい。 The laminate for forming a conductive film of the present invention has high permeability and low resistance, improved durability and flexibility, and can be easily patterned. For example, a touch panel, an electrode for display, an electromagnetic wave shield, organic It is widely applied to EL display electrodes, inorganic EL display electrodes, electronic paper, flexible display electrodes, integrated solar cells, display elements, and other various devices. Among these, a touch panel, a display element, and an integrated solar cell are particularly preferable.
<表示素子>
本発明で用いられる表示素子としての液晶表示素子は、上記のようにして基板上にパターニングされた本発明の前記導電膜形成用積層体が設けられた素子基板と、対向基板であるカラーフィルター基板とを、位置を合わせて圧着後、熱処理して組み合わせ、液晶を注入し、注入口を封止することによって製作される。このとき、カラーフィルター上に形成される導電膜形成用積層体も、本発明の前記導電膜形成用積層体を用いることが好ましい。
また、前記素子基板上に液晶を散布した後、基板を重ね合わせ、液晶が漏れないように密封して液晶表示素子が製作されてもよい。
なお、前記液晶表示素子に用いられる液晶、即ち液晶化合物及び液晶組成物については特に制限はなく、いずれの液晶化合物及び液晶組成物をも使用することができる。
<Display element>
A liquid crystal display element as a display element used in the present invention includes an element substrate provided with the conductive film-forming laminate of the present invention patterned on the substrate as described above, and a color filter substrate which is a counter substrate. Are aligned and pressure-bonded and then heat-treated and combined to inject liquid crystal and seal the injection port. At this time, the conductive film forming laminate formed on the color filter is also preferably the conductive film forming laminate of the present invention.
Further, after the liquid crystal is spread on the element substrate, the liquid crystal display element may be manufactured by superimposing the substrates and sealing the liquid crystal so as not to leak.
In addition, there is no restriction | limiting in particular about the liquid crystal used for the said liquid crystal display element, ie, a liquid crystal compound, and a liquid crystal composition, Any liquid crystal compound and liquid crystal composition can be used.
(タッチパネル)
本発明のタッチパネルは、本発明の前記導電膜形成用積層体を有する限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、表面型静電容量方式タッチパネル、投射型静電容量方式タッチパネル、抵抗膜式タッチパネルなどが挙げられる。
なお、このタッチパネルでは、本発明の「導電膜形成用積層体」を「透明導電体」として使用した場合であり、「導電性繊維含有層」は「導電層」に該当する。
(Touch panel)
The touch panel of the present invention is not particularly limited as long as it has the conductive film-forming laminate of the present invention, and can be appropriately selected according to the purpose. For example, a surface capacitive touch panel, a projection electrostatic Examples include a capacitive touch panel and a resistive touch panel.
In this touch panel, the “conductive film-forming laminate” of the present invention is used as a “transparent conductor”, and the “conductive fiber-containing layer” corresponds to the “conductive layer”.
ここで、前記タッチパネルは、以下に説明するように、反射防止フィルムを有することが好ましい。
<反射防止フィルム>
前記反射防止フィルムは、透明支持体上にハードコート層及び反射防止層を形成して作製される。
ここで、図1(A)〜図1(C)は、タッチパネルの層構成を示す模式図である。
図1(A)は、ディスプレイ101と、タッチパネル130と、反射防止フィルム120とからなり、タッチパネル130は、第1の電極105と、透明基板104と、第2の電極103と、透明接着剤102とからなり、反射防止フィルム120は、反射防止層109と、ハードコート層108とからなる。
図1(B)は、ディスプレイ101と、タッチパネル130と、反射防止フィルム120とからなり、タッチパネル130は、保護樹脂層110と、第1の電極105と、透明基板104と、第2の電極103と、透明接着剤102とからなり、反射防止フィルム120は、反射防止層109と、ハードコート層108とからなる。
図1(C)は、ディスプレイ101と、タッチパネル130と、反射防止フィルム120とからなり、タッチパネル130は、透明接着剤106と、第1の電極105と、透明基板104と、第2の電極103と、透明接着剤102とからなり、反射防止フィルム120は、反射防止層109と、ハードコート層108と、透明フィルム107とからなる。
Here, it is preferable that the touch panel has an antireflection film as described below.
<Antireflection film>
The antireflection film is produced by forming a hard coat layer and an antireflection layer on a transparent support.
Here, FIG. 1A to FIG. 1C are schematic views showing a layer structure of the touch panel.
1A includes a display 101, a touch panel 130, and an antireflection film 120. The touch panel 130 includes a first electrode 105, a transparent substrate 104, a second electrode 103, and a transparent adhesive 102. The antireflection film 120 includes an antireflection layer 109 and a hard coat layer 108.
1B includes a display 101, a touch panel 130, and an antireflection film 120. The touch panel 130 includes a protective resin layer 110, a first electrode 105, a transparent substrate 104, and a second electrode 103. And the transparent adhesive 102, and the antireflection film 120 includes an antireflection layer 109 and a hard coat layer 108.
1C includes a display 101, a touch panel 130, and an antireflection film 120. The touch panel 130 includes a transparent adhesive 106, a first electrode 105, a transparent substrate 104, and a second electrode 103. The antireflection film 120 includes an antireflection layer 109, a hard coat layer 108, and a transparent film 107.
−透明支持体−
前記透明支持体は、画像表示装置の視認者側表面に用いるため、光透過率が高く、かつ透明性に優れた無色のフィルムであることが要求される。このような透明支持体としては、プラスチックフィルムを用いることが好ましい。
前記プラスチックフィルムを形成するポリマーとしては、例えばセルロースアシレート(例えば富士フイルム株式会社製、TAC−TD80U、TD80UF等のセルローストリアセテート、セルロースジアセテート、セルロースアセテートプロピオネート、セルロースアセテートブチレート)、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリエステル(例えばポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート)、ポリスチレン、ポリオレフィン、ノルボルネン系樹脂(アートン:商品名、JSR株式会社製)、非晶質ポリオレフィン(ゼオネックス:商品名、日本ゼオン株式会社製)、(メタ)アクリル系樹脂(アクリペットVRL20A:商品名、三菱レイヨン株式会社製、特開2004−70296号公報や特開2006−171464号公報記載の環構造含有アクリル系樹脂)などが挙げられる。これらの中でも、セルローストリアセテート、セルロースアセテートプロピオネート、セルロースアセテートブチレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましく、セルローストリアセテートが特に好ましい。
-Transparent support-
Since the transparent support is used on the viewer-side surface of the image display device, the transparent support is required to be a colorless film having high light transmittance and excellent transparency. As such a transparent support, it is preferable to use a plastic film.
Examples of the polymer forming the plastic film include cellulose acylate (for example, cellulose triacetate such as TAC-TD80U, TD80UF, cellulose diacetate, cellulose acetate propionate, and cellulose acetate butyrate manufactured by Fuji Film Co., Ltd.), polyamide, Polycarbonate, polyester (for example, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate), polystyrene, polyolefin, norbornene resin (Arton: trade name, manufactured by JSR Corporation), amorphous polyolefin (ZEONEX: trade name, manufactured by Nippon Zeon Corporation), ( (Meth) acrylic resin (ACRYPET VRL20A: trade name, manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd., JP-A-2004-70296 and JP-A-2006-17146 And the like described in JP-ring structure-containing acrylic resin). Among these, cellulose triacetate, cellulose acetate propionate, cellulose acetate butyrate, polyethylene terephthalate, and polyethylene naphthalate are preferable, and cellulose triacetate is particularly preferable.
−ハードコート層−
前記反射防止フィルムには、フィルムの物理的強度を付与するために、ハードコート層を設けることが好ましい。前記ハードコート層は、2層以上の積層から構成されてもよい。
-Hard coat layer-
The antireflection film is preferably provided with a hard coat layer in order to impart physical strength of the film. The hard coat layer may be composed of a laminate of two or more layers.
前記ハードコート層の屈折率は、反射防止性のフィルムを得るための光学設計から、屈折率が1.48〜1.90であることが好ましく、1.50〜1.80であることがより好ましく、1.52〜1.65であることが更に好ましい。前記ハードコート層上に低屈折率層が少なくとも1層あるので、屈折率がこの範囲より小さ過ぎると反射防止性が低下し、大き過ぎると反射光の色味が強くなる傾向がある。 The refractive index of the hard coat layer is preferably 1.48 to 1.90, more preferably 1.50 to 1.80, from the optical design for obtaining an antireflection film. Preferably, it is 1.52-1.65. Since there is at least one low refractive index layer on the hard coat layer, when the refractive index is too small, the antireflection property is lowered, and when it is too large, the color of the reflected light tends to be strong.
前記ハードコート層の厚みは、フィルムに充分な耐久性、耐衝撃性を付与する観点から、前記ハードコート層の厚みは、0.5μm〜50μmであることが好ましく、1μm〜20μmであることがより好ましく、2μm〜15μmであることが更に好ましく、3μm〜10μmであることが特に好ましい。また、前記ハードコート層の強度は、鉛筆硬度試験で、2H以上であることが好ましく、3H以上であることがより好ましく、4H以上であることが更に好ましい。更に、前記ハードコート層は、JIS K5400に従うテーバー試験で、試験前後の試験片の摩耗量が少ないほど好ましい。 The thickness of the hard coat layer is preferably 0.5 μm to 50 μm, and preferably 1 μm to 20 μm, from the viewpoint of imparting sufficient durability and impact resistance to the film. More preferably, the thickness is 2 μm to 15 μm, more preferably 3 μm to 10 μm. Further, the strength of the hard coat layer is preferably 2H or more, more preferably 3H or more, and further preferably 4H or more, in a pencil hardness test. Further, the hard coat layer is preferably as the wear amount of the test piece before and after the test is smaller in the Taber test according to JIS K5400.
前記ハードコート層は、電離放射線硬化性化合物の架橋反応、又は、重合反応により形成されることが好ましい。例えば、電離放射線硬化性の多官能モノマーや多官能オリゴマーを含む組成物を透明支持体上に塗布し、多官能モノマーや多官能オリゴマーを架橋反応、又は、重合反応させることにより形成することができる。電離放射線硬化性の多官能モノマーや多官能オリゴマーの官能基としては、光、電子線、放射線重合性のものが好ましく、中でも光重合性官能基が好ましい。前記光重合性官能基としては、(メタ)アクリロイル基、ビニル基、スチリル基、アリル基等の不飽和の重合性官能基などが挙げられる。これらの中でも、(メタ)アクリロイル基が特に好ましい。具体的な化合物としては、特開2006−30740号公報の段落〔0087〕及び〔0088〕に記載のモノマーを使用することができ、特開2006−30740号公報の段落〔0089〕に記載の硬化方法を用いることができる。光重合の場合には特開2006−30740号公報の段落〔0090〕〜〔0093〕に記載の光重合開始剤を用いることができる。 The hard coat layer is preferably formed by a crosslinking reaction or a polymerization reaction of an ionizing radiation curable compound. For example, it can be formed by applying a composition containing an ionizing radiation-curable polyfunctional monomer or polyfunctional oligomer on a transparent support and subjecting the polyfunctional monomer or polyfunctional oligomer to a crosslinking reaction or a polymerization reaction. . The functional group of the ionizing radiation curable polyfunctional monomer or polyfunctional oligomer is preferably a light, electron beam, or radiation polymerizable group, and among them, a photopolymerizable functional group is preferable. Examples of the photopolymerizable functional group include unsaturated polymerizable functional groups such as a (meth) acryloyl group, a vinyl group, a styryl group, and an allyl group. Among these, a (meth) acryloyl group is particularly preferable. As specific compounds, monomers described in paragraphs [0087] and [0088] of JP-A-2006-30740 can be used, and curing described in paragraph [0089] of JP-A-2006-30740 can be used. The method can be used. In the case of photopolymerization, the photopolymerization initiator described in paragraphs [0090] to [0093] of JP-A-2006-30740 can be used.
前記ハードコート層には、内部散乱性付与の目的で、平均粒径が1.0μm〜10.0μm、好ましくは1.5μm〜7.0μmのマット粒子、例えば無機化合物の粒子又は樹脂粒子を含有してもよい。これらの粒子としては、例えば特開2006−30740号公報の段落〔0114〕に記載の粒子を用いることができる。 The hard coat layer contains matte particles having an average particle size of 1.0 μm to 10.0 μm, preferably 1.5 μm to 7.0 μm, such as inorganic compound particles or resin particles, for the purpose of imparting internal scattering properties. May be. As these particles, for example, the particles described in paragraph [0114] of JP-A-2006-30740 can be used.
