JP2012064752A - ダイ供給装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ダイ供給装置において、突き上げピンの突き上げ高さを自動的に適正な突き上げ高さに調整できるようにする。
【解決手段】吸着ノズルでダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分をその真下から突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させながら、吸着ノズルで該ダイを吸着してダイシングシートからピックアップするダイピックアップ動作を行うダイ供給装置において、突き上げピンの突き上げ高さを自動調整する際に、吸着ノズルでダイをピックアップできたと判定されるまで、ダイピックアップ動作毎に突き上げピンの突き上げ高さを所定量ずつ高くしてダイピックアップ動作を繰り返し実行し、吸着ノズルでダイをピックアップできたと判定された時点の突き上げピンの突き上げ高さを適正な突き上げ高さと判定する。
【選択図】図５

Description

本発明は、突き上げピンの突き上げ高さを自動調整する機能を備えたダイ供給装置に関する発明である。

従来のダイ供給装置は、特許文献１（特開２００３−１１５４６５号公報）に記載されているように、碁盤目状に分割されたダイ（半導体チップ）が貼着された伸縮可能なダイシングシートからダイを吸着してピックアップする際に、ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分をその真下から突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させながら、吸着ノズルで該ダイを吸着してダイシングシートからピックアップするダイピックアップ動作を行うようにしている。

更に、特許文献１では、吸着ノズルがダイを吸着してピックアップする際に、吸着ノズルの吸引圧を圧力センサで検出して、その吸引圧に基づいてダイをピックアップできたか否かを判定し、ダイをピックアップできなかった場合は、再度、ダイピックアップ動作を実行するようにしている。

特開２００３−１１５４６５号公報

ところで、ダイピックアップ動作でダイをピックアップできない原因の多くは、突き上げピンの摩耗や曲り等により突き上げピンの突き上げ高さが足りなくなったためと思われる。突き上げピンの突き上げ高さが足りなくなった場合は、ダイピックアップ動作を再実行しても、再びダイをピックアップできないことが多いと思われる。

従って、ダイのピックアップ不良を検出したときには、突き上げピンの突き上げ高さを調整し直すことが望ましいが、従来は、作業者がダイのピックアップ状態を目視で確認しながら突き上げピンの突き上げ高さを調整するようになっていたため、突き上げ高さの調整に作業者の経験や熟練度が要求されると共に、作業者側からダイのピックアップ状態が機構部で隠れて見えない場合があり、ダイピックアップ動作後に装置の扉を開けてダイシングシートを取り出してダイをピックアップできたか否かを確認しなければならない場合があった。このため、突き上げピンの突き上げ高さを調整する作業は、熟練者でも非常に手間のかかる作業であった。

このように、突き上げピンの突き上げ高さの調整は、熟練者でも非常に手間のかかる作業であるため、ダイシングシートの取り替え等の場合に突き上げピンの突き上げ高さを調整すると、段取り替え時間が長くなって生産性が低下したり、作業者が突き上げ高さの設定値を入力ミスして、生産中に突き上げピンの突き上げ高さの不足によりダイのピックアップ不良を発生させたり、突き上げピンの突き上げ高さが高くなり過ぎて、ダイに過大な荷重が加わってクラックを生じさせてしまうこともあった。

そこで、本発明が解決しようとする課題は、突き上げピンの突き上げ高さを自動的に適正な突き上げ高さに調整できるダイ供給装置を提供することである。

上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、碁盤目状に分割されたダイが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げピンと、前記ダイシングシートの上方から前記ダイを吸着する吸着ノズルとを備え、前記吸着ノズルで前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、前記ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分をその真下から前記突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させながら、前記吸着ノズルで該ダイを吸着して前記ダイシングシートからピックアップするダイピックアップ動作を行うダイ供給装置において、前記吸着ノズルで前記ダイシングシートからダイをピックアップできたか否かを判定するダイピックアップ判定手段と、前記突き上げピンの突き上げ高さを自動調整する突き上げ高さ自動調整手段とを備え、前記突き上げ高さ自動調整手段は、前記ダイピックアップ判定手段により前記吸着ノズルでダイをピックアップできたと判定されるまで、ダイピックアップ動作毎に前記突き上げピンの突き上げ高さを少しずつ高くしてダイピックアップ動作を繰り返し実行し、前記吸着ノズルでダイをピックアップできたと判定された時点の前記突き上げピンの突き上げ高さを適正な突き上げ高さと判定するようにしたものである。このようにすれば、突き上げピンの突き上げ高さを自動的に適正な突き上げ高さに調整できる。これにより、突き上げピンの突き上げ高さの調整に要する時間を短縮できて、生産性を向上できると共に、作業者の入力ミスによるダイのピックアップ不良やダイのクラックを未然に防止できて、製品品質を向上できる。

