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JP2012090032A - Line artifact detector and detection method - Google Patents

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JP2012090032A
JP2012090032A JP2010234400A JP2010234400A JP2012090032A JP 2012090032 A JP2012090032 A JP 2012090032A JP 2010234400 A JP2010234400 A JP 2010234400A JP 2010234400 A JP2010234400 A JP 2010234400A JP 2012090032 A JP2012090032 A JP 2012090032A
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line
gate
photoelectric conversion
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JP2010234400A
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Hiroshi Iwata
弘 岩田
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Toshiba Corp
Canon Electron Tubes and Devices Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Electron Tubes and Devices Co Ltd
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  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
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Abstract

【課題】X線等の放射線の一部遮蔽等無しに撮影期間中においてもラインアーチファクト情報を正確に取得可能なラインアーチファクト検出器を提供する。
【解決手段】放射線センサ11と、放射線センサ11における複数本のゲートラインの1本毎に順次、駆動電圧を印加するゲート駆動回路12と、駆動電圧が印加されたゲートラインと接続された複数の画素に接続される信号読み出しラインを介して画像信号情報を読み取る読取回路14と、読取回路14で読み取った画像信号情報のうち、光電変換作用を行う画素群からの画像信号情報を表示する有効画像表示領域16と、光電変換作用を行わない画素群からの画像信号情報を表示する検査画像表示領域17と、を備える。
【選択図】図1
A line artifact detector capable of accurately acquiring line artifact information even during an imaging period without partial shielding of radiation such as X-rays.
A radiation sensor, a gate driving circuit for sequentially applying a driving voltage to each of a plurality of gate lines in the radiation sensor, and a plurality of gate lines connected to the gate line to which the driving voltage is applied. A reading circuit 14 that reads image signal information via a signal read line connected to the pixel, and an effective image that displays image signal information from a pixel group that performs a photoelectric conversion action among the image signal information read by the reading circuit 14 A display area 16 and an inspection image display area 17 that displays image signal information from a pixel group that does not perform photoelectric conversion are provided.
[Selection] Figure 1

Description

本発明の実施形態は、ラインアーチファクトを検出できるラインアーチファクト検出器及びその検出方法に関する。   Embodiments described herein relate generally to a line artifact detector capable of detecting a line artifact and a detection method thereof.

新世代のX線診断用検出器としてアクティブマトリックスを用いた放射線画像検出器が大きな注目を集めている。この放射線画像検出器にX線を照射することにより、X線撮影像又はリアルタイムのX線画像がデジタル信号とし出力される。また、平面状の固体検出器であることから、画質性能や安定性の面でも極めて期待が大きい。この為、多くの大学やメーカーが研究開発に取り組んでいる。   As a new generation X-ray diagnostic detector, a radiological image detector using an active matrix has attracted much attention. By irradiating the radiation image detector with X-rays, an X-ray image or a real-time X-ray image is output as a digital signal. In addition, since it is a flat solid detector, it is highly expected in terms of image quality and stability. For this reason, many universities and manufacturers are working on research and development.

放射線画像検出器は、直接方式と間接方式の2方式に大別される。   Radiation image detectors are roughly classified into two methods, a direct method and an indirect method.

直接方式は、X線をa−Se等の光導電膜により直接電荷信号に変換し、電荷蓄積用のキャパシタに導く方式である。   The direct method is a method in which X-rays are directly converted into a charge signal by a photoconductive film such as a-Se and led to a charge storage capacitor.

一方の間接方式は、蛍光体層によりX線を受けて一旦可視光に変換し、可視光をa−Siフォトダイオードなどにより信号電荷に変換して電荷蓄積用キャパシタに導く方式である。   One indirect method is a method in which X-rays are received by a phosphor layer and converted into visible light, and then the visible light is converted into signal charges by an a-Si photodiode or the like and led to a charge storage capacitor.

現在実用化されている放射線画像検出器の多くが間接方式を採用している。   Many of the radiation image detectors currently in practical use employ the indirect method.

従来の間接型放射線画像検出器においては、入射X線を蛍光に変換する蛍光変換膜と、この蛍光を電気信号による画像情報へと変換する画像検出部とを備えている。   A conventional indirect radiation image detector includes a fluorescence conversion film that converts incident X-rays into fluorescence, and an image detection unit that converts the fluorescence into image information using an electrical signal.

図9に、従来の間接型放射線画像検出器における画像検出部の等価回路図を示す。   FIG. 9 shows an equivalent circuit diagram of an image detection unit in a conventional indirect radiation image detector.

この画像検出部においては、TFTスイッチ3、フォトダイオード8、及びコンデンサ9から構成される各画素1に対して、縦方向配線の信号読み出しライン2と横方向配線のゲートライン4がTFTスイッチ3を通じて接続され、更に信号読み出しライン2が積分アンプ5に接続されている。信号読み出しライン2は、TFTスイッチ3に接続されている縦列の画素群の信号を読み出し、ゲートライン4は、TFTスイッチ3のオン、オフを制御する。   In this image detection unit, for each pixel 1 composed of a TFT switch 3, a photodiode 8, and a capacitor 9, a signal readout line 2 for vertical wiring and a gate line 4 for horizontal wiring pass through the TFT switch 3. Further, the signal readout line 2 is connected to the integrating amplifier 5. The signal readout line 2 reads out the signal of the pixel group in the column connected to the TFT switch 3, and the gate line 4 controls on / off of the TFT switch 3.

この放射線画像検出器では、任意のゲートライン4を選択してTFTスイッチ3をONにすることで、画素1の電気信号を信号読み出しライン2を介して積分アンプ5へ読み出すことができる。   In this radiation image detector, the electrical signal of the pixel 1 can be read out to the integrating amplifier 5 through the signal readout line 2 by selecting an arbitrary gate line 4 and turning on the TFT switch 3.

しかしながら、この放射線画像検出器では、特定の信号読み出しライン2においてラインアーチファクトが多く発生することがある。これは、TFTスイッチ3を用いた2次元型検出器特有の構造に起因する。   However, in this radiation image detector, many line artifacts may occur in the specific signal readout line 2. This is due to the structure peculiar to the two-dimensional detector using the TFT switch 3.