前記ハードコート層のバインダーには、ハードコート層の屈折率を制御する目的で、高屈折率モノマー又は光散乱を生じない大きさの無機微粒子(一次粒子の直径が10nm〜200nm)、或いは両者を加えることができる。前記無機微粒子には屈折率を制御する効果に加えて、架橋反応による硬化収縮を抑える効果もある。前記無機微粒子としては、例えば特開2006−30740号公報の段落〔0120〕に無機フィラーとして記載されている化合物を用いることができる。 For the binder of the hard coat layer, for the purpose of controlling the refractive index of the hard coat layer, a high refractive index monomer or inorganic fine particles having a size that does not cause light scattering (the primary particle diameter is 10 nm to 200 nm), or both are used. Can be added. In addition to the effect of controlling the refractive index, the inorganic fine particles also have an effect of suppressing curing shrinkage due to a crosslinking reaction. As the inorganic fine particles, for example, a compound described as an inorganic filler in paragraph [0120] of JP-A-2006-30740 can be used.
−反射防止層−
前記反射防止フィルムは、前記ハードコート層上に反射防止層を形成したフィルムであり、光学干渉を利用しているため、前記反射防止層は以下に述べる屈折率と光学厚みを有することが好ましい。前記反射防止層は一層のみでもよいが、より低い反射率が求められる場合には複数の反射防止層を積層して形成する。複数の反射防止層の積層には、異なる屈折率を有する光学干渉層を交互に積層してもよく、異なる屈折率を有する光学干渉層を2層以上積層してもよい。具体的には、前記ハードコート層上に低屈折率層のみを設ける態様、ハードコート層上に高屈折率層、低屈折率層をこの順に設ける態様、ハードコート層上に中屈折率層、高屈折率層、低屈折率層をこの順に設ける態様、が常用されている。なお、屈折率層の低、中、高は、屈折率の相対的な大小関係の表現である。
前記低屈折率層の屈折率は前記のハードコート層の屈折率より低く設定することが好ましい。前記低屈折率層と前記ハードコート層との屈折率差が小さすぎる場合は反射防止性が低下し、大き過ぎると反射光の色味が強くなる傾向がある。前記低屈折率層と前記ハードコート層との屈折率差は0.01以上0.40以下が好ましく、0.05以上0.30以下がより好ましい(特開2009−201727号公報の段落〔0080〕参照)。
各層の屈折率と厚みは、以下を満たすことが好ましい。
-Antireflection layer-
The antireflection film is a film in which an antireflection layer is formed on the hard coat layer and utilizes optical interference. Therefore, the antireflection layer preferably has a refractive index and an optical thickness described below. The antireflection layer may be a single layer, but when a lower reflectance is required, a plurality of antireflection layers are laminated. In the lamination of the plurality of antireflection layers, optical interference layers having different refractive indexes may be alternately laminated, or two or more optical interference layers having different refractive indexes may be laminated. Specifically, an embodiment in which only a low refractive index layer is provided on the hard coat layer, an embodiment in which a high refractive index layer and a low refractive index layer are provided in this order on the hard coat layer, an intermediate refractive index layer on the hard coat layer, A mode in which a high refractive index layer and a low refractive index layer are provided in this order is commonly used. Note that low, medium, and high in the refractive index layer are expressions of the relative magnitude relationship of the refractive index.
The refractive index of the low refractive index layer is preferably set lower than the refractive index of the hard coat layer. When the refractive index difference between the low refractive index layer and the hard coat layer is too small, the antireflection property is lowered, and when it is too large, the color of the reflected light tends to be strong. The difference in refractive index between the low refractive index layer and the hard coat layer is preferably 0.01 or more and 0.40 or less, more preferably 0.05 or more and 0.30 or less (paragraph [0080] of JP2009-201727A. 〕reference).
The refractive index and thickness of each layer preferably satisfy the following.
前記低屈折率層の屈折率は、1.20〜1.46であることが好ましく、1.25〜1.42であることがより好ましく、1.30〜1.38であることが更に好ましい。また、前記低屈折率層の厚みは、50nm〜150nmであることが好ましく、70nm〜120nmであることがよりに好ましい。 The refractive index of the low refractive index layer is preferably 1.20 to 1.46, more preferably 1.25 to 1.42, and still more preferably 1.30 to 1.38. . The thickness of the low refractive index layer is preferably 50 nm to 150 nm, and more preferably 70 nm to 120 nm.
前記高屈折率層の上に前記低屈折率層を構築して、反射防止フィルムを作製するためには、前記高屈折率層の屈折率は1.55〜2.40であることが好ましく、1.60〜2.20であることがより好ましく、1.65〜2.10であることが更に好ましく、1.80〜2.00であることが特に好ましい。 In order to construct the low refractive index layer on the high refractive index layer and produce an antireflection film, the refractive index of the high refractive index layer is preferably 1.55 to 2.40, It is more preferably 1.60 to 2.20, further preferably 1.65 to 2.10, and particularly preferably 1.80 to 2.00.
支持体から近い順に中屈折率層、高屈折率層、低屈折率層を塗設し、反射防止フィルムを作製する場合、前記高屈折率層の屈折率は、1.65〜2.40であることが好ましく、1.70〜2.20であることがより好ましい。前記中屈折率層の屈折率は、前記低屈折率層の屈折率と高屈折率層の屈折率との間の値となるように調整する。前記中屈折率層の屈折率は、1.55〜1.80であることが好ましい。なお、前記高屈折率層、及び前記中屈折率層の厚みは、屈折率の範囲に応じた光学厚みとすることができる。 When an antireflective film is prepared by coating a medium refractive index layer, a high refractive index layer, and a low refractive index layer in order from the support, the refractive index of the high refractive index layer is 1.65 to 2.40. It is preferable that it is preferably 1.70 to 2.20. The refractive index of the middle refractive index layer is adjusted to be a value between the refractive index of the low refractive index layer and the refractive index of the high refractive index layer. The middle refractive index layer preferably has a refractive index of 1.55 to 1.80. In addition, the thickness of the said high refractive index layer and the said medium refractive index layer can be made into the optical thickness according to the range of refractive index.
−低屈折率層−
前記低屈折率層は、層の形成後に硬化させることが好ましい。前記低屈折率層のヘイズは、3%以下であることが好ましく、2%以下であることがより好ましく、1%以下であることが更に好ましい。
-Low refractive index layer-
The low refractive index layer is preferably cured after the layer is formed. The haze of the low refractive index layer is preferably 3% or less, more preferably 2% or less, and still more preferably 1% or less.
前記低屈折率層を形成するための好ましい組成物としては少なくとも以下のいずれかを含む組成物であることが好ましい。
(1)架橋性又は重合性の官能基を有する含フッ素ポリマーを含有する組成物
(2)含フッ素のオルガノシラン材料の加水分解縮合物を主成分とする組成物
(3)2個以上のエチレン性不飽和基を有するモノマーと中空構造を有する無機微粒子を含有する組成物、が挙げられる。
A preferred composition for forming the low refractive index layer is preferably a composition containing at least one of the following.
(1) A composition containing a fluorine-containing polymer having a crosslinkable or polymerizable functional group (2) A composition comprising as a main component a hydrolysis-condensation product of a fluorine-containing organosilane material (3) Two or more ethylenes And a composition containing a monomer having an unsaturated group and inorganic fine particles having a hollow structure.
(1)架橋性又は重合性の官能基を有する含フッ素ポリマーを含有する組成物
前記架橋性又は重合性の官能基を有する含フッ素ポリマーを含有する組成物としては、含フッ素モノマーと架橋性又は重合性の官能基を有するモノマーの共重合体を挙げることができる。
前記共重合体のうちで、主鎖が炭素原子のみからなり、かつ含フッ素ビニルモノマー重合単位と側鎖に(メタ)アクリロイル基を有する重合単位とを含んでなる共重合体としては、特開2004−45462号公報の段落〔0043〕〜〔0047〕に記載のP−1〜P−40を用いることができる。また、耐擦傷性、すべり性の改良のためにシリコーン成分を導入した含フッ素ポリマーとして、側鎖にポリシロキサン部位を含む重合単位を有し、主鎖にフッ素原子を有するグラフトポリマーとしては特開2003−222702号公報の段落〔0074〕〜〔0076〕の表1及び表2に記載の化合物を用いることができ、主鎖にポリシロキサン化合物に由来する構造単位を含むエチレン性不飽和基含有フッ素重合体としては、特開2003−183322号公報に記載の化合物を用いることができる。
(1) Composition containing a fluorinated polymer having a crosslinkable or polymerizable functional group As the composition containing a fluorinated polymer having a crosslinkable or polymerizable functional group, a fluorine-containing monomer and a crosslinkable or Mention may be made of a copolymer of monomers having a polymerizable functional group.
Among the above-mentioned copolymers, as a copolymer having a main chain composed only of carbon atoms and comprising a fluorine-containing vinyl monomer polymer unit and a polymer unit having a (meth) acryloyl group in the side chain, JP-A P-1 to P-40 described in paragraphs [0043] to [0047] of 2004-45462 can be used. Further, as a fluorine-containing polymer into which a silicone component is introduced for improving scratch resistance and slipperiness, a graft polymer having a polymer unit containing a polysiloxane moiety in the side chain and a fluorine atom in the main chain is disclosed in JP The compounds described in Tables 1 and 2 of paragraphs [0074] to [0076] of 2003-222702 can be used, and the main chain contains an ethylenically unsaturated group-containing fluorine containing a structural unit derived from a polysiloxane compound. As the polymer, compounds described in JP-A No. 2003-183322 can be used.
前記ポリマーに対しては特開2000−17028号公報に記載のごとく適宜重合性不飽和基を有する硬化剤を併用してもよい。また、特開2002−145952号に記載のごとく含フッ素の多官能の重合性不飽和基を有する化合物との併用も好ましい。多官能の重合性不飽和基を有する化合物の例としては、前記2個以上のエチレン性不飽和基を有するモノマーを挙げることができる。また、特開2004−170901号公報に記載のオルガノランの加水分解縮合物も好ましく、特に(メタ)アクリロイル基を含有するオルガノシランの加水分解縮合物が好ましい。これら化合物は、特にポリマー本体に重合性不飽和基を有する化合物を用いた場合に耐擦傷性改良に対する併用効果が大きく好ましい。 As described in JP 2000-17028 A, a curing agent having a polymerizable unsaturated group may be used in combination with the polymer. Moreover, combined use with the compound which has a fluorine-containing polyfunctional polymerizable unsaturated group as described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2002-145952 is also preferable. Examples of the compound having a polyfunctional polymerizable unsaturated group include the monomer having two or more ethylenically unsaturated groups. Moreover, the hydrolysis-condensation product of the organolane described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2004-170901 is also preferable, and the hydrolysis-condensation product of the organosilane containing a (meth) acryloyl group is especially preferable. These compounds are particularly preferred because they have a large combined effect for improving scratch resistance, particularly when a compound having a polymerizable unsaturated group is used in the polymer body.
前記ポリマー自身が単独で十分な硬化性を有しない場合には、架橋性化合物を配合することにより、必要な硬化性を付与することができる。例えばポリマー本体に水酸基含有する場合には、各種アミノ化合物を硬化剤として用いることが好ましい。架橋性化合物として用いられるアミノ化合物は、例えば、ヒドロキシアルキルアミノ基及びアルコキシアルキルアミノ基のいずれか一方又は両方を合計で2個以上含有する化合物であり、具体的には、例えば、メラミン系化合物、尿素系化合物、ベンゾグアナミン系化合物、グリコールウリル系化合物等を挙げることができる。これら化合物の硬化には、有機酸又はその塩を用いるのが好ましい。 When the polymer itself does not have sufficient curability, the necessary curability can be imparted by blending a crosslinkable compound. For example, when the polymer body contains a hydroxyl group, various amino compounds are preferably used as the curing agent. The amino compound used as the crosslinkable compound is, for example, a compound containing one or both of a hydroxyalkylamino group and an alkoxyalkylamino group in total, specifically, for example, a melamine compound, Examples include urea compounds, benzoguanamine compounds, glycoluril compounds, and the like. For curing these compounds, an organic acid or a salt thereof is preferably used.