この場合、ダイシングシートからダイをピックアップできたか否かを判定するダイピックアップ判定手段は、例えば、特許文献１のように、吸着ノズルの吸引圧を圧力センサで検出して、その吸引圧に基づいてダイをピックアップできたか否かを判定するようにしても良いが、この場合は、吸着ノズルの吸引圧を検出する圧力センサを新たに設ける必要がある。

そこで、一般に、ダイシングシート上のダイを撮像して画像認識するカメラがダイ供給装置又は部品実装機に装備されていることを考慮して、請求項２のように、ダイピックアップ判定手段は、ダイピックアップ動作毎にカメラで上方からダイシングシートのうちの吸着ノズルの吸着点を撮像し、その撮像画像の処理結果に基づいて吸着ノズルの吸着点にダイが残っているか否かを判定し、ダイが残っていなければ、ダイシングシートからダイをピックアップできたと判定するようにしても良い。このようにすれば、ダイ供給装置又は部品実装機に装備されているカメラを使用して、ダイをピックアップできたか否かを判定することができ、圧力センサを新たに設ける必要が無い。

また、請求項３のように、突き上げ高さ自動調整手段は、ダイシングシート上のダイのうちの不良ダイを使用して突き上げピンの突き上げ高さを自動調整するようにしても良い。このようにすれば、突き上げ高さの自動調整のために良品のダイを無駄に使用せずに済む。

ここで、突き上げ高さの自動調整に使用する不良ダイは、ダイシングシート上のダイをカメラで撮像して画像認識技術により自動的に検出するようにしても良いし、作業者が不良ダイを手入力で指定するようにしても良い。

また、請求項４のように、突き上げ高さ自動調整手段は、作業者が突き上げ高さ自動調整の実行指令を入力したときに突き上げピンの突き上げ高さを自動調整するようにしても良い。このようにすれば、例えば、生産開始前や、生産中に段取り替え等でダイシングシートを取り替える毎に、突き上げピンの突き上げ高さを自動調整することができる。

或は、請求項５のように、突き上げ高さ自動調整手段は、ダイ供給装置のダイ供給動作中（生産中）にダイのピックアップ不良を検出したときに、突き上げピンの突き上げ高さを自動調整するようにしても良い。このようにすれば、生産中にダイのピックアップ不良を検出する毎に、突き上げピンの突き上げ高さを自動調整することができ、生産中のピックアップ不良の発生率を低減できる。

図１は本発明の一実施例におけるダイ供給装置の外観斜視図である。 図２は突き上げユニット部分の拡大斜視図である。 図３はダイ供給装置をセットした部品実装機の外観斜視図である。 図４はウエハパレットのダイシングシート上のダイをサブロボットの吸着ノズルでピックアップする状態を作業者側から確認する方法を説明する図である。 図５は突き上げ高さ自動調整プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。

以下、本発明を実施するための形態を具体化した一実施例を図面を用いて説明する。
図１に示すように、本実施例のダイ供給装置１１は、マガジン保持部１２（トレイタワー）、パレット引き出しテーブル１３、パレット引き出し機構１４、サブロボット１５、シャトル機構１６、反転ユニット１７、突き上げユニット１８（図２参照）、ＮＧコンベア１９、ノズルチェンジャー２０等を備えた構成となっている。このダイ供給装置１１は、図３に示すように、部品実装機２５のフィーダセット用スロットにパレット引き出しテーブル１３を差し込んだ状態にセットされる。

ダイ供給装置１１のマガジン保持部１２内に上下動可能に収納されたマガジンには、ダイ２１を載せたウエハパレット２２と、トレイ部品を載せたトレイパレット（図示せず）とを多段に混載できるようになっている。ウエハパレット２２は、碁盤目状にダイシング（分割）された多数のダイ２１を貼着した伸縮可能なダイシングシート（図示せず）を、円形の開口部を有するパレット本体２３にエキスパンドした状態で装着したものを使用する。尚、ダイシングシートのエキスパンドは、どのような方法で行っても良く、例えば、ダイシングシートを下方から円形リングで押し上げた状態でパレット本体２３に装着すれば良い。