即ち、このような2次元型検出器においては、フォトダイオード8などにおいて電流リークが生じて画素1の容量に過剰に電荷が蓄積されることでTFTスイッチ3から電荷がリークしたり、TFTスイッチ3自体の不良に起因するリークが生じたりする場合がある。この際、TFTスイッチ3から電荷が漏れ出していたりする欠陥が1画素でもあった場合、ラインアーチファクトとして画像に表れる。   That is, in such a two-dimensional detector, a current leak occurs in the photodiode 8 or the like and excessive charge is accumulated in the capacitance of the pixel 1, so that charge leaks from the TFT switch 3 or TFT switch 3 There may be a case where a leak occurs due to a defect of itself. At this time, if even one pixel has a defect in which charge leaks from the TFT switch 3, it appears in the image as a line artifact.

このラインアーチファクトは、その程度により、正常箇所と判別しにくい場合がある。   Depending on the degree of this line artifact, it may be difficult to distinguish it from a normal location.

例えば、被写体が検出器のエリアより小さい場合、被写透過後の線量は低いが、その周りのエリアでは非常に高い線量が照射される。この場合、高い線量エリアでは画素1に蓄積される電荷が大きいことからTFTのリーク電流量も大きくなり、TFTスイッチ3の欠陥、特性ばらつきによりラインアーチファクトが現れやすくなる。   For example, when the subject is smaller than the area of the detector, the dose after the object is transmitted is low, but a very high dose is irradiated in the surrounding area. In this case, in the high dose area, the amount of charge accumulated in the pixel 1 is large, so that the amount of leakage current of the TFT also increases, and line artifacts are likely to appear due to defects in the TFT switch 3 and variations in characteristics.

これに対して、一様な線量が照射された画像出力では、特定の部分のリークは正常画像と識別しにくくなる。   On the other hand, in an image output irradiated with a uniform dose, a leak at a specific portion is difficult to distinguish from a normal image.

従来、このようなラインアーチファクトは、X線等の放射線を照射しない状態での画像信号や、任意の線量を照射し検出エリアの一部の照射を遮った画像信号等を用いて総合判断により検出されていた。   Conventionally, such line artifacts are detected by comprehensive judgment using an image signal in a state where radiation such as X-rays is not irradiated or an image signal which is irradiated with an arbitrary dose to block a part of the detection area. It had been.

特開2009−128023号公報JP 2009-128023 A

しかしながら、従来のラインアーチファクトの検査方法では、画像検出器での撮影を開始する前や終了時に検査を行ったり、検査のために撮影を中断したりする必要があった。また、検査用に照射する線量の調整の必要や、検査漏れなどの問題、さらに、撮影中には検査ができないなどの課題があった。   However, in the conventional method for inspecting line artifacts, it is necessary to inspect before or at the end of imaging with an image detector, or to interrupt imaging for inspection. In addition, there are problems such as the necessity of adjusting the dose irradiated for inspection, problems such as omission of inspection, and inability to inspect during imaging.

一方、取得した有効画素画像からラインアーチファクト情報を画像処理により検出し、その情報を元にラインアーチファクト補正を行うことも行われているが、正確なラインアーチファクト信号を分離することはできず、完全な補正もできていないのが現状である。   On the other hand, line artifact information is detected from the acquired effective pixel image by image processing, and line artifact correction is also performed based on this information. However, an accurate line artifact signal cannot be separated and is completely The current situation is that no correction has been made.

本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、X線等の放射線の一部遮蔽等無しに撮影期間中においてもラインアーチファクト情報を正確に取得可能なラインアーチファクト検出器及びその検出方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above problems, and a line artifact detector capable of accurately acquiring line artifact information even during an imaging period without partial shielding of radiation such as X-rays and a detection method thereof. The purpose is to provide.

上述の目的を達成するため、本ラインアーチファクト検出器は、基板上に二次元状に配列された複数の画素、行方向又は列方向の一方に延在する複数本のゲートライン、及び前記ゲートラインの延在方向と直交する方向に延在する複数本の信号読み出しラインを有し、前記複数の画素は、光電変換作用を行う画素群と光電変換作用を行わない画素群とに分割され、前記光電変換作用を行う画素群と前記光電変換作用を行わない画素群は、それぞれ、前記複数本のゲートラインのうちの1本及び前記複数本の信号読み出しラインのうちの1本に接続された画像検出部を備える放射線センサと、前記複数本のゲートラインの1本毎に順次、駆動電圧を印加するゲート駆動回路と、前記光電変換作用を行う画素群について、前記駆動電圧が印加されたゲートラインと接続された複数の画素に接続される前記信号読み出しラインを介して画像信号情報を読み取り、当該画像信号情報を有効画素表示領域として表示させるとともに、前記光電変換作用を行わない画素群について、前記駆動電圧が印加されたゲートラインと接続された複数の画素に接続される前記信号読み出しラインを介して画像信号情報を読み取り、当該画像信号情報を検査画像表示領域として少なくとも一時表示させる読取回路と、を備えることを特徴とする。   In order to achieve the above-described object, the present line artifact detector includes a plurality of pixels arranged two-dimensionally on a substrate, a plurality of gate lines extending in one of a row direction and a column direction, and the gate lines. A plurality of signal readout lines extending in a direction perpendicular to the extending direction of the plurality of pixels, wherein the plurality of pixels are divided into a pixel group that performs a photoelectric conversion action and a pixel group that does not perform a photoelectric conversion action, A pixel group that performs a photoelectric conversion action and a pixel group that does not perform the photoelectric conversion action are respectively connected to one of the plurality of gate lines and one of the plurality of signal readout lines. The drive voltage is applied to a radiation sensor including a detection unit, a gate drive circuit that sequentially applies a drive voltage to each of the plurality of gate lines, and a pixel group that performs the photoelectric conversion action. A pixel group that reads image signal information through the signal readout line connected to a plurality of pixels connected to a gate line, displays the image signal information as an effective pixel display area, and does not perform the photoelectric conversion function A reading circuit that reads image signal information through the signal readout line connected to a plurality of pixels connected to the gate line to which the drive voltage is applied, and at least temporarily displays the image signal information as an inspection image display region And.