(2)含フッ素のオルガノシラン材料の加水分解縮合物
前記含フッ素のオルガノシラン化合物の加水分解縮合物を主成分とする組成物も屈折率が低く、塗膜表面の硬度が高く好ましい。フッ素化アルキル基に対して片末端又は両末端に加水分解性のシラノールを含有する化合物とテトラアルコキシシランの縮合物が好ましい。具体的組成物は、特開2002−265866号公報、特開2002−317152号公報に記載されている。
(2) Hydrolyzed condensate of fluorine-containing organosilane material The composition mainly composed of the hydrolyzed condensate of the fluorine-containing organosilane compound is also preferable because of its low refractive index and high coating surface hardness. A condensate of a tetraalkoxysilane with a hydrolyzable silanol-containing compound at one or both ends with respect to the fluorinated alkyl group is preferred. Specific compositions are described in JP-A Nos. 2002-265866 and 2002-317152.
(3)2個以上のエチレン性不飽和基を有するモノマーと中空構造を有する無機微粒子を含有する組成物
更に別の好ましい態様として、低屈折率の粒子とバインダーからなる低屈折率層が挙げられる。低屈折率粒子としては、有機でも無機でもよいが、内部に空孔を有する粒子が好ましい。中空粒子の具体例としては、特開2002−79616号公報に記載のシリカ系粒子に記載されている。粒子屈折率は1.15〜1.40が好ましく、1.20〜1.30が更に好ましい。バインダーとしては、前記ハードコート層の項で述べた2個以上のエチレン性不飽和基を有するモノマーを挙げることができる。
(3) A composition containing a monomer having two or more ethylenically unsaturated groups and inorganic fine particles having a hollow structure As yet another preferred embodiment, a low refractive index layer comprising low refractive index particles and a binder can be mentioned. . The low refractive index particles may be organic or inorganic, but particles having pores inside are preferable. Specific examples of the hollow particles are described in silica-based particles described in JP-A No. 2002-79616. The particle refractive index is preferably 1.15 to 1.40, more preferably 1.20 to 1.30. Examples of the binder include monomers having two or more ethylenically unsaturated groups described in the section of the hard coat layer.
前記低屈折率層には、上記の防眩層の頁で述べた重合開始剤を添加することが好ましい。ラジカル重合性化合物を含有する場合には、該化合物100質量部に対して1質量部〜10質量部添加することが好ましく、1質量部〜5質量部添加することがより好ましい。 It is preferable to add the polymerization initiator described on the page of the antiglare layer to the low refractive index layer. When a radically polymerizable compound is contained, it is preferable to add 1 part by mass to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the compound, and it is more preferable to add 1 part by mass to 5 parts by mass.
前記低屈折率層には、無機粒子を併用することができる。耐擦傷性を付与するために、低屈折率層の厚みの15%〜150%、好ましくは30%〜100%、更に好ましくは45%〜60%の粒径を有する微粒子を使用することができる。 In the low refractive index layer, inorganic particles can be used in combination. In order to impart scratch resistance, fine particles having a particle size of 15% to 150%, preferably 30% to 100%, more preferably 45% to 60% of the thickness of the low refractive index layer can be used. .
前記低屈折率層には、防汚性、耐水性、耐薬品性、滑り性等の特性を付与する目的で、公知のポリシロキサン系あるいはフッ素系の防汚剤、滑り剤等を適宜添加することができる。 For the purpose of imparting antifouling properties, water resistance, chemical resistance, slipping properties and the like, a known polysiloxane-based or fluorine-based antifouling agent, slipping agent, etc. are appropriately added to the low refractive index layer. be able to.
−高屈折率層/中屈折率層−
前記反射防止フィルムには、前記のように低屈折率層とハードコート層の間に屈折率の高い層を設け、反射防止性を高めることができる。
前記高屈折率層及び中屈折率層は高屈折無機微粒子とバインダーを含有する硬化性組成物から形成されることが好ましい。ここで使用することのできる高屈折率無機微粒子は前記、ハードコート層の屈折率を高めるために含有することのできる高屈折率の無機微粒子を用いることができる。
-High refractive index layer / Medium refractive index layer-
As described above, the antireflection film can be provided with a layer having a high refractive index between the low refractive index layer and the hard coat layer to enhance the antireflection property.
The high refractive index layer and the medium refractive index layer are preferably formed from a curable composition containing high refractive inorganic fine particles and a binder. As the high refractive index inorganic fine particles that can be used here, the high refractive index inorganic fine particles that can be contained to increase the refractive index of the hard coat layer can be used.
前記高屈折率層及び中屈折率層は、分散媒体中に無機粒子を分散した分散液に、好ましくは、更にマトリックス形成に必要なバインダー前駆体(例えば、後述する電離放射線硬化性の多官能モノマーや多官能オリゴマーなど)、光重合開始剤等を加えて高屈折率層及び中屈折率層形成用の塗布組成物とし、透明支持体上に高屈折率層及び中屈折率層形成用の塗布組成物を塗布して、電離放射線硬化性化合物(例えば、多官能モノマーや多官能オリゴマーなど)の架橋反応又は重合反応により硬化させて形成することが好ましい。 The high refractive index layer and the medium refractive index layer are preferably a binder precursor (for example, an ionizing radiation curable polyfunctional monomer described later) necessary for forming a matrix in a dispersion in which inorganic particles are dispersed in a dispersion medium. And a polyfunctional oligomer), a photopolymerization initiator, and the like to form a coating composition for forming a high refractive index layer and a medium refractive index layer, and coating for forming a high refractive index layer and a medium refractive index layer on a transparent support. Preferably, the composition is applied and cured by a crosslinking reaction or a polymerization reaction of an ionizing radiation curable compound (for example, a polyfunctional monomer or polyfunctional oligomer).
更に、高屈折率層及び中屈折率層のバインダーを層の塗布と同時又は塗布後に、分散剤と架橋反応又は重合反応させることが好ましい。
このようにして作製した高屈折率層及び中屈折率層のバインダーは、例えば、上記の好ましい分散剤と電離放射線硬化性の多官能モノマーや多官能オリゴマーとが、架橋又は重合反応し、バインダーに分散剤のアニオン性基が取りこまれた形となる。更に高屈折率層及び中屈折率層のバインダーは、アニオン性基が無機粒子の分散状態を維持する機能を有し、架橋又は重合構造がバインダーに皮膜形成能を付与して、無機粒子を含有する高屈折率層及び中屈折率層の物理強度、耐薬品性、耐候性を改良する。
Furthermore, it is preferable to cause the binder of the high refractive index layer and the medium refractive index layer to undergo a crosslinking reaction or a polymerization reaction with the dispersant simultaneously with or after the coating of the layer.
The binder of the high refractive index layer and the medium refractive index layer produced in this way is, for example, the above-mentioned preferred dispersant and ionizing radiation curable polyfunctional monomer or polyfunctional oligomer are crosslinked or polymerized to form a binder. The anionic group of the dispersant is incorporated. Furthermore, the binder of the high refractive index layer and the medium refractive index layer has a function in which the anionic group maintains the dispersed state of the inorganic particles, and the crosslinked or polymerized structure imparts film forming ability to the binder and contains inorganic particles. To improve the physical strength, chemical resistance and weather resistance of the high refractive index layer and medium refractive index layer.
前記高屈折率層のバインダーは、該層の塗布組成物の固形分量に対して、5質量%〜80質量%添加する。
前記高屈折率層における無機粒子の含有量は、前記高屈折率層の質量に対し10質量%〜90質量%であることが好ましく、15質量%〜80質量%であることがより好ましく、15質量%〜75質量%であることが更に好ましい。前記無機粒子は高屈折率層内で2種類以上を併用してもよい。
前記高屈折率層の上に低屈折率層を有する場合、前記高屈折率層の屈折率は透明支持体の屈折率より高いことが好ましい。
The binder of the high refractive index layer is added in an amount of 5% by mass to 80% by mass with respect to the solid content of the coating composition of the layer.
The content of the inorganic particles in the high refractive index layer is preferably 10% by mass to 90% by mass, more preferably 15% by mass to 80% by mass with respect to the mass of the high refractive index layer. It is still more preferable that it is mass%-75 mass%. Two or more kinds of the inorganic particles may be used in combination in the high refractive index layer.
When the low refractive index layer is provided on the high refractive index layer, the refractive index of the high refractive index layer is preferably higher than the refractive index of the transparent support.
前記高屈折率層を光学干渉層として用いるときの厚みは、30nm〜200nmが好ましく、50nm〜170nmがより好ましく、60nm〜150nmが更に好ましい。
前記高屈折率層及び中屈折率層のヘイズは、低いほど好ましい。前記ヘイズは、5%以下であることが好ましく、3%以下であることがより好ましく、1%以下であることが更に好ましい。
The thickness when the high refractive index layer is used as an optical interference layer is preferably 30 nm to 200 nm, more preferably 50 nm to 170 nm, and still more preferably 60 nm to 150 nm.
The haze of the high refractive index layer and the medium refractive index layer is preferably as low as possible. The haze is preferably 5% or less, more preferably 3% or less, and still more preferably 1% or less.
本発明において、低屈折率層を設けた反射防止性防眩フィルムの好ましい積分反射率は、3.0%以下であることが好ましく、2.0%以下であることがより好ましく、1.5%以下0.3%以上であることが更に好ましい。 In the present invention, the preferable integrated reflectance of the antireflection antiglare film provided with the low refractive index layer is preferably 3.0% or less, more preferably 2.0% or less, and 1.5 More preferably, it is 0.3% or less.
本発明においては、防汚性向上の観点から、更に、低屈折率層表面の表面自由エネルギーを下げることが好ましい。具体的には、含フッ素化合物やポリシロキサン構造を有する化合物を低屈折率層に使用することが好ましい。また、低屈折率層の上に下記の化合物を含む防汚層を低屈折率層とは別に設けてもよい。 In the present invention, it is preferable to further reduce the surface free energy of the surface of the low refractive index layer from the viewpoint of improving the antifouling property. Specifically, it is preferable to use a fluorine-containing compound or a compound having a polysiloxane structure for the low refractive index layer. Further, an antifouling layer containing the following compound may be provided on the low refractive index layer separately from the low refractive index layer.
ポリシロキサン構造を有する添加剤としては、反応性基含有ポリシロキサン{例えば“KF−100T”、“X−22−169AS”、“KF−102”、“X−22−3701IE”、“X−22−164B”、“X−22−5002”、“X−22−173B”、“X−22−174D”、“X−22−167B”、“X−22−161AS”(商品名)、以上信越化学工業株式会社製;“AK−5”、“AK−30”、“AK−32”(商品名)、以上東亜合成株式会社製;「サイラプレーンFM0725」、「サイラプレーンFM0721」(商品名)、以上チッソ株式会社製等}を添加するのも好ましい。また、特開2003−112383号公報の表2、表3に記載のシリコーン系化合物も好ましく使用できる。これらのポリシロキサンは低屈折率層全固形分の0.1質量%〜10質量%の範囲で添加されることが好ましく、1質量%〜5質量%であることがより好ましい。 Examples of the additive having a polysiloxane structure include a reactive group-containing polysiloxane {for example, “KF-100T”, “X-22-169AS”, “KF-102”, “X-22-3701IE”, “X-22”. -164B "," X-22-5002 "," X-22-173B "," X-22-174D "," X-22-167B "," X-22-161AS "(product name), Shin-Etsu “AK-5”, “AK-30”, “AK-32” (trade name), manufactured by Toa Gosei Co., Ltd .; “Silaplane FM0725”, “Silaplane FM0721” (trade name) In addition, it is also preferable to add, for example, manufactured by Chisso Corporation. Moreover, the silicone type compound of Table 2 and Table 3 of Unexamined-Japanese-Patent No. 2003-112383 can also be used preferably. These polysiloxanes are preferably added in the range of 0.1% by mass to 10% by mass of the total solid content of the low refractive index layer, and more preferably 1% by mass to 5% by mass.
<<反射防止フィルムの作製方法>>
前記反射防止フィルムは、以下の塗布方式で形成することができるが、これらに制限されるものではない。
<< Preparation Method of Antireflection Film >>
The antireflection film can be formed by the following coating method, but is not limited thereto.