パレット引き出し機構１４は、ウエハパレット２２、トレイパレットのいずれかのパレットをマガジン保持部１２内のマガジンからパレット引き出しテーブル１３上に引き出すものであり、パレット上の部品やダイを部品実装機２５（図３参照）の吸着ノズル（図示せず）でピックアップする位置（以下「部品実装機用引き出し位置」という）と、マガジンに近い引き出し位置（以下「サブロボット用引き出し位置」という）とのいずれの位置にもパレットを引き出し可能に構成されている。部品実装機用引き出し位置は、パレット引き出しテーブル１３の前端の位置（マガジンから最も離れた位置）であり、サブロボット用引き出し位置は、サブロボット１５の吸着ノズル１５ａ（図４参照）でウエハパレット２２のダイシングシート上のダイ２１を吸着可能な位置である。

サブロボット１５は、マガジン保持部１２の背面部（サブロボット用引き出し位置側の面）のうちのパレット引き出しテーブル１３の上方に位置して設けられ、ＸＺ方向（パレット引き出しテーブル１３の幅方向及び垂直方向）に移動するように構成されている。尚、サブロボット１５の移動方向をＸ方向のみとし、ウエハパレット２２に対するサブロボット１５のＹ方向（パレット引き出し方向）の相対的位置は、パレット引き出し機構１４によってウエハパレット２２をＹ方向に徐々に引き出すことで制御している。このサブロボット１５には、１本又は複数本の吸着ノズル１５ａ（図４参照）が下向きに設けられ、ピックアップするダイ２１のサイズ等に応じてノズルチェンジャー２０で吸着ノズル１５ａを交換できるようになっている。サブロボット１５には、カメラ２４が設けられ、このカメラ２４の撮像画像に基づいて、ピックアップ対象となるダイ２１の位置又はダイ２１の吸着姿勢を確認できるようになっている。

シャトル機構１６は、サブロボット１５の吸着ノズル１５ａでピックアップされた部品をシャトルノズル２６で受け取って部品実装機２５の吸着ノズルでピックアップ可能な位置まで移送する。

反転ユニット１７は、サブロボット１５から受け取るダイ２１を必要に応じて上下反転させるものである。ダイ２１の種類によっては、ウエハパレット２２のダイシングシートに上下反対に貼着されたダイ（例えばフリップチップ等）が存在するためである。

突き上げユニット１８（図２参照）は、パレット引き出しテーブル１３に設けられて、ウエハパレット２２のダイシングシート下方の空間領域をＸＹ方向（パレット引き出しテーブル１３の幅方向及びその直角方向）に移動可能に構成されている。そして、部品実装機用引き出し位置とサブロボット用引き出し位置のいずれの位置にウエハパレット２２を引き出した場合でも、ダイシングシートのうちのピックアップしようとするダイ２１の貼着部分をその下方から突き上げヘッド２７の突き上げピンで局所的に突き上げることで、当該ダイ２１の貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させてダイ２１をピックアップしやすい状態に浮き上がらせるようにしている。突き上げユニット１８は、ダイ２１のサイズ等に応じて突き上げヘッド２７を選択できるようにするために、複数種類（例えば４種類）の突き上げヘッド２７が所定角度ピッチ（図２の例では９０°ピッチ）で放射状に設けられ、突き上げ動作させる突き上げヘッド２７が上向きとなる位置まで回転させるように構成されている。

この突き上げユニット１８は、サーボモータ（図示せず）を駆動源として突き上げユニット１８全体が上下動するように構成されている。ダイピックアップ動作時には、突き上げユニット１８が上昇して突き上げヘッド２７の上端がウエハパレット２２のダイシングシートに接触すると、ストッパ機構（図示せず）が作動して突き上げユニット１８の上昇が止まり、更に上昇動作を続けると、突き上げヘッド２７から突き上げピンが上方に突出して、ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分（吸着ノズルの吸着点）を突き上げるようになっている。この場合、駆動源となるサーボモータの回転量を調整することで、突き上げピンの突き上げ高さを調整できるようになっている。

尚、ＮＧコンベア１９は、不良部品や吸着不良のダイ２１を排出するコンベアである。 図３及び図４に示すように、マガジン保持部１２には、ウエハパレット２２のダイシングシート上のダイ２１をサブロボット１５の吸着ノズル１５ａでピックアップする状態を作業者側から確認するための窓部３１が設けられ、ウエハパレット２２上のダイ２１をサブロボット１５の吸着ノズル１５ａでピックアップする状態を作業者が確認する際に、マガジン保持部１２内のパレットを窓部３１よりも下方へ退避させる確認モードの運転を選択できるように構成されている。更に、確認モードでは、サブロボット１５の吸着ノズル１５ａがウエハパレット２２上のダイ２１をピックアップした状態で、サブロボット１５を停止できるようになっている。