また、上述の目的を達成するため、本ラインアーチファクト検出器の検出方法は、基板上に光電変換作用を行う複数の画素が二次元状に配列されるとともに、行方向又は列方向の一方に延在する複数本のゲートラインと、前記ゲートラインの延在方向と直交する方向に延在する複数本の信号読み出しラインとを有し、前記複数の画素は、それぞれ、前記複数本のゲートラインのうちの1本及び前記複数本の信号読み出しラインのうちの1本に接続された放射線センサを備えたラインアーチファクト検出器におけるラインアーチファクトの検出方法であって、前記複数本のゲートラインの1本毎に順次、駆動電圧を印加し、前記駆動電圧が印加されたゲートラインと接続された複数の画素に接続される前記信号読み出しラインを介して画像信号情報を読み取るとともに、前記画像信号情報の読み取りを行うタイミングの前後に、光電変換作用を行わない画素群を想定した読取期間を設け、当該読取期間における画像信号情報を読み取ることによりラインアーチファクトを検出することを特徴とする。   In order to achieve the above-described object, the detection method of the line artifact detector includes a plurality of pixels that perform a photoelectric conversion action on a substrate that are two-dimensionally arranged and extend in one of the row direction and the column direction. A plurality of gate lines, and a plurality of signal readout lines extending in a direction perpendicular to the extending direction of the gate lines, and the plurality of pixels are each of the plurality of gate lines. A line artifact detection method in a line artifact detector comprising a radiation sensor connected to one of the plurality of signal readout lines and one of the plurality of signal readout lines, wherein each of the plurality of gate lines is detected. Sequentially apply a driving voltage to the image signal through the signal readout line connected to a plurality of pixels connected to the gate line to which the driving voltage is applied. A reading period assuming a pixel group that does not perform photoelectric conversion is provided before and after the timing of reading the image signal information, and line artifacts are detected by reading the image signal information in the reading period. It is characterized by that.

第1の実施の形態に係るラインアーチファクト検出器の構成を示す模式図。The schematic diagram which shows the structure of the line artifact detector which concerns on 1st Embodiment. 図1のラインアーチファクト検出器に用いた放射線センサの一例を示す斜視図。The perspective view which shows an example of the radiation sensor used for the line artifact detector of FIG. 図2の画像検出部表面の部分拡大図。The elements on larger scale of the image detection part surface of FIG. 図2の画像検出部の等価回路図。FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of the image detection unit in FIG. 2. 図1のゲート駆動回路及び読取回路の一例を示す平面図。FIG. 2 is a plan view illustrating an example of a gate driving circuit and a reading circuit in FIG. 1. 第1の実施の形態に係るラインアーチファクト検出器の駆動方法を示すタイミングチャート。The timing chart which shows the drive method of the line artifact detector which concerns on 1st Embodiment. ラインアーチファクトを含む画像表示例であり、(a)は従来例による画像表示写真、(b)は第1の実施の形態による画像表示写真。It is an image display example containing a line artifact, (a) is an image display photograph by a prior art example, (b) is an image display photograph by 1st Embodiment. 第2の実施の形態に係るラインアーチファクト検出器の駆動方法を示すタイミングチャート。The timing chart which shows the drive method of the line artifact detector which concerns on 2nd Embodiment. 従来の間接型放射線画像検出器における画像検出部の等価回路図。The equivalent circuit diagram of the image detection part in the conventional indirect type radiographic image detector.

以下、図面を参照して、本実施の形態について説明する。   Hereinafter, the present embodiment will be described with reference to the drawings.

[第1の実施の形態]
(ラインアーチファクト検出器の全体構成)
図1に、第1の実施の形態のラインアーチファクト検出器を示す。
[First Embodiment]
(Overall configuration of line artifact detector)
FIG. 1 shows a line artifact detector according to the first embodiment.

このラインアーチファクト検出器10は、入射したX線を光に変換する蛍光体層及び入射した光を電気信号に変換する画像検出部を有する放射線センサ11と、画像検出部に2次元的に配置された画素につき走査ライン毎に順次駆動電圧を印加するゲート駆動回路12と、ゲート駆動回路12に対して列方向のスキャンタイミングを決める駆動信号を生成する駆動制御回路13と、選択された一ラインの画素の電気信号を読み取る読取回路14と、読取回路14での読み取りタイミングを決める読取信号を生成する読取制御回路15と、読取回路14により得られた有効画素を表示する有効画素表示領域16と、ラインアーチファクト信号を表示する検査画像表示領域17とを備えている。   The line artifact detector 10 is two-dimensionally arranged in a radiation sensor 11 having a phosphor layer that converts incident X-rays into light and an image detection unit that converts incident light into an electrical signal, and the image detection unit. A gate drive circuit 12 for sequentially applying a drive voltage for each scan line for each pixel, a drive control circuit 13 for generating a drive signal for determining a scan timing in the column direction for the gate drive circuit 12, and a selected one line A reading circuit 14 that reads an electric signal of the pixel, a reading control circuit 15 that generates a reading signal that determines a reading timing in the reading circuit 14, an effective pixel display region 16 that displays an effective pixel obtained by the reading circuit 14, And an inspection image display area 17 for displaying a line artifact signal.

(放射線センサ11)
図2は、放射線センサ11の具体的な構成の一例を示すものである。
(Radiation sensor 11)
FIG. 2 shows an example of a specific configuration of the radiation sensor 11.

この放射線センサ11は、入射X線21を蛍光に変換する蛍光変換膜23と、この蛍光を電気信号による画像情報へと変換する画像検出部25とを備えている。   The radiation sensor 11 includes a fluorescence conversion film 23 that converts incident X-rays 21 into fluorescence, and an image detection unit 25 that converts the fluorescence into image information using an electrical signal.

画像検出部25は、主にガラス基板により構成されている保持基板27上に、フォトダイオード及び薄膜トランジスタ(TFTスイッチ3)を含む画素1が多数配列された回路層29を設けて形成されている。   The image detection unit 25 is formed by providing a circuit layer 29 on which a large number of pixels 1 including photodiodes and thin film transistors (TFT switches 3) are arranged on a holding substrate 27 mainly composed of a glass substrate.