−塗布の準備作業−
まず、ハードコート層や反射防止層などの各層を形成するための成分を含有した塗布液が調製される。通常、塗布液は有機溶媒系が主であるので含水量を2質量%以下に抑制すると共に、密閉して溶媒の揮発量を抑制することが必要である。用いる有機溶媒は各層に用いられる材料により選択される。塗布液の均一性を得るために適宜、攪拌機や分散機が使用される。
調製された塗布液は、塗布故障を発生させないために塗布前に濾過されることが好ましい。濾過のフィルタは、塗布液中の成分が除去されない範囲でできるだけ孔径の小さいものを使うことが好ましく、濾過圧力も1.5MPa以下で適宜選択される。濾過した塗布液は、塗布直前に超音波分散して、脱泡、分散物の分散保持することが好ましい。
本発明で使用する透明支持体は、塗布前に、ベース変形の矯正のための加熱処理、又は、塗工性改良や塗設層との接着性改良のための表面処理を施してもよい。表面処理の具体的方法としては、コロナ放電処理、グロー放電処理、火炎処理、酸処理、アルカリ処理又は紫外線照射処理が挙げられる。また、特開平7−333433号公報に記載のように、下塗り層を設けることも好ましく利用される。
−Preparation work for application−
First, a coating solution containing components for forming each layer such as a hard coat layer and an antireflection layer is prepared. Usually, since the coating liquid is mainly an organic solvent system, it is necessary to suppress the water content to 2% by mass or less and to seal it to suppress the volatilization amount of the solvent. The organic solvent to be used is selected according to the material used for each layer. In order to obtain the uniformity of the coating solution, a stirrer or a disperser is appropriately used.
The prepared coating solution is preferably filtered before coating so as not to cause a coating failure. It is preferable to use a filter having a pore size as small as possible within a range in which the components in the coating solution are not removed, and the filtration pressure is appropriately selected at 1.5 MPa or less. The filtered coating solution is preferably ultrasonically dispersed immediately before coating to defoam and retain the dispersion.
The transparent support used in the present invention may be subjected to a heat treatment for correcting the base deformation or a surface treatment for improving the coating property and the adhesiveness with the coating layer before coating. Specific methods for the surface treatment include corona discharge treatment, glow discharge treatment, flame treatment, acid treatment, alkali treatment, and ultraviolet irradiation treatment. In addition, as described in JP-A-7-333433, it is preferable to provide an undercoat layer.
更に塗布の前工程として、除塵工程を設けることが好ましく、それに用いられる除塵方法としては、特開2010−32795号公報の段落〔0119〕に記載の方法を用いることができる。また、このような除塵工程を行う前に、透明支持体上の静電気を除電しておくことは、除塵効率を上げ、ゴミの付着を抑える点で特に好ましい。このような除電方法としては、特開2010−32795号公報の段落〔0120〕に記載の方法を用いることができる。更に、特開2010−32795号公報の段落〔0121〕及び〔0123〕に記載の方法によりフィルムの平面性の確保、接着性の改良をしてもよい。 Furthermore, it is preferable to provide a dust removing step as a pre-application step, and as a dust removing method used therefor, the method described in paragraph [0119] of JP 2010-32795 A can be used. In addition, it is particularly preferable to remove static electricity on the transparent support before performing such a dust removal step from the viewpoint of increasing dust removal efficiency and suppressing dust adhesion. As such a static elimination method, the method described in paragraph [0120] of JP 2010-32795 A can be used. Furthermore, the flatness of the film may be secured and the adhesiveness may be improved by the methods described in paragraphs [0121] and [0123] of JP2010-32795A.
−塗布工程−
前記反射防止フィルムの各層は以下の塗布方法により形成することができるが、この方法に制限されない。ディップコート法、エアーナイフコート法、カーテンコート法、ローラーコート法、ワイヤーバーコート法、グラビアコート法、エクストルージョンコート法(ダイコート法)(米国特許第2681294号明細書、国際公開第05/123274号パンフレット参照)、マイクログラビアコート法等の公知の方法が用いられ、その中でもマイクログラビアコート法、ダイコート法が好ましい。前記マイクログラビアコート法については、特開2010−32795号公報の段落〔0125〕及び〔0126〕に、ダイコート法については、特開2010−32795号公報の段落〔0127〕及び〔0128〕に記載されており、本発明においてもこれらの方法を用いることができる。ダイコート法を用い、20m/分以上の速度で塗布することが生産性の点で好ましい。
-Application process-
Each layer of the antireflection film can be formed by the following coating method, but is not limited to this method. Dip coating method, air knife coating method, curtain coating method, roller coating method, wire bar coating method, gravure coating method, extrusion coating method (die coating method) (US Pat. No. 2,681,294, WO 05/123274) A known method such as a microgravure coating method is used, and among these, a microgravure coating method and a die coating method are preferable. The microgravure coating method is described in paragraphs [0125] and [0126] of JP 2010-32795 A, and the die coating method is described in paragraphs [0127] and [0128] of JP 2010-32795 A. These methods can also be used in the present invention. It is preferable in terms of productivity to apply at a speed of 20 m / min or more by using a die coating method.
−乾燥工程−
前記反射防止フィルムは、透明支持体上に直接又は他の層を介して塗布された後、溶媒を乾燥するために加熱されたゾーンにウェブで搬送されることが好ましい。
溶媒を乾燥する方法としては、各種の知見を利用することができる。具体的な知見としては、特開2001−286817号公報、特開2001−314798号公報、特開2003−126768号公報、特開2003−315505号公報、特開2004−34002号公報などの記載の技術が挙げられる。
-Drying process-
The antireflection film is preferably applied directly on the transparent support or via another layer and then conveyed by a web to a heated zone to dry the solvent.
Various knowledges can be used as a method for drying the solvent. As specific knowledge, descriptions in JP-A No. 2001-286817, JP-A No. 2001-314798, JP-A No. 2003-126768, JP-A No. 2003-315505, JP-A No. 2004-34002, etc. Technology.
乾燥ゾーンの温度条件については、特開2010−32795号公報の段落〔0130〕に、乾燥風の条件については、特開2010−32795号公報の段落〔0131〕に記載されているそれぞれの条件を用いることができる。 Regarding the temperature conditions of the drying zone, the respective conditions described in paragraph [0130] of JP 2010-32795 A, and the conditions of the drying air are described in paragraph [0131] of JP 2010-32795 A, respectively. Can be used.
−硬化工程−
前記反射防止フィルムは、溶媒の乾燥の後又は乾燥の後期に、ウェブとして電離放射線及び/又は熱により各塗膜を硬化させるゾーンを通過させ、塗膜を硬化することができる。本発明における電離放射線種は、特に制限はなく、皮膜を形成する硬化性組成物の種類に応じて、紫外線、電子線、近紫外線、可視光、近赤外線、赤外線、X線などから適宜選択することができるが、紫外線、電子線が好ましく、特に取り扱いが簡便で高エネルギーが容易に得られるという点で紫外線が好ましい。
-Curing process-
The antireflection film can pass through a zone for curing each coating film by ionizing radiation and / or heat as a web after the solvent is dried or at a later stage of drying to cure the coating film. The ionizing radiation species in the present invention is not particularly limited, and is appropriately selected from ultraviolet rays, electron beams, near ultraviolet rays, visible light, near infrared rays, infrared rays, X-rays, and the like according to the type of the curable composition forming the film. However, ultraviolet rays and electron beams are preferred, and ultraviolet rays are particularly preferred because they are easy to handle and high energy can be easily obtained.
前記紫外線硬化性化合物を光重合させる紫外線の光源については、例えば特開2010−32795号公報の段落〔0133〕に記載の光源を用いることができる。電子線については、例えば特開2010−32795号公報の段落〔0134〕に記載の電子線を用いることができる。また、照射条件、照射光量、照射時間については、例えば特開2010−32795号公報の段落〔0135〕及び〔0138〕に記載の条件を用いることができる。更に、照射前後のフィルムの膜面温度、酸素濃度、酸素濃度の制御方法については、例えば特開2010−32795号公報の段落〔0136〕、〔0137〕、〔0139〕〜〔0144〕に記載の条件、方法を用いることができる。 As the ultraviolet light source for photopolymerizing the ultraviolet curable compound, for example, the light source described in paragraph [0133] of JP 2010-32795 A can be used. As the electron beam, for example, the electron beam described in paragraph [0134] of JP 2010-32795 A can be used. Moreover, about irradiation conditions, irradiation light quantity, and irradiation time, the conditions as described in Paragraph [0135] and [0138] of Unexamined-Japanese-Patent No. 2010-32795 can be used, for example. Further, the film surface temperature, oxygen concentration, and oxygen concentration control method before and after the irradiation are described in, for example, paragraphs [0136], [0137], [0139] to [0144] of JP 2010-32795 A. Conditions and methods can be used.
−連続製造のためのハンドリング−
前記反射防止フィルムを連続的に製造するためには、ロール状の透明支持体フィルムを連続的に送り出す工程、塗布液を塗布・乾燥する工程、塗膜を硬化する工程、硬化した層を有する該支持体フィルムを巻き取る工程が行われる。
-Handling for continuous production-
In order to continuously produce the antireflection film, a step of continuously feeding a roll-shaped transparent support film, a step of applying and drying a coating liquid, a step of curing a coating film, A step of winding the support film is performed.
前記工程は、各層の形成毎に行ってもよいし、塗布部−乾燥室−硬化部を複数設け(いわゆるタンデム方式)て、各層の形成を連続的に行うことも可能である。 The above process may be performed every time each layer is formed, or a plurality of coating units-drying chambers-curing units may be provided (so-called tandem method) to form each layer continuously.
前記反射防止フィルムを作製するためには、上記したように塗布液の精密濾過操作と同時に、塗布部における塗布工程及び乾燥室で行われる乾燥工程が高い清浄度の空気雰囲気下で行われ、かつ塗布が行われる前に、透明支持体フィルム上のゴミ、ほこりが充分に除かれていることが好ましい。塗布工程及び乾燥工程の空気清浄度は、米国連邦規格209Eにおける空気清浄度の規格に基づき、クラス10(0.5μm以上の粒子が353個/m3以下)以上であることが好ましく、クラス1(0.5μm以上の粒子が35.5個/m3以下)以上であることがより好ましい。なお、空気清浄度は、塗布−乾燥工程以外の送り出し、巻き取り部等においても高いことがより好ましい。 In order to produce the antireflection film, as described above, simultaneously with the microfiltration operation of the coating solution, the coating process in the coating unit and the drying process performed in the drying chamber are performed in a high clean air atmosphere, and It is preferable that dust and dust on the transparent support film are sufficiently removed before application. The air cleanliness of the coating process and the drying process is preferably class 10 (353 particles / m 3 or less of particles having a size of 0.5 μm or more) based on the standard of air cleanliness in the US Federal Standard 209E, class 1 It is more preferable that the particle size is 35.5 particles / m 3 or less (0.5 μm or more). In addition, it is more preferable that the degree of air cleanliness is high also in the feeding and winding parts other than the coating-drying process.
画像の鮮明性を維持する目的では、前記反射防止フィルムはその表面形状をできるだけ平滑に調整することに加えて、透過画像鮮明度を調整することが好ましい。本発明の反射防止フィルムの透過画像鮮明度は60%以上が好ましい。透過画像鮮明度は、一般にフィルムを透過して映す画像の呆け具合を示す指標であり、この値が大きい程、フィルムを通して見る画像が鮮明で良好であることを示す。前記透過画像鮮明度は、70%以上であることが好ましく、80%以上であることがより好ましい。 In order to maintain the sharpness of the image, it is preferable to adjust the transparency of the transmitted image in addition to adjusting the surface shape of the antireflection film as smoothly as possible. The transmitted image definition of the antireflection film of the present invention is preferably 60% or more. The transmitted image clarity is generally an index indicating the degree of blurring of an image reflected through a film, and the larger this value, the clearer and better the image viewed through the film. The transmitted image definition is preferably 70% or more, and more preferably 80% or more.
前記反射防止フィルムは、画像表示装置の視認側の表面フィルムとして用いることができる。画像表示装置としては、各種の液晶表示装置、プラズマディスプレイ、有機EL、タッチパネルなど各種の表示装置に適用できる。前記反射防止フィルムを用いる画像表示装置の最表面の性質によって、前記反射防止フィルムの透明支持体の塗布層を有さない側表面に接着剤層を設けたり、支持体表面をケン化したりして画像表示装置に張り合わせることができる。
前記透明支持体の塗布層を有さない面をケン化する方法については、例えば特開2010−32795号公報の段落〔0149〕〜〔0160〕に記載の技術を用いることができる。
The antireflection film can be used as a surface film on the viewing side of an image display device. The image display device can be applied to various display devices such as various liquid crystal display devices, plasma displays, organic ELs, touch panels. Depending on the properties of the outermost surface of the image display device using the antireflection film, an adhesive layer may be provided on the side surface of the antireflection film that does not have the transparent support coating layer, or the support surface may be saponified. It can be attached to an image display device.