以上のように構成したダイ供給装置１１の制御装置３２は、キーボード、マウス等の入力装置３３と、液晶ディスプレイ等の表示装置３４等の周辺装置を備えたコンピュータにより構成され、部品実装機２５に供給する部品の種類に応じてパレットの引き出し位置と部品のピックアップ方法を選択すると共に、その選択結果に応じてパレット引き出し機構１４、サブロボット１５及びシャトル機構１６、反転ユニット１７、突き上げユニット１８等の動作を次のように制御する。

（１）小さいダイ２１の場合
小さいダイ２１の場合は、サブロボット１５→シャトルノズル２６→部品実装機２５の吸着ノズルへのダイ２１のつかみ替えが困難であるので、マガジン保持部１２からウエハパレット２２を部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該ウエハパレット２２のダイシングシート上のダイ２１を部品実装機２５の吸着ノズルで直接ピックアップする。

（２）上記以外のサイズのダイ２１の場合
ダイ２１のつかみ替えが可能なサイズのダイ２１の場合は、実装時間を短縮することを目的として、マガジン保持部１２内のマガジンからウエハパレット２２をサブロボット用引き出し位置に引き出して、サブロボット１５の吸着ノズル１５ａで当該ウエハパレット２２のダイシングシート上の複数のダイ２１をピックアップし、当該複数のダイ２１をシャトル機構１６のシャトルノズル２６で受け取って所定のピックアップ位置まで移送し、このピックアップ位置で、シャトル機構１６のシャトルノズル２６からダイ２１を部品実装機２５の吸着ノズルでピックアップする。

（３）トレイ部品の場合
トレイ部品の場合は、マガジン保持部１２内のマガジンからトレイパレットを部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該トレイパレット上のトレイ部品を部品実装機２５の吸着ノズルで直接ピックアップする。

ところで、ダイピックアップ動作でダイ２１をピックアップできない原因の多くは、突き上げピンの摩耗や曲り等により突き上げピンの突き上げ高さが足りなくなったためと思われる。突き上げピンの突き上げ高さが足りなくなった場合は、ダイピックアップ動作を再実行しても、再びダイ２１をピックアップできないことが多いと思われる。従って、ダイ２１のピックアップ不良を検出したときには、突き上げピンの突き上げ高さを調整し直すことが望ましいが、従来は、作業者がダイ２１のピックアップ状態を目視で確認しながら突き上げピンの突き上げ高さを調整するようになっていたため、突き上げ高さの調整に作業者の経験や熟練度が要求されると共に、作業者側からダイ２１のピックアップ状態が機構部で隠れて見えない場合があり、ダイピックアップ動作後に装置の扉を開けてウエハパレット２２を取り出してダイ２１をピックアップできたか否かを確認しなければならない場合があった。このため、突き上げピンの突き上げ高さを調整する作業は、熟練者でも非常に手間のかかる作業であった。

そこで、本実施例では、制御装置３２は、後述する図５の突き上げ高さ自動調整プログラムを実行することで、特許請求の範囲でいう突き上げ高さ自動調整手段として機能し、サブロボット１５又は部品実装機２５の吸着ノズルでダイ２１をピックアップできたと判定されるまで、ダイピックアップ動作毎に突き上げピンの突き上げ高さを少しずつ高くしてダイピックアップ動作を繰り返し実行し、吸着ノズルでダイ２１をピックアップできたと判定された時点の突き上げピンの突き上げ高さを適正な突き上げ高さと判定するようにしている。

この場合、ダイシングシートからダイ２１をピックアップできたか否かを判定するダイピックアップ判定手段は、例えば、吸着ノズルの吸引圧を圧力センサで検出して、その吸引圧に基づいてダイ２１をピックアップできたか否かを判定するようにしても良いが、この場合は、吸着ノズルの吸引圧を検出する圧力センサを新たに設ける必要がある。