図3は、画像検出部25表面の部分拡大図を示すものである。   FIG. 3 is a partial enlarged view of the surface of the image detection unit 25.

画像検出部25表面では、TFTスイッチ3及びフォトダイオード8を含む画素1が格子状に配置されている。また、各々の画素1は、行方向に沿って複数本配設されたゲートライン4のうちの1本と接続され、かつ列方向に沿って複数本配設された信号読み出しライン2のうちの1本と接続されている。更に、それぞれのフォトダイオード8は、列方向に沿って複数本配設されたバイアス線39のうちの1本と接続されている。   On the surface of the image detection unit 25, the pixels 1 including the TFT switches 3 and the photodiodes 8 are arranged in a grid pattern. Each pixel 1 is connected to one of a plurality of gate lines 4 arranged in the row direction, and one of the signal readout lines 2 arranged in the column direction. Connected to one. Further, each photodiode 8 is connected to one of a plurality of bias lines 39 arranged in the column direction.

このような画像検出部25は、液晶表示装置の製造工程に類似しているTFTパネル製造工程により製造される。即ち、保持基板27上に信号配線(信号読み出しライン2及びゲートライン4)とTFTスイッチ3を形成後、その上にフォトダイオード8を格子状に形成し、その出力を下部に配置されているTFTスイッチ3に電気的に接続し、さらにバイアス線39を形成することで製造される。   Such an image detection unit 25 is manufactured by a TFT panel manufacturing process similar to the manufacturing process of the liquid crystal display device. That is, after forming the signal wiring (the signal readout line 2 and the gate line 4) and the TFT switch 3 on the holding substrate 27, the photodiode 8 is formed in a lattice shape on the TFT switch 3, and the output is disposed below the TFT. It is manufactured by electrically connecting to the switch 3 and further forming a bias line 39.

図4に画像検出部25の等価回路を示す。   FIG. 4 shows an equivalent circuit of the image detection unit 25.

画素1は、TFTスイッチ3、フォトダイオード8及びコンデンサ9からなり、TFTスイッチ3のゲートにはゲートライン4が接続され、TFTスイッチ3のソースには信号読み出しライン2が接続され、TFTスイッチ3のドレインにはフォトダイオード8とコンデンサ9とが並列に接続されている。なお、コンデンサ9は、フォトダイオード8の電極間の容量である。   The pixel 1 includes a TFT switch 3, a photodiode 8, and a capacitor 9. The gate line 4 is connected to the gate of the TFT switch 3, the signal readout line 2 is connected to the source of the TFT switch 3, and the TFT switch 3 A photodiode 8 and a capacitor 9 are connected in parallel to the drain. The capacitor 9 is a capacitance between the electrodes of the photodiode 8.

また、本実施の形態では、X線等の放射線を電気信号に変換して画像を読み出す撮影有効エリア6の外側に、X線等の放射線を電気信号に変換しないダミー画素7を複数行設けている。   In this embodiment, a plurality of rows of dummy pixels 7 that do not convert X-rays or the like into electrical signals are provided outside the imaging effective area 6 that reads out images by converting X-rays or other radiation into electrical signals. Yes.

ダミー画素7は、例えば、図4に示すように、フォトダイオード8を設けずにTFTスイッチ3とコンデンサ9のみで構成することができる。また、フォトダイオード8を設けた場合は、TFTスイッチ3に電気的に接続しないものとしてもよい。   For example, as shown in FIG. 4, the dummy pixel 7 can be configured by only the TFT switch 3 and the capacitor 9 without providing the photodiode 8. Further, when the photodiode 8 is provided, it may not be electrically connected to the TFT switch 3.

ダミー画素7は、信号電荷を検出するアンプICのオフセット電圧の測定に使用される。この際に、オフセット電圧の測定精度を向上させるべく、数行から十数行のダミー画素7を設けることもできる。   The dummy pixel 7 is used for measuring the offset voltage of the amplifier IC that detects the signal charge. At this time, in order to improve the measurement accuracy of the offset voltage, it is possible to provide several to a dozen rows of dummy pixels 7.

また、信号読み出しライン2の下端は、図5に示す積分アンプ5に接続され、ゲートライン4の左端は、図5に示すゲートドライバ31の特定の信号線に接続される。   Further, the lower end of the signal readout line 2 is connected to the integrating amplifier 5 shown in FIG. 5, and the left end of the gate line 4 is connected to a specific signal line of the gate driver 31 shown in FIG.

(ゲート駆動回路12、読取回路14)
図5は、図1のゲート駆動回路12及び読取回路14の具体的な構成の一例を示すものである。
(Gate driving circuit 12, reading circuit 14)
FIG. 5 shows an example of a specific configuration of the gate driving circuit 12 and the reading circuit 14 of FIG.

ゲート駆動回路12は、ゲートドライバ31及び行選択回路33を備え、読取回路14は積分アンプ5、A/D(アナログ・デジタル)変換器35及び駆動器37を備えている。   The gate driving circuit 12 includes a gate driver 31 and a row selection circuit 33, and the reading circuit 14 includes an integrating amplifier 5, an A / D (analog / digital) converter 35, and a driver 37.

ゲートドライバ31は、外部からの信号を受信すると、放射線センサ11に接続されている多数のゲートライン4の電圧を順番に変更していく機能を有している。また、このゲートドライバ31には行選択回路33が接続される。   The gate driver 31 has a function of sequentially changing the voltages of a large number of gate lines 4 connected to the radiation sensor 11 when receiving a signal from the outside. A row selection circuit 33 is connected to the gate driver 31.

行選択回路33は、X線画像の走査方向に従って対応するゲートドライバ31へと信号を送る機能を有しており、図1の駆動制御回路13と接続されている。   The row selection circuit 33 has a function of sending a signal to the corresponding gate driver 31 according to the scanning direction of the X-ray image, and is connected to the drive control circuit 13 of FIG.

また、積分アンプ5は、図4の信号読み出しライン2と一対一に接続され、この信号読み出しライン2を伝わる電荷信号を増幅する。積分アンプ5は、A/D変換器35を介して駆動器37に接続される。   Further, the integrating amplifier 5 is connected to the signal readout line 2 in FIG. 4 on a one-to-one basis, and amplifies a charge signal transmitted through the signal readout line 2. The integrating amplifier 5 is connected to the driver 37 via the A / D converter 35.