As a method for saponifying the surface of the transparent support that does not have a coating layer, for example, the techniques described in paragraphs [0149] to [0160] of JP 2010-32795 A can be used.
ここで、前記表面型静電容量方式タッチパネルの一例について、図2を参照して説明する。この図2において、タッチパネル10は、透明基板11の表面を一様に覆うように透明導電体12を配してなり、透明基板11の端部の透明導電体12上に、図示しない外部検知回路との電気接続のための電極端子18が形成されている。
なお、図中、13は、シールド電極となる透明導電体を示し、14、17は、保護膜を示し、15は、中間保護膜を示し、16は、グレア防止膜を示す。
透明導電体12上の任意の点を指でタッチ等すると、前記透明導電体12は、タッチされた点で人体を介して接地され、各電極端子18と接地ラインとの間の抵抗値に変化が生じる。この抵抗値の変化を前記外部検知回路によって検知し、タッチした点の座標が特定される。
Here, an example of the surface capacitive touch panel will be described with reference to FIG. In FIG. 2, the touch panel 10 includes a transparent conductor 12 that uniformly covers the surface of the transparent substrate 11, and an external detection circuit (not shown) is formed on the transparent conductor 12 at the end of the transparent substrate 11. The electrode terminal 18 for electrical connection is formed.
In the figure, reference numeral 13 denotes a transparent conductor serving as a shield electrode, reference numerals 14 and 17 denote protective films, reference numeral 15 denotes an intermediate protective film, and reference numeral 16 denotes an antiglare film.
When an arbitrary point on the transparent conductor 12 is touched with a finger, the transparent conductor 12 is grounded through the human body at the touched point, and changes to a resistance value between each electrode terminal 18 and the ground line. Occurs. The change of the resistance value is detected by the external detection circuit, and the coordinates of the touched point are specified.
前記表面型静電容量方式タッチパネルの他の一例について図3を用いて説明する。該図3においてタッチパネル20は、透明基板21の表面を覆うように配された透明導電体22と透明導電体23と、該透明導電体22と該透明導電体23とを絶縁する絶縁層24と、指等の接触対象と透明導電体22又は透明導電体23の間に静電容量を生じる絶縁カバー層25からなり、指等の接触対象に対して位置検知する。構成によっては、透明導電体22,23を一体として構成することもでき、また、絶縁層24又は絶縁カバー層25を空気層として構成してもよい。
絶縁カバー層25を指等でタッチすると、指等と透明導電体22又は透明導電体23の間の静電容量の値に変化が生じる。この静電容量値の変化を前記外部検知回路によって検知し、タッチした点の座標が特定される。
また、図4により、投射型静電容量方式タッチパネルとしてのタッチパネル20を透明導電体22と透明導電体23とを平面から視た配置を通じて模式的に説明する。
タッチパネル20は、X軸方向の位置を検出可能とする複数の透明導電体22と、Y軸方向の複数の透明導電体23とが、外部端子に接続可能に配されている。透明導電体22と透明導電体23とは、指先等の接触対象に対し複数接触して、接触情報が多点で入力されることを可能とされる。
このタッチパネル20上の任意の点を指でタッチ等すると、X軸方向及びY軸方向の座標が位置精度よく特定される。
なお、透明基板、保護層等のその他の構成としては、前記表面型静電容量方式タッチパネルの構成を適宜選択して適用することができる。また、タッチパネル20において、複数の透明導電体22と、複数の透明導電体23とによる透明導電体のパターンの例を示したが、その形状、配置等としては、これらに限られない。
Another example of the surface capacitive touch panel will be described with reference to FIG. In FIG. 3, the touch panel 20 includes a transparent conductor 22 and a transparent conductor 23 disposed so as to cover the surface of the transparent substrate 21, and an insulating layer 24 that insulates the transparent conductor 22 and the transparent conductor 23. The insulating cover layer 25 that generates capacitance between the contact object such as a finger and the transparent conductor 22 or the transparent conductor 23 detects the position of the contact object such as the finger. Depending on the configuration, the transparent conductors 22 and 23 may be configured integrally, and the insulating layer 24 or the insulating cover layer 25 may be configured as an air layer.
When the insulating cover layer 25 is touched with a finger or the like, the capacitance value between the finger and the transparent conductor 22 or the transparent conductor 23 changes. This change in capacitance value is detected by the external detection circuit, and the coordinates of the touched point are specified.
Further, with reference to FIG. 4, the touch panel 20 as a projection capacitive touch panel will be schematically described through an arrangement in which the transparent conductor 22 and the transparent conductor 23 are viewed from the plane.
The touch panel 20 is provided with a plurality of transparent conductors 22 capable of detecting positions in the X-axis direction and a plurality of transparent conductors 23 in the Y-axis direction so as to be connectable to external terminals. The transparent conductor 22 and the transparent conductor 23 are in contact with a plurality of contact objects such as fingertips, and contact information can be input at multiple points.
When an arbitrary point on the touch panel 20 is touched with a finger, the coordinates in the X-axis direction and the Y-axis direction are specified with high positional accuracy.
In addition, as other structures, such as a transparent substrate and a protective layer, the structure of the said surface type capacitive touch panel can be selected suitably, and can be applied. Moreover, although the example of the pattern of the transparent conductor by the some transparent conductor 22 and the some transparent conductor 23 was shown in the touch panel 20, the shape, arrangement | positioning, etc. are not restricted to these.
前記抵抗膜式タッチパネルの一例について、図5を用いて説明する。該図5において、タッチパネル30は、透明導電体32が配された基板31と、該透明導電体32上に複数配されたスペーサ36と、空気層34を介して、透明導電体32と接触可能な透明導電体33と、該透明導電体33上に配される透明フィルム35とが支持されて構成される。
このタッチパネル30に対して、透明フィルム35側からタッチすると、透明フィルム35が押圧され、押し込まれた透明導電体32と透明導電体33とが接触し、この位置での電位変化を図示しない外部検知回路で検出することで、タッチした点の座標が特定される。
An example of the resistive touch panel will be described with reference to FIG. In FIG. 5, the touch panel 30 can contact the transparent conductor 32 via the substrate 31 on which the transparent conductor 32 is disposed, the spacers 36 disposed on the transparent conductor 32, and the air layer 34. A transparent conductor 33 and a transparent film 35 disposed on the transparent conductor 33 are supported.
When the touch panel 30 is touched from the transparent film 35 side, the transparent film 35 is pressed, the pressed transparent conductor 32 and the transparent conductor 33 come into contact with each other, and a potential change at this position is not illustrated. By detecting with a circuit, the coordinates of the touched point are specified.
(集積型太陽電池)
本発明の集積型太陽電池は、本発明の前記導電膜形成用積層体を用いている。
前記集積型太陽電池(以下、太陽電池デバイスと称することもある)としては、特に制限はなく、太陽電池デバイスとして一般的に用いられるものを使用することができる。例えば、単結晶シリコン系太陽電池デバイス、多結晶シリコン系太陽電池デバイス、シングル接合型、又はタンデム構造型等で構成されるアモルファスシリコン系太陽電池デバイス、ガリウムヒ素(GaAs)やインジウム燐(InP)等のIII−V族化合物半導体太陽電池デバイス、カドミウムテルル(CdTe)等のII−VI族化合物半導体太陽電池デバイス、銅/インジウム/セレン系(いわゆる、CIS系)、銅/インジウム/ガリウム/セレン系(いわゆる、CIGS系)、銅/インジウム/ガリウム/セレン/硫黄系(いわゆる、CIGSS系)等のI−III−VI族化合物半導体太陽電池デバイス、色素増感型太陽電池デバイス、有機太陽電池デバイスなどが挙げられる。これらの中でも、本発明においては、前記太陽電池デバイスが、タンデム構造型等で構成されるアモルファスシリコン系太陽電池デバイス、及び銅/インジウム/セレン系(いわゆる、CIS系)、銅/インジウム/ガリウム/セレン系(いわゆる、CIGS系)、銅/インジウム/ガリウム/セレン/硫黄系(いわゆる、CIGSS系)等のI−III−VI族化合物半導体太陽電池デバイスであることが好ましい。
(Integrated solar cell)
The integrated solar cell of the present invention uses the conductive film-forming laminate of the present invention.
There is no restriction | limiting in particular as said integrated solar cell (henceforth a solar cell device), What is generally used as a solar cell device can be used. For example, a single crystal silicon solar cell device, a polycrystalline silicon solar cell device, an amorphous silicon solar cell device composed of a single junction type or a tandem structure type, gallium arsenide (GaAs), indium phosphorus (InP), etc. III-V compound semiconductor solar cell devices, II-VI compound semiconductor solar cell devices such as cadmium tellurium (CdTe), copper / indium / selenium system (so-called CIS system), copper / indium / gallium / selenium system ( So-called CIGS-based), copper / indium / gallium / selenium / sulfur-based (so-called CIGS-based) I-III-VI group compound semiconductor solar cell devices, dye-sensitized solar cell devices, organic solar cell devices, etc. Can be mentioned. Among these, in the present invention, the solar cell device is an amorphous silicon solar cell device constituted by a tandem structure type or the like, a copper / indium / selenium system (so-called CIS system), copper / indium / gallium / A selenium-based (so-called CIGS-based), copper / indium / gallium / selenium / sulfur-based (so-called CIGS-based) I-III-VI group compound semiconductor solar cell device is preferable.
タンデム構造型等で構成されるアモルファスシリコン系太陽電池デバイスの場合、アモルファスシリコン、微結晶シリコン薄膜層、又はこれらにゲルマニウムを含んだ薄膜、更に、これらの2層以上のタンデム構造が光電変換層として用いられる。成膜はプラズマCVD等を用いる。 In the case of an amorphous silicon solar cell device composed of a tandem structure type or the like, amorphous silicon, a microcrystalline silicon thin film layer, or a thin film containing germanium therein, and further, a tandem structure of these two or more layers as a photoelectric conversion layer Used. For film formation, plasma CVD or the like is used.
以下、本発明の実施例を説明するが、本発明は、これらの実施例に何ら限定されるものではない。なお、この実施例は、本発明の「導電膜形成用積層体」を「透明導電体として使用する例であり、「導電性繊維含有層」は「導電層」に該当する。 Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these examples. In addition, this Example is an example which uses the "laminated body for electrically conductive film formation" of this invention as a "transparent conductor, and a" conductive fiber content layer "corresponds to a" conductive layer. "
(合成例1)
<バインダー(A−1)の合成>
共重合体を構成するモノマー成分としてメタクリル酸(MAA)7.79g、ベンジルメタクリレート(BzMA)37.21gを使用し、ラジカル重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル(AIBN)0.5gを使用し、これらを溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)55.00g中において重合反応させることにより、下記式で表されるバインダー(A−1)のPGMEA溶液(固形分濃度:45質量%)を得た。なお、重合温度は、温度60℃乃至100℃に調整した。
分子量はゲルパーミエイションクロマトグラフィ法(GPC)を用いて測定した結果、ポリスチレン換算による重量平均分子量(Mw)は30,000、分子量分布(Mw/Mn)は2.21であった。
<Synthesis of Binder (A-1)>
7.79 g of methacrylic acid (MAA) and 37.21 g of benzyl methacrylate (BzMA) are used as monomer components constituting the copolymer, and 0.5 g of azobisisobutyronitrile (AIBN) is used as a radical polymerization initiator. And a polymerization reaction in 55.00 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) using these as a solvent to obtain a PGMEA solution (solid content concentration: 45% by mass) of the binder (A-1) represented by the following formula: It was. The polymerization temperature was adjusted to 60 to 100 ° C.
As a result of measuring the molecular weight using gel permeation chromatography (GPC), the weight average molecular weight (Mw) in terms of polystyrene was 30,000, and the molecular weight distribution (Mw / Mn) was 2.21.
(調製例1)
−銀ナノワイヤー水分散液の調製−
予め、下記の添加液A、G、及びHを調製した。
〔添加液A〕
硝酸銀粉末0.51gを純水50mLに溶解した。その後、1Nのアンモニア水を透明になるまで添加した。そして、全量が100mLになるように純水を添加した。
〔添加液G〕
グルコース粉末0.5gを140mLの純水で溶解して、添加液Gを調製した。
〔添加液H〕
HTAB(ヘキサデシル−トリメチルアンモニウムブロミド)粉末0.5gを27.5mLの純水で溶解して、添加液Hを調製した。
(Preparation Example 1)
-Preparation of silver nanowire aqueous dispersion-
The following additive solutions A, G, and H were prepared in advance.