そこで、一般に、ダイシングシート上のダイ２１を撮像して画像認識するカメラがダイ供給装置１１又は部品実装機に装備されていることを考慮して、本実施例では、制御装置３２は、特許請求の範囲でいうダイピックアップ判定手段としても機能し、ダイピックアップ動作毎にダイ供給装置１１又は部品実装機のカメラで上方からダイシングシートのうちの吸着ノズルの吸着点を撮像し、その撮像画像の処理結果に基づいて吸着ノズルの吸着点にダイ２１が残っているか否かを判定し、ダイ２１が残っていなければ、ダイシングシートからダイ２１をピックアップできたと判定するようにしている。この際、ダイ２１の認識は、撮像画像からダイ２１の特徴点を探してダイ２１を認識すれば良い。

以下、制御装置３２によって実行する図５の突き上げ高さ自動調整プログラムの処理内容を説明する。図５の突き上げ高さ自動調整プログラムは、作業者が突き上げ高さ自動調整の実行指令を制御装置３２に入力したときに実行される。或は、ダイ供給装置１１のダイ供給動作中（生産中）にダイのピックアップ不良を検出したときに、突き上げ高さ自動調整の実行指令が自動的に発生して図５の突き上げ高さ自動調整プログラムを自動的に実行するようにしても良い。作業者が突き上げ高さ自動調整の実行指令を入力したときに突き上げピンの突き上げ高さを自動調整するようにすれば、例えば、生産開始前や、生産中に段取り替え等でダイシングシートを取り替える毎に、突き上げピンの突き上げ高さを自動調整することができる。また、生産中にダイのピックアップ不良を検出したときに、突き上げピンの突き上げ高さを自動調整するようにすれば、生産中にダイのピックアップ不良を検出する毎に、突き上げピンの突き上げ高さを自動調整することができ、生産中のピックアップ不良の発生率を低減できる利点がある。

図５の突き上げ高さ自動調整プログラムが起動されると、まず、ステップ１０１で、突き上げ高さの自動調整に使用するダイを上方からダイ供給装置１１又は部品実装機のカメラで撮像して画像処理する。ここで、突き上げ高さの自動調整に使用するダイは、ウエハパレット２２のダイシングシート上のダイのうちの不良ダイを使用すると良い。突き上げ高さの自動調整に不良ダイを使用すれば、良品のダイを無駄に使用せずに済む。ダイシングシート上に不良ダイが存在しない場合は、良品ダイの中から突き上げ高さの自動調整に使用するダイを選択すれば良い。突き上げ高さの自動調整に使用する不良ダイは、ダイシングシート上のダイをカメラで撮像して画像認識技術により自動的に検出するようにしても良いし、作業者が不良ダイを手入力で指定するようにしても良い。

画像処理後、ステップ１０２に進み、画像処理で吸着ノズルの吸着点にダイを認識できたか否かを判定し、ダイを認識できなければ、ステップ１０３に進み、突き上げ高さの自動調整を継続できないと判断してエラー終了する。

これに対し、上記ステップ１０２で、吸着ノズルの吸着点にダイを認識できたと判定されれば、ステップ１０４に進み、画像処理結果から吸着ノズルの吸着点の座標位置（Ｘ，Ｙ）の補正計算を行う。この後、ステップ１０５に進み、初回の突き上げ高さをデフォルト値に設定する。ここで、デフォルト値は、突き上げ高さの調整可能範囲の下限値であっても良いし、突き上げ高さの調整可能範囲内で作業者が任意に設定できるようにしても良い。

この後、ステップ１０６に進み、ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分をその真下から突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させながら、サブロボット１５又は部品実装機２５の吸着ノズルで該ダイを吸着してダイシングシートからピックアップするダイピックアップ動作を実行する。

そして、次のステップ１０７で、吸着ノズルの吸着点を上方からカメラで撮像して画像処理した後、ステップ１０８に進み、画像処理で吸着ノズルの吸着点にダイを認識できたか否か（吸着ノズルの吸着点にダイが残っているか否か）を判定することで、ダイをピックアップできなかったか否かを判定する。これらステップ１０７と１０８の処理が特許請求の範囲でいうダイピックアップ判定手段としての役割を果たす。

このステップ１０８で、吸着ノズルの吸着点にダイを認識できたと判定された場合は、吸着ノズルの吸着点にダイが残っているため、ダイをピックアップできなかったと判断して、ステップ１０９に進み、突き上げピンの突き上げ高さを所定量だけ高く設定して、ステップ１０６に戻り、再度、ダイピックアップ動作を実行して、吸着ノズルの吸着点にダイを認識できたか否かを判定することで、ダイをピックアップできなかったか否かを判定する。ここで、ダイピックアップ動作毎の突き上げ高さの増加量（所定量）は、予め決められた一定値であっても良いし、作業者が任意に設定できるようにしても良い。