駆動器37は、図1の読取制御回路15と接続されており、読取制御回路15からの読取信号により、A/D変換器35でデジタル化された信号の読み取りを行う。   The driver 37 is connected to the reading control circuit 15 of FIG. 1, and reads a signal digitized by the A / D converter 35 by a reading signal from the reading control circuit 15.

(ラインアーチファクト検出器10の駆動方法)
図6は、このラインアーチファクト検出器10の駆動方法の一例を示すタイミングチャートである。
(Driving method of line artifact detector 10)
FIG. 6 is a timing chart showing an example of a driving method of the line artifact detector 10.

図6におけるゲート駆動信号の「ゲートライン1」は、図4の行列状に配置された複数の画素1における上端の行の画素群に接続されたゲートラインであり、「ゲートライン2」は上端から2番目の行の画素群に接続されたゲートラインである。同様に「ゲートライン3」は3行目、ゲートラインnはn番目の行の画素群に接続されたゲートラインである。更に、「ダミーライン1」はゲートラインnの次の行で1番上の行のダミー画素群に接続されたゲートラインであり、「ダミーラインm」はm番目の行のダミー画素群に接続されたゲートラインを意味している。   The “gate line 1” of the gate drive signal in FIG. 6 is a gate line connected to the pixel group in the uppermost row of the plurality of pixels 1 arranged in the matrix form of FIG. 4, and the “gate line 2” is the upper end. To the gate line connected to the pixel group in the second row. Similarly, the “gate line 3” is a gate line connected to the pixel group in the third row, and the gate line n is a gate line connected to the pixel group in the n th row. Further, “dummy line 1” is a gate line connected to the dummy pixel group in the top row in the next row of the gate line n, and “dummy line m” is connected to the dummy pixel group in the m-th row. Means the gate line.

図1の駆動制御回路13で生成された図6に示す各ゲートライン1〜nのゲート駆動信号に基づき、ゲート駆動回路12は各ゲートライン1〜nに電圧を印加する。ここで、図6に示すように、ゲートライン1〜nには、接続されているTFTスイッチ3を絶縁状態にする電圧(Lo状態)が大部分の期間において印加されているが、特定の期間のみTFTスイッチ3を導通状態にする駆動電圧(Hi状態)が印加される。   Based on the gate drive signals of the gate lines 1 to n shown in FIG. 6 generated by the drive control circuit 13 of FIG. 1, the gate drive circuit 12 applies a voltage to the gate lines 1 to n. Here, as shown in FIG. 6, a voltage (Lo state) for insulating the connected TFT switch 3 is applied to the gate lines 1 to n in most of the periods. Only a drive voltage (Hi state) is applied to bring the TFT switch 3 into a conductive state.

また、ゲート駆動回路12が各々のゲートライン1〜nに対してTFTスイッチ3を導通状態にする電圧を印加する期間は全て異なっており、図6のように、ゲートライン1からゲートラインnまで順に期間をずらした電圧印加を行う。このようにすることで、異なるゲートラインに属する画素1からの電荷信号はお互いに交じり合うことなく、信号読み出しライン2を通じて積分アンプ5に入力されることになる。   Further, the period during which the gate drive circuit 12 applies the voltage for turning on the TFT switch 3 to each of the gate lines 1 to n is different, as shown in FIG. 6, from the gate line 1 to the gate line n. Voltage application is performed with the periods shifted in order. In this way, the charge signals from the pixels 1 belonging to different gate lines are input to the integrating amplifier 5 through the signal readout line 2 without crossing each other.

更に、図6に示す各ダミーライン1〜mについても、上記と同様に、図1の駆動制御回路13で生成されたゲート駆動信号に基づき、ゲート駆動回路12はダミーライン1からダミーラインmまで順に期間をずらした電圧印加を行う。   Further, for each of the dummy lines 1 to m shown in FIG. 6, the gate drive circuit 12 from the dummy line 1 to the dummy line m is based on the gate drive signal generated by the drive control circuit 13 of FIG. Voltage application is performed with the periods shifted in order.

次に、読取制御回路15からの読取信号に基づき、一定期間にわたって所定のゲートラインに接続されている全ての画素1について積分アンプ5により電荷蓄積動作を行い、読取回路14により信号読み出しライン2に流れる電荷を読み取る。   Next, based on the read signal from the read control circuit 15, the charge accumulation operation is performed by the integrating amplifier 5 for all the pixels 1 connected to a predetermined gate line over a certain period, and the signal read line 2 is set by the read circuit 14. Read the flowing charge.

外部からX線が照射されている間、図6の各ゲートライン画素信号出力の「シグナル1」〜「シグナルn」に示す各タイミングで読取動作を行うことで、各々のゲートライン1〜nにおいてTFTスイッチ3を導通して画素1の電荷信号が信号読み出しライン2を流れる期間のみ積分アンプ5を動作し、不要な期間において信号読み出しライン2を流れるノイズ信号を遮断する。これにより、デジタル信号から構成される画像情報として図1に示す有効画素表示領域16に出力することが可能となる。   While X-rays are being irradiated from the outside, reading operation is performed at each timing indicated by “signal 1” to “signal n” of each gate line pixel signal output in FIG. The integration switch 5 is operated only during the period when the charge signal of the pixel 1 flows through the signal readout line 2 by turning on the TFT switch 3, and the noise signal flowing through the signal readout line 2 is cut off during an unnecessary period. As a result, it is possible to output image information composed of digital signals to the effective pixel display area 16 shown in FIG.

ここで、仮にX線等の放射線を照射しない場合は、画像情報として変換されるべき電気信号以外のリーク電荷などがコンデンサ9に蓄積される。   Here, if radiation such as X-rays is not irradiated, leak charges other than electrical signals to be converted as image information are accumulated in the capacitor 9.