[Additive liquid A]
0.51 g of silver nitrate powder was dissolved in 50 mL of pure water. Then, 1N ammonia water was added until it became transparent. And pure water was added so that the whole quantity might be 100 mL.
[Additive liquid G]
An additive solution G was prepared by dissolving 0.5 g of glucose powder in 140 mL of pure water.
[Additive liquid H]
Additive solution H was prepared by dissolving 0.5 g of HTAB (hexadecyl-trimethylammonium bromide) powder in 27.5 mL of pure water.
次に、以下のようにして、銀ナノワイヤー水分散液を調製した。
純水410mLを三口フラスコ内に入れ、20℃にて攪拌しながら、添加液H 82.5mL、及び添加液G 206mLをロートにて添加した(一段目)。この液に、添加液A 206mLを流量2.0mL/min、攪拌回転数800rpmで添加した(二段目)。その10分間後、添加液Hを82.5mL添加した(三段目)。その後、3℃/分で内温75℃まで昇温した。その後、攪拌回転数を200rpmに落とし、5時間加熱した。
得られた水分散物を冷却した後、限外濾過モジュールSIP1013(旭化成株式会社製、分画分子量6,000)、マグネットポンプ、及びステンレスカップをシリコーン製チューブで接続し、限外濾過装置とした。
銀ナノワイヤー分散液(水溶液)をステンレスカップに入れ、ポンプを稼動させて限外濾過を行った。モジュールからの濾液が50mLになった時点で、ステンレスカップに950mLの蒸留水を加え、洗浄を行った。前記の洗浄を伝導度が50μS/cm以下になるまで繰り返した後、濃縮を行い、銀ナノワイヤー水分散液を得た。
得られた調製例1の銀ナノワイヤーについて、以下のようにして平均短軸長さ、平均長軸長さ、アスペクト比が10以上の銀ナノワイヤーの比率、及び銀ナノワイヤー短軸長さの変動係数を測定した。結果を表1に示す。
Next, a silver nanowire aqueous dispersion was prepared as follows.
410 mL of pure water was placed in a three-necked flask, and 82.5 mL of additive solution H and 206 mL of additive solution G were added using a funnel while stirring at 20 ° C. (first stage). To this solution, 206 mL of additive solution A was added at a flow rate of 2.0 mL / min and a stirring rotation speed of 800 rpm (second stage). Ten minutes later, 82.5 mL of additive liquid H was added (third stage). Thereafter, the internal temperature was raised to 75 ° C. at 3 ° C./min. Then, the stirring rotation speed was reduced to 200 rpm and heated for 5 hours.
After cooling the obtained aqueous dispersion, an ultrafiltration module SIP1013 (manufactured by Asahi Kasei Co., Ltd., molecular weight cut off 6,000), a magnet pump, and a stainless steel cup were connected with a silicone tube to obtain an ultrafiltration device. .
The silver nanowire dispersion (aqueous solution) was put into a stainless steel cup, and ultrafiltration was performed by operating a pump. When the filtrate from the module reached 50 mL, 950 mL of distilled water was added to the stainless steel cup for washing. The above washing was repeated until the conductivity reached 50 μS / cm or less, and then concentrated to obtain a silver nanowire aqueous dispersion.
About the obtained silver nanowire of Preparation Example 1, the average minor axis length, the average major axis length, the ratio of silver nanowires having an aspect ratio of 10 or more, and the silver nanowire minor axis length were as follows: The coefficient of variation was measured. The results are shown in Table 1.
<銀ナノワイヤーの平均短軸長さ(平均直径)及び平均長軸長さ>
透過型電子顕微鏡(TEM;日本電子株式会社製、JEM−2000FX)を用い、300個の銀ナノワイヤーを観察し、銀ナノワイヤーの平均短軸長さ及び平均長軸長さを求めた。
<Average minor axis length (average diameter) and average major axis length of silver nanowires>
300 silver nanowires were observed using a transmission electron microscope (TEM; JEM-2000FX, manufactured by JEOL Ltd.), and the average minor axis length and average major axis length of the silver nanowires were determined.
<銀ナノワイヤーの短軸長さの変動係数>
透過型電子顕微鏡(TEM;日本電子株式会社製、JEM−2000FX)を用い、銀ナノワイヤーの短軸長さを300個観察し、ろ紙を透過した銀の量を各々測定し、短軸長さが50nm以下であり、かつ長軸長さが5μm以上である銀ナノワイヤーをアスペクト比が10以上の銀ナノワイヤーの比率(%)として求めた。
なお、銀ナノワイヤーの比率を求める際の銀ナノワイヤーの分離は、メンブレンフィルター(Millipore社製、FALP 02500、孔径1.0μm)を用いて行った。
<Coefficient of variation of minor axis length of silver nanowires>
Using a transmission electron microscope (TEM; JEM-2000FX, manufactured by JEOL Ltd.), 300 short axis lengths of the silver nanowires were observed, and the amount of silver transmitted through the filter paper was measured. Of silver nanowires having a major axis length of 5 μm or more was determined as the ratio (%) of silver nanowires having an aspect ratio of 10 or more.
The silver nanowires were separated when determining the ratio of silver nanowires using a membrane filter (Millipore, FALP 02500, pore size 1.0 μm).
(実施例1)
<試料No.101>
−銀ナノワイヤーのMFG分散液(Ag−1)の調製−
調製例1の銀ナノワイヤーの水分散物へ、ポリビニルピロリドン(K−30、和光純薬工業株式会社製)と1−メトキシ−2−プロパノール(MFG)を添加し、遠心分離の後、デカンテーションにて上澄みの水を除去し、MFGを添加し、再分散を行い、その操作を3回繰り返し、銀ナノワイヤーのMFG分散液(Ag−1)を得た。最後のMFGの添加量は銀の含有量が、銀1質量%となるように調節した。
Example 1
<Sample No. 101>
-Preparation of MFG dispersion (Ag-1) of silver nanowires-
Polyvinylpyrrolidone (K-30, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) and 1-methoxy-2-propanol (MFG) are added to the silver nanowire aqueous dispersion of Preparation Example 1, and after centrifuging, decantation is performed. The water in the supernatant was removed, MFG was added, redispersion was performed, and the operation was repeated three times to obtain an MFG dispersion (Ag-1) of silver nanowires. The final MFG addition amount was adjusted so that the silver content was 1% by mass of silver.
−ネガ型導電層用組成物の調製−
合成例1のバインダー(A−1)0.241質量部、KAYARAD DPHA(ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物、日本化薬株式会社製)0.252質量部、IRGACURE379(光重合開始剤、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製)0.0252質量部、架橋剤としてのEHPE−3150(ダイセル化学株式会社製)0.0237質量部、メガファックF781F(DIC株式会社製)0.0003質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)0.9611質量部、及び1−メトキシ−2−プロパノール(MFG)44.3質量部、前記銀ナノワイヤーのMFG分散液(Ag−1)を54.1質量部加え、攪拌し、ネガ型導電層用組成物を調製した。
-Preparation of composition for negative conductive layer-
0.241 parts by mass of binder (A-1) of Synthesis Example 1, KAYARAD DPHA (mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate, Nippon Kayaku Co., Ltd.) 0.252 parts by mass, IRGACURE 379 (photopolymerization) Initiator, manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) 0.0252 parts by mass, EHPE-3150 (manufactured by Daicel Chemical Co., Ltd.) 0.0237 parts by mass as a crosslinking agent, MegaFuck F781F (produced by DIC Corporation) 0.0003 50 parts by mass, 0.9611 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA), 44.3 parts by mass of 1-methoxy-2-propanol (MFG), and 54. MFG dispersion (Ag-1) of the silver nanowires. Add 1 part by mass, stir, negative type A composition for a conductive layer was prepared.
−導電層の形成−
得られたネガ型導電層用組成物を、塗布銀量が0.05g/m2になるように厚み75μmのコロナ放電処理を施したポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上に塗布し、乾燥させることにより、厚み0.05μmの導電層を形成した。以上により、試料No.101の透明導電体を作製した。得られた試料No.101の導電層における銀と分散媒の質量比は、1.0であった。
-Formation of conductive layer-
By applying and drying the obtained negative conductive layer composition on a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 75 μm subjected to corona discharge treatment so that the amount of coated silver is 0.05 g / m 2. A conductive layer having a thickness of 0.05 μm was formed. As described above, the sample No. 101 transparent conductors were produced. The obtained sample No. The mass ratio of silver to the dispersion medium in the conductive layer 101 was 1.0.
<試料No.102>
試料No.101において、導電層上に、下記組成の可溶性保護層用組成物を塗布し、乾燥させることで、平均厚み0.8μmの可溶性保護層を形成した以外は、試料No.101と同様にして、試料No.102の透明導電体を作製した。可溶性保護層の平均厚みは、走査型電子顕微鏡(株式会社日立ハイテクノロジーズ製、S3400N)による断面観察にて長さ50μmの領域に渡って測定した値の平均値である(以下の試料についても同様にして測定した)。
−可溶性保護層用組成物の調製−
・ポリビニルピロリドン(PVP、和光純薬工業株式会社製、PVP K−30)・・・10g
・イオン交換水・・・90g
・ポリオキシエチレンラウリルエーテル(界面活性剤)・・・0.05g
上記組成を混合し、撹拌して、可溶性保護層用組成物を調製した。
<Sample No. 102>
Sample No. 101, except that a soluble protective layer having an average thickness of 0.8 μm was formed by applying a composition for soluble protective layer having the following composition on the conductive layer and drying it. In the same manner as in Sample 101, Sample No. 102 transparent conductors were produced. The average thickness of the soluble protective layer is an average value of values measured over a region having a length of 50 μm by cross-sectional observation with a scanning electron microscope (manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation, S3400N) (the same applies to the following samples). Measured).
-Preparation of composition for soluble protective layer-
・ Polyvinylpyrrolidone (PVP, Wako Pure Chemical Industries, PVP K-30) ... 10g
・ Ion exchange water ... 90g
・ Polyoxyethylene lauryl ether (surfactant) ... 0.05g
The above composition was mixed and stirred to prepare a soluble protective layer composition.
<試料No.103>
試料No.101において、導電層上に、下記組成の可溶性保護層用組成物を塗布し、乾燥させることで、平均厚み0.8μmの可溶性保護層を形成した以外は、試料No.101と同様にして、試料No.103の透明導電体を作製した。
−可溶性保護層組成物の調製−
・ポリビニルアルコール(PVA、PVA205(鹸化率=88%);株式会社クラレ製)・・・10g
・イオン交換水・・・90g
・ポリオキシエチレンラウリルエーテル(界面活性剤)・・・0.05g
上記組成を混合し、撹拌して、可溶性保護層用組成物を調製した。
<Sample No. 103>
Sample No. 101, except that a soluble protective layer having an average thickness of 0.8 μm was formed by applying a composition for soluble protective layer having the following composition on the conductive layer and drying it. In the same manner as in Sample 101, Sample No. 103 transparent conductors were produced.
-Preparation of soluble protective layer composition-
・ Polyvinyl alcohol (PVA, PVA205 (saponification rate = 88%); manufactured by Kuraray Co., Ltd.) ... 10 g
・ Ion exchange water ... 90g
・ Polyoxyethylene lauryl ether (surfactant) ... 0.05g
The above composition was mixed and stirred to prepare a soluble protective layer composition.
<試料No.104>
試料No.101において、導電層上に、下記組成の可溶性保護層組成物を塗布し、乾燥させることで、平均厚み0.8μmの可溶性保護層を形成した以外は、試料No.101と同様にして、試料No.104の透明導電体を作製した。
−可溶性保護層組成物の調製−
・ヒドロキシエチルセルロース(HEC、ダイセル化学工業株式会社製)・・・10g
・イオン交換水・・・90g
上記組成を混合し、撹拌して、可溶性保護層用組成物を調製した。
<Sample No. 104>
Sample No. 101, except that a soluble protective layer composition having the following composition was applied on the conductive layer and dried to form a soluble protective layer having an average thickness of 0.8 μm. In the same manner as in Sample 101, Sample No. 104 transparent conductors were produced.
-Preparation of soluble protective layer composition-
・ Hydroxyethyl cellulose (HEC, manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.) ... 10g
・ Ion exchange water ... 90g
The above composition was mixed and stirred to prepare a soluble protective layer composition.