以上の処理により、吸着ノズルでダイをピックアップできたと判定されるまで、ダイピックアップ動作毎に突き上げピンの突き上げ高さを所定量ずつ高くしてダイピックアップ動作を繰り返し実行し、吸着ノズルでダイをピックアップできたと判定された時点で、ステップ１１０に進み、現在の突き上げ高さを適正な突き上げ高さとしてメモリ（図示せず）に記憶し、次のステップ１１１で、吸着ノズルでピックアップしたダイを廃棄して、本プログラムを終了する。

以上説明した本実施例によれば、吸着ノズルでダイをピックアップできたと判定されるまで、ダイピックアップ動作毎に突き上げピンの突き上げ高さを少しずつ高くしてダイピックアップ動作を繰り返し実行し、吸着ノズルでダイをピックアップできたと判定された時点の突き上げピンの突き上げ高さを適正な突き上げ高さと判定するようにしたので、突き上げピンの突き上げ高さを自動的に適正な突き上げ高さに調整できる。これにより、突き上げピンの突き上げ高さの調整に要する時間を短縮できて、生産性を向上できると共に、作業者の入力ミスによるダイのピックアップ不良やダイのクラックを未然に防止できて、製品品質を向上できる。

尚、本発明は、ダイ供給装置１１の構成を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。

１１…ダイ供給装置、１２…マガジン保持部、１３…パレット引き出しテーブル、１４…パレット引き出し機構、１５…サブロボット、１５ａ…吸着ノズル、１６…シャトル機構、１７…反転ユニット、１８…突き上げユニット、１９…ＮＧコンベア、２０…ノズルチェンジャー、２１…ダイ、２２…ウエハパレット、２３…パレット本体、２４…カメラ、２５…部品実装機、２６…シャトルノズル、２７…突き上げヘッド、３１…窓部、３２…制御装置（突き上げ高さ自動調整手段，ダイピックアップ判定手段）、３３…入力装置、３４…表示装置

Claims (5)

1. 碁盤目状に分割されたダイが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げピンと、前記ダイシングシートの上方から前記ダイを吸着する吸着ノズルとを備え、前記吸着ノズルで前記ダイシングシート上のダイを１個ずつ吸着してピックアップする際に、前記ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分をその真下から前記突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させながら、前記吸着ノズルで該ダイを吸着して前記ダイシングシートからピックアップするダイピックアップ動作を行うダイ供給装置において、
   前記吸着ノズルで前記ダイシングシートからダイをピックアップできたか否かを判定するダイピックアップ判定手段と、
   前記突き上げピンの突き上げ高さを自動調整する突き上げ高さ自動調整手段とを備え、 前記突き上げ高さ自動調整手段は、前記ダイピックアップ判定手段により前記吸着ノズルでダイをピックアップできたと判定されるまで、ダイピックアップ動作毎に前記突き上げピンの突き上げ高さを少しずつ高くしてダイピックアップ動作を繰り返し実行し、前記吸着ノズルでダイをピックアップできたと判定された時点の前記突き上げピンの突き上げ高さを適正な突き上げ高さと判定することを特徴とするダイ供給装置。
2. 前記ダイピックアップ判定手段は、ダイピックアップ動作毎にカメラで上方から前記ダイシングシートのうちの前記吸着ノズルの吸着点を撮像し、その撮像画像の処理結果に基づいて前記吸着ノズルの吸着点にダイが残っているか否かを判定し、ダイが残っていなければ、前記ダイシングシートからダイをピックアップできたと判定することを特徴とする請求項１に記載のダイ供給装置。
3. 前記突き上げ高さ自動調整手段は、前記ダイシングシート上のダイのうちの不良ダイを使用して前記突き上げピンの突き上げ高さを自動調整することを特徴とする請求項１又は２に記載のダイ供給装置。
4. 前記突き上げ高さ自動調整手段は、作業者が突き上げ高さ自動調整の実行指令を入力したときに前記突き上げピンの突き上げ高さを自動調整することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のダイ供給装置。
5. 前記突き上げ高さ自動調整手段は、ダイ供給装置のダイ供給動作中にダイのピックアップ不良を検出したときに前記突き上げピンの突き上げ高さを自動調整することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のダイ供給装置。

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