ダミー画素7は、上述のように、フォトダイオード8を設けずにTFTスイッチ3とコンデンサ9のみで構成されているのでX線等の放射線を電気信号に変換しないことから、X線等の放射線を照射しない場合と同様に、画像情報として変換されるべき電気信号以外のリーク電荷などがダミー画素7のコンデンサ9に蓄積されることになる。   As described above, the dummy pixel 7 is composed of only the TFT switch 3 and the capacitor 9 without providing the photodiode 8, and therefore does not convert radiation such as X-rays into an electric signal. As in the case of not irradiating, leak charges other than the electric signal to be converted as image information are accumulated in the capacitor 9 of the dummy pixel 7.

よって、図6に示す各ゲートライン画素信号出力の「シグナルダミー1」〜「シグナルダミーm」について、「シグナル1」〜「シグナルn」の各出力と同様の出力を行うことによって、ダミー画素7のTFTスイッチ3を介して漏れ出るラインアーチファクト信号を読取回路14により読み取ることができる。   Accordingly, the “pixel 1” to “signal dummy m” of each gate line pixel signal output shown in FIG. 6 are output in the same manner as the outputs of “signal 1” to “signal n”, thereby providing the dummy pixel 7. The line artifact signal leaking through the TFT switch 3 can be read by the reading circuit 14.

このため、図1の検査画像表示領域17として外部に出力することにより、X線等の放射線照射にて画像を取得中にもダミー画素7からの信号出力によってラインアーチファクトの影響、欠陥が判断できる。   Therefore, by outputting the inspection image display area 17 in FIG. 1 to the outside, it is possible to determine the influence of line artifacts and defects based on the signal output from the dummy pixel 7 even while an image is acquired by irradiation with radiation such as X-rays. .

図7に、実際に有効画素表示領域16及び検査画像表示領域17を表示した例を示す。なお、比較のために、従来の有効画素表示領域16のみの例も併せて示した。   FIG. 7 shows an example in which the effective pixel display area 16 and the inspection image display area 17 are actually displayed. For comparison, an example of only the conventional effective pixel display region 16 is also shown.

有効画素表示領域16において、ラインアーチファクトは、被写体内のX線線量の小さな部分では顕著に現れているが、被写体周辺のX線線量の大きい部分では検出しにくいことが分かる。   In the effective pixel display area 16, it can be seen that the line artifact appears remarkably in the portion where the X-ray dose in the subject is small, but is difficult to detect in the portion where the X-ray dose around the subject is high.

従って、図7(a)のように、従来の有効画素表示領域16のみの表示では、X線線量の大きい部分ではラインアーチファクトを確認しにくいのに対して、図7(b)のように、有効画素表示領域16及び検査画像表示領域17を両方設けた場合には、検査画像表示領域17を利用してラインアーチファクトを容易に確認することができる。   Accordingly, as shown in FIG. 7A, in the conventional display only in the effective pixel display region 16, it is difficult to confirm the line artifact in the portion where the X-ray dose is large, whereas as shown in FIG. When both the effective pixel display area 16 and the inspection image display area 17 are provided, the line artifact can be easily confirmed using the inspection image display area 17.

よって、本実施の形態によれば、撮影期間中においてもラインアーチファクトの検出が可能であり、放射線等の画像信号の強さなど状況により生じるアーチファクトを画像取得中に正確に検出することが可能になる。   Therefore, according to the present embodiment, it is possible to detect line artifacts even during the imaging period, and it is possible to accurately detect artifacts caused by circumstances such as the intensity of image signals such as radiation during image acquisition. Become.

なお、検査画像表示領域17は、撮影中絶えず表示させておいても良いが、一旦表示させてラインアーチファクトの生じた部位を確認した後、表示を消して、有効画素表示領域16のみの表示とすることもできる。   The inspection image display area 17 may be displayed continuously during imaging. However, after displaying the inspection image display area 17 once and confirming the site where the line artifact has occurred, the display is turned off and only the effective pixel display area 16 is displayed. You can also

[第2の実施の形態]
ラインアーチファクトは、信号読み出しライン2に漏れ出してくる電荷による影響であるため、実際にダミー画素7を設けずに積分アンプ5をダミー画素7があると想定したタイミングで蓄積動作することによっても同等の出力を得ることが可能である。
[Second Embodiment]
Since the line artifact is caused by the electric charge leaking to the signal readout line 2, it is equivalent even if the integrating amplifier 5 is accumulated at a timing when the dummy pixel 7 is assumed without actually providing the dummy pixel 7. Output can be obtained.

このため、第2の実施の形態として、ダミー画素7を設けなかった以外は第1の実施の形態と同様に構成したラインアーチファクト検出器において、図8のようなゲート駆動信号で検出器を駆動した。   Therefore, as a second embodiment, in the line artifact detector configured in the same manner as in the first embodiment except that the dummy pixel 7 is not provided, the detector is driven by a gate drive signal as shown in FIG. did.

即ち、先ず、第1の実施の形態と同様に、図1の駆動制御回路13で生成された図8に示す各ゲートライン1〜nのゲート駆動信号に基づき、ゲート駆動回路12は各ゲートライン1〜nに電圧を印加する。ここで、図8に示すように、ゲートライン1〜nには、接続されているTFTスイッチ3を絶縁状態にする電圧(Lo状態)が大部分の期間において印加されているが、特定の期間のみTFTスイッチ3を導通状態にする電圧(Hi状態)が印加される。   That is, first, similarly to the first embodiment, the gate drive circuit 12 generates each gate line based on the gate drive signals of the gate lines 1 to n shown in FIG. 8 generated by the drive control circuit 13 shown in FIG. A voltage is applied to 1 to n. Here, as shown in FIG. 8, a voltage (Lo state) for insulating the connected TFT switch 3 is applied to the gate lines 1 to n in most of the periods. Only the voltage (Hi state) for making the TFT switch 3 conductive is applied.

また、ゲート駆動回路12が各々のゲートライン1〜nに対してTFTスイッチ3を導通状態にする電圧を印加する期間は全て異なっており、図8のように、ゲートライン1からゲートラインnまで順に期間をずらした電圧印加を行う。   Further, the period during which the gate driving circuit 12 applies the voltage for turning on the TFT switch 3 to each of the gate lines 1 to n is different, as shown in FIG. 8, from the gate line 1 to the gate line n. Voltage application is performed with the periods shifted in order.