<試料No.105>
試料No.101において、導電層上に、下記組成の可溶性保護層用組成物を塗布し、乾燥させることで、平均厚み0.8μmの可溶性保護層を形成した以外は、試料No.101と同様にして、試料No.105の透明導電体を作製した。
−可溶性保護層組成物の調製−
・ゼラチン(新田ゼラチン株式会社製、アルカリオセインゼラチン)・・・5g
・イオン交換水・・・95g
・ポリオキシエチレンラウリルエーテル(界面活性剤)・・・0.05g
上記組成を混合し、撹拌して、可溶性保護層用組成物を調製した。
<Sample No. 105>
Sample No. 101, except that a soluble protective layer having an average thickness of 0.8 μm was formed by applying a composition for soluble protective layer having the following composition on the conductive layer and drying it. In the same manner as in Sample 101, Sample No. 105 transparent conductors were produced.
-Preparation of soluble protective layer composition-
・ Gelatin (Nitta Gelatin Co., Ltd., Alkaline Ocein Gelatin) ... 5g
・ Ion exchange water: 95g
・ Polyoxyethylene lauryl ether (surfactant) ... 0.05g
The above composition was mixed and stirred to prepare a soluble protective layer composition.
<試料No.106>
試料No.101において、導電層上に、下記組成の可溶性保護層用組成物を塗布し、乾燥させることで、平均厚み0.8μmの可溶性保護層を形成した以外は、試料No.101と同様にして、試料No.106の透明導電体を作製した。
−可溶性保護層組成物の調製−
・ポリビニルピロリドン(PVP、和光純薬工業株式会社製、PVP K−30)・・・10g
・プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)・・・90g
・ポリオキシエチレンラウリルエーテル(界面活性剤)・・・0.05g
上記組成を混合し、撹拌して、可溶性保護層用組成物を調製した。
<Sample No. 106>
Sample No. 101, except that a soluble protective layer having an average thickness of 0.8 μm was formed by applying a composition for soluble protective layer having the following composition on the conductive layer and drying it. In the same manner as in Sample 101, Sample No. 106 transparent conductors were produced.
-Preparation of soluble protective layer composition-
・ Polyvinylpyrrolidone (PVP, Wako Pure Chemical Industries, PVP K-30) ... 10g
・ Propylene glycol monomethyl ether (PGME) ... 90g
・ Polyoxyethylene lauryl ether (surfactant) ... 0.05g
The above composition was mixed and stirred to prepare a soluble protective layer composition.
<試料No.107>
試料No.102において、可溶性保護層の平均厚みを2.5μmに変えた以外は、試料No.102と同様にして、試料No.107の透明導電体を作製した。
<Sample No. 107>
Sample No. 102, except that the average thickness of the soluble protective layer was changed to 2.5 μm. In the same manner as in Sample No. 102, Sample No. 107 transparent conductors were produced.
<試料No.108>
試料No.102において、可溶性保護層の平均厚みを0.1μmに変えた以外は、試料No.102と同様にして、試料No.108の透明導電体を作製した。
<Sample No. 108>
Sample No. 102, except that the average thickness of the soluble protective layer was changed to 0.1 μm. In the same manner as in Sample No. 102, Sample No. 108 transparent conductors were produced.
<試料No.109>
試料No.101において、導電層上に、下記組成の可溶性保護層用組成物を塗布し、乾燥させることで、平均厚み0.8μmの可溶性保護層を形成した以外は、試料No.101と同様にして、試料No.109の透明導電体を作製した。
−可溶性保護層用組成物の調製−
・合成例1のバインダー(A−1)(MAA/BzMA共重合体)・・・10.0g
・プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)・・・90g
上記組成を混合し、撹拌して、非水溶性の可溶性保護層用組成物を調製した。
<Sample No. 109>
Sample No. 101, except that a soluble protective layer having an average thickness of 0.8 μm was formed by applying a composition for soluble protective layer having the following composition on the conductive layer and drying it. In the same manner as in Sample 101, Sample No. 109 transparent conductors were produced.
-Preparation of composition for soluble protective layer-
-Binder (A-1) of Synthesis Example 1 (MAA / BzMA copolymer) ... 10.0 g
・ Propylene glycol monomethyl ether (PGME) ... 90g
The above composition was mixed and stirred to prepare a water-insoluble soluble protective layer composition.
<試料No.110>
試料No.101において、導電層上に、下記組成の可溶性保護層用組成物を塗布し、乾燥させることで、平均厚み0.8μmの可溶性保護層を形成した以外は、試料No.101と同様にして、試料No.110の透明導電体を作製した。
−可溶性保護層用組成物の調製−
合成例1のバインダー(A−1)4.44質量部、KAYARAD DPHA(ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物、日本化薬株式会社製)4.65質量部、IRGACURE379(光重合開始剤、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製)0.46質量部、架橋剤としてのEHPE−3150(ダイセル化学株式会社製)0.44質量部、メガファックF781F(DIC株式会社製)0.006質量部、及びプロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)90.0質量部を加え、攪拌し、ネガ型レジスト組成の可溶性保護層用組成物を調製した。
<Sample No. 110>
Sample No. 101, except that a soluble protective layer having an average thickness of 0.8 μm was formed by applying a composition for soluble protective layer having the following composition on the conductive layer and drying it. In the same manner as in Sample 101, Sample No. 110 transparent conductors were produced.
-Preparation of composition for soluble protective layer-
4.44 parts by mass of binder (A-1) of Synthesis Example 1, KAYARAD DPHA (mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), 4.65 parts by mass, IRGACURE 379 (photopolymerization) Initiator, manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) 0.46 parts by mass, EHPE-3150 (manufactured by Daicel Chemical Co., Ltd.) 0.44 parts by mass as a crosslinking agent, MegaFuck F781F (produced by DIC Corporation) 0.006 Mass parts and 90.0 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether (PGME) were added and stirred to prepare a composition for a soluble protective layer having a negative resist composition.
<試料No.111>
試料No.101において、導電層上に、下記の組成の可溶性保護層用組成物を塗布し、乾燥させることで、平均厚み0.8μmの可溶性保護層を形成した以外は、試料No.101と同様にして、試料No.111の透明導電体を作製した。
−可溶性保護層用組成物の調製−
合成例1のバインダー(A−1)4.44質量部、KAYARAD DPHA(ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物、日本化薬株式会社製)0.252質量部、IRGACURE379(光重合開始剤、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製)0.46質量部、架橋剤としてのEHPE−3150(ダイセル化学株式会社製)0.44質量部、メガファックF781F(DIC株式会社製)0.006質量部、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)90.0質量部を加え、攪拌し、ネガ型の可溶性保護層用組成物を調製した。
<Sample No. 111>
Sample No. 101, except that a soluble protective layer having an average thickness of 0.8 μm was formed by applying and drying a composition for a soluble protective layer having the following composition on the conductive layer. In the same manner as in Sample 101, Sample No. 111 transparent conductors were produced.
-Preparation of composition for soluble protective layer-
4.44 parts by mass of binder (A-1) of Synthesis Example 1, KAYARAD DPHA (mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate, Nippon Kayaku Co., Ltd.) 0.252 parts by mass, IRGACURE 379 (photopolymerization) Initiator, manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) 0.46 parts by mass, EHPE-3150 (manufactured by Daicel Chemical Co., Ltd.) 0.44 parts by mass as a crosslinking agent, MegaFuck F781F (produced by DIC Corporation) 0.006 Part by mass and 90.0 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) were added and stirred to prepare a negative soluble protective layer composition.
<試料No.112>
試料No.101において、導電層上に、下記組成の可溶性保護層用組成物を塗布し、乾燥させることで、平均厚み0.8μmの可溶性保護層を形成した以外は、試料No.101と同様にして、試料No.112の透明導電体を作製した。
−可溶性保護層用組成物の調製−
KAYARAD DPHA(ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物、日本化薬株式会社製)10.0質量部、IRGACURE379(光重合開始剤、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製)0.5質量部、及びメチルエチルケトン90.0質量部を加え、攪拌し、ハードコート組成の可溶性保護層用組成物を調製した。
<Sample No. 112>
Sample No. 101, except that a soluble protective layer having an average thickness of 0.8 μm was formed by applying a composition for soluble protective layer having the following composition on the conductive layer and drying it. In the same manner as in Sample 101, Sample No. 112 transparent conductors were produced.
-Preparation of composition for soluble protective layer-
KAYARAD DPHA (mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 10.0 parts by mass, IRGACURE 379 (photopolymerization initiator, manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) 0.5 mass And 90.0 parts by mass of methyl ethyl ketone were added and stirred to prepare a composition for a soluble protective layer having a hard coat composition.
次に、得られた各透明導電体について、以下のようにして、耐傷性、光透過率、表面抵抗、パターニング性、及び現像工程を経た後の銀と分散媒の質量比を評価した。結果を表1に示す。 Next, for each of the obtained transparent conductors, scratch resistance, light transmittance, surface resistance, patternability, and the mass ratio of silver and the dispersion medium after the development process were evaluated as follows. The results are shown in Table 1.
<耐傷性>
作製した各透明導電体に対し、日本塗料検査協会検定鉛筆引っかき用鉛筆(硬度HB及び硬度B)をJIS K5600−5−4に準じてセットした鉛筆引掻塗膜硬さ試験機(株式会社東洋精機製作所製、型式NP)にて荷重500gの条件で長さ10mmにわたり引っ掻いた後、下記条件にて露光及び現像を施し、引っ掻いた部分をデジタルマイクロスコープ(VHX−600、キーエンス株式会社製、倍率2,000倍)で観察し、下記のランク付けを行った。
〔評価基準〕
○:引っ掻き跡が認められない。
△:引っ掻き跡が認められるものの、導電性繊維が残存し、基材表面の露出が観察されない。
×:引っ掻き跡が認められ、かつ、導電性繊維が削られ、基材表面の露出が観察される。
<Scratch resistance>
Pencil scratch coating film hardness tester (Toyo Incorporated) in which each of the transparent conductors produced was set according to JIS K5600-5-4 with a pencil for pencil inspection (hardness HB and hardness B) certified by the Japan Paint Inspection Association. After scratching over a length of 10 mm with a load of 500 g using Seiki Seisakusho, model NP, exposure and development were performed under the following conditions, and the scratched portion was digital microscope (VHX-600, manufactured by Keyence Corporation, magnification) 2,000 times) and the following ranking was performed.
〔Evaluation criteria〕
○: Scratches are not recognized.
Δ: Although scratch marks are observed, conductive fibers remain, and exposure of the substrate surface is not observed.
X: Scratches are recognized, the conductive fibers are scraped, and exposure of the substrate surface is observed.
ここで、露光及び現像は下記の条件で行った。
<露光及び現像条件>
得られた各透明導電体を、高圧水銀灯i線(365nm)を用いて100mJ/cm2(照度20mW/cm2)で均一に露光を行った後、水酸化カリウム系現像液CDK−1(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ株式会社製)の1.0質量%現像液(CDK−1を1質量部、純水を99質量部の希釈した液、25℃)でシャワー現像30秒間を行い、更にイオン交換水にて20秒間リンスを行った後乾燥させた。
Here, exposure and development were performed under the following conditions.
<Exposure and development conditions>
Each obtained transparent conductor was uniformly exposed at 100 mJ / cm 2 (illuminance 20 mW / cm 2 ) using a high-pressure mercury lamp i-line (365 nm), and then a potassium hydroxide developer CDK-1 (Fuji Shower development is performed for 30 seconds with 1.0% by weight developer (1 part by weight of CDK-1, 99 parts by weight of pure water, 25 ° C.) of Film Electronics Materials Co., Ltd., and ion exchange After rinsing with water for 20 seconds, it was dried.
<光透過率の測定>
上記条件にて露光及び現像を施した各試料の引っ掻いていない部分を、ガードナー社製ヘイズガードプラスを用いて、C光源下のCIE視感度関数yについて、測定角0°で測定した。
<Measurement of light transmittance>
A non-scratched portion of each sample exposed and developed under the above conditions was measured at a measurement angle of 0 ° with respect to the CIE visibility function y under a C light source using a haze guard plus manufactured by Gardner.
<表面抵抗値の測定>
上記条件にて露光及び現像を施した各試料の引っ掻いていない部分を、表面抵抗計(三菱化学株式会社製、Loresta−GP MCP−T600)を用いて、表面抵抗値(SR)を測定した。試料No.101の乾燥後の表面抵抗値(SR101)に対する各試料の表面抵抗値の比(SR/SR101)を求め、下記基準によりランク付けを行った。
〔評価基準〕
○:SR/SR101<1.5
△:1.5≦SR/SR101<5.0
×:5.0≦SR/SR101
<Measurement of surface resistance value>
The surface resistance value (SR) was measured using a surface resistance meter (Loresta-GP MCP-T600, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) for a portion of each sample that was exposed and developed under the above conditions. Sample No. The ratio (SR / SR101) of the surface resistance value of each sample to the surface resistance value (SR101) after drying of 101 was determined and ranked according to the following criteria.