次に、図8の各ゲートライン画素信号出力の「シグナル1」〜「シグナルn」に示す各タイミングで読取動作を行うことで、各々のゲートライン1〜nにおいてTFTスイッチ3を導通して画素1の電荷信号が信号読み出しライン2を流れる期間のみ積分アンプ5を動作する。   Next, by performing a reading operation at each timing indicated by “signal 1” to “signal n” of each gate line pixel signal output in FIG. 8, the TFT switch 3 is turned on in each gate line 1 to n to thereby form a pixel. The integrating amplifier 5 is operated only during a period in which one charge signal flows through the signal readout line 2.

その後、さらに、図8の各ゲートライン画素信号出力の「シグナルダミー1」〜「シグナルダミーm」について、第1の実施の形態におけるダミー画素1〜nを想定したタイミングで、「シグナル1」〜「シグナルn」の各出力と同様の出力を行う。   Thereafter, “signal dummy 1” to “signal dummy m” of each gate line pixel signal output of FIG. 8 is further processed at the timing assuming dummy pixels 1 to n in the first embodiment. The same output as each output of “signal n” is performed.

このダミー画素を想定した読取期間において信号読み出しライン2を流れる電荷情報を得ることで、リーク電流の情報を得ることができる。   Information on the leakage current can be obtained by obtaining the charge information flowing through the signal readout line 2 in the readout period assuming the dummy pixels.

よって、この方法によっても、放射線画像検出装置に用いられるTFT特有の現象によるアーチファクトを検出することが可能となる。   Therefore, this method can also detect an artifact caused by a phenomenon peculiar to a TFT used in the radiation image detection apparatus.

[第3の実施の形態]
上記の第1又は第2の実施の形態において、検査画像表示領域17における出力に任意の規定値を設け、その値を超えた場合にラインアーチファクトの補正を実施するなどの選択的な処理を行うこともできる。
[Third Embodiment]
In the first or second embodiment described above, an arbitrary specified value is provided for the output in the inspection image display area 17, and selective processing such as correction of line artifacts is performed when the specified value is exceeded. You can also.

ラインアーチファクトの判別は、例えば、以下の様な計算で判別することができる。   The line artifact can be determined by, for example, the following calculation.

|Vout(n)−Vout_ave|≧Vout_th の時 n_chは欠陥ラインとする。 When | Vout (n) −Vout_ave | ≧ Vout_th, n_ch is a defective line.

ここで、Vout(n)・・・n番目のラインの出力、Vout_ave・・・全ラインの平均値、Vout_th・・・欠陥判定基準値
TFTスイッチ3のリーク電流は、リーク箇所の画素の信号出力に依存し、被写体の状態、X線等放射線の線量、照射エリアでその影響は変化するが、シグナルダミー1〜mにおける画素信号出力を常に判定し、上記補正のデータとして用いることで、どのような被写体、X線等放射線の状態においてもラインアーチファクトの補正が可能となる。
Here, Vout (n): output of the nth line, Vout_ave: average value of all lines, Vout_th: defect determination reference value The leak current of the TFT switch 3 is the signal output of the pixel at the leak location Depending on the condition of the subject, the dose of radiation such as X-rays, and the influence of the irradiation area will vary, but the pixel signal output in the signal dummies 1 to m is always determined and used as the correction data. It is possible to correct line artifacts even in the state of radiation such as a rough subject and X-rays.

更に、必要なコントラストを確保できる任意の信号出力以内であれば、アンプICのオフセットを含むラインアーチファクトとしてデジタル信号変換後の画像処理にて補正することができ、その範囲を超えた場合は欠陥ラインとしてデジタル信号変換後の画像処理において欠陥補正を行うこともできる。   Furthermore, if it is within an arbitrary signal output that can ensure the necessary contrast, it can be corrected by image processing after digital signal conversion as a line artifact including an offset of the amplifier IC. As described above, defect correction can be performed in image processing after digital signal conversion.

[その他の実施の形態]
上記の実施の形態においては、放射線センサ11としてフォトダイオード8を設けた間接方式の例を示したが、a−Se等の光導電膜によりX線を直接電荷信号に変換して電荷蓄積用のキャパシタに導く直接方式についても同様に適用することができる。
[Other embodiments]
In the above embodiment, an example of the indirect system in which the photodiode 8 is provided as the radiation sensor 11 is shown. However, the X-ray is directly converted into a charge signal by a photoconductive film such as a-Se, and the charge accumulation is performed. The same method can be applied to a direct system that leads to a capacitor.

また、X線等の放射線がパルス照射され、その後画像を順次ゲートライン毎に読み出す際に、X線等放射線が照射された直後からアーチファクトの影響が減衰することがあるが、この場合は、画像読取りをダミー画素の行から開始することにより、アーチファクトの影響を検出することもできる。   In addition, when radiation such as X-rays is pulse-irradiated and then images are sequentially read out for each gate line, the influence of artifacts may be attenuated immediately after irradiation with radiation such as X-rays. By starting the reading from the row of dummy pixels, the influence of the artifact can also be detected.

更に、ゲートライン4のTFTスイッチ3のON/OFF電圧制御による信号読み出しライン2へのインジェクションをキャンセルする為にダミー画素等を設けた検出器においては、第1の実施の形態におけるダミー画素7のように実際の画素のTFTスイッチ3をONさせて信号を読み取ることはできないが、第2の実施の形態のようにダミー画素を想定した駆動にて信号を読み取ることで同等の効果を得ることができる。   Further, in the detector provided with a dummy pixel or the like for canceling the injection to the signal readout line 2 by the ON / OFF voltage control of the TFT switch 3 of the gate line 4, the dummy pixel 7 in the first embodiment is not affected. Thus, it is impossible to read the signal by turning on the TFT switch 3 of the actual pixel, but it is possible to obtain the same effect by reading the signal by driving assuming the dummy pixel as in the second embodiment. it can.

1:画素
2:信号読み出しライン
3:TFTスイッチ
4:ゲートライン
5:積分アンプ
6:撮影有効エリア
7:ダミー画素
8:フォトダイオード
9:コンデンサ
10:ラインアーチファクト検出器
11:放射線センサ
12:ゲート駆動回路
13:駆動制御回路
14:読取回路
15:読取制御回路
16:有効画素表示領域
17:検査画像表示領域
21:入射X線
23:蛍光変換膜
25:画像検出部
27:保持基板
29:回路層
31:ゲートドライバ
33:行選択回路
35:A/D変換器
37:駆動器
39:バイアス線
1: Pixel 2: Signal readout line 3: TFT switch 4: Gate line 5: Integration amplifier 6: Imaging effective area 7: Dummy pixel 8: Photo diode 9: Capacitor 10: Line artifact detector 11: Radiation sensor 12: Gate drive Circuit 13: Drive control circuit 14: Reading circuit 15: Reading control circuit 16: Effective pixel display area 17: Inspection image display area 21: Incident X-ray 23: Fluorescence conversion film 25: Image detection unit 27: Holding substrate 29: Circuit layer 31: Gate driver 33: Row selection circuit 35: A / D converter 37: Driver 39: Bias line

Claims (4)

基板上に二次元状に配列された複数の画素、行方向又は列方向の一方に延在する複数本のゲートライン、及び前記ゲートラインの延在方向と直交する方向に延在する複数本の信号読み出しラインを有し、前記複数の画素は、光電変換作用を行う画素群と光電変換作用を行わない画素群とに分割され、前記光電変換作用を行う画素群と前記光電変換作用を行わない画素群は、それぞれ、前記複数本のゲートラインのうちの1本及び前記複数本の信号読み出しラインのうちの1本に接続された画像検出部を備える放射線センサと、
前記複数本のゲートラインの1本毎に順次、駆動電圧を印加するゲート駆動回路と、
前記光電変換作用を行う画素群について、前記駆動電圧が印加されたゲートラインと接続された複数の画素に接続される前記信号読み出しラインを介して画像信号情報を読み取り、当該画像信号情報を有効画素表示領域として表示させるとともに、前記光電変換作用を行わない画素群について、前記駆動電圧が印加されたゲートラインと接続された複数の画素に接続される前記信号読み出しラインを介して画像信号情報を読み取り、当該画像信号情報を検査画像表示領域として少なくとも一時表示させる読取回路と、
を備えることを特徴とするラインアーチファクト検出器。
A plurality of pixels arranged two-dimensionally on the substrate, a plurality of gate lines extending in one of the row direction or the column direction, and a plurality of lines extending in a direction perpendicular to the extending direction of the gate lines The plurality of pixels are divided into a pixel group that performs a photoelectric conversion action and a pixel group that does not perform a photoelectric conversion action, and the pixel group that performs the photoelectric conversion action and the photoelectric conversion action are not performed. Each of the pixel groups includes a radiation sensor including an image detection unit connected to one of the plurality of gate lines and one of the plurality of signal readout lines;
A gate driving circuit for sequentially applying a driving voltage to each of the plurality of gate lines;
For the pixel group performing the photoelectric conversion action, image signal information is read through the signal readout line connected to a plurality of pixels connected to the gate line to which the drive voltage is applied, and the image signal information is converted into an effective pixel. Image signal information is read through the signal readout line connected to a plurality of pixels connected to the gate line to which the drive voltage is applied for the pixel group that is displayed as a display area and does not perform the photoelectric conversion function. A reading circuit that at least temporarily displays the image signal information as an inspection image display area;
A line artifact detector comprising:
前記ゲート駆動回路に対して列方向の走査のタイミングを決める駆動信号を生成する駆動制御回路と、前記読取回路に対して読み取りのタイミングを決める読取信号を生成する読取制御回路と、を更に備えることを特徴とする請求項1記載のラインアーチファクト検出器。   A drive control circuit for generating a drive signal for determining the scanning timing in the column direction for the gate drive circuit; and a read control circuit for generating a read signal for determining the read timing for the reading circuit. The line artifact detector according to claim 1. 前記光電変換作用を行う画素は、TFTスイッチ、フォトダイオードを有する一方、光電変換作用を行わない画素は、TFTスイッチを有し、前記画像検出部上に、入射した放射線を蛍光に変換する蛍光体層を備えることを特徴とする請求項1記載のラインアーチファクト検出器。   The pixel that performs the photoelectric conversion function includes a TFT switch and a photodiode, while the pixel that does not perform the photoelectric conversion function includes a TFT switch and converts the incident radiation to fluorescence on the image detection unit. The line artifact detector of claim 1, comprising a layer. 基板上に光電変換作用を行う複数の画素が二次元状に配列されるとともに、行方向又は列方向の一方に延在する複数本のゲートラインと、前記ゲートラインの延在方向と直交する方向に延在する複数本の信号読み出しラインとを有し、前記複数の画素は、それぞれ、前記複数本のゲートラインのうちの1本及び前記複数本の信号読み出しラインのうちの1本に接続された放射線センサを備えたラインアーチファクト検出器におけるラインアーチファクトの検出方法であって、
前記複数本のゲートラインの1本毎に順次、駆動電圧を印加し、前記駆動電圧が印加されたゲートラインと接続された複数の画素に接続される前記信号読み出しラインを介して画像信号情報を読み取るとともに、前記画像信号情報の読み取りを行うタイミングの前後に、光電変換作用を行わない画素群を想定した読取期間を設け、当該読取期間における画像信号情報を読み取ることによりラインアーチファクトを検出することを特徴とするラインアーチファクト検出器の検出方法。
A plurality of pixels that perform photoelectric conversion on the substrate are two-dimensionally arranged, a plurality of gate lines extending in one of the row direction and the column direction, and a direction orthogonal to the extending direction of the gate lines A plurality of signal readout lines extending to the plurality of pixels, and the plurality of pixels are respectively connected to one of the plurality of gate lines and one of the plurality of signal readout lines. A method for detecting line artifacts in a line artifact detector comprising a radiation sensor comprising:
A drive voltage is sequentially applied to each of the plurality of gate lines, and image signal information is obtained via the signal readout line connected to a plurality of pixels connected to the gate line to which the drive voltage is applied. In addition to reading, before and after the timing of reading the image signal information, a reading period assuming a pixel group that does not perform photoelectric conversion is provided, and line artifacts are detected by reading the image signal information in the reading period. Detection method of a characteristic line artifact detector.
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