〔Evaluation criteria〕
○: SR / SR101 <1.5
Δ: 1.5 ≦ SR / SR101 <5.0
×: 5.0 ≦ SR / SR101
<パターニング性の評価>
パターニング特性を評価するためのストライプパターン(ライン/スペース=30μm/30μm)を含む光学マスクを用い、密着露光を行った。露光は、高圧水銀灯i線(365nm)を用いて100mJ/cm2(照度20mW/cm2)で行った。露光後の各試料を、水酸化カリウム系現像液CDK−1(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ株式会社製)の1.0質量%現像液(CDK−1を1質量部、純水を99質量部の希釈した液、25℃)で現像し、更にイオン交換水(25℃)でリンスした後乾燥させた。現像はシャワー現像で行い、現像工程及びリンス工程ともにシャワー圧は0.04MPaであった。現像時間は30秒及び60秒の2条件で行い、リンス時間はいずれも15秒とした。得られた試料のパターン部をデジタルマイクロスコープ(VHX−600、キーエンス株式会社製、倍率2,000倍)で観察し、パターニング性を下記基準で評価した。
〔評価基準〕
○:未露光部の現像残渣が認められず、パターニング性良好。
△:未露光部の大半が現像で除去できているが、一部現像残渣が認められる。
×:未露光部の大半が現像で除去できておらず、パターニング不良。
<Evaluation of patterning properties>
Adhesion exposure was performed using an optical mask including a stripe pattern (line / space = 30 μm / 30 μm) for evaluating patterning characteristics. The exposure was performed at 100 mJ / cm 2 (illuminance 20 mW / cm 2 ) using a high-pressure mercury lamp i-line (365 nm). Each sample after the exposure was prepared by adding 1.0% by mass of a potassium hydroxide developer CDK-1 (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials) (1 part by mass of CDK-1 and 99 parts by mass of pure water). It was developed with a diluted solution (25 ° C.), further rinsed with ion exchange water (25 ° C.), and then dried. Development was performed by shower development, and the shower pressure was 0.04 MPa in both the development process and the rinsing process. The development time was 30 seconds and 60 seconds, and the rinse time was 15 seconds. The pattern part of the obtained sample was observed with a digital microscope (VHX-600, manufactured by Keyence Corporation, magnification: 2,000 times), and the patterning property was evaluated according to the following criteria.
〔Evaluation criteria〕
○: Development residue in unexposed areas is not recognized and patterning property is good.
(Triangle | delta): Although most unexposed parts have been removed by image development, some image development residues are recognized.
X: Most of the unexposed portions were not removed by development, and patterning was poor.
<現像工程後の分散媒と銀の質量比の測定>
露光及び現像後の試料から導電層を採取し、採取した導電層の質量及び銀の含有量を求めることにより、現像後の分散媒質量(A)と銀の質量(B)の比(A/B)を算出した。ここで、露光及び現像は耐傷性評価時と同一条件で行った。また銀の含有量の測定は、ICP発光分析装置(株式会社島津製作所製、ICPS−8000)にて行った。
<Measurement of mass ratio of dispersion medium and silver after development process>
The conductive layer is collected from the sample after exposure and development, and the ratio of the dispersion medium amount after development (A) to the silver mass (B) (A / B) was calculated. Here, exposure and development were performed under the same conditions as in the scratch resistance evaluation. The silver content was measured with an ICP emission spectrometer (ICPS-8000, manufactured by Shimadzu Corporation).
(実施例2)
−タッチパネルの作製−
試料No.102の透明導電体を用いて、『最新タッチパネル技術』(2009年7月6日発行、株式会社テクノタイムズ)、三谷雄二監修、“タッチパネルの技術と開発”、シーエムシー出版(2004年12月発行)、「FPD International 2009 Forum T−11講演テキストブック」、「Cypress Semiconductor Corporation アプリケーションノートAN2292」等に記載の方法により、タッチパネルを作製した。ここで、試料No.102は実施例1の耐傷性評価時と同じ条件で露光及び現像を行ったものをタッチパネル作製用に用いた。
作製したタッチパネルを使用した場合、光透過率の向上により視認性に優れ、かつ導電性の向上により素手、手袋を嵌めた手、指示具のうち少なくとも一つによる文字等の入力又は画面操作に対し応答性に優れるタッチパネルを製作できることが分かった。なお、タッチパネルとは、いわゆるタッチセンサ及びタッチパッドを含むものとする。
(Example 2)
-Fabrication of touch panel-
Sample No. Using 102 transparent conductors, “Latest Touch Panel Technology” (issued July 6, 2009, Techno Times Co., Ltd.), supervised by Yuji Mitani, “Technology and Development of Touch Panel”, CM Publishing (December 2004) ), “FPD International 2009 Forum T-11 Lecture Textbook”, “Cypress Semiconductor Corporation Application Note AN2292” and the like, and the touch panel was manufactured. Here, Sample No. No. 102 was used for touch panel production, which was exposed and developed under the same conditions as in the scratch resistance evaluation of Example 1.
When the manufactured touch panel is used, it is excellent in visibility by improving the light transmittance, and for input of characters etc. or screen operation by at least one of bare hands, gloves-fitted hands, pointing tools by improving conductivity It was found that a touch panel with excellent responsiveness can be manufactured. The touch panel includes a so-called touch sensor and a touch pad.
(実施例3)
<集積型太陽電池の作製>
−アモルファス太陽電池(スーパーストレート型)の作製−
ガラス基板上に、試料No.103の透明導電体を形成し、実施例1の耐傷性評価時と同じ条件で露光及び現像を行った。該透明導電体の上部にプラズマCVD法により厚みが15nmのp型、前記p型の上部に厚みが350nmのi型、前記i型の上部に厚みが30nmのn型アモルファスシリコンを形成した。前記n型アモルファスシリコンの上部に裏面反射電極として厚み20nmのガリウム添加酸化亜鉛層、該ガリウム添加酸化亜鉛層の上部に厚み200nmの銀層を形成し、アモルファス太陽電池を作製した。
(Example 3)
<Production of integrated solar cell>
-Fabrication of amorphous solar cells (super straight type)-
On the glass substrate, the sample No. A transparent conductor 103 was formed, and exposure and development were performed under the same conditions as in the scratch resistance evaluation of Example 1. A p-type having a thickness of 15 nm was formed on the transparent conductor by plasma CVD, an i-type having a thickness of 350 nm was formed on the p-type, and an n-type amorphous silicon having a thickness of 30 nm was formed on the i-type. A 20-nm-thick gallium-doped zinc oxide layer was formed as a back-surface reflecting electrode on the n-type amorphous silicon, and a 200-nm-thick silver layer was formed on the gallium-doped zinc oxide layer to produce an amorphous solar cell.
(実施例4)
<集積型太陽電池の作製>
−CIGS太陽電池(サブストレート型)の作製−
ガラス基板上に、直流マグネトロンスパッタ法により厚みが500nm程度のモリブデン電極、前記電極の上部に真空蒸着法により厚みが2.5μmのカルコパイライト系半導体材料であるCu(In0.6Ga0.4)Se2薄膜、前記Cu(In0.6Ga0.4)Se2薄膜の上部に溶液析出法により厚みが50nmの硫化カドミニウム薄膜を形成した。前記硫化カドミニウム薄膜の上部に、試料No.104の透明導電体を形成し、実施例1の耐傷性評価時と同じ条件で露光及び現像を行った。以上により、CIGS太陽電池を作製した。
Example 4
<Production of integrated solar cell>
-Fabrication of CIGS solar cells (substrate type)-
A molybdenum electrode having a thickness of about 500 nm by a DC magnetron sputtering method on a glass substrate, and Cu (In 0.6 Ga 0.4) which is a chalcopyrite semiconductor material having a thickness of 2.5 μm by a vacuum deposition method on the electrode. ) A cadmium sulfide thin film having a thickness of 50 nm was formed on the Se 2 thin film and the Cu (In 0.6 Ga 0.4 ) Se 2 thin film by a solution deposition method. On top of the cadmium sulfide thin film, a sample No. 104 transparent conductors were formed, and exposure and development were performed under the same conditions as in the scratch resistance evaluation of Example 1. The CIGS solar cell was produced by the above.
<太陽電池特性(変換効率)の評価>
作製した実施例3及び4の太陽電池について、AM1.5、100mW/cm2の疑似太陽光を照射することで太陽電池特性(変換効率)を測定した。結果を表3に示す。
<Evaluation of solar cell characteristics (conversion efficiency)>
About the produced solar cell of Example 3 and 4, the solar cell characteristic (conversion efficiency) was measured by irradiating the artificial sunlight of AM1.5 and 100 mW / cm < 2 >. The results are shown in Table 3.
本発明の導電膜形成用積層体は、外部配線との電気的接続が容易であり、かつ表面導電性に優れ、耐傷性が向上しているので、例えば、タッチパネル、ディスプレイ用帯電防止、電磁波シールド、有機EL又は無機ELディスプレイ用電極、電子ペーパー、フレキシブルディスプレイ用電極、フレキシブルディスプレイ用帯電防止、太陽電池、その他の各種デバイスなどに幅広く利用可能である。 Since the laminate for forming a conductive film of the present invention is easily electrically connected to external wiring, has excellent surface conductivity, and has improved scratch resistance, for example, touch panel, antistatic for display, electromagnetic wave shield, etc. It can be widely used for electrodes for organic EL or inorganic EL displays, electronic paper, electrodes for flexible displays, antistatics for flexible displays, solar cells, and other various devices.
10、20、30 タッチパネル
11、21、31 透明基板
12、13、22、23、32、33 透明導電体
24 絶縁層
25 絶縁カバー層
14、17 保護膜
15 中間保護膜
16 グレア防止膜
18 電極端子
33 スペーサ
34 空気層
35 透明フィルム
36 スペーサ
101 ディスプレイ
102 透明接着剤
103 第2の電極
104 透明基板
105 第1の電極
106 透明接着剤
107 透明フィルム
108 ハードコート層
109 反射防止層
110 保護樹脂層
120 反射防止フィルム
130 タッチパネル
10, 20, 30 Touch panel 11, 21, 31 Transparent substrate 12, 13, 22, 23, 32, 33 Transparent conductor 24 Insulating layer 25 Insulating cover layer 14, 17 Protective film 15 Intermediate protective film 16 Antiglare film 18 Electrode terminal 33 spacer 34 air layer 35 transparent film 36 spacer 101 display 102 transparent adhesive 103 second electrode 104 transparent substrate 105 first electrode 106 transparent adhesive 107 transparent film 108 hard coat layer 109 antireflection layer 110 protective resin layer 120 reflection Prevention film 130 Touch panel
Claims (15)
前記導電性繊維含有層上に、少なくとも水溶性ポリマーを含有する可溶性保護層用組成物を塗布して可溶性保護層を形成する可溶性保護層形成工程と、
を含むことを特徴とする導電膜形成用積層体の製造方法。 A conductive fiber-containing layer forming step of forming a conductive fiber-containing layer by applying a conductive fiber-containing layer composition containing at least conductive fibers on a substrate;
A soluble protective layer forming step of forming a soluble protective layer by applying a composition for a soluble protective layer containing at least a water-soluble polymer on the conductive fiber-containing layer;
The manufacturing method of the laminated body for electrically conductive film formation characterized by including.
前記少なくとも導電性繊維含有層における露光部及び非露光部のいずれかと、可溶性保護層とを、溶媒を付与して除去する除去工程と、
を含むことを特徴とするパターン形成方法。 An exposure step of exposing at least the conductive fiber-containing layer in the laminate for forming a conductive film according to any one of claims 1 to 8,
A removal step of removing at least one of the exposed portion and the non-exposed portion in the conductive fiber-containing layer and the soluble protective layer by applying a solvent;
A pattern forming method comprising:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012022844A true JP2012022844A (en) | 2012-02-02 |
Family
ID=45776966
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010158831A Withdrawn JP2012022844A (en) | 2010-07-13 | 2010-07-13 | Laminate for conductive film formation and method of manufacturing the same, and method of forming pattern, touch panel and integrated solar battery |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2012022844A (en) |